KR19990069084A - 반도체소자 제조용 서셉터 - Google Patents

Abstract

본 발명은 진공척과 고정링을 나사조임으로 체결하여 결합을 견고하게 하는 반도체소자 제조용 서셉터에 관한 것이다.

본 발명은, 웨이퍼를 진공흡착하여 고정시키는 진공척, 상기 진공척에 고정된 웨이퍼에 근접되어 발열함으로써 상기 웨이퍼를 가열시키는 히터 및 상기 히터의 내부에 상기 진공척을 고정시키는 고정링을 구비하여 이루어지는 반도체소자 제조용 서셉터에 있어서, 상기 진공척과 상기 고정링이 견고하게 체결되도록 상기 진공척과 상기 고정링 사이에 결합수단을 설치하는 것을 특징으로 한다.

따라서, 진공척과 고정링의 체결을 견고하게 하여 상기 진공척의 이탈 및 웨이퍼 또는 고정링의 깨짐현상을 방지하고, 파티클로 인한 웨이퍼 불량을 방지하여, 웨이퍼의 수율 및 품질의 균일성을 향상시키게 하는 효과를 갖는다.

Description

반도체소자 제조용 서셉터

본 발명은 반도체소자 제조용 서셉터에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공척과 고정링을 나사조임으로 체결하여 결합을 견고하게 하는 반도체소자 제조용 서셉터에 관한 것이다.

일반적으로 반도체소자는 증착공정, 사진공정, 식각공정 및 이온주입공정 등의 일련의 공정들을 수행하여 이루어진다.

즉, 반도체소자는 반도체 기판 위에 다결정막, 산화막, 질화막 및 금속막 등과 같은 여러 층의 박막을 증착하여 사진공정 및 식각공정 통해 패턴을 형성시켜 완성한다.

상기 증착공정은 웨이퍼 상에 전열막, 산화막 및 금속막 등을 증착하는 공정으로써 주로 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition)방법을 이용한다. 상기 화학기상증착장치의 웨이퍼를 장착하는 부분이 서셉터(Susceptor)이다

도1은 종래의 반도체소자 제조용 서셉터를 나타내는 평면도이고, 도2는 도1의 조립상태를 나타내는 조립도이다.

도1 및 도2에서 도시된 바와 같이, 종래의 반도체소자 제조용 서셉터는, 웨이퍼(1)를 진공흡착하여 고정시키는 진공척(12)과, 상기 진공척(12)에 고정된 웨이퍼(1)에 근접되어 발열함으로써 상기 웨이퍼(1)를 가열시키는 히터(14) 및 상기 히터(14)의 내부에 상기 진공척(12)을 고정시키는 고정링(10)을 구비한다.

상기 고정링(10)에는 3개의 고정편(10a)이 형성되어 상기 히터(14)에 고정되고, 상기 진공척(12)은, 상기 고정링(10)에 상기 진공척(12)의 자중에 의하여 단순하게 안착되어 있다.

그러나, 공정이 진행되면 상기 웨이퍼가 진공척에 흡착되거나 탈거될 때 상기 진공척에 진동이 발생하므로 상기 진공척이 이탈하여 상기 진공척에 진공흡착되는 웨이퍼 또는 고정링의 깨짐현상이 발생하고, 고정링과 진공척의 마찰로 인한 파티클이 발생하며, 웨이퍼의 수율 및 품질의 균일성이 떨어지게 되는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은, 진공척과 고정링의 체결을 견고하게 하여 상기 진공척의 이탈 및 웨이퍼 또는 고정링의 깨짐현상을 방지하고, 파티클로 인한 웨이퍼 불량을 방지하여, 웨이퍼의 수율 및 품질의 균일성을 향상시키게 하는 반도체소자 제조용 서셉터를 제공함에 있다.

도1은 종래의 반도체소자 제조용 서셉터를 나타내는 평면도이다.

도2는 도1의 조립상태를 나타내는 조립도이다.

도3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 반도체소자 제조용 서셉터를 나타내는 평면도이다.

도4는 도3의 조립상태를 나타내는 조립도이다.

※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1: 웨이퍼 10, 20: 고정링

10a, 20a: 고정편 12, 22: 진공척

14, 24: 히터 20b: 암나사홀

26: 고정나사 28: 사각와셔

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체소자 제조용 서셉터는,

웨이퍼를 진공흡착하여 고정시키는 진공척, 상기 진공척에 고정된 웨이퍼에 근접되어 발열함으로써 상기 웨이퍼를 가열시키는 히터 및 상기 히터의 내부에 상기 진공척을 고정시키는 고정링을 구비하고, 상기 진공척과 상기 고정링이 견고하게 체결되도록 상기 진공척과 상기 고정링 사이에 결합수단을 설치한다.

상기 결합수단은, 상기 진공척에 관통홀을 형성하고, 상기 고정링에 암나사홀을 형성하여, 상기 관통홀을 통과하고, 상기 암나사홀에 나사조임되는 고정나사를 사용하는 것이 바람직하다.

이러한, 상기 고정나사는, 파티클의 발생과 상기 진공척의 파손을 방지하며, 상기 진공척을 견고하게 파지하도록 상기 고정나사의 파지력을 상기 진공척 상면에 넓게 분산시키는 와셔를 관통하여 조립될 수 있다.

또한, 상기 와셔는, 사각형태의 얇은 장방형 판상이며, 중심에서 편중된 위치에 상기 고정나사가 관통되는 구멍이 형성된 사각와셔를 사용할 수 있다.

또한, 바람직하기로는, 상기 고정나사는, 상기 고정링을 상기 히터에 고정시키도록 상기 고정링에 돌출되어 형성된 고정편과 근접한 위치에 형성된 암나사홀에 관통된다.

한편, 상기 진공척의 상면에 상기 와셔가 안착되는 와셔홈이 형성되는 것이 바람직하다.

이하, 본 발명의 구체적인 일 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 반도체소자 제조용 서셉터를 나타내는 평면도이다.

도4는 도3의 조립상태를 나타내는 조립도이다.

도3 및 도4에서 도시된 바와 같이, 본 발명의 반도체소자 제조용 서셉터는, 웨이퍼(1)를 진공흡착하여 고정시키는 진공척(22)과, 상기 진공척(22)에 고정된 웨이퍼(1)에 근접되어 발열함으로써 상기 웨이퍼(1)를 가열시키는 히터(24) 및 상기 히터(24)의 내부에 상기 진공척(22)을 고정시키는 고정링(20)을 구비하고, 상기 진공척(22)과 상기 고정링(20)이 견고하게 체결되도록 상기 진공척(22)과 상기 고정링(20) 사이에 고정나사(26)를 체결한다.

상기 고정나사(26)는, 상기 진공척(22)에 관통홀을 형성하고, 상기 고정링(20)에 암나사홀(20b)을 형성하여, 상기 관통홀을 통과하고, 상기 암나사홀(20b)에 나사조임된다.

또한, 상기 고정나사(26)는, 파티클의 발생과 상기 진공척(22)의 파손을 방지하며, 상기 진공척(22)을 견고하게 파지하도록 상기 고정나사(26)의 파지력을 상기 진공척(22) 상면에 넓게 분산시키는 사각와셔(28)를 관통하도록 한다.

와셔의 형태는 다양하나, 상기 사각와셔(28)는, 사각형태의 얇은 장방형 판상이며, 중심에서 편중된 위치에 상기 고정나사(26)가 관통되는 구멍이 형성된다.

또한, 상기 고정나사(26)는, 상기 고정링(20)을 상기 히터(24)에 고정시키도록 상기 고정링(20)에 돌출되어 형성된 3개의 고정편(20a)과 근접한 위치에 형성된 암나사홀(20b)에 관통된다.

또한, 상기 진공척(22)의 상면에 상기 사각와셔(28)가 안착되도록 상기 와셔모양의 홈을 형성하여 상기 사각와셔(28) 및 상기 고정나사(26)의 체결력이 골고루 분산되며 상기 고정나사(26)의 회전에 영향을 받지 않도록 한다.

따라서, 본 발명에 따른 반도체소자 제조용 서셉터의 작용을 살펴보면, 작업자가 상기 고정링(20)을 상기 히터(24)에 고정시킨 후 상기 진공척(22)을 상기 고정링(20)에 나사고정시킨다.

이때 상기 고정나사(26)와 상기 진공척(22) 사이에는 마찰로 인한 파티클의 발생을 줄이고, 결합을 견고히 하도록 와셔홈에 안착되는 사각와셔(28)를 삽입한다.

이러한 사각와셔(28)는 상기 와셔홈에 안착되므로 상기 고정나사(26)의 회전에도 비틀어지지 않는다.

그러므로, 상기 진공척(22)의 진동시 상기 진공척(22)과 상기 고정링(20)이 마찰을 일으키지 않고, 상기 진공척(22)의 이탈을 방지하게 된다.

따라서, 본 발명에 의하면 상술한 바와 같이 진공척과 고정링의 체결을 견고하게 하여 상기 진공척의 이탈 및 웨이퍼 또는 고정링의 깨짐현상을 방지하고, 파티클로 인한 웨이퍼 불량을 방지하여, 웨이퍼의 수율 및 품질의 균일성을 향상시키게 하는 효과를 갖는 것이다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (6)

1. 웨이퍼를 진공흡착하여 고정시키는 진공척, 상기 진공척에 고정된 웨이퍼에 근접되어 발열함으로써 상기 웨이퍼를 가열시키는 히터 및 상기 히터의 내부에 상기 진공척을 고정시키는 고정링을 구비하여 이루어지는 반도체소자 제조용 서셉터에 있어서,

   상기 진공척과 상기 고정링이 견고하게 체결되도록 상기 진공척과 상기 고정링 사이에 결합수단을 설치하는 것을 특징으로 하는 반도체소자 제조용 서셉터.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 결합수단은,

   상기 진공척에 관통홀을 형성하고, 상기 고정링에 암나사홀을 형성하여, 상기 관통홀을 통과하고, 상기 암나사홀에 나사조임되는 고정나사인 것을 특징으로 하는 상기 반도체소자 제조용 서셉터.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 고정나사는,

   파티클의 발생과 상기 진공척의 파손을 방지하며, 상기 진공척을 견고하게 파지하도록 상기 고정나사의 파지력을 상기 진공척 상면에 넓게 분산시키는 와셔를 관통하여 조립되는 것을 특징으로 하는 상기 반도체소자 제조용 서셉터.
4. 제 3 항에 있어서,

   상기 와셔는,

   사각형태의 얇은 장방형 판상이며, 중심에서 편중된 위치에 상기 고정나사가 관통되는 구멍이 형성된 사각와셔인 것을 특징으로 하는 상기 반도체소자 제조용 서셉터
5. 제 2 항 내지 제 4 항 중에 어느 한 항에 있어서,

   상기 고정나사는,

   상기 고정링을 상기 히터에 고정시키도록 상기 고정링에 돌출되어 형성된 고정편과 근접한 위치에 형성된 암나사홀에 관통되는 것을 특징으로 하는 상기 반도체소자 제조용 서셉터.
6. 제 2 항 내지 제 4 항 중에 어느 한 항에 있어서,

   상기 진공척의 상면에 상기 와셔가 안착되는 와셔홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 상기 반도체소자 제조용 서셉터.