KR20030080363A

KR20030080363A - The boat for high speed evaporation and the fabrication method for the same

Info

Publication number: KR20030080363A
Application number: KR1020020018950A
Authority: KR
Inventors: 신화철; 권오진; 김학성
Original assignee: 주식회사 아벡테크
Priority date: 2002-04-08
Filing date: 2002-04-08
Publication date: 2003-10-17

Abstract

PURPOSE: A boat (evaporation source) for high speed evaporation simultaneously having price, processability and electrical characteristics that are merits of amorphous carbon or graphite and superior wettability that is a merit of tungsten or molybdenum, and a method for manufacturing the boat for high speed evaporation are provided. CONSTITUTION: The boat for high speed evaporation comprises a boat body(1) made of amorphous carbon or graphite and formed in a thin and long plate shape having certain width, length and thickness so that the body is used as a heating body; a boat holding part(4) installed at both ends of a length direction of the boat body(1); a groove structure which is formed on the upper surface of the boat body(1) except the boat holding part(4) and has certain width, length and depth; and a plurality of metal wires(3) formed of tungsten or molybdenum to use superior wettability and adhered to an evaporation region(5) that is the bottom surface of the groove structure by planting the plurality of metal wires(3) along a length direction of the boat body(1) with the plurality of metal wires(3) being spaced apart from the boundary surface of width and length of the groove structure and spaced apart from each other, wherein the boat for high speed evaporation further comprises buffer wire fixing parts(2) which are installed at both ends of the groove structure, and on which empty space parts and supporting protrusion parts as many as the metal wires(3) are alternately formed in the same direction as the arrangement direction of the metal wires(3) so that the empty space parts and supporting protrusion parts are supportingly inserted into both ends of the metal wires(3).

Description

고속 증발용 보트 및 그 제조 방법 {THE BOAT FOR HIGH SPEED EVAPORATION AND THE FABRICATION METHOD FOR THE SAME}High speed evaporation boat and its manufacturing method {THE BOAT FOR HIGH SPEED EVAPORATION AND THE FABRICATION METHOD FOR THE SAME}

본 발명은 진공 중에서 물질을 가열하여 고속으로 증발시키는데 사용하는 저항가열 증발원 또는 간략히 보트(Boat) 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 자세하게는 흑연 또는 비정질 탄소를 발열체로 이용하면서 동시에 그 상부에 증발물질과의 젖음성이 우수한 금속(예컨대 텅스텐 또는 몰리브덴 등) 와이어를 마련하여 보트를 구성함으로써 종래의 보트에 비해 증발율이 대폭 향상되고 수명이 길면서도 증발물이 비산되거나 출렁거리지 않고 안정적으로 증발시킬 수 있도록 하는 고속 증발용 보트 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a resistance heating evaporation source or simply a boat and a method of manufacturing the same, which are used to heat a material in a vacuum to evaporate at high speed, and more particularly, using graphite or amorphous carbon as a heating element and simultaneously evaporating material thereon. By constructing a boat by providing a metal (eg tungsten or molybdenum) wire having excellent wettability, the evaporation rate is significantly improved compared to a conventional boat, and the evaporant can be stably evaporated without scattering or swelling even though the life is long. A high speed evaporation boat and a method of manufacturing the same.

일반적으로 각종 플라스틱이나 고분자 또는 금속 기판에 전자파 차폐 기능이나 도전막을 부여하기 위하여 또는 거울 표면과 같은 장식적 효과를 위하여 다양한 금속을 피복하는 여러가지 박막 코팅 시스템이 개발되어 있다. 이러한 코팅 시스템은 휴대용 단말기나 각종 모니터 등의 제조에 널리 이용되고 있으며, 코팅에 사용되는 금속으로는 금, 은, 구리 등이 사용되고 있다.In general, various thin film coating systems have been developed for coating various metals to provide electromagnetic shielding functions or conductive films to various plastics, polymers, or metal substrates or for decorative effects such as mirror surfaces. Such coating systems are widely used in the manufacture of portable terminals, various monitors, and the like, and gold, silver, copper, and the like are used as metals used for coating.

먼저 금, 은, 구리 등을 코팅하는 방법으로서는 대개 스퍼터링법과 진공증착법이 많이 이용되고 있다.First, as a method of coating gold, silver, copper, etc., the sputtering method and the vacuum deposition method are used a lot.

여기서 스퍼터링법은 불활성가스 분위기에서 타겟에 고전압을 인가하여 플라즈마 방전을 발생시킨 후 방전 내에 존재하는 불활성가스 이온이 타겟에 충돌하여 타겟 원자를 떼어내면서 기판에 박막을 착상시켜 나가는 방법이다. 그러나 이러한 스퍼터링법은 코팅 물질을 타겟 형태로 만들어야 하므로 이에 따른 원가 상승의 요인으로 인해 특수한 경우를 제외하고는 많이 사용되지 않고 있다.The sputtering method is a method in which a high voltage is applied to a target in an inert gas atmosphere to generate a plasma discharge, and inert gas ions present in the discharge collide with the target to remove the target atoms to form a thin film on the substrate. However, since the sputtering method is required to make the coating material into a target form, the sputtering method is not used much except in special cases due to the cost increase.

한편, 진공증착법은 진공의 용기 내에 코팅을 필요로 하는 표면을 기판으로 하여 고정시킨 후, 코팅시키고자 하는 금속 물질을 가열하여 증발시켜서 상기 목적지 표면에 부착시키는 방법이다. 이러한 진공증착법에서 진공 중에서 물질을 가열하여 증발시키는데 사용하는 증발원에는 전자빔 증발원, 고주파 유도가열 증발원, 그리고 저항가열 증발원 등이 있다.On the other hand, vacuum deposition is a method of fixing a surface requiring a coating in a vacuum container as a substrate, and then heating and evaporating the metal material to be coated to attach to the destination surface. Evaporation sources used to heat and evaporate materials in vacuum in such a vacuum deposition method include an electron beam evaporation source, a high frequency induction heating evaporation source, and a resistance heating evaporation source.

상기 전자빔 증발원을 이용한 진공증착은 증발시킬 수 있는 물질이 다양하여 실험실적인 피막제조는 물론, 대형 플랜트에서도 폭 넓게 이용되고 있으나, 가격이 비싸다는 단점이 있다.Vacuum deposition using the electron beam evaporation source is widely used in a large plant as well as in the production of a laboratory film due to a variety of materials that can be evaporated, but there is a disadvantage that the price is expensive.

한편, 상기 고주파 유도가열 증발원을 이용한 진공증착은 고주파를 이용하기 때문에 주변장치가 복잡해지므로 대형 코팅장치에 주로 사용되고 있다.On the other hand, the vacuum deposition using the high frequency induction heating evaporation source is mainly used in large-scale coating apparatus because the peripheral device is complicated because it uses a high frequency.

이에 반하여, 상기 저항가열 증발원이란 보트나 도가니 또는 필라멘트 형태의 내화물 금속이나 금속간 화합물에 전류를 직접 통과시켜 가열시킴으로써 증발원 내에 담겨 있는 물질을 녹여 증발시키는 물체를 통칭하는 것이다. 저항가열 증발원으로 사용되는 물질에는 텅스텐이나 몰리브덴, 탄탈 등과 같은 내화물 금속이나 비정질 탄소나 흑연 또는 금속간 복합 화합물 (TiB₂·BN) 등이 있으며, 이들 재료는 코일이나 보트 또는 도가니 형태로 가공되어 사용되고 있다. 이들을 이용하면 융점이 낮고 반응성이 낮은 금속의 경우는 비교적 용이하게 증발이 가능하며, 높은 순도를 가진 피막을 손쉽게 형성하는 것이 가능하다.On the contrary, the resistance heating evaporation source refers to an object that melts and evaporates a substance contained in an evaporation source by directly heating a current through a refractory metal or an intermetallic compound in the form of a boat, crucible or filament. Materials used for resistive heating evaporation sources include refractory metals such as tungsten, molybdenum and tantalum, amorphous carbon, graphite, or intermetallic compound (TiB ₂ · BN), which are processed into coils, boats or crucibles. have. By using these, metals with low melting point and low reactivity can be evaporated relatively easily, and a film with high purity can be easily formed.

이러한 저항가열 증발원이 적용되는 증착 시스템을 도 2에 의하여 설명하면, 도시된 바와 같이 물질을 증발시키기 위하여 일반적으로 흑연 또는 비정질탄소, 텅스텐, 몰리브덴 등의 재질로 형성된 보트(1: 증발원)를 이용하며, 상기 보트(1)를 진공용기(11) 내에 여러 개 장착한 후 일정 양의 증발용 금속을 보트(1)에 올려놓고 보트(1)의 양측에 보트 가열용 전원장치(16)를 연결 및 구동시켜 가열에 의해 증발물 금속을 증발시키는 방법을 채택하고 있다. 이렇게 보트를 이용하여 금, 은, 구리 등의 금속을 가열시키면 이들 증발용 금속이 보트 표면에서 젖음 현상이 발생하면서 고속의 증발이 발생하게 된다. 따라서 이들 보트를 이용하면 코팅의 가격이 저렴하고 장치가 간단하여지므로 지금까지 가장 널리 이용되고 있다.Referring to FIG. 2, a deposition system to which such a resistance heating evaporation source is applied, a boat (1: evaporation source) formed of a material such as graphite or amorphous carbon, tungsten, molybdenum, etc. is generally used to evaporate a material as shown. After mounting several boats 1 in the vacuum vessel 11, a predetermined amount of evaporation metal is placed on the boat 1 and the boat heating power supply 16 is connected to both sides of the boat 1 and The method of evaporating the evaporate metal by heating is adopted. When a metal such as gold, silver, copper, etc. is heated using a boat as described above, these evaporating metals are wetted on the surface of the boat and high-speed evaporation occurs. Therefore, the use of these boats is the most widely used so far because of the low cost of coating and the simple device.

한편, 상기 저항가열 증발원을 이용한 진공증착법 방식은 설치가 간단하고 가격이 저렴하다는 이점은 있으나, 증발시킬 수 있는 물질인 증발용 금속의 종류나 보트의 수명에 다음과 같은 제한이 있어서 지금까지는 그 응용에 한계가 있었다.On the other hand, the vacuum evaporation method using the resistance heating evaporation source has the advantage that the installation is simple and low cost, but there are the following limitations on the type of evaporation material or the life of the boat that can evaporate the application so far There was a limit to.

즉, 상기 텅스텐이나 몰리브덴 재질의 보트의 경우 증발온도가 보트 재질의 변태가 발생하는 온도 이상일 경우가 많아, 보트가 쉽게 파손되어 보트 수명이 제한되고, 보트의 취급도 대단히 까다롭다는 문제가 있다. 뿐만 아니라 보트 전체가 상기 금속으로 구성되어 있으므로 증발 표면이 구획없이 일체형으로 매우 넓게 형성되어 있기 때문에 전류에 의한 가열시 필연적으로 증발 표면 부위별 온도 편차가 발생하고, 따라서 온도차에 의한 증발물의 이동이 발생하면서 증발물의 출렁거림이나 요동이 발생하게 된다. 이렇게 되면 증발물이 보트(증발원) 밖으로 넘쳐나거나 증발물의 비산에 의해 증발물의 손실이 발생함은 물론, 증발물의 덩어리가 기판에달라붙어 버리는 경우까지 빈번하게 발생하여, 결과적으로 기판의 손상을 초래하는 문제점을 낳게 된다. 또한 보트 파손 및 비산방지를 위하여 온도를 증가시키는 한계가 존재하므로 증발속도가 제한된다는 문제점도 있다.That is, in the case of the boat made of tungsten or molybdenum, the evaporation temperature is often higher than the temperature at which the transformation of the boat material occurs, so that the boat is easily damaged and the boat life is limited, and the handling of the boat is very difficult. In addition, since the entire boat is made of the above metal, since the evaporation surface is formed very broadly without a compartment, a temperature deviation inevitably occurs at the evaporation surface part when heating by electric current, and thus the evaporation movement occurs due to the temperature difference. As the evaporate shakes or fluctuates. This can cause the evaporate to overflow out of the boat (evaporation source) or the evaporate's scattering causes the loss of the evaporate, as well as the occurrence of lumps of evaporate sticking to the substrate, resulting in damage to the substrate. It causes problems. In addition, there is a problem that the evaporation rate is limited because there is a limit to increase the temperature to prevent boat breakage and scattering.

한편, 비정질 탄소나 흑연 재질의 보트의 경우에는 그 재질의 가격이 저렴할 뿐만 아니라 가공성 및 전기적인 특성이 우수하며, 이들을 저항가열 증발원으로 사용하면 녹는점이 비교적 낮고 반응성이 작은 금속 물질들에 대한 증발은 가능하다. 그러나 금, 은, 구리 등과 같이 흑연 표면에서 젖음 현상이 발생하지 않는 물질의 경우에는 증발율이 매우 낮으며, 증발율을 높이기 위해 온도를 증가시키면 증발용 금속 액체가 비산되어 버려서 증발용 금속의 손실은 물론, 증발물의 덩어리가 기판에 달라 붙어 피막을 손상시키는 등 문제점이 발생하게 된다. 또한 역시 마찬가지로 비산방지를 위하여 온도를 증가시키는 한계가 존재하므로 증발속도가 제한된다는 문제점도 있다.On the other hand, boats made of amorphous carbon or graphite are not only inexpensive, but also have excellent processability and electrical properties. When used as a resistive heating evaporation source, evaporation of metal materials with relatively low melting point and low reactivity is difficult. It is possible. However, evaporation rate is very low for materials such as gold, silver, copper, etc., where wetting does not occur on the surface of graphite, and if the temperature is increased to increase the evaporation rate, the evaporation metal liquid is scattered and the loss of evaporation metal is of course. As a result, problems such as lumps of evaporates stick to the substrate and damage the coating. In addition, there is also a problem that the evaporation rate is limited because there is a limit to increase the temperature to prevent scattering.

본 발명에서는 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 비정질 탄소나 흑연의 장점인 가격, 가공성, 전기적 특성과 텅스텐이나 몰리브덴의 장점인 우수한 젖음성을 동시에 가지는 고속 증발용 보트(증발원) 및 그 제조 방법을 제공하고자 하는 것이다.In order to solve the above problems, the present invention provides a high-speed evaporation boat (evaporation source) and its manufacture which simultaneously have the advantages of price, processability, and electrical properties of amorphous carbon or graphite and excellent wettability of tungsten or molybdenum. To provide a way.

도 1은 본 발명의 보트의 개략도로서,1 is a schematic view of a boat of the present invention,

도 1a는 평면도,1a is a plan view,

도 1b는 측면도,1b is a side view,

도 1c는 도 1a의 A-A 선을 따른 단면도,1C is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG. 1A;

도 2는 본 발명의 보트가 설치되는 증착 시스템의 개략도,2 is a schematic diagram of a deposition system in which a boat of the present invention is installed;

도 3은 본 발명의 효과를 설명하기 위한 구리의 증발율 그래프.3 is an evaporation rate graph of copper for explaining the effect of the present invention.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Major Parts of Drawings>

1 : 보트(증발원) 몸체 2 : 버퍼형 와이어 고정부1: boat (evaporator) body 2: buffer type wire fixing part

3 : 금속 와이어 4 : 보트 홀딩부3: metal wire 4: boat holding part

5 : 증발 부위5: evaporation site

11 : 진공용기 12 : 셔터11: vacuum container 12: shutter

13 : 기판 14 : 기판 홀더13 substrate 14 substrate holder

15 : 두께 측정기 16 : 보트 가열용 전원15 thickness gauge 16 boat heating power supply

17 : 보트 홀더 18 : 기판 가열 장치17 boat holder 18 substrate heating apparatus

상기와 같은 기술적 과제를 달성하기 위하여 본 발명은 진공 중에서 전류를 직접 통과시켜 가열시킴에 의해 보트 내에 담겨있는 물질을 녹여 증발시키는 저항가열 증발원인 보트에 있어서,In order to achieve the above technical problem, the present invention provides a boat that is a resistance heating evaporation source for melting and evaporating a material contained in a boat by directly heating a current in a vacuum,

비정질 탄소나 흑연 재질로 이루어지며, 일정한 가로길이 및 세로길이, 두께를 가지는 얇고 긴 판 형태로 형성되어 가열체로 사용되는 보트 몸체(1)와;A boat body (1) made of amorphous carbon or graphite and formed in a thin and long plate shape having a constant horizontal length, vertical length, and thickness;

상기 보트 몸체(1)의 길이방향 양단부에 마련된 보트 홀딩부(4)와;Boat holding portions 4 provided at both ends of the boat body 1 in the longitudinal direction;

상기 보트 홀딩부(4)를 제외한 보트 몸체(1)의 상면에 형성된 일정한 가로길이 및 세로길이, 깊이를 가지는 홈 구조와;A groove structure having a predetermined horizontal length, a vertical length, and a depth formed on an upper surface of the boat body 1 except the boat holding portion 4;

우수한 젖음 특성을 이용하기 위하여 텅스텐이나 몰리브덴 재질로 형성되며, 상기 홈 구조의 바닥면인 증발부위(5)에 상기 홈 구조의 가로 및 세로 경계면으로부터 이격하여, 또한 각 금속 와이어(3)끼리 서로 이격하여 보트 몸체(1)의 길이방향을 따라서 심어져서 부착 설치되는 다수개의 금속 와이어(3)로 구성됨을 특징으로 하는 고속 증발용 보트를 제공하며,It is formed of a tungsten or molybdenum material in order to use the excellent wettability characteristics, spaced apart from the horizontal and vertical interface of the groove structure on the evaporation site (5), which is the bottom surface of the groove structure, and the metal wires 3 are spaced apart from each other. It provides a high-speed evaporation boat, characterized in that consisting of a plurality of metal wires (3) which are planted and attached along the longitudinal direction of the boat body (1),

이때 상기 보트는 상기 홈 구조의 양단에는 각 금속 와이어(3)의 양단을 끼워서 지지할 수 있도록 하기 위하여 상기 금속 와이어(3)의 배열 방향과 동일 방향으로 상기 금속 와이어(3)의 갯수만큼 빈 공간부와 지지 돌기부가 교대로 형성되어 있는 버퍼형 와이어 고정부(2)를 더욱 구비하여 구성되는 것이 바람직하고,In this case, the boat has an empty space corresponding to the number of the metal wires 3 in the same direction as the arrangement direction of the metal wires 3 so as to support both ends of the metal wires 3 at both ends of the groove structure. It is preferable to be further comprised by the buffer type wire fixing part 2 by which the part and the support protrusion part are formed alternately,

또한, 상기 보트의 금속 와이어(3)는 그 지름이 1 내지 3mm인 것이 바람직하다.In addition, the metal wire 3 of the boat preferably has a diameter of 1 to 3 mm.

한편, 본 발명에 있어서는 진공 중에서 전류를 직접 통과시켜 가열시킴에 의해 보트 내에 담겨있는 물질을 녹여 증발시키는 저항가열 증발원인 보트를 제조하는 방법에 있어서,On the other hand, in the present invention, in the method of manufacturing a boat which is a resistance heating evaporation source for melting and evaporating a substance contained in the boat by directly heating the current in a vacuum,

증발속도가 5분을 기준으로 하여 증발표면의 cm²당 1g 이상이 되도록 하기 위하여 발열체인 비정질 탄소 또는 흑연 보트 몸체(1)를 얇고 긴 판 형태로 가공하여 형성하는 단계와;Processing the amorphous carbon or graphite boat body (1), which is a heating element, in a thin and long plate form so that the evaporation rate is 1 g or more per cm ² of the evaporation surface based on 5 minutes;

상기 보트 몸체(1)의 양단의 보트 홀딩부(4)를 제외한 상면에 홈 구조를 형성하는 단계와;Forming a groove structure on the upper surface of the boat body except for the boat holding portions (4) at both ends of the boat body (1);

상기 홈 구조 바닥부에 다수의 금속 와이어(3)를 심어서 부착하는 단계와;Planting and attaching a plurality of metal wires (3) to the bottom of the groove structure;

선택적으로 상기 양측 보트 홀딩부(4)와 홈 구조 사이에 보트 몸체(1)의 길이방향으로 공간부와 돌기부를 교대로 구비하는 버퍼형 와이어 고정부(2)를 가공 형성하는 단계로 구성됨을 특징으로 하는 고속 증발용 보트의 제조 방법도 제공한다.And optionally forming a buffer-type wire fixing part 2 having a space portion and a protrusion portion alternately in the longitudinal direction of the boat body 1 between the boat holding portions 4 and the groove structure on both sides. It also provides a method for producing a high speed evaporation boat.

이하, 상기와 같은 구성을 가지는 본 발명의 구성 및 실시예를 첨부된 도면을 참조하면서 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, the configuration and embodiments of the present invention having the configuration as described above will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 보트의 개략도이다. 도 1a는 보트의 평면도이고, 도 1b는 그 단면도이며, 도 1c는 도 1a의 A-A 부분의 횡단면 확대도를 각각 나타낸 것이다.1 is a schematic view of a boat of the present invention. FIG. 1A is a plan view of the boat, FIG. 1B is a cross-sectional view thereof, and FIG. 1C shows a cross-sectional enlarged view of part A-A of FIG. 1A, respectively.

본 발명의 보트 몸체(1)는 비정질 탄소나 흑연 재질로 이루어진다. 이는 양단에서 전류를 통과시킬 때 발생하는 저항에 의한 열을 이용하여 증발용 금속에 대한 가열체로서 사용하기 위한 것이다.The boat body 1 of the present invention is made of amorphous carbon or graphite material. This is for use as a heating element for the metal for evaporation using heat due to the resistance generated when passing a current at both ends.

상기 보트 몸체(1)는 일정한 가로길이 및 세로길이, 두께를 가지고 있는 얇고 긴 판 형태로 가공 및 형성된다. 이는 종래의 보트에 있어서도 마찬가지인데,그 이유는 전류를 양단에서 통과시킬 때 보다 많은 양의 열을 발생시키기 위하여 저항이 클 필요가 있으며, 그 저항은 단면적에 반비례하고 길이에 비례하므로 얇고 길 필요가 있고, 또한 그 상부에 형성되는 홈 구조의 증발 부위(5) 및 금속 와이어(3)에서 녹는 증발용 금속을 수용하기 위하여는 판 형태로 가공함이 유리하기 때문이다. 여기서 가로 또는 세로는 도면에 도시된 바에 따르도록 하기로 하며, 따라서 가로길이라 함은 전류가 흐르는 방향의 길이를 말하고, 세로길이라 함은 그 직각인 길이를 말한다.The boat body 1 is processed and formed in the form of a thin and long plate having a constant length and length, thickness. The same is true of conventional boats, since the resistance needs to be large in order to generate more heat when passing current through both ends, and the resistance needs to be thin and long because it is inversely proportional to the cross-sectional area and proportional to the length. This is because it is advantageous to process in the form of a plate in order to accommodate the evaporation metal 5 melting in the groove structure and the metal wire 3 formed in the groove structure formed thereon. Here, the horizontal or vertical is to be as shown in the drawings, so the horizontal length refers to the length of the current flow direction, the vertical length refers to the length perpendicular to the.

상기 보트 몸체(1)의 길이방향 양단부에는 보트 홀딩부(4)가 마련되어 있는데, 이는 종래의 보트에 있어서도 마찬가지로 구비되어 있는 것이며, 상기 보트 홀딩부(4)에 진공용기(11) 내의 보트 홀더(17)가 접속하여 전류를 인가하면서 고정하기 위한 부분이다.Boat holding portions 4 are provided at both ends of the boat body 1 in the longitudinal direction, which are similarly provided in the conventional boat, and the boat holders 4 in the vacuum vessel 11 are provided in the boat holding portions 4. 17) is for connecting and fixing while applying current.

상기 보트 홀딩부(4)를 제외한 보트 몸체(1)의 상면에는 일정한 가로길이 및 세로길이, 깊이를 가지는 홈 구조가 형성된다. 상기 홈 구조는 가열에 의하여 녹은 증발용 금속의 액체가 흘러내리지 않도록 하는 용기 역할을 하게 되며, 또한 그 부분은 타 부분에 비하여 두께가 얇아지므로 저항이 증가하여 보다 많은 열을 발생시킬 수 있는 구조를 형성하는 역할을 동시에 하는 것이다.On the upper surface of the boat body 1, except for the boat holding portion 4, a groove structure having a constant horizontal length, vertical length, and depth is formed. The groove structure serves as a container to prevent the liquid of the evaporated metal melted from flowing down, and the portion of the groove structure becomes thinner than other portions, so that the resistance is increased to generate more heat. At the same time to form a role.

상기 홈 구조는 도 1a에서 볼 때 일정한 가로 및 세로길이를 가지는데, 이는 가로길이가 너무 긴 경우에는 증발 부위(5)의 위치에 따라 중앙부는 고온으로, 주변부는 저온으로 가열되어 온도에 편차가 발생할 우려가 있고, 또한 반대로 세로길이가 너무 긴 경우에는 저항치가 저하되어 열의 발생이 적어지는 단점이 있기 때문에 계산 또는 실험을 통하여 일정한 길이 범위를 유지하도록 함이 바람직하기 때문이다.The groove structure has a constant horizontal and vertical length as shown in FIG. 1A, which is, when the horizontal length is too long, the central portion is heated to a high temperature and the peripheral portion is heated to a low temperature according to the position of the evaporation portion 5. If the length is too long, on the contrary, since the resistance value decreases and the generation of heat is reduced, it is preferable to maintain a constant length range through calculation or experiment.

상기 홈 구조는 도 1b에서 볼 때 일정한 깊이를 가지는데, 이는 깊이가 너무 깊은 경우에는 보트 몸체(1)가 구조적으로 약해져서 파손의 위험이 있고, 깊이가 너무 앝은 경우에는 용융되는 증발용 금속이 넘쳐버릴 수 있기 때문에 계산 또는 실험을 통하여 일정한 깊이 범위를 유지하도록 함이 바람직하기 때문이다.The groove structure has a certain depth as seen in FIG. 1B, which is too deep if the boat body 1 is structurally weakened, and there is a risk of breakage. Since it may overflow, it is preferable to maintain a constant depth range through calculation or experiment.

상기 홈 구조의 바닥면에는 도 1a에 도시된 상기 홈 구조의 가로 및 세로 경계면으로부터 이격하여, 또한 각 금속 와이어(3)끼리 서로 이격하여 보트 몸체(1)의 길이방향을 따라서 다수개의 금속 와이어(3)가 심어져서 부착 설치된다. 또한 상기 금속 와이어(3)는 우수한 젖음 특성을 이용하기 위하여 텅스텐이나 몰리브덴 재질로 형성된다.The bottom surface of the groove structure is spaced apart from the horizontal and vertical boundary surface of the groove structure shown in Figure 1a, each metal wire 3 is spaced apart from each other a plurality of metal wires along the longitudinal direction of the boat body ( 3) is planted and attached. In addition, the metal wire 3 is formed of a tungsten or molybdenum material in order to use the excellent wettability.

여기서 환언하면 상기 각 금속 와이어(3)들은 측면에 있어서 어느 것과도 접촉되지 않도록 설치되는데, 그 이유는 가열에 의하여 열팽창이 발생할 경우에 비정질 탄소 또는 흑연으로 이루어진 보트 몸체(1)보다는 텅스텐 또는 몰리브덴으로 이루어진 금속 와이어(3)가 열팽창률이 더욱 크기 때문에 마진을 두지 않으면 상호간의 간섭으로 인하여 변형 또는 파손의 우려가 있기 때문이다.In other words, each of the metal wires (3) is installed so as not to come into contact with any of the side, because when thermal expansion occurs by heating is made of tungsten or molybdenum rather than the boat body (1) made of amorphous carbon or graphite This is because there is a risk of deformation or breakage due to mutual interference if the metal wire 3 made has a higher thermal expansion coefficient and no margin.

상기 금속 와이어(3)는 열의 전도도가 뛰어나므로 증발 부위(5)의 길이방향 온도 편차를 보정해주는 역할도 한다.Since the metal wire 3 has excellent thermal conductivity, the metal wire 3 also serves to correct a longitudinal temperature deviation of the evaporation part 5.

그리고 상기 금속 와이어(3)가 설치되지 않은 홈 구조의 바닥면은 비정질 탄소 또는 흑연으로 구성되는 증발 부위(5)가 된다. 여기서 종래의 흑연 등으로만 구성된 보트와 비교하여 보면 증발 부위(5)에서는 역시 비산 현상이 발생될 수도 있지만, 간헐적으로 설치되어 있는 금속 와이어(3)에 의하여 열의 평형화가 이루어지고, 또한 금속 와이어(3)의 높은 젖음성에 따라 용융 금속이 넓게 퍼지는 효과가 있어서 비산 현상은 극히 억제되는 것이다.And the bottom surface of the groove structure in which the metal wire 3 is not provided becomes the evaporation part 5 which consists of amorphous carbon or graphite. In comparison with the conventional boat made of graphite or the like, the scattering phenomenon may also occur at the evaporation part 5, but the heat is equilibrated by the metal wire 3 intermittently installed, and the metal wire ( Due to the high wettability of 3), the molten metal spreads widely, and the scattering phenomenon is extremely suppressed.

상기 금속 와이어(3)를 홈 구조의 바닥에 심는 방법은 여러가지를 생각할 수 있으나, 실시예로서 열팽창을 고려하면 도 1c에 도시된 바와 같이 상기 홈 구조의 바닥면을 금속 와이어(3)의 외형과 일치하게 반원형 홈 등으로 가공하여 수납하는 방법도 고려될 수 있다.Various methods of planting the metal wire 3 on the bottom of the groove structure can be considered. However, in consideration of thermal expansion, as shown in FIG. 1C, the bottom surface of the groove structure is formed with the outer shape of the metal wire 3. Correspondingly, a method of processing a semicircular groove or the like and storing the same may also be considered.

또한 도면에 있어서는 상기 금속 와이어(3)로서 6개만을 도시하였는데, 이는 단 한개만을 설치할 수도 있고, 여러 개를 설치할 수도 있다.In addition, in the drawing, only six of the metal wires 3 are shown, which may be provided with only one or several.

이때, 실시예로서는 홈 구조의 양단측에는 금속 와이어(3)를 꼭맞게 삽입하여 지지할 수 있도록 공간부와 돌기부를 교대로 가지는 버퍼형 와이어 고정부(2)를 상기 금속 와이어(3)의 배열방향과 일치시켜 형성하여 더욱 구비하도록 구성하는 것이 바람직한데, 금속 와이어(3)의 양단의 지지를 유지하면서도 열팽창에 따른 금속 와이어(3)의 변형을 방지하기 위한 역할을 한다. 상기 버퍼형 와이어 고정부(2)의 마진은 보트 몸체(1)의 전체 길이, 금속 와이어(3)의 굵기 및 배열 등을 고려하여 계산 또는 실험에 의하여 정하는 것이 바람직하다.At this time, in the embodiment, the buffer-type wire fixing part 2 which has the space part and the protrusion part alternately so that the metal wire 3 can be inserted and supported by the both ends of a groove structure in the arrangement direction of the said metal wire 3 and It is preferable to be formed in accordance with the configuration to further provide, while maintaining the support of both ends of the metal wire (3) serves to prevent deformation of the metal wire (3) due to thermal expansion. The margin of the buffer-type wire fixing part 2 is preferably determined by calculation or experiment in consideration of the overall length of the boat body 1, the thickness and arrangement of the metal wire 3, and the like.

또한, 실시예로서 상기 보트의 금속 와이어(3)는 그 직경이 1 내지 3mm인 것이 바람직한데, 이는 실험에 의하면 직경이 1mm 이하인 경우에는 가공성이 급격히 떨어지고 변형에 약하며, 직경이 3mm 이상인 경우에는 단면적이 커지므로 저항이작아져서 열의 발생이 적어지는 문제점이 있기 때문이다.In addition, as an example, the metal wire 3 of the boat preferably has a diameter of 1 to 3 mm. According to the experiment, when the diameter is 1 mm or less, the workability is sharply deteriorated and the deformation is weak, and when the diameter is 3 mm or more, the cross-sectional area This is because there is a problem that the resistance is small, so that the generation of heat is small because of the increase.

한편, 본 발명의 고속 증발용 보트의 제조 방법에 있어서는 먼저 발열체인 비정질 탄소 또는 흑연 보트 몸체(1)를 얇고 긴 판 형태로 가공하여 형성하여야 한다. 즉, 상기 단계는 시판되는 비정질 탄소 또는 흑연 덩어리를 보트 형상으로 몰드에 의하여 또는 카빙작업 등에 의하여 가공하는 과정이다.On the other hand, in the manufacturing method of the high-speed evaporation boat of the present invention, first, the amorphous carbon or graphite boat body 1, which is a heating element, should be formed by processing into a thin and long plate shape. That is, the step is a process of processing a commercially available amorphous carbon or graphite lump in the form of a boat by a mold or a carving operation.

다음 단계는 용융된 금속이 저장되는 홈 구조를 형성하는 단계인데, 홈 구조는 상기 보트 몸체(1)의 양단의 보트 홀딩부(4)를 제외한 상면에 형성된다. 형성의 방법은 카빙작업에 의하여도 좋고, 아니면 상기 보트 몸체(1)를 형성하는 단계에서 동시에 형성하여도 좋다.The next step is to form a groove structure in which the molten metal is stored, the groove structure being formed on the upper surface except for the boat holding portions 4 at both ends of the boat body 1. The forming method may be performed by carving or may be simultaneously formed in the step of forming the boat body 1.

다음 단계는 상기 홈 구조 바닥부에 다수의 금속 와이어(3)를 심어서 부착하는 단계인데, 상기 심어서 부착하는 작업은 금속을 용융시켜 홈 구조 바닥부에 미리 마련되어 있는 요철 구멍에 집어넣은 후 고형화시키는 공정에 의하여도 좋고, 홈 구조의 바닥면을 금속 와이어(3)의 외형과 일치시켜 자리를 마련해두고 이에 금속 와이어(3)를 삽입시켜 부착하여도 좋다.The next step is planting and attaching a plurality of metal wires 3 to the bottom of the groove structure. The planting and attaching operation involves melting the metal and inserting the metal into the uneven holes provided in the bottom of the groove structure. The process may be carried out, or the bottom surface of the groove structure may be aligned with the outer shape of the metal wire 3 to provide a seat, and the metal wire 3 may be inserted and attached thereto.

다음 단계는 선택적인 단계로서, 상기 양측 보트 홀딩부(4)와 홈 구조 사이에 금속 와이어(3)의 양단을 지지하기 위하여 금속 와이어(3)의 배열방향으로 공간부와 돌기부를 교대로 가지는 버퍼형 와이어 고정부(2)를 가공 형성하는 단계인데, 여기서 상기 버퍼형 와이어 고정부(2)의 길이와 폭, 깊이 등의 치수는 금속 와이어(3)의 크기와 갯수, 배열 등을 고려하여 결정한다. 상기 버퍼형 와이어 고정부(2)는 보트 몸체(1)와 일체형으로 형성하여도 좋다.The next step is an optional step, a buffer having alternating spaces and protrusions in the arrangement direction of the metal wires 3 to support both ends of the metal wires 3 between the boat holding portions 4 and the groove structure. The process of forming the type wire fixing portion 2, wherein the length, width, depth, etc. of the buffer-type wire fixing portion 2 is determined in consideration of the size, number, arrangement, etc. of the metal wire (3). do. The buffer wire fixing part 2 may be formed integrally with the boat body 1.

한편, 상기와 같은 구성을 가지는 본 발명의 보트는 도 2에 도시된 바와 같은 증착 시스템에서 종래의 보트의 위치에 대신하여 설치되어 사용된다.On the other hand, the boat of the present invention having the configuration as described above is used in place of the position of the conventional boat in the deposition system as shown in FIG.

이러한 장치에 본 발명의 보트가 설치된 상태에서 실험한 결과를 설명한다.The result of the experiment in the state in which the boat of this invention is installed in this apparatus is demonstrated.

실시예는 본 발명의 보트를 이용하여 구리를 증발시킨 경우이며, 사용된 보트의 재질은 흑연으로서 밀도가 1.8 g/cm³이며, 보트 몸체(1)의 크기는 가로 15 cm, 세로 2 cm, 그리고 높이가 0.5 cm 가 되도록 가공하였고, 금속 와이어(3)로서는 1 mm 직경의 몰리브덴 와이어를 흑연 홈 구조의 바닥 표면에 6 개를 심어 증발원으로 이용하였다.The embodiment is a case where the copper is evaporated using the boat of the present invention, the material of the boat used is graphite, the density is 1.8 g / cm ³ , the size of the boat body 1 is 15 cm in width, 2 cm in length, Then, the height was 0.5 cm, and as the metal wire 3, six 1 mm diameter molybdenum wires were planted on the bottom surface of the graphite groove structure and used as the evaporation source.

세부적으로는 먼저 시판되는 비정질 탄소나 흑연 덩어리를 보트 형상으로 가공하여 증발원인 보트로 제작한다. 가공된 보트는 보트(흑연) 몸체(1), 버퍼형 와이어 고정부(2), 금속(몰리브덴) 와이어(3), 보트 홀딩부(4), 그리고 증발 부위(5)로 구성되어 있다.In detail, first, commercially available amorphous carbon or graphite lumps are processed into a boat shape to produce a boat as an evaporation source. The processed boat consists of a boat (graphite) body 1, a buffered wire fixing part 2, a metal (molybdenum) wire 3, a boat holding part 4, and an evaporation part 5.

우선, 보트 형상으로 가공된 보트 몸체(1)에 금속 와이어(3)를 삽입시키기 위해 금속 와이어(3)가 적절히, 바람직하게는 도 1c에 도시된 바와 같이 1/2 또는 2/3 이상 증발 부위(5)에 묻혀서 고정되도록 가공한다. 이때 금속 와이어(3)가 열팽창에 의하여 변형이 발생하지 않도록 각 금속 와이어(3)의 상하좌우에 공간 여유가 있도록 홈 구조의 경계벽과 이격하면서 버퍼형 와이어 고정부(2)에 고정한다.First, in order to insert the metal wire 3 into the boat body 1 processed into a boat shape, the metal wire 3 is properly evaporated at least 1/2 or 2/3 as shown in Fig. 1C. Process it so that it is buried in (5) and fixed. At this time, the metal wire 3 is fixed to the buffer-type wire fixing part 2 while being spaced apart from the boundary wall of the groove structure so that there is a space margin in the top, bottom, left and right sides of each metal wire 3 so that deformation does not occur due to thermal expansion.

이렇게 조립이 완료된 보트를 도 2의 진공증착 시스템의 진공용기(11) 안의 보트 홀더(17)에 장착시킨 다음, 증발용 금속인 덩어리 형상의 구리를 금속와이어(3) 사이의 증발 부위(5)에 골고루 넣는다. 그 다음 진공 펌프(도면에 표시하지 않음)를 이용하여 10^-5Torr 이하의 압력으로 배기한 후, 보트 가열용 전원(16)에 전원을 인가하여 구리를 녹인다.After the assembly is completed, the boat is mounted on the boat holder 17 in the vacuum container 11 of the vacuum deposition system of FIG. 2, and then the evaporation part 5 between the metal wires 3 is formed with a lump-shaped copper, which is an evaporation metal. Evenly put in. After evacuating using a vacuum pump (not shown) to a pressure of 10 ⁻⁵ Torr or less, power is applied to the boat heating power supply 16 to melt copper.

가열 초기에는 구리가 금속 와이어(3) 사이의 증발 부위(5) 표면에서 군데군데 뭉쳐지다가, 일정 온도 이상이 되면 금속 와이어(3)를 타고 젖음 현상이 일어난다. 일단 금속 와이어(3)에서 젖음 현상이 발생하면 가열 초기에 뭉쳐져 있던 구리가 금속 와이어(3) 및 증발 부위(5) 전면에 고르게 퍼지면서 증발이 일어나게 된다.In the initial stage of heating, copper aggregates in various places on the surface of the evaporation site 5 between the metal wires 3, and when the temperature is higher than a predetermined temperature, wetting occurs on the metal wires 3. Once the wetting phenomenon occurs in the metal wire 3, the copper, which has been aggregated at the initial stage of heating, is evenly spread over the front surface of the metal wire 3 and the evaporation part 5 to evaporate.

구리의 증발 및 끓음 현상이 시작되면 셔터(12)를 열고 미리 장착된 기판(13)에 구리를 증착시키게 된다. 상기 실시예에서 사용한 기판(13)은 가로, 세로 및 높이가 10 cm x 10 cm x 1mm 크기의 플라스틱 기판이었으며, 이는 기판 홀더(14)에 장착하였다. 금속 기판을 사용할 경우에는 때에 따라서 기판 가열 장치(18)를 이용하여 기판의 온도를 올려 실험하였다.When the evaporation and boiling of copper starts, the shutter 12 is opened and copper is deposited on the pre-mounted substrate 13. The substrate 13 used in the above example was a plastic substrate having a width, length, and height of 10 cm x 10 cm x 1 mm, which was mounted on the substrate holder 14. When using a metal substrate, the temperature of the board | substrate was experimented by using the board | substrate heating apparatus 18 at some time.

증발율의 측정은 석영 진동자가 구비된 두께 측정기(15)를 이용하였으며, 최종 증발율과 최종 두께를 이로부터 얻었다. 실시예에서는 또한 본 발명의 보트를 이용하여 구리를 증발시킬 경우의 증발 효율을 측정하기 위하여 단위시간에 증발되는 구리의 양을 미소 저울을 이용하여 계산하였다.The evaporation rate was measured using a thickness gauge 15 equipped with a quartz vibrator, and the final evaporation rate and final thickness were obtained therefrom. In the examples, the amount of copper evaporated in unit time was calculated using a microbalance to measure the evaporation efficiency when copper was evaporated using the boat of the present invention.

그 결과, 실시예의 보트의 경우에는 5분을 기준으로 하여 증발 표면의 단위면적 cm²당 1g 이상의 증발량을 얻을 수 있었다.As a result, in the case of the boat of the Example, the evaporation amount of 1 g or more per cm ² of the unit area of the evaporation surface was obtained based on 5 minutes.

도 3은 상기와 같이 본 발명의 방법으로 제조된 흑연 보트를 이용하여 구리를 증발시킨 경우로서, 보트의 증발부위의 면적을 변화시켜 가면서 5분간 증발된 구리의 양을 비교하여 도시한 것이다. 여기서 증발면의 면적이 증가되면 이에 비례하여 몰리브덴 와이어의 갯수나 길이를 변화시켰다.Figure 3 is a case where copper is evaporated using the graphite boat manufactured by the method of the present invention as described above, and shows the comparison of the amount of copper evaporated for 5 minutes while changing the area of the evaporation portion of the boat. Here, as the area of the evaporation surface increases, the number and length of molybdenum wires are changed in proportion to this.

결과적으로 도 3에서 보는 바와 같이 증발면의 면적에 비례해서 구리의 증발량도 직선적으로 변화됨을 알 수 있다. 이러한 사실로부터 본 발명의 보트를 이용하면 증발면의 면적만 알고 있다면 주어진 시간동안 증발되는 구리의 양을 쉽게 예측할 수 있음을 확인할 수 있다. 즉, 별도의 두께 측정기(15)를 이용하지 않더라도 기판(13)에 증착되는 피막의 두께를 손쉽게 예측할 수 있는 장점이 있다는 것이다.As a result, as shown in FIG. 3, the amount of copper evaporated linearly changes in proportion to the area of the evaporation surface. From this fact, it can be seen that using the boat of the present invention, if only the area of the evaporation surface is known, the amount of copper evaporated in a given time can be easily predicted. That is, even if a separate thickness meter 15 is not used, there is an advantage that the thickness of the film deposited on the substrate 13 can be easily estimated.

한편, 증발원의 수명을 조사하기 위해 동일한 방법으로 10여 차례 이상 반복 실험을 하였으나, 그 결과 본 발명의 보트의 파손이나 증발율 저하 등의 문제가 전혀 나타나지 않는 것으로 확인되었다.On the other hand, in order to examine the life of the evaporation source was repeated more than 10 times in the same method, but as a result it was confirmed that no problems such as damage of the boat of the present invention, lowering evaporation rate.

그리고 상기 실험은 증발물질로서 구리에 대하여 실험한 것만을 예시하였지만, 금이나 은에 대하여도 동일한 결과를 얻을 수 있다.In addition, although the experiments exemplify only those experiments with copper as evaporation materials, the same results can be obtained with gold or silver.

상기에 있어서 본 발명은 한정된 실시예에 의하여 설명하고 있으나, 이에 본 발명의 기술적 사상이 한정되는 것은 아니며, 발명의 동일성의 범주 내에서 어떠한 변형 실시를 하여도 본 발명의 범위에 속하는 것임은 당연하다.In the above, the present invention has been described by means of a limited embodiment, but the technical idea of the present invention is not limited thereto, and it is obvious that any modifications made within the scope of the present invention belong to the scope of the present invention. .

상기 본 발명에 의한 보트는 플라스틱이나 고분자 또는 금속 기판에 금, 은, 구리 등과 같은 저융점 금속으로 구성되는 전자기 차폐 및 도전막을 부여하는 모든코팅 시스템에 적용이 가능하다.The boat according to the present invention can be applied to all coating systems for providing electromagnetic shielding and conductive films composed of low melting point metals such as gold, silver, copper, etc. to plastics, polymers, or metal substrates.

특히, 고속 증발이 가능하면서 증발 부위(5) 전면의 온도를 고르게 유지하고 길이 방향의 온도차를 방지할 수 있으므로 국부적인 가열 편차가 획기적으로 감소하여 증발물의 요동이 없이 안정적인 가열이 가능하며, 동시에 증발원의 수명을 대폭 향상시켜 생산성 및 코팅 제품의 원가 절감에 기여할 수 있다. 또한, 보트의 수명연장으로 인한 보트 교체시간 절약 및 공정의 안정성을 확보할 수 있어서 제품 수율 제고 및 품질향상 등 경제적 효과를 제공할 것으로 기대되는 매우 획기적인 효과가 있다.In particular, high-speed evaporation is possible, while maintaining the temperature of the entire surface of the evaporation part 5 evenly and preventing the temperature difference in the longitudinal direction, the local heating deviation is drastically reduced, so that stable heating is possible without fluctuation of the evaporation material, and at the same time Significantly improve the service life of the product, which can contribute to productivity and cost reduction of coating products. In addition, the boat replacement time and the stability of the process can be secured due to the extended life of the boat, which is expected to provide economic effects such as product yield improvement and quality improvement.

Claims

진공 중에서 전류를 직접 통과시켜 가열시킴에 의해 보트 내에 담겨있는 물질을 녹여 증발시키는 저항가열 증발원인 보트에 있어서,In a boat which is a resistance heating evaporation source for melting and evaporating a substance contained in a boat by directly heating a current through a vacuum,

우수한 젖음 특성을 이용하기 위하여 텅스텐이나 몰리브덴 재질로 형성되며, 상기 홈 구조의 바닥면인 증발부위(5)에 상기 홈 구조의 가로 및 세로 경계면으로부터 이격하여, 또한 각 금속 와이어(3)끼리 서로 이격하여 보트 몸체(1)의 길이방향을 따라서 심어져서 부착 설치되는 다수개의 금속 와이어(3)로 구성됨을 특징으로 하는 고속 증발용 보트.It is formed of a tungsten or molybdenum material in order to use the excellent wettability characteristics, spaced apart from the horizontal and vertical interface of the groove structure on the evaporation site (5), which is the bottom surface of the groove structure, and the metal wires 3 are spaced apart from each other. High speed evaporation boat, characterized in that consisting of a plurality of metal wires (3) which are planted and attached along the longitudinal direction of the boat body (1).

제1항에 있어서, 상기 홈 구조의 양단에는 각 금속 와이어(3)의 양단을 끼워서 지지할 수 있도록 하기 위하여 상기 금속 와이어(3)의 배열 방향과 동일 방향으로 상기 금속 와이어(3)의 갯수만큼 빈 공간부와 지지 돌기부가 교대로 형성되어 있는 버퍼형 와이어 고정부(2)를 더욱 구비하여 구성됨을 특징으로 하는 고속 증발용 보트.The method according to claim 1, wherein both ends of the groove structure are provided by the number of metal wires 3 in the same direction as the arrangement direction of the metal wires 3 so as to support both ends of each of the metal wires 3. A high speed evaporation boat, characterized by further comprising a buffer-type wire fixing portion (2) in which an empty space portion and a support protrusion are alternately formed.

제1항에 있어서, 상기 금속 와이어(3)는 그 지름이 1 내지 3mm가 되도록 구성됨을 특징으로 하는 고속 증발용 보트.2. The high speed evaporation boat according to claim 1, wherein the metal wires are configured to have a diameter of 1 to 3 mm.

진공 중에서 전류를 직접 통과시켜 가열시킴에 의해 보트 내에 담겨있는 물질을 녹여 증발시키는 저항가열 증발원인 보트를 제조하는 방법에 있어서,In the method of manufacturing a boat which is a resistance heating evaporation source that melts and evaporates a substance contained in a boat by directly heating an electric current in a vacuum,

선택적으로 상기 양측 보트 홀딩부(4)와 홈 구조 사이에 보트 몸체(1)의 길이방향으로 공간부와 돌기부를 교대로 구비하는 버퍼형 와이어 고정부(2)를 가공 형성하는 단계로 구성됨을 특징으로 하는 고속 증발용 보트의 제조 방법.And optionally forming a buffer-type wire fixing part 2 having a space portion and a protrusion portion alternately in the longitudinal direction of the boat body 1 between the boat holding portions 4 and the groove structure on both sides. The manufacturing method of the boat for high speed evaporation made into.