KR20020076046A - Electrostatic Ink-jet Print-head by Side Actuating - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An inkjet print head is provided to achieve improved resolution of printer and reduce cost by reducing the area occupied by nozzles and spacing between nozzles. CONSTITUTION: An inkjet print head comprises a lower substrate(50); a nozzle plate(80) disposed onto the lower substrate, and which has a nozzle(81) for discharging ink; a pressure chamber(60) interposed between the lower substrate and the nozzle plate, such that the pressure chamber is opposed to a front substrate(63), wherein he pressure chamber serves as a space to be filled with an ink; an actuating electrode(71) arranged adjacent the pressure chamber, and spaced apart from the lower substrate such that the actuating electrode moves toward the rear substrate when a voltage is applied; a plurality of fixing members(72) arranged to the lower substrate such that the fixing members are located in the vicinity of both sides of the actuating electrode; and an elastic member(73) connecting the actuating electrode and the fixing members, and which is elastically biased in the direction where the actuating electrode moves.

Description

측면 정전구동방식의 잉크젯 프린트헤드{Electrostatic Ink-jet Print-head by Side Actuating}Electrostatic Ink-jet Print-head by Side Actuating

본 발명은 잉크젯 프린트헤드에 관한 것으로, 보다 상세하게는 정전력을 이용하여 잉크를 토출시키는 잉크젯 프린트헤드에 관한 것이다.The present invention relates to an inkjet printhead, and more particularly, to an inkjet printhead for discharging ink using electrostatic force.

일반적으로, 잉크젯 프린트헤드의 잉크 토출 방식으로는 열원을 이용하여 잉크에 기포(버블)를 발생시켜 이 힘으로 잉크를 토출시키는 전기-열 변환방식(electro-thermal transducer)과, 압전체를 이용하여 압전체의 변형으로 인해 생기는 잉크의 체적변화에 의해 잉크를 토출시키는 전기-기계 변환방식(electro-mechanical transducer)이 있다. 이러한 전기-열변환방식은 헤드의 챔버내에 열을 공급할 수 있는 히터를 장착하여 매우 짧은 시간안에 상당히 큰 열에너지를 공급함에 따라 히터의 고유저항 때문에 열이 발생한다. 이 열이 히터와 접촉하고 있는 잉크로 전달되어 수용성잉크가 비등점 이상으로 온도가 급격히 상승하게 된다. 잉크의 온도가 비등점 이상으로 상승하게 되면 기포가 형성되고, 형성된 기포는 주변의 잉크에 압력을 가한다. 압력을 받은 잉크는 대기압과의 압력차이로 인해 노즐을 통해 토출된다. 이때 토출되는 잉크는 잉크 고유의 표면에너지를 최소화하기 위해 잉크방울을 형성하면서 지면으로 토출된다, 이런 과정을 컴퓨터를이용해서 필요할 때마다 작동시키는 방식을 드롭-온- 디맨드(Drop-on-demand)방식이라고 한다.In general, the ink ejection method of the inkjet printhead includes an electro-thermal transducer which generates bubbles (bubbles) in the ink using a heat source and ejects the ink with this force, and a piezoelectric body using the piezoelectric body. There is an electro-mechanical transducer that discharges ink by changing the volume of ink caused by the deformation of. This electro-thermal conversion method is equipped with a heater capable of supplying heat in the chamber of the head to supply a large amount of heat energy in a very short time to generate heat due to the resistivity of the heater. This heat is transferred to the ink in contact with the heater, causing the water-soluble ink to rise rapidly above the boiling point. When the temperature of the ink rises above the boiling point, bubbles are formed, and the formed bubbles apply pressure to the surrounding ink. The pressurized ink is ejected through the nozzle due to the pressure difference from the atmospheric pressure. At this time, the ejected ink is ejected to the ground by forming ink droplets to minimize the surface energy inherent in the ink. The drop-on-demand method of operating such a process using a computer whenever necessary is required. It is called the method.

이러한 전기-열 변환방식은 열에너지에 의해 발생되는 잉크방울의 압력으로 인한 연속적인 충격때문에 내구성에 문제가 있으며, 잉크방울의 크기를 조절하기 어렵고, 속도의 증가에도 한계가 있다.The electro-thermal conversion method has a problem in durability due to the continuous impact due to the pressure of the ink droplets generated by thermal energy, difficult to control the size of the ink droplets, there is a limit to the increase in speed.

이에 반하여 전기-기계 변환방식은 헤드의 챔버에 압력을 가할 수 있도록, 다이아프램에 압전물질을 부착하여 전압이 인가되면 힘을 발생시키는 압전특성을 이용하여 챔버에 압력을 제공하여 잉크를 밀어내는 방식으로, 인가되는 전압에 따라 힘을 발생시켜 챔버내에 압력을 전달하는 방식이므로 속도측면에서 성능이 우수하여 널리 사용되고 있다.On the contrary, the electro-mechanical conversion method uses a piezoelectric material that attaches a piezoelectric material to the diaphragm so as to apply pressure to the chamber of the head, and provides pressure to the chamber to push ink by using a piezoelectric property that generates a force when a voltage is applied. As a method of generating a force in accordance with the applied voltage to transfer the pressure in the chamber, it is widely used because of its excellent performance in terms of speed.

도 1은 전기-기계 변환방식 잉크젯 프린터헤드를 도시한 도면이다. 도 1을 참조하면, 종래의 전기-기계 변환방식 잉크젯 프린터헤드는 기판(16)과, 다이아프램(17)과, 압전소자(18)와, 격벽(19)및 노즐판(10)으로 구성된다. 이와같이 구성되는 전기-기계 변환방식의 잉크젯 프린터헤드는 구동신호 발생기(13)로부터 상기 압전소자(18)에 구동신호를 인가하면 압전소자(18)는 기계적으로 신축되며, 이러한 압전소자(18)의 신축작용으로 잉크챔버(11)내의 잉크(14)가 노즐(12)밖으로 밀려남으로써 잉크액적(15)이 토출된다.1 is a diagram illustrating an electro-mechanical conversion inkjet printhead. Referring to FIG. 1, a conventional electro-mechanical conversion inkjet printhead includes a substrate 16, a diaphragm 17, a piezoelectric element 18, a partition wall 19, and a nozzle plate 10. . In the electro-mechanical conversion inkjet printhead configured as described above, when the driving signal is applied from the driving signal generator 13 to the piezoelectric element 18, the piezoelectric element 18 is mechanically stretched, and the piezoelectric element 18 The ink droplets 15 are ejected by the ink 14 in the ink chamber 11 being pushed out of the nozzle 12 by the stretching action.

이러한 전기-기계 변환방식 잉크젯 프린터헤드는 고가의 압전소자를 사용하기 때문에 가격이 비싸며, 압전소자를 전극, 절연층, 보호층등과 잘 조화시켜야 하기 때문에 그 제조공정이 까다로워 수율이 저조한 문제점이 있다.These electro-mechanical conversion inkjet printheads are expensive because they use expensive piezoelectric elements, and the piezoelectric elements have to be well matched with electrodes, insulating layers, and protective layers. .

한편, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해서 정전력을 이용한 잉크젯 프린터 헤드가 사용되고 있다. 이러한 잉크젯 프린터헤드는 제작의 간편성, 저 소비전력 및 단순한 동작원리 등의 이점이 있기 때문에 잉크젯 프린터헤드의 방식중의 하나로 급부상하고 있다.Meanwhile, in order to solve the above problems, an inkjet printer head using electrostatic power is used. Such inkjet printheads have emerged as one of the methods of inkjet printheads because they have advantages such as ease of manufacture, low power consumption and simple operation principle.

도 2는 미국 특허번호 제 4,520,375 호 에 개재되어 있는 유체 제트 분출기에 관한 것이며, 도 3은 미국 특허번호 제 5,894,316 호에 개재되어 있는 다이아프렘을 갖춘 잉크젯 프린터헤드에 관한 것이다.FIG. 2 relates to a fluid jet ejector disclosed in US Pat. No. 4,520,375, and FIG. 3 relates to an inkjet printhead with a diaphragm as disclosed in US Pat. No. 5,894,316.

도 2를 참조하면, 기판(21)과, 상기 기판(21)의 하면에 위치하는 박막(23)과, 상기 기판(21)과 상기 박막(23)의 사이에는 복수개의 절연층(22)이 개재되어 일정간격을 이룬다. 이러한 일정간격을 사이에 두고 전극(25)이 설치된다. 상기 박막(23)의 하면에는 끝벽(27)이 설치되며, 상기 박막(23)의 도면의 오른쪽 끝단부에서 상기 끝벽(27)으로 소정거리 연장되어 그 격벽(26)과 상기 끝벽(27)사이에 노즐이 형성된다. 그리고, 상기 박막(23)의 도면 왼쪽 끝단부에서 상기 끝벽(27)으로 연장된 격벽은 그 사이를 연결한다. 상기 박막(23)과 격벽(26)과 끝벽(27)에 둘러싸여 이루어지는 공간은 압력챔버(29)를 형성한다. 상기 끝벽(27)에는 잉크가 유입되는 잉크유입구(29')가 설치된다.Referring to FIG. 2, a plurality of insulating layers 22 are formed between the substrate 21, the thin film 23 positioned on the lower surface of the substrate 21, and the substrate 21 and the thin film 23. Intervene to form a certain interval. The electrodes 25 are provided with the predetermined interval therebetween. An end wall 27 is installed on a lower surface of the thin film 23, and extends a predetermined distance from the right end of the drawing of the thin film 23 to the end wall 27, between the partition wall 26 and the end wall 27. A nozzle is formed in. In addition, the partition wall extending from the left end of the thin film 23 to the end wall 27 connects therebetween. The space surrounded by the thin film 23, the partition 26, and the end wall 27 forms a pressure chamber 29. The end wall 27 is provided with an ink inlet 29 ′ through which ink flows.

도 3을 참조하면, 일측면에 전극(31)이 설치되는 유리판(30)과, 상기 유리판(30)과 일정한 간격을 사이에 두고 설치되는 하부기판(33)과, 상기 하부기판(33)의 상면에 설치되어 잉크가 토출되는 통로인 노즐(36)이 형성되어 있는 상부기판(37)과, 상기 상부기판(37)과 하부기판(33)의 사이에 개재되며, 상기하부기판(33)의 양측면에 각각 설치되는 중앙기판(35)과, 이들에 둘러싸여 잉크가 저장되는 챔버를 이루는 잉크챔버(38)를 구비한다. 그리고, 상기 유리판(30)에 설치되어 있는 전극(31)에 대응하여 상기 하부기판(33)에는 도면에 표시된 간격 G를 사이에 두고 전극이 설치된다.Referring to FIG. 3, a glass plate 30 having an electrode 31 disposed on one side thereof, a lower substrate 33 disposed at a predetermined distance from the glass plate 30, and the lower substrate 33 may be formed. It is interposed between the upper substrate 37 and the upper substrate 37 and the lower substrate 33 is provided on the upper surface and the nozzle 36 which is a passage for discharging ink, the lower substrate 33 A central substrate 35 is provided on each side, and an ink chamber 38, which is surrounded by these, forms a chamber in which ink is stored. In addition, corresponding to the electrode 31 provided on the glass plate 30, the lower substrate 33 is provided with an interval G interposed therebetween.

이와 같이 구성되는 잉크젯 프린터헤드는 전원이 인가되면, 전극에 서로 다른 전하가 대전되어, 이들 사이에는 서로 끌어당기는 인력이 작용한다. 따라서, 잉크를 저장하는 챔버에 설치되어 있는 전극을 끌어당기게 된다. 그리고, 전원이 단속되면, 끌어당겨진 전극은 다시 원래의 상태로 돌아가게 되어 그 챔버속에 들어있는 잉크에 압력을 가하게 된다. 그러므로, 이러한 압력에 의하여 잉크가 노즐을 통하여 외부로 방출되게 된다.When a power source is applied to the inkjet printhead configured as described above, different charges are charged to the electrodes, and an attractive force acts between them. Therefore, the electrode provided in the chamber for storing ink is attracted. Then, when the power is interrupted, the attracted electrode returns to its original state, applying pressure to the ink contained in the chamber. Therefore, such pressure causes ink to be discharged to the outside through the nozzle.

상기와 같이 구성되는 정전력을 이용한 잉크젯 프린터 헤드에서는 그 성능을 좌우하는 것 중에서 가장 중요한 것은 전극이 설치되는 간격을 최대한 작게 하는 것이다. 이러한 간격은 두개의 다른 물질을 고온 또는 고전압에서 본딩(Bonding)통해서 생성한다. 하지만, 이러한 간격은 0.2μm이내의 좁은 간격으로 이루어지므로 이를 위해서 본딩하는 것은 매우 어렵다. 또한, 두장의 웨이퍼를 본딩해서 간격을 형성하므로 두개의 전극을 세워서 배열할 수는 없다. 왜냐하면, 본딩 이외의 방법으로 0.2μm의 간격으로 100~200μm의 골(trench)을 직접적으로 형성하는 것은 현재 기술로는 불가능하기 때문이다.In the inkjet printer head using the electrostatic force configured as described above, the most important thing that influences the performance is to make the interval between the electrodes as small as possible. This spacing creates two different materials through bonding at high temperature or high voltage. However, such a gap is made of a narrow gap within 0.2μm, it is very difficult to bond for this purpose. In addition, since two wafers are bonded to form a gap, two electrodes cannot be arranged vertically. This is because it is impossible to directly form 100-200 μm of trenches at intervals of 0.2 μm by means of methods other than bonding.

또한, 정전력을 이용한 잉크젯프린터 헤드에서는 압력챔버의 크기를 일정이상으로 해야한다. 또한, 정전력을 키우고 박막의 강성을 낮추기 위해서는 간격이접하는 면적을 넓게 해야한다. 따라서, 노즐당 차지하는 면적이 커져야 하므로, 노즐간격이 넓어지게 되어 프린터의 해상도를 높일 수 없고 가격이 높아지는 단점이 있다. 그리고, 전극을 형성하기 위해서 별도의 금속을 증착함으로서 공정이 복잡해진다.In addition, in the inkjet printer head using the electrostatic force, the size of the pressure chamber should be more than a certain level. In addition, in order to increase the electrostatic force and lower the rigidity of the thin film, the area close to the gap must be widened. Therefore, since the area occupied by the nozzle must be large, the nozzle interval becomes wider, so that the resolution of the printer cannot be increased and the price is increased. The process is complicated by depositing a separate metal to form an electrode.

본 발명은 상기 문제점을 감안한 것으로서, 양전극 사이에 발생되는 정전력을 크게 하기 위하여 양전극간격을 줄 일수 있는 구조가 개선된 잉크젯 프린트 헤드를 제공함에 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide an inkjet printhead having an improved structure capable of reducing a positive electrode spacing in order to increase electrostatic power generated between positive electrodes.

도 1은 종래의 전기-기계 변환방식 잉크젯 프린트헤드를 도시한 단면도,1 is a cross-sectional view showing a conventional electro-mechanical conversion inkjet printhead,

도 2는 종래의 유체제트 분출기를 도시한 단면도,2 is a cross-sectional view showing a conventional fluid jet ejector,

도 3은 종래의 다이아프램을 가지는 잉크젯프린트 헤드를 도시한 단면도,3 is a cross-sectional view showing an inkjet printhead having a conventional diaphragm;

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 정전력을 이용한 잉크젯 프린트 헤드를 도시한 사시도,4 is a perspective view illustrating an inkjet printhead using electrostatic force according to an embodiment of the present invention;

도 5는 도 4에 도시된 A-A'선에 따른 단면도,5 is a cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG. 4;

도 6a 내지 도 6b는 도4에 도시된 정전력을 이용한 잉크젯 프린트헤드의 동작을 도시한 단면도,6A to 6B are cross-sectional views showing the operation of the inkjet printhead using the electrostatic force shown in FIG. 4;

도 7a 내지 도 7i는 본 발명의 실시예에 따른 정전력을 이용한 잉크젯 프린트 헤드의 가공단계를 도시한 도면.7A to 7I illustrate processing steps of an inkjet print head using electrostatic force according to an embodiment of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

40...잉크젯 프린트 헤드 50...하부기판40 ... inkjet printhead 50 ... lower substrate

60...압력챔버 61...잉크유입구60.Pressure chamber 61.Ink inlet

62...후면기판 63...전면기판62.Rear substrate 63.Front substrate

64...측면기판 65...완충부64 ... side board 65 ... buffer

71...가동전극 72...고정부재71 movable electrode 72 fixing member

73...탄성부재 74...멈춤대73 elastic member 74 stop

80...노즐판 81...노즐80 Nozzle plate 81 Nozzle

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명인 잉크젯 프린트 헤드는In order to achieve the above object, the inkjet printhead of the present invention is

하부기판과; 상기 하부기판의 상면에 위치하여 잉크를 토출하기 위한 노즐이 형성되어 있는 노즐판과; 상기 하부기판과 노즐판 사이에 개재되는 것으로, 전면기판과 이에 대향되게 설치되며 전극이 형성된 후면기판 및 양 측면기판에 둘러싸여 마련되며 잉크유입구를 통하여 유입되는 잉크를 충전하는 공간인 압력챔버와; 상기 압력챔버의 장변부 일측에 인접하게 설치되며 전압이 인가되었을 때 상기 후면기판 쪽으로 이동되도록 상기 하부기판과 소정간격 이격되어 있는 가동전극과; 상기 가동전극의 양측에 인접되어 상기 하부기판에 설치되는 복수개의 고정부재와; 상기 가동전극을 상기 고정부재에 연결하여 상기 가동전극이 이동되는 방향으로 탄성바이어스 되는 탄성부재;를 포함한다.A lower substrate; A nozzle plate disposed on an upper surface of the lower substrate and having a nozzle for discharging ink; A pressure chamber interposed between the lower substrate and the nozzle plate, the pressure chamber being installed to face the front substrate and the nozzle substrate and surrounded by a rear substrate and both side substrates on which electrodes are formed, and filling ink flowing through the ink inlet; A movable electrode disposed adjacent to one side of the long side of the pressure chamber and spaced apart from the lower substrate by a predetermined distance to move toward the rear substrate when a voltage is applied; A plurality of fixing members adjacent to both sides of the movable electrode and installed on the lower substrate; And an elastic member that is elastically biased in a direction in which the movable electrode is moved by connecting the movable electrode to the fixed member.

본 발명에 따르면, 상기 가동전극은 상기 후면기판에 대향되는 면의 양측에각각 상기 후면기판 쪽으로 돌출 연장되어 형성된 적어도 하나 이상의 멈춤대를 더 구비한다.According to the present invention, the movable electrode further includes at least one stopper formed on both sides of the surface opposite to the rear substrate, each of which protrudes toward the rear substrate.

본 발명에 따르면, 상기 가동전극과 후면기판 사이에 초기전압이 인가될 때 상기 가동전극과 상기 후면기판 사이의 간격은 상기 멈춤대의 높이로 한정된다.According to the present invention, when an initial voltage is applied between the movable electrode and the rear substrate, the distance between the movable electrode and the rear substrate is limited to the height of the stop.

본 발명에 따르면, 상기 후면기판의 두께는 전면기판의 두께보다 얇게 구성되어 있는 것이 바람직하다.According to the present invention, the thickness of the rear substrate is preferably configured to be thinner than the thickness of the front substrate.

본 발명에 따르면, 상기 후면기판은 프린트시 상기 가동전극 쪽으로 휘어졌다가 그 자체의 탄성복원력에 의하여 원위치로 복귀하여 상기 잉크챔버의 체적을 변화시켜 압력변화에 의하여 잉크를 토출 시킨다.According to the present invention, the back substrate is bent toward the movable electrode during printing and then returned to its original position by its elastic restoring force to change the volume of the ink chamber to discharge ink by the pressure change.

본 발명에 따르면, 상기 노즐은 상기 가동전극이 이동하는 방향에 대하여 수직으로 형성되어 있다.According to the present invention, the nozzle is formed perpendicular to the direction in which the movable electrode moves.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 정전력을 이용한 잉크젯 프린트 헤드를 도시한 사시도 이고, 도 5는 도 4에 도시된 A-A'선에 따른 단면도이다. 여기서, 노즐이 마련되어 있는 부분이 인쇄 시에는 인쇄지에 향하게 되는 부분이다.4 is a perspective view illustrating an inkjet printhead using electrostatic power according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG. 4. Here, the part in which the nozzle is provided is the part which faces the printing paper at the time of printing.

도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 정전력을 이용한 잉크젯 프린트 헤드(40)에는 하부기판(50)과, 상기 하부기판(50)의 상면에 위치하며 잉크를 외부로 토출하기 위한 경로를 제공하는 노즐(81)이 마련된 노즐판(80)이 마련되어 있다. 또한, 상기 하부기판(50)과 상기 노즐판(80)사이에는 잉크가 충전되는 공간인압력챔버(60)가 설치되어 있고, 상기 압력챔버(60)의 장변부 일측에는 가동전극(71)이 설치되어 있다. 그리고, 상기 가동전극(71)의 양측에는 인접하여 복수개의 고정부재(72)가 설치되어 있고, 상기 가동전극(71)과 고정부재(72)를 연결하는 탄성부재(73)가 설치되어 있다.4 and 5, the inkjet print head 40 using the electrostatic force according to the present invention is located on the lower substrate 50 and the upper surface of the lower substrate 50 and a path for discharging ink to the outside. The nozzle plate 80 provided with the nozzle 81 which provides the is provided. In addition, a pressure chamber 60 which is a space filled with ink is provided between the lower substrate 50 and the nozzle plate 80, and a movable electrode 71 is provided at one side of the long side of the pressure chamber 60. It is installed. A plurality of fixing members 72 are provided adjacent to both sides of the movable electrode 71, and an elastic member 73 connecting the movable electrode 71 and the fixing member 72 is provided.

상기 가동전극(71)은 상기 고정부재(72)에 상기 탄성부재(73)에 의하여 연결되어 있으며, 하부기판(50)과 소정간격 이격되어 있다. 즉, 상기 가동전극(71)은 상기 하부기판(50)으로부터 소정간격 떠 있으며, 상기 탄성부재(73)에 의하여 상기 고정부재(72)에 매달려 있다. 따라서, 외부에서 전원이 인가되면 후술하는 후면기판(62)과의 사이에 정전력이 발생되어 상기 가동전극(71)은 상기 후면기판(62)쪽으로 상기 하부기판(50)위를 떠서 움직이게 된다.The movable electrode 71 is connected to the fixing member 72 by the elastic member 73, and is spaced apart from the lower substrate 50 by a predetermined distance. That is, the movable electrode 71 is spaced apart from the lower substrate 50 by a predetermined distance, and is suspended from the fixing member 72 by the elastic member 73. Therefore, when power is applied from the outside, electrostatic power is generated between the rear substrate 62 to be described later, and the movable electrode 71 floats on the lower substrate 50 toward the rear substrate 62.

또한, 상기 가동전극(71)에는 상기 압력챔버(60)에 대향하는 면의 양단부에 각각 상기 압력챔버(60)쪽으로 돌출되어 형성된 적어도 하나 이상의 멈춤대(74)가 마련되어 있다. 상기 멈춤대(74)는 상기 가동전극(71)이 상기 후면기판(62)쪽으로 이동할 때, 상기 가동전극(71)의 이동거리를 제한하기 위한 것이다. 따라서, 상기 가동전극(71)이 상기 후면기판(62)쪽으로 이동하더라도 상기 멈춤대(74)가 상기 후면기판(62)에 먼저 접촉하기 때문에, 상기 가동전극(71)이 더 이상 상기 후면기판(62)쪽으로 이동하는 것이 제한된다. 그러므로, 상기 가동전극(71)과 후면기판(62)은 상기 멈춤대(74)의 높이 만큼의 간격이 유지된다. 여기서, 상기 멈춤대(74)의 높이(t3)는 0.1 ~ 0.5μm 정도인 것이 바람직하다.In addition, the movable electrode 71 is provided with at least one stop 74, which protrudes toward the pressure chamber 60 at both ends of the surface facing the pressure chamber 60, respectively. The stop 74 is for limiting the moving distance of the movable electrode 71 when the movable electrode 71 moves toward the rear substrate 62. Therefore, even when the movable electrode 71 moves toward the rear substrate 62, the stop 74 contacts the rear substrate 62 first, so that the movable electrode 71 is no longer provided on the rear substrate 62. Travel to 62). Therefore, the movable electrode 71 and the rear substrate 62 are maintained at a distance equal to the height of the stop 74. Here, the height t3 of the stop 74 is preferably about 0.1 μm to 0.5 μm.

상기와 같이 상기 가동전극(71)과 후면기판(62)사이의 간격은 전압이 인가되지 않은 상태의 초기간격과 실제로 전압이 인가되어 정전력이 발생되는 경우의 동작간격으로 서로 다르게 유지된다. 이는 상기 가동전극(71)과 후면기판(62)사이에 발생되는 정전력을 크게 하기 위해서 이들 사이의 간격을 0.2μm 이하가 되어야 하는데, 실제 제작공정상 0.2 μm 이하의 간격을 유지하면서 제작하는 것은 어렵다. 따라서, 실제 제작과정에서 상기 가동전극(71)과 후면기판(62)의 간격을 0.2μm 이상으로 형성시키고, 전압이 인가되는 경우에 상기 가동전극(71)이 상기 후면기판(62)쪽으로 이동되도록 하여 그 사이의 간격을 0.2 μm 이하로 줄어들도록 한 것이다.As described above, the interval between the movable electrode 71 and the rear substrate 62 is kept different from the initial interval in the state where no voltage is applied and the operation interval when the voltage is actually applied. In order to increase the electrostatic force generated between the movable electrode 71 and the rear substrate 62, the distance between them should be 0.2 μm or less. it's difficult. Therefore, in the actual manufacturing process, the gap between the movable electrode 71 and the rear substrate 62 is formed to be 0.2 μm or more, and when the voltage is applied, the movable electrode 71 is moved toward the rear substrate 62. By reducing the gap between them to 0.2 μm or less.

여기서, 상기 멈춤대(74)의 형상은 본 발명에서는 사각형 형상으로 되어 있으나, 상기 가동전극(71)과 상기 후면기판(62)의 사이에 소정간격을 유지시키는 구조라면 다른 변용예 예를들어 원통형 등도 가능하다.Here, although the shape of the stop 74 is a rectangular shape in the present invention, if the structure to maintain a predetermined interval between the movable electrode 71 and the back substrate 62, other variations, for example cylindrical Etc. are also possible.

상기 탄성부재(73)는 상기 가동전극(71)을 상기 고정부재(72)에 연결하여 지지하기 위한 것이며, 또한, 상기 가동전극(71)이 상기 후면기판(62)쪽으로 이동한 상태에서 전원이 차단되었을 때, 다시 원래의 위치로 이동시키기 위한 탄성력을 제공하기 위한 것이다. 따라서, 상기 탄성부재(73)는 상기 하부기판(50)으로부터 떠 있는 구조라야 한다. 본 발명에서 상기 가동전극(71)과 탄성부재(73)는 상기 하부기판(50)으로 부터 소정간격 이격된 채 떠 있는 구조가 바람직하다.The elastic member 73 is for supporting the movable electrode 71 by being connected to the fixing member 72. In addition, the power is supplied in a state where the movable electrode 71 is moved toward the rear substrate 62. When blocked, it is intended to provide an elastic force to move it back to its original position. Therefore, the elastic member 73 should be a structure floating from the lower substrate 50. In the present invention, the movable electrode 71 and the elastic member 73 is preferably a floating structure spaced apart from the lower substrate 50 by a predetermined interval.

상기 압력챔버(60)는 상기 하부기판(50)과 노즐판(80)사이에 개재되어 잉크를 저장하는 곳으로, 상기 가동전극(71)에 인접하여 설치되는 후면기판(62)과, 이에 대향되게 설치되는 전면기판(63)및 양 측면기판(64)에 둘러싸여 형성된다. 한편, 상기 후면기판(62)의 두께(t1)는 상기 전면기판(63)의 두께(t2)보다도 얇게 형성된다. 즉, 상기 후면기판(62)은 박막(Membrane)으로서 그 자체를 전극으로 사용할 수 있도록 형성되어 있다. 또한, 그 자체가 탄성력을 가지고 있어 탄성변형 후에 이에 저장되어 있는 탄성 복원력에 의하여 다시 원래의 위치로 돌아갈 수 있는 것이 바람직하다.The pressure chamber 60 is interposed between the lower substrate 50 and the nozzle plate 80 to store ink, and the back substrate 62 is installed adjacent to the movable electrode 71. It is formed to be surrounded by the front substrate 63 and both side substrates 64 to be installed. On the other hand, the thickness t1 of the rear substrate 62 is formed to be thinner than the thickness t2 of the front substrate 63. That is, the back substrate 62 is formed as a thin film so as to use itself as an electrode. In addition, it is preferable that the elastic force itself is able to return to its original position by the elastic restoring force stored therein after the elastic deformation.

상기와 같이, 상기 후면기판(62)을 상기 전면기판(63)보다 얇게 형성하는 이유는 상기 가동전극(71)과 후면기판(63)사이에 초기전압이 인가되면, 그 사이에는 정전력이 발생되어 상호간에 인력이 작용하여 상기 가동전극(71)이 상기 후면기판(62)쪽으로 이동하게 된다. 따라서, 상기 가동전극(71)이 상기 후면기판(62)에 상기 멈춤대(74)를 사이에 두고 접촉된 상태에서, 상기 가동전극(71)과 후면기판(62)에 초기전압보다 더 높은 전압이 인가되면 상기 후면기판(62)이 가동전극(71)쪽으로 끌려가도록 하기 위함이다. 이렇게 됨으로써 상기 압력챔버(60)의 체적이 변하게 되어 그 차이만큼의 압력이 발생되어 잉크를 상기 노즐(81)을 통하여 외부로 밀어내게 된다.As described above, the reason for forming the rear substrate 62 thinner than the front substrate 63 is that when an initial voltage is applied between the movable electrode 71 and the rear substrate 63, constant power is generated therebetween. As a result, attractive force acts on each other to move the movable electrode 71 toward the rear substrate 62. Therefore, the voltage between the movable electrode 71 and the rear substrate 62 is higher than the initial voltage while the movable electrode 71 is in contact with the rear substrate 62 with the stop 74 therebetween. When this is applied to the rear substrate 62 is to be attracted to the movable electrode (71). As a result, the volume of the pressure chamber 60 is changed to generate the pressure corresponding to the difference, and the ink is pushed out through the nozzle 81.

또한, 상기 측면기판(64)에는 잉크가 상기 압력챔버(60)로 유입되는 경로인 잉크유입구(61)가 마련되어 있다. 또한, 상기 압력챔버(60)의 체적변화에 따른 잉크의 역류를 감소시키기 위하여 상기 압력챔버(60)와 잉크유입구(61)사이에 완충부(65)를 마련하는 것이 바람직하다. 상기 잉크유입구(61)는 잉크카트리지(미도시)에 연결된다.In addition, the side substrate 64 is provided with an ink inlet 61 which is a path through which ink flows into the pressure chamber 60. In addition, it is preferable to provide a buffer 65 between the pressure chamber 60 and the ink inlet 61 in order to reduce the back flow of ink due to the volume change of the pressure chamber 60. The ink inlet 61 is connected to an ink cartridge (not shown).

상기 노즐판(80)은 상기 압력챔버(60)의 상면에 위치하며, 상기압력챔버(60)에 충전되는 잉크를 외부로 토출하는 경로인 노즐(81)이 마련되어 있다. 본 발명에서 인접하는 노즐과의 간격을 줄일 수 있도록 상기 노즐(81)은 상기 가동전극(71)과 서로 수직으로 위치되어 있는 것이 바람직하다.The nozzle plate 80 is positioned on the upper surface of the pressure chamber 60, and a nozzle 81 is provided as a path for discharging ink filled in the pressure chamber 60 to the outside. In the present invention, the nozzle 81 is preferably positioned perpendicular to the movable electrode 71 so as to reduce the distance between the adjacent nozzles.

상기와 같은 구성을 가지는 본 발명의 실시예에 따른 측면 정전 구동방식의 잉크젯 프린트 헤드의 동작을 설명한다.An operation of the inkjet printhead of the side electrostatic driving method according to the embodiment of the present invention having the above configuration will be described.

도 6a 내지 도 6b는 본 발명의 실시예에 따른 정전력을 이용한 잉크젯 프린트헤드의 동작을 도시한 도면이다.6A to 6B illustrate an operation of an inkjet printhead using electrostatic force according to an embodiment of the present invention.

먼저, 도 6a는 전압이 인가되지 않은 잉크젯 프린트헤드를 도시한 도면이다. 도 6a를 참조하면, 상기 가동전극(71)은 상기 고정부재(72)에 탄성부재(73)에 의하여 연결되어 매달려있다. 이때, 상기 가동전극(71)과 후면기판(62)사이의 간격은 l1이다. 그리고, 상기 압력챔버(60)에는 상기 잉크유입구(61)를 통하여 잉크가 충전되어 있다.First, FIG. 6A shows an inkjet printhead to which no voltage is applied. Referring to FIG. 6A, the movable electrode 71 is connected to and suspended from the fixing member 72 by an elastic member 73. At this time, the distance between the movable electrode 71 and the back substrate 62 is l1. The pressure chamber 60 is filled with ink through the ink inlet 61.

도 6b는 초기전압(V1)이 인가된 상태의 잉크젯 프린트 헤드의 동작을 도시한 도면이다.6B is a view showing the operation of the inkjet print head in the state where the initial voltage V1 is applied.

도 6b를 참조하면, 프린터가 켜진 상태에서 초기전압(V1)이 인가되면 상기 가동전극(71)과 후면기판(62)사이에는 정전력이 발생한다. 이때, 상기 가동전극(71)은 상기 탄성부재(73)에 의하여 상기 고정부재(72)에 연결되어 상기 하면기판(50)위에 떠 있다. 하지만, 상기 후면기판(62)은 상기 전면기판(63)과 일체로 형성되어 상기 하부기판(50)에 고정되어 있으므로, 상기 후면기판(62)은 상기 탄성부재(73)에 비하여 강성이 강하므로 이들 사이에 발생된 정전력에 의하여 상기가동전극(71)이 상기 후면기판(62)으로 끌려오게 된다. 그리고, 상기 가동전극(71)은 이에 설치되어 있는 상기 멈춤대(74)가 상기 후면기판(62)에 먼저 접촉하게 되므로 더 이상 후면기판(62)쪽으로 이동되는 것이 저지된다. 따라서, 상기 가동전극(71)과 후면기판(62)사이의 간격(l2)은 상기 멈춤대(74)의 높이(t)로 한정된다.Referring to FIG. 6B, when the initial voltage V1 is applied while the printer is turned on, electrostatic power is generated between the movable electrode 71 and the rear substrate 62. At this time, the movable electrode 71 is connected to the fixing member 72 by the elastic member 73 and floats on the lower substrate 50. However, since the rear substrate 62 is integrally formed with the front substrate 63 and fixed to the lower substrate 50, the rear substrate 62 is stronger than the elastic member 73. The movable electrode 71 is attracted to the rear substrate 62 by the electrostatic force generated between them. In addition, the movable electrode 71 is prevented from moving toward the rear substrate 62 any more because the stop 74 provided thereon contacts the rear substrate 62 first. Therefore, the distance l2 between the movable electrode 71 and the rear substrate 62 is limited to the height t of the stop 74.

도 6c는 V2전압이 인가된 상태의 잉크젯 프린트 헤드의 동작을 도시한 도면이다.6C is a view showing the operation of the inkjet print head in the state where the V2 voltage is applied.

도 6c를 참조하면, 프린트가 시작되면 상기 가동전극(71)과 후면기판(62)사이에 V2전압이 걸리게 되어, 상기 가동전극(71)과 후면기판(62)사이에 걸리는 전체전압은 초기전압 V1과 V2전압의 합이 된다. 이때, 상기 가동전극(71)과 후면기판(62)사이에 정전력이 발생하게 된다. 한편, 상기 가동전극(71)은 상기 후면기판(62)보다도 두께가 두꺼우며 또한, 상기 멈춤대(74)에 의하여 양단이 지지되어 있어 변형되는 것이 어렵다. 그러므로, 두께가 상대적으로 얇은 상기 후면기판(62)이 상기 가동전극(71)과의 사이에 발생하는 정전력에 의하여 상기 가동전극(71)쪽으로 휘어지게 된다. 따라서, 상기 압력챔버(60)의 체적은 늘어나게 된다. 이때, 상기 압력챔버(60)의 체적이 늘어나게 되면서 잉크가 상기 잉크유입구(61)를 통하여 상기 압력챔버(60)로 들어오게 된다.Referring to FIG. 6C, when the printing starts, the voltage V2 is applied between the movable electrode 71 and the rear substrate 62, and the total voltage applied between the movable electrode 71 and the rear substrate 62 is an initial voltage. It is the sum of the voltages of V1 and V2. At this time, the electrostatic force is generated between the movable electrode 71 and the rear substrate 62. On the other hand, the movable electrode 71 is thicker than the rear substrate 62, and both ends of the movable electrode 71 are supported by the stop 74, which makes it difficult to deform. Therefore, the rear substrate 62 having a relatively thin thickness is bent toward the movable electrode 71 by the electrostatic force generated between the movable electrode 71 and the movable substrate 71. Thus, the volume of the pressure chamber 60 is increased. At this time, as the volume of the pressure chamber 60 increases, ink enters the pressure chamber 60 through the ink inlet 61.

도 6d는 V3전압이 인가된 상태에의 잉크젯 프린트 헤드의 동작을 도시한 도면이다.FIG. 6D is a view showing the operation of the inkjet print head in the state where the V3 voltage is applied.

도 6d를 참조하면, 상기 가동전극(71)과 후면기판(62)사이의 전압을 V3전압으로 떨어뜨린다. 이때, V3전압은 초기전압 V1전압보다 크기가 작다. 그러므로, 상기 가동전극(71)과 상기 후면기판(62)사이에 작용하는 정전력이 작아지게 되어, 상기 후면기판(62)은 저장된 탄성 복원력이 정전력보다 크게 된다. 따라서, 상기 후면기판(62)은 원래의 위치로 복귀된다. 이때, 상기 압력챔버(60)의 체적도 원래 체적으로 복귀하게 된다. 이와같은 상기 압력챔버(60)의 체적변화에 의하여 상기 압력챔버(60)의 압력이 변화하게 되고, 이 압력변화에 의하여 상기 압력챔버(60)에 충전되어 있던 잉크가 상기 노즐(81)을 통하여 외부로 토출된다. 한편, 상기 잉크챔버(64)의 체적이 원래의 상태로 복귀되면서, 그 압력차에 의하여 상기 잉크챔버(64)에 저장되어 있던 잉크중 일부는 상기 잉크유입구(61)쪽으로 역류하지만, 상기 완충부(65)에 의하여 그 역류되는 양이 상기 노즐(81)을 통하여 토출되는 양보다 적다. 그러므로, 잉크는 안정적으로 외부로 토출된다.Referring to FIG. 6D, the voltage between the movable electrode 71 and the rear substrate 62 is dropped to the voltage V3. At this time, the voltage V3 is smaller than the initial voltage V1 voltage. Therefore, the electrostatic force acting between the movable electrode 71 and the back substrate 62 is reduced, so that the elastic restoring force of the back substrate 62 is greater than the electrostatic force. Thus, the back substrate 62 is returned to its original position. At this time, the volume of the pressure chamber 60 is also returned to the original volume. The pressure of the pressure chamber 60 is changed by the volume change of the pressure chamber 60, and the ink filled in the pressure chamber 60 is changed through the nozzle 81 by the pressure change. It is discharged to the outside. Meanwhile, while the volume of the ink chamber 64 returns to its original state, some of the ink stored in the ink chamber 64 flows back toward the ink inlet 61 due to the pressure difference, but the buffer portion The amount reversed by 65 is less than the amount discharged through the nozzle 81. Therefore, the ink is stably discharged to the outside.

이하, 본 발명에 따른 잉크젯 프린트 헤드의 제조과정을 설명한다. 도 7a 내지 도 7g는 상기 실시 예에서 설명된 본 발명에 따른 잉크젯 프린트 헤드의 제조과정을 개략적으로 도시한 도면들이다.Hereinafter, a manufacturing process of the inkjet print head according to the present invention will be described. 7A to 7G are schematic views illustrating a manufacturing process of an inkjet print head according to the present invention described in the above embodiments.

먼저, 도 7a를 참조하면, 실리콘기판(80)의 상면에 산화물(Oxide, 81)을 0.3μm 두께로 성장시킨다. 그리고, 상기 산화물(81)을 패턴닝(Patterning)을 한 후에 상기 실리콘기판(80)을 2μm 두께로 식각한다.First, referring to FIG. 7A, an oxide 81 is grown to a thickness of 0.3 μm on the upper surface of the silicon substrate 80. After the patterning of the oxide 81, the silicon substrate 80 is etched to a thickness of 2 μm.

도 7b를 참조하면, 도 7a 에서 성장시킨 산화물(81)을 제거한 다음 그 위에 질화물( nitride, 82)을 0.1μm 두께로 성장시킨다. 상기 질화물(82)위에 산화물(83)을 2μm 두께로 적층한다. 그리고, 원하는 모양으로 패턴닝을 한 다음에 상기 질화물(82)과 산화물(83)을 상기 실리콘기판(80)에 이르기까지 식각하여 중앙부(84)와 양측부(85)를 형성한다.Referring to FIG. 7B, the oxide 81 grown in FIG. 7A is removed, and a nitride 82 is grown thereon at a thickness of 0.1 μm. An oxide 83 is deposited on the nitride 82 to a thickness of 2 μm. After patterning to a desired shape, the nitride 82 and the oxide 83 are etched up to the silicon substrate 80 to form a central portion 84 and both side portions 85.

도 7c를 참조하면, 도 7b의 단계를 거친 상기 실리콘기판(80)을 PR 패턴닝과 식각을 하여 상기 중앙부(84)에 적층부(86)를 형성한다.Referring to FIG. 7C, the silicon substrate 80, which has passed through the step of FIG. 7B, is etched with PR patterning to form a stack 86 on the central portion 84.

도 7d를 참조하면, 도7c의 단계를 거친 상기 실리콘기판(80)을 두 단계를 거치면서 식각한다. 즉, 중앙부(84)와 양측부(85)를 상기 중앙부(84)에 형성되는 깊이만큼 식각을 한 다음에 양측부(85)를 상기 중앙부(84)보다도 더 깊게 식각한다.Referring to FIG. 7D, the silicon substrate 80, which has passed through the step of FIG. 7C, is etched through two steps. That is, the center portion 84 and both side portions 85 are etched to the depth formed in the center portion 84, and then both side portions 85 are etched deeper than the center portion 84.

도 7e를 참조하면, 상기 실리콘기판(80)위에 적층되어 있는 상기 산화물(83)을 제거하고, 상기 중앙부(84)와 양측부(85)에 깊게 식각된 모든 부위에 산화물(87)을 적층한다.Referring to FIG. 7E, the oxides 83 stacked on the silicon substrate 80 are removed, and the oxides 87 are stacked on all portions deeply etched in the central portion 84 and both side portions 85. .

도 7f를 참조하면, 상기 실리콘기판(80)의 하면에 Ti및 Pt을 적층한 다음 패턴닝을 하여 적층부(88)를 형성한다.Referring to FIG. 7F, Ti and Pt are stacked on the bottom surface of the silicon substrate 80, and then patterned to form a laminate 88.

도 7g를 참조하면, 상기 실리콘기판(80)의 하면에 포토레지스트 패턴닝을 한 다음에, 상기 실리콘기판(80)을 그 상면에 식각되어 있는 상기 중앙부(84)와 양측부(85)에 적층되어 있는 상기 산화물(87)에 맞닿을 때까지 식각한다.Referring to FIG. 7G, after photoresist patterning is performed on the lower surface of the silicon substrate 80, the silicon substrate 80 is laminated on the central portion 84 and both side portions 85 which are etched on the upper surface thereof. It etches until it comes in contact with the said oxide 87.

도 7h를 참조하면, 상기 중앙부(84)와 양측부(85)의 식각된 부위에 적층되어 있던 상기 산화물(87)을 제거하여 상기 실리콘기판(80)의 상면과 하면을 서로 통하도록 한다. 그리고, 상기 실리콘기판(80)의 상면과 하면이 상호 통하여 형성되는 다수개의 블락(90)의 주위를 감싸도록 산화물(89)을 적층한다.Referring to FIG. 7H, the oxides 87 stacked on the etched portions of the central portion 84 and both side portions 85 are removed to allow the upper and lower surfaces of the silicon substrate 80 to communicate with each other. In addition, the oxide 89 is laminated to surround the plurality of blocks 90 formed by the upper and lower surfaces of the silicon substrate 80.

도 7i를 참조하면, 상기 실리콘기판(80)의 상면에 적층되어 있던 상기 질화물(82)을 제거한다. 그리고, 유리기판(91)의 가운데부(92)를 패턴닝을 하여 식각한다음, 상기 실리콘기판(80)과 상기 유리기판(91)을 Anodic Bonding 기법을 이용하여 결합한다.Referring to FIG. 7I, the nitride 82 stacked on the upper surface of the silicon substrate 80 is removed. Then, the center portion 92 of the glass substrate 91 is patterned and etched, and then the silicon substrate 80 and the glass substrate 91 are bonded using an Anodic Bonding technique.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 측면 정전력 구동방식의 잉크젯 프린트 헤드는 프린팅시와 프린팅하지 않을 때 압력챔버와의 간격을 다르게 할 수 있는 가동전극을 잉크챔버의 측면에 설치하여, 실제 프린팅시 압력챔버와 가동전극 사이의 간격을 좁게 하여 그 사이에 발생되는 정전력을 크게 한다. 따라서, 각 노즐이 차지하는 면적이 작게 되어, 노즐간격을 대폭 줄일 수 있어 프린터의 해상도를 향상시킬 수 있고 그 가격을 낮출 수 있는 효과가 있다.As described above, the inkjet printhead of the side constant power driving method according to the present invention has a movable electrode on the side of the ink chamber which can be spaced apart from the pressure chamber when printing and when not printing, so as to actually print. The gap between the pressure chamber and the movable electrode is narrowed to increase the electrostatic force generated therebetween. Therefore, the area occupied by each nozzle is reduced, so that the nozzle interval can be greatly reduced, so that the resolution of the printer can be improved and the cost can be lowered.

본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해서 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to one embodiment shown in the drawings, this is merely exemplary and will be understood by those skilled in the art that various modifications and variations can be made therefrom. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.

Claims (6)

하부기판과;A lower substrate; 상기 하부기판의 상면에 위치하여 잉크를 토출하기 위한 노즐이 형성되어 있는 노즐판과;A nozzle plate disposed on an upper surface of the lower substrate and having a nozzle for discharging ink; 상기 하부기판과 노즐판 사이에 개재되는 것으로, 전면기판과 이에 대향되게설치되며 전극이 형성된 후면기판 및 양 측면기판에 둘러싸여 마련되며 잉크유입구를 통하여 유입되는 잉크를 충전하는 공간인 압력챔버와;A pressure chamber interposed between the lower substrate and the nozzle plate, the pressure chamber being disposed to face the front substrate and the nozzle substrate and surrounded by a rear substrate and both side substrates on which electrodes are formed, and filling ink flowing through the ink inlet; 상기 압력챔버에 인접하게 설치되며 전압이 인가되었을 때 상기 후면기판 쪽으로 이동되도록 상기 하부기판과 소정간격 이격되어 있는 가동전극과;A movable electrode installed adjacent to the pressure chamber and spaced apart from the lower substrate by a predetermined distance to move toward the rear substrate when a voltage is applied; 상기 가동전극의 양측에 인접되어 상기 하부기판에 설치되는 복수개의 고정부재와;A plurality of fixing members adjacent to both sides of the movable electrode and installed on the lower substrate; 상기 가동전극을 상기 고정부재에 연결하여 상기 가동전극이 이동되는 방향으로 탄성바이어스 되는 탄성부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드.And an elastic member elastically biased in a direction in which the movable electrode is moved by connecting the movable electrode to the fixed member. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 가동전극은 상기 후면기판에 대향되는 면의 양측에 각각 상기 후면기판쪽으로 돌출 연장되어 형성된 적어도 하나 이상의 멈춤대를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드.The movable electrode further comprises at least one stopper formed on both sides of the surface opposite to the rear substrate protruding and extending toward the rear substrate, respectively. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 가동전극과 후면기판 사이에 초기전압이 인가될 때 상기 가동전극과 상기 후면기판 사이의 간격은 상기 멈춤대의 높이로 한정되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드.And an interval between the movable electrode and the rear substrate when the initial voltage is applied between the movable electrode and the rear substrate is defined by the height of the stop. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 후면기판의 두께는 전면기판의 두께보다 얇게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드.The thickness of the rear substrate is an inkjet print head, characterized in that configured to be thinner than the thickness of the front substrate. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 후면기판은 프린트시 상기 가동전극 쪽으로 휘어졌다가 그 자체의 탄성복원력에 의하여 원위치로 복귀하여 상기 잉크챔버의 체적을 변화시켜 압력변화에 의하여 잉크를 토출 시키는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드.And the back substrate is bent toward the movable electrode during printing, and then returned to its original position by its elastic restoring force, thereby changing the volume of the ink chamber and discharging ink by pressure change. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 노즐은 상기 가동전극이 이동하는 방향에 대하여 수직으로 형성되어 있어 있는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드.And the nozzle is formed perpendicular to the direction in which the movable electrode moves.
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