KR20030028417A

KR20030028417A - 액정 표시 장치의 제조 방법 및 제조 장치

Info

Publication number: KR20030028417A
Application number: KR1020020059261A
Authority: KR
Inventors: 무라따사또시; 스기무라히로유끼; 나까야마노리미찌
Original assignee: 후지쯔 디스플레이 테크놀로지스 코포레이션
Priority date: 2001-10-01
Filing date: 2002-09-30
Publication date: 2003-04-08
Also published as: JP2003107487A; TWI291068B; US6798488B2; KR100829325B1; CN1410818A; US20030063251A1; KR20070107650A; CN1189782C; JP3953767B2; US7202933B2; US20050030469A1; KR100844243B1

Abstract

본 발명은 액정 표시 장치의 제조 방법 및 제조 장치에 관한 것으로, 기판 부착시에 기판을 적절하게 보유 지지할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.

제1 및 제2 기판 사이에 삽입된 액정과, 주변 시일을 갖는 액정 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 제1 기판의 시일로 규정되는 영역 내에 액정을 적하하고, 제1 기판(12)과 제2 기판(14)을 진공 챔버(24) 내에서 가압하여 부착하고, 제1 기판과 제2 기판을 가압한 상태에서 챔버(24)를 대기에 개방하고, 제1 기판과 제2 기판의 가압을 해제한 후에 주변 시일(18)에 빛을 조사하는 스텝을 포함한다.

Description

액정 표시 장치의 제조 방법 및 제조 장치 {METHOD AND APPARATUS FOR FABRICATING LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE}

본 발명은 액정 표시 장치의 제조 방법 및 제조 장치에 관한 것이다.

액정 표시 장치는 제1 및 제2 기판과, 이들 기판 사이에 삽입된 액정으로 이루어진다. 예를 들어, 제1 및 제2 기판 중 한 쪽은 TFT를 형성한 TFT 기판이고, 다른 쪽 기판과 컬러 필터를 형성한 컬러 필터 기판이다. 제1 기판에는 광경화성 시일제로 이루어지는 주변 시일이 형성되고, 주변 시일은 제1 및 제2 기판을 부착한 후에 자외선을 조사함으로써 경화된다. 액정은 주변 시일에 의해 둘러싸인 영역에 삽입된다.

종래의 액정 표시 장치의 제조 방법에 있어서는 주변 시일에 주입 구멍이 마련되고, 제1 및 제2 기판을 부착시킨 후, 액정은 진공 챔버 내에서 주변 시일에 마련한 주입 구멍으로 주입된다. 그 후, 주변 시일의 주입 구멍은 막히게 되고, 제1 및 제2 기판으로 이루어지는 액정 패널은 진공 챔버의 외부로 취출되고, 주변 시일은 적절한 셀 갭을 형성하도록 가압된다. 주변 시일은 자외선 조사에 의해 경화된다.

일본 특허 공개 평8-190099호 공보 및 특허 공개 2000-66163호 공보는 적하 주입법이라 불리우는 액정 표시 장치의 제조 방법을 개시하고 있다. 적하 주입법에서는 제1 기판에 주변 시일을 형성하고 또한 액정을 적하한다. 그리고, 제1 기판과 제2 기판을 진공 챔버 내에서 가압하여 부착한다. 그리고, 제1 기판과 제2 기판의 가압을 해제하여 제1 기판과 제2 기판을 대기에 개방한다. 주변 시일은 자외선 조사에 의해 경화된다. 적하 주입법에 따르면, 제조 공정이 단축되어 액정 표시 장치의 제조 비용을 저감할 수 있다.

적하 주입법에 있어서는 제1 기판과 제2 기판은 진공 챔버 내에서 가압되어 부착된다. 이로 인해, 제1 기판과 제2 기판은 각각 지지 부재에 의해 진공 챔버 내에서 지지된다. 이들의 지지 부재는 상부 정반 및 하부 정반이라 불리우고, 액정이 적하된 제1 기판은 하부 정반에 고정되고, 제2 기판은 상부 정반에 고정된다. 상부 정반은 가동이고, 상부 정반을 하부 정반을 향해 이동시킴으로써, 제1 기판과제2 기판을 진공 챔버 내에서 가압하여 부착시킬 수 있다.

제1 기판과 제2 기판을 각각 정전 척에 의해 상부 정반 및 하부 정반에 고정한다. 정전 척은 반도체 제조 공정에서 기판 보유 지지 수단으로서 일반적으로 사용되고 있다. 그러나, 정전 척은 액정 표시 장치의 기판으로서 사용되는 유리 기판을 흡착하는 데 흡착력이 충분하지 않은 경우가 있다. 예를 들어, 유리 기판의 표면이 정전 척의 표면과 정확히 접촉하고 있지 않으면, 정전 척은 유리 기판을 충분히 보유 지지할 수 없는 경우가 있다. 그래서, 정전 척에 의한 흡착과 진공에 의한 흡착을 병용하여 유리 기판을 상부 정반 및 하부 정반으로 충분히 보유 지지시키는 시도가 행해지고 있다.

정전 흡착 보유 지지와 진공 흡착 보유 지지를 병용하는 경우, 제1 기판과 제2 기판을 진공 중에서 가압하여 부착한 후, 진공 챔버 내에서 상부 정반을 하부 정반으로부터 떨어지도록 움직이게 하여 가압을 해제하고, 그 후, 진공 챔버를 대기에 개방한다. 그러나, 이 경우, 기판에 가하고 있었던 압력을 진공 중에서 해제하면, 주변 시일은 압축된 상태로부터 압축력이 해제되어 길어진 상태가 되고, 주변 시일 상태가 불균일해져 액정의 리크나 갭 불량이 일어난다고 하는 문제가 있었다.

본 발명의 목적은 기판 부착시에 기판을 적절하게 보유 지지할 수 있도록 한 액정 표시 장치의 제조 방법 및 제조 장치를 제공하는 것이다.

도1은 일실시예의 액정 표시 장치의 한 쪽 기판을 도시한 사시도.

도2는 도1의 기판을 포함하는 액정 표시 장치의 대략 단면도.

도3은 본 발명에 의한 액정 표시 장치의 제조 방법 및 제조 장치를 도시한 단면도.

도4는 도3의 상부 하우징을 하부 하우징을 향해 이동시킨 상태에 있어서의 도3의 제조 장치를 도시한 단면도.

도5는 도4의 상부 정반을 하부 정반을 향해 이동시킨 상태에 있어서의 도4의 제조 장치를 도시한 단면도.

도6은 형상이 불균일해진 주변 시일의 예를 도시한 도면.

도7은 다른 예인 정전 척의 예를 도시한 도면.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10 : 액정 표시 장치

12, 14 : 기판

16 : 액정

18 : 주변 시일

22 : 제조 장치

24 : 챔버

36 : 진공 통로

38 : 퍼지 통로

44 : 하부 정반

46, 52 : 정전 척

48, 54 : 진공 흡착 통로

50 : 상부 정반

56, 60 : 진공 흡착 라인

64, 68 : 동일압 라인

72 : 홈

본 발명에 의한 액정 표시 장치의 제조 방법은 제1 및 제2 기판과, 상기 제1및 제2 기판 사이에 삽입된 액정과, 상기 액정을 둘러싸도록 상기 제1 및 제2 기판 사이에 설치된 시일을 갖는 액정 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 제1 기판에 광경화성 시일을 형성하고, 상기 제1 기판의 시일로 규정되는 영역 내에 액정을 적하하고, 상기 제1 기판과 제2 기판을 진공 챔버 내에서 가압하여 부착하고, 상기 제1 기판과 제2 기판을 가압한 상태에서 상기 챔버를 대기에 개방하고, 상기 제1 기판과 제2 기판의 가압을 해제한 후에, 상기 시일에 빛을 조사하여 상기 시일을 경화시키는 이상의 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명에 의한 액정 표시 장치의 제조 장치는 진공 및 대기압을 도입 가능한 챔버와, 광경화성 시일이 형성되고, 상기 시일로 규정되는 영역 내에 액정이 적화된 제1 기판을 지지하기 위한 제1 지지 부재와, 제2 기판을 지지하기 위한 제2 지지 부재와, 상기 제1 및 제2 지지 부재 중 가능한 한 쪽 기판에 설치되어 대응하는 한 쪽 기판을 상기 한 쪽 지지 부재에 고정시키기 위한 정전 척 및 상기 정전 척에 설치된 진동 흡착 통로와, 상기 진공 흡착 통로에 진공을 공급하는 진공 흡착 라인과, 상기 진공 흡착 통로와 상기 챔버의 내부를 유체 유통 가능하게 접속하는 진공 흡착 라인을 구비한 것을 특징으로 하는 것이다.

상기 구성에 따르면, 제1 기판과 제2 기판을 진공 챔버 내에서 가압하여 부착한 후, 제1 기판과 제2 기판을 가압한 상태에서 챔버를 대기에 개방하도록 하였으므로, 기판에 가하고 있었던 압력을 대기압 중에서 해제할 수 있어 주변 시일의 형성이 불균일해지지 않았다.

이하, 본 발명의 실시예에 대해 도면을 참조하여 설명한다.

도1은 일실시예의 액정 표시 장치의 한 쪽 기판을 도시한 사시도, 도2는 도1의 기판을 포함하는 액정 표시 장치의 개략 단면도이다.

도2에 있어서, 액정 표시 장치(10)는 제1 및 제2 기판(12, 14)과, 제1 및 제2 기판(12, 14) 사이에 삽입된 액정(16)과, 액정(16)을 둘러싸도록 제1 및 제2 기판(12, 14) 사이에 설치된 시일(주변 시일)(18)을 갖는다. 액정 표시 장치(10)는 액티브 매트릭스형 액정 표시 장치이고, 한 쪽 기판은 TFT를 형성한 TFT 기판이고, 다른 쪽 기판은 컬러 필터를 형성한 컬러 필터 기판이다. 액정 표시 장치(10)는 적하 주입법에 의해 제조된 것이다.

도1에 있어서, 액정(16)은 디스펜서(20)로부터 액적형으로 제2 기판(14) 상으로 적하된다. 디스펜서(20)는 도2의 화살표가 나타내는 바와 같이 이동하면서 액정(16)을 주변 시일(18)로 둘러싸여진 영역으로 적하한다. 주변 시일(18)을 형성하는 시일제는 UV 경화성 접착성 수지 또는 UV와 열의 병용에 의해 경화하는 접착성 수지로 이루어진다. 그와 같은 시일제가 제2 기판(14)에 도포되고, 후에 경화된다. 제1 기판(12)에는 스페이서에 접착제를 코팅한 접착성 스페이서가 도포된다. 스페이스 대신에 지지 기둥을 설치하여 스페이스 살포 공정을 생략할 수도 있다.

도3은 본 발명에 의한 액정 표시 장치의 제조 방법 및 제조 장치를 도시한 단면도이다. 도4는 도3의 상부 하우징을 하부 하우징을 향해 이동시킨 상태에 있어서의 도3의 제조 장치를 도시한 단면도, 도5는 도4의 상부 정반을 하부 정반을 향해 이동시킨 상태에 있어서의 도4의 제조 장치를 도시한 단면도이다.

도3 내지 도5에 있어서, 액정 표시 장치의 제조 장치(22)는 챔버(24)를 포함한다. 챔버(24)는 가동의 상부 하우징(26)과 고정의 하부 하우징(28)으로 이루어진다. 패킹(30)이 상부 하우징(26)과 하부 하우징(28) 사이에 배치되고, 챔버(24)의 내부(32)가 시일된 공간이 된다.

챔버(24)는 진공을 도입하기 위해 진공 펌프(34)에 접속된 진공 통로(36)와, 대기압을 도입하기 위한 퍼지 통로(40)를 갖는다. 밸브(38)가 진공 통로(36)에 배치되고, 밸브(42)가 퍼지 통로(40)에 배치된다. 퍼지 통로(40)는 질소 등의 불활성 가스를 챔버(24)로 도입하도록 되어 있다.

하부 정반(44)은 하부 하우징(28)에 설치되어 주변 시일(18)이 형성되고, 주변 시일(18)로 규정되는 영역 내에 액정(16)이 적하된 제2 기판(14)을 지지한다. 하부 정반(44)은 정전 척(46)을 포함하고, 정전 척(46)은 진공 흡착 통로(48)를 갖는다. 정전 척(46)은 도시하지 않은 공지의 전극을 갖고, 그 전극에 통전함으로써 발생하는 정전력에 의해 정전 척(46) 상에 배치된 제2 기판(14)을 고정시킨다. 진공 흡착 통로(48)는 정전 척(46)의 표면에 개구하여 진공원으로부터 공급된 진공력에 의해 정전 척(46) 상에 배치된 제2 기판(14)을 고정시킨다.

상부 정반(50)은 상부 하우징(26)에 가동 가능하게 설치되어 제1 기판(12)을 지지한다. 상부 정반(50)은 정전 척(52)을 포함하고, 정전 척(52)은 진공 흡착 통로(54)를 갖는다. 정전 척(52)은 도시하지 않은 공지의 전극을 갖고, 그 전극에 통전함으로써 발생하는 정전력에 의해 정전 척(52)의 하부에 배치된 제1 기판(12)을 고정시킨다. 진공 흡착 통로(54)는 정전 척(52) 표면에 개구하여 진공원으로부터 공급된 진공력에 의해 정전 척(52)의 하부에 배치된 제2 기판(14)을 고정시킨다.

또한, 진공 흡착 라인(56)이 하부 정반(44)의 정전 척(46)의 진공 흡착 통로(48)에 접속되고, 진공 흡착 통로(48)에 진공을 공급한다. 진공 흡착 라인(56)은 밸브(58)를 갖는다. 진공 흡착 라인(56)은 챔버(24)의 내부(32)를 관통하여 연장된다. 진공 흡착 라인(60)이 상부 정반(50)의 정전 척(52)의 진공 흡착 통로(54)에 접속되어 진공 흡착 통로(54)에 진공을 공급한다. 진공 흡착 라인(60)은 밸브(62)를 갖는다. 진공 흡착 라인(60)은 챔버(24)의 내부(32)를 관통하여 연장된다.

또한, 동일압 라인(64)이 진공 흡착 라인(56)의 밸브(58)의 하류측에 있어서 진공 흡착 라인(56)에 접속되고, 또한 챔버(24)의 내부(32)에 접속된다. 동일압 라인(64)은 밸브(66)를 갖는다. 동일압 라인(65)이 진공 흡착 라인(60)의 밸브(62)의 하류측에 있어서 진공 흡착 라인(60)에 접속되고, 또한 챔버(24)의 내부(32)에 접속된다. 동일압 라인(68)은 밸브(70)를 갖는다.

도3에 있어서는, 가동의 상부 하우징(26)은 하부 하우징(28)으로부터 떨어져 있고, 챔버(24)는 개방되어 있다. 이 상태에서, 제1 및 제2 기판(12, 14)이 상부 정반(50)의 정전 척(52) 및 하부 정반(44)의 정전 척(46)에 각각 부착된다. 이 때, 진공 흡착 라인(56, 60)의 밸브(58, 62)는 모두 개방되고, 동일압 라인(64, 68)의 밸브(66, 70)는 폐쇄되어 있다.

정전 척(46, 52)의 진공 흡착 통로(48, 54)에 진공이 도입되고, 제1 및 제2기판(12, 14)은 진공 흡착력에 의해 정전 척(46, 52)에 각각 정확히 흡착된다. 동시 혹은 그 후에, 진공 척(46, 52)의 전극에는 전류가 흐르게 되고, 제1 및 제2 기판(12, 14)은 정전 흡착력에 의해 정전 척(46, 52)에 흡착된다. 진공 흡착력이 없는 경우에는 제1 및 제2 기판(12, 14)의 표면이 평탄하지 않으면 정전 흡착력의 작용이 약해지지만, 진공 흡착을 한 다음 정전 흡착력을 하기 때문에, 제1 및 제2 기판(12, 14)은 정전 척(46, 52)으로 확실히 보유 지지된다.

도4에 있어서는, 가동의 상부 하우징(26)은 하부 하우징(28)에 압박되어 있고, 챔버(24)는 폐쇄된다. 제1 및 제2 기판(12, 14)이 정전 척(46, 52)에 정전 흡착된 후, 혹은 도4의 상태가 되었을 때에, 진공 흡착 라인(56, 60)의 밸브(58, 62)는 모두 폐쇄되고, 동일압 라인(64, 68)의 밸브(66, 70)는 폐쇄된다. 이에 의해, 챔버(24) 내부(32)의 압력 또는 진공이 진공 흡착 라인(56, 60)을 통해 외부로 도피하는 일은 없고, 또한 정전 척(46, 52)의 진공 흡착 통로(48, 54)와 챔버(24)의 내부(32)가 유체 유통 가능하게 접속되어 이들의 부분은 동일압이 된다. 제1 및 제2 기판(12, 14)이 정전 척(46, 52)에 정전 흡착된 후는 정전 척(46, 52)의 진공 흡착 통로(48, 54)의 압력은 저하해도 제1 및 제2 기판(12, 14)은 정전 흡착력에 의해 정전 척(46, 52)으로 확실히 보유 지지된다.

여기서, 진공 통로(36)의 밸브(35)가 개방되어 챔버(24) 내부(32)에 진공이 도입된다. 예를 들어, 챔버(24)의 내부(32)는 1Pa 정도까지 배기된다. 이 진공은 제1 및 제2 기판(12, 14)의 표면에 작용하는 동시에, 동일압 라인(64, 68)을 통해 정전 척(46, 52)의 진공 흡착 통로(48, 54)로도 도입된다. 따라서, 제1 및 제2 기판(12, 14)의 상부측 및 하부측에 동일 진공 압력이 작용한 상태에서, 제1 및 제2 기판(12, 14)은 정전 흡착력에 의해 정전 척(46, 52)으로 보유 지지된다. 만약 동일압 라인(64, 68)이 없는 경우에는 진공 통로(36)로부터 챔버(24) 내부(32)로 도입된 진공이 제1 및 제2 기판(12, 14)의 표면에 강하게 작용하고, 정전 흡착력에 견디면, 제1 및 제2 기판(12, 14)이 정전 척(46, 52)으로부터 제외되는 현상을 볼 수 있었다.

다음에, 도5에 있어서 상부 정반(50)이 상부 하우징(26)에 대해 이동되고, 하부 정반(44)을 향해 이동된다. 제1 기판(12)은 제2 기판(14)을 향해 압박되고, 제1 기판(12)의 표면이 제2 기판(14)의 주변 시일(18)에 접촉하여 제1 기판(12)의 스페이서가 제2 기판(14)의 표면에 대해 접촉한다. 처음에 성긴 부착을 행한 후, 상부 정반(50)을 하부 정반(44)을 향해 10 내지 500 ㎏ 정도의 압력으로 가압하면서 섬세한 부착을 행한다.

주변 시일(18)이 압축되어 제1 기판(12)과 제2 기판(14) 사이의 셀 갭이 적절해지면, 상부 정반(50)의 하부 정반(44)을 향한 운동은 정지된다. 이와 같이 하여, 제1 기판(12)과 제2 기판(14)은 진공 속에서 부착되고, 그 사이에 액정(16) 속으로 공기가 들어가지 않도록 액적형의 액정(16)은 제2 기판(14)의 표면에 따라서 확대되어 간다.

제1 기판(12)과 제2 기판(14)의 부착이 완료되었으면, 정전 척(52)으로의 통전을 정지하고, 제1 기판(12)과 제2 기판(14)의 가압이 유지된 상태에서 퍼지 통로(40)의 밸브(42)가 개방된다. 질소 등의 불활성 가스가 퍼지 통로(40)를 통해챔버(24)에 도입되고, 챔버(24)는 대기에 개방된다. 이 때, 동일압 라인(68)의 밸브(70)는 개방되고, 동일압 라인(68)의 밸브(66)는 폐쇄된다. 단, 동일압 라인(64, 68)의 밸브(66, 70)는 모두 개방되어 있는 상태로 할 수도 있다.

불활성 가스는 제1 및 제2 기판(12, 14)의 표면에 작용하는 동시에, 동일압 라인(68)을 통해 정전 척(52)의 진공 흡착 통로(54)에도 도입된다. 정전 척(52)의 진공 흡착 통로(54)에는 진공이 작용한다. 또한, 정전 척(46)으로의 통전이 정지된다.

그래서, 상부 정반(50)이 하부 정반(44)으로부터 떨어지도록 이동된다. 제1 기판(12)의 상측 및 하측에 동일압 라인(64, 68)을 거쳐서 동일한 압력이 작용하고 있으므로, 상부 정반(50)과 함께 상승하는 정전 척(52)은 제1 기판(12)으로부터 원활하게 떨어질 수 있다. 만약 제1 기판(12)의 상측에 진공이 작용하고 있으면, 제1 기판(12)이 정전 척(52)에 질질 끌리게 되어 부착 불량이 될 가능성이 있다. 그리고, 상부 정반(50)이 상승하는 동안, 동일압 라인(64)의 밸브(66)는 폐쇄되어 있으므로, 제2 기판(14)의 하부측에 진공이 작용하여 제2 기판(14)(즉, 액정 패널)은 하부 정반(44)의 정전 척(46)으로 보유 지지된다.

상부 정반(50)의 이동이 완료되었으면, 동일압 라인(64)의 밸브(66)는 개방된다. 그리고, 상부 하우징(26)이 하부 하우징(28)으로부터 떨어지도록 이동되고, 챔버(24)가 개방된다. 그 다음, 주변 시일(18)에 자외선을 조사하여 주변 시일(18)을 경화시킨다.

또한, 상기한 바와 같이 제1 기판(13)과 제2 기판(14)의 부착이 완료된 후에, 챔버(24)가 진공 상태에 있을 때, 제1 기판(12)과 제2 기판(14)의 가압을 해제하면, 주변 시일(18)의 형상이 불균일해져 액정의 리크나 갭 불량이 일어나게 되는 문제점이 있다. 도6은 이 경우의 주변 시일(18)의 예를 도시한 도면이다. 주변 시일(18)의 단부(A, B)는 정상이지만, 주변 시일(18)의 중간 부분(C)은 주변 시일(18)은 압축된 상태의 압축력이 해제되어 연장된 상태가 되어, 국부적으로 세밀해진 부분을 볼 수 있다. 본 발명에서는 제1 기판(12)과 제2 기판(14)의 가압을 유지한 상태에서 대기압으로 복귀시키고, 대기압의 상태에서 가압을 해제하고 있으므로, 주변 시일(18)의 형상이 매우 악화되는 것을 방지할 수 있다.

도7은 다른 예인 정전 척의 예를 도시한 도면이다. 정전 척(52) 표면의 주변부에는 대응하는 제1 기판(12)의 단부를 걸치도록 홈(72)이 마련된다. 도7에 있어서는, 홈(72)은 사각형의 정전 척(52) 주변에 수직으로, 정전 척(52)의 주변에 평행한 방향으로 열을 이루어 형성되어 있다. 이렇게 하면, 진공 배기시에 정전 척(52)과 제1 기판(12) 사이에 있는 공기 정체를 없앨 수 있다. 또한, 퍼지(대기 개방)시에 정전 척(52)과 제1 기판(12) 사이에 불활성 가스가 들어가므로, 정전 척(52)으로부터의 제1 기판(12)의 박리를 도울 수 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 액정 표시 장치를 적하 주입법에 의해 확실하고 또한 저렴하게 제조할 수 있다.

Claims

제1 및 제2 기판과, 상기 제1 및 제2 기판 사이에 삽입된 액정과, 상기 액정을 둘러싸도록 상기 제1 및 제2 기판 사이에 설치된 시일을 갖는 액정 표시 장치의 제조 방법에 있어서,

제1 기판에 광경화성 시일을 형성하는 단계와,

상기 제1 기판의 시일로 규정되는 영역 내에 액정을 적하하는 단계와,

상기 제1 기판과 제2 기판을 진공 챔버 내에서 가압하여 부착하는 단계와,

상기 제1 기판과 제2 기판을 가압한 상태에서 상기 챔버를 대기에 개방하는 단계와,

상기 제1 기판과 제2 기판의 가압을 해제한 후, 상기 시일에 빛을 조사하여 상기 시일을 경화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 기판 중 적어도 한 쪽을 정전 척에 의한 흡착 및 상기 정전 척에 설치된 진공 흡착 통로에 공급된 진공에 의한 흡착에 의해 지지 부재에 고정시키는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제2항에 있어서, 상기 진공 흡착 통로와 상기 챔버의 내부 공간을 유체 유통 가능하게 접속하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제1 및 제2 기판과, 상기 제1 및 제2 기판 사이에 삽입된 액정과, 상기 액정을 둘러싸도록 상기 제1 및 제2 기판 사이에 설치된 시일을 갖는 액정 표시 장치의 제조 방법에 있어서,

진공 및 대기압을 도입 가능한 챔버와,

상기 챔버 내에 있어서, 광경화성 시일이 형성되고, 상기 시일로 규정되는 영역 내에 액정이 적하된 제1 기판을 지지하기 위한 제1 지지 부재와,

상기 챔버 내에 있어서, 제2 기판을 지지하기 위한 제2 지지 부재와,

상기 제1 및 제2 지지 부재 중 이동 가능한 한 쪽 기판에 설치되고, 대응하는 한 쪽 기판을 상기 한 쪽 지지 부재에 고정시키기 위한 정전 척 및 상기 정전 척에 설치된 진공 흡착 통로와,

상기 진공 흡착 통로에 진공을 공급하는 진공 흡착 라인과,

상기 진공 흡착 통로와 상기 챔버의 내부를 유체 유통 가능하게 접속하는 진공 흡착 라인을 구비한 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 장치.
제4항에 있어서, 상기 정전 척 표면의 주변부에는 대응하는 기판의 단부를 걸치도록 홈이 마련되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 장치.