KR20000034899A - Pump apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 모터 등의 회전구동장치에 의해 다축 압송형 펌프를 구동하고, 펌프 작용을 행하는 펌프 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pump device that drives a multiaxial pump by means of a rotary drive such as a motor and performs a pump action.
시판하는 펌프 장치에서는 2 축 압송형 펌프는 모터와 일체로 되어 있다. 여기서, 2 축 압송형 펌프에서는, 케이싱내에 흡기구 및 배기구를 구비한 1 개 이상의 펌프실이 구성되어 있다. 하나 또는 복수의 펌프실내에는 2 개로 1 조를 이루는 로터가 배치되고, 각 로터는 서로 평행한 2 개의 축 위에 장착되어 서로 좁은 간극을 유지하면서 회전하도록 되어 있다. 단단 (單段) 의 2 축 압송형 펌프의 케이싱에서는, 펌프실의 흡기구가 개구되어 있음과 동시에, 배기구가 개구되어 있다. 다단 (多段) 의 2 축 압송형 펌프의 케이싱에서는, 최전단의 펌프실의 흡기구가 개구되고, 전단의 펌프실과 후단의 펌프실 사이에는 비교적 축 길이가 긴 격벽이 형성되어 있고, 전단의 펌프실의 배기구는 그 격벽내를 거의 180°회전하면서 후단의 펌프실의 흡기구와 차례로 접속되고, 최후단의 펌프실의 배기구가 개구되어 있다. 또, 2 축 압송형 펌프의 각 축의 한 쪽에는 모터의 구동본체로부터 돌출하여 회전구동하는 구동축이 연결되어 있다. 그리고, 모터의 구동축과 연결된 2 축 압송형 펌프의 한 쪽 축의 선단에는 구동기어가 고정되고, 이 구동기어는 2 축 압송형 펌프의 다른 쪽 축의 선단에 고정된 종동기어와 맞물려 회전을 전동하도록 되어 있다.In a commercially available pump device, the biaxial pump is integral with the motor. Here, in the biaxial pump, one or more pump chambers having an intake port and an exhaust port in the casing are configured. In one or a plurality of pump chambers, two sets of rotors are arranged, and each rotor is mounted on two axes parallel to each other so as to rotate while maintaining a narrow gap therebetween. In the casing of the single stage biaxial pressure pump, the inlet port of the pump chamber is opened and the exhaust port is opened. In the casing of a multistage two-axis pump type pump, the inlet port of the pump chamber of the foremost stage is opened, a relatively long partition wall is formed between the pump chamber of the front stage and the pump chamber of the rear stage, and the exhaust port of the pump chamber of the front stage is The inside of the partition wall is rotated approximately 180 degrees, and in turn is connected to the intake port of the pump chamber of the rear stage, and the exhaust port of the pump chamber of the last stage is opened. In addition, a drive shaft that protrudes from the drive body of the motor and rotates is connected to one side of each shaft of the biaxial pump. A drive gear is fixed to the tip of one shaft of the two-axis pump, which is connected to the drive shaft of the motor, and the drive gear meshes with a driven gear fixed to the tip of the other shaft of the pump. have.
이러한 펌프 장치를 사용하여, 예를 들어 어떤 실내를 진공상태로 하여 감압실로 하고 싶은 경우, 2 축 압송형 펌프의 흡기구를 그 실내로 개구시킴과 동시에, 배기구를 대기 등으로 개구시킨다. 그리고, 모터로 2 축 압송형 펌프를 구동한다. 이로써, 2 축 압송형 펌프의 펌프실내에서 각 로터가 서로 좁은 간극을 유지하면서 회전하므로, 2 축 압송형 펌프의 펌프실내에서 펌프 작용이 이루어져,그 실내 공기를 대기 등으로 방출하여 그 실내를 감압실로 하는 것이 가능해진다.Using such a pumping device, for example, when a room is to be vacuumed to be a decompression chamber, the inlet of the biaxial pump is opened to the room, and the exhaust port is opened to the atmosphere. Then, the motor drives a biaxial pump. As a result, each rotor rotates in the pump chamber of the twin-screw pump type pump while maintaining a narrow gap therebetween, so that a pump action occurs in the pump chamber of the twin screw pump type pump, releasing the indoor air to the atmosphere, and depressurizing the room. Indeed, it becomes possible.
하지만, 상기 종래의 펌프 장치에서는, 모터의 구동축과 연결된 2 축 압송형 펌프의 한 쪽 축의 선단에 구동기어가 고정되고, 이 구동기어가 2 축 압송형 펌프의 다른 쪽 축의 선단에 고정된 종동기어와 맞물려 있음으로써 구동축의 회전을 룰 펌프의 각 축에 전달하고 있다. 그러므로, 이 종류의 펌프 장치에서는, 구동기어 및 종동기어를 윤활유로 윤활하는 것이 불가결하며, 그 윤활유에 의한 오염을 방지하기 위해, 구동기어 및 종동기어를 수납하는 기어실내의 밀폐성을 높게 유지할 필요가 있어서 제조 코스트가 높이 뛰게 된다. 또, 이러한 윤활유는 마찰열에 의해 감소하거나, 열화하기 쉬우므로, 윤활유의 추가, 교환 등의 유지도 불가결하여, 보수유지 코스트가 높이 뛰게 된다. 또한, 구동기어 및 종동기어는 이들이 직접 맞물려 회전을 전달하기 때문에, 비교적 두꺼운 것을 사용하지 않을 수 없고, 그래서 기어실에 어느 정도의 축 길이가 요구되므로 전체 길이도 커져서 설치장소(foot space)의 대형화의 문제도 있다. 또, 구동기어와 종동기어가 맞물리는데 있어 소음이 발생하기 쉬워 정숙성의 문제도 있다.However, in the conventional pump device, the drive gear is fixed to the tip of one shaft of the two-axis pump pump connected to the drive shaft of the motor, and the drive gear is fixed to the tip of the other shaft of the pump. By engaging with, the rotation of the drive shaft is transmitted to each shaft of the rule pump. Therefore, in this type of pumping device, it is essential to lubricate the drive gear and the driven gear with lubricating oil, and in order to prevent contamination by the lubricating oil, it is necessary to maintain high sealing in the gear chamber accommodating the drive gear and the driven gear. The manufacturing cost is high. In addition, since such lubricating oil is easily reduced or deteriorated by frictional heat, maintenance of addition, replacement, etc. of lubricating oil is also indispensable, resulting in high maintenance cost. In addition, since drive gears and driven gears are directly engaged with each other to transmit rotation, it is necessary to use relatively thick ones, so that a certain shaft length is required in the gear chamber, so that the overall length is increased to increase the size of the foot space. There is also a problem. In addition, noise is apt to occur when the driving gear and the driven gear are engaged, and there is also a problem of quietness.
본 발명은 상기 종래의 실상을 감안하여 이루어진 것으로써, 제조 코스트 및 보수유지 코스트의 저렴화를 실현하고, 설치장소의 감소를 도모할 수 있으며, 정숙성이 뛰어난 펌프 장치를 제공하는 것을 해결과제로 하고 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional situation, and it is a problem to provide a pump device that can realize a reduction in manufacturing cost and maintenance cost, can reduce the installation place, and has excellent quietness. .
도 1 은 실시형태의 다단 펌프 장치의 종단면도이다.1 is a longitudinal cross-sectional view of a multistage pump device of an embodiment.
도 2 는 실시형태의 다단 펌프 장치에 있어서, 도 1 의 Ⅱ-Ⅱ 화살표시 방향으로 본 단면도이다.FIG. 2 is a cross-sectional view taken in the direction of the II-II arrow in FIG. 1 in the multistage pump device of the embodiment. FIG.
도 3 은 실시형태의 다단 펌프 장치에 있어서, 도 1 의 Ⅲ-Ⅲ 화살표시 방향으로 본 단면도이다.3 is a cross-sectional view taken in the direction of the arrow III-III of FIG. 1 in the multistage pump device of the embodiment.
도 4 는 실시형태의 다단 펌프 장치에 있어서, 도 1 의 Ⅳ-Ⅳ 화살표시 방향으로 본 단면도이다.4 is a cross-sectional view taken in the direction of the IV-IV arrow in FIG. 1 in the multistage pump device of the embodiment.
도 5 는 실시형태의 다단 펌프 장치에 있어서, 도 1 의 Ⅴ-Ⅴ 화살표시 방향으로 본 단면도이다.FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line V-V in FIG. 1 in the multistage pump device of the embodiment. FIG.
도 6 은 실시형태의 다단 펌프 장치의 평면도이다.6 is a plan view of the multistage pump apparatus of the embodiment.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *
P 다단 루트 펌프 (다단 다축 압송형 펌프)P multistage root pump (multistage multi-axis pump)
17a, 2b, 4b 흡기구17a, 2b, 4b intake
2c, 4c, 16b 배기구2c, 4c, 16b exhaust vent
2a, 4a 펌프실2a, 4a pump room
1 ∼ 6, 1c, 16, 17 케이싱 (1 ∼ 6 : 제 1 ∼ 6 실린더 블록, 1c : 전면 플레이트, 16 : 제 1 플레이트, 17 : 제 2 플레이트)1-6, 1c, 16, 17 casing (1-6: 1st-6th cylinder block, 1c: front plate, 16: 1st plate, 17: 2nd plate)
7, 8 제 1,2 축7, 8 1st and 2nd axis
9 ∼ 12 제 1,2 로터9-12 No. 1,2 rotor
M 회전구동장치 (모터)M rotary drive (motor)
30 구동본체30 driving body
21 구동회전체 (구동 휠)21 Drive Rotator (Drive Wheel)
22 종동회전체 (종동 휠)22 driven rotor (driven wheel)
23 아이들 휠23 children wheel
24 감아걸기 매개절(節;link) (타이밍 벨트)24 winding link (timing belt)
본 발명의 펌프 장치는 흡기구 및 배기구를 구비한 1 개 이상의 펌프실을 구성하는 케이싱과, 그 펌프실내에 배치되며 서로 평행한 복수의 축 위에 장착되어 서로 좁은 간극을 유지하면서 회전하는 로터를 갖는 다축 압송형 펌프와,The pump device of the present invention is a multi-axial pressure feed having a casing constituting at least one pump chamber having an inlet and an exhaust port, and a rotor disposed in the pump chamber and mounted on a plurality of shafts parallel to each other and rotating while maintaining a narrow gap therebetween. With mold pump,
그 다축 압송형 펌프에 인접하여 설치되고, 구동본체와 그 구동본체로부터 돌출하여 회전구동하는 구동축을 갖는 회전구동장치와,A rotary drive device provided adjacent to the multi-axial pump type pump and having a drive main body and a drive shaft protruding from the drive main body to rotate;
그 회전구동장치의 그 구동축에 고정된 구동회전체와, 그 다축 압송형 펌프의 각 축에 고정된 종동회전체와, 그 구동회전체 및 그 종동회전체에 감겨걸리고, 그 구동회전체의 회전을 그 종동회전체에 전동하는 감아걸기 매개절(節;link)을 갖는 감아걸기 전동열을 구비한 것을 특징으로 한다.The drive rotary body fixed to the drive shaft of the rotary drive device, the driven rotary body fixed to each axis of the multi-axis pump type pump, the drive rotary body and the driven rotary body are wound around, and the rotation of the drive rotary body It is characterized by having a winding electric train having a winding interlock (link;) to be transmitted to the copper rotating body.
본 발명의 펌프 장치에서는, 구동회전체의 회전을 감아걸기 매개절에 의해 종동회전체에 전달함으로써, 구동축의 회전을 다축 압송형 펌프의 각 축에 전달하고 있다. 그러므로, 본 발명의 펌프 장치에서는, 윤활유에 의한 윤활이 불가결한 종래와 같은 구동기어 및 종동기어를 사용하지 않기 때문에, 윤활유에 의한 오염 걱정을 하지 않아도 된다. 그러므로, 구동회전체, 종동회전체 및 감아걸기 매개절을 갖는 감아걸기 전동열을 수납하는 전동실에 대해, O링을 생략할 수 있는 등, 전동실내의 밀폐성을 그다지 높이 유지할 필요가 없다. 또, 윤활유의 추가, 교환 등의 유지도 반드시 필요로 하지는 않는다. 또한, 감아걸기 매개절을 통해 회전을 전달하기 때문에, 구동회전체 및 종동회전체는 비교적 얇은 것을 사용할 수 있고, 그러므로, 전동실의 단축화에 의해 전체 길이의 단축화를 실현할 수 있다. 또, 감아걸기 전동절을 사이에 두고 있으므로, 구동력을 부여하는 구동회전체와 구동력을 받는 종동회전체가 직접 맞물리지 않고, 비교적 소음도 발생하지 않는다.In the pump apparatus of the present invention, the rotation of the drive shaft is transmitted to each shaft of the multi-axial pump type pump by transmitting the rotation of the drive rotating body to the driven rotating body by means of a wrapping parameter. Therefore, the pump device of the present invention does not use the conventional drive gear and driven gear, which are indispensable in lubrication with lubricating oil, so there is no need to worry about contamination with lubricating oil. Therefore, the O-ring can be omitted for the transmission chamber accommodating the driving rotation body, the driven rotation body, and the winding transmission heat having the winding mediation, so that the sealing property in the transmission chamber does not need to be maintained so high. In addition, maintenance of addition, replacement, etc. of lubricating oil is not necessarily required. In addition, since the rotation is transmitted through the winding mediation section, the drive rotational body and the driven rotational body can use relatively thin ones. Therefore, the reduction in the overall length can be realized by shortening the transmission chamber. Moreover, since the winding rolling element is sandwiched between, the driving rotary body that gives the driving force and the driven rotary body that receives the driving force do not directly engage, and relatively no noise is generated.
따라서, 본 발명의 펌프 장치는, 제조 코스트 및 보수유지 코스트의 저렴화를 실현하고, 설치장소의 감소를 도모할 수 있으며, 정숙성도 뛰어난 것이 된다.Therefore, the pump device of the present invention can realize a reduction in manufacturing cost and maintenance cost, can reduce the installation place, and also has excellent quietness.
본 발명의 펌프 장치에서는, 구동회전체를 다축 압송형 펌프의 각 축의 하나에 고정하는 것이 바람직하다. 이로써, 부품수를 삭감할 수 있어, 펌프 장치의 제조 코스트를 보다 저렴하게 할 수 있다.In the pump device of the present invention, it is preferable to fix the drive rotating body to one of each shaft of the multi-axis pump type pump. Thereby, the number of parts can be reduced and the manufacturing cost of a pump apparatus can be made cheaper.
또, 본 발명의 펌프 장치에서는, 감아걸기 전동열로써 피치전동가능한 것을 사용하는 것이 바람직하다. 피치전동가능한 감아걸기 전동열로는, 구동회전체 및 종동회전체로써의 톱니바퀴와, 감아걸기 매개절로는 톱니 전동벨트 (타이밍 벨트) 를 사용하거나, 구동회전체 및 종동회전체로 스프로킷과, 감아걸기 매개절로 체인을 사용할 수 있다. 이로써, 예를 들어 구동회전체 및 종동회전체로 풀리 (pulley) 및 감아걸기 매개절로 평 벨트 (flat belt) 를 사용한 경우와 비교하여, 미끄럼이 없고, 펌프 작용을 원활하게 실시할 수 있다.Moreover, in the pump apparatus of this invention, it is preferable to use the thing which can be pitch-transmitted as a rolling electric heat. Pitch-driven hoisting electric furnaces include cogwheels as drive and driven rotors, and toothed belts (timing belts) as winding media, or sprockets as drive and driven rotors and winding media You can use chains as clauses. Thereby, compared with the case where a flat belt is used as a driving | pulling and a winding medium as a drive rotational body and a driven rotation body, for example, there is no slipperiness | movement and a pump action can be performed smoothly.
또한, 본 발명의 펌프 장치에서는, 구동회전체 및 종동회전체를 플라스틱으로 만들고, 감아걸기 매개절을 고무로 만든 것으로 하는 것이 바람직하다. 이로써, 금속의 슬라이딩을 동반하지 않으므로, 윤활유가 없어도 됨과 동시에, 한층 더 소음을 작게 할 수 있다.Moreover, in the pump apparatus of this invention, it is preferable to make a drive rotational body and a driven rotational body from plastic, and to make a winding mediation section into the rubber | gum. As a result, since the sliding of the metal is not accompanied, the lubricant can be eliminated and the noise can be further reduced.
또, 본 발명의 펌프 장치에서는, 감아걸기 전동열을 다축 압송형 펌프와 회전구동장치 사이에 설치하는 것이 바람직하다. 이 펌프 장치에서는, 회전구동장치의 구동축의 회전이 감아걸기 전동열을 통해 다축 압송형 펌프의 각 축에 전달되기 때문에, 다축 압송형 펌프의 각 축이 비틀림의 영향을 받지 않아 펌프실내에서 확실히 로터가 회전하여 펌프 작용을 원활하게 실시할 수 있다.Moreover, in the pump apparatus of this invention, it is preferable to provide a rewind electric heat between a multiaxial pump and a rotation drive apparatus. In this pump device, since the rotation of the drive shaft of the rotary drive is transmitted to each of the shafts of the multi-axis pump by the rolling electric heat, the shaft of the pump of the multi-axis pump is not affected by the torsion and the rotor is surely It can rotate and perform a pump action smoothly.
또한, 본 발명의 펌프 장치에서, 펌프실이 복수개인 경우, 최전단의 펌프실의 흡기구는 감아걸기 전동열로부터 가장 먼 위치에서 개구되고, 최후단의 펌프실의 배기구는 감아걸기 전동열에 가장 가까운 위치에서 개구되어 이루어지는 것이 바람직하다. 이렇게 하면, 최전단의 펌프실의 흡기구가 개구되는 실내 등에 감아걸기 전동열에 의한 이물이 잘 흩어지지 않는다. 또, 소량의 윤활유를 사용해도, 최전단의 펌프실의 흡기구가 개구되는 실내 등에 그 윤활유가 잘 흩어지지 않는다. 그러므로, 그 실내 등의 환경을 적절히 유지할 수 있다.In addition, in the pump apparatus of the present invention, when there are a plurality of pump chambers, the inlet port of the pump chamber at the foremost stage is opened at the position farthest from the rolling heat of transmission, and the exhaust port of the pump chamber at the last end is opened at the position closest to the coiling transmission train. It is preferable to make. In this case, the foreign material by the heat of electric transmission is easily scattered around the room or the like where the inlet port of the pump chamber at the front end is opened. In addition, even when a small amount of lubricant is used, the lubricant is not easily dispersed in a room or the like where the inlet port of the pump chamber at the foremost stage is opened. Therefore, the environment of the room and the like can be properly maintained.
이하, 본 발명을 구체화한 실시형태를 도면을 참조하면서 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment which actualized this invention is described, referring drawings.
이 다단 펌프 장치에서는, 도 1 에 나타낸 바와 같이, 다단 다축 압송형 펌프로써의 다단 루트 펌프 (P) 가 회전구동장치로써의 모터 (M) 와 일체로 되어 있다. 여기서, 다단 루트 펌프 (P) 에서는, 제 1 ∼ 6 실린더 블록 (1 ∼ 6) 이 사이에 0 링을 개재시키면서 순서대로 적층되고, 이들은 제 1 실린더 블록 (1) 측에 설치한 전면 플레이트 (1c) 와 함께 도시하지 않은 관통볼트로 체결되어 있다. 이들 제 1 ∼ 6 실린더 블록 (1 ∼ 6) 및 전면 플레이트 (1c) 가 케이싱의 일부를 구성하고 있다.In this multistage pump apparatus, as shown in FIG. 1, the multistage root pump P as a multistage multi-axis pump type pump is integrated with the motor M as a rotation drive apparatus. Here, in the multistage root pump P, the first to sixth cylinder blocks 1 to 6 are stacked in order with a 0 ring interposed therebetween, and these are the front plate 1c provided on the first cylinder block 1 side. And through bolts (not shown). These 1-6 cylinder blocks 1-6 and the front plate 1c comprise a part of casing.
제 1 ∼ 5 실린더 블록 (1 ∼ 5) 에는 각각 수평인 2 개의 축구멍이 상하에서 서로 평행을 이루어 관통되어 있고, 각 축 구멍에는 제 1 축 (7) 및 제 2 축 (8) 이 수용되어 있다. 제 1 실린더 블록 (1) 의 각 축 구멍내에는 제 1, 2 축 (7,8) 을 지지하는 베어링 장치 (1a,1b) 가 설치되고, 이들은 전면 플레이트 (1c) 로 덮여 있다.The first to fifth cylinder blocks 1 to 5 each have two axial holes horizontally penetrated in parallel to each other from above and below, and the first and second shafts 7 and 8 are accommodated in each of the shaft holes. have. In each shaft hole of the first cylinder block 1, bearing devices 1a, 1b for supporting the first, second shafts 7, 8 are provided, which are covered with the front plate 1c.
제 2 실린더 블록 (2) 에는, 도 2 에도 나타낸 바와 같이, 1 개의 펌프실 (2a) 이 후방으로부터 오목하게 설치되어 있고, 펌프실 (2a) 주위에는 상기 0 링을 수용하는 홈이 오목하게 설치되어 있다. 펌프실 (2a) 내에는, 하측에 위치하는 제 1 축 (7) 에 장착된 제 1 로터 (9) 와, 상측에 위치하는 제 2 축 (8) 에 장착된 제 2 로터 (10) 가 배치되어 있다. 제 1, 2 로터 (9,10) 는 각각 서로 좁은 간극을 유지하면서 회전하도록 되어 있다. 제 2 실린더 블록 (2) 에는, 펌프실 (2a) 과 연통하고, 제 1, 2 로터 (9,10) 의 회전에 의해 공기를 흡입하는 흡기구 (2b) 와, 공기를 배출하는 배기구 (2c) 가 수평으로 관통 설치되어 있다.As shown in FIG. 2, one pump chamber 2a is recessed from the rear side in the second cylinder block 2, and a groove for accommodating the zero ring is recessed around the pump chamber 2a. . In the pump chamber 2a, the 1st rotor 9 attached to the 1st shaft 7 located in the lower side, and the 2nd rotor 10 attached to the 2nd shaft 8 located in the upper side are arrange | positioned, have. The first and second rotors 9 and 10 are rotated while maintaining a narrow gap with each other. In the 2nd cylinder block 2, the inlet port 2b which communicates with the pump chamber 2a, and inhales air by rotation of the 1st, 2nd rotors 9 and 10, and the exhaust port 2c which discharges air are provided in the 2nd cylinder block 2, It is installed horizontally.
도 1 에 나타내는 제 4 실린더 블록 (4) 에도, 도 4 에 나타낸 바와 같이, 1 개의 동일한 펌프실 (4a) 이 후방으로부터 오목하게 설치되고, 펌프실 (4a) 내에는 동일한 제 1, 2 로터 (11,12) 가 배치되어 있다. 또, 제 4 실린더 블록 (4) 에는, 동일한 흡기구 (4b) 및 배기구 (4c) 가 수평으로 관통 설치되어 있다. 단, 제 2 실린더 블록 (2) 에 의한 전단의 펌프실 (2a) 의 축 길이 쪽이 제 4 실린더 블록 (4) 에 의한 후단의 펌프실 (4a) 의 축 길이보다도 길다. 또, 이들 각 펌프실 (2a,4a) 의 축 길이에 맞춰 제 1, 2 로터 (9 ∼ 12) 의 축 길이도 달라진다.Also in the 4th cylinder block 4 shown in FIG. 1, as shown in FIG. 4, one same pump chamber 4a is recessed from the back, and the same 1st, 2nd rotor 11 in the pump chamber 4a is provided. 12) is arranged. In addition, the same inlet port 4b and the exhaust port 4c are horizontally provided in the fourth cylinder block 4. However, the shaft length of the pump chamber 2a of the front end by the 2nd cylinder block 2 is longer than the shaft length of the pump chamber 4a of the rear end by the 4th cylinder block 4. Moreover, the shaft length of the 1st, 2nd rotors 9-12 also changes with the shaft length of each of these pump chambers 2a, 4a.
도 1 에 나타낸 제 3 실린더 블록 (3) 에는, 도 3 에 나타낸 바와 같이, 에어 통로 (3a) 가 수평으로 관통 설치되어 있다.As shown in FIG. 3, the air passage 3a penetrates horizontally in the 3rd cylinder block 3 shown in FIG.
도 1 에 나타낸 제 5 실린더 블록 (5) 의 각 축 구멍내에는, 제 1, 2 축 (7,8) 을 지지하는 베어링 장치 (5a,5b) 가 설치되어 있다.In each of the shaft holes of the fifth cylinder block 5 shown in FIG. 1, bearing devices 5a and 5b supporting the first and second shafts 7 and 8 are provided.
도 6 실린더 블록 (6) 에는, 도 1 및 도 5 에 나타낸 바와 같이, 전동실 (6a) 이 후방으로부터 오목하게 설치되어 있다. 전동실 (6a) 내에서는, 제 1 축 (7) 에 구동회전체인 플라스틱으로 만든 구동 휠 (21) 이 고정되고, 제 2 축 (8) 에는 종동회전체인 플라스틱으로 만든 종동 휠 (22) 이 고정되어 있다. 구동 휠 (21) 및 종동 휠 (22) 은 제 1, 2 축 (7,8) 사이에 도시하지 않은 나사를 가지고 있고, 이들 나사에 의해 축 방향의 위치가 조정가능하게 되어 있다. 또, 제 5 실린더 블록 (5) 과 제 6 실린더 블록 (6) 사이에는 제 3 축 (20) 이 제 1, 2 축 (7,8) 과 평행하게 설치되고, 제 5, 6 실린더 블록 (5,6) 내에서, 그 양단이 도시하지 않은 베어링 장치에 의해 지지되어 있다. 이 제 3 축 (20) 에는, 플라스틱으로 만든 아이들 휠 (23) 이 고정되어 있다. 이들 구동 휠 (21), 종동 휠 (22) 및 아이들 휠 (23) 은 각각 동일 피치의 톱니바퀴이다. 구동 휠 (21) 및 아이들 휠 (23) 에는 감아걸기 매개절인 고무로 만든 타이밍 벨트 (24) 가 바깥쪽에서 감겨걸리고, 이 타이밍 벨트 (24) 의 바깥쪽에 종동 휠 (22) 이 설치되어 있다. 이 타이밍 벨트 (24) 는구동 휠 (21) 등과 동일 피치의 톱니가 안밖으로 설치되어 있다. 이렇게 하여, 구동 휠 (21) 과 아이들 휠 (22) 은 타이밍 벨트 (24) 에 의해 동일방향으로 회전가능하게 되고, 종동 휠 (22) 은 이들 구동 휠 (21) 및 아이들 휠 (23) 과는 반대방향으로 회전가능하게 되어 있다. 이들 구동 휠 (21), 종동 휠 (22), 아이들 휠 (23) 및 타이밍 벨트 (24) 가 감아걸기 전동열을 구성하고 있다.As shown in FIG. 1 and FIG. 5, the transmission chamber 6a is recessed in the cylinder block 6 in FIG. 6. In the transmission chamber 6a, a drive wheel 21 made of plastic, which is a drive rotation body, is fixed to the first shaft 7, and a driven wheel 22 made of plastic, which is a driven rotation body, is fixed to the second shaft 8. It is fixed. The drive wheel 21 and the driven wheel 22 have screws not shown between the first and second shafts 7, 8, and the positions in the axial direction are adjustable by these screws. Moreover, between the 5th cylinder block 5 and the 6th cylinder block 6, the 3rd shaft 20 is provided in parallel with the 1st, 2nd shaft 7, 8, and the 5th, 6th cylinder block 5 6, both ends thereof are supported by a bearing device (not shown). An idle wheel 23 made of plastic is fixed to the third shaft 20. These drive wheels 21, driven wheels 22, and idle wheels 23 are cog wheels of the same pitch, respectively. In the drive wheel 21 and the idle wheel 23, a timing belt 24 made of rubber, which is a winding medium, is wound from the outside, and a driven wheel 22 is provided outside the timing belt 24. As shown in FIG. The timing belt 24 is provided with teeth of the same pitch as the driving wheel 21 and the like in and out. In this way, the drive wheel 21 and the idle wheel 22 are rotatable in the same direction by the timing belt 24, and the driven wheel 22 is different from these drive wheel 21 and the idle wheel 23. It is rotatable in the opposite direction. These drive wheels 21, driven wheels 22, idle wheels 23, and timing belts 24 constitute a rolling electric train.
또, 도 1 에 나타낸 바와 같이, 도 6 실린더 블록 (6) 에는 도시하지 않은 볼트에 의해 모터 (M) 의 구동본체 (30) 가 고정되고, 제 1 축 (7) 은 구동본체 (30) 로부터 돌출하여 회전구동하는 모터 (M) 의 구동축과 도시하지 않은 커플링에 의해 연결되어 있다.As shown in FIG. 1, the drive body 30 of the motor M is fixed to the cylinder block 6 in FIG. 6 by bolts (not shown), and the first shaft 7 is driven from the drive body 30. It is connected by the drive shaft of the motor M which protrudes and rotates and by the coupling which is not shown in figure.
그리고, 도 6 에 나타낸 바와 같이, 제 2 ∼ 4 실린더 블록 (2 ∼ 4) 의 측면에는, 도 2 ∼ 4 도 나타내는 바와 같이, 개스킷 (18,19) 을 통해 제 1,2 플레이트 (16,17) 가 도시하지 않은 볼트에 의해 체결되어 있다. 이들 제 1,2 플레이트 (16,17) 가 케이싱의 나머지 부분을 구성하고 있다.And as shown in FIG. 6, in the side surface of the 2nd-4th cylinder block 2-4, as shown in FIG.2-4, the 1st, 1st plate 16,17 via the gaskets 18,19. ) Is fastened by a bolt (not shown). These first and second plates 16 and 17 constitute the rest of the casing.
도 2, 도 3 및 도 6 에 나타낸 바와 같이, 제 2 플레이트 (17) 에는 제 2 실린더 블록 (2) 의 흡기구 (2b) 와 연통하는 흡기구 (17a) 가 수평으로 관통 설치되고, 제 1 플레이트 (16) 에는 제 2 실린더 블록 (2) 의 배기구 (2c) 및 제 3 실린더 블록 (3) 의 에어 통로 (3a) 와 연통하는 연통홈 (16a) 이 오목하게 설치되어 있다. 또, 도 3, 도 4 및 도 6 에 나타낸 바와 같이, 제 2 플레이트 (17) 에는 제 3 실린더 블록 (3) 의 에어 통로 (3a) 및 제 4 실린더 블록 (4) 의 흡기구 (4b) 와 연통하는 연통홈 (17b) 이 오목하게 설치되고, 제 1 플레이트 (16) 에는 제 4 실린더 블록 (4) 의 배기구 (4c) 와 연통하는 배기구 (16b) 가 수평으로 관통 설치되어 있다.As shown in Figs. 2, 3 and 6, the second plate 17 is provided with an inlet port 17a communicating with the inlet port 2b of the second cylinder block 2 horizontally, and the first plate ( 16, the communication groove 16a which communicates with the exhaust port 2c of the 2nd cylinder block 2, and the air passage 3a of the 3rd cylinder block 3 is recessed. 3, 4, and 6, the second plate 17 communicates with the air passage 3a of the third cylinder block 3 and the intake port 4b of the fourth cylinder block 4. The communication groove 17b to which it is made is recessed, and the exhaust port 16b which communicates with the exhaust port 4c of the 4th cylinder block 4 is penetrated horizontally in the 1st plate 16.
이상과 같이 구성된 다단 펌프 장치를 사용하여, 예를 들어 어떤 실내를 진공상태로 하여 감압실로 하고 싶을 경우, 다단 루트 펌프 (P) 에서, 도 6 에 나타낸 바와 같이, 호스 등을 통해 제 2 플레이트 (17) 의 흡기구 (17a) 를 그 실내로 개구시킴과 동시에, 호스 등을 통해 제 1 플레이트 (16) 의 배기구 (16b) 를 대기 등으로 개구시킨다. 그리고, 모터 (M) 에 의해 다단 루트 펌프 (P) 를 구동한다. 이로써, 다단 루트 펌프 (P) 의 각 펌프실 (2a,4a) 내에서 제 1,2 로터 (9∼12) 가 서로 좁은 간극을 유지하면서 회전하므로, 각 펌프실 (2a,4a) 내에서 순서대로 펌프 작용이 이루어져, 그 실내의 공기를 대기 등으로 방출하여 그 실내를 감압실로 하는 것이 가능해진다.In the case of using a multistage pump device configured as described above, for example, if a room is to be in a vacuum and a pressure reducing chamber is desired, in the multistage root pump P, as shown in FIG. The inlet port 17a of the 17 is opened into the room, and the exhaust port 16b of the first plate 16 is opened to the atmosphere through a hose or the like. And the multistage root pump P is driven by the motor M. As shown in FIG. Thereby, since the 1st and 2nd rotors 9-12 are rotated in each pump chamber 2a, 4a of the multistage root pump P, maintaining a narrow space | interval from each other, it pumps in order in each pump chamber 2a, 4a. It is possible to release the air in the room to the atmosphere and to make the room a decompression chamber.
요즘, 이 다단 펌프 장치에서는, 플라스틱으로 만든 구동 휠 (21) 및 종동 휠 (22) 과 고무로 만든 타이밍 벨트 (24) 를 사용하고, 구동 휠 (21) 의 회전을 타이밍 벨트 (24) 에 의해 구동 휠 (22) 에 전달함으로써, 모터 (M) 의 구동축의 회전을 다단 루트 펌프 (P) 의 제 1,2 축 (7,8) 에 전달하고 있다. 그러므로, 이 다단 펌프 장치에서는, 윤활유를 필요로 하지 않아 전동실 (6a) 에 대한 0 링을 생략할 수 있는 등, 그 전동실 (6a) 내의 밀폐성을 그다지 높게 유지할 필요를 없애고 있다. 또, 윤활유의 추가, 교환 등의 유지도 필요로 하지 않는다. 또한, 타이밍 벨트 (24) 를 통해 회전을 전달하기 때문에, 구동 휠 (21) 및 종동 휠 (22) 로는 비교적 두께가 얇은 것을 사용할 수 있으며, 그러므로 전동실 (6a) 의 단축화에 의해 전체길이의 단축화를 실현하고 있다. 또, 타이밍 벨트 (24) 를 사이에 두고 있기 때문에 구동력을 부여하는 구동 휠 (21) 과 구동력을 받는 종동 휠 (22) 이 직접 맞물리지 않고, 금속의 슬라이딩도 동반하지 않으므로 소음도 발생하지 않는다.Nowadays, in this multi-stage pump apparatus, a drive wheel 21 made of plastic and a driven wheel 22 and a timing belt 24 made of rubber are used, and the rotation of the drive wheel 21 is controlled by the timing belt 24. By transmitting to the drive wheel 22, the rotation of the drive shaft of the motor M is transmitted to the 1st, 1st, 2nd shafts 7, 8 of the multistage root pump P. As shown in FIG. Therefore, this multistage pump apparatus eliminates the need for maintaining the sealability in the transmission chamber 6a so high that the zero ring to the transmission chamber 6a can be omitted without requiring lubricating oil. In addition, maintenance of addition, replacement, etc. of lubricating oil is not required. In addition, since the rotation is transmitted through the timing belt 24, a relatively thin one can be used for the drive wheel 21 and the driven wheel 22. Therefore, the overall length can be shortened by shortening the transmission chamber 6a. To realize that. In addition, since the timing belt 24 is interposed therebetween, the driving wheel 21 giving the driving force and the driven wheel 22 receiving the driving force are not directly engaged with each other, and no noise is generated since the sliding of the metal is not accompanied.
따라서, 이 다단 펌프 장치는, 제조 코스트 및 보수유지 코스트의 저렴화를 실현하고, 설치장소의 감소를 도모할 수 있고, 정숙성도 뛰어난 것으로 되어 있다.Therefore, this multistage pump device realizes reduction in manufacturing cost and maintenance cost, can reduce installation place, and is also excellent in quietness.
또, 이 다단 펌프 장치에서는, 구동 휠 (21) 을 다단 루트 펌프 (P) 의 제 1 축 (7) 에 고정하고 있으므로, 부품점수를 삭감하고, 다단 펌프 장치의 제조 코스트를 더 저렴화하고 있다.Moreover, in this multistage pump apparatus, since the drive wheel 21 is being fixed to the 1st shaft 7 of the multistage root pump P, the number of parts is reduced and manufacturing cost of a multistage pump apparatus is reduced more.
또, 이 다단 펌프 장치에서는, 구동 휠 (21), 종동 휠 (22) 및 타이밍 벨트 (24) 가 피치전동가능하므로, 미끄럼이 없고, 펌프 작용을 원활하게 실시할 수 있다.Moreover, in this multistage pump apparatus, since the drive wheel 21, the driven wheel 22, and the timing belt 24 can pitch-shift, there is no slipping and a pump action can be performed smoothly.
또한, 이 다단 펌프 장치에서는, 전동실 (6a) 을 다단 루트 펌프 (P) 와 모터 (M) 사이에 설치하고, 모터 (M) 의 구동축의 회전이 구동 휠 (21), 종동 휠 (22) 및 타이밍 벨트 (24) 를 통해 다단 루트 펌프 (P) 의 제 1,2 축 (7,8) 에 전달되기 때문에, 다단 루트 펌프 (P) 의 제 1,2 축 (7,8) 이 비틀림의 영향을 받지 않아 펌프실 (2a,4a) 내에서 확실히 로더 (9∼12) 가 회전하여 펌프 작용을 원활하게 실시할 수 있다.Moreover, in this multistage pump apparatus, the transmission chamber 6a is provided between the multistage root pump P and the motor M, and rotation of the drive shaft of the motor M is driven by the drive wheel 21 and the driven wheel 22. And the first, second, and second axes 7, 8 of the multistage root pump P are twisted because they are transmitted to the first, second, and second axes 7, 8 of the multistage root pump P via the timing belt 24. Since it is not influenced, the loaders 9-12 can reliably rotate in the pump chambers 2a and 4a, and the pump action can be performed smoothly.
또, 이 다단 펌프 장치에서는, 전단의 펌프실 (2a) 의 흡기구 (2b,17a) 가 전동실 (6a) 로부터 가장 먼 위치에서 개구되고, 후단의 펌프실 (4a) 의 배기구 (4c,16b) 가 전동실 (6a) 에 가장 가까운 위치에서 개구되고 있으므로, 전단의 펌프실 (2a) 의 흡기구 (2b,17a) 가 개구되는 실내에 구동 휠 (21) 등의 마모분 등에 의한 이물이 잘 흩어지지 않아 그 실내의 환경을 적절하게 유지할 수 있다.In this multistage pump apparatus, the inlet openings 2b and 17a of the pump chamber 2a in the front end are opened at the position farthest from the transmission chamber 6a, and the exhaust ports 4c and 16b of the pump chamber 4a in the rear stage are driven. Since it is opened at the position closest to the seal 6a, foreign matters caused by abrasion or the like of the drive wheel 21 are not easily dispersed in the room where the inlet ports 2b and 17a of the pump chamber 2a in the front end are opened. We can maintain environment of.
또한, 본 발명은 펌프실이 1 개의 단단 (單段) 펌프 장치로 하거나, 3 개 이상의 다단 펌프 장치로 할 수도 있다. 또, 다축 압송형 펌프로는, 루트 펌프 대신에, 스크류형 펌프 등을 사용할 수도 있다.Moreover, in this invention, a pump room may be set as one single stage pump apparatus, or three or more multistage pump apparatus. In addition, a screw pump or the like may be used instead of the root pump as the multiaxial pump.
본 발명의 펌프 장치에서는, 윤활유에 의한 윤활이 불가결한 종래와 같은 구동기어 및 종동기어를 사용하지 않기 때문에, 윤활유에 의한 오염 걱정을 하지 않아도 된다. 그러므로, 구동회전체, 종동회전체 및 감아걸기 매개절을 갖는 감아걸기 전동열을 수납하는 전동실에 대해, O링을 생략할 수 있는 등, 전동실내의 밀폐성을 그다지 높이 유지할 필요가 없다. 또, 윤활유의 추가, 교환 등의 유지도 반드시 필요로 하지는 않는다. 또한, 감아걸기 매개절을 통해 회전을 전달하기 때문에, 구동회전체 및 종동회전체는 비교적 얇은 것을 사용할 수 있고, 그러므로, 전동실의 단축화에 의해 전체 길이의 단축화를 실현할 수 있다. 또, 감아걸기 전동절을 사이에 두고 있으므로, 구동력을 부여하는 구동회전체와 구동력을 받는 종동회전체가 직접 맞물리지 않고, 비교적 소음도 발생하지 않는다.Since the pump device of the present invention does not use the conventional drive gear and driven gear which are indispensable for lubrication with lubricating oil, there is no need to worry about contamination with lubricating oil. Therefore, the O-ring can be omitted for the transmission chamber accommodating the driving rotation body, the driven rotation body, and the winding transmission heat having the winding mediation, so that the sealing property in the transmission chamber does not need to be maintained so high. In addition, maintenance of addition, replacement, etc. of lubricating oil is not necessarily required. In addition, since the rotation is transmitted through the winding mediation section, the drive rotational body and the driven rotational body can use relatively thin ones. Therefore, the reduction in the overall length can be realized by shortening the transmission chamber. Moreover, since the winding rolling element is sandwiched between, the driving rotary body that gives the driving force and the driven rotary body that receives the driving force do not directly engage, and relatively no noise is generated.
따라서, 본 발명의 펌프 장치는, 제조 코스트 및 보수유지 코스트의 저렴화를 실현하고, 설치장소의 감소를 도모할 수 있으며, 정숙성도 뛰어난 것이 된다.Therefore, the pump device of the present invention can realize a reduction in manufacturing cost and maintenance cost, can reduce the installation place, and also has excellent quietness.
또, 본 발명의 펌프 장치에서는, 감아걸기 전동열로써 피치전동가능한 것을 사용함으로써, 예를 들어 구동회전체 및 종동회전체로 풀리 (pulley) 및 감아걸기 매개절로 평 벨트 (flat belt) 를 사용한 경우와 비교하여, 미끄럼이 없고, 펌프 작용을 원활하게 실시할 수 있다.In addition, in the pump device of the present invention, by using a pitch-driven electric winding as a rolling electric train, it is compared with the case where a flat belt is used as a pulley and a winding medium for the driving rotating body and the driven rotating body, for example. Thus, there is no slip and the pump action can be performed smoothly.
또한, 본 발명의 펌프 장치에서는, 구동회전체 및 종동회전체를 플라스틱으로 만들고, 감아걸기 매개절을 고무로 만들어서, 금속의 슬라이딩을 동반하지 않으므로, 윤활유가 없어도 됨과 동시에, 한층 더 소음을 작게 할 수 있다.In addition, in the pump device of the present invention, since the drive and driven rotors are made of plastic, and the winding mediation section is made of rubber, which does not accompany sliding of the metal, the lubricant can be eliminated and the noise can be further reduced. have.
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