KR102577017B1 - 레이저 다이오드 스페클 감소장치 - Google Patents

레이저 다이오드 스페클 감소장치 Download PDF

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조재흥
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Abstract

본 발명은 스페클 감소장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 레이저다이오드(LD)가 pig-tailing된 여러 가닥의 광섬유가 커플링되어 단일 가닥의 고출력 레이저다이오드의 레이저 빛이 광섬유 끝에 붙여놓은 콜리메이터(collimator)를 통과하여 평행한 가느다란 레이저빔이 되어, 10 ~ 300 MHz의 Radio Frequency(RF)로 구동되는 음향광학편향기(AOD; acousto-optic deflector)에 입사되고, 음향광학편향기에서 랜덤하게 출사되는 회절빔은 금속으로 코팅된 산란 측면을 갖는 유리막대를 통과하여 랜덤하게 변하는 산란광으로 방출되며, 상기 산란광은 결상렌즈를 통하여 포토마스크를 비추고, 40 ~ 1,000 kHz의 공간적, 시간적으로 평균된 영상을 고속 CCD 카메라로 촬영하여 스페클이 감소된 이미지를 얻는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드 스페클 감소장치에 관한 것이다.

Description

레이저 다이오드 스페클 감소장치 {Laser diode speckle reduction device}
본 발명은 스페클 감소장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 레이저 다이오드(LD)가 pig-tailing된 여러 가닥의 광섬유가 커플링되어 단일 가닥의 고출력 레이저 다이오드의 레이저 빛이 광섬유 끝에 붙여놓은 콜리메이터(collimator)를 통과하여 평행한 가느다란 레이저빔이 되어, 10 ~ 300 MHz의 Radio Frequency(RF)로 구동되는 음향광학편향기(AOD; acousto-optic deflector)에 입사되고, 음향광학편향기에서 랜덤하게 또는 등간격으로 출사되는 회절빔은 금속으로 코팅된 산란 측면을 갖는 유리막대를 통과하여 랜덤하게 변하는 산란광으로 방출되며, 상기 산란광은 결상렌즈를 통하여 포토마스크를 비추고, 40 ~ 1,000 kHz의 공간적, 시간적으로 평균된 영상을 고속 CCD 카메라로 촬영하여 스페클이 감소된 이미지를 얻는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드 스페클 감소장치에 관한 것이다.
또한 본 발명은 여러 가닥의 레이저 다이오드 대신에 고출력 레이저도 가능하다.
스페클(speckle)은 모든 레이저들 및 레이저 라인 프로젝터들에 영향을 주는 현상이다. 스페클은 조명되는 표면의 거칠기로 인해 유발되어, 레이저 조명하에서 볼 때 낟알 모양의 랜덤한 “스페클” 형상을 그 표면에 제공하는 아주 작은 회절 구역들을 유발한다.
스페클 효과는 코히어런트한 빔이 빔의 단면적 안에서 수많은 산란자들에 의하여 발생한 서로 상이한 위상들 및 진폭들을 갖는 동일한 주파수의 수많은 각기 다른 산란광들의 간섭의 결과로 인하여 산란자로부터 일정거리 떨어진 공간상의 스크린에 진폭 및 강도가 랜덤하게 변하는 얼룩덜룩한 광의 공간적 분포가 생기는 것이다.
산란면이 코히어런트한 광에 의해 조명될 때, 회절 이론에 따라 조명된 표면상의 각각의 점은 2차 구면파들의 소스로서 작용한다. 이렇게 산란된 광 필드 내의 산란면의 임의의 점에서의 산란광은 구면파로 구성되며, 이 구면파들이 산란면으로부터 일정한 거리가 떨어진 스크린 상에서 코히어런트하게 그리고 공간적으로 랜덤하게 간섭하여 얼룩덜룩한 밝고 어두운 스페클 무늬를 만든다. 산란면의 각 산란자들의 크기가 한 파장을 초과하는 경로 차이들을 야기할 정도로 충분히 거칠어서 2π보다 더 큰 위상 변화들을 일으키는 경우에 이들 산란자들에 의한 코히어런트한 광이 합쳐진 결과적인 광의 진폭이 랜덤하게 변하여 광의 강도가 공간적으로 랜덤하게 변한다. 스페클 무늬가 낮은 코히어런트한 광(즉, 많은 파장들로 구성된 광)이 사용되면, 즉 개별 파장들에 의해 생성된 스페클 패턴들이 상이한 치수들을 가지면 일반적으로 공간적으로 서로 평균화될 것이기 때문에, 스페클 패턴이 일반적으로 거의 관찰되지 않을 것이다. 그러나 스페클 패턴들은 레이저들과 같은 코히어런트 광 소스들이 거친 산란면에서 반사나 투과할 때 본질적으로 발생하게 되어 있다.
이러한 스페클 패턴을 최소화하기 위한 종래의 기술이 한국등록특허 제10-2144149호로 개시된 바 있다. 종래의 기술은 가 간섭성 광원 사용으로 인해 발생하는 스페클 노이즈 저감 방법 및 이를 적용한 광학 시스템으로서, 레이저 광원; 레이저 광원에서 출사된 빛에서 일부를 추출하고 확대하는 공간 필터; 확대된 빛을 변조기의 어퍼쳐(Aperture) 크기에 맞게 축소하는 광학계; 광학계를 통과한 빛의 편광을 45° 회전시키는 HWP(Half Wave Plate); 및 HWP를 통과한 빛의 위상을 반복적으로 시프팅하는 변조기로 구성되었다.
그러나 상기 기술은 이미지 또는 영상에 발현되는 스페클을 효과적으로 감소시킬 수 없으며 해상도가 우수한 이미지 또는 영상을 제공할 수 없다.
본 발명은 산학협력과제인 ‘LD speckle reducer 개발’을 통해 종래기술의 문제점을 해결하였다.
한국등록특허 제10-2144149호(2020.08.06.)
이와 같은 문제를 해결하기 위해 제안된 본 발명은 스페클 감소장치에 관한 것으로서, 레이저 빛이 광섬유 끝에 붙여놓은 콜리메이터(collimator)를 통과하여 평행한 가느다란 레이저빔이 되어, 10 ~ 300 MHz의 Radio Frequency(RF)로 구동되는 음향광학편향기(AOD; acousto-optic deflector)에 입사되고, 음향광학편향기에서 랜덤하게 또는 등간격으로 출사되는 회절빔은 금속으로 코팅된 산란 측면을 갖는 유리막대를 통과하여 공간적으로 랜덤하게 위상들이 변하는 산란광으로 방출되며, 상기 산란광은 결상렌즈를 통하여 포토마스크를 비추고, 40 ~ 1,000 kHz의 공간적, 시간적으로 평균된 영상을 고속 CCD 카메라로 촬영하여 스페클이 감소된 이미지를 얻는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드 스페클 감소장치에 관한 것이다.
또한 본 발명은 고출력 레이저 다이오드들 대신에 고출력 레이저도 가능하다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일실시예에 따른 레이저 다이오드 스페클 감소장치는,
레이저 광선을 출력하는 레이저 다이오드(111)와,
상기 레이저 다이오드(111)와 연결된 다수개의 광섬유(112)와,
상기 광섬유(112)로부터 전달된 레이저 광선을 평행한 레이저빔으로 변환하는 콜리메이터(113)를 포함하는 광원부(110);
상기 콜리메이터(113)로부터 전달된 레이저빔을 Radio Frequency(RF) Driver로 구동하여 랜덤한 방향으로 회절빔을 출사하는 음향광학편향기(121)와,
상기 음향광학편향기(121)에서 출사된 회절빔이 통과하는 포커싱렌즈(122)와,
금속으로 코팅된 산란 측면을 갖고, 상기 포커싱렌즈(122)를 통과한 회절빔이 입사하여 측면에서 산란 및 반사되어 랜덤한 방향으로 산란광을 출사하는 유리막대(123)와,
상기 유리막대(123)에서 출사된 산란광이 통과하는 결상렌즈(124)를 포함하는 산란광처리부(120); 및
상기 결상렌즈(124)를 통과한 산란광이 투사되는 포토마스크(131)와,
상기 포토마스크(131)와 같은 타겟을 촬영하는 고속 CCD 카메라(132)를 포함하는 촬영부(130);로 구성될 수 있다.
이때 상기 레이저 다이오드(111)는 300 ~ 500 nm의 파장을 갖도록 구성될 수 있다.
또한 상기 음향광학편향기(121)는 무작위 또는 등간격 신호를 만드는 컴퓨터에서 만든 신호를 이용하여 RF driver로부터 만든 무작위한 또는 등간격 변조주파수(modulation frequency)가 220 MHz 50 MHz 범위에서 초당 40 ~ 1,000 kHz로 회절광의 방향이 바뀌도록 구동될 수 있다.
본 발명은 음향광학편향기(121) 대신에 음향광학변조기(AOM; acousto-optic modulator), EOM(electro-optic modulator) 또는 MEMS(micro-electro mechanical system) 거울을 사용할 수 있다.
또한 본 발명은 음향광학편향기(121)와 유리막대(123) 사이에 위치하는 포커싱렌즈(122)를 생략하고, 음향광학편향기(121)와 유리막대(123)를 바로 연결할 수 있다.
아울러 본 발명은 유리막대(123) 대신에 산란판을 사용할 수 있다.
상기 유리막대(123)는 전면, 후면 및 측면을 가지되, 전면은 광학면이고, 후면은 광학면 또는 산란면이며, 측면은 표면이 거친 산란면인 것을 특징으로 한다.
상기 유리막대(123)는 원기둥, 삼각기둥, 사각기둥, 오각기둥, 다각기둥 또는 유리판일 수 있다.
또한 상기 포커싱렌즈(122) 및 결상렌즈(124)는 볼록렌즈로 구성될 수 있다.
아울러 상기 고속 CCD 카메라(132)는 4 kHz 이상으로 촬영하도록 구성될 수 있다.
또한 상기 고속 CCD 카메라(132)는 40 ~ 1,000 kHz의 공간적, 시간적으로 평균된 영상을 촬영하여 스페클이 감소된 이미지를 얻는 것을 특징으로 한다.
아울러 고출력 레이저 다이오드들 대신에 고출력 레이저도 가능하다.
본 발명은 음향광학편향기(AOD; acousto-optic deflector)를 통과하여 AOD의 편향각 범위 내에서 랜덤한 방향으로 회절하는 회절빔이 유리막대의 측면에서 산란 및 반사되어 산란광으로 랜덤하게 방출되며, 이 광으로 타겟을 비추고 고속 CCD 카메라로 40 ~ 1,000 kHz의 공간적, 시간적으로 평균된 타겟의 영상을 촬영함으로써, 스페클이 감소되고 해상도가 우수한 이미지 또는 영상을 얻을 수 있다.
도 1은 본 발명 스페클 감소장치의 일실시예
도 2는 본 발명 스페클 감소장치의 구성 제1실시예
도 3은 본 발명 스페클 감소장치의 포커싱렌즈 제외 구성 일실시예
도 4는 본 발명 스페클 감소장치의 구성 제2실시예
도 5는 본 발명 스페클 감소장치의 구성 제3실시예
도 6은 본 발명 스페클 감소장치의 구성 제4실시예
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 더욱 상세하게 설명한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정하여 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 또한, 사용되는 기술 용어 및 과학 용어에 있어서 다른 정의가 없다면, 이 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 통상적으로 이해하고 있는 의미를 가지며, 하기의 설명 및 첨부 도면에서 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 설명은 생략한다. 다음에 소개되는 도면들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 제시되는 도면들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 또한, 명세서 전반에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다. 도면들 중 동일한 구성요소들은 가능한 한 어느 곳에서든지 동일한 부호들로 나타내고 있음에 유의해야 한다.
도 1은 본 발명 스페클 감소장치의 일실시예이고, 도 2는 본 발명 스페클 감소장치의 구성 제1실시예이며, 도 3은 본 발명 스페클 감소장치의 포커싱렌즈 제외 구성 일실시예이고, 도 4는 본 발명 스페클 감소장치의 구성 제2실시예이며, 도 5는 본 발명 스페클 감소장치의 구성 제3실시예이며, 도 6은 본 발명 스페클 감소장치의 구성 제4실시예이다.
본 발명의 고출력 고속영상 검사용 조명광의 레이저 다이오드 스페클 감소장치는, 도 1 내지 도 6에서 도시하고 있는 바와 같이,
레이저 광선을 출력하는 레이저 다이오드(111)와,
상기 레이저 다이오드(111)와 연결된 다수개의 광섬유(112)와,
상기 광섬유(112)로부터 전달된 레이저 광선을 평행한 레이저빔으로 변환하는 콜리메이터(113)를 포함하는 광원부(110);
상기 콜리메이터(113)로부터 전달된 레이저빔을 Radio Frequency(RF) Driver로 구동하여 랜덤한 방향으로 회절빔을 출사하는 음향광학편향기(121)와,
상기 음향광학편향기(121)에서 출사된 회절빔이 통과하는 포커싱렌즈(122)와,
금속으로 코팅된 산란 측면을 갖고, 상기 포커싱렌즈(122)를 통과한 회절빔이 입사하여 측면에서 산란 및 반사되어 랜덤한 방향으로 산란광을 출사하는 유리막대(123)와,
상기 유리막대(123)에서 출사된 산란광이 통과하는 결상렌즈(124)를 포함하는 산란광처리부(120); 및
상기 결상렌즈(124)를 통과한 산란광이 투사되는 포토마스크(131)와,
상기 포토마스크(131)를 촬영하는 고속 CCD 카메라(132)를 포함하는 촬영부(130);로 구성될 수 있다.
본 발명의 스페클 감소장치는, 레이저 다이오드(111)가 pig-tailing된 여러 가닥의 광섬유(112)가 커플링되어 단일 가닥의 고출력 레이저 다이오드의 레이저 빛이 광섬유 끝에 붙여놓은 콜리메이터(113)를 통과하여 평행한 가느다란 레이저빔이 되어, 10 ~ 300 MHz의 Radio Frequency(RF)로 구동되는 음향광학편향기(121)에 입사되고, 음향광학편향기(121)에서 랜덤하게 또는 등간격으로 출사되는 회절빔은 금속으로 코팅된 산란 측면을 갖는 유리막대(123)를 통과하여 랜덤하게 변하는 산란광으로 방출되며, 상기 산란광은 결상렌즈(124)를 통하여 포토마스크(131)를 비추고, 40~1,000kHz의 공간적, 시간적으로 평균된 영상을 고속 CCD 카메라(132)로 촬영하여 스페클이 감소된 이미지를 얻을 수 있다.
상기 광원부(110)는 레이저 다이오드(111), 광섬유(112) 및 콜리메이터(113)로 구성된다. 또한 고출력 레이저 다이오드들 대신에 고출력 레이저도 가능하다.
상기 레이저 다이오드(111)의 레이저 광선은 광원으로 사용되며, 상기 레이저 광선은 상기 광섬유(112)를 지나 상기 콜리메이터(113)를 통과하며, 상기 콜리메이터(113)는 레이저 광선을 레이저빔으로 변환하여 출력할 수 있다.
이때 상기 레이저 다이오드(111)는 300 ~ 500nm의 파장을 갖도록 구성될 수 있다. 또한 상기 레이저 다이오드(111)의 파장은 405 nm인 것이 바람직하다.
이후, 상기 음향광학편향기(AOD, 121)는 상기 콜리메이터(113)에서 전달된 레이저빔을 Radio Frequency(RF) Driver로 구동하여 레이저빔을 랜덤한(또는 등간격으로) 방향으로 회절시키며, 상기 포커싱렌즈(Focusing Lens, 122)는 상기 음향광학편향기(121)에서 평행하게 출사된 회절빔을 통과시키고, 길이 1~10cm, 직경 1~10mm로 형성되는 상기 유리막대(123)는 거친 표면의 측면을 가지며, 상기 포커싱렌즈(122)를 통과한 회절빔은 상기 측면에서 산란 및 반사되어 산란광이 되고, 상기 결상렌즈(Imaging Lens, 124)는 상기 유리막대(123)로부터 출사되는 산란광이 통과하도록 구성될 수 있다.
이때 상기 측면의 표면 거칠기는 회절빔 파장의 10 ~ 100배인 것이 바람직하다.
상기 음향광학편향기(121)는 무작위 신호를 만드는 컴퓨터에서 만든 신호를 이용하여 RF driver로부터 만든 무작위한(또는 등간격인) 변조주파수(modulation frequency)를 220 MHz 50 MHz 범위에서 초당 40 ~ 1,000 kHz로 AOD로부터의 편향각이 바뀌도록 구동될 수 있다.
상기 출사하는 회절빔의 회절각인 브래그 각은 0.61도, 스캔 각도는 0.47도 이내로 무작위(또는 등간격으로)로 바뀌면서 회절빔이 무작위(또는 등간격으로)로 스캔될 수 있다. 다만 AOD의 종류에 따라 Bragg 각과 스캔 각도는 다소간 바뀔 수 있으나, 위의 값이 바람직하다.
상기 유리막대(123)는 금속으로 코팅된 산란 측면을 갖고, 상기 포커싱렌즈(122)를 통과한 회절빔이 입사하여 상기 측면에서 산란 및 반사되어 랜덤한 방향으로 산란광을 출사할 수 있다.
상기 유리막대(123)는 전면, 후면 및 측면을 가지되, 전면은 광학면이고, 후면은 광학면 또는 산란면이며, 측면은 표면이 거친 산란면인 것을 특징으로 한다. 이때 상기 측면은 금, 은, 구리, 백금 등의 금속으로 코팅될 수 있다.
또한 상기 유리막대(123)는 원기둥, 삼각기둥, 사각기둥, 오각기둥, 다각기둥 또는 유리판일 수 있다. 이때 유리막대 및 유리판의 측면은 표면이 거친 산란면인 것이 바람직하다.
아울러 본 발명은 상기 유리막대(123) 대신에 가운데에 홀 또는 구멍이 형성되는 할로우 금속 막대가 사용될 수 있다. 이때 상기 금속 막대의 측면은 표면이 거친 산란면인 것이 바람직하다.
상기 유리막대(123)의 전면으로 입사한 회절빔은 측면에서 산란 및 반사되어 유리막대(123)의 후면으로 퍼져나간다. 상기 회절빔은 랜덤한 입사각도로 유리막대의 전면으로 입사하기 때문에 측면에 처음으로 부딪히는 점이 랜덤하게 변하고, 이로 인하여 40 ~ 1,000 kHz 주파수, 바람직하게는 400 kHz 주파수로 회절각이 랜덤하게(또는 등간격으로) 바뀌면 유리막대 후면으로 서로 다른 공간적 분포를 갖는 산란광이 40 ~ 1,000 kHz 주파수, 바람직하게는 400 kHz로 나타날 수 있다.
상기 산란광은 결상렌즈(124)를 통과하여 스페클이 포함된 조명광으로 포토마스크(131)를 비추고, 상기 고속 CCD 카메라(132)는 상기 포토마스크(131)를 촬영하여 40~1,000kHz의 공간적, 시간적으로 평균된 영상을 획득함으로써 스페클이 감소된 이미지를 얻을 수 있다.
상기 촬영부(130)는 상기 포토마스크(131)에서 상기 결상렌즈(124)를 통과한 산란광이 투사되며, 상기 고속 CCD 카메라(132)에서 포토마스크(131)를 촬영하게 된다.
즉, 40 ~ 1,000 kHz 주파수로 랜덤하게(또는 등간격으로) 출사되는 유리막대 등에 의한 산란면에서 출사된 광들이 공간적으로 만든 스페클이 포함된 조명광을 초당 100 ~ 1,000회 중첩함으로써 스페클이 감소된 이미지를 획득할 수 있다.
아울러 상기 고속 CCD 카메라(132)는 4 kHz 이상으로 촬영하도록 구성될 수 있다.
상기 고속 CCD 카메라(132)는 40 ~ 1,000 kHz의 공간적, 시간적으로 평균된 영상을 촬영하여 스페클이 감소된 이미지를 얻을 수 있다.
본 발명은 음향광학편향기(121) 대신에 음향광학변조기(AOM; acousto-optic modulator), EOM(electro-optic modulator) 또는 MEMS(micro-electro mechanical system) 거울을 사용할 수 있다.
또한 본 발명은 음향광학편향기(121)와 유리막대(123) 사이에 위치하는 포커싱렌즈(122)를 생략하고, 음향광학편향기(121)와 유리막대(123)를 바로 연결할 수 있다.
아울러 본 발명은 유리막대(123) 대신에 산란판을 사용할 수 있다.
또한 상기 포커싱렌즈(122) 및 결상렌즈(124)는 볼록렌즈로 구성될 수 있다. 즉, 상기 포커싱렌즈(122)는 회절빔을 모아 상기 유리막대(123)로 전달할 수 있으며, 상기 결상렌즈(124)는 상기 유리막대(123)를 통과한 산란광을 모을 수 있다. 이때, 도 3에서 도시하고 있는 바와 같이, 상기 포커싱렌즈(122)는 상기 음향광학편향기(121)와 상기 유리막대(123) 사이의 정렬 간소화를 위하여 제외하여 구성될 수 있다. 즉, 상기 음향광학편향기(121)와 유리막대(123)는 직접 연결될 수 있다.
또한 도 4 내지 도 6에서 도시하고 있는 바와 같이, 상기 유리막대(123)는 산란판으로 대체될 수 있으나 산란광의 가수가 공간적으로 퍼져나가기 때문에 산란판에서는 광량의 손실이 발생할 수 있다.
도 5 내지 도 6에서 도시하고 있는 바와 같이, 본 발명은 레이저빔의 방향을 무작위로 바꾸기 위해 상기 음향광학편향기(121) 대신에 음향광학변조기(AOM; acousto-optic modulator), 전기적광학변환기(Electro-optic modulator, EOM), MEMS(Micro-Electro Mechanical System) 등으로 제작된 가변적 편향각을 갖는 격자 또는 일반적인 격자를 사용할 수 있다.
상기 음향광학편향기(121) 대신에 MEMS(Micro-Electro Mechanical System) 격자를 사용하고, 유리막대(123) 대신에 산란판을 사용한 실시예가 도 5에서 도시되고 있다.
도 5의 실시예에서 상기 포커싱렌즈(122) 대신에 F-THETA 렌즈를 사용하도록 구성될 수 있다.
또한 도 6은 상기 음향광학편향기(121) 대신에 MEMS(Micro-Electro Mechanical System) 격자를 사용하고, 유리막대(123) 대신에 산란판을 사용한 실시예를 나타내고 있다.
110: 광원부
111: 레이저다이오드 112: 광섬유
113: 콜리메이터
120: 산란광처리부
121: 음향광학편향기 122: 포커싱렌즈
123: 유리막대 124: 결상렌즈
130: 촬영부
131: 포토마스크 132: 고속 CCD 카메라

Claims (7)

  1. 레이저 광선을 출력하는 레이저 다이오드(111)와,
    상기 레이저 다이오드(111)와 연결된 다수개의 광섬유(112)와,
    상기 광섬유(112)로부터 전달된 레이저 광선을 평행한 레이저빔으로 변환하는 콜리메이터(113)를 포함하는 광원부(110);
    상기 콜리메이터(113)로부터 전달된 레이저빔을 Radio Frequency(RF) Driver로 구동하여 랜덤한 방향으로 회절빔을 출사하는 음향광학편향기(121)와,
    상기 음향광학편향기(121)에서 출사된 회절빔이 통과하는 포커싱렌즈(122)와,
    금속으로 코팅된 산란 측면을 갖고, 상기 포커싱렌즈(122)를 통과한 회절빔이 입사하여 측면에서 산란 및 반사되어 랜덤한 방향으로 산란광을 출사하는 유리막대(123)와,
    상기 유리막대(123)에서 출사된 산란광이 통과하는 결상렌즈(124)를 포함하는 산란광처리부(120); 및
    상기 결상렌즈(124)를 통과한 산란광이 투사되는 포토마스크(131)와,
    상기 포토마스크(131)를 촬영하는 고속 CCD 카메라(132)를 포함하는 촬영부(130);로 구성되는 레이저 다이오드 스페클 감소장치에 있어서,
    상기 레이저 다이오드(111)는 300 ~ 500 nm의 파장을 갖도록 구성되고,
    상기 음향광학편향기(121)는 RF driver로부터 만든 무작위한 또는 등간격 변조주파수(modulation frequency)가 220 MHz 50 MHz 범위에서 초당 40 ~ 1,000 kHz로 바뀌도록 구동되는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드 스페클 감소장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 유리막대(123)는 전면, 후면 및 측면을 가지되, 전면은 광학면이고, 후면은 광학면 또는 산란면이며, 측면은 표면이 거친 산란면인 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드 스페클 감소장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 포커싱렌즈(122) 및 결상렌즈(124)는 볼록렌즈로 구성되는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드 스페클 감소장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 음향광학편향기(121)와 유리막대(123) 사이에 위치하는 포커싱렌즈(122)를 생략하고, 음향광학편향기(121)와 유리막대(123)를 바로 연결하는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드 스페클 감소장치.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 유리막대(123) 대신에 산란판을 사용하는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드 스페클 감소장치.
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