JP2011017692A - Substrate storing container, and substrate inspection apparatus including the same - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a substrate storing container for improving productivity in a substrate inspection process, and also to provide a substrate inspection apparatus including the substrate storing container.SOLUTION: The substrate storing container M and the substrate inspection apparatus equipped with the same are individually equipped with a cassette that stores a plurality of substrates S stacked vertically, is loaded vertically to a housing, and matches with the size of a substrate to be inspected.

Description

本発明は、基板を収納する容器と、これを利用して基板をローディング、又はアンローディングする基板検査装置に関する。   The present invention relates to a container for storing a substrate, and a substrate inspection apparatus that loads or unloads a substrate using the container.

記憶装置（Ｍｅｍｏｒｙ）は、コンピュータ、通信システム、画像処理システム等で使われるデータや命令等を一時的に、又は永久的に保存するために使われ、代表的には、半導体、テープ、ディスク、光学方式等があるが、現在は、半導体メモリーが大部分を占めている。
メモリーを実際にシステムに使用する時は、モジュールとして生産される。モジュールは、１つの機能を有する素子の集合であり、印刷回路基板ＰＣＢの上に様々な半導体素子が搭載され、複数の接続ピンであるタップによってパネル等に連結され、タップの構造によってＳＩＭＭ（Ｓｉｎｇｌｅ Ｉｎ−ｌｉｎｅ Ｍｅｍｏｒｙ Ｍｏｄｕｌｅ）とＤＩＭＭ（Ｄｕａｌ Ｉｎ−ｌｉｎｅ Ｍｅｍｏｒｙ Ｍｏｄｕｌｅ）に区分される。このようなモジュールの生産では、印刷回路基板に部品素子を装着する前に、印刷回路基板に形成されたパターンの異常有無を確認する必要がある。 A storage device (Memory) is used to temporarily or permanently store data and instructions used in computers, communication systems, image processing systems, and the like. Typically, a semiconductor device, a tape, a disk, Although there are optical systems, etc., semiconductor memories occupy most of them at present.
When memory is actually used in a system, it is produced as a module. A module is a set of elements having one function. Various semiconductor elements are mounted on a printed circuit board PCB, and are connected to a panel or the like by taps that are a plurality of connection pins. It is divided into an in-line memory module (DIMM) and a dual in-line memory module (DIMM). In the production of such a module, it is necessary to check whether there is an abnormality in the pattern formed on the printed circuit board before mounting the component elements on the printed circuit board.

韓国特許第１０−０６８３２６５号公報Korean Patent No. 10-0683265

本発明は、上述の問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、基板検査工程の生産性を向上させることができる基板収納容器と、これを具備した基板検査装置を提供することにある。
なお、本発明の目的は、これに制限されず、言及しない他の目的は、以下の記載から当業者に明確に理解できる。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a substrate storage container capable of improving the productivity of the substrate inspection process and a substrate inspection apparatus including the substrate storage container. .
The object of the present invention is not limited to this, and other objects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

本発明の実施形態による基板収納容器は、上下方向に積層された複数の基板を収容し、上部が開放されたカセットと、前記カセットが垂直に積載されるスロットが複数形成されたハウジングと、を含むことを特徴とする。
上述したような構成を有する本発明による基板収納容器であって、前記ハウジングは、支持板と、前記支持板の上面に対向するように垂直に設置され、対向面に垂直する方向に前記スロットが突出された一対の第１側板と、を含むことができる。 A substrate storage container according to an embodiment of the present invention stores a plurality of substrates stacked in the vertical direction, and has a cassette with an open top and a housing with a plurality of slots in which the cassettes are stacked vertically. It is characterized by including.
The substrate storage container according to the present invention having the configuration as described above, wherein the housing is installed vertically so as to oppose the upper surface of the support plate and the support plate, and the slot extends in a direction perpendicular to the opposition surface. And a pair of protruding first side plates.

前記スロットは、前記第１側板の対向面の上の両側垂直エッジとの間の領域に提供されることができる。
前記ハウジングは、前記スロットの配列方向に垂直に提供され、前記第１側板の何れか一側の前記垂直エッジに結合される第２側板をさらに含むことができる。
前記ハウジングは、前記第１側板の何れか一側の前記垂直エッジから前記スロットの突出方向に突出された突出部をさらに含むことができる。
前記ハウジングは、前記第１側板を中心で対称を成すように前記支持板に設置される把持部をさらに含むことができる。
前記支持板には、前記支持板を固定するピン部材が挿入される第１ホールが貫通して形成されることができる。 The slot may be provided in a region between both vertical edges on the opposing surface of the first side plate.
The housing may further include a second side plate provided perpendicular to the slot arrangement direction and coupled to the vertical edge on either side of the first side plate.
The housing may further include a protrusion protruding in the protrusion direction of the slot from the vertical edge on one side of the first side plate.
The housing may further include a grip portion installed on the support plate so as to be symmetric about the first side plate.
The support plate may be formed with a first hole through which a pin member for fixing the support plate is inserted.

前記カセットは、前記ハウジングの前記スロットによって、支持される四角形形状の第１プレートと、前記スロットの長さ方向に向け、前記第１プレートのエッジから前記第１プレートに垂直する方向に延長される第２プレートと、前記第２プレートの下端から互いに対向する方向に延長され、前記基板を支持する第１下敷板と、を含むことができる。
前記カセットは、前記第１プレートの下端中心部から前記第１プレートに垂直する方向に延長され、前記基板を支持する第２下敷板をさらに含むことができる。
前記第１下敷板と前記第２下敷板との間の領域に対応する前記支持板状の位置には、前記基板を昇降させる昇降機構が挿入される第２ホールが形成されることができる。
前記カセットは、前記第２プレートの内面に互いに対向するように設置され、前記第１及び第２下敷板によって、支持される前記基板の側面を支持する側面支持部材をさらに含むことができる。
前記カセットは、前記第２プレートに対応する形状を有し、前記第１プレートと前記第２下敷板との間に脱着可能に提供される仕切り壁をさらに含むことができる。 The cassette is extended in a direction perpendicular to the first plate from the edge of the first plate toward the longitudinal direction of the slot with a rectangular first plate supported by the slot of the housing. A second plate and a first base plate extending from the lower end of the second plate in a direction facing each other and supporting the substrate may be included.
The cassette may further include a second underlaying plate that extends in a direction perpendicular to the first plate from a lower center portion of the first plate and supports the substrate.
A second hole into which an elevating mechanism for elevating the substrate is inserted may be formed at the support plate-like position corresponding to a region between the first underlay plate and the second underlay plate.
The cassette may further include a side support member that is installed to face the inner surface of the second plate and supports the side surface of the substrate supported by the first and second underlay plates.
The cassette may further include a partition wall having a shape corresponding to the second plate and provided detachably between the first plate and the second base plate.

本発明の実施形態による基板収納容器は、基板が上下方向に積層されるように前記基板を収容するカセットと、前記カセットこの受容される空間を有するハウジングと、を含み、各々の前記カセットは、前記ハウジングにスライド方式によって、移動して分離、及び挿入ができるように提供されることを特徴とする。   A substrate storage container according to an embodiment of the present invention includes a cassette for storing the substrate so that the substrates are stacked in a vertical direction, and a housing having the space for receiving the cassette. Each of the cassettes includes: The housing is provided to be movable, separated, and inserted by a sliding method.

上述したような構成を有する本発明による基板収納容器であって、前記ハウジングは、互いに対向するように離隔配置され、長さ方向が上下方向に向けるスロットが形成された一対の第１側板を含み、各々の前記カセットは、前記スロットによって、支持され、前記スロットに沿ってスライド移動可能な第１プレートと、前記第１プレートの両端に連結される第２プレートと、を含み、前記第１プレートと前記第２プレートとは、これらの間に提供された空間に前記基板が収納されるように提供されることができる。
前記第１プレートと前記第２プレートは、上部から見る時、互いに組合わせて、逆「コ」の字の形状に提供されることができる。
前記カセットは、前記第２プレートとの間に位置されて前記第２プレートとの間の空間を分離し、前記第１プレートに脱着可能に提供される仕切り壁をさらに含むことができる。
前記カセットは、前記第１側板の配置方向に垂直１第２方向に沿って一列に並べて位置するように提供されることができる。 In the substrate storage container according to the present invention having the above-described configuration, the housing includes a pair of first side plates that are spaced apart so as to face each other and in which a slot whose length direction is directed in the vertical direction is formed. Each cassette includes a first plate supported by the slot and slidable along the slot; and a second plate connected to both ends of the first plate, the first plate And the second plate may be provided such that the substrate is accommodated in a space provided therebetween.
The first plate and the second plate may be provided in an inverted “U” shape in combination with each other when viewed from above.
The cassette may further include a partition wall that is positioned between the second plate and separates a space between the cassette and the second plate and is detachably provided on the first plate.
The cassettes may be provided so as to be arranged in a line along a second direction perpendicular to a direction in which the first side plates are arranged.

本発明の実施形態による基板検査装置は、基板が収納された第１容器が置かれるローディング部と、前記ローディング部から伝えられる前記基板に光を照射して前記基板を検査する検査部と、前記検査部で検査された前記基板が収納される第２容器が置かれるアンローディング部と、を含み、前記第１及び第２容器は、上下方向に積層された複数の前記基板を収容し、上部が開放されたカセットと、前記カセットが垂直に積載されるスロットが形成されたハウジングと、を含むことを特徴とする。   A substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention includes a loading unit in which a first container storing a substrate is placed, an inspection unit that inspects the substrate by irradiating light to the substrate transmitted from the loading unit, and An unloading unit in which a second container in which the substrate inspected by the inspection unit is accommodated is placed, and the first and second containers accommodate a plurality of the substrates stacked in the vertical direction, and an upper portion And a housing having a slot in which the cassette is vertically stacked.

上述したような構成を有する本発明による基板検査装置において、支持板と、前記支持板の上面に対向するように垂直に設置され、対向面に垂直する方向に前記スロットが突出された一対の第１側板と、を含むことができる。
前記スロットは、前記第１側板の対向面の上の両側垂直エッジとの間の領域に提供され、前記ハウジングは、前記スロットの配列方向に垂直に提供され、前記第１側板の何れか一側の前記垂直エッジに結合される第２側板と、前記第１側板の何れか一側の前記垂直エッジから前記スロットの突出方向に突出された突出部部と、をさらに含むことができる。
前記カセットは、前記ハウジングの前記スロットによって、支持される四角形形状の第１プレートと、前記スロットの長さ方向に向け、前記第１プレートのエッジから前記第１プレートに垂直する方向に延長される第２プレートと、前記第２プレートの下端から互いに対向する方向に延長され、前記基板を支持する第１下敷板と、前記第１プレートの下端中心部から前記第１プレートに垂直する方向に延長され、前記基板を支持する第２下敷板と、を含むことができる。
前記カセットは、前記第２プレートの内面に互いに対向するように設置され、前記第１及び第２下敷板によって、支持される前記基板の側面を支持する側面支持部材をさらに含むことができる。
前記カセットは、前記第２プレートに対応する形状を有し、前記第１プレートと前記第２下敷板との間に脱着可能に提供される仕切り壁をさらに含むことができる。
前記支持板には、前記支持板を固定するピン部材が挿入される第１ホールが貫通して形成されることができる。
前記第１下敷板と前記第２下敷板との間の領域に対応する前記支持板状の位置には、前記基板を昇降させる昇降機構が挿入される第２ホールが形成されることができる。 In the substrate inspection apparatus according to the present invention having the above-described configuration, a support plate and a pair of first protrusions that are vertically installed so as to face the upper surface of the support plate and in which the slot projects in a direction perpendicular to the opposite surface. 1 side plate.
The slot is provided in a region between the vertical edges on both sides of the opposing surface of the first side plate, and the housing is provided perpendicular to the arrangement direction of the slots, and one side of the first side plate is provided. A second side plate coupled to the vertical edge of the first side plate, and a protruding portion protruding in the protruding direction of the slot from the vertical edge on one side of the first side plate.
The cassette is extended in a direction perpendicular to the first plate from the edge of the first plate toward the longitudinal direction of the slot with a rectangular first plate supported by the slot of the housing. The second plate, extended from the lower end of the second plate in a direction facing each other, and extends from the center of the lower end of the first plate in a direction perpendicular to the first plate. And a second base plate that supports the substrate.
The cassette may further include a side support member that is installed to face the inner surface of the second plate and supports the side surface of the substrate supported by the first and second underlay plates.
The cassette may further include a partition wall having a shape corresponding to the second plate and provided detachably between the first plate and the second base plate.
The support plate may be formed with a first hole through which a pin member for fixing the support plate is inserted.
A second hole into which an elevating mechanism for elevating the substrate is inserted may be formed at the support plate-like position corresponding to a region between the first underlay plate and the second underlay plate.

前記ローディング部は、検査される基板が収納された前記第１容器が置かれ、一列に配置される複数の第１搬入ポート、空の前記第１容器が置かれ、前記第１搬入ポートと並べて一列に配置される複数の第１搬出ポートと、前記第１搬入ポートと前記第１搬出ポートとの間に配置され、前記検査部へ伝えられる基板が収納された前記第１容器が置かれる工程ポートと、前記第１搬入ポートとの間、前記工程ポートと前記工程ポートに隣接する前記第１搬入ポート及び前記第１搬出ポートとの間、そして前記第１搬出ポートとの間に前記第１容器を伝達するローディングロボットと、を含むことができる。
前記ローディング部は、前記工程ポートの下に配置され、前記工程ポートに置かれた前記第１容器に収納された前記基板を昇降させる昇降機構をさらに含み、前記昇降機構は、長さ方向が上下方向に向け、前記第１容器の前記支持板に貫通して形成されたホールに整列される昇降ロードと、前記昇降ロードを上下方向に直線駆動させる昇降駆動部材と、を含むことができる。
前記ローディング部と前記検査部との間に配置され、前記基板を整列する整列部と、前記ローディング部から前記整列部へ前記基板を移送する基板移送ロボットと、をさらに含み、前記整列部は、前記基板移送ロボットによって、伝えられる前記基板が置かれる整列テーブルと、前記整列テーブルに置かれた前記基板の第１方向に向ける第１側面を加圧して前記基板を整列する第１整列機構と、前記整列テーブルに置かれた前記基板の前記第１方向に垂直１第２方向に向ける第２側面を加圧して前記基板を整列する第２整列機構と、を含むことができる。
前記第１整列機構は、長さ方向が前記第２方向に向け、前記第１方向に離隔され、互いに近づく方向へ移動可能な１対の第１整列ロードを含むことができる。
前記第１整列機構は、長さ方向が前記第２方向に向け、前記第１整列ロードの間に位置し、前記第１整列ロードに向かって互いに遠ざかる方向へ移動可能な１対の第２整列ロードをさらに含むことができる。
前記第２整列ロードの互いに対向する面には、突出部が形成され、前記第２整列ロードは、前記突出部が交互されるように互いに隣接するように配置されることができる。
前記基板の前記第１側面を加圧する加圧突起部が前記突出部の下面に形成されることができる。
前記第１整列ロードと前記第２整列ロードとは、前記第１方向に沿って並べて複数に配置されることができる。 The loading unit has the first container in which the substrates to be inspected are stored, a plurality of first carry-in ports arranged in a row, and the empty first container placed, and arranged side by side with the first carry-in port. A step of placing a plurality of first carry-out ports arranged in a row, and the first container in which a substrate that is arranged between the first carry-in port and the first carry-out port and is transferred to the inspection unit is stored. Between the first port and the first carry-in port, between the process port and the first carry-in port and the first carry-out port adjacent to the process port, and between the first carry-out port. And a loading robot for transmitting the container.
The loading unit further includes an elevating mechanism that is disposed below the process port and elevates and lowers the substrate stored in the first container placed in the process port. An elevating load aligned with a hole formed through the support plate of the first container toward the direction, and an elevating drive member that linearly drives the elevating load in the vertical direction.
An alignment unit disposed between the loading unit and the inspection unit and configured to align the substrates; and a substrate transfer robot configured to transfer the substrate from the loading unit to the alignment unit. An alignment table on which the substrate to be transmitted is placed by the substrate transfer robot; and a first alignment mechanism that pressurizes a first side surface of the substrate placed on the alignment table in a first direction and aligns the substrate. A second alignment mechanism that pressurizes a second side surface of the substrate placed on the alignment table and that is oriented in a first direction perpendicular to the first direction and aligns the substrate.
The first alignment mechanism may include a pair of first alignment loads that are movable in a direction in which their length directions are in the second direction and are spaced apart in the first direction and approach each other.
The first alignment mechanism has a pair of second alignments whose length direction is in the second direction, located between the first alignment loads, and movable in a direction away from each other toward the first alignment load. A load can further be included.
Protrusions may be formed on opposite surfaces of the second alignment load, and the second alignment loads may be disposed adjacent to each other such that the protrusions are alternated.
A pressure protrusion that pressurizes the first side surface of the substrate may be formed on a lower surface of the protrusion.
The first alignment load and the second alignment load may be arranged in a plurality along the first direction.

前記検査部は、前記基板の下面を検査する第１検査部と、前記基板の上面を検査する第２検査部を含み、前記第１検査部と前記第２検査部は、一列に並べて配置されることができる。
前記第１検査部は、前記整列テーブルに置かれた前記基板の上面を真空吸着する第１吸着テーブルと、前記第１吸着テーブルを直線移動させる第１移送ロボットと、前記第１吸着テーブルの下に配置されて、前記第１移送ロボットによって、移動する前記基板の下面に光を照射する第１照明機構と、前記第１照明機構の光が照射される前記基板の下面を撮影する第１撮影機構と、を含むことができる。
前記第１検査部は、前記整列部と前記第１照明機構との間に配置され、前記第１移送ロボットによって、移動する前記基板の下面と接触して前記基板の下面の異質物をクリーニングする第１基板クリーニングローラをさらに含むことができる。
前記第２検査部は、前記第１吸着テーブルの下に位置し、前記第１吸着テーブルに吸着された前記基板を伝達を受けて前記基板の下面を真空吸着する第２吸着テーブルと、前記第２吸着テーブルを直線移動させる第２移送ロボットと、前記第２吸着テーブルの上部に配置されて、前記第２移送ロボットによって、移動する前記基板の上面に光を照射する第２照明機構と、前記第２照明機構の光が照射される前記基板の上面を撮影する第２撮影機構と、を含むことができる。
前記第２検査部は、前記第１検査部と前記第２照明機構との間に配置され、前記第２移送ロボットによって、移動する前記基板の上面と接触して前記基板対面の異質物をクリーニングする第２基板クリーニングローラをさらに含むことができる。
前記第１及び第２検査部の検査結果によって前記基板を良品と不良品とに分類して前記アンローディング部に置かれた前記第２容器に選別積載する分類−積載ロボットをさらに含むことができる。 The inspection unit includes a first inspection unit that inspects the lower surface of the substrate and a second inspection unit that inspects the upper surface of the substrate, and the first inspection unit and the second inspection unit are arranged in a line. Can.
The first inspection unit includes a first suction table that vacuum-sucks the upper surface of the substrate placed on the alignment table, a first transfer robot that linearly moves the first suction table, and a lower part of the first suction table. A first illumination mechanism configured to irradiate light to the lower surface of the moving substrate and a lower surface of the substrate irradiated with light from the first illumination mechanism by the first transfer robot. A mechanism.
The first inspection unit is disposed between the alignment unit and the first illumination mechanism, and contacts the lower surface of the moving substrate by the first transfer robot to clean foreign substances on the lower surface of the substrate. A first substrate cleaning roller may be further included.
The second inspection unit is located under the first suction table, receives the substrate sucked by the first suction table, and vacuum-sucks the lower surface of the substrate, and the second suction table, A second transfer robot that linearly moves the two suction tables; a second illumination mechanism that is disposed above the second suction table and irradiates light onto the upper surface of the substrate that is moved by the second transfer robot; A second imaging mechanism that images the upper surface of the substrate irradiated with light from the second illumination mechanism.
The second inspection unit is disposed between the first inspection unit and the second illumination mechanism, and contacts the upper surface of the moving substrate by the second transfer robot to clean the foreign matter facing the substrate. A second substrate cleaning roller may further be included.
The apparatus may further include a classification-loading robot that classifies the substrates into non-defective products and defective products according to the inspection results of the first and second inspection units and selectively loads the substrates on the second container placed in the unloading unit. .

前記アンローディング部は、空の前記第２容器が置かれて、一列に配置される複数の第２搬入ポートと、前記第２搬入ポートと並べて一列に配置される複数の搬出ローラと、前記第２搬入ポートと前記搬出ローラとの間に配置され、前記分類−積載ロボットによって、移送される前記基板が収納される前記第２容器が置かれる積載ポートと、前記第２搬入ポート間、前記積載ポートと前記積載ポートに隣接する前記第２搬入ポート間に前記第２容器を伝達する第１アンローディングロボットと、前記積載ポートに置かれた前記第２容器を前記搬出ローラの上に伝達する第２アンローディングロボットと、を含むことができる。
前記複数の搬出ローラは、配列方向に沿って行くと、下へ傾くように配置されることができる。
前記アンローディング部は、前記積載ポートの下に配置され、前記積載ポートに置かれた前記第２容器に収納される前記基板を下降させる下降機構をさらに含み、前記下降機構は、長さ方向が上下方向に向け、前記第２容器の前記支持板に貫通して形成されたホールに整列される下降ロードと、前記下降ロードを上下方向に直線駆動させる下降駆動部材と、を含むことができる。 The unloading unit includes a plurality of second carry-in ports arranged in a row where the empty second container is placed, a plurality of carry-out rollers arranged in a row along with the second carry-in ports, and the first 2 between the carry-in roller and the carry-out roller, between the second carry-in port and the load port where the second container in which the substrate to be transferred is stored by the classification-loading robot is placed. A first unloading robot that transmits the second container between the port and the second loading port adjacent to the loading port; and a second unloading robot that transmits the second container placed on the loading port onto the unloading roller. 2 unloading robots.
The plurality of carry-out rollers may be disposed so as to be inclined downward along the arrangement direction.
The unloading unit further includes a lowering mechanism that is disposed below the loading port and lowers the substrate stored in the second container placed in the loading port. The lowering mechanism has a length direction. A downward load aligned in a hole formed through the support plate of the second container in the vertical direction and a downward driving member that linearly drives the downward load in the vertical direction may be included.

本発明によれば、検査対象基板の大きさに適合したカセットを個別的に具備し、これを利用して基板検査装置に基板をローディングすることによって、基板検査工程の生産性を向上させることができる。   According to the present invention, it is possible to improve the productivity of the substrate inspection process by individually providing cassettes suitable for the size of the substrate to be inspected and using this to load the substrate into the substrate inspection apparatus. it can.

本発明の実施形態による光学検査装置の平面図である。It is a top view of the optical inspection apparatus by the embodiment of the present invention. 図１の光学検査装置の側面図である。It is a side view of the optical inspection apparatus of FIG. 容器の斜視図である。It is a perspective view of a container. 図３の容器の平面図である。It is a top view of the container of FIG. カセットが分離された状態の容器を示す図である。It is a figure which shows the container of the state from which the cassette was isolate | separated. 他の実施形態によるカセットの斜視図である。It is a perspective view of the cassette by other embodiment. 図１のローディング部の拡大図である。It is an enlarged view of the loading part of FIG. 図７のローディング部の側面図である。It is a side view of the loading part of FIG. ローディングロボットの動作状態を示す図である。It is a figure which shows the operation state of a loading robot. ローディングロボットの動作状態を示す図である。It is a figure which shows the operation state of a loading robot. ローディングロボットの動作状態を示す図である。It is a figure which shows the operation state of a loading robot. ローディングロボットの動作状態を示す図である。It is a figure which shows the operation state of a loading robot. 基板搬送ロボットの正面図である。It is a front view of a substrate transfer robot. 図１０の吸着部材の側面図である。It is a side view of the adsorption | suction member of FIG. 整列部の平面図である。It is a top view of an alignment part. 図１２の整列部の側面図である。It is a side view of the alignment part of FIG. 図１２の整列部の正面図である。It is a front view of the alignment part of FIG. 整列部の動作状態を示す図である。It is a figure which shows the operation state of the alignment part. 図１５の整列ロードを拡大して示す図である。It is a figure which expands and shows the alignment load of FIG. 図１５の整列ロードを拡大して示す図である。It is a figure which expands and shows the alignment load of FIG. 第１検査部の側面図である。It is a side view of a 1st test | inspection part. 図１７の第１基板クリーニングローラの拡大図である。FIG. 18 is an enlarged view of the first substrate cleaning roller of FIG. 17. 第２検査部の側面図である。It is a side view of a 2nd inspection part. 図１９の第２基板クリーニングローラの拡大図である。FIG. 20 is an enlarged view of the second substrate cleaning roller of FIG. 19. 分類−積載ロボットの側面図である。It is a side view of a classification-loading robot. 図１のアンローディング部の拡大図である。It is an enlarged view of the unloading part of FIG. 図２２のアンローディング部の側面図である。It is a side view of the unloading part of FIG.

以下、添付された図面を参照して本発明の望ましい実施形態による基板収納容器と、これを具備した基板検査装置について詳細に説明する。まず、各図面の構成要素に参照符号を付加することにおいて、同一構成要素に対しては、他の図面に表示されても可能なかぎり同一符号を有するようにしている。また、本発明の説明において、関連した公知構成、又は機能に対する具体的な説明が、本発明の要旨に関係しないと判断される場合には、その詳細な説明は、省略する。   Hereinafter, a substrate storage container according to a preferred embodiment of the present invention and a substrate inspection apparatus including the same will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First, by adding reference numerals to the constituent elements of each drawing, the same constituent elements have the same reference numerals as much as possible even if they are displayed in other drawings. Further, in the description of the present invention, when it is determined that a specific description of a related known configuration or function is not related to the gist of the present invention, a detailed description thereof is omitted.

図１は、本発明の実施形態による光学検査装置１の平面図であり、図２は、図１の光学検査装置１の側面図である。
以下、図１の平面上での設備の配列方向を第１方向Ｉ、同一平面上での第１方向Ｉに垂直な方向を第２方向ＩＩ、そして、第１方向Ｉと第２方向ＩＩとに垂直な方向を第３方向ＩＩＩとする。 FIG. 1 is a plan view of an optical inspection apparatus 1 according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a side view of the optical inspection apparatus 1 of FIG.
Hereinafter, the arrangement direction of equipment on the plane of FIG. 1 is the first direction I, the direction perpendicular to the first direction I on the same plane is the second direction II, and the first direction I and the second direction II. A direction perpendicular to is defined as a third direction III.

光学検査装置１は、ＤＩＭＭ（Ｄｕａｌ Ｉｎ−ｌｉｎｅ Ｍｅｍｏｒｙ Ｍｏｄｕｌｅ）や、ＳＯ−ＤＩＭＭ（Ｓｍａｌｌ Ｏｕｔｌｉｎｅ Ｄｕａｌ Ｉｎ−ｌｉｎｅ Ｍｅｍｏｒｙ Ｍｏｄｕｌｅ）のようなメモリーモジュールの印刷回路基板（以下、‘基板’という）を検査する。
図１及び図２を参照すると、光学検査装置１は、ローディング部１００、基板搬送ロボット２００、整列部３００、第１及び第２検査部４００、５００、分類−積載ロボット６００、及びアンローディング部７００を含む。ローディング部１００とアンローディング部７００とは、長さ方向が第２方向ＩＩに向け、互いに平行に離隔配置される。整列部３００と、第１及び第２検査部４００、５００とは、ローディング部１００とアンローディング部６００との間に第１方向Ｉに沿って順次的に配置される。整列部３００は、ローディング部１００に隣接するように配置され、第２検査部５００は、アンローディング部７００に隣接するように配置され、第１検査部４００は、整列部３００と第２検査部５００との間に配置される。基板移送ロボット２００は、ローディング部１００と整列部３００との上部空間に配置され、分類−積載ロボット６００は、第２検査部５００とアンローディング部７００の上部空間に配置される。
ローディング部１００には、検査対象の基板Ｓが収納された容器Ｍが置かれる。基板搬送ロボット２００は、容器Ｍに収納された基板Ｓを整列部３００へ搬送する。整列部３００は、基板Ｓを整列する。第１検査部４００は、整列部３００から基板Ｓを受け取って、基板Ｓの下面に形成されたパターンの異常有無を検査する。第２検査部５００は、第１検査部４００から基板Ｓを受け取り、基板Ｓの上面に形成されたパターンの異常有無を検査する。分類−積載ロボット６００は、第１及び第２検査部４００、５００の検査結果によって基板Ｓを良品Ｓ１と不良品Ｓ２とに分類し、アンローディング部７００に置かれた容器Ｍ１、Ｍ２に基板を選別して積載する。アンローディング部７００は、容器Ｍ１、Ｍ２を外部へ搬出する。 The optical inspection apparatus 1 inspects a printed circuit board (hereinafter, referred to as a “board”) of a memory module such as a DIMM (Dual In-line Memory Module) or a SO-DIMM (Small Outline Dual In-line Memory Module). .
Referring to FIGS. 1 and 2, the optical inspection apparatus 1 includes a loading unit 100, a substrate transport robot 200, an alignment unit 300, first and second inspection units 400 and 500, a classification-loading robot 600, and an unloading unit 700. including. The loading unit 100 and the unloading unit 700 are spaced apart from each other in parallel in the length direction in the second direction II. The alignment unit 300 and the first and second inspection units 400 and 500 are sequentially disposed along the first direction I between the loading unit 100 and the unloading unit 600. The alignment unit 300 is disposed adjacent to the loading unit 100, the second inspection unit 500 is disposed adjacent to the unloading unit 700, and the first inspection unit 400 includes the alignment unit 300 and the second inspection unit. 500. The substrate transfer robot 200 is disposed in the upper space of the loading unit 100 and the alignment unit 300, and the classification-loading robot 600 is disposed in the upper space of the second inspection unit 500 and the unloading unit 700.
A container M in which a substrate S to be inspected is stored is placed on the loading unit 100. The substrate transport robot 200 transports the substrate S stored in the container M to the alignment unit 300. The alignment unit 300 aligns the substrates S. The first inspection unit 400 receives the substrate S from the alignment unit 300 and inspects whether there is an abnormality in the pattern formed on the lower surface of the substrate S. The second inspection unit 500 receives the substrate S from the first inspection unit 400 and inspects whether there is an abnormality in the pattern formed on the upper surface of the substrate S. The classification-loading robot 600 classifies the substrate S into a non-defective product S1 and a defective product S2 based on the inspection results of the first and second inspection units 400 and 500, and places the substrates in the containers M1 and M2 placed in the unloading unit 700. Sort and load. The unloading unit 700 carries out the containers M1 and M2 to the outside.

図３は、図１及び図２の容器Ｍ、Ｍ１、Ｍ２の斜視図であり、図４は、図３の容器の平面図であり、図５は、カセットが分離された状態の容器を示す図面である。図１及び図２のローディング部１００で使われる容器Ｍと、アンローディング部７００で使われる容器Ｍ１、Ｍ２とは、全て同一構造を有する。   3 is a perspective view of the containers M, M1, and M2 of FIGS. 1 and 2, FIG. 4 is a plan view of the container of FIG. 3, and FIG. 5 shows the container with the cassette separated. It is a drawing. The container M used in the loading unit 100 of FIGS. 1 and 2 and the containers M1 and M2 used in the unloading unit 700 all have the same structure.

図３乃至図５を参照すると、容器Ｍは、カセット１０とハウジング２０とを含む。カセット１０は、上下方向に積層された複数の基板を収容し、ハウジング２０に形成されたスロット２３ａ、２３ｂに垂直に積載される。カセット１０は、上部が開放された構造を有し、基板は、カセット１０の開放された上部を通じて搬出入できる。
ハウジング２０は、支持板２１を有する。支持板２１は、略四角形形状のプレートであり得り、支持板２１の上面には、一対の第１側板２２ａ、２２ｂが設置される。第１側板２２ａ、２２ｂは、四角形の形状のプレートであり、第１側板２２ａ、２２ｂは、支持板２１の上面に対向するように垂直に設置される。第１側板２２ａ、２２ｂの互いに対向する対向面、すなわち内面には、複数のスロット２３ａ、２３ｂが内面に垂直な方向に突出する。スロット２３ａ、２３ｂは、第１側板２２ａ、２２ｂに脱着できるように結合され、また、第１側板２２ａ、２２ｂに対して一体に形成される。
スロット２３ａ、２３ｂは、第１側板２２ａ、２２ｂの対向面上の両側垂直エッジとの間の領域に設置される。そして、第１側板２２ａ、２２ｂの何れか一側板の垂直エッジには、スロット２３ａ、２３ｂの配列方向に対して垂直に設置される第２側板２４が結合され、第１側板２２ａ、２２ｂの何れか一側板の垂直エッジには、スロット２３ａ、２３ｂの突出方向に突出部２５ａ、２５ｂが突出形成される。
支持板２１には、手作業による容器Ｍの移動の際に容器Ｍを把持できる把持部２６ａ、２６ｂが形成される。把持部２６ａ、２６ｂは、第１側板２２ａ、２２ｂを中心に、対称となるように支持板２１に設置される。そして、支持板２１には、支持板２１を固定するピン部材（図示せず）が挿入可能なように、第１ホール２７が貫通して形成される。例えば、第１ホール２７ａ、２７ｂは、支持板２１の対角線方向に沿って支持板２１のエッジに隣接した領域に形成される。
カセット１０は、第１プレート１１、第２プレート１２ａ、１２ｂ、第１下敷板１３ａ、１３ｂ、そして、第２下敷板１４を含む。第１プレート１１は、四角形形状のプレートであり、ハウジング２０のスロット２３ａ、２３ｂによって支持される。第２プレート１２ａ、１２ｂは、スロット２３ａ、２３ｂの長さ方向に向いた第１プレート１１のエッジから第１プレート１１に垂直な方向に延長され、第１下敷板１３ａ、１３ｂは、第２プレート１２ａ、１２ｂの下端から互いに対向する方向に延長される。第２下敷板１４は、第１プレート１１の下端の中心部から第１プレート１１に向けて垂直に延長される。
一方、ハウジング２０の支持板２１の上の第１下敷板１３ａ、１３ｂと第２下敷板１４との間の領域に対応する位置には、第２ホール２８が形成される。後述する昇降機構（図示せず）、及び下降機構（図示せず）は、第２ホール２８を通じて容器Ｍ内へ進入して基板を昇降、又は下降させる。
カセット１０に収納される基板は、ＤＩＭＭ（Ｄｕａｌ Ｉｎ−ｌｉｎｅ Ｍｅｍｏｒｙ Ｍｏｄｕｌｅ）や、ＳＯ−ＤＩＭＭ（Ｓｍａｌｌ Ｏｕｔｌｉｎｅ Ｄｕａｌ Ｉｎ−ｌｉｎｅ Ｍｅｍｏｒｙ Ｍｏｄｕｌｅ）のようなメモリーモジュールの印刷回路基板である。ＳＯ−ＤＩＭＭ用基板の長さは、ＤＩＭＭ用基板の長さより小さく、カセット１０は、これに対応できる構造を有しなければならない。このために、図５に示したＳＯ−ＤＩＭＭ用カセット１０は、仕切り壁１５を備える。仕切り壁１５は、第２プレート１２ａ、１２ｂに対応する形状を有し、第１プレート１１と第２下敷板１４との間に脱着できるように設置される。また、仕切り壁１５は、第１プレート１１と第２下敷板１４との間に一体型に固定される。
このような構造によって、長さが短いＳＯ−ＤＩＭＭ用基板は、第１下敷板１３ａと第２下敷板１４とによって支持でき、又は、第２下敷板１４と第１下敷板１３ｂとによって支持できる。すなわち、図５のカセット１０は、ＳＯ−ＤＩＭＭ用基板を２列に収納できる。
ＤＩＭＭ用基板の長さは、ＳＯ−ＤＩＭＭ用基板の長さより長く、図６のカセット１０’は、ＤＩＭＭ用基板が収納できるカセットである。ＤＩＭＭ用基板の両端の下面は、第１下敷板１３ａ、１３ｂによって支持され、ＤＩＭＭ用基板の中央部の下面は、第２下敷板１４によって支持できる。そして、図６のカセット１０’は、ＤＩＭＭ用基板の両端の側面を支持するための側面支持部材１６を備える。側面支持部材１６は、第２プレート１２ａ、１２ｂの内面に互いに対向するように設置される。側面支持部材１６は、第２プレート１２ａ、１２ｂの長さに対応する長さを有する直四角形の形状のプレート１６−１と、プレート１６−１の一面に突出形成された突起部１６−２を有する。突起部１６−２は、プレート１６−１の長さと同じように形成され、プレート１６−１の上に複数個提供される。 3 to 5, the container M includes a cassette 10 and a housing 20. The cassette 10 accommodates a plurality of substrates stacked in the vertical direction and is vertically stacked in slots 23 a and 23 b formed in the housing 20. The cassette 10 has a structure with an open top, and the substrate can be carried in and out through the open top of the cassette 10.
The housing 20 has a support plate 21. The support plate 21 may be a substantially rectangular plate, and a pair of first side plates 22 a and 22 b are installed on the upper surface of the support plate 21. The first side plates 22 a and 22 b are quadrangular plates, and the first side plates 22 a and 22 b are installed vertically so as to face the upper surface of the support plate 21. A plurality of slots 23a, 23b project in a direction perpendicular to the inner surface of the first side plates 22a, 22b facing each other, that is, the inner surfaces. The slots 23a and 23b are coupled to the first side plates 22a and 22b so as to be detachable, and are formed integrally with the first side plates 22a and 22b.
The slots 23a and 23b are installed in a region between both side vertical edges on the opposing surfaces of the first side plates 22a and 22b. Then, a second side plate 24 installed perpendicular to the arrangement direction of the slots 23a, 23b is coupled to the vertical edge of one side plate of the first side plates 22a, 22b, and any one of the first side plates 22a, 22b is connected. On the vertical edge of the one side plate, protrusions 25a and 25b are formed to protrude in the protruding direction of the slots 23a and 23b.
The support plate 21 is formed with gripping portions 26a and 26b that can grip the container M when the container M is moved manually. The grip portions 26a and 26b are installed on the support plate 21 so as to be symmetric with respect to the first side plates 22a and 22b. A first hole 27 is formed through the support plate 21 so that a pin member (not shown) for fixing the support plate 21 can be inserted. For example, the first holes 27 a and 27 b are formed in a region adjacent to the edge of the support plate 21 along the diagonal direction of the support plate 21.
The cassette 10 includes a first plate 11, second plates 12 a and 12 b, first underlay plates 13 a and 13 b, and a second underlay plate 14. The first plate 11 is a rectangular plate, and is supported by the slots 23 a and 23 b of the housing 20. The second plates 12a and 12b are extended from the edge of the first plate 11 facing the length direction of the slots 23a and 23b in a direction perpendicular to the first plate 11, and the first underlay plates 13a and 13b are the second plate It is extended from the lower end of 12a, 12b in the direction which mutually opposes. The second base plate 14 extends vertically from the center of the lower end of the first plate 11 toward the first plate 11.
On the other hand, a second hole 28 is formed at a position corresponding to a region between the first base plate 13 a, 13 b and the second base plate 14 on the support plate 21 of the housing 20. A lifting mechanism (not shown) and a lowering mechanism (not shown), which will be described later, enter the container M through the second hole 28 to raise or lower the substrate.
The substrate stored in the cassette 10 is a printed circuit board of a memory module such as a DIMM (Dual In-line Memory Module) or an SO-DIMM (Small Outline Dual In-line Memory Module). The length of the SO-DIMM substrate is smaller than the length of the DIMM substrate, and the cassette 10 must have a structure that can accommodate this. For this purpose, the SO-DIMM cassette 10 shown in FIG. 5 includes a partition wall 15. The partition wall 15 has a shape corresponding to the second plates 12 a and 12 b and is installed so as to be detachable between the first plate 11 and the second underlay plate 14. Further, the partition wall 15 is fixed integrally between the first plate 11 and the second underlay plate 14.
With such a structure, the short SO-DIMM substrate can be supported by the first underlay plate 13a and the second underlay plate 14, or can be supported by the second underlay plate 14 and the first underlay plate 13b. . That is, the cassette 10 of FIG. 5 can store SO-DIMM substrates in two rows.
The length of the DIMM substrate is longer than the length of the SO-DIMM substrate, and the cassette 10 ′ in FIG. 6 is a cassette that can accommodate the DIMM substrate. The lower surfaces of both ends of the DIMM substrate can be supported by the first underlay plates 13 a and 13 b, and the lower surface of the central portion of the DIMM substrate can be supported by the second underlay plate 14. The cassette 10 ′ in FIG. 6 includes side surface support members 16 for supporting the side surfaces at both ends of the DIMM substrate. The side support members 16 are installed on the inner surfaces of the second plates 12a and 12b so as to face each other. The side support member 16 includes a rectangular plate 16-1 having a length corresponding to the length of the second plates 12 a and 12 b, and a protrusion 16-2 protruding from one surface of the plate 16-1. Have. The protrusions 16-2 are formed in the same manner as the length of the plate 16-1, and a plurality of protrusions 16-2 are provided on the plate 16-1.

以下、上記のような構成を有する容器を利用して基板の検査工程を実施する基板検査装置に対して詳細に説明する。容器に収納される検査対象基板は、ＳＯ−ＤＩＭＭ用基板、又はＤＩＭＭ用基板であり、基板の種類によって他の種類のカセット１０、１０’を選択して使用しても良い。   Hereinafter, the substrate inspection apparatus that performs the substrate inspection process using the container having the above-described configuration will be described in detail. The inspection target substrate stored in the container is an SO-DIMM substrate or a DIMM substrate, and other types of cassettes 10, 10 'may be selected and used depending on the type of substrate.

図７は、図１のローディング部の拡大図である。そして、図８は、図７のローディング部の側面図である。図７及び図８を参照すると、ローディング部１００は、第１搬入ポート１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄ、第１搬出ポート１２０ａ、１２０ｂ、そして、工程ポート１３０を含む。第１搬入ポート１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄは、第２方向ＩＩに沿って、２列に配置され、第１搬入ポート１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄには、検査される基板が収納された第１容器Ｍが置かれる。第１搬出ポート１２０ａ、１２０ｂは、第１搬入ポート１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄと並べて第２方向ＩＩに沿って２列に配置され、第１搬入ポート１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄから所定の間隔で配置される。第１搬出ポート１２０ａ、１２０ｂには、空の第１容器Ｍが置かれる。工程ポート１３０は、第１搬入ポート１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄと第１搬出ポート１２０ａ、１２０ｂとの間に配置され、工程ポート１３０には、整列部３００へ搬送される基板が収納された第１容器Ｍが置かれる。   FIG. 7 is an enlarged view of the loading portion of FIG. FIG. 8 is a side view of the loading unit of FIG. 7 and 8, the loading unit 100 includes first carry-in ports 110a, 110b, 110c, and 110d, first carry-out ports 120a and 120b, and a process port 130. The first carry-in ports 110a, 110b, 110c, and 110d are arranged in two rows along the second direction II, and the first carry-in ports 110a, 110b, 110c, and 110d store the substrates to be inspected. One container M is placed. The first carry-out ports 120a and 120b are arranged in two rows along the second direction II along with the first carry-in ports 110a, 110b, 110c, and 110d, and are spaced from the first carry-in ports 110a, 110b, 110c, and 110d by a predetermined distance. It is arranged with. An empty first container M is placed in the first carry-out ports 120a and 120b. The process port 130 is disposed between the first carry-in ports 110a, 110b, 110c, and 110d and the first carry-out ports 120a and 120b. The process port 130 accommodates a substrate that is transported to the alignment unit 300. One container M is placed.

第１容器Ｍは、第１搬入ポート１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄの上から順次移動した後、工程ポート１３０に置かれ、収納された基板が全て整列部３００へ搬送されると、工程ポート１３０から順次第１搬出ポート１２０ａ、１２０ｂへ移動される。
第１搬入ポート１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄの下には、第１ローディングロボット１５０が配置され、第１搬出ポート１２０ａ、１２０ｂの下には、第２ローディングロボット１６０が配置される。第１ローディングロボット１５０は、第１搬入ポート１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄとの間、そして、工程ポート１３０に隣接する第１搬入ポート１１０ｄと工程ポート１３０との間に第１容器Ｍを搬送する。第２ローディングロボット１６０は、工程ポート１３０と工程ポート１３０に隣接する第１搬出ポート１２０ａとの間、そして、第１搬出ポート１２０ａ、１２０ｂとの間に第１容器Ｍを搬送する。 After the first container M is sequentially moved from above the first carry-in ports 110a, 110b, 110c, and 110d, the first container M is placed on the process port 130, and when all the stored substrates are transferred to the alignment unit 300, Are sequentially moved to the first carry-out ports 120a and 120b.
A first loading robot 150 is disposed below the first carry-in ports 110a, 110b, 110c, and 110d, and a second loading robot 160 is disposed below the first carry-out ports 120a and 120b. The first loading robot 150 conveys the first container M between the first carry-in ports 110a, 110b, 110c, and 110d and between the first carry-in port 110d adjacent to the process port 130 and the process port 130. . The second loading robot 160 transports the first container M between the process port 130 and the first carry-out port 120a adjacent to the process port 130 and between the first carry-out ports 120a and 120b.

第１ローディングロボット１５０は、第１搬入ポート１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄの開口部に対応する大きさの昇降板１５６を有する。昇降板１５６の上面には、第１容器Ｍの第１ホール２７ａ、２７ｂに挿入されるピン部材１５７が設置される。ピン部材１５７が第１ホール２７ａ、２７ｂに挿入されると、第１容器Ｍが昇降板１５６に固定される。昇降板１５６の下部には、昇降板１５６を上下方向へ移動させるシリンダー１５４が連結され、シリンダー１５４は、ガイドレール１４０の上でスライディングするスライダー１５２に固定される。スライダー１５２には、リニアモーター（図示せず）が内蔵され、スライダー１５２は、その他もシリンダー機構のような他の種類の駆動手段によってもスライディングできる。
第１ローディングロボット１５０が第１搬入ポート１１０ｄに置かれた第１容器Ｍを工程ポート１３０へ移動させる工程は、次の通りである。 The first loading robot 150 has a lifting plate 156 having a size corresponding to the openings of the first loading ports 110a, 110b, 110c, and 110d. A pin member 157 to be inserted into the first holes 27 a and 27 b of the first container M is installed on the upper surface of the elevating plate 156. When the pin member 157 is inserted into the first holes 27a and 27b, the first container M is fixed to the lifting plate 156. A cylinder 154 that moves the elevating plate 156 in the vertical direction is connected to the lower portion of the elevating plate 156, and the cylinder 154 is fixed to a slider 152 that slides on the guide rail 140. The slider 152 includes a linear motor (not shown), and the slider 152 can be slid by other types of driving means such as a cylinder mechanism.
The process in which the first loading robot 150 moves the first container M placed in the first carry-in port 110d to the process port 130 is as follows.

図９（ａ）乃至図９（ｄ）に示す通り、先ずシリンダー１５４が昇降板１５６を上側へ移動させ、第１搬入ポート１１０ｄに置かれた第１容器Ｍを昇降させる。以後、スライダー１５２がスライディングすることによって、昇降板１５６は、第２方向ＩＩへ移動し、スライダー１５２は、第１容器Ｍが工程ポート１３０の上部に位置するところまで第２方向ＩＩへ移動する。この状態で、シリンダー１５４が昇降板１５６を下降させることで、第１容器Ｍが工程ポート１３０に置かれる。
第２ローディングロボット１６０は、第１ローディングロボット１５０と同じ構造を有するので、これに対する詳細な説明は、省略する。ただし、説明されない符号１６２は、スライダー、１６４は、シリンダー、１６６は、昇降板である。
工程ポート１３０の下には、昇降機構１７０が配置される。昇降機構１７０は、工程ポート１３０に置かれた第１容器Ｍに収納された基板を昇降させる。昇降機構１７０は、長さ方向が上下方向に向かい、第１容器Ｍの支持板２１に形成された第２ホール２８に整列された昇降ロード１７２を有する。昇降ロード１７２は、昇降駆動部材１７４によって、上下方向に直線移動する。 As shown in FIGS. 9A to 9D, first, the cylinder 154 moves the lifting plate 156 upward to raise and lower the first container M placed in the first carry-in port 110d. Thereafter, as the slider 152 slides, the elevating plate 156 moves in the second direction II, and the slider 152 moves in the second direction II until the first container M is positioned above the process port 130. In this state, the cylinder 154 lowers the elevating plate 156 so that the first container M is placed in the process port 130.
Since the second loading robot 160 has the same structure as the first loading robot 150, detailed description thereof will be omitted. However, reference numeral 162 not described is a slider, 164 is a cylinder, and 166 is a lift plate.
Below the process port 130, an elevating mechanism 170 is disposed. The elevating mechanism 170 elevates and lowers the substrate stored in the first container M placed in the process port 130. The elevating mechanism 170 has an elevating load 172 aligned in the second hole 28 formed in the support plate 21 of the first container M, with the length direction extending in the vertical direction. The lifting load 172 is linearly moved in the vertical direction by the lifting drive member 174.

図１０は、基板搬送ロボットの正面図であり、図１１は、図１０の吸着部材の側面図である。   FIG. 10 is a front view of the substrate transfer robot, and FIG. 11 is a side view of the suction member of FIG.

図１０及び図１１を参照すると、基板搬送ロボット２００は、工程ポート１３０に置かれた第１容器Ｍから整列部３００に基板を搬送する。基板搬送ロボット２００は、工程ポート１３０と整列部３００の上部空間に第１方向Ｉに沿って水平に配置される水平支持台２１０を有する。水平支持台２１０には、ガイドレール２１２が提供され、ガイドレール２１２上には、スライダー２２０が設置される。スライダー２２０には、リニアモーター（図示せず）が装着され、リニアモーターの駆動によって、スライダー２２０がガイドレール２１２上でスライディングする。
スライダー２２０には、第３方向ＩＩＩ、すなわち上下方向に直線駆動力を提供する駆動部材２３０が設置される。駆動部材２３０には、長さ方向が第３方向ＩＩＩに向かう第１連結ロード２３２の一端が連結され、第１連結ロード２３２の他端には、長さ方向が第１方向Ｉに向かう第２連結ロード２３４が連結される。第２連結ロード２３４の上には、基板を吸着する複数の吸着部材２４０が設置される。吸着部材２４０各々は、長さ方向が第２方向ＩＩに向かう支持台２４２と、支持台２４２上に長さ方向に沿って一列に設置される吸着機構２４４を含む。支持台２４２の一端は、第２連結ロード２３４に連結される。吸着機構２４４は、負圧を作用させて基板を吸着する。
吸着部材２４０は、スライダー２２０のスライディングによってローディング部１００の工程ポート１３０と整列部３００の上部空間を移動できる。ローディング部１００の工程ポート１３０上部へ移動した吸着部材２４０は、駆動部材２３０によって下の方向へ移動し、工程ポート１３０に置かれた第１容器Ｍに収納される基板を吸着する。以後、吸着部材２４０は、駆動部材２３０によって、上の方向へ移動し、スライダー２００のスライディングによって、整列部３００の整列テーブル３１０の上部空間へ移動する。整列テーブル３１０の上部空間へ移動された吸着部材２４０は、駆動部材２３０によって、下の方向へ移動した後、基板に加えられた負圧を解除して整列テーブル３１０に基板をローディングする。 Referring to FIGS. 10 and 11, the substrate transport robot 200 transports the substrate from the first container M placed in the process port 130 to the alignment unit 300. The substrate transfer robot 200 includes a horizontal support table 210 disposed horizontally along the first direction I in the upper space of the process port 130 and the alignment unit 300. A guide rail 212 is provided on the horizontal support base 210, and a slider 220 is installed on the guide rail 212. A linear motor (not shown) is attached to the slider 220, and the slider 220 slides on the guide rail 212 by driving the linear motor.
The slider 220 is provided with a driving member 230 that provides a linear driving force in the third direction III, that is, the vertical direction. One end of a first connection load 232 whose length direction is in the third direction III is connected to the drive member 230, and a second direction whose length direction is in the first direction I is connected to the other end of the first connection load 232. A connecting load 234 is connected. On the second connection load 234, a plurality of suction members 240 that suck the substrate are installed. Each of the suction members 240 includes a support base 242 whose length direction is in the second direction II, and a suction mechanism 244 installed on the support base 242 in a line along the length direction. One end of the support base 242 is connected to the second connection load 234. The suction mechanism 244 sucks the substrate by applying a negative pressure.
The suction member 240 can move between the process port 130 of the loading unit 100 and the upper space of the alignment unit 300 by sliding the slider 220. The adsorption member 240 moved to the upper part of the process port 130 of the loading unit 100 is moved downward by the driving member 230 to adsorb the substrate stored in the first container M placed in the process port 130. Thereafter, the suction member 240 is moved upward by the driving member 230 and moved to the upper space of the alignment table 310 of the alignment unit 300 by sliding of the slider 200. The suction member 240 moved to the upper space of the alignment table 310 is moved downward by the driving member 230, and then the negative pressure applied to the substrate is released and the substrate is loaded onto the alignment table 310.

図１２は、整列部の平面図であり、図１３は、図１２の整列部の側面図であり、図１４は、図１２の整列部の正面図である。そして、図１５は、整列部の動作状態を示す図面であり、図１６（ａ）、及び図１６（ｂ）は、図１５の整列ロードを拡大して示す図面である。   12 is a plan view of the alignment unit, FIG. 13 is a side view of the alignment unit of FIG. 12, and FIG. 14 is a front view of the alignment unit of FIG. FIG. 15 is a diagram showing an operation state of the alignment unit, and FIGS. 16A and 16B are diagrams showing the alignment load of FIG. 15 in an enlarged manner.

図１２乃至図１６Ｂを参照すると、整列部３００は、整列テーブル３１０、第１整列機構３３０、そして、第２整列機構３７０を含む。基板搬送ロボット２００によって搬送された基板は、整列テーブル３１０に置かれる。第１整列機構３３０は、整列テーブル３１０に置かれた基板の縦方向、すなわち第１方向Ｉの両側面を加圧して基板を第１方向Ｉに整列する。第２整列機構３７０は、整列テーブル３１０に置かれた基板の横方向、すなわち第２方向ＩＩの両側面を加圧して基板を第２方向ＩＩに整列する。
整列テーブル３１０は、四角形の形状の板部材に提供されることができ、整列テーブル３１０は、下面に連結された垂直支持台３１３によって支持できる。垂直支持台３１３は、板部材で提供され、第２方向ＩＩに向かうように整列テーブル３１０のエッジ領域に連結する。垂直支持台３１０の下端は、板形状の水平支持台３１４に連結する。水平支持台３１４は、スライダー３２２の上に設置され、スライダー３２２は、長さ方向が第２方向ＩＩに向かうように提供されたガイド部材３２４に設置される。スライダー３２２は、ガイド部材３２４によって案内されて第２方向ＩＩにスライディングされる。
第１整列機構３３０は、一対の第１整列ロード３３１、３３３と一対の第２整列ロード３３５、３３６とを有する。第１整列ロード３３１、３３３は、長さ方向が第２方向ＩＩに向かい、第１方向Ｉに対して互いに離隔して配置される。第２整列ロード３３５、３３６は、長さ方向が第２方向ＩＩに向けて、第１整列ロード３３１、３３３のとの間に配置されることができる。第１整列ロード３３１、３３３は、モーター、及びベルト−フリーアセンブリーで構成される駆動部材３４０によって、互いに近づく方向へ移動できる。そして、第２整列ロード３３５、３３６は、シリンダー（図示せず）によって、第１整列ロード３３１、３３３に向かう方向へ移動できる。すなわち、第２整列ロード３３５は、第１整列ロード３３１に向かう方向へ移動して、第２整列ロード３３６は、第１整列ロード３３３に向かう方向へ移動できる。一方、第２整列ロード３３５、３３６は、別途のシリンダー（図示せず）によって、上下方向へ移動できる。
整列テーブル３１０へ搬送された基板が、長さが比較的長いＤＩＭＭ用印刷回路基板である場合、基板は、第１整列ロード３３１、３３３によって、第１方向Ｉに整列できる。この時、第２整列ロード３３５、３３６は、基板との干渉を避けるために、シリンダー（図示せず）によって、上側へ移動される。
整列テーブル３１０へ搬送された基板が、長さが比較的短いＳＯ−ＤＩＭＭ用印刷回路基板である場合、基板は、第１整列ロード３３１、３３３と第２整列ロード３３５、３３６とによって、第１方向Ｉに整列できる。第２整列ロード３３５、３３６は、シリンダー（図示せず）によって、下側へ移動される。そして、第１整列ロード３３１、３３３は、互いに近づく方向へ移動して、第２整列ロード３３５、３３６は、互いに遠ざかる方向へ移動する。結果的に、第１整列ロード３３１と第２整列ロード３３５とが互いに近づく方向へ移動して基板を整列し、第１整列ロード３３３と第２整列ロード３３６とが互いに近づく方向へ移動して基板を整列する。 Referring to FIGS. 12 to 16B, the alignment unit 300 includes an alignment table 310, a first alignment mechanism 330, and a second alignment mechanism 370. The substrate transported by the substrate transport robot 200 is placed on the alignment table 310. The first alignment mechanism 330 aligns the substrate in the first direction I by applying pressure to the longitudinal direction of the substrate placed on the alignment table 310, that is, both side surfaces in the first direction I. The second alignment mechanism 370 presses both sides of the substrate placed on the alignment table 310 in the lateral direction, that is, the second direction II, to align the substrate in the second direction II.
The alignment table 310 may be provided on a rectangular plate member, and the alignment table 310 may be supported by a vertical support base 313 connected to the lower surface. The vertical support base 313 is provided as a plate member, and is connected to the edge region of the alignment table 310 in the second direction II. The lower end of the vertical support base 310 is connected to a plate-shaped horizontal support base 314. The horizontal support base 314 is installed on the slider 322, and the slider 322 is installed on a guide member 324 provided such that the length direction is in the second direction II. The slider 322 is guided by the guide member 324 and is slid in the second direction II.
The first alignment mechanism 330 includes a pair of first alignment loads 331 and 333 and a pair of second alignment loads 335 and 336. The first alignment loads 331 and 333 are arranged in the length direction in the second direction II and spaced apart from each other in the first direction I. The second alignment loads 335 and 336 may be disposed between the first alignment loads 331 and 333 with the length direction in the second direction II. The first alignment loads 331 and 333 can be moved toward each other by a driving member 340 including a motor and a belt-free assembly. The second alignment loads 335 and 336 can be moved in a direction toward the first alignment loads 331 and 333 by a cylinder (not shown). That is, the second alignment load 335 can move in the direction toward the first alignment load 331, and the second alignment load 336 can move in the direction toward the first alignment load 333. On the other hand, the second alignment loads 335 and 336 can be moved in the vertical direction by a separate cylinder (not shown).
When the substrate transported to the alignment table 310 is a DIMM printed circuit board having a relatively long length, the substrate can be aligned in the first direction I by the first alignment loads 331 and 333. At this time, the second alignment loads 335 and 336 are moved upward by a cylinder (not shown) in order to avoid interference with the substrate.
When the substrate transported to the alignment table 310 is a printed circuit board for SO-DIMM having a relatively short length, the first alignment load 331 and 333 and the second alignment load 335 and 336 cause the substrate to be the first. Can be aligned in direction I. The second alignment loads 335 and 336 are moved downward by a cylinder (not shown). Then, the first alignment loads 331 and 333 move in a direction approaching each other, and the second alignment loads 335 and 336 move in a direction away from each other. As a result, the first alignment load 331 and the second alignment load 335 move toward each other to align the substrates, and the first alignment load 333 and the second alignment load 336 move toward each other to move the substrates. Align.

上記のような構成を有する第１整列ロード３３１、３３３と第２整列ロード３３５、３３６とは、第１方向Ｉに沿って並べて複数個が配置され、これは、基板検査装置で基板を搬送する容器Ｍの数に連動する。本実施形態の場合、ローディング部１００に容器Ｍが２列に置かれるために、第１整列ロード３３１、３３３と第２整列ロード３３５、３３６とは、２つ配置されることができる。ここで、図１５の説明されない符号３３２と３３４は、第１整列ロードであり、符号３３７、３３８は、第２整列ロードである。   A plurality of the first alignment loads 331 and 333 and the second alignment loads 335 and 336 having the above-described configuration are arranged along the first direction I, and the substrate is transferred by the substrate inspection apparatus. Interlocks with the number of containers M. In the present embodiment, since the containers M are placed in the loading unit 100 in two rows, two first alignment loads 331 and 333 and two second alignment loads 335 and 336 may be disposed. Here, reference numerals 332 and 334 not illustrated in FIG. 15 are first alignment loads, and reference numerals 337 and 338 are second alignment loads.

図１６（ａ）に示す通り、第１整列ロード３３１、３３２、３３３、３３４の中に整列テーブル３１０の中央部に対応する第１整列ロール３３３、３３４の下面には、基板の第１側面を加圧する加圧突起部３３３、３３４が突出形成される。
図１６（ｂ）に示す通り、第２整列ロード３３５、３３６の互いに対向する面には、突出部３３５−１、３３６−１が形成され、第２整列ロード３３５、３３６は、突出部３３５−１、３３６−１が交互されるように、互いに隣接するように配置される。そして、突出部３３５−１、３３６−１の下面には、基板の第１側面を加圧する加圧突起部３３５−２、３３６−２が形成される。
第１整列機構３３０、駆動部材３４０、そして、シリンダー（図示せず）は、直線駆動部材３５０によって、上下方向へ移動できる。そして、第１整列機構３３０、駆動部材３４０、シリンダー（図示せず）、及び直線駆動部材３５０は、整列テーブル３１０の下端部に固定設置される直線駆動部材３６０によって、第２方向ＩＩへ移動できる。直線駆動部材３５０は、第２方向ＩＩにスライディングするスライダー３５２に連結することができ、スライダー３５２は、整列テーブル３１０の下端に固定設置されたガイド部材３５４によって案内される。ガイド部材３５４の長さ方向は、第２方向ＩＩである。
図１４、及び図１５に示す通り、第２整列機構３７０は、複数の整列ピン３７２、３７４を有する。整列ピン３７２、３７４は、整列テーブル３１０に貫通して形成されたホール３１２に挿入され、整列テーブル３１０の対面から突出される。整列ピン３７２、３７４における１群の整列ピン３７２は、他の群の整列ピン３７２と反対方向に駆動される。すなわち、１群の整列ピン３７２は、第２方向ＩＩを基準として、整列テーブル３１０の先端部に向かう方向に駆動し、他の群の整列ピン３７４は、整列テーブル３１０の後端部に向かう方向に駆動する。
一群の整列ピン３７２は、第１整列板３７１に連結され、他の群の整列ピン３７４は、第２整列板３７３に連結される。第１整列板３７１は、第１スライド機構３７５ａに連結されて第２方向ＩＩに沿って整列テーブル３１０の先端部に向かう方向へ移動でき、第２整列板３７３は、第２スライド機構３７５ｂに連結して第２方向ＩＩに沿って整列テーブル３１０の後端部に向かう方向へ移動できる。そして、第１及び第２スライド機構３７５ａ、３７５ｂは、水平支持台３７６に設置され、水平支持台３７６は、シリンダー３７７によって、上下方向へ移動できる。 As shown in FIG. 16A, the first side surface of the substrate is placed on the lower surface of the first alignment rolls 333 and 334 corresponding to the center of the alignment table 310 in the first alignment loads 331, 332, 333 and 334. Pressurizing protrusions 333 and 334 to be pressed are formed to protrude.
As shown in FIG. 16B, protrusions 335-1 and 336-1 are formed on the mutually facing surfaces of the second alignment loads 335 and 336, and the second alignment loads 335 and 336 are connected to the protrusions 335-. 1, 336-1 are arranged adjacent to each other so as to alternate. And the pressurization projection parts 335-2 and 336-2 which pressurize the 1st side surface of a board | substrate are formed in the lower surface of protrusion part 335-1 and 336-1.
The first alignment mechanism 330, the drive member 340, and the cylinder (not shown) can be moved in the vertical direction by the linear drive member 350. The first alignment mechanism 330, the drive member 340, the cylinder (not shown), and the linear drive member 350 can be moved in the second direction II by the linear drive member 360 fixedly installed at the lower end of the alignment table 310. . The linear driving member 350 can be connected to a slider 352 that slides in the second direction II, and the slider 352 is guided by a guide member 354 fixedly installed at the lower end of the alignment table 310. The length direction of the guide member 354 is the second direction II.
As shown in FIGS. 14 and 15, the second alignment mechanism 370 includes a plurality of alignment pins 372 and 374. The alignment pins 372 and 374 are inserted into holes 312 formed through the alignment table 310 and protrude from the facing surface of the alignment table 310. One group of alignment pins 372 in the alignment pins 372 and 374 is driven in the opposite direction to the other groups of alignment pins 372. That is, the group of alignment pins 372 is driven in the direction toward the tip of the alignment table 310 with the second direction II as a reference, and the other group of alignment pins 374 is directed toward the rear end of the alignment table 310. To drive.
One group of alignment pins 372 is connected to the first alignment plate 371, and the other group of alignment pins 374 is connected to the second alignment plate 373. The first alignment plate 371 is connected to the first slide mechanism 375a and can move in the second direction II toward the tip of the alignment table 310. The second alignment plate 373 is connected to the second slide mechanism 375b. Thus, it can move in the direction toward the rear end of the alignment table 310 along the second direction II. The first and second slide mechanisms 375a and 375b are installed on a horizontal support base 376, and the horizontal support base 376 can be moved in the vertical direction by a cylinder 377.

図１７は、第１検査部の側面図であり、図１８は、図１７の第１基板クリーニングローラの拡大図である。第１検査部４００は、基板の下面を検査する。   FIG. 17 is a side view of the first inspection unit, and FIG. 18 is an enlarged view of the first substrate cleaning roller of FIG. The first inspection unit 400 inspects the lower surface of the substrate.

図２、図１７、及び図１８を参照すると、第１検査部４００は、第１吸着テーブル４１０、第１搬送ロボット４２０、４３０、第１照明機構４４０、そして、第１撮影機構４５０を含む。第１吸着テーブル４１０は、整列テーブル３１０の上部空間へ提供され、整列テーブル３１０に置かれた基板の上面を真空吸着する。第１搬送ロボット４２０、４３０は、第１吸着テーブル４１０を上下方向と水平方向に直線移動させる。シリンダー４２０は、第１吸着テーブル４１０の上面に連結し、第１吸着テーブル４１０を上下方向へ移動させる。シリンダー４２０は、水平駆動部材４３０に連結されて水平方向へ移動される。水平駆動部材４３０は、シリンダー４２０の上部に連結するスライダー４３２と、スライダー４３２がスライディングできるように設置される水平支持台４３４を有する。スライダー４３２には、リニアモーター（図示せず）が内蔵される。
第１照明機構４４０と第１撮影機構４５０とは、第１吸着テーブル４１０が移動する経路の下部に配置される。第１照明機構４４０は、基板上のパターン領域のイメージ獲得のために光を照射する照明機構４４２と、基板上の半田レジスター領域のイメージ獲得のための光を照射する照明機構４４４を含む。第１吸着テーブル４１０は、各々の照明機構４４２、４４４が独立して基板に光を照射することができるように水平方向に往復運動する。第１撮影機構４５０は、第１照明機構４４０の光が照射される基板の下面を撮影してパターン領域と半田レジスター領域のイメージを獲得する。
整列部３００と第１照明機構４４０との間には、基板をクリーニングする第１基板クリーニングローラ４６０が配置される。第１基板クリーニングローラ４６０は、上部ローラ４６２と下部ローラ４６４とを有する。上部ローラ４６２と下部ローラ４６４とは、回転軸が第２方向ＩＩに向かうように配置され、各々の回転軸は、第３方向ＩＩＩに整列される。上部ローラ４６２は、下部ローラ４６４の上側に配置される。上部ローラ４６２は、第１搬送ロボット４２０、４３０によって、移動する基板の下面に接触し、基板下面の異質物をクリーニングする。下部ローラ４６４は、上部ローラ４６２と接触し、上部ローラ４６２をクリーニングする。下部ローラ４６４は、基板のクリーニングの際には、上部ローラ４６２と接触し、基板クリーニングの後には、シリンダー４６６によって、下へ移動して上部ローラ４６２から離隔される。上部ローラ４６２、下部ローラ４６４、及びシリンダー４６６は、支持フレーム４６８によって支持される。 2, 17, and 18, the first inspection unit 400 includes a first suction table 410, first transport robots 420 and 430, a first illumination mechanism 440, and a first imaging mechanism 450. The first suction table 410 is provided to the upper space of the alignment table 310 and vacuum-sucks the upper surface of the substrate placed on the alignment table 310. The first transfer robots 420 and 430 linearly move the first suction table 410 in the vertical direction and the horizontal direction. The cylinder 420 is connected to the upper surface of the first suction table 410 and moves the first suction table 410 in the vertical direction. The cylinder 420 is connected to the horizontal driving member 430 and moved in the horizontal direction. The horizontal driving member 430 includes a slider 432 connected to the upper portion of the cylinder 420 and a horizontal support base 434 installed so that the slider 432 can slide. The slider 432 includes a linear motor (not shown).
The first illumination mechanism 440 and the first imaging mechanism 450 are disposed below the path along which the first suction table 410 moves. The first illumination mechanism 440 includes an illumination mechanism 442 that emits light to acquire an image of a pattern area on the substrate, and an illumination mechanism 444 that emits light to acquire an image of a solder register area on the substrate. The first suction table 410 reciprocates in the horizontal direction so that each of the illumination mechanisms 442 and 444 can independently irradiate the substrate with light. The first imaging mechanism 450 captures images of the pattern area and the solder register area by imaging the lower surface of the substrate irradiated with the light from the first illumination mechanism 440.
A first substrate cleaning roller 460 for cleaning the substrate is disposed between the alignment unit 300 and the first illumination mechanism 440. The first substrate cleaning roller 460 includes an upper roller 462 and a lower roller 464. The upper roller 462 and the lower roller 464 are disposed such that the rotation axis is directed in the second direction II, and each rotation axis is aligned in the third direction III. The upper roller 462 is disposed above the lower roller 464. The upper roller 462 is brought into contact with the lower surface of the moving substrate by the first transfer robots 420 and 430 and cleans foreign substances on the lower surface of the substrate. The lower roller 464 comes into contact with the upper roller 462 and cleans the upper roller 462. The lower roller 464 contacts the upper roller 462 when the substrate is cleaned, and is moved downward by the cylinder 466 and separated from the upper roller 462 after the substrate cleaning. The upper roller 462, the lower roller 464, and the cylinder 466 are supported by a support frame 468.

図１９は、第２検査部の側面図であり、図２０は、図１９の第２基板クリーニングローラの拡大図である。第２検査部５００は、基板の下面を検査する。   FIG. 19 is a side view of the second inspection unit, and FIG. 20 is an enlarged view of the second substrate cleaning roller of FIG. The second inspection unit 500 inspects the lower surface of the substrate.

図２、図１９、及び図２０を参照すると、第２検査部５００は、第２吸着テーブル５１０、第２搬送ロボット５２０、第２照明機構５３０、及び第２撮影機構５４０を含む。第２吸着テーブル５１０は、第１吸着テーブル４１０の下部空間に設置され、第１吸着テーブル４１０に吸着された基板を受け取って基板の下面を真空吸着する。第２搬送ロボット５２０は、第２吸着テーブル５１０を水平方向に直線移動させる。第２搬送ロボット５２０は、第２吸着テーブル５１０の下部に連結するスライダー５２２と、スライダー５２２がスライディングできるように設置される水平支持台５２４を有する。スライダー５２２には、リニアモーター（図示せず）が内蔵される。
第２照明機構５３０と第２撮影機構５４０とは、第２吸着テーブル５１０が移動する経路の上部に設置される。第２照明機構５３０は、基板上のパターン領域のイメージ獲得のための光を照射する照明機構５３２と、基板上の半田レジスター領域のイメージ獲得のための光を照射する照明機構５３４を含む。第２吸着テーブル５１０は、各々の照明機構５３２、５３４が独立して基板に光を照射することができるように水平方向に往復運動する。第２撮影機構５４０は、第２照明機構５３０の光が照射される基板の上面を撮影してパターン領域と半田レジスター領域のイメージを取得する。
第１検査部４００と第２照明機構５３０との間には、基板をクリーニングする第２基板クリーニングローラ５５０が配置される。第２基板クリーニングローラ５５０は、上部ローラ５５４と下部ローラ５５２を有する。上部ローラ５５４と下部ローラ５５２とは、回転軸が第２方向ＩＩに向かうように配置され、各々の回転軸は、第３方向ＩＩＩに整列される。上部ローラ５５４は、下部ローラ５５２の上側に配置される。下部ローラ５５２は、第２搬送ロボット５２０によって、移動する基板の上面と接触し、基板対面の異質物をクリーニングする。上部ローラ５５４は、下部ローラ５５２と接触し、下部ローラ５５２をクリーニングする。上部ローラ５５４と下部ローラ５５２とは、支持フレーム５５６によって支持される。 Referring to FIGS. 2, 19, and 20, the second inspection unit 500 includes a second suction table 510, a second transfer robot 520, a second illumination mechanism 530, and a second imaging mechanism 540. The second suction table 510 is installed in a lower space of the first suction table 410, receives the substrate sucked by the first suction table 410, and vacuum-sucks the lower surface of the substrate. The second transfer robot 520 linearly moves the second suction table 510 in the horizontal direction. The second transfer robot 520 includes a slider 522 connected to the lower portion of the second suction table 510 and a horizontal support base 524 installed so that the slider 522 can slide. The slider 522 includes a linear motor (not shown).
The second illumination mechanism 530 and the second imaging mechanism 540 are installed on the upper part of the path along which the second suction table 510 moves. The second illumination mechanism 530 includes an illumination mechanism 532 that emits light for acquiring an image of a pattern area on the substrate, and an illumination mechanism 534 that emits light for acquiring an image of a solder register area on the substrate. The second suction table 510 reciprocates in the horizontal direction so that each of the illumination mechanisms 532 and 534 can independently irradiate the substrate with light. The second imaging mechanism 540 acquires an image of the pattern area and the solder register area by imaging the upper surface of the substrate irradiated with the light from the second illumination mechanism 530.
A second substrate cleaning roller 550 for cleaning the substrate is disposed between the first inspection unit 400 and the second illumination mechanism 530. The second substrate cleaning roller 550 includes an upper roller 554 and a lower roller 552. The upper roller 554 and the lower roller 552 are arranged such that the rotation axis is directed in the second direction II, and each rotation axis is aligned in the third direction III. The upper roller 554 is disposed on the upper side of the lower roller 552. The lower roller 552 is brought into contact with the upper surface of the moving substrate by the second transfer robot 520 and cleans the foreign matter facing the substrate. The upper roller 554 contacts the lower roller 552 and cleans the lower roller 552. The upper roller 554 and the lower roller 552 are supported by a support frame 556.

図２１は、分類−積載ロボットの側面図である。分類−積載ロボット６００は、第１及び第２検査部４００、５００の検査結果によって検査された基板を良品Ｓ１と不良品Ｓ２に分類してアンローディング部７００に置かれた第２容器Ｍ１、Ｍ２に選別して積載する。
図２１を参照すると、分類−積載ロボット６００は、第２検査部５００の第２吸着テーブル５１０に置かれた基板をアンローディング部７００の積載ポート７３０に置かれた第２容器Ｍ１、Ｍ２へ搬送する。分類−積載ロボット６００は、第２検査部５００と積載ポート７３０の上部空間に第１方向Ｉに沿って水平に配置される第１水平支持台６１２を有する。第１水平支持台６１２には、ガイドレールが提供され、ガイドレール上には、スライダー６１４が設置される。スライダー６１４には、リニアモーター（図示せず）が装着でき、リニアモーターの駆動によって、スライダー６１４がガイドレール上から第１方向Ｉへスライディングする。
スライダー６１４には、第２方向ＩＩに沿って水平となるように配置される第２水平支持台６２２が設置される。第２水平支持台６２２には、ガイドレールが提供され、ガイドレール上には、スライダー６２４が設置される。スライダー６２４には、リニアモーター（図示せず）が装着でき、リニアモーターの駆動によって、スライダー６２４がガイドレール上から第２方向ＩＩにスライディングする。
スライダー６２４の下部には、連結部材６４２が結合され、連結部材６４２には、第３方向ＩＩＩ、すなわち上下方向に直線駆動力を提供するシリンダー６４４が設置される。シリンダー６４４には、吸着部材支持板６３２が連結され、吸着部材支持板６３２の下面には、基板を吸着する複数の吸着部材６３４が設置される。
吸着部材６３４は、第１及び第２水平支持台６１２、６２２と、これらによって、支持されるスライダー６１４、６２４によって、第１及び第２方向Ｉ、ＩＩに直線移動され、シリンダー６４４によって、第３方向ＩＩＩに直線移動される。このような駆動メカニズムによって、吸着部材６３４は、第２検査部５００の第２吸着テーブル５１０とアンローディング部７００の積載ポート７３０の上部空間へ移動できる。
第２検査部５００の第２吸着テーブル５１０上部へ移動された吸着部材６３４は、シリンダー６４４によって下方向へ移動して、第２吸着テーブル５１０に置かれた基板を吸着する。以後、吸着部材６３４は、シリンダー６４４によって上の方向へ移動し、第１及び第２水平支持台６１２、６２２によって、支持されるスライダー６１４、６２４のスライディングによって、アンローディング部７００の積載ポート７３０上部空間へ移動する。
積載ポート７３０の上部空間へ移動した吸着部材６３４は、シリンダー６４４によって、下の方向へ移動した後、基板に加えられた負圧を解除して積載ポート７３０に置かれた第２容器Ｍ１、Ｍ２に基板を収納する。この時、第１及び第２検査部４００、５００から良品と判定された基板Ｓ１は、第２容器Ｍ１に収納され、第１及び第２検査部４００、５００から不良品と判定された基板Ｓ２は、第２容器Ｍ２に収納される。 FIG. 21 is a side view of the classification-loading robot. The classification-loading robot 600 classifies the substrates inspected according to the inspection results of the first and second inspection units 400 and 500 into the non-defective product S1 and the defective product S2, and places the second containers M1 and M2 placed in the unloading unit 700. Sort and load.
Referring to FIG. 21, the classification-loading robot 600 transports the substrate placed on the second suction table 510 of the second inspection unit 500 to the second containers M1 and M2 placed on the loading port 730 of the unloading unit 700. To do. The classification-loading robot 600 includes a first horizontal support 612 that is horizontally disposed along the first direction I in the upper space of the second inspection unit 500 and the loading port 730. The first horizontal support base 612 is provided with a guide rail, and a slider 614 is installed on the guide rail. A linear motor (not shown) can be attached to the slider 614, and the slider 614 slides in the first direction I from the guide rail by driving the linear motor.
The slider 614 is provided with a second horizontal support base 622 disposed so as to be horizontal along the second direction II. The second horizontal support 622 is provided with a guide rail, and a slider 624 is installed on the guide rail. A linear motor (not shown) can be attached to the slider 624, and the slider 624 slides in the second direction II from the guide rail by driving the linear motor.
A connecting member 642 is coupled to the lower portion of the slider 624, and a cylinder 644 that provides a linear driving force in the third direction III, that is, the vertical direction, is installed on the connecting member 642. An adsorption member support plate 632 is connected to the cylinder 644, and a plurality of adsorption members 634 that adsorb the substrate are installed on the lower surface of the adsorption member support plate 632.
The suction member 634 is linearly moved in the first and second directions I and II by the first and second horizontal support bases 612 and 622 and the sliders 614 and 624 supported by the first and second horizontal support bases 612 and 622, and is It is linearly moved in direction III. By such a driving mechanism, the suction member 634 can move to the upper space of the second suction table 510 of the second inspection unit 500 and the loading port 730 of the unloading unit 700.
The suction member 634 moved to the upper part of the second suction table 510 of the second inspection unit 500 moves downward by the cylinder 644 and sucks the substrate placed on the second suction table 510. Thereafter, the adsorbing member 634 is moved upward by the cylinder 644, and the slider 614, 624 supported by the first and second horizontal support bases 612, 622 slides on the upper portion of the loading port 730 of the unloading unit 700. Move to space.
The suction member 634 moved to the upper space of the stacking port 730 is moved downward by the cylinder 644, and then the negative pressure applied to the substrate is released and the second containers M1 and M2 placed in the stacking port 730 are released. The board is stored in. At this time, the substrate S1 determined to be a non-defective product from the first and second inspection units 400 and 500 is stored in the second container M1, and the substrate S2 determined to be a defective product from the first and second inspection units 400 and 500. Is stored in the second container M2.

図２２は、図１のアンローディング部の拡大図である。そして図２３は、図２２のアンローディング部の側面図である。図２２及び図２３を参照すると、アンローディング部７００は、第２搬入ポート７１０ａ、７１０ｂ、７１０ｃ、７１０ｄ、搬出ローラ７２０、そして積載ポート７３０を含む。第２搬入ポート７１０ａ、７１０ｂ、７１０ｃ、７１０ｄは、第２方向ＩＩに沿って２列に配置され、第２搬入ポート７１０ａ、７１０ｂ、７１０ｃ、７１０ｄには、基板が収納されない空の第２容器Ｍ１、Ｍ２が置かれる。搬出ローラ７２０は、第２搬入ポート７１０ａ、７１０ｂ、７１０ｃ、７１０ｄと並べて第２方向ＩＩに沿って２列に配置され、第２搬入ポート７１０ａ、７１０ｂ、７１０ｃ、７１０ｄから所定の間隔に配置される。搬出ローラ７２０は、第２方向ＩＩに沿って、下へ傾くように配置される。搬出ローラ７２０には、良品の基板Ｓ１が収納された第２容器Ｍ１と、不良品の基板Ｓ２が収納された第２容器Ｍ２とが置かれる。第２容器Ｍ１、Ｍ２は、傾くように配置される搬出ローラ７２０に置かれるので、第２容器Ｍ１、Ｍ２の自らの重さによって、搬出ローラ７２０の端部へ移動することができる。積載ポート７３０は、第２搬入ポート７１０ａ、７１０ｂ、７１０ｃ、７１０ｄと搬出ローラ７２０との間に配置され、積載ポート７３０には、分類−積載ロボット６００から搬送される良品と不良品との基板が収納される第２容器Ｍ１、Ｍ２が置かれる。一方、搬出ローラ７２０の積載ポート７３０と隣接した位置には、搬出ローラ７２０に置かれた第２容器Ｍ１、Ｍ２を搬出ローラ７２０の配列方向に押さえる手段を備える。
第２容器Ｍ１、Ｍ２は、第２搬入ポート７１０ａ、７１０ｂ、７１０ｃ、７１０ｄ上から順次移動した後、積載ポート７３０に置かれ、第２容器Ｍ１、Ｍ２への基板の収納が完了すると、積載ポート７３０から搬出ローラ７２０の上へ移動される。
第２搬入ポート７１０ａ、７１０ｂ、７１０ｃ、７１０ｄの下には、第１アンローディングロボット７５０が配置され、搬出ローラ７２０の下には、第２アンローディングロボット７６０が配置される。第１アンローディングロボット７５０は、第２搬入ポート７１０ａ、７１０ｂ、７１０ｃ、７１０ｄとの間、そして積載ポート７３０に隣接する第２搬入ポート７１０ｄと積載ポート７３０との間に第２容器Ｍ１、Ｍ２を搬送する。第２アンローディングロボット７６０は、積載ポート７３０に置かれた第２容器Ｍ１、Ｍ２を搬出ローラ７２０の上に搬送する。
第２アンローディングロボット７５０は、第２搬入ポート７１０ａ、７１０ｂ、７１０ｃ、７１０ｄの開口部に対応する大きさの昇降板７５６を有する。昇降板７５６の上面には、第２容器Ｍ１、Ｍ２の第１ホール２７ａ、２７ｂに挿入されるピン部材７５７が設置される。ピン部材７５７が第１ホール２７ａ、２７ｂに挿入されると、第２容器Ｍ１、Ｍ２が昇降板７５６に固定される。昇降板７５６の下部には、昇降板７５６を上下方向へ移動させるシリンダー７５４が連結され、シリンダー７５４は、ガイドレール７４０上でスライディングするスライダー７５２に固定される。スライダー７５２には、リニアモーター（図示せず）が内蔵され、スライダー７５２は、この他にもシリンダー機構のような他の種類の駆動手段によってもスライディングできる。
第１アンローディングロボット７５０が第２搬入ポート７１０ｄに置かれた第２容器Ｍ１、Ｍ２を積載ポート７３０へ搬送する工程は、先に説明した第１ローディングロボット１５０の動作工程と同一であるので、これに対する説明は、省略する。そして、第２アンローディングロボット７６０は、第１アンローディングロボット７５０と同じ構造を有するので、これに対する詳細な説明は、省略する。
積載ポート７３０の下には、下降機構７７０が配置される。下降機構７７０は、積載ポート７３０に置かれた第２容器Ｍ１、Ｍ２に収納される基板を下降させる。下降機構７７０は、図２に示す通り、長さ方向が上下方向に向け、第２容器Ｍ１、Ｍ２の支持板２１に形成された第２ホール２８に整列された下降ロード７７２を有する。下降ロード７７２は、下降駆動部材７７４によって、上下方向に直線移動する。下降駆動部材７７４は、駆動源とこの動力を伝達するベルト−フリーアセンブリーを含む。 FIG. 22 is an enlarged view of the unloading portion of FIG. FIG. 23 is a side view of the unloading portion of FIG. Referring to FIGS. 22 and 23, the unloading unit 700 includes second carry-in ports 710a, 710b, 710c, 710d, carry-out rollers 720, and a stacking port 730. The second carry-in ports 710a, 710b, 710c, and 710d are arranged in two rows along the second direction II, and the second carry-in ports 710a, 710b, 710c, and 710d have empty second containers M1 that do not store substrates. , M2 is placed. The carry-out rollers 720 are arranged in two rows along the second direction II along with the second carry-in ports 710a, 710b, 710c, and 710d, and are arranged at predetermined intervals from the second carry-in ports 710a, 710b, 710c, and 710d. . The carry-out roller 720 is disposed so as to be inclined downward along the second direction II. On the carry-out roller 720, a second container M1 containing a non-defective substrate S1 and a second container M2 containing a defective substrate S2 are placed. Since the second containers M1 and M2 are placed on the carry-out roller 720 arranged to be inclined, the second containers M1 and M2 can move to the end of the carry-out roller 720 depending on their own weight. The loading port 730 is disposed between the second carry-in ports 710 a, 710 b, 710 c, and 710 d and the carry-out roller 720. The second containers M1 and M2 to be stored are placed. On the other hand, at a position adjacent to the stacking port 730 of the carry-out roller 720, there is provided means for pressing the second containers M1 and M2 placed on the carry-out roller 720 in the arrangement direction of the carry-out rollers 720.
The second containers M1 and M2 are sequentially moved from above the second carry-in ports 710a, 710b, 710c, and 710d and then placed on the loading port 730. When the storage of the substrates into the second containers M1 and M2 is completed, 730 is moved onto the carry-out roller 720.
A first unloading robot 750 is disposed under the second carry-in ports 710a, 710b, 710c, and 710d, and a second unloading robot 760 is disposed under the carry-out roller 720. The first unloading robot 750 places the second containers M1, M2 between the second carry-in ports 710a, 710b, 710c, 710d and between the second carry-in port 710d adjacent to the load port 730 and the load port 730. Transport. The second unloading robot 760 conveys the second containers M1 and M2 placed on the loading port 730 onto the carry-out roller 720.
The second unloading robot 750 has a lifting plate 756 having a size corresponding to the openings of the second carry-in ports 710a, 710b, 710c, and 710d. A pin member 757 to be inserted into the first holes 27a and 27b of the second containers M1 and M2 is installed on the upper surface of the elevating plate 756. When the pin member 757 is inserted into the first holes 27a and 27b, the second containers M1 and M2 are fixed to the lifting plate 756. A cylinder 754 that moves the elevating plate 756 in the vertical direction is connected to the lower portion of the elevating plate 756, and the cylinder 754 is fixed to a slider 752 that slides on the guide rail 740. The slider 752 includes a linear motor (not shown), and the slider 752 can also be slid by other types of driving means such as a cylinder mechanism.
Since the first unloading robot 750 transports the second containers M1 and M2 placed in the second carry-in port 710d to the loading port 730, it is the same as the operation process of the first loading robot 150 described above. The description for this is omitted. Since the second unloading robot 760 has the same structure as the first unloading robot 750, a detailed description thereof will be omitted.
A lowering mechanism 770 is disposed under the loading port 730. The lowering mechanism 770 lowers the substrates stored in the second containers M1 and M2 placed in the loading port 730. As shown in FIG. 2, the lowering mechanism 770 has a lowering load 772 aligned in the second hole 28 formed in the support plate 21 of the second container M1, M2 with the length direction directed in the vertical direction. The descending load 772 is linearly moved in the vertical direction by the descending drive member 774. The descending drive member 774 includes a drive source and a belt-free assembly that transmits this power.

以上の説明は、本発明の技術思想を例示的に説明したに過ぎず、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者は、本発明の本質的な特性から逸脱しない範囲で多様な修正、及び変形が可能である。したがって、本発明に開示された実施形態は、本発明の技術思想を限定せず、単なる説明するためのものであり、このような実施形態によって本発明の技術思想の範囲は、限定されない。本発明の保護範囲は、特許請求の範囲によって解析されなければならず、これと同等な範囲内にあるあらゆる技術思想は、本発明の権利範囲に含まれることと解析されるべきである。   The above description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and various modifications can be made by those having ordinary knowledge in the technical field to which the present invention belongs without departing from the essential characteristics of the present invention. And variations are possible. Therefore, the embodiment disclosed in the present invention is not intended to limit the technical idea of the present invention, but merely for explanation, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by such an embodiment. The protection scope of the present invention must be analyzed by the claims, and all technical ideas within the equivalent scope should be analyzed as being included in the scope of the right of the present invention.

Ｍ、Ｍ１、Ｍ２ 容器
Ｓ、Ｓ１、Ｓ２ 基板
１００ ローディング部
２００ 基板搬送ロボット
３００ 整列部
４００ 第１検査部
５００ 第２検査部
６００ 分類−積載ロボット
７００ アンローディング部
M, M1, M2 Container S, S1, S2 Substrate 100 Loading unit 200 Substrate transport robot 300 Alignment unit 400 First inspection unit 500 Second inspection unit 600 Classification-loading robot 700 Unloading unit

Claims (42)

上下方向に積層された複数の基板を収容し、上部が開放されたカセットと、
前記カセットが垂直に積載されるスロットが複数形成されたハウジングと、
を含むことを特徴とする基板収納容器。 A cassette containing a plurality of substrates stacked in the vertical direction and having an open top,
A housing having a plurality of slots in which the cassettes are vertically stacked;
A substrate storage container comprising: 前記ハウジングは、
支持板と、
前記支持板の上面に対向するように垂直に設置され、対向面に垂直する方向に前記スロットが突出された一対の第１側板と、
を含むことを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。 The housing is
A support plate;
A pair of first side plates that are vertically installed so as to face the upper surface of the support plate and in which the slots protrude in a direction perpendicular to the facing surface;
The substrate storage container according to claim 1, comprising: 前記スロットは、前記第１側板の対向面の上の両側垂直エッジとの間の領域に設置されることを特徴とする請求項２に記載の基板収納容器。   The substrate storage container according to claim 2, wherein the slot is installed in a region between the vertical edges on both sides of the opposing surface of the first side plate. 前記ハウジングは、
前記スロットの配列方向に対して垂直に設置され、前記第１側板の何れか１つの前記垂直エッジに結合される第２側板をさらに含むことを特徴とする請求項３に記載の基板収納容器。 The housing is
The substrate storage container of claim 3, further comprising a second side plate that is installed perpendicular to the slot arrangement direction and is coupled to any one of the vertical edges of the first side plate. 前記ハウジングは、
前記第１側板の何れか１つの前記垂直エッジから前記スロットの突出方向に突出された突出部をさらに含むことを特徴とする請求項４に記載の基板収納容器。 The housing is
5. The substrate storage container according to claim 4, further comprising a projecting portion projecting from the vertical edge of any one of the first side plates in the projecting direction of the slot. 前記ハウジングは、
前記第１側板を中心に対して対称となるように前記支持板に設置される把持部をさらに含むことを特徴とする請求項２に記載の基板収納容器。 The housing is
The substrate storage container according to claim 2, further comprising a grip portion installed on the support plate so as to be symmetric with respect to the center of the first side plate. 前記支持板には、前記支持板を固定するピン部材が挿入される第１ホールが貫通して形成されることを特徴とする請求項２に記載の基板収納容器。   The substrate storage container according to claim 2, wherein the support plate is formed with a first hole through which a pin member for fixing the support plate is inserted. 前記カセットは、
前記ハウジングの前記スロットによって支持される四角形形状の第１プレートと、
前記スロットの長さ方向に向け、前記第１プレートのエッジから前記第１プレートに対して垂直な方向に延長される第２プレートと、
前記第２プレートの下端から互いに対向する方向に延長され、前記基板を支持する第１下敷板と、を含むことを特徴とする請求項２乃至請求項７の中に何れか１つに記載の基板収納容器。 The cassette is
A rectangular first plate supported by the slot of the housing;
A second plate extending in a direction perpendicular to the first plate from an edge of the first plate toward a length direction of the slot;
8. The apparatus according to claim 2, further comprising: a first base plate that extends from a lower end of the second plate in a direction opposite to each other and supports the substrate. 9. Substrate storage container. 前記カセットは、
前記第１プレートの下端中心部から前記第１プレートに垂直な方向に延長され、前記基板を支持する第２下敷板をさらに含むことを特徴とする請求項８に記載の基板収納容器。 The cassette is
The substrate storage container according to claim 8, further comprising a second underlaying plate that extends in a direction perpendicular to the first plate from a lower end center portion of the first plate and supports the substrate. 前記第１下敷板と前記第２下敷板との間の領域に対応する前記支持板の位置には、前記基板を昇降させる昇降機構が挿入される第２ホールが形成されることを特徴とする請求項９に記載の基板収納容器。   A second hole into which an elevating mechanism for raising and lowering the substrate is inserted is formed at a position of the support plate corresponding to a region between the first underlay plate and the second underlay plate. The substrate storage container according to claim 9. 前記カセットは、
前記第２プレートの内面に互いに対向するように設置され、前記第１及び第２下敷板によって支持される前記基板の側面を支持する側面支持部材をさらに含むことを特徴とする請求項１０に記載の基板収納容器。 The cassette is
11. The apparatus according to claim 10, further comprising a side support member installed on the inner surface of the second plate so as to face each other and supporting a side surface of the substrate supported by the first and second underlay plates. Board storage container. 前記カセットは、
前記第２プレートに対応する形状を有し、前記第１プレートと前記第２下敷板との間に脱着可能に設置される仕切り壁をさらに含むことを特徴とする請求項１０に記載の基板収納容器。 The cassette is
The substrate storage according to claim 10, further comprising a partition wall having a shape corresponding to the second plate and detachably installed between the first plate and the second base plate. container. 基板が上下方向に積層されるように前記基板を収容するカセットと、
前記カセットを受容する空間を有するハウジングと、を含み、
各々の前記カセットは、前記ハウジングにスライド方式によって、移動して分離、及び挿入ができるように構成されることを特徴とする基板収納容器。 A cassette that accommodates the substrates so that the substrates are stacked vertically;
A housing having a space for receiving the cassette,
Each of the cassettes is configured to be movable, separated and inserted into the housing by a sliding method. 前記ハウジングは、互いに対向するように離隔配置され、長さ方向が上下方向に向かうスロットが形成された一対の第１側板を含み、
各々の前記カセットは、
前記スロットによって支持され、前記スロットに沿ってスライド移動可能な第１プレートと、
前記第１プレートの両端に連結される第２プレートと、を含み、
前記第１プレートと前記第２プレートとは、これらの間に形成された空間に前記基板が収納されるように構成されることを特徴とする請求項１３に記載の基板収納容器。 The housing includes a pair of first side plates that are spaced apart so as to face each other and in which a slot whose length direction extends in the vertical direction is formed,
Each said cassette is
A first plate supported by the slot and slidable along the slot;
A second plate connected to both ends of the first plate,
The substrate storage container according to claim 13, wherein the first plate and the second plate are configured to store the substrate in a space formed between the first plate and the second plate. 前記第１プレートと前記第２プレートとは、上部から見た場合、互いに組合わされたときにコの字形状となることを特徴とする請求項１４に記載の基板収納容器。   The substrate storage container according to claim 14, wherein the first plate and the second plate have a U-shape when viewed from above when combined with each other. 前記カセットは、
前記第２プレートとの間に位置し、前記第２プレートとの間の空間を分離し、前記第１プレートに脱着可能に設置される仕切り壁をさらに含むことを特徴とする請求項１４に記載の基板収納容器。 The cassette is
The partition wall according to claim 14, further comprising a partition wall positioned between the second plate, the space separating the space between the second plate and the second plate, wherein the partition wall is detachably installed on the first plate. Board storage container. 前記カセットは、
前記第１側板の配置方向に垂直な第２方向に沿って一列に並べて位置するように設置されることを特徴とする請求項１４乃至請求項１６の中に何れか１つに記載の基板収納容器。 The cassette is
The substrate storage according to any one of claims 14 to 16, wherein the substrate storage devices are arranged so as to be arranged in a line along a second direction perpendicular to an arrangement direction of the first side plates. container. 基板が収納された第１容器が置かれるローディング部と、
前記ローディング部から搬送された前記基板に光を照射して前記基板を検査する検査部と、
前記検査部で検査された前記基板が収納される第２容器が置かれるアンローディング部と、を含み、
前記第１及び第２容器は、
上下方向に積層された複数の前記基板を収容し、上部が開放されたカセットと、
前記カセットが垂直に積載されるスロットが形成されたハウジングと、を含むことを特徴とする基板検査装置。 A loading unit in which a first container containing a substrate is placed;
An inspection unit that inspects the substrate by irradiating light onto the substrate conveyed from the loading unit;
An unloading part in which a second container in which the substrate inspected by the inspection part is stored is placed,
The first and second containers are
A cassette containing a plurality of the substrates stacked in the vertical direction, the upper part being opened,
And a housing formed with a slot in which the cassette is vertically stacked. 前記ハウジングは、
支持板と、
前記支持板の上面に対向するように垂直に設置され、対向面に対して垂直な方向に前記スロットが突出された一対の第１側板と、を含むことを特徴とする請求項１８に記載の基板検査装置。 The housing is
A support plate;
19. The pair of first side plates according to claim 18, further comprising: a pair of first side plates that are vertically installed so as to face the upper surface of the support plate and in which the slots protrude in a direction perpendicular to the facing surface. Board inspection equipment. 前記スロットは、前記第１側板の対向面の上の両側垂直エッジとの間の領域に設置され、
前記ハウジングは、
前記スロットの配列方向に対して垂直に設置され、前記第１側板の何れか１つの前記垂直エッジに結合される第２側板と、
前記第１側板の何れか１つの前記垂直エッジから前記スロットの突出方向に突出された突出部と、をさらに含むことを特徴とする請求項１９に記載の基板検査装置。 The slot is installed in a region between the vertical edges on both sides of the opposing surface of the first side plate;
The housing is
A second side plate installed perpendicular to the slot arrangement direction and coupled to any one of the vertical edges of the first side plate;
The board inspection apparatus according to claim 19, further comprising: a protruding portion protruding from any one of the vertical edges of the first side plate in a protruding direction of the slot. 前記カセットは、
前記ハウジングの前記スロットによって支持される四角形形状の第１プレートと、
前記スロットの長さ方向に向け、前記第１プレートのエッジから前記第１プレートに対して垂直な方向に延長される第２プレートと、
前記第２プレートの下端から互いに対向する方向に延長され、前記基板を支持する第１下敷板と、
前記第１プレートの下端中心部から前記第１プレートに対して垂直な方向に延長され、前記基板を支持する第２下敷板と、を含むことを特徴とする請求項１９に記載の基板検査装置。 The cassette is
A rectangular first plate supported by the slot of the housing;
A second plate extending in a direction perpendicular to the first plate from an edge of the first plate toward a length direction of the slot;
A first base plate extending from the lower end of the second plate in a direction facing each other and supporting the substrate;
The substrate inspection apparatus according to claim 19, further comprising: a second base plate that extends in a direction perpendicular to the first plate from a lower end center portion of the first plate and supports the substrate. . 前記カセットは、
前記第２プレートの内面に互いに対向するように設置され、前記第１及び第２下敷板によって、支持される前記基板の側面を支持する側面支持部材をさらに含むことを特徴とする請求項２１に記載の基板検査装置。 The cassette is
23. The method according to claim 21, further comprising a side support member installed on the inner surface of the second plate so as to face each other and supporting the side surface of the substrate supported by the first and second underlaying plates. The board | substrate inspection apparatus of description. 前記カセットは、
前記第２プレートに対応する形状を有し、前記第１プレートと前記第２下敷板との間に脱着可能に構成される仕切り壁をさらに含むことを特徴とする請求項２１に記載の基板検査装置。 The cassette is
The substrate inspection according to claim 21, further comprising a partition wall having a shape corresponding to the second plate and configured to be detachable between the first plate and the second base plate. apparatus. 前記支持板には、前記支持板を固定するピン部材が挿入される第１ホールが貫通して形成されることを特徴とする請求項１９に記載の基板検査装置。   The substrate inspection apparatus according to claim 19, wherein the support plate is formed with a first hole through which a pin member for fixing the support plate is inserted. 前記第１下敷板と前記第２下敷板との間の領域に対応する前記支持板の位置には、前記基板を昇降させる昇降機構が挿入される第２ホールが形成されることを特徴とする請求項２４に記載の基板検査装置。   A second hole into which an elevating mechanism for raising and lowering the substrate is inserted is formed at a position of the support plate corresponding to a region between the first underlay plate and the second underlay plate. The board | substrate inspection apparatus of Claim 24. 前記ローディング部は、
前記検査される基板が収納された前記第１容器が置かれ、一列に配置される複数の第１搬入ポートと、
空の前記第１容器が置かれ、前記第１搬入ポートと並べて一列に配置される複数の第１搬出ポートと、
前記第１搬入ポートと前記第１搬出ポートとの間に配置され、前記検査部へ伝えられる基板が収納された前記第１容器が置かれる工程ポートと、
前記第１搬入ポートとの間、前記工程ポートと前記工程ポートに隣接する前記第１搬入ポート及び前記第１搬出ポートとの間、及び前記第１搬出ポートとの間に前記第１容器を搬送するローディングロボットと、
を含むことを特徴とする請求項１９に記載の基板検査装置。 The loading part is
A plurality of first carry-in ports in which the first container storing the substrate to be inspected is placed and arranged in a row;
A plurality of first carry-out ports where the empty first container is placed and arranged in a row in line with the first carry-in port;
A process port disposed between the first carry-in port and the first carry-out port and in which the first container storing a substrate to be transmitted to the inspection unit is placed;
The first container is transported between the first carry-in port, between the process port, the first carry-in port adjacent to the process port and the first carry-out port, and between the first carry-out port. A loading robot that
The substrate inspection apparatus according to claim 19, comprising: 前記ローディング部は、前記工程ポートの下に配置され、前記工程ポートに置かれた前記第１容器に収納された前記基板を昇降させる昇降機構をさらに含み、
前記昇降機構は、
長さ方向が上下方向に向け、前記第１容器の前記支持板に貫通して形成されたホールに整列される昇降ロードと、
前記昇降ロードを上下方向に直線駆動させる昇降駆動部材と、
を含むことを特徴とする請求項２６に記載の基板検査装置。 The loading unit further includes an elevating mechanism disposed under the process port and elevating and lowering the substrate stored in the first container placed in the process port,
The lifting mechanism is
An elevating load that is aligned with a hole formed in a length direction in the vertical direction and penetrating through the support plate of the first container;
An elevating drive member for linearly driving the elevating load in the vertical direction;
27. The substrate inspection apparatus according to claim 26, comprising: 前記ローディング部と前記検査部との間に配置され、前記基板を整列する整列部と、
前記ローディング部から前記整列部へ前記基板を移送する基板搬送ロボットと、をさらに含み、
前記整列部は、
前記基板搬送ロボットによって搬送された前記基板が置かれる整列テーブルと、
前記整列テーブルに置かれた前記基板の第１方向に向ける第１側面を加圧して前記基板を整列する第１整列機構と、
前記整列テーブルに置かれた前記基板の前記第１方向に垂直１第２方向に向ける第２側面を加圧して前記基板を整列する第２整列機構と、
を含むことを特徴とする請求項１９に記載の基板検査装置。 An alignment unit disposed between the loading unit and the inspection unit to align the substrate;
A substrate transfer robot that transfers the substrate from the loading unit to the alignment unit;
The alignment portion is
An alignment table on which the substrate transported by the substrate transport robot is placed;
A first alignment mechanism that pressurizes a first side surface of the substrate placed on the alignment table in a first direction and aligns the substrate;
A second alignment mechanism for aligning the substrate by pressing a second side surface of the substrate placed on the alignment table and oriented in a first direction perpendicular to the first direction;
The substrate inspection apparatus according to claim 19, comprising: 前記第１整列機構は、
長さ方向が前記第２方向に向け、前記第１方向に離隔され、互いに近づく方向へ移動可能な１対の第１整列ロードを含むことを特徴とする請求項２８に記載の基板検査装置。 The first alignment mechanism includes:
29. The substrate inspection apparatus according to claim 28, further comprising a pair of first alignment loads that are movable in a direction in which a length direction is directed to the second direction and are spaced apart from each other in the first direction. 前記第１整列機構は、
長さ方向が前記第２方向に向け、前記第１整列ロードの間に位置し、前記第１整列ロードに向かって互いに遠ざかる方向へ移動可能な１対の第２整列ロードをさらに含むことを特徴とする請求項２９に記載の基板検査装置。 The first alignment mechanism includes:
And further comprising a pair of second alignment loads that are located between the first alignment loads and move in a direction away from each other toward the first alignment loads. The board inspection apparatus according to claim 29. 前記第２整列ロードの互いに対向する面には、突出部が形成され、前記第２整列ロードは、前記突出部が交互されるように互いに隣接するように配置されることを特徴とする請求項３０に記載の基板検査装置。   The protrusions may be formed on opposite surfaces of the second alignment load, and the second alignment loads may be disposed adjacent to each other such that the protrusions are alternated. 30. The substrate inspection apparatus according to 30. 前記基板の前記第１側面を加圧する加圧突起部が、前記突出部の下面に形成されることを特徴とする請求項３１に記載の基板検査装置。   32. The substrate inspection apparatus according to claim 31, wherein a pressure protrusion that pressurizes the first side surface of the substrate is formed on a lower surface of the protrusion. 前記第１整列ロードと前記第２整列ロードとは、前記第１方向に沿って並べて複数に配置されることを特徴とする請求項３０乃至請求項３２中の何れか１つに記載の基板検査装置。   The substrate inspection according to any one of claims 30 to 32, wherein the first alignment load and the second alignment load are arranged in a plurality along the first direction. apparatus. 前記検査部は、前記基板の下面を検査する第１検査部と、前記基板の上面を検査する第２検査部とを含み、
前記第１検査部と前記第２検査部とは、一列に並べて配置されることを特徴とする請求項３３に記載の基板検査装置。 The inspection unit includes a first inspection unit that inspects the lower surface of the substrate, and a second inspection unit that inspects the upper surface of the substrate,
The substrate inspection apparatus according to claim 33, wherein the first inspection unit and the second inspection unit are arranged in a line. 前記第１検査部は、
前記整列テーブルに置かれた前記基板の上面を真空吸着する第１吸着テーブルと、
前記第１吸着テーブルを直線移動させる第１搬送ロボットと、
前記第１吸着テーブルの下に配置されて、前記第１搬送ロボットによって移動する前記基板の下面に光を照射する第１照明機構と、
前記第１照明機構の光が照射される前記基板の下面を撮影する第１撮影機構と、を含むことを特徴とする請求項３４に記載の基板検査装置。 The first inspection unit includes
A first suction table for vacuum suction of the upper surface of the substrate placed on the alignment table;
A first transfer robot that linearly moves the first suction table;
A first illumination mechanism that is disposed under the first suction table and irradiates light onto a lower surface of the substrate that is moved by the first transfer robot;
35. The substrate inspection apparatus according to claim 34, further comprising: a first imaging mechanism that images the lower surface of the substrate irradiated with light from the first illumination mechanism. 前記第１検査部は、
前記整列部と前記第１照明機構との間に配置され、前記第１搬送ロボットによって移動する前記基板の下面と接触して前記基板の下面の異質物をクリーニングする第１基板クリーニングローラをさらに含むことを特徴とする請求項３５に記載の基板検査装置。 The first inspection unit includes
A first substrate cleaning roller disposed between the alignment unit and the first illumination mechanism and cleaning a foreign material on the lower surface of the substrate in contact with the lower surface of the substrate moved by the first transport robot; 36. The substrate inspection apparatus according to claim 35. 前記第２検査部は、
前記第１吸着テーブルの下に位置し、前記第１吸着テーブルに吸着された前記基板が搬送されたことを受けて、前記基板の下面を真空吸着する第２吸着テーブルと、
前記第２吸着テーブルを直線移動させる第２搬送ロボットと、
前記第２吸着テーブルの上部に配置されて、前記第２搬送ロボットによって移動した前記基板の上面に光を照射する第２照明機構と、
前記第２照明機構の光が照射される前記基板の上面を撮影する第２撮影機構と、を含むことを特徴とする請求項３４に記載の基板検査装置。 The second inspection unit includes
A second suction table that is located under the first suction table and vacuum-sucks the lower surface of the substrate in response to the transport of the substrate sucked by the first suction table;
A second transfer robot that linearly moves the second suction table;
A second illumination mechanism that is disposed on the second suction table and irradiates light onto the upper surface of the substrate moved by the second transfer robot;
35. The substrate inspection apparatus according to claim 34, further comprising: a second imaging mechanism that images the upper surface of the substrate irradiated with light from the second illumination mechanism. 前記第２検査部は、
前記第１検査部と前記第２照明機構との間に配置され、前記第２搬送ロボットによって移動する前記基板の上面と接触して前記基板対面の異質物をクリーニングする第２基板クリーニングローラをさらに含むことを特徴とする請求項３７に記載の基板検査装置。 The second inspection unit includes
A second substrate cleaning roller that is disposed between the first inspection unit and the second illumination mechanism and that contacts the upper surface of the substrate that is moved by the second transport robot to clean the foreign matter on the substrate facing surface; 38. The substrate inspection apparatus according to claim 37, comprising: 前記第１及び第２検査部の検査結果によって前記基板を良品と不良品とに分類して前記アンローディング部に置かれた前記第２容器に選別して積載する分類−積載ロボットをさらに含むことを特徴とする請求項１９に記載の基板検査装置。   And a classification-loading robot that classifies the substrates into non-defective products and defective products according to the inspection results of the first and second inspection units and sorts and loads them on the second container placed in the unloading unit. The substrate inspection apparatus according to claim 19. 前記アンローディング部は、
空の前記第２容器が置かれて、一列に配置される複数の第２搬入ポートと、
前記第２搬入ポートと並べて一列に配置される複数の搬出ローラと、
前記第２搬入ポートと前記搬出ローラとの間に配置され、前記分類−積載ロボットによって搬送された前記基板が収納される前記第２容器が置かれる積載ポートと、
前記第２搬入ポート間、前記積載ポートと前記積載ポートに隣接する前記第２搬入ポート間に前記第２容器を搬送する第１アンローディングロボットと、
前記積載ポートに置かれた前記第２容器を前記搬出ローラの上に搬送する第２アンローディングロボットと、
を含むことを特徴とする請求項３９に記載の基板検査装置。 The unloading part is
A plurality of second carry-in ports in which the empty second container is placed and arranged in a row;
A plurality of carry-out rollers arranged in line with the second carry-in port;
A loading port in which the second container in which the substrate transported by the classification-loading robot is stored is placed between the second carry-in port and the carry-out roller;
A first unloading robot for transporting the second container between the second loading ports, between the loading port and the second loading port adjacent to the loading port;
A second unloading robot that conveys the second container placed on the loading port onto the carry-out roller;
40. The substrate inspection apparatus according to claim 39, comprising: 前記複数の搬出ローラは、配列方向に沿って下へ傾くように配置されることを特徴とする請求項４０に記載の基板検査装置。   41. The substrate inspection apparatus according to claim 40, wherein the plurality of carry-out rollers are arranged to be inclined downward along the arrangement direction. 前記アンローディング部は、前記積載ポートの下に配置され、前記積載ポートに置かれた前記第２容器に収納される前記基板を下降させる下降機構をさらに含み、
前記下降機構は、
長さ方向が上下方向に向け、前記第２容器の前記支持板に貫通して形成されたホールに整列される下降ロードと、
前記下降ロードを上下方向に直線駆動させる下降駆動部材と、
を含むことを特徴とする請求項４０に記載の基板検査装置。
The unloading unit further includes a lowering mechanism that is disposed below the loading port and lowers the substrate stored in the second container placed in the loading port.
The lowering mechanism is
A downward load aligned in a hole formed in a length direction in the vertical direction and penetrating through the support plate of the second container;
A descending drive member for linearly driving the descending load in the vertical direction;
41. The substrate inspection apparatus according to claim 40, comprising:

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