KR19990033659A - 타이틀러를 이용한 웨이퍼의 코드마킹방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 타이틀러를 이용한 웨이퍼의 코드마킹방법에 관한 것이다.

본 발명은, 셔터의 개폐작동으로 웨이퍼 상에 상기 웨이퍼를 식별하는 코드를 마킹하는 타이틀러를 이용하여 상기 웨이퍼 상에 식별코드 및 선택코드를 순차적으로 마킹하는 타이틀러를 이용한 웨이퍼의 코드마킹방법에 있어서, 상기 선택코드의 마킹은 상기 식별코드가 마킹된 자리수만큼 상기 타이틀러를 셔터의 개폐작동없이 이동시킨 후, 상기 선택코드의 마킹을 수행함을 특징으로 한다.

따라서, 공정수행의 소요시간을 단축시킬 수 있어 생산성이 향상되고, 타이틀러의 셔터의 수명을 연장시킬 수 있어 제조설비의 유지보수가 향상되는 효과가 있다.

Description

타이틀러를 이용한 웨이퍼의 코드마킹방법

본 발명은 타이틀러를 이용한 웨이퍼의 코드마킹방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 타이틀러(Titler)를 셔터(Shutter)의 개폐작동없이 식별코드의 자리수만큼으로 이동시켜 선택코드를 마킹(Marking)하는 타이틀러를 이용한 웨이퍼의 코드마킹방법에 관한 것이다.

반도체장치는 25장 또는 50장의 웨이퍼(Wafer)를 하나의 단위로 설정하여 공정을 수행하는 것이 일반적이다.

이러한 반도체장치의 제조에서는 상기 하나의 단위로 설정되는 웨이퍼들을 식별하기 위하여 주로 상기 웨이퍼 상의 플렛존(Flat Zone)에 코드(Code)를 마킹하여 공정을 수행한다.

그리고 ASIC(Application Socific IC) 등과 같은 주문형반도체장치의 제조에서는 상기 웨이퍼를 일차적으로 식별하는 식별코드 및 상기 웨이퍼를 이차적으로 식별하는 선택코드를 마킹한다.

즉, 상기 주문형반도체장치는 주로 다품종으로 이루어지기 때문에 상기 웨이퍼에 일반적으로 마킹되는 식별코드 이외에 또 다른 코드인 상기 선택코드를 마킹한다.

이러한 상기 식별코드 및 선택코드의 마킹은 주로 셔터의 개폐작동으로 마킹을 수행하는 타이틀러를 이용한다.

그리고 상기 타이틀러를 이용한 코드마킹 즉, 상기 식별코드 및 선택코드의 마킹에서는 먼저 식별코드를 마킹한 후, 선택코드를 마킹한다.

그러나 종래의 타이틀러를 이용한 상기 선택코드의 마킹에서는 식별코드가 마킹된 영역에도 상기 타이틀러의 셔터가 개폐작동을 수행하였다.

즉, 상기 식별코드가 마킹된 영역에 또 다른 식별코드를 마킹하는 것이 아니라, 단지 상기 선택코드가 마킹되는 영역까지로 이동을 하기 위하여 상기 셔터가 개폐작동을 수행하였다.

이러한 상기 타이틀러의 이동을 위한 셔터의 개폐작동은 웨이퍼 1장당 약 20초 정도의 시간이 소요되었고, 또한 상기 셔터의 불필요한 개폐작동의 수행으로 상기 셔터의 수명을 단축시켰다.

따라서 종래의 타이틀러를 이용한 코드마킹은 선택코드의 마킹시 셔터의 불필요한 개폐작동으로 인하여 공정수행의 소요시간이 연장되어 생산성이 저하되었고, 셔터의 수명이 단축되어 제조설비의 유지보수가 용이하지 않은 문제점들이 있었다.

본 발명의 목적은, 셔터의 개폐작동없는 이동을 구현시켜 생산성을 향상시키고, 제조설비의 유지보수를 향상시키기 위한 타이틀러를 이용한 웨이퍼의 코드마킹방법을 제공하는 데 있다.

도1은 본 발명에 따른 타이틀러를 이용한 코드가 마킹된 웨이퍼를 나타내는 도면이다.

도2는 본 발명에 따른 타이틀러를 이용한 웨이퍼의 코드마킹방법의 일 실시예를 나타내는 공정도이다.

※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 웨이퍼 10 : 식별코드

12 : 선택코드

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 타이틀러를 이용한 웨이퍼의 코드마킹방법은, 셔터의 개폐작동으로 웨이퍼 상에 상기 웨이퍼를 식별하는 코드를 마킹하는 타이틀러를 이용하여 상기 웨이퍼 상에 식별코드 및 선택코드를 순차적으로 마킹하는 타이틀러를 이용한 웨이퍼의 코드마킹방법에 있어서, 상기 선택코드의 마킹은 상기 식별코드가 마킹된 자리수만큼 상기 타이틀러를 셔터의 개폐작동없이 이동시킨 후, 상기 선택코드의 마킹을 수행함을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 타이틀러를 이용한 웨이퍼의 코드마킹방법은, 셔터의 개폐작동으로 웨이퍼 상에 상기 웨이퍼를 식별하는 코드를 마킹하는 타이틀러를 이용한 웨이퍼의 코드마킹방법에 있어서, 상기 웨이퍼를 일차적으로 식별하는 식별코드를 마킹시킨 후, 상기 마킹된 식별코드의 자리수를 확인하는 단계; 셔터의 개폐작동없이 상기 확인된 식별코드의 자리수만큼으로 상기 타이틀러를 이동시키는 단계; 및 상기 이동이 이루어진 타이틀러를 이용하여 상기 웨이퍼를 이차적으로 식별하는 선택코드를 마킹하는 단계를 구비하여 이루어짐을 특징으로 한다.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도1은 본 발명에 따른 타이틀러를 이용한 코드가 마킹된 웨이퍼를 나타내는 도면이고, 도2는 본 발명에 따른 타이틀러를 이용한 웨이퍼의 코드마킹방법의 일 실시예를 나타내는 공정도이다.

먼저, 도1은 웨이퍼(10)의 플렛존에 식별코드(10) 및 선택코드(12)가 마킹된 상태를 나타내는 것으로서, 본 발명의 타이틀러를 이용한 상기 선택코드(12)의 마킹은 상기 식별코드(10)가 마킹된 자리수만큼 상기 타이틀러를 셔터의 작동없이 이동을 시킨 후, 상기 선택코드(12)의 마킹을 수행한다.

그리고 보다 상세하게는 도2에 도시된 바와 같이 먼저, 상기 웨이퍼(1)를 일차적으로 식별하는 식별코드(10)를 마킹하는 공정을 수행한다.

이어서 상기 마킹된 식별코드(10)의 자리수를 확인한 후, 상기 타이틀러를 셔터의 개폐작동없이 상기 식별코드(10)의 자리수만큼으로 이동을 시킨다.

예를 들어 상기 식별코드(10)를 5자리의 숫자로 마킹하였을 때, 본 발명은 상기 식별코드(10)의 자리수가 5자리임을 상기 타이틀러에 입력시켜 상기 타이틀러를 셔터의 작동없이 5자리수만큼으로 이동시킨다.

그리고 상기 이동이 이루어진 타이틀러를 이용하여 상기 선택코드(12)를 마킹함으로써 상기 식별코드(10) 및 선택코드(12)의 마킹이 이루어진다.

이러한 구성으로 이루어지는 본 발명은 상기 타이틀러의 셔터의 개폐작동의 수행없이 상기 타이틀러가 이동되도록 할 수 있다.

따라서 본 발명은 상기 식별코드(10)의 마킹 후, 수행되는 선택코드(12)의 마킹공정의 수행을 위한 타이틀러의 이동시 상기 셔터의 개폐작동없이 상기 타이틀러를 선택코드(12)가 마킹되는 영역까지 이동시킬 수 있다.

이에 따라 본 발명은 타이틀러의 셔터의 개폐작동의 수행으로 인한 공정수행의 소요시간을 단축시킬 수 있고, 또한 셔터의 수명을 연장시킬 수 있다.

따라서, 본 발명에 의하면 공정수행의 소요시간을 단축시킬 수 있어 생산성이 향상되고, 타이틀러의 셔터의 수명을 연장시킬 수 있어 제조설비의 유지보수가 향상되는 효과가 있다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (2)

1. 셔터(Shutter)의 개폐작동으로 웨이퍼(Wafer) 상에 상기 웨이퍼를 식별하는 코드(Code)를 마킹(Marking)하는 타이틀러(Titler)를 이용하여 상기 웨이퍼 상에 식별코드 및 선택코드를 순차적으로 마킹하는 타이틀러를 이용한 웨이퍼의 코드마킹방법에 있어서,

   상기 선택코드의 마킹은 상기 식별코드가 마킹된 자리수만큼 상기 타이틀러를 셔터의 개폐작동없이 이동시킨 후, 상기 선택코드의 마킹을 수행함을 특징으로 하는 타이틀러를 이용한 웨이퍼의 코드마킹방법.
2. 셔터의 개폐작동으로 웨이퍼 상에 상기 웨이퍼를 식별하는 코드를 마킹하는 타이틀러를 이용한 웨이퍼의 코드마킹방법에 있어서,

   상기 웨이퍼를 일차적으로 식별하는 식별코드를 마킹시킨 후, 상기 마킹된 식별코드의 자리수를 확인하는 단계;

   셔터의 개폐작동없이 상기 확인된 식별코드의 자리수만큼으로 상기 타이틀러를 이동시키는 단계; 및

   상기 이동이 이루어진 타이틀러를 이용하여 상기 웨이퍼를 이차적으로 식별하는 선택코드를 마킹하는 단계;

   를 구비하여 이루어짐을 특징으로 하는 타이틀러를 이용한 웨이퍼의 코드마킹방법.