KR102649844B1 - 세척 키트 - Google Patents

Abstract

세척 키트로서, 상기 세척 키트는 제1 액밀 용기 및 상기 제1 액밀 용기 내에 수용되는 제2 액밀 용기를 포함한다. 상기 제2 액밀 용기는 운송 중에 취급에 의해 야기되는 우발적 파열을 감소시키도록 구성된 배플을 갖는다. 상기 세척 키트는 상기 제2 액밀 용기 내의 세척 액체를 포함한다. 상기 제2 액밀 용기는 제2 용기로부터 제1 용기로 액체를 배출시키기 위하여 제1 용기 내에 배열된 상태에서 개방가능하도록 구성된다. 또한, 제2 용기로부터 액체의 배출이 제1 용기 내의 어플리케이터에 적용되도록 제1 용기 내의 제2 용기에 인접하고 제1 용기 내의 하나 이상의 흡수성 어플리케이터를 포함한다.

Description

세척 키트

본 출원은 그 전체가 참조로 인용되고 2016년 12월 9일자에 출원된 미국 가특허 출원 제62/431,828호를 우선권 주장한다.

본 출원은 일반적으로 세척 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 "클린 룸", 반도체 제조 공장, 제약 제조 설비 및 극도의 청결이 유지되는 다른 세척 응용 및 환경에서 세척에 사용되는 장치 및 방법에 관한 것이다.

반도체 제조용 클린 룸, 제약 제조용 클린 룸 및 이와 유사한 설비에서의 청결 유지 요건은 엄격하다. 반도체 제조용 클린 룸에서 오염을 방지하기 위해 예외적으로 깨끗한 와이퍼 및 세척 용액으로 표면을 자주 닦아야 한다. 일반적으로 제어되는 오염물은 박테리아와 바이러스 사이의 크기의 미립자 물질과 매우 작은 농도의 화학 오염 물질과 같이 작은 물리적 오염 물질(전형적으로 백만분의 1 또는 10억분의 1)로 구성되어 있기 때문에 "미세 오염물"이라고 불린다.

오염물은 통상 3가지의 유형으로 구성된다: 입자, 이온 및 비휘발성 잔류 물. 이러한 오염물은 크린룸과 제품 및 표면에 증착되어 클린 룸에서 원재료, 이전 공정 단계, 제조 설비 및 사람을 포함하는 다수의 소스에 의해 세척된다. 와이퍼는 추가 오염물의 유입을 최소화하기 위해 매우 청결해야 한다. 크기가 100 마이크로미터 이하인 루즈한 입자는 높은 제조 수율 및 신뢰성있는 반도체 장치를 얻기 위한 시도이다. 이에 따라, 클린 룸에서 사용되는 세척 어플리케이터 및 세척 재료는 가능한 한 적은 수의 입자를 배출해야 한다. 유사하게, 오염물은 반도체 제조의 정확한 공정을 방해하며, 그 양은 최소화되어야 한다.

과거에 이러한 요구 사항은 세척 용액으로 적실 때 세척할 표면을 닦고 구조적 무결성을 유지하면서 매우 적은 루스한 입자가 거의 방출되지 않도록 특별히 제작된 천을 제공함으로써 충족되었다. 전형적으로, 이러한 와이퍼는 개방될 수 있는 가요성 플라스틱 백, 와이퍼 및 재밀봉된 백과 같은 밀봉된 용기에 포장된다. 그 뒤에, 별도의 용기에 보관된 세척 용액이 와이퍼에 적용되고 와이퍼가 사용된다.

세척 유체로 사용되는 상당량의 화학 용매는 보관되어 와이퍼에 적용되어야 한다. 이는 작업자의 건강에 유해한 사고 또는 작업 조건을 야기할 수 있다. 또한 작업자가 와이퍼 직물을 건조하기 위하여 개별 용기로부터 세척 유체를 적용할 때, 사용된 세척 유체의 양은 너무 적거나 또는 너무 많아서 비효율적인 세척 또는 과포화 및 폐기물을 초래할 수 있다.

이러한 문제에 대응하여 사전 포화 와이퍼가 개발되어 상용화되었다. 와이퍼는 다양한 양의 세척 용액으로 사전 적셔졌으며 필요할 때까지 재밀봉가능 플라스틱 백에 포장된다. 그 뒤, 백이 개방되고, 와이퍼 또는 와이퍼가 인출되고, 백이 재밀폐된다. 이는 백이 비워질 때까지 반복된다. 불행하게도, 미리포화된 와이퍼 백은 종종 사용하기 전에 수개월 또는 수년간과 같은 장기간 보관될 수 있다. 그 시간 동안, 세척 액체와 와이퍼 재료는 서로 밀접하게 접촉한다. 이는 와이퍼 재료의 섬유가 종종 열화되어 와이퍼에 의해 방출되는 오염물의 양이 와이퍼가 처음으로 포장될 때보다 실질적으로 더 높다고 여겨진다. 입자를 섬유에 유지하는 결합이 느슨해지고, 방출가능 이온 및 추출가능 물질은 세척 용액과 와이퍼 사이의 장기간 접촉에 의해 증가된다고 여겨진다. 추가로, 접착제가 일부 와이퍼 포장의 재밀폐가능 밀봉부에서 플라스틱 포장의 다양한 부분을 서로 체결하기 위해 사용되는 경우, 접착제는 세척 액체와의 오랜 기간의 접촉으로 인해 저하될 수 있다.

사전 포화된 와이퍼를 이용한 의약품 제조 및 다른 의료 설비의 세척의 또 다른 문제점은 살충제의 유효성을 유지시키는 데 있다. 더욱 구체적으로, 살충제의 유효성은 와이퍼 재료와의 장기간의 접촉으로 인해 저하될 수 있다.

사전 포화된 와이퍼의 다양한 단점을 극복하기 위해, 단일의 시스템 내에 불포화 와이퍼와 세척 유체를 포함하지만 와이퍼 및 세척 유체는 사용 직전까지 별도로 유지하려고 시도하였다. 이러한 시스템 중 하나는 그 전체가 참조로 인용되며 파레이(Paley) 등에 허여된 미국 특허 제6,602,381호에 기재된다.

이러한 "포화 사용 지점(point-of-use saturation)"시스템의 문제점은 누출, 제조 및 운송 비용이 많이 드는 부피가 큰 설계 및 사용 전에 세척 유체로 와이퍼를 포화시키는 것이 어렵다는 점이다. 특히, 운송 및 취급 중에 세척 유체 격실의 조기 파열은 심각한 문제이며, 알려진 시스템은 자유 낙하에 의한 적재된 용기의 낙하 시험에 대한 AST Test Protocol D5276-98(2009)에 따라 시험된 때에 40%의 고장률을 나타낸다.

운송 중에 파열로부터 보호하기 위한 하나의 방법은 쿠션을 제공하기 위해 버블 랩 또는 다른 특수 포장을 사용하는 것이다. 운송 중에 파열로부터 보호하기 위한 또 다른 방법은 중량을 줄이고 운송 도중에 가압되었을 때 내용물에 가해지는 압력을 줄이기 위해 팩의 양을 최소화하는 것이다. 불행하게도, 쿠션 포장 및/또는 소량 운송은 운송 및 자재 비용을 증가시킨다.

운송 중에 파열로부터 보호할 수 있는 또 다른 방법은 내구성 있는 세척 유체 포장을 사용하는 것이다. 그러나, 불행하게도, 이러한 내구성은 사용자가 사용중인 포장을 파열시키는 것을 어렵게 만든다. 세척 유체 포장이 효과적으로 파열되지 않으면 와이퍼가 적절히 포화되지 않을 수 있다.

따라서, 제2 액밀 용기 및 하나 이상의 어플리케이터를 수용하는 제1 액밀 용기를 포함하는 신규하고 개선된 세척 키트 시스템에 대한 필요성이 있고, 운송 및 취급 중에 우발적인 파열을 감소시키도록 제2 액밀 용기가 구성되는 동시에 사용자에 의해 제1 액밀 용기에 압력의 인가에 의해 용이하게 파열되도록 구성된다.

본 발명은 제1 액밀 용기, 및 상기 제1 액밀 용기 내에 수용되는 제2 액밀 용기를 포함하는 세척 키트에 관한 것으로 제2 액밀 용기는 사용자에 의해 제1 액밀 용기에 압력의 적용에 의해 파열되도록 구성된다. 제2 파우치는 밀봉가능 액밀 파우치, 운송 중에 처리에 의해 야기되는 우발적인 파열을 감소시키도록 구성된 파우치를 가로질러 부분적으로 연장되는 배플 및 상기 파우치의 외부 에지의 일부를 따른 파열가능 밀봉부를 포함하고 상기 파열가능 밀봉부는 ASTM 테스트 F1140-07(2007)에 따라 시험된 때에 물의 약 30 인치 초과로 사용자에 의해 제2 용기에 압력을 인가함으로써 파열된다. 상기 제2 액밀 용기 내의 세척 액체를 포함하고, 상기 제2 액밀 용기는 제2 용기로부터 제1 용기로 액체를 배출시키기 위하여 제1 용기 내에 배열된 상태에서 개방가능하도록 구성된다. 또한, 제1 용기 내의 제2 용기에 인접하고 제1 용기 내의 하나 이상의 흡수성 어플리케이터가 제공되며, 제2 용기로부터 액체가 배출됨에 따라 제1 용기 내에 어플리케이터에 인가된다.

배플은 부분 용접선, 복수의 이격된 점선 용접선, 복수의 분산된 용접선, 단일 용접 도트, 복수의 이격된 용접 도트, 단일 널링된 심, 복수의 널링된 심, 복수의 교차 용접 선 및 이의 조합으로 구성된 그룹으로부터 선택될 수 있다. 또한, 용접은 열 밀봉, RF 용접, 초음파 용접, 접착제 및 이의 조합에 의해 상기 파우치의 마주보는 면들을 서로 결합함으로써 형성될 수 있다.

배플은 사용 중에 불연속적일 수 있다. 예를 들어, 일 실시예에서, 배플은 상기 파우치의 일부를 가로질러 부분적으로 연장될 수 있다. 또 다른 실시예에서, 배플은 사용자가 사용 시에 또는 운송 중에 용기에 압력을 인가함으로써 파열되도록 구성되고 상기 파우치를 가로질러 전체적으로 연장된다.

일 실시예에서, 파우치는 재료의 시트의 한 쌍의 마주보는 에지를 밀봉함으로써 형성된 파우치이고, 상기 파우치의 밀봉된 에지의 적어도 일부는 파열가능 밀봉부이다. 파우치의 상부 에지는 상기 용기가 액체로 충전된 후에 생성되는 파열가능 밀봉부를 포함할 수 있다. 또한, 파우치는 폴드 파우치이고 상기 폴드 파우치의 밀봉된 에지의 적어도 일부는 파열가능 밀봉부이다. 본 발명의 범위 내에 있는 다른 파우치 구성이 4개의 측면 상에 밀봉된 필름의 2개의 부분, 2개의 측면 상에 밀봉된 관형 필름 또는 3개의 측면 상에 밀봉된 접힌 필름의 하나의 부분을 포함한다. 임의의 이들 구성 또는 밀봉부들 중 하나의 적어도 일부가 파열가능할 수 있다.

일 실시예에서, 배플은 약 30% 내지 약 65%의 액체로 충전된 후에 유효 부피를 제공하도록 구성되고, 상기 파열가능 밀봉부의 강도는 ASTM 테스트 F1140-07(2007)에 따라 시험된 때에 물의 약 45 인치 내지 물의 약 65 인치이다.

또 다른 실시예에서, 배플은 약 40% 내지 약 70%의 액체로 충전된 후에 유효 부피를 제공하도록 구성되고, 상기 파열가능 밀봉부의 강도는 ASTM 테스트 F1140-07(2007)에 따라 시험된 때에 물의 약 40 인치 내지 물의 약 70 인치이다.

또 다른 실시예에서, 배플은 약 30% 내지 약 65%의 액체로 충전된 후에 유효 부피를 제공하도록 구성되고, 상기 파열가능 밀봉부의 강도는 ASTM 테스트 F1140-07(2007)에 따라 시험된 때에 물의 약 45 인치 내지 물의 약 65 인치이다.

또 다른 실시예에서, 배플은 약 60%의 액체로 충전된 후에 유효 부피를 제공하도록 구성되고, 상기 파열가능 밀봉부의 강도는 ASTM 테스트 F1140-07(2007)에 따라 시험된 때에 물의 약 55 인치이다.

어플리케이터는 와이퍼, 몹, 스와브, 글로브, 미트, 패드 및 이의 조합으로 구성되는 그룹으로부터 선택될 수 있다. 일 실시예에서, 어플리케이터는 사용 시에 매우 작은 양의 오염물을 생성하는 와이퍼의 사용을 필요로 하는 클린 룸에서 사용하기 위한 와이퍼이다. 어플리케이터는 스택을 형성하는 복수의 상기 와이퍼를 포함할 수 있다. 또한, 어플리케이터는 편직물, 직포, 부직포, 발포체, 메시, 스폰지 및 이들의 조합으로 구성되는 그룹으로부터 선택된 재료로 제조될 수 있다.

일 실시예에서, 제1 액밀 용기는 상기 제2 액밀 용기를 수용하기 위한 개구를 갖는 파우치이다. 파우치는 측면 및 상기 개구를 형성하기 위해 서로 결합된 에지를 갖는 재료의 단일 시트로부터 형성된 폴드 파우치(fold pouch)일 수 있다. 파우치는 측면 및 상기 개구를 형성하기 위해 서로 결합된 에지를 갖는 재료의 2개의 시트로부터 형성된 3-면 밀봉 파우치일 수 있다.

일 실시예에서, 파우치의 개구는 제2 액밀 용기를 수용한 후에 상기 개구를 가로질러 밀봉가능하다. 사용 중에 상기 제1 용기를 개방한 후에 상기 파우치가 재밀봉가능하다. 일 실시예에서, 파우치는 재밀봉가능 박리 및 밀봉 파우치이다. 또 다른 실시예에서, 파우치는 개방 이후에 제1 용기를 재밀봉하도록 구성된 감압 접착제 및 상기 개구를 덮는 플랩을 추가로 포함할 수 있다. 또 다른 실시예에서, 파우치는 개방 이후에 상기 제1 용기를 재밀봉하도록 구성된 재밀봉가능 슬라이더 지퍼를 포함한다. 또 다른 실시예에서, 파우치는 개방 이후 상기 제1 용기를 재밀봉하도록 구성된 재밀봉가능 압력 지퍼를 포함한다. 슬라이더 및 압력 지퍼가 바람직하게는 상부 표면 상에서 심에 배열된다.

파우치는 플라스틱 필름으로부터 형성될 수 있다. 일 실시예에서, 플라스틱 필름은 단일 층 플라스틱 필름이다. 또 다른 실시예에서, 플라스틱 필름은 다층 복합 플라스틱 필름이다. 플라스틱 필름은 열가소성 필름이다.

따라서, 본 발명의 일 양태는 세척 키트를 제공하는 데 있으며, 상기 세척 키트는 (a) 제1 액밀 용기, (b) 제1 용기 내에 수용되도록 구성된 제2 액밀 용기 - 상기 제2 용기는 운송 중에 처리에 의해 야기되는 우발적인 파열을 감소시키도록 구성된 배플을 가짐 - , (c) 제2 액밀 용기 내의 세척 액체 - 상기 제2 액밀 용기는 제2 용기로부터 제1 용기로 액체를 배출시키기 위하여 제1 용기 내에 배열된 상태에서 개방가능하도록 구성됨 - ,를 포함한다.

본 발명의 또 다른 양태는 사용자에 의해 용기에 압력을 인가함으로써 파열되도록 구성된 액체 용기를 제공하며, 상기 용기는 (a) 액밀 파우치,

(b) 운송 중에 취급에 의해 야기되는 우발적 파열을 감소시키도록 구성된 파우치를 가로질러 부분적으로 연장되는 배플, 및 (c) 파우치의 외부 에지의 적어도 일부를 따른 파열가능 밀봉부를 포함하고, 상기 파열가능 밀봉부는 ASTM 테스트 F1140-07(2007)에 따라 시험된 때에 물의 약 30 인치보다 더 큰 압력을 사용자에 의해 상기 용기에 인가함으로써 파열된다

본 발명의 또 다른 양태는 세척 키트를 제공하며, 상기 세척 키트는 (a) 제1 액밀 용기, (b) 사용자에 의해 용기에 압력을 인가함으로써 파열되는 제1 용기 내에 수용된 제2 액밀 용기 - 상기 용기는 (i) 밀봉가능 액밀 파우치, (ii) 운송 중에 처리에 의해 야기되는 우발적인 파열을 감소시키도록 구성된 파우치를 가로질러 부분적으로 연장되는 배플 및 (iii) 상기 파우치의 외부 에지의 일부를 따른 파열가능 밀봉부를 포함하고 상기 파열가능 밀봉부는 ASTM 테스트 F1140-07(2007)에 따라 시험된 때에 물의 약 30 인치 초과로 사용자에 의해 제2 용기에 압력을 인가함으로써 파열됨 - , (c) 제2 액밀 용기 내의 세척 액체 - 상기 제2 액밀 용기는 제2 용기로부터 제1 용기로 액체를 배출시키기 위하여 제1 용기 내에 배열된 상태에서 개방가능하도록 구성됨 - , 및 (d) 제2 용기로부터 액체의 배출이 제1 용기 내의 어플리케이터에 적용되도록 제1 용기 내의 제2 용기에 인접하고 제1 용기 내의 하나 이상의 흡수성 어플리케이터를 포함한다.

이를 비롯한 본 발명의 양태들은 도면과 함께 고려 시 다음의 바람직한 실시예의 상세한 설명을 읽은 후 당업자에게 명백할 것이다.

도 1은 본 발명에 따라 구성된 단일의 배플을 갖는 내부 용기의 사시도.
도 2는 내부 구성요소를 도시하는 세척 키트의 상면도.
도 3은 복수의 배플을 갖는 내부 백이 제공된 세척 키트의 상면도.
도 4는 스와브를 갖는 세척 키트의 상면도.
도 5는 본 발명의 방법을 도시하는 도면.
도 5a는 세척 키트를 도시하는 도면.
도 5b는 외부 용기에 압력을 인가하는 사용자를 도시하는 도면.
도 5c는 파열가능 심으로부터 배출되는 세척 액체를 도시하는 도면.
도 5d는 외부 용기를 개방하는 사용자를 도시하는 도면.
도 5e는 단일의 와이퍼를 제거하는 사용자를 도시하는 도면.
도 5f는 와이퍼로 표면을 닦는 사용자를 도시하는 도면.
도 6은 파열가능 밀봉부의 강도와 액체 내부 용기의 유효 부피의 함수로서 1-5의 스케일로 운송 및 취급 내구성과 개방의 용이성의 전체 성능을 그래픽으로 도시하는 응답의 플롯을 도시하는 도면.

다음 설명에서, 동일한 참조 문자는 여러 관점에 걸쳐 같거나 상응하는 부분을 명시한다. 또한 다음 설명에서, "앞으로", "뒤로", "왼쪽", "오른쪽", "위쪽으로", "아래쪽으로" 등과 같은 용어는 편의적 단어이고 용어를 제한하는 것으로 간주되어서는 안됨을 이해해야 한다.

이제 일반적으로 도면들, 구체적으로 도 1을 참조하면, 설명이 본 발명의 바람직한 실시예를 기재하려는 목적을 위한 것이고 발명을 설명에 한정하려는 의도가 아님이 이해될 것이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 도면에서 일반적으로 도면부호(10)로 지정된 클리닝 키트 시스템용 내부 액밀(liquid tight) 제2 용기(30)가 본 발명에 따라 구성된다.

용기(30)는 바람직하게는 3개의 파열가능 심(seam, 32) 및 하나의 접힌 에지(34)를 갖는 4면의 파우지이지만, 다른 형태도 본 발명의 범위 내에 있다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, "파열가능 심", "파열가능 밀봉부" 등은 탄성을 변형시키고 단일 대상물로서 그 응집력을 유지하기보다는 미리 결정된 양의 압력이 가해질 때 의도적으로 분리되는 심을 의미한다. 힘이 예를 들어 제1 용기(30) 상에 압력을 가하는 사용자를 통해 제2 용기(30)에 인가될 때, 하나 이상의 파열가능 심(32)은 손상되고 유체는 파열된 심을 통하여 용기로부터 배출된다. 모든 파열가능 심 또는 하나의 파열가능 심 전체가 손상될 필요는 없다는 것을 이해해야 한다. 오히려, 손상된 하나의 심의 일부는 제2 용기로부터 세척 유체의 배출을 허용하기에 적합할 수 있다.

제2 용기(30)는 바람직하게는 3개의 에지를 따라 접히고 파열가능하게 밀봉되는 플라스틱의 단일 조각으로 형성된다. 이 필름은 바람직하게는 액체 불침투성 열가소성 물질이다. 적합한 필름의 예는 폴리에스테르, 폴리프로필렌, 폴리에틸렌, 폴리아미드, TTFE 또는 이들의 라미네이트 또는 코폼을 포함할 수 있다.

제2 용기(30)는 도 2에 도시된 바와 같이 소정 체적의 세척 유체(37)를 둘러싼다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, "세척 유체"는 물, 탈 이온수, 유기 용매, 비누, 계면활성제, 탈지제, 살충제, 알코올, 과산화수소, 차아염소산나트륨, 암모니아, 수산화나트륨, 산 및 이의 혼합물을 포함하는 다양한 액체를 지칭한다.

제2 용기(30)는 적어도 하나의 배플(35)을 포함하지만, 2개의 배플 또는 복수의 배플은 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 또한 본 발명의 범위 내에 있다. 배플(35)은 바람직하게는 파열가능 심(32)보다 약간 약한 결과 배플 밀봉부와 함께 필름의 2개의 측면을 용접함으로써 형성된다. 다시 말하면, 압력이 제2 용기(30)에 가해질 때, 배열 용접은 파열가능 심이 파열되기 전에 제공된다. 따라서, 제2 용기의 "파열" 이벤트는 전형적으로 2 부분으로 발생할 수 있다: 배플 용접 또는 이의 일부가 분리되며 그 뒤에 파열가능 밀봉부가 파열되어 액체가 배출된다. 배플은 부분 용접선, 복수의 이격된 점선 용접선, 서로 각을 이루고 및/또는 분산된 용접선, 복수의 이격된 용접 도트, 널링된 심, 복수의 교차 용접 선, 복수의 이격된 용접 선, 하나 이상의 만곡된 용접 선 및 이의 조합을 포함하는 다양한 방법으로 배향될 수 있다. 배플은 열 밀봉, RF 용접, 초음파 용접, 접착제 및 이들의 조합과 같은 수단에 의해 내부 용기의 대향 면을 함께 결합함으로써 형성될 수 있다.

배플은 "사용 중에 불연속적"인 것이 바람직하다. 본원에서 사용된 바와 같이, "사용 중에 불연속적인" 것은 배플이 제2 용기의 파열가능 심이 손상되었을 때 제2 용기 내에서의 유동의 이동을 현저하게 방해하지 않는다는 것을 의미한다. 다른 말로 하면, 사용 시에 사용자가 제2 용기에 압력을 가하여 배플과 파열가능 심이 파열되면, 파열된 배플이 파괴된 파열가능 심을 통하여 제2 용기로부터 세척 유체가 배출되는 것을 상당히 방지할 수 없다. 게다가, 배플이 파열가능 심의 파열 동안 손상되지 않은 채로 유지되도록 설계된 경우, 파열가능 심이 파열되는 경우 제2 용기로부터 모든 세척 유체의 배출을 실질적으로 방지할 수 있는 방식으로 배향될 수 없다. 불연속적인 배플은 내부 용기의 일부분에 걸쳐 부분적으로 연장되거나 또는 내부 용기를 완전히 가로질러 연장될 수 있다.

도 2에 도시된 바와 같이, 키트(10)는 제1 용기(20) 내의 하나 이상의 와이퍼(42) 및 제2 용기(30)를 포함한다. 와이퍼(42)는 일반적으로 본 명세서에서 간략함을 위해 사용되지만, 본 발명은 와이퍼(42)에 추가로 몹(mop, 43), 스와브(swab, 44)(도 4), 글로브(45), 미트(46) 및 패드(47)(도 4)를 포함하는 다양한 세척 어플리케이터(40)를 갖는 세척 키트에 속한다. 어플리케이터는 편직물, 직포, 부직포, 발포체, 메시, 스폰지 및 이들의 조합을 포함하는 다양한 재료로 제조될 수 있다. 와이퍼는 IEST-RP.CC004.3에 따라 클린룸 와이퍼로 사용하도록 승인된 매우 적은 양의 오염 와이퍼일 수 있다. 하나의 세척 키트는 하나 이상의 유형의 세척 어플리케이터를 포함할 수 있다. 세척 어플리케이터(40)는 각각의 제1 용기 내에서 단독으로 또는 복수로 제공될 수 있다. 복수의 세척 어플리케이터가 제공되는 경우, 예를 들어 와이프의 스택과 같은 특정 구성이 바람직할 수 있다. 어플리케이터는 바람직하게는 세척 유체에 대해 흡수성이다.

제1 용기(20)는 바람직하게는 적층 PET/LLDPE 필름 또는 PET, PA, PP, CoPET 변형물과 같은 액체 불투과성 플라스틱 필름으로 구성되며, 이는 바람직하게는 표준(비-파열가능) 심(33)으로 주변 에지가 밀봉된다. 바람직하게는, 플라스틱 필름은 열가소성 물질이다. 플라스틱 필름은 다층 복합 플라스틱 필름일 수 있다. 일 실시예에서, 제1 용기(20)는 함께 결합된 에지를 가지며 제2 용기(30)가 삽입되는 파우치를 형성하는 개구를 포함하는 단일 시트의 접힌 재료로 형성된다. 대안적으로, 제1 용기(20)는 결합된 에지를 갖는 재료의 2개의 시트로 형성될 수 있다. 제1 용기(20)는 바람직하게는 세척 어플리케이터(40)가 제거될 수 있는 개구(22)(도 5d)를 포함한다. 도 5는 이하에서 보다 상세히 논의 될 것이다.

개구(22)는 밀봉부(23)를 사용하여 밀폐되는 것이 바람직하다. 밀봉부(23)는 재밀봉 가능 "박리 및 밀봉" 플랩, 감압 접착제, 슬라이더 지퍼 및 이들의 조합을 포함하는 다양한 구성일 수 있다. 개구(22)는 바람직하게는 밀봉부(23)를 사용하여 여러번 개방 및 재밀폐될 수 있다. 제2 용기(30)는 제1 용기(20) 내에 수용된다.

제2 용기 내의 세척 유체의 유효 부피는 본 발명의 중요한 양태이다. 유효 부피가 너무 작으면 사용자는 사용을 위해 내부 용기를 파열하기가 어렵다. 부피가 너무 작으면 균일한 포화를 얻는데 더 많은 시간이 소요되고 원하는 포화 레벨에 대해 팩 내의 와이퍼 개수를 제한할 수 있다. 유효 부피가 너무 크면, 예를 들어 운송 중에 원하는 대로 제2 용기가 파열될 가능성이 있다. 본 명세서에 사용된 "유효 부피"는 배플이 없는 용기의 최대 부피 대 배플이 있는 용기의 최대 부피를 백분율로 나타낸 것을 지칭한다. 예를 들어 배플이 있는 1리터의 용기가 최대 부피가 0.7 리터인 경우 유효 부피는 70%이다. 이는 다음과 같이 계산된다:

(V_{배플이 있음}/V_{배플이 없음})*100= 유효 부피

게다가, 파열가능 심(32)의 강도는 본 발명의 일 양태이다. 파열가능 심이 너무 강하면 사용자가 사용을 위해 내부 용기를 파열하기가 어렵지만 너무 약하면 제2 용기가 조기에 파열될 수 있다.

사용 용이성과 운송 및 취급 내구성을 모두 달성하기 위하여 광범위한 실험이 필요하다. "사용의 용이성"은 사용자, 예를 들어 클린 룸에 있는 세척 기술자가 세척 유체가 세척 어플리케이터와 접촉하도록 허용하기 위해 제2 용기를 파열시키는 것이 얼마나 용이한지를 말한다. "운송 내구성"은 자유 낙하에 의한 적재된 용기의 낙하 테스트를 위해 ASTM 테스트 프로토콜 D5276-98(2009)에서 정의된 대로 운송 및 취급 과정에서 제2 용기가 얼마나 탄력적인지를 지칭한다. 사용 용이성 및 운송 내구성은 본질적으로 모순되는 특성이다.

도 6은 1 - 5 스케일의 전체 성능을 정량화하고 5가 최상이다. 배플의 추가는 사용 용이성 및 운송 내구성을 허용하는 한 본 발명의 중요한 요소라는 것을 이해해야 한다. 이전 기술은 다른 기술을 희생하여 최적화되었다. 본 발명의 내부 용기는 약 30 % 내지 80 %의 유효 부피 및 약 30 내지 80 인치의 물의 파열가능 심 강도를 갖는 것이 바람직하다. 본 발명의 내부 용기는 약 40 % 내지 70 %의 유효 부피 및 약 40 내지 70 인치의 물의 파열가능 심 강도를 갖는 것이 더욱 바람직하다. 본 발명의 내부 용기는 약 45 % 내지 65 %의 유효 부피 및 약 45 내지 65 인치의 물의 파열 가능 심 강도를 갖는 것이 더욱 바람직하다. 본 발명의 내부 용기는 약 60 %의 유효 부피 및 약 55 인치의 물의 파열가능 심 강도를 갖는 것이 가장 바람직하다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 파열가능 밀봉 강도는 ASTM 프로토콜 F1140-07(2007)에 의해 결정된다.

다음 예언 표에서 입증된 바와 같이, 파우치 부피 용량의 백분율은 또한 성능면에서 중요한 요소이다. 이 표에서 등급 1은 허용될 수 없고 2는 10 % 실패율이며, 3은 1 % 실패율이고 4는 <0.023 % 실패율이고, 5는 우수한 성능이다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, "파우치 부피 용량의 백분율"은 파우치가 충전되는 백분율 용량을 지칭한다. 예를 들어 배플이 있거나 또는 배플이 없는 파우치는 1 리터의 최대 용량을 갖지만 0.8 리터가 충전되는 경우, 파우치 부피 용량의 백분율이 80%일 수 있다. 이는 다음과 같이 계산된다:

(V_실제/V_용량) X 100 = 파우치 부피 용량의 백분율

표 1 - 사용 버스팅의 유효 지점(Effective Point of Use Bursting)

표 2 - 운송을 견디는 능력(ASTM D5276-98(2009))

표 3 - 전체 성능(제1의 2개의 챠트의 최저 값)

도 5를 다시 참조하면, 도 5a는 소정 부피의 세척 유체를 둘러싸는 제2 용기의 내부 구성 요소 및 하나의 세척 어플리케이터를 포함하는 세척 키트를 도시한다. 도 5b는 사용자가 내부의 세척 유체를 배출시키기 위하여 제2 용기(30)를 파열하도록 세척 키트에 힘을 인가하는 것을 도시한다. 힘의 적용은 손으로 세척 키트, 다른 대상물 또는 이의 조합을 접고, 타격하고, 비틀고 및 가압하는 것을 포함하는 다양한 방법에 의해 달성될 수 있다는 것을 이해해야 한다. 또한, 압력은 제1 용기(20)에 가해지고, 상기 힘은 제2 용기(30)에 전달되는 것으로 이해해야 한다. 사용자는 제2 용기(30)에 접근하여 압력을 가하기 위해 제1 용기(20)를 개방하지 않는다. 도 5c는 제1 용기(20) 내의 와이퍼(42)와 접촉할 수 있는 제2 용기(30)의 파열가능 심(32)에서 배출되는 세척 유체(37)를 도시한다. 도 5d는 사용자가 후방 밀봉부(23)를 박리하여 개구(22)를 노출시키는 것을 도시한다. 도 5e는 와이퍼(42)를 제거하는 사용자를 도시한다. 도 5d는 와이퍼로 표면을 와이핑하는 사용자를 도시한다.

전술한 설명을 읽음으로써 당업자에게는 소정의 수정 및 개선이 이루어질 것이다. 예로서, 배플은 용접 이외의 물리적 배리어, 예를 들어 플랩, 대상물, 거싯, 폴드 및 이들의 조합과 같은 구조물일 수 있다. 또한, 제2 파우치는 제2 파우치가 제1 파우치에 대해 이동 또는 변위할 수 없고 제1 파우치로부터 우발적으로 제거되지 않도록 하나 이상의 측면 상에서 제1 파우치에 고정될 수 있다. 이러한 모든 수정 및 개선은 간략함 및 가독성을 위해 본 명세서에서 삭제되었지만 다음의 청구항의 범위 내에서 있다는 것을 이해해야 한다. 달리 명시되지 않거나 상식에 반하지 않는 한, "대략" 및 다른 유사한 용어는 +/- 10%이다. 제시된 모든 범위는 명시된 종점뿐만 아니라 그 사이의 모든 증분을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 이러한 모든 수정 및 개선은 간결함 및 가독성을 위해 본 명세서에서 삭제되었지만 다음의 청구항의 범위 내에서 있는 것을 이해해야 한다.

Claims (62)

1. 세척 키트(10)로서,
   (a) 제1 액밀 용기(20),
   (b) 상기 제1 액밀 용기 내에 수용되는 제2 파우치인 제2 액밀 용기(30), 및
   (c) 상기 제2 액밀 용기(30) 내의 세척 액체(37)를 포함하고 상기 제2 액밀 용기는 제2 액밀 용기가 제2 액밀 용기로부터 제1 액밀 용기로 세척 액체를 배출시키기 위하여 제1 액밀 용기 내에 배열된 상태에서 제1 액밀 용기(20)에 사용자에 의해 힘을 인가함으로써 파열되도록 구성된 파열가능 밀봉부(32)를 포함하고,
   상기 제2 액밀 용기(30)는 하나 이상의 배플(35)을 포함하고, 상기 하나 이상의 배플(35)은 제2 액밀 용기를 가로질러 적어도 부분적으로 연장되며 하나 이상의 배플(35)이 제공되지 않는 경우보다 부피의 80% 이하의 세척 액체(37)로 충전된 후에 제2 액밀 용기(30)의 유효 부피를 제공하도록 하나 이상의 배플(35)에 의해 운송 중에 처리에 의해 야기되는 우발적인 파열을 감소시키고,
   (d) 상기 파열가능 밀봉부(32)는 제2 액밀 용기의 외부 에지의 적어도 일부를 따라 형성되고, 상기 파열가능 밀봉부는 ASTM 테스트 F1140-07(2007)에 따라 시험된 때에 물의 30 인치(30 inches of water)를 초과하여 사용자에 의해 제2 액밀 용기에 압력을 인가함으로써 파열되는 세척 키트.
2. 제1항에 있어서, 제1 액밀 용기 내에 하나 이상의 흡수성 어플리케이터를 추가로 포함하고, 상기 하나 이상의 흡수성 어플리케이터는 와이퍼, 몹, 스와브, 글로브, 미트, 패드 및 이의 조합으로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 세척 키트.
3. 제2항에 있어서, 상기 하나 이상의 흡수성 어플리케이터는 사용 시에 소량의 오염물을 생성하도록 와이퍼를 사용하는 클린 룸에서 사용하기 위한 와이퍼인 세척 키트.
4. 제2항에 있어서, 상기 하나 이상의 흡수성 어플리케이터는 스택을 형성하는 복수의 상기 와이퍼(42)를 포함하는 세척 키트.
5. 제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 하나 이상의 흡수성 어플리케이터는 편직물, 직포, 부직포, 발포체, 메시, 스폰지 및 이들의 조합으로 구성되는 그룹으로부터 선택된 재료로 제조되는 세척 키트.
6. 제1항에 있어서, 상기 제1 액밀 용기는 상기 제2 액밀 용기를 수용하기 위한 개구를 갖는 제1 파우치이고, 상기 제1 파우치의 개구는 제2 액밀 용기를 수용한 후에 상기 개구를 가로질러 밀봉가능한 세척 키트.
7. 삭제
8. 제6항에 있어서, 상기 제1 파우치(20)는 단일 층 플라스틱 필름, 다층 복합 플라스틱 필름 또는 열가소성 필름으로부터 형성되는 세척 키트.
9. 제8항에 있어서, 배플은 부분 용접선, 복수의 이격된 점선 용접선, 복수의 분산된 용접선, 단일 용접 도트, 복수의 이격된 용접 도트, 단일 널링된 심, 복수의 널링된 심, 복수의 교차 용접 선 및 이의 조합으로 구성된 그룹으로부터 선택되는 세척 키트.
10. 제9항에 있어서, 상기 배플은 열 밀봉, RF 용접, 초음파 용접, 접착제 또는 이의 조합에 의해 상기 파우치의 마주보는 면들을 서로 결합함으로써 형성되는 세척 키트.
11. 제10항에 있어서, 상기 배플은 사용 중에 불연속적이고, 제2 액밀 용기의 파열가능 밀봉부가 파열될 때 제2 액밀 용기(30) 내의 세척 액체의 흐름을 방해하지 않고, 상기 배플은 상기 제2 파우치를 가로질러 전체적으로 연장되며, 상기 배플은 제2 액밀 용기에 사용자에 의해 압력을 인가함으로써 파열되도록 구성되는 세척 키트.
12. 제1항에 있어서, 상기 배플(35)은 세척 액체로 충전된 후에 30 부피% 내지 80 부피%의 유효 부피를 제공하도록 구성되고(여기서, 유효 부피는 식: (V_{배플이 있음}/V_{배플이 없음})*100= 유효 부피로 계산된 것), 상기 파열가능 밀봉부의 강도는 ASTM 테스트 F1140-07(2007)에 따라 시험된 때에 물의 30 인치 내지 물의 80 인치인 세척 키트.
13. 제9항에 있어서, 제1 액밀 용기(20) 내의 하나 이상의 흡수성 어플리케이터는 제1 액밀 용기(20) 내에서 제2 액밀 용기(30)에 인접하여, 제2 액밀 용기로부터 세척 액체의 배출이 제1 액밀 용기(20) 내의 흡수성 어플리케이터(40)에 적용되는 세척 키트.
14. 제13항에 있어서, 상기 제2 파우치(30)는 시트 재료의 적어도 한 쌍의 마주보는 에지를 밀봉함으로써 형성된 파우치이고, 상기 제2 파우치의 밀봉된 에지의 적어도 일부는 파열가능 밀봉부인 세척 키트.
15. 제1항에 있어서,
    상기 배플(35)은 40 부피% 내지 70 부피%의 세척 액체로 충전된 후에 유효 부피를 제공하도록 구성되고, 상기 파열가능 밀봉부의 강도는 ASTM 테스트 F1140-07(2007)에 따라 시험된 때에 물의 40 인치 내지 물의 70 인치인 세척 키트.
16. 제1항에 있어서,
    상기 배플(35)은 30 부피% 내지 65 부피%의 세척 액체로 충전된 후에 유효 부피를 제공하도록 구성되고, 상기 파열가능 밀봉부의 강도는 ASTM 테스트 F1140-07(2007)에 따라 시험된 때에 물의 45 인치 내지 물의 65 인치인 세척 키트.
17. 제1항에 있어서,
    상기 배플(35)은 60 부피%의 세척 액체로 충전된 후에 유효 부피를 제공하도록 구성되고, 상기 파열가능 밀봉부의 강도는 ASTM 테스트 F1140-07(2007)에 따라 시험된 때에 물의 55 인치인 세척 키트.
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