JP2011140366A - Conveying vehicle system - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent conveying efficiency from being degraded in a conveying vehicle system. <P>SOLUTION: A conveying vehicle system 1 includes a conveying vehicle 3, a CW sensor 57, and a manufacture controller 21. The conveying vehicle 3 conveys a carrier 49 containing substrates 50 between a plurality of apparatuses. The CW sensor 57 detects the states of the substrate 50 in the carrier 49. The manufacture controller 21 controls the conveyance of the conveying vehicle 3, and stops the conveying vehicle 3 to convey the carrier 49 from one device to the other device if an abnormal signal is inputted from the CW sensor 57. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、搬送車システムに関し、特に、搬送車が内部に複数の基板を収納した容器を搬送する搬送車システムに関する。   The present invention relates to a transport vehicle system, and more particularly, to a transport vehicle system that transports a container that houses a plurality of substrates therein.

従来、予め定まった経路と、経路上に設けられた複数のステーションと、経路に沿って走行して物品を搬送する複数の搬送車とを有する搬送車システムが知られている。搬送車システムでは、ステーションと搬送車との間では、荷つかみ（搬送車にステーションから物品が積み込まれること）や、荷おろし（搬送車からステーションに物品が積み出されること）が行われる。   2. Description of the Related Art Conventionally, a transport vehicle system having a predetermined route, a plurality of stations provided on the route, and a plurality of transport vehicles that travel along the route and transport articles is known. In the transport vehicle system, between the station and the transport vehicle, cargo grasping (loading of articles from the station to the transport vehicle) and unloading (loading of articles from the transport vehicle to the station) is performed.

搬送車システムの代表例としては、半導体工場の搬送システムで用いられる天井搬送車システムが知られている。天井搬送車システムは、天井に設けられた軌道と、軌道に沿って走行可能な天井搬送車とから構成されている。天井搬送車は、主に、軌道に係合する走行部と、半導体ウェハが積まれたＦＯＵＰを保持可能な保持部と、保持部を上下に移動させるための移動機構とを有している。   As a representative example of the transport vehicle system, an overhead transport vehicle system used in a transport system of a semiconductor factory is known. The ceiling transport vehicle system includes a track provided on the ceiling and a ceiling transport vehicle that can travel along the track. The overhead transport vehicle mainly includes a traveling unit that engages with the track, a holding unit that can hold a FOUP loaded with semiconductor wafers, and a moving mechanism that moves the holding unit up and down.

半導体ウェハや液晶ガラスを移載するための地上搬送車も知られている。地上搬送車は、車体本体と、移載装置とを有している。移載装置は、例えば、移載アーム、基台、ターンテーブル、移載アームから構成されている（例えば、特許文献１を参照。）。   There is also known a ground transportation vehicle for transferring a semiconductor wafer or liquid crystal glass. The ground conveyance vehicle has a vehicle body and a transfer device. The transfer device includes, for example, a transfer arm, a base, a turntable, and a transfer arm (see, for example, Patent Document 1).

特許文献１に記載の地上搬送車では、移載アームを構成する移載ハンドにマッピングセンサが設けられている。マッピングセンサは、バッファキャリア内の各スロットを探知することで、各スロットにウェハが配置されているか否かを検出する。   In the ground transportation vehicle described in Patent Document 1, a mapping sensor is provided in a transfer hand constituting a transfer arm. The mapping sensor detects each slot in the buffer carrier to detect whether a wafer is placed in each slot.

特開２００３−１６８７１８号公報JP 2003-168718 A

搬送車システムでは、搬送車が、ウェハを内部に収納したキャリアを、処理装置、ストッカの間で搬送する。この場合、搬送中にキャリアが傾いて内部のウェハが棚において傾いたりスロットから外れたりするという不具合が生じることがある。また、処理装置においてウェハをキャリアに収納する際に、ウェハがスロットの正規の位置からずれることがある。このように不具合が生じた状態のキャリアを搬送すると、その搬送自体が無駄であるので、搬送効率が低下する。   In the transport vehicle system, the transport vehicle transports a carrier containing wafers between a processing apparatus and a stocker. In this case, there may be a problem that the carrier is tilted during conveyance and the internal wafer is tilted on the shelf or detached from the slot. Further, when the wafer is stored in the carrier in the processing apparatus, the wafer may be displaced from the normal position of the slot. When a carrier in a state where such a defect has occurred is transported, the transport itself is useless, and transport efficiency decreases.

本発明の課題は、搬送車システムにおいて搬送効率を低下させないことにある。   An object of the present invention is to prevent a decrease in conveyance efficiency in a conveyance vehicle system.

本発明に係る搬送車システムは、搬送車と、状態検出装置と、搬送制御部とを備えている。搬送車は、複数の装置間で基板が入った容器を搬送する。状態検出装置は、容器内の基板の状態を検出する。搬送制御部は、搬送車の搬送を制御するとともに、状態検出装置から異常信号が入力されれば、搬送車が装置から容器を他の装置に搬送するのを中止させる。
このシステムでは、搬送車は容器を装置間で搬送する。ただし、容器内の基板の状態が異常になると、搬送車は装置から容器を他の装置に搬送することを中止する。これにより、無駄な搬送作業がなくなり、その結果、搬送車システムの搬送効率が低下しにくい。 The transport vehicle system according to the present invention includes a transport vehicle, a state detection device, and a transport control unit. A conveyance vehicle conveys the container in which the board | substrate entered between several apparatuses. The state detection device detects the state of the substrate in the container. The conveyance control unit controls conveyance of the conveyance vehicle and, when an abnormal signal is input from the state detection device, causes the conveyance vehicle to stop conveying the container from the device to another device.
In this system, a transport vehicle transports containers between devices. However, when the state of the substrate in the container becomes abnormal, the transport vehicle stops transporting the container from the apparatus to another apparatus. Thereby, useless conveyance work is eliminated, and as a result, the conveyance efficiency of the conveyance vehicle system is hardly lowered.

搬送車システムは、装置に併設された装置近傍自動倉庫をさらに備えていてもよい。この場合、状態検出装置は、搬送車が容器を装置近傍自動倉庫から次工程の装置に搬出する場合に、容器内の基板の状態を検出する。
このシステムでは、搬送車が容器を装置近傍自動倉庫から次工程の装置に搬出する場合に容器内の基板の状態が異常であれば、搬送車は容器を目的の装置に搬送するのを中止する。これにより、無駄な搬送作業がなくなり、その結果、搬送車システムの搬送効率が低下しにくい。 The transport vehicle system may further include an apparatus vicinity automatic warehouse attached to the apparatus. In this case, the state detection device detects the state of the substrate in the container when the transport vehicle carries the container out of the automatic warehouse near the device to the next process device.
In this system, when the transport vehicle transports the container from the automatic warehouse near the device to the next process device, if the state of the substrate in the container is abnormal, the transport vehicle stops transporting the container to the target device. . Thereby, useless conveyance work is eliminated, and as a result, the conveyance efficiency of the conveyance vehicle system is hardly lowered.

搬送車システムは、搬送車の経路に沿って配置され容器を仮置き可能なバッファをさらに備えていてもよい。この場合は、状態検出装置は、バッファに設けられており、バッファにおいて容器内の基板の状態を検出する。
このシステムでは、搬送車がバッファから容器を離れた装置に搬出する場合に容器内の基板の状態が異常であれば、搬送車はその後の容器の搬送を中止する。これにより、無駄な搬送作業がなくなり、その結果、搬送車システムの搬送効率が低下しにくい。 The transport vehicle system may further include a buffer that is disposed along the route of the transport vehicle and can temporarily place the container. In this case, the state detection device is provided in the buffer, and detects the state of the substrate in the container in the buffer.
In this system, if the state of the substrate in the container is abnormal when the transport vehicle is transported to an apparatus away from the buffer, the transport vehicle stops transporting the container thereafter. Thereby, useless conveyance work is eliminated, and as a result, the conveyance efficiency of the conveyance vehicle system is hardly lowered.

搬送車システムは、搬送車の経路に沿って配置された経路配置自動倉庫をさらに備えていてもよい。この場合は、状態検出装置は、経路配置自動倉庫に設けられており、経路配置自動倉庫において容器内の基板の状態を検出する。
このシステムでは、搬送車が経路配置自動倉庫から容器を離れた装置に搬出する場合に容器内の基板の状態が異常であれば、搬送車は容器の搬送を中止する。これにより、無駄な搬送作業がなくなり、その結果、搬送車システムの搬送効率が低下しない。 The conveyance vehicle system may further include a route arrangement automatic warehouse arranged along the route of the conveyance vehicle. In this case, the state detection device is provided in the route placement automatic warehouse, and detects the state of the substrate in the container in the route placement automatic warehouse.
In this system, when the transport vehicle carries out the container from the route placement automatic warehouse to an apparatus away from the container, if the state of the substrate in the container is abnormal, the transport vehicle stops transporting the container. Thereby, useless conveyance work is eliminated, and as a result, the conveyance efficiency of the conveyance vehicle system does not decrease.

状態検出装置は、搬送車に設けられており、搬送車に搬送される容器内の基板の状態を検出してもよい。
このシステムでは、搬送車が容器を搬送開始する場合に容器内の基板の状態が異常であれば、搬送車は容器の搬送を中止する。これにより、無駄な搬送作業がなくなり、その結果、搬送車システムの搬送効率が低下しにくい。 The state detection device may be provided in the transport vehicle and detect the state of the substrate in the container transported to the transport vehicle.
In this system, if the state of the substrate in the container is abnormal when the transport vehicle starts transporting the container, the transport vehicle stops transporting the container. Thereby, useless conveyance work is eliminated, and as a result, the conveyance efficiency of the conveyance vehicle system is hardly lowered.

本発明に係る搬送車システムでは、容器内部の基板の状態を適切に検出するので、搬送効率が低下しにくい。   In the transport vehicle system according to the present invention, since the state of the substrate inside the container is appropriately detected, the transport efficiency is unlikely to decrease.

本発明の一実施形態に係る搬送車システムのレイアウトを示す部分平面図。The partial top view which shows the layout of the carrier system which concerns on one Embodiment of this invention. 天井搬送車の側面図。The side view of a ceiling conveyance vehicle. 天井搬送車が処理装置とサイドバッファの間を走行しているときの正面図。The front view when the overhead conveyance vehicle is drive | working between a processing apparatus and a side buffer. 第２処理装置の概略側面図。The schematic side view of a 2nd processing apparatus. キャリアとＣＷセンサを示す斜視図。The perspective view which shows a carrier and a CW sensor. キャリアとＣＷセンサを示す平面図。The top view which shows a carrier and a CW sensor. キャリアとＣＷセンサを示す側面図。The side view which shows a carrier and a CW sensor. 搬送車システムの制御系を示すブロック図。The block diagram which shows the control system of a conveyance vehicle system. ＣＷセンサおよび処理装置の通信構成を示すブロック図。The block diagram which shows the communication structure of a CW sensor and a processing apparatus. 装置前ストッカからキャリアを搬送する動作を示す模式図。The schematic diagram which shows the operation | movement which conveys a carrier from an apparatus front stocker. 処理装置およびストッカ、バッファからキャリアを搬送する動作を示す模式図。The schematic diagram which shows the operation | movement which conveys a carrier from a processing apparatus, a stocker, and a buffer. 処理装置から搬送車がキャリアを搬送する動作を示す模式図。The schematic diagram which shows the operation | movement which a conveyance vehicle conveys a carrier from a processing apparatus. キャリア内の基板の状態を検出する処理を示すフローチャート。The flowchart which shows the process which detects the state of the board | substrate in a carrier.

（１）搬送車システムのレイアウト
本発明の一実施形態が適用される搬送車システム１は、定められた経路上に複数の搬送車３を走行させるためのシステムである。搬送車３は、経路上を走行し、上位のコントローラによって割り付けられる搬送指令に従い、目的の場所から物品を積み込み、次に搬送先の場所まで走行して物品を搬送先の場所に積み出す。
搬送車システム１は、半導体や液晶の製造工場に適用可能である。製造工場では、シリコンウェハやガラスプレート等の基板上に薄膜形成、酸化、エッチング等の種々の処理構成を経て基板上に半導体デバイスや液晶デバイスが形成される。この種の処理装置の間では、搬送車３が基板を収納したキャリアを搬送する。 (1) Layout of carrier vehicle system A carrier vehicle system 1 to which an embodiment of the present invention is applied is a system for causing a plurality of carrier vehicles 3 to travel on a predetermined route. The transport vehicle 3 travels on the route, loads an article from a target location according to a transport command assigned by a host controller, then travels to a transport destination location and loads the article to the transport destination location.
The transport vehicle system 1 can be applied to a semiconductor or liquid crystal manufacturing factory. In a manufacturing factory, semiconductor devices and liquid crystal devices are formed on a substrate through various processing configurations such as thin film formation, oxidation, and etching on a substrate such as a silicon wafer or a glass plate. Between these types of processing apparatuses, the transport vehicle 3 transports the carrier containing the substrate.

図１に、搬送車システム１のレイアウトを示す。搬送車システム１は、複数の周回走行路５と、複数の周回走行路５を結ぶ基幹走行路７とを有している。基幹走行路７は全体で１つの周回経路となっている。周回走行路５に沿って複数の第１処理装置９が設けられ、基幹走行路７に沿って複数のストッカ１１が設けられている。ストッカ１１は、周回走行路５における第１処理装置９群間でのバッファの機能を実現している。   FIG. 1 shows a layout of the transport vehicle system 1. The transport vehicle system 1 includes a plurality of circuit travel paths 5 and a main travel path 7 that connects the plurality of circuit travel paths 5. The trunk travel path 7 is a single circuit route as a whole. A plurality of first processing devices 9 are provided along the circumferential traveling path 5, and a plurality of stockers 11 are provided along the backbone traveling path 7. The stocker 11 realizes a buffer function between the first processing device 9 groups in the circuit travel path 5.

第１処理装置９およびストッカ１１には、設備内に物品を搬入するための入庫ポート１３と、設備から物品を搬出するための出庫ポート１５とが設けてある。なお入庫ポート１３と出庫ポート１５とは兼用されていてもよい。   The first processing device 9 and the stocker 11 are provided with a warehousing port 13 for carrying an article into the facility, and a delivery port 15 for carrying the article out of the facility. Note that the warehousing port 13 and the warehousing port 15 may be shared.

さらに、周回走行路５に沿って複数の第２処理装置５１が設けられている。第２処理装置５１は、処理装置本体５３と、処理装置前ストッカ５５とを有している。処理装置前ストッカ５５には、入庫ポート１３と出庫ポート１５が設けてある。   Furthermore, a plurality of second processing devices 51 are provided along the circumferential traveling path 5. The second processing device 51 includes a processing device main body 53 and a pre-processing device stocker 55. The pre-processing device stocker 55 is provided with a warehousing port 13 and a warehousing port 15.

周回走行路５の内側には、複数のサイドバッファ１７が配置されている。サイドバッファ１７は、図３に示すように、載置部２４と、それをクリーンルームの天井２９から吊す一対の支持部材２６とを有している。さらに、第１処理装置９同士の間で、かつ、周回走行路５の下方には下部バッファ１９が配置されている。下部バッファ１９は、サイドバッファ１７と同様に、載置部と、それを天井から吊す一対の支持部材とを有している。   A plurality of side buffers 17 are arranged inside the circuit travel path 5. As shown in FIG. 3, the side buffer 17 includes a placement portion 24 and a pair of support members 26 that suspend it from the ceiling 29 of the clean room. Further, a lower buffer 19 is disposed between the first processing devices 9 and below the circuit travel path 5. Similarly to the side buffer 17, the lower buffer 19 has a placement portion and a pair of support members that suspend it from the ceiling.

（２）搬送車の構造
図２および図３を用いて、搬送車３の構造について説明する。 (2) Structure of the transport vehicle The structure of the transport vehicle 3 will be described with reference to FIGS. 2 and 3.

周回走行路５は、主に、走行レール３０から構成されている。走行レール３０は、支柱３１によってクリーンルームの天井２９から支持されている。走行レール３０は、走行レール本体３２と給電レール３３とから構成されている。   The circuit travel path 5 is mainly composed of a travel rail 30. The traveling rail 30 is supported from the ceiling 29 of the clean room by a support 31. The traveling rail 30 includes a traveling rail body 32 and a power supply rail 33.

搬送車３は、本体ベース３４と、走行駆動部３５と、受電部３６とを有している。本体ベース３４は、走行レール３０の下方に設けられている。走行駆動部３５は、走行レール本体３２内を走行する。受電部３６は、給電レール３３から受電する。   The transport vehicle 3 includes a main body base 34, a travel drive unit 35, and a power reception unit 36. The main body base 34 is provided below the traveling rail 30. The travel drive unit 35 travels within the travel rail body 32. The power receiving unit 36 receives power from the power supply rail 33.

搬送車３は、キャリア４９（例えば、ＦＯＵＰ）を装置間で搬送するための装置である。キャリア４９内には、複数の基板５０（例えば、ウェハ）が収納されている。搬送車３は、懸吊式の搬送車であって、さらに、横移動機構３９、昇降駆動部４０および昇降台４１を有している。昇降駆動部４０は、昇降台４１をベルトやワイヤ、ロープなどの吊持材で昇降させることができる。昇降台４１は、キャリア４９の上部のフランジをハンドによりチャック・解除できる。横移動機構３９は、昇降駆動部４０、昇降台４１およびキャリア４９を、走行レール３０の進行方向と直交する方向に（左右方向に）横移動させることができる。   The transport vehicle 3 is a device for transporting a carrier 49 (for example, FOUP) between the devices. A plurality of substrates 50 (for example, wafers) are accommodated in the carrier 49. The conveyance vehicle 3 is a suspension type conveyance vehicle, and further includes a lateral movement mechanism 39, an elevating drive unit 40, and an elevating platform 41. The raising / lowering drive part 40 can raise / lower the raising / lowering stand 41 with suspension materials, such as a belt, a wire, and a rope. The elevator 41 can chuck and release the upper flange of the carrier 49 with a hand. The lateral movement mechanism 39 can laterally move the lifting drive unit 40, the lifting platform 41, and the carrier 49 in a direction perpendicular to the traveling direction of the traveling rail 30 (in the left-right direction).

搬送車３の前後には、さらに、キャリア４９を前後から挟むように前側カバー３７と後側カバー３８が設けられている。   A front cover 37 and a rear cover 38 are further provided on the front and rear of the transport vehicle 3 so as to sandwich the carrier 49 from the front and rear.

図３に示すように、搬送車３は、その側部がサイドバッファ１７の支持部材２６の側方に近接した位置を走行する。また、搬送車３は、第１処理装置９の出庫ポート１５の上方を走行する。さらに、図示しないが、搬送車３は下部バッファ１９の一対の支持部材同士の間の狭い空間を走行する。   As shown in FIG. 3, the transport vehicle 3 travels at a position where its side portion is close to the side of the support member 26 of the side buffer 17. Further, the transport vehicle 3 travels above the delivery port 15 of the first processing device 9. Further, although not shown, the transport vehicle 3 travels in a narrow space between the pair of support members of the lower buffer 19.

（３）装置前ストッカ
図４を用いて、第２処理装置５１を説明する。図４は、第２処理装置の概略側面図である。 (3) Device Stocker The second processing device 51 will be described with reference to FIG. FIG. 4 is a schematic side view of the second processing apparatus.

前述のように、第２処理装置５１は、処理装置本体５３と、処理装置前ストッカ５５とを有している。処理装置本体５３は、基板に適宜処理を行うための装置である。処理装置前ストッカ５５は、処理装置本体５３に近接・隣接して設けられている。処理装置前ストッカ５５は、搬送車３と処理装置本体５３との間の処理時間を調整するために設けられている。処理装置前ストッカ５５は、複数の棚を有しており、処理装置本体５３に搬入されるキャリア４９および処理装置本体５３から搬出されるキャリア４９を一時的に保管する機能を有している。処理装置前ストッカ５５は、処理装置本体５３と反対側に入庫ポート１３と出庫ポート１５を有している。さらに、処理装置前ストッカ５５は、処理装置本体５３との間でキャリア４９を搬入・搬出を行うための受け渡しポート５６を有している。   As described above, the second processing device 51 includes the processing device main body 53 and the pre-processing device stocker 55. The processing apparatus main body 53 is an apparatus for appropriately processing a substrate. The pre-processing apparatus stocker 55 is provided close to and adjacent to the processing apparatus main body 53. The pre-processing device stocker 55 is provided to adjust the processing time between the transport vehicle 3 and the processing device main body 53. The pre-processing apparatus stocker 55 has a plurality of shelves and has a function of temporarily storing the carrier 49 carried into the processing apparatus main body 53 and the carrier 49 carried out from the processing apparatus main body 53. The pre-processing device stocker 55 has an incoming port 13 and an outgoing port 15 on the opposite side of the processing device main body 53. Further, the pre-processing apparatus stocker 55 has a delivery port 56 for carrying the carrier 49 into and out of the processing apparatus main body 53.

このような処理装置前ストッカ５５を設けることにより、処理装置本体５３または搬送車３のトラブルによりキャリア４９の搬入または搬出が滞っても、システムダウンすることなく連続して物品を第２処理装置５１に搬入および搬出することができる。   By providing such a pre-processing device stocker 55, even if the carrier 49 is brought in or out due to a trouble in the processing device main body 53 or the transport vehicle 3, the second processing device 51 continuously supplies articles without causing the system to go down. Can be carried in and out.

なお、図４では、以下の３種類の装置は省略されている。
・入庫ポート１３および出庫ポート１５と処理装置本体５３の間でキャリア４９を移載する装置
・処理装置前ストッカ５５内でキャリア４９を移動するスタッカクレーン
・受け渡しポート５６と処理装置本体５３との間でキャリア４９を移載する装置 In FIG. 4, the following three types of devices are omitted.
An apparatus for transferring the carrier 49 between the warehousing port 13 and the evacuation port 15 and the processing apparatus main body 53. A stacker crane for moving the carrier 49 in the processing apparatus front stocker 55. Between the delivery port 56 and the processing apparatus main body 53. To transfer carrier 49

（４）ＣＷセンサ
図５〜図７を用いて、ＣＷセンサ（Ｃａｓｓｅｔｔｅ Ｗａｆｅｒ）５７について説明する。図５はキャリアとＣＷセンサを示す斜視図であり、図６はキャリアとＣＷセンサを示す平面図であり、図７はキャリアとＣＷセンサを示す側面図である。 (4) CW Sensor A CW sensor (Cassette Wafer) 57 will be described with reference to FIGS. FIG. 5 is a perspective view showing the carrier and the CW sensor, FIG. 6 is a plan view showing the carrier and the CW sensor, and FIG. 7 is a side view showing the carrier and the CW sensor.

ＣＷセンサ５７は、処理装置前ストッカ５５の出庫ポート１５に設けられている。ＣＷセンサ５７は、第１光電センサ５８および第２光電センサ５９を有している。第１光電センサ５８および第２光電センサ５９は別のシャフト６０に固定されている。   The CW sensor 57 is provided at the delivery port 15 of the pre-processing device stocker 55. The CW sensor 57 includes a first photoelectric sensor 58 and a second photoelectric sensor 59. The first photoelectric sensor 58 and the second photoelectric sensor 59 are fixed to another shaft 60.

第１光電センサ５８および第２光電センサ５９は、各々独立した反射式のセンサであり、蓋が閉じた状態のキャリア４９に向かって光を含む電磁波を照射してさらに内部の基板５０から反射して戻ってきた電磁波を受信可能である。以上の動作により、第１光電センサ５８および第２光電センサ５９は、キャリア４９内の基板５０の有無、有る場合には基板５０がスロットに正常な状態で配置されているか否かを検出できる。より詳細には、検出されるのは、キャリア４９全体のスロットにおける基板５０の有無と、当該スロットにおける複数枚基板５０の有無である。以上より、基板５０がスロットに斜めに収納されていること、基板５０が予定外のスロットに収納されていること、および基板５０に欠損が有ることが異常状態として検出され得る。
キャリア４９は、光電センサからの放射に対して透過性を有している。したがって、キャリア４９の蓋を開けることなく、内部の基板の状態を知ることができる。例えば、キャリア４９は、全体または部分が透明または半透明になっていてもよい。また、電磁波の波長は特に限定されない。
この実施例では、キャリア４９の蓋を開ける必要がないので、検出動作が簡単かつ迅速になる。 The first photoelectric sensor 58 and the second photoelectric sensor 59 are independent reflective sensors, and irradiate an electromagnetic wave containing light toward the carrier 49 in a state where the lid is closed, and further reflect from the internal substrate 50. It is possible to receive the electromagnetic wave returned. By the above operation, the first photoelectric sensor 58 and the second photoelectric sensor 59 can detect the presence or absence of the substrate 50 in the carrier 49 and, if there is, whether or not the substrate 50 is normally disposed in the slot. More specifically, what is detected is the presence or absence of the substrate 50 in the slot of the entire carrier 49 and the presence or absence of the plurality of substrates 50 in the slot. From the above, it can be detected as an abnormal state that the substrate 50 is stored obliquely in the slot, that the substrate 50 is stored in an unscheduled slot, and that the substrate 50 is defective.
The carrier 49 is transparent to the radiation from the photoelectric sensor. Therefore, the state of the internal substrate can be known without opening the lid of the carrier 49. For example, the carrier 49 may be entirely or partially transparent or translucent. Further, the wavelength of the electromagnetic wave is not particularly limited.
In this embodiment, since it is not necessary to open the lid of the carrier 49, the detection operation is simple and quick.

（５）搬送車システムの制御系
図８を用いて、搬送車システム１の制御系２０を説明する。図８は、搬送車システムの制御系を示すブロック図である。 (5) Control system of conveyance vehicle system The control system 20 of the conveyance vehicle system 1 is demonstrated using FIG. FIG. 8 is a block diagram illustrating a control system of the transport vehicle system.

制御系２０は、製造コントローラ２１と、物流コントローラ２３と、ストッカコントローラ２５と、搬送車コントローラ２７とを有している。   The control system 20 includes a manufacturing controller 21, a physical distribution controller 23, a stocker controller 25, and a transport vehicle controller 27.

物流コントローラ２３は、ストッカコントローラ２５および搬送車コントローラ２７の上位のコントローラである。   The logistics controller 23 is a higher-order controller of the stocker controller 25 and the transport vehicle controller 27.

搬送車コントローラ２７は、複数の搬送車３を管理し、これらに搬送指令を割り付ける割り付け機能を有している。なお、「搬送指令」は、走行に関する指令や、荷つかみ位置と荷おろし位置に関する指令を含んでいる。   The transport vehicle controller 27 has a function of managing a plurality of transport vehicles 3 and assigning a transport command to them. The “conveyance command” includes a command related to traveling and a command related to the load holding position and the unloading position.

製造コントローラ２１は、第１処理装置９および第２処理装置５１との間で通信することができる。第１処理装置９および第２処理装置５１は、処理が終了したキャリア４９の搬送要求（荷つかみ要求・荷おろし要求）を製造コントローラ２１に送信する。   The production controller 21 can communicate with the first processing device 9 and the second processing device 51. The first processing device 9 and the second processing device 51 transmit a transport request (loading request / unloading request) for the carrier 49 that has been processed to the manufacturing controller 21.

製造コントローラ２１は、第１処理装置９および第２処理装置５１からの搬送要求を物流コントローラ２３に送信し、物流コントローラ２３は報告を製造コントローラ２１に送信する。   The manufacturing controller 21 transmits a transport request from the first processing device 9 and the second processing device 51 to the logistics controller 23, and the logistics controller 23 transmits a report to the manufacturing controller 21.

物流コントローラ２３は、製造コントローラ２１から搬送要求を受けると、ストッカ１１での入庫や出庫が伴っている場合、所定のタイミングで入庫指令や出庫指令をストッカコントローラ２５へ送信する。そして、ストッカコントローラ２５は、これに応じて入庫や出庫指令をストッカ１１へ送信する。物流コントローラ２３は、さらに、製造コントローラ２１から搬送要求を受け取ると、それを搬送指令に変換し、搬送車３への搬送指令割り付け動作を行う。   When the distribution controller 23 receives a transport request from the manufacturing controller 21, if the stocker 11 is accompanied or unloaded, the logistics controller 23 sends a stock command or a stock command to the stocker controller 25 at a predetermined timing. Then, the stocker controller 25 transmits an incoming / outgoing command to the stocker 11 accordingly. Further, when the distribution controller 23 receives a conveyance request from the manufacturing controller 21, it converts it into a conveyance command, and performs an operation for assigning the conveyance command to the conveyance vehicle 3.

搬送車コントローラ２７は、搬送指令を作成するために各搬送車３と連続的に通信して、各搬送車３から送信された位置データをもとにその位置情報を得ている。位置情報を取得する例としては、以下の方法がある。第１に、搬送軌道に複数のポイントを設定しておき、搬送車３がポイントを通過したときに通過信号を搬送車コントローラ２７に送信させるようにする。その上で搬送車コントローラ２７が、搬送車３が直近に通過したポイントと、ポイントを通過した時刻を記憶する。そして、そのポイント区間の規定速度と時間をもとに搬送車３の位置を演算して求める。第２に、例えばエンコーダを搬送車３に設けておいて、ポイントを通過してからの走行距離を搬送車３から搬送車コントローラ２７へ位置データとして送信させ、搬送車コントローラ２７がこれによって搬送車３の位置を把握する。   The transport vehicle controller 27 continuously communicates with each transport vehicle 3 to create a transport command, and obtains position information based on the position data transmitted from each transport vehicle 3. Examples of acquiring position information include the following methods. First, a plurality of points are set on the conveyance path, and a conveyance signal is transmitted to the conveyance vehicle controller 27 when the conveyance vehicle 3 passes the points. Then, the transport vehicle controller 27 stores the point at which the transport vehicle 3 has passed most recently and the time at which the point has passed. And the position of the conveyance vehicle 3 is calculated and calculated | required based on the regulation speed and time of the point area. Secondly, for example, an encoder is provided in the transport vehicle 3, and the travel distance after passing the point is transmitted from the transport vehicle 3 to the transport vehicle controller 27 as position data, and the transport vehicle controller 27 thereby transmits the travel vehicle. Know the position of 3.

搬送車コントローラ２７は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ等からなりプログラムを実行するコンピュータであり、制御部とメモリを有している。搬送車コントローラは、搬送車３と交信するとともに物流コントローラ２３とも交信する。搬送車コントローラ２７のメモリには、ルートマップが保存されている。ルートマップとは、走行ルートの配置、原点の位置、原点を基準とする基準位置や移載位置の座標を記載したマップである。座標は、原点からの走行距離を搬送車３のエンコーダの出力パルス数などに換算したものである。   The transport vehicle controller 27 is a computer that includes a CPU, a RAM, a ROM, and the like and executes a program, and includes a control unit and a memory. The transport vehicle controller communicates with the transport vehicle 3 and also with the physical distribution controller 23. A route map is stored in the memory of the transport vehicle controller 27. The route map is a map that describes the arrangement of the travel route, the position of the origin, the reference position based on the origin, and the coordinates of the transfer position. The coordinates are obtained by converting the travel distance from the origin into the number of output pulses of the encoder of the transport vehicle 3.

搬送車３は、制御部とメモリを有している。制御部は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ等からなりプログラムを実行するコンピュータである。制御部は、搬送車コントローラ２７と交信可能である。搬送車３は、メモリ内にルートマップを有しており、ルートマップに記載の座標と自機の内部座標（エンコーダによって求めた座標）とを比較しながら走行を続ける。   The transport vehicle 3 has a control unit and a memory. The control unit is a computer that includes a CPU, a RAM, a ROM and the like and executes a program. The control unit can communicate with the transport vehicle controller 27. The transport vehicle 3 has a route map in the memory, and continues traveling while comparing the coordinates described in the route map with the internal coordinates of the own machine (coordinates obtained by the encoder).

ストッカコントローラ２５は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ等からなりプログラムを実行するコンピュータであり、制御部とメモリを有している。ストッカコントローラ２５は、在荷センサおよびＩＤリーダ（図示せず）に接続され、それらからの検出信号を受信可能である。   The stocker controller 25 is a computer that includes a CPU, a RAM, a ROM, and the like and executes a program, and includes a control unit and a memory. The stocker controller 25 is connected to a stock sensor and an ID reader (not shown), and can receive a detection signal from them.

ストッカコントローラ２５は、クレーンコントローラ（図示せず）に交信可能に接続されている。クレーンコントローラは、スタッカクレーン（図示せず）に接続され、スタッカクレーンに制御信号を送信可能である。   The stocker controller 25 is communicably connected to a crane controller (not shown). The crane controller is connected to a stacker crane (not shown) and can transmit a control signal to the stacker crane.

（６）ＣＷセンサの通信構成
図９を用いて、ＣＷセンサの通信構成を説明する。図９は、ＣＷセンサおよび処理装置の通信構成を示すブロック図である。
搬送車システム１において、第１処理装置９および第２処理装置５１は複数配置されており、それに対応してＣＷセンサ５７が設けられている。ＣＷセンサ５７には、ＣＷセンサ・コントローラ６１が接続されている。ＣＷセンサ・コントローラ６１は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ等からなりプログラムを実行するコンピュータであり、制御部とメモリを有している。ＣＷセンサ・コントローラ６１は、ＣＷセンサ５７からの検出情報を受信して、さらに基板５０の正常・異常を判断する。 (6) Communication configuration of CW sensor The communication configuration of the CW sensor will be described with reference to FIG. FIG. 9 is a block diagram illustrating a communication configuration of the CW sensor and the processing device.
In the transport vehicle system 1, a plurality of first processing devices 9 and second processing devices 51 are arranged, and a CW sensor 57 is provided correspondingly. A CW sensor controller 61 is connected to the CW sensor 57. The CW sensor controller 61 is a computer that includes a CPU, a RAM, a ROM, and the like and executes a program, and includes a control unit and a memory. The CW sensor / controller 61 receives the detection information from the CW sensor 57 and further determines whether the substrate 50 is normal or abnormal.

ＣＷセンサ・コントローラ６１には、さらに、製造コントローラ２１が接続されている。製造コントローラ２１は、ＣＷセンサ・コントローラ６１からの情報に基づいて、物流コントローラ２３に対して、搬送要求または搬送中止要求を送信する。   A manufacturing controller 21 is further connected to the CW sensor controller 61. The production controller 21 transmits a transport request or a transport stop request to the physical distribution controller 23 based on the information from the CW sensor controller 61.

（７）搬送開始前のキャリア内部を検出する動作
図１０及び図１３を用いて、第２処理装置５１の処理装置前ストッカ５５から搬送車３がキャリア４９を他の装置に搬送するときのキャリア内部を検出する動作について説明する。図１０は、装置前ストッカからキャリアを搬送する動作を示す模式図である。図１３は、キャリア内の基板の状態を検出する処理を示すフローチャートである。 (7) Operation for detecting inside of carrier before start of transport Carrier when transport vehicle 3 transports carrier 49 to another apparatus from pre-processing apparatus stocker 55 of second processing apparatus 51 using FIGS. 10 and 13. The operation for detecting the inside will be described. FIG. 10 is a schematic diagram illustrating an operation of transporting a carrier from the front stocker. FIG. 13 is a flowchart showing processing for detecting the state of the substrate in the carrier.

図１３のステップＳ１では、処理装置前ストッカ５５において、図示しないスタッカクレーンがキャリア４９を出庫ポート１５に移動する。ステップＳ２では、ＣＷセンサ・コントローラ６１は、ＣＷセンサ５７からの検出情報に基づいて、キャリア４９内の基板５０の状態が正常であるか否かを判断する。正常である場合は、プロセスはステップＳ３に移行する。異常である場合は、プロセスはステップＳ４に移行する。
なお、変形例として、センサの取り付け先をストッカ内部にしておき、処理が終わって出てきたキャリア内のウェハの状態を直ちに確認するするようにしてもよい。また、搬送車に搬出指令を割り付けておいて、搬送車が到着するまでの待ち時間にキャリア内のウェハの状態を確認して、異常であれば搬出指令割付けを中止してもよい。 In step S <b> 1 of FIG. 13, a stacker crane (not shown) moves the carrier 49 to the delivery port 15 in the pre-processing device stocker 55. In step S <b> 2, the CW sensor / controller 61 determines whether the state of the substrate 50 in the carrier 49 is normal based on the detection information from the CW sensor 57. If it is normal, the process moves to step S3. If it is abnormal, the process proceeds to step S4.
As a modification, the sensor may be attached to the inside of the stocker, and the state of the wafer in the carrier that has come out after the processing may be confirmed immediately. In addition, a carry-out command may be assigned to the transport vehicle, and the state of the wafer in the carrier may be confirmed during a waiting time until the transport vehicle arrives.

ステップＳ３では、ＣＷセンサ・コントローラ６１は正常である旨を製造コントローラ２１に送信する。さらに、製造コントローラ２１は搬送要求を物流コントローラ２３に送信する。これにより、搬送車３はキャリア４９を目的の装置に搬送する。目的の装置では、到着以前に基板５０の正常状態が確認されていることにより、搬入時にロードポートでの基板５０の状態を確認しなくてもすむ場合がある。この場合、ロードポートでキャリアを開いてから直ちに基板５０を処理することができる。   In step S3, the CW sensor / controller 61 sends a message to the effect that it is normal to the manufacturing controller 21. Further, the manufacturing controller 21 transmits a transport request to the physical distribution controller 23. Thereby, the conveyance vehicle 3 conveys the carrier 49 to the target apparatus. In the target apparatus, since the normal state of the substrate 50 is confirmed before arrival, it may not be necessary to confirm the state of the substrate 50 at the load port at the time of loading. In this case, the substrate 50 can be processed immediately after opening the carrier at the load port.

ステップＳ４では、ＣＷセンサ・コントローラ６１は異常である旨を製造コントローラ２１に送信する。さらに、製造コントローラ２１は異常時の搬送要求を物流コントローラ２３に送信する。これにより、搬送車３はキャリア４９を異常キャリア処理装置（図示せず）に搬送を行う。つまり、目的地に対する搬送は中止される。異常キャリア処理装置では、基板は正常な状態に戻される。なお、キャリアの目的地を検査装置に変更する処理を行ってもよい。   In step S4, the CW sensor / controller 61 transmits an error message to the manufacturing controller 21. Furthermore, the manufacturing controller 21 transmits a conveyance request at the time of abnormality to the physical distribution controller 23. Thereby, the conveyance vehicle 3 conveys the carrier 49 to an abnormal carrier processing apparatus (not shown). That is, the conveyance to the destination is stopped. In the abnormal carrier processing apparatus, the substrate is returned to a normal state. In addition, you may perform the process which changes the destination of a carrier to an inspection apparatus.

以上をまとめると、搬送車システム１は、搬送車３と、ＣＷセンサ５７と、製造コントローラ２１とを備えている。搬送車３は、複数の装置間で基板５０が入ったキャリア４９を搬送する。ＣＷセンサ５７は、キャリア４９内の基板５０の状態を検出する。製造コントローラ２１は、搬送車３の搬送を制御するとともに、ＣＷセンサ５７から異常信号が入力されれば、搬送車３が装置からキャリア４９を他の装置に搬送するのを中止させる。なお、キャリアの目的地を検査装置に変更する処理を行ってもよい。
このシステムでは、搬送車３はキャリア４９を装置間で搬送する。ただし、キャリア４９内の基板５０の状態が異常になると、搬送車３は装置からキャリア４９を他の装置に搬送することを中止させられる。これにより、無駄な搬送作業がなくなり、その結果、搬送車システム１の搬送効率が低下しにくい。すなわち、本発明の課題は無駄な搬送を減らすことで搬送効率を向上させることであり、本発明の解決手段は装置からの搬送開始前にキャリア内の基板状態を検出することである。 In summary, the transport vehicle system 1 includes the transport vehicle 3, the CW sensor 57, and the manufacturing controller 21. The transport vehicle 3 transports the carrier 49 containing the substrate 50 between a plurality of apparatuses. The CW sensor 57 detects the state of the substrate 50 in the carrier 49. The manufacturing controller 21 controls the conveyance of the conveyance vehicle 3 and, when an abnormal signal is input from the CW sensor 57, stops the conveyance vehicle 3 from conveying the carrier 49 from the apparatus to another apparatus. In addition, you may perform the process which changes the destination of a carrier to an inspection apparatus.
In this system, the transport vehicle 3 transports the carrier 49 between the apparatuses. However, when the state of the substrate 50 in the carrier 49 becomes abnormal, the transport vehicle 3 is stopped from transporting the carrier 49 from the apparatus to another apparatus. Thereby, useless conveyance work is eliminated, and as a result, the conveyance efficiency of the conveyance vehicle system 1 is not easily lowered. That is, an object of the present invention is to improve the conveyance efficiency by reducing unnecessary conveyance, and the solution means of the present invention is to detect the substrate state in the carrier before the conveyance from the apparatus is started.

また、上記実施形態では、第２処理装置５１からキャリア４９が搬送されるときに基板５０の状態が確認されて、正常・異常いずれの場合でも搬送車３がキャリア４９を第２処理装置５１から搬出する。したがって、第２処理装置５１における稼働率が高くなる。   In the above embodiment, the state of the substrate 50 is confirmed when the carrier 49 is transported from the second processing apparatus 51, and the transport vehicle 3 removes the carrier 49 from the second processing apparatus 51 in either case of normal or abnormal. Take it out. Therefore, the operation rate in the second processing device 51 is increased.

（８）他の実施形態
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。 (8) Other Embodiments Although one embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention.

（８−１）他の装置にＣＷセンサを設けた変形例
前記実施形態では、処理装置前ストッカ５１にＣＷセンサ５７を設けた場合を説明したが、本発明はこれに限定されない。本発明に係る実施形態としては、ＣＷセンサ５７から異常信号が入力されれば、搬送車３が装置からキャリア４９を他の装置に搬送するのを中止させるようになっていれば、ＣＷセンサ５７の位置はどこであってもよい。 (8-1) Modified Example in which CW Sensor is Provided in Other Apparatus In the embodiment, the case where the CW sensor 57 is provided in the pre-processing apparatus stocker 51 has been described, but the present invention is not limited to this. As an embodiment according to the present invention, if an abnormal signal is input from the CW sensor 57, the CW sensor 57 is stopped if the conveyance vehicle 3 stops conveying the carrier 49 from the apparatus to another apparatus. The position of can be anywhere.

第１変形例として、第１処理装置９、ストッカ１１、サイドバッファ１７、下部バッファ１９の全てまたは一部にＣＷセンサ５７が設けられている例を説明する。図１１にそのような実施例を開示している。図１１は、処理装置およびストッカ、バッファからキャリアを搬送する動作を示す模式図である。この場合、第１処理装置９、ストッカ１１、サイドバッファ１７、下部バッファ１９からキャリア４９が他の装置に搬送される場合に、図１３の処理が実行される。   As a first modification, an example in which CW sensors 57 are provided in all or part of the first processing device 9, the stocker 11, the side buffer 17, and the lower buffer 19 will be described. FIG. 11 discloses such an embodiment. FIG. 11 is a schematic diagram illustrating an operation of conveying a carrier from the processing device, the stocker, and the buffer. In this case, when the carrier 49 is transported from the first processing device 9, the stocker 11, the side buffer 17, and the lower buffer 19 to another device, the processing of FIG. 13 is executed.

例えば、ＣＷセンサ５７は、第１処理装置９に設けられており、第１処理装置９においてキャリア４９内の基板５０の状態を検出する。このシステムでは、搬送車３が第１処理装置９からキャリア４９を離れた装置に搬出する場合にキャリア４９内の基板５０の状態が異常であれば、搬送車３はキャリア４９の搬送を中止する。これにより、無駄な搬送作業がなくなり、その結果、搬送車システム１の搬送効率が低下しにくい。
この変形例では、第１処理装置９からキャリア４９が搬送されるときに基板５０の状態が確認されて、正常・異常いずれの場合でも搬送車３がキャリア４９を第２処理装置５１から搬出する。したがって、第１処理装置９における稼働率が高くなる。 For example, the CW sensor 57 is provided in the first processing apparatus 9 and detects the state of the substrate 50 in the carrier 49 in the first processing apparatus 9. In this system, if the state of the substrate 50 in the carrier 49 is abnormal when the transport vehicle 3 is transported from the first processing device 9 to the device away from the carrier 49, the transport vehicle 3 stops transporting the carrier 49. . Thereby, useless conveyance work is eliminated, and as a result, the conveyance efficiency of the conveyance vehicle system 1 is not easily lowered.
In this modification, the state of the substrate 50 is confirmed when the carrier 49 is transported from the first processing apparatus 9, and the transport vehicle 3 unloads the carrier 49 from the second processing apparatus 51 in either case of normal or abnormal. . Therefore, the operation rate in the first processing device 9 is increased.

例えば、ＣＷセンサ５７は、ストッカ１１に設けられており、ストッカ１１においてキャリア４９内の基板５０の状態を検出する。このシステムでは、搬送車３がストッカ１１からキャリア４９を離れた装置に搬出する場合にキャリア４９内の基板５０の状態が異常であれば、搬送車３はキャリア４９の搬送を中止する。これにより、無駄な搬送作業がなくなり、その結果、搬送車システム１の搬送効率が低下しにくい。   For example, the CW sensor 57 is provided in the stocker 11 and detects the state of the substrate 50 in the carrier 49 in the stocker 11. In this system, if the state of the substrate 50 in the carrier 49 is abnormal when the transport vehicle 3 is transported from the stocker 11 to an apparatus away from the carrier 49, the transport vehicle 3 stops transporting the carrier 49. Thereby, useless conveyance work is eliminated, and as a result, the conveyance efficiency of the conveyance vehicle system 1 is not easily lowered.

例えば、ＣＷセンサ５７は、サイドバッファ１７および下部バッファ１９に設けられており、サイドバッファ１７および下部バッファ１９においてキャリア４９内の基板５０の状態を検出する。このシステムでは、搬送車３がサイドバッファ１７および下部バッファ１９からキャリア４９を離れた装置に搬出する場合にキャリア４９内の基板５０の状態が異常であれば、搬送車３はその後のキャリア４９の搬送を中止する。これにより、無駄な搬送作業がなくなり、その結果、搬送車システム１の搬送効率が低下しにくい。   For example, the CW sensor 57 is provided in the side buffer 17 and the lower buffer 19, and detects the state of the substrate 50 in the carrier 49 in the side buffer 17 and the lower buffer 19. In this system, if the state of the substrate 50 in the carrier 49 is abnormal when the transport vehicle 3 carries out the carrier 49 away from the side buffer 17 and the lower buffer 19, the transport vehicle 3 moves to the subsequent carrier 49. Stop conveyance. Thereby, useless conveyance work is eliminated, and as a result, the conveyance efficiency of the conveyance vehicle system 1 is not easily lowered.

第２変形例として、搬送車３にＣＷセンサ５７が設けられている例を説明する。図１２にそのような実施例を開示している。図１２は、処理装置から搬送車がキャリアを搬送する動作を示す模式図である。このシステムでは、搬送車３がキャリア４９を搬送開始する場合にキャリア４９内の基板５０の状態が異常であれば、搬送車３はキャリア４９の目的位置への搬送を中止する。これにより、無駄な搬送作業がなくなり、その結果、搬送車システム１の搬送効率が低下しにくい。
この例では、搬送車３が第１処理装置９、ストッカ１１、サイドバッファ１７からキャリア４９を他の装置に搬送する場合に、図１３の処理が実行される。 As a second modification, an example in which a CW sensor 57 is provided in the transport vehicle 3 will be described. FIG. 12 discloses such an embodiment. FIG. 12 is a schematic diagram illustrating an operation in which the transport vehicle transports the carrier from the processing apparatus. In this system, if the state of the substrate 50 in the carrier 49 is abnormal when the transport vehicle 3 starts transporting the carrier 49, the transport vehicle 3 stops transporting the carrier 49 to the target position. Thereby, useless conveyance work is eliminated, and as a result, the conveyance efficiency of the conveyance vehicle system 1 is not easily lowered.
In this example, when the transport vehicle 3 transports the carrier 49 from the first processing device 9, the stocker 11, and the side buffer 17 to another device, the processing of FIG. 13 is executed.

（８−２）他の変形例
ＣＷセンサ５７は、一種類の装置のみに設けられていてもよいし、複数種類の装置に設けられていてもよい。ただし、図１０に示すように、処理装置前ストッカ５５にＣＷセンサ５７を設けた場合は、処理装置前ストッカ５５から他の処理装置にキャリア４９が搬送されるときに一度だけ基板５０の状態を検出すればよいので、効率がよい。したがって、ＣＷセンサ５７を処理装置前ストッカのみに設けるという実施例は有効である。
ＣＷセンサの種類は非接触センサであれば特に限定されない。例えば、ＣＷセンサは、透過型の光電センサでもよいし、投光器とカメラからなるセンサでもよい。
一カ所におけるＣＷセンサ５７は１つでもよいし、３つ以上でもよい。
ＣＷセンサ５７は、床置きバッファに設けられていてもよい。 (8-2) Other Modifications The CW sensor 57 may be provided in only one type of device, or may be provided in a plurality of types of devices. However, as shown in FIG. 10, when the pre-processing apparatus stocker 55 is provided with the CW sensor 57, the state of the substrate 50 is changed only once when the carrier 49 is transported from the pre-processing apparatus stocker 55 to another processing apparatus. Since it only has to detect, it is efficient. Therefore, the embodiment in which the CW sensor 57 is provided only in the pre-processing apparatus stocker is effective.
The type of CW sensor is not particularly limited as long as it is a non-contact sensor. For example, the CW sensor may be a transmissive photoelectric sensor or a sensor including a projector and a camera.
There may be one CW sensor 57 in one place, or three or more.
The CW sensor 57 may be provided in the floor-standing buffer.

ＣＷセンサ５７は、製造コントローラ２１ではなく、第１処理装置９または第２処理装置５１のコントローラに検出信号を送信するようになっていてもよい。その場合は、第１処理装置９または第２処理装置５１のコントローラから検出信号が製造コントローラ２１に送信される。
さらに、ＣＷセンサ５７は、設置される場所の装置のコントローラに検出信号を送信するようになっていてもよい。例えば、ＣＷセンサ５７は、ストッカコントローラ２５、搬送車コントローラ２７、搬送車３内のコントローラに検出信号を送信することができる。 The CW sensor 57 may transmit a detection signal to the controller of the first processing device 9 or the second processing device 51 instead of the manufacturing controller 21. In that case, a detection signal is transmitted from the controller of the first processing device 9 or the second processing device 51 to the manufacturing controller 21.
Furthermore, the CW sensor 57 may transmit a detection signal to the controller of the device at the place where it is installed. For example, the CW sensor 57 can transmit a detection signal to the stocker controller 25, the transport vehicle controller 27, and the controller in the transport vehicle 3.

搬送車システムのレイアウトおよび制御系は、上記実施形態に限定されない。また、搬送車システムが適用される設備の種類も前記実施形態に限定されない。   The layout and control system of the transport vehicle system are not limited to the above embodiment. Further, the type of equipment to which the transport vehicle system is applied is not limited to the above embodiment.

搬送車の種類は、天井搬送車、無軌道で走行する無人搬送車や有軌道台車のいずれであってもよい。   The type of the transport vehicle may be any of an overhead transport vehicle, an automatic guided vehicle that travels without a track, and a tracked cart.

本発明は、搬送車が内部に複数の基板を収納した容器を搬送する搬送車システムに広く適用できる。   The present invention can be widely applied to a transport vehicle system in which a transport vehicle transports a container containing a plurality of substrates therein.

１ 搬送車システム
３ 搬送車
５ 周回走行路
７ 基幹走行路
９ 第１処理装置
１１ ストッカ（経路配置自動倉庫）
１３ 入庫ポート
１５ 出庫ポート
１７ サイドバッファ（バッファ）
１９ 下部バッファ（バッファ）
２０ 制御系
２１ 製造コントローラ（搬送制御部）
２３ 物流コントローラ
２４ 載置部
２５ ストッカコントローラ
２６ 支持部材
２７ 搬送車コントローラ
２９ 天井
３０ 走行レール
３１ 支柱
３２ 走行レール本体
３３ 給電レール
３４ 本体ベース
３５ 走行駆動部
３６ 受電部
３７ 前側カバー
３８ 後側カバー
３９ 横移動機構
４０ 昇降駆動部
４１ 昇降台
４９ キャリア（容器）
５０ 基板
５１ 第２処理装置
５３ 処理装置本体
５５ 処理装置前ストッカ（装置近傍自動倉庫）
５６ 受け渡しポート
５７ ＣＷセンサ（状態検出装置）
５８ 第１光電センサ
５９ 第２光電センサ
６０ シャフト
６１ ＣＷセンサ・コントローラ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Conveyor vehicle system 3 Conveyor vehicle 5 Circulation traveling path 7 Basic traveling path 9 1st processing apparatus 11 Stocker (route arrangement automatic warehouse)
13 Incoming port 15 Outgoing port 17 Side buffer (buffer)
19 Lower buffer (buffer)
20 Control system 21 Manufacturing controller (transport control unit)
23 logistics controller 24 placement section 25 stocker controller 26 support member 27 transport vehicle controller 29 ceiling 30 traveling rail 31 support 32 traveling rail body 33 feeding rail 34 body base 35 traveling drive section 36 power receiving section 37 front cover 38 rear cover 39 side Moving mechanism 40 Elevating drive unit 41 Elevating platform 49 Carrier (container)
50 Substrate 51 Second processing unit 53 Processing unit main body 55 Pre-processing unit stocker (automatic storage near the unit)
56 Delivery port 57 CW sensor (state detection device)
58 First photoelectric sensor 59 Second photoelectric sensor 60 Shaft 61 CW sensor / controller

Claims (5)

複数の装置間で基板が入った容器を搬送するための搬送車と、
前記容器内の前記基板の状態を検出するための状態検出装置と、
前記搬送車の搬送を制御するとともに、前記状態検出装置から異常信号が入力されれば、前記搬送車が前記装置から前記容器を他の装置に搬送するのを中止させる搬送制御部と、
を備えた搬送車システム。 A transport vehicle for transporting a container containing a substrate between a plurality of apparatuses;
A state detection device for detecting the state of the substrate in the container;
A conveyance control unit for controlling conveyance of the conveyance vehicle and stopping conveyance of the container from the device to the other device when the abnormality signal is input from the state detection device;
Car carrier system equipped with. 前記装置に併設された装置近傍自動倉庫をさらに備えており、
前記状態検出装置は、前記搬送車が前記容器を前記装置近傍自動倉庫から次工程の装置に搬出する場合に、前記容器内の前記基板の状態を検出する、請求項１に記載の搬送車システム。 The apparatus further comprises an automatic storage near the apparatus attached to the apparatus,
2. The transport vehicle system according to claim 1, wherein the state detection device detects a state of the substrate in the container when the transport vehicle carries the container from the automatic warehouse near the device to a next process device. . 前記搬送車の経路に沿って配置され前記容器を仮置き可能なバッファをさらに備えており、
前記状態検出装置は、前記バッファに設けられており、前記バッファにおいて前記容器内の前記基板の状態を検出する、請求項１または２に記載の搬送車システム。 Further comprising a buffer arranged along the path of the transport vehicle and capable of temporarily placing the container;
The transport vehicle system according to claim 1 or 2, wherein the state detection device is provided in the buffer, and detects the state of the substrate in the container in the buffer. 前記搬送車の経路に沿って配置された経路配置自動倉庫をさらに備えており、
前記状態検出装置は、前記経路配置自動倉庫に設けられており、前記経路配置自動倉庫において前記容器内の前記基板の状態を検出する、請求項１〜３のいずれかに記載の搬送車システム。 It further comprises a route placement automatic warehouse placed along the route of the transport vehicle,
The transport vehicle system according to claim 1, wherein the state detection device is provided in the route placement automatic warehouse, and detects the state of the substrate in the container in the route placement automatic warehouse. 前記状態検出装置は、前記搬送車に設けられており、前記搬送車に搬送される前記容器内の前記基板の状態を検出する、請求項１〜４のいずれかに記載の搬送車システム。   5. The transport vehicle system according to claim 1, wherein the state detection device is provided in the transport vehicle and detects the state of the substrate in the container transported to the transport vehicle.
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