KR20030007957A - 일정하게 통합된 스페이서를 구비하는 액정 디스플레이디바이스 - Google Patents

일정하게 통합된 스페이서를 구비하는 액정 디스플레이디바이스 Download PDF

Info

Publication number
KR20030007957A
KR20030007957A KR1020027016887A KR20027016887A KR20030007957A KR 20030007957 A KR20030007957 A KR 20030007957A KR 1020027016887 A KR1020027016887 A KR 1020027016887A KR 20027016887 A KR20027016887 A KR 20027016887A KR 20030007957 A KR20030007957 A KR 20030007957A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
metal layer
liquid crystal
crystal display
pixel
display device
Prior art date
Application number
KR1020027016887A
Other languages
English (en)
Inventor
게오르그 아. 멜링크
루시안 알. 알부
페터 예이. 엠. 얀센
스테판 하우저
한스 예이. 스펜글러
카알-하인쯔 크라프트
Original Assignee
코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이. filed Critical 코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이.
Publication of KR20030007957A publication Critical patent/KR20030007957A/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1339—Gaskets; Spacers; Sealing of cells
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1345—Conductors connecting electrodes to cell terminals
    • G02F1/13454—Drivers integrated on the active matrix substrate
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1339—Gaskets; Spacers; Sealing of cells
    • G02F1/13394—Gaskets; Spacers; Sealing of cells spacers regularly patterned on the cell subtrate, e.g. walls, pillars
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F2203/00—Function characteristic
    • G02F2203/02—Function characteristic reflective

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

반사형 액정 디스플레이(LCD) 디바이스는, 바로 밑에 절연층(212)을 노출하는, 디바이스의 주변 영역에서의 픽셀 금속층(220)에서 패터닝되는 복수의 개구부(220c)와, 픽셀 금속층에 있는 개구부 바로 밑에 있는 복수의 광-차폐 아일랜드(224)와, 개구부 주위의 아일랜드 상에 형성되고, 아일랜드와 픽셀 금속층 사이에서 실질적으로 연장하는 복수의 벽부(226)를 포함한다. 복수의 스페이서(234)는, 위에 있는 투명(예를 들어, 유리)층(218)을 지지하고 액정 물질에 공간을 제공하기 위해 주변 영역에 있는 절연층의 누출된 부분 상에 배치된다. 이 구조는, 주변 영역에서 형성된 스페이서를 디바이스의 픽셀 영역에서 형성된 스페이서와 더 밀접하게 매칭하게 함으로써 디스플레이 균일성을 개선시킨다. 이 구조는, 또한 광이 디바이스의 주변 영역에 있는 기판에 도달하지 못하게 하고, 디바이스의 주변 영역에서 형성된 제 2 금속층의 부분이 신호 라우팅에 사용되도록 한다.

Description

일정하게 통합된 스페이서를 구비하는 액정 디스플레이 디바이스{LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE HAVING UNIFORM INTEGRATED SPACERS}
반사형 LCD 디바이스는 잘 알려져 있다. 그러한 디바이스, 특히 능동 매트릭스 디바이스의 예는 미국 특허 번호(제 6,023,309호 및 제 6,052,165호)에 도시되어 있다. 다음 설명을 참조하면, 그러한 디바이스의 종래의 특징에 대해서는 잘 알고 있다고 간주할 것이므로, 본 발명에 관련된 특징만이 설명될 것이다.
도 1은 전형적인 종래의 반사형 LCD 디바이스(100)의 일부분을 m도시한다. 일반적으로, 반사형 LCD 디바이스(100)는 픽셀 영역(100a)(활성 영역) 및 주변 영역(100b)으로 분리될 수 있다. 픽셀 영역(100a)은 픽셀 요소 어레이를 포함하고, 주변 영역(100b)은 구동 신호를 각 픽셀 요소에 공급하기 위한 구동기 회로(105)를 포함한다.
관련 부분에서, LCD 디바이스(100)는 실리콘 기판(110), 절연층(112), 액정층(114), 인듐 산화 주석(ITO: Indium-Tin-Oxide)과 같은 투명 전극(116), 투명(예를 들어, 유리)층(118)을 포함한다. 반사 미러(픽셀) 금속층(120)은 절연층(112) 상에 액정 층(114) 바로 밑에 제공된다. 상기 미러 금속층(120)은, 픽셀 영역(100a)에 있는 복수의 개별적인 반사 픽셀 전극(120a)과, LCD 디바이스(100)의 주변 영역(100b)에서 형성된 실질적으로 연속적인 주변부(120b)를 포함한다. 광 투과 영역(122)은 픽셀 전극(120a)들 사이에 위치해 있다.
또한, 광 차폐 금속층(124)과 라우팅(routing) 금속층(128 및 130)은 미러 금속층(120)과 기판(110) 사이, 및 절연층(112)에 제공된다. 픽셀 영역(100a)에서, 금속층(128 및 130)은 상호 직교 행 및 열 라인을 형성하는데, 상기 라인은 밑에 있는(underlying) 기판(110)에 제조된 픽셀 요소를 위한 MOS 트랜지스터(도 1에서는 미도시)의 게이트 및 소스 전극에 연결될 수 있다. 주변 영역(100b)에서, 금속층(128 및 130)은 구동기 회로의 다양한 신호를 라우팅하는데 사용된 신호 라우팅 라인을 형성한다. 또한, 제 3 및 제 4 금속층(128, 130)과 광 차폐 금속층(124)의 여러 부분을 서로 연결시키기 위해 금속 플러그(plugs) 즉 비아(vias)(132)가 제공된다.
예컨대 누출 전하를 유도하거나 다른 경우 적절한 디바이스 동작을 방해할 수 있는 픽셀 전극(120a) 사이의 투과 영역(122)을 통해 디바이스에 입사하는 광이, 기판(110)에 도달하지 못하게 하기 위해, 금속층(124)이 제공된다. 금속층(128 또는 130)의 부분이 디바이스에 입사하는 적은 부분의 광을 우연히 차단할 수 있을지라도, 도 1의 구조는, 주변 영역(100b)에 필요한 정도의 광 차단을 제공하는데사용되는 별도의 금속층(124)을 필요로 한다.
투명층(118)을 지지하고 액정층(114)에 갭(gap)을 제공하기 위해 복수의 스페이서 또는 필라(pillar)가 제공된다. 픽셀 영역(100a)에서, 스페이서(134a)는 절연층(112) 바로 위에 위치한다. 주변 영역(100b)에서, 스페이서(134b)는 미러 금속층(120)의 주변부(120b) 위에 제공된다.
균일한 액정 셀 갭을 유지하기 위해, 주변 영역(100b)에 있는 스페이서가 픽셀 영역(100a)에 있는 스페이서와 동일한 높이를 갖는 것이 필요하다. 그러나, 주변 영역(100b)에 있는 미러 금속층(120) 상에 형성된 스페이서(134b)는, 금속층(120)의 여분의 높이 때문에 픽셀 영역(100a)에 있는 절연층(112) 상에 형성된 스페이서(134a)보다 더 높아서, 균일하지 않은 디스플레이를 발생시킨다.
따라서, 반사형 LCD 디바이스의 픽셀 및 주변 영역 양쪽 모두에서 더 균일한 높이를 갖는 스페이서를 구비하는 액정 디스플레이 디바이스를 제공하는 것이 바람직하다.
본 발명은 실리콘 상의 액정(LOCS: Liquid Crystal On Silicon) 디바이스와 같은 액정 디스플레이(LCD: Liquid Crystal Display) 디바이스 분야에 관한 것으로, 더 구체적으로 균일한 스페이서(spacers)를 제공하는 그러한 디바이스에 대한 구조에 관한 것이다.
도 1은 종래의 액정 디스플레이(LCD) 디바이스의 일부분에 대한 개략적인 단면도.
도 2는 본 발명의 하나 이상의 양상에 따라 통합된 스페이서를 갖는 LCD 디바이스의 일실시예의 일부분에 대한 개략적인 단면도.
도 3은 도 2에 도시된 LCD 디바이스의 일부분에 대한 평면도.
그러므로, 본 발명의 목적은, 더 균일한 스페이서 구조를 구비하는 액정 디스플레이(LCD) 디바이스를 제공하는 것이다.
본 발명의 하나의 양상에 따라, 픽셀 영역과, 픽셀 영역에 인접한 주변 영역을 갖는 LCD 디바이스가 제공되는데, 상기 LCD 디바이스는, 실리콘 기판과, 상기 기판 상의 절연층과, 픽셀 영역에 있는 픽셀 전극 어레이, 및 복수의 개구부(openings)를 갖는 주변 영역에 있는 주변부를 포함하는, 절연층 위의 제 1금속층과, 개구부에 있는 복수의 스페이서와, 제 1 금속층과 기판 사이에 있는 제 2 금속층과, 각각 복수의 개구부 중 하나에 대응하고 제 2 금속층과 제 1 금속층 사이에서 실질적으로 연장하는 복수의 벽부(walls)를 포함한다.
도 2는 본 발명의 하나 이상의 양상에 따라 반사형 LCD 디바이스(200)의 일부분에 대한 개략적인 단면도를 도시한다. 명백함을 위해, 본 발명에 관련된 디바이스의 부분만이 도시된다. 일반적으로, 반사형 LCD 디바이스(200)는 픽셀 영역(200a)(활성 영역) 및 주변 영역(200b)으로 분리될 수 있다. 픽셀 영역(200a)은 픽셀 요소 어레이를 포함하고, 주변 영역(200b)은 구동 신호를 각 픽셀 요소에 공급하기 위한 구동기 회로(205)를 포함한다.
관련 부분에서, LCD 디바이스(200)는 그 위에 절연층(212), 액정층(214), 인듐 산화 주석(ITO)과 같은 투명 전극(216), 투명(예를 들어, 유리)층(218)이 연속적으로 제공되는 실리콘 기판(210)을 포함한다. 액정층(214) 바로 밑 절연층(212) 위에 제 1 금속층(220)이 제공된다. 제 1 금속층(220)은 픽셀 영역(200a)에 형성된복수의 개별적인 반사 픽셀 전극(220a)과, LCD 디바이스(200)의 주변 영역(200b)에 형성된 주변부(220b)를 포함한다. 광 투과 영역(222)은 픽셀 전극(220a) 사이에 위치해 있다. 복수의 개구부(220c)는 제 1 금속층(220)의 주변부(220b)에 형성되는데, 각 개구부는 절연층(212)의 일부분을 노출시킨다.
또한, 제 1 금속층(220)과 기판(210) 사이에 제 2 금속층(224)이 제공된다. 제 2 금속층(224)은 픽셀 영역(200a)의 광 차폐 부분(224a)과, 주변 영역(200b)에서 복수의 신호 라우팅 라인(224b) 및 광 차폐부(light shields)(224c)를 포함한다. 각 광 차폐부(224c)에는, 제 1 금속층(220)의 주변부(220b)와 광 차폐부(224c) 사이에서 실질적으로 연장하는 광-차단 파티션(light-blocking partition) 즉 벽부(226)가 제공된다. 제 3 및 제 4 금속층(228 및 230)은 제 2 금속층(224)과 기판(210) 사이에 제공된다. 또한, 제 2, 제 3 및 제 4 금속층의 여러 부분을 서로 연결시키기 위해 금속 플러그 또는 비아(232)가 제공된다.
복수의 통합된 스페이서 즉 필라(234)는, 투명 전극(216) 및 투명층(218)을 지지하고 액정층(214)에 갭을 제공하기 위해 제공된다. 픽셀 영역(200a)에서, 스페이서(234)는 픽셀 전극(220a) 사이에 있는 광 투과 영역(222)의 절연층(212) 바로 위에 위치한다. 주변 영역에서, 스페이서(234)는 제 1 금속층(220)의 주변부(220b)에 있는 개구부(220c) 상에 위치해 있다. 스페이서(234)는, 제 1 금속층(220) 및 노출된 절연층(212) 위에 코팅(coating)(예를 들어, Si3N4; SiO2)을 원하는 높이로 일정하게 도포하고, 스페이서(234)를 제작하기 위해 코팅된 물질을 에칭함으로써형성될 수 있는 것이 바람직하다. 스페이서(234)의 높이 및 직경은 액정층(214)에 원하는 갭을 제공하고 투명층(218)을 지지하는데 필요한 세기를 제공하도록 선택된다. 일실시예에서, 스페이서(234)는 1㎛ 내지 2㎛의 높이, 및 0.4㎛정도로 작은 직경을 가질 수 있다. 제조 공정을 간단히 하는 더 큰 스페이서가 또한 사용될 수 있다.
본 실시예의 다양한 관련 요소의 동작이 이제 설명될 것이다.
유리하게도, 제 1 금속층(220)은 미러(픽셀) 금속층이어서, 상기 층에 직접 충돌하는 광이 기판(210)에 도달하지 못하게 차단한다. 그러나, 개구부(220c)는 주변 영역(200b)에서의 제 1 금속층(220)의 주변부(220b)에 생성되어, 주변 영역(200b)에 있는 스페이서(234)는 픽셀 영역(200a)에 있는 스페이서(234)와 함께 균일한 높이를 가질 수 있다. 따라서, 개구부(220c) 상에 충돌하는 광이 기판(210)에 도달하지 못하게 하는 것이 필요하다.
이러한 목적을 위해, 전체 주변 영역(220b)을 커버하는 실질적으로 연속적인 전용 광 차폐 영역으로서 제 2 금속층(224)을 사용하는 것이 가능하다. 이 경우에, 제 1 금속층(220)에 있는 개구부(220c)를 통과하는 임의의 광은 제 2 금속층(224)에 의해 주변 영역(200b)의 기판(210)에 도달하지 못하게 차단된다.
그러나, 금속층(224)이 광을 차단하는 것만의 용도로 사용되는 것 대신에, 주변 영역(200b)에서 구동기 회로 신호를 라우팅하는데 또한 사용될 수 있는 경우, 구동기 회로(205)에 필요한 영역은 축소될 수 있다.
따라서, 바람직한 실시예에서, 제 2 금속층(224)은 각 개구부(220c) 바로 아래에 배열된 주변 영역(200b)에 있는 광 차폐부(224c)를 포함한다. 각 광 차폐부(224c)는 제 2 금속층(224)의 나머지 부분으로부터 실질적으로 단절(disconnected)된 아일랜드(island)인 것이 바람직하다. 더욱이, 제 1 금속층(220)의 주변부(220b)와 광 차폐부(224c) 사이에서 실질적으로 연장하는 광-차단 파티션 즉 벽부(226)가 각 광 차폐부(224c) 상에 제공된다. 벽부(226)가 전체 개구부(220c) 주위에서 연속적으로 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 벽부(226)는 제 1 금속층(220)의 주변부(220b)에 광 차폐부(224c)를 연결시키기 위해 수직으로 연장한다.
도 3은 제 1 금속층(220)에 있는 개구부(220c) 중 하나의 개구부 근처에서 LCD 디바이스(200)의 주변 영역(200b)의 일부분에 대한 평면도를 도시한다. 도 3에 도시된 바와 같이, 일실시예에서, 제 1 금속층(220)의 주변부(220b)에 있는 개구부(220c)는 십자가 형태이고, 스페이서(234)는 십자가 교차부 중간에 위치해 있다. 일실시예에서, "x" 및 "y" 방향 각각으로 "십자가"의 단부간의 길이는 1.2㎛이다. 이것은, 픽셀 영역(200a)내에서 스페이서(234)가 위치해 있는, 픽셀 전극(220a) 사이의 영역을 모방(mimics)하므로, 더 나은 디스플레이 균일성을 발생시킨다.
한편, 광 차폐부(224c)는, 적어도 개구부(220c)정도의 크기이기만 하면, 임의의 간편한 크기 또는 형태일 수 있는 아일랜드이다. 일실시예에서, 각 "x" 및 "y" 방향에서 광 차폐부의 길이는 3.5㎛이다. 또한, 벽부(226)는, 실질적으로 개구부(220c)를 둘러싸고 광 차폐부(224c)보다 더 크지 않는 한 임의의 간편한 크기 또는 형태일 수 있다.
벽부(226)는, 절연층(212)에서 수직으로 연장하는 비아(vertically-extending via)를 패터닝하고, 제 1 금속층(220)을 증착(depositing)하기 전에 상기 절연층에 광-차단 물질을 증착함으로써 형성된다. 벽부(226)는 픽셀 전극(220a)에 연결된 금속 플러그(232) 형성과 동일한 단계로 형성될 수 있다. 또한, 벽부(226)는 텅스텐으로 이루어지는 것이 바람직하다. 이 경우에, 벽부(226)는 절연층(212)에 있는 비아(232)와 동일한 물질로 이루어져서, 어떠한 추가 처리 단계를 필요로 하지 않는다. 그러나, 다른 광 차단 물질 및 제조 방법이 사용될 수 있다. 일실시예에서, 벽부(226)는, 제 1 금속층(220)과 제 2 금속층(224) 사이에서 수직으로 연장하고 제 1 금속층(220)과 제 2 금속층(224)을 연결시키도록 대략 1㎛의 높이를 갖는다. 그 경우에, 벽부(226)의 두께는 대략 0.4㎛일 수 있다.
본 발명이 자세히 도시되고 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명되었지만, 다양한 변형이 청구항에 의해 한정된 본 발명의 범주에서 벗어나지 않고도 구체적으로 이루어질 수 있음을 당업자는 이해할 것이다.
상술한 바와 같이, 본 발명은 더 일정한 스페이서 구조를 구비하는 액정 디스플레이(LCD) 등에 이용된다.

Claims (22)

  1. 픽셀 영역(200a), 및 상기 픽셀 영역(200a)에 인접한 주변 영역(200b)을 구비하는 액정 디스플레이(LCD) 디바이스(200)로서,
    - 실리콘 기판(210)과;
    - 상기 기판(210) 상의 절연층(212)과;
    - 상기 절연층(212) 위에 있는 제 1 금속층(220)으로서,
    - 상기 픽셀 영역(200a)에 있는 픽셀 전극(220a) 어레이와,
    - 상기 절연층(212)의 부분을 노출하는 복수의 개구부(openings)(220c)를 구비하는 상기 주변 영역(200b)에 있는 주변부(peripheral portion)(220b)를
    포함하는, 제 1 금속층(220)과;
    - 상기 주변 영역(200b)에 있는 상기 절연층(212)의 상기 노출된 부분(220c) 상의 복수의 스페이서(spacers)(234)와;
    - 상기 제 1 금속층(220)과 상기 기판(210) 사이의 제 2 금속층(224)으로서,
    - 상기 제 1 금속층(220)의 상기 주변부(220b)에서 상기 개구부(220c) 바로 밑에 있는 복수의 광 차폐부(light shields)(224c)와;
    - 상기 주변 영역(200b)에 있는 복수의 신호 라우팅 라인(signal routing lines)(224b)을
    포함하는, 제 2 금속층(224)과;
    - 복수의 벽부(walls)(226)로서, 각각은 상기 복수의 개구부(220c)의 대응하는 하나에 대응하고 상기 제 2 금속층(224)과 상기 제 1 금속층(220) 사이에서 실질적으로 연장하는, 복수의 벽부(226)를
    포함하는, 액정 디스플레이 디바이스.
  2. 제 1항에 있어서, 각 벽부(226)는 상기 대응하는 개구부(220c) 주위에 실질적으로 연속적인, 액정 디스플레이 디바이스.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 벽부(226)는 불투명 물질을 포함하는, 액정 디스플레이 디바이스.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 복수의 광 차폐부(224c) 각각은 아일랜드(island)인, 액정 디스플레이 디바이스.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 복수의 벽부(226) 각각은 상기 광 차폐부(224c)의 대응하는 광 차폐부 위에 있는, 액정 디스플레이 디바이스.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 제 2 금속층(224)과 상기 기판(210) 사이에 제 3 금속층(228) 및 제 4 금속층(230)을 더 포함하며, 상기 제 3 금속층(228) 및 제 4 금속층(230) 각각은 상기 주변 영역(200b)에서 복수의 추가 신호 라우팅 라인을 포함하는, 액정 디스플레이 디바이스.
  7. 제 1항에 있어서, 상기 픽셀 영역(200a)에 있는 상기 픽셀 전극(220a) 사이에서 상기 절연층(212) 위에 복수의 스페이서(234)를 더 포함하는, 액정 디스플레이 디바이스.
  8. 제 1항에 있어서, 상기 주변 영역(200b)에서 복수의 스페이서(234) 중 적어도 하나와 동일한 높이를 갖는, 상기 픽셀 영역(200a)에 있는 상기 픽셀 전극(220a) 사이에서의 적어도 하나의 스페이서(234)를 더 포함하는, 액정 디스플레이 디바이스.
  9. 픽셀 영역(200a), 및 상기 픽셀 영역(200a)에 인접한 주변 영역(200b)을 구비하는 액정 디스플레이(LCD) 디바이스(200)로서,
    - 기판(210)과;
    - 상기 기판(210) 상의 절연층(212)과;
    - 상기 절연층(212) 위의 제 1 금속층(220)으로서,
    - 상기 픽셀 영역(200a)에서의 픽셀 전극(220a) 어레이와;
    - 개구부(220c)를 갖는 상기 주변 영역(200b)에서의 주변부(220b)를 포함하는, 제 1 금속층(220)과;
    - 상기 주변 영역(200b)에서의 상기 제 1 금속층(220)에 있는 상기 개구부(220c)에서의 스페이서(234)와;
    - 상기 제1 금속층(220)과 상기 기판(210) 사이의 제 2 금속층(224)과;
    - 상기 주변 영역(200b)에서의 상기 제 1 금속층(220)에 있는 상기 개구부(220c) 바로 아래에 있고, 상기 제 2 금속층(224)과 상기 제 1 금속층(220) 사이에서 실질적으로 연장하는, 벽부(226)를
    포함하는, 액정 디스플레이 디바이스.
  10. 제 9항에 있어서, 상기 벽부(226)는 상기 개구부 주위에서 실질적으로 연속적인, 액정 디스플레이 디바이스.
  11. 제 9항에 있어서, 상기 제 2 금속층(224)은 상기 제 1 금속층(220)의 상기 주변부(220b)에서의 상기 개구부(220c) 바로 아래에 있는 광 차폐부(224c)를 포함하고, 상기 벽부(226)는 상기 광 차폐부(224c)와 상기 제 1 금속층(220) 사이에서 실질적으로 연장하는, 액정 디스플레이 디바이스.
  12. 제 9항에 있어서, 상기 주변 영역(200b)에서의 상기 스페이서(234)와 동일한 높이를 갖는, 상기 픽셀 영역(200a)에서의 적어도 하나의 스페이서(234)를 더 포함하는, 액정 디스플레이 디바이스.
  13. 제 9항에 있어서, 상기 개구부(220c)는 상기 절연층(212)의 일부분을 노출시키고, 상기 스페이서(234)는 상기 절연층(212)의 노출된 부분 위에 있는, 액정 디스플레이 디바이스.
  14. 픽셀 영역(200a), 및 상기 픽셀 영역(200a)에 인접한 주변 영역(200b)을 구비하는 액정 디스플레이(LCD) 디바이스(200)로서,
    - 기판(210)과;
    - 상기 기판(210) 상의 절연층(212)과;
    - 상기 절연층(212) 위의 제 1 금속층(220)으로서,
    - 상기 픽셀 영역(200a)에서의 픽셀 전극(220a) 어레이와;
    - 개구부(220c)를 갖는 상기 주변 영역(200b)에서의 주변부(220b)를 포함하는, 제 1 금속층(220)과;
    - 상기 주변 영역(200b)에서의 상기 제 1 금속층(220)에 있는 상기 개구부(220c)에서의 스페이서(234)와;
    - 상기 제 1 금속층(220)과 상기 기판(210) 사이의 제 2 금속층(224)으로서,
    - 상기 제 1 금속층(220)의 상기 주변부(220b)에 있는 상기 개구부(220c) 바로 아래에 있는 광 차폐부(224c)와,
    - 상기 주변 영역(200b)에 있는 복수의 신호 라우팅 라인(224b)을
    포함하는, 제 2 금속층(224)과;
    - 상기 제 2 금속층(224)과 상기 기판(210) 사이에 있는 제 3 금속층(228) 및 제 4 금속층(230)으로서, 상기 제 3 금속층(228) 및 제 4 금속층(230) 각각은 상기 주변 영역(200b)에서 복수의 추가 신호 라우팅 라인을 포함하는, 제 3금속층(228) 및 제 4 금속층(230)을
    포함하는, 액정 디스플레이 디바이스.
  15. 제 14항에 있어서, 상기 제 3 금속층(228) 및 제 4 금속층(230)은 상기 LCD 디바이스(200)에 대해 상호-직교 행 및 열 라인을 형성하는, 액정 디스플레이 디바이스.
  16. 제 14항에 있어서, 상기 광 차폐부(224c)는 아일랜드인, 액정 디스플레이 디바이스.
  17. 제 14항에 있어서, 상기 주변 영역(200b)에서의 상기 스페이서(234)와 동일한 높이를 갖는, 상기 픽셀 영역(200a)에서의 적어도 하나의 스페이서(234)를 더 포함하는, 액정 디스플레이 디바이스.
  18. 픽셀 영역(200a), 및 상기 픽셀 영역(200a)에 인접한 주변 영역(200b)을 구비하는 액정 디스플레이(LCD) 디바이스(200) 제조 방법으로서,
    - 기판(210) 상에 절연층(212)을 형성하는 단계와;
    - 상기 기판(210) 위에 제 1 금속층(224)을 형성하는 단계와;
    - 상기 제 1 금속층(224) 위에 픽셀 금속층(220)을 형성하는 단계로서, 상기 픽셀 금속층(220)은 상기 픽셀 영역(200a)에서의 픽셀 전극(220a) 어레이, 및 상기절연층(212)의 부분을 노출하는 복수의 개구부(220c)를 갖는 상기 주변 영역(200b)에서의 주변부(220b)를 포함하는, 픽셀 금속층(220)을 형성하는 단계와;
    - 복수의 벽부(226)를 형성하는 단계로서, 상기 벽부 각각은 복수의 개구부(220c)의 대응하는 하나에 대응하고, 상기 픽셀 금속층(220)의 상기 주변부(220b)와 상기 제 1 금속층(224) 사이에서 실질적으로 연장하는, 복수의 벽부(226)를 형성하는 단계를
    포함하는, 액정 디스플레이 디바이스 제조 방법.
  19. 제 18항에 있어서, 상기 제 1 금속층(224)을 형성하는 단계는,
    - 상기 픽셀 금속층(220)의 상기 주변부(220b)에서의 상기 개구부(220c) 바로 아래에 있는 복수의 광 차폐부(224c)를 형성하는 단계와,
    - 상기 주변 영역(200b)에서 복수의 신호 라우팅 라인(224b)을 형성하는 단계를
    포함하는, 액정 디스플레이 디바이스 제조 방법.
  20. 제 18항에 있어서, 각 벽부(226)는 상기 대응하는 개구부(220c) 주위에 실질적으로 연속적으로 형성되는, 액정 디스플레이 디바이스 제조 방법.
  21. 제 18항에 있어서, 상기 벽부(226)는 불투명 물질로 이루어지는, 액정 디스플레이 디바이스 제조 방법.
  22. 픽셀 영역(200a), 및 상기 픽셀 영역(200a)에 인접한 주변 영역(200b)을 구비하는 액정 디스플레이(LCD) 디바이스(200)로서,
    - 기판(210)과;
    - 상기 기판(210) 상의 절연층(212)과;
    - 상기 절연층(212) 위의 제 1 금속층(220)으로서,
    - 상기 픽셀 영역(200a)에서의 픽셀 전극(220a) 어레이, 및 그 사이의 제 1 복수의 리세스(recesses)(222)와;
    - 제 2 복수의 리세스(220c)를 갖는 상기 주변 영역(200b)에서의 주변부(220b)를 포함하는, 제 1 금속층(220)과;
    - 상기 제 1 복수의 리세스(222) 및 제 2 복수의 리세스(220c)에 있는 복수의 스페이서(234)로서, 상기 제 1 복수의 리세스(222)에서의 적어도 하나의 스페이서(234)와, 상기 제 2 복수의 리세스(220c)에서의 적어도 하나의 스페이서(234)는 동일한 높이를 갖는, 복수의 스페이서(234)를
    포함하는, 액정 디스플레이 디바이스.
KR1020027016887A 2001-04-13 2002-04-08 일정하게 통합된 스페이서를 구비하는 액정 디스플레이디바이스 KR20030007957A (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US09/833,718 2001-04-13
US09/833,718 US6642986B2 (en) 2001-04-13 2001-04-13 Liquid crystal display device having uniform integrated spacers

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20030007957A true KR20030007957A (ko) 2003-01-23

Family

ID=25265099

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020027016887A KR20030007957A (ko) 2001-04-13 2002-04-08 일정하게 통합된 스페이서를 구비하는 액정 디스플레이디바이스

Country Status (6)

Country Link
US (2) US6642986B2 (ko)
EP (1) EP1384108A1 (ko)
JP (1) JP2004521387A (ko)
KR (1) KR20030007957A (ko)
CN (1) CN1228814C (ko)
WO (1) WO2002084388A1 (ko)

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100652063B1 (ko) * 2001-12-27 2006-11-30 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시소자 및 그 제조방법
JP4181376B2 (ja) * 2002-10-25 2008-11-12 セイコーエプソン株式会社 液晶装置、液晶装置の製造方法、電子機器
KR100459232B1 (ko) * 2002-12-11 2004-12-03 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시장치
JP2004177848A (ja) * 2002-11-29 2004-06-24 Hitachi Displays Ltd 液晶表示装置
US6917409B2 (en) * 2003-02-18 2005-07-12 Intel Corporation Integrated spacer technology for LCOS light modulators
US7008808B2 (en) * 2004-05-05 2006-03-07 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co Ltd Method of manufacturing LCOS spacers
TWI327236B (en) * 2004-11-29 2010-07-11 Au Optronics Corp Spacer and liquid crystal display panel employing thereof
JP4380570B2 (ja) * 2005-03-25 2009-12-09 エプソンイメージングデバイス株式会社 液晶装置及び電子機器
JP5066836B2 (ja) * 2005-08-11 2012-11-07 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置及び電子機器
US7747833B2 (en) 2005-09-30 2010-06-29 Mosaid Technologies Incorporated Independent link and bank selection
TWI269075B (en) * 2005-10-27 2006-12-21 Chunghwa Picture Tubes Ltd Manufacturing method of color filter device, liquid crystal display panel and manufacturing method thereof
JP2007156182A (ja) * 2005-12-06 2007-06-21 Nagase & Co Ltd スペーサ配置方法及び液晶表示装置
CN101144949B (zh) * 2006-09-12 2010-12-29 精工爱普生株式会社 电光装置及电子设备
US7710518B2 (en) * 2006-12-01 2010-05-04 Tpo Displays Corp. System for displaying images
JP2009139672A (ja) * 2007-12-07 2009-06-25 Sony Corp 液晶表示素子及び液晶表示素子の製造方法
KR101730995B1 (ko) * 2010-10-22 2017-04-28 삼성디스플레이 주식회사 표시장치
CN103901672B (zh) * 2014-03-21 2017-08-25 京东方科技集团股份有限公司 一种阵列基板、液晶面板及显示装置
KR102628201B1 (ko) 2016-10-05 2024-01-23 티씨엘 차이나 스타 옵토일렉트로닉스 테크놀로지 컴퍼니 리미티드 액정 표시 장치
CN114624928A (zh) * 2022-02-28 2022-06-14 长沙惠科光电有限公司 阵列基板、显示面板及显示装置

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3861783A (en) * 1973-06-28 1975-01-21 Hughes Aircraft Co Liquid crystal display featuring self-adjusting mosaic panel
US4682858A (en) * 1984-08-20 1987-07-28 Canon Kabushiki Kaisha Liquid crystal device having reduced-pressure region in communication with ferroelectric liquid crystal
US5963288A (en) * 1987-08-20 1999-10-05 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Liquid crystal device having sealant and spacers made from the same material
JPH10123534A (ja) * 1996-10-23 1998-05-15 Toshiba Corp 液晶表示素子
US6266121B1 (en) * 1996-11-28 2001-07-24 Sharp Kabushiki Kaisha Liquid crystal display element and method of manufacturing same
US6465268B2 (en) * 1997-05-22 2002-10-15 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method of manufacturing an electro-optical device
US6023309A (en) * 1997-12-22 2000-02-08 Philips Electronics North America Corporation Reflective liquid crystal display having integral light shielding
TW478014B (en) * 1999-08-31 2002-03-01 Semiconductor Energy Lab Semiconductor device and method of manufacturing thereof
EP1081537A1 (en) * 1999-09-03 2001-03-07 Alcatel Method for processing conductive layer structures and devices including such conductive layer structures
US6180430B1 (en) * 1999-12-13 2001-01-30 Chartered Semiconductor Manufacturing Ltd. Methods to reduce light leakage in LCD-on-silicon devices
US20020149720A1 (en) * 2001-04-17 2002-10-17 Janssen Peter J. Liquid crystal display device having spacers with reduced visible artifacts

Also Published As

Publication number Publication date
US6642986B2 (en) 2003-11-04
EP1384108A1 (en) 2004-01-28
US20040075785A1 (en) 2004-04-22
JP2004521387A (ja) 2004-07-15
WO2002084388A1 (en) 2002-10-24
CN1461422A (zh) 2003-12-10
US20020149734A1 (en) 2002-10-17
CN1228814C (zh) 2005-11-23
US6788380B2 (en) 2004-09-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20030007957A (ko) 일정하게 통합된 스페이서를 구비하는 액정 디스플레이디바이스
US7430023B2 (en) Liquid crystal display without storage capacitance electrode lines
KR20000057740A (ko) 액정 패널, 액정 패널 제조 방법, 액정 표시 장치, 및액정 프로젝터
KR20020033574A (ko) 액정표시장치
US5767927A (en) Liquid crystal display with pixel electrode divided in two by common electrode line
JP2012194564A (ja) 表示装置及びマスク
KR20100031976A (ko) 어레이 기판 및 이의 제조 방법
US8466863B2 (en) Liquid crystal display and method for manufacturing the same
JP3992393B2 (ja) 反射型液晶表示装置の製造方法及び反射型液晶表示装置の製造用マスク
US6545731B2 (en) Liquid crystal display device having light isolation structure
KR100625027B1 (ko) 액정표시소자와 그 제조방법
KR100893256B1 (ko) 액정 표시 장치
KR20030026088A (ko) 기판 흡착용 진공 척 구조
KR100924751B1 (ko) 액정표시장치 및 그 제조방법
KR20070072275A (ko) 수직배향모드 액정표시소자 및 그 제조방법
KR100650400B1 (ko) 액정 표시 장치용 어레이 기판 및 그의 제조 방법
KR100272556B1 (ko) 액정표시장치 및 그 제조방법
KR20060114918A (ko) 표시 기판 및 이를 구비한 표시 패널
KR100635939B1 (ko) 액정 표시 장치 및 그에 사용되는 기판과 그 제조 방법
KR20080100903A (ko) 표시장치 및 이의 제조 방법
KR101385244B1 (ko) 액정표시장치용 어레이 기판 및 이의 제조 방법
KR20010004023A (ko) 액정표시소자
KR20030058157A (ko) 액정 표시 장치용 어레이 기판 및 그의 제조 방법

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid