KR20000041366A - 웨이퍼 카세트의 도어 개폐장치 - Google Patents

웨이퍼 카세트의 도어 개폐장치 Download PDF

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KR20000041366A
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박범욱
허무용
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김영환
현대전자산업 주식회사
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Abstract

본 발명은 웨이퍼 카세트의 도어 개폐장치에 관한 것으로, 카세트 도어의 개폐를 위한 작업공간을 최소화시킬 수 있도록 격자형상의 지지판; 상기 지지판의 전면에 장착되며, 카세트 도어를 개폐시키기 위한 적어도 하나의 도어키; 상기 지지판의 상면에 장착되며, 상기 도어 키에 상기 카세트 도어의 개폐를 위한 회전력을 제공하는 적어도 하나의 회전력제공수단; 상기 지지판에 상하이동력을 제공하는 승강수단; 및 상기 승강수단을 지지하는 프레임을 포함하여 프로버 장치에서 도어의 개폐작업을 자동화할 수 있는 것임.

Description

웨이퍼 카세트의 도어 개폐장치
본 발명은 웨이퍼의 프로브 공정시 카세트의 도어를 개폐시키는 장치에 관한 것으로, 특히 카세트의 도어를 자동으로 개폐시키되 카세트로부터 개방된 도어를 상하로 이동시키도록 구현하여, 도어의 개폐에 따른 작업공간을 최소화할 수 있는 웨이퍼 카세트의 도어 개폐장치에 관한 것이다.
일반적으로, 프로버(prober)에는 테스트될 다수의 웨이퍼가 수용되어 있는 카세트가 장착되는데, 상기 카세트는 최근 12인치크기의 웨이퍼를 수용할 수 있도록 대형화되는 추세에 있다. 이와 같은 12인치 웨이퍼용 카세트에는 도어가 없는 방식을 이용한 카세트와 전면에 도어를 가진 FOUP(Front Opening Unified Pod)방식을 이용한 카세트가 있다.
여기서, 상기 FOUP방식의 웨이퍼 카세트는, 도1에 도시된 바와 같이, 양측부에 손잡이가 구비된 사각형상의 몸체(1)와, 상기 몸체(1)의 전면을 개폐시킬 수 있도록 구비되며 그 양측에는 키실린더의 홀(2)이 형성되어 있는 도어(3)를 구비하고 있다. 이와 같은 FOUP방식의 카세트는 그 내부가 밀폐되므로 별도의 클리닝 룸(cleaning room)이 불필요하여 웨이퍼 일괄가공라인의 클리닝 시설에 사용되는 비용을 절감시킬 수 있는 장점이 있으나, 프로브 작업을 위해 웨이퍼를 이송시키기 위해서는 작업자가 장비 주위에 상주하면서 수작업으로 카세트의 도어를 개폐시켜야 하므로 인건비가 증가하고, 작업속도가 느려 작업수율이 저하될 뿐만아니라, 카세트 도어의 개폐을 위해 큰 작업공간이 요구되는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 카세트의 도어를 자동으로 개폐시키되, 상기 도어를 작은 공간내에서 이동시킬 수 있도록 구현하여, 카세트 도어의 개폐를 위한 인건비를 감소시키고, 작업수율을 향상시킬 수 있는 웨이퍼 카세트의 도어 개폐장치를 제공함에 그 목적이 있다.
도1은 일반적인 FOUP방식의 웨이퍼 카세트를 나타낸 사시도.
도2는 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트의 도어 개폐장치를 나타낸 사시도.
도3은 본 발명에 따른 도어 개폐장치의 사용상태도.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
10 : 지지판 11 : 직립부재
12 : 수평부재 13 : 도어 키
14 : 진공유닛 15 : 직립바
20 : 이송판 21 : 회전실린더
22 : 전후이송실린더 30 : 프레임
40 : 승강실린더
상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 격자형상의 지지판; 상기 지지판의 전면에 장착되며, 카세트 도어를 개폐시키기 위한 적어도 하나의 도어키; 상기 지지판의 상면에 장착되며, 상기 도어 키에 상기 카세트 도어의 개폐를 위한 회전력을 제공하는 적어도 하나의 회전력제공수단; 상기 지지판에 상하이동력을 제공하는 승강수단; 및 상기 승강수단을 지지하는 프레임을 포함하는 웨이퍼 카세트의 도어 개폐장치를 제공한다.
그러면, 첨부된 도2 및 도3을 참조하여 본 발명의 바람직한 일실시예에 대하여 상세히 설명한다.
본 발명에 따른 웨이퍼 카세트의 도어 개폐장치는, 카세트 도어의 개폐가 작은 공간내에서 자동으로 수행될 수 있고 작업수율을 향상시킬 수 있는 것으로, 도2에 도시된 바와 같이, 카세트의 도어에 대향되는 직립부재(11)와, 상기 직립부재(11)에 직교되는 수평판재(12)로 이루어진 지지판(10)을 구비한다.
여기서, 상기 지지판의 직립부재(11) 정면양측에는 도어 키(13)가 회동가능하도록 장착되며, 상기 도어 키(13)는 카세트 도어를 개폐시킬 수 있도록 도어의 키실린더 홀에 대응되는 형태로 형성된다. 그리고, 상기 직립부재(11)의 중앙부에는 진공유닛(14)이 장착되며, 상기 진공유닛(14)은 공기를 흡입하므로써 도어 키(13)에 의해 열린 카세트의 도어를 직립부재(11)의 일측면에 견고하게 부착시킨다.
또한, 상기 지지판의 수평부재(12) 상면에는 이송판(20)이 전후방향(도시예에서 Y축)으로 이동가능하도록 장착되고, 상기 이송판(20)의 상면에는 정역회전이 가능한 회전실린더(21)가 장착되며, 상기 회전실린더(21)는 카세트 도어를 개폐시킬 수 있도록 상기 도어 키(13)를 소정각도로 회동시킨다. 이때, 상기 도어 키(13)와 회전실린더(21)는 커플링된다.
더욱이, 상기 수평부재(12)의 상면에는 전후이송실린더(22)가 장착되며, 상기 전후이송실린더(22)는 이송판(20)을 전후방향으로 이동시키므로써, 상기 도어 키(13)를 카세트 도어의 키실린더 홀에 삽입 또는 상기 키실린더 홀로부터 인출시킨다.
그리고, 상기 지지판의 수평부재(12) 하면에는 소정길이를 가진 직립바(15)의 일단부가 고정되며, 상기 직립바(15)는 지지판(10)과 연동된다.
한편, 본 실시예에서는 상기 직립바(15)의 주위 소정부위를 에워싸도록 다수의 지지바로 이루어진 프레임(30)이 구비되고, 상기 프레임(30)의 상측에는 승강실린더(40)가 장착되며, 상기 승강실린더(40)는 프레임(30)에 고정된 상태로 직립바(15)에 상하방향(도시예에서는 Z축)의 이동력을 제공한다.
상기한 구성으로 이루어진 본 발명의 작용상태를 첨부된 도3을 참조하여 설명한다.
먼저, 상기 승강실린더(40)가 직립바(15)를 상측으로 이동시키므로써, 지지판의 직립부재(11)에 장착되어 있는 도어 키(13)가 카세트 도어(3)의 키실린더 홀(2a)에 대향되도록 한다.
그리고, 상기 전후이송실린더(22)가 이송판(20) 및 상기 이송판 상에 장착되어 있는 회전실린더(21)를 전진시켜 도어(3)측으로 이동시키므로써, 상기 도어 키(13)를 도어(3)의 키실린더 홀(2)에 삽입시키고, 상기 회전실린더(21)가 정회전 구동되어 그에 커플링되어 있는 도어 키(13)를 시계방향으로 회전시키므로써 카세트의 도어(3)를 열어준다.
이때, 상기 전후이송실린더(22)는 이송판(20)을 후진시켜 도어 키(13)상에 걸려있는 도어(3)를 지지판의 직립부재(11)측으로 이동시키고, 이어 상기 진공유닛(14)이 공기를 흡입하므로써 도어(3)를 직립부재(11)측에 견고하게 흡착시킨다.
그리고, 상기 승강실린더(40)가 구동되어 직립바(15)를 하향이동시키고, 이때 상기 지지판의 직립부재(11)에 부착되어 있는 도어(3)는 하측으로 이동되어 카세트 몸체(1)로부터 웨이퍼를 꺼낼 수 있게 되는 것이다.
한편, 웨이퍼의 프로브 공정이 완료된 후에는, 상기한 과정을 반대로 수행하여 지지판의 직립부재(11)에 부착되어 있는 도어(3)로 카세트의 몸체를 밀폐시킨다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 도면에 의해 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
상기한 바와 같이 본 발명은, 카세트의 도어를 자동으로 개폐시킬 수 있으므로, 인건비를 절감할 수 있으며 프로브 공정이 신속하면서도 정확하게 수행되어 작업수율이 향상될 뿐만아니라, 몸체로부터 이탈된 카세트의 도어가 상하방향으로 이동되므로 개폐작업에 소요되는 공간을 최소화할 수 있는 효과가 있다.

Claims (4)

  1. 격자형상의 지지판;
    상기 지지판의 전면에 장착되며, 카세트 도어를 개폐시키기 위한 적어도 하나의 도어키;
    상기 지지판의 상면에 장착되며, 상기 도어 키에 상기 카세트 도어의 개폐를 위한 회전력을 제공하는 적어도 하나의 회전력제공수단;
    상기 지지판에 상하이동력을 제공하는 승강수단; 및
    상기 승강수단을 지지하는 프레임
    을 포함하는 웨이퍼 카세트의 도어 개폐장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지판의 소정부위에 장착되며, 상기 지지판의 전방으로부터 공기를 흡입하므로써 개방된 상기 도어를 흡착시켜 지지하는 진공흡착수단을 더 포함하는 웨이퍼 카세트의 도어 개폐장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 지지판의 상면에 장착되며, 상기 회전력제공수단을 전후방향으로 이송시키는 전후이송실린더를 더 포함하는 웨이퍼 카세트의 도어 개폐장치.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 도어키와 상기 회전력제공수단이 서로 커플링 결합되는 웨이퍼 카세트의 도어 개폐장치.
KR1019980057225A 1998-12-22 1998-12-22 웨이퍼 카세트의 도어 개폐장치 KR20000041366A (ko)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020061132A (ko) * 2001-01-16 2002-07-23 주식회사 신성이엔지 웨이퍼이송용기 오프너의 래치키 및 그 제어방법
KR100772845B1 (ko) * 2006-06-21 2007-11-02 삼성전자주식회사 반도체 디바이스 제조설비에서의 웨이퍼 수납장치
CN105575862A (zh) * 2015-12-24 2016-05-11 北京中电科电子装备有限公司 一种foup装载门装置

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