KR20000013683U - Structure to prevent vacuum deterioration of microwave oven for microwave - Google Patents

Abstract

본 고안은 전자렌지용 초고주파 발진관의 진공도 저하 방지구조에 관한 것으로, 출력 캐비티(140)의 중심부에 결합된 안테나 커플링 헤드(145)의 상부와 입력 캐비티(130)의 하부 일측에 개스를 흡착시키도록 한 게터(30)를 각각 부착시킨 구조로 이루어진다.The present invention relates to a structure for preventing vacuum deterioration of an microwave oven tube for microwave oven, and adsorbs gas to an upper portion of an antenna coupling head 145 coupled to a center of an output cavity 140 and a lower side of an input cavity 130. It is made of a structure in which the getter 30 is attached to each other.

이와 같은 본 고안은 히터(120)를 포함한 초고주파 발진관의 내부 구성부품으로부터 방출된 개스에 의해 초고주파 발진관의 진공도가 저하되는 것을 방지함으로써 초고주파 발진관의 동작불량과 내부 구성부품의 산화에 따른 수명의 저하를 방지한다.The present invention as described above prevents the vacuum degree of the ultra-high frequency oscillation tube from being lowered by the gas discharged from the internal components of the ultra-high frequency oscillation tube including the heater 120, thereby preventing the operation of the ultra-high frequency oscillation tube and the life of the internal components due to oxidation. To prevent degradation.

Description

전자렌지용 초고주파 발진관의 진공도 저하 방지구조Structure to prevent vacuum deterioration of microwave oven for microwave

본 고안은 전자렌지에 관한 것으로, 상세하게는 초고주파 발진관의 입력 캐비티, 또는 출력 캐비티의 일측에 흡착성을 갖는 게터를 부착시킴으로써 초고주파 발진관의 진공도 저하를 방지하도록 한 것으로, 특히 저전압 구동 초고주파 발진관에 적합하도록 구성한 전자렌지용 초고주파 발진관의 진공도 저하 방지구조에 관한 것이다.The present invention relates to a microwave oven, and in particular, by attaching a getter having adsorption to one side of the input cavity or the output cavity of the ultra-high frequency oscillation tube to prevent the vacuum degree of the ultra-high frequency oscillation tube to be lowered. The vacuum degree reduction structure of the microwave high frequency oscillation tube comprised so that is suitable for the present invention.

일반적으로 전자렌지에서는 초고주파를 음식물에 조사함으로써 음식물중에 함유된 물분자의 병진운동에 따른 마찰열을 이용하여 유전가열에 의해 음식물을 조리하게 되며, 이러한 전자렌지의 내부에는 초고주파 발진관으로서 4㎸의 고전압으로 동작하는 마그네트론(magnetron)이 구비된다.In general, microwaves are irradiated with food to cook foods by dielectric heating using frictional heat caused by the translational motion of water molecules contained in foods. A magnetron is provided that operates as.

상기한 마그네트론은 초고주파를 발생시키는 일종의 2극 진공관으로, 도 1과 같이 전원이 입력되도록 한 입력부와, 극초단파가 외부로 방출되는 출력부로 이루어지며, 콘덴서(11) 및 코일(12) 등으로 구성된 입력부에 전원을 인가하면 캐소드(1)의 필라멘트로부터 생성된 열전자가 원통형의 애노드(2)의 내벽에 결합된 복수의 베인(3) 선단과 필라멘트 사이의 작용 공간(4)으로 방출되며, 이 작용 공간(4)에는 캐소드(1)와 애노드(2)를 구성하는 베인(3) 사이에 4㎸의 고전압이 인가되어 상기한 작용 공간(4)에 전계를 형성시킨다.The magnetron is a kind of two-pole vacuum tube that generates ultra-high frequency, and is composed of an input unit through which power is input as shown in FIG. When power is applied, hot electrons generated from the filament of the cathode 1 are emitted into the working space 4 between the tip of the plurality of vanes 3 coupled to the inner wall of the cylindrical anode 2 and the filament, and this working space In (4), a high voltage of 4 kV is applied between the cathode 1 and the vanes 3 constituting the anode 2 to form an electric field in the above-described working space 4.

이때, 상기한 공간(4)에는 자석(5) 및 자극(6)으로 구성되는 자기회로가 구비됨으로써 열전자에 자계를 인가하는 한편, 이에 따라 열전자가 싸이클로이드(cycloid ) 운동을 한다.At this time, the space 4 is provided with a magnetic circuit composed of a magnet 5 and a magnetic pole 6, thereby applying a magnetic field to the hot electrons, and thereby hot electrons perform a cycloid movement.

계속해서 이러한 운동에 따라 발생한 에너지를 베인(3) 및 스트랩(8)에 전달하여 베인(8)에 접속된 안테나(7)와 에이 세라믹(9) 및 에이 씰(10) 등으로 구성된 출력부를 통해 조리실로 전달함으로써 음식물에 대한 해동이나 조리가 이루어지도록 한다.Subsequently, the energy generated according to this movement is transmitted to the vanes 3 and the straps 8, and through the output unit composed of the antenna 7 connected to the vanes 8 and the A ceramic 9 and the A seal 10, etc. Transfer to the cooking chamber to thaw or cook food.

이와 같은 마그네트론은 캐소드(1)에서 열전자가 방출되면 전계 및 자계의 영향으로 전자가 가속되어 선회운동을 하면서 애노드(2)로 이동하며, 이러한 과정에서 애노드(2)의 표면에 고주파 전류를 형성하고, 공진 주파수 f= 와 같이 베인(3) 사이에 작용하는 'L' 및 'C' 값에 의해 공진 주파수를 결정하여 소정의 공진 조건을 만족할 때 마이크로파, 즉 초고주파를 발생시킨다.When the magnetron emits hot electrons from the cathode (1), the electrons are accelerated under the influence of the electric field and the magnetic field, and move to the anode (2) during the rotational movement. , Resonant frequency f = As described above, the resonance frequency is determined based on the values of 'L' and 'C' acting between the vanes 3 to generate microwaves, that is, ultrahigh frequencies when a predetermined resonance condition is satisfied.

그런데, 상기한 구조로 이루어진 전자렌지용 마그네트론은 4㎸ 정도의 고전압에 의해 동작함으로써 주변기기로서 고압 트랜스 및 고압 다이오우드 등이 필수적으로 구비되어야 하며, 이와 함께 자기장에서의 전자운동에 의한 공진 방식을 채용함에 따라 자석을 필요로 함으로써 고중량을 갖는 동시에 제작에 많은 비용이 소모된다.By the way, the magnetron for the microwave oven having the above-described structure must be provided with a high voltage transformer and a high pressure diode as a peripheral device by operating by a high voltage of about 4 kW, and adopting a resonance method by electromagnetic movement in a magnetic field. Therefore, the need for a magnet has a high weight and at the same time consumes a lot of cost.

한편, 상기한 바와 같이 고전압에 의해 구동하는 마그네트론의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 출원인에 의해 선출원된 대한민국 특허출원 제 97-36327호가 알려져 있다.On the other hand, to solve the problem of the magnetron driven by a high voltage as described above, Korean Patent Application No. 97-36327 is filed by the present applicant is known.

이와 같은 특허출원 제 97-36327호는 교류 120V 또는 220V의 상용전원을 500∼700V의 직류 전원으로 승압시킨 전원 발생부로부터 직류전원이 인가되어 초고주파를 발생시키도록 한 것이다.This patent application No. 97-36327 is intended to generate a very high frequency by applying a DC power from the power generating unit boosting the commercial power of 120V or 220V AC to 500-700V DC power.

이와 같은 본 발명은, 도 2와 같이 히터(120)의 상부에 위치한 캐소드(132)가 히터(120)의 발열에 따라 가열되면 열전자를 방출하게 되며, 이와 같이 히터(120)의 발열에 따라 방출된 열전자는 캐소드(132)와 제 1그리드(134)의 사이에 가해진 직류 50 내지 100V의 바이어스 전압에 의해 집속되어 제 2그리드(142)를 통과한다.As described above, the present invention emits hot electrons when the cathode 132 located above the heater 120 is heated according to the heat generated by the heater 120 as shown in FIG. The hot electrons are focused by a bias voltage of 50 to 100 V DC applied between the cathode 132 and the first grid 134 and pass through the second grid 142.

그리고, 이러한 과정에서 열전자는 애노드(146)와 캐소드(132) 사이에 인가된 직류 500 내지 700V의 동작전압과의 전위차에 의해 가속되어 애노드(146)와의 사이에 표면전류가 유도되어 마이크로파를 형성하는 한편, 이러한 과정에 따라 형성된 마이크로파가 애노드(146) 중앙의 안테나(150)를 통해 방사되며, 이와 함께 입출력 캐비티(130)(140) 사이의 중앙부에는 출력 캐비티(140)에 형성된 마이크로파의 일부를 입력 캐비티(140)로 피이드백 시키는 피이드백 봉(160)이 설치되어 마이크로파의 파워를 증폭하고 공진시킨다.In this process, the hot electrons are accelerated by a potential difference between an operating voltage of DC 500 to 700 V applied between the anode 146 and the cathode 132 to induce a surface current between the anode 146 to form a microwave. On the other hand, the microwave formed according to this process is radiated through the antenna 150 in the center of the anode 146, and together with a portion of the microwave formed in the output cavity 140 in the center between the input and output cavity (130, 140) The feedback rod 160 for feeding back to the cavity 140 is installed to amplify and resonate the power of the microwave.

특히, 이와 같은 저전압 구동 초고주파 발진관은, 4㎸의 고전압으로 동작하는 종래의 마그네트론과 달리 동작전원이 500 내지 700V의 저전압인 관계로 별도의 승압트랜스 없이 승압이 가능하여 구조를 단순화하는 동시에 제품의 안전성을 높이고, 제품에 대한 경량화가 가능한 한편, 저렴한 가격에 의해 양산이 가능하다는 등의 가시적인 효과를 기대할 수 있었다.In particular, unlike the conventional magnetron operating at a high voltage of 4 kW, such a low-voltage driving ultra-high frequency oscillator tube has a low voltage of 500 to 700 V, so the voltage can be stepped up without a separate boosting transformer to simplify the structure of the product. Visible effects such as increased safety, lighter weight of the product, and mass production at lower prices were expected.

한편, 필라멘트의 발열에 따라 열전자를 방출시키는 종래 구조의 전자렌지용 초고주파 발진관에서는 물론, 히터(120)의 발열에 따라 캐소드(132)로부터 열전자가 방출되는 저전압 구동 초고주파 발진관은 동작불량의 방지와 함께 필라멘트나 히터(120)와, 제 1그리드(134) 및 제 2그리드(142)와 같은 내부 구성부품의 산화를 방지하기 위해 내부를 외부로부터 밀폐시키고, 내부를 진공상태로 유지한다.On the other hand, in the microwave microwave tube of the conventional structure that emits the hot electrons in accordance with the filament heat generation, as well as the low-voltage driving ultra-high frequency oscillation tube in which the hot electrons are emitted from the cathode 132 according to the heat generated by the heater 120 to prevent malfunction. In order to prevent oxidation of internal components such as the filament or the heater 120 and the first grid 134 and the second grid 142, the inside is sealed from the outside and the inside is kept in a vacuum state.

그런데, 이와 같은 초고주파 발진관은 내부가 밀봉된 상태에서도 장시간의 사용과정에서 높은 동작온도를 갖는 초고주파 발진관의 특성에 따라 히터(120)나 캐소드(132)와, 제 1그리드(134) 및 제 2그리드(142)와 같은 내부 구성부품으로부터 개스가 방출됨으로써 점차 진공도가 저하된다.However, such a microwave oscillation tube has a heater 120 or a cathode 132 and a first grid 134 and a first in accordance with the characteristics of the microwave oscillation tube having a high operating temperature in a long time use process even when the inside is sealed. As the gas is released from internal components such as the two grid 142, the degree of vacuum decreases gradually.

따라서, 종래의 초고주파 발진관을 포함한 저전압 구동 초고주파 발진관은 장시간의 사용과정에서 내부 구성부품으로부터 방출된 개스에 의해 진공도가 저하되는 한편, 이에 따라 동작불량이 발생하는 등의 문제점이 따르게 되며, 이와 함께 불순물로 작용하는 방출개스에 의해 내부 구성부품이 산화됨으로써 초고주파 발진관의 수명이 단축되는 등의 문제점이 따랐다.Accordingly, the conventional low-voltage driving ultra-high frequency oscillating tube including the ultra-high frequency oscillating tube has a problem that the vacuum degree is lowered by the gas discharged from the internal components during a long time of use, and thus, a malfunction occurs. The internal components are oxidized by the emission gas, which acts as an impurity, thereby shortening the lifetime of the ultra-high frequency oscillation tube.

본 고안은 상기한 바와 같은 저전압 구동 초고주파 발진관을 포함한 전자렌지용 초고주파 발진관의 내부에 개스를 흡착시키도록 한 게터를 구비함으로써 내부 구성부품으로부터 방출된 개스에 의해 초고주파 발진관의 진공도가 저하되는 것을 방지하여, 초고주파 발진관의 동작불량과 내부 구성부품의 산화에 따른 수명의 저하를 방지하는 수단을 제공하는데 있는 것이다.The present invention is provided with a getter for adsorbing the gas inside the microwave microwave tube including the low voltage driving microwave tube as described above, so that the vacuum degree of the microwave tube is reduced by the gas emitted from the internal components. It is to provide a means for preventing the operation of the ultra-high frequency oscillation tube and the reduction of the lifetime due to oxidation of the internal components.

상기한 바와 같은 본 고안의 기술적 과제는, 히터의 발열에 의해 캐소드로부터 열전자가 방출되는 전자렌지용 초고주파 발진관에 있어서,The technical problem of the present invention as described above, in the microwave microwave oscillation tube for heat electrons are emitted from the cathode by the heat of the heater,

출력 캐비티의 중심부에 결합된 안테나 커플링 헤드 상부와 입력 캐비티의 하부 일측에 개스를 흡착시키도록 한 게터를 각각 부착시킨 것을 특징으로 하는 전자렌지용 초고주파 발진관의 진공도 저하 방지구조를 제공함으로써 달성된다.It is achieved by providing a vacuum deterioration prevention structure for microwave microwave tubes characterized in that a getter for adsorbing a gas is attached to an upper portion of an antenna coupling head coupled to a center of an output cavity and a lower side of an input cavity. .

이하, 본 고안에 의한 전자렌지용 초고주파 발진관의 진공도 저하 방지구조의 일실시예를 첨부한 도면과 함께 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, an embodiment of the vacuum degree reduction structure of the microwave oven for microwave oven according to the present invention will be described in detail.

도 1은 통상적인 구조를 갖는 전자렌지용 마그네트론의 일례를 도시한 개략 단면 구조도,1 is a schematic cross-sectional structural view showing an example of a magnetron for a microwave oven having a conventional structure;

도 2는 종래의 저전압 구동 초고주파 발진관의 단면 구조도,2 is a cross-sectional structure diagram of a conventional low voltage driving ultra-high frequency oscillation tube,

도 3은 본 고안을 적용한 저전압 구동 초고주파 발진관의 요부 상세도이다.Figure 3 is a detailed view of the main part of the low-voltage driving ultra-high frequency oscillation tube to which the present invention is applied.

〈도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명〉<Explanation of symbols for main parts of drawing>

30 : 게터(getter) 120 : 히터30: getter 120: heater

130 : 입력 캐비티 132 : 캐소드130: input cavity 132: cathode

140 : 출력 캐비티 145 : 안테나 커플링 헤드140: output cavity 145: antenna coupling head

본 고안에 의한 전자렌지용 초고주파 발진관의 진공도 저하 방지구조는 도 3에 도시한 바와 같이 히터(120)의 상부에는 캐소드(132)가 결합되고, 상기한 캐소드(132)의 상부에는 제 1그리드(134) 및 제 2그리드(142)가 각각 결합된 초고주파 발진관에서 제 2그리드(142)의 상부에 형성된 출력 캐비티(140) 및 제 1그리드(134)의 하부에 형성된 입력 캐비티(130)의 일측에 개스를 흡착시키도록 한 게터(30)를 각각 부착시킴으로써 고온이 작용하는 히터(120)나 제 1그리드(134) 및 제 2그리드(142)를 포함한 내부 구성부품으로 방출된 개스를 게터(30)에 의해 흡착시키도록 구성한 것이다.As shown in FIG. 3, a cathode 132 is coupled to an upper portion of the heater 120, and a first grid is formed on an upper portion of the cathode 132 as shown in FIG. 3. The output cavity 140 formed on the upper part of the second grid 142 and the input cavity 130 formed on the lower part of the first grid 134 in the microwave oscillating tube 134 and the second grid 142 coupled to each other. By attaching the getters 30 for adsorbing the gas to one side, the gas discharged into the internal components including the heater 120 or the first grid 134 and the second grid 142 to which the high temperature acts may be obtained. 30) to be adsorbed.

여기에서 히터(120) 및 캐소드(132)와 제 1그리드(134) 및 제 2그리드(142)를 포함한 초고주파 발진관의 내부 구성부품으로부터 배출된 개스를 흡착시키도록 한 게터(30)는, 지르코늄이나, 마그네슘, 또는 바륨 및 바륨 합금과 같이 흡착성을 갖는 금속체로 구성한다.The getter 30 in which the gas discharged from the internal components of the microwave generator including the heater 120, the cathode 132, the first grid 134, and the second grid 142 is adsorbed is zirconium. Or a metal body having adsorptive properties such as magnesium or barium and barium alloy.

상기한 게터(30)는 예로써 출력 캐비티(140)의 중심부에 위치한 안테나 커플링 헤드(145)의 상부나 입력 캐비티(130)의 하부와 같이 열전자의 이동에 장애가 발생하지 않는 공간부를 통해 부착시키며, 초고주파 발진관의 조립공정에서는 이와 같은 게터(30)의 접합이 완료된 상태에서 내부의 공기를 배출시켜 진공상태를 조성한다.The getter 30 is attached through a space that does not interfere with the movement of hot electrons, such as an upper portion of the antenna coupling head 145 or a lower portion of the input cavity 130 located at the center of the output cavity 140. In the assembling process of the ultra-high frequency oscillation tube, in the state where the joining of the getter 30 is completed, the internal air is discharged to create a vacuum state.

상기한 바와 같은 본 고안의 작용을 설명하면, 본 고안에 의한 전자렌지용 초고주파 발진관의 진공도 저하 방지구조는, 초고주파 발진관의 내부에 결합된 게터(30)가 내부 구성부품으로부터 방출된 개스를 흡착함으로써 초고주파 발진관에 대한 진공도의 저하를 방지한다.Referring to the operation of the present invention as described above, the vacuum degree reduction structure of the microwave oven for microwave oven according to the present invention, the getter 30 coupled to the inside of the microwave oven tube is discharged from the internal components By adsorption, the fall of the vacuum degree with respect to an ultra-high frequency oscillation tube is prevented.

상기한 게터(30)는 초고주파 발진관의 출력 캐비티(140)와 입력 캐비티(130)와 같은 공간부에서 열전자의 이동에 장애가 발생하지 않도록 열전자의 이동경로를 제외한 부위에 결합시키게 된다.The getter 30 is coupled to a portion except for the movement path of the hot electrons so that the movement of the hot electrons does not occur in a space such as the output cavity 140 and the input cavity 130 of the microwave oscillation tube.

한편, 본 실시예에서는 상기한 게터(30)를 출력 캐비티(140)의 중심부에 위치한 안테나 커플링 헤드(145)의 상부 일측를 비롯하여 입력 캐비티(130)의 하부 일측에 부착시킴으로써 열전자의 이동에 장애가 발생하지 않도록 하는 한편, 개스의 방출 확률이 높은 히터(120)와 근접시킴에 따라 개스에 대한 흡착효율을 높이도록 한다.On the other hand, in the present embodiment, the getter 30 is attached to the upper side of the antenna coupling head 145 located at the center of the output cavity 140 as well as the lower side of the input cavity 130, thereby causing an obstacle in movement of the hot electrons. On the other hand, as the proximity to the heater 120 has a high probability of gas discharge to increase the adsorption efficiency for the gas.

상기한 바와 같이 출력 캐비티(140)의 안테나 커플링 헤드(145) 상부 및 입력 캐비티(130)의 하부에 결합된 게터(30)는 통상의 상태, 즉 초고주파 발진관의 사용초기와 같이 내부가 적정 진공상태를 유지할 경우에는 외부가 부압인 상태를 갖게 되므로 흡착이 진행되지 않는다.As described above, the getter 30 coupled to the upper portion of the antenna coupling head 145 of the output cavity 140 and the lower portion of the input cavity 130 has a proper interior in a normal state, that is, at the beginning of use of the microwave oscillation tube. In the case of maintaining the vacuum state, since the outside has a negative pressure, adsorption does not proceed.

계속해서 상기한 게터(30)는, 초고주파 발진관을 장시간 사용함에 따라 히터(120)를 포함한 내부 구성부품이 반복적으로 가열됨으로써 상기한 내부 구성부품의 조성물질로부터 개스가 방출되는 한편, 이에 따라 초고주파 발진관의 진공도가 저하될 경우에는 흡착력에 의해 개스를 흡착시키게 된다.Subsequently, as the getter 30 uses the microwave generator for a long time, the internal components including the heater 120 are repeatedly heated to release gas from the composition of the internal components. When the vacuum degree of the oscillation tube decreases, gas is adsorbed by the adsorption force.

특히, 상기한 게터(30)는 발열에 따라 개스의 방출이 집중적으로 이루어지는 히터(120)와 근접된 상태로 결합되는 한편, 출력 캐비티(140) 및 입력 캐비티(130)에 각각 독립적으로 구비됨으로써 흡착효율을 높이게 되며, 이에 따라 구성부품으로부터 방출된 개스는 게터(30)에 의해 신속히 흡착되어 초고주파 발진관의 진공도가 저하되는 것을 방지한다.In particular, the getter 30 is coupled to the heater 120 in which the release of the gas is concentrated in accordance with the heat generation, while being independently provided in the output cavity 140 and the input cavity 130, respectively, so as to be adsorbed. The efficiency is increased, whereby the gas discharged from the component is quickly adsorbed by the getter 30 to prevent the vacuum degree of the ultra-high frequency oscillation tube from being lowered.

따라서, 초고주파 발진관의 진공도가 저하됨으로써 발생하는 동작불량을 방지할 수 있으며, 이와 함께 개스에 의한 내부 구성부품의 산화를 방지한다.Therefore, malfunctions caused by the decrease in the degree of vacuum of the ultra-high frequency oscillation tube can be prevented, and at the same time, oxidation of internal components by gas is prevented.

이때, 게터(30)는 초고주파 발진관의 출력 캐비티(140)와 입력 캐비티(130)와 같이 열전자의 이동경로를 제외한 부위에 결합됨으로써 초고주파 발진관은 정상적인 동작이 가능하다.At this time, the getter 30 is coupled to a portion excluding the movement path of the hot electrons, such as the output cavity 140 and the input cavity 130 of the microwave oscillation tube, and thus the microwave oscillation tube can operate normally.

이상에서 설명한 바와 같이 본 고안은, 초고주파 발진관의 입력 캐비티(130), 또는 출력 캐비티(140)의 일측에 개스 흡착성을 갖는 게터(30)를 부착시킴으로써 상기한 내부에 결합된 게터(30)가 내부 구성부품으로부터 방출된 개스를 신속히 흡착한다.As described above, the present invention provides a getter 30 coupled to the inside by attaching a getter 30 having gas adsorption to one side of the input cavity 130 or the output cavity 140 of the ultra-high frequency oscillation tube. Quickly adsorb the gas released from internal components.

따라서 초고주파 발진관에 대한 진공도의 저하를 방지할 수 있으며, 이에 따라 초고주파 발진관의 동작불량이나 개스에 의한 내부 구성부품의 산화를 방지하여 초고주파 발진관의 수명을 연장하는 등의 많은 효과를 갖는다.Therefore, it is possible to prevent a decrease in the degree of vacuum with respect to the ultra-high frequency oscillation tube, thereby preventing the malfunction of the ultra-high frequency oscillation tube or the oxidation of internal components due to the gas, thereby prolonging the life of the ultra-high frequency oscillation tube.

Claims (1)

히터(120)의 발열에 의해 캐소드(132)로부터 열전자가 방출되는 전자렌지용 초고주파 발진관에 있어서,In the microwave microwave oscillation tube for which the hot electrons are emitted from the cathode 132 by the heat of the heater 120, 출력 캐비티(140)의 중심부에 결합된 안테나 커플링 헤드(145)의 상부와 입력 캐비티(130)의 하부 일측에 개스를 흡착시키도록 한 게터(30)를 각각 부착시킨 것을 특징으로 하는 전자렌지용 초고주파 발진관의 진공도 저하 방지구조.For the microwave oven, characterized in that the getter 30 attached to the upper portion of the antenna coupling head 145 and the lower side of the input cavity 130 attached to the center of the output cavity 140 so as to suck the gas, respectively. Prevents vacuum deterioration of microwaves.