KR20020022530A - 반도체제조장치의 원격진단시스템 및 원격진단방법 - Google Patents

반도체제조장치의 원격진단시스템 및 원격진단방법 Download PDF

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KR20020022530A
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츠마키노부오
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Abstract

통신 네트워크를 거쳐 제 3자에 의해 제공되는 진단장치에 반도체제조장치 및 진단을 행하기 위한 단말을 접속하여 상기 반도체제조장치에 대한 진단을 행하는 반도체제조장치의 원격진단시스템으로서, 상기 진단장치는 상기 반도체제조장치의 진단처리를 행하는 적어도 하나의 진단프로그램과, 엑세스권한을 부여받은 특정한 유저의 엑세스에 의해 상기 진단프로그램을 기동하는 제어부를 구비하고 있고, 상기 단말은 진단에 있어서 상기 진단장치로부터 요구가 있었던 데이터를 상기 진단장치에 송신하여 상기 진단장치로부터 진단결과를 수취한다.

Description

반도체제조장치의 원격진단시스템 및 원격진단방법{REMOTE DIAGNOSIS SYSTEM AND METHOD FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS}
본 발명은 설비의 원격진단시스템 및 진단방법에 관한 것으로, 특히 반도체제조장치와 같이 설비를 제조한 사람과 그 설비의 사용자가 다른 경우에 가장 적합한 원격진단장치 및 진단방법에 관한 것이다. 여기서 설비란, 반도체제조장치와 같은 생산설비 뿐만 아니라, 예를 들면 대형 의료시스템 등과 같은 각종 장치 또는 부품이 조합된 설비를 말한다.
최근, 인터넷 등을 이용한 원격진단기능을 가지는 장치가 제안되고 있다. 이 원격진단기능은 예를 들면 일본국 특개평10-40200호 공보에 기재된 바와 같이 단말국에서 설정된 여러가지 종류의 데이터 등을 서비스회사의 센터국에 설치되어 있는 원격진단장치에 전송하는 것으로, 센터국에서는 단말국으로부터 수신한 데이터에 의거하여 원격진단을 개시하여 단말장치의 설정의 오류를 수정한 새로운 데이터를 유저측에게 반송하는 것이다.
또 일본국 특개평10-40200호 공보의 시스템에서는 컴퓨터 네트워크상의 단말에 접속된 기기 또는 그 단말을 내장하는 기기의 초기설정, 고장진단 및 데이터 갱신 등의 조작을 가능하게 하는 기술로서, 인터넷에 접속되어 있는 기기 또는 그 단말을 내장하는 기기의 고장진단을 행하는 방법으로서, 기기는 단말에 상태 데이터를 송신하고, 단말은 수신한 상태 데이터를 인터넷상의 서버에 전송하고, 서버는 수신한 상태 데이터를 기초로 기기를 진단하여 진단결과를 상기 단말에 송신하도록 구성되어 있다.
이와 같은 원격진단시스템에 있어서, 외부로부터의 엑세스에 대하여 아무런 프로텍트도 없으면, 원격진단기능의 제공자나 유저의 기밀사항이 부주의하게 유출되어 버릴 가능성도 생각할 수 있다.
따라서 일본국 특개평9-149188호 공보에는 원격진단에 대한 유효한 프로텍트가 가능한 통신기기의 원격진단시스템을 제공하는 것을 목적으로 하여 원격진단시스템의 센터국 기기에 단말국 기기에서 설정한 ID 번호를 기초로 하여 데이터를 작성함과 동시에, 작성한 데이터를 단말국 기기에 송출하는 데이터작성수단을 설치하는 한편, 단말국 기기에, ID 번호를 설정함과 동시에, 그 설정한 ID 번호를 상기 센터국 기기로 송출하는 ID 번호 설정수단과, 수신 데이터를 해석하는 데이터해석수단과, 원격진단의 가부를 판정하는 진단제어수단을 설치한 것이 개시되어 있다.
또 LAN 회선에 접속기기를 부설하여 각 장치마다 IP (Internet Protocol)어드레스를 부여하여 정보처리장치와 진단장치로 구성되는 시스템을 네트워크상에서 구축하는 것도 알려져 있다. 이 경우 정보처리장치와 보수진단장치가 LAN 회선에 병렬로 접속되어 있기 때문에, 보수진단장치 이 외로부터 정보처리장치에 대한 엑세스가 가능하고, 유저의 보안대책이 불완전하다. 그 해결책으로서 일본국 특개평 9-149188호 공보에는 원격보수 진단방식으로서, 정보처리장치에 접속되어 시스템의 운용상황을 감시하는 보수진단장치가 네트워크접속기능 및 감시·해석기능 등의 자립(자율)적인 네트워크기능을 갖추어 상기 정보처리장치의 네트워크에 대한 접속을 상기 보수진단장치를 거쳐 행하고, 이에 의하여 보안의 향상과 시스템부설 시의 비용절감을 가능하게 한 것이 개시되어 있다.
기술의 고도화, 복잡화에 따라 예를 들면 반도체의 제조에 관해서 공정에 따른 여러가지의 반도체제조장치가 조합된 반도체제조라인과 같은 대형 설비를 하나의 기업에서 모두 제조하고 관리하는 것은 곤란하게 되어 있다. 따라서 이와 같은 대형 설비의 진단정밀도를 높여 신속한 대응을 행하기 위해서는 그 설비의 제조에 관여한 기업이나 유저 및 메인티넌스에 관여하는 기업 등 복수의 기업으로부터의 여러가지 정보를 수집할 필요가 있다.
한쪽, 이와 같은 정보의 제공은, 기업기밀의 유출을 초래할 가능성이 있기 때문에 많은 제약이 있다. 단, 최근과 같이 생산, 관리 등의 설비가 집약화되어 대형으로 됨에 따라, 예를 들면 반도체 제조라인이 고장나 생산에 지장을 초래하였을 때, 그 원인구명이 늦어지면, 그것에 의한 경제적인 손실도 막대해진다.
또 생산, 관리 등의 설비가 고장나 생산에 지장을 초래하는 자체를 피하기 위하여 사전에 설비가 고장날 가능성을 어느 정도 예측하여 미리 대책을 강구할 수 있으면 큰 경제적 손실을 입지 않아도 된다.
한쪽, 반도체제조장치의 진단의 규준(規準)이 되는 데이터의 수집, 작성에는시간이 소요된다. 예를 들면 압력계의 수명(또는 교정이 필요한 시기의 판단 등) 등은 일의적으로 결정되는 것은 아니고, 사용상황이나 환경에 따라 변화된다. 따라서 설비의 진단을 높은 정밀도로 신속하게 행할 수 있는 진단프로그램을 반도체제조장치의 제조회사가 처음부터 제공하는 것은 곤란한 경우도 있어, 유저에게 설비가 납입된 후에, 기능, 품질이 더욱 향상된 진단프로그램을 제공하게 되는 경우도 있다.
또 플라즈마 임피던스 모니터(PIM), 광해석(OES)에 통계해석을 더한 것과 같은 고도의 해석결과를 이용할 수 있으면, 주로 공정의 변동의 검출, 기기차의 조정 등, 지금까지는 유저의 엔지니어가 실시하여 온 일에 매우 도움이 된다고 생각된다. 즉, 이들 데이터는 반도체제조장치의 상태를 나타내는 데이터이기는 하나, 종래의 반도체제조장치의 진단에는 그다지 사용되지 않아 유저에게 있어서 필요성이 높은 데이터이다. 따라서 이들 고도의 데이터를 포함하는 해석을 유저가 행할 수 있도록 하면, 효율적인 진단을 행할 수 있다고 생각된다. 이 경우, 고도의 진단소프트의 개발비용의 일부를 유저에게 부담시키는 것을 생각할 수 있다.
본 발명의 목적은 설비의 원격진단시에 있어서의 정보의 비밀유지와 경제적 손실의 증대방지라는 쌍방의 요구의 조화를 도모한 원격진단시스템 및 진단방법을 제공하는 데에 있다.
본 발명의 다른 목적은, 유저에게 설비가 납입된 후에도 기능, 품질이 더욱 향상된 진단프로그램을 유저에게 제공할 수 있는 환경을 제공하는 데에 있다.
본 발명의 다른 목적은, 사전에 설비가 고장날 가능성을 어느 정도 예측하여 신속하게 대책을 강구하여 큰 경제적 손실을 회피할 수 있는 원격진단시스템 및 진단방법을 제공하는 데에 있다.
본 발명의 다른 목적은, 유저가 고도의 해석데이터를 이용하여, 신뢰성이 높은 진단을 행할 수 있도록 함과 동시에, 진단소프트 개발자의 경제적인 부담도 어느 정도 경감할 수 있는 원격진단시스템 및 진단방법을 제공하는 데에 있다.
본 발명의 특징은, 통신네트워크를 거쳐 제3자에 의해 제공되는 진단장치에 유저가 반도체제조장치를 접속하여 해당 반도체제조장치에 대한 진단을 행하기 위한 반도체제조장치의 원격진단시스템으로서, 상기 진단장치는 상기 반도체제조장치의 진단처리를 행하는 적어도 하나의 진단프로그램과, 엑세스권한을 부여받은 특정한 유저의 단말로부터의 엑세스에 의해 상기 진단프로그램을 기동하는 제어부를 구비하고 있고, 상기 단말은 진단에 있어서 상기 진단장치로부터 요구가 있었던 데이터를 상기 진단장치로 송신하여 상기 진단장치로부터 진단결과를 받는 데에 있다.
본 발명의 다른 특징은, 제 1 회사의 관리하에 있는 설비를, 통신네트워크를 거쳐 상기 설비에 접속하고 또한 상기 제 1 회사의 관리하에 있지 않은 제 2 회사의 진단장치를 사용하여 진단을 행하는 설비의 원격진단시스템에 있어서, 상기 진단장치는 상기 설비의 진단처리를 행하는 적어도 하나의 진단프로그램과, 엑세스권한을 부여받은 특정한 유저의 단말로부터의 엑세스에 의해 상기 진단프로그램을 기동하는 제어부를 구비하고 있고, 상기 단말은 진단에 있어서 상기 진단장치로부터 요구가 있었던 데이터를 상기 진단장치로 송신하여 상기 진단장치로부터 진단결과를 받는 데에 있다.
본 발명에 의하면, 설비의 원격진단 시에 있어서의 정보의 비밀유지와 경제적 손실의 증대방지라는 쌍방의 요구의 조화를 도모한 원격진단시스템을 제공할 수 있다.
본 발명의 다른 특징은, 통신네트워크를 거쳐 제3자에 의해 제공되는 진단장치에 반도체제조장치를 접속하여 해당 반도체제조장치에 대한 진단을 행하기 위한 반도체제조장치의 원격진단시스템으로서, 상기 진단장치는 상기 반도체제조장치의 진단처리를 행하는 복수의 진단프로그램과, 엑세스권한을 부여받은 특정한 유저의 엑세스에 의해 상기 진단프로그램을 기동하는 제어부와, 상기 진단프로그램에 관한 정보를 개시하는 가이드부를 구비하는 데에 있다.
본 발명에 의하면, 유저에게 설비가 납입된 후에도 기능, 품질이 더욱 향상된 진단프로그램을 유저에게 제공할 수 있는 환경을 제공할 수 있다.
본 발명의 다른 특징은, 상기 진단프로그램이 상기 반도체제조장치의 정기적인 진단처리를 행하는 정기진단 프로그램과, 상기 반도체제조장치에 이상이 있을 때에 임시에 진단처리를 행하는 이상모드진단 프로그램과, 상기 반도체제조장치의 고장부분이 어느 정도 판명되어 있을 때에 진단처리를 행하는 고장진단 프로그램을 포함하는 데에 있다.
본 발명에 의하면, 정기진단 프로그램을 이용함으로써, 사전에 설비가 고장날 가능성을 어느 정도 예측하여 신속하게 대책을 강구하여 큰 경제적 손실을 회피할 수 있는 원격진단시스템 및 진단방법을 제공할 수 있다.
본 발명의 다른 특징은, 통신네트워크를 거쳐 특정한 제3자에 의해 제공되는 진단장치에 유저가 반도체제조장치를 접속하여 해당 반도체제조장치에 대한 진단을 행하기 위한 반도체제조장치의 원격진단시스템으로서, 상기 진단장치는 상기 반도체제조장치의 진단처리를 행하는 적어도 하나의 진단프로그램과, 엑세스권한을 부여받은 특정한 유저의 단말로부터의 엑세스에 의해 상기 진단프로그램을 기동하는 제어부를 구비하고 있고, 상기 특정한 제3자로부터 상기 진단장치를 유상으로 이용할 권리를 부여받은 유저의 단말로부터 진단 시에 상기 진단장치로부터 요구가 있었던 데이터를 상기 진단장치로 송신하고, 상기 단말에서 상기 진단장치로부터 진단결과를 받는 데에 있다.
본 발명의 다른 특징은, 통신네트워크를 거쳐 특정한 제3자에 의해 제공되는 진단장치에 반도체제조장치를 접속하여 해당 반도체제조장치에 대한 진단을 행하기 위한 반도체제조장치의 원격진단시스템으로서, 상기 진단장치는 상기 반도체제조장치의 진단처리를 행하는 복수의 진단프로그램과, 유상으로 엑세스권한을 부여받은 특정한 유저의 엑세스에 의해 상기 진단프로그램을 기동하는 제어부와, 상기 진단프로그램에 관한 정보를 개시하는 가이드부를 구비하는 데에 있다.
본 발명의 다른 특징은, 통신네트워크를 거쳐 특정한 제3자에 의해 제공되는 진단장치에 반도체제조장치 및 진단을 행하기 위한 단말을 접속하여 해당 반도체제조장치에 대한 진단을 행하는 반도체제조장치의 원격진단방법으로서, 유상으로 상기 진단장치를 이용할 권리를 부여받고, 엑세스권한을 부여받은 특정한 유저의 엑세스에 의해 상기 진단장치의 진단프로그램이 기동되어 진단에 필요한 데이터가 상기 진단프로그램으로부터 유저측에게 요구되고, 그에 대한 유저측의 회답을 얻어 진단을 행하는 데에 있다.
또한 유상의 진단시스템의 형태로서는, 다음과 같은 것을 생각할 수 있다.
1) 특정한 제3자(반도체제조장치의 제조회사)는 반도체제조장치의 유저에 대하여 진단장치(하드웨어, 소프트웨어를 포함함)를 이용할 권리를 유상으로 준다. 유저는 그 진단장치를 사용하여 반도체제조장치의 진단을 행한다.
2) 상기 1)에 있어서 진단장치는 특정한 제3자내에 설치하여 통신네트워크를 이용하여 유저의 사내단말로부터 엑세스하여 진단한다.
3) 상기 1)에 있어서 진단장치는 유저의 사내에 설치(대여)하여 유저의 인트라넷(MES 등)를 통하여 엑세스하여 진단한다.
본 발명에 의하면, 설비의 원격진단시에 있어서의 정보의 비밀유지와 경제적 손실의 증대방지라는 쌍방의 요구의 조화를 도모한 원격진단시스템을 제공할 수 있다. 또 본 발명에 의하면, 유저가 고도의 해석데이터를 이용하여 신뢰성이 높은 진단을 행할 수 있도록 함과 동시에, 진단 소프트웨어의 개발자의 경제적인 부담도 어느 정도 경감할 수 있는 원격진단시스템 및 진단방법을 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명을 반도체제조장치에 적용한 원격진단시스템의 구성을 나타내는 블록도,
도 2는 도 1의 시스템에 있어서의 진단장치의 구성예를 나타내는 도,
도 3은 도 2의 진단장치에 있어서의 진단 데이터베이스의 구성예를 나타내는 도,
도 4는 도 1의 시스템에 있어서의 반도체제조장치 제어서버의 구성예를 나타내는 도,
도 5는 도 1의 시스템에 있어서의 반도체제조장치의 제어구성예를 나타내는 도,
도 6은 도 5의 공정처리장치에서 채용되는 진공처리장치의 예를 나타내는 도,
도 7은 반도체제조장치의 진단 1차 데이터로서의 로트 관리데이터의 예를 나타내는 도,
도 8은 정기진단모드에 의해 반도체제조장치의 진단을 행하는 경우의 처리플로우를 설명하는 도,
도 9는 도 7에 나타낸 처리압력(PA)이나 압력조정밸브의 개방도의 데이터를 그래프화한 도,
도 10은 정상일 때의 압력조정밸브의 개방도와 처리압력(PA)의 관계를 나타낸 도,
도 11은 이상모드에 의해 반도체제조장치의 진단을 행하는 경우의 처리플로우를 설명하는 도,
도 12는 고장진단모드에 의해 반도체제조장치의 진단을 행하는 경우의 처리플로우를 설명하는 도,
도 13은 본 발명을 반도체제조장치에 적용한 원격 진단시스템의 다른 실시예를 나타내는 블록도,
도 14는 본 발명을 반도체제조장치에 적용한 원격 진단시스템의 다른 실시예를 나타내는 블록도,
도 15는 본 발명을 반도체제조장치에 적용한 원격 진단시스템에 있어서의 진단장치의 다른 실시예를 나타내는 블록도,
도 16은 본 발명을 반도체제조장치에 적용한 원격 진단시스템에 있어서의 진단장치의 다른 실시예를 나타내는 블록도,
도 17은 본 발명을 반도체제조장치에 적용한 원격 진단시스템에 있어서의 진단장치의 다른 실시예를 나타내는 블록도,
도 18은 도 15 내지 도 17의 시스템의 처리플로우를 나타내는 도,
도 19는 도 18에 나타내는 플로우중, 일반적으로 초기레벨의 진단내용에 포함되는 부분의 상세를 나타내는 도,
도 20은 도 18에 나타내는 플로우중, 더욱 고레벨의 진단으로의 이행의 예를 나타내는 도,
도 21은 도 15 내지 도 17의 진단장치를 사용하여 제조장치를 운용하는 예를 나타내는 도면이다.
이하 본 발명의 실시형태에 대하여 상세하게 설명한다. 도 1은 본 발명을 반도체제조장치의 진단에 적용한 원격진단시스템의 구성을 나타내는 블록도이다. 이 시스템은 복수의 유저(B 사 내지 N 사)가 단말 즉 각 유저의 반도체제조장치 제어서버(20)로부터, 제3자인 A 사가 제공하는 진단프로그램(진단장치)(70)에 통신네트워크 예를 들면 인터넷(50)을 거쳐 엑세스하여 각 유저가 스스로 반도체제조장치(10) (10BA 내지 10BN, -, -, 10NA 내지 10NN)의 진단을 실시하는 것이다.
또한 여기서 A 사는 상기 반도체장치(10)의 제조회사, 또는 이 A 사와 계약하여 상기 반도체장치(10)의 메인티넌스를 맡은(보수계약) 서비스회사 또는 그 관련회사이다. 또 진단을 실시하는 유저는 반도체제조장치의 직접적인 유저 뿐만 아니라 이 유저와 계약하여 메인티넌스를 맡은(보수계약) 서비스회사이어도 된다.
반도체장치(10)를 사용하는 유저는 정기적 및 진단이 필요할 때에 그 반도체제조장치(10)의 일부 또는 전부를 A 사가 제공하는 진단프로그램(진단장치)에 의해 적시에 원격진단을 행한다.
이 원격진단시스템에서는 진단이나 데이터갱신의 대상이 되는 유저(B 사 내지 N 사)의 반도체제조장치(10) (10BA 내지 10BN, -, -, 10NA 내지 10NN)가 각 유저의 반도체제조장치 제어서버(20) (20B 내지 20N)에 접속되어 있다. 진단을 행하기 위한 단말, 즉 서버(201)는 각 유저의 사내 인트라넷(30) (30B 내지 30N)에 접속되어 있고, 다시 인터넷 서버(40) (40B 내지 40N) 및 방화벽시스템(42) (42B내지 42N)을 거쳐 인터넷(50)에 접속되어 있다. 인터넷(50)에는 A 사의 방화벽시스템 (62) 및 인터넷 서버(60)(및 인트라넷)를 포함하는 사내 네트워크가 접속되어 있다. 이 사내 네트워크에는 반도체제조장치의 진단프로그램을 구비한 진단장치(70)가 접속되어 있다. 진단장치(70)에는 기억장치, 즉 각 유저의 반도체제조장치의 진단에 관한 데이터를 수록한 데이터수록장치(72)가 부설되어 있다.
또한 반도체제조장치, 각 서버, 인터넷 및 진단장치의 사이를 접속하는 네트워크에는 일반적인 전화회선이나 전용 통신회선, 광케이블에 의한 통신회선 등이 사용된다. 또 유저(B 내지 N)와 장치 제조회사(A) 사이의 통신을 위하여 미리 각 기기마다 IP 어드레스나 특정한 ID 번호 등을 부여해 두는 것은 물론이다. 또 진단과정 등에 특정한 기밀정보에 엑세스하기 위한 접속패스워드도 당사자 사이에서 적절히 부여한다.
각 서버(20, 40)는 각각 컴퓨터에 의해 구성되어 있고, 입출력수단으로서 키보드나 마우스 등의 조작부나 디스플레이가 접속되어 있다. 서버(20)는 인터넷 (50)에 엑세스하여 A 사의 서버(60)에 접속하기 위한 열람소프트(WWW 브라우저)를 가지고 있다. 또 각 반도체제조장치(10) (10BA 내지 10NN)도 각각 퍼스널컴퓨터를 구비하고 있고, 입출력수단으로서의 키보드나 마우스 등의 조작부나 디스플레이가 접속되어 있다.
서버(20, 40) 등의 각 컴퓨터는 외부 기기와 접속하기 위한 인터페이스를 구비하고 있고, 각 컴퓨터내의 마이크로컴퓨터와 외부 기기와의 사이에서 행하여지는 데이터나 코멘드의 통신은, 이 인터페이스를 거쳐 행하여진다. 또한 통신 인터페이스를 구비하고 있고, 마이크로 컴퓨터가 작성한 데이터나 코멘드의 변조 및 송신과, 전화회선 등을 거쳐 보내져 오는 데이터나 코멘드의 수신 및 복조를 행한다.
또한 도 1에서는 진단을 행하기 위한 단말이 서버(20)에 설치되고, 각 유저의 통신 네트워크로서 모든 반도체제조장치(10)가 각 유저의 반도체제조장치 제어서버(20)를 경유하여 진단장치(70)에 엑세스하는 구성으로 되어 있으나, 서버(20)를 생략하고 진단을 행하기 위한 단말을 개개의 반도체제조장치(10) 또는 인터넷 서버(40)에 설치하여 이 단말을 조작함으로써 진단장치(70)에 엑세스할 수 있는 구성으로 하여도 된다.
진단장치(70)는 유저의 반도체제조장치(10)가 예를 들면 다음 어느 하나의 상태로 되었을 때, 유저의 독자적인 판단으로, 또는 유저가 A 사의 어드바이스를 받아, 반도체제조장치(10)의 진단을 행하는 데 사용된다.
(1) 정기적인 고장진단을 실시하는 경우,
(2) 이상이라고 생각되는 현상이 발생한 경우,
(3) 분명한 고장이 발생한 경우,
각 유저로부터의 엑세스에 의거하는 반도체제조장치(70)에 의한 진단결과는 A 사의 진단장치(70)의 데이터수록장치(72)에 보존됨과 동시에, 반도체제조장치 (10)의 경시적 변화의 정보로서 분석, 해석된다. 이 정보는 다음 진단에 활용된다. 단, 반도체제품의 구체적인 막 종류 등 유저의 기밀정보에 속하는 사항은 각 유저의 판단으로 A 사의 데이터수록장치(72)에 저장하지 않고 삭제할 수 있다.
또한 진단을 행할 지의 여부는 유저가 결정하고, 또한 개개의 반도체제조장치(10A 내지 10N)로부터 A 사의 진단장치(70)에 엑세스할 수 있다. 그 경우, 각 사의 서버(20)를 통과하고 인터넷(50)을 경유하여 진단장치(70)에 접속된다. 그 때문에 프로그램이 반도체제조장치(10A 내지 10N)의 마이크로 컴퓨터에 인스톨되어 있다.
도 2는 도 1의 시스템에 있어서의 진단장치(70) 및 데이터수록장치(72)의 구성예를 나타내는 도면이다. 진단장치(70)는 예를 들면 퍼스널 컴퓨터에 의해 구성되어 있고, 입출력수단(71)으로서 키보드나 마우스 등의 조작부나, 디스플레이가 접속되어 있다.
엑세스관리 프로그램(73B)과 외부 접속용 인터페이스(73A)는 A 사 네트워크 (73)가 외부와 접속할 때를 위한 인터페이스이다. A 사의 네트워크에 엑세스하기위하여 패스워드가 필요하다. 또 A 사의 사내 네트워크에 접속된 각 기기에 대한 보안시스템이 설치되어 있다.
하기에 밑줄로 나타낸 부분은, A 사의 사내 네트워크 중에서의 인터페이스에 관한 것인 지 또는 A 사의 사외로의 접속에 관한 것인 지가 불명료하다. 그러나 문장의 흐름으로부터는 진단장치에 외부 접속용 인터페이스까지 구비하여 고 있는 것처럼 생각된다. 외부로는 A 사의 서버를 통하여 엑세스하기 때문에 약간 의미가 다르다고 생각한다.
또 A 사의 네트워크(73)에는 외부 기기와 접속하기 위한 외부 접속용 인터페이스(73A), 엑세스관리 프로그램(73B), 통신 인터페이스(73C)가 접속되어 있다. 그리고 네트워크(73)에 본 진단장치(70)가 접속되어 있다.
또한 진단장치(70) 내부의 마이크로 컴퓨터(74)는 CPU(75)나 기억수단(76)을 구비하고 있다. 각 장치의 데이터(정상시도 포함시킴)는 A 사의 데이터수록장치에 보존되어 정상 시의 데이터와 비교하여 이상의 유무를 판단하는 등, 진단결과의 해석에 사용된다. 엑세스관리 프로그램(73B)은 각 유저로부터 진단장치(70)에 대한 엑세스에 있어서, 패스워드 등에 의해 엑세스권한을 확인하여 권한이 있는 정규 유저로부터 엑세스가 있었던 경우에는 유저가 소정의 프로그램이나 데이터를 이용하는 것을 가능하게 한다.
또 인터넷(50)에 엑세스하여 서버(40)에 접속하기 위한 열람소프트(WWW 브라우저)(77)나 진단프로그램의 최신버전이나 각 진단소프트웨어의 정보를 표시하는 가이드부(78)를 가지고 있고, 각 유저가 이들의 표시나 정보를 자유롭게 열람 가능하게 되어 있다.
기억수단(76) [및 데이터수록장치(72)]에는 원격진단용 각종 진단프로그램 (81 내지 113)을 포함하는 제어용 프로그램(80)이나 관련되는 데이터베이스가 보존되어 있다. 제어용 프로그램(80)은 정규 유저로부터 엑세스가 있었던 경우에 진단용 장치(81)를 기동하여 유저의 요구에 따른 진단처리를 행한다. 81A는 진단용 장치의 백업장치이다. 82는 유저가 사용 가능한 프로그램을 저장한 유저용 진단소프트의 저장장치, 83은 피진단장치, 즉 반도체제조장치의 제어프로그램, 84는 진단결과를 자동적으로 보존하는 장치이다. 85는 진단용 데이터베이스, 86은 부품재고정보 등을 얻기 위하여 서비스 섹션에 엑세스하는 장치이다. 87은 메인티넌스의 지시 등을 위해 서비스회사에 엑세스하는 장치이다.
90은 반도체제조장치가 정기적인 진단처리를 행하는 정기진단처리장치(프로그램), 91은 그 데이터해석장치, 92는 진단결과의 1차 데이터 저장장치, 93은 데이터해석장치용 데이터베이스이다.
100은 반도체제조장치에 이상이 있을 때에 임시로 진단처리를 행하는 이상모드진단처리장치(프로그램), 101은 그 데이터 해석장치, 102는 진단결과의 1차 저장장치, 103은 데이터해석장치용 데이터 베이스이다.
110은 반도체제조장치의 고장부분을 어느 정도 판명하고 있을 때에 임시로 진단처리를 행하는 진단처리장치(프로그램), 111은 그 데이터 해석장치, 112는 진단결과의 1차 저장장치, 113은 데이터해석장치용 데이터 베이스이다.
또한 진단처리장치(프로그램)로서는 상기 3 종류의 프로그램 외에 예를 들면 반도체제조장치의 형식마다 개별 소프트웨어를 확보하거나, 반도체제조장치를 구성하는 특정한 장치, 예를 들면 웨이퍼의 반송장치나 진공처리실만 특정한 부분의 진단을 행하는 것이나, 다수의 반도체제조장치를 포함하는 생산라인 전체를 대상으로 하는 것, 또는 공정중의 처리행정에 착안한 것 등, 요구에 따라 확보하면 된다.
진단장치(70)중에 계약한 유저별로 진단 1차 데이터 저장영역을 설치한다. 이 부분에 대한 엑세스는 A 사로부터는 불가로 한다. 즉, 진단결과의 1차 저장장치(92, 102, 112)에 대해서는 진단대상인 유저만 엑세스 가능하게 하고 A 사는 비유지계약 등에 의거하여 엑세스불가로 되어 있는 것으로 한다. 진단장치(70)는 A 사의 소프트웨어이기 때문에 엑세스 금지조건을 해제하는 것이 가능하기는 하나, 그것은 비밀유지계약으로 한다. 단, 장치의 정상, 이상에 관한 진단결과는 자동적으로 보존된다. 또 제품막 종류나 구체적인 레시피 등, 유저의 기밀정보에 속하는 사항은 각 유저의 판단으로 A 사 데이터수록장치에 저장하지 않고 소거할 수 있다. 또한 1차 저장장치에 보존되어 있는 데이터는 유저로부터의 지시에 의해 진단처리가 종료되면 자동적으로 소거된다. 단, 진단결과의 상세를 저장할 필요가 있다고 유저가 판단한 경우, 진단 종료전에 유저의 판단으로 유저의 장치에 부속되어 있는기억장치(도시 생략)에 보존할 수 있다.
유저인 B 사는 진단장치(70)중에서 열람하거나 이용할 수 있는 소프트웨어나 데이터, 즉 가이드부(78)에 표시되는 진단프로그램의 최신버전이나 각 진단소프트웨어의 정보, 유저용 진단소프트웨어의 저장장치(82)에 있는 진단소프트, 유저별로 진단 1차 데이터 저장영역의 데이터를 이용하여 B 사의 장치에 대하여 자유롭게 진단처리를 행할 수 있다. 또한 진단장치(70)중 상기 이외 영역의 정보에 대해서는 A 사나 다른 유저의 기밀정보가 포함되어 있기 때문에, B 사의 엑세스는 금지되어 있다. 따라서 진단소프트웨어를 자유롭게 사용할 수 있으나, 진단소프트웨어를 변경하는 것이나 소프트웨어 자신의 프로그램에 엑세스하는 것은 할 수 없게 되어 있음과 동시에, 그와 같은 행위들은 계약 등에 의해 금지되어 있다.
이와 같이 B 사의 장치에 대하여 진단을 실시하였을 때의 기록은 A 사의 진단장치(70)의 메인티넌스정보의 데이터베이스(B 사 전용 1차 저장장치)에 저장할 수 있다. 이 기록은 B 사의 기밀사항에 속하는 생산정보도 포함할 수 있다. 즉 B 사에서 진단할 때에 사용한 데이터중, 기밀데이터와 B 사가 판단한 데이터에 관해서는 B 사의 판단으로 A 사의 진단결과정보로부터 소거할 수 있으나, 그 진단 상세결과는 B 사장치의 데이터베이스로서 A 사의 진단장치(70)의 기억장치에 저장할 수 있다. 이들 정보관리는 B 사가 실시한다.
본 발명에 의하면, 설비의 원격진단시에 있어서의 정보의 비밀유지와 경제적손실의 증대방지라는 쌍방의 요구의 조화를 이룰 수 있다.
또한 A 사가 서비스회사와 장치 제조회사 양자로 이루어지는 경우, 양자의데이터수록장치에 동일한 데이터가 보관 관리되어, 보수나 고장 시의 대응을 신속하게 실시할 수 있도록 한다. 또 서비스회사가 보수나 진단업무를 맡아 부품의 확보나 기타 필요사항을 실시한다. 반대로 장치 제조회사가 수신하여 그것을 서비스회사에 대책내용을 지시한다.
A 사의 진단프로그램(70) (80 내지 113)은 필요에 따라 버전업되어 진단프로그램의 최신버전이나 각 진단소프트웨어의 정보, 또는 신규로 제공되는 진단프로그램의 정보를 표시하는 수단(78)에 의해 유저에게 제공되어, 유저는 항상 최신의 진단이 가능하게 되어 있다. 이것은 A 사나 서비스회사가 유저 각 사의 반도체제조장치의 진단, 점검, 보수 등을 통하여 얻은 새로운 정보에 의거하여 진단프로그램 (70)의 개선, 기능업을 도모한 결과를 유저에게 환원하기 위하여 행하는 것이다.
예를 들면 A 사의 진단프로그램(70)을 이용하는 각 유저의 진단결과는 A 사데이터수록장치에 보존됨과 동시에, 장치의 경시적 변화의 정보로서 분석, 해석된다. 이 정보는 다음 진단에 활용된다. 예를 들면 압력계의 수명(또는 교정이 필요한 시기의 판단 등) 등은 일의적으로 결정되는 것은 아니고, 사용상황이나 환경에 따라 변화된다. 이들 정보가 특정한 유저에게 한정되지 않고 각 유저를 바탕으로 여러가지 상황하에서 사용된 결과의 정보로서 분석, 해석되어 있는 경우, 진단정보와 비교함으로써 정밀도가 높은 진단이 가능해진다.
또 반도체제조장치 자체의 개선, 기능업에 따른 진단프로그램(76)의 버전업도 있다.
만약, 진단프로그램(76)을 각사의 장치 개별에 부속시킨 경우에는 각사에 대하여 섬세한 버전업의 서비스를 행하는 것은 곤란하며, 진단프로그램(76)을 A 사에 둠으로써 그것이 가능해진다.
본 시스템을 응용하여 각 장치에 진단장치를 부속시키는 경우는 A 사의 진단장치로부터 버전업정보를 제공하여 각 유저가 인터넷을 거쳐 최신의 진단프로그램을 자사의 반도체제조장치나 서버에 인스톨할 수 있도록 한다.
본 발명에 의하면 유저에게 설비가 납입된 후에도 기능, 품질이 더욱 향상된 진단프로그램을 유저에게 제공할 수 있는 환경을 제공할 수 있다.
진단장치(70)에는 A 사의 네트워크를 거쳐, A 사의 진단대응섹션의 컴퓨터(120)가 접속되어 있다. 이 컴퓨터(120)는 CPU(121)와 버퍼메모리, 제어용데이터베이스(122), 입력수단 및 표시부를 포함하는 출력수단을 구비하고 있고, 오퍼레이터가 진단장치(70)에 의한 진단 시의 유저로부터의 문의, 응답에 대응하여 진단결과에 의거하여 서비스섹션이나 서비스회사에 지시, 연락하기 위한 섹션이다.
또 진단대응 섹션에서는 데이터수록장치에 보존된 각 유저의 진단결과에서 유저의 기밀에 속하지 않는 정보를 이용함으로써, 장치의 상태 예를 들면 압력계의 경시적 변화를 분석, 해석한다. 이 정보는 다음 진단에 활용하도록 프로그램의 개량이나 데이터베이스의 갱신처리가 이루어진다. 복수의 유저를 바탕으로 또한 여러가지 상황하에서 사용된 다량의 정보를 분석, 해석함으로써, 더욱 짧은 기간에 정밀도가 높은 버전으로 갱신된 진단프로그램을 제공하는 것이 가능해진다.
또한 A 사 진단대응 섹션은, 데이터취득이나 해석 등의 진단 자체는 완전자동으로 실시되는 것을 전제로 하고 있다. 단, 유저로부터의 요구 등으로 전문가도함께 진단하여도 된다. 특히 이상진단이나 고장진단에 있어서는 그것이 유효하다. 그 때 A 사내의 네트워크를 통하여 진단장치에 전문가가 엑세스함으로써, 진단정밀도를 높여 신속한 대응, 판단을 가능하게 한다. 지금까지의 진단장치는 일반적으로 완전자동, 무인운전을 전제로 한 방식으로 되어 있으나, 유인운전으로 함으로써, 진단처리능력이 더욱 향상된다. 도 3에 진단용 데이터베이스(85)의 상세 구성예를 나타낸다. 850은 고객장치의 관리시스템, 851은 진단결과 데이터베이스, 855는 장치정보 데이터베이스이다. 진단결과 데이터베이스(851)는 진단결과, 고장이력, 부품교환이력 등을 기록하는 것으로, 유저(B, C,--, N)의 각 장치별로 구별하여 데이터가 보존된다. 장치정보 데이터베이스(855)는 각 반도체제조장치의 형식이나 제품시방이나 성능검사결과, 사용부품의 정보 등을 기록한 것으로, 유저(B, C, --, N)의 각 장치별로 구별하여 데이터가 보존된다.
도 4는 진단을 행하기 위한 단말을 구비한 반도체제조장치 제어서버(20)의 구성예를 나타내는 도면이다. 여기서는 유저로서 B 사의 서버(20B)를 예로 설명한다. 반도체제조장치 제어서버(20)는 예를 들면 CPU와 버퍼메모리를 구비한 마이크로 컴퓨터에 의해 구성되어 있고, 입출력수단(21)으로서 키보드나 마우스 등의 조작부나, 디스플레이가 접속되어 있다. 또 외부 기기와 접속하기 위한 외부 접속용인터페이스(22)와 통신 인터페이스(23)를 구비하고 있다. 또한 내부의 마이크로 컴퓨터(24)가 구비하는 기억수단에는 서버(40)를 경유하여 인터넷(50)에 엑세스하여 서버(60)에 접속하기 위한 열람소프트(WWW 브라우저)(25)가 보존되어 있다. 또한 진단장치(70)에 대한 접속 패스워드는 미리 A, B 사 간의 계약에 의해 정하여놓은 것으로 한다. 또한 반도체제조장치(10) (10A 내지 10N)를 제어하여 반도체를 제조하는 데 필요한 제어용 프로그램(26)이 보존되어 있다. 또한 A 사로부터의 지시에 의해 진단을 실시하는 경우의 제어용 프로그램, 또는 레시피가 저장되어 있다. 또한 이 프로그램은 미리 서버(20)에는 인스톨하지 않고 필요에 따라 A 사의 서버로부터 프로그램을 인스톨하도록 하여도 된다. 이 제어용 프로그램(26)에는 진단용 장치운전프로그램(레시피)(27)도 포함된다.
또한 각종 정보를 포함하는 제어용 데이터베이스(28), 진단용 공통사항, 진단결과 및 메인티넌스정보를 기록한 데이터베이스(29), 보안관련 정보의 데이터베이스 등이 설치되어 있다. 진단에 필요한 장치가동기록(로그데이터)은 진단용 공통사항, 메인티넌스정보를 기록한 데이터베이스(29)에 저장되어 있다.
앞에서도 설명한 바와 같이 진단을 행하기 위한 단말의 기능을 서버(20)에서는 없도록 하고, 개개의 반도체제조장치(10)나 상위의 서버에 가지게 하여도 된다.
다음에 진단의 대상이 되는 반도체제조장치(10) (10A 내지 10N)의 제어구성예를 도 5에 나타낸다. 이 실시예에서는 4개의 반도체제조장치가 있는 것으로 한다(단, 도면에는 3개만 표시). 212는 전체의 반도체제조장치(또는 제조라인)를 제어하는 중앙제어수단이고, 예를 들면 CPU 이다. 213은 운전상태, 운전조건의 설정내용, 운전의 개시지시/종료의 표시를 행하는 표시수단이며, 예를 들면 CRT 이다. 214는 입력수단이며, 운전조건의 설정, 운전의 개시지시입력, 공정처리조건, 보수나 메인티넌스의 조작입력 등을 행하는 예를 들면 키보드이다. 202-1 내지 202-4는 웨이퍼의 공정처리를 행하는 공정처리장치이다. 이 처리장치로서는 에칭, 후처리, 성막, 스퍼터, CVD, 수처리 등, 웨이퍼의 공정처리를 행하는 처리이면 무엇이든 좋다.
215는 장치제어수단이며, 공정처리장치(202-1 내지 202-4)의 운전유효/무효 인 것을 나타내는 운전정보신호상태를 판단하여 자동운전중에 공정처리장치(202-1내지 202-4)의 어느 하나가 운전불가가 되더라도 해당 공정처리장치를 사용하지 않고 다른 공정처리장치를 사용하여 운전을 속행하는 처리순서를 기억한다. 예를 들면 ROM 이다. 216은 진공처리장치내에서의 웨이퍼의 처리순서를 기억하는 처리순서정보기억수단이며, 예를 들면 RAM 이다. 이 웨이퍼의 처리순서는 운전개시전에 표시수단(213), 입력수단(214)을 사용하여 오퍼레이터에 의해 입력된 데이터가 기억된다. 217은 운전정보신호기억수단이며, 공정처리장치(202-1 내지 202-4)의 운전유효/무효임을 나타내는 운전정보신호를 기억하는 예를 들면 RAM 이다.
201-1 내지 201-4는 운전정보신호발생수단이며, 공정처리장치(202-1 내지 202-4)의 운전유효/무효임을 나타내는 운전정보신호를 발생한다. 본 실시예에서는 운전정보신호발생수단을 공정처리장치에 설치하고 있으나, 어디에 있더라도 좋다. 이 운전정보신호를 발생하는 수단으로서 다음중 어느 하나를 사용할 수 있다.
1) 공정처리장치의 장치 전원의 차단신호
2) 공정처리장치의 사용의 유효/무효를 설정하는 운전전환신호(예를 들면, 전환스위치)
3) 공정처리장치의 사용의 유효/무효를 나타내는 운전제어신호로서 오퍼레이터가 설정입력한 입력정보
다음에, 도 6에 의해 도 5의 공정처리장치(202-1 내지 202-4)로서 채용되는 진공처리장치의 예를 나타낸다. 도 6에 있어서 201은 웨이퍼반송을 행하는 반송처리장치이며, 로드록실의 웨이퍼를 웨이퍼반송스케줄에 따라서 공정처리장치(202-1내지 202-4)로 반송한다. 또 공정처리장치에서 처리가 종료된 웨이퍼를 다음 공정처리장치로 반송하여 모든 공정처리가 종료된 웨이퍼를 언로드록실로 반송한다. 203은 로드록실이며 대기반송장치(206)에 있는 웨이퍼를 반송처리장치로 반입하는 실, 204는 언로드록실이며 진공처리실에 있는 웨이퍼를 대기반송장치(206)로 반출하는 실, 205는 반송처리장치내에 설치되어 웨이퍼의 반송을 행하는 진공로봇, 206은 웨이퍼를 수납한 카세트를 반송하기 위한 대기반송장치, 207은 처리할 웨이퍼를 수납한 카세트이며 제품용 웨이퍼를 수납한 카세트나 클리닝용 웨이퍼를 수납한 카세트이다. 대기반송장치(206)는 대기반송장치상의 카세트내의 웨이퍼를 카세트로부터 반출하여 로드록실(203)로 반입하고, 또 언로드록실(204)의 웨이퍼를 원래의카세트로 되돌린다.
또한 본 발명의 진단의 대상이 되는 진공처리장치로서는 도 6에 나타낸 것에 한정하지 않고, 다른 방식의 장치, 예를 들면 도 6의 장치로부터 대기반송장치나 대기로봇을 삭제한 장치이어도 지장은 없다.
도 7에 반도체제조장치의 진단에 사용하는 1차 데이터의 예로서, 로트관리데이터의 발췌를 나타낸다. 로트이력데이터란, 예를 들면 B 사의 반도체제조장치가 제품을 공정처리한 후에 처리상황이 어떠하였는 지를 기록한 레코드이다. 통상, 레시피항목에 대응한 모니터량을 기록한다. 예를 들면 가스유량을 100ml/min 설정에 대하여 유량모니터가 101 mℓ/min 이었다는 정보이다. 또 「레시피」란, 제품의 대상조건을 기술한 레코드정보를 말한다.
도 7의 로트이력데이터에는 로트 No가 123, 카세트 No가 2, 개시시각이 2000/9/10, 10:15:36으로 이루어져 있다. 또 로트명, 공정명, 오퍼레이터명, 레시피 No., 공정처리 레시피, 투입매수 등의 데이터가 나타나 있다. 또 에칭실(1)에서 처리된 웨이퍼의 No.나 단계 No., 가스유량, 플라즈마소스파워, 처리압력, 압력조정밸브 개방도 등의 데이터가 나타나 있다. 도 7의 데이터는 로트No.(123)의 카세트 No.(2)에 대한 데이터이나, 다른 카세트나 로트에 대해서도 동일한 로트이력데이터가 모니터되어 축적된다. 또한 도 7의 항목은 일례이며 도시된 것 이 외의 항목이 필요에 따라 모니터되는 것은 물론이다.
다음에 도 8 이후에서 유저가 그 반도체제조장치의 진단을 장치제조회사의 진단장치를 사용하여 행하는 경우의 처리플로우를 설명한다. 진단에는 정기진단으로서 행하는 정기진단모드와, 에러발생시에 행하는 부정기 진단, 즉 장치이상모드및 장치고장모드가 있다.
제일 먼저, 도 8에서 정기진단모드를 설명한다. 이 정기진단모드는 진단장치(70)에 보존된 정기진단처리장치(90)에 의해 반도체제조장치가 정기적인 진단처리를 행하는 것이다.
정기진단에 있어서는 유저(B 내지 N)가 장치제조회사 A 사의 서버에 엑세스하여 진단장치를 요청함으로써, 정기진단모드의 프로그램이 기동한다(900 내지 904). 유저는 진단시스템의 프로그램 자체에는 직접 엑세스할 수 없다. 정기진단모드가 기동되면, 진단장치는 유저측에게 진단 1차 데이터를 요구한다(906). 유저는 서버, 인터넷 경유에 의해 요구데이터를 장치 제조회사(A)에 전송하고(908, 910), 그 데이터는 진단장치(70)의 정기진단 데이터베이스(93)에 보존된다. 회답데이터에는 도 7에 나타낸 바와 같은 생산의 로그데이터를 포함한다.
정기진단처리장치(90)는 요구데이터에 의거하여 정기진단의 해석을 실행한다. 이것에는 과거의 데이터를 기초로 한 기준치(정상치)와의 비교가 포함된다 (912,914). 예를 들면 진공처리실의 처리압력(PA)에 대하여 과거의 데이터를 기초로 한 기준치(정상치)와 비교함으로써 압력변동을 알 수 있다. 도 9는 도 7에 나타낸 처리압력(PA)이나 압력조정밸브의 개방도의 데이터를 다수의 처리웨이퍼에 대하여 로트이력데이터를 정리하여 그래프화한 것으로, 이들 데이터의 변동율이 기준치로부터 소정의 범위내, 예를 들면 ±5%의 범위내에 있을 때는 장치가 정상이라고 진단된다.
도 9의 데이터는 반도체제조장치의 경시적 변화의 정보로서 분석되고 해석된다. 이 정보는 다음 진단에 활용된다. 예를 들면 압력계의 수명(또는 교정이 필요한 시기의 판단 등) 등은 일의적으로 결정하는 것은 아니고, 사용상황이나 환경에 따라 변화된다. 이들 정보가 특정한 유저에게 한정되지 않고 각 유저를 바탕으로 여러가지 상황하에서 사용된 결과의 정보로서 분석, 해석되어 있는 경우, 진단정보와 비교함으로써 정밀도가 높은 진단이 가능해진다.
또 도 10은 정상 시의 압력조정밸브의 개방도와 처리압력(PA)의 관계를 나타내고 있다. 많은 데이터가 처리압력(2PA) 부근에 분포되어 있어 그 경우의 압력조정밸브개방도는 51% 내지 56%로 분포되어 있다. 그러나 잘 보면, 처리압력이 1.95 PA 부근에 분포되고, 압력조정밸브개방도는 52% 내지 53% 이다. 2 PA가 설정치에서 ±5%가 허용범위이면 1.9 내지 2.1 PA가 허용되므로 정상이라고 간주되지만, 경우에 따라서는 어떠한 이상징후를 나타내는 데이터일 지도 모른다. 또한 해석데이터가 허용치를 넘은 경우의 원인에 대하여 추측한다 하더라도, 단지 도 10에 나타낸 바와 같은 데이터만으로는 정확한 판단은 어렵다. 예를 들면 장치 내벽에 퇴적막이 형성되어 서서히 두꺼워지는 경우, 이 두께에 대응하여 퇴적막으로부터 방출되는 가스분자의 수가 증가하여 에칭가스로서 공급되는 가스유량 이외에 장치 내벽으로부터의 가스도 포함시킨 압력제어가 된다. 양자의 가스는 조성이 다르기 때문에, 플라즈마에 의해 해리 분해한 결과로서의 압력은 모두 에칭가스의 경우와는 다르다. 따라서 일정 압력제어의 기능은 정상이라고 하더라도, 압력지시치는 변화되지 않고 압력조정 밸브 개방도가 변화하고 있다고 하는 모드도 있을 수 있다. 또 동일한 압력조정 밸브 개방도임에도 불구하고, 압력이 변화되는 경우, 측정압력그 자체가 변화하고 있는 경우, 측정하고 있는 가스의 온도가 변화하고 있는 경우나, 압력계가 이상하거나 압력계를 설치하고 있는 부분의 온도가 변동하고 있다던가 또는 플라즈마로부터의 전자파 노이즈일 지도 모른다. 또는 압력조정 밸브가 이상을 나타내고 있을 지도 모른다. 또한 다른 가능성을 나타내면, 압력조정밸브는 밸브의 개방도를 조절함으로써 가스분자의 컨덕턴스를 변화시켜 진공펌프의 실효배기속도를 제어하고 있으나, 가스분자의 컨덕턴스는 가스분자의 질량과 온도에 의존한다. 따라서 플라즈마의 조성이 변화되면 컨덕턴스도 변화된다. 이에 의한 변화의가능성도 있는 것이다. 따라서 단지 압력이 변화하고 있다고 하는 현재 상태를 조사하는 것만으로는 압력변화 또는 압력조정 밸브의 변화의 진짜 원인을 알 수는 없어 적절한 처치를 실시할 수도 없다. 이것을 정확히 판단하기 위해서는 플라즈마의 특성변화나 다른 데이터와의 상관, 과거의 데이터와의 비교, 분석이 필요하게 된다. 이 해석에는 미리 해석되어 있는 데이터와의 비교도 유효하고, 여러가지 통계해석수단을 구사하는 것도 유효하다. 또한 플라즈마를 발생시키지 않고 아르곤 등의 불활성 가스를 사용한 유량과 압력, 압력조정 밸브 개방도의 관계, 또는 처리실내 벽 온도나 압력계의 온도 등을 새로이 측정하여 기기 하나 하나의 이상의 유무를 판정하는 것도 유효하다. 이 경우 장치를 특별히 가동하여 데이터를 취득할 필요가 생기나, 도 8에 나타낸 추가데이터의 요구(926)로부터 진단운전과 데이터취득(934)의 공정에 대응한다.
도 7의 항목에 반드시 에칭시간을 포함하였으나, 이 시간은 에칭종점판정장치[도 6의 처리실(202-1 내지 202-4)에 설치되나 도시를 생략함]에 의해 측정한 에칭시간이다. 이 에칭시간이 장치를 대기 개방하여 청소한 다음의 처리시간(플라즈마 방전시간)에 대응하여 서서히 변화되는 경우, 정기적으로 에칭시간의 변동을 진단함으로써 장치의 청소시기를 판단하는 것도 가능하다. 또 플라즈마클리닝의 시기를 판단하여 플라즈마클리닝을 실시하여 장치내를 초기상태로 되돌릴 수 있다. 플라즈마클리닝을 빈번하게 실시하는 것은 아니고, 정기진단결과에 의거하여 실시하기 때문에 장치의 가동을 방해하는 시간을 최소한으로 억제할 수 있어 결과적으로 장치의 가동률 향상, 안정가동이 가능해진다. 또한 급격한 변화를 나타낸 경우, 무엇인가의 이상에 의한다고 상정되기 때문에 뒤에서 설명하는 진단모드에 의한 진단을 실시한다. 또한 에칭시간의 변동과 장치의 측벽 온도나 다른 파라미터와의 상관을 해석함으로써, 여러가지 파라미터끼리의 인과관계가 명확해지면 그들 파라미터를 능동 제어함으로써 에칭시간변동을 일정하게 한 장치제어시스템으로 하는 것도 가능하게 된다. 이는 진단시스템이라고는 할 수 없을 지도 모르나, 본 발명의 진단시스템을 응용, 발전함으로써 장치성능의 안정화를 도모할 수 있다.
플라즈마에 관하여 도 7에 나타낸 소스파워의 투입파워나 반사 데이터나 튜닝이 정상 인지의 여부의 판단은, 스터브튜너의 위치(STB1, STB2, STB3)의 변화, 또는 웨이퍼 바이어스전압(Vpp)의 변화 등으로부터 판단할 수 있다. 또한 전용 플라즈마모니터 등을 구비한 장치에서는 더욱 정확한 변화를 파악할 수 있다.
진단결과는 정기진단 결과로서 유저측으로 보내져(916, 918), 진단해석데이터와 결과가 유저측의 기억장치에 저장된다(920). 또 진단결과는 장치 제조회사 (A)의 기억장치(85)에 고객장치관리데이터로서 저장됨과 동시에(922), 필요에 따라 서비스섹션[또는 서비스회사(A2)]에게 연락된다(924).
유저는 진단데이터(해석에 사용한 유저의 생산정보 등)를 소거할 수 있다. 또는 데이터의 판독에 프로텍트를 걸 수 있다. 장치 제조회사(A)는 유저의 허가없이는 고객장치관리데이터를 판독할 수 없는 시스템으로 한다. 진단결과는 소거할 수 없다. A 사의 데이터수록장치에 고객장치관리데이터, 즉(B 사 내지 N 사)에 대한 서비스정보로서 남는다. 본 데이터는 부품수명(메인티넌스시간), 재고관리 등에 사용할 수 있다. 또한 유저의 기밀정보에 속하는 부분은 예를 들면 도 7의 로트명(단순한 기호이면 문제가 없으나, 제품명 등이 사용되고 있는 경우도 생각할 수 있다), 공정명 등이나 웨이퍼처리 매수(제품의 생산정보에 관련됨) 등을 들 수 있다. 또 도 7에는 기재하고 있지 않으나, 막종류, 막두께, 제품명칭 등의 항목도 들 수 있다. 또한 유저 독자로 개발 또는 설정한 에칭레시피(도 7의 가스명칭, 유량, 압력, 시간 등의 구체적인 데이터)도 들 수 있다. 또한 장치를 모니터하여 얻어지는 데이터이라고는 할 수 없으나, 에칭결과에 관한 데이터를 집중관리하고 있는 경우, 그들 데이터는 기밀정보에 포함된다. 예를 들면 다른 반도체제조장치의 공정도 포함한 반도체제품의 품질에 대한 상관관계, 에칭형상, 반도체제품의 전기특성에 관한 데이터, 불량의 상황(수율)등등이다. 장치가 정상인 지의 여부를 판정하거나 데이터의 불균일이 허용범위인 지의 여부를 판단하는 것은 최종적으로는 제품이 정상인 지의 여부로 결정하여야 하는 것임을 근거로 하면, 유저에게 있어서 매우 중요한 데이터이다. 반대로 생산정보에 직접 관련되는 데이터이며, 기밀로 해야 하는 정보이기도 하다. 따라서 유저가 이들 정보를 기밀데이터로 한다고 한 경우, 장치로부터 얻어지는 데이터의 허용치만을 장치 제조회사(A)에 개시하게 되나, 허용치의 범위를 정한 이유, 근거(수율 등)까지는 개시할 필요는 없다. 또 장치 제조회사(A)에 보존되는 데이터는 도 7에 나타낸 바와 같은 로트이력데이터를 집계, 해석한 도 9나 도 10 등이다. 이들 데이터는 유저장치명칭(시리얼 No.)과 날짜 또는 적절히 정한 명칭으로 보관, 관리된다. 막 종류나 에칭레시피가 데이터관리에 필요하면 구체적인 명칭이 아니라 적절히 정한 명칭에 의해 관리하면 좋다.
진단해석을 위한 데이터가 부족한 경우, 진단장치는 유저측에 대하여 추가데이터의 요구를 행한다(926). 진단을 위한 데이터를 취득하기 위하여 장치를 운전해야 할 필요가 있는 경우는 진단을 위한 운전을 하여도 좋은지 유저에게 문의를 한다(928 내지 930). 이것은 예를 들면 미리 확보된 몇 개인가의 질문에 대답하는(안전상 문제없을까, 기타, 운전하여도 문제없을까 등의 문의)방식으로 한다.
그리고 유저측에 진단데이터 취득을 위한 장치운전의 레시피가 표시되고, 유저측에서는 진단대상의 반도체제조장치를 기동한다(930). 반도체제조장치의 기동을 할 수 없는 경우는, 그 이유를 분명하게 하여(932), 고객장치관리 데이터베이스 (851)에 기록함과 동시에(922), 필요에 따라 서비스 섹션[또는 서비스회사(A2)]에게 연락된다(924). 즉 장치운전이 불가한 경우는 어째서 운전할 수 없는 지를 회답한다. 예를 들면 이유의 일람이 나와 있어 그것을 체크한다. A 사에서는 진단결과에 의해 고장부품의 확보를 할 수 있다. 예를 들면 단순한 소모품의 교환으로 충분한 경우가 있다. 수리, 고장부품이 필요한 경우는 B 사 서비스원에게 연락하여 준비되도록 한다.
레시피에 따라 반도체제조장치를 운전하여 진단데이터를 취득할 수 있던 경우에는 그 결과가 추가데이터로서 진단장치에 보내진다(934). 처음의 진단은 본 실시에서는 정기진단모드를 기동하였기 때문에 그 데이터는 진단장치의 정기진단 데이터베이스(851)에 보존된다. 진단장치는 추가데이터에 의거하여 해석을 실행한다(936,938). 이것에는 과거의 데이터(정상치)와의 비교가 포함된다. 진단결과 (940)는 정기진단 결과로서 유저측에 보내져 표시되고(942), 진단해석 데이터와 결과가 유저측의 기억장치에 저장된다(944). 또 진단결과는 장치 제조회사(A)의 기억장치에 고객장치관리 데이터로서 저장됨과 동시에, 필요에 따라 서비스 섹션[또는 서비스회사(A2)]에 연락된다.
다음에 진단장치는 진단결과에 의거하여 진단종료 여부의 문의를 유저측에 대하여 행한다(946).
유저측에서는 『진단종료 불가』(정기진단의 결과만으로서는 만족할 만한 결과가 얻어지지 않았음), 『해석데이터를 소거하고 진단종료』(정기진단만으로 이상을 진단할 수 있었음), 『해석데이터를 소거하지 않고 진단종료』(진단데이터에 기밀사항은 포함되지 않는다고 판단함)중 어느 하나의 판정을 행한다(948). 또한 해석데이터를 소거하고 진단을 종료하는 경우에는 진단장치가 해석데이터를 소거한 다음에 유저측의 양해(해석데이터의 소거를 확인)를 얻어 정기진단을 종료한다(950 내지 956).
또한 진단장치와의 접속은 무료로 한다. 또는 정기진단, 고장진단 등에 의해 과금하는 경우도 있으나, 상세한 것은 보수계약 등으로 정해진다. 이상을 발견하여 대처하는 경우의 서비스원의 파견, 부품의 조달 등이 필요하게 되나, 그들에 관한 비용의 부담 등도 미리 보수계약 등으로 정하여 두면 좋다.
정기진단에 있어서는 과거의 데이터와의 비교해석을 할 수 있기 때문에, 단순한 정상, 이상의 판정뿐만 아니라, 최신의 데이터가 장치의 운전에 지장은 없으나 정상치의 한계, 환언하면 경계영역 부근에 있어 경도의 이상이며, 사전에 어떠한 대책을 실시하는 것이 바람직하다고 판정하여 유저에게 연락할 수도 있다. 이에 의하여 사전에 설비가 고장날 가능성을 어느 정도 예측하여 신속하게 대책을 강구하여 큰 경제적 손실을 회피할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 진단장치는 A 사 서버에 접속되어 있으나, 진단장치를 B 사의 제어서버에 인스톨하여 B 사내의 반도체제조장치를 정리하여 보도록 하여도 좋다. 또는 각 반도체제조장치에 미리 인스톨하여도 된다. 이 경우 프로그램을 진단기능에 의해 나누어 인스톨해 둔다. 단, 미리 인스톨된 것보다도 새로운 최신버전의 진단프로그램을 이용하고 싶은 경우에는 A 사 서버에 엑세스하여 다운로딩할 필요가 있다. 또한 데이터해석에 사용하는 기존데이터에 관해서는 타사장치의 데이터도 포함시킨 종합적인 해석이 바람직하나, B 사의 반도체제조장치에 진단장치를 인스톨하여 사용하는 경우, 타사 장치로부터 선택되는 종합적인 데이터가 사용하기 어렵게 된다. 특히 A 사의 전문가와 연락을 취하면서 진단하는 경우 등은 진단장치가 A 사에 있는 편이 효율적이고 해석 정밀도도 높아진다. 따라서 바람직하게는 A 사에게 필요 데이터를 송신하여 진단해주는 시스템으로 한다.
이상 설명한 것으로부터 분명한 바와 같이 본 발명의 실시예가 되는 원격진단시스템의 주요한 기능은 다음과 같다.
(1) 유저(B 사 내지 N 사)가 자유롭게 엑세스할 수 있다.
(2) 본 발명의 시스템에 대한 접속 패스워드를 미리 계약으로 정한다.
(3) 유저는 진단시스템의 프로그램에는 엑세스할 수 없으나, 진단데이터(해석에 사용한 유저의 생산정보 등)는 소거할 수 있다. 또는 데이터의 판독에 프로텍트를 걸 수 있다(유저의 허가없이는 판독할 수 없는 시스템으로 한다).
(4) 진단결과는 소거할 수 없다. A 사의 데이터수록장치에 (B 사 내지 N 사)에 대한 서비스정보로서 남는다. 본 데이터는 부품수명(메인티넌스시간), 재고관리 등에 사용할 수 있다.
(5) 진단은 반자동이며, 필요 데이터가 진단장치로부터 유저단말에 요구되기 때문에 그것에 회답하는 방식이다.
(6) 회답데이터는 생산의 로그데이터를 포함한다.
(7) 진단을 위한 데이터를 취득하기 위하여 장치를 운전할 필요가 있는 경우는 진단을 위한 운전을 하여도 좋은지 문의가 있다. 그것에 대답하는(안전상 문제는 없는지, 기타, 운전하여도 문제없을 지의 문의)방식으로 한다.
(8) 장치운전이 불가한 경우는 어째서 운전할 수 없는 지를 회답한다(이유의 일람이 나와 있어 그것에 체크한다).
(9) 진단결과를 보고 있어(또는 보기 전이더라도) A 사의 서비스원 또는 부품공급 제조회사에 연락할 수 있다.
호출 요구, 수리요구, 정기 메인티넌스요구, 지급호출 등.
(10) 진단결과에 의해 고장부품의 확보를 할 수 있다.
(단순한 소모품의 교환. 수리, 고장부품은 B 사 서비스원에게 연락한 후에 확보된다)
(11) 진단장치와의 접속은 무료.
또는 정기진단, 고장진단 등에 의해 과금.
(12) 진단장치는 A 사 서버에 접속되어 있다.
또는 B 사 제어서버에 인스톨하여 B 사내장치를 정리하여 본다. 또는 각 장치에 미리 인스톨한다(진단기능에 의해 나누어 둔다).
다음에 도 11에서 이상모드진단처리장치(100)에 의해 처리되는 장치이상모드에 대하여 설명한다. 장치가 이상일 경우, 유저(B 내지 N)가 장치 제조회사(A사)의 서버에 엑세스하여 진단장치를 요청함으로써 장치이상모드의 프로그램이 기동된다(1000 내지 1004). 장치이상진단모드가 기동되면, 진단장치는 유저측에게 진단 1차 데이터를 요구한다(1006). 또한 진단 1차 데이터에는 장치이상 이력메시지 등의 정보도 포함된다. 유저는 서버, 인터넷을 경유하여 요구데이터를 장치제조회사(A사)에 전송하고(1008 내지 1010), 그 데이터는 진단장치의 정기진단 데이터베이스에 보존된다. 진단장치는 요구데이터에 의거하여 정기진단의 해석을 실행한다(1012 내지 1014). 진단결과는 정기진단 결과로서 유저측에게 보내지고(1016, 1018), 진단해석데이터와 결과가 유저측의 기억장치에 저장된다(1020). 또 진단결과는 장치 제조회사(A사)의 기억장치(85)에 고객장치 관리데이터로서 저장됨과 동시에(1022), 필요에 따라 서비스섹션[또는 서비스회사(A2)]에 연락된다(1024). 또한 이상이 인정되었기 때문에 진단을 실시하고 있으므로 통상의 정기진단만으로는 정확한 판정이 곤란한 경우도 있을 수 있다.
진단장치는 진단을 위한 데이터가 부족한 경우, 진단장치는 유저측에 대하여 진단데이터의 요구를 행한다(1026). 진단데이터를 취득하기 위하여 진단데이터 취득을 위한 장치운전레시피를 제시하여(1028), 장치를 기동할 수 있을 지 유저에게문의한다(1030).
반도체제조장치의 기동을 할 수 없을 경우는 그 이유를 밝히고(1032, 1034),서비스원에게 연락함과(1036) 동시에, 필요에 따라 서비스섹션[또는 서비스회사 (A2)]에 연락한다(1028). 또한 다음의 문의 및 지시를 행한다(1040). 예를 들면 진공펌프의 기동을 할 수 없다고 하는 이상일 경우, 장치를 기동할 수 없게 되나, 그 때 진공펌프가 수냉방식이라고 하면, 냉각수는 흐르고 있는 지, 유량은 적절한 지, 수온은 허용 범위에 있는 지, 다른 인터록은 어떻게 되어 있는 지 등의 조회를 제시하여 회답받음으로써 해석, 판단, 지시를 행한다.
레시피에 따라 반도체제조장치를 운전하여 진단데이터를 취득할 수 있었던 경우에는(1042), 그 결과가 추가데이터로서 진단장치에 보내진다(1044). 그 데이터는 진단장치의 정기진단 데이터베이스에 보존된다. 진단장치는 진단데이터에 의거하여 해석을 실행한다(1046). 이것에는 과거의 데이터(정상치)와의 비교가 포함된다. 진단결과(1048)는 대책내용과 함께 유저측으로 보내지고 표시되어(1050), 진단해석 데이터와 결과가 유저측의 기억장치에 저장된다(1052). 또 진단결과는 장치 제조회사(A사)의 기억장치에 고객장치 관리데이터로서 저장됨과 동시에, 필요에 따라 서비스섹션[또는 서비스회사(A2)]에 연락된다(1022, 1024).
유저는 진단결과에 의거하는 대책내용을 선정하여(1054), 필요에 따라 서비스원에게 연락하여(1056, 1038), 다음 문의 및 지시를 행한다(1058). 이들 연락은 인터넷을 통하여 실시되거나 직접 서비스원에게 연락을 취하고 싶은 경우, 인터넷을 통하여 서비스원과 접속하거나, 전화연락하는 것도 가능하다. 마지막으로 진단종료전에 해석데이터소거 여부의 문의를 유저측에 대하여 행한다(1060). 유저측에서는 『진단종료 불가』, 『해석데이터를 소거하고 진단종료』, 『해석데이터를 소거하지 않고 진단종료』중 어느 하나의 판정을 행한다(1062). 또한 해석데이터를 소거하여 진단종료하는 경우에는 진단장치가 해석데이터를 소거한 다음에 유저측의 양해(해석데이터의 소거를 확인)를 얻어 진단을 종료한다(1064 내지 1068).
다음에 도 12에서 반도체제조장치의 고장부분이 어느 정도 판명되어 있을 때에 고장진단처리장치(110)에 의해 처리되는 고장진단모드에 대하여 설명한다. 장치가 고장인 경우, 유저(B 내지 N)가 장치 제조회사(A사)의 서버에 엑세스하여 진단장치를 요청함으로써, 고장진단모드의 프로그램이 기동된다(1100 내지 1104). 고장진단모드가 기동되면, 진단장치는 유저측에게 고장부분의 문의를 행한다 (1106). 유저는 고장부분 분류표로부터 고장부분을 선택하여 서버, 인터넷을 경유하여 요구데이터를 장치 제조회사(A사)에 전송하고(1108 내지 1110), 그 데이터는 진단장치의 정기진단 데이터베이스에 보존된다. 진단장치는 고장부분의 데이터 및 과거의 이력을 참조하여 대책 내용을 표시하고(1116), 유저는 대책 분류표에서 대책을 선택한다(1120). 진단장치는 서비스원에게 연락을 행하여(1122), 다음 문의 및 지시를 행한다(1124). 이에 의거하여 서비스섹션[또는 서비스회사(A2)]에 고장내용, 대책내용의 데이터가 보내진다(1126). 서비스섹션[또는 서비스회사(A2)]에서는 이것을 받아 필요한 처치나, 고장진단모드의 실시를 행한다(1128 내지 38). 유저는 고장대책 분류표에서 대책을 선택하여 도입한다(1134, 36). 진단장치는 유저의 확인을 얻어 필요에 따라 고장진단모드를 기동한다(1140, 42). 진단을 종료할 경우에는 진단장치가 해석데이터를 소거한 다음에 유저측의 양해를 얻어 고장진단을 종료한다(1144 내지 1148).
또 도 13에 나타내는 실시예에서는 A 사의 진단장치가 장치 제조회사(A1사)및 이 장치 제조회사가 계약되어 있는 서비스회사(A2사)(복수이어도 좋다)의 양쪽에 설치되어 있다.
각 유저와 장치 제조회사[또는 판매회사(도시 생략)] 사이의 매매계약으로 진단계약을 장치 제조회사(A1)로 할 지, 서비스회사(A2)로 할 지를 정한다. 그 후의 접속은 상기 실시예의 경우와 동일하다.
A1사와 A2사의 서버끼리는 원칙적으로 진단데이터에 관하여 자유롭게 정보교환할 수 있는 것으로 한다. 오히려 서로의 분석결과는 공통의 데이터베이스로서 보관한다.
또 진단프로그램은 동일한 최신판을 사용한다. 해석 데이터베이스도 최신판으로 한다.
또 도 14의 실시예는 각 유저의 서버나 반도체제조장치중에 진단 1차 데이터 저장영역을 설치한 예이다. 이 부분에 대한 엑세스는 A 사에서는 불가능으로 한다. A 사로부터의 엑세스 등을 걱정하지 않아도 좋다. 유저는 데이터를 보관한 채로 자유롭게 사용할 수 있다. 또한 진단결과에서 개시하여도 되는 데이터를 제외하고, 기밀사항에 속하는 데이터의 A 사에 대한 전송은 금지하지 않으면 안된다. 이것은 비밀유지계약으로 한다. 이 경우는 진단소프트를 유저측에 인스톨하여 진단하는 것이 바람직하나, 그렇지 않더라도 가능하다. 이에 의하여 각 유저에 대하여 원격진단시에 있어서의 정보의 비밀유지와 경제적 손실의 증대방지라는 쌍방의 요구의 조화를 도모할 수 있다.
다음에 본 발명의 다른 실시예에 대하여 설명한다. 이하의 실시예는 유저가 진단장치에 접속할 경우에 이를 유상으로 하는 시스템이다. 시스템을 유상으로 함으로써, 진단소프트웨어의 개발자가 더욱 고도의 소프트웨어를 개발하여 제공하는 경우의 경제적인 부담을 어느 정도 경감할 수 있다. 반대로 유저는 더욱 고도의 해석데이터를 이용하여 신뢰성이 높은 진단을 행할 수 있게 된다.
유상시스템의 형태로서, 다음과 같은 것을 생각할 수 있다.
1) A사(장치 제조회사)는 B사(유저)에 대하여 진단장치(하드웨어, 소프트웨어를 포함함)를 이용할 권리를 유상으로 준다. B사는 그 진단장치를 사용하여 반도체제조장치의 진단을 행한다.
2) 상기 1)에 있어서, 진단장치는 A사내에 설치하고, 통신네트워크를 이용하여 B 사내에서 엑세스하여 진단한다.
3) 상기 1)에 있어서, 진단장치는 B사내에 설치(대여)하고, B사의 인트라넷 (MES 등)을 통하여 엑세스하여 진단한다.
도 15에 나타내는 실시예의 진단시스템에서는, 진단장치(70)에 진단레벨(1 내지 N)과 같이 복수의 레벨을 설치하고, B사는 A사의 허가를 얻어 필요한 대가를 지불하여 더욱 고레벨의 진단을 행할 수 있도록 구성된 시스템이다. 또 이 진단시스템에 있어서 최고레벨의 진단은 A사 전문스탭에 의한 해석, 컨설팅을 포함하도록 하여도 좋다. 또한 B사가 더욱 고레벨의 진단을 A사의 허가를 얻어 실시하는 경우, 전레벨에서의 입력, 출력데이터는 자동적으로 A사에 개시되도록 구성하여도 좋다. 반대로 최하레벨은 무상으로 하여 간단한 항목에 대한 정기진단 등의 서비스를 유저에게 제공하도록 하여도 좋다.
또한 도 16에 나타내는 실시예의 진단시스템과 같이, 각 진단레벨에 있어서 각 유저(B사, C사, D사)의 입력, 출력데이터는 데이터베이스로서 진단장치(70)중에 기억시켜, A사는 B사, C사, D사 각각의 인가를 얻어 각 사의 데이터베이스에 엑세스할 수 있도록 구성하여도 좋다. 또 이 진단시스템에 있어서, B사가 A사에 대하여 B사의 데이터베이스를 공개한 경우, 그 공개 정도에 따라 진단장치의 사용요금을 감액하도록 하여도 좋다.
또 도 17에 나타내는 실시예의 진단시스템과 같이, 반도체제조장치(10)의 표준동작조건을 정하여 두고, 그 동작조건에서의 데이터베이스(88, 89)를 미리 작성하여 두어 A사가 디바이스 제조회사에 납입한 반도체제조장치(10)의 상태를 진단할때에 그 표준조건으로 대상이 되는 반도체제조장치를 동작시켜 그 동작데이터를 자동, 또는 디바이스 제조회사측의 엔지니어의 수입력에 의해 진단장치(70)에 도입하여 진단프로그램(80)에서 상기한 데이터베이스와 비교함으로써 장치의 상태를 진단하도록 하여도 좋다.
또한 상기 표준조건에서의 동작 데이터베이스는 미리 장치(10)의 공급자, 즉 A사가 공장 출하전에 동작시켜 그 결과를 바탕으로 작성한 데이터베이스 외에, 진단장치(70)의 이용계약을 행한 다음에 유저의 장치의 데이터를 도입하거나 또는 장치(10)를 유저에게 납입하고 나서 장치의 기동 시에 도입 유저오리지널의 데이터베이스로 함으로써, 유저의 레시피정보가 진단장치(70)의 제공측으로 흘러나가는 일이 없도록 하여도 좋다.
A사 또는 다른 메인티넌스 서비스회사의, 과거의 B사에 대한 서비스데이터는 진단장치의 B사 데이터베이스에 입력되어 진단에 사용된다. 단, 이 데이터베이스는 도 15의 진단레벨의 최저레벨에는 포함되지 않고, B사의 요망에 따라 A사가 B 사에 대하여 제공하도록 하여도 좋다.
유저가 진단장치에 접속하는 경우에 유상으로 하는 도 15 내지 도 17의 시스템의 처리플로우를 도 18에 나타낸다.
진단의 계약자는 먼저, 진단소프트(70)에 엑세스한다. 진단소프트는 계약의 레벨을 판정하여 진단소프트를 기동한다(1800 내지 1802).
진단소프트로부터는 먼저, 계약자에 대하여 표준상태에서의 데이터의 도입을 의뢰한다(1804). 유저는 제조장치를 표준조건으로 동작시켜 데이터를 진단소프트에 보낸다(1806). 이 동작은 진단소프트의 측에서 유저의 허가를 얻어 자동적으로 제조장치를 기동하여 자동적으로 데이터를 도입하는 것도 가능하다. 진단소프트 (70)로서는 데이터는 초기 데이터인 지, 비교진단을 위해 취해진 데이터인 지를 판단하여(1810), 데이터는 데이터베이스에 보존된다(1808). 취득된 데이터가 비교진단용 데이터이면 이것을 데이터베이스의 데이터와 비교하여 진단을 행하고 그 결과를 유저에게 송신한다(1812 내지 1820).
유저는 그 결과를 보고 다음 시책으로 이동한다.
유저가 다시 다음 레벨의 진단을 필요로 하는 경우는, 레벨에 따라 다시 과금하고 그 레벨의 진단소프트를 개시시킨다(1822). 그 레벨에서는 다시 추가데이터의 요구가 필요한 경우는 이것을 유저에게 요구하고, 이것을 도입하여 진단을 행한다(1824 내지 1828).
상기 진단방법의 구체적인 예를 도 19에 나타낸다. 여기서는 일반적으로 초기 레벨의 진단내용에 포함된다고 생각되는 예를 나타내고 있다. 제일 먼저 표준상태에서의 데이터의 해석을 행하고 데이터는 데이터베이스에 보존되어(1900 내지 1906), 통상의 공정처리를 행한다(1908). 이 표준데이터에 의거하는 장치의 해석, 진단이 이루어진다(1910 내지 1926). 유저가 다시 다음 레벨의 진단을 필요로 하는 경우는, 레벨에 따라 다시 과금하고, 그 레벨의 진단소프트웨어를 개시시킨다(1928 내지 1930). 그 레벨에서는 다시 추가데이터의 요구가 필요한 경우는 이것을 유저에게 요구하고, 이것을 도입하여 진단을 행한다(1824 내지 1828).
또한 도 20에서는 레벨2 진단(2000 내지 2010), 레벨3 진단(2012 내지 2016)등의 더욱 높은 레벨의 진단으로의 이행의 예를 나타내고 있다.
또 도 21에서는 이와 같은 진단을 사용하여 제조장치를 운용하는 예를 나타내고 있다. 제일 먼저, 표준조건에서의 데이터를 일단 취득하고(2100 내지 2102),진단장치(70)내에 기억한 다음에 반도체제조장치(10)에 의한 통상의 생산에 들어 간다(2104 내지 2108). 통상의 생산에서는 거의 매일 행하여지는 일상의 QC 작업(2110) 외에 일정매수를 처리한 다음에 반응용기내에 퇴적된 퇴적막 등을 제거하기 위하여 습식세정 또는 전(全) 청소라 불리우는 분해청소를 행한다(2112).
본 발명의 진단을 일상의 QC 작업의 일환으로서 행하면, 장치상태의 정확한관리가 가능하게 된다. 현재 행하여지고 있는 이물 QC 등에서는 그 때문에 더미웨이퍼를 사용하고, 또 검사장치에 걸어 결과를 얻기까지에 시간을 필요로 한다.
이에 대하여 본 발명의 장치진단방법만을 사용하여도 이물의 원인이 되는 벽면의 퇴적막의 정보를 장치를 분해하지 않고 판정할 수 있기 때문에 온라인에서의 진단이 가능하게 되어 더욱 정밀도 좋은 장치상태의 파악이 더욱 단시간에 가능하게 된다.
또 공정에 따라서는 본 장치진단과 같이 표준조건에서의 동작을 통상의 웨이퍼처리 사이에 넣음으로써 그 다음 공정에 영향을 미치는 것을 생각할 수 있다. 그 경우는 진단실시 후에 실제의 공정으로 들어가기 전에 에이징 등의 작업이 필요하게 되는 경우도 생각할 수 있다. 이 때는 진단의 간격을 스루풋에 영향을 미치지 않을 정도로 3일, 1주일로 길게 하면 좋다. 또한 습식세정 후에는 반드시 장치진단을 넣어야만 한다. 이에 의하여 장치가 초기상태로 되돌아가고 있는 지의 여부를 정확하게 판정할 수 있다.
또한 이상과 같은 방식으로 제조장치를 진단하는 경우, 그 결과는 모두 유저의 것이 된다. 그러나 유저가 그 데이터를 전용하는 일이 없도록 할 필요가 있다. 따라서 진단장치로부터 유저에게 송부되는 모든 데이터는 보호되어야만 한다. 따라서 모든 데이터에는 ID 가 붙여져 전자문자 등에 의해 저작권을 주장할 수 있도록 구성하는 것이 바람직하다.
이상, 본 발명을 반도체제조장치에 적용한 예에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 이것에 한정되는 것이 아니다. 예를 들면 화학플랜트나 자동차의 생산라인과 같은 생산설비와 같이 설비의 유저와 다른 기업이 제조에 관여하거나 또는 유저가 그 설비의 사용에 관하여 독자의 기업기밀을 가지는 바와 같은 경우에 있어서의 설비의 진단에 널리 응용할 수 있다.
본 발명에 의하면 설비의 원격진단시에 있어서의 정보의 비밀유지와 경제적손실의 증대방지라는 쌍방의 요구 조화를 도모한 원격진단시스템 및 진단방법을 제공할 수 있다. 또 유저에게 설비가 납입된 다음에 있어서도 더욱 기능, 품질이 향상된 진단프로그램을 유저에게 제공할 수 있는 환경을 제공할 수 있다.
또 사전에 설비가 고장날 가능성을 어느정도 예측하여 신속하게 대책을 강구하여 큰 경제적 손실을 피할 수 있는 원격진단시스템 및 진단방법을 제공할 수 있다.
또 유저가 고도의 해석데이터를 이용하여 신뢰성이 높은 진단을 행할 수 있게 함과 동시에, 진단소프트웨어 개발자의 경제적인 부담도 어느 정도 경감할 수 있는 원격진단시스템 및 진단방법을 제공할 수 있다.

Claims (27)

  1. 통신네트워크를 거쳐 제3자에 의해 제공되는 진단장치에 유저가 반도체제조장치를 접속하여 해당 반도체제조장치에 대한 진단을 행하기 위한 반도체제조장치의 원격진단시스템으로서,
    상기 진단장치는 상기 반도체제조장치의 진단처리를 행하는 적어도 하나의 진단프로그램과, 엑세스권한을 부여받은 특정한 유저의 단말로부터의 엑세스에 의해 상기 진단프로그램을 기동하는 제어부를 구비하고 있고,
    상기 단말은 진단에 있어서 상기 진단장치로부터 요구가 있었던 데이터를 상기 진단장치로 송신하여 상기 진단장치로부터 진단결과를 수취하는 것을 특징으로 하는 반도체제조장치의 원격진단시스템.
  2. 통신네트워크를 거쳐 제3자에 의해 제공되는 진단장치에 반도체제조장치를 접속하여 해당 반도체제조장치에 대한 진단을 행하기 위한 반도체제조장치의 원격진단시스템으로서,
    상기 진단장치는 상기 반도체제조장치의 진단처리를 행하는 복수의 진단프로그램과, 엑세스권한을 부여받은 특정한 유저의 엑세스에 의해 상기 진단프로그램을 기동하는 제어부와, 상기 진단프로그램에 관한 정보를 개시하는 가이드부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 반도체제조장치의 원격진단시스템.
  3. 통신네트워크를 거쳐 제3자에 의해 제공되는 진단장치에 반도체제조장치를 접속하여 해당 반도체제조장치에 대한 진단을 행하는 반도체제조장치의 원격진단시스템으로서,
    상기 진단장치는 상기 반도체제조장치의 진단처리를 행하는 적어도 하나의 진단프로그램과, 엑세스권한을 부여받은 특정한 유저의 엑세스에 의해 상기 진단프로그램을 기동하는 제어부와, 상기 진단프로그램의 실행에 따르는 진단결과의 1차 데이터를 보존하는 유저 고유의 1차 데이터 저장장치와, 진단프로그램에 관한 정보를 개시하는 가이드부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 반도체제조장치의 원격진단시스템.
  4. 제 1항 내지 제 3항중 어느 한 항에 있어서,
    상기 진단프로그램은 상기 반도체제조장치가 정기적인 진단처리를 행하는 정기진단 프로그램과, 상기 반도체제조장치에 이상이 있을 때에 임시로 진단처리를 행하는 이상모드진단 프로그램과, 상기 반도체제조장치의 고장부분이 어느 정도 판명되어 있을 때에 진단처리를 행하는 고장진단 프로그램을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체제조장치의 원격진단시스템.
  5. 제 1항 내지 제 4항중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제3자는 상기 반도체제조장치의 제조회사, 또는 상기 진단장치의 설치가 상기 제조회사에 의해 인가된 회사 또는 그 관련회사인 것을 특징으로 하는 반도체제조장치의 원격진단시스템.
  6. 제 3항에 있어서,
    상기 진단장치는 상기 제3자의 서버에 접속되어 있고, 상기 유저는 상기 진단장치의 프로그램에는 엑세스할 수 없으나, 상기 진단장치의 유저 고유의 진단데이터의 관리를 행할 수 있는 것을 특징으로 하는 반도체제조장치의 원격진단시스템.
  7. 제 1항 내지 제 6항중 어느 한 항에 있어서,
    상기 진단장치로부터 유저측으로 진단데이터취득을 위한 반도체제조장치운전의 레시피가 송신되고, 이 레시피에 따라 운전할 수 있었던 데이터에 의거하여 진단을 행하는 것을 특징으로 하는 반도체제조장치의 원격진단시스템.
  8. 제 1항 내지 제 7항중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제3자는 상기 진단의 결과를 상기 유저에 대한 서비스정보로서 보존하는 것을 특징으로 하는 반도체제조장치의 원격진단시스템.
  9. 통신네트워크를 거쳐 제3자에 의해 제공되는 진단장치에 반도체제조장치 및 진단을 행하기 위한 단말을 접속하여 해당 반도체제조장치에 대한 진단을 행하는 반도체제조장치의 원격진단방법으로서,
    엑세스권한을 부여받은 특정한 유저의 엑세스에 의해 상기 진단장치의 진단프로그램이 기동되고,
    진단에 필요한 데이터가 상기 진단프로그램으로부터 유저측에게 요구되어 그것에 대한 유저측의 회답을 얻어 진단을 행하는 것을 특징으로 하는 반도체제조장치의 원격진단방법.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 진단장치는 진단을 위한 데이터를 취득하기 위하여 반도체제조장치를 운전할 필요가 있다고 판단한 경우에, 진단을 위한 운전을 하여도 좋은 지를 상기 유저에게 문의하고 운전에 의해 얻어진 데이터에 의거하여 진단을 행하는 것을 특징으로 하는 반도체제조장치의 원격진단방법.
  11. 제 9항 또는 제 10항에 있어서,
    상기 진단프로그램은 상기 반도체제조장치의 정기적인 진단처리를 행하는 정기진단 프로그램을 포함하고, 이 정기진단에 있어서 과거의 데이터와의 비교로부터 해당 반도체제조장치의 상태를 해석하는 것을 특징으로 하는 반도체제조장치의 원격진단방법.
  12. 제 1 회사의 관리하에 있는 설비를 통신네트워크를 거쳐 상기 설비에 접속되고 또한 상기 제 1 회사의 관리하에 없는 제 2 회사의 진단장치를 사용하여 진단을행하는 설비의 원격진단시스템에 있어서,
    상기 진단장치는, 상기 설비의 진단처리를 행하는 적어도 하나의 진단프로그램과, 엑세스권한을 부여받은 특정한 유저의 단말로부터의 엑세스에 의해 상기 진단프로그램을 기동하는 제어부를 구비하고 있고,
    상기 단말은 진단에 있어서 상기 진단장치로부터 요구가 있었던 데이터를 상기 진단장치에 송신하고, 상기 진단장치로부터 진단결과를 받는 것을 특징으로 하는 설비의 원격진단시스템.
  13. 제 1 회사의 관리하에 있는 설비를, 통신네트워크를 거쳐 상기 설비에 접속하거나 또한 상기 제 1 회사의 관리하에 없는 제 2 회사의 진단장치를 사용하여 진단을 행하는 설비의 원격진단시스템에 있어서,
    상기 진단장치는, 상기 설비의 진단처리를 행하는 복수의 진단프로그램과, 엑세스권한을 부여받은 특정한 유저의 엑세스에 의해 상기 진단프로그램을 기동하는 제어부와, 상기 진단프로그램에 관한 정보를 개시하는 가이드부를 구비하는 것을 특징으로 하는 설비의 원격진단시스템.
  14. 제 1 회사의 관리하에 있는 설비를, 통신네트워크를 거쳐 상기 설비에 접속하거나 또한 상기 제 1 회사의 관리하에 없는 제 2 회사의 진단장치를 사용하여 진단을 행하는 설비의 원격진단시스템에 있어서,
    상기 진단장치는, 상기 설비의 진단처리를 행하는 적어도 하나의 진단프로그램과, 엑세스권한을 부여받은 특정한 유저의 엑세스에 의해 상기 진단프로그램을 기동하는 제어부와, 상기 진단프로그램의 실행에 따르는 진단결과의 1차 데이터를 저장하는 유저 고유의 1차 데이터저장장치와, 진단프로그램에 관한 정보를 개시하는 가이드부를 구비하는 것을 특징으로 하다 설비의 원격진단시스템.
  15. 제 1 회사의 관리하에 있는 설비를 통신네트워크를 거쳐 상기 설비에 접속되고 또한 상기 제 1 회사의 관리하에 없는 제 2 회사의 진단장치를 사용하여 진단을 행하는 원격진단방법에 있어서,
    엑세스권한을 부여받은 특정한 유저의 엑세스에 의해 상기 진단장치의 진단프로그램이 기동되고,
    진단에 필요한 데이터가 상기 진단프로그램으로부터 유저측에게 요구되고, 그것에 대한 유저측의 회답을 얻어 진단을 행하는 것을 특징으로 하는 설비의 원격진단방법.
  16. 통신네트워크를 거쳐 특정한 제3자에 의해 제공되는 진단장치에, 유저가 반도체제조장치를 접속하여 해당 반도체제조장치에 대한 진단을 행하기 위한 반도체제조장치의 원격진단시스템으로서,
    상기 진단장치는 상기 반도체제조장치의 진단처리를 행하는 적어도 하나의 진단프로그램과, 엑세스권한을 부여받은 특정한 유저의 단말로부터의 엑세스에 의해 상기 진단프로그램을 기동하는 제어부를 구비하고 있고,
    유상으로 상기 특정한 제3자로부터 상기 진단장치를 이용할 권리를 부여받은 유저의 단말로부터 진단 시에 상기 진단장치로부터 요구가 있었던 데이터를 상기 진단장치에 송신하고, 상기 단말에서 상기 진단장치로부터 진단결과를 받는 것을 특징으로 하는 반도체제조장치의 원격진단시스템.
  17. 통신네트워크를 거쳐 특정한 제3자에 의해 제공되는 진단장치에, 반도체제조장치를 접속하여 해당 반도체제조장치에 대한 진단을 행하기 위한 반도체제조장치의 원격진단시스템으로서,
    상기 진단장치는 상기 반도체제조장치의 진단처리를 행하는 복수의 진단프로그램과, 유상으로 엑세스권한을 부여받은 특정한 유저의 엑세스에 의해 상기 진단프로그램을 기동하는 제어부와, 상기 진단프로그램에 관한 정보를 개시하는 가이드부를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체제조장치의 원격진단시스템.
  18. 제 17항에 있어서,
    상기 진단장치는 상기 특정한 제3자가 상기 유저의 허가없이 해당 진단장치에 입력 또는 출력된 데이터를 참조할 수 없도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체제조장치의 원격진단시스템.
  19. 제 17항에 있어서,
    상기 진단장치는 상기 제3자가 입력정보에 관해서는 상기 유저의 허가없이참조할 수 없으나, 출력데이터에 관해서는 참조할 수 있도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체제조장치의 원격진단시스템.
  20. 제 16항 내지 제 19항중 어느 한 항에 있어서,
    상기 진단장치에는 복수 레벨의 진단이 있고, 상기 유저가 상기 진단장치의 제공자인 제3자의 허가를 얻어 필요한 대가를 지불하여 보다 높은 레벨의 진단을 행할수 있도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체제조장치의 원격진단시스템.
  21. 제 20항에 있어서,
    최고 레벨의 진단은 상기 제3자의 전문스탭에 의한 해석, 컨설팅을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체제조장치의 원격진단시스템.
  22. 제 21항에 있어서,
    상기 진단장치는 상기 유저가 보다 높은 레벨의 진단을 상기 제3자의 허가를 얻어 실시하는 경우에는 전 레벨에서의 입력, 출력데이터를 자동적으로 상기 제3자에게 개시하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체제조장치의 원격진단시스템.
  23. 제 20항에 있어서,
    상기 각 진단레벨에 있어서, 각 유저의 입력, 출력데이터는 데이터베이스로하여 상기 진단장치내에 기억되어 있고, 상기 제3자는 각 유저의 각각의 인가를 얻어 각사의 데이터베이스에 엑세스할 수 있도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체제조장치의 원격진단시스템.
  24. 제 20항에 있어서,
    상기 진단장치는 상기 유저가 상기 제3자에 대하여 자사의 데이터베이스를 개시한 경우, 그 개시의 정도에 따라 상기 진단장치의 사용요금을 감액하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체제조장치의 원격진단시스템.
  25. 제 16항 내지 제 24항중 어느 한 항에 있어서,
    상기 진단장치는 상기 반도체제조장치의 표준동작 조건을 미리 결정하여 그 동작조건으로 미리 작성된 데이터베이스를 보유하고, 상기 유저에게 납입한 반도체제조장치의 상태를 진단할 때에 상기 표준조건에서 대상이 되는 반도체제조장치를 동작시켜 그 동작데이터를 자동, 또는 유저측의 입력에 의해 진단장치에 도입하여 상기한 데이터베이스와 비교함으로써 반도체제조장치의 상태를 진단하는 것을 특징으로 하는 반도체제조장치의 원격진단시스템.
  26. 제 25항에 있어서,
    상기 표준조건에서의 동작 데이터베이스는, 미리 상기 반도체제조장치 및 상기 진단장치의 제공자인 상기 제3자가 상기 반도체제조장치 출하전에 동작시켜 그 결과를 바탕으로 작성한 데이터베이스 외에, 상기 진단장치의 이용계약을 행한 다음에 상기 유저의 반도체제조장치의 데이터를 도입하거나 또는 반도체제조장치를 유저에게 납입하고 나서, 기동 시에 도입 데이터베이스로서 작성, 보존함으로써 유저의 레시피정보가 상기 진단장치의 제공측으로 흘러나가는 일이 없도록 하는 것을 특징으로 하는 반도체제조장치의 원격진단시스템.
  27. 통신네트워크를 거쳐 특정한 제3자에 의해 제공되는 진단장치에, 반도체제조장치 및 진단을 행하기 위한 단말을 접속하여 해당 반도체제조장치에 대한 진단을 행하는 반도체제조장치의 원격진단방법으로서,
    유상으로 상기 진단장치를 이용할 권리를 부여받아 엑세스권한을 부여받은 특정한 유저의 엑세스에 의해 상기 진단장치의 진단프로그램이 기동되고, 진단에 필요한 데이터가 상기 진단프로그램으로부터 유저측에게 요구되어 그것에 대한 유저측의 회답을 얻어 진단을 행하는 것을 특징으로 하는 반도체제조장치의 원격진단방법.
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