KR20010004314A - Method for forming barrier rib and fluorescent layer of plasma display panel - Google Patents

Abstract

PURPOSE: A method for forming barrier rib and fluorescent material of PDP(Plasma Display Panel) is provided to control the damage of barrier rib when forming barrier rib, and to prevent the wrong discharge by spreading fluorescent material between cells uniformly. CONSTITUTION: A method for forming barrier rib and fluorescent material of PDP(Plasma Display Panel) comprises the steps; spreading a white back layer(22) on a rear surface substrate(20) in which electrode(21) is formed; adhering a DFR(Dry Film Resist) including fluorescent material powder to the white back layer(22), exposing the DFR using a photo mask and forming the DFR patterns(F1,F2,F3); deciding the region forming barrier rib between the DFR patterns(F1,F2,F3); filling a barrier rib material(24) between the DFR patterns(F1,F2,F3); and heat processing the DFR patterns and the barrier rib material(24) and forming the barrier rib and the fluorescent material consisting of the DFR patterns(F1,F2,F3).

Description

플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 및 형광체 형성 방법{METHOD FOR FORMING BARRIER RIB AND FLUORESCENT LAYER OF PLASMA DISPLAY PANEL}METHODS FOR FORMING BARRIER RIB AND FLUORESCENT LAYER OF PLASMA DISPLAY PANEL}

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널 제조 방법에 관한 것으로, 특히 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 및 형광체 형성 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a plasma display panel, and more particularly to a method for forming partition walls and phosphors of a plasma display panel.

플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel, 이하 PDP라 함)은 기체 방전시에 발생하는 플라즈마로부터 나오는 빛을 이용하여 문자 또는 그래픽을 표시하는 소자이다. PDP는 현재 활발히 연구되고 있는 LCD(liquid crystal display), FED(field emission display), ELD(electroluminescence display)와 같은 여러 평판형 디스플레이 중에서도 대형화에 가장 적합한 장점을 가지고 있다.Plasma display panels (hereinafter referred to as PDPs) are devices that display characters or graphics using light emitted from plasma generated during gas discharge. PDP has the advantage of being most suitable for large-scale display among various flat panel displays such as liquid crystal display (LCD), field emission display (FED), and electroluminescence display (ELD) which are being actively studied.

즉, 플라즈마 디스플레이 패널은 40 " 이상의 대형화화가 가능하고, 방전에서 형성되는 자외선이 형광막을 자극하여 가시광을 발광시키는 포토루미네슨스(photoluminescence) 메카니즘을 이용하기 때문에 CRT 수준의 칼라화가 가능하며, 자기 발광형 표시소자(self-emissive display)로서 160。 이상의 넓은 시야각을 갖는 등 다른 평판 소자에서 찾아볼 수 없는 고유한 장점을 많이 가지고 있어 차세대 고선명 벽걸이 TV, TV와 PC의 기능이 복합화된 멀티미디어(multimedia)용 대형 표시장치로서 유력시되고 있다.That is, the plasma display panel can be enlarged to 40 "or larger, and CRT level colorization is possible because the ultraviolet light generated by the discharge uses a photoluminescence mechanism that emits visible light by stimulating the fluorescent film. As a self-emissive display, it has many unique advantages not found in other flat panel devices such as a wide viewing angle of 160 ° or more. It is a multimedia that combines the functions of next-generation high-definition wall-mounted TV, TV, and PC. It is considered to be a large display device for use.

PDP는 두께가 3mm 정도되는 2장의 유리기판을 사용하여 각각의 기판 위에 적당한 전극과 형광체를 도포하고, 두 기판의 간격을 약 0.1mm 내지 0.2mm로 유지하면서 그 사이의 공간에 플라즈마를 형성하는 방법을 채택하고 있기 때문에 평판으로서 대형화가 가능하다. 또한, PDP에서 가스 방전은 전극간에 전압이 인가되더라도 방전 개시 전압 이하의 인가전압에 대해서는 방전이 일어나지 않는 강한 비선형성을 갖고, 대형 디스플레이의 구동에 필수적인 기능인 기억기능(memory function)이 있어 초대형의 패널에 대해서도 휘도의 저하없이 고화질의 화상을 표현할 수 있다.PDP uses two glass substrates with a thickness of about 3 mm to apply an appropriate electrode and phosphor on each substrate, and forms plasma in the space therebetween while maintaining the distance between the two substrates at about 0.1 mm to 0.2 mm. Since it is adopted, it can be enlarged as a flat plate. In addition, in the PDP, the gas discharge has a strong non-linearity in which discharge does not occur even when a voltage is applied between electrodes, and a super large panel having a memory function that is essential for driving a large display. Even in this case, a high quality image can be expressed without deteriorating the luminance.

플라즈마 디스플레이 패널은 플라즈마를 발생하기 위한 전극이 플라즈마에 직접 노출되어 전도전류(conduction current)가 전극을 통해 직접 흐르는 직류형(DC형)과 전극이 유전체로 덮여 있어 직접 노출되지 않아 변위전류(Displacement Current)가 흐르는 교류형(AC형)으로 구분된다.Plasma display panels have a direct current (DC type) in which the electrode for generating plasma is directly exposed to the plasma so that conduction current flows directly through the electrode, and the electrode is covered with a dielectric and is not directly exposed. ) Is divided into the alternating current type (AC type).

AC형 PDP의 전면판에는 평행한 한쌍의 투명전극, 전도율을 높이기 위해 투명전극 상에 형성되는 버스전극(bus electrode), 유전층 등이 형성된다. 배면판에는 버스전극과 수직한 어드레스 전극, 유전층, 유전층 상에 형성된 격벽, 격벽 사이에 형성된 형광층이 형성된다. 이러한 구조의 전면판과 배면판을 봉착, 배기하여 PDP를 이룬다.A pair of parallel transparent electrodes, a bus electrode formed on the transparent electrode, a dielectric layer, and the like are formed on the front plate of the AC PDP. The back plate is formed with an address electrode perpendicular to the bus electrode, a dielectric layer, a partition formed on the dielectric layer, and a fluorescent layer formed between the partition walls. The front and back plates of such a structure are sealed and exhausted to form a PDP.

PDP의 제조에는 스크린 인쇄, 포토리소그래피와 같은 공통되는 공정 기술 및 격벽 형성을 위한 특수 공정들이 있다. 그 중 스크린 인쇄법(screen print) 및 샌드블라스트(sandblast) 방법은 다음과 같은 특징을 갖는다.In the manufacture of PDPs there are common process technologies such as screen printing, photolithography and special processes for the formation of barrier ribs. Among them, the screen print method and the sandblast method have the following characteristics.

스크린 인쇄법에 의한 후막형성 기술은 생산설비가 간단하고, 재료 이용 효율이 높아서 PDP 제조에 가장 많이 이용되고 있는 공정 중의 하나이다. 스크린 인쇄의 원리는 패터닝된 스크린을 일정간격 유지하여 기판 위에 놓고 격벽 형성에 필요한 페이스트(paste)를 압착, 전사시켜 원하는 형상을 기판에 인쇄하는 방식이다. 통상 1회 인쇄에서 소성 전에 20 ㎛ 정도의 높이를 얻을 수 있다. 따라서 , 50 ㎛ 내지 100 ㎛의 격벽을 얻기 위해서는 5회 내지 10회의 중첩 인쇄를 하여 다수의 건조 공정을 실시하여야 하기 때문에 생산성이 낮고, 유리기판(glass)의 변형에 따른 낮은 재현성 그리고 고정세화에 어려운 단점이 있다.Thick film forming technology by screen printing is one of the most used processes for PDP production because of its simple production facilities and high material utilization efficiency. The principle of screen printing is a method of printing a desired shape on a substrate by holding a patterned screen at a predetermined interval, placing it on a substrate, and pressing and transferring a paste necessary for forming a partition wall. Normally, a height of about 20 μm can be obtained before firing in one printing. Therefore, in order to obtain a bulkhead having a thickness of 50 μm to 100 μm, a plurality of drying processes must be performed by overlapping printing 5 to 10 times, resulting in low productivity, low reproducibility due to deformation of glass, and difficulty in high definition. There are disadvantages.

샌드블라스트법은 기판 위에 격벽물질을 넓게 도포한 후 부분적으로 이를 제거함으로써 격벽을 형성하는 방법으로 최근 대형 패널 제조 공정에서 고정세용 격벽 형성을 위해 많이 이용되고 있는 방법이다. 전극이 형성되어 있는 기판 전면에 스크린 인쇄법을 이용하여 격벽재료를 인쇄하고 격벽재료 상에 감광성 필름을 입힌후, 노광과 현상작업을 거쳐 격벽재료를 보호할 감광성 필름이 남도록 한다. 그리고 연마제를 분사하여 감광성 필름에 보호되지 않은 부분을 물리적으로 제거하여 격벽을 형성하게 되는데 이때, 사용되는 연마제는 Al₂O₃, SiC, 유리 미립자 등이 사용되고 압축된 공기나 질소 가스에 의해 분사된다. 샌드블라스트법으로 70 ㎛ 이하의 격벽을 대면적의 기판에 형성하는 것이 가능하지만 기판 유리에 물리적 충격을 가해 소성시 기판의 균열을 일으킬 수 있고, 공정이 복잡하며 설비 투자에 소요되는 경비가 많으며 많은 재료의 소모로 인한 생산 단가의 상승, 분진으로 인한 공해 발생의 소지를 갖고 있다.Sandblasting is a method of forming a partition by applying a partition material widely on a substrate and then partially removing the partition material. The sandblasting method is widely used for forming a high-definition partition in a large panel manufacturing process. After the partition material is printed on the entire surface of the substrate on which the electrode is formed by using a screen printing method, a photosensitive film is coated on the partition material, and the photosensitive film for protecting the partition material remains after exposure and development. In addition, the abrasive is sprayed to physically remove the unprotected portion of the photosensitive film to form a partition. In this case, the abrasive used is Al ₂ O ₃ , SiC, glass fine particles, and the like, and is sprayed by compressed air or nitrogen gas. . It is possible to form a bulkhead of 70 μm or less on a large-area substrate by the sandblasting method, but it may cause physical cracking on the substrate glass and cause cracking of the substrate during firing, and the process is complicated, and the cost of equipment investment is high and many There is a possibility of production cost increase due to material consumption and pollution generation due to dust.

고정세화를 위한 종래 격벽을 형성하는 기술로는 리프트-오프(lift off)법을 예로 들 수 있다. 도1a 내지 도1c를 참조하여 리프트 오프법을 상세히 설명한다.As a technique of forming a conventional bulkhead for high resolution, a lift-off method may be used. The lift-off method will be described in detail with reference to Figs. 1A to 1C.

도1a는 기판(10) 상에 레지스트 패턴(11)이 형성된 상태를 보인다. 이때, 레지스트 패턴(11)은 이후 소정의 패턴을 형성하고자 하는 이외의 영역에 형성한다. 도1b는 레지스트 패턴(11) 및 기판(10)을 덮는 성막재료(12)가 형성된 것을 나타내며, 도1c는 레지스트 패턴(11)을 제거하면서 레지스트 패턴 상에 존재하는 성막재료(12)를 함께 제거하여 소정의 패턴(12A)을 형성한 것을 보이고 있다.1A shows a state in which a resist pattern 11 is formed on a substrate 10. At this time, the resist pattern 11 is then formed in a region other than a desired pattern. FIG. 1B shows that the film forming material 12 covering the resist pattern 11 and the substrate 10 is formed, and FIG. 1C shows removing the film forming material 12 present on the resist pattern while removing the resist pattern 11. To form a predetermined pattern 12A.

리프트-오프 공정을 이용한 PDP의 격벽 형성 공정에서는 상기 레지스트 패턴으로써 DFR(dry film resist)을 이용하는데, DFR 패턴 상에 격벽재를 형성한 후 DFR 패턴을 제거하는 과정에서 DFR이 팽윤되어 박리되므로 격벽에 손상을 주는 단점이 있다.In the PDP partitioning process using a lift-off process, a dry film resist (DFR) is used as the resist pattern. After forming the partition material on the DFR pattern, the DFR is swelled and removed in the process of removing the DFR pattern. There is a disadvantage to damage.

한편, 형광체는 일반적으로 인쇄기술을 이용하여 도포하는데, 스크린 마스크의 불균일성 등으로 셀(Cell) 사이에 형광체를 균일하게 도포하기가 어려워 고품질의 패널 제작이 어렵고 일부 형광체는 격벽 위로 넘쳐 흘려 오방전 현상을 발생시키므로 생산성이 떨어지는 문제점이 있다.On the other hand, phosphors are generally applied by printing technology, which is difficult to uniformly apply phosphors between cells due to nonuniformity of screen masks, making it difficult to produce high quality panels, and some phosphors spill over the partition wall, causing mis-discharge phenomenon. There is a problem in that the productivity is lowered.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 본 발명은 격벽 형성 과정에서 격벽이 손상되는 것을 억제하고 셀간에 형광체를 균일하게 도포하여 오방전을 방지할 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 및 형광체 형성 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention devised to solve the above problems provides a barrier and phosphor formation method of the plasma display panel that can prevent the damage to the barrier rib during the formation of the barrier rib and uniformly apply the phosphor between the cells to prevent mis-discharge. Its purpose is to.

도1a 내지 도1c는 리프트 오프법을 설명하기 위한 공정 단면도,1A to 1C are cross-sectional views for illustrating a lift-off method;

도2a 내지 도2f는 본 발명의 일실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 및 형광체 형성 공정 단면도.2A to 2F are cross-sectional views of a barrier rib and a phosphor forming process of a plasma display panel according to an exemplary embodiment of the present invention.

*도면의 주요부분에 대한 도면 부호의 설명** Description of reference numerals for the main parts of the drawings *

21: 전극21: electrode

F: 형광체 분말이 함유된 드라이 필름 레지스트F: dry film resist containing phosphor powder

F1, F2, F3: DFR 패턴F1, F2, F3: DFR Pattern

24: 격벽재24: bulkhead

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 전극 형성이 완료된 기판 상에 유전층을 형성하는 제1 단계; 상기 유전층 상에 형광체 물질이 함유된 드라이 필름 레지스트 패턴을 형성하여, 상기 드라이 필름 레지스트 패턴 사이에 격벽 형성 영역을 정의하는 제2 단계; 상기 드라이 필름 레지스트 패턴 사이에 격벽 물질을 채우는 제3 단계; 및 상기 드라이 필름 레지스트 패턴 및 상기 격벽 물질을 열처리하여, 상기 드라이 필름 레지스트 패턴으로 이루어지는 형광체 및 격벽을 형성하는 제4 단계를 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널 제조 방법을 제공한다.The present invention for achieving the above object is a first step of forming a dielectric layer on the substrate is completed electrode formation; Forming a dry film resist pattern containing a phosphor material on the dielectric layer to define a barrier rib region between the dry film resist patterns; Filling a barrier rib material between the dry film resist patterns; And heat treating the dry film resist pattern and the barrier material to form a phosphor and the barrier rib formed of the dry film resist pattern.

상기 제2 단계는, 빨강, 파랑, 녹색 중 서로 다른 한 가지 색의 형광체를 각각 포함하는 제1 드라이 필름 레지스트, 제2 드라이 필름 레지스트 및 제3 드라이 필름 레지스트를 마련하는 제5 단계; 상기 유전층 상에 상기 제1 드라이 필름 레지스트를 덮고 노광 및 현상하여 이웃하는 세 개의 상기 전극 중 제1 전극 상에 제1 드라이 필름 레지스트 패턴을 형성하는 제6 단계; 상기 제6 단계가 완료된 전체 구조 상에 상기 제2 드라이 필름 레지스트를 덮고 노광 및 현상하여 이웃하는 세 개의 상기 전극 중 제2 전극 상에 제2 드라이 필름 레지스트 패턴을 형성하는 제7 단계; 및 상기 제7 단계가 완료된 전체 구조 상에 상기 제3 드라이 필름 레지스트를 덮고 노광 및 현상하여 이웃하는 세 개의 상기 전극 중 제3 전극 상에 제3 드라이 필름 레지스트 패턴을 형성하는 제8 단계를 포함한다.The second step may include a fifth step of preparing a first dry film resist, a second dry film resist, and a third dry film resist each including phosphors having one of different colors; A sixth step of covering the first dry film resist on the dielectric layer, exposing and developing the first dry film resist pattern on a first electrode among three neighboring electrodes; A seventh step of forming a second dry film resist pattern on a second electrode among three neighboring electrodes by covering the second dry film resist on the entire structure where the sixth step is completed, and exposing and developing the second dry film resist; And an eighth step of covering the third dry film resist on the entire structure where the seventh step is completed, exposing and developing the third dry film resist pattern on a third electrode among three neighboring electrodes. .

본 발명은 종래의 리프트-오프법을 개선하여 격벽 및 형광체 패턴을 동시에 형성하는 플라즈마 디스플레이 패널 제조 방법에 관한 것으로, 형광체 입자가 함유된 DFR을 이용하여 노광 및 현상을 통하여 형광체 패턴을 형성하고, 인쇄기 또는 코터(coater) 등으로 형광체 패턴 사이에 격벽재를 넣고 건조 및 소성을 통하여 격벽 및 형광체 패턴을 형성하는데 그 특징이 있다.The present invention relates to a method of manufacturing a plasma display panel which improves the conventional lift-off method to simultaneously form a partition and a phosphor pattern. The present invention relates to a method for manufacturing a phosphor pattern through exposure and development using a DFR containing phosphor particles, and a printing press. Alternatively, the barrier material is inserted between the phosphor patterns using a coater, etc., and the barrier rib and phosphor patterns are formed by drying and firing.

이하, 도2a 내지 도2f를 참조하여 본 발명의 일실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 및 형광체 형성 공정 방법을 상세히 설명한다.Hereinafter, a method of forming a partition and a phosphor of a plasma display panel according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 2A to 2F.

먼저, 도2a에 도시한 바와 같이 전극(21) 형성이 완료된 배면 기판(20) 상에 반사막 역할을 하는 유전층인 화이트 백(white back)층(22)을 전면도포한다.First, as shown in FIG. 2A, a white back layer 22, which is a dielectric layer serving as a reflective film, is coated on the back substrate 20 on which the electrode 21 is formed.

다음으로, 도2b에 도시한 바와 같이 화이트백층(22) 상에 형광체 분말이 함유된 드라이 필름 레지스트(DFR)(F)를 라미네이터(laminator)를 이용하여 부착시키고, 포토마스크(M)를 이용하여 상기 함유된 DFR(F)을 노광한다. 이어서, 약알카리 수용액을 이용한 현상 공정을 실시하여 DFR 패턴을 형성한다.Next, as shown in FIG. 2B, a dry film resist (DFR) F containing phosphor powder is attached onto the white back layer 22 using a laminator, and then a photomask M is used. The contained DFR (F) is exposed. Subsequently, a developing process using a weak alkaline aqueous solution is performed to form a DFR pattern.

형광체 DFR은 형광체 분말, 빛을 받으면 경화되는 감광 반응재, 폴리비닐알콜 등의 바인더(binder)를 디에틸렌그리콜메틸에테르 등의 용제로 혼합하여 형성하며, 상기 DFR이 이후의 소성 공정에서 균일하게 수축되도록 하기 위하여 DFR 내의 감광 반응재, 바인더 및 형광체 조성비를 조절하여 형성한다.Phosphor DFR is formed by mixing a phosphor powder, a photoresist that is cured upon receiving light, a binder such as polyvinyl alcohol with a solvent such as diethylene glycol methyl ether, and the DFR is uniformly used in a subsequent firing process. It is formed by adjusting the composition ratio of the photoresist, binder and phosphor in the DFR in order to shrink.

이후, DFR 상에 보호필름을 부착을 부착하여 DFR을 완성한다.Then, attach the protective film on the DFR to complete the DFR.

R(red), G(green), B(blue) 3색의 형광체가 각각 함유된 DFR 패턴을 형성하기 위하여, 각 색의 형광체가 함유된 DFR을 부착, 노광 및 현상하는 공정을 반복적으로 실시하여 이웃하는 3개의 전극(21) 각각의 상부에 각 색의 형광체가 함유된 DFR 패턴을 형성한다.In order to form a DFR pattern containing phosphors of three colors, R (red), G (green), and B (blue), the processes of attaching, exposing, and developing DFR containing phosphors of each color are repeatedly performed. A DFR pattern containing phosphors of each color is formed on each of the three neighboring electrodes 21.

도2c는 제1 형광체 분말이 함유된 DFR을 노광 및 현상하여, 이웃하는 세개의 전극(21) 중 제1 전극 상에 제1 DFR 패턴(F1)을 형성한 상태를 보이고, 도2d는 제2 형광체 및 제3 형광체 분말이 함유된 DFR 각각을 노광 및 현상하여, 이웃하는 세개의 전극(21) 중 제2 전극 및 제3 전극 상에 제2 DFR 패턴(F2) 및 제3 DFR 패턴(F3)을 형성한 것을 나타내고 있다. 각 노광 공정에서 포토마스크는 동일한 것을 사용하며 한 격벽에서 다음 격벽까지의 거리(셀 피치) 만큼 포토마스크를 이동시키면서 노광한다.FIG. 2C shows a state in which a first DFR pattern F1 is formed on a first electrode among three neighboring electrodes 21 by exposing and developing a DFR containing a first phosphor powder, and FIG. 2D is a second view. Each of the DFRs containing the phosphor and the third phosphor powder is exposed and developed to form a second DFR pattern F2 and a third DFR pattern F3 on the second and third electrodes of the three neighboring electrodes 21. It is shown that is formed. In each exposure process, the same photomask is used, and it exposes, moving the photomask by the distance (cell pitch) from one partition to the next.

이와 같이 R, G, B 형광체 분말을 함유하는 DFR 패턴 형성이 완료된 후에는 도2e에 도시한 바와 같이 DFR 패턴(F1, F2, F3)을 보호벽으로 이용하여 DFR 패턴(F1, F2, F3) 사이에 인쇄기 또는 막대 형태의 코터(bar type coater)를 사용하여 격벽재(24)를 채운다.After the formation of the DFR pattern containing the R, G, and B phosphor powder is completed, as shown in FIG. The partition wall 24 is filled with a printing machine or a bar type coater.

이어서, 도2f에 도시한 바와 같이 형광체가 함유된 DFR 패턴(F1, F2, F3) 및 격벽재를 건조 소성하여 격벽 및 형광체를 동시에 형성한다.Subsequently, as shown in FIG. 2F, the DFR patterns F1, F2, and F3 containing the phosphor and the barrier rib are dried and baked to simultaneously form the barrier rib and the phosphor.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiments and the accompanying drawings, and various substitutions, modifications, and changes can be made in the art without departing from the technical spirit of the present invention. It will be apparent to those of ordinary knowledge.

상기와 같이 이루어지는 본 발명은 격벽 및 형광체 패턴이 드라이 필름 레지스트 패턴에 따라서 형성되므로 패턴의 고정세화가 가능하고, 격벽 및 형광체가 동시에 형성되므로 패턴 간의 오정렬(mis-align) 문제가 발생하지 않아 생산성을 높일 수 있으며, 형광체가 전극으로 흘러내리지 않으므로 오방전에 의한 수율 저하를 방지할 수 있고, 형광체가 방전공간 전면에 균일하게 형성되므로 고품질의 PDP 제조가 용이해진다.According to the present invention, the barrier ribs and the phosphor pattern are formed according to the dry film resist pattern, and thus the pattern can be finely refined, and since the barrier ribs and the phosphor are simultaneously formed, mis-alignment between the patterns does not occur, thereby improving productivity. Since the phosphor does not flow down to the electrode, it is possible to prevent the yield decrease due to mis-discharge, and since the phosphor is uniformly formed on the entire discharge space, it is easy to manufacture high-quality PDP.

Claims (5)

플라즈마 디스플레이 패널 제조 방법에 있어서,In the plasma display panel manufacturing method, 전극 형성이 완료된 기판 상에 유전층을 형성하는 제1 단계;Forming a dielectric layer on the substrate on which electrode formation is completed; 상기 유전층 상에 형광체 물질이 함유된 드라이 필름 레지스트 패턴을 형성하여, 상기 드라이 필름 레지스트 패턴 사이에 격벽 형성 영역을 정의하는 제2 단계;Forming a dry film resist pattern containing a phosphor material on the dielectric layer to define a barrier rib region between the dry film resist patterns; 상기 드라이 필름 레지스트 패턴 사이에 격벽 물질을 채우는 제3 단계; 및Filling a barrier rib material between the dry film resist patterns; And 상기 드라이 필름 레지스트 패턴 및 상기 격벽 물질을 열처리하여, 상기 드라이 필름 레지스트 패턴으로 이루어지는 형광체 및 격벽을 형성하는 제4 단계Heat treating the dry film resist pattern and the barrier material to form phosphors and barrier ribs formed of the dry film resist pattern; 를 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널 제조 방법.Plasma display panel manufacturing method comprising a. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제2 단계는,The second step, 빨강, 파랑, 녹색 중 서로 다른 한 가지 색의 형광체를 각각 포함하는 제1 드라이 필름 레지스트, 제2 드라이 필름 레지스트 및 제3 드라이 필름 레지스트를 마련하는 제5 단계;A fifth step of preparing a first dry film resist, a second dry film resist, and a third dry film resist each comprising phosphors of one color different from red, blue, and green; 상기 유전층 상에 상기 제1 드라이 필름 레지스트를 덮고 노광 및 현상하여 이웃하는 세 개의 상기 전극 중 제1 전극 상에 제1 드라이 필름 레지스트 패턴을 형성하는 제6 단계;A sixth step of covering the first dry film resist on the dielectric layer, exposing and developing the first dry film resist pattern on a first electrode among three neighboring electrodes; 상기 제6 단계가 완료된 전체 구조 상에 상기 제2 드라이 필름 레지스트를 덮고 노광 및 현상하여 이웃하는 세 개의 상기 전극 중 제2 전극 상에 제2 드라이 필름 레지스트 패턴을 형성하는 제7 단계; 및A seventh step of forming a second dry film resist pattern on a second electrode among three neighboring electrodes by covering the second dry film resist on the entire structure where the sixth step is completed, and exposing and developing the second dry film resist; And 상기 제7 단계가 완료된 전체 구조 상에 상기 제3 드라이 필름 레지스트를 덮고 노광 및 현상하여 이웃하는 세 개의 상기 전극 중 제3 전극 상에 제3 드라이 필름 레지스트 패턴을 형성하는 제8 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널 제조 방법.And an eighth step of covering the third dry film resist on the entire structure where the seventh step is completed, and exposing and developing the third dry film resist pattern on a third electrode among three neighboring electrodes. A plasma display panel manufacturing method characterized by the above-mentioned. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 제5 단계 내지 상기 제7 단계에서,In the fifth to seventh steps, 동일한 마스크를 이용하여 노광을 실시하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널 제조 방법.Exposure is performed using the same mask, The plasma display panel manufacturing method characterized by the above-mentioned. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 유전층을 반사 물질로 형성하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널 제조 방법.And forming the dielectric layer from a reflective material. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 드라이 필름 레지스트는,The dry film resist, 형광체 분말, 감광 반응재 및 바인더를 용제로 혼합하여 형성하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널 제조 방법.A method of manufacturing a plasma display panel, comprising forming a phosphor powder, a photoresist and a binder by mixing them with a solvent.