KR19990056738A - 유리기판 반송장치 - Google Patents

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KR19990056738A
KR19990056738A KR1019970076749A KR19970076749A KR19990056738A KR 19990056738 A KR19990056738 A KR 19990056738A KR 1019970076749 A KR1019970076749 A KR 1019970076749A KR 19970076749 A KR19970076749 A KR 19970076749A KR 19990056738 A KR19990056738 A KR 19990056738A
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김기성
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김영환
현대전자산업 주식회사
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본 발명은 유리 기판 반송 장치를 개시한다.
본 발명에 의하면, 반송암 표면에 음극 및 양극 정전하 발생부를 설치하여, 유리 기판과 반송암 사이에 정전하적 인력으로 유리 기판을 흡착시킨다. 이에 따라, 유리 기판이 마모되는 면이 발생되지 않으며, 유리 기판이 인력에 의하여 전체적으로 흡착 지지되므로, 고속 이동시에도 움직임이 발생되지 않는다.

Description

유리 기판 반송 장치
본 발명은 유리 기판 반송 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는, 액정 표시 장치 및 플라즈마 디스플레이 패널의 기판으로 이용되는 유리 기판의 반송시, 유리 기판이 미끄러지지 않도록 하는 유리 기판 반송 장치에 관한 것이다.
일반적으로 액정 표시 장치 및 플라즈마 디스플레이 패널의 기판으로 제공되는 유리 기판은 반송 암에 안착되어, 공정실에 장입되고, 소정의 공정을 진행한 후에 반출된다.
종래에는 도 1에 도시된 바와 같이, 유리 기판(3)이 반송암(2)에 안착시, 유리 기판(3)이 미끄러지는 것을 방지하기 위하여, 반송암(2)의 유리 기판 안착면에 소정 개 예를들어 4개의 오링(o-ring:2)을 설치하였다.
이와같이, 반송암(1)에 설치된 오링(2)은 유리 기판(3)을 밀착,지지하여, 유리 기판(3) 반송중 미끄러지지 않게한다.
그러나, 상기와 같이 유리 기판(3)의 미끄럼 방지 수단으로 오링(2)을 사용하게 되면, 다음과 같은 문제점이 발생된다.
첫째로, 상기한 오링(2)과 유리 기판(3)은 마찰력에 의하여 밀착 지지된다. 그러나, 유리 기판(3)과 오링(2)이 마찰되는 부분에서는 상기한 마찰력으로 인하여, 유리 기판(3)의 마모가 발생된다. 이와같이, 마모가 발생된 유리 기판에는 미세 먼지가 발생되기 쉽다. 또한, 반송암(1)에는 다수개의 오링(2)이 설치되어 있으므로, 유리 기판(3)이 불규칙적으로 마모가 되어, 오염이 발생되기 쉽다.
둘째로, 상기 유리 기판(3)은 적은 면적을 갖는 4개의 오링에 의하여 밀착 지지된다. 이에 따라 반송암(1)과 유리 기판(3)의 접촉되는 면적은, 유리 기판(3) 전체의 면적에 비하여 상당히 미소하게 된다. 이로 인하여, 고속 이동시에는 유리 기판이 움직이게 되어, 정확한 위치에 공정을 진행하기 어렵다.
따라서, 본 발명은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 유리 기판의 반송시 마모가 발생됨을 방지함과 아울러, 고속 이동시에도 유리 기판의 움직임을 방지할 수 있는 유리 기판의 반송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
도 1은 종래의 유리 기판 반송 장치
도 2는 본 발명에 따른 유리 기판의 반송 장치를 개략적으로 나타낸 도면.
도 3은 도 2의 "A" 부분을 확대하여 나타낸 도면.
(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)
11 : 반송암 12 : 음극 정전하 발생부
13 : 양극 정전하 발생부 14 : 유리 기판
15 : 전원 공급부 16 : 제어부
상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 유리 기판이 안착되는 반송암, 상기 반송암의 유리 기판 안착면에 배치되는 음극 및 양극 정전하 발생부, 상기 음극 및 양극 정전하 발생부에 전원을 공급하는 전원 공급부, 전원 공급부의 전원 공급 여부를 제어하는 제어부를 포함하며, 상기 전원 공급부로부터 음극 및 양극 정전하 발생부에 전압이 인가되면, 유리 기판내의 양전하 및 음전하가 상기 음극 및 양극 정전하 발생부와 반대 극성을 띠도록 재배치되어, 전하들간의 인력으로 상기 유리 기판이 반송암에 흡착되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 반송암 표면에 음극 및 양극 정전하 발생부를 설치하여, 유리 기판과 반송암 사이에 정전하적 인력으로 유리 기판을 흡착시킨다. 이에 따라, 유리 기판이 마모되는 면이 발생되지 않으며, 유리 기판이 인력에 의하여 전체적으로 흡착 지지되므로, 고속 이동시에도 움직임이 발생되지 않는다.
이하 첨부한 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시예를 자세히 설명하도록 한다.
첨부한 도면 도 2는 본 발명에 따른 유리 기판의 반송 장치를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 3은 도 2의 "A" 부분을 확대하여 나타낸 도면이다.
본 실시예는 정전하적 인력을 이용하여 반송암과 유리 기판을 흡착 지지한다.
도 2를 참조하여, 본 발명에 따른 유리 기판 반송 장치의 반송암(11)에서 유리 기판(14)이 안착되는 면에는, 음극 정전하 발생부(12)와 양극 정전하 발생부(13)가 배치된다. 음극 정전하 발생부(12)는 유리 기판이 안착되는 면의 테두리에 형성되고, 양극 전하 발생부(13)는 음극 정전하 발생부(12)의 내측에 테 형상으로 형성되며, 그것들의 배치 형태는 서로 바뀔 수 있다. 이 음극 및 양극 정전하 발생부(12,13)에는 전원을 공급하는 전원 공급부(15)가 연결된다. 이때, 전원 공급부(15)의 음극 단자(-)는 음극 정전하 발생부(12)와 연결되고, 양극 단자(+)는 양극 정전하 발생부(13)와 연결된다. 이 전원 공급부(15)는 제어부(16)와 접속된다. 이 제어부(16)은 유리 기판이 안착되어 반송시킬때에만, 전원 공급부(15)로 부터 음극 및 양극 정전하 발생부(12,13)에 전원이 인가되도록 한다.
이러한 구성을 갖는 본 발명의 유리 기판의 반송 장치의 동작은 다음과 같다.
상기와 같이 전원 공급부(15)로부터 음극 및 양극 정전하 발생부(12,13)에 소정의 전원이 인가되면, 도 3에 도시된 바와 같이, 음극 정전하 발생부(12)에는 음전하들이 차아지되고, 양극 정전하 발생부(13)에는 양전하들이 차아지된다. 한편, 유리 기판(14) 상에는 자체적으로 양전하 및 음전하를 지니고 있어, 유리 기판(14)이, 차아징된 반송암(11)상부에 안착되면, 쿨롱의 힘(coulomb force)에 의거하여, 유리 기판(14)의 전하들이 재분포된다. 즉, 반송암(11)의 음극 정전하 발생부(12) 상의 유리 기판(14)에는 양전하들이 집결되고, 양극 정전하 발생부(12) 상의 유리 기판(14)에는 음전하들이 집결된다. 그러면, 유리 기판(14)과 반송암(11) 사이에는, 서로 다른 극성을 갖는 전하들이 대응,배치되어, 쿨롱의 법칙에 따른 인력이 발생된다. 따라서, 이러한 인력에 의하여 유리 기판(14)이 흡착,지지된다. 이에 따라, 종래의 오링에 의하여 밀착 지지되는 면적보다, 정전하 발생부(12,13)이 형성된 면적이 더 넓으므로, 고속 이동시 움직임이 적다. 또한, 마찰력이 아닌 전하 상호간의 인력에 의하여 유리 기판이 지지되므로, 기판에 손상이 발생되지 않는다.
아울러, 반송암(11)의 표면은 절연 물질로 구성됨이 바람직하고, 반송 장치가 전체적으로 접지가 되지 않도록 함이 바람직하다. 그리고, 전원 공급부(15)로 부터 약 500 내지 750V의 직류 전압이 인가됨이 바람직하다. 이때, 전원 공급부(15)로 부터 고전압이 인가되면, 유리 기판(14)과 반송암(11)간의 흡착력은 증대되지만, 방전시에는 유리 기판(14)에 불량을 초래할 수 있기 때문이다. 아울러, 반송 암(11)과 유리 기판(14) 사이에는 진공을 유지함이 바람직하다. 이는, 진공 상태에서 흡착 특성이 더 우수하기 때문이다.
이상에서 자세히 설명된 바와 같이, 본 발명에 의하면, 반송암 표면에 음극 및 양극 정전하 발생부를 설치하여, 유리 기판과 반송암 사이에 정전하적 인력으로 유리 기판을 흡착시킨다. 이에 따라, 유리 기판이 마모되는 면이 발생되지 않으며, 유리 기판이 인력에 의하여 전체적으로 흡착 지지되므로, 고속 이동시에도 움직임이 발생되지 않는다.
기타, 본 발명은 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다.

Claims (5)

  1. 유리 기판이 안착되는 반송암;
    상기 반송암의 유리 기판 안착면에 배치되는 음극 및 양극 정전하 발생부;
    상기 음극 및 양극 정전하 발생부에 전원을 공급하는 전원 공급부;
    상기 전원 공급부의 전원 공급 여부를 제어하는 제어부를 포함하며,
    상기 전원 공급부로부터 음극 및 양극 정전하 발생부에 전압이 인가되면, 유리 기판내의 양전하 및 음전하가 상기 음극 및 양극 정전하 발생부와 반대 극성을 띠도록 재배치되어, 전하들간의 인력으로 상기 유리 기판이 반송암에 흡착되는 것을 특징으로 하는 유리 기판 반송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 음극 및 양극 정전하 발생부 중 하나는 반송암의 테두리에 배치되고, 나머지 하나는 테두리에 배치된 정전하 발생부 내측에 배치되는 것을 특징으로 하는 유리 기판 반송 장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 반송암은 절연 물질로 된 것을 특징으로 하는 유리 기판 반송 장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 반송암과 유리 기판 사이는 진공상태인 것을 특징으로 하는 유리 기판 반송 장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 전압 공급부는 상기 양극 및 음극 정전하 발생부에 약 500 내지 750V의 직류 전압을 공급하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 반송 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100625961B1 (ko) * 2000-02-02 2006-09-20 삼성에스디아이 주식회사 액정표시소자의 플라스틱 기판 이송방법

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