KR102602190B1 - 독성 및 유해 잔류가스 처리 시스템을 이용한 처리 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 독성 및 유해 잔류가스 처리 시스템을 이용한 처리 방법에 관한 것으로, 질소가스를 제공하는 질소탱크와; 가열장치을 통해 디보란가스를 흡입 수용하는 디보란믹스룸과; 가열장치을 통해 포스핀가스를 흡입 수용하는 포스핀믹스룸을 포함하는 구성으로 확인단계; 제1검사단계; 제1벤트단계; 제1반복단계; 제1진공단계; 제2벤트단계; 제2검사단계; 제3벤트단계; 가압단계; 제4벤트단계; 제2반복단계; 제2진공단계; 제3반복단계; 처리단계를 포함하여 각종 산업에서 사용되는 유해가스 중 수소화합물계 가스의 농도를 허용농도 이하로 정화할 수 있는 독성 및 유해 잔류가스 처리 시스템을 이용한 처리 방법에 관한 것이다.
Description
본 발명은 독성 및 유해 잔류가스 처리에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 각종 산업분야에서 사용되는 유해가스 중 수소화합물계 가스의 농도를 허용농도 이하로 정화할 수 있는 독성 및 유해 잔류가스 처리 시스템을 이용한 처리 방법에 관한 것이다.
일반적으로 LPG 등을 사용하여 B2H6 MIX, PH3 MIX Manifold의 시스템에는 수분과 산소 성분이 존재하는데 LPG 사용으로 인하여 불완전 연소로 인체에 유해한 성분의 가스를 발생할 수 있다.
처리하고자 하는 가스의 종류는 B2H6 Mix,PH3 Mix, GeH4 Mix, SiH4 Mix가 있다.
디보란(B2H6; Diborane)은 무색이고 특이한 냄새가 나는 기체로서, 붕소의 수소화합물로 상온에서 안정하며 유기화합물과 강하게 환원작용을 하여 환원제로 유기합성에 많이 이용되며, 물과 접촉하면 순간적으로 가수분해하여 붕산을 생성하고, 붕소의 중성자 흡수면적이 커서 중성자 계수용으로 사용됨에 따라 높은 연소율 을 이용하여 항공기와 로켓의 연료로 사용된다.
포스핀(PH3; Phosphine)은 무색 무취 또는 마늘이나 썩은 생선 같은 악취가 나는 기체로 붕소와 수소로 이루어진 화합물로 반도체 제조 공정에 사용된다.
이러한 가스는 반도체 장비의 P타입 도판트(dopant)로 사용되어 전자산업과 그 응용분야에서 널리 활용되고 있어 불순물의 농도가 수 ppm 이하로 관리되어야 하다.
따라서, 수소화합물계 가스를 함유하는 유해가스가 대기중에 배출되면 환경파괴뿐 아니라 인간에게 유해하여 수명 단축에 위험이 있으므로 유해가스 중의 수소화합물계 가스의 농도를 허용농도 이하로 정화할 필요가 있다.
상기한 문제점을 해결하기 위하여 본 발명은 각종 산업에서 사용되는 유해가스 중 수소화합물계 가스의 농도를 허용농도 이하로 정화할 수 있는 독성 및 유해 잔류가스 처리 시스템을 이용한 처리 방법을 제공하는데 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 전기 Burn Type 를 이용하여 실린더안에 있는 디보란 및 포스핀 가스를 벤트라인을 사용하여 실린더안에 잔류가스를 전기 Burn 보내어 독성 및 유해 잔류가스 처리 시스템을 제공한다.
한편, 상기와 같이 구성된 독성 및 유해 잔류가스 처리 시스템을 이용하여 독성 및 유해 잔류가스 처리 방법에 있어서, 질소탱크의 질소밸브를 개방하고, 전기 Burn 시스템에 850도씨 온도 유지를 포함하여 정상운전 상태를 확인하는 확인단계와; 질소밸브를 개방하여 벤트라인에 100Bar 충전하여 벤트라인 및 연결부위에 유출(Leak)을 검사하는 제1검사단계와; 벤트라인에 압력을 벤트하고, 질소밸브를 개방하여 10Bar 충전하고, 충전압력을 Burn Scrubber 측으로 벤트하는 제1벤트단계와; 제1벤트단계를 3회 반복적으로 수행하는 제1반복단계와; 벤트라인에 진공밸브를 개방하여 10 ~ 3 Torr 진공 압력을 제공하여 진공상태를 유지하는 제1진공단계와; 질소밸브를 개방하여 질소를 벤트라인을 통해 30 NL/min 유량으로 Burn Scrubber 으로 벤트하는 제2벤트단계와; 잔류가스 탱크밸브를 개방하여 잔류가스를 유동하는 중 유출(Leak)을 검사하는 제2검사단계와; 유출 검사 후 처리하고자 하는 잔류가스실린더에 해당하는 벤트밸브를 개방하여 4Bar 제어(Regulator) 압력 및 30NL/min 유량으로 Burn Scrubber로 해당 실린더에 대한 절대압력을 0으로 벤트하는 제3벤트단계와; 벤트밸브의 폐쇄, 질소밸브의 개방으로 잔류가스를 실린더의 10Bar 압력으로 충전하고 질소밸브를 폐쇄하는 가압단계와; 벤트밸브를 열어 Burn Scrubber로 잔류가스 실린더에 절대압력을 0이 될 때까지 벤트하는 제4벤트단계와; 제4벤트단계를 3회 반복적으로 수행하는 제2반복단계와; 벤트밸브의 폐쇄와 진공펌프의 가동을 통해 10 ~ 3 Torr로 진공일 때 진공밸브를 폐쇄하는 제2진공단계와; 가압단계를 2회 반복 실시하는 제3반복단계와; 진공밸브를 개방하여 10 ~ 3 Torr로 진공압력을 잡고 진공밸브를 폐쇄하여 진공을 끝내고 잔류가스를 처리한 압축밸브를 닫는 처리단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 독성 및 유해 잔류가스 처리 방법을 제공한다.
상기와 같이 구성된 본 발명을 제공함으로써, 각종 산업에서 사용되는 유해가스 중 수소화합물계 가스의 농도를 허용농도 이하로 정화할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 독성 및 유해 잔류가스 처리 시스템을 나타내는 개념도.
도 2는 본 발명에 따른 독성 및 유해 잔류가스 처리 시스템에 적용되는 질소탱크를 나타내는 개념도.
도 3은 본 발명에 따른 독성 및 유해 잔류가스 처리 방법을 나타내는 흐름도.
도 2는 본 발명에 따른 독성 및 유해 잔류가스 처리 시스템에 적용되는 질소탱크를 나타내는 개념도.
도 3은 본 발명에 따른 독성 및 유해 잔류가스 처리 방법을 나타내는 흐름도.
본 발명의 실시예를 설명함에 있어서, 본 발명과 관련된 공지기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. 그리고 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다. 상세한 설명에서 사용되는 용어는 단지 본 발명의 실시예를 기술하기 위한 것이며, 결코 제한적으로 해석되어서는 안 된다. 명확하게 달리 사용되지 않는 한, 단수 형태의 표현은 복수 형태의 의미를 포함한다. 본 설명에서, "포함" 또는 "구비"와 같은 표현은 어떤 특성들, 숫자들, 단계들, 동작들, 요소들, 이들의 일부 또는 조합을 가리키기 위한 것이며, 기술된 것 이외에 하나 또는 그 이상의 다른 특성, 숫자, 단계, 동작, 요소, 이들의 일부 또는 조합의 존재 또는 가능성을 배제하는 것으로 해석되어서는 안 된다.
도면에서 도시된 각 시스템에서, 몇몇 경우에서의 요소는 각각 동일한 참조 번호 또는 상이한 참조 번호를 가져서 표현된 요소가 상이하거나 유사할 수가 있음을 시사할 수 있다. 그러나 요소는 상이한 구현을 가지고 본 명세서에서 보여지거나 기술된 시스템 중 몇몇 또는 전부와 작동할 수 있다. 도면에서 도시된 다양한 요소는 동일하거나 상이할 수 있다. 어느 것이 제1 요소로 지칭되는지 및 어느 것이 제2 요소로 불리는지는 임의적이다.
본 명세서에서 어느 하나의 구성요소가 다른 구성요소로 자료 또는 신호를 '전송', '전달' 또는 '제공'한다 함은 어느 한 구성요소가 다른 구성요소로 직접 자료 또는 신호를 전송하는 것은 물론, 적어도 하나의 또 다른 구성요소를 통하여 자료 또는 신호를 다른 구성요소로 전송하는 것을 포함한다.
이하, 본 발명에 대하여 동일한 기술분야에 속하는 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 첨부도면을 참조하여 바람직한 실시 예를 상세하게 설명하기로 한다.
본 발명에 적용되는 독성 및 유해 잔류가스 처리 시스템은 도 1 내지 도 2에 도시된 바와 같이, 질소가스를 제공하는 질소탱크(100)와; 질소가스를 제공한 후 질소탱크(100)에서 제1잔류가스라인(410) 및 제2잔류가스라인(510)을 따라 벤트되는 잔류가스에 대해 디보란가스를 흡입 수용하는 디보란믹스룸(400)과; 잔류가스에 대해 포스핀가스를 흡입 수용하는 포스핀믹스룸(500)을 포함할 수 있다.
한편, 디보란(B2H6; Diborane)은 화학적으로 활발하고 휘발성이 있는 붕소의 수소화물로 높은 연소열을 이용하여 항공기 또는 로켓용 연료에 주로 사용된다.
그리고, 포스핀(PH3; Phosphine)은 붕소와 수소로 이루어진 화합물로 반도체 제조 공정에 사용된다.
또한, 저메인(GeH4; Germane)은 메테인의 탄소를 저마늄으로 바꾼 수소화합물로 반도체 제조 공정에 사용된다.
즉, 질소가스의 사용 이후 B2H6 MIX, PH3 MIX등의 수소화합물계 가스의 종류 및 사용량이 최근에 현저히 증가하고 있다.
이 때문에 수소화합물계 가스를 함유하는 유해가스가 대기중에 배출되면 환경파괴할 뿐만 아이라 인간의 수명이 단축시킬 위험이 있으므로 유해가스 중의 수소화합물계 가스의 농도를 허용농도 이하로 정화할 필요가 있다.
기존에는 LPG등을 사용하여 B2H6 MIX, PH3 MIX Manifold의 시스템에는 수분과 산소 성분이 존재하는데 LPG 사용으로 인하여 불완전 연소로 인체에 유해한 성분이 발생된 방식이다,
여기서, 정화장치(200)는 잔류가스를 흡착하여 정화하는 흡착정화기(220)와; 잔류가스를 태워 정화하는 가열정화기(210)를 포함할 수 있다.
도 1에 의하면, 제1잔류가스라인(410) 및 제2잔류가스라인(510)의 전방에는 질소탱크(100)의 잔류가스를 제1잔류가스매니폴드(420) 및 제2잔류가스매니폴드(520)에 10Bar의 압력으로 디보란믹스룸(400) 및 포스핀믹스룸(500)으로 충전하는 제1질소밸브(430) 및 제2질소밸브(530)를 포함할 수 있다.
제1질소밸브(430) 및 제2질소밸브(530)의 개폐를 통해 제1잔류가스매니폴드(420) 및 제2잔류가스매니폴드(520)에 30 NL/min 유량으로 10분 동안 가열정화기(210) 측으로 제공한 후 제1잔류가스매니폴드(420) 및 제2잔류가스매니폴드(520)에 10 ~ 3 Torr 진공 압력을 제공하는 제1진공밸브(441) 및 제2진공밸브(541)와; 정화장치(200)에 절대압력을 0이 될때까지 벤트하는 제1벤트밸브(450) 및 제2벤트밸브(550)를 포함할 수 있다.
정화장치(200)의 후방에는 잔류가스를 수용하는 제1잔류가스매니폴드(420) 및 제2잔류가스매니폴드(520)를 포함하며, 제1잔류가스매니폴드(420) 및 제2잔류가스매니폴드(520)에는 잔류가스의 유출을 검사하기 디보란믹스룸(400) 및 포스핀믹스룸(500)을 포함할 수 있다.
상기와 같이 구성된 독성 및 유해 잔류가스 처리 시스템을 도 3을 참조하여 독성 및 유해 잔류가스 처리 방법을 설명한다.
질소탱크(100)의 메인질소밸브(110)를 개방하고, 가열정화기(210)의 가동 및 흡착정화기(220)를 가동하여 가열정화기(210)를 850도씨 온도 유지를 포함하여 정상운전 상태를 확인하는 확인단계(S100)를 포함한다.
즉, 질소 Tank 밸브를 Open하고 Burn Scrubber 전원 On,가습정화기(300, wet scrubber)의 전원을 On하여 Burn Scrubber 온도 850도 될 때까지 기다린 후 정상운전 되는지 확인할 수 있다.
제1질소밸브(430) 및 제2질소밸브(530)를 개방하여 제1잔류가스매니폴드(420) 및 제2잔류가스매니폴드(520)에 100Bar 충전하여 제1잔류가스라인(410) 및 제2잔류가스라인(510) 및 연결부위에 유출(Leak)을 검사하는 제1검사단계(S110)를 포함한다.
즉, 질소 실린더 밸브에 연결하여 질소 밸브를 열어 잔류가스 라인에 100Bar까지 충전하여 제1잔류가스매니폴드(420) 및 제2잔류가스매니폴드(520) 및 연결부위에 Leak 체크한다.
제1잔류가스라인(410) 및 제2잔류가스라인(510)에 압력을 벤트하고, 제1질소밸브(430) 및 제2질소밸브(530)를 개방하여 10Bar 충전하고, 충전압력을 가열정화기(210) 측으로 벤트하는 제1벤트단계(S120)를 포함한다.
즉, 잔류가스 라인에 압력을 벤트하고 질소 밸브를 열어 10Bar 충전하고 질소 밸브 닫고, 충전압력을 Burn Scrubber 쪽으로 벤트할 수 있다.
제1벤트단계(S120)를 3회 반복적으로 수행하는 제1반복단계(S130)를 수행한다.
제1잔류가스매니폴드(420) 및 제2잔류가스매니폴드(520)에 제1진공밸브(441) 및 제2진공밸브(541)를 개방하여 10 ~ 3 Torr 진공 압력을 제공하여 진공상태를 유지하는 제1진공단계(S140)를 포함한다.
즉, 진공펌프의 전원을 On 하여 잔류가스 라인에 진공 펌프 밸브를 열어 10-3 Torr까지 진공을 잡고 진공펌프 밸브를 닫는다.
제1질소밸브(430) 및 제2질소밸브(530)를 개방하여 질소를 제1잔류가스라인(410) 및 제2잔류가스라인(510)을 통해 30 NL/min 유량으로 10분 동안 가열정화기(210) 측으로 벤트하는 제2벤트단계(S150)와;
질소 밸브를 열어 질소를 잔류가스 라인에 Flow 유량을 30 NL/min Burn Scrubber 쪽으로 10분 벤트한 후 벤트밸브 닫는다.
잔류가스를 수용하는 제1매니폴드밸브(421) 및 제2매니폴드밸브(521)를 개방하여 잔류가스를 유동하는 중 유출(Leak)을 검사하는 제2검사단계(S160)를 포함한다.
잔류가스 용기 밸브를 열고 체결 부위에 휴대용 검지기로 Leak 검사한다.
유출 검사 후 처리하고자 하는 제1잔류가스매니폴드(420) 및 제2잔류가스매니폴드(520)에 해당하는 제1질소밸브(430) 및 제2질소밸브(530) 및 제1벤트밸브(450) 및 제2벤트밸브(550)를 개방하여 4Bar 제어(Regulator) 압력 및 30NL/min 유량으로 가열정화기(210)의 해당 실린더에 대한 절대압력을 0으로 벤트하는 제3벤트단계(S170)를 포함한다.
이상이 없을 시 처리하고자 해당 실린더 밸브를 천천히 열어 벤트 밸브를 열어 Regulator 압력을 4Bar Setting하고 Flow 유량을 30NL/min Burn Scrubber 해당실린더 압력을 0Psig 될 때까지 벤트한다.
제1벤트밸브(450) 및 제2벤트밸브(550)의 폐쇄, 제1질소밸브(430) 및 제2질소밸브(530)의 개방으로 질소가스를 실린더의 10Bar 압력으로 충전하고 제1질소밸브(430) 및 제2질소밸브(530)를 폐쇄하는 가압단계(S180)를 포함한다.
벤트밸브를 닫고 질소 밸브를 열어 해당 질소가스를 실린더에 10Bar 충전하고 질소 밸브를 닫는다.
제1벤트밸브(450) 및 제2벤트밸브(550)를 열어 가열정화기(210)로 잔류가스 실린더에 절대압력을 0이 될 때까지 벤트하는 제4벤트단계(S190)를 포함한다.
즉, 벤트 밸브를 열어 Burn Scrrubber 로 잔류가스 실린더 압력을 0Psig 될 때까지 벤트 작업을 수행한다.
제4벤트단계(S190)를 3회 반복적으로 수행하는 제2반복단계(S200)를 수행한다.
제1벤트밸브(450) 및 제2벤트밸브(550)의 폐쇄와 제1진공펌프(440) 및 제2진공펌프(540)의 가동을 통해 10 ~ 3 Torr로 진공일 때 제1진공밸브(441) 및 제2진공밸브(541)를 폐쇄하는 제2진공단계(S210)포함한다.
즉, 벤트 밸브 닫고 진공 펌프 전원을 On 하여 진공 펌프 밸브를 천천히 열어 10-3 Torr 될 때까지 진공을 잡고 진공 펌프 밸브를 닫는다.
가압단계(S180)를 2회 반복 실시하는 제3반복단계(S220)를 포함한다.
제1진공밸브(441) 및 제2진공밸브(541)를 개방하여 10 ~ 3 Torr로 진공압력을 잡고 제1진공밸브(441) 및 제2진공밸브(541)를 폐쇄하여 진공을 끝내고 잔류가스를 처리한 제1매니폴드밸브(421) 및 제2매니폴드밸브(521)를 닫는 처리단계(S230)를 포함한다.
즉, 진공 펌프 밸브를 천천히 열어 10-3 Torr 될 때까지 진공을 잡고 진공 펌프 밸브를 닫은 후 진공이 끝나면 잔류가스 처리한 실린더 밸브를 닫아 완료한다.
상기와 같이 구성된 본 발명을 제공함으로써, 각종 산업에서 사용되는 유해가스 중 수소화합물계 가스의 농도를 허용농도 이하로 정화할 수 있는 효과가 있다.
이상에 설명한 본 명세서 및 청구범위에 사용되는 용어 및 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 본 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
따라서, 본 명세서에 기재된 도면 및 실시 예에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 하나의 실시 예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것이 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
100: 질소탱크 110: 질소밸브
120: 잔류가스라인 200: 정화장치
210: 가열정화기 220: 흡착정화기
300: 가습정화기 400: 디보란믹스룸
410: 제1잔류가스라인 420: 제1잔류가스매니폴드
421: 제1매니폴드밸브 430: 제1질소밸브
440: 제1진공펌프 441: 제1진공밸브
450: 제1벤트밸브 500: 포스핀믹스룸
510: 제2잔류가스라인 520: 제2잔류가스매니폴드
521: 제2매니폴드밸브 530: 제2질소밸브
540: 제2진공펌프 541: 제2진공밸브
550: 제2벤트밸브 S100: 확인단계
S110: 제1검사단계 S120: 제1벤트단계
S130: 제1반복단계 S140: 제1진공단계
S150: 제2벤트단계 S160: 제2검사단계
S170: 제3벤트단계 S180: 가압단계
S190: 제4벤트단계 S200: 제2반복단계
S210: 제2진공단계 S220: 제3반복단계
S230: 처리단계
120: 잔류가스라인 200: 정화장치
210: 가열정화기 220: 흡착정화기
300: 가습정화기 400: 디보란믹스룸
410: 제1잔류가스라인 420: 제1잔류가스매니폴드
421: 제1매니폴드밸브 430: 제1질소밸브
440: 제1진공펌프 441: 제1진공밸브
450: 제1벤트밸브 500: 포스핀믹스룸
510: 제2잔류가스라인 520: 제2잔류가스매니폴드
521: 제2매니폴드밸브 530: 제2질소밸브
540: 제2진공펌프 541: 제2진공밸브
550: 제2벤트밸브 S100: 확인단계
S110: 제1검사단계 S120: 제1벤트단계
S130: 제1반복단계 S140: 제1진공단계
S150: 제2벤트단계 S160: 제2검사단계
S170: 제3벤트단계 S180: 가압단계
S190: 제4벤트단계 S200: 제2반복단계
S210: 제2진공단계 S220: 제3반복단계
S230: 처리단계
Claims (5)
- 질소가스를 제공하는 질소탱크(100)와;
질소가스를 제공한 후 연결된 제1잔류가스라인(410) 및 제2잔류가스라인(510)을 따라 상기 질소탱크(100)의 잔류가스에 대해 가열 및 가습을 통해 질소를 정화하는 정화장치(200)와;
상기 제1잔류가스라인(410)을 따라 상기 정화장치(200)를 통해 디보란가스를 흡입 수용하는 디보란믹스룸(400)과;
상기 제2잔류가스라인(510)을 따라 상기 정화장치(200)를 통해 포스핀가스를 흡입 수용하는 포스핀믹스룸(500)과;
상기 제1잔류가스라인(410) 및 제2잔류가스라인(510)의 전방에는 상기 질소탱크(100)의 잔류가스를 상기 제1잔류가스라인(410) 및 제2잔류가스라인(510)에 100Bar의 압력으로 가열정화기(210) 측으로 충전하는 제1질소밸브(430) 및 제2질소밸브(530)를 포함하는 독성 및 유해 잔류가스 처리 시스템을 이용 처리 방법에 있어서,
상기 질소탱크(100)의 메인질소밸브(110)를 개방하고, 가열정화기(210)의 가동 및 흡착정화기(220)를 가동하여 상기 가열정화기(210)를 850도씨 온도 유지를 포함하여 정상운전 상태를 확인하는 확인단계(S100)와;
상기 제1질소밸브(430) 및 제2질소밸브(530)를 개방하여 제1잔류가스매니폴드(420) 및 제2잔류가스매니폴드(520)에 100Bar 충전하여 상기 제1잔류가스라인(410) 및 제2잔류가스라인(510) 및 연결부위에 유출(Leak)을 검사하는 제1검사단계(S110)와;
상기 제1잔류가스라인(410) 및 제2잔류가스라인(510)에 압력을 벤트하고, 상기 제1질소밸브(430) 및 제2질소밸브(530)를 개방하여 10Bar 충전하고, 충전압력을 상기 가열정화기(210) 측으로 벤트하는 제1벤트단계(S120)와;
상기 제1벤트단계(S120)를 3회 반복적으로 수행하는 제1반복단계(S130)와;
상기 제1잔류가스매니폴드(420) 및 제2잔류가스매니폴드(520)에 제1진공밸브(441) 및 제2진공밸브(541)를 개방하여 10 ~ 3 Torr 진공 압력을 제공하여 진공상태를 유지하는 제1진공단계(S140)와;
상기 제1질소밸브(430) 및 제2질소밸브(530)를 개방하여 질소를 상기 제1잔류가스라인(410) 및 제2잔류가스라인(510)을 통해 30 NL/min 유량으로 10분 동안 상기 가열정화기(210) 측으로 벤트하는 제2벤트단계(S150)와;
잔류가스를 수용하는 제1매니폴드밸브(421) 및 제2매니폴드밸브(521)를 개방하여 잔류가스를 유동하는 중 유출(Leak)을 검사하는 제2검사단계(S160)와;
유출 검사 후 처리하고자 하는 상기 제1잔류가스매니폴드(420) 및 제2잔류가스매니폴드(520)에 해당하는 제1질소밸브(430) 및 제2질소밸브(530) 및 제1벤트밸브(450) 및 제2벤트밸브(550)를 개방하여 4Bar 제어(Regulator) 압력 및 30NL/min 유량으로 상기 가열정화기(210)의 해당 실린더에 대한 절대압력을 0으로 벤트하는 제3벤트단계(S170)와;
상기 제1벤트밸브(450) 및 제2벤트밸브(550)의 폐쇄, 상기 제1질소밸브(430) 및 제2질소밸브(530)의 개방으로 질소가스를 실린더의 10Bar 압력으로 충전하고 상기 제1질소밸브(430) 및 제2질소밸브(530)를 폐쇄하는 가압단계(S180)와;
상기 제1벤트밸브(450) 및 제2벤트밸브(550)를 열어 상기 가열정화기(210)로 잔류가스 실린더에 절대압력을 0이 될 때까지 벤트하는 제4벤트단계(S190)와;
상기 제4벤트단계(S190)를 3회 반복적으로 수행하는 제2반복단계(S200)와;
상기 제1벤트밸브(450) 및 제2벤트밸브(550)의 폐쇄와 제1진공펌프(440) 및 제2진공펌프(540)의 가동을 통해 10 ~ 3 Torr로 진공일 때 상기 제1진공밸브(441) 및 제2진공밸브(541)를 폐쇄하는 제2진공단계(S210)와;
상기 가압단계(S180)를 2회 반복 실시하는 제3반복단계(S220)와;
상기 제1진공밸브(441) 및 제2진공밸브(541)를 개방하여 10 ~ 3 Torr로 진공압력을 잡고 상기 제1진공밸브(441) 및 제2진공밸브(541)를 폐쇄하여 진공을 끝내고 잔류가스를 처리한 상기 제1질소밸브(430) 및 제2질소밸브(530)를 닫는 처리단계(S230)를 포함하는 것을 특징으로 하는 독성 및 유해 잔류가스 처리 시스템을 이용한 처리 방법.
- 청구항 1에 있어서,
상기 정화장치(200)는,
상기 질소탱크(100)의 잔류가스를 가열하여 정화하는 가열정화기(210)와;
상기 질소탱크(100)의 잔류가스를 가열한다음 흡착하여 정화하는 흡착정화기(220)를 포함하는 것을 특징으로 하는 독성 및 유해 잔류가스 처리 시스템을 이용한 처리 방법.
- 청구항 1에 있어서,
상기 제1질소밸브(430) 및 제2질소밸브(530)의 개폐를 통해 상기 제1잔류가스라인(410) 및 제2잔류가스라인(510)에 30 NL/min 유량으로 10분 동안 상기 가열정화기(210) 측으로 제공한 후
상기 제1잔류가스매니폴드(420) 및 제2잔류가스매니폴드(520)에 10 ~ 3 Torr 진공 압력을 제공하는 제1진공밸브(441) 및 제2진공밸브(541)와;
상기 정화장치(200)에 절대압력을 0이 될때까지 벤트하는 제1벤트밸브(450) 및 제2벤트밸브(550)를 포함하는 것을 특징으로 하는 독성 및 유해 잔류가스 처리 시스템을 이용한 처리 방법.
- 청구항 3에 있어서,
상기 정화장치(200)의 후방에는 잔류가스를 수용하는 제1잔류가스매니폴드(420) 및 제2잔류가스매니폴드(520)를 포함하며, 상기 제1잔류가스매니폴드(420) 및 제2잔류가스매니폴드(520)에는 잔류가스의 유출을 검사하기 위한 제1매니폴드밸브(421) 및 제2매니폴드밸브(521)를 포함하는 것을 특징으로 하는 독성 및 유해 잔류가스 처리 시스템을 이용한 처리 방법. - 삭제
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|---|---|---|---|
| KR1020230000370A KR102602190B1 (ko) | 2023-01-02 | 2023-01-02 | 독성 및 유해 잔류가스 처리 시스템을 이용한 처리 방법 |
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|---|---|---|---|
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-
2023
- 2023-01-02 KR KR1020230000370A patent/KR102602190B1/ko active IP Right Grant
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