KR102629158B1 - O-ring manufacturing device and O-ring manufacturing method using simple extrusion - Google Patents

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Abstract

오링 제조 장치가 개시된다. 개시되는 오링 제조 장치는, 제1 원재료와 제2 원재료를 각각 분리하여 투입하고 가압하기 위한, 원재료 투입 및 가압부, 상기 원재료 투입 및 가압부로부터의 제1 원재료 및 제2 원재료를 각각 분리하여 통과시키기 위한, 압출부 - , 상기 압출부의 내부에 배치되고, 상기 원재료 투입 및 가압부로부터의 제1 원재료 및 제2 원재료가 각각 분리되어 상기 압출부를 통과하도록 상기 압출부의 내부 공간을 구획하는 분리부, 및 상기 압출부를 통과한 제1 원재료 및 제2 원재료가 결합하여 오링줄을 형성하기 위한 결합부 - 상기 결합부의 단면의 직경은 상기 압출부의 단면의 직경보다 작음 - 를 포함한다.An O-ring manufacturing device is disclosed. The disclosed O-ring manufacturing device includes a raw material input and pressurization section for separately injecting and pressurizing the first raw material and the second raw material, and passing the first raw material and the second raw material from the raw material input and pressurizing section separately, respectively. An extrusion unit - a separation unit disposed inside the extrusion unit and dividing the internal space of the extrusion unit so that the first raw material and the second raw material from the raw material input and pressurization unit are separated and pass through the extrusion unit, And a coupling part for forming an O-ring string by combining the first raw material and the second raw material that have passed through the extrusion part - the cross-sectional diameter of the coupling part is smaller than the cross-sectional diameter of the extrusion part.

Description

간편한 압출을 통한 오링 제조 장치 및 오링 제조 방법{O-ring manufacturing device and O-ring manufacturing method using simple extrusion}O-ring manufacturing device and O-ring manufacturing method using simple extrusion}

본 발명은 오링(O-Ring) 제조 장치 및 오링 제조 방법에 관한 것이며, 구체적으로는, 각종 반도체 공정의 진행을 위한 반도체 제조 설비에서 진공 상태의 유지를 위해 사용되는 오링의 제조를 위한 장치 및 그러한 오링의 제조 방법에 관한 것이며, 더 구체적으로는, 반도체 제조 설비에서 오링의 조립 불량에 의한 비정기 예방정비(PM)를 줄일 수 있고, 반도체 제조 설비의 조립시 발생하는 오링의 뒤틀림 또는 치핑(chipping) 등의 원인으로 인한 조립 불량 문제를 해결할 수 있는 간편한 압출 방식을 이용하는 반도체 제조 설비용 오링 제조 장치 및 오링 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an O-ring manufacturing device and an O-ring manufacturing method, and specifically, to an O-ring manufacturing device used to maintain a vacuum state in a semiconductor manufacturing facility for various semiconductor processes, and such. It relates to a manufacturing method of O-rings, and more specifically, it can reduce irregular preventive maintenance (PM) due to poor assembly of O-rings in semiconductor manufacturing facilities and prevent distortion or chipping of O-rings that occurs during assembly of semiconductor manufacturing facilities. It relates to an O-ring manufacturing device and O-ring manufacturing method for semiconductor manufacturing facilities using a simple extrusion method that can solve assembly defect problems due to causes such as the like.

반도체 제조 설비는 대부분의 공정들이 고온 및 고압 환경하에서 진행되므로 설비 내부의 기밀 유지가 매우 중요하다. 반도체 제조 설비 내부의 기밀 유지를 위해 다양한 재료와 크기의 오링이 결합되어 사용되고 있다.Since most processes in semiconductor manufacturing facilities are carried out in a high temperature and high pressure environment, maintaining confidentiality inside the facility is very important. To maintain confidentiality inside semiconductor manufacturing facilities, O-rings of various materials and sizes are used in combination.

종래의 오링 제조 방법에 관한 예들은, 대한민국 공개특허 제10-2014-0148012호(2014년 12월 31일 공개), 및 대한민국 등록특허 제10-0906367호(2009년 06월 30일 등록) 등에 개시된 바 있다.Examples of conventional O-ring manufacturing methods are disclosed in Korean Patent Publication No. 10-2014-0148012 (published on December 31, 2014) and Korean Patent Registration No. 10-0906367 (registered on June 30, 2009). There is a bar.

한편, 반도체 제조 설비 내부의 기밀 유지를 위해 오링을 결합함에 있어서 오링의 뒤틀림이나 치핑으로 인한 조립 불량이 빈번하게 발생하고, 그로 인한 리크(leak)가 발생하여 수율의 저하나 설비 내부의 오염 등으로 이어지는 결과가 초래되기도 한다. 오링을 설비에 조립함에 있어서 육안으로 쉽게 판단하여 조립할 수 있도록 하기 위해 2 컬러 오링과 그것의 성형 방법이 본 발명의 출원인에 의해 출원되어 등록된 바 있다(대한민국 등록특허 제10-1885993호(2018년 07월 31일 등록). 상기 등록특허 제10-1885993호에 개시된 반도체 제조 설비용 2 컬러 오링 및 그것의 성형 방법은, 서로 다른 컬러의 제1 재료(카본 블랙 배합 재료)와 제2 재료(화이트 실리카 배합 재료)를 준비하고, 제1 금형, 제2 금형, 및 중판을 준비하여 제1 금형의 제1 홈에 제1 재료를 투입하고, 제2 금형의 제2 홈에 제2 재료를 투입하고, 중판을 낀 상태로 제1 금형과 제2 금형을 서로 맞대어 가압하며, 중판을 제거한 후 다시 서로 맞대어 오링을 성형하는 단계를 포함한다. 이러한 종래의 오링 제조 방식은 압출 제조 방식에 비해 기포가 많이 발생할 뿐만 아니라, 각각에 홀이 형성된 두 개의 금형과 중판을 이용하여 2 컬러 오링을 성형하는 공정이 비교적 여러 단계를 거쳐야 함으로 인해 성형 과정에서 오링 자체의 불량이 많이 발생하는 단점이 있다. 더 나아가, 종래의 2 컬러 오링 성형 방법은, 오링의 단면에서 두 가지 배합 재료 각각이 반원 형상을 이루고 이들이 합쳐져서 원 형상을 이루는 단면 형상을 갖는 2 컬러 오링의 성형 또는 제조에만 국한되어 있으므로, 다양한 단면 형상을 갖는 오링을 제조하기에는 단점이 있다. 따라서, 이러한 단점들을 극복할 수 있는 해결 방안이 당해 기술 분야에서 요구되고 있는 실정이다.Meanwhile, when combining O-rings to maintain airtightness inside semiconductor manufacturing facilities, assembly defects due to distortion or chipping of the O-ring frequently occur, and leaks occur as a result, resulting in lower yields or contamination inside the facility. There may be subsequent consequences. In order to enable O-rings to be easily judged and assembled with the naked eye when assembling them into equipment, a two-color O-ring and its molding method have been applied for and registered by the applicant of the present invention (Korean Patent No. 10-1885993 (2018) Registered on July 31). The two-color O-ring for semiconductor manufacturing equipment and its molding method disclosed in Patent No. 10-1885993 include a first material (carbon black compounding material) and a second material (white) of different colors. prepare a silica mixing material), prepare a first mold, a second mold, and a middle plate, put the first material into the first groove of the first mold, and put the second material into the second groove of the second mold; , pressing the first mold and the second mold against each other with the middle plate on, removing the middle plate, and then putting them back together again to form the O-ring. This conventional O-ring manufacturing method produces more air bubbles than the extrusion manufacturing method. In addition, since the process of forming a two-color O-ring using two molds with holes formed in each and a middle plate requires relatively several steps, there is a disadvantage in that many defects in the O-ring itself occur during the molding process. Furthermore, The conventional two-color O-ring forming method is limited to forming or manufacturing a two-color O-ring with a cross-sectional shape in which each of the two mixed materials forms a semicircular shape in the cross-section of the O-ring and they combine to form a circular shape, so it has various cross-sectional shapes. There are disadvantages to manufacturing O-rings, and therefore, a solution to overcome these disadvantages is required in the technical field.

대한민국 공개특허 제10-2014-0148012호(2014년 12월 31일 공개)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2014-0148012 (published on December 31, 2014) 대한민국 등록특허 제10-0906367호(2009년 06월 30일 등록)Republic of Korea Patent No. 10-0906367 (registered on June 30, 2009) 대한민국 등록특허 제10-1885993호(2018년 07월 31일 등록)Republic of Korea Patent No. 10-1885993 (registered on July 31, 2018)

본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 종래의 2 컬러 오링 성형 방법의 공정의 복잡함에서 기인하는 불량 문제, 그리고 성형 과정에서 제거되지 않는 기포로 인한 오링 자체의 불량 문제를 해결할 수 있는 개선된 오링 제조 장치 및 오링 제조 방법을 제공하는 것이다.The problem to be solved by the present invention is to provide an improved O-ring manufacturing device that can solve the defect problem resulting from the complexity of the process of the conventional two-color O-ring molding method and the defect problem of the O-ring itself due to air bubbles that are not removed during the molding process. And to provide an O-ring manufacturing method.

본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는, 종래의 2 컬러 오링 성형 방법이 갖는 한계점, 즉 제조되는 최종 결과물인 오링에 있어서 두 가지 배합 재료 각각이 반원 형상을 이루고 이들이 합쳐져셔 원 형상을 이루는 단면 형상을 갖는 2 컬러 오링의 성형에만 국한되어 있으므로, 이러한 한계점을 극복하여 용도에 따라 다양한 단면 형상을 갖는 오링을 제조할 수 있는 개선된 오링 제조 장치 및 오링 제조 방법을 제공하는 것이다.Another problem that the present invention aims to solve is the limitation of the conventional two-color O-ring molding method, that is, in the final result of the O-ring, each of the two compound materials forms a semicircular shape and the cross-sectional shape of the two combined materials forms a circular shape. Since it is limited to the molding of two-color O-rings, an improved O-ring manufacturing device and O-ring manufacturing method that can overcome these limitations and manufacture O-rings with various cross-sectional shapes depending on the purpose are provided.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 양상에 따른 오링 제조 장치는, 제1 원재료와 제2 원재료를 각각 분리하여 투입하고 가압하기 위한, 원재료 투입 및 가압부(110)와, 상기 원재료 투입 및 가압부로부터의 제1 원재료 및 제2 원재료를 각각 분리하여 통과시키기 위한, 압출부(160)와, 상기 압출부의 내부에 배치되고, 상기 원재료 투입 및 가압부로부터의 제1 원재료 및 제2 원재료가 각각 분리되어 상기 압출부를 통과하도록 상기 압출부의 내부 공간을 구획하는 분리부(190), 그리고 상기 압출부를 통과한 제1 원재료 및 제2 원재료가 결합하여 오링줄을 형성하기 위한 결합부(140) - 상기 결합부의 단면의 직경은 상기 압출부의 단면의 직경보다 작음 - 를 포함한다.The O-ring manufacturing device according to one aspect of the present invention for solving the above problem includes a raw material input and pressurization unit 110 for separately inputting and pressurizing the first raw material and the second raw material, and inputting and pressurizing the raw material. An extrusion unit 160 for separating and passing the first raw material and the second raw material from the unit, and disposed inside the extrusion unit, wherein the first raw material and the second raw material from the raw material input and pressurizing unit are respectively A separator 190 that divides the internal space of the extrusion unit so that it is separated and passes through the extrusion unit, and a coupling unit 140 for forming an O-ring string by combining the first raw material and the second raw material that passed the extrusion unit - the above The cross-sectional diameter of the coupling portion is smaller than the cross-sectional diameter of the extruded portion.

일 실시예에 따라, 상기 제1 원재료 및 상기 제2 원재료는 불소고무 원료를 포함하고, 상기 제2 원재료는 상기 제1 원재료와는 적어도 하나의 다른 성분을 갖는 재료일 수 있다.According to one embodiment, the first raw material and the second raw material include a fluoroelastomer raw material, and the second raw material may be a material having at least one different component from the first raw material.

일 실시예에 따라, 상기 압출부(160)는, 단면의 직경이 상대적으로 크게 형성된 제1 파트와 상기 제1 파트(120)에 비해 단면의 직경이 상대적으로 작게 형성되고 상기 결합부의 단면의 직경보다 상대적으로 크게 형성되는 제2 파트(130)를 포함한다.According to one embodiment, the extruded portion 160 is formed with a first part having a relatively large cross-sectional diameter and a cross-sectional diameter relatively small compared to the first part 120, and the cross-sectional diameter of the coupling portion is formed. It includes a second part 130 that is formed to be relatively larger.

일 실시예에 따라, 상기 분리부(190)는, 상기 압출부의 내부에서 상기 제1 원재료가 통과하는 경로의 단면적과 상기 제2 원재료가 통과하는 경로의 단면적이 동일하도록 상기 압출부의 중앙에 위치하고, 상기 결합부를 통과한 오링줄의 단면은, 상기 제1 원재료가 차지하는 반원 형상과 상기 제2 원재료가 차지하는 반원 형상이 합쳐진 원형 형상으로 형성될 수 있다.According to one embodiment, the separation unit 190 is located in the center of the extrusion unit so that the cross-sectional area of the path through which the first raw material passes is equal to the cross-sectional area of the path through which the second raw material passes inside the extrusion unit, The cross section of the O-ring string passing through the coupling portion may be formed into a circular shape that is a combination of the semicircular shape occupied by the first raw material and the semicircular shape occupied by the second raw material.

일 실시예에 따라, 상기 분리부(190)는, 상기 압출부의 내부에서 상기 제1 원재료가 통과하는 경로의 단면적이 상기 제2 원재료가 통과하는 경로의 단면적보다 더 크도록 하기 위해 상기 압출부의 내부에서 상기 압출부의 단면의 지름보다 작은 폭을 갖도록 형성되고, 상기 결합부를 통과한 오링줄의 단면은, 상기 제1 원재료가 차지하는 제1 활꼴(circular segment)과 상기 제2 원재료가 차지하는 제2 활꼴 - 상기 제2 활꼴은 상기 제1 활꼴보다 작은 면적을 가짐 - 이 합쳐진 원형 형상으로 형성될 수 있다.According to one embodiment, the separation unit 190 is located inside the extrusion unit so that the cross-sectional area of the path through which the first raw material passes inside the extrusion unit is larger than the cross-sectional area of the path through which the second raw material passes. It is formed to have a width smaller than the diameter of the cross-section of the extrusion part, and the cross-section of the O-ring string passing through the coupling part has a first circular segment occupied by the first raw material and a second circular segment occupied by the second raw material - The second arc has a smaller area than the first arc - and may be formed into a combined circular shape.

일 실시예에 따라, 상기 분리부(190)는, 상기 압출부의 내부에서 상기 제1 원재료가 통과하는 경로의 단면적이 상기 제2 원재료가 통과하는 경로의 단면적보다 더 크도록 하기 위해 예각(acute angle)을 갖도록 꺾여져 형성되고, 상기 결합부를 통과한 오링줄의 단면은, 상기 제1 원재료가 차지하는 제1 부채꼴(circular sector)과 상기 제2 원재료가 차지하는 제2 부채꼴 - 상기 제2 부채꼴은 상기 제1 부채꼴보다 작은 면적을 가짐 - 이 합쳐진 원형 형상으로 형성될 수 있다.According to one embodiment, the separation unit 190 has an acute angle so that the cross-sectional area of the path through which the first raw material passes inside the extrusion unit is larger than the cross-sectional area of the path through which the second raw material passes. ) is formed by being bent to have, and the cross section of the O-ring string passing through the coupling portion is a first sector (circular sector) occupied by the first raw material and a second sector occupied by the second raw material - the second sector is the circular sector occupied by the second raw material. 1 It has an area smaller than a fan shape - it can be formed into a combined circular shape.

일 실시예에 따라, 상기 압출부의 내부에서 상기 압출부의 단면을 세 개 또는 네 개 이상의 단면을 갖도록 구획하도록 형성되고, 상기 결합부를 통과한 오링줄의 단면은, 상기 제1 원재료가 차지하는 부채꼴, 상기 제2 원재료가 차지하는 부채꼴, 그리고 상기 제1 원재료 및 상기 제2 원재료 이외의 다른 재료가 차지하는 부채꼴이 합쳐진 원형 형상으로 형성될 수 있다.According to one embodiment, the cross section of the extrusion portion is formed to be divided into three or four cross sections inside the extrusion portion, and the cross section of the O-ring string passing through the coupling portion is a fan shape occupied by the first raw material, It may be formed into a circular shape by combining a fan shape occupied by the second raw material and a fan shape occupied by materials other than the first raw material and the second raw material.

일 실시예에 따라, 상기 오링 제조 장치는, 상기 결합부(140)의 후단에서 연장되고, 가류 공정을 위해 상기 결합부를 통과한 오링줄에 대해 외부에서 가열하기 위한 가열부(250)를 더 포함할 수 있다.According to one embodiment, the O-ring manufacturing device extends from the rear end of the coupling portion 140 and further includes a heating unit 250 for externally heating the O-ring string that has passed through the coupling portion for a vulcanization process. can do.

일 실시예에 따라, 상기 반도체 제조 설비용 오링 제조 장치는, 상기 결합부(140)의 후단에 위치하고 직사각형, 오각형 및 육각형 중 어느 하나의 단면 형상을 갖는 노즐부(150)를 더 포함할 수 있다.According to one embodiment, the O-ring manufacturing device for a semiconductor manufacturing facility is located at the rear end of the coupling portion 140 and may further include a nozzle portion 150 having any one of a rectangular, pentagonal, and hexagonal cross-sectional shape. .

본 발명의 일 양상에 따른 오링 제조 방법은, 제1 원재료와 제2 원재료 - 상기 제2 원재료는 상기 제1 원재료와는 적어도 하나의 다른 성분을 갖는 조성물임 - 를 각각 독립적으로 준비하는 단계와, 상기 제1 원재료 및 상기 제2 원재료를 각각 원재료 투입 및 가압부에 분리하여 투입하고 가압하는 단계와, 상기 원재료 투입 및 가압부로부터의 제1 원재료 및 제2 원재료를 각각 분리시켜 압출부를 통과시키는 단계, 그리고 상기 압출부를 통과한 제1 원재료 및 제2 원재료를 결합하여 오링줄을 형성하기 위해 상기 압출부의 단면 직경보다 작은 단면 직경을 갖는 결합부를 통과시키는 단계를 포함한다.The O-ring manufacturing method according to one aspect of the present invention includes independently preparing a first raw material and a second raw material, wherein the second raw material is a composition having at least one different component from the first raw material, Separating the first raw material and the second raw material into the raw material input and pressurizing unit and pressurizing them; separating the first raw material and the second raw material from the raw material input and pressurizing unit and passing them through the extrusion unit; , and passing the first raw material and the second raw material that have passed through the extrusion unit through a coupling unit having a cross-sectional diameter smaller than the cross-sectional diameter of the extrusion unit to form an O-ring string.

일 실시예에 따라, 상기 오링 제조 방법은, 상기 결합부를 통과하여 형성된 오링줄에 대하여 가류 공정을 위해 외부에서 열을 가하는 가열 단계와, 상기 오링줄을 절단하여 접합하는 단계를 더 포함한다.According to one embodiment, the O-ring manufacturing method further includes a heating step of externally applying heat for a vulcanization process to the O-ring string formed through the coupling portion, and the step of cutting and joining the O-ring string.

본 발명은 개선된 오링 제조 장치 및 오링 제조 방법을 제공함으로써, 종래의 2 컬러 오링 성형 방법의 공정의 복잡함에서 기인하는 불량 문제, 그리고 성형 과정에서 제거되지 않는 기포로 인한 오링 자체의 불량을 줄일 수 있다. 또한, 본 발명은, 종래의 2 컬러 오링 성형 방법이 갖는 한계점, 즉 제조되는 최종 결과물인 오링에 있어서 두 가지 배합 재료 각각이 반원 형상을 이루고 이들이 합쳐져서 원 형상을 이루는 단면 형상을 갖는 2 컬러 오링의 성형에만 국한되어 있으므로, 이러한 한계점을 극복하여 용도에 따라 다양한 단면 형상을 갖는 오링을 제조할 수 있다.The present invention provides an improved O-ring manufacturing device and O-ring manufacturing method, thereby reducing defect problems resulting from the complexity of the process of the conventional two-color O-ring molding method and defects of the O-ring itself due to air bubbles that are not removed during the molding process. there is. In addition, the present invention addresses the limitations of the conventional two-color O-ring molding method, that is, in the final result of the O-ring, each of the two compound materials forms a semicircular shape and they are combined to form a circular cross-sectional shape. Since it is limited to molding, it is possible to overcome these limitations and manufacture O-rings with various cross-sectional shapes depending on the application.

도 1a는 본 발명의 일 실시예에 따른 오링 제조 장치(100)의 특징을 설명하기 위한 도면이고,
도 1b는 도 1a의 오링 제조 장치(100)에서 결합부(140)의 일단에 노즐부(150)가 더 추가된 예를 나타낸 도면이고,
도 2는 도 1a의 오링 제조 장치(100)에서의 단면 특징을 설명하기 위한 도면이고,
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 오링 제조 장치(200)의 특징을 설명하기 위한 도면이고,
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 오링 제조 장치에서 압출부와 분리부의 단면들과 이에 대응되는 오링줄의 단면들의 특징을 예시한 도면이고,
도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 오링 제조 방법을 설명하기 위한 도면들이다.Figure 1A is a diagram for explaining the characteristics of the O-ring manufacturing device 100 according to an embodiment of the present invention.
Figure 1b is a diagram showing an example in which a nozzle part 150 is further added to one end of the coupling part 140 in the O-ring manufacturing apparatus 100 of Figure 1a.
FIG. 2 is a diagram for explaining cross-sectional features of the O-ring manufacturing apparatus 100 of FIG. 1A,
Figure 3 is a diagram for explaining the characteristics of the O-ring manufacturing device 200 according to another embodiment of the present invention.
Figure 4 is a diagram illustrating the characteristics of cross-sections of the extrusion portion and the separation portion and the cross-sections of the corresponding O-ring string in the O-ring manufacturing device according to an embodiment of the present invention;
5 and 6 are diagrams for explaining an O-ring manufacturing method according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 두 가지 이상의 원재료를 사용하는 오링 제조 장치는 원재료들(고무 원재료들)을 가압하는 압출 챔버(압출부)의 내부를 두 개로 분리 구획하여 동시에 가압하는 방식으로 진행한다. 압출부에서 두 개의 구간으로 분리 구획되어 압출된 고무 원재료들은 결합부에서 가압되어 하나의 오링줄(생성되는 압출물을 의미하는 용어로 사용됨)로 압출 성형된다. 압출된 오링줄은 그 상태에서 오링 성형 단계를 거쳐 완제품으로 제조될 수 있고, 가열부를 거친 후 오링 형태로 제작될 수도 있다. 또는 중간 제품인 오링줄 형태로만 제작될 수도 있다.The O-ring manufacturing device using two or more raw materials of the present invention divides the interior of the extrusion chamber (extrusion section) into two parts and pressurizes the raw materials (rubber raw materials) simultaneously. The rubber raw materials extruded and divided into two sections in the extrusion section are pressurized in the joint section and extruded into one O-ring string (used as a term to refer to the resulting extrudate). The extruded O-ring string can be manufactured into a finished product through an O-ring molding step, or it can be manufactured into an O-ring shape after going through a heating unit. Alternatively, it may only be produced in the form of an intermediate product, an O-ring string.

이하에서는, 첨부된 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 설명한다. 첨부된 도면들 및 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 기술을 가진 자로 하여금 본 발명에 관한 이해를 돕기 위한 의도로 간략화되고 예시된 것으로서, 도면들 및 실시예들로만 발명의 범위가 한정되는 것이 아님에 유의하여야 할 것이다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the attached drawings. The attached drawings and examples are simplified and illustrated with the intention of helping those skilled in the art understand the present invention, and the scope of the invention is not limited to the drawings and examples. You should be careful.

도 1a는 본 발명의 일 실시예에 따른 오링 제조 장치(100)의 특징을 설명하기 위한 도면이고, 도 2는 도 1a의 오링 제조 장치(100)에서의 단면 특징을 설명하기 위한 도면이고, 도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 오링 제조 장치(200)의 특징을 설명하기 위한 도면이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 오링 제조 장치에서 압출부와 분리부의 단면들과 이에 대응되는 오링줄의 단면들의 특징을 예시한 도면이고, 도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 오링 제조 방법을 설명하기 위한 도면들이다.FIG. 1A is a diagram for explaining the characteristics of the O-ring manufacturing apparatus 100 according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a diagram for explaining the cross-sectional characteristics of the O-ring manufacturing apparatus 100 of FIG. 1A. FIG. 3 is a diagram for explaining the characteristics of the O-ring manufacturing device 200 according to another embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a cross-section of the extruded portion and the separation portion and their corresponding cross-sections in the O-ring manufacturing device 200 according to an embodiment of the present invention. It is a drawing illustrating the characteristics of the cross-sections of an O-ring string, and Figures 5 and 6 are drawings for explaining a method of manufacturing an O-ring according to an embodiment of the present invention.

먼저, 도 1a를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 오링 제조 장치(100)는, 원재료 투입 및 가압부(110), 압출부(120, 130; 이하 총괄하여 160으로도 표시됨), 분리부(190), 및 결합부(140)를 포함한다.First, referring to FIG. 1A, the O-ring manufacturing apparatus 100 according to an embodiment of the present invention includes a raw material input and pressurization unit 110, extrusion units 120 and 130 (hereinafter collectively referred to as 160), and separation. It includes a portion 190 and a coupling portion 140.

원재료 투입 및 가압부(110)는 제1 원재료(M1)와 제2 원재료(M2)를 각각 분리하여 투입하고 각각에 대해 가압하기 위한 구성요소이다. 제1 원재료(M1)와 제2 원재료(M2)는 반도체 제조 설비용 오링을 성형하기 위한 재료들이므로 기본적으로 고무불소 원료를 포함한다. 제1 원재료(M1)와 제2 원재료(M2)에는 컬러 구별을 위해 상이한 안료가 혼합될 수 있다. 제1 원재료(M1)와 제2 원재료(M2)의 구체적인 예들에 관하여는 이후에 예시되어 있다. 또한, 투입되는 제1 원재료(M1) 및 제2 원재료(M2)에 대한 압출부(120, 130; 160) 측으로 가해지는 압력들(P1, P2)은 동일할 수도 있고, 상이할 수도 있다. 예를 들어, 도 1에 도시된 바와 같이 분리부(190)가 압출부(120, 130; 160)의 중앙에서 길이 방향으로 기다랗게 형성되어 있는 경우, 압력들(P1, P2)이 동일한 경우, 최종적으로 생성되는 오링줄의 단면에서 제1 원재료(M1)가 차지하는 영역과 제2 원재료(M1)가 차지하는 영역이 모두 반원 형상을 이루도록 형성될 수 있다. 이와는 다르게 압력들(P1, P2)을 다르게 하는 경우(예컨대, P1이 P2에 비해 약간 더 큰 경우), 오링줄의 단면에서 제1 원재료(M1)가 차지하는 영역이 제2 원재료(M2)가 차지하는 영역에 비해 더 넓게 형성될 수도 있다. 이 경우, 예컨대, 도 4의 (a)와 같은 형상으로 형성될 수 있다.The raw material input and pressurization unit 110 is a component that separates the first raw material (M1) and the second raw material (M2) and pressurizes them. The first raw material (M1) and the second raw material (M2) are materials for forming O-rings for semiconductor manufacturing equipment, so they basically include rubber fluorine raw materials. Different pigments may be mixed in the first raw material (M1) and the second raw material (M2) to distinguish colors. Specific examples of the first raw material (M1) and the second raw material (M2) are illustrated later. In addition, the pressures (P1, P2) applied to the extrusion parts (120, 130; 160) for the injected first raw material (M1) and the second raw material (M2) may be the same or different. For example, as shown in FIG. 1, when the separation portion 190 is formed elongated in the longitudinal direction at the center of the extrusion portions 120, 130; 160, and the pressures P1 and P2 are the same, In the cross section of the finally created O-ring string, both the area occupied by the first raw material (M1) and the area occupied by the second raw material (M1) may be formed to form a semicircular shape. In contrast, when the pressures (P1, P2) are different (for example, when P1 is slightly larger than P2), the area occupied by the first raw material (M1) in the cross section of the O-ring string is occupied by the second raw material (M2). It may be formed wider than the area. In this case, for example, it may be formed in a shape as shown in Figure 4 (a).

압출부(120, 130; 160)는 원재료 투입 및 가압부로부터의 제1 원재료(M1) 및 제2 원재료(M2)를 각각 분리하여 통과시키기 위한 구성요소이며, 압출부(120, 130; 160)의 중공 형상에 의해 오링줄의 기본적인 단면이 결정된다. 예를 들어, 도시된 바와 같이 압출부(120, 130; 160)가 제1 원재료(M1) 및 제2 원재료(M2) 각각의 통과를 위한 중공을 갖는 실린더 타입으로 형성된 경우, 결합부를 통과하여 최종적으로 성형되는 오링줄의 단면은 원형이 된다. 또 다르게는, 최종적으로 성형되는 오링줄의 단면이 사각형, 오각형, 육각형, 팔각형 또는 그 밖의 다각형이 되도록 압출부(120, 130; 160)의 중공의 단면이 사각형, 오각형, 육각형, 팔각형 또는 그 밖의 다각형의 형상을 갖도록 형성될 수도 있다. 이후의 설명에서는 편의상, 중공의 단면이 원형인 경우, 즉, 압출부(120, 130; 160)가 실린더 타입으로 형성된 것에 대하여만 설명한다.The extrusion units (120, 130; 160) are components for separating and passing the first raw material (M1) and the second raw material (M2) from the raw material input and pressurization unit, respectively, and the extrusion units (120, 130; 160) The basic cross section of the O-ring string is determined by the hollow shape of . For example, as shown, if the extrusion parts (120, 130; 160) are formed as a cylinder type with a hollow for each of the first raw material (M1) and the second raw material (M2) to pass through, they pass through the coupling portion and finally The cross section of the O-ring string formed is circular. Alternatively, the hollow cross-section of the extruded portions (120, 130; 160) may be made square, pentagonal, hexagonal, octagonal, or other polygonal so that the cross-section of the finally formed O-ring string is square, pentagonal, hexagonal, octagonal, or other polygonal. It may be formed to have a polygonal shape. For convenience, the following description will only describe the case where the hollow cross-section is circular, that is, the extruded portions 120, 130, and 160 are formed in a cylinder type.

압출부(120, 130; 160)는, 단면의 직경이 상대적으로 크게 형성된 제1 파트(120)와, 제1 파트(120)에 비해 단면의 직경이 상대적으로 작게 형성되고 결합부(140)의 단면의 직경보다 상대적으로 크게 형성되는 제2 파트(130)를 포함한다. 즉, 압출부(120, 130; 160)는 원재료들(M1, M2)의 진행에 따라(도면 상에서 좌측에서 우측 방향으로), 제1 원재료(M1)와 제2 원재료(M2)가 통과하는 중공의 직경이 작아지도록 함으로써, 압출부(120, 130; 160)에 의해 점차적으로 강한 압력을 받도록 하여 결합부(140)에 의해 원재료들(M1, M2)의 결합이 용이하도록 할 뿐만 아니라, 원재료들(M1, M2) 내의 기포를 효율적으로 줄여줌으로써, 최종적으로 생성되는 오링줄의 품질을 높여주는 역할을 한다. 압출부(120, 130; 160)에서 제1 파트(120)의 말단부(122) 즉 제2 파트(130)와 인접한 부분(122)은 단면의 직경이 점진적으로 감소하는 부분으로서, 원재료들(M1, M2)이 내부에서 받는 압력이 점진적으로 증가하도록 한다. 제2 파트(130)의 말단부(132)에도 이와 유사하게 단면의 직경이 점진적으로 감소하도록 형성되어 있어 후단의 결합부(140)에 의한 원재료들(M1, M2)의 결합이 원활하도록 한다. 참조부호 121은 제1 파트(120)에서 단면의 직경이 일정한 구간을 나타내고, 참조부호 131은 제2 파트(130)에서 단면의 직경이 일정한 구간을 나타낸다.The extruded parts 120, 130; 160 include a first part 120 having a relatively large cross-sectional diameter, and a coupling portion 140 having a relatively small cross-sectional diameter compared to the first part 120. It includes a second part 130 that is relatively larger than the cross-sectional diameter. That is, the extrusion parts 120, 130; 160 are hollow through which the first raw material M1 and the second raw material M2 pass, as the raw materials M1 and M2 progress (from left to right in the drawing). By making the diameter of By efficiently reducing air bubbles within (M1, M2), it serves to improve the quality of the final O-ring string produced. In the extruded portions 120, 130; 160, the distal end 122 of the first part 120, that is, the portion 122 adjacent to the second part 130, is a portion whose cross-sectional diameter gradually decreases, and the raw materials (M1) , M2) causes the internal pressure to gradually increase. Similarly, the distal end 132 of the second part 130 is formed so that the diameter of the cross-section gradually decreases, so that the raw materials M1 and M2 can be smoothly joined by the coupling portion 140 at the rear end. Reference numeral 121 represents a section in the first part 120 where the cross-sectional diameter is constant, and reference numeral 131 represents a section in the second part 130 where the cross-sectional diameter is constant.

분리부(190)는 압출부(120, 130; 160)의 내부에서 길이 방향을 따라 배치될 수 있도록 기다랗게 형성된다. 분리부(190)는 원재료 투입 및 가압부(110)로부터의 제1 원재료(M1) 및 제2 원재료(M2)가 각각 분리되어 압출부(120, 130; 160)를 통과할 수 있도록 하기 위해 압출부(120, 130; 160)의 내부 공간을 구획한다. 결과적으로, 제1 원재료(M1)와 제2 원재료(M2)는 분리부(190)가 존재하는 구간에서는 서로 분리된 채로 압출되다가 분리부(190)가 끝나는 지점 이후(결합부(140) 이후)에는 서로 결합되어 압출물인 오링줄을 형성하게 된다. 분리부(190)의 다양한 예들은 도 4에 도시되어 있으므로 이후에 도 4를 참조하여 설명된다.The separation portion 190 is formed to be long so that it can be arranged along the longitudinal direction within the extrusion portions 120, 130; 160. The separation unit 190 is extruded so that the first raw material (M1) and the second raw material (M2) from the raw material input and pressing unit 110 can be separated and pass through the extrusion units (120, 130; 160). The internal space of the parts 120, 130; 160 is partitioned. As a result, the first raw material (M1) and the second raw material (M2) are extruded while being separated from each other in the section where the separation part 190 exists, and then after the point where the separation part 190 ends (after the coupling part 140). are combined with each other to form an extruded O-ring string. Various examples of the separator 190 are shown in FIG. 4 and will be described later with reference to FIG. 4 .

결합부(140)는 압출부(120, 130; 160)를 통과한 제1 원재료(M1) 및 제2 원재료(M2)가 결합하여 압출물인 오링줄을 형성하기 위한 구성요소이다. 결합부(140)의 단면의 직경은 압출부(120, 130; 160)의 단면의 최소 직경, 즉 압출부(120, 130; 160)의 전체 구간에서 결합부(140)의 직전 단에 위치한 압출부의 단면(이 실시예에서는 압출부가 2단으로 구성되어 있으며 131로 표시된 부분의 단면)의 직경보다 작게 형성된다.
도 1b는 도 1a의 오링 제조 장치(100)에서 결합부(140)의 일단에 노즐부(150)가 더 추가된 예를 나타낸 도면이다. 도 1b에 도시된 바와 같이, 노즐부(150)는 결합부(140)의 후단에 위치하여 압출물(오링줄)의 단면 형상이 직사각형, 오각형 및 육각형 중 어느 하나의 형상을 갖도록 하기 위해, 내부 단면이 직사각형, 오각형, 육각형, 팔각형 또는 그 밖의 다각형의 단면 형상을 갖도록 형성될 수 있다. 예를 들어, 노즐부(150)의 단면 형상은, 사다리꼴형, 도브테일(dove tail) 형상 등의 다양한 단면을 갖도록 형성될 수도 있다.The coupling portion 140 is a component for forming an extruded O-ring string by combining the first raw material (M1) and the second raw material (M2) that have passed through the extrusion portions (120, 130; 160). The cross-sectional diameter of the coupling portion 140 is the minimum diameter of the cross-section of the extruded portions 120, 130; 160, that is, the extrusion located at the immediately preceding end of the coupling portion 140 in the entire section of the extruded portions 120, 130; 160. It is formed to be smaller than the diameter of the cross-section of the part (in this embodiment, the extruded part is composed of two stages and the cross-section of the part indicated by 131).
FIG. 1B is a diagram illustrating an example in which a nozzle unit 150 is further added to one end of the coupling unit 140 in the O-ring manufacturing apparatus 100 of FIG. 1A. As shown in FIG. 1B, the nozzle unit 150 is located at the rear end of the coupling unit 140 so that the cross-sectional shape of the extrudate (O-ring string) has one of a rectangular, pentagonal, and hexagonal shape. The cross-section may be formed to have a rectangular, pentagonal, hexagonal, octagonal, or other polygonal cross-sectional shape. For example, the cross-sectional shape of the nozzle unit 150 may be formed to have various cross-sections, such as a trapezoidal shape or a dove tail shape.

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노즐부(150)는 결합부(140)와 일체로 연장되게 형성될 수도 있고, 별도로 제작되어 결합부(140)의 일단에 슬라이딩 방식 또는 나사 결합 방식으로 결합될 수도 있으나, 이러한 연결 방식으로 한정되는 것은 아니다.The nozzle portion 150 may be formed to extend integrally with the coupling portion 140, or may be manufactured separately and coupled to one end of the coupling portion 140 by a sliding method or a screw coupling method, but is limited to this connection method. That is not the case.

다음으로, 도 2를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 오링 제조 장치(100)에서의 단면 특징을 설명한다. 도 2에는 각각 I-I, II-II, III-III, 및 IV-IV를 따라 절취한 단면 특징을 나타내었고, 편의상 원재료 투입 및 가압부(110)를 생략하여 나타내었다.Next, cross-sectional features of the O-ring manufacturing apparatus 100 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 2. Figure 2 shows cross-sectional characteristics cut along lines I-I, II-II, III-III, and IV-IV, respectively, and for convenience, the input of raw materials and the pressurizing portion 110 are omitted.

도 2를 참조하면, I-I 단면에서의 직경, II-II 단면에서의 직경, III-III 단면에서의 직경은 이 순서대로 줄어든다. 앞서 설명한 바와 같이, 원재료들(M1, M2)에서 포함되어 있는 기포들을 효율적으로 빼내고, 원재료들(M1, M2)이 서로 각각 나뉘어져 효율적으로 결합되어 오링줄이 형성되도록 하기 위함이다. 결합부(190)를 통과하여 성형되는 오링줄은 참조부호 180으로 표시되어 있으며, IV-IV 단면의 특징을 갖는다.Referring to Figure 2, the diameter at the I-I cross section, the diameter at the II-II cross section, and the diameter at the III-III cross section decrease in this order. As previously explained, this is to efficiently remove air bubbles contained in the raw materials (M1, M2) and to form an O-ring string by dividing the raw materials (M1, M2) into each other and efficiently combining them. The O-ring string formed by passing through the coupling portion 190 is indicated by reference numeral 180 and has the characteristics of an IV-IV cross section.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 두 가지 이상의 원재료를 사용하는 오링 제조 장치(200)의 특징을 설명하기 위한 도면이다. 도 3에서는 결합부(140)의 후단에 위치한 가열부(250)를 제외하고는, 원재료 투입 및 가압부(210), 압출부(220, 230), 및 결합부(240)의 구성은 도 1a에 도시된 실시예(100)에서의 해당 구성요소들과 실질적으로 동일하다. 이 실시예의 오링 제조 장치(200)에서 가열부(250)는, 가류 공정(curing process)을 위해 결합부(140)를 통과한 오링줄에 대하여 외부에서 가열(heating)하기 위한 구성요소이다. 가열부(250)에서 오링줄에 가해지는 온도는 대체로 150℃ 내지 300℃ 정도이나 이러한 온도로 한정되는 것은 아니다.Figure 3 is a diagram for explaining the characteristics of the O-ring manufacturing apparatus 200 using two or more raw materials according to another embodiment of the present invention. In FIG. 3, except for the heating unit 250 located at the rear end of the coupling unit 140, the configuration of the raw material input and pressing unit 210, the extrusion units 220 and 230, and the coupling unit 240 are shown in FIG. 1A. It is substantially the same as the corresponding components in embodiment 100 shown in . In the O-ring manufacturing apparatus 200 of this embodiment, the heating unit 250 is a component for externally heating the O-ring string that has passed through the coupling unit 140 for a curing process. The temperature applied to the O-ring string in the heating unit 250 is generally about 150°C to 300°C, but is not limited to this temperature.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 오링 제조 장치(100)에서 압출부와 분리부의 단면들과 이에 대응되는 오링줄의 단면들의 특징을 예시한 도면이다.Figure 4 is a diagram illustrating the characteristics of cross-sections of the extruded portion and the separation portion and the cross-sections of the corresponding O-ring string in the O-ring manufacturing apparatus 100 according to an embodiment of the present invention.

도 4에서 별도로 나타내지는 않았으나, 앞서 도 1a 내지 도 3에 도시된 분리부(190)의 경우, 압출부(120, 130; 160)의 내부에서 제1 원재료(M1)가 통과하는 경로의 단면적과 제2 원재료(M2)가 통과하는 경로의 단면적이 동일하도록 하기 위해 분리부(190)가 압출부(120, 130; 160)의 대체로 중앙에 위치한 경우이다. 이 경우, 압출부(120, 130; 160) 내에서 분리부(190)가 대체로 중앙에 위치한 경우, 압출물인 오링줄(180)의 단면은, 제1 원재료(M1)가 차지하는 반원 형상과 제2 원재료(M2)가 차지하는 반원 형상이 합쳐진 원형 형상으로 형성된다. 가해지는 압력들(P1, P2)을 동일하게 하는 경우에는 정확하게 그 단면이 정확하게 반원이 되도록 성형될 수 있으나, 압력차를 두는 경우에는 정확히 반원이 아니라 어느 하나의 원재료가 차지하는 영역이 다른 하나의 원재료가 차지하는 영역보다 더 넓은 활꼴들의 결합에 의한 원형의 단면 형상이 되도록 성형될 수도 있다(예컨대, (a)의 380으로 표시된 단면 형상).Although not separately shown in FIG. 4, in the case of the separator 190 previously shown in FIGS. 1A to 3, the cross-sectional area of the path through which the first raw material M1 passes inside the extrusion parts 120, 130; 160 and In order to ensure that the cross-sectional area of the path through which the second raw material (M2) passes is the same, the separation part 190 is located approximately at the center of the extrusion parts 120, 130; 160. In this case, when the separation part 190 is located generally in the center within the extrusion parts 120, 130; 160, the cross section of the O-ring string 180, which is an extrusion, has a semicircular shape occupied by the first raw material M1 and the second It is formed into a circular shape by combining the semicircular shapes occupied by the raw material (M2). If the applied pressures (P1, P2) are the same, the cross section can be formed to be exactly a semicircle, but if there is a pressure difference, it is not exactly a semicircle, but the area occupied by one raw material is more than that of the other raw material. It may be molded to have a circular cross-sectional shape by combining arcs that are wider than the area occupied by (e.g., the cross-sectional shape indicated by 380 in (a)).

도 4의 (a)에서는, 압출부(120, 130; 도 1a)의 내부에서 제1 원재료(M1)가 통과하는 경로의 단면적이 제2 원재료(M2)가 통과하는 경로의 단면적보다 더 크도록 하기 위해, 분리부(390)는, 압출부(120, 130; 160)의 내부에서 압출부(120, 130; 160)의 단면의 지름(r1)보다 작은 폭(w1)을 갖도록 형성된다. 따라서, 결합부(140)를 통과한 오링줄(380)의 단면은, 제1 원재료(M1)가 차지하는 제1 활꼴(circular segment)과 제2 원재료가 차지하는 제2 활꼴이 합쳐진 원형 형상으로 형성되며, 여기서 제1 활꼴의 면적이 제2 활꼴의 면적보다 더 크다.In Figure 4 (a), the cross-sectional area of the path through which the first raw material (M1) passes inside the extrusion parts (120, 130; Figure 1a) is larger than the cross-sectional area of the path through which the second raw material (M2) passes. To this end, the separation part 390 is formed inside the extrusion parts 120, 130; 160 to have a width w1 smaller than the diameter r1 of the cross section of the extrusion parts 120, 130; 160. Therefore, the cross section of the O-ring string 380 that passes through the coupling portion 140 is formed in a circular shape by combining the first circular segment occupied by the first raw material M1 and the second arcuate occupied by the second raw material, , where the area of the first arc is larger than the area of the second arc.

도 4의 (b)에서는 압출부(120, 130; 160)의 내부에서 압출부(120, 130; 160)의 단면을 네 개의 단면을 갖도록 구획할 수 있게 분리부(490)가 형성된 경우이다. 압출부(120, 130; 160)의 구간 전체에서 이러한 단면 특징을 보이도록 분리부(490)가 기다랗게 형성되므로, 최종적으로 성형되는 오링줄(480)의 단면도 또한 이에 대응되게 제1 원재료(M1), 제2 원재료(M2) 그리고 다른 두 개의 재료들이 각각 차지하는 부채꼴 형상이 결합된 원형 형상으로 형성된다.In (b) of FIG. 4, a separation portion 490 is formed inside the extruded portions 120, 130, and 160 to divide the cross section of the extruded portions 120, 130, and 160 into four cross sections. Since the separation portion 490 is formed long to show such cross-sectional characteristics throughout the section of the extruded portions 120, 130; 160, the cross-sectional view of the finally formed O-ring string 480 also shows the first raw material (M1) corresponding to this. ), the second raw material (M2), and the fan-shaped shape occupied by the other two materials respectively are formed into a circular shape combined.

도 4의 (c)에서는, 압출부(120, 130; 160)의 내부에서 제1 원재료(M1)가 통과하는 경로의 단면적이 제2 원재료(M2)가 통과하는 경로의 단면적보다 더 크도록 하기 위해, 분리부(590)가, 예각(acute angle)을 갖도록 꺾여져 형성된다. 따라서, 이에 대응되게, 결합부(140)를 통과한 오링줄(580)의 단면은, 제1 원재료(M1)가 차지하는 제1 부채꼴(circular sector)과 제2 원재료(M2)가 차지하는 제2 부채꼴 - 제2 부채꼴은 제1 부채꼴보다 작은 면적을 가짐 - 이 합쳐진 원형 형상으로 형성된다.In Figure 4 (c), the cross-sectional area of the path through which the first raw material (M1) passes inside the extrusion parts (120, 130; 160) is larger than the cross-sectional area of the path through which the second raw material (M2) passes. To this end, the separation portion 590 is formed by being bent to have an acute angle. Therefore, correspondingly, the cross section of the O-ring string 580 that passes through the coupling portion 140 has a first circular sector occupied by the first raw material (M1) and a second circular sector occupied by the second raw material (M2). - The second fan has a smaller area than the first fan. - It is formed into a circular shape by combining these.

도 4의 (d)에서는 압출부(120, 130; 160)의 내부에서 압출부(120, 130; 160)의 단면을 세 개의 단면을 갖도록 구획할 수 있게 분리부(690)가 형성된 경우이다. 압출부(120, 130; 160)의 구간 전체에서 이러한 단면 특징을 보이도록 분리부(690)가 기다랗게 형성되므로, 최종적으로 성형되는 오링줄(680)의 단면도 또한 이에 대응되게 제1 원재료(M1), 제2 원재료(M2) 그리고 다른 하나의 재료가 각각 차지하는 부채꼴 형상이 결합된 원형 셩상으로 형성된다.In (d) of FIG. 4, a separation portion 690 is formed inside the extruded portions 120, 130, and 160 to divide the cross sections of the extruded portions 120, 130, and 160 into three cross sections. Since the separation portion 690 is formed long to show such cross-sectional characteristics throughout the section of the extruded portions 120, 130; 160, the cross-sectional view of the finally formed O-ring string 680 also shows the first raw material (M1) corresponding to this. ), the second raw material (M2), and the fan-shaped shape occupied by the other material are formed into a circular shape combined.

도 4의 (a) 내지 (d)에서 분리부의 다양한 예들 및 결과적으로 성형되는 오링줄의 다양한 단면의 예들을 설명하였으나, 이러한 예들로 한정되는 것은 아님에 유의하여야 할 것이다. 예를 들어, 오링줄에서 다섯 개 이상의 서로 다른 재료들이 각각 부채꼴의 단면을 나타내도록 분리부가 형성될 수도 있다. 또한, 도 4의 설명에서 편의상 제1 원재료(M1) 및 제2 원재료(M2)를 특정하여 설명하였으나, 제1 원재료(M1) 및 제2 원재료(M2)의 위치는 서로 바뀔 수 있음에 유의하여야 할 것이다.In Figures 4 (a) to (d), various examples of the separation portion and examples of various cross sections of the resulting O-ring string are described, but it should be noted that the present invention is not limited to these examples. For example, in an O-ring string, a separation section may be formed so that five or more different materials each have a fan-shaped cross section. In addition, in the description of FIG. 4, the first raw material (M1) and the second raw material (M2) are specifically described for convenience, but it should be noted that the positions of the first raw material (M1) and the second raw material (M2) may be changed. something to do.

도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 오링 제조 방법을 설명하기 위한 도면들로서, 도 5 및 도 6을 참조하여 오링 제조 방법을 설명한다.Figures 5 and 6 are drawings for explaining an O-ring manufacturing method according to an embodiment of the present invention, and the O-ring manufacturing method is explained with reference to Figures 5 and 6.

먼저, 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 두 가지 이상의 원재료를 사용하는 오링 제조 방법은, 구간 별로 내경이 다른 다중 구획 압출 실린더를 사용하여 제1 원재료와 제2 원재료가 서로 혼합되지 않고 분리되어 하나의 압출물인 오링줄로 압출 성형되도록 하는 압출 성형 단계(S1), 압출 성형 단계(S1)를 거쳐 성형된 오링줄에 대하여 가열을 통해 가류 공정을 진행하는 단계(S2) 및 오링줄을 원하는 길이로 절단하여 접합하는 단계(S3)를 거쳐서 최종 제품인 오링(O-ring, OR)을 형성한다.First, referring to Figure 5, in the O-ring manufacturing method using two or more raw materials according to an embodiment of the present invention, the first raw material and the second raw material are mixed together using a multi-compartment extrusion cylinder with different inner diameters for each section. An extrusion molding step (S1) in which the O-ring string is separated without being separated and extruded into a single extruded product (S1), a step (S2) in which the O-ring string formed through the extrusion molding step (S1) is subjected to a vulcanization process through heating, and an O-ring The string is cut to the desired length and joined together (S3) to form the final product, an O-ring (OR).

다음으로, 도 6을 도 1a와 함께 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 두 가지 이상의 원재료를 사용하는 오링 제조 방법은, 제1 원재료(M1)와 제2 원재료(M2) - 제2 원재료(M2)는 제1 원재료(M1)와는 적어도 하나의 다른 성분을 갖는 조성물임 - 를 각각 독립적으로 준비하는 단계(S10)를 포함한다. 그런 다음, 제1 원재료(M1) 및 제2 원재료(M2)를 각각 원재료 투입 및 가압부(110)에 분리하여 투입하고 가압하는 단계(S20)를 포함한다. 그런 다음, 원재료 투입 및 가압부(110)로부터의 제1 원재료(M1) 및 제2 원재료(M2)를 각각 분리시켜 압출부(120, 130; 160)를 통과시키는 단계(S30)를 포함한다. 그런 다음, 압출부(120, 130; 160)를 통과한 제1 원재료(M1) 및 제2 원재료(M2)를 결합하여 오링줄을 형성하기 위해 압출부(120, 130; 160)의 단면 직경보다 작은 단면 직경을 갖는 결합부(140)를 통과시키는 단계(S40)를 포함한다. 더 나아가, 본 발명의 오링 제조 방법은, 결합부(140)를 통과하여 형성된 오링줄에 대하여 가류 공정을 위해 외부에서 열을 가하는 가열 단계(S50) 및 오링줄을 원하는 크기로 절단하여 접합하여 오링 완제품을 형성하는 단계(S60)를 더 포함할 수 있다.Next, referring to FIG. 6 together with FIG. 1A, the O-ring manufacturing method using two or more raw materials according to an embodiment of the present invention includes a first raw material (M1) and a second raw material (M2) - the second raw material. (M2) is a composition having at least one different ingredient from the first raw material (M1) - and includes the step (S10) of independently preparing each. Then, a step (S20) of separately injecting the first raw material (M1) and the second raw material (M2) into the raw material input and pressurizing unit 110 and pressurizing them is included. Then, it includes the step (S30) of separating the first raw material (M1) and the second raw material (M2) from the raw material input and pressing unit 110 and passing them through the extrusion units (120, 130; 160). Then, the first raw material (M1) and the second raw material (M2) that passed through the extrusion parts (120, 130; 160) are combined to form an O-ring string, which is larger than the cross-sectional diameter of the extrusion parts (120, 130; 160). It includes a step (S40) of passing the coupling portion 140 having a small cross-sectional diameter. Furthermore, the O-ring manufacturing method of the present invention includes a heating step (S50) of externally applying heat for a vulcanization process to the O-ring string formed after passing through the coupling portion 140, and cutting the O-ring string to a desired size and joining it to form an O-ring. A step of forming a finished product (S60) may be further included.

이와 같이, 본 발명의 두 가지 이상의 원재료를 사용하는 오링 제조 장치 및 오링 제조 방법은, 일정한 내경을 갖는 실린더를 이용하는 것이 아니라 구간 별로 내경을 다르게 하여 다중으로 구획된 실린더를 이용하는 방식으로 압출물을 성형하고 그에 따른 오링을 제조함으로써, 종래의 2 컬러 오링 성형 방법의 공정의 복잡함에서 기인하는 불량 문제, 그리고 성형 과정에서 제거되지 않는 기포로 인한 오링 자체의 불량을 줄일 수 있을 뿐만 아니라, 종래의 2 컬러 오링 성형 방법으로 제조되는 오링에 있어서 두 가지 배합 재료 각각이 반원 형상을 이루고 이들이 합쳐져셔 원 형상을 이루는 단면 형상을 갖는 2 컬러 오링의 성형에만 국한되는 한계점을 극복하여 용도에 따라 다양한 단면 형상을 갖는 오링을 제조할 수 있다.As such, the O-ring manufacturing device and O-ring manufacturing method using two or more raw materials of the present invention do not use a cylinder with a constant inner diameter, but rather form an extrudate by using a multi-partitioned cylinder with a different inner diameter for each section. By manufacturing the O-ring accordingly, it is possible to reduce defect problems resulting from the complexity of the process of the conventional two-color O-ring molding method and defects in the O-ring itself due to air bubbles that are not removed during the molding process. In the O-ring manufactured by the O-ring molding method, each of the two mixed materials forms a semicircle shape and when combined, the limitations limited to the molding of two-color O-rings, which have a circular cross-sectional shape, are overcome and the O-ring has various cross-sectional shapes depending on the application. O-rings can be manufactured.

마지막으로 본 발명에서 사용되는 제1 원재료와 제2 원재료에 대한 예들을 열거한다.Finally, examples of the first and second raw materials used in the present invention are listed.

제1 원재료 및 제2 원재료는 기본적으로 불소고무 원료를 포함하고, 트리알릴 이소시아누레이트(triallyl isocyanurate;Taic), 사이클로 헥사논퍼옥사이드, t-부틸퍼옥시이소프로필카르보네이트, t-부틸퍼옥시라우릴레이트, t-부틸퍼옥시아세테이트, 디-t-부틸디퍼옥시프탈레이트, t-디브틸퍼옥시말레인산, t-부틸큐밀퍼옥사이드, t-부틸하이드로퍼옥사이드, 디벤조일퍼옥사이드, 디큐밀퍼옥사이드, 1,3-비스(t-부틸퍼옥시이소프로필)벤젠, 메틸에틸케톤퍼옥사이드, 디-(2,4-디클로로벤조일)퍼옥사이드, 1,1-디(t-부틸퍼옥시)-3,3,5-트리메틸사이클로헥산, 2,5-디메틸-2,5-디(벤조일퍼옥시)헥산, 2,5-디메틸-2,5-디(t-부틸퍼옥시)헥산, 디-t-부틸퍼옥사이드, n-부틸-4,4-비스(t-부틸퍼옥시)발러레이트 및 α,α'-비스(t-부틸퍼옥시)디이소프로필벤젠, 다이-(2,4-다이클로로벤조일)-퍼옥시다제(Di-(2,4-dichlorobenzoyl)-peroxide), 다이벤조일 퍼옥시다제(Dibenzoyl peroxide), 터트-부틸 퍼옥시벤조에이트(tertButyl peroxybenzoate), 1,1-다이-(터트-부틸퍼옥시)-3,3,5-트리메틸시클로헥산(1,1-di-(tert-butylperoxy)-3,3,5-trimethylcyclohexane), 다이-(2-터트-부틸-퍼옥시이소프로필)-벤젠(di-(2-tert-butylperoxyisopropyl)-benzene), 2,5-다이메틸-2,5-다이-(터트-부틸퍼옥시)-헥산(2,5-Dimethyl-2,5-di-(tertbutylperoxy)-hexane), 다이-터트-부틸퍼옥시다제(Di-tert-butylperoxide), 2,5-다이메틸-2,5-다이(터트-부틸퍼옥시-헥산-3(2,5-dimethyl-2,5-di(tert-butylperoxy)hexyne-3) 중 어느 하나 또는 둘 이상의 혼합으로 조성된 가류제를 혼합하여 조성될 수 있다.The first and second raw materials basically include fluororubber raw materials, triallyl isocyanurate (Taic), cyclohexanone peroxide, t-butylperoxyisopropylcarbonate, and t-butyl peroxide. Oxylaurylate, t-butylperoxyacetate, di-t-butyldiperoxyphthalate, t-dibutylperoxymaleic acid, t-butylcumyl peroxide, t-butylhydroperoxide, dibenzoyl peroxide, dicumyl peroxide , 1,3-bis(t-butylperoxyisopropyl)benzene, methyl ethyl ketone peroxide, di-(2,4-dichlorobenzoyl)peroxide, 1,1-di(t-butylperoxy)-3 ,3,5-trimethylcyclohexane, 2,5-dimethyl-2,5-di(benzoylperoxy)hexane, 2,5-dimethyl-2,5-di(t-butylperoxy)hexane, di-t -Butyl peroxide, n-butyl-4,4-bis(t-butylperoxy)valerate and α,α'-bis(t-butylperoxy)diisopropylbenzene, di-(2,4-di) Chlorobenzoyl)-peroxidase (Di-(2,4-dichlorobenzoyl)-peroxide), Dibenzoyl peroxide, tertButyl peroxybenzoate, 1,1-di-( 1,1-di-(tert-butylperoxy)-3,3,5-trimethylcyclohexane), di-(2-tert-butyl-peroxyiso) Propyl)-benzene (di-(2-tert-butylperoxyisopropyl)-benzene), 2,5-dimethyl-2,5-di-(tert-butylperoxy)-hexane (2,5-Dimethyl-2,5 -di-(tertbutylperoxy)-hexane), di-tert-butylperoxidase (Di-tert-butylperoxide), 2,5-dimethyl-2,5-di(tert-butylperoxy-hexane-3(2) , 5-dimethyl-2,5-di(tert-butylperoxy)hexyne-3) or a mixture of two or more of the curing agents may be mixed.

또한, 제1 원재료 및 제2 원재료에 첨가되는 안료로서, BaSO4, CaCO3, SiO2, SiO2-nH2O, 실리카, TiO2, ZnO, BaSO4·ZnS, Sb2O3, C, PbCrO4·PbSO4, 2PbCrO4·PbSO4, PbCrO4, PbCrO4·PbO, PbCrO4·2PBSO4, K2O·4ZnO·4CrO3·3H2O, ZnCrO4·4Zn(OH)2), TiO2·NiO·Sb2O3, 스트론튬 디옥시도 크로뮴(strontium dioxido, chromium), PbCrO4·PbMoO4, 황산납(lead sulfate), Cu2O(oxocoppor), MFe[Fe(CN)6], 2(Al2Na2Si3O10)·Na2S4, CoO·nAl2O3, PbCrO4·KFe[Fe(CN)6], 옥소크로뮴(oxo chromium), Cr2O3·2H2O, 징크 디옥시도 크로뮴(zinc dioxido chromium), (NH4)Mn(P2O7), Co3(PO4)2 등의 무기 안료 중 어느 하나 또는 둘 이상의 조합, 그리고 아조 화합물(azo compounds, 예컨대, RN=NR'(여기서, R, R'은 아릴기 또는 알킬기 중 어느 하나임)), 프탈로시아닌(phthalocyanine, 예컨대, 2,11,20,29,37,38,39,40-octazanonacyclo[28.6.1.13,10.112,19.121,28.04,9.013,18.022,27.031,36]tetraconta-1,3,5,7,9,11,13,15,17,19(39),20,22,24,26,28,30(37),31,33,35-nonadecane), 안트라퀴논(anthraquinone, 예컨대, anthracene-9,10-dione), 페리논(perinone, 예컨대, 3,10,17,24-tetrazaoctacyclo[13.13.2.02,10.04,9.012,29.016,24.018,23.026,30]triaconta-1(29),2,4,6,8,12,14,16,18,20,22,26(30),27-tridecaene-11,25-dione), 퀴나크리돈(quinacridone, 예컨대, 5,12-dihydroquinolino[2,3-b]acridine-7,14-dione), 5,12-dihydroquinolino[2,3-b]acridine-7,14-dione), 이소인돌리논(isoindolinone, 2,3-dihydroisoindol-1-one), 디케노피로로피롤(diketopyrrolopyrrole, 예컨대, pyrrolo[3,2-b]pyrrole-5,6-dione), 퀴노프탈론(quinophthalone, 예컨대, 2-quinolin-2-ylindene-1,3-dione) 등의 유기 안료 중 어느 하나 또는 둘 이상의 조합, 또는 상기 무기 안료들과 상기 무기 안료들의 조합으로 이뤄질 수 있다.In addition, as pigments added to the first and second raw materials, BaSO4, CaCO3, SiO2, SiO2-nH2O, silica, TiO2, ZnO, BaSO4·ZnS, Sb2O3, C, PbCrO4·PbSO4, 2PbCrO4·PbSO4, PbCrO4, PbCrO4 ·PbO, PbCrO4·2PBSO4, K2O·4ZnO·4CrO3·3H2O, ZnCrO4·4Zn(OH)2), TiO2·NiO·Sb2O3, strontium dioxido, chromium, PbCrO4·PbMoO4, lead sulfate sulfate), Cu2O(oxocoppor), MFe[Fe(CN)6], 2(Al2Na2Si3O10)·Na2S4, CoO·nAl2O3, PbCrO4·KFe[Fe(CN)6], oxo chromium, Cr2O3·2H2O, Any one or a combination of two or more inorganic pigments such as zinc dioxido chromium, (NH4)Mn(P2O7), Co3(PO4)2, and azo compounds, such as RN=NR'( Here, R, R' are either an aryl group or an alkyl group)), phthalocyanine (e.g., 2,11,20,29,37,38,39,40-octazanonacyclo[28.6.1.13,10.112,19.121,28.04) ,9.013,18.022,27.031,36]tetraconta-1,3,5,7,9,11,13,15,17,19(39),20,22,24,26,28,30(37),31 ,33,35-nonadecane), anthraquinone (eg, anthracene-9,10-dione), perinone (eg, 3,10,17,24-tetrazaoctacyclo[13.13.2.02,10.04,9.012,29.016) ,24.018,23.026,30]triaconta-1(29),2,4,6,8,12,14,16,18,20,22,26(30),27-tridecaene-11,25-dione), Quinacridone (e.g., 5,12-dihydroquinolino[2,3-b]acridine-7,14-dione), 5,12-dihydroquinolino[2,3-b]acridine-7,14-dione), Isoindolinone (2,3-dihydroisoindol-1-one), diketopyrrolopyrrole (e.g. pyrrolo[3,2-b]pyrrole-5,6-dione), quinophthalone , for example, 2-quinolin-2-ylindene-1,3-dione), or a combination of two or more organic pigments, or a combination of the above inorganic pigments and the above inorganic pigments.

또한, 제1 원재료 및 상기 제2 원재료에 첨가되는 무기 안료들과 유기 안료들은, 제1 원재료와 제2 원재료에 동일한 무기 안료들과 유기 안료들이 사용되고 조성비율을 달리하여 제1 원재료와 제2 원재료의 색깔이 구별되도록 할 수도 있다.In addition, the inorganic pigments and organic pigments added to the first raw material and the second raw material are the same inorganic pigments and organic pigments used in the first raw material and the second raw material, and the composition ratio is changed to form the first raw material and the second raw material. The colors can also be distinguished.

100 : 본 발명의 오링 제조 장치
110 : 원재료 투입 및 가압부
120, 130 : 압출부
140 : 결합부
180 : 오링줄(압출물)
190 : 분리부100: O-ring manufacturing device of the present invention
110: Raw material input and pressurization unit
120, 130: Extruded part
140: coupling part
180: O-ring string (extruded product)
190: separation part

Claims (11)

반도체 제조 설비용 오링 제조 장치로서,
제1 원재료와 제2 원재료를 분리하여 투입하고 가압하기 위한, 원재료 투입 및 가압부(110);
상기 원재료 투입 및 가압부로부터의 제1 원재료 및 제2 원재료를 분리하여 통과시키기 위한, 압출부(160) - 상기 제1 원재료 및 상기 제2 원재료는 상기 압출부의 전체 구간에서 분리된 상태를 유지함 - ;
상기 압출부의 내부에 배치되고, 상기 원재료 투입 및 가압부로부터의 제1 원재료 및 제2 원재료가 각각 분리되어 상기 압출부를 통과하도록 상기 압출부의 내부 공간을 구획하는 분리부(190); 및
상기 압출부를 통과한 제1 원재료 및 제2 원재료가 결합하여 오링줄을 형성하기 위한 결합부(140) - 상기 결합부의 단면의 직경은, 상기 압출부의 단면의 최소 직경보다 상대적으로 작음 - ;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 반도체 제조 설비용 오링 제조 장치.
An O-ring manufacturing device for semiconductor manufacturing equipment,
A raw material input and pressurization unit 110 for separately inputting and pressurizing the first raw material and the second raw material;
An extrusion unit 160 for separating and passing the first raw material and the second raw material from the raw material input and pressing unit - the first raw material and the second raw material remain separated throughout the entire section of the extrusion unit - ;
A separation unit 190 disposed inside the extrusion unit and dividing the internal space of the extrusion unit so that the first raw material and the second raw material from the raw material input and pressurization unit are separated and pass through the extrusion unit; and
A coupling unit 140 for combining the first raw material and the second raw material that have passed through the extrusion unit to form an O-ring string - the diameter of the cross section of the coupling unit is relatively smaller than the minimum diameter of the cross section of the extrusion unit -; An O-ring manufacturing device for semiconductor manufacturing equipment, characterized in that.
 청구항 1에 있어서,
상기 압출부(160)는, 단면의 직경이 상대적으로 크게 형성된 제1 파트(120)와 상기 제1 파트에 비해 단면의 직경이 상대적으로 작게 형성되고 상기 결합부의 단면의 직경보다 상대적으로 크게 형성되는 제2 파트(130)를 포함하는 것을 특징으로 하는, 반도체 제조 설비용 오링 제조 장치.
In claim 1,
The extruded portion 160 includes a first part 120 having a relatively large cross-sectional diameter, and a cross-sectional diameter relatively small compared to the first part and relatively larger than the cross-sectional diameter of the coupling portion. An O-ring manufacturing device for semiconductor manufacturing equipment, characterized in that it includes a second part (130).
 청구항 1에 있어서,
상기 분리부(190)는, 상기 압출부의 내부에서 상기 제1 원재료가 통과하는 경로의 단면적과 상기 제2 원재료가 통과하는 경로의 단면적이 동일하도록 상기 압출부의 중앙에 위치하고,
상기 결합부를 통과한 오링줄의 단면은, 상기 제1 원재료가 차지하는 반원 형상과 상기 제2 원재료가 차지하는 반원 형상이 합쳐진 원형 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는, 반도체 제조 설비용 오링 제조 장치.
In claim 1,
The separation unit 190 is located at the center of the extrusion unit so that the cross-sectional area of the path through which the first raw material passes is equal to the cross-sectional area of the path through which the second raw material passes inside the extrusion unit,
An O-ring manufacturing device for a semiconductor manufacturing facility, characterized in that the cross-section of the O-ring string passing through the coupling portion is formed into a circular shape that is a combination of a semicircular shape occupied by the first raw material and a semicircular shape occupied by the second raw material.
 청구항 1에 있어서,
상기 분리부(190)는, 상기 압출부의 내부에서 상기 제1 원재료가 통과하는 경로의 단면적이 상기 제2 원재료가 통과하는 경로의 단면적보다 더 크도록 하기 위해 상기 압출부의 내부에서 상기 압출부의 단면의 지름보다 작은 폭을 갖도록 형성되고,
상기 결합부를 통과한 오링줄의 단면은, 상기 제1 원재료가 차지하는 제1 활꼴(circular segment)과 상기 제2 원재료가 차지하는 제2 활꼴 - 상기 제2 활꼴은 상기 제1 활꼴보다 작은 면적을 가짐 - 이 합쳐진 원형 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는, 반도체 제조 설비용 오링 제조 장치.
In claim 1,
The separation unit 190 is a cross-sectional area of the extrusion unit inside the extrusion unit so that the cross-sectional area of the path through which the first raw material passes inside the extrusion unit is larger than the cross-sectional area of the path through which the second raw material passes. It is formed to have a width smaller than the diameter,
The cross section of the O-ring string passing through the coupling portion includes a first circular segment occupied by the first raw material and a second circular segment occupied by the second raw material - the second circular segment has a smaller area than the first circular segment - An O-ring manufacturing device for semiconductor manufacturing equipment, characterized in that it is formed in a circular shape combined with the above.
 청구항 1에 있어서,
상기 분리부(190)는, 상기 압출부의 내부에서 상기 제1 원재료가 통과하는 경로의 단면적이 상기 제2 원재료가 통과하는 경로의 단면적보다 더 크도록 하기 위해 예각(acute angle)을 갖도록 꺾여져 형성되고,
상기 결합부를 통과한 오링줄의 단면은, 상기 제1 원재료가 차지하는 제1 부채꼴(circular sector)과 상기 제2 원재료가 차지하는 제2 부채꼴 - 상기 제2 부채꼴은 상기 제1 부채꼴보다 작은 면적을 가짐 - 이 합쳐진 원형 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는, 반도체 제조 설비용 오링 제조 장치.
In claim 1,
The separation unit 190 is formed by being bent to have an acute angle so that the cross-sectional area of the path through which the first raw material passes inside the extrusion unit is larger than the cross-sectional area of the path through which the second raw material passes. become,
The cross section of the O-ring string passing through the coupling portion is a first sector (circular sector) occupied by the first raw material and a second sector occupied by the second raw material - the second sector has a smaller area than the first sector - An O-ring manufacturing device for semiconductor manufacturing equipment, characterized in that it is formed in a circular shape combined with the above.
 청구항 1에 있어서,
상기 분리부(190)는, 상기 압출부의 내부에서 상기 압출부의 단면을 세 개 또는 네 개 이상의 단면을 갖도록 구획하도록 형성되고,
상기 결합부를 통과한 오링줄의 단면은, 상기 제1 원재료가 차지하는 부채꼴, 상기 제2 원재료가 차지하는 부채꼴, 그리고 상기 제1 원재료 및 상기 제2 원재료 이외의 다른 재료가 차지하는 부채꼴이 합쳐진 원형 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는, 반도체 제조 설비용 오링 제조 장치.
In claim 1,
The separation portion 190 is formed to divide the cross section of the extrusion portion into three or four or more cross sections within the extrusion portion,
The cross section of the O-ring string passing through the coupling portion is formed into a circular shape that is a combination of a fan occupied by the first raw material, a fan occupied by the second raw material, and a fan occupied by materials other than the first raw material and the second raw material. An O-ring manufacturing device for semiconductor manufacturing equipment, characterized in that.
 청구항 1에 있어서, 상기 반도체 제조 설비용 오링 제조 장치는,
상기 결합부(140)의 후단에서 연장되고, 가류 공정을 위해 상기 결합부를 통과한 오링줄에 대해 외부에서 가열하기 위한 가열부(250);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 반도체 제조 설비용 오링 제조 장치.
The method according to claim 1, wherein the O-ring manufacturing device for semiconductor manufacturing equipment,
An O-ring for a semiconductor manufacturing facility that extends from the rear end of the coupling portion 140 and further includes a heating unit 250 for externally heating the O-ring string that has passed through the coupling portion for a vulcanization process. manufacturing device.
 청구항 1에 있어서,
상기 제1 원재료 및 상기 제2 원재료는 불소 고무원료를 포함하고, 상기 제2 원재료는 상기 제1 원재료와는 적어도 하나의 다른 성분을 갖는 재료인 것을 특징으로 하는, 반도체 제조 설비용 오링 제조 장치.
In claim 1,
The first raw material and the second raw material include a fluorine rubber raw material, and the second raw material is a material having at least one different component from the first raw material.
 청구항 1에 있어서, 상기 반도체 제조 설비용 오링 제조 장치는,
상기 결합부(140)의 후단에 위치하고 다각형의 단면 형상을 갖는 노즐부(150);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 반도체 제조 설비용 오링 제조 장치.
The method according to claim 1, wherein the O-ring manufacturing device for semiconductor manufacturing equipment,
An O-ring manufacturing device for a semiconductor manufacturing facility, characterized in that it further includes a nozzle part 150 located at the rear end of the coupling part 140 and having a polygonal cross-sectional shape.
 반도체 제조 설비용 오링 제조 방법으로서,
제1 원재료와 제2 원재료 - 상기 제2 원재료는 상기 제1 원재료와는 적어도 하나의 다른 성분을 갖는 조성물임 - 를 각각 독립적으로 준비하는 단계;
상기 제1 원재료 및 상기 제2 원재료를 각각 원재료 투입 및 가압부에 분리하여 투입하고 가압하는 단계;
상기 원재료 투입 및 가압부로부터의 제1 원재료 및 제2 원재료를 각각 분리시켜 압출부를 통과시키는 단계; 및
상기 압출부를 통과한 제1 원재료 및 제2 원재료를 결합하여 오링줄을 형성하기 위해 상기 압출부의 단면 직경보다 작은 단면 직경을 갖는 결합부를 통과시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 반도체 제조 설비용 오링 제조 방법.
A method of manufacturing O-rings for semiconductor manufacturing equipment,
independently preparing a first raw material and a second raw material, wherein the second raw material is a composition having at least one different component from the first raw material;
Separately injecting the first raw material and the second raw material into a raw material input and pressurizing section and pressurizing them;
Separating the first raw material and the second raw material from the raw material input and pressing unit and passing them through the extrusion unit; and
For semiconductor manufacturing equipment, comprising: passing the first raw material and the second raw material that have passed through the extrusion unit through a coupling unit having a cross-sectional diameter smaller than the cross-sectional diameter of the extrusion unit to form an O-ring string. O-ring manufacturing method.
 청구항 10에 있어서, 상기 반도체 제조 설비용 오링 제조 방법은,
상기 결합부를 통과하여 형성된 오링줄에 대하여 가류 공정을 위해 외부에서 열을 가하는 가열 단계; 및
상기 오링줄을 절단하여 접합하는 단계; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 반도체 제조 설비용 오링 제조 방법.
The method of claim 10, wherein the O-ring manufacturing method for semiconductor manufacturing equipment,
A heating step of applying heat from the outside to the O-ring string formed through the coupling portion for a vulcanization process; and
Cutting and joining the O-ring string; A method of manufacturing an O-ring for a semiconductor manufacturing facility, characterized in that it further comprises a.
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