KR20010053617A - 포지티브형 감광성 폴리이미드 전구체 조성물 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (12)
- 하기 화학식 1로 표시되는 구조 단위를 주성분으로 하는 폴리머를 함유하고 또한 하기 조건 (a) 및(또는) (b)를 만족하는 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 전구체 조성물.(a) 쌍극자 모멘트 0.1 디바이 이상 16 디바이 이하의 페놀 화합물과 나프토퀴논디아지드 술폰산의 에스테르를 포함한다.(b) 하기 화학식 8로 표시되는 페놀 화합물과 나프토퀴논디아지드술폰산 및(또는) 화학식 8로 표시되는 페놀 화합물과 나프토퀴논디아지드술폰산의 에스테르를 포함한다.<화학식 1>(식 중, R1은 적어도 2개 이상의 탄소 원자를 갖는 2가 내지 8가의 유기기를 나타내고, R2는 적어도 2개 이상의 탄소 원자를 갖는 2가 내지 6가의 유기기를 나타내고, R3은 수소, 또는 탄소수 1 내지 1O까지의 유기기를 나타낸다. n은 1O 내지 100 000까지의 정수, m은 0 내지 2까지의 정수, p, q는 0 내지 4 까지의 정수를 나타낸다. p와 q는 동시에 0이 될 수 없다.)<화학식 8>(식 중, R23, R24, R26, R27은 수소 원자, 탄소수 1 내지 8에서 선택되는 알킬기, 알콕실기, 카르복실기, 에스테르기 중 어느 하나를 나타낸다. R25는 적어도 하나가 수산기를 포함하고 그 밖은 수소 원자, 탄소수 1 내지 8에서 선택되는 알킬기를 나타낸다. aa, bb, cc, dd는 0 내지 3의 정수를 나타낸다. 단, aa+bb≤5, bb+dd≤5, aa+bb>0이다. ee는 1 내지 3의 정수를 나타낸다.)
- 제1항에 있어서, 조건 (a)를 만족하는 포지티브형 감광성 수지 전구체 조성물.
- 제2항에 있어서, 쌍극자 모멘트 0.1 디바이 이상 1.6 디바이 이하의 페놀 화합물이 하기 화학식 6으로 표시되는 화합물인 포지티브형 감광성 수지 전구체 조성물.<화학식 6>(식 중, X는 산소 원자, 유황 원자를 나타낸다. R17, R18은 수소 원자, 탄소수 1 내지 10까지의 1가의 유기기 중 어느 하나를 나타내고, 각각 동일할 수도 다를 수도 있으며 y, z는 0 내지 4까지 정수를 나타낸다.)
- 제2항에 있어서, 쌍극자 모멘트 0.1 디바이 이상 1.6 디바이 이하의 페놀 화합물이 하기 화학식 7로 표시되는 화합물인 포지티브형 감광성 수지 전구체 조성물.<화학식 7>(식 중, R19내지 R22는 수소 원자 또는 탄소수 1 내지 1O까지의 1가의 유기기를 나타낸다. R19내지 R22는 동일할 수도 다를 수도 있다. α, β, χ, δ는 O 내지 4의 정수를 나타낸다.)
- 제1항에 있어서, 조건 (b)를 만족하는 포지티브형 감광성 수지 전구체 조성물.
- 제5항에 있어서, 화학식 8로 표시되는 페놀 화합물과 나프토퀴논디아지드술폰산을 포함하는 포지티브형 감광성 수지 전구체 조성물.
- 제5항에 있어서, 화학식 8로 표시되는 페놀 화합물과 나프토퀴논디아지드술폰산의 에스테르를 포함하는 포지티브형 감광성 수지 전구체 조성물.
- 제7항에 있어서, 화학식 8로 표시되는 페놀 화합물과 나프토퀴논디아지드술폰산의 에스테르로서 하기 화학식 9로 표시되는 나프토퀴논디아지드술폰산에스테르를 함유하는 포지티브형 감광성 수지 전구체 조성물.<화학식 9>(식 중, R27, R28, R30, R31은 수소 원자, 탄소수 1 내지 8에서 선택되는 알킬기, 알콕실기, 카르복실기, 에스테르기 중 어느 하나를 나타낸다. R29는 적어도 하나가 -OQ, 그 밖은 수산기, 수소 원자, 탄소수 1 내지 8에서 선택되는 알킬기를 나타낸다. a, b는 0 내지 3의 정수를 나타내고, Q는 5-나프토퀴논디아지드술포닐기, 4-나프토퀴논디아지드술포닐기 중 어느 하나를 나타낸다. 단, Q의 전부가 수소 원자가 될 수는 없다.)
- 제1항에 있어서, 화학식 1의 R1(COOR3)m(OH)p가 하기 화학식 2로 표시되는 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 전구체 조성물.<화학식 2>(식 중, R4, R6은 탄소수 2 내지 20에서 선택되는 3가 내지 4가의 유기기를 나타내고, R5는 탄소수 3 내지 20에서 선택되는 수산기를 갖는 3가 내지 6가의 유기기를 나타내고, R7, R8은 수소, 및(또한) 탄소수 1 내지 20까지의 유기기를 나타낸다. o, s는 0 내지 2의 정수, r는 1 내지 4까지의 정수를 나타낸다.)
- 제1항에 있어서, 화학식 1의 R2(OH)q가 하기 화학식 3으로 표시되는 포지티브형 감광성 수지 전구체 조성물.<화학식 3>(식 중, R9, R11은 탄소수 2 내지 20에서 선택되는 3가 내지 4가의 유기기를 나타내고, R10은 탄소수 3 내지 20에서 선택되는 수산기를 갖는 2가의 유기기를 나타낸다. t, u는 1 또는 2의 정수를 나타낸다.)
- 제1항에 있어서, 화학식 1의 R2(OH)q가 하기 화학식 4로 표시되는 포지티브형 감광성 수지 전구체 조성물.<화학식 4>(식 중, R12, R14는 탄소수 2 내지 30에서 선택되는 2가의 유기기를 나타내고, R13은 탄소수 2 내지 20에서 선택되는 수산기를 갖는 3가 내지 6가의 유기기를 나타낸다. v는 1 내지 4의 정수를 나타낸다.)
- 제1항에 있어서, 화학식 1의 R2(OH)q가 하기 화학식 5로 표시되는 감광성 수지 전구체 조성물.<화학식 5>(식 중, R15는 탄소수 2 내지 30에서 선택되는 2가의 유기기를 나타내고, R16은 탄소수 2 내지 20에서 선택되는 수산기를 갖는 3가 내지 6가의 유기기를 나타낸다. w는 1내지 4까지의 정수를 나타낸다.)
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