KR20030034248A - 인쇄회로기판상의 건조 감광막 열간 적층 - Google Patents

Abstract

인쇄회로기판(1) 상의 박리성(peelable-off) 커버 시트(cover sheet)에 지원된 건조 감광막(3,4)을 열간 적층시키기 위한 자동화 기계는 적어도 한 쌍의 열간 적층 롤(roll), 상기 한 쌍의 적층 롤(11,12)의 입구측으로 예열된 기판을 공급하기 위한 이동 수단, 상기 지원된 건조 감광막의 권취된 연속띠의 적어도 하나의 공급 롤, 지원된 건조 감광막 띠의 자유 단부를 유지하는 진공 수단(5,6), 상기 적층롤 쌍의 입구측을 향해 이동하는 기판 표면의 주어진 위치에서 상기 진공이 유지된 띠의 자유단부의 선단을 누르고 고정시키는 수단, 공급된 기판의 길이 때문에 조정하는 절단 수단을 유지 및 고정시키는 상기 띠의 단부에 관련된 절단기(17,18), 띠의 선단이 상기 고정 수단으로 고정된 이동 기판(1)을 따라 이동된 건조감광막 띠, 그리고 상기 롤 쌍을 통해 적층되기 전에 특정 온도에서 상기 지원된 건조 감광막을 가열시키는 수단(13,14)을 포함한다. 상기 유지, 고정 및 절단기는 기판(1)과 함께 이동하되, 상기 유지, 고정 및 절단기는 기판(1)과 함께 이동한 뒤 시작 위치로 돌아온다.

Description

인쇄회로기판상의 건조 감광막 열간 적층{HOT LAMINATION OF A DRY PHOTORESIST FILM ONTO A BOARD FOR PRINTED CIRCUIT}

인쇄회로의 제작 과정은 구현되는 회로의 각 감광 마스크 막을 통해 UV원에 의해 노출되어 중합되는, 구리가 적층된 인쇄회로기판의 한 면 또는 양면에 감광막을 적용하는 초기 과정 중 하나로 생각된다.

감광액 층은 액체 형태로 도포될 수도 있고, 감광액을 노출시키기 위해 용이하게 박리될 수 있는 커버 시트에 지원된 건조 감광막의 형태로 보다 자주 도포된다.

기판의 한 면 또는 양 면에 건조 감광막을 도포하기 위해, 특정한 열간 적층기가 이용되는데 그것은 대체로 금속(강) 코어 및 실리콘 고무의 외면을 갖고 있는 한 쌍의 적층 롤을 포함한다. 이 롤들은 일반적으로 100℃와 130℃로 이루어진 감광물질을 인공적으로 리플로우(reflow)시키기에 충분한 온도에서 가열되고 조정 가능한 압력에서 공압 작동기(pneumatic actuators)로 모두 가압된다. 롤의 접선속도(tangential velocity), 온도 및 압력은 기판의 구리표면에 감광액을 가장잘 점착시키기 위해 조작자에 의해 조정되는 적층 변수(lamination parameters)이다. 생산성의 이유로, 기판과 지원된 건조 감광막이 기능적으로 충분히 연속식으로 공급되어야 하는 자동 적층기의 사용을 강요한다. 기판은 순차적으로 공급될 수 있지만, 지원된 건조 감광막은 보통 지원된 건조막 연속띠의 공급롤에서 초래된다.

지원된 감광막의 경제적으로 과도한 낭비를 피하기 위해, 자동 적층기는 건조 감광액을 연화시키기에 충분한 시간 간격동안 동표면(copper surface)상에서 띠의 선단을 누르는 가열된 압축바(pressing bar)와 동표면상의 견고한 고정의 목적으로, 기판의 선단에 대개 근접한 정확히 사전 경정된 위치에, 인입 기판(incoming board)면 위에 있는 띠의 선단을 고정시키는 수단을 갖고 있다.

일반적으로 3에서 5초 지속되는 그러한 고정 단계 후에, 기판은 지원된 건조 감광막의 고정된 띠를 따라 나아가면서, 적층 스테이션(lamination station)의 입구측을 향한 이동을 다시 시작한다. 1 세대 자동 기계에서 기판의 선단이 롤에 걸리면 움직임은 띠의 후연(trailing edge)을 조정하도록 절단을 허용하기 위해 저지된다. 건조 감광액이 지원된 필름띠의 요구된 길이를 절단한 후에 기판과 절단된 건조 감광막은 한 쌍의 냉간 적층롤, 그 후에는 기판 표면위의 인공적으로 리플로우된 감광막의 최종 열간 적층을 실행하는 한 쌍의 열간 적층롤을 지나는 운동을 재착수한다. 지원된 건조 감광막의 절단부가 뜻밖의 주름(creases)이 있는 기판의 면 위에 너무 이르게 떨어지는 것을 방지하기 위해, 지원된 감광막의 절단부는 진공흡착기(vacuum holders)에 의해 기판의 면과 떨어져 유지된다. 따라서 냉간롤(cold rolls)을 지나는 움직임을 재시작할 때, 건조 감광막은 점진적으로 롤에 의해 기판 표면위에 놓인다.

그러한 냉각 예비적층(cold prelamination)을 포함한 이러한 공지된 기술은 결점을 갖고 있어서 그와 같이 비교적 단단한 건조 감광막은 최종 열간 적층되는 동안 거의 배출될 수 없는 미세 기포(microbubbles) 형태로 공기를 봉입(encapsulate)할 수도 있다. 이는 최종적으로 재응고 된 감광액과 동표면 사이에 접착불량 또는 비접착을 초래할 수도 있다.

이러한 공지된 기술의 다른 결점은 지원된 건조 감광막의 선단을 고정시키는 것이 띠가 부분적으로라도 발견되지 않고 끌려질 것을 보장하기 위해 비교적 튼튼해야 하는 사실에 기인한다. 또한 이 과정은 전진 보드가 저지되는 두개, 하나는 띠의 선단을 고정시키기 위한 것이고, 두 번째는 조정하기 위해 띠를 절단하기 위한 것인 틈을 포함하며, 이렇게 이 기계의 생산성을 제한한다.

최근 열간 적층롤 쌍 사이에 직접 기판 및 지원된 건조 감광막을 따로따로 공급하고 전진하는 띠와 움직이는 종동부(follower)에 의해 전해진 절삭기로 건조 필름띠의 일부를 절단함으로서 기판을 저지할 필요를 배제하려는 시도가 있어왔다.

문서 EP-A-0356221은 고정바(tacking bars)가 열간 적층롤 둘레를 편심으로 회전하는 적층기(laminating machine)를 공개한다. 이렇게, 띠의 선단을 고정한 후에, 고정바는 적층영역에서 움직여 롤들이 이러한 단계에 정적으로 남아있는 기판 위에 접근하게 한다. 이러한 시스템으로, 전체 과정이 늦춰지더라도 이동하는 기판을 따라 띠가 더 이상 당겨지지 않을 것이기 때문에 고정 작업은 더 이상 위험한 단계가 아니다. 실제로 고정시키는데 요구되는 시간에 대해, 적층 영역에서 떨어져고정바를 회전시키는 시간과 롤을 닫는데 필요한 시간은, 기판이 열간 적층롤들 사이에서 다시 진입하기 전에, 더해져야 한다. 이러한 기계에서조차 지원된 건조 필름띠의 절단은 "플라잉(flying)" 방식으로 이루어진다.

이러한 모든 공지된 적층기에서, 열간 적층을 수행하기 위한 건조 감광액의 필수적인 플라스틱 리플로우(용해)는, 열간 적층롤들 사이를 통과하는 동안 일어난다. 이는 인입 기판을 어떤 온도까지 예열시켜 적외선램프(IR lamps) 또는 소위 "캔들"형(candle type) 내부 전기 가열요소 사용자에 의해, 통제된 온도에서 적층롤의 외부 탄성중합 페이싱(elastomer facing)을 유지함으로서 이루어진다.

따라서 상이한 변수들은 일반적으로 조정되어 감광물질은 최대 압력이 적층롤에 의해 가해지기 전에 인공적으로 리플로우 온도(용해온도)에 도달한다. 이것은 일반적으로, 작업 압력(working pressure)에서, 탄성적으로 변형된 롤의 외면에 의해 가해진 최대 압력점을 지날 때 감광물질의 일부에 의해 적당한 적층온도에 도달하기에 충분한 시간 간격동안 기판의 표면위에 적층되는 감광액 층의 커버 시트와의 접촉을 유지하기에 충분한 탄성 변형을 보장하도록 비교적 유연한 탄성중합 페이싱을 이용함으로서 이루어진다.

공기 및 이러한 인자들의 중간물의 생성을 막는데 필요한 이러한 필수 차이는 가장 가능한 결과를 위해 확증되어야 한다.

본 발명은 인쇄회로기판의 제작, 특히 인쇄회로기판에 건조 감광막을 적층시키는데 이용되는 기술 및 기계에 관계된다.

도 1,2,3,4,5,6,7은 기계의 전체 팽창행정(work stroke)의 여러 단계동안, 본 발명의 적층기의 필수 기관의 기능적 구성, 상대적 위치 및 조정된 움직임의 개략도;

도 8a,8b,8c는 플라잉 방식으로 띠를 측량하도록 절단하는 장치의 확대도.

도 9는 특정 온도로 인입기판을 예열시키는데 사용된 수단의 도면;

도 10은 도 9의 예열수단의 선호된 실시예;

도 11은 세로방향으로 적층롤들을 상호적으로 진동시키는 선택적인 장치의 도면;

도 12는 본 발명의 기계의 간략도.

* 부호설명 *

1 : 기판2 : 컨베이어

3,4 : 띠5,6 : 유지바

7,8 : 공급롤9,10 : 풀리

11,12 : 열간 적층롤13,14 : 진공 유지바

15,16 : 역류바17,18 : 절단기

19,20 : 구동롤30,31 : 열간 재순환 테이프

36,37 : IR 램프38 : 온도센서

40 : 링크 플레이트41 : 중심 피벗

42 : 크랭크 조립체43,44 : 스프링

그러나 기포의 방출에 불리한 상태를 피하는 동안, 적층롤의 탄성중합 페이싱의 탄성 변형을 최소로 제한함으로서, 최적 생산성을 위한 적층 과정의불감시간(dead times)을 줄일 수 있는 자동 적층기의 필요 및/또는 유용성이 명백하다.

이러한 목적 및 관련 이점들은 기판의 표면 위 띠의 유지된 자유단부의 선단을 고정시킬 때 적층롤 쌍의 입구측에 매우 근접한 위치에 이를 정도로, 지원된 건조 감광막 띠의 자유단부의 유지수단, 고정수단 및 절단수단 모두 기판과 직동하는 본 발명의 자동 적층기에 의해 이루어진다. 기판의 표면에서 떨어져 있는, 지원된 건조 감광막 띠의 측정부에 대한 단편은 적층롤에 맞물려지기 전에 원하는 온도로 예열된다.

감광액을 적층 온도까지 예열함으로서, 열간 적층롤에 의해 맞물릴 때까지 기판의 표면에서 떨어져 있는 동안 탄성 변형 한계를 제한하는, 적층롤의 비교적 단단한 탄성중합 페이싱의 이용을 가능하게 한다. 롤의 실린더형 외면을 최소한 탄성 변형시키는 열간 적층롤 쌍에 의해 가해진 적층작용으로 기판에 인공적인 열간 유동 감광막을 점착시키는 이러한 상태는 실제로 무시해도 좋을만한 잔여 기포로 공기를 매우 효과적으로 배출하는데 유리하다.

미세기포 포획의 점착 및 해제는 수십 밀리리터의 운동 진폭을 갖는, 일반적으로 10Hz와 100Hz 사이에 이루어질 수 있는 주파수에서 왕복 모드로, 세로로 하나의 롤을 다른 하나에 관해 상호적으로 이동시킴으로서 향상될 수 있는 것으로 알려져 있다. 열간 적층하는 하나의 롤의 다른 하나에 관한 상호적인 세로방향 진동은 기포의 방출과 개선된 점착 모두를 보장하면서 인공적으로 리플로우하는 감광물질의 "확산"을 향상시킨다.

본 발명의 기계의 이같은 관점 및 이점들은 첨부 도면들을 참조로 우선적인 실시예의 다음 상세설명을 통해 보다 명백해 질 것이다.:

본 발명의 자동 기계의 전체 행정(또는 사이클)의 독특한 단계는 일련의 도 1 내지 7에 개략적으로 도시된다.

도시된 예시에서, 건조 감광막은 가장 일반적으로, 인쇄회로기판의 양 면에 도포되는 것으로 추정된다. 물론 이 기계는 이상적으로는, 단순히 기판의 다른쪽 면의 건조 감광막의 적층에 관한 기계를 쓸모없게 만듦으로서 기판의 한 면에만 건조 감광막을 도포하기에 적당하다.

도 1은 휴지 단계(idling phase) 또는 기계가 일반적으로 특정 온도에서 예열되어 새로운 기판(1)이 도달하기를 기다리고 있는 동안의 본 발명의 자동 기계의 필수 기관을 도시한다.

기판(1)은 결국 컨베이어(2) 위쪽 기계의 적층부를 향해 이동한다.

새로운 기판(1)을 대기하는 이러한 단계에서, 박리성 커버 시트에 지원된 건조 감광막의 두개의 띠(3,4)의 자유 단부들은 각각의 유지바(5,6)로 고정된다. 각 유지바는 대개 속이 비어 있어 내부는 외부와 면을 고정시키는 띠에 균일하게 분포된 다수의 홀들(5b,6b)을 지나 이어진다. 진공도는 필름띠가 바의 외면 위에서 흡입되고 점착이 유지되도록, 사실상 흡입구(5b,6b)를 막아 바의 내부에서 유지된다.

이 띠들(3,4)은 각각의 공급롤(7,8)로부터 당겨지고 그것들은 보편적 실제에 따른 각각의 가이드 캡스턴(guide capstains) 또는 풀리(pulleys)(9,10)로 적절히인장된다.

열간 적층롤(11,12)은 정확히 통제된 온도에서 유지된다.

적층롤의 입구측에 인접해 제 2 진공 유지바(13,14)가 있되 그것은; 뒤에 보다 자세히 설명될 것과 같이, 측정하도록 절단되면 건조 감광액이 지원된 막을 흡입해 유지시키도록 제 1 유지바(5,6)와 같이 유사한 중공구조를 갖는다.

두개의 고정된 제 2 유지바(13,14), 또는 보다 적절히 열간 적층영역의 입구틈(inlet gap)을 형성하는 날카로운 변부(13a,14a) 역시 정밀하게 통제된 온도에서 가열된다.

고정된 제 2 유지바(13,14)의 표면을 유지시키는 건조막과 동일 평면상이며 그로부터 이격된 곳에는 기술의 보편적 실제에 따라 건조막에서 개방된 다수의 홀들을 거쳐 건조 필름띠를 결국 흡입해 유지시키기 위해 진공 펌프에 제어 가능하게 연결되는, 각각의 중공 역류바(15,16)가 있다.

도 1에 도시된 작업 단계에서, 전체가 각각 17과 18로 표시된 두개의 절단기는 어느 정도 떨어져서 기판 이송열(conveying train) 말단의 한 쌍의 구동롤(19,20)과 대체로 동일 평면상에 유지된다.

도 2는 이송열 말단의 한 쌍의 구동롤(19,20)에 의해 맞물려진 인입기판(1)이 두개의 제 1 유지바(5,6) 사이의 간격에서 전진되는 단계를 도시한다.

기판(1)의 선단(1a)이 각각의 제 1 유지바(5,6)의 삽입물(5a,6a) 또는 가열된 고정 개스킷(tacking gaskets) 아래에 돌출되어 있는 지점에서 전진될 때, 이 바들은 기판의 각 표면 및 띠의 절단 변부인 이러한 택(tack)에 대해 건조 감광막의 절단 단부의 선단을 누르기 위해 두개의 화살표 A로 도시된 것처럼 서로 반대로 움직인다.

본 발명에서 이러한 작업은 기판(1)의 움직임을 저지하면서 이루어지지 않는다. 이에 반해 롤 컨베이어(2)의 종지부(2a), 제 1 유지 및 고정바(5,6), 절단기(17,18)는 모두 기판(1)과 함께 전진하기 시작한다.

도 2에 도시된 것처럼, 고정부(2)와 떨어져 있는 롤 컨베이어의 종지부(2a)는 그 위에서 기판(1)을 건조 감광액 띠의 두개의 선단이 고정되는 면들에 이송시킨다.

기계의 이러한 부분들이 이와 같이 전진하는 동안, 가이드 풀리(9,10)는 두 띠(3,4)에 적당한 장력을 유지한다.

도 3은 컨베이어의 지지부(2a)를 따라 열간 적층롤을 향해 기판(1)이 접근하는 단계를 도시한다.

이 기판(1) 선단의 두개의 건조 필름띠들의 선단 고정이 완성되고 기계 작업의 이러한 단계에서 전체 부분들이 적층롤(11,12)을 향해 이동하는 동안, 두개의 제 1 유지바(5,6)에 대해 진공을 적용시키는 것이 저지되어 이 두 바들(5,6)은 화살표(B)로 도시된 것처럼, 각각의 건조 필름띠의 지지 커버 시트를 미끄러지는, 적층영역을 떠나기 시작한다.

도 4는 고정된 건조 필름띠를 따라 당겨지는, 기판(1)의 선단이 기계의 열간 적층영역의 입구에 도달할 때 자동 기계의 여러 가지 기능부들에 의해 추정된 상대적인 위치를 도시한다.

도시된 바와 같이, 두개의 제 1 유지바(5,6)는 적층 영역에서 완전히 옮겨지며 그 유지면은 역류바(15,16)의 면들, 제 2 유지바(13,14)의 진공 흡입면들과 사실상 동일평면상에 있다.

이 점에서 두개의 말단 구동롤(19,20)은 회전하기 시작하며, 따라서 열간 적층롤(11,12)을 향해 기판을 계속 전진시키고, 동시에 진공이 제 1 바(5,6) 및 역류바(15,16)에 다시 적용되는데, 제 1 바(5,6)는 화살표(C)로 도시된 것처럼, 역류바(15,16)와 함께 이렇게 띠를 공급하고 각 고정구(tackings)에 응력을 가하지 않으면서 적층 영역을 향해 물러서기 시작한다.

그렇게 가열된 제 2 바(13,14)와 접촉해 미끄러짐으로서 가열된 두개의 건조 필름띠는 전진 기판(1)의 각 면들에 고르게 놓이고 최종적으로 열간 적층롤(11,12)을 지남으로서 점착된다.

이 과정은 마지막으로 열간 적층롤(11,12)에 의해 맞물려지는 기판의 선단을 도시하는 도 5에 도시된다.

이 점에서 제 1 바(5,6)(도 4의 화살표(C))의 내부 움직임이 정지하고, 이송 컨베이어 일부(2a)의 말단의 두 구동롤(19,20)이 공회전되며, 컨베이어의 전진된 부분(2a)은 컨베이어(2)의 고정부를 향해 뒤로 이동된다.

광학센서(21)는 결국 기판(1)의 후연의 통행을 탐지하고, 도 6에 도시된 것처럼 플라잉 방식으로 각 건조 필름띠를 조정하기 위해 절단된 절단기(17,18)를 작동시킨다.

각각의 제 1 유지바(5,6)에 의해 고정된 이 띠의 절단부는 곧 흡입되고 각바의 둥글린 모서리위에 평평하게 놓이되 절단된 띠의 말단 변부는 각각 고정 삽입물(5a,6a) 위에 놓인다.

기판(1)이 기판의 표면에 인공적으로 리플로우 감광막을 점착시키는 적층롤(11,12)을 지나 전진하는 동안 절단기(17,18)는 도 7에 도시된 바와 같이, 말단의 두 구동롤(19,20)과 실질적인 일직선상에서 본래 위치로 물러선다.

역류바들(15,16)의 진공흡입작용은 건조막 일부의 단부를 해제하는 것을 멈추면서 그것들은 화살표(D)로 도시된 바와 같이 휴지 위치로 다시 이동된다.

기술된 주기는 각 인입기판을 위해 반복된다.

도 8a는 고정된 제 2 유지 및 필름 예열바(13), 역류바(15), 절단기(17) 및 도 5에 도시된 기계의 작업행정 단계에서 추정된 각 위치의 제 1 유지 및 고정바(5)의 열간 적층롤(11)의 확대도이다.

플라잉 커터 휠(flying cutter wheel)(17a)은 도 8b의 부분도에 기능적으로 도시된, 통상적인 구조를 가질 수도 있으며, 플라잉 커터 장치(17) 및 상호 고정된 역류바(15) 소조립부품의 부분 삼차원도는 도 8c에 도시된다.

적층롤(11,12)은 보통 50과 100 쇼어(shore)사이, 가장 선호적으로 60과 70 쇼어 사이 경도의 실리콘 고무 페이싱을 갖는 강으로 만들어질 수도 있다. 적층롤의 비압축 실리콘 고무 페이싱의 두께는 3과 10 밀리미터 사이, 통상 약 5㎜로 구성될 수도 있다.

적층롤의 면은 적층에 바람직한 온도에서 감광액 특성의 기능으로, 롤의 내부 철심에 삽입된 전기 가열요소 및/또는 외부 IR 램프에 의해 유지된다. 어떤 경우라도 온도는 종래의 센서 및 상대적인 제어회로를 이용해 조절된다.

제 1 유지 및 고정바(5,6)의 고정 개스킷 또는 삽입물(5a,6a)은 실리콘 고무로 만들어질 수도 있고, 동시에 전열기에 의해 원하는 고정 온도로 가열될 수도 있다.

건조 감광막은 제 2 유지바(13,14)의 고온 표면 위의 커버 시트면을 미끄러질 때, 또는 선호적으로 실리콘 고무로 덮인 전열기 요소를 포함할 수도 있는, 날카로운 단부 위(13a,14a)에서 미끄러질 때 적합한 플라스틱 리플로우 온도로 예열된다.

이런 식으로, 감광액은 열간 적층롤에 의해 놓여 기판의 표면위에서 최종적으로 열간 적층되기 바로 전에 플라스틱 리플로우 온도에 이른다.

가장 선호적으로, 상기 언급된 바와 같이, 인입 기판(1)은 특정 온도, 일반적으로 기계의 열간 적층 스테이션에 도달하기 전에 감광액의 리플로우 온도에 근접한 온도로 예열된다.

본 발명의 기계의 보조 관점에 따라, 기판(1)은 전도로 예열된다.

이는 기판이 이동하는 기판(1)과 접촉하지 않은 표면을 조명하는 IR 램프로 예열된 열간 재순환 테이프(recirculating tapes)를 지나 접촉하게 함으로서 이루어진다.

도 9와 도 10은 기판 예열장치의 선호된 실시예를 도시한다.

열간 재순환 테이프(30,31)는 각각 한 쌍의 풀리(32-33,34-35)에서 돌아간다. 물론 풀리 쌍 중 하나는 적합한 모터로 회전되는 구동 풀리이다.

제어의 용이성을 위해 각 가열된 테이프는 실제로 도 10에 분명히 도시된 것처럼 다중 풀리를 지나는 단편 폭의 다수의 테이프로 구성된다.

이동 기판(1)과 접촉하지 않는 회전 테이프의 표면은 적절한 온도 센서(38)로 감지된, 통제 온도까지 IR 램프(36,37)로 가열된다.

열간 제순환 테이프(30,31)와 접촉하여 이동함으로서 기판(1)의 동표면으로 열이 전달된다.

이런 방식으로, 직접투사(direct irradiation)로 기판의 가열을 비효율적이게 하는 구리의 비교적 높은 반사율 문제가 효과적으로 극복되어 과정의 에너지 소비 관리를 향상시킨다.

선택에 따라, 본 발명의 열간 적층기의 선호된 실시예인 두 열간 적층롤(11,12)은 서로에 대해, 0.1과 0.6 밀리미터 사이로 이루어진 운동 진폭을 갖는, 일반적으로 10 과 100Hz 사이로 이루어지고 롤의 접선속도의 기능에 적합할 수도 있는 진동수에서 왕복 방식으로 서로 세로방향으로 옮겨질 수도 있다.

이러한 선택적인 실시예는 종진동을 누르기 위한 수단을 갖고 있는 적층롤(11,12)의 입면도를 도시하는 도 11에 개략적으로 도시된다. 이것은 기판 표면위의 인공적인 리플로우 감광물질의 "확산" 작용을 일으킨다.

종진동은 중심 피벗(41) 둘레를 자유롭게 회전하는 하나 또는 한 쌍의 링크 플레이트(link plates)(40)를 지나 샤프트의 피벗 링크장치로 롤(11,12)에 힘이 전해질 수 있다.

링크 플레이트(40)의 한쪽 단부는 적합한 크랭크 조립체(42)에 의해 왕복식으로 전진될 수도 있다.

고주파 종진동은 샤프트의 대향단부에 반하는 스프링(43,44)으로 탄력적으로 대비될 수도 있다.

도 12 는 기판 예열장치를 포함한, 전체 기계의 단순 개략도이다.

Claims (11)

1. 인쇄회로기판의 박리성 커버시트에 지원된 건조 감광막을 열간 적층시키는데, 적어도 한 쌍의 열간 적층롤, 상기 적층롤 쌍의 입구측에 예열된 기판을 공급하기 위한 이송 수단, 상기 지원된 건조 감광막의 권취된 연속띠의 공급롤, 지원된 건조 감광막 띠의 자유 단부를 유지시키는 진공 수단, 상기 적층롤쌍의 입구측을 향해 이동하는 기판 표면의 주어진 위치에서 상기 진공이 유지된 자유단부의 선단을 압축 및 고정시키기 위한 수단, 공급된 기판의 길이 때문에 조정을 위해 절단하는 상기 띠의 단부 유지 및 고정 수단에 관련된 절단기, 상기 고정 수단으로 띠의 선단이 고정되는 이동 기판을 따라 옮겨진 건조 감광막 띠와, 상기 롤 쌍을 통해 적층시키기 전에 특정 온도에서 상기 지원된 건조 감광막을 가열시키기 위한 수단을 포함하는데 있어서,

   상기 유지, 고정 및 절단기는 상기 적층롤 쌍에 바로 근접한 위치에 도달해 조정하기 위해 띠의 고정된 단부를 절단하는 한, 이동 기판의 표면에서 띠의 고정된 자유단부의 선단을 고정시킬 때, 기판과 함께 이동하며;

   상기 유지, 고정 및 절단기는 상기 위치와 떨어져 상승되고, 상기 적층롤 쌍의 입구측의 후방부인, 시작 위치로 되돌려지며, 고정을 반복하기 위해 새로운 인입기판을 향해 낮춰지고 새로 공급된 것과 함께 이동하는 것을 특징으로 하는 자동기계.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 띠의 선단을 눌러서 고정시키는 상기 수단은, 그것이 들려질 때까지 기판과 함께 이동하면서 띠의 고정된 선단에서 압력을 유지시키는 것을 특징으로 하는 자동 기계.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 유지 및 고정 수단은 상기 적층롤 쌍을 지남으로서 기판의 표면에 점착되기 전에 열간 적층 온도로 감광막을 예열시키는 전열기를 갖고 있는 것을 특징을 하는 기계.
4. 제 1 항에 있어서, 각 기판은 상부 및 하부 가열 테이프와 접촉해 이동시킴으로서 예열되는데, 각각은 적어도 두개의 풀리 위를 순환하고, 이동 기판의 표면과 접촉하지 않은 재순환 테이프 부분의 표면을 조명하는 IR 램프로 잇따라 가열되는 것을 특징으로 하는 기계.
5. 제 4 항에 있어서, 각 재순환 테이프는 복합 풀리 샤프트 위를 지나는 다수의 부분폭의 테이프들로 구성되는 것을 특징으로 하는 기계.
6. 전항들 중 어떤 항에 있어서, 롤의 접선속도의 기능에 조정할 수 있는 진동수에서, 0.1과 0.6㎜ 사이로 이루어진 이동 진폭을 갖는 10과 100Hz 사이로 이루어진 진동수에서 왕복식으로 서로에 대해 하나의 열간 적층롤을 세로방향으로 서로 이동시키기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기계.
7. 전항들 중 어떤 항에 있어서, 상기 열간 적층롤은 50 과 100 쇼어 사이로 이루어진 경도의 탄성 중합체의 외면 및 철심을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 기계.
8. 제 7 항에 있어서, 탄성중합 페이싱의 경도는 60 과 70 쇼어 사이인 것을 특징으로 하는 기계.
9. 제 1 항에 있어서, 상기 유지 수단은 굴곡형 곡선 외주 단면, 적층롤의 원통형 외면과 돌출되어 맞는 전방측면, 지원된 건조 감광막 띠가 후방 표면에 있는 다수의 흡입공들과 이어진 바의 내부 도관에 적용된 진공으로 유지되는 곡선 프로필을 갖고 있는 후방 측면이 있는 가로바의 형태인 것을 특징으로 하는 기계.
10. 제 9 항에 있어서, 상기 고정 수단은 바의 상기 후방 측면과 상기 전방 측면의 결합부에 형성된 상기 가로바의 변부를 따라 맞춰진 가열된 탄성중합 페이싱의 형태인 것을 특징으로 하는 기계.
11. 전항들 중 어떤 항에 있어서, 예열된 기판을 공급하기 위한 상기 이송 수단의 단부는 상기 유지, 고정 및 절단기와 함께 지원된 보드를 이동시키는 것을 특징으로 하는 기계.