JP2000306518A - Magnetron - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prolong a lifetime by disposing a getter material in a quantity so as to adsorb discharge gas staying inside a tube for a long period. SOLUTION: A magnetron is provided with a cathode structural body including a filament 7 interposed between an upper end shield 17a and a lower end shield 17b, and two cathode leads 12a, 12b for supplying power to the filament 7. The cathode structure includes a ceramic spacer 18 for holding the two cathode leads 12a, 12b, a metal sleeve 19 inserted into at least one of the cathode leads 12a, 12b and caulked in abutment against the ceramic spacer 18 on the side of the lower end shield 12a so as to prevent axial movement of the ceramic spacer 18, and a getter material 20b filled in a clearance between the metal sleeve 19 and the cathode lead 12b.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、マグネトロンに係
り、特に真空度を向上させるために陰極構体に設置する
ゲッターのガス吸着性能を高めて長寿命化を実現したマ
グネトロンに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetron, and more particularly to a magnetron having a getter installed in a cathode assembly for improving the degree of vacuum to enhance the gas adsorption performance and extending the life of the magnetron.

【０００２】[0002]

【従来の技術】マグネトロンは高周波出力すなわちマイ
クロ波出力を効率よく発生することから、レーダー装
置、医療機器、電子レンジ等の高周波調理器、その他の
マクロ波応用機器の分野で広く使用されている。2. Description of the Related Art Magnetrons are widely used in the fields of high-frequency cookers such as radar devices, medical equipment, microwave ovens, and other microwave application equipment because they efficiently generate high-frequency output, that is, microwave output.

【０００３】このマグネトロンは、通常、真空容器の中
心部に陰極が配置され、管軸方向磁界が形成されている
作用空間を隔てて上記陰極の周囲に空洞共振器群が配置
されている。In this magnetron, a cathode is usually arranged at the center of a vacuum vessel, and a group of cavity resonators is arranged around the cathode with a working space in which a tube axial magnetic field is formed.

【０００４】上記空洞共振器は、管軸にそって中心に配
置された陰極と、この陰極を囲んで上記作用空間にと同
軸に設置された陽極シリンダーと、上記陰極に近接した
位置から上記陽極シリンダー方向に放射状に設置された
複数の板状体すなわち陽極ベイン（以下、単にベインと
もいう）と、上記ベインと陽極シリンダーとで構成され
る空間に形成される複数の空洞共振器の発振位相を合わ
せるために前記ベインを一つおきに電気的に同電位に接
続するための上下一対または上下の一方に配置した一対
のストラップリングとで構成される。[0004] The cavity resonator comprises a cathode disposed at the center along the tube axis, an anode cylinder surrounding the cathode and disposed coaxially with the working space, and an anode cylinder disposed at a position close to the cathode. The oscillating phases of a plurality of plate-like bodies or anode vanes (hereinafter simply referred to as vanes) radially installed in the cylinder direction and a plurality of cavity resonators formed in a space formed by the vanes and the anode cylinder are described. In order to match, every other vane is electrically connected to the same electric potential.

【０００５】空洞共振器群に発生したマイクロ波は、一
端が前記空洞共振器に接続され、他端が主力部を構成す
るドーム形のアンテナセラミック（アンテナドーム）内
に配置されたアンテナリードを通して外部に放射する。
陽極シリンダー、ベイン、ストラップリングは一般に銅
製であり、これらの間の接合固着には銀ローを用いたロ
ー付けが採用されている。[0005] The microwave generated in the group of cavity resonators passes through an antenna lead which is connected to the cavity resonator at one end and arranged at the other end in a dome-shaped antenna ceramic (antenna dome) constituting a main force portion. To radiate.
The anode cylinder, the vane, and the strap ring are generally made of copper, and brazing using a silver brazing is employed for bonding between them.

【０００６】なお、ベインとアンテナリードも同様のロ
ー付けで接続されている。言うまでもなく、陽極シリン
ダーとベインを一体化した形式のマグネトロンでは、ア
ノード円筒とベインとのロー付けは考慮する必要はな
い。[0006] The vanes and antenna leads are also connected by similar brazing. Needless to say, in the magnetron in which the anode cylinder and the vane are integrated, it is not necessary to consider the brazing of the anode cylinder and the vane.

【０００７】このようなマグネトロンの寿命終止点の要
因の１つとして、管内部品からのガス放出による真空度
の劣化、それによる動作異常がある。この対策として、
動作中でもガス吸着を行なえるように、マグネトロンの
管内にゲッター材を設置してある。[0007] One of the causes of the end of life of the magnetron is deterioration of the degree of vacuum due to gas release from components inside the tube, resulting in abnormal operation. As a measure against this,
A getter material is installed in the magnetron tube so that gas adsorption can be performed even during operation.

【０００８】図８は従来のマグネトロンにおける陰極構
体を説明する縦断面図である。この陰極構体は、フィラ
メント７を管軸方向に保持する上エンドシールド１７ａ
および下エンドシールド１７ｂと、フィラメント７に給
電する２本の陰極リード１２ａ、１２ｂと、下エンドシ
ールド１７ｂを貫通する陰極リード１２ａ、１２ｂを互
いに絶縁して保持するために下エンドシールド１７ｂの
下方に当該陰極リードを貫通させるセラミックスペーサ
１８を有している。FIG. 8 is a longitudinal sectional view for explaining a cathode structure in a conventional magnetron. The cathode assembly has an upper end shield 17a that holds the filament 7 in the tube axis direction.
And the lower end shield 17b, the two cathode leads 12a and 12b for supplying power to the filament 7, and the cathode leads 12a and 12b penetrating the lower end shield 17b are insulated from each other and held below the lower end shield 17b. It has a ceramic spacer 18 that penetrates the cathode lead.

【０００９】そして、セラミックスペーサ１８の管軸方
向の移動を防止するために当該セラミックスペーサの上
記下エンドシールド１７ｂ側に当接し、陰極リード１２
ｂにかしめ固定された金属スリーブ１９を有している。Then, in order to prevent the ceramic spacer 18 from moving in the tube axis direction, the ceramic spacer 18 contacts the lower end shield 17b side of the ceramic spacer, and the cathode lead 12
b has a metal sleeve 19 caulked and fixed.

【００１０】従来のマグネトロンにおけるゲッター材２
０は、上記上エンドシールド１７ａの表面に設けられて
いる。このゲッター材２０はチタニウムあるいはジルコ
ニウムの粉末を分散媒でペースト状にしたものを上エン
ドシールド１７ａに塗布し、これを焼結して設けられ
る。[0010] Getter material 2 in a conventional magnetron
0 is provided on the surface of the upper end shield 17a. The getter material 20 is provided by applying a paste of titanium or zirconium powder in a dispersion medium to the upper end shield 17a and sintering the paste.

【００１１】なお、この種の従来技術を開示したものと
しては、例えば特開平５−１９８２６６号公報を挙げる
ことができる。An example of this type of prior art is disclosed in, for example, JP-A-5-198266.

【００１２】[0012]

【発明が解決しようとする課題】マグネトロンの陰極構
体では、ゲッター材の設置場所が限られており、上記従
来のマグネトロンに示したように、ゲッター材は上エン
ドシールドの表面のみに設けられている。上エンドシー
ルドのゲッター材の設置面積は狭いため、必然的にゲッ
ター材の絶対量が制限されている。In the cathode structure of the magnetron, the location of the getter material is limited. As shown in the above-mentioned conventional magnetron, the getter material is provided only on the surface of the upper end shield. . Since the installation area of the getter material of the upper end shield is small, the absolute amount of the getter material is necessarily limited.

【００１３】したがって、ゲッター材の動作中での放出
ガスを十分に吸収できる能力（ガス吸着性能）が低く、
真空度の低下が早くなり、寿命が短いという問題があっ
た。Therefore, the ability (gas adsorption performance) to sufficiently absorb the gas released during the operation of the getter material is low.
There has been a problem that the degree of vacuum is rapidly reduced and the life is short.

【００１４】本発明の目的は、上記従来技術の問題点を
解消し、長期間にわたって管内の放出ガスを吸着できる
量のゲッター材を陰極構体に設置して長寿命化を図った
高信頼性のマグネトロンを提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art and to provide a cathode structure with an amount of getter material capable of adsorbing the gas released from the tube for a long period of time to achieve a long life and high reliability. To provide a magnetron.

【００１５】[0015]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、マグネトロンを構成する陰極構体のフィ
ラメントに給電する陰極リード部分にゲッター材を設置
することにより、または従来の上エンドシールドにもゲ
ッター材を設置することにより、管内の放出ガスを長期
間にわたって十分に吸着できる量を確保したことを特徴
とする。In order to achieve the above object, the present invention provides a method of installing a getter material on a cathode lead portion for feeding a filament of a cathode assembly constituting a magnetron, or by using a conventional upper end shield. Also, by providing a getter material, the amount of gas released in the tube can be sufficiently absorbed over a long period of time.

【００１６】本発明の代表的な構成を記述すれば、次の
とおりである。すなわち、 （１）上エンドシールドと下エンドシールドの間に設け
たフィラメントと、フィラメントに給電する２本の陰極
リードを有する陰極構体と、フィラメントの周囲に設置
した陽極シリンダーと、この陽極シリンダーの内部に前
記フィラメントを中心として放射状に設置した複数の陽
極ベインで形成された空洞共振器群とを有し、空洞共振
器群に発生したマイクロ波を、一端が前記空洞共振器に
接続され、他端が主力部を構成するアンテナドーム内に
配置されたアンテナリードを通して外部に放射するマグ
ネトロンであって、前記陰極構体が、その２本の陰極リ
ードを保持するセラミックスペーサと、セラミックスペ
ーサの軸方向移動を防止するために、当該２本の陰極リ
ードの少なくとも一方に挿入され、かつ前記下エンドシ
ールド側で当該セラミックスペーサに当接させてかしめ
た金属スリーブと、前記金属スリーブと前記陰極リード
の間隙に充填したゲッター材とを有することを特徴とす
る。A typical configuration of the present invention is described as follows. (1) A filament provided between the upper end shield and the lower end shield, a cathode assembly having two cathode leads for supplying power to the filament, an anode cylinder installed around the filament, and an inside of the anode cylinder A cavity resonator group formed of a plurality of anode vanes radially provided around the filament, and a microwave generated in the cavity resonator group is connected at one end to the cavity resonator, and at the other end. Is a magnetron that radiates to the outside through an antenna lead disposed in an antenna dome that constitutes a main part, wherein the cathode structure includes a ceramic spacer that holds the two cathode leads, and an axial movement of the ceramic spacer. In order to prevent the lower end shield from being inserted into at least one of the two cathode leads, And a getter material filled in a gap between the metal sleeve and the cathode lead.

【００１７】この構成としたことにより、従来の上エン
ドシールドに設けるゲッターに比較してゲッター材の量
が大幅に確保され、かつ、ゲッター材の定量化が容易
で、長期間にわたって放出ガスの吸着が可能となり、長
寿命のマグネトロンが得られる。With this configuration, the amount of the getter material is largely secured as compared with the conventional getter provided on the upper end shield, the getter material can be easily quantified, and the emitted gas can be adsorbed for a long period of time. And a long-life magnetron can be obtained.

【００１８】（２）上エンドシールドと下エンドシール
ドの間に設けたフィラメントと、フィラメントに給電す
る２本の陰極リードを有する陰極構体と、フィラメント
の周囲に設置した陽極シリンダーと、この陽極シリンダ
ーの内部に前記フィラメントを中心として放射状に設置
した複数の陽極ベインで形成された空洞共振器群とを有
し、空洞共振器群に発生したマイクロ波を、一端が前記
空洞共振器に接続され、他端が主力部を構成するアンテ
ナドーム内に配置されたアンテナリードを通して外部に
放射するマグネトロンであって、前記陰極構体が、その
２本の陰極リードを保持するセラミックスペーサと、セ
ラミックスペーサの軸方向移動を防止するために、当該
２本の陰極リードの少なくとも一方に挿入され、かつ前
記下エンドシールド側で当該セラミックスペーサに当接
させてかしめた金属スリーブとを有し、前記下エンドシ
ールドと前記セラミックスペーサの間の前記陰極リード
の表面に塗布したゲッター材とを有することを特徴とす
る。(2) A filament provided between the upper end shield and the lower end shield, a cathode assembly having two cathode leads for supplying power to the filament, an anode cylinder installed around the filament, and an anode cylinder A cavity resonator group formed of a plurality of anode vanes radially provided with the filament as a center, a microwave generated in the cavity resonator group, one end of which is connected to the cavity resonator; and A magnetron having an end radiated to the outside through an antenna lead disposed in an antenna dome constituting a main force portion, wherein the cathode assembly includes a ceramic spacer holding the two cathode leads, and an axial movement of the ceramic spacer. And the lower end seal is inserted into at least one of the two cathode leads. And a metal sleeve caulked on the side brought into contact with the ceramic spacer, and having a getter material coated on the surface of the cathode lead between the ceramic spacers and the lower end shield.

【００１９】この構成において、下エンドシールドとセ
ラミックスペーサの間の陰極リードの表面の広い面積に
ゲッター材を設けることで従来の上エンドシールドに設
けるゲッターに比較してゲッター材の量が大幅に確保さ
れ、長期間にわたって放出ガスの吸着が可能となり、長
寿命のマグネトロンが得られる。In this configuration, the getter material is provided on a large area of the surface of the cathode lead between the lower end shield and the ceramic spacer, so that the amount of the getter material is largely secured as compared with the conventional getter provided on the upper end shield. As a result, the released gas can be adsorbed for a long period of time, and a long-life magnetron can be obtained.

【００２０】（３）上エンドシールドと下エンドシール
ドの間に設けたフィラメントと、フィラメントに給電す
る２本の陰極リードを有する陰極構体と、フィラメント
の周囲に設置した陽極シリンダーと、この陽極シリンダ
ーの内部に前記フィラメントを中心として放射状に設置
した複数の陽極ベインで形成された空洞共振器群とを有
し、空洞共振器群に発生したマイクロ波を、一端が前記
空洞共振器に接続され、他端が主力部を構成するアンテ
ナドーム内に配置されたアンテナリードを通して外部に
放射するマグネトロンであって、前記陰極構体が、その
２本の陰極リードを保持するセラミックスペーサと、セ
ラミックスペーサの軸方向移動を防止するために、当該
２本の陰極リードの少なくとも一方に挿入され、かつ前
記下エンドシールド側で当該セラミックスペーサに当接
させてかしめた金属スリーブと、前記金属スリーブと前
記陰極リードの間隙に充填したゲッター材と、前記下エ
ンドシールドと前記セラミックスペーサの間の前記陰極
リードの表面に設けたゲッター材とを有することを特徴
とする。(3) A filament provided between the upper end shield and the lower end shield, a cathode assembly having two cathode leads for supplying power to the filament, an anode cylinder installed around the filament, and an anode cylinder A cavity resonator group formed of a plurality of anode vanes radially provided with the filament as a center, a microwave generated in the cavity resonator group, one end of which is connected to the cavity resonator; and A magnetron having an end radiated to the outside through an antenna lead disposed in an antenna dome constituting a main force portion, wherein the cathode assembly includes a ceramic spacer holding the two cathode leads, and an axial movement of the ceramic spacer. And the lower end seal is inserted into at least one of the two cathode leads. A metal sleeve which is caulked by contacting the ceramic spacer on the side, a getter material filled in a gap between the metal sleeve and the cathode lead, and provided on the surface of the cathode lead between the lower end shield and the ceramic spacer. And a getter material.

【００２１】この構成としたことによって、前記（１）
の効果と（２）の効果が相乗し、さらに十分な量のゲッ
ター材が確保でき、長期間にわたって放出ガスの吸着が
可能となり、長寿命のマグネトロンが得られる。By adopting this configuration, (1)
The effect of (2) and the effect of (2) are synergistic, a sufficient amount of the getter material can be secured, the released gas can be adsorbed for a long period, and a long-life magnetron can be obtained.

【００２２】（４）（１）〜（３）における前記上エン
ドシールドの表面にゲッター材を設けたことを特徴とす
る。(4) A getter material is provided on the surface of the upper end shield in (1) to (3).

【００２３】この構成は、上記（１）または（２）の効
果に従来の上エンドシールドに設けたゲッター材による
効果を加えて、さらにまた十分な量のゲッター材が確保
され、長期間にわたって放出ガスの吸着が可能となり、
長寿命のマグネトロンが得られる。According to this configuration, in addition to the effect of the above (1) or (2), the effect of the getter material provided in the conventional upper end shield is added, and a sufficient amount of the getter material is secured, and the discharge is performed for a long period of time. Gas adsorption becomes possible,
A long-life magnetron is obtained.

【００２４】（５）（１）〜（４）における前記ゲッタ
ー材がチタニウム粉末、ジルコニウム粉末の何れか、ま
たは両者の混合物であり、金属スリーブ、または金属リ
ード、もしくは上エンドシールドに塗布し焼結して設け
た非蒸発型ゲッターであることを特徴とする。(5) The getter material in (1) to (4) is either titanium powder or zirconium powder, or a mixture of both, and is applied to a metal sleeve, a metal lead, or an upper end shield and sintered. It is a non-evaporable getter provided as described above.

【００２５】非蒸発型ゲッターは、チタニウムでは約７
００〜１０００°Ｃ、ジルコニウムでは約７００〜１３
００°Ｃで活性化され、それぞれ、約５００〜５５０°
Ｃ（チタニウム）、約７００〜８００°Ｃ（ジルコニウ
ム）の動作温度でガス吸着が行われる。したがって、マ
グネトロンの動作毎に放出ガスの吸着動作が行われるこ
とになり、かつ十分な量のゲッターを設置したことで、
長期間にわたってマグネトロンの初期の性能を維持で
き、高い信頼性のもつマグネトロンを提供することがで
きる。The non-evaporable getter is about 7 for titanium.
00 to 1000 ° C, about 700 to 13 for zirconium
Activated at 00 ° C., each at about 500-550 °
Gas adsorption is performed at an operating temperature of C (titanium), approximately 700-800 ° C (zirconium). Therefore, the operation of adsorbing the released gas is performed for each operation of the magnetron, and by installing a sufficient amount of getter,
The initial performance of the magnetron can be maintained for a long time, and a highly reliable magnetron can be provided.

【００２６】なお、本発明は、上記の構成およびゲッタ
ー材に限定されるものではなく、本発明の技術思想を逸
脱することなく、種々の変更と既知の同種のゲッター材
を採用できる。It should be noted that the present invention is not limited to the above configuration and getter material, and various changes and known types of getter materials can be adopted without departing from the technical idea of the present invention.

【００２７】[0027]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につ
き、実施例の図面を参照して詳細に説明する。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.

【００２８】図１は本発明によるマグネトロンの第１実
施例を説明する陰極構体の断面図であり、（ａ）は縦断
面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線で切断した横断面図で
ある。この陰極構体は、陰極リード１２ａで管軸方向に
所定の間隔で設置した上エンドシールド１７ａと下エン
ドシールド１７ｂの間にフィラメント７を設け、下エン
ドシールド１７ｂで終端するごとく他の陰極リード１２
ｂを設け、２本の陰極リード１２ａと１２ｂでフィラメ
ント７に給電する。FIGS. 1A and 1B are sectional views of a cathode structure for explaining a first embodiment of a magnetron according to the present invention, wherein FIG. 1A is a longitudinal sectional view, and FIG. 1B is a cross section cut along the line AA in FIG. FIG. In this cathode assembly, a filament 7 is provided between an upper end shield 17a and a lower end shield 17b provided at a predetermined interval in the tube axis direction by a cathode lead 12a, and another cathode lead 12a terminates at the lower end shield 17b.
b, and power is supplied to the filament 7 by the two cathode leads 12a and 12b.

【００２９】符号１８は２本の陰極リード１２ａと１２
ｂが接触しないように所定の間隔で保持するためのセラ
ミックスペーサである。このセラミックスペーサ１８は
２本の陰極リードを貫通させて保持するが、それ自身で
は固定する機能を持たないため、一方の陰極リード１２
ｂの下エンドシールド１７ａ側に金属スリーブ１９を挿
通し、下端をセラミックスペーサ１８に当接した状態で
かしめて固定してある。Reference numeral 18 denotes two cathode leads 12a and 12
It is a ceramic spacer for holding at predetermined intervals so that b does not contact. Although this ceramic spacer 18 penetrates and holds two cathode leads, it does not have a function of fixing itself, so that one of the cathode leads 12
A metal sleeve 19 is inserted into the lower end shield 17a side of b, and the lower end thereof is fixed by caulking while being in contact with the ceramic spacer 18.

【００３０】この金属スリーブ１９の内部、すなわち陰
極リード１２ｂとの隙間にはゲッター材２０ｂが充填さ
れている。金属スリーブ１９の内部に充填されたゲッタ
ー材２０ｂの状態を図１の（ｂ）に示す。陰極リード１
２ｂと金属スリーブ１９の隙間はある程度の決まった空
間を有するので、この隙間に充填されるゲッター材２０
ｂは、その量が定量化できる。The inside of the metal sleeve 19, that is, the gap between the metal sleeve 19 and the cathode lead 12b is filled with a getter material 20b. FIG. 1B shows a state of the getter material 20b filled in the metal sleeve 19. Cathode lead 1
Since the gap between the metal sleeve 2b and the metal sleeve 19 has a certain fixed space, the getter material 20 filled in this gap is filled.
b can be quantified in its amount.

【００３１】この実施例では、ゲッター材は上記金属ス
リーブ１９の隙間にのみ充填したんものとしたが、同図
に示したように、上エンドシールド１７ａの表面にも同
様のゲッター材２０ａを設置してもよく、この構成とし
た場合には、さらに多くのゲッター材を配置できる。In this embodiment, the getter material is filled only in the gap between the metal sleeves 19, but a similar getter material 20a is provided on the surface of the upper end shield 17a as shown in FIG. In this configuration, more getter materials can be arranged.

【００３２】この実施例によれば、従来の上エンドシー
ルドに設けるゲッターに比較してゲッター材の量が大幅
に確保され、かつ、ゲッター材の定量化が容易で、長期
間にわたって放出ガスの吸着が可能となり、長寿命のマ
グネトロンが得られる。According to this embodiment, the amount of the getter material is largely secured as compared with the conventional getter provided in the upper end shield, the getter material can be easily quantified, and the released gas can be adsorbed for a long period of time. And a long-life magnetron can be obtained.

【００３３】図２は本発明によるマグネトロンの第２実
施例を説明する陰極構体の縦断面図であり、図１と同一
符号は同一機能部分に対応する。本実施例では、陰極構
体の基本構成は図１と同じで、陰極リード１２ａの表面
にゲッター材２０ｃを付着させたものである。FIG. 2 is a longitudinal sectional view of a cathode structure for explaining a second embodiment of the magnetron according to the present invention, and the same reference numerals as those in FIG. 1 correspond to the same functional parts. In this embodiment, the basic structure of the cathode structure is the same as that of FIG. 1, except that a getter material 20c is attached to the surface of the cathode lead 12a.

【００３４】本実施例は、ゲッター材２０ｃがマグネト
ロンの空間内に露呈しているため、砲手ガスとの接触面
積が大きくなり、ガス吸着効率が良いという特徴があ
り、また、ディスペンサを用いてゲッター材を定量で所
望の量だけ設けることが容易である。The present embodiment is characterized in that the getter material 20c is exposed in the space of the magnetron, so that the contact area with the gunner gas is large and the gas adsorption efficiency is good, and the getter material is obtained by using a dispenser. It is easy to provide a desired amount of material in a fixed amount.

【００３５】なお、本実施例でも、前記実施例と同様に
上エンドシールド１７ａの表面にゲッター材２０ａを設
けてもよい。In this embodiment, a getter material 20a may be provided on the surface of the upper end shield 17a as in the previous embodiment.

【００３６】さらに、本発明の第３実施例は、図１で説
明したものと同様の、陰極リード１２ｂに設ける金属ス
リーブ１９にもゲッター材を充填した構成とする。この
構成により、より多量のゲッター材を設けることがで
き、これに上記と同様に上エンドシールド１７ａの表面
にゲッター材２０ａを設けた構成とする。Further, in the third embodiment of the present invention, a metal sleeve 19 provided on the cathode lead 12b is also filled with a getter material, as in the case described with reference to FIG. With this configuration, a larger amount of getter material can be provided, and a getter material 20a is provided on the surface of the upper end shield 17a as described above.

【００３７】この実施例によれば、従来の上エンドシー
ルドに設けるゲッターに比較してゲッター材の量が大幅
に確保され、かつ、ゲッター材の定量化が容易で、長期
間にわたって放出ガスの吸着が可能となり、さらに長寿
命のマグネトロンが得られる。According to this embodiment, the amount of the getter material is largely secured as compared with the conventional getter provided on the upper end shield, the getter material can be easily quantified, and the released gas can be adsorbed for a long period of time. , And a magnetron with a longer life can be obtained.

【００３８】図３は本発明にマグネトロンの全体構成例
を説明する断面図である。図中、陰極フィラメント部分
は図１〜図２、および図８とは左右が反対に図示してあ
る。１は陽極シリンダー、２は陽極ベイン、３はアンテ
ナリード、４はアンテナドーム、５ａは上部磁極、５ｂ
は下部磁極、６ａは上部シール、６ｂは下部シール、７
は陰極フィラメント、８ａは上部マグネット、８ｂは下
部マグネット、９は金属ガスケット、１０は冷却フィ
ン、１１ａは上部ヨーク、１１ｂは下部ヨーク、１２は
陰極リード、１３はチョークコイル、１４は貫通ンデン
サ、１５はフィルタケースを示す。FIG. 3 is a sectional view for explaining an example of the overall configuration of a magnetron according to the present invention. In the figure, the left and right sides of the cathode filament portion are opposite to those of FIGS. 1 to 2 and FIG. 1 is an anode cylinder, 2 is an anode vane, 3 is an antenna lead, 4 is an antenna dome, 5a is an upper magnetic pole, 5b
Is a lower magnetic pole, 6a is an upper seal, 6b is a lower seal, 7
Is a cathode filament, 8a is an upper magnet, 8b is a lower magnet, 9 is a metal gasket, 10 is a cooling fin, 11a is an upper yoke, 11b is a lower yoke, 12 is a cathode lead, 13 is a choke coil, 14 is a penetrating capacitor, 15 Indicates a filter case.

【００３９】複数の陽極ベイン２は一対のストラップリ
ング１６ａ，１６ｂで一つおきに電気的に接続して同電
位としている。陽極ベイン２とストラップリング１６
ａ，１６ｂとは強固にロー付けされて特性のバラツキが
発生しないように陽極ベインを固定している。陰極フィ
ラメント７は上エンドシールド１７ａと下エンドシール
ド１７ｂの間に設けてあり、その両端に陰極リード１２
ａと１２ｂが接続されている。他のこうせいは図１と同
様であるので、繰り返しの説明は省略する。A plurality of anode vanes 2 are electrically connected to each other by a pair of strap rings 16a and 16b to have the same potential. Anode vane 2 and strap ring 16
Anodes 16a and 16b are firmly brazed and the anode vanes are fixed so that variations in characteristics do not occur. The cathode filament 7 is provided between the upper end shield 17a and the lower end shield 17b.
a and 12b are connected. The other features are the same as those in FIG. 1, and the repeated description will be omitted.

【００４０】この陰極フィラメント７はマグネトロンの
管軸中心に位置し、その回りに複数の陽極ベイン２が放
射状に配置されている。この複数の陽極ベイン２は陽極
シリンダー１にロー付け等で固着されている。なお、陽
極ベイン２は陽極シリンダー１と共に押出し成型等によ
り一体成形してもよい。The cathode filament 7 is located at the center of the tube axis of the magnetron, around which a plurality of anode vanes 2 are radially arranged. The plurality of anode vanes 2 are fixed to the anode cylinder 1 by brazing or the like. The anode vane 2 may be integrally formed with the anode cylinder 1 by extrusion or the like.

【００４１】陽極シリンダー１の上部には円筒状の上部
マグネット８ａが、下部には円筒状の下部マグネット８
ｂが設置されており、この上部マグネット８ａと下部マ
グネット８ｂからの磁束は上部磁極５ａと下部磁極５ｂ
を通って陰極フィラメント７と陽極ベイン２との間に形
成される作用空間に対して上下方向（管軸方向）に必要
な直流磁界を発生させる。なお、上部ヨーク１１ａ，下
部ヨーク１１ｂは上下のマグネットからの磁束通路を形
成する。A cylindrical upper magnet 8a is provided at the upper part of the anode cylinder 1, and a cylindrical lower magnet 8 is provided at the lower part.
b, and the magnetic flux from the upper magnet 8a and the lower magnet 8b is supplied to the upper magnetic pole 5a and the lower magnetic pole 5b.
A required DC magnetic field is generated in the vertical direction (tube axis direction) with respect to the working space formed between the cathode filament 7 and the anode vane 2 through the cathode filament 7. The upper yoke 11a and the lower yoke 11b form a magnetic flux path from upper and lower magnets.

【００４２】陰極フィラメント７は負の高電位になって
いる。すなわち、陰極フィラメント７は２本の陰極リー
ド１２を介してチョークコイル１３に接続され、さらに
チョークコイル１３の他端は貫通コンデンサ１４に接続
されており、貫通コンデンサ１４の端子は負の高電位と
なっているフィラメントトランス（後述）に接続されて
いる。この貫通コンデンサ１４の素体としては、誘電体
磁器が用いられ、チョークコイル１３と共にフィルタを
構成し、このフィルタをフィルタケース１５で遮蔽する
ことにより、また発振したマイクロ波が電源ラインを通
して外部機器に影響を及ぼさないように機能する。The cathode filament 7 has a high negative potential. That is, the cathode filament 7 is connected to the choke coil 13 via the two cathode leads 12, and the other end of the choke coil 13 is connected to the feedthrough capacitor 14, and the terminal of the feedthrough capacitor 14 is connected to a negative high potential. Connected to a filament transformer (described later). Dielectric porcelain is used as the element of the feedthrough capacitor 14, and a filter is formed together with the choke coil 13. By shielding this filter with the filter case 15, the oscillated microwave can be transmitted to an external device through a power supply line. Works to have no effect.

【００４３】そして、アンテナドーム４は上部シール６
ａの部分で金属ガスケット９で上部ヨークから離間され
た位置において上記アンテナリード３を内包するように
設置されている。The antenna dome 4 has an upper seal 6
The antenna lead 3 is installed at a position separated from the upper yoke by the metal gasket 9 in the portion a.

【００４４】図４は図３に示したマグネトロンの上面図
であって、アンテナドーム４は上部ヨーク１１ａの中央
部分に設置された金属ガスケット９の中心部に設置され
ている。FIG. 4 is a top view of the magnetron shown in FIG. 3, in which the antenna dome 4 is installed at the center of a metal gasket 9 installed at the center of the upper yoke 11a.

【００４５】このような構造において、陰極フィラメン
ト７から放出された電子は、直流磁界の影響を受けて円
運動しながら各陽極ベイン２に高周波の電位を形成して
高周波（マイクロ波）を発振する。発振されたマイクロ
波はアンテナリード３を通してアンテナドーム４から図
示しない導波管に出力される。In such a structure, the electrons emitted from the cathode filament 7 form a high-frequency potential in each anode vane 2 while circulating under the influence of the DC magnetic field to oscillate a high-frequency (microwave). . The oscillated microwave is output from the antenna dome 4 to a waveguide (not shown) through the antenna lead 3.

【００４６】本構成例では、アンテナドーム４の構成材
料として、アルミナと酸化珪素が９６重量％以上含んだ
ものを使用する（例えば、アルミナ９２重量％以上、酸
化珪素６〜８重量％、この誘電正接は６以上）ことで、
アンテナリード３から放出されたマイクロ波がアンテナ
ドーム４を通る際に、当該アンテナドーム４がマイクロ
波を吸収する量が非常に少なくなり、アンテナドームの
温度上昇が低減される。In this configuration example, a material containing 96% by weight or more of alumina and silicon oxide is used as a constituent material of the antenna dome 4 (for example, 92% by weight or more of alumina, 6 to 8% by weight of silicon oxide, Tangent is 6 or more)
When the microwave emitted from the antenna lead 3 passes through the antenna dome 4, the amount of absorption of the microwave by the antenna dome 4 becomes very small, and the temperature rise of the antenna dome is reduced.

【００４７】図５はマグネトロンの駆動回路の一例を説
明する回路図である。符号２３１で示したものが上記し
た本実施例に係るマグネトロンである。FIG. 5 is a circuit diagram illustrating an example of a magnetron drive circuit. The reference numeral 231 indicates the magnetron according to the above-described embodiment.

【００４８】本回路例は、マグネトロン電源として商用
交流電源を高速スイッチッグして所要の電圧を得るスイ
ッチング電源装置，所謂インバータ電源を用いたもので
あり、スイッチング電源装置２０９に直流電力を供給す
る直流電源２０１は、商用交流電源２０３と全波整流器
２０５から構成されている。This circuit example uses a switching power supply device for obtaining a required voltage by switching a commercial AC power supply at high speed as a magnetron power supply, that is, a so-called inverter power supply, and a DC power supply for supplying DC power to the switching power supply 209. Reference numeral 201 denotes a commercial AC power supply 203 and a full-wave rectifier 205.

【００４９】全波整流器２０５の直流出力端子には、リ
アクタとキャパシタで構成されたフィルタ２０７が接続
されているが、このフィルタ２０７は整流電流を平滑す
るためでなく、発振電流に含まれる高周波雑音が交流電
源側を通して洩れるのを防ぎ、これによって妨害波の伝
播をさけるようにしている。The DC output terminal of the full-wave rectifier 205 is connected to a filter 207 composed of a reactor and a capacitor. This filter 207 is not used for smoothing the rectified current, but is used for high-frequency noise included in the oscillation current. Is prevented from leaking through the AC power supply, thereby preventing the propagation of interfering waves.

【００５０】スイッチング電源装置２０９はトランジス
タ２１１を備え、同期パルス発生器２３５で生成される
同期パルスにより制御されるオン信号発生回路２３７の
オン信号で駆動される駆動回路２４１によりオン−オフ
動作される。The switching power supply 209 includes a transistor 211 and is turned on and off by a drive circuit 241 driven by an on signal of an on signal generation circuit 237 controlled by a synchronization pulse generated by a synchronization pulse generator 235. .

【００５１】スイッチング電源装置２０９は、トランジ
スタ２１１に逆並列に接続されたダンパダイオード２１
５および並列に接続された共振用キャパシタ２１３を備
えている。The switching power supply 209 includes a damper diode 21 connected in anti-parallel to the transistor 211.
5 and a resonance capacitor 213 connected in parallel.

【００５２】このスイッチング電源装置２０９は、一次
巻線２１９と二次巻線２２１，２２３と２２４，２２５
を持つ昇圧トランス２１７に接続し、一次巻線２１９は
スイッチング電源装置２０９を介してフィルタ２０７に
接続し、キャパシタ２１３と一次巻線２１９により直列
共振回路が構成される。The switching power supply 209 comprises a primary winding 219 and secondary windings 221, 223 and 224, 225.
, The primary winding 219 is connected to the filter 207 via the switching power supply 209, and the capacitor 213 and the primary winding 219 form a series resonance circuit.

【００５３】二次巻線２２１は、キャパシタ２２７と高
圧ダイオード２２９よりなる倍電圧整流器を通してマグ
ネトロン２３１に接続される。電流検出器２３３はマグ
ネトロンに流れる負荷電流を検出し、平均回路２４９で
平均値として出力設定器２５１の設定値との差分を増幅
器２５７を介して同期パルス発生器２３５からの同期パ
ルスと加算されてオン信号発生器２３７に制御信号とし
て与えられる。The secondary winding 221 is connected to the magnetron 231 through a voltage doubler rectifier including a capacitor 227 and a high voltage diode 229. The current detector 233 detects the load current flowing through the magnetron, and the averaging circuit 249 adds the difference from the set value of the output setting unit 251 to the synchronization pulse from the synchronization pulse generator 235 via the amplifier 257 as an average value. The ON signal generator 237 is provided as a control signal.

【００５４】二次巻線２２５は、マグネトロン２３１の
フィラメントを加熱するために設けられ、さらに他の二
次巻線２２３は出力フィードバック用の電圧を作るため
のものであり、波形成形回路２４３で波形成形された後
に遅延回路２４５で所定の時間遅延を受け、オン信号発
生回路２３７の制御信号として与えられる。The secondary winding 225 is provided for heating the filament of the magnetron 231, and the other secondary winding 223 is for producing a voltage for output feedback. After the shaping, the signal is subjected to a predetermined time delay by the delay circuit 245, and is provided as a control signal of the ON signal generation circuit 237.

【００５５】また二次巻線２２４は補助電源２４７に与
えられ、整流されて制御回路等の電源として用いられ
る。The secondary winding 224 is supplied to an auxiliary power supply 247, rectified and used as a power supply for a control circuit and the like.

【００５６】ここで、フィラメントと陽極には、通常数
ＫＶの高圧が印加されている。Here, a high voltage of usually several KV is applied to the filament and the anode.

【００５７】なお、図中、２３２は導波管、２３４は電
子レンジの調理室であり、マグネトロン２３１で発振さ
れたマイクロ波は導波管２３２を通して調理室２３４に
供給されるようになっている。In the drawing, reference numeral 232 denotes a waveguide, and 234 denotes a cooking chamber of a microwave oven. The microwave oscillated by the magnetron 231 is supplied to the cooking chamber 234 through the waveguide 232. .

【００５８】図６はマグネトロン電源として一般商用電
源をそのまま用いた回路例であって、２０３は商用交流
電源、２１７’は高圧トランス、２１９’は一次巻線、
２２１’，２２５’は二次巻線、２２７’はキャパシ
タ、２２９’は高圧ダイオード、２３１はマグネトロン
である。高圧トランス２１７’の一次巻線２１９’は商
用交流電源２０３に接続され、二次巻線２２１’はキャ
パシタ２２７’と高圧ダイオード２２９’とからなる半
波倍電圧整流回路に接続される。FIG. 6 is an example of a circuit using a general commercial power supply as it is as a magnetron power supply. Reference numeral 203 denotes a commercial AC power supply, 217 ′ denotes a high-voltage transformer, 219 ′ denotes a primary winding,
221 'and 225' are secondary windings, 227 'is a capacitor, 229' is a high voltage diode, and 231 is a magnetron. The primary winding 219 'of the high voltage transformer 217' is connected to the commercial AC power supply 203, and the secondary winding 221 'is connected to a half-wave voltage rectifying circuit including a capacitor 227' and a high voltage diode 229 '.

【００５９】また、二次巻線２２５’はマグネトロン２
３１のヒータ端子に接続されてヒータに所要の電圧を印
加することで流れる電流によってヒータを加熱する。Further, the secondary winding 225 'is a magnetron 2
The heater is heated by an electric current which flows by applying a required voltage to the heater connected to the heater terminal 31.

【００６０】上記半波倍電圧整流回路のキャパシタ２２
７’と高圧ダイオード２２９’の接続点は上記ヒータ端
子の一方に接続されて負の陽極電圧が印加される。そし
て、二次巻線２２５’の一方はマグネトロン２３１の陽
極と接地に接続される。The capacitor 22 of the half-wave voltage rectifier circuit
A connection point between 7 'and the high voltage diode 229' is connected to one of the heater terminals to apply a negative anode voltage. One of the secondary windings 225 'is connected to the anode of the magnetron 231 and the ground.

【００６１】なお、一般商用電源をそのまま用いたマグ
ネトロン電源は上記した半波倍電圧整流回路に限らず、
既知の全波整流回路を用いることもできる。Incidentally, the magnetron power supply using the general commercial power supply as it is is not limited to the above half-wave voltage rectifier circuit.
A known full-wave rectifier circuit can also be used.

【００６２】図７は本発明によるマグネトロンを電子レ
ンジに適用した具体例を説明する概念図であって、３０
１は電子レンジ調理室で、ドア３０２から被加熱物３０
３がセットされる。３０４はマグネトロン、３０５はア
ンテナ、３０６はマグネトロン電源、３０７は冷却ファ
ン、３０８は冷却風、３０９は導波管、３１０はスター
ラーである。FIG. 7 is a conceptual diagram illustrating a specific example in which the magnetron according to the present invention is applied to a microwave oven.
Numeral 1 denotes a microwave oven, and the object to be heated 30 is opened from a door 302.
3 is set. 304 is a magnetron, 305 is an antenna, 306 is a magnetron power supply, 307 is a cooling fan, 308 is cooling air, 309 is a waveguide, and 310 is a stirrer.

【００６３】マグネトロン３０４で発生されたマイクロ
波はアンテナ３０５から導波管３０９を通して被加熱物
３０３がセットされた調理室３０１に供給される。スタ
ーラー３１０は調理室３０１内で回転して被加熱物３０
３が均一に加熱されるようマイクロ波を拡散するための
ものである。The microwave generated by the magnetron 304 is supplied from the antenna 305 through the waveguide 309 to the cooking chamber 301 in which the object 303 to be heated is set. The stirrer 310 rotates in the cooking chamber 301 to rotate the object 30 to be heated.
3 is for diffusing the microwave so as to be uniformly heated.

【００６４】冷却ファン３０７はマグネトロン３０４に
冷却風３０８を送風してマグネトロン２３１を冷却する
ためのものである。The cooling fan 307 sends cooling air 308 to the magnetron 304 to cool the magnetron 231.

【００６５】なお、上記図５〜図７に示した回路はあく
まで一例であり、高出力のマグネトロン用電源として別
途の構成をもつ回路とする場合もある。The circuits shown in FIGS. 5 to 7 are merely examples, and may have a separate configuration as a high-output magnetron power supply.

【００６６】本発明は、特に、マイクロ波出力が２ｋＷ
以上のマグネトロンに前記で説明したアンテナドームを
採用することにより、熱破壊が防止されて信頼性の高
い、かつ強制冷却を必要としない特性の均一な大出力の
マグネトロンを得ることができる。しかし、これ以下の
低出力のマグネトロンにも適用できることは言うまでも
ない。According to the present invention, particularly, the microwave output is 2 kW.
By employing the above-described antenna dome for the magnetron, it is possible to obtain a high-power magnetron with high reliability which is prevented from thermal destruction, has high reliability and does not require forced cooling. However, it is needless to say that the present invention can be applied to a magnetron having a low output less than this.

【００６７】[0067]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ゲッター材の量を増大できると共に、その量も定量に制
御でき、長期間にわたって放出ガスの吸着性能を持続で
き、長寿命で信頼性の高いマグネトロンを提供すること
ができる。As described above, according to the present invention,
The amount of the getter material can be increased, the amount can be controlled to a fixed amount, the adsorption performance of the released gas can be maintained for a long period, and a long-life and highly reliable magnetron can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明によるマグネトロンの第１実施例を説明
する陰極構体の断面図である。FIG. 1 is a sectional view of a cathode structure for explaining a first embodiment of a magnetron according to the present invention.

【図２】本発明によるマグネトロンの第２実施例を説明
する陰極構体の縦断面図である。FIG. 2 is a longitudinal sectional view of a cathode structure for explaining a second embodiment of the magnetron according to the present invention.

【図３】本発明にマグネトロンの全体構成例を説明する
断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating an example of the overall configuration of a magnetron according to the present invention.

【図４】図３に示したマグネトロンの上面図である。FIG. 4 is a top view of the magnetron shown in FIG. 3;

【図５】マグネトロンの駆動回路の一例を説明する回路
図である。FIG. 5 is a circuit diagram illustrating an example of a magnetron drive circuit.

【図６】マグネトロン電源として一般商用電源をそのま
ま用いた回路例である。FIG. 6 is a circuit example using a general commercial power supply as it is as a magnetron power supply.

【図７】本発明によるマグネトロンを電子レンジに適用
した具体例を説明する概念図である。FIG. 7 is a conceptual diagram illustrating a specific example in which a magnetron according to the present invention is applied to a microwave oven.

【図８】従来のマグネトロンにおける陰極構体を説明す
る縦断面図である。FIG. 8 is a longitudinal sectional view illustrating a cathode structure in a conventional magnetron.

【符号の説明】 １ 陽極シリンダー ２ 陽極ベイン ３ アンテナリード ４ アンテナドーム ５ａ 上部磁極 ５ｂ 下部磁極 ６ａ 上部シール ６ｂ 下部シール ７ 陰極フィラメント ８ａ 上部マグネット ８ｂ 下部マグネット ９ 金属ガスケット １０ 冷却フィン １１ａ 上部ヨーク １１ｂ 下部ヨーク １２ａ，１２ｂ 陰極リード １３ チョークコイル １４ 貫通ンデンサ １５ フィルタケース １６ａ，１６ｂ ストラップリング １７ａ 上エンドシールド １７ｂ 下エンドシールド １８ セラミックスペーサ １９ 金属スリーブ ２０ａ，２０ｂ，２０ｃ ゲッター材。[Description of Signs] 1 Anode cylinder 2 Anode vane 3 Antenna lead 4 Antenna dome 5a Upper magnetic pole 5b Lower magnetic pole 6a Upper seal 6b Lower seal 7 Cathode filament 8a Upper magnet 8b Lower magnet 9 Metal gasket 10 Cooling fin 11a Upper yoke 11b Lower yoke 12a, 12b Cathode lead 13 Choke coil 14 Penetration capacitor 15 Filter case 16a, 16b Strap ring 17a Upper end shield 17b Lower end shield 18 Ceramic spacer 19 Metal sleeve 20a, 20b, 20c Getter material.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】上エンドシールドと下エンドシールドの間
に設けたフィラメントと、フィラメントに給電する２本
の陰極リードを有する陰極構体と、フィラメントの周囲
に設置した陽極シリンダーと、この陽極シリンダーの内
部に前記フィラメントを中心として放射状に設置した複
数の陽極ベインで形成された空洞共振器群とを有し、空
洞共振器群に発生したマイクロ波を、一端が前記空洞共
振器に接続され、他端が主力部を構成するアンテナドー
ム内に配置されたアンテナリードを通して外部に放射す
るマグネトロンであって、 前記陰極構体が、その２本の陰極リードを保持するセラ
ミックスペーサと、セラミックスペーサの軸方向移動を
防止するために、当該２本の陰極リードの少なくとも一
方に挿入され、かつ前記下エンドシールド側で当該セラ
ミックスペーサに当接させてかしめた金属スリーブと、
前記金属スリーブと前記陰極リードの間隙に充填したゲ
ッター材とを有することを特徴とするマグネトロン。1. A filament provided between an upper end shield and a lower end shield, a cathode assembly having two cathode leads for supplying power to the filament, an anode cylinder provided around the filament, and an inside of the anode cylinder. A cavity resonator group formed of a plurality of anode vanes radially provided around the filament, and a microwave generated in the cavity resonator group is connected at one end to the cavity resonator, and at the other end. Is a magnetron that radiates to the outside through an antenna lead arranged in an antenna dome that constitutes a main part, wherein the cathode structure is a ceramic spacer that holds the two cathode leads, and an axial movement of the ceramic spacer. In order to prevent this, it is inserted into at least one of the two cathode leads and the lower end shield side A metal sleeve crimped against the ceramic spacer,
A magnetron, comprising: a getter material filled in a gap between the metal sleeve and the cathode lead. 【請求項２】上エンドシールドと下エンドシールドの間
に設けたフィラメントと、フィラメントに給電する２本
の陰極リードを有する陰極構体と、フィラメントの周囲
に設置した陽極シリンダーと、この陽極シリンダーの内
部に前記フィラメントを中心として放射状に設置した複
数の陽極ベインで形成された空洞共振器群とを有し、空
洞共振器群に発生したマイクロ波を、一端が前記空洞共
振器に接続され、他端が主力部を構成するアンテナドー
ム内に配置されたアンテナリードを通して外部に放射す
るマグネトロンであって、 前記陰極構体が、その２本の陰極リードを保持するセラ
ミックスペーサと、セラミックスペーサの軸方向移動を
防止するために、当該２本の陰極リードの少なくとも一
方に挿入され、かつ前記下エンドシールド側で当該セラ
ミックスペーサに当接させてかしめた金属スリーブとを
有し、前記下エンドシールドと前記セラミックスペーサ
の間の前記陰極リードの表面に塗布したゲッター材とを
有することを特徴とするマグネトロン。2. A filament provided between an upper end shield and a lower end shield, a cathode assembly having two cathode leads for supplying power to the filament, an anode cylinder installed around the filament, and an inside of the anode cylinder. A cavity resonator group formed of a plurality of anode vanes radially provided around the filament, and a microwave generated in the cavity resonator group is connected at one end to the cavity resonator, and at the other end. Is a magnetron that radiates to the outside through an antenna lead arranged in an antenna dome that constitutes a main part, wherein the cathode structure is a ceramic spacer that holds the two cathode leads, and an axial movement of the ceramic spacer. In order to prevent this, it is inserted into at least one of the two cathode leads and the lower end shield side A magnetron, comprising: a metal sleeve abutted against the ceramic spacer; and a getter material applied to a surface of the cathode lead between the lower end shield and the ceramic spacer. 【請求項３】上エンドシールドと下エンドシールドの間
に設けたフィラメントと、フィラメントに給電する２本
の陰極リードを有する陰極構体と、フィラメントの周囲
に設置した陽極シリンダーと、この陽極シリンダーの内
部に前記フィラメントを中心として放射状に設置した複
数の陽極ベインで形成された空洞共振器群とを有し、空
洞共振器群に発生したマイクロ波を、一端が前記空洞共
振器に接続され、他端が主力部を構成するアンテナドー
ム内に配置されたアンテナリードを通して外部に放射す
るマグネトロンであって、 前記陰極構体が、その２本の陰極リードを保持するセラ
ミックスペーサと、セラミックスペーサの軸方向移動を
防止するために、当該２本の陰極リードの少なくとも一
方に挿入され、かつ前記下エンドシールド側で当該セラ
ミックスペーサに当接させてかしめた金属スリーブと、
前記金属スリーブと前記陰極リードの間隙に充填したゲ
ッター材と、前記下エンドシールドと前記セラミックス
ペーサの間の前記陰極リードの表面に設けたゲッター材
とを有することを特徴とするマグネトロン。3. A filament provided between an upper end shield and a lower end shield, a cathode assembly having two cathode leads for supplying power to the filament, an anode cylinder installed around the filament, and an inside of the anode cylinder. A cavity resonator group formed of a plurality of anode vanes radially provided around the filament, and a microwave generated in the cavity resonator group is connected at one end to the cavity resonator, and at the other end. Is a magnetron that radiates to the outside through an antenna lead arranged in an antenna dome that constitutes a main part, wherein the cathode structure is a ceramic spacer that holds the two cathode leads, and an axial movement of the ceramic spacer. In order to prevent this, it is inserted into at least one of the two cathode leads and the lower end shield side A metal sleeve crimped against the ceramic spacer,
A magnetron, comprising: a getter material filled in a gap between the metal sleeve and the cathode lead; and a getter material provided on a surface of the cathode lead between the lower end shield and the ceramic spacer. 【請求項４】前記上エンドシールドの表面にゲッター材
を設けたことを特徴とする請求項１、２または３の何れ
かに記載のマグネトロン。4. The magnetron according to claim 1, wherein a getter material is provided on a surface of said upper end shield. 【請求項５】前記ゲッター材がチタニウム粉末、ジルコ
ニウム粉末の何れか、または両者の混合物であり、金属
スリーブ、または金属リード、もしくは上エンドシール
ドに塗布し焼結して設けた非蒸発型ゲッターであること
を特徴とする請求項１〜４の何れかに記載のマグネトロ
ン。5. A non-evaporable getter provided by applying and sintering a metal sleeve, a metal lead, or an upper end shield, wherein the getter material is either titanium powder or zirconium powder or a mixture of both. The magnetron according to claim 1, wherein: