KR20010018343A - Adjusting method of planar waveguide using by ultra-violet rays trimming - Google Patents
Adjusting method of planar waveguide using by ultra-violet rays trimming Download PDFInfo
- Publication number
- KR20010018343A KR20010018343A KR1019990034259A KR19990034259A KR20010018343A KR 20010018343 A KR20010018343 A KR 20010018343A KR 1019990034259 A KR1019990034259 A KR 1019990034259A KR 19990034259 A KR19990034259 A KR 19990034259A KR 20010018343 A KR20010018343 A KR 20010018343A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- waveguide
- ray
- path difference
- planar waveguide
- optical
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
- G02B6/125—Bends, branchings or intersections
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
- G02B6/293—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means
- G02B6/29346—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means operating by wave or beam interference
- G02B6/2935—Mach-Zehnder configuration, i.e. comprising separate splitting and combining means
Abstract
Description
본 발명은 광통신에 사용되는 평면 도파로 소자의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 제작된 광도파로에 자외선을 조사하여 위상차 또는 경로차를 미세하게 조정하여 원하는 출력특성을 정확하게 얻을 수 있는 자외선을 이용한 평면 도파로형 소자의 미세 조정방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a planar waveguide device used in optical communication, and more particularly, by using ultraviolet light that can accurately obtain the desired output characteristics by finely adjusting the phase difference or the path difference by irradiating ultraviolet rays to the manufactured optical waveguide. A fine adjustment method of a planar waveguide device.
광 수동소자의 종류에는 미세 광학부품을 이용하여 제작하는 미세광학형 소자, 광섬유를 이용하여 제작하는 광섬유형 소자 및 평면 도파로형 소자가 있다. 이중에서도 평면 도파로형 소자는 실리콘 기판 혹은 평면 유리 등의 기판을 이용하여 제작한 소자를 일컫는다. 이와 같은 평면 도파로형 소자는 마치 반도체 VLSI처럼 대량생산을 할 수 있는 장점이 있어, 대규모 광가입자 구축을 할 경우 가장 경제성 있는 것이다.Types of optical passive devices include micro-optical devices fabricated using fine optical components, optical fiber devices fabricated using optical fibers, and planar waveguide devices. Among them, the planar waveguide device refers to a device manufactured by using a substrate such as a silicon substrate or a flat glass. Such planar waveguide devices have the advantage that they can be mass-produced like semiconductor VLSI, which is the most economical when constructing large-scale optical subscribers.
평면 도파로형으로 제조할 수 있는 수동소자에는 방향성 결합기, 마하젠더(mach-zehnder) 간섭기, AWG(Arrayed Waveguide Gratting) 등 다양한 소자가 있다. 이러한 소자중에 도파로와 도파로간의 결합 간섭을 이용한 소자가 많이 있으며, 간섭을 이용한 도파로 소자들은 도파로 경로차나 도파로간에 간섭에 의하여 광학적 출력 특성이 결정된다. 즉, N개의 도파로 상호간에 경로차 또는 위상차를 줌으로써 이것이 보강 또는 소멸 간섭을 일으켜 출력단자로 나오는 광 파워의 분기비 또는 결합비가 파장에 따라 증가 또는 억제하는 것이다.Passive devices that can be manufactured in a planar waveguide type include various devices such as directional couplers, mach-zehnder interferers, and arrayed waveguide gratting (AWG). Among these devices, there are many devices using combined interference between waveguides and waveguides, and the waveguide devices using interference determine optical output characteristics by waveguide path difference or interference between waveguides. That is, by providing a path difference or a phase difference between the N waveguides, this causes constructive or destructive interference so that the branching ratio or coupling ratio of the optical power output to the output terminal is increased or suppressed with the wavelength.
그런데 종래의 평면 도파로형 광 수동소자는 위상차, 경로차를 미리 고정시켜 제작하는데 이럴 경우 제조기술의 불안정과 설계 오차에 의하여 경로차가 틀려질 수 있다. 이러한 특성이 조금이라도 변화하게되면 광 수동소자의 출력단에서는 매우 민감하게 변화되어 원하는 출력 특성을 얻을 수 없는 단점이 있었다.However, the conventional planar waveguide optical passive device is manufactured by fixing the phase difference and the path difference in advance. In this case, the path difference may be different due to instability and design error of the manufacturing technology. If any of these characteristics are changed, the output terminal of the optical passive element may be changed very sensitively to obtain a desired output characteristic.
따라서 본 발명은 이와같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 평면 도파로형 광 수동소자의 제조 기술의 불안정과 설계 오차에 의하여 잘못된 특성을 갖고 있는 부품을 자외선 광원으로 조사하여 경로차를 미세하게 조정하여 주어 원하는 출력 특성을 얻어낼 수 있는 자외선을 이용한 간섭기형 도파로 소자의 미세 조정방법을 제공하는데 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention is to solve such a conventional problem, by finely adjusting the path difference by irradiating a component having a wrong characteristic by the instability and design error of the manufacturing technology of the planar waveguide optical passive device with an ultraviolet light source It is an object of the present invention to provide a fine tuning method of an interferometer waveguide device using ultraviolet light, which can obtain desired output characteristics.
이와같은 목적을 실현하기 위한 본 발명은 평면 도파로형 소자의 제조방법에 있어서, 제작된 광 도파로의 일단에 자외선을 조사하여 조사된 광 도파로의 굴절율에 변화를 주어 위상차 및 경로차를 미세하게 조절함으로써 정확하게 광특성을 제어할 수 있는 자외선을 이용한 평면 도파로형 소자의 미세 조정방법을 제공한다.In the present invention for realizing the above object, in the method of manufacturing a planar waveguide device, by irradiating ultraviolet rays to one end of the manufactured optical waveguide, the refractive index of the irradiated optical waveguide is changed to finely adjust the phase difference and the path difference. Provided is a method for finely adjusting a planar waveguide device using ultraviolet light, which can accurately control optical characteristics.
본 발명의 상기 목적과 여러 가지 장점은 이 기술 분야에 숙련된 사람들에 의해 첨부된 도면을 참조하여 아래에 기술되는 발명의 바람직한 실시예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.The above objects and various advantages of the present invention will become more apparent from the preferred embodiments of the invention described below with reference to the accompanying drawings by those skilled in the art.
도 1은 단순한 평형 방향성 결합기를 도시한 개략도,1 is a schematic diagram illustrating a simple balanced directional coupler;
도 2는 마하-젠더 간섭기를 도시한 개략도,2 is a schematic diagram showing a Mach-gender interferer;
도 3은 본 발명에 따른 자외선에 의한 미세 조정 방법을 방향성 결합기에 적용한 도면,3 is a view of applying a fine adjustment method by ultraviolet light according to the present invention to the directional coupler,
도 4는 본 발명에 따른 자외선에 의한 미세 조정 방법을 마하-젠더 간섭기에 적용한 도면,4 is a view of applying a fine adjustment method by ultraviolet light according to the present invention to the Mach-gender interferometer,
도 5a 내지 5d는 마하-젠더 간섭기에 자외선에 의한 경로차 변화에 따른 파장과의 관계를 측정한 그래프.5A to 5D are graphs of the relationship between the wavelength of the Mach-gender interferometer and the change in path difference caused by ultraviolet rays.
〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉<Explanation of symbols for main parts of drawing>
1, 2, 9, 10 : 도파로 3 : 방향성 결합기1, 2, 9, 10: waveguide 3: directional coupler
4, 9' : 장 도파로 5, 10' : 단 도파로4, 9 ': long waveguide 5, 10': single waveguide
8 : 자외선 광 11 : 마스크8: ultraviolet light 11: mask
자외선에 의해 광섬유 코아의 굴절율이 증가하는 현상은 힐 카오(Hill Kao)에 의해 1978년도에 발견되었으며 그 후, 효과적으로 굴절율을 변화시키는 기술이 개발되었으며, 최근 고파워의 엑시머 레이져(Eximer Laser)를 사용함으로써 짧은 시간(수분)에 제작이 가능할 수 있게 되었다.The increase in refractive index of optical fiber cores by ultraviolet rays was discovered by Hill Kao in 1978. Since then, a technique for effectively changing the refractive index has been developed, and recently, a high power excimer laser is used. This makes it possible to produce in a short time (minutes).
이처럼 자외선 광원으로 굴절율을 제어할 수 있는 원리는 평면 도파로 소자의 코어층에는 게르마늄(Ge)과 밀접한 관계가 있다. 즉, 게르마늄이 도핑된 광도파로 코어에 자외선을 가하면 코어의 굴절율이 높아지게 된다. 이와 같이 높아진 굴절율은 광의 속도를 조절하여 경로차를 변화시킨다.The principle of controlling the refractive index with the ultraviolet light source is closely related to germanium (Ge) in the core layer of the planar waveguide device. In other words, when the ultraviolet rays are applied to the germanium-doped optical waveguide core, the refractive index of the core is increased. This increased refractive index changes the path difference by controlling the speed of light.
본 발명에 따른 자외선을 이용한 평면 도파로형 소자의 미세 조정방법을 단순한 평형 방향성 결합기를 예를 들어 설명한다.The method for fine tuning a planar waveguide device using ultraviolet rays according to the present invention will be described using a simple balanced directional coupler as an example.
도 1은 단순한 평형 방향성 결합기를 도시한 개략도면이다. 도시된 바와 같이, 단순하게 평행하게 되어 있는 두 방향성 결합기(directional coupler)만을 고려하면, 결합 모드 방정식(coupled mode equation)을 이용하여 해석할 수 있다. 근접한 양 도파로(1,2)에서 z방향으로 진행하는 파가 서로 영향을 미치는 인자를 A, B라 하고, 도파로(1,2)에서의 정규화된 입력신호의 진폭 A(z), B(z)는 수학식 1, 2로 나타낼 수 있다.1 is a schematic diagram illustrating a simple balanced directional coupler. As shown, considering only two directional couplers that are simply parallel, it can be interpreted using a coupled mode equation. The factors in which the waves traveling in the z-direction in each of the adjacent waveguides 1 and 2 influence each other are A and B, and the amplitudes A (z) and B (z of the normalized input signal in the waveguides 1 and 2 ) May be represented by Equations 1 and 2.
여기서 각 도파로(1,2)간에 전파상수의 차 Δβ는 β2-β1의 값이고, k12(z), k21(z)는 각 도파로에 대한 결합계수를 나타낸다. 또한 정규화된 입력신호의 진폭은 수학식 3, 4처럼 z에 관한 함수로 표현할 수 있다. 여기서 R(z), S(z)는 진폭을 나타내는데, 결합이 일어나지 않는 경우에는 상수이다.Here, the difference Δβ of the propagation constant between the waveguides 1 and 2 is a value of β 2 -β 1 , and k 12 (z) and k 21 (z) represent a coupling coefficient for each waveguide. In addition, the amplitude of the normalized input signal can be expressed as a function of z as in Equations 3 and 4. Where R (z) and S (z) represent amplitudes and are constant when no coupling occurs.
수학식 3, 4를 수학식 1, 2에 넣어 정리하면 수학식 5, 6으로 나타낼 수 있다.When Equations 3 and 4 are put together in Equations 1 and 2, Equations 5 and 6 may be represented.
여기서 방향성 결합기에서이고 도파로(1)과 도파로(2)가 동일한 구조일 경우 δ= 0 이다.Where in the directional coupler And δ = 0 when the waveguide 1 and the waveguide 2 have the same structure.
수학식 5, 6의 해는 수학식 7과 같이 전달행렬 형태로 표현할 수 있다.The solution of Equations 5 and 6 may be expressed in the form of a transfer matrix as shown in Equation 7.
여기서 R(0), S(0)는 입사광의 초기 진폭값이다.R (0) and S (0) are initial amplitude values of incident light.
한편, 각 도파로가 계단형 굴절율(step-index)을 이루는 단일 모드 평판 도파로이고 δ=0일 경우 결합계수 k(z)는 수학식 8과 같이 구할 수 있다.On the other hand, when each waveguide is a single-mode flat waveguide having a step-index, and δ = 0, the coupling coefficient k (z) can be obtained as shown in Equation 8.
여기서 d는 도파로 폭, p는이고, q는이며, g(z)는 두 도파로 간격과 z축의 관한 함수이다.Where d is waveguide width and p is And q is G (z) is a function of the spacing between two waveguides and the z-axis.
수학식 8의 의미는 코아의 굴절율에 따라 결합계수인 k와 전파상수인 β값을 변화시킬 수 있다는 것을 나타낸 식이다. 따라서, 자외선을 인가하여 코아부분의 굴절율의 변화를 적절하게 조정할 수 있으며, 그 결과 출력단에서 원하는 값을 구할 수 있다.Equation 8 means the refractive index of core This equation shows that the coupling coefficient k and the propagation constant β can be changed. Therefore, the change of the refractive index of the core portion can be appropriately adjusted by applying ultraviolet rays, and as a result, a desired value can be obtained at the output stage.
한편, 또 하나의 평면 도파로형 소자인 마하-젠더 소자를 예를 들어 자외선을 이용한 미세 조정방법을 설명한다.Meanwhile, a fine adjustment method using, for example, ultraviolet rays will be described using a Mach-gender element, which is another planar waveguide element.
도 2는 마하-젠더 소자를 도시한 개략 도면이다. 도시된 바와 같이, 광도파로의 간섭을 이용한 간섭기 소자의 대표적이라고 할 수 있는 마하-젠더 간섭기형 커플러는 영역 1과 영역 3에 있는 2개의 방향성 결합기(3)와, 영역 2에는 경로차를 갖는 장 도파로(4)와 단 도파로(5)로 구성되어 있다. 마하-젠더형 커플러의 결합율에 영향을 미치는 변수로 가장 큰 것은 두 도파로(4, 5)간에 길이차인 경로차에 의한 것이다. 간섭 효과에 의한 출력에서의 광 분기비 조정은 장 도파로(4)와 단 도파로(5)간의 경로차를 주는 부분(6)에 의해서 결정되어 진다.2 is a schematic diagram illustrating a Mach-gender element. As shown, the Mach-gender interferometer coupler, which is representative of the interferer element using the interference of the optical waveguide, has two directional couplers 3 in regions 1 and 3, and a field having a path difference in region 2. It consists of the waveguide 4 and the single waveguide 5. The largest variable affecting the coupling ratio of Mach-gender couplers is due to the path difference, which is the length difference between the two waveguides (4, 5). The adjustment of the optical splitting ratio at the output by the interference effect is determined by the portion 6 giving the path difference between the long waveguide 4 and the single waveguide 5.
이와 같은 마하-젠더 간섭기는 전 후단의 2개의 방향성 결합기(영역1과 영역3)와 1개의 경로차 부분(영역 3), 모두 3부분의 전체 전달행렬로 나타낼 수 있다.는이다.This Mach-Gender Interferer has three directional couplers (area 1 and 3) and one path difference section (area 3) at the front and back, and all three transmission matrices. It can be represented by. Is to be.
따라서, 3개의 전달 행렬을 풀면는 수학식 12와 같은 행렬식으로 표현될 수 있다.Therefore, if we solve three transfer matrices May be represented by a determinant such as Equation 12.
여기서,here ,
입력단에 S(0)=0, R(0)=1의 값을 주어, 출력단에서 파워,을 계산하면 수학식 13, 수학식 14와 같다.Give S (0) = 0 and R (0) = 1 to the input to power the output. , Is calculated as Equation 13 and Equation 14.
여기서 양쪽이 50:50으로 분기되는 3dB 커플러의 경우 A=B=C=D=1/2이므로는 수학식 15로 표현할 수 있다.Here, for a 3dB coupler where both branches at 50:50, A = B = C = D = 1/2 Can be expressed by Equation 15.
이때, 출력단 파워는At this time, the output stage power is
,이다. , to be.
따라서, 도파로에 자외선을 인가하면 코아 부분의 굴절율이 변화하므로 결합계수 β와 경로차 ΔL을 변화시킬 수 있게 되므로 자외선을 적절하게 조정하면 출력단에서 원하는을 구할 수 있다.Therefore, when the ultraviolet ray is applied to the waveguide, the refractive index of the core portion changes, so that the coupling coefficient β and the path difference ΔL can be changed. Can be obtained.
도 3 내지 도 4는 이와 같은 본 발명에 따른 자외선에 의한 미세 조정 방법을 도시한 개략도로서, 도 3은 방향성 결합기에 적용한 도면이며, 도 4는 마하-젠더 간섭기에 적용한 도면이다.3 to 4 is a schematic view showing such a fine adjustment method by the ultraviolet light according to the present invention, Figure 3 is a diagram applied to the directional coupler, Figure 4 is a diagram applied to the Mach-gender interferer.
도시된 바와 같이, 평면 도파로(9, 10)에서 자외선광(8)으로 조사될 부분(9)은 그대로 두고 조사되지 않을 부분(10)은 마스크(11)로 차단한다. 이때 자외선을 조사하면 조사된 부분의 도파로(9)는 광센스티브 효과에 의해 굴절율이 높아지게 되며 도파로(9)를 통과하는 광의 속도를 느리게 만들어 광 경로차의 길이가 길어진다. 이로 인하여 도파로(9,10) 상호간에 보강 또는 소멸 간섭을 일으켜 출력단자로 나오게 되며, 출력측의 각단의 파워의 분기비 또는 결합비가 파장에 따라 증가 또는 억제된다.As shown, the portion 10 to be irradiated with the ultraviolet light 8 in the planar waveguides 9 and 10 is left as it is, and the portion 10 not to be irradiated is blocked by the mask 11. At this time, when the ultraviolet light is irradiated, the waveguide 9 of the irradiated portion has a high refractive index due to the photosensitive effect, and slows down the speed of light passing through the waveguide 9, thereby increasing the length of the optical path difference. This causes the constructive or extinction interference between the waveguides 9 and 10 to come to the output terminal, and the branching ratio or coupling ratio of the power of each end of the output side is increased or suppressed according to the wavelength.
한편, 도 5a 내지 5d는 마하-젠더 간섭기에 자외선에 의한 경로차 변화에 따른 파장과의 관계를 측정한 그래프로서, 본 발명에 따른 광 수동소자의 출력값 미세 조정 결과를 나타내고 있다.5A to 5D are graphs of the relationship between the wavelength of the Mach-gender interferometer and the wavelength difference of the path difference due to ultraviolet rays.
도 4에 도시된 바와같이, 마하-젠더 간섭기의 양 도파로(9', 10')에서 자외선을 조사할 부분(9')과 조사되지 않을 부분(10)을 구분하고 자외선을 인가하여 장 도파로(9')의 굴절율을 변형시키고, 이를 근거로하여 단 도파로(10')간의 간섭 조건의 변화에 의해 출력단에서 분기비가 50%가 되는 최적 조건의 소자를 제작할 수 있다.As shown in FIG. 4, in both waveguides 9 'and 10' of the Mach-Gender Interferer, a portion 9 'to be irradiated with ultraviolet rays and a portion 10 which are not to be irradiated are distinguished, and an ultraviolet ray is applied to the waveguides. The refractive index of 9 ') is deformed, and on the basis of this, it is possible to fabricate an element having an optimum condition such that the branching ratio is 50% at the output terminal by the change of the interference condition between the single waveguides 10'.
앞에서 설명한 바와 같이, 마하-젠더 간섭기의 간섭 효과에 의한 출력에서의 분기비 조정은 장 도파로와 단 도파로간의 경로차에 의해서 결정되어지므로 자외선을 장 도파로에 인가하면 굴절율은 변화하고 이것은 경로차를 변화하게 한다.As explained earlier, the branching ratio adjustment at the output due to the interference effect of the Mach-Gender interferometer is determined by the path difference between the long waveguide and the single waveguide, so that the application of ultraviolet light to the long waveguide changes the refractive index and this changes the path difference. Let's do it.
도 5a는 마하-젠더 간섭기의 장 도파로에 자외선을 10분간 조사하여 경로차가 0.642㎛ 변화시킨 것이며, 도 5b는 마하-젠더 간섭기의 장 도파로에 자외선을 20분간 조사하여 경로차가 0.668㎛ 변화시킨 것이며, 도 5c는 마하-젠더 간섭기의 장 도파로에 자외선을 30분간 조사하여 경로차가 0.694㎛ 변화시킨 것이며, 도 5d는 마하-젠더 간섭기의 장 도파로에 자외선을 40분간 조사하여 경로차가 0.704㎛ 변화시킨 것이다.FIG. 5A shows a path difference of 0.642 μm after irradiating the long waveguide of the Mach-Gender Interferer for 10 minutes, and FIG. 5B shows a path difference of 0.668 μm by irradiating the UV wave of the long waveguide of the Mach-Gender Interferer for 20 minutes. FIG. 5C shows the path difference of 0.694 μm by irradiating the long waveguide of the Mach-Gender Interferer for 30 minutes, and FIG. 5D shows the path difference of 0.704 μm by irradiating the UV wave of the long waveguide of the Mach-Gender Interferer for 40 minutes.
도 5b의 그래프를 통해서 알 수 있듯이, 자외선을 20분 입사하면 경로차는 0.668㎛ 변화하였을 때 전 파장에 걸쳐 분기비가 50% 지점과 근접하는 가장 좋은 특성을 나타낸다. 이때 자외선의 조사량을 멈추면 최적의 특성 조건을 얻을 수 있다.As can be seen from the graph of FIG. 5B, when the ultraviolet ray is incident for 20 minutes, the path difference shows the best characteristic that the branch ratio is close to 50% over the entire wavelength when the change of 0.668 μm is changed. At this time, when the irradiation dose of ultraviolet rays is stopped, optimum characteristic conditions can be obtained.
따라서, 본 발명에 따른 자외선을 이용한 평면 도파로형 소자의 미세 조정방법을 이용하면 종래의 평면 도파로형 광 수동소자의 제조방법에서 제조 기술의 불안정과 설계 오차에 의하여 잘못된 특성을 갖고 있는 부품을 자외선 광원으로 경로차를 미세하게 조정하여 주어 원하는 출력 특성을 얻어 냄으로써 정확하게 광특성을 제어할 수 있으며, 수율을 높일 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 자외선을 이용한 미세 조정방법은 광센스티브 효과가 일어나는 모든 간섭기형 소자에 적용할 수 있다. 또한, 정밀한 정렬이 필요없어 제작이 용이하다.Therefore, when using the fine adjustment method of the planar waveguide device using ultraviolet light according to the present invention, in the manufacturing method of the conventional planar waveguide optical passive device, a component having a wrong characteristic due to the instability and design error of the manufacturing technology in the ultraviolet light source By finely adjusting the path difference to obtain desired output characteristics, the optical characteristics can be precisely controlled and the yield can be increased. In addition, the fine adjustment method using ultraviolet light according to the present invention can be applied to all the interfering device that the photosensitive effect occurs. In addition, it is easy to manufacture because there is no need for precise alignment.
이상, 상기 내용은 본 발명의 바람직한 일실시예를 단지 예시한 것으로 본 발명의 당업자는 본 발명의 요지를 변경시킴이 없이 본 발명에 대한 수정 및 변경을 가할 수 있음을 인지해야 한다.In the above description, it should be understood that those skilled in the art can only make modifications and changes to the present invention without changing the gist of the present invention as it merely illustrates a preferred embodiment of the present invention.
상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 평면 도파로형 광 수동소자의 제조기술의 불안정과 설계오차에 의하여 잘못된 특성을 갖고 있는 부품을 자외선 광원으로 경로차 또는 위상차를 미세하게 조정하여 원하는 출력특성을 얻어 냄으로써 정확하게 광특성을 제어할 수 있으며, 수율을 높일 수 있는 효과를 얻을 수 있다.As described above, according to the present invention, the path difference or phase difference is finely adjusted by using an ultraviolet light source to obtain a desired output characteristic of a component having an incorrect characteristic due to instability and design error of the planar waveguide optical passive device. It is possible to control the optical properties accurately, and to obtain an effect of increasing the yield.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019990034259A KR100342756B1 (en) | 1999-08-19 | 1999-08-19 | Adjusting method of planar waveguide using by ultra-violet rays trimming |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019990034259A KR100342756B1 (en) | 1999-08-19 | 1999-08-19 | Adjusting method of planar waveguide using by ultra-violet rays trimming |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20010018343A true KR20010018343A (en) | 2001-03-05 |
| KR100342756B1 KR100342756B1 (en) | 2002-07-04 |
Family
ID=19607774
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019990034259A KR100342756B1 (en) | 1999-08-19 | 1999-08-19 | Adjusting method of planar waveguide using by ultra-violet rays trimming |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100342756B1 (en) |
-
1999
- 1999-08-19 KR KR1019990034259A patent/KR100342756B1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100342756B1 (en) | 2002-07-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7397977B2 (en) | Wave transmission medium and waveguide circuit | |
| US8488922B2 (en) | Multi-channel dispersion compensator | |
| JP3563376B2 (en) | Manufacturing method of optical multiplexer / demultiplexer | |
| US10598857B2 (en) | Techniques for reducing polarization, wavelength and temperature dependent loss, and wavelength passband width in fiberoptic components | |
| JP3726062B2 (en) | Optical multiplexer / demultiplexer | |
| US6915029B2 (en) | High density integrated optical chip with low index difference and high index difference waveguide functions | |
| JPH04172308A (en) | Y-branched light circuit | |
| US6816648B2 (en) | Integrated waveguide gratings by ion implantation | |
| WO2009086544A1 (en) | Performance compensated tx/rx optical devices | |
| US7046881B2 (en) | Manufacturing method for optical coupler/splitter and method for adjusting optical characteristics of planar lightwave circuit device | |
| JP3539369B2 (en) | Array waveguide type optical wavelength multiplexer / demultiplexer and method of manufacturing the same | |
| KR100342756B1 (en) | Adjusting method of planar waveguide using by ultra-violet rays trimming | |
| JP4383815B2 (en) | Method for manufacturing holographic wave transmission medium | |
| JP2005534060A (en) | Method for writing a planar waveguide having a plurality of diffraction gratings of a plurality of different central wavelengths | |
| JP5327895B2 (en) | Optical waveguide and arrayed waveguide diffraction grating | |
| US7043132B2 (en) | Variable optical attenuator having a waveguide and an optically coupled layer with a power monitor | |
| KR101788400B1 (en) | Planar lightwave circuit based integrated optical chip | |
| US7181107B2 (en) | Integrated optics coupling element comprising a grating created in a cladding and its fabrication method | |
| JP4213020B2 (en) | Optical circuit | |
| JPH04298702A (en) | Optical circuit and its characteristic adjusting method | |
| US20030198438A1 (en) | Tunable add/drop multiplexer | |
| KR0162754B1 (en) | Post photo-bleaching method for the fine tuning of the effective refractive index of polymer waveguide device | |
| JP4113162B2 (en) | Optical waveguide and method for manufacturing the same | |
| JP3114698B2 (en) | Array waveguide grating | |
| JP3937218B2 (en) | Programmable optical circuit |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20100608 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |