KR102589952B1 - Transport vehicle - Google Patents

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겐스케 마쓰오
요시나리 와다
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Abstract

본 발명의 반송차는 반송 설비에 구비되어, 피수납물을 수납하는 수납 용기를 반송 설비 내에 설치된 반송 대상 장소에 반송한다. 수납 용기는, 상기 수납 용기의 외부와 내부 사이에서 광을 투과 가능한 창부를 가지고 있다. 반송차는, 수납 용기를 유지하는 용기 유지부와, 용기 유지부에 유지된 상태의 수납 용기를 덮는 커버부와, 수납 용기를 유지한 상태의 용기 유지부의 자세를 변경하는 자세 변경부와, 창부를 통하여 수납 용기 내부의 피수납물을 검출하는 검출부를 포함하고 있다. 검출부는, 커버부에 설치되어 있다. 자세 변경부는, 수납 용기의 반송 중에 검출부와 창부가 대향하고 있지 않은 경우에는, 검출부와 창부가 대향하는 대향 상태로 되도록, 용기 유지부의 자세를 변경한다.The transport vehicle of the present invention is provided in a transport facility and transports storage containers storing objects to be transported to a transport target location installed in the transport facility. The storage container has a window portion capable of transmitting light between the exterior and interior of the storage container. The transport vehicle includes a container holding portion that holds the storage container, a cover portion that covers the storage container held in the container holding portion, an attitude changing portion that changes the posture of the container holding portion in a state holding the storage container, and a window portion. It includes a detection unit that detects the stored object inside the storage container. The detection unit is installed in the cover unit. When the detection unit and the window unit are not facing each other during transport of the storage container, the attitude change unit changes the attitude of the container holding unit so that the detection unit and the window unit are in a facing state.

Description

반송차{TRANSPORT VEHICLE}Transport vehicle {TRANSPORT VEHICLE}

본 발명은, 반송(搬送) 설비에 구비되어, 피(被)수납물을 수납하는 수납 용기를 상기 반송 설비 내에 설치된 반송 대상 장소에 반송하는 반송차에 관한 것이다.The present invention relates to a transport vehicle that is provided in a transport facility and transports a storage container storing an object to be transported to a transport target location installed in the transport facility.

상기와 같은 반송차가 구비되는 반송 설비로서, 예를 들면 반도체 기판을 제조하기 위한 반도체 제조 설비를 들 수 있다. 통상, 반도체 제조 설비에는, 반도체 기판에 대하여 각종 처리를 행하기 위한 처리 장치가 복수 구비되어 있다. 반송차는, 이와 같은 처리 장치를 반송 대상 장소의 하나로 하여, 상기 처리 장치에, 피수납물(예를 들면, 레티클)을 수납하기 위한 수납 용기(예를 들면, 레티클 포드)를 반송하도록 구성된다.Examples of conveyance equipment equipped with the above-described transport vehicle include semiconductor manufacturing equipment for manufacturing semiconductor substrates. Typically, semiconductor manufacturing facilities are equipped with a plurality of processing devices for performing various processes on semiconductor substrates. The transport vehicle is configured to transport a storage container (for example, a reticle pod) for storing an object (for example, a reticle) to the processing apparatus, with such a processing device as one of the transport target locations.

예를 들면, 특허문헌 1(일본공개특허 평10-154646호 공보)에는, 반도체 제조 설비에 이용되는 처리 장치(노광 장치)의 내부 구조가 개시되어 있다. 특허문헌 1의 기술에서는, 처리 장치의 내부에 있어서, 레티클(R)을 이용한 노광 처리가 행해지고 있다. 그리고, 처리 장치의 내부에 있어서, 수납 분리 유닛(11)에 설치된 레티클 수납 판별 센서(15)에 의해, 수납 용기(30) 내에서의 레티클(R)의 유무를 검출하고 있다. 특허문헌 1의 기술에서는, 레티클(R)의 유무의 검출에 의해, 이미 레티클(R)이 수납되어 있는 수납 용기(30)에 대하여 다른 레티클(R)이 더 수납되는 것을 회피하고, 수납 용기(30) 내에서 레티클(R)끼리 충돌되는 것을 방지하고 있다. 이에 의해, 특허문헌 1의 기술에서는, 레티클(R)끼리의 충돌에 기인한, 수납 용기(30) 내에 있어서의 레티클(R) 파손의 억제 등이 의도되고 있다.For example, Patent Document 1 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-154646) discloses the internal structure of a processing device (exposure device) used in semiconductor manufacturing equipment. In the technology of Patent Document 1, exposure processing using a reticle R is performed inside the processing device. Then, inside the processing device, the presence or absence of the reticle R in the storage container 30 is detected by the reticle storage discrimination sensor 15 installed in the storage separation unit 11. In the technology of Patent Document 1, the presence or absence of the reticle R is detected to avoid further storing another reticle R in the storage container 30 in which the reticle R is already stored, and the storage container ( 30) to prevent reticles (R) from colliding with each other. As a result, the technology of Patent Document 1 is intended to suppress damage to the reticles (R) in the storage container 30 due to collisions between the reticles (R).

전술한 바와 같이, 특허문헌 1의 기술에서는, 수납 용기 내에 있어서의 피수납물의 유무의 검출이 처리 장치의 내부에서 행해지고 있다. 그런데, 그와 같은 처리 장치까지의 반송 과정에 있어서도, 수납 용기 내에 있어서의 피수납물을 검출할 수 있으면, 반송처(搬送處)의 선택이나 반송 속도의 설정 등에 유효하게 이용할 수 있다. 그러나, 특허문헌 1에는, 처리 장치의 외부, 예를 들면 반송차에 의한 반송 과정에서, 수납 용기 내부의 피수납물을 검출하는 기술에 대해서는 개시되어 있지 않다.As described above, in the technology of Patent Document 1, detection of the presence or absence of an object to be stored in a storage container is performed inside the processing device. However, even in the transfer process to such a processing device, if the object to be stored in the storage container can be detected, it can be effectively used for selecting the transfer destination or setting the transfer speed. However, Patent Document 1 does not disclose a technique for detecting objects inside the storage container outside of the processing device, for example, during transportation by a transport vehicle.

이에, 수납 용기의 반송 중에, 상기 수납 용기에 수납된 피수납물을 검출할 수 있는 기술이 기대된다.Accordingly, technology that can detect objects stored in the storage container while the storage container is being transported is expected.

상기를 감안한, 반송 설비에 구비되어, 피수납물을 수납하는 수납 용기를 상기 반송 설비 내에 설치된 반송 대상 장소에 반송하는 반송차의 특징 구성은, 상기 수납 용기는, 상기 수납 용기의 외부와 내부 사이에서 광을 투과 가능한 창부(窓部)를 가지고, 상기 반송차는, 상기 수납 용기를 유지하는 용기 유지부와, 상기 용기 유지부에 유지된 상태의 상기 수납 용기를 덮는 커버부와, 상기 수납 용기를 유지한 상태의 상기 용기 유지부의 자세를 변경하는 자세 변경부와, 상기 창부를 통하여 상기 수납 용기 내부의 상기 피수납물을 검출하는 검출부를 포함하고, 상기 검출부는 상기 커버부에 설치되고, 상기 자세 변경부는, 상기 수납 용기의 반송 중에 상기 검출부와 상기 창부가 대향하고 있지 않은 경우에는, 상기 검출부와 상기 창부가 대향하는 대향 상태로 되도록, 상기 용기 유지부의 자세를 변경하는 점에 있다.In consideration of the above, the characteristic configuration of the transport vehicle provided in the transport facility and transporting the storage container for storing the object to be transported to the transport target location installed in the transport facility is that the storage container is located between the outside and the inside of the storage container. It has a window portion capable of transmitting light, and the transport vehicle includes a container holding portion that holds the storage container, a cover portion that covers the storage container in a state held in the container holding portion, and the storage container. a posture changer that changes the posture of the container holding portion in a maintained state, and a detection portion that detects the object to be stored inside the storage container through the window portion, the detection portion being installed in the cover portion, and the posture. The changing unit is configured to change the posture of the container holder so that when the detection unit and the window unit are not facing each other during transport of the storage container, the detection unit and the window unit are in an opposing state.

본 구성에 의하면, 수납 용기가 용기 유지부에 유지된 상태로 반송되고 있는 도중에, 커버부에 구비된 검출부에 의해, 수납 용기 창부를 통하여 상기 수납 용기 내부의 피수납물을 검출할 수 있다. 또한, 이와 같은 피수납물의 검출 시에, 검출부와 수납 용기 창부가 대향하고 있지 않은 경우에는, 자세 변경부에 의해 용기 유지부의 자세를 변경하고, 검출부와 수납 용기 창부를 대향 상태로 함으로써, 검출부에 의해 수납 용기 내부의 피수납물을 검출할 수 있다. 따라서, 반송 중의 수납 용기의 방향에 관계없이, 수납 용기 내부의 피수납물을 검출할 수 있다.According to this configuration, while the storage container is being transported while being held in the container holder, the object to be stored inside the storage container can be detected through the storage container window portion by the detection portion provided in the cover portion. Additionally, when detecting such a stored object, if the detection unit and the storage container window are not facing each other, the attitude of the container holder is changed by the attitude change unit, and the detection unit and the storage container window are made to face each other, so that the detection unit This makes it possible to detect the stored object inside the storage container. Therefore, regardless of the direction of the storage container during transport, the stored object inside the storage container can be detected.

본 개시에 관한 기술의 새로운 특징과 이점은, 도면을 참조하여 기술하는 이하의 예시적이고 또한 비한정적인 실시형태의 설명에 의해 보다 명확해질 것이다.New features and advantages of the technology related to the present disclosure will become clearer by the following description of exemplary and non-limiting embodiments described with reference to the drawings.

[도 1] 반송 설비의 레이아웃 일례를 나타내는 평면도이다.
[도 2] 수납 용기가 이송탑재(移載)되는 모양을 나타내는 설명도이다.
[도 3] 반송차의 측면도이다.
[도 4] 반송 설비의 제어 블록도이다.
[도 5] 수납 용기 창부와 검출부의 배치 관계를 나타내는 평면 모식도이다.
[도 6] 반송차의 동작 처리를 나타내는 플로차트다.
[도 7] 확인 처리를 나타내는 플로차트다.
[도 8] 제2 실시형태에 관한 반송처 자세 변경 처리의 실행 시기의 판정 처리를 나타내는 플로차트다.[Figure 1] A plan view showing an example of the layout of conveyance equipment.
[Figure 2] is an explanatory diagram showing how a storage container is transported and mounted.
[Figure 3] A side view of the transport vehicle.
[Figure 4] is a control block diagram of the conveyance equipment.
[FIG. 5] is a plan schematic diagram showing the arrangement relationship between the storage container window portion and the detection portion.
[Figure 6] This is a flow chart showing the operation processing of the transport vehicle.
[Figure 7] is a flow chart showing confirmation processing.
[FIG. 8] is a flowchart showing the judgment processing of the execution timing of the transfer destination attitude change processing according to the second embodiment.

1. 제1 실시형태1. First embodiment

제1 실시형태에 관한 반송차에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 도 1 및 2에 나타낸 바와 같이, 반송차(1)는 반송 설비(100)에 구비되어 있다. 반송차(1)는, 피수납물(7)을 수납하는 수납 용기(8)를 반송 설비(100) 내에 설치된 반송 대상 장소(T)에 반송한다.The transport vehicle according to the first embodiment will be described with reference to the drawings. As shown in Figures 1 and 2, the transport vehicle 1 is provided in the transport facility 100. The transport vehicle 1 transports the storage container 8 storing the object 7 to the transport target location T installed in the transport facility 100 .

본 실시형태에서는, 반송차(1)는, 수납 용기(8)로서의 제1종 수납 용기(81)에 더하여, 이 제1종 수납 용기(81)와는 형상이 상이한 제2종 수납 용기(82)를 반송한다. 그리고, 제2종 수납 용기(82)에는, 피수납물(7)로서의 제1종 피수납물(71)과는 상이한 제2종 피수납물(72)이 수납된다. 이와 같이, 반송차(1)는, 제1종 피수납물(71)을 수납하기 위한 제1종 수납 용기(81)와, 제2종 피수납물(72)을 수납하기 위한 제2종 수납 용기(82)를 반송한다. 반송 설비(100)는, 예를 들면 반도체 기판을 제조하기 위한 반도체 제조 설비에 적용할 수 있다. 이 경우, 반송차(1)는, 반도체 제조 설비에 있어서 각종 물품을 반송하기 위해 이용된다. 이하, 반송차(1) 및 반송 설비(100)가 반도체 제조 설비에 적용되는 경우를 예로 설명한다.In this embodiment, the transport vehicle 1 includes, in addition to the first type storage container 81 as the storage container 8, a second type storage container 82 whose shape is different from the first type storage container 81. returns. And, in the second type storage container 82, a second type stored object 72 that is different from the first type stored object 71 as the stored object 7 is stored. In this way, the transport vehicle 1 includes a first-type storage container 81 for storing the first-type stored object 71 and a second-type storage container for storing the second type stored object 72. Container 82 is returned. The transfer facility 100 can be applied to, for example, a semiconductor manufacturing facility for manufacturing semiconductor substrates. In this case, the transport vehicle 1 is used to transport various articles in a semiconductor manufacturing facility. Hereinafter, a case where the transport vehicle 1 and the transport facility 100 are applied to a semiconductor manufacturing facility will be described as an example.

1-1. 반송 설비 및 반송차의 기계적 구성1-1. Mechanical composition of transport equipment and transport vehicle

도 1에 나타낸 바와 같이, 반송 설비(100)에는, 노광 처리나 에칭 처리 등의 각종 처리를 행하기 위한 처리 장치(91)가 복수 설치되어 있다. 반송 설비(100)에서는, 반도체 기판의 재료로 되는 웨이퍼나, 반도체 기판의 제조 과정에서 웨이퍼의 노광 처리에 이용되는 레티클 등이 반송된다. 예를 들면, 레티클은, 레티클 포드라고 불리는 전용 용기에 수납된 상태로 반송된다. 또한, 웨이퍼는, 소위 FOUP(Front Opening Unified Pod)라고 불리는 전용 용기에 수납된 상태로 반송된다. 본 실시형태에서는, 레티클이 「제1종 피수납물」에 상당하고, 레티클을 수납하기 위한 레티클 포드가 「수납 용기로서의 제1종 수납 용기」에 상당한다. 또한, 웨이퍼가 「제2종 피수납물」에 상당하고, FOUP가 「제2종 수납 용기」에 상당한다. 그리고, 반송차(1)는 상황에 따라서, 제1종 피수납물(71)이 수납된 제1종 수납 용기(81)를 반송하는 경우도 있으면, 제1종 피수납물(71)이 수납되어 있지 않은 빈 제1종 수납 용기(81)를 반송하는 경우가 있다. 마찬가지로, 반송차(1)는 상황에 따라서, 제2종 피수납물(72)이 수납된 제2종 수납 용기(82)를 반송하는 경우도 있으면, 제2종 피수납물(72)이 수납되어 있지 않은 빈 제2종 수납 용기(82)를 반송하는 경우가 있다.As shown in FIG. 1, a plurality of processing devices 91 for performing various processes such as exposure processing and etching processing are installed in the conveyance facility 100. In the transfer facility 100, wafers used as materials for semiconductor substrates, reticles used for exposure processing of wafers during the manufacturing process of semiconductor substrates, etc. are transferred. For example, a reticle is transported while stored in a dedicated container called a reticle pod. Additionally, the wafer is transported while stored in a dedicated container called a so-called FOUP (Front Opening Unified Pod). In this embodiment, the reticle corresponds to a “type 1 stored object,” and the reticle pod for storing the reticle corresponds to a “type 1 storage container as a storage container.” Additionally, the wafer corresponds to a “type 2 stored object,” and the FOUP corresponds to a “type 2 storage container.” Also, depending on the situation, the transport vehicle 1 may transport the type 1 storage container 81 in which the type 1 item 71 is stored. There are cases where an empty type 1 storage container 81 is transported. Similarly, depending on the situation, the transport vehicle 1 may transport the type 2 storage container 82 in which the type 2 item 72 is stored. There are cases where an empty type 2 storage container 82 is transported.

도 1에 나타낸 바와 같이, 반송 설비(100)에는, 제1종 수납 용기(81)[제1종 피수납물(71)] 또는 제2종 수납 용기(82)[제2종 피수납물(72)]를 보관하기 위한 보관고(92)와, 제1종 수납 용기(81) 및 제2종 수납 용기(82)를 일시적으로 보관하기 위한 일시 보관 장소(93)가 설치되어 있다. 보관고(92)에는, 예를 들면 사용 전 또는 사용 후의 제1종 피수납물(71)이 수납된 제1종 수납 용기(81)나, 제조 도중의 제2종 피수납물(72)이 수납된 제2종 수납 용기(82)가 보관된다. 또한, 도 1에 나타낸 바와 같이, 일시 보관 장소(93)는, 예를 들면 처리 장치(91)의 근방에 설치된다. 예를 들면 일시 보관 장소(93)에는, 다른 제2종 피수납물(72)이 처리 장치(91)에 의해 처리되고 있는 동안, 다음에 처리되는 것을 기다리는 제2종 피수납물(72)이, 제2종 수납 용기(82)에 수납된 상태에서 일시적으로 보관된다. 또는, 제2종 피수납물(72)의 처리가 종료되는 것을 기다리는 빈 제2종 수납 용기(82)가 일시적으로 보관된다. 또한, 제1종 피수납물(71)의 처리가 종료되는 것을 기다리는 빈 제1종 수납 용기(81)가 일시적으로 보관되는 경우도 있다. 본 실시형태에서는, 처리 장치(91), 보관고(92) 및 일시 보관 장소(93) 중 어느 하나가, 「반송원(搬送元)」으로 되고, 상기 반송원 이외 중 어느 하나가 「반송처」로서의 반송 대상 장소(T)로 된다. 즉, 반송차(1)는, 제1종 수납 용기(81)[제1종 피수납물(71)] 또는 제2종 수납 용기(82)[제2종 피수납물(72)]를, 반송원(F)으로 되는 처리 장치(91), 보관고(92), 및 일시 보관 장소(93) 중 어느 하나로부터, 반송 대상 장소(T)가 되는 별도의 처리 장치(91), 보관고(92) 및 일시 보관 장소(93) 중 어느 하나에 반송한다.As shown in FIG. 1, the transfer facility 100 is equipped with a first-class storage container 81 (a first-class object 71) or a second-type storage container 82 (a second-type object). 72)], and a temporary storage area 93 for temporarily storing the first-type storage container 81 and the second-type storage container 82 are provided. In the storage compartment 92, for example, a type 1 storage container 81 containing a type 1 stored object 71 before or after use, or a type 2 stored object 72 during manufacturing is stored. The second type storage container 82 is stored. Additionally, as shown in FIG. 1, the temporary storage location 93 is installed, for example, near the processing device 91. For example, in the temporary storage area 93, while other type 2 stored objects 72 are being processed by the processing device 91, there is a type 2 stored object 72 waiting to be processed next. , is temporarily stored in a second-type storage container 82. Alternatively, an empty type 2 storage container 82 is temporarily stored while waiting for the processing of the type 2 stored object 72 to be completed. Additionally, there are cases where the empty first-type storage container 81 is temporarily stored while waiting for the processing of the first-type stored object 71 to be completed. In this embodiment, one of the processing device 91, the storage 92, and the temporary storage location 93 is the “transfer source,” and any one other than the above-mentioned conveyance source is the “transfer destination.” It becomes the return destination location (T). That is, the transport vehicle 1 carries a first type storage container 81 (a first type stored object 71) or a second type storage container 82 (a second type stored object 72), From one of the processing device 91, storage 92, and temporary storage location 93, which serves as the return source F, a separate processing device 91 and storage 92 serves as the return destination location T. and the temporary storage location 93.

반송차(1)는, 반송원(F)과의 사이에서 제1종 수납 용기(81) 또는 제2종 수납 용기(82)의 이송탑재(받음)를 행하고, 반송 대상 장소(T)와의 사이에서 제1종 수납 용기(81) 또는 제2종 수납 용기(82)의 이송탑재(건넴)를 행한다. 여기에서, 본 실시형태에 있어서 「이송탑재」란, 반송차(1)와 반송원(F) 또는 반송 대상 장소(T)과의 사이에서, 제1종 수납 용기(81) 또는 제2종 수납 용기(82)의 주고받음을 행하는 것을 말하는 것으로 한다. 또한, 본 실시형태에 있어서 「반송」이란, 반송원(F)에 대응하는 위치로부터 반송 대상 장소(T)에 대응하는 위치까지 제1종 수납 용기(81) 또는 제2종 수납 용기(82)를 이동시키는 것을 말하는 것으로 한다. 예를 들면, 반송차(1)는, 반송원(F)에 대응하는 위치에 있어서 제1종 수납 용기(81) 또는 제2종 수납 용기(82)를 이송탑재한 후(받은 후), 반송 대상 장소(T)에 대응하는 위치를 향하여 반송을 개시한다. 그리고, 반송차(1)는, 반송 대상 장소(T)에 대응하는 위치에 도달함으로써 반송을 종료하고, 또한 제1종 수납 용기(81) 또는 제2종 수납 용기(82)를 이송탑재한다(넘겨줌).The transport vehicle 1 transfers and loads (receives) the first-type storage container 81 or the second-type storage container 82 between the transport source F and the transport target location T. The first type storage container 81 or the second type storage container 82 is transferred and loaded (handed over). Here, in this embodiment, “transfer loading” means the type 1 storage container 81 or type 2 storage between the transport vehicle 1 and the transport source F or the transport target location T. It refers to the giving and receiving of courage (82). In addition, in this embodiment, “transfer” means transporting the first-type storage container 81 or the second-type storage container 82 from the position corresponding to the transport source F to the position corresponding to the transport target location T. This refers to moving the . For example, the transport vehicle 1 transports (receives) the first-type storage container 81 or the second-type storage container 82 at a position corresponding to the transport source F, and then transports the first-type storage container 81 or the second-type storage container 82. Conveyance is started toward the location corresponding to the target location T. Then, the transport vehicle 1 ends the transport by reaching the position corresponding to the transport target location T, and further transports and mounts the first type storage container 81 or the second type storage container 82 ( handed over).

도 1∼도 3에 나타낸 바와 같이, 반송차(1)는 처리 장치(91), 보관고(92) 및 일시 보관 장소(93) 등의 복수의 반송 대상 장소(T)[또는 반송원(F)]을 경유하는 반송 경로(99)를 따라 주행하도록 구성되어 있다. 본 실시형태에서는, 반송 경로(99)는 설비의 천장에 매달린 주행 레일(Ra)에 의해 구성되며, 반송차(1)는 천장 반송차로서 구성되어 있다.As shown in FIGS. 1 to 3, the transport vehicle 1 has a plurality of transport target locations T (or transport source F), such as a processing device 91, a storage warehouse 92, and a temporary storage location 93. It is configured to travel along a conveyance path 99 passing through ]. In this embodiment, the transport path 99 is constituted by a running rail Ra suspended from the ceiling of the facility, and the transport vehicle 1 is configured as a ceiling transport car.

반송원(F) 또는 반송 대상 장소(T)로서의 처리 장치(91), 보관고(92) 및 일시 보관 장소(93)의 각각은, 제1종 수납 용기(81) 또는 제2종 수납 용기(82)를 탑재하기 위한 탑재대(St)(스테이션)를 가지고 있다. 여기서는, 각 탑재대(St)는 반송 경로(99)[주행 레일(Ra)]와 평면에서 볼 때 겹치도록 배치되어 있다. 예를 들면, 처리 장치(91)에 있어서 레티클[제1종 피수납물(71)]을 이용한 노광 처리가 행해지는 경우, 도 2에 나타낸 바와 같이, 처리 장치(91)에는, 레티클[제1종 피수납물(71)]이 탑재되기 위한 제1종 탑재대(St1)와, 웨이퍼[제2종 피수납물(72)]가 탑재되기 위한 제2종 탑재대(St2)가 설치된다. 제1종 탑재대(St1)의 하방에는, 처리 장치(91)의 내부에서 승강 가능한 승강대(91A)가 구비되어 있다. 또한, 처리 장치(91)의 처리부(91C)에 있어서의 제2종 탑재대(St2)에 인접하는 부분에는, 상기 처리부(91C)의 내부와 연통하는 도어부(91B)가 구비되어 있다.Each of the processing device 91, the storage room 92, and the temporary storage location 93 as the return source (F) or the return target location (T) is a type 1 storage container 81 or a type 2 storage container 82. ) has a mount (St) (station) to load it. Here, each mounting table St is arranged so as to overlap the conveyance path 99 (traveling rail Ra) in plan view. For example, when exposure processing using a reticle (first type stored object 71) is performed in the processing device 91, as shown in FIG. 2, the processing device 91 includes a reticle (first type 71). A first-type mounting table (St1) for mounting a type of stored object (71) and a second-type mounting table (St2) for mounting a wafer (second type of stored object (72)) are installed. Below the first type mounting table St1, a lifting platform 91A that can be raised and lowered inside the processing device 91 is provided. Additionally, a portion of the processing unit 91C of the processing device 91 adjacent to the second type mounting table St2 is provided with a door portion 91B that communicates with the inside of the processing unit 91C.

여기에서, 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 제1종 수납 용기(81)(레티클 포드)는 본체부(81A)와, 상기 본체부(81A)로부터 위쪽으로 돌출하는 플랜지부(81B)와, 제1종 수납 용기(81)의 바닥부를 구성하고 또한 본체부(81A)에 대하여 착탈(着脫) 가능한 바닥 커버부(81C)를 가지고 있다. 제1종 피수납물(71)은 바닥 커버부(81C)에 탑재된 상태로 제1종 수납 용기(81)에 수납된다. 제1종 피수납물(71)을 수납하고 있는 제1종 수납 용기(81)가 처리 장치(91)의 제1종 탑재대(St1)에 탑재된 경우에는, 도시하지 않은 커버부 착탈 장치에 의해 제1종 피수납물(71)마다 바닥 커버부(81C)가 분리된다. 그리고, 바닥 커버부(81C)와 이것에 탑재된 제1종 피수납물(71)은, 승강대(91A)에 맡겨지고 하강하여, 처리 장치(91)의 처리부(91C) 내로 운반된다. 그리고, 제1종 피수납물(71)(레티클)은, 처리 장치(91)의 처리부(91C) 내에서 제2종 피수납물(72)(웨이퍼)의 처리에 이용된다.Here, as shown in FIGS. 2 and 3, the first type storage container 81 (reticle pod) includes a main body portion 81A, a flange portion 81B protruding upward from the main body portion 81A, and , which constitutes the bottom portion of the first type storage container 81 and also has a bottom cover portion 81C that is removable from the main body portion 81A. The first type of stored object 71 is stored in the first type storage container 81 while being mounted on the bottom cover portion 81C. When the type 1 storage container 81 storing the type 1 stored object 71 is mounted on the type 1 mounting table St1 of the processing device 91, it is attached to a cover attachment/detachment device not shown. As a result, the bottom cover portion 81C is separated for each first type of stored object 71. Then, the bottom cover portion 81C and the first type of stored object 71 mounted on it are placed on the lifting platform 91A, are lowered, and are transported into the processing section 91C of the processing device 91. And, the first type of stored object 71 (reticle) is used to process the second type of stored object 72 (wafer) within the processing unit 91C of the processing device 91.

또한, 도 2에 나타낸 바와 같이, 제2종 수납 용기(82)(FOUP)는, 본체부(82A)와, 상기 본체부(82A)로부터 위쪽으로 돌출하는 플랜지부(82B)와, 제2종 수납 용기(82)의 측벽부를 구성하고 또한 본체부(82A)에 대하여 착탈 가능한 사이드커버부(82C)를 가지고 있다. 제2종 피수납물(72)을 수납하고 있는 제2종 수납 용기(82)가 처리 장치(91)의 제2종 탑재대(St2)에 탑재된 경우에는, 도시하지 않은 커버부 착탈 장치에 의해 사이드커버부(82C)가 분리된다. 그리고, 제2종 피수납물(72)이 제2종 수납 용기(82)로부터 취출되어, 도어부(91B)을 통하여 처리 장치(91)의 처리부(91C) 내로 운반된다. 그리고, 제2종 피수납물(72)(웨이퍼)은, 처리 장치(91)의 처리부(91C) 내에서 처리된다.In addition, as shown in FIG. 2, the second type storage container 82 (FOUP) includes a main body portion 82A, a flange portion 82B protruding upward from the main body portion 82A, and a second type storage container 82 (FOUP). It constitutes a side wall portion of the storage container 82 and also has a side cover portion 82C that is removable from the main body portion 82A. When the type 2 storage container 82 storing the type 2 stored object 72 is mounted on the type 2 mounting table St2 of the processing device 91, it is attached to a cover attachment/detachment device not shown. The side cover portion 82C is separated by this. Then, the second type of stored object 72 is taken out from the second type storage container 82 and transported into the processing section 91C of the processing device 91 through the door section 91B. Then, the second type of stored object 72 (wafer) is processed within the processing unit 91C of the processing device 91.

처리 장치(91)에 있어서의 처리가 종료되면, 제1종 피수납물(71)(레티클)은 제1종 수납 용기(81)(레티클 포드)로 되돌아가고, 제2종 피수납물(72)(웨이퍼)은 제2종 수납 용기(82)(FOUP)로 되돌아간다. 그리고, 제1종 수납 용기(81) 및 제2종 수납 용기(82)는, 반송차(1)에 의해 다음 반송 대상 장소(T)로 반송된다. When processing in the processing device 91 is completed, the first type stored object 71 (reticle) returns to the first type storage container 81 (reticle pod), and the second type stored object 72 ) (wafer) is returned to the second type storage container 82 (FOUP). Then, the first type storage container 81 and the second type storage container 82 are transported to the next transport target location T by the transport vehicle 1.

도 3에 나타낸 바와 같이, 반송차(1)는 차체 주행부(11)와, 차체 본체부(13)와, 이들 차체 주행부(11)와 차체 본체부(13)를 연결하는 연결부(12)를 포함하고 있다. 차체 주행부(11)는, 주행 레일(Ra)의 상측에 배치되어 있다. 차체 본체부(13)는, 연결부(12)에 의해 차체 주행부(11)에 연결되어, 주행 레일(Ra)의 하측에 배치되어 있다.As shown in FIG. 3, the transport vehicle 1 includes a vehicle body traveling portion 11, a vehicle body portion 13, and a connection portion 12 connecting these vehicle body traveling portions 11 and the vehicle body portion 13. It includes. The vehicle body traveling portion 11 is disposed above the traveling rail Ra. The vehicle body main body 13 is connected to the vehicle body traveling section 11 by a connecting portion 12 and is disposed below the traveling rail Ra.

차체 주행부(11)는, 주행 레일(Ra) 상을 전동(轉動)하는 복수의 주행륜(11A)을 가지고 있다. 복수의 주행륜(11A) 중 적어도 어느 하나는, 주행용 모터(11M)에 의해 구동되어 주행 레일(Ra) 상을 전동한다.The vehicle body traveling section 11 has a plurality of running wheels 11A that roll on the running rail Ra. At least one of the plurality of running wheels 11A is driven by the traveling motor 11M and rotates on the traveling rail Ra.

또한, 반송차(1)는, 제1종 수납 용기(81)를 유지하는 용기 유지부(14)과, 용기 유지부(14)에 유지된 상태의 제1종 수납 용기(81)를 덮는 커버부(17)와, 제1종 수납 용기(81)를 유지한 상태의 용기 유지부(14)의 자세를 변경하는 자세 변경부(15)를 포함하고 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 반송차(1)는, 용기 유지부(14)를 승강시키는 승강부(16)를 포함하고 있다.In addition, the transport vehicle 1 includes a container holder 14 that holds the first type storage container 81, and a cover that covers the first type storage container 81 held in the container holder 14. It includes a portion 17 and an attitude changing portion 15 that changes the posture of the container holding portion 14 in a state in which the first type storage container 81 is held. Additionally, in this embodiment, the transport vehicle 1 includes a lifting part 16 that raises and lowers the container holding part 14.

또한, 용기 유지부(14)는, 제1종 수납 용기(81)의 피파지부를 파지하는 것에 의해, 상기 제1종 수납 용기(81)를 유지하도록 구성되어 있다. 용기 유지부(14)는, 제1종 수납 용기(81)의 피파지부인 플랜지부(81B)를 파지하는 한 쌍의 파지 클로(claw)(14A)와, 한 쌍의 파지 클로(14A)를 구동하는 파지용 모터(14M)(도 4 참조)를 가지고 있다. 한 쌍의 파지 클로(14A)는 파지용 모터(14M)에 의해 구동되어, 서로 접근하는 방향으로 이동하여 플랜지부(81B)를 파지하는 파지 자세와, 서로 이격되는 방향으로 이동하여 플랜지부(81B)에 대한 파지를 해제하는 해제 자세로 변경 가능하게 구성되어 있다.Additionally, the container holding portion 14 is configured to hold the type 1 storage container 81 by holding the gripped portion of the type 1 storage container 81 . The container holding portion 14 includes a pair of gripping claws 14A for gripping the flange portion 81B, which is a gripped portion of the first type storage container 81, and a pair of gripping claws 14A. It has a gripping motor 14M (see FIG. 4) that drives it. The pair of gripping claws 14A are driven by the gripping motor 14M, and have a gripping posture in which they move in a direction approaching each other to grip the flange portion 81B, and move in a direction away from each other to grasp the flange portion 81B. ) is configured to be changeable to a release posture that releases the grip.

승강부(16)는, 용기 유지부(14) 및 이것에 유지된 제1종 수납 용기(81)를 승강시킨다. 승강부(16)는, 도 3에 나타내는 홈 포지션 HP와, 도 2에 나타내는 이송탑재 포지션 TP 사이에서 용기 유지부(14)를 승강시키는 것이 가능하게 구성되어 있다. 홈 포지션 HP는, 승강 범위에 있어서의 위쪽 위치로서, 용기 유지부(14)에 의해 유지하고 있는 제1종 수납 용기(81) 또는 제2종 수납 용기(82)가 커버부(17)에 덮힌 상태로 되는 위치이다. 이송탑재 포지션 TP는, 승강 범위에 있어서의 아래쪽 위치로서, 용기 유지부(14)에 의해 유지되고 있는 제1종 수납 용기(81) 또는 제2종 수납 용기(82)의 바닥부가 탑재대(St)에 접하는 높이로 되는 위치이다. 본 실시형태에서는, 승강부(16)는 용기 유지부(14)에 연결된 승강 벨트(16A)와, 승강 벨트(16A)가 감기는 승강 드럼(16B)과, 승강 드럼(16B)을 회전 구동시키는 승강용 모터(16M)를 가지고 있다. 승강용 모터(16M)에 의해 승강 드럼(16B)이 구동되는 것에 의해, 승강 벨트(16A)의 감기 또는 풀기가 행해지고, 용기 유지부(14)가 승강한다. 또한, 본 실시형태에서는, 승강부(16)는, 용기 유지부(14)의 승강량을 검출하는 승강량 센서(16S)를 더 가지고 있다(도 4 참조). 승강량 센서(16S)는, 예를 들면 승강 드럼(16B)의 회전수나 회전하는 시간 등에 기초하여 용기 유지부(14)의 승강량을 검출 가능하게 구성되어 있다. 반송차(1)는 승강량 센서(16S)에 의해, 상하 방향에 있어서의 용기 유지부(14)의 위치를 파악 가능하게 되어 있다. 이에 의해, 반송차(1)는, 용기 유지부(14)가 홈 포지션 HP에 있는지의 여부, 또는, 이송탑재 포지션 TP에 있는지의 여부도 파악 가능하게 되어 있다.The lifting unit 16 raises and lowers the container holding unit 14 and the first type storage container 81 held there. The lifting unit 16 is configured to enable the container holding unit 14 to be raised and lowered between the home position HP shown in FIG. 3 and the transfer position TP shown in FIG. 2. The home position HP is the upper position in the lifting range, where the first type storage container 81 or the second type storage container 82 held by the container holding portion 14 is covered with the cover portion 17. This is the position where the state is. The transfer loading position TP is the lower position in the lifting range, and the bottom of the first type storage container 81 or the second type storage container 82 held by the container holding portion 14 is positioned on the mounting table (St). ) is a position that is at a height that is in contact with ). In this embodiment, the lifting part 16 includes a lifting belt 16A connected to the container holding part 14, a lifting drum 16B around which the lifting belt 16A is wound, and a rotating drive of the lifting drum 16B. It has a lifting motor (16M). When the lifting drum 16B is driven by the lifting motor 16M, the lifting belt 16A is wound or unwound, and the container holder 14 is raised/lowered. In addition, in this embodiment, the lifting part 16 further has a lifting amount sensor 16S that detects the lifting amount of the container holding part 14 (see Fig. 4). The lifting amount sensor 16S is configured to be able to detect the lifting amount of the container holder 14 based on, for example, the number of rotations or rotation time of the lifting drum 16B. The transport vehicle 1 is capable of detecting the position of the container holder 14 in the vertical direction using the lifting amount sensor 16S. As a result, the transport vehicle 1 can determine whether the container holder 14 is at the home position HP or at the transfer position TP.

커버부(17)는, 반송차(1)의 주행 방향의 앞쪽에 설치된 전부(前部)(17A)와, 뒤쪽에 설치된 후부(後部)(17C)와, 전부(17A)과 후부(17C)를 연결하는 중간부(17B)를 가지고 있다. 전부(17A)는, 홈 포지션 HP에 있는 용기 유지부(14)를 주행 방향의 앞쪽으로부터 덮고 있다. 후부(17C)는, 홈 포지션 HP에 있는 용기 유지부(14)를 주행 방향의 뒤쪽으로부터 덮고 있다. 중간부(17B)는, 홈 포지션 HP에 있는 용기 유지부(14)를 위쪽으로부터 덮고 있다. 본 실시형태에서는, 커버부(17)는, 평면에서 볼 때 주행 방향으로 직교하는 폭 방향의 일방측으로부터 홈 포지션 HP에 있는 용기 유지부(14)를 덮는 측부(側部)(17D)를 더 가지고 있다. 측부(17D)의 전단부(前端部)는 커버부(17)의 앞쪽에 있어서 전부(17A)와 연결되어 있다. 측부(17D)의 후단부(後端部)는 커버부(17)의 뒤쪽에 있어서 후부(17C)와 연결되어 있다. 측부(17D)의 상단부는 커버부(17) 상측에 있어서 중간부(17B)와 연결되어 있다. 바꾸어 말하면, 커버부(17)는, 평면에서 볼 때 주행 방향에 직교하는 폭 방향의 일방측 및 하방이 개방된 형상으로 되어 있다.The cover portion 17 includes a front portion 17A installed at the front of the transport vehicle 1 in the traveling direction, a rear portion 17C installed at the rear, and a front portion 17A and a rear portion 17C. It has a middle part (17B) that connects. The front 17A covers the container holding portion 14 at the home position HP from the front in the traveling direction. The rear portion 17C covers the container holding portion 14 at the home position HP from the rear in the traveling direction. The middle portion 17B covers the container holding portion 14 at the home position HP from above. In this embodiment, the cover portion 17 further includes a side portion 17D that covers the container holding portion 14 at the home position HP from one side in the width direction orthogonal to the traveling direction in plan view. Have. The front end of the side portion 17D is in front of the cover portion 17 and is connected to the front portion 17A. The rear end of the side portion 17D is located behind the cover portion 17 and is connected to the rear portion 17C. The upper end of the side portion 17D is connected to the middle portion 17B above the cover portion 17. In other words, the cover portion 17 has a shape in which one side and the lower side in the width direction perpendicular to the traveling direction are open in plan view.

본 실시형태에서는, 용기 유지부(14) 및 커버부(17)는 제1종 수납 용기(81)에 더하여, 제1종 수납 용기(81)와는 형상이 상이한 제2종 수납 용기(82)에도 대응하고 있다. 즉, 용기 유지부(14)는 제1종 수납 용기(81)에 더하여, 제2종 수납 용기(82)를 유지 가능하게 구성되어 있다. 보다 구체적으로는, 용기 유지부(14)는 한 쌍의 파지 클로(14A)에 의해, 제2종 수납 용기(82)의 플랜지부(82B)(도 2 참조)를 파지 가능하게 구성되어 있다. 또한, 커버부(17)는, 제1종 수납 용기(81)에 더하여, 제2종 수납 용기(82)를 덮는 것이 가능하게 구성되어 있다. 보다 구체적으로는, 커버부(17)는, 홈 포지션 HP에 있는 용기 유지부(14)에 의해 유지된 상태의 제2종 수납 용기(82)를 덮는 것이 가능하게 구성되어 있다.In this embodiment, the container holding part 14 and the cover part 17 are used not only for the first type storage container 81 but also for the second type storage container 82, which has a different shape from the first type storage container 81. We are responding. That is, the container holding part 14 is configured to be capable of holding the second type storage container 82 in addition to the first type storage container 81. More specifically, the container holding portion 14 is configured to be capable of gripping the flange portion 82B (see Fig. 2) of the second type storage container 82 with a pair of gripping claws 14A. Additionally, the cover portion 17 is configured to cover the second type storage container 82 in addition to the first type storage container 81. More specifically, the cover portion 17 is configured to cover the second type storage container 82 held by the container holding portion 14 at the home position HP.

여기에서, 각 반송원(F), 또는 각 반송 대상 장소(T)에는, 이들의 각 장소에 이송탑재할 때의 제1종 수납 용기(81)의 자세가 미리 설정되어 있다. 예를 들면, 각 처리 장치(91)에 관해서는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 상기 처리 장치(91)의 처리부(91C) 내에서 이용될 때의 제1종 피수납물(71)의 방향에 따라서, 제1종 수납 용기(81)가 이송탑재될 때의 자세가 설정되어 있다. 이에 의해, 각 처리 장치(91)에서 적절한 처리가 행해진다. 그리고, 각 보관고(92) 및 각 일시 보관 장소(93)에 관해서도 마찬가지로, 제1종 수납 용기(81)가 이송탑재될 때의 자세가 설정되어 있다. 이하에서는, 제1종 수납 용기(81)가 이송탑재될 때의 각 반송원(F), 또는 각 반송 대상 장소(T)에 대응한 자세를 「이송탑재 자세 TA」라고 칭한다. 또한, 반송원(F)과 반송 대상 장소(T)에 있어서의 이송탑재 자세 TA를 구별하는 경우에는, 반송원(F)에 대응한 자세를 「반송원 이송탑재 자세 TAF」라고 하고, 반송처로서의 반송 대상 장소(T)에 대응한 자세를 「반송처 이송탑재 자세 TAT」라고 칭하여 설명한다.Here, at each transfer source F or each transfer target location T, the posture of the type 1 storage container 81 when transported and mounted at each location is set in advance. For example, with respect to each processing device 91, as shown in FIG. 2, in the direction of the type 1 to-be-stored object 71 when used within the processing section 91C of the processing device 91, Accordingly, the posture when the first type storage container 81 is transported and mounted is set. Thereby, appropriate processing is performed in each processing device 91. Likewise, the posture when the first-type storage container 81 is transported and mounted is set for each storage room 92 and each temporary storage location 93. Hereinafter, the posture corresponding to each transfer source F or each transfer target location T when the type 1 storage container 81 is transferred is referred to as “transfer and load posture TA.” In addition, when distinguishing between the transfer position TA at the transfer source (F) and the transfer destination location (T), the attitude corresponding to the transfer source (F) is called “transfer source transfer position TAF”, and the transfer destination is called “TAF”. The posture corresponding to the transfer target location T will be described as “transfer destination transfer attitude TAT.”

자세 변경부(15)는, 제1종 수납 용기(81)를 유지한 상태의 용기 유지부(14)의 자세를 변경한다. 바꾸어 말하면, 자세 변경부(15)는, 용기 유지부(14)를 통하여, 제1종 수납 용기(81)의 자세를 변경한다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 자세 변경부(15)는 선회축(15A)과, 선회축(15A)을 구동하는 선회용 모터(15M)를 가지고 있다. 자세 변경부(15)는, 선회축(15A) 주위에 용기 유지부(14)를 선회시키도록 구성되어 있다. 여기서는, 자세 변경부(15)는, 용기 유지부(14)가 제1종 수납 용기(81)를 유지하고 있는 상태에서, 용기 유지부(14)를 통하여, 제1종 수납 용기(81)의 자세를 선회축(15A) 주위로 변경하도록 구성되어 있다. 본 예에서는, 선회축(15A)은 상하 방향을 따라 배치되어 있다. 즉, 본 실시형태에 있어서, 선회축(15A)을 따른 방향 L(또는, 축방향 L이라고도 함)은 상하 방향과 동등하고, 또한, 높이 방향이라고 바꿔 말할 수도 있다. 다만, 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 선회축(15A)은, 상하 방향에 대하여 교차하는 방향을 따라 배치되어 있어도 된다. 또한, 본 실시형태에서는, 자세 변경부(15)는 용기 유지부(14)의 선회량을 검출하는 선회량 센서(15S)를 더 가지고 있다(도 4 참조). 선회량 센서(15S)는, 예를 들면 선회축(15A)의 회전수나 회전하는 시간 등에 기초하여 용기 유지부(14)의 선회량을 검출 가능하게 구성되어 있다.The posture changing unit 15 changes the posture of the container holding unit 14 in a state in which the first type storage container 81 is held. In other words, the posture change unit 15 changes the posture of the first type storage container 81 through the container holding portion 14. As shown in Fig. 3, in this embodiment, the attitude change unit 15 has a pivot shaft 15A and a pivot motor 15M that drives the pivot shaft 15A. The attitude change unit 15 is configured to rotate the container holder 14 around the pivot axis 15A. Here, the posture change unit 15 is configured to hold the type 1 storage container 81 through the container holder 14 in a state where the container holder 14 holds the type 1 storage container 81. It is configured to change the posture around the pivot axis 15A. In this example, the pivot axis 15A is arranged along the vertical direction. That is, in this embodiment, the direction L (also referred to as the axial direction L) along the pivot axis 15A is equivalent to the up-down direction, and can also be said to be the height direction. However, it is not limited to this configuration, and the pivot axis 15A may be arranged along a direction intersecting the vertical direction. Moreover, in this embodiment, the attitude change part 15 further has a turning amount sensor 15S which detects the turning amount of the container holding part 14 (see Fig. 4). The rotation amount sensor 15S is configured to be able to detect the rotation amount of the container holder 14 based on, for example, the number of rotations or rotation time of the rotation shaft 15A.

여기에서, 도 3에 나타낸 바와 같이, 제1종 수납 용기(81)는, 상기 제1종 수납 용기(81)의 외부와 내부 사이에서 광을 투과 가능한 창부(81D)를 더 가지고 있다. 창부(81D)는 예를 들면, 제1종 수납 용기(81)(레티클 포드)의 내부를 작업자에 의해 육안으로 볼 수 있게 하기 위해 설치된다.Here, as shown in FIG. 3, the first type storage container 81 further has a window portion 81D capable of transmitting light between the outside and inside of the first type storage container 81. The window portion 81D is installed, for example, to allow the operator to visually view the inside of the type 1 storage container 81 (reticle pod).

반송차(1)는, 커버부(17)에 설치되어, 창부(81D)를 통하여 제1종 수납 용기(81)의 내부의 제1종 피수납물(71)을 검출하는 검출부(17S)를 포함하고 있다. 검출부(17S)는 커버부(17)의 내측[도시한 예에서는, 전부(17A), 중간부(17B), 후부(17C), 및 측부(17D)에 의해 둘러싸인 공간]을 향하도록, 상기 커버부(17)에 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 검출부(17S)는 커버부(17)의 전부(17A)에 장착되고, 후부(17C) 측을 향하도록 배치되어 있다. 다만, 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 검출부(17S)는 커버부(17)의 후부(17C)에 장착되어 있어도 된다. 이 경우에는, 검출부(17S)는 전부(17A) 측을 향하도록 배치되어 있으면 된다.The transport vehicle 1 includes a detection unit 17S that is installed on the cover unit 17 and detects the type 1 stored object 71 inside the type 1 storage container 81 through the window unit 81D. Contains. The detection unit 17S is directed toward the inside of the cover unit 17 (in the example shown, the space surrounded by the front 17A, middle 17B, rear 17C, and side 17D). It is installed in part (17). In this embodiment, the detection unit 17S is mounted on the front portion 17A of the cover portion 17 and is arranged to face the rear portion 17C. However, the configuration is not limited to this, and the detection unit 17S may be mounted on the rear portion 17C of the cover unit 17. In this case, the detection unit 17S may be arranged so as to face the front 17A side.

그리고, 본원에 있어서 「피수납물을 검출함」이란 피수납물(7)의 유무, 위치, 또는, 매수 등, 피수납물(7)의 존재를 검출하는 것에 의한 피수납물(7)에 관한 다양한 정보의 검출을 포함하는 의미로서 사용하고 있다. 다만, 본 실시형태에서는, 검출부(17S)는, 이와 같은 다양한 정보 중에서, 적어도 제1종 수납 용기(81) 내에 있어서의 제1종 피수납물(71)의 유무를 검출하도록 구성되어 있다.In this application, “detecting the stored object” means detecting the presence of the stored object 7, such as the presence or absence of the stored object 7, its position, or the number of sheets, etc. It is used in a sense that includes the detection of various information related to it. However, in the present embodiment, the detection unit 17S is configured to detect the presence or absence of the first type stored object 71 in the first type storage container 81 at least among various types of information.

본 실시형태에서는, 검출부(17S)로는 광을 투광하는 투광부와, 광을 수광하는 수광부를 가지는 광학식 센서를 이용한다. 검출부(17S)는, 제1종 수납 용기(81)를 유지한 용기 유지부(14)가 홈 포지션 HP에 있는 상태에서, 투광부에 의해, 창부(81D)를 통하여 제1종 수납 용기(81)의 내부에 광을 투광하도록 구성되어 있다. 그리고, 제1종 수납 용기(81)의 내부에 제1종 피수납물(71)이 있는 경우에는, 이 제1종 피수납물(71)에 반사된 반사광을 수광부에 의해 수광하도록 구성되어 있다. 이에 의해, 검출부(17S)는, 제1종 수납 용기(81)의 내부에 있어서의 제1종 피수납물(71)의 유무를 검출할 수 있다. 다만, 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 검출부(17S)는, 예를 들면 촬상 장치로서 구성되어 있어도 된다. 이 경우에, 검출부(17S)는 투광부를 구비하지 않고 2차원적으로 배치된 수광부를 구비한다. 그리고, 검출부(17S)는, 촬상한 화상에 기초하여 제1종 수납 용기(81) 내부의 제1종 피수납물(71)의 유무를 검출한다.In this embodiment, the detection unit 17S uses an optical sensor having a light transmitting unit that transmits light and a light receiving unit that receives light. The detection section 17S detects the type 1 storage container 81 through the window section 81D through the light transmitting section while the container holding section 14 holding the type 1 storage container 81 is at the home position HP. ) is configured to transmit light into the interior. Additionally, when there is a first type stored object 71 inside the first type storage container 81, the light receiving unit is configured to receive reflected light reflected by the first type stored object 71. . Thereby, the detection unit 17S can detect the presence or absence of the first type stored object 71 inside the first type storage container 81. However, it is not limited to this configuration, and the detection unit 17S may be configured as an imaging device, for example. In this case, the detection unit 17S does not have a light transmitting unit but has a light receiving unit arranged two-dimensionally. Then, the detection unit 17S detects the presence or absence of the first type stored object 71 inside the first type storage container 81 based on the captured image.

본 실시형태에서는, 검출부(17S)는 제1종 수납 용기(81)에 대응하고, 제2종 수납 용기(82)에 대응하고 있지 않다. 즉, 본 예에서는, 제2종 수납 용기(82)는 제1종 수납 용기(81)가 가지는 창부(81D)와 같이, 용기의 외부와 내부 사이에서 광을 투과 가능한 구성을 가지고 있지 않다. 그러므로, 검출부(17S)는 제2종 수납 용기(82)의 내부에 있어서의 제2종 피수납물(72)을 검출할 수 없다.In this embodiment, the detection unit 17S corresponds to the first type storage container 81 and does not correspond to the second type storage container 82. That is, in this example, the second type storage container 82 does not have a structure that allows light to transmit between the outside and inside of the container, like the window portion 81D of the first type storage container 81. Therefore, the detection unit 17S cannot detect the type 2 stored object 72 inside the type 2 storage container 82.

상기한 바와 같이, 검출부(17S)는, 광을 투과 가능한 창부(81D)를 통하여 제1종 피수납물(71)의 검출을 행한다. 그러므로, 제1종 피수납물(71)의 검출 시에는, 검출부(17S)와 제1종 수납 용기(81)의 창부(81D)가 대향하고 있을 필요가 있다. 그래서, 전술한 바와 같이, 반송차(1)는, 제1종 수납 용기(81)를 유지한 상태의 용기 유지부(14)의 자세를 변경하는 자세 변경부(15)를 포함하고 있다. 또한, 각 반송원(F)에는, 각각 대응한 이송탑재 자세 TA[반송원 이송탑재 자세 TAF]가 설정되어 있다. 그러므로, 반송차(1)가 반송원(F)에서 제1종 수납 용기(81)를 받고, 상기 제1종 수납 용기(81)를 유지한 용기 유지부(14)를 상승시켜 홈 포지션 HP로 이동시켰을 경우에, 반송원 이송탑재 자세 TAF에 따라서는, 제1종 수납 용기(81)의 반송 중에 창부(81D)와 검출부(17S)가 대향하지 않는 경우가 있다. 그래서, 제1종 수납 용기(81)의 반송 중에 검출부(17S)와 창부(81D)가 대향하고 있지 않은 경우에는, 검출부(17S)와 창부(81D)가 대향하는 대향 상태로 되도록, 자세 변경부(15)가 용기 유지부(14)의 자세를 변경한다. 이에 의해, 제1종 수납 용기(81)의 수취 시에는, 제1종 수납 용기(81)의 자세가, 상기 제1종 수납 용기(81)를 유지한 용기 유지부(14)를 홈 포지션 HP에 이동시켰을 때 창부(81D)와 검출부(17S)가 대향하지 않는 것 같은 자세여도, 제1종 수납 용기(81)의 반송 중에 제1종 수납 용기(81)의 자세를 변경하고, 상기 제1종 수납 용기(81) 내부의 제1종 피수납물(71)을 검출할 수 있다. 이하, 제1종 수납 용기(81)를 유지한 용기 유지부(14)가 홈 포지션 HP에 있는 경우에 창부(81D)와 검출부(17S)가 대향하는 대향 상태로 되는 제1종 수납 용기(81)의 자세를 「검출 자세 DA」라고 칭하여 설명한다.As described above, the detection unit 17S detects the first type of stored object 71 through the window unit 81D capable of transmitting light. Therefore, when detecting the type 1 stored object 71, the detection section 17S and the window section 81D of the type 1 storage container 81 need to face each other. Therefore, as described above, the transport vehicle 1 includes an attitude changing unit 15 that changes the attitude of the container holding unit 14 in a state in which the first type storage container 81 is held. Additionally, for each transfer source F, a corresponding transfer position TA (transfer source transfer position TAF) is set. Therefore, the transport vehicle 1 receives the first type storage container 81 from the transport source F, raises the container holding portion 14 holding the first type storage container 81 to the home position HP. In the case of movement, depending on the transfer source transfer posture TAF, the window portion 81D and the detection portion 17S may not face each other during conveyance of the first type storage container 81. Therefore, when the detection unit 17S and the window unit 81D are not facing each other during the transport of the first type storage container 81, the posture change unit is set so that the detection unit 17S and the window unit 81D are in a facing state. (15) changes the posture of the container holder (14). Accordingly, when receiving the type 1 storage container 81, the attitude of the type 1 storage container 81 is such that the container holder 14 holding the type 1 storage container 81 is placed in the home position HP. Even if the posture is such that the window portion 81D and the detection portion 17S do not face each other when moved to the The first type stored object 71 inside the type storage container 81 can be detected. Hereinafter, when the container holder 14 holding the first type storage container 81 is in the home position HP, the first type storage container 81 is in an opposing state where the window portion 81D and the detection portion 17S face each other. ) will be described by referring to it as “detection posture DA.”

여기에서, 제1종 수납 용기(81)를 유지한 용기 유지부(14)가 홈 포지션 HP에 있는 상태에서의, 창부(81D)와 검출부(17S)의 배치 관계에 대하여 도 5를 참조하여 설명한다. 도 5에서는, 평면에서 볼 때의 창부(81D)와 검출부(17S)의 배치 관계를 모식적으로 나타내고 있다. 도 5의 위쪽 도면이, 제1종 수납 용기(81)의 자세가 자세 A인 경우에 있어서의 검출부(17S)와의 배치 관계를 나타낸 것이다. 도 5의 아랫쪽 도면이, 제1종 수납 용기(81)의 자세가 자세 B인 경우에 있어서의 검출부(17S)와의 배치 관계를 나타낸 것이다.Here, the arrangement relationship between the window part 81D and the detection part 17S when the container holding part 14 holding the first type storage container 81 is in the home position HP is explained with reference to FIG. 5. do. FIG. 5 schematically shows the arrangement relationship between the window portion 81D and the detection portion 17S in a plan view. The upper drawing of FIG. 5 shows the arrangement relationship with the detection unit 17S when the posture of the first type storage container 81 is posture A. The lower drawing of FIG. 5 shows the arrangement relationship with the detection unit 17S when the posture of the first type storage container 81 is posture B.

도 5에 나타낸 바와 같이 본 실시형태에서는, 창부(81D)는, 용기 유지부(14)(도 3 등 참조)에 유지된 상태의 제1종 수납 용기(81)에 있어서의, 선회축(15A)을 기준으로 한 주위 방향 C의 일부 영역에 설치되어 있다. 본 예에서는, 창부(81D)는, 평면에서 볼 때 직사각형의 제1종 수납 용기(81)의 하나의 측면에 설치되어 있다. 그리고, 도 5의 위쪽 도면에 나타낸 바와 같이, 검출부(17S)와 창부(81D)가 대향하는 대향 상태는, 검출부(17S)와 창부(81D)가 선회축(15A)을 기준으로 한 직경 방향 R에 대향하는 상태이다. 즉, 도 5의 위쪽 도면에 나타낸 자세 A는, 검출부(17S)에 의해 제1종 피수납물(71)을 검출 가능한 검출 자세 DA를 나타내고 있다. 한편, 도 5의 아래쪽 도면에 나타낸 자세 B에서는, 검출부(17S)와 창부(81D)가 직경 방향 R에 있어서 대향하고 있지 않고, 검출부(17S)에 의해 제1종 피수납물(71)을 검출할 수 없다. 이와 같은 자세 B는, 검출 자세 DA에는 해당하지 않는다. 그리고, 도 5에 나타내는 자세 A 및 자세 B는, 반송원(F) 또는 반송 대상 장소(T)에 따라서는, 이송탑재 자세 TA에 해당될 수 있다.As shown in Fig. 5, in this embodiment, the window portion 81D is the pivot shaft 15A in the first type storage container 81 held by the container holding portion 14 (see Fig. 3, etc.). It is installed in some areas in the surrounding direction C based on ). In this example, the window portion 81D is provided on one side of the type 1 storage container 81, which is rectangular in plan view. And, as shown in the upper drawing of FIG. 5, the state in which the detection unit 17S and the window unit 81D face each other is in the radial direction R with the pivot axis 15A as the reference. It is a state opposite to . That is, the posture A shown in the upper drawing of FIG. 5 represents the detection posture DA in which the first type stored object 71 can be detected by the detection unit 17S. On the other hand, in posture B shown in the lower drawing of FIG. 5, the detection unit 17S and the window unit 81D do not face each other in the radial direction R, and the first type stored object 71 is detected by the detection unit 17S. Can not. This attitude B does not correspond to the detection attitude DA. And, posture A and posture B shown in FIG. 5 may correspond to transfer loading posture TA depending on the transfer source F or the transfer target location T.

도 3에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 검출부(17S)의 선회축(15A)에 따른 방향 L(축방향 L)의 위치가, 용기 유지부(14)에 유지된 상태의 제1종 수납 용기(81)의 창부(81D)의 위치에 대응하도록, 검출부(17S)가 배치되어 있다. 보다 구체적으로는, 검출부(17S)는, 제1종 수납 용기(81)를 유지한 용기 유지부(14)가 홈 포지션 HP에 있는 상태에서, 창부(81D)와 대향하는 위치 관계로 되도록 배치되어 있다. 본 예에서는, 창부(81D)가 축 방향 L에 직교하는 방향을 향하도록 제1종 수납 용기(81)에 설치되어 있다. 그러므로, 검출부(17S)는, 창부(81D)와 동일한 축 방향 L의 위치(상하 방향의 위치)로 되도록 배치되고, 축 방향 L에 직교하는 방향(여기서는 수평 방향)을 따라 광을 투광하도록 구성되어 있다. 다만, 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 검출부(17S)는, 창부(81D)와 대향하는 위치 관계에 있으면 되고, 축 방향 L에 있어서의 위치가 창부(81D)와 상이하도록[창부(81D)와는 상이한 높이로 되도록] 배치되어 있어도 된다.As shown in FIG. 3, in the present embodiment, the position of the detection unit 17S in the direction L (axial direction L) along the pivot axis 15A is maintained in the container holding unit 14. The detection part 17S is arranged so as to correspond to the position of the window part 81D of the container 81. More specifically, the detection unit 17S is arranged so as to be in a positional relationship opposite to the window unit 81D with the container holding unit 14 holding the first type storage container 81 at the home position HP. there is. In this example, the window portion 81D is installed in the first type storage container 81 so as to face a direction perpendicular to the axial direction L. Therefore, the detection unit 17S is arranged to be at the same position in the axial direction L (position in the vertical direction) as the window part 81D, and is configured to transmit light along a direction perpendicular to the axial direction L (horizontal direction here). there is. However, it is not limited to this configuration, and the detection unit 17S may be in a positional relationship opposite to the window unit 81D, and its position in the axial direction L may be different from the window unit 81D (different from the window unit 81D). They may be arranged so as to be at different heights.

1-2. 반송 설비 및 반송차의 제어 구성1-2. Control configuration of transfer equipment and transfer vehicles

다음에, 반송 설비(100)의 제어 구성에 대하여 도 4를 참조하여 설명한다. 반송 설비(100)는, 설비 전체를 제어하는 통괄 제어 장치(Ht)와, 반송차(1)의 동작을 제어하는 개별 제어 장치(Hm)를 구비하고 있다. 개별 제어 장치(Hm)는, 복수의 반송차(1)의 각각에 구비되어 있다. 이들 제어 장치는, 예를 들면, 마이크로컴퓨터 등의 프로세서, 메모리 등의 주변 회로 등을 구비하고 있다. 그리고, 이들 하드웨어와, 컴퓨터 등의 프로세서상에서 실행되는 프로그램과의 협동에 의해, 각 기능이 실현된다.Next, the control configuration of the transfer facility 100 will be explained with reference to FIG. 4. The conveyance facility 100 is equipped with a central control device (Ht) that controls the entire facility and an individual control device (Hm) that controls the operation of the conveyance vehicle (1). An individual control device Hm is provided on each of the plurality of transport vehicles 1. These control devices include, for example, a processor such as a microcomputer and peripheral circuits such as memory. Each function is realized through cooperation between these hardware and a program running on a processor such as a computer.

통괄 제어 장치(Ht)는, 복수의 반송차(1)[개별 제어 장치(Hm)]의 각각과 통신 가능하게 구성되어 있다. 통괄 제어 장치(Ht)는 반송차(1)에 대하여 각종 지령을 행하도록 구성되고, 반송차(1)는 통괄 제어 장치(Ht)로부터의 지령을 따라 각종 동작을 행한다. 예를 들면, 통괄 제어 장치(Ht)가 반송 지령을 행한 경우, 상기 반송 지령을 받은 반송차(1)는 지정된 반송원(F)으로부터 지정된 반송 대상 장소(T)에, 제1종 수납 용기(81) 또는 제2종 수납 용기(82)를 반송한다.The integrated control device Ht is configured to be capable of communicating with each of the plurality of transport vehicles 1 (individual control devices Hm). The central control device Ht is configured to issue various commands to the transport vehicle 1, and the transport vehicle 1 performs various operations in accordance with commands from the central control device Ht. For example, when the central control device Ht issues a transfer command, the transfer vehicle 1 that has received the transfer command is transferred from the designated transfer source F to the designated transfer target location T, with a type 1 storage container ( 81) or the second type storage container 82 is conveyed.

개별 제어 장치(Hm)는 주행용 모터(11M)를 제어하는 것에 의해, 반송차(1)의 주행을 제어하고, 승강용 모터(16M)를 제어하는 것에 의해 용기 유지부(14)의 승강을 제어하고, 파지용 모터(14M)를 제어하는 것에 의해 한 쌍의 파지 클로(14A)의 자세를 파지 자세와 해제 자세로 제어하고, 선회용 모터(15M)를 제어하는 것에 의해 용기 유지부(14)의 선회량(자세)을 제어한다. 또한, 개별 제어 장치(Hm)는 검출부(17S)를 제어하는 것에 의해 투광부에 의한 투광을 제어하고, 또한 수광부에 의한 수광의 유무를 검출 가능하게 되어 있다.The individual control device Hm controls the traveling of the transport vehicle 1 by controlling the traveling motor 11M, and raises and lowers the container holder 14 by controlling the lifting motor 16M. By controlling the gripping motor 14M, the posture of the pair of gripping claws 14A is controlled to the gripping posture and the releasing posture, and by controlling the turning motor 15M, the container holding portion 14 ) controls the amount of turning (attitude). Additionally, the individual control device Hm controls the light projection by the light transmitting unit by controlling the detection unit 17S, and is also capable of detecting the presence or absence of light received by the light receiving unit.

개별 제어 장치(Hm)는 용기 유지부(14)의 승강을 제어하는 것에 의해, 용기 유지부(14)에 유지된 상태의 제1종 수납 용기(81)의 높이(축 방향 L에 있어서의 위치)를 제어할 수 있다. 이 때, 승강량 센서(16S)의 검출값에 기초하여 제1종 수납 용기(81)의 높이를 제어할 수 있다. 또한, 개별 제어 장치(Hm)는 용기 유지부(14)의 선회량(자세)을 제어하는 것에 의해, 용기 유지부(14)에 유지된 상태의 제1종 수납 용기(81)의 자세를 검출 자세 DA와 이송탑재 자세 TA로 변경할 수 있다. 이 때, 선회량 센서(15S)의 검출값에 기초하여 제1종 수납 용기(81)의 선회량을 제어할 수 있다.The individual control device Hm controls the raising and lowering of the container holder 14, thereby controlling the height (position in the axial direction L) of the type 1 storage container 81 held in the container holder 14. ) can be controlled. At this time, the height of the first type storage container 81 can be controlled based on the detection value of the lifting amount sensor 16S. In addition, the individual control device Hm detects the posture of the type 1 storage container 81 held in the container holder 14 by controlling the rotation amount (posture) of the container holder 14. It can be changed to attitude DA and transfer attitude TA. At this time, the rotation amount of the first type storage container 81 can be controlled based on the detection value of the rotation amount sensor 15S.

1-3. 반송차의 동작 처리1-3. Movement processing of transport vehicle

다음에, 반송차(1)[개별 제어 장치(Hm)]가, 통괄 제어 장치(Ht)로부터 반송 지령을 받고 나서, 반송 대상 장소(T)에 제1종 수납 용기(81)를 건네줄(이송탑재 함) 때까지 실행되는 동작 처리에 대하여, 도 6을 참조하여 설명한다.Next, the transport vehicle 1 (individual control device Hm), after receiving a transport command from the general control device Ht, hands the type 1 storage container 81 to the transport target location T ( The operation processing executed until transfer and loading will be described with reference to FIG. 6.

개별 제어 장치(Hm)는, 통괄 제어 장치(Ht)로부터의 반송 지령이 있었을 경우에는(#1: Yes), 반송차(1)를 반송원(F)으로 주행시키고, 또한 반송원(F)으로부터 제1종 수납 용기(81)를 받는다(#2). 그리고, 개별 제어 장치(Hm)는, 반송차(1)의 반송 대상 장소(T)(반송처)를 향한 주행을 개시하는, 바꾸어 말하면, 제1종 수납 용기(81)의 반송을 개시한다(#3).When there is a transfer command from the integrated control unit Ht (#1: Yes), the individual control unit Hm causes the transport vehicle 1 to travel to the transfer source F, and further returns to the transfer source F. Receive the first type storage container (81) from (#2). Then, the individual control device Hm starts traveling of the transport vehicle 1 toward the transport target location T (transfer destination), or in other words, starts transport of the first type storage container 81 ( #3).

다음에, 개별 제어 장치(Hm)는 현 시점에서의 제1종 수납 용기(81)의 자세, 즉 반송원(F)에 대응한 반송원 이송탑재 자세 TAF가 검출 자세 DA와 동일한지의 여부를 판정한다(#4). 반송원 이송탑재 자세 TAF가 검출 자세 DA와 상이한 경우에는(#4: No), 제1종 수납 용기(81)의 자세를 반송원 이송탑재 자세 TAF로부터 검출 자세 DA로 변경한다(#5). 반송원 이송탑재 자세 TAF가 검출 자세 DA와 동일한 경우(#4: Yes), 또는, 제1종 수납 용기(81)의 자세를 검출 자세 DA로 변경한 후에는(#5), 개별 제어 장치(Hm)는 검출부(17S)에 의해, 제1종 수납 용기(81)의 내부에서의 제1종 피수납물(71)의 유무를 검출하는 피수납물 검출 처리를 행한다(#6). 그리고, 개별 제어 장치(Hm)는, 반송원 이송탑재 자세 TAF가 검출 자세 DA와 상이하다고 판정한 경우에는(#4: No), 즉시, 제1종 수납 용기(81)의 자세를 반송원 이송탑재 자세 TAF로부터 검출 자세 DA로 변경하고(#5), 피수납물 검출 처리(#6)를 가능한 한 조기에 실행하면 호적이다.Next, the individual control device Hm determines whether the attitude of the first type storage container 81 at the current time, that is, the transfer source transfer loading attitude TAF corresponding to the transfer source F, is the same as the detection attitude DA. Do it (#4). If the transfer source transfer attitude TAF is different from the detection attitude DA (#4: No), the attitude of the first type storage container 81 is changed from the transfer source transfer attitude TAF to the detection attitude DA (#5). When the transfer source transfer loading posture TAF is the same as the detection posture DA (#4: Yes), or after changing the posture of the first type storage container 81 to the detection posture DA (#5), the individual control device ( Hm) performs object detection processing to detect the presence or absence of the first type stored object 71 inside the first type storage container 81 by the detection unit 17S (#6). Then, when the individual control device Hm determines that the transfer source transfer loading attitude TAF is different from the detection attitude DA (#4: No), the individual control device Hm immediately changes the attitude of the first type storage container 81 to the transfer source transfer position. It is best to change from the mounting attitude TAF to the detection attitude DA (#5) and perform the stowed object detection process (#6) as early as possible.

그리고, 피수납물 검출 처리(#6)를 실행한 후, 개별 제어 장치(Hm)는 확인 처리를 실행한다(#7). 확인 처리(#7)는, 제1종 수납 용기(81)의 내부에 제1종 피수납물(71)이 수납되어 있는지의 여부에 기초하여, 필요에 따라 반송 대상 장소(T)(반송처)의 확인을 행하는 처리다. 이 확인 처리(#7)의 내용에 대해서는 후술한다. 다음에, 개별 제어 장치(Hm)는, 반송 대상 장소(T)(반송처)에 대응한 반송처 이송탑재 자세 TAT가 검출 자세 DA와 동일한지의 여부를 판정한다(#8). 반송처 이송탑재 자세 TAT가 검출 자세 DA와 상이한 경우에는(#8: No), 제1종 수납 용기(81)의 자세를 검출 자세 DA로부터 반송처 이송탑재 자세 TAT로 변경한다(#9). 본 실시형태에서는, 개별 제어 장치(Hm)는 자세 변경부(15)를 제어하고, 기본적으로는, 제1종 수납 용기(81)의 반송 중은 제1종 수납 용기(81)의 자세를 검출 자세 DA로 유지한다. 그리고, 반송 대상 장소(T)(반송처)와의 사이에서 제1종 수납 용기(81)를 이송탑재할 때, 제1종 수납 용기(81)의 자세를 검출 자세 DA로부터 반송처 이송탑재 자세 TAT로 변경하는 처리(이하, 「반송처 자세 변경 처리」라고 함)를 실행한다(#9). 이 반송처 자세 변경 처리(#9)를 실행하는 시기는, 반송차(1)의 주행 중이어도 되고, 반송차(1)가 반송 대상 장소(T)에 도착한 후, 반송 대상 장소(T)에 있어서 제1종 수납 용기(81)를 건네주기(#10) 전이어도 된다. 반송처 자세 변경 처리(#9)를 반송차(1)의 주행 중에 행하는 경우에는, 기본적으로는, 반송차(1)가 반송 대상 장소(T)에 도착하기 직전에 실행한다. 반송처 자세 변경 처리(#9)의 실행 후, 또는, 스텝 #8에서 반송처 이송탑재 자세 TAT와 검출 자세 DA가 동일하다고 판정된 후에는(#8: Yes), 반송차(1)는, 지정된 반송 대상 장소(T)에서 제1종 수납 용기(81)를 건네준다(#10).Then, after executing the object detection process (#6), the individual control device Hm executes the confirmation process (#7). Confirmation processing (#7) is performed based on whether the type 1 to-be-packed object 71 is stored inside the type 1 storage container 81, and, if necessary, the transfer target location T (transfer destination). ) is a process that confirms. The contents of this confirmation process (#7) will be described later. Next, the individual control device Hm determines whether the transfer destination transfer position TAT corresponding to the transfer target location T (transfer destination) is the same as the detection attitude DA (#8). If the transfer destination transfer attitude TAT is different from the detection attitude DA (#8: No), the attitude of the first type storage container 81 is changed from the detection attitude DA to the transfer destination transfer attitude TAT (#9). In this embodiment, the individual control device Hm controls the posture changing unit 15, and basically detects the posture of the type 1 storage container 81 while the type 1 storage container 81 is being transported. Maintain posture DA. Then, when transporting the type 1 storage container 81 between the transfer target location T (transfer destination), the attitude of the type 1 storage container 81 is detected from attitude DA to transfer destination transfer attitude TAT. The process to change to (hereinafter referred to as “transfer destination attitude change process”) is executed (#9). The time to execute this transfer destination attitude change processing (#9) may be while the transfer vehicle 1 is running, or after the transfer vehicle 1 arrives at the transfer target location T. Therefore, it may be before handing over the type 1 storage container 81 (#10). When the transfer destination attitude change process (#9) is performed while the transfer vehicle 1 is running, it is basically executed immediately before the transfer vehicle 1 arrives at the transfer target location T. After executing the transfer destination attitude change processing (#9), or after it is determined in step #8 that the transfer destination transfer position TAT and the detection attitude DA are the same (#8: Yes), the transport vehicle 1: Hand over the type 1 storage container (81) at the designated return destination (T) (#10).

1-3-1. 확인 처리1-3-1. Confirmation processing

여기에서, 피수납물 검출 처리(#6)의 직후에 행하는 확인 처리(#7)에 대하여 설명한다. 도 7에 나타낸 바와 같이, 확인 처리(#7)에서는, 피수납물 검출 처리(#6)의 실행에 의해 제1종 수납 용기(81)의 내부에 제1종 피수납물(71)이 있다고 판정된 경우에는(#101;Yes), 개별 제어 장치(Hm)는, 통괄 제어 장치(Ht)에 의해 지정된 반송 대상 장소(T)(반송처)가 일시 보관 장소(93)인지의 여부를 판정한다(#102). 그리고, 반송 대상 장소(T)(반송처)가 일시 보관 장소(93)라고 판정된 경우에는(#102;Yes), 개별 제어 장치(Hm)는, 그 취지를 통괄 제어 장치(Ht)에 통지하고(#103), 또한 반송 지령을 다시 요구한다(#104). 이에 의해, 통괄 제어 장치(Ht)는, 일시 보관 장소(93) 이외의 다른 반송 대상 장소(T)로 반송하도록, 반송차(1)에 대하여 반송 지령을 행한다. 즉, 개별 제어 장치(Hm)는, 일시 보관 장소(93) 이외의 새로운 반송 대상 장소(T)에 반송하도록, 통괄 제어 장치(Ht)로부터 지령된다. 그리고, 개별 제어 장치(Hm)는 행선을 새로운 반송 대상 장소(T)(반송처)로 변경하고(#105), 해당되는 새로운 반송 대상 장소(T)(반송처)를 향한 제1종 수납 용기(81)의 반송을 실행한다. 그리고, 스텝 #101에서 제1종 수납 용기(81)의 내부에 제1종 피수납물(71)이 없다고 판정된 경우(#101;No), 및 스텝 #102에서 반송 대상 장소(T)(반송처)가 일시 보관 장소(93)가 아니라고 판정된 경우에는(#102;No), 개별 제어 장치(Hm)는, 원래 지정되어 있는 반송 대상 장소(T)를 향하는 제1종 수납 용기(81)의 반송을 계속한다. 그 후, 개별 제어 장치(Hm)는 전술한 스텝 #8 이후의 처리를 실행한다.Here, the confirmation process (#7) performed immediately after the object detection process (#6) will be explained. As shown in FIG. 7, in the confirmation process (#7), the execution of the stored object detection process (#6) determines that a type 1 stored object 71 is inside the type 1 storage container 81. If it is determined (#101;Yes), the individual control device Hm determines whether the return target location T (transfer destination) specified by the general control device Ht is the temporary storage location 93. Do it (#102). Then, when it is determined that the return target location (T) (return destination) is the temporary storage location 93 (#102; Yes), the individual control device (Hm) notifies the general control device (Ht) to that effect. (#103), and also requests the return command again (#104). Thereby, the integrated control device Ht issues a conveyance command to the conveyance vehicle 1 to convey it to a conveyance target location T other than the temporary storage location 93. That is, the individual control device Hm is instructed by the integrated control device Ht to convey the material to a new transfer target location T other than the temporary storage location 93. Then, the individual control device (Hm) changes the destination to the new return target location (T) (return destination) (#105), and the first type storage container heads toward the new return target location (T) (return destination). Execute the return of (81). Then, in step #101, when it is determined that there is no type 1 stored object 71 inside the type 1 storage container 81 (#101; No), and in step #102, the transfer target location (T) ( When it is determined that the transfer destination is not the temporary storage location 93 (#102; No), the individual control device Hm is directed to the first-class storage container 81 toward the originally designated return target location T. ) continues to be returned. Afterwards, the individual control device Hm executes the processing from step #8 described above.

이와 같이, 반송차(1)는, 검출부(17S)에 의해 제1종 수납 용기(81)의 내부에 제1종 피수납물(71)이 있는 것을 검출한 경우에는, 제1종 수납 용기(81)를 일시적으로 보관하기 위한 일시 보관 장소(93)가 반송 대상 장소(T)로 되는 것을 규제한다. 본 실시형태와 같이, 제1종 피수납물(71)이, 보다 청결한 환경 하에서의 관리가 필요로 되는 레티클인 경우에는, 일시적이라도 일시 보관 장소(93)에 보관되는 것은 바람직하지 않다. 상기 구성에 의하면, 이와 같은 사태를 피할 수 있다.In this way, when the transport vehicle 1 detects that the type 1 stored object 71 is inside the type 1 storage container 81 by the detection unit 17S, the type 1 storage container ( It regulates that the temporary storage location (93) for temporarily storing 81) becomes the return target location (T). As in the present embodiment, when the type 1 stored object 71 is a reticle that requires management in a cleaner environment, it is not desirable to store it in the temporary storage location 93 even temporarily. According to the above configuration, such a situation can be avoided.

2. 제2 실시형태2. Second embodiment

다음에, 반송차(1)의 제2 실시형태에 대하여 설명한다. 본 실시형태에 관한 반송차(1)는, 동작 처리가 상기 제1 실시예와 상이하다. 그리고, 특별히 설명하지 않는 점에 대해서는 상기 제1 실시예와 동일하다.Next, a second embodiment of the transport vehicle 1 will be described. The transport vehicle 1 according to this embodiment differs from the first embodiment in its operational processing. Additionally, points not specifically described are the same as the first embodiment.

본 실시형태에서는, 반송처 자세 변경 처리를 실행하는 시기를, 반송원 이송탑재 자세 TAF, 반송처 이송탑재 자세 TAT 및 검출 자세 DA의 관계에 따라 상이하게 하고 있다.In this embodiment, the timing of executing the transfer destination attitude change process is made different depending on the relationship between the transfer source transfer attitude TAF, the transfer destination transfer attitude TAT, and the detection attitude DA.

본 실시형태에서도, 개별 제어 장치(Hm)는 기본적으로는, 제1종 수납 용기(81)의 반송 중에는, 제1종 수납 용기(81)의 자세를 검출 자세 DA로 유지한다. 그리고, 반송 대상 장소(T)(반송처)와의 사이에서 제1종 수납 용기(81)를 이송탑재할 때, 반송처 자세 변경 처리를 실행한다. 다만, 본 실시형태에서는 예외로서, 반송원(F)에 대응한 반송원 이송탑재 자세 TAF와 반송 대상 장소(T)에 대응한 반송처 이송탑재 자세 TAT가 동일한 경우이며, 상기 반송원 이송탑재 자세 TAF 및 반송처 이송탑재 자세 TAT가 검출 자세 DA와 상이한 경우에는, 개별 제어 장치(Hm)는 자세 변경부(15)를 제어하고, 제1종 수납 용기(81)의 자세가 제1종 수납 용기(81)의 반송 중에 일시적으로 창부(81D)와 검출부(17S)가 대향하는 대향 상태(검출 자세 DA)로 되도록, 용기 유지부(14)의 자세를 변경한다. 즉, 이 경우에는, 제1종 수납 용기(81)의 자세를, 피수납물 검출 처리(#6)의 실행에 필요한 기간에 한하여 검출 자세 DA로 하고, 그 외의 기간은, 서로 동일한 반송원 이송탑재 자세 TAF 및 반송처 이송탑재 자세 TAT로 유지하는 제어를 행한다.Also in this embodiment, the individual control device Hm basically maintains the attitude of the first type storage container 81 at the detection posture DA while the first type storage container 81 is being transported. Then, when transporting the type 1 storage container 81 between the transfer target location T (transfer destination), transfer destination attitude change processing is performed. However, in this embodiment, an exception is the case where the transfer source transfer and loading posture TAF corresponding to the transfer source (F) and the transfer destination transfer and loading attitude TAT corresponding to the transfer target location (T) are the same, and the transfer source transfer and loading posture TAT corresponds to the transfer target location (T). When the TAF and the transfer destination transfer loading attitude TAT are different from the detection attitude DA, the individual control device Hm controls the attitude changing unit 15, and the attitude of the type 1 storage container 81 is changed to the type 1 storage container. During the conveyance of 81, the posture of the container holder 14 is changed so that the window portion 81D and the detection portion 17S temporarily face each other (detection posture DA). That is, in this case, the posture of the first type storage container 81 is set to the detection posture DA only for the period necessary for execution of the object detection process (#6), and for the other periods, the same transfer source transfer is performed. Control is performed to maintain the loading posture TAF and the transfer destination loading posture TAT.

이와 같은, 본 실시형태에 관한 반송처 자세 변경 처리의 실행 시기의 판정 처리를, 도 8에 나타내는 플로차트를 참조하여 설명한다. 그리고, 도 8에서는, 도 6에 있어서의 스텝 #7 이후의 동작 처리를 나타내고, 스텝 #7보다 앞의 동작 처리에 대해서는 제1 실시형태와 동일하므로 생략하고 있다. 상기 판정 시에도, 먼저, 개별 제어 장치(Hm)는, 반송 대상 장소(T)(반송처)에 대응한 반송처 이송탑재 자세 TAT가 검출 자세 DA와 동일한지의 여부를 판정한다(#8). 여기에서, 반송처 이송탑재 자세 TAT가 검출 자세 DA와 동일한 경우에는(#8: Yes), 개별 제어 장치(Hm)는, 자세 변경부(15)에 의한 자세 변경을 행하지 않고, 반송 대상 장소(T)(반송처)에서 제1종 수납 용기(81)를 건네준다(#10).Such determination processing of the execution timing of the transfer destination attitude change processing according to the present embodiment will be described with reference to the flowchart shown in FIG. 8. 8 shows the operation processing after step #7 in FIG. 6, and the operation processing before step #7 is omitted since it is the same as in the first embodiment. Also at the time of the above determination, the individual control device Hm first determines whether the transfer destination transfer position TAT corresponding to the transfer target location T (transfer destination) is the same as the detection attitude DA (#8). Here, when the transfer destination transfer loading attitude TAT is the same as the detection attitude DA (#8: Yes), the individual control device Hm does not change the attitude by the attitude change unit 15, and the transfer target location ( T) (return destination) hands over the type 1 storage container (81) (#10).

한편, 반송처 이송탑재 자세 TAT가 검출 자세 DA와 상이한 경우에는(#8: No), 다음에, 반송원(F)에 대응한 반송원 이송탑재 자세 TAF가 반송처 이송탑재 자세 TAT와 동일한지의 여부를 판정한다(#22). 그리고, 반송원 이송탑재 자세 TAF가 반송처 이송탑재 자세 TAT와 동일한 경우에는(#22: Yes), 개별 제어 장치(Hm)는 자세 변경부(15)를 제어하여, 피수납물 검출 처리(#6)가 완료된 후, 즉시 반송처 자세 변경 처리를 실행한다(#23). 한편, 반송원 이송탑재 자세 TAF와 반송처 이송탑재 자세 TAT가 상이한 경우(#22: No)에는, 개별 제어 장치(Hm)는 자세 변경부(15)를 제어하여, 반송차(1)가 반송 대상 장소(T)에 도착하기 직전, 또는, 반송 대상 장소(T)에 도착한 직후에 반송처 자세 변경 처리를 실행한다(#24).On the other hand, if the transfer destination transfer attitude TAT is different from the detection attitude DA (#8: No), next, check whether the transfer source transfer attitude TAF corresponding to the transfer source F is the same as the transfer destination transfer attitude TAT. Determine whether or not (#22). And, when the transfer source transfer position TAF is the same as the transfer destination transfer position TAT (#22: Yes), the individual control device Hm controls the attitude change unit 15 to process the object detection (# After 6) is completed, transfer destination posture change processing is immediately executed (#23). On the other hand, when the transfer source transfer attitude TAF and the transfer destination transfer attitude TAT are different (#22: No), the individual control device Hm controls the attitude change unit 15, and the transfer vehicle 1 is transferred. Transfer destination posture change processing is performed immediately before arriving at the target location (T) or immediately after arriving at the target location (T) (#24).

3. 그 외의 실시형태3. Other embodiments

다음에, 반송차(1) 또는 반송 설비(100)의 그 외의 실시형태에 대하여 설명한다.Next, other embodiments of the transport vehicle 1 or the transport facility 100 will be described.

(1) 상기의 실시형태에서는, 자세 변경부(15)가, 단일의 선회축(15A) 주위에 용기 유지부(14)를 선회시키는 것에 의해, 용기 유지부(14) 및 이것에 유지된 제1종 수납 용기(81)의 자세를 변경하도록 구성되어 있는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 이와 같은 예에 한정되지 않고, 자세 변경부(15)는 예를 들면, 상이한 방향을 따라 배치되는 복수의 선회축을 가지고, 이들 복수의 선회축 주위에 용기 유지부(14)를 선회시키는 것에 의해, 용기 유지부(14) 및 이것에 유지된 제1종 수납 용기(81)의 자세를 변경하도록 구성되어 있어도 된다.(1) In the above embodiment, the posture change unit 15 rotates the container holder 14 around a single pivot axis 15A, thereby forming the container holder 14 and the agent held therein. An example configured to change the posture of the type 1 storage container 81 has been described. However, it is not limited to this example, and the posture change unit 15 has, for example, a plurality of pivot axes arranged along different directions, and the container holder 14 can be rotated around these pivot axes. This may be configured to change the posture of the container holder 14 and the first-type storage container 81 held by it.

(2) 상기의 실시형태에서는, 검출부(17S)에 의해 제1종 수납 용기(81)의 내부에 제1종 피수납물(71)이 있는 것을 검출한 경우에는, 제1종 수납 용기(81)를 일시적으로 보관하기 위한 일시 보관 장소(93)가 반송 대상 장소(T)로 되는 것을 규제하도록 구성되어 있는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 이와 같은 예에 한정되지 않고, 검출부(17S)에 의해 제1종 수납 용기(81)의 내부에 제1종 피수납물(71)이 있는 것을 검출한 경우라도, 상황에 따라서, 일시 보관 장소(93)가 반송 대상 장소(T)로 되는 것을 허용하도록 구성되어 있어도 된다.(2) In the above embodiment, when the detection unit 17S detects that the type 1 stored object 71 is inside the type 1 storage container 81, the type 1 storage container 81 An example has been described in which the temporary storage location 93 for temporarily storing ) is configured to regulate the return target location T. However, it is not limited to this example, and even when the detection unit 17S detects that the type 1 stored object 71 is inside the type 1 storage container 81, it is temporarily stored depending on the situation. The location 93 may be configured to allow it to become the transfer target location T.

(3) 상기의 실시형태에서는, 창부(81D)가, 제1종 수납 용기(81)에 있어서의 선회축(15A)을 기준으로 한 주위 방향 C의 일부의 영역에 설치되어 있는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 이와 같은 예에 한정되지 않고, 창부(81D)는, 제1종 수납 용기(81)에 있어서의 선회축(15A)을 기준으로 한 주위 방향 C의 복수의 영역, 또는, 주위 방향 C의 전역에 설치되어 있어도 된다.(3) In the above embodiment, an example in which the window portion 81D is installed in a part of the area in the circumferential direction C based on the pivot axis 15A in the first type storage container 81 is explained. did. However, it is not limited to this example, and the window portion 81D is formed in a plurality of areas in the circumferential direction C based on the pivot axis 15A in the first type storage container 81, or in the circumferential direction C. It may be installed globally.

(4) 상기의 실시형태에서는, 반송차(1)가, 제1종 수납 용기(81) 외에, 제2종 수납 용기(82)를 반송 가능하게 구성되어 있는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 이와 같은 예에 한정되지 않고, 반송차(1)는, 제1종 수납 용기(81)만을 반송하는 제1종 수납 용기(81)의 반송 전용의 반송차로서 구성되어 있어도 된다. 바꾸어 말하면, 반송차(1)가 포함하는 용기 유지부(14) 및 커버부(17)는, 제1종 수납 용기(81)에만 대응하고, 상기 제1종 수납 용기(81)와는 형상이 상이한 제2종 수납 용기(82)에는 대응하지 않도록 구성되어 있어도 된다. 또는, 반송차는, 제1종 수납 용기(81)를 포함하는 3종류 이상의 수납 용기(8)를 반송 가능하게 구성되어 있어도 된다.(4) In the above embodiment, an example in which the transport vehicle 1 is configured to transport the second type storage container 82 in addition to the first type storage container 81 has been described. However, it is not limited to this example, and the transport vehicle 1 may be configured as a transport vehicle exclusively for transport of the first type storage container 81, which transports only the first type storage container 81. In other words, the container holding portion 14 and the cover portion 17 included in the transport vehicle 1 correspond only to the first type storage container 81 and have a shape different from the first type storage container 81. It may be configured not to correspond to the second type storage container 82. Alternatively, the transport vehicle may be configured to be capable of transporting three or more types of storage containers 8 including the first type storage container 81.

(5) 상기의 실시형태에서는, 반송차(1)가 천장에 매달린 주행 레일(Ra)을 따라 주행하는 천장 반송차로서 구성되어 있는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 이와 같은 예에 한정되지 않고, 반송차(1)는 바닥면 상을 주행하는 무인 반송차로서 구성되어 있어도 된다.(5) In the above embodiment, an example has been described where the transport vehicle 1 is configured as an overhead transport car running along a running rail Ra suspended from the ceiling. However, it is not limited to this example, and the guided vehicle 1 may be configured as an unmanned guided vehicle running on the floor.

(6) 그리고, 전술한 각 실시형태에서 개시된 구성은 모순이 생기지 않는 한, 다른 실시형태에서 개시된 구성과 조합하여 적용하는 것도 가능하다. 그 외의 구성에 관해서도, 본 명세서에서 개시된 실시형태는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않는다. 따라서, 본 개시의 취지를 벗어나지 않는 범위 내에서, 적절히 각종 개변을 행할 수 있다.(6) Additionally, the configuration disclosed in each of the above-described embodiments can also be applied in combination with the configuration disclosed in other embodiments, as long as there is no conflict. As for other configurations, the embodiments disclosed in this specification are merely examples in all respects. Accordingly, various modifications may be made as appropriate without departing from the spirit of the present disclosure.

4. 상기 실시형태의 개요4. Overview of the above embodiment

이하, 상기에 있어서 설명한 반송차의 개요에 대하여 설명한다.Hereinafter, an outline of the transport vehicle described above will be described.

반송 설비에 구비되어, 피수납물을 수납하는 수납 용기를 상기 반송 설비 내에 설치된 반송 대상 장소에 반송하는 반송차로서, 상기 수납 용기는, 이 수납 용기의 외부와 내부 사이에서 광을 투과 가능한 창부를 가지고, 상기 반송차는, 상기 수납 용기를 유지하는 용기 유지부와, 상기 용기 유지부에 유지된 상태의 상기 수납 용기를 덮는 커버부와, 상기 수납 용기를 유지한 상태의 상기 용기 유지부의 자세를 변경하는 자세 변경부와, 상기 창부를 통하여 상기 수납 용기 내부의 상기 피수납물을 검출하는 검출부를 포함하고, 상기 검출부는 상기 커버부에 설치되고, 상기 자세 변경부는, 상기 수납 용기의 반송 중에 상기 검출부와 상기 창부가 대향하고 있지 않은 경우에는, 상기 검출부와 상기 창부가 대향하는 대향 상태로 되도록 상기 용기 유지부의 자세를 변경한다.A transport vehicle provided in a transport facility to transport a storage container storing objects to be transported to a transport target location installed in the transport facility, wherein the storage container has a window portion capable of transmitting light between the outside and the inside of the storage container. wherein the transport vehicle changes the posture of the container holder holding the storage container, the cover portion covering the storage container held in the container holder, and the container holder in the state holding the storage container. a posture changer that detects the object to be stored inside the storage container through the window portion; When the and the window portions are not facing each other, the posture of the container holding portion is changed so that the detection portion and the window portion face each other.

본 구성에 의하면, 수납 용기가 용기 유지부에 유지된 상태로 반송되고 있는 도중에, 커버부에 구비된 검출부에 의해, 수납 용기 창부를 통하여 상기 수납 용기 내부의 피수납물을 검출할 수 있다. 또한, 이와 같은 피수납물의 검출 시에, 검출부와 수납 용기 창부가 대향하고 있지 않은 경우에는, 자세 변경부에 의해 용기 유지부의 자세를 변경하고, 검출부와 수납 용기 창부를 대향 상태로 함으로써, 검출부에 의해 수납 용기 내부의 피수납물을 검출할 수 있다. 따라서, 반송 중의 수납 용기의 방향에 관계없이, 수납 용기 내부의 피수납물을 검출할 수 있다.According to this configuration, while the storage container is being transported while being held in the container holder, the object to be stored inside the storage container can be detected through the storage container window portion by the detection portion provided in the cover portion. Additionally, when detecting such a stored object, if the detection unit and the storage container window are not facing each other, the attitude of the container holder is changed by the attitude change unit, and the detection unit and the storage container window are made to face each other. This makes it possible to detect the stored object inside the storage container. Therefore, regardless of the direction of the storage container during transport, the stored object inside the storage container can be detected.

여기에서, 상기 자세 변경부는 선회축 주위에 상기 용기 유지부를 선회시키도록 구성되고, 상기 창부는 상기 용기 유지부에 유지된 상태의 상기 수납 용기에 있어서의, 상기 선회축을 기준으로 한 주위 방향의 일부 영역에 설치되고, 상기 검출부의 상기 선회축을 따른 방향의 위치가, 상기 용기 유지부에 유지된 상태의 상기 수납 용기의 상기 창부의 위치에 대응하도록 상기 검출부가 배치되고, 상기 대향 상태는, 상기 검출부와 상기 창부가, 상기 선회축을 기준으로 한 직경 방향으로 대향하는 상태이면 호적하다.Here, the posture changing portion is configured to pivot the container holder around the pivot axis, and the window portion is a portion of the storage container held by the container holder in the circumferential direction based on the pivot axis. It is installed in the area, and the detection unit is disposed so that the position of the detection unit in the direction along the pivot axis corresponds to the position of the window portion of the storage container in a state held by the container holder, and the opposing state is: the detection unit It is suitable if the window portion and the window portion face each other in the radial direction with respect to the pivot axis.

본 구성에 의하면, 용기 유지부에 유지된 상태의 수납 용기의 자세 변경을, 용기 유지부의 선회라는 비교적 간단한 동작에 의해 실현 가능하게 된다. 또한, 선회축에 따른 방향에 있어서의 검출부의 배치 위치가, 용기 유지부에 유지된 상태의 수납 용기 창부의 위치에 대응하고 있으므로, 용기 유지부를 선회 동작시키는 것만으로, 검출부와 창부를 대향 상태로 할 수 있다. 따라서, 비교적 간소한 구성에 의해, 수납 용기의 반송 중에 상기 수납 용기 내부의 피수납물을 검출할 수 있다.According to this configuration, it is possible to change the attitude of the storage container held in the container holder by a relatively simple operation of turning the container holder. In addition, since the arrangement position of the detection unit in the direction along the pivot axis corresponds to the position of the storage container window in the state held by the container holder, the detection unit and the window are placed in a state facing each other simply by swinging the container holder. can do. Therefore, with a relatively simple structure, the stored object inside the storage container can be detected while the storage container is being transported.

또한, 상기 자세 변경부는 상기 수납 용기의 반송 중에는, 상기 검출부와 상기 창부가 상기 대향 상태로 되도록 상기 용기 유지부의 자세를 유지하고, 상기 반송 대상 장소와의 사이에서 상기 수납 용기를 이송탑재할 때는, 상기 수납 용기의 자세가 상기 반송 대상 장소에 대응한 자세로 되도록 상기 용기 유지부의 자세를 변경하면 호적하다.In addition, the attitude changing unit maintains the attitude of the container holding unit such that the detection unit and the window unit face each other during transport of the storage container, and when transporting the storage container between the transport target locations, It is advantageous to change the posture of the container holder so that the posture of the storage container corresponds to the location to be transported.

본 구성에 의하면, 수납 용기의 반송 중의 비교적 오랜 시간을 사용하여 피수납물의 검출을 행할 수 있다. 따라서, 확실성이 높고, 수납 용기의 내부 피수용물을 검출할 수 있다. 그리고, 반송 대상 장소에 도달한 경우에는, 상기 반송 대상 장소에 대응한 자세로 수납 용기를 이송탑재할 수 있다.According to this configuration, the object to be stored can be detected using a relatively long time while the storage container is being transported. Therefore, the object contained inside the storage container can be detected with high certainty. Then, when the transport target location is reached, the storage container can be transported and mounted in an attitude corresponding to the transport target location.

또한, 반송원으로부터 상기 반송 대상 장소까지 상기 수납 용기를 반송하는 경우에 있어서, 상기 반송원에 대응한 상기 수납 용기의 자세와 상기 반송 대상 장소에 대응한 상기 수납 용기의 자세가 동일한 경우로서, 그 수납 용기의 자세가 상기 대향 상태로 되지 않는 자세인 경우에는, 상기 자세 변경부는, 상기 수납 용기의 반송 중에 일시적으로 상기 대향 상태로 되도록, 상기 용기 유지부의 자세를 변경하면 호적하다.In addition, in the case of transporting the storage container from the transport source to the transport target location, the posture of the storage container corresponding to the transport source and the posture of the storage container corresponding to the transport target location are the same, When the posture of the storage container is not in the facing state, it is appropriate to change the posture of the container holder so that the posture changing portion temporarily enters the facing state during transport of the storage container.

반송원에 대응한 수납 용기의 자세와 반송 대상 장소에 대응한 수납 용기의 자세가 동일한 경우에는, 통상, 반송 중에 수납 용기의 자세를 변경시킬 필요가 없다. 그러나, 상기 수납 용기의 자세가 상기 대향 상태로 되지 않는 자세인 경우에는, 수납 용기의 자세를 변경시키지 않으면, 검출부에 의해 수납 용기 내부의 피수납물의 검출 작업을 행할 수 없다. 본 구성에 의하면, 상기와 같은 경우라도, 일시적으로 검출부와 창부가 대향 상태로 되도록 상기 용기 유지부의 자세를 변경하므로, 수납 용기 내부의 피수납물을 적절하게 검출할 수 있다. 또한, 용기 유지부의 자세 변경이 일시적이므로, 피수납물의 검출 후에는, 수납 용기의 자세를 반송 대상 장소에 대응한 원래의 자세로 되돌리는 것이 가능해진다. 이에 의해, 수납 용기 내부의 피수납물의 적절한 검출을 가능하게 하면서, 반송 대상 장소 사이에서의 원활한 이송탑재가 가능해진다.When the posture of the storage container corresponding to the transport source and the posture of the storage container corresponding to the transport target location are the same, there is usually no need to change the posture of the storage container during transport. However, when the posture of the storage container is not in the facing state, the detection unit cannot detect the stored object inside the storage container unless the posture of the storage container is changed. According to this configuration, even in the above case, the posture of the container holder is changed so that the detection section and the window section are temporarily facing each other, so that the stored object inside the storage container can be appropriately detected. Additionally, since the change in posture of the container holder is temporary, after detection of the stored object, it becomes possible to return the posture of the storage container to the original posture corresponding to the location to be transported. This enables appropriate detection of the stored object inside the storage container and enables smooth transfer and loading between locations to be transported.

또한, 상기 용기 유지부 및 상기 커버부는, 상기 수납 용기로서의 제1종 수납 용기에 더하여, 상기 제1종 수납 용기와는 형상이 상이한 제2종 수납 용기에도 대응하고 있고, 상기 제2종 수납 용기에는, 상기 피수납물로서의 제1종 피수납물과는 상이한 제2종 피수납물이 수납되고, 상기 검출부는 상기 제1종 수납 용기에 대응하고, 상기 제2종 수납 용기에 대응하고 있지 않으면 호적하다.In addition, the container holding portion and the cover portion correspond to a type 2 storage container that is different in shape from the type 1 storage container, in addition to the type 1 storage container as the storage container, and the type 2 storage container. If a second-type stored object that is different from the first-type stored object as the stored object is stored, and the detection unit corresponds to the first type storage container and does not correspond to the second type storage container, have family register

본 구성에 의하면, 제1종 수납 용기와 제2종 수납 용기를 구별하고, 제1종 수납 용기의 내부 제1종 피수납물의 검출을 적절하게 행할 수 있다. 따라서, 반송차가 복수 종류의 수납 용기 및 피수납물을 반송하도록 구성되어 있는 경우라도, 특정한 종류의 수납 용기 및 그 피수납물을, 반송 중에 적절하게 검출할 수 있다.According to this configuration, it is possible to distinguish between a type 1 storage container and a type 2 storage container, and to appropriately detect a type 1 stored object inside the type 1 storage container. Therefore, even when the transport vehicle is configured to transport a plurality of types of storage containers and items to be stored, a specific type of storage container and the items to be stored can be appropriately detected during transport.

또한, 상기의 구성에 있어서, 상기 검출부에 의해 상기 제1종 수납 용기의 내부에 상기 제1종 피수납물이 있는 것을 검출한 경우에는, 상기 수납 용기를 일시적으로 보관하기 위한 일시 보관 장소가 상기 반송 대상 장소로 되는 것을 규제하면 호적하다.In addition, in the above configuration, when the detector detects that the first type storage container is inside the first type storage container, the temporary storage location for temporarily storing the storage container is the first type storage container. If the location subject to return is regulated, it will be registered.

피수납물의 종류에 따라서는, 일시 보관 장소에서 일시적으로 보관되는 것이 바람직하지 않은 것이 있다. 예를 들면, 수납 용기가 레티클 포드인 경우, 그 내부에 수납하는 물품은 매우 부서지기 쉬운 것(레티클)인 경우가 많고, 이와 같은 수납 용기를 일시 보관 장소에서 보관하는 것은 극력 피하는 것이 바람직하다. 본 구성에 의하면, 제1종 수납 용기의 내부에 제1종 피수납물이 있는 경우에는, 상기 제1종 수납 용기가 일시 보관 장소에 반송되어 보관되는 것을 억제할 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 일시 보관 장소 이외의 적절한 반송 대상 장소에, 제1종 피수납물을 반송하는 것이 가능하게 된다.Depending on the type of object to be stored, there are some that are not desirable to be temporarily stored in a temporary storage location. For example, when the storage container is a reticle pod, the items stored inside the container are often very fragile (reticles), and it is desirable to avoid storing such a storage container in a temporary storage area as much as possible. According to this configuration, when there is a type 1 storage container inside the type 1 storage container, it is possible to prevent the type 1 storage container from being transported and stored in a temporary storage location. This makes it possible, for example, to transport the type 1 stored object to an appropriate transport target location other than the temporary storage location.

본 개시에 관한 기술은, 반송 설비에 구비되어, 피수납물을 수납하는 수납 용기를 상기 반송 설비 내에 설치된 반송 대상 장소에 반송하는 반송차에 이용할 수 있다.The technology related to the present disclosure can be used in a transport vehicle that is provided in a transport facility and transports a storage container for storing objects to a transport target location installed in the transport facility.

100 : 반송 설비
1 : 반송차
7 : 피수납물
8 : 수납 용기
14 : 용기 유지부
15 : 자세 변경부
15A : 선회축
17S : 검출부
71 : 제1종 피수납물
72 : 제2종 피수납물
81 : 제1종 수납 용기
81D : 창부
82 : 제2종 수납 용기
93 : 일시 보관 장소
T : 반송 대상 장소
F : 반송원
L : 축방향(선회축에 따른 방향)
R : 직경 방향
C : 주위 방향100: Conveyance facility
1: Transport vehicle
7: Received object
8: Storage container
14: container holding part
15: Posture change section
15A: pivot axis
17S: detection unit
71: Type 1 items to be collected
72: Type 2 items to be collected
81: Type 1 storage container
81D: Courtesan
82: Type 2 storage container
93: Temporary storage location
T: Return destination location
F: Bansongwon
L: Axial direction (direction along the pivot axis)
R: diametric direction
C: Circumferential direction

Claims (8)

반송(搬送) 설비에 구비되어, 반송 경로를 따라 주행하여 피(被)수납물을 수납하는 수납 용기를 상기 반송 설비 내에 설치된 반송 대상 장소에 반송하는 반송차로서,
상기 수납 용기는, 상기 수납 용기의 외부와 내부 사이에서 광을 투과 가능한 창부(窓部)를 가지고,
상기 반송차는,
상기 수납 용기를 유지하는 용기 유지부;
상기 용기 유지부에 유지된 상태의 상기 수납 용기를 덮는 커버부;
상기 수납 용기를 유지한 상태의 상기 용기 유지부의 자세를 변경하는 자세 변경부; 및
상기 창부를 통하여 상기 수납 용기 내부의 상기 피수납물을 검출하는 검출부
를 포함하고,
상기 검출부는 상기 커버부에 설치되고,
상기 자세 변경부는, 상기 수납 용기의 반송 중에 상기 검출부와 상기 창부가 대향하고 있는 경우에는, 상기 용기 유지부의 자세의 변경을 행하지 않고 상기 검출부에 의한 검출을 행하고, 상기 수납 용기의 반송 중에 상기 검출부와 상기 창부가 대향하고 있지 않은 경우에는, 상기 검출부와 상기 창부가 대향하는 대향 상태로 되도록, 상기 반송차의 주행 중에 상기 용기 유지부의 자세를 변경한 후에, 상기 검출부에 의한 검출을 행하는,
반송차.A transport vehicle that is provided in a transport facility and travels along a transport route to transport storage containers storing items to be transported to a transport target location installed in the transport facility,
The storage container has a window portion capable of transmitting light between the exterior and interior of the storage container,
The transport vehicle is,
a container holding portion that holds the storage container;
a cover portion covering the storage container held in the container holder;
a posture changing unit that changes the posture of the container holder in a state of holding the storage container; and
A detection unit that detects the object to be stored inside the storage container through the window unit.
Including,
The detection unit is installed in the cover unit,
The posture changing unit performs detection by the detection unit without changing the posture of the container holder when the detection unit and the window portion face each other during transportation of the storage container, and the detection unit and the window portion face each other during transportation of the storage container. When the window portions are not facing each other, detection by the detection portion is performed after changing the posture of the container holder while the transport vehicle is running so that the detection portion and the window portion are in an opposing state.
Transport car. 제1항에 있어서,
상기 자세 변경부는, 선회축 주위에 상기 용기 유지부를 선회시키도록 구성되고,
상기 창부는, 상기 용기 유지부에 유지된 상태의 상기 수납 용기에 있어서의, 상기 선회축을 기준으로 한 주위 방향의 일부 영역에 설치되고,
상기 검출부의 상기 선회축에 따르는 방향의 위치가, 상기 용기 유지부에 유지된 상태의 상기 수납 용기의 상기 창부의 위치에 대응하도록, 상기 검출부가 배치되고,
상기 대향 상태는, 상기 검출부와 상기 창부가, 상기 선회축을 기준으로 한 직경 방향으로 대향하는 상태인, 반송차.According to paragraph 1,
The posture changing unit is configured to pivot the container holder around a pivot axis,
The window portion is installed in a partial area of the storage container held by the container holder in a circumferential direction around the pivot axis,
The detection unit is arranged so that the position of the detection unit in a direction along the pivot axis corresponds to the position of the window portion of the storage container in a state held by the container holder, and
The opposing state is a transport vehicle in which the detection unit and the window unit face each other in a radial direction with respect to the pivot axis. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 자세 변경부는, 상기 수납 용기의 반송 중에는, 상기 검출부와 상기 창부가 상기 대향 상태로 되도록 상기 용기 유지부의 자세를 유지하고,
상기 반송 대상 장소와의 사이에서 상기 수납 용기를 이송탑재할 때는, 상기 수납 용기의 자세가 상기 반송 대상 장소에 대응한 자세로 되도록 상기 용기 유지부의 자세를 변경하는, 반송차.According to claim 1 or 2,
The posture changing portion maintains the posture of the container holding portion such that the detecting portion and the window portion face each other during transport of the storage container,
A transport vehicle wherein, when transporting the storage container between the transport target locations, the attitude of the container holder is changed so that the storage container has an attitude corresponding to the transport target location. 제1항 또는 제2항에 있어서,
반송원(搬送元)으로부터 상기 반송 대상 장소까지 상기 수납 용기를 반송하는 경우에 있어서, 상기 반송원에 대응한 상기 수납 용기의 자세와 상기 반송 대상 장소에 대응한 상기 수납 용기의 자세가 동일한 경우로서, 상기 수납 용기의 자세가 상기 대향 상태로 되지 않는 자세인 경우에는, 상기 자세 변경부는, 상기 수납 용기의 반송 중에 일시적으로 상기 대향 상태로 되도록, 상기 용기 유지부의 자세를 변경하는, 반송차.According to claim 1 or 2,
In the case of transporting the storage container from the transport source to the transport target location, the posture of the storage container corresponding to the transport source and the posture of the storage container corresponding to the transport target location are the same. When the posture of the storage container is not in the facing state, the posture changing section changes the posture of the container holder so that it temporarily becomes the facing state during transport of the storage container. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 용기 유지부 및 상기 커버부는, 상기 수납 용기로서의 제1종 수납 용기에 더하여, 상기 제1종 수납 용기와는 형상이 상이한 제2종 수납 용기에도 대응하고 있고,
상기 제2종 수납 용기에는, 상기 피수납물로서의 제1종 피수납물과는 상이한 제2종 피수납물이 수납되고,
상기 검출부는, 상기 제1종 수납 용기에 대응하고, 상기 제2종 수납 용기에 대응하고 있지 않은, 반송차.According to claim 1 or 2,
In addition to the first type storage container as the storage container, the container holding portion and the cover portion correspond to a second type storage container having a shape different from the first type storage container,
In the second type storage container, a second type of stored object that is different from the first type stored object as the stored object is stored,
The transport vehicle wherein the detection unit corresponds to the first type storage container and does not correspond to the second type storage container. 제5항에 있어서,
상기 검출부에 의해 상기 제1종 수납 용기의 내부에 상기 제1종 피수납물이 있는 것을 검출한 경우에는, 상기 수납 용기를 일시적으로 보관하기 위한 일시 보관 장소가 상기 반송 대상 장소로 되는 것을 규제하는, 반송차.According to clause 5,
When the detection unit detects that the type 1 object is inside the type 1 storage container, the temporary storage location for temporarily storing the storage container is regulated to be the return target location. , transport vehicle. 삭제delete 삭제delete
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