KR20000066613A - System for cleaning/transferring a LCD cell - Google Patents

System for cleaning/transferring a LCD cell Download PDF

Info

Publication number
KR20000066613A
KR20000066613A KR1019990013846A KR19990013846A KR20000066613A KR 20000066613 A KR20000066613 A KR 20000066613A KR 1019990013846 A KR1019990013846 A KR 1019990013846A KR 19990013846 A KR19990013846 A KR 19990013846A KR 20000066613 A KR20000066613 A KR 20000066613A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
liquid crystal
crystal cell
conveyor
cleaning
stage
Prior art date
Application number
KR1019990013846A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR100375733B1 (en
Inventor
배성룡
Original Assignee
김영환
현대전자산업 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 김영환, 현대전자산업 주식회사 filed Critical 김영환
Priority to KR10-1999-0013846A priority Critical patent/KR100375733B1/en
Publication of KR20000066613A publication Critical patent/KR20000066613A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100375733B1 publication Critical patent/KR100375733B1/en

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1316Methods for cleaning the liquid crystal cells, or components thereof, during manufacture: Materials therefor

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

PURPOSE: A cleaning and feeding system of liquid crystal cell is provided to completely remove particles attached on the center and edges of the cell and automatically discriminate the failure and ID of the cell. CONSTITUTION: A cleaning and feeding system of liquid crystal cell comprises a conveyer(10), a carrying unit(20), a camera unit(30), a cleaning unit(40) and a fork unit(60). The cells are entered into the entrance of the conveyer(10) and stored in the outlet of the conveyer. The carrying unit(20) is disposed in the entrance site of the conveyer to seat the cells on the conveyer. The camera unit(30) photographs the inherent number of the cells seated on the conveyer to transfer the images to a controller. The cleaning unit(40) removes particles on the cell carried by the conveyer. The fork unit(60) stores the cleaned cells into a cassette.

Description

액정 셀 세정 및 반송 시스템{System for cleaning/transferring a LCD cell}System for cleaning / transferring a LCD cell}

본 발명은 액정 셀 세정 및 반송 시스템에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 조립이 완료된 액정 셀을 스크라이빙 라인(scribing line)을 따라 절단하는 브레이킹 공정중에 발생되어 액정 셀에 묻은 미립자를 세정하고, 액정 셀의 양불 여부를 확인한 후, 카세트로 액정 셀을 반송하여 수납시키는 시스템에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal cell cleaning and conveying system. More particularly, the present invention relates to a liquid crystal cell cleaning and transporting system. The present invention relates to a system for transporting and storing a liquid crystal cell in a cassette after confirming whether the cell is unpaid or not.

일반적으로, 액정의 위상을 변화시켜 원하는 글자나 문자 또는 숫자를 디스플레이시키는 액정표시소자는 2개의 유리기판 사이에 액정이 봉입된 구조의 액정 셀과, 이 액정 셀로 빛을 조사하는 백 라이트 유니트를 포함한다.In general, a liquid crystal display device for changing a phase of a liquid crystal to display desired letters, letters, or numbers includes a liquid crystal cell having a structure in which a liquid crystal is enclosed between two glass substrates, and a backlight unit for irradiating light with the liquid crystal cell. do.

액정 셀은 화소전극이 형성된 하부 유리기판과 상부 유리기판 각각의 내측면에 액정 분자의 초기 배열 상태를 결정하는 배향막을 설치하고, 2개의 유리기판 중 어느 하나의 유리기판상에는 접착제를 프린트하고, 다른 하나의 유리기판에는 스페이서를 코팅한 후, 봉착 공정에서 이들 2개의 유리기판을 겹쳐 포갠 상태로 압착장치의 건조 오븐에 넣고, 열압착을 실시함으로써 제작된다. 이러한 액정 셀에는 빛이 일정한 방향으로만 입사되도록, 상부 유리 기판의 상부면과 하부 유리 기판의 하부면 각각에 편광판을 부착하게 된다.The liquid crystal cell is provided with an alignment film for determining the initial arrangement state of the liquid crystal molecules on the inner surface of each of the lower glass substrate and the upper glass substrate on which the pixel electrode is formed, and an adhesive is printed on one of the two glass substrates. The glass substrate is coated on one glass substrate, and the two glass substrates are overlapped in the sealing process and placed in a drying oven of the pressing apparatus, followed by thermocompression. The polarizing plate is attached to each of the upper surface of the upper glass substrate and the lower surface of the lower glass substrate so that light is incident only in a predetermined direction.

상기와 같이 액정 셀의 조립이 완료되면, 미리 형성되어 있던 스크라이빙 라인을 따라 절단하게 된다. 그런데, 절단하는 도중에 칩과 미립자가 발생되고, 이 칩이나 미립자가 액정 셀에 묻어서 게이트나 패드를 오염시킬 우려가 있다.When the assembly of the liquid crystal cell is completed as described above, the liquid crystal cell is cut along the previously formed scribing line. By the way, chip | tip and microparticles | fine-particles generate | occur | produce during cutting | disconnection, and this chip | grain and microparticles | fine-particles may be buried in a liquid crystal cell, and there exists a possibility that a gate and a pad may be polluted.

그러므로, 절단 공정 후에는, 액정 셀을 세정하는 공정이 반드시 실시된다. 종래에는, 액정 패널의 절단된 부분, 즉 가장자리를 따라서만 세정이 실시되었다. 그 이유는, 게이트나 패드가 위치한 부분이 액정 셀의 외곽에 위치하고 있기 때문이다.Therefore, after a cutting process, the process of washing a liquid crystal cell is necessarily performed. Conventionally, cleaning was performed only along the cutout part of the liquid crystal panel, that is, along the edge. This is because the portion where the gate and the pad are located is located outside the liquid crystal cell.

이를 위해서, 종래에는 작업자가 절단된 액정 셀을 직접 세정 장치로 반입시켜 세정을 실시하고, 세정이 완료되면 다시 액정 셀을 반출시켜 카세트에 수납시켰다.To this end, conventionally, a worker carries out a cut liquid crystal cell directly into a washing apparatus to perform cleaning, and when the washing is completed, the liquid crystal cell is taken out and stored in a cassette.

또한, 액정 셀 절단 후에, 액정 셀이 제대로 작동하는지의 여부를 테스트하게 되는데, 종래에는 작업자가 액정 셀의 고유번호(ID)를 확인하여, 테스트를 통과한 액정 셀만을 카세트에 수납하고, 불량으로 판정된 액정 셀은 더미 박스에 적재하였다.In addition, after cutting the liquid crystal cell, it is tested whether the liquid crystal cell is functioning properly. In the related art, the operator checks the identification number (ID) of the liquid crystal cell, and stores only the liquid crystal cell that has passed the test in the cassette. The determined liquid crystal cell was loaded in a dummy box.

그러나, 상기와 같은 종래 세정 방식은, 액정 셀의 가장자리만을 세정하였기 때문에, 절단 공정중에 비산되어 액정 셀의 중앙 표면에 묻은 칩이나 미립자는 제거할 수 없는 단점이 있었다.However, the conventional cleaning method as described above has a disadvantage in that only the edges of the liquid crystal cell are cleaned, so that chips or fine particles scattered during the cutting process and adhered to the central surface of the liquid crystal cell cannot be removed.

또한, 작업자가 액정 셀의 불량 여부를 ID를 보고 확인한 후, 선택적으로 카세트나 더미 박스에 액정 셀을 적재하므로, 작업자 실수에 의해 정상 또는 불량으로 판정된 액정 셀이 뒤바뀌어 적재되는 경우도 많았다.In addition, since the operator checks whether the liquid crystal cell is defective or not by checking the ID, and selectively loads the liquid crystal cell in the cassette or the dummy box, the liquid crystal cell determined to be normal or defective due to an operator mistake is often loaded upside down.

그리고, 작업자가 액정 셀을 수동으로 카세트에 수납시키기 때문에, 액정 셀의 표면이 카세트의 슬로트에 긁히거나 심지어 파손되는 사태도 자주 발생되었다.And since the operator manually stores the liquid crystal cell in the cassette, a situation in which the surface of the liquid crystal cell is scratched or even broken often occurs in the slot of the cassette.

따라서, 본 발명은 종래의 단점을 해소하기 위해 안출된 것으로서, 액정 셀의 가장자리 뿐만 아니라 중앙에 묻은 미립자도 제거가능한 액정 셀 세정 및 반송 시스템을 제공하는데 목적이 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a liquid crystal cell cleaning and conveying system capable of removing not only the edges of liquid crystal cells but also fine particles deposited at the center thereof.

본 발명의 다른 목적은 액정 셀의 ID를 자동적으로 판독하여 불량 여부를 확인할 수 있도록 하여, 액정 셀이 뒤바뀌어 카세트 또는 더미 박스에 적재되는 것을 방지하는데 있다.Another object of the present invention is to automatically read the ID of the liquid crystal cell so as to determine whether it is defective, thereby preventing the liquid crystal cell from being reversed and loaded into the cassette or dummy box.

본 발명의 또 다른 목적은 정상으로 판정된 액정 셀을 카세트의 슬로트내에 자동으로 수납되도록 하여, 액정 셀이 슬로트에 긁히거나 충돌하여 파손되는 사태를 미연에 방지하는데 있다.It is another object of the present invention to automatically receive a liquid crystal cell determined as normal in a slot of a cassette, thereby preventing the liquid crystal cell from being scratched or collided with the slot.

도 1 및 도 2는 본 발명에 따른 액정 셀 세정 및 반송 시스템을 나타낸 정면도 및 평면도.1 and 2 are a front view and a plan view showing a liquid crystal cell cleaning and conveying system according to the present invention.

도 3은 본 발명의 주요부인 컨베이어를 나타낸 평면도.3 is a plan view showing a conveyor which is a main part of the present invention.

도 4 및 도 5는 본 발명의 주요부인 카메라 유니트를 나타낸 정면도 및 평면도.4 and 5 are a front view and a plan view showing a camera unit which is a main part of the present invention.

도 6은 본 발명의 주요부인 세정 유니트를 나타낸 사시도.6 is a perspective view showing a cleaning unit which is an essential part of the present invention.

도 7은 세정 헤드의 내부 구조를 나타낸 정단면도.7 is a sectional front view showing the internal structure of the cleaning head.

도 8은 세정 유니트의 스테이지를 나타낸 정면도.8 is a front view showing a stage of the cleaning unit.

- 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 --Explanation of symbols for the main parts of the drawing-

1 ; 테이블 10 ; 컨베이어One ; Table 10; conveyor

20 ; 반입 유니트 30 ; 카메라 유니트20; Import unit 30; Camera unit

40 ; 세정 유니트 60 ; 포크 유니트40; Cleaning unit 60; Fork unit

70 ; 카세트70; cassette

상기와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 세정 및 반송 시스템은 다음과 같은 구성으로 이루어진다.In order to achieve the above object, the cleaning and conveying system according to the present invention has the following configuration.

테이블상에 액정 셀을 반송하는 컨베이어가 배치되어서, 컨베이어의 입구를 통해 개개로 절단된 액정 셀이 반입되고, 출구에는 정상으로 판정된 액정 셀만이 적층식으로 수납되는 카세트가 배치된다. 컨베이어의 입구로부터 액정 셀을 안치하여 컨베이어상에 올려놓는 반입 유니트와, 양불 판정을 위해 액정 셀의 고유번호를 촬영하는 카메라 유니트와, 액정 셀에 묻은 미립자를 제거하는 세정 유니트, 및 정상으로 판정된 액정 셀을 카세트에 수납하는 포크 유니트가 순차적으로 배치된다.A conveyor for transporting liquid crystal cells is arranged on the table, and liquid crystal cells individually cut through the inlet of the conveyor are carried in, and at the outlet, a cassette in which only liquid crystal cells determined to be normal are stored in a stack is arranged. An import unit for placing the liquid crystal cell on the conveyor by placing the liquid crystal cell on the conveyor entrance, a camera unit for photographing the unique number of the liquid crystal cell for good judgment, a cleaning unit for removing particulates from the liquid crystal cell, and a normal determination Fork units for accommodating the liquid crystal cell in the cassette are sequentially arranged.

반입 유니트는 컨베이어의 입구측이 개구된 ⊃자 형상의 스테이지와; 스테이지를 승강시키는 공압 실린더를 포함한다. 스테이지의 양측으로 액정 셀의 양측을 밀어서 정렬시키는 한 쌍의 정렬 부재가 배치되고, 각 정렬 부재는 컨베이어에 설치된 공압 실린더에 의해 이동된다.The carry-in unit includes: a U-shaped stage in which the inlet side of the conveyor is opened; And a pneumatic cylinder for elevating the stage. A pair of alignment members for pushing and aligning both sides of the liquid crystal cell to both sides of the stage are arranged, and each alignment member is moved by a pneumatic cylinder provided in the conveyor.

카메라 유니트는 컨베이어의 양측에 배치된 한 쌍의 종축 로보트; 종축 로보트에 의해 승강되는 횡축 로보트; 및 횡축 로보트에 설치된 카메라를 포함한다. 또한, 각 종축 로보트에는 마이크로미터가 설치되어서, 컨베이어의 이동 방향을 따라 위치 조정이 가능하다.The camera unit includes a pair of longitudinal robots disposed on both sides of the conveyor; A transverse robot which is lifted by the longitudinal robot; And a camera installed on the horizontal robot. In addition, each longitudinal robot is provided with a micrometer, the position can be adjusted along the moving direction of the conveyor.

세정 유니트는 컨베이어의 양측에 배치되고, 대향하는 내측면에 홈부가 형성되며, 홈부와 이어진 장홈이 외측면에 상하로 길게 형성된 한 쌍의 지지대; 양단이 지지대의 양측 홈부에 끼워져서, 장홈으로부터 삽입된 고정 볼트에 의해 장홈의 소정 위치에서 고정되며, 양단 상부면은 각 지지대의 상부면으로부터 체결된 최소한 하나 이상의 높이 조정 볼트에 체결되고, 하부면 중앙을 따라 세정 가스가 분사되는 개구부가 형성되며, 개구부 양측면은 수평면에 대해서 예각으로 경사진 세정 헤드; 세정 헤드의 내부 양측에 배치되어, 개구부를 통해 액정 셀 표면으로 이온화된 세정 가스를 분사하는 한 쌍의 이온 가스 분사기; 세정 헤드의 내부 중앙에 배치되어, 세정 가스에 의해 액정 셀 표면에서 들뜬 미립자를 개구부를 통해 진공으로 흡입하여 제거하는 진공 흡입기; 세정 헤드 하부의 테이블상에 컨베이어의 이동 방향을 따라 배치된 가이드 레일; 가이드 레일에 이동가능하게 연결된 공압 실린더; 공압 실린더 상단에 설치되어, 정상으로 판정된 액정 셀이 안치되는 스테이지; 및 스테이지와 공압 실린더를 가이드 레일을 따라 이동시키는 스텝핑 모터를 포함한다.The cleaning unit is disposed on both sides of the conveyor, the groove portion is formed on the opposite inner side, the long groove connected to the groove portion is formed on the outer side of the pair of long and vertical support; Both ends are inserted into the grooves on both sides of the support, and are fixed at a predetermined position of the long groove by fixing bolts inserted from the long grooves, and both top surfaces are fastened to at least one height adjustment bolt fastened from the top surface of each support, and the bottom surface An opening through which a cleaning gas is injected is formed along a center thereof, and both sides of the opening are inclined at an acute angle with respect to the horizontal plane; A pair of ion gas injectors disposed at both inner sides of the cleaning head and spraying the cleaning gas ionized through the opening to the surface of the liquid crystal cell; A vacuum inhaler disposed at the inner center of the cleaning head, for suctioning and removing the fine particles excited on the surface of the liquid crystal cell by the cleaning gas through the openings; A guide rail disposed along a moving direction of the conveyor on a table below the cleaning head; A pneumatic cylinder movably connected to the guide rail; A stage installed at the upper end of the pneumatic cylinder, where the liquid crystal cell determined to be normal is placed; And a stepping motor for moving the stage and the pneumatic cylinder along the guide rail.

한편, 스테이지는 상판과 하판으로 구성되고, 하판 상부면에는 수 개의 삽입홈이 형성되며, 상판 밑면에는 각 삽입홈에 끼워지는 삽입부가 돌출,형성된다. 상판은 액정 셀의 모델에 따라 그 크기가 변경되고, 액정 셀을 진공으로 흡착하기 위한 진공 라인이 연결된다.On the other hand, the stage is composed of the upper plate and the lower plate, the lower plate upper surface is formed with a plurality of insertion grooves, the lower surface of the upper plate is formed, the insertion portion is inserted into each insertion groove is projected. The upper plate is changed in size according to the model of the liquid crystal cell, and a vacuum line for adsorbing the liquid crystal cell in a vacuum is connected.

포크 유니트는 테이블상에 설치된 공압 실린더; 공압 실린더 상단에 설치되어, 액정 셀이 안치되는 스테이지; 스테이지의 소정 부분에 좌우로 왕복이동이 가능하게 설치되어, 액정 셀을 카세트로 반입하는 포크; 및 포크를 왕복이동시키는 스텝핑 모터를 포함한다. 반입 유니트의 스테이지 양측에도 정렬 부재가 배치되고, 정렬 부재는 컨베이어에 설치된 한 쌍의 공압 실린더에 의해 이동된다.The fork unit includes a pneumatic cylinder installed on the table; A stage installed at the upper end of the pneumatic cylinder, the liquid crystal cell is placed; A fork installed on the predetermined portion of the stage so as to reciprocate and to carry the liquid crystal cell into the cassette; And a stepping motor for reciprocating the fork. Alignment members are also arranged on both sides of the stage of the loading unit, and the alignment members are moved by a pair of pneumatic cylinders installed on the conveyor.

한편, 컨베이어 양측 중앙의 테이블상에는 컨베이어의 이동 방향과 직교하는 방향 양측으로 지지축을 갖는 홀더가 설치된다. 홀더의 각 지지축에 리드 스크류의 내측단이 끼워져 지지되어, 리드 스크류는 정위치에서 회전된다. 리드 스크류는 양측 컨베이어에 나사결합되고, 컨베이어를 돌출된 리드 스크류의 외측단에 조정 핸들이 설치된다. 조정 핸들은 컨베이어의 양측 중 어느 한 위치에서 설치되고, 조정 핸들이 설치되지 않은 리드 스크류의 타단은 조정 핸들이 설치된 리드 스크류의 타단에 타이밍 벨트로 연결되어 조정 핸들의 조작력을 전달받게 된다.On the other hand, holders having support shafts are provided on the table at the center of both sides of the conveyor in both directions perpendicular to the moving direction of the conveyor. The inner end of the lead screw is held by each support shaft of the holder, and the lead screw is rotated in position. The lead screw is screwed into both conveyors, and an adjustment handle is installed at the outer end of the lead screw which protrudes the conveyor. The adjusting handle is installed at either of the two sides of the conveyor, and the other end of the lead screw without the adjusting handle is connected to the other end of the lead screw on which the adjusting handle is installed by a timing belt to receive the operating force of the adjusting handle.

상기된 본 발명의 구성에 의하면, 작업자가 액정 셀을 반입 유니트의 스테이지상에 올려놓기만 하면, 카메라 유니트가 액정 셀의 ID를 촬영하여 선행 테스트 공정에서의 양불 여부를 확인하게 되고, 불량 액정 셀은 더미 박스로, 정상 액정 셀은 컨베이어를 타고 반송된다. 정상 액정 셀은 세정 유니트의 스테이지에 안치된 상태로 이동되어서, 세정 헤드의 이온화 가스 분사기에서 분사되는 이온 가스에 의해 그의 표면에 묻은 미립자가 들뜨게 되고, 진공 흡입기에 의해 미립지가 흡입된다. 포크 유니트로 반송된 액정 셀은 포크에 의해 하나씩 카세트에 수납된다.According to the above-described configuration of the present invention, the operator simply places the liquid crystal cell on the stage of the carrying unit, and the camera unit photographs the ID of the liquid crystal cell to confirm whether there is a non-payment in the preceding test process, and the defective liquid crystal cell. Is a dummy box, and the normal liquid crystal cell is conveyed on a conveyor. The normal liquid crystal cell is moved in a state settled on the stage of the cleaning unit, so that the particles deposited on its surface are lifted up by the ion gas injected from the ionizing gas injector of the cleaning head, and the particulate matter is sucked in by the vacuum inhaler. The liquid crystal cells conveyed to the fork unit are stored in the cassettes one by one by the fork.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부도면에 의거하여 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 및 도 2는 본 발명에 따른 액정 셀 세정 및 반송 시스템을 나타낸 정면도 및 평면도이고, 도 3은 본 발명의 주요부인 컨베이어를 나타낸 평면도이며, 도 4 및 도 5는 본 발명의 주요부인 카메라 유니트를 나타낸 정면도 및 평면도이고, 도 6은 본 발명의 주요부인 세정 유니트를 나타낸 사시도이며, 도 7은 세정 헤드의 내부 구조를 나타낸 정단면도이고, 도 8은 세정 유니트의 스테이지를 나타낸 정면도이다.1 and 2 are a front view and a plan view showing a liquid crystal cell cleaning and conveying system according to the present invention, Figure 3 is a plan view showing a conveyor which is a main part of the present invention, Figures 4 and 5 is a camera which is a main part of the present invention 6 is a perspective view showing a cleaning unit which is an essential part of the present invention, FIG. 7 is a front sectional view showing the internal structure of the cleaning head, and FIG. 8 is a front view showing a stage of the cleaning unit.

먼저, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 액정 셀 세정 및 반송 시스템은 테이블(1), 테이블(1)상에 소정 높이로 배치된 컨베이어(10), 컨베이어(10)의 입구로부터 순차적으로 배치된 반입 유니트(20), 카메라 유니트(30), 세정 유니트(40), 및 포크 유니트(60)를 포함한다. 컨베이어(10)의 출구측에는 정상으로 판정된 액정 셀만이 적층식으로 수납되는 카세트(70)가 배치되고, 카세트(70)는 그 하부에 배치된 공압 실린더(71)에 의해 일정 피치씩, 즉 카세트(70)의 슬로트 간격씩 승강된다.First, as shown in Figures 1 and 2, the liquid crystal cell cleaning and conveying system according to the present invention is a table 1, the conveyor 10 of a predetermined height disposed on the table 1, the conveyor 10 And a loading unit 20, a camera unit 30, a cleaning unit 40, and a fork unit 60 sequentially arranged from the entrance. On the outlet side of the conveyor 10, a cassette 70 is arranged in which only liquid crystal cells determined to be normal are stacked, and the cassette 70 is pitched at a predetermined pitch, i.e., by the pneumatic cylinder 71 disposed thereunder. The slot interval of 70 is raised and lowered.

먼저, 컨베이어(10)는 액정 셀의 크기가 변하지 않으면 그 폭을 변경시킬 필요는 없지만, 현재 제조되고 있는 액정 셀은 여러 모델이 있고, 이에 따라 액정 셀의 크기도 여러 가지이기 때문에, 본 발명에서는 컨베이어(10)의 폭을 가변시키는 수단을 컨베이어(10)에 구비시키고, 그 구조가 도 3에 상세히 도시되어 있다.First, the conveyor 10 does not need to change its width unless the size of the liquid crystal cell changes, but there are various models of the liquid crystal cells currently manufactured, and accordingly, the size of the liquid crystal cell is also various. Means for varying the width of the conveyor 10 are provided in the conveyor 10, the structure of which is shown in detail in FIG.

도시된 바와 같이, 컨베이어(10) 양측 사이의 정중앙에 한 쌍의 홀더(11)가 배치되어, 이 홀더(11)는 도시되지는 않았지만 테이블상에 설치된다. 각 홀더(11)는 컨베이어(10)의 이동 방향에 대해 직교하는 양측 방향으로 한 쌍의 지지축(12)들을 갖는다. 리드 스크류(13)의 내측단이 홀더(11)의 각 지지축(12)에 끼워져서 지지를 받는데, 특히 지지축(12)은 리드 스크류(13)를 회전만 가능하도록 지지하므로써, 리드 스크류(13)를 정위치에서 회전만 되도록 한다.As shown, a pair of holders 11 are arranged in the center of the center between the two sides of the conveyor 10 so that the holders 11 are installed on the table although not shown. Each holder 11 has a pair of support shafts 12 in both directions perpendicular to the direction of movement of the conveyor 10. The inner end of the lead screw 13 is supported by being fitted to each of the support shafts 12 of the holder 11, and in particular, the support shaft 12 supports the lead screw 13 so as to be rotatable only. 13) so that it only rotates in place.

한편, 홀더(11)가 2개이므로, 리드 스크류(13)는 총 4개가 되는데, 도 3에서는 컨베이어(10)가 좌우 2개로 분할되고 이에 따라 홀더(11)는 4개, 리드 스크류(13)는 총 8개로 구성되어 있다. 이와 같이 구성한 이유는, 컨베이어(10)의 폭을 좌우 각개로 조정할 필요가 있을 경우에 대비하기 위함이다.On the other hand, since there are two holders 11, the total number of lead screws 13 is four. In FIG. 3, the conveyor 10 is divided into two left and right, and accordingly, four holders 11 and four lead screws 13 are provided. Is composed of a total of eight. The reason for this configuration is to prepare for the case where it is necessary to adjust the width of the conveyor 10 to the left and right.

리드 스크류(13)는 컨베이어(10)에 나사결합되어서, 그의 회전 방향에 따라 컨베이어(10)의 폭을 줄이거나 늘이게 된다. 컨베이어(10)를 통과한 리드 스크류(13)의 각 타단에는 리드 스크류(13)를 수동으로 회전시키기 위한 조정 핸들(14)이 설치된다. 조정 핸들(14)은 각 리드 스크류(13)의 타단 모두에 설치되어도 무방하지만, 컨베이어(10)의 양측 폭이 항시 동일하게 유지되도록, 같은 방향에 배치된 리드 스크류(13)의 타단에만 설치되는 것이 바람직하다. 도 3에서는 컨베이어(10)의 입구측에 배치된 리드 스크류(13)에만 조정 핸들(14)이 설치된 상태를 도시하고 있다. 한편, 컨베이어(10)의 출구측에 배치된 리드 스크류(13)에 조정 핸들(14)의 조작력을 전달하기 위해서, 컨베이어(10)의 출구측에 배치된 리드 스크류(13)의 타단은 입구측에 배치된 리드 스크류(13)의 타단과 타이밍 벨트(15)로 연결된다. 또한, 한쪽 방향에만 배치된 조정 핸들(14)을 조작할 때, 편심된 무게로 인해서 컨베이어(10)에 진동이 발생되거나 하는 현상을 방지하기 위해서 밸런스 웨이트(balance weight:16)가 조정 핸들(14)과 리드 스크류(13)의 연결부에 컨베이어(10)의 길이 방향을 따라 평행하게 설치되는 것이 바람직하다.The lead screw 13 is screwed to the conveyor 10 so as to reduce or increase the width of the conveyor 10 in accordance with its rotation direction. At each other end of the lead screw 13 passing through the conveyor 10, an adjustment handle 14 for manually rotating the lead screw 13 is provided. The adjusting handle 14 may be installed at both ends of each lead screw 13, but is provided only at the other ends of the lead screws 13 arranged in the same direction so that the widths of both sides of the conveyor 10 are always the same. It is preferable. In FIG. 3, the adjustment handle 14 is shown only in the lead screw 13 arrange | positioned at the inlet side of the conveyor 10. As shown in FIG. On the other hand, in order to transmit the operating force of the adjustment handle 14 to the lead screw 13 arranged on the outlet side of the conveyor 10, the other end of the lead screw 13 arranged on the outlet side of the conveyor 10 is the inlet side. It is connected to the other end of the lead screw 13 disposed in the timing belt 15. In addition, when operating the adjustment handle 14 disposed only in one direction, the balance weight (balance weight: 16) is adjusted to prevent the phenomenon that vibration occurs in the conveyor 10 due to the eccentric weight. ) And the lead screw 13 are preferably installed in parallel along the longitudinal direction of the conveyor 10.

상기와 같은 구성으로 이루어진 컨베이어(10)에 액정 셀을 올려놓게 되는 반입 유니트(20)의 구성을 도 1 및 도 2를 참고로 하여 설명한다. 도 1에 도시된 바와 같이, 반입 유니트(20)는 작업자가 액정 셀을 올려놓게 되는 스테이지(21)를 포함한다. 스테이지(21)는 컨베이어(10) 사이에 배치되면서 컨베이어(10) 높이보다 더 아래로 하강되도록 컨베이어(10)의 폭보다 짧은 폭을 갖는다. 스테이지(21)는 단순한 평판 형상이어도 상관없지만, 작업자의 손과 스테이지(21)간에 간섭이 일어나지 않도록, 도 2에 도시된 바와 같이, 컨베이어(10)의 입구측이 개구된 ⊃자 형상인 것이 바람직하다. ⊃자 형상의 스테이지(21)는 테이블(1)상에 설치된 공압 실린더(22)에 의해 연결되어서, 공압 실린더(22)에 의해 컨베이어(10) 밑으로 하강되면서 액정 셀을 컨베이어(10)상에 올려놓게 된다.The configuration of the loading unit 20 on which the liquid crystal cell is placed on the conveyor 10 having the above configuration will be described with reference to FIGS. 1 and 2. As shown in FIG. 1, the loading unit 20 includes a stage 21 on which an operator places a liquid crystal cell. The stage 21 has a width shorter than the width of the conveyor 10 to be lowered below the height of the conveyor 10 while being disposed between the conveyors 10. Although the stage 21 may be a simple flat plate shape, as shown in FIG. 2, it is preferable that the inlet side of the conveyor 10 has an open U-shape so that no interference occurs between the operator's hand and the stage 21. Do. The U-shaped stage 21 is connected by a pneumatic cylinder 22 provided on the table 1, and the liquid crystal cell is lowered on the conveyor 10 by the pneumatic cylinder 22 while being lowered below the conveyor 10. It will be put up.

또한, 액정 셀이 컨베이어(10)상에 정확하게 안치되도록, 액정 셀의 양측면을 밀어서 정렬시키는 한 쌍의 정렬 부재(24)가 배치된다. 정렬 부재(24)의 양단은 짧은 길이로 돌출되어서, 양측 돌출부 사이로 액정 셀이 진입되어진다. 정렬 부재(24)는 컨베이어(10)에 설치된 공압 실린더(23)에 의해 이동된다.In addition, a pair of alignment members 24 for pushing and aligning both sides of the liquid crystal cell are disposed so that the liquid crystal cell is accurately placed on the conveyor 10. Both ends of the alignment member 24 protrude in a short length, so that the liquid crystal cell enters between both projections. The alignment member 24 is moved by the pneumatic cylinder 23 installed on the conveyor 10.

상기와 같이 구성된 반입 유니트(20)에 의해 컨베이어(10)상에 안치된 액정 셀은 컨베이어(10)를 타고 카메라 유니트(30) 하부로 이동하게 된다. 카메라 유니트(30)의 상세한 구조가 도 4 및 도 5에 도시되어 있다.The liquid crystal cell placed on the conveyor 10 by the import unit 20 configured as described above moves on the conveyor 10 to the lower portion of the camera unit 30. The detailed structure of the camera unit 30 is shown in FIGS. 4 and 5.

도시된 바와 같이, 컨베이어의 양측으로 한 쌍의 종축 로보트(31)가 배치된다. 양측 종축 로보트(31)를 가로지르는 횡축 로보트(32)가 설치되고, 액정 셀의 고유 ID를 촬영하는 카메라(33)가 횡축 로보트(32)에 설치된다. 따라서, 카마레(33)는 종축 로보트(31)에 의해 승강되고, 횡축 로보트(32)에 의해 좌우로 이동된다. 또한, 종축 로보트(31)의 위치를 컨베이어(10)의 이동 방향을 따라 조정하기 위해서, 각 종축 로보트(31)에는 마이크로미터(34)가 설치된다.As shown, a pair of longitudinal robots 31 are arranged on both sides of the conveyor. The horizontal robot 32 which traverses the both longitudinal robots 31 is provided, and the camera 33 which captures the unique ID of a liquid crystal cell is provided in the horizontal robot 32. Therefore, the camare 33 is moved up and down by the longitudinal axis robot 31, and is moved left and right by the horizontal axis robot 32. In addition, in order to adjust the position of the longitudinal robot 31 along the moving direction of the conveyor 10, each longitudinal robot 31 is provided with the micrometer 34. As shown in FIG.

여기서, 카메라(33)가 액정 셀의 ID를 촬영하는 것에 의해, 선행 공정인 테스트 공정에서 사전에 정해진 액정 셀의 양불에 따라 액정 셀이 분류된다. 즉, 카메라(33)가 액정 셀의 ID를 촬영하게 되면, 이 영상이 테스트 공정 결과가 입력된 컨트롤러로 전달되어서 액정 셀이 양불 판정에 따라 손쉽게 분류할 수가 있다. 즉, 불량으로 판정된 ID를 갖는 액정 셀은 작업자에 의해 컨베이어(10)에서 반출되어 더미 박스에 적재되고, 정상으로 판정된 액정 셀만이 컨베이어(10)를 타고 계속 반송되어진다.Here, the camera 33 photographs the ID of the liquid crystal cell, so that the liquid crystal cell is classified according to the prepayment of the liquid crystal cell predetermined in the test step, which is a preceding step. That is, when the camera 33 photographs the ID of the liquid crystal cell, this image is transferred to the controller to which the test process result is input, so that the liquid crystal cell can be easily sorted according to the good or bad judgment. That is, the liquid crystal cell having an ID determined as defective is taken out from the conveyor 10 by the operator and loaded in the dummy box, and only the liquid crystal cell determined as normal is continuously conveyed on the conveyor 10.

정상으로 판정된 액정 셀은 세정 유니트(30)로 반송된다. 세정 유니트(30)는 도 6 내지 도 8에 상세히 도시되어 있다. 도 6를 참조로 하여, 세정 유니트(30)는 컨베이어(10)의 양측에 배치된 한 쌍의 지지대(41)를 포함한다. 각 지지대(41)의 내측면에는 동일 형상 및 크기로 홈부(41a)가 형성되고, 홈부(41a)와 이어진 2개의 장홈(47)이 지지대(41)의 외측면에 상하로 길게 형성된다. 세정 헤드(42)의 양단이 각 홈부(41a)에 끼워지는데, 홈부(41a)의 상하 길이 및 장홈(47)의 길이는 세정 헤드(42)의 두께보다 더 길어서, 세정 헤드(42)의 높이를 홈부(41a)의 길이 범위내에서 조정할 수가 있게 된다.The liquid crystal cell determined to be normal is returned to the cleaning unit 30. The cleaning unit 30 is shown in detail in FIGS. 6 to 8. Referring to FIG. 6, the cleaning unit 30 includes a pair of supports 41 disposed on both sides of the conveyor 10. Grooves 41a are formed on the inner side of each support 41 in the same shape and size, and two long grooves 47 connected to the grooves 41a are formed long on the outer side of the support 41. Both ends of the cleaning head 42 are fitted into the groove portions 41a. The upper and lower lengths of the groove portions 41a and the length of the long grooves 47 are longer than the thickness of the cleaning head 42, so that the height of the cleaning head 42 is increased. Can be adjusted within the length range of the groove portion 41a.

이를 위해, 세정 헤드(41)의 양단은 장홈(47)을 통해 진입되는 고정 볼트(48)에 체결되어서, 장홈(47)의 소정 위치에서 고정된다. 또한, 각 지지대(41)의 상부면으로부터 진입된 3개의 높이 조정 볼트(49a,49b)의 하단이 홈부(41a)로 진입된 세정 헤드(42)의 양단 상부면에 체결된다. 즉, 고정 볼트(48)와 양측 조정 볼트(49b)를 풀고 중앙 조정 볼트(49a)를 조이거나 풀어서 세정 헤드(42)의 높이를 조정하게 된다.To this end, both ends of the cleaning head 41 are fastened to the fixing bolt 48 that enters through the long groove 47, and is fixed at a predetermined position of the long groove 47. In addition, the lower ends of the three height adjustment bolts 49a and 49b entered from the upper surface of each support 41 are fastened to the upper surfaces of both ends of the cleaning head 42 entered into the groove 41a. That is, the height of the cleaning head 42 is adjusted by loosening the fixing bolt 48 and the both side adjustment bolts 49b and tightening or releasing the center adjustment bolts 49a.

세정 헤드(42)는 도 7에 도시된 바와 같이, 그의 하부면이 액정 셀과 평행하지 않고 액정 셀과 소정의 예각, 대략 45。 정도로 기울어진 경사면(44)이 된다. 경사면(44)의 중앙, 즉 양측 경사면이 합쳐지는 부분에는 개구부(43)가 형성된다. 개구부(43)를 통해 이온화 가스를 분사하는 한 쌍의 이온화 가스 분사기(45)가 세정 헤드(42)의 내부 양측에 배치된다. 따라서, 이온화 가스는 경사면(44)을 타고 개구부(43)를 통해 액정 셀의 표면에 경사지게 분사되므로써, 액정 셀 표면에 묻은 미립자를 보다 용이하게 들뜨게 할 수가 있게 된다. 특히, 이온화 가스는 액정 셀의 표면에 대전된 정전기를 제전시키는 효과도 발휘하게 된다. 한편, 본 발명에서 사용되는 이온화 가스로는 질소 가스가 바람직하다.As shown in Fig. 7, the cleaning head 42 is an inclined surface 44 whose lower surface is not parallel to the liquid crystal cell and is inclined with the liquid crystal cell by a predetermined acute angle, approximately 45 degrees. The opening part 43 is formed in the center of the inclined surface 44, that is, the portion where both inclined surfaces merge. A pair of ionization gas injectors 45 for injecting ionization gas through the opening 43 are disposed on both sides of the cleaning head 42. Therefore, the ionization gas is inclined to the surface of the liquid crystal cell via the inclined surface 44 through the opening 43, thereby making it possible to more easily lift the fine particles on the surface of the liquid crystal cell. In particular, the ionization gas also exhibits the effect of static electricity charged on the surface of the liquid crystal cell. On the other hand, nitrogen gas is preferable as the ionization gas used in the present invention.

이온화 가스에 의해 액정 셀 표면에서 들뜬 미립자를 진공으로 흡입하는 진공 흡입기(46)가 세정 헤드(42)의 내부 중앙에 배치된다. 즉, 미립자는 개구부(43)를 통해서 진공 흡입기(46)로 흡입되는 것에 의해 제거된다.A vacuum inhaler 46 for suctioning the particulates excited on the liquid crystal cell surface by the ionization gas into the vacuum is disposed at the inner center of the cleaning head 42. In other words, the fine particles are removed by being sucked into the vacuum inhaler 46 through the opening 43.

한편, 세정 헤드(42)는 정위치에서 움직이지 않는 상태이므로, 액정 셀의 표면이 세정 헤드(42)의 하부면에 매우 인접한 상태로 이동되게 하여야 한다. 이를 위해, 도 8에 도시된 바와 같이, 액정 셀이 안치되는 스테이지는 상판(50)과 하판(51)으로 구성된다. 스테이지를 상기와 같이 상하판(50,51)으로 구성한 이유는 여러 크기의 액정 셀에 효과적으로 대응하기 위함이다. 즉, 종래에는 액정 셀의 크기가 변경되면 스테이지 전체를 교체해야만 했으나, 본 발명에서는 액정 셀의 크기와 대응하는 크기를 갖는 상판(50)으로 교체하기만 하면 된다. 따라서, 상판(50)은 하판(51)으로부터 용이하게 분리될 수가 있어야 하고, 이를 위해 상판(50)의 하부면에는 수 개의 삽입부(54)가 형성되고, 하판(51)의 상부면에는 각 삽입부(54)가 끼워지는 삽입홈(미도시)이 형성된다. 하판(51)은 공압 실린더(53)에 연결되어 승강된다. 액정 셀을 진공으로 흡착하기 위해, 액정 셀이 안치되는 상판(50)에 진공 라인(52)이 연결된다.On the other hand, since the cleaning head 42 does not move in the right position, the surface of the liquid crystal cell should be moved in a state very close to the lower surface of the cleaning head 42. To this end, as shown in FIG. 8, the stage in which the liquid crystal cell is placed is composed of an upper plate 50 and a lower plate 51. The reason why the stage is composed of the upper and lower plates 50 and 51 as described above is to effectively cope with liquid crystal cells of various sizes. That is, in the related art, when the size of the liquid crystal cell is changed, the entire stage has to be replaced, but in the present invention, the top plate 50 having the size corresponding to the size of the liquid crystal cell may be replaced. Therefore, the upper plate 50 should be able to be easily separated from the lower plate 51, for this purpose several inserts 54 are formed on the lower surface of the upper plate 50, the upper surface of the lower plate 51 An insertion groove (not shown) into which the insertion portion 54 is fitted is formed. The lower plate 51 is connected to the pneumatic cylinder 53 to be elevated. In order to adsorb the liquid crystal cell by vacuum, a vacuum line 52 is connected to the upper plate 50 on which the liquid crystal cell is placed.

한편, 상판(50)에 안치된 액정 셀 전체 표면이 세정 헤드(42) 하부를 통과하도록 하기 위해서, 도 1에 도시된 바와 같이, 공압 실린더(53)는 베이스(55)상에 설치되고, 베이스(55)가 테이블(1)상에 설치된 가이드 레일(56)에 이동가능하게 연결된다. 베이스(55)는 스텝핑 모터(미도시)에 의해 가이드 레일(56)을 따라 이동된다. 또한, 공압 실린더(53)에 의해 승강되는 상하판(50,51)을 지지하기 위한 가이드 로드(57)가 베이스(55)상에 배치된다.On the other hand, in order to allow the entire surface of the liquid crystal cell settled on the upper plate 50 to pass under the cleaning head 42, as shown in FIG. 1, the pneumatic cylinder 53 is installed on the base 55, and the base 55 is movably connected to the guide rail 56 provided on the table 1. The base 55 is moved along the guide rail 56 by a stepping motor (not shown). In addition, a guide rod 57 for supporting the upper and lower plates 50 and 51 which are lifted and lowered by the pneumatic cylinder 53 is disposed on the base 55.

세정 유니트(40)에서 미립자가 제거된 액정 셀은 다시 컨베이어(10)를 타고 포크 유니트(60)로 반송된다. 포크 유니트(60)는 도 1에 도시된 바와 같이, 세정된 액정 셀이 안치되는 스테이지(61)를 포함한다. 스테이지(61)는 테이블(1)상에 설치된 공압 실린더(62)에 의해 승강된다. 반입 유니트(20)와 마찬가지로, 액정 셀을 스테이지(61)상에 정확하게 정렬시키기 위해서, 액정 셀을 미는 한 쌍의 정렬 부재(65)가 컨베이어(10)의 양측에 배치된다. 각 정렬 부재(65)는 컨베이어(10)에 설치된 공압 실린더(64)에 의해 이동된다.The liquid crystal cell from which the fine particles have been removed from the cleaning unit 40 is conveyed back to the fork unit 60 via the conveyor 10. As shown in FIG. 1, the fork unit 60 includes a stage 61 on which a cleaned liquid crystal cell is placed. The stage 61 is elevated by the pneumatic cylinder 62 provided on the table 1. Like the carrying unit 20, in order to align the liquid crystal cell accurately on the stage 61, a pair of alignment members 65 for pushing the liquid crystal cell are disposed on both sides of the conveyor 10. Each alignment member 65 is moved by a pneumatic cylinder 64 provided on the conveyor 10.

스테이지(61)상의 소정 부분에 포크(63)가 좌우로 왕복이동이 가능하게 설치되고, 이 포크(63)는 스텝핑 모터(미도시)에 의해 카세트(70) 방향으로 전후진되므로써, 액정 셀을 하나씩 카세트(70)에 적재하게 된다.The fork 63 is installed in a predetermined portion on the stage 61 so as to reciprocate from side to side, and the fork 63 is moved back and forth in the cassette 70 direction by a stepping motor (not shown), thereby providing a liquid crystal cell. The cassettes are loaded into the cassettes 70 one by one.

이하, 상기와 같은 구성으로 이루어진 본 실시예에 따른 시스템의 동작을 상세히 설명한다.Hereinafter, the operation of the system according to the present embodiment having the above configuration will be described in detail.

먼저, 개개로 절단되고 테스트 공정이 완료된 액정 셀을 작업자가 반입 유니트(20)의 스테이지(21)상에 올려놓는다. 이때, 스테이지(21)는 컨베이어(10)의 입구측 방향이 개구된 ⊃자 형상이므로, 작업자의 손이 스테이지(21)에 간섭되지 않게 된다. 공압 실린더(23)에 의해 각 정렬 부재(24)가 안쪽으로 이동되어서, 액정 셀을 정확한 위치에 정렬시킨다.First, the operator places the liquid crystal cell which is individually cut and the test process is completed on the stage 21 of the loading unit 20. At this time, since the stage 21 has a U-shape in which the inlet side direction of the conveyor 10 is opened, the operator's hand does not interfere with the stage 21. Each alignment member 24 is moved inward by the pneumatic cylinder 23 to align the liquid crystal cell in the correct position.

이러한 상태에서, 카메라(33)가 액정 셀의 ID를 촬영하고, 이 영상을 컨트롤러에 전송한다. 카메라(33)는 종횡축 로보트(31,32)에 의해 그 위치가 정확하게 조정되고, 아울러 종축 로보트(31)의 위치도 마이크로미터(34)에 의해 컨베이어(10)의 이동 방향으로 조정된다. 컨트롤러에는 각 ID별로 액정 셀의 테스트 결과가 미리 입력되어 있으므로, 전송된 ID에 따라 액정 셀의 양불을 작업자에게 인식시킨다. 인식 방법으로는 불량 액정 셀일 경우, 경보음이 발하게 할 수가 있다. 불량으로 판정된 액정 셀은 작업자에 의해 더미 박스에 적재되고, 정상의 액정 셀만이 후속 공정으로 반송된다.In this state, the camera 33 photographs the ID of the liquid crystal cell and transmits this image to the controller. The position of the camera 33 is adjusted correctly by the longitudinal axis robots 31 and 32, and the position of the longitudinal axis robot 31 is also adjusted by the micrometer 34 in the moving direction of the conveyor 10. As shown in FIG. Since the test result of the liquid crystal cell is input to the controller in advance for each ID, the controller recognizes the non-payment of the liquid crystal cell according to the transmitted ID. As a recognition method, an alarm sound can be made in the case of a defective liquid crystal cell. The liquid crystal cell determined as defective is loaded into the dummy box by the operator, and only the normal liquid crystal cell is returned to the subsequent step.

이어서, 공압 실린더(22)에 의해 스테이지(21)가 컨베이어(10) 밑으로 하강되고, 액정 셀은 컨베이어(10)상에 안착된다. 컨베이어(10)를 타고 반송되던 액정 셀은 세정 유니트(40)에 도달하게 된다. 공압 실린더(53)에 의해 상하판(50,51)이 상승하므로써, 액정 셀은 상판(50)에 안치되어서 컨베이어(10)보다 약간 높은 높이로 상승된다. 액정 셀은 진공 라인(52)에서 제공되는 진공압에 의해 상판(50)에 견고히 흡착된다. 여기서, 상판(50)은 그의 삽입부(54)가 하판(51)의 삽입홈에 단순히 끼워진 상태이므로, 액정 셀의 모델 변경으로 크기가 변경되면, 변경된 크기에 맞는 다른 상판(50)으로 손쉽게 교체될 수가 있다.Then, the stage 21 is lowered below the conveyor 10 by the pneumatic cylinder 22, and the liquid crystal cell is seated on the conveyor 10. The liquid crystal cell conveyed on the conveyor 10 reaches the cleaning unit 40. As the upper and lower plates 50 and 51 are lifted by the pneumatic cylinder 53, the liquid crystal cell is settled on the upper plate 50 and raised to a height slightly higher than the conveyor 10. The liquid crystal cell is firmly adsorbed to the top plate 50 by the vacuum pressure provided in the vacuum line 52. Here, since the upper plate 50 is simply inserted into the insertion groove of the lower plate 51, when the size is changed by changing the model of the liquid crystal cell, it is easily replaced with another upper plate 50 suitable for the changed size. Can be.

스텝핑 모터에 의해 베이스(55)가 이동되어서, 액정 셀이 세정 헤드(42) 하부로 진입하게 된다. 각 이온화 가스 분사기(45)로부터 질소인 이온화 가스가 개구부(43)를 통해 액정 셀의 표면으로 분사되는데, 이온화 가스는 경사면(44)에 의해 유도되므로, 액정 셀의 표면에 예각으로 경사지게 분사된다. 따라서, 액정 셀의 표면에 묻은 미립자가 수직으로 분사되는 것보다 보다 용이하게 표면에서 들뜰 수가 있게 된다. 또한, 이온화 가스는 액정 셀의 표면에 대전된 정전기를 제전시키는 효과도 발휘하게 된다. 이온화 가스에 의해 액정 셀의 표면에서 들뜬 미립자는 진공 흡입기(46)로부터 제공된 진공압에 의해 개구부(43)를 통해 흡입되어 제거된다. 특히, 세정 헤드(42)는 컨베이어(10)의 양측을 가로질러 배치된 상태이므로, 이동되는 액정 셀 전체 표면에 묻은 모든 미립자를 제거하는 것이 가능하다.The base 55 is moved by the stepping motor so that the liquid crystal cell enters under the cleaning head 42. Nitrogen ionization gas is injected from each ionization gas injector 45 to the surface of the liquid crystal cell through the opening 43. Since the ionization gas is guided by the inclined surface 44, it is injected at an acute angle to the surface of the liquid crystal cell. Therefore, the fine particles deposited on the surface of the liquid crystal cell can be lifted from the surface more easily than the vertical injection. In addition, the ionization gas also exhibits the effect of static electricity charged on the surface of the liquid crystal cell. Particulates excited at the surface of the liquid crystal cell by the ionization gas are sucked out through the opening 43 by the vacuum pressure provided from the vacuum inhaler 46 and removed. In particular, since the cleaning head 42 is disposed across both sides of the conveyor 10, it is possible to remove all fine particles from the entire surface of the liquid crystal cell being moved.

아울러, 세정 헤드(42)는 액정 셀에 따라 그의 높이가 조정된다. 즉, 고정 볼트(48)를 풀고, 또한 양측 높이 조정 볼트(49b)도 푼 후, 양측 중앙 높이 조정 볼트(49a)를 조이거나 풀게 되면, 세정 헤드(42)가 홈부(41a)내에서 상승 또는 하강하게 되므로써, 그의 높이를 원하는 위치로 설정할 수가 있게 된다.In addition, the height of the cleaning head 42 is adjusted according to the liquid crystal cell. That is, when the fixing bolt 48 is loosened and both side height adjustment bolts 49b are also loosened and both center height adjustment bolts 49a are tightened or loosened, the cleaning head 42 is raised or raised in the groove portion 41a. By descending, the height can be set to a desired position.

세정이 완료된 액정 셀은 포크 유니트(60)에서 정지되고, 공압 실린더(62)에 의해 상승되는 스테이지(61)상에 안치된다. 동시에, 각 정렬 부재(64)가 공압 실린더(65)에 의해 안쪽으로 이동되므로써, 액정 셀이 정렬된다. 스텝핑 모터에 의해 포크(63)가 카세트(70)측으로 전진하여, 액정 셀을 카세트(70)의 슬로트내에 끼워서 수납시키게 된다. 카세트(70)는 공압 실린더(71)에 의해 일정 피치씩 하강되어서, 액정 셀이 각 슬로트마다 하나씩 수납되어진다.After the cleaning is completed, the liquid crystal cell is stopped at the fork unit 60 and placed on the stage 61 lifted by the pneumatic cylinder 62. At the same time, each alignment member 64 is moved inward by the pneumatic cylinder 65, so that the liquid crystal cell is aligned. The fork 63 is advanced toward the cassette 70 by the stepping motor, so that the liquid crystal cell is inserted into the slot of the cassette 70 and accommodated therein. The cassette 70 is lowered by a predetermined pitch by the pneumatic cylinder 71, so that one liquid crystal cell is stored for each slot.

한편, 액정 셀의 모델 변경에 의해 크기, 즉 좌우폭이 변경되면, 이에 따라 컨베이어(10)의 폭도 변경시킨다. 즉, 양측 조정 핸들(14)를 돌리면, 리드 스크류(13)로 직접 또는 타이밍 벨트(15)를 통해 간접적으로 조정 핸들(14)의 조작력이 전달되므로써, 각 리드 스크류(13)가 정위치에서 회전된다. 따라서, 리드 스크류(13)의 회전 방향에 따라 컨베이어(10)가 오므려지거나 또는 벌어지게 되므로써, 액정 셀의 폭에 맞게 컨베이어(10)간의 간격이 조정된다.On the other hand, if the size, i.e., the left and right width, is changed by the model change of the liquid crystal cell, the width of the conveyor 10 is changed accordingly. That is, when both adjustment handles 14 are rotated, the operation force of the adjustment handle 14 is transmitted to the lead screw 13 directly or indirectly through the timing belt 15, so that each lead screw 13 rotates in position. do. Therefore, the conveyor 10 is pinched or opened according to the rotation direction of the lead screw 13, so that the distance between the conveyors 10 is adjusted to match the width of the liquid crystal cell.

상기된 바와 같이 본 발명에 의하면, 세정 유니트에서 액정 셀의 가장자리 뿐만 아니라 전체 표면에 묻은 미립자를 제거할 수가 있게 되므로써, 미립자가 계속 상존되어 액정 셀의 불량을 야기시키는 것이 방지된다.According to the present invention as described above, the cleaning unit can remove not only the edges of the liquid crystal cell but also the fine particles on the entire surface, whereby the fine particles continue to be present, thereby preventing the liquid crystal cell from failing.

또한, 카메라가 액정 셀의 ID를 촬영하여 컨트롤러로 전송하게 되므로써, 액정 셀의 양불 여부가 정확하게 이루어져서, 불량 액정 셀이 카세트에 수납되거나 또는 정상 액정 셀이 더미 박스에 적재되어 폐기 처분 또는 보수되는 사태도 방지된다.In addition, since the camera captures the ID of the liquid crystal cell and transmits the ID to the controller, whether or not the liquid crystal cell is correctly made or not, the defective liquid crystal cell is stored in the cassette, or the normal liquid crystal cell is placed in the dummy box and disposed of or repaired. Is also prevented.

아울러, 각 액정 셀은 포크 유니트에 의해 카세트에 자동적으로 수납되므로써, 액정 셀이 카세트의 슬로트에 긁히거나 또는 충돌로 파손되는 것도 방지된다.In addition, since each liquid crystal cell is automatically stored in the cassette by the fork unit, the liquid crystal cell is prevented from being scratched or crashed into the slot of the cassette.

특히, 본 발명의 컨베이어는 좌우폭 조정이 가능하므로, 여러 가지 크기의 액정 셀에 효과적으로 대응할 수가 있게 된다.In particular, the conveyor of the present invention can adjust the left and right width, it is possible to effectively cope with the liquid crystal cells of various sizes.

한편, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능할 것이다.On the other hand, the present invention is not limited to the above-described specific preferred embodiments, and various changes can be made by those skilled in the art without departing from the gist of the invention claimed in the claims. will be.

Claims (14)

입구측으로부터 개개로 절단되어 양불 테스트가 실시된 액정 셀이 반입되고, 출구측에는 정상으로 판정된 액정 셀이 수납되는 카세트가 배치된 컨베이어;A conveyor in which a liquid crystal cell which has been individually cut from the inlet side and subjected to a quantitative test has been carried in, and a cassette in which the liquid crystal cell determined to be normal is housed on the outlet side; 상기 컨베이어의 입구측에 설치되어, 상기 액정 셀을 컨베이어상으로 안착시키는 반입 유니트;An import unit installed at an inlet side of the conveyor to seat the liquid crystal cell on the conveyor; 상기 반입 유니트에 안치된 액정 셀의 고유번호를 촬영하여, 촬영된 영상을 테스트 결과가 입력된 컨트롤러로 전송하여, 정상 액정 셀과 불량 액정 셀을 분류하도록 하는 카메라 유니트;A camera unit which photographs a unique number of the liquid crystal cell placed in the import unit, and transmits the photographed image to a controller in which a test result is input to classify a normal liquid crystal cell and a bad liquid crystal cell; 상기 카메라 유니트에서 정상으로 판정되어 상기 컨베이어를 타고 반송되는 액정 셀의 표면에 상기 절단 공정 중에 묻은 미립자를 제거하는 세정 유니트; 및A cleaning unit which removes the fine particles from the camera unit during the cutting process on the surface of the liquid crystal cell which is determined to be normal and conveyed on the conveyor; And 상기 컨베이어의 출구측에 배치되어, 상기 세정 유니트에서 세정이 완료된 액정 셀을 상기 카세트에 수납시키는 포크 유니트를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 셀 세정 및 반송 시스템.And a fork unit disposed at the exit side of the conveyor to accommodate the liquid crystal cell having been cleaned in the cleaning unit in the cassette. 제 1 항에 있어서, 상기 컨베이어의 입구 및 출구 각각의 중앙에 홀더가 배치되고, 상기 홀더는 컨베이어의 이동 방향과 직교하는 양측 방향을 따라 한 쌍의 지지축을 가지며, 상기 각 지지축에 리드 스크류의 일단이 삽입되어 상기 리드 스크류가 정위치에서 회전되고, 상기 각 리드 스크류는 컨베이어에 나사결합되어 그의 회전 방향에 따라 컨베이어가 오므려지거나 또는 벌어져서 컨베이어의 폭이 조정되며, 상기 컨베이어에서 돌출된 각 리드 스크류의 타단에 리드 스크류를 회전시키기 위한 조정 핸들이 설치된 것을 특징으로 하는 액정 셀 세정 및 반송 시스템.2. A holder according to claim 1, wherein a holder is disposed at the center of each of the inlet and the outlet of the conveyor, and the holder has a pair of support shafts in both directions perpendicular to the direction of movement of the conveyor, One end is inserted so that the lead screw is rotated in position, and each lead screw is screwed to the conveyor so that the width of the conveyor is adjusted by pinching or spreading the conveyor according to the direction of rotation thereof, and each lead protruding from the conveyor. And a control handle for rotating the lead screw on the other end of the screw. 제 2 항에 있어서, 상기 조정 핸들은 컨베이어의 입구측 또는 출구측에 배치된 리드 스크류에만 설치되고, 상기 조정 핸들이 설치되지 않은 다른 리드 스크류의 타단은 조정 핸들이 설치된 리드 스크류의 타단과 타이밍 벨트로 연결된 것을 특징으로 하는 액정 셀 세정 및 반송 시스템.The timing belt according to claim 2, wherein the adjustment handle is installed only on a lead screw disposed at the inlet side or the outlet side of the conveyor, and the other end of the other lead screw without the adjustment handle is disposed at the other end of the lead screw on which the adjustment handle is installed. Liquid crystal cell cleaning and conveying system, characterized in that connected to. 제 3 항에 있어서, 상기 조정 핸들과 리드 스크류의 연결부에 밸런스 웨이트가 상기 컨베이어의 길이 방향과 평행하게 설치된 것을 특징으로 하는 액정 셀 세정 및 반송 시스템.The liquid crystal cell cleaning and conveyance system according to claim 3, wherein a balance weight is provided in parallel with a lengthwise direction of the conveyor at a connection portion of the adjustment handle and the lead screw. 제 1 항에 있어서, 상기 반입 유니트는The method of claim 1, wherein the import unit 액정 셀이 안치되고, 상기 컨베이어의 사이를 통해서 컨베이어의 밑으로 하강될 정도의 크기를 갖는 스테이지; 및A stage in which a liquid crystal cell is placed, the stage being sized to descend below the conveyor through the conveyor; And 상기 스테이지를 승강시키는 공압 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 셀 세정 및 반송 시스템.And a pneumatic cylinder for elevating the stage. 제 5 항에 있어서, 상기 스테이지는 컨베이어의 입구측 방향이 개구된 ⊃자 형상인 것을 특징으로 하는 액정 셀 세정 및 반송 시스템.6. The liquid crystal cell cleaning and conveyance system according to claim 5, wherein the stage has a U-shape in which an inlet side direction of the conveyor is opened. 제 5 항에 있어서, 상기 스테이지에 안치된 액정 셀의 양측면을 밀어서 정렬시키는 한 쌍의 정렬 부재가 상기 컨베이어의 양측에 배치되고, 상기 각 정렬 부재는 컨베이어에 설치된 공압 실린더에 의해 이동되는 것을 특징으로 하는 액정 셀 세정 및 반송 시스템.The method of claim 5, wherein a pair of alignment members for pushing and aligning both sides of the liquid crystal cell placed on the stage is disposed on both sides of the conveyor, each alignment member is moved by a pneumatic cylinder installed on the conveyor Liquid crystal cell cleaning and conveying system. 제 1 항에 있어서, 상기 카메라 유니트는The method of claim 1, wherein the camera unit 상기 컨베이어의 양측에 배치된 한 쌍의 종축 로보트;A pair of longitudinal robots disposed at both sides of the conveyor; 상기 각 종축 로보트 사이를 가로질러 연결하여, 종축 로보트에 의해 승강되는 횡축 로보트; 및A transverse axis robot which is connected across each of the longitudinal axis robots and is elevated by the longitudinal axis robots; And 상기 횡축 로보트에 설치되어, 액정 셀의 고유번호를 촬영하여 상기 컨트롤러로 전송하는 카메라를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 셀 세정 및 반송 시스템.And a camera mounted on the horizontal robot and configured to photograph and transmit a unique number of the liquid crystal cell to the controller. 제 1 항에 있어서, 상기 세정 유니트는The method of claim 1, wherein the cleaning unit 상기 컨베이어의 양측에 배치된 한 쌍의 지지대;A pair of supports disposed on both sides of the conveyor; 상기 각 지지대 사이를 연결하고, 하부면에는 개구부가 형성된 세정 헤드;A cleaning head connected between the supports and having an opening formed at a lower surface thereof; 상기 세정 헤드의 내부 양측에 배치되어, 상기 개구부를 통해 액정 셀 표면으로 이온화 가스를 분사하여 액정 셀 표면에 묻은 미립자를 표면에서 들뜨게 하는 한 쌍의 이온화 가스 분사기;A pair of ionization gas injectors disposed at both inner sides of the cleaning head to spray ionization gas to the surface of the liquid crystal cell through the opening to lift particles from the surface of the liquid crystal cell; 상기 세정 헤드의 내부 중앙에 배치되어, 상기 이온화 가스에 의해 액정 셀 표면에서 들뜬 미립자를 진공압으로 흡입하는 진공 흡입기;A vacuum inhaler disposed at an inner center of the cleaning head to suck fine particles excited on the surface of the liquid crystal cell by the ionization gas at a vacuum pressure; 상기 세정 헤드의 연직 하부에 배치되어, 액정 셀이 안치되는 스테이지;A stage disposed below the cleaning head in a vertical direction, in which a liquid crystal cell is placed; 상기 스테이지를 세정 헤드의 하부면에 근접하게 위치되도록 상승시키는 공압 실린더;A pneumatic cylinder for raising the stage to be positioned proximate to the bottom surface of the cleaning head; 상기 공압 실린더를 컨베이어 이동 방향을 따라 이동시켜서, 액정 셀 전체 표면에 상기 이온화 가스가 분사되도록 하는 스텝핑 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 셀 세정 및 반송 시스템.And a stepping motor for moving the pneumatic cylinder along a conveyor moving direction to inject the ionizing gas onto the entire surface of the liquid crystal cell. 제 9 항에 있어서, 상기 각 지지대의 대향면에 세정 헤드의 양단이 끼워지는 홈부가 형성되고, 상기 홈부와 이어지는 장홈이 지지대의 외측면에 상하로 길게 형성되어, 상기 장홈을 통해 진입된 고정 볼트가 세정 헤드에 체결되어 세정 헤드를 장홈의 소정 위치에서 고정시키며, 상기 지지대의 상부면에는 홈부내로 진입된 상기 세정 헤드의 상부면에 체결되어 세정 헤드의 높이를 조정하는 높이 조정 볼트가 설치된 것을 특징으로 하는 액정 셀 세정 및 반송 시스템.10. The fixing bolt according to claim 9, wherein grooves into which both ends of the cleaning head are fitted are formed on opposite surfaces of the support, and a long groove connected to the groove is formed vertically long on an outer surface of the support, and is fixed through the long groove. Is fastened to the cleaning head to fix the cleaning head at a predetermined position of the long groove, and the height adjustment bolt which is fastened to the upper surface of the cleaning head entered into the groove to adjust the height of the cleaning head is installed on the upper surface of the support. A liquid crystal cell cleaning and conveying system characterized by the above-mentioned. 제 9 항에 있어서, 상기 세정 헤드의 하부면은 액정 셀 표면에 대해서 예각으로 경사지게 형성되어, 상기 각 이온화 가스 분사기에서 분사되는 이온화 가스가 액정 셀 표면에 경사지게 분사되는 것을 특징으로 하는 액정 셀 세정 및 반송 시스템.10. The liquid crystal cell cleaning of claim 9, wherein the lower surface of the cleaning head is formed to be inclined at an acute angle with respect to the surface of the liquid crystal cell, and the ionizing gas injected from each of the ionization gas injectors is inclined to be sprayed onto the surface of the liquid crystal cell. Conveying system. 제 9 항에 있어서, 상기 스테이지는The method of claim 9, wherein the stage 하부면에 수 개의 삽입부가 형성되고, 액정 셀을 진공으로 흡착하기 위한 진공 라인이 연결된 상판; 및A top plate having a plurality of inserts formed on a lower surface thereof, and having a vacuum line connected to vacuum the liquid crystal cell; And 상기 상판의 각 삽입부가 끼워지는 삽입홈이 상부면에 형성된 하판을 포함하여,Including a lower plate formed in the upper surface of the insertion groove into which the respective inserts of the upper plate, 액정 셀의 크기에 따라 상기 상판만을 교체하도록 구성된 것을 특징으로 하는 액정 셀 세정 및 반송 시스템.A liquid crystal cell cleaning and conveying system, configured to replace only the top plate according to the size of a liquid crystal cell. 제 1 항에 있어서, 상기 포크 유니트는The method of claim 1, wherein the fork unit 액정 셀이 안치되는 스테이지;A stage in which the liquid crystal cell is placed; 상기 스테이지를 승강시키는 공압 실린더;A pneumatic cylinder for elevating the stage; 상기 스테이지상에 카세트 방향으로 전후진 가능하게 배치되어, 상기 스테이지상에 안치된 액정 셀을 카세트에 수납시키는 포크; 및A fork disposed on the stage so as to be moved forward and backward in a cassette direction to accommodate a liquid crystal cell placed on the stage in a cassette; And 상기 포크를 전후진시키는 스텝핑 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 셀 세정 및 반송 시스템.And a stepping motor for advancing and retreating the fork. 제 13 항에 있어서, 상기 스테이지에 안치된 액정 셀의 양측면을 밀어서 정렬시키는 한 쌍의 정렬 부재가 상기 컨베이어의 양측에 배치되고, 상기 각 정렬 부재는 컨베이어에 설치된 공압 실린더에 의해 이동되는 것을 특징으로 하는 액정 셀 세정 및 반송 시스템.The method of claim 13, wherein a pair of alignment members for pushing and aligning both sides of the liquid crystal cell placed on the stage is disposed on both sides of the conveyor, each alignment member is moved by a pneumatic cylinder installed on the conveyor Liquid crystal cell cleaning and conveying system.
KR10-1999-0013846A 1999-04-19 1999-04-19 System for cleaning/transferring a LCD cell KR100375733B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-1999-0013846A KR100375733B1 (en) 1999-04-19 1999-04-19 System for cleaning/transferring a LCD cell

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-1999-0013846A KR100375733B1 (en) 1999-04-19 1999-04-19 System for cleaning/transferring a LCD cell

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20000066613A true KR20000066613A (en) 2000-11-15
KR100375733B1 KR100375733B1 (en) 2003-03-15

Family

ID=19580851

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-1999-0013846A KR100375733B1 (en) 1999-04-19 1999-04-19 System for cleaning/transferring a LCD cell

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100375733B1 (en)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100434783B1 (en) * 2001-09-06 2004-06-07 (주)넥스트인스트루먼트 Transfer and separation apparatus for LCD panel tray
KR100463186B1 (en) * 2002-01-24 2004-12-23 삼성에스디아이 주식회사 Cell Cleaning Device for Flat Panel Display
KR100490952B1 (en) * 2002-11-29 2005-05-19 (주)넥스트인스트루먼트 Display panel conveyer for multipurpose optics test having stage type
KR100789658B1 (en) * 2005-12-05 2008-01-02 에버테크노 주식회사 Apparatus for Inspecting LCD Module
KR100813026B1 (en) * 2001-09-22 2008-03-14 삼성전자주식회사 Apparatus for cleaning
KR101383045B1 (en) * 2012-06-27 2014-04-09 (주)유알시스 Cell insert system

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR0117113Y1 (en) * 1994-02-24 1998-04-27 문정환 Semiconductor tape and reel machine
KR200193859Y1 (en) * 1995-06-01 2000-09-01 김영환 Liquid crystal sell caset loading apparatus of polarization plate system

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100434783B1 (en) * 2001-09-06 2004-06-07 (주)넥스트인스트루먼트 Transfer and separation apparatus for LCD panel tray
KR100813026B1 (en) * 2001-09-22 2008-03-14 삼성전자주식회사 Apparatus for cleaning
KR100463186B1 (en) * 2002-01-24 2004-12-23 삼성에스디아이 주식회사 Cell Cleaning Device for Flat Panel Display
KR100490952B1 (en) * 2002-11-29 2005-05-19 (주)넥스트인스트루먼트 Display panel conveyer for multipurpose optics test having stage type
KR100789658B1 (en) * 2005-12-05 2008-01-02 에버테크노 주식회사 Apparatus for Inspecting LCD Module
KR101383045B1 (en) * 2012-06-27 2014-04-09 (주)유알시스 Cell insert system

Also Published As

Publication number Publication date
KR100375733B1 (en) 2003-03-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5232505A (en) Apparatus for the automatic casting, coating, varnishing, testing and sorting of workpieces
US5535873A (en) Article disposition apparatus
KR0165350B1 (en) Semiconductor wafer supply system
KR101424017B1 (en) Substrate inspection apparatus
JP2011017692A (en) Substrate storing container, and substrate inspection apparatus including the same
JPH09289241A (en) Wafer conveyor
JP2000321545A (en) Liquid crystal panel inspection apparatus
KR100375733B1 (en) System for cleaning/transferring a LCD cell
TWI571316B (en) Coating device
CN112051449A (en) Detection device and production line
JP3414491B2 (en) Board holding member and board appearance inspection apparatus using the same
CN110780470A (en) Conveying system
US7122399B2 (en) Size reduction of chip mounting system
KR100554444B1 (en) Intray laser marking system
TW201832313A (en) Alignment device
KR100622410B1 (en) Tft-lcd module assembly assembling apparatus and tft-lcd module assembly assembling method using the same
JPH08262091A (en) Inspection apparatus
JPH0936136A (en) Lead frame suction/holding device
KR101006449B1 (en) Distribution system for manufacturing liquid crystal display
JP3792868B2 (en) Substrate processing apparatus and substrate processing method
JP3758932B2 (en) Mounter board setting device and backup pin switching method
KR101115724B1 (en) Parts pre-bonding system for flat panel display
CN210923504U (en) Loading disc turnover detection system
JP3090585B2 (en) Bare chip continuity inspection device
JP2740580B2 (en) Appearance inspection device

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
N231 Notification of change of applicant
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
N231 Notification of change of applicant
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130107

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140116

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150116

Year of fee payment: 13

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170119

Year of fee payment: 15

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180118

Year of fee payment: 16

EXPY Expiration of term