KR102566329B1 - Separable jig, and coating apparatus and method having the same - Google Patents

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Abstract

분리형 지그, 및 이를 구비한 코팅 장치 및 코팅 방법의 실시예가 개시된다. 개시된 실시예의 분리형 지그는 테이블 상에서 기판을 수용하기 위한 수용부를 형성하도록 결합되는 복수의 지그부재를 포함하되, 상기 복수의 지그부재는 상기 기판 상에 도액이 도포된 후 상기 기판의 접촉 측면으로부터 이격되어 분리될 수 있는 것을 특징으로 한다. 다양한 실시예가 가능하다.Embodiments of a separable jig, a coating device having the same, and a coating method are disclosed. The detachable jig of the disclosed embodiment includes a plurality of jig members coupled to form a receiving portion for accommodating a substrate on a table, wherein the plurality of jig members are spaced apart from a contact side surface of the substrate after the coating liquid is applied on the substrate Characterized in that it can be separated. Various embodiments are possible.

Description

분리형 지그, 및 이를 구비한 코팅 장치 및 코팅 방법{SEPARABLE JIG, AND COATING APPARATUS AND METHOD HAVING THE SAME}SEPARABLE JIG, AND COATING APPARATUS AND METHOD HAVING THE SAME}

본 발명은 분리형 지그, 및 이를 구비한 코팅 장치 및 코팅 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a separable jig, and a coating apparatus and coating method having the same.

좀 더 구체적으로, 슬릿 다이 코터(Slit Die Coater)를 활용한 박막 코팅 후, 지그를 기판으로부터 분리할 때, 여러 방향으로 분리 가능한 복수의 지그부재로 이루어진 분리형 지그를 사용함에 따라, 코팅 후 복수의 지그부재를 상부에 코팅층이 형성된 기판의 측면으로부터 순차적으로 또는 동시에 이격시켜 분리할 수 있으므로, 점착제의 높은 표면 장력에 의해 미코팅 지역인 기판의 측면부에 점착제가 남거나 묻어 이물이 발생하는 것을 방지하여 이후 공정에서의 이물 불량을 해소할 수 있는 분리형 지그, 및 이를 구비한 코팅 장치 및 코팅 방법에 관한 것이다.More specifically, when separating the jig from the substrate after thin film coating using a slit die coater, as a detachable jig consisting of a plurality of jig members that can be separated in various directions is used, a plurality of Since the jig member can be separated from the side of the substrate having a coating layer formed thereon sequentially or at the same time, the high surface tension of the adhesive prevents the adhesive from remaining or smearing on the side of the substrate, which is an uncoated area, from occurring. It relates to a separable jig capable of solving foreign matter defects in a process, and a coating device and coating method having the same.

일반적으로 PDP, LCD, 및 OLED 등을 포함한 평판 패널 디스플레이(FPD)를 제조하기 위해서는 노즐 디스펜서(nozzle dispenser) 또는 슬릿 다이 노즐(이하 통칭하여 "노즐 장치"라 합니다)을 사용하여 글래스와 같은 기재 또는 기판(이하 “기판”이라 합니다.) 상에 도액을 도포하는 코팅 장치가 사용된다. 이때 도액은 수지 접착재로서 작용하며, 예컨대 스마트폰 시장이 확대됨에 따라 그 수요가 점증하고 있고, 통상 가격면을 고려하여 휘도향상용 UV경화제(OCR)를 사용할 수 있다.In general, in order to manufacture a flat panel display (FPD) including PDP, LCD, and OLED, a nozzle dispenser or a slit die nozzle (hereinafter collectively referred to as a "nozzle device") is used to A coating device that applies a coating solution on a substrate (hereinafter referred to as “substrate”) is used. At this time, the coating liquid acts as a resin adhesive, and the demand for it is increasing as the smartphone market expands, for example, and a UV curing agent (OCR) for brightness enhancement can be used in consideration of price.

도 1은 평판 패널 디스플레이(FPD)를 제조하기 위해 사용되는 종래의 테이블 코팅 장치(이하 "코팅 장치"라 합니다)를 개략적으로 도시한 평면도 및 일측면도이다.1 is a plan view and a side view schematically showing a conventional table coating apparatus (hereinafter referred to as “coating apparatus”) used to manufacture a flat panel display (FPD).

도 1을 참조하면, 종래 기술에 따른 코팅 장치(10)를 사용한 코팅 방법은 기판(G)을 석션 테이블(suction table)(12) 상에 위치시킨 후 갠트리(도시하지 않음)에 부착된 노즐 장치(20)로서의 슬릿 다이 코터(slit die coater)를 기판의 일단부에서 타단부에 이르기까지 화살표 방향으로 일정한 속도로 이동되면서 기판 상에 액상의 도액(현상액 또는 포토레지스트)을 노즐부(22)를 통해 분사(토출)하여 기판 상에 코팅층(30)을 형성하도록 도액(32)을 전면 도포하는 슬릿 코팅 방식을 사용하며, 이러한 슬릿 코팅 방식은 액상의 도액을 이용하여 박막을 형성하는 여러 가지 코팅 방식 중에서 막의 균일도와 품질이 우수하며, 동등 성능을 내는 스핀코팅 방식에 비하여 도액 소모량이 적어서 디스플레이 제조 및 IT 제품의 막코팅에 널리 쓰이는 추세에 있다.Referring to FIG. 1, the coating method using the coating device 10 according to the prior art is a nozzle device attached to a gantry (not shown) after positioning a substrate G on a suction table 12 While moving the slit die coater as 20 at a constant speed in the direction of the arrow from one end of the substrate to the other end, the nozzle unit 22 applies a liquid coating solution (developer or photoresist) on the substrate. A slit coating method is used in which the coating liquid 32 is applied over the entire surface to form the coating layer 30 on the substrate by spraying (discharging) through the substrate. This slit coating method is a variety of coating methods in which a thin film is formed using a liquid coating liquid. Among them, the uniformity and quality of the film are excellent, and the consumption of the coating solution is less than that of the spin coating method with equivalent performance, so it is widely used in display manufacturing and film coating of IT products.

상술한 종래 기술에 따른 코팅 장치(10)를 사용한 코팅 방법에서는, 기판(G)이 석션 테이블 상에 위치된 상태에서 노즐 장치를 사용하여 기판(G) 상에 도액을 전면 도포하여야 하므로 다음과 같은 문제점이 발생한다.In the coating method using the coating device 10 according to the prior art described above, since the coating solution should be applied over the substrate G using a nozzle device in a state where the substrate G is positioned on the suction table, the following A problem arises.

1. 예를 들어 휴대폰 액정 패널인 경우, 하나의 제조사(예를 들어, 삼성 전자)인 경우는 물론 여러 제조사(예를 들어, 삼성전자, 모토롤라, 노키아 등) 별로 다양한 사이즈의 핸드폰 제품의 제조가 이루어지고 있다. 이러한 다양한 사이즈의 액정 패널을 대량 생산하기 위해서는 액정 패널의 사이즈 별로 서로 상이한 코팅 장치(100)를 포함한 고가의 제조 설비를 사용하여야 한다. 따라서, 다양한 종류의 액정 패널의 사이즈 별로 별도의 제조 설비가 사용되어야 하므로 전체 제조 비용이 크게 증가한다.1. For example, in the case of a mobile phone liquid crystal panel, manufacturing of mobile phone products of various sizes by multiple manufacturers (eg Samsung Electronics, Motorola, Nokia, etc.) as well as one manufacturer (eg Samsung Electronics) It is being done. In order to mass-produce such liquid crystal panels of various sizes, expensive manufacturing equipment including different coating devices 100 for each size of the liquid crystal panel must be used. Therefore, since separate manufacturing facilities must be used for each size of various types of liquid crystal panels, the overall manufacturing cost is greatly increased.

2. 상술한 바와 같이 고가의 개별 제조 설비를 사용하여 다양한 사이즈의 패널을 제조하더라도, 시장/소비자의 기호도 또는 선호도에 따라 최종 제품(예를 들어, 고화질 TV 또는 스마트폰 등)의 판매가 성공적으로 이루어지지 않는 경우, 기설치된 고가의 개별 제조 설비는 상이한 사이즈의 패널 제조에 사용이 불가능하다. 따라서, 종래 기술에 따른 코팅 장치(100) 및 이를 사용한 코팅 방법은 생산성 및 사업성 측면에서 소량 다품종의 다양한 사이즈의 패널의 제조에 사용하기에 적합하지 않으므로, 이를 해결하기 위한 새로운 방안이 요구된다.2. As described above, even if panels of various sizes are manufactured using expensive individual manufacturing facilities, sales of final products (eg, high-definition TVs or smartphones) are successfully achieved according to the preference or preference of the market/consumer. If not, it is impossible to use the previously installed expensive individual manufacturing facilities to manufacture panels of different sizes. Therefore, since the coating device 100 and the coating method using the same according to the prior art are not suitable for use in the manufacture of panels of various sizes in small quantities in terms of productivity and business feasibility, a new method for solving this problem is required.

이에 본 출원인은 한국등록특허 제10-1309269호에 특정 사이즈의 복수의 기판을 수용하는 지그를 사용하고 또한 전면 도포, 분할 도포, 간헐 도포, 및 분할 및 간헐 도포 방식으로 복수의 기판 상에 도액을 도포함으로써, 다양한 기판 사이즈에 대응하여 기판 제조가 가능하고, 전체 제조 비용 및 시간이 현저하게 감소되며, 시장/소비자의 기호도 또는 선호도에 용이하게 대응할 수 있도록 개선함으로써, 지그 상에 불필요한 도액의 도포가 최소화되거나 제거될 수 있도록 구현된 코팅 장치 및 코팅 방법을 제안한 바 있다.Accordingly, the present applicant uses a jig for accommodating a plurality of substrates of a specific size in Korean Patent Registration No. 10-1309269, and also applies a coating solution on a plurality of substrates in front coating, divided coating, intermittent coating, and divided and intermittent coating methods. By coating, it is possible to manufacture substrates in response to various substrate sizes, significantly reduce overall manufacturing cost and time, and improve to easily respond to market/consumer preferences or preferences, thereby eliminating unnecessary application of coating liquid on the jig. A coating device and coating method implemented to be minimized or eliminated have been proposed.

한편, 상술한 슬릿 코팅 방식을 사용하면, 종래의 진공 증착 방식대비 저가의 대량생산이 가능하다는 이점이 있지만 그 구조적 한계로 인해 다음과 같은 여러 문제점을 발생시키고 있는 것으로 알려지고 있다.On the other hand, the use of the above-described slit coating method has the advantage of enabling low-cost mass production compared to the conventional vacuum deposition method, but it is known that the following problems arise due to its structural limitations.

기판보다 좁거나 넓은 폭을 가지는 슬릿 코터를 이용하여 기판에 대해 전면 코팅을 행하더라고, 기판의 초단부와 말단부 각각의 막두께 균일도가 불량하고, 또한 기판 상에 여백이 존재하는 문제가 있거나, 기판의 모서리부에 도액의 표면장력에 의한 비드(bead)가 형성되는 현상으로 인해, 기판의 모서리부에 도액이 뭉치는 현상이 발생하며, 이로 인해 막두께 균일도 불량에 따른 코팅 품질의 문제가 발생될 수 있고, 또한 기판을 고정하는 트레이 또는 지그의 고정면과 기판 사이의 틈새(gap)로 모세관 현상에 따른 도액 침투가 일어나서 여전히 기판 후면부가 오염될 수 있는 문제가 대두되기 때문에 기판의 품질 불량을 초래하게 된다.Even if the entire surface of the substrate is coated using a slit coater having a narrower or wider width than the substrate, there is a problem in that the film thickness uniformity of each of the beginning and end portions of the substrate is poor, and blanks exist on the substrate. Due to the formation of beads due to the surface tension of the coating liquid at the corner of the substrate, the coating liquid clumps at the corner of the substrate, which can cause problems in coating quality due to poor film thickness uniformity. In addition, the coating liquid penetrates into the gap between the substrate and the fixing surface of the tray or jig for fixing the substrate due to capillary action, causing contamination of the rear surface of the substrate, resulting in poor quality of the substrate. will do

이를 해소하고자, 한국 공개특허공보 제10-2017-0118422호에는 슬릿 코팅 시 기판의 후면에 도액에 의한 오염이 발생되는 것을 방지하는 기판 후면부 오염발생 방지부를 가지는 기판 고정용 트레이 및 이를 구비하는 슬릿 코팅장치가 개시되어 있다.In order to solve this problem, Korean Patent Publication No. 10-2017-0118422 discloses a tray for fixing a substrate having a contamination prevention part on the back side of the substrate that prevents contamination by the paint on the back side of the substrate during slit coating, and a slit coating having the same A device is disclosed.

도 2는 트레이 스테이지에 결합된 기판 고정용 트레이를 나타내는 단면도이다.2 is a cross-sectional view showing a tray for fixing a substrate coupled to a tray stage.

도 2를 참조하면, 기판(60) 상에 도액을 도포하여 박막을 형성시키는 도액 도포장치인 슬릿 코터(slit coater)는 슬릿 코팅 시, 기판을 고정시키는 기판 고정용 트레이(40)와 기판 고정용 트레이(40)가 진공압에 의해 착탈 가능하게 결합되도록 트레이 결합용 진공홀(82)을 가지는 트레이 스테이지(80)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 2, a slit coater, which is a coating liquid application device that forms a thin film by applying a coating liquid on a substrate 60, includes a tray 40 for fixing the substrate and a substrate fixing tray 40 for fixing the substrate during slit coating. It may include a tray stage 80 having a vacuum hole 82 for tray coupling so that the tray 40 is detachably coupled by vacuum pressure.

기판 고정용 트레이(40)는 트레이 바디(42)와, 기판(50)이 삽입 거치되어 고정될 수 있도록 트레이 바디(42)의 중앙 상부 영역에서 함몰되게 형성되는 기판 거치홈부(44) 및 기판 후면부 오염발생 방지부(46)를 포함할 수 있다.The substrate-fixing tray 40 includes a tray body 42, a substrate mounting groove 44 formed to be recessed in the central upper region of the tray body 42 so that the substrate 50 can be inserted and fixed therein, and a rear surface of the substrate. A contamination prevention unit 46 may be included.

트레이 바디(42)에는 진공 형성로(48)가 형성되고, 트레이 스테이지(80)에는 이에 대응하는 진공홀(84)이 형성되어 기판 거치홈부(44)와 연통되며, 슬릿 코팅 시 기판(60)의 후면부 중앙 영역을 진공으로 흡착하기 위한 진공 형성 경로를 형성함으로써, 기판 거치홈부(44)에 거치된 기판(60)이 진공압에 의해 견고하게 고정될 수 있다.A vacuum forming furnace 48 is formed in the tray body 42, and a corresponding vacuum hole 84 is formed in the tray stage 80 to communicate with the substrate mounting groove 44, and the substrate 60 during slit coating The substrate 60 mounted in the substrate mounting groove 44 can be firmly fixed by vacuum pressure by forming a vacuum forming path for adsorbing the central region of the rear surface of the substrate with vacuum.

한편, 슬릿 코팅 시 기판(60)의 후면부가 도액에 의한 오염이 발생되는 것을 방지하는 역할을 하는 기판 후면부 오염발생 방지부(46)는 기판 거치홈부(44)에 이웃하게 배치되며, 공기 분사로(52)와, 도액 침투 저지부(54)를 포함할 수 있다.On the other hand, during slit coating, the contamination prevention part 46 on the back surface of the substrate 46, which serves to prevent contamination of the rear surface of the substrate 60 by the coating liquid, is disposed adjacent to the substrate holding groove 44, and is blown with air. (52), and a coating liquid permeation blocking portion (54).

공기 분사로(52)는 트레이 스테이지(80)의 공기 분사홀(86)과 연통되도록 트레이 바디(42)에 마련되며, 슬릿 코팅 시 기판(60)의 후면부 모서리 영역에 양압이 형성되도록 기판(60)의 후면부 모서리 영역으로 공기가 분사되는 경로를 형성한다. 즉 슬릿 코팅 시 기판(60)의 후면부 모서리 영역으로 공기가 분사되기 때문에 이곳에 도액이 뭉쳐 고이는 현상을 없앨 수 있다.The air injection path 52 is provided on the tray body 42 to communicate with the air injection hole 86 of the tray stage 80, and during slit coating, the substrate 60 forms a positive pressure at the corner of the rear surface of the substrate 60. ) to form a path through which air is sprayed to the rear corner area of the That is, during slit coating, since air is sprayed to the corner area of the back side of the substrate 60, it is possible to eliminate a phenomenon in which the coating liquid is pooled.

플렉시블한 재질로 제작되는 도액 침투 저지부(54)는 트레이 바디(42)와 기판(60)의 측면부 사이에 요철식으로 배치되며, 트레이 바디(42)와 기판(60)의 측면부 사이의 틈새(gap)로 도액이 침투되는 것을 저지시키는, 즉 최소화시키는 역할을 한다.The coating solution penetration blocking portion 54 made of a flexible material is disposed between the tray body 42 and the side surface of the substrate 60 in a concavo-convex manner, and the gap between the tray body 42 and the side surface of the substrate 60 ( It serves to prevent, that is, to minimize the penetration of the coating solution into the gap).

그렇지만, 상술한 종래의 코팅 장치는 슬릿 다이 코터(Slit Die Coater)를 사용하여 음각으로 파인 수용부 또는 기판 거치홈부(44)를 구비한 지그 또는 트레이(40)(이하 “지그(40)”라 합니다)에 기판(60)을 여러 개 장착한 후 기판들과 지그의 일부면 또는 전면 상에 코팅이 이루어진다. 이 경우, 지그(40)와 기판(60) 사이에 최대한 틈이 형성되지 않도록 하고 있지만, 도액이 지그(40)의 일부와 기판(60) 상에서 도액면이 코팅되고 건조 전에 분리하면, 도액이 기판(60)의 분리면(측면)으로 흘러 내려서 미코팅 지역(즉, 기판 측면)에 점착제가 남거나 묻게 되어 오염이 발생할 수 있다. 또한, 도액 침투 저지부(54)가 요철식으로 배치됨에 따라 도액 침투 저지부(54) 자체가 오염될 가능성이 높고, 또한 세척이 용이하지 않은 문제가 있다.However, the above-described conventional coating apparatus is a jig or tray 40 (hereinafter referred to as “jig 40”) having a receiving portion or a substrate holding groove 44 cut into a negative using a slit die coater. After mounting several substrates 60 on the substrates 60, coating is performed on some surfaces or the entire surface of the substrates and the jig. In this case, although a gap is not formed between the jig 40 and the substrate 60 as much as possible, if the coating liquid is coated on a part of the jig 40 and the substrate 60 and separated before drying, the coating liquid will Contamination may occur because the adhesive flows down to the separation surface (side) of (60) and the adhesive is left or smeared on the uncoated area (ie, the substrate side). In addition, as the coating solution penetration blocking portion 54 is arranged in a concave-convex manner, there is a high possibility that the coating solution penetration prevention portion 54 itself is contaminated, and cleaning is not easy.

더구나, 지그(40)와 기판(60) 사이에는 형성된 틈새의 크기를 최소로 제작한다고 하더라도, 요철식의 도액 침투 저지부(54)의 형성을 위해, 일정 크기 이상으로 틈새를 형성할 수 밖에 없고, 형성된 틈새를 통해 여전히 기판(60)의 하면부로 도액이 흘러내려서 오염을 초래하게 되므로, 이후의 공정에서 이물 불량을 초래하는 문제가 발생하게 된다.Moreover, even if the size of the gap formed between the jig 40 and the substrate 60 is made to a minimum, it is inevitable to form a gap of a certain size or more for the formation of the concave-convex coating solution penetration blocking portion 54, , Since the coating liquid still flows down to the lower surface of the substrate 60 through the formed gap and causes contamination, a problem of causing foreign matter defects in a subsequent process occurs.

한국등록특허 제10-1309269호(2013.09.10. 등록)Korean Registered Patent No. 10-1309269 (registered on September 10, 2013) 한국 공개특허공보 제10-2017-0118422호(2017.10.25. 공개)Korean Patent Publication No. 10-2017-0118422 (published on October 25, 2017)

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 슬릿 다이 코터(Slit Die Coater)를 활용한 박막 코팅 후, 지그를 기판으로부터 분리할 때, 여러 방향으로 분리 가능한 복수의 지그부재로 이루어진 분리형 지그를 사용함에 따라, 코팅 후 복수의 지그부재 각각을 상부에 코팅층이 형성된 기판의 측면으로부터 순차적으로 또는 동시에 이격시켜 분리할 수 있으므로, 점착제의 높은 표면 장력에 의해 미코팅 지역인 기판의 측면에 점착제가 남거나 묻어 이물이 발생하는 것을 방지하여 이후 공정에서의 이물 불량을 해소할 수 있는 분리형 지그, 및 이를 구비한 코팅 장치 및 코팅 방법을 제공하는 데 있다.The present invention has been made to solve the above conventional problems, and an object of the present invention is to separate a jig from a substrate after thin film coating using a slit die coater. By using a detachable jig composed of a plurality of jig members, each of the plurality of jig members can be sequentially or simultaneously separated from the side surface of the substrate on which the coating layer is formed after coating, so that the high surface tension of the adhesive prevents uncoating. It is an object of the present invention to provide a detachable jig that can prevent foreign matter from being left or smeared on the side of a substrate, which is an area, to solve foreign matter defects in a subsequent process, and a coating device and coating method equipped with the same.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 특징에 따른 분리형 지그는 테이블 상에서 기판을 수용하기 위한 수용부를 형성하도록 결합되는 복수의 지그부재를 포함하되, 상기 복수의 지그부재는 상기 기판 상에 도액이 도포된 후 상기 기판의 접촉 측면으로부터 이격되어 분리될 수 있는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a detachable jig according to one feature of the present invention includes a plurality of jig members coupled to form a receiving portion for accommodating a substrate on a table, the plurality of jig members are on the substrate It is characterized in that it can be separated from the contact side of the substrate after the coating liquid is applied.

본 발명의 또 다른 특징에 따른 코팅 장치는 복수의 기판을 각각 수용하는 수용부를 구비한 복수의 분리형 지그; 상기 복수의 분리형 지그가 각각 분리 가능하게 장착되는 테이블; 상기 테이블 상에서 상기 복수의 기판 상에 코팅층을 형성하도록 도액을 도포하기 위한 노즐부를 구비한 노즐 장치; 상기 노즐 장치가 장착되며, 상기 노즐 장치를 상기 복수의 분리형 지그 상에서 왕복 이동시키기 위한 갠트리; 및 상기 복수의 분리형 지그를 분리하는 지그 분리 장치를 포함하되, 상기 복수의 분리형 지그는 각각 복수의 지그부재로 구성되고, 상기 지그 분리 장치는 상기 복수의 기판 상에 상기 도액의 도포가 완료되면, 상기 복수의 분리형 지그를 각각 구성하는 상기 복수의 지그부재를 상기 복수의 기판의 측면으로부터 이격시켜 분리하는 것을 특징으로 한다.A coating apparatus according to another feature of the present invention includes a plurality of separable jigs each having an accommodating portion for accommodating a plurality of substrates; a table on which the plurality of detachable jigs are detachably mounted; a nozzle device having a nozzle unit for applying a coating solution on the table to form a coating layer on the plurality of substrates; a gantry on which the nozzle device is mounted and reciprocating the nozzle device on the plurality of detachable jigs; and a jig separation device for separating the plurality of separable jigs, wherein the plurality of separable jigs are each composed of a plurality of jig members, and the jig separation device completes applying the coating liquid on the plurality of substrates, It is characterized in that the plurality of jig members constituting the plurality of separable jigs are separated from the side surfaces of the plurality of substrates.

본 발명의 또 다른 특징에 따른 코팅 방법은 a) 복수개로 구획되어 제공되며, 결합 시 소정 형상을 가지는 기판을 수용하기 위한 수용부를 형성하도록 구현되는 복수의 지그부재를 구성하는 분리형 지그를 제작하는 지그 제작 공정(S100); b) 상기 분리형 지그부재를 구성하는 상기 복수의 지그부재를 테이블 상에 결합하여 고정한 후, 상기 수용부 내에 상기 기판을 수용하는 지그 고정 공정(S200); c) 노즐 장치의 노즐부를 상기 기판의 코팅 위치로 이동하는 노즐 장치 이송 공정(S300); d) 상기 노즐 장치를 코팅 방향을 따라 상기 분리형 지그 상에서 이동하면서 상기 기판 상에 도액을 도포하여 코팅층을 형성하는 코팅 공정(S400); e) 상기 기판 상에 상기 도액의 도포가 완료되면, 상기 복수의 지그부재를 상기 기판의 측면으로부터 이격시켜 분리하는 기판 분리 공정(S500); 및 f) 상기 분리된 복수의 지그부재 상에 잔류하는 코팅층을 세정하는 지그 세정 공정(S600)을 포함하는 것을 특징으로 한다.A coating method according to another feature of the present invention is a) a jig for manufacturing a separable jig constituting a plurality of jig members provided in a plurality of sections and implemented to form a receiving portion for accommodating a substrate having a predetermined shape when combined. Manufacturing process (S100); b) a jig fixing step (S200) of combining and fixing the plurality of jig members constituting the separable jig member on a table and accommodating the substrate in the accommodating part; c) a nozzle device transferring step (S300) of moving the nozzle unit of the nozzle device to the coating position of the substrate; d) a coating process of forming a coating layer by applying a coating solution on the substrate while moving the nozzle device on the detachable jig along the coating direction (S400); e) a substrate separation process (S500) of separating the plurality of jig members by separating them from the side surface of the substrate when the application of the coating liquid on the substrate is completed; and f) a jig cleaning process (S600) of cleaning the coating layer remaining on the separated plurality of jig members.

본 발명의 또 다른 특징에 따른 코팅 방법은 a) 복수의 기판을 각각 수용하는 수용부를 구비하는 복수의 분리형 지그-여기서 복수의 분리형 지그는 각각 분리 가능한 복수의 지그부재로 구성됨-를 테이블 상에 각각 분리 가능하게 장착하는 공정; b) 노즐부를 구비한 노즐 장치를 이용하여 상기 테이블 상에서 상기 복수의 기판 상에 코팅층을 형성하도록 도액을 도포하는 공정; c) 지그 분리 장치를 이용하여 상기 복수의 분리형 지그 각각을 구성하는 상기 복수의 지그부재를 상기 복수의 기판의 측면으로부터 이격시켜 분리하는 공정; 및 d) 상기 분리된 복수의 지그부재 상에 잔류하는 코팅층을 세정하는 지그 세정 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.A coating method according to another feature of the present invention is a) a plurality of detachable jigs each having an accommodating portion for accommodating a plurality of substrates, wherein the plurality of detachable jigs are composed of a plurality of detachable jig members, respectively, on a table, respectively. Detachably mounting process; b) applying a coating liquid to form a coating layer on the plurality of substrates on the table using a nozzle device having a nozzle unit; c) separating the plurality of jig members constituting each of the plurality of detachable jigs by separating them from side surfaces of the plurality of substrates by using a jig separation device; and d) a jig cleaning step of cleaning the coating layer remaining on the separated plurality of jig members.

상기한 과제의 해결 수단을 통하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅 장치 및 코팅 방법에 의하면 다음과 같은 효과를 제공한다.Through means for solving the above problems, according to the coating apparatus and coating method according to an embodiment of the present invention provides the following effects.

슬릿 다이 코터(Slit Die Coater)를 활용한 박막 코팅 후, 지그를 기판으로부터 분리할 때, 분리 가능한 복수의 지그부재로 이루어진 분리형 지그를 사용함에 따라, 코팅 후 복수의 지그부재를 상부에 코팅층이 형성된 기판의 측면으로부터 순차적으로 또는 동시에 이격시켜 분리할 수 있으므로, 점착제의 높은 표면 장력에 의해 미코팅 지역인 기판의 측면에 점착제가 남거나 묻어 이물이 발생하는 것을 방지하여 이후 공정에서의 이물 불량을 해소할 수 있다.After thin film coating using a slit die coater, when the jig is separated from the substrate, a detachable jig consisting of a plurality of separable jig members is used, and a coating layer is formed on the plurality of jig members after coating. Since it can be separated from the side of the substrate sequentially or simultaneously, the high surface tension of the adhesive prevents foreign matter from being left or smeared on the side of the substrate, which is an uncoated area, to solve foreign matter defects in the subsequent process. can

또한, 기판의 측면으로부터 순차적으로 또는 동시에 이격되어 분리 가능한 복수의 지그부재로 이루어진 분리형 지그를 사용함에 따라, 코팅 후 복수의 지그부재를 상부에 코팅층이 형성된 기판의 측면으로부터 순차적으로 또는 동시에 이격시켜 분리할 수 있으므로, 공정의 단순화 및 공정 시간을 단축할 수 있다.In addition, according to the use of a separation type jig consisting of a plurality of jig members that can be sequentially or simultaneously spaced apart from the side surface of the substrate, after coating, the plurality of jig members are separated by sequentially or simultaneously spaced apart from the side surface of the substrate having the coating layer formed thereon. Therefore, it is possible to simplify the process and shorten the process time.

본 발명의 추가적인 장점은 동일 또는 유사한 참조번호가 동일한 구성요소를 표시하는 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다.Additional advantages of the present invention will become apparent from the following description with reference to the accompanying drawings in which like or like reference numerals indicate like elements.

도 1은 평판 패널 디스플레이(FPD)를 제조하기 위해 사용되는 종래의 테이블 코팅 장치를 개략적으로 도시한 평면도 및 일측면도이다.
도 2는 트레이 스테이지에 결합된 종래의 기판 고정용 트레이를 나타내는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 분리형 지그를 가지는 코팅 장치의 지그 분리 방법을 도시하는 도면이다.
도 4는 본 발명 실시예에 따른 분리형 지그를 가지는 코팅 장치의 코팅 방법을 나타내는 플로우차트이다.
도 5는 본 발명의 분리형 지그를 가지는 코팅 장치의 일 도포 방식을 개략적으로 도시한 평면도 및 A-A' 단면에 따른 일측면도이다.
도 6는 본 발명의 분리형 지그를 가지는 코팅 장치의 다른 도포 방식을 개략적으로 도시한 평면도 및 B-B' 단면에 따른 일측면도이다.
도 7은 본 발명의 분리형 지그를 분리하는 분리 방법의 제 1 예시도이다.
도 8은 본 발명의 분리형 지그를 분리하는 분리 방법의 제 2 예시도이다.
도 9는 본 발명의 분리형 지그를 분리하는 분리 방법의 제 3 예시도이다.1 is a plan view and a side view schematically showing a conventional table coating apparatus used to manufacture a flat panel display (FPD).
2 is a cross-sectional view showing a conventional substrate fixing tray coupled to a tray stage.
3 is a view showing a jig separation method of a coating apparatus having a separation type jig according to a preferred embodiment of the present invention.
4 is a flowchart showing a coating method of a coating apparatus having a separable jig according to an embodiment of the present invention.
5 is a plan view schematically showing one coating method of a coating apparatus having a separable jig according to the present invention and a side view taken along AA' section.
6 is a plan view schematically illustrating another coating method of a coating apparatus having a separable jig according to the present invention and a side view taken along a BB′ section.
7 is a first exemplary view of a separation method for separating a detachable jig of the present invention.
8 is a second exemplary view of a separation method for separating a detachable jig of the present invention.
9 is a third exemplary view of a separation method for separating a detachable jig of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 구성 및 작용에 대해 상세하게 설명한다. 이하의 설명은 특허 청구 가능한 본 발명의 여러 측면(aspects) 중 하나이며, 하기의 설명은 본 발명에 대한 상세한 기술의 일부를 이룰 수 있다.Hereinafter, configuration and operation according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The following description is one of several aspects of the present invention that may be claimed, and the following description may form part of the detailed description of the present invention.

다만, 본 발명을 설명함에 있어 공지된 구성 또는 기능에 관한 구체적인 설명은 본 발명을 명료하게 하기 위해 생략할 수 있다.However, in describing the present invention, detailed descriptions of well-known configurations or functions may be omitted to clarify the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예들을 포함할 수 있는바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.Since the present invention can make various changes and include various embodiments, specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in the detailed description. However, this is not intended to limit the present invention to specific embodiments, and should be understood to include all modifications, equivalents, or substitutes included in the spirit and technical scope of the present invention.

제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 해당 구성요소들은 이와 같은 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 이 용어들은 하나의 구성요소들을 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.Terms including ordinal numbers, such as first and second, may be used to describe various elements, but the elements are not limited by these terms. These terms are only used to distinguish one component from another.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.Terms used in this application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 분리형 지그를 가지는 코팅 장치의 지그 분리 방법을 도시하고 있고, 도 4는 본 발명 실시예에 따른 분리형 지그를 가지는 코팅 장치의 코팅 방법을 나타내는 플로우차트이다.3 shows a jig separation method of a coating apparatus having a separable jig according to a preferred embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a flowchart showing a coating method of a coating apparatus having a separable jig according to an embodiment of the present invention.

도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 분리형 지그를 가지는 코팅 장치의 코팅 방법은, 지그 제작 공정(S100); 지그 고정 공정(S200); 노즐 장치 이송 공정(S300); 코팅 공정(S400); 기판 분리 공정(S500); 및 지그 세정 공정(S600)을 포함할 수 있다. 도 3에 도시된 분리형 지그(240)는 테이블(212) 상에서 기판(G)을 수용하기 위한 수용부(242)를 형성하도록 결합되는 복수의 지그부재(240a,240b,240c,240d)를 포함하되, 상기 복수의 지그부재(240a,240b,240c,240d)는 상기 기판(G) 상에 도액이 도포된 후 상기 기판(G)의 접촉 측면으로부터 순차적으로 또는 동시에 이격되어 분리될 수 있다. 이 경우, 상기 복수의 지그부재(240a,240b,240c,240d)는 설명의 편의상 상하좌우의 측면으로 분리되는 것으로 예시하여 도시하였지만, 이에 제한되는 것이 아니라는 점은 당업자에게 자명하다. 예를 들어, 도 3에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 분리형 지그(240)는 분리 가능한 4개의 지그부재(240a~240d)로 구현되는 것으로 예시되어 있지만, 3개의 지그 부재(예를 들어, 제 1 지그부재(240a) 및 제 4 지그부재(240d)가 일체로 구현된 일체형 지그부재, 제 2 지그부재(240b), 및 제 3 지그부재(240c))로 구현될 수 있으며, 코팅 공정 후 이러한 일체형 지그부재와 제 2 및 제 3 지그부재(240b,240c)가 기판(G)과 접촉하고 있는 각각의 측면으로부터 순차적으로 또는 동시에 이격되도록 분리될 수 있다. 또한, 만일 제 3 지그부재(240c)와 접촉하고 있는 기판(G)이 측면이 요철이 없는 평탄면인 경우, 분리형 지그(240)는 분리 가능한 2개의 지그부재(예를 들어, 제 1 지그부재(240a) 및 제 4 지그부재(240d)가 일체로 구현된 일체형 제 1 지그부재, 및 제 2 지그부재(240b) 및 제 3 지그부재(240c)가 일체로 구현된 일체형 제 2 지그부재로 구현될 수 있으며, 이 경우 일체형 제 1 및 제 2 지그부재는 각각 기판(G) 상에 도액의 도포가 완료된 후 기판(G)와 접촉하는 각각의 측면에서 순차적으로 또는 동시에 이격되는 방향으로 분리될 수 있다는 것은 자명하다.Referring to Figures 3 and 4, the coating method of the coating apparatus having a separable jig according to an embodiment of the present invention, the jig manufacturing process (S100); Jig fixing process (S200); Nozzle device transfer process (S300); coating process (S400); Substrate separation process (S500); and a jig cleaning process (S600). The detachable jig 240 shown in FIG. 3 includes a plurality of jig members 240a, 240b, 240c, and 240d coupled to form a receiving portion 242 for accommodating the substrate G on the table 212, , The plurality of jig members 240a, 240b, 240c, and 240d may be sequentially or simultaneously separated from the contact side of the substrate G after the coating solution is applied on the substrate G. In this case, the plurality of jig members 240a, 240b, 240c, and 240d are illustrated as being separated into up, down, left, and right sides for convenience of explanation, but it is obvious to those skilled in the art that it is not limited thereto. For example, in FIG. 3, the detachable jig 240 according to an embodiment of the present invention is illustrated as being implemented with four detachable jig members 240a to 240d, but three jig members (eg, One jig member (240a) and the fourth jig member (240d) may be implemented as an integrated jig member, the second jig member (240b), and the third jig member (240c)), after the coating process. The integrated jig member and the second and third jig members 240b and 240c may be sequentially or simultaneously separated from each side contacting the substrate G. In addition, if the substrate G in contact with the third jig member 240c has a flat surface without irregularities, the separable jig 240 includes two separable jig members (eg, the first jig member). (240a) and the fourth jig member (240d) implemented as an integral first jig member, and the second jig member (240b) and the third jig member (240c) integrally implemented as an integral second jig member In this case, the integrated first and second jig members may be separated in a direction that is sequentially or simultaneously spaced from each side in contact with the substrate (G) after the application of the coating solution on the substrate (G) is completed. It is self-evident that there is

다시 도 3 및 도 4를 참조하면, 먼저, 지그 제작 공정(S100)에서, 도 3에 도시된 바와 같은 분리형 지그(240)(이하 필요에 따라 “지그(240)”라 합니다)를 제작한다. 이러한 분리형 지그(240)는 복수의 방향으로 분리 가능한 복수의 지그부재(240a~240d)로 구현되며, 복수의 지그부재(240a~240d)는 서로 결합 시, 내부에 소정 형상을 가지는 복수의기판(G)을 수용하는 수용부(242)를 형성한다. 이때 지그(240)의 상부면은 기판(G)의 상부면과 동일한 평면 상에 위치되는 것이 바람직하다. 복수의 지그부재(240a,240b,240c,240d)는 각각이 기판(G)의 측면으로부터 순차적으로 또는 동시에 이격되도록 분리될 수 있고 또한 기판(G)의 측면에 밀착 상태로 결합 가능하게 제작한다.Referring again to FIGS. 3 and 4 , first, in the jig manufacturing process (S100), a detachable jig 240 (hereinafter referred to as “jig 240” as necessary) as shown in FIG. 3 is manufactured. The separable jig 240 is implemented with a plurality of jig members 240a to 240d that can be separated in a plurality of directions, and when the plurality of jig members 240a to 240d are coupled to each other, a plurality of substrates having a predetermined shape therein ( G) to form an accommodating portion 242 for accommodating. At this time, the upper surface of the jig 240 is preferably located on the same plane as the upper surface of the substrate (G). Each of the plurality of jig members 240a, 240b, 240c, and 240d can be separated from the side of the substrate G sequentially or simultaneously, and can be coupled to the side of the substrate G in close contact.

그리고, 지그 고정 공정(S200)에서, 제작된 복수의 지그부재(240a~240d)를 결합하여 고정한 후, 복수의 지그부재(240a~240d)가 결합된 지그(240)의 수용부(242)에 기판(G)을 넣는다. 여기서, 복수의 지그부재(240a~240d)는 필요에 따라 제 1 지그부재(240a), 제 2 지그부재(240b), 제 3 지그부재(240c), 및 제 4 지그부재(240d)로 지칭될 수 있다는 점에 유의하여야 한다. Then, in the jig fixing process (S200), after combining and fixing the plurality of jig members 240a to 240d manufactured, the plurality of jig members 240a to 240d are attached to the accommodating portion 242 of the jig 240. Insert the substrate (G). Here, the plurality of jig members 240a to 240d will be referred to as a first jig member 240a, a second jig member 240b, a third jig member 240c, and a fourth jig member 240d as needed. It should be noted that it can.

본 발명의 실시예들에 따른 코팅 장치의 코팅 방법은, 지그(240)의 고정 후, 예를 들어 후술하는 도 5에 도시된 노즐 장치(200)를 히터 등을 이용하여 100 ℃ 이하의 열을 가하여 노즐 장치(200) 내의 도액의 점도 및 표면 장력과 같은 특성을 조정하는 가열 공정(S250)을 더 포함할 수 있다.In the coating method of the coating device according to embodiments of the present invention, after fixing the jig 240, for example, the nozzle device 200 shown in FIG. A heating process (S250) of adjusting properties such as viscosity and surface tension of the coating liquid in the nozzle device 200 may be further included.

다음으로, 코팅 공정을 수행하기 위해 예를 들어 도 5에 도시된 노즐 장치(220)의 노즐부(222)를 코팅 위치로 이동하는 노즐 장치 이송 공정(S300)을 실행한다. 이때 노즐부(222)의 폭은 코팅 공정이 요구되는 기판(G)의 폭과 동일하거나 이보다는 크게 제작한다. 그리고 코팅 시작 위치는 기판(G) 내 코팅의 시작을 원하는 위치나 기판(G) 밖의 지그(240) 상의 임의의 위치일 수 있다.Next, in order to perform the coating process, for example, a nozzle unit transfer process (S300) of moving the nozzle unit 222 of the nozzle unit 220 shown in FIG. 5 to a coating position is executed. At this time, the width of the nozzle unit 222 is made equal to or larger than the width of the substrate G for which the coating process is required. Also, the coating start position may be a position within the substrate (G) where the coating is desired to start or an arbitrary position on the jig 240 outside the substrate (G).

다음의 코팅 공정(S400)에서, 노즐 장치(220)를 도포 방향을 따라 지그(240) 상에서 이동하면서 복수의 기판(Ga1,Ga2,Gb1,Gb2) 상에 도액을 도포하여 코팅층(230)을 형성한다.In the next coating process (S400), the coating liquid is applied on a plurality of substrates (Ga1, Ga2, Gb1, Gb2) while moving the nozzle device 220 on the jig 240 along the application direction to form a coating layer 230. do.

이어서, 기판 분리 공정(S500)에서, 결합된 복수의 지그부재(240a,240b,240c,240d) 중, 제 1 내지 제 4지그부재(240a,240b,240c,240d)를 순차적으로 또는 동시에 기판(G)의 측면에서 이격시겨 분리한다. Then, in the substrate separation process (S500), the first to fourth jig members 240a, 240b, 240c, and 240d among the combined plurality of jig members 240a, 240b, 240c, and 240d are sequentially or simultaneously disposed on the substrate ( Separate it by spacing it from the side of G).

마지막으로, 분리된 복수의 지그부재(240a,240b,240c,240d)를 별도로 제공되는 세정 장치(도시하지 않음)로 이동시켜 분리된 복수의 지그부재(240a,240b,240c,240d) 상에 도포되어 잔류하는 코팅층(230)을 세정하는 지그 세정 공정(S600)을 실행하고, 세정 공정이 완료된 분리형 지그(240)는 상기 지그 고정 공정(S200) 내지 지그 세정 공정(S600)을 반복하여 실행하도록 사용될 수 있다.Finally, the separated plurality of jig members 240a, 240b, 240c, and 240d are moved to a separately provided cleaning device (not shown) and applied on the separated plurality of jig members 240a, 240b, 240c, and 240d. A jig cleaning process (S600) is performed to clean the remaining coating layer 230, and the detachable jig 240 after the cleaning process is completed is used to repeat the jig fixing process (S200) to the jig cleaning process (S600). can

도 5 및 도 6은 각각 본 발명의 분리형 지그를 가지는 코팅 장치의 도포 방식을 개략적으로 도시한 평면도 및 각각 A-A' 단면 및 B-B' 단면에 따른 일측면을 나타내고 있다.5 and 6 each show a plan view schematically showing a coating method of a coating device having a separable jig of the present invention and one side along the A-A' cross section and the B-B' cross section, respectively.

도 5 및 도 6을 도 3 및 도 4와 함께 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 코팅 장치(200)는 복수의 기판(Ga1,Ga2,Gb1,Gb2)을 각각 수용하는 수용부(242)를 구비한 복수의 분리형 지그(240A,240B,240C,240D); 상기 복수의 분리형 지그(240A,240B,240C,240D)가 각각 분리 가능하게 장착되는 테이블(212); 상기 테이블(212) 상에서 상기 복수의 기판(Ga1,Ga2,Gb1,Gb2) 상에 코팅층(230)을 형성하도록 도액을 전면 도포 또는 간헐 도포하기 위한 노즐 장치(220); 상기 노즐 장치(220)가 장착되며, 상기 노즐 장치(220)를 상기 복수의 분리형 지그(240A,240B,240C,240D) 상에서 왕복 이동시키기 위한 갠트리(도시하지 않음); 및 상기 복수의 분리형 지그(240A,240B,240C,240D)를 분리하는 지그 분리 장치(도시하지 않음)를 포함하되, 상기 복수의 분리형 지그(240A,240B,240C,240D)는 각각 복수의 지그부재(240a,240b,240c,240d)로 구성되고, 상기 지그 분리 장치는 상기 복수의 기판(Ga1,Ga2,Gb1,Gb2) 상에 상기 도액의 도포가 완료되면, 상기 복수의 분리형 지그(240A,240B,240C,240D)를 각각 구성하는 상기 복수의 지그부재(240a,240b,240c,240d)를 상기 복수의 기판(Ga1,Ga2,Gb1,Gb2)의 측면으로부터 순차적으로 또는 동시에 이격시켜 분리하는 것을 특징으로 하고 있다. 상기 전면 도포는 도 5에 도시된 실시예에 대응되고, 상기 간헐 도포는 도 6에 도시된 실시예에 대응된다.Referring to FIGS. 5 and 6 together with FIGS. 3 and 4, the coating apparatus 200 according to a preferred embodiment of the present invention includes a receiving portion 242 for accommodating a plurality of substrates Ga1, Ga2, Gb1, and Gb2, respectively. ) A plurality of separable jigs (240A, 240B, 240C, 240D) provided with; a table 212 on which the plurality of detachable jigs 240A, 240B, 240C, and 240D are detachably mounted; a nozzle device 220 for applying or intermittently applying a coating liquid to form a coating layer 230 on the plurality of substrates Ga1, Ga2, Gb1, and Gb2 on the table 212; a gantry (not shown) on which the nozzle device 220 is mounted and for reciprocating the nozzle device 220 on the plurality of detachable jigs 240A, 240B, 240C, and 240D; and a jig separation device (not shown) for separating the plurality of separable jigs 240A, 240B, 240C, and 240D, wherein each of the plurality of separable jigs 240A, 240B, 240C, and 240D is a plurality of jig members. (240a, 240b, 240c, 240d), and the jig separation device completes the application of the coating solution on the plurality of substrates (Ga1, Ga2, Gb1, Gb2), the plurality of separation-type jigs (240A, 240B) The plurality of jig members 240a, 240b, 240c, and 240d constituting each of the 240C and 240D are sequentially or simultaneously separated from the side surfaces of the plurality of substrates Ga1, Ga2, Gb1, and Gb2. is doing The full surface application corresponds to the embodiment shown in FIG. 5, and the intermittent application corresponds to the embodiment shown in FIG. 6.

도 5 및 도 6에 도시된 실시예에서는, 복수의 기판(Ga1,Ga2,Gb1,Gb2) 및 복수의 분리형 지그(240A,240B,240C,240D)가 가로 및 세로 방향으로 각각 2개씩 4개가 사용되는 것으로 예시적으로 도시되어 있지만, 당업자라면 복수의 기판(Ga1,Ga2,Gb1,Gb2) 및 복수의 분리형 지그(240A,240B,240C,240D)가 가로 또는 세로 방향으로 각각 3개 이상이 사용될 수 있다는 점을 충분히 이해할 수 있을 것이다.In the embodiment shown in Figures 5 and 6, a plurality of substrates (Ga1, Ga2, Gb1, Gb2) and a plurality of detachable jigs (240A, 240B, 240C, 240D) are used, two each in the horizontal and vertical directions, four each. Although shown as an example, those skilled in the art can use three or more substrates (Ga1, Ga2, Gb1, Gb2) and a plurality of separable jigs (240A, 240B, 240C, 240D) in the horizontal or vertical direction, respectively. You can fully understand that there is.

또한, 복수의 분리형 지그(240A,240B,240C,240D)를 각각 구성하는 복수의 지그부재(240a,240b,240c,240d)도 4개의 지그부재로 구현되는 것으로 예시적으로 도시되어 있지만, 당업자라면 도 3을 참조하여 상술한 바와 같이 적어도 3개의 지그부재로 구현될 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다.In addition, although the plurality of jig members 240a, 240b, 240c, and 240d respectively constituting the plurality of separable jigs 240A, 240B, 240C, and 240D are illustratively illustrated as being implemented with four jig members, those skilled in the art As described above with reference to FIG. 3, it will be fully understood that it can be implemented with at least three jig members.

제 1 내지 제 4 기판(Ga1,Ga2,Ga3,Ga4)는 각각 좌우에 제 1 지그부재(240a) 및 제 2 지그부재(240b)가 결합되고, 상하에는 제 3 지그부재(240c) 및 제 4 지그부재(240d)가 결합될 수 있다.The first to fourth substrates Ga1, Ga2, Ga3, and Ga4 are coupled with a first jig member 240a and a second jig member 240b on the left and right sides, and a third jig member 240c and a fourth jig member 240c on the top and bottom, respectively. A jig member 240d may be coupled.

다시 도 5 및 도 6을 참조하면, 노즐 장치(220)는 좌측에서 우측으로 복수의 지그(240A,240B;240C,240D) 상에서 이동하면서 코팅층(230)을 형성하기 위해 복수의 기판(Ga1,Ga2,Gb1,Gb2) 상에 도액을 도포할 수 있다. 이 경우, 도 5 및 도 6에 도시된 노즐 장치(220)는 각각 2개의 노즐부(222)를 구비하되, 도 5의 실시예에서는 복수의 기판(Ga1,Ga2,Gb1,Gb2) 상에 도액을 분할 도포 방식으로 도포하고, 도 6의 실시예에서는 복수의 기판(Ga1,Ga2,Gb1,Gb2) 상에 도액을 간헐 도포 방식으로 도포하는 것을 도시하고 있다. 도 6에 도시된 간헐 도포 방식에 따른 노즐 장치(220)는 복수의 기판(Ga1,Ga2,Gb1,Gb2)의 도포 방향을 따라 복수의 기판(Ga1,Ga2,Gb1,Gb2)의 전단부 바로 직전 및 후단부 바로 직후에서 도액의 토출 시작 및 토출 중단을 간헐적으로 행할 수 있다.Referring back to FIGS. 5 and 6 , the nozzle device 220 moves from left to right on a plurality of jigs 240A, 240B; 240C, 240D while forming a plurality of substrates Ga1 and Ga2 to form the coating layer 230 . , Gb1, Gb2) can be coated with a coating solution. In this case, the nozzle device 220 shown in FIGS. 5 and 6 is provided with two nozzle units 222, respectively, but in the embodiment of FIG. 5, the coating liquid is applied on a plurality of substrates Ga1, Ga2, Gb1, and Gb2. is applied by a split coating method, and in the embodiment of FIG. 6, the coating solution is applied on a plurality of substrates (Ga1, Ga2, Gb1, Gb2) by an intermittent coating method. The nozzle device 220 according to the intermittent coating method shown in FIG. 6 is just before the front end of the plurality of substrates Ga1, Ga2, Gb1, and Gb2 along the coating direction of the plurality of substrates Ga1, Ga2, Gb1, and Gb2. And immediately after the rear end, the discharge start and the discharge stop of the coating liquid can be intermittently performed.

도 5 및 도 6의 실시예에서는 2개의 노즐부(222)를 예시적으로 도시되어 있지만, 당업자라면 노즐부(222)의 수가 복수의 기판(Ga,Gb)의 도포 방향과 수직한 방향을 따라 배치된 기판의 수에 대응되도록 구현될 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다.In the embodiment of FIGS. 5 and 6, two nozzle units 222 are shown as an example, but for those skilled in the art, the number of nozzle units 222 is along the direction perpendicular to the coating direction of the plurality of substrates Ga and Gb. It will be fully understood that it can be implemented to correspond to the number of disposed substrates.

이 경우, 노즐 장치(220)는 복수의 노즐부(222)의 각각의 폭은 도액의 도포 방향과 수직한 방향을 따라 복수의 기판(Ga1,Ga2,Gb1,Gb2)의 각각의 폭과 동일하거나 약간 큰 값을 가짐에 따라, 복수의 기판(Ga1,Ga2,Gb1,Gb2)의 폭 방향에 대해서는 실질적으로 데드 영역(DR)이 발생하지는 않지만, 분할 또는 간헐 도포 방식을 사용하므로 지그(240) 및/또는 테이블(212) 상에는 도액의 도포 방향을 따라 여전히 불필요한 도액이 도포되지만, 그 양은 도 1에 도시된 종래 기술의 전면 도포 방식에 따른 도포양보다 상당히 적다는 점은 자명하다.In this case, in the nozzle device 220, each width of the plurality of nozzle parts 222 is the same as that of each of the plurality of substrates Ga1, Ga2, Gb1, and Gb2 along the direction perpendicular to the application direction of the coating liquid, or As it has a slightly larger value, no dead area DR is substantially generated in the width direction of the plurality of substrates Ga1, Ga2, Gb1, and Gb2, but the jig 240 and / Or on the table 212, although unnecessary coating liquid is still applied along the application direction of the coating liquid, it is obvious that the amount is significantly smaller than the coating amount according to the prior art front coating method shown in FIG.

이상과 같은 분할 또는 간헐 도포 방식에 따라, 도액의 토출 시작 및 토출 중단을 제어하기 위한 제어 프로그램이 내장된 컨트롤러(미도시)를 추가로 포함할 수 있고, 이러한 컨트롤러(미도시)는 예를 들어 마이크로프로세서 또는 퍼스널 컴퓨터(PC) 등으로 구현될 수 있으며, 제어 프로그램은 미리 프로그램될 수 있다.According to the above divided or intermittent application method, a controller (not shown) having a built-in control program for controlling the start and stop of dispensing of the coating solution may be further included, and such a controller (not shown) may be, for example, It may be implemented with a microprocessor or a personal computer (PC), and the control program may be programmed in advance.

한편, 구체적으로 도시하지는 않았지만, 도액의 도포 완료 시, 지그(240)를 후속 동작을 위해 이송시키는 이송 장치의 구체적인 구성 및 작동은 예를 들어, 로봇암 등으로 구현될 수 있는 것으로, 설명의 편의상 상세한 내용은 생략한다.On the other hand, although not specifically shown, the specific configuration and operation of the transfer device for transferring the jig 240 for subsequent operation upon completion of application of the coating liquid may be implemented, for example, by a robot arm, for convenience of description. Details are omitted.

이상의 실시예들에 있어서, 지그(240)는 글래스 재질; 스틸, 스테인리스, 또는 알루미늄(Al)과 같은 금속 재질; 및 PTFE(poly-tetrafluoroethylene) 수지(resin)(상표명: 테플론(Teflon))와 같은 비금속 재질 중 어느 하나의 재질로 이루어질 수 있고, 기판은 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등을 포함하는 디스플레이 패널이 될 수 있으나, 넓은 의미로 반도체용 웨이퍼(wafer) 기판이나 태양전지용 웨이퍼 기판이 될 수도 있다.In the above embodiments, the jig 240 may include a glass material; metal materials such as steel, stainless steel, or aluminum (Al); And PTFE (poly-tetrafluoroethylene) resin (trade name: Teflon) may be made of any one of non-metallic materials such as a substrate, LCD (Liquid Crystal Display), PDP (Plasma Display Panel) and OLED (Organic Light Emitting Diodes) and the like, but may be a wafer substrate for semiconductors or a wafer substrate for solar cells in a broad sense.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 코팅 장치(200)는 코팅용 도액의 점도 및 표면 장력 중 적어도 하나 이상의 특성을 조정할 수 있는 히팅 장치를 추가로 포함할 수 있다. 일 실시예에 따르면, 히팅 장치로서 히터 코일 등에 전원을 인가하여 100 ℃ 이하의 열을 도액에 인가함으로써, 도액의 점도 및 표면 장력과 같은 특성을 조정할 수 있다.The coating device 200 according to a preferred embodiment of the present invention may further include a heating device capable of adjusting at least one characteristic of the viscosity and surface tension of the coating liquid for coating. According to one embodiment, by applying power to a heater coil or the like as a heating device to apply heat of 100° C. or less to the coating solution, characteristics such as viscosity and surface tension of the coating solution may be adjusted.

도 7 및 도 8은 각각 본 발명의 분리형 지그를 분리하는 분리 방법의 제 1 및 제 2 예시도이다.7 and 8 are first and second exemplary views of separation methods for separating the detachable jig of the present invention, respectively.

다시 도 7 및 도 8을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 복수의 분리형 지그(240A,240B,240C,240D)는 각각이 제 1 내지 제 4 기판(Ga1,Ga2,Gb1,Gb2) 각각의 상하 및 좌우 측면에 결합되어 있으며, 제 1 내지 제 4 기판(Ga1,Ga2,Gb1,Gb2)의 접촉 측면으로부터 좌우 및 상하 방향으로 순차적으로 이격되어 분리 가능한 복수의 지그부재(240a,240b,240c,240d)로 구성되어 있다.Referring back to FIGS. 7 and 8 , the plurality of separable jigs 240A, 240B, 240C, and 240D according to an embodiment of the present invention are each of the first to fourth substrates Ga1, Ga2, Gb1, and Gb2, respectively. A plurality of jig members (240a, 240b, 240c, 240d).

도 7에 예시된 분리형 지그(240A,240B,240C,240D)는 먼저 제 1 내지 제 4 기판(Ga1,Ga2,Gb1,Gb2) 각각의 상하에 결합된 제 3 및 제 4 지그부재(240c,240d)가 함께 제 1 내지 제 4 기판(Ga1,Ga2,Gb1,Gb2)의 상하 측면에서 이격되어 분리되고(도 7의 상부 및 중간 도면 참조), 이어서 좌우에 결합된 제 1 및 제 2지그부재(240a,240b)가 함께 제 1 내지 제 4 기판(Ga1,Ga2,Gb1,Gb2)의 좌우 측면에서 이격되어 분리될 수 있다(도 7의 중간 및 하부 도면 참조). 이 경우, 당업자라면, 분리형 지그(240A,240B,240C,240D)가 먼저 제 1 내지 제 4 기판(Ga1,Ga2,Gb1,Gb2) 각각의 좌우에 결합된 제 1 및 제 2 지그부재(240a,240b)가 함께 제 1 내지 제 4 기판(Ga1,Ga2,Gb1,Gb2)의 좌우 측면에서 이격되어 분리되고, 이어서 상하에 결합된 제 3 및 제 4 지그부재(240c,240d)가 함께 제 1 내지 제 4 기판(Ga1,Ga2,Gb1,Gb2)의 상하 측면에서 이격되어 분리될 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다.In the separate jigs 240A, 240B, 240C, and 240D illustrated in FIG. 7, first, the third and fourth jig members 240c and 240d coupled to the top and bottom of the first to fourth substrates Ga1, Ga2, Gb1, and Gb2, respectively. ) are separated by being spaced apart from the upper and lower sides of the first to fourth substrates Ga1, Ga2, Gb1, and Gb2 (see the upper and middle drawings of FIG. 7), and then the first and second jig members coupled to the left and right ( 240a and 240b) may be spaced apart from the left and right sides of the first to fourth substrates Ga1 , Ga2 , Gb1 , and Gb2 (refer to the middle and lower views of FIG. 7 ). In this case, for those skilled in the art, the first and second jig members 240a, which are coupled to the left and right sides of the first to fourth substrates Ga1, Ga2, Gb1, and Gb2, respectively, are separated jigs 240A, 240B, 240C, and 240D. 240b) are separated from the left and right sides of the first to fourth substrates Ga1, Ga2, Gb1, and Gb2 together, and then the third and fourth jig members 240c and 240d coupled up and down are together It will be fully understood that the fourth substrates Ga1 , Ga2 , Gb1 , and Gb2 may be spaced apart from the upper and lower sides.

한편, 도 8에 예시된 분리형 지그(240A,240B,240C,240D)는 먼저 제 1 내지 제 4 기판(Ga1,Ga2,Gb1,Gb2) 각각의 외측에 결합된 제 1 내지 제 4 지그부재(240a,240b,240c,240d)가 함께 제 1 내지 제 4 기판(Ga1,Ga2,Gb1,Gb2)의 상하좌우 측면에서 이격되어 분리되고(도 8의 상부 및 중간 도면 참조), 이어서 내측에 결합된 제 1 내지 제 4 지그부재(240a,240b,240c,240d)가 함께 제 1 내지 제 4 기판(Ga1,Ga2,Gb1,Gb2)의 상하좌우 측면에서 이격되어 분리될 수 있다(도 8의 중간 및 하부 도면 참조).Meanwhile, in the separate jigs 240A, 240B, 240C, and 240D illustrated in FIG. 8, the first to fourth jig members 240a coupled to the outer sides of the first to fourth substrates Ga1, Ga2, Gb1, and Gb2, respectively. , 240b, 240c, and 240d) are spaced apart from the top, bottom, left, and right sides of the first to fourth substrates Ga1, Ga2, Gb1, and Gb2 (see the upper and middle drawings of FIG. 8), and then coupled to the inner side. The first to fourth jig members 240a, 240b, 240c, and 240d may be separated by being spaced apart from the top, bottom, left, and right sides of the first to fourth substrates Ga1, Ga2, Gb1, and Gb2 (middle and lower portions of FIG. 8). see drawing).

도 9은 본 발명의 분리형 지그를 분리하는 분리 방법의 제 3 예시도이다.9 is a third exemplary view of a separation method for separating the detachable jig of the present invention.

도 9를 참조하면, 도 7 및 도 8의 실시예와는 달리, 본 발명의 실시예에 따른 복수의 분리형 지그(240A,240B,240C,240D)는 각각이 제 1 내지 제 4 기판(Ga1,Ga2,Gb1,Gb2) 각각의 상하 및 좌우 측면에 결합되어 있으며, 제 1 내지 제 4 기판(Ga1,Ga2;Gb1,Gb2)의 접촉 측면으로부터 좌우 및 상하 방향으로 동시에 이격되어 분리 가능한 복수의 지그부재(240a,240b,240c,240d)로 구성되어 있다. 구체적으로, 도 9에 예시된 분리형 지그(240A,240B,240C,240D)는 제 1 내지 제 4 기판(Ga1,Ga2,Gb1,Gb2) 각각의 좌우 및 상하에 결합된 제 1 내지 제 4 지그부재(240a,240b,240c,240d)가 동시에 제 1 내지 제 4 기판(Ga1,Ga2,Gb1,Gb2)의 좌우 및 상하 측면에서 이격되어 분리될 수 있다.Referring to FIG. 9 , unlike the embodiments of FIGS. 7 and 8 , the plurality of separable jigs 240A, 240B, 240C, and 240D according to the embodiment of the present invention each have first to fourth substrates Ga1, Ga2, Gb1, Gb2) coupled to each of the top, bottom and left and right sides, and a plurality of jig members that are simultaneously spaced apart from the contact side of the first to fourth substrates (Ga1, Ga2; Gb1, Gb2) in the left and right and up and down directions and can be separated. It consists of (240a, 240b, 240c, 240d). Specifically, the separable jigs 240A, 240B, 240C, and 240D illustrated in FIG. 9 are first to fourth jig members coupled to the left and right sides and top and bottom of the first to fourth substrates Ga1, Ga2, Gb1, and Gb2, respectively. (240a, 240b, 240c, 240d) may be spaced apart from the left and right and upper and lower sides of the first to fourth substrates Ga1, Ga2, Gb1, and Gb2 at the same time.

상술한 바와 같은 본 발명의 분리형 지그, 및 이를 구비한 코팅 장치 및 코팅 방법은 복수의 방향으로 분리가능한 복수의 지그부재로 이루어진 지그를 하나 이상 사용함에 따라, 코팅 후 복수의 지그부재를 상부에 코팅층이 형성된 기판의 측면으로부터 순차적으로 또는 동시에 이격시켜 분리할 수 있으므로, 점착제의 높은 표면 장력에 의해 미코팅 지역인 기판의 측면부에 점착제가 남거나 묻어 이물이 발생하는 것을 방지하여 이후 공정에서의 이물 불량을 해소할 수 있는 동시에, 공정의 단순화 및 공정 시간을 단축할 수 있다.As described above, the separable jig of the present invention, and the coating device and coating method having the same, use one or more jigs made up of a plurality of jig members separable in a plurality of directions, and after coating, a plurality of jig members are placed on top of the coating layer. Since the adhesive can be separated from the side of the formed substrate sequentially or simultaneously, the high surface tension of the adhesive prevents foreign matter from being left or smeared on the side surface of the substrate, which is an uncoated area, to prevent foreign matter defects in the subsequent process. At the same time, it is possible to simplify the process and shorten the process time.

이상, 본 발명을 바람직한 실시예를 사용하여 설명하였으나, 본 발명의 권리범위는 설명된 특정 실시예에 한정되는 것은 아니며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 범위 내에서 얼마든지 구성요소의 치환과 변경이 가능한 바, 이 또한 본 발명의 권리에 속하게 된다.In the above, the present invention has been described using preferred embodiments, but the scope of the present invention is not limited to the specific embodiments described, and those skilled in the art can do so within the scope of the present invention. Substitution and change of components are possible, which also belong to the right of the present invention.

200: 코팅 장치 212: 테이블
220: 노즐 장치 222: 노즐부
230: 코팅층 240,240A,240B,240C,240D: 지그
240a,240b,240c,240d: 지그부재 242 : 수용부
G,Ga1,Ga2,Gb1,Gb2: 기판200: coating device 212: table
220: nozzle device 222: nozzle unit
230: coating layer 240, 240A, 240B, 240C, 240D: jig
240a, 240b, 240c, 240d: jig member 242: accommodating part
G,Ga1,Ga2,Gb1,Gb2: substrate

Claims (16)

분리형 지그에 있어서,
테이블 상에서 기판을 수용하기 위한 수용부를 형성하도록 결합되는 복수의 지그부재를 포함하되,
상기 복수의 지그부재는 상기 기판의 폭방향 양측면과 각각 접촉되는 제1 지그부재 및 제2 지그부재, 및 상기 기판의 길이방향 양측면과 각각 접촉되는 제3 지그부재 및 제4 지그부재를 포함하고,
상기 제3 지그부재 및 상기 제4 지그부재의 길이는 상기 제1 지그부재 및 상기 제2 지그부재의 길이보다 길게 형성되며,
상기 제3 지그부재의 양단부가 상기 제1 지그부재 및 상기 제2 지그부재의 일측단부에 각각 밀착되고, 상기 제4 지그부재의 양단부가 상기 제1 지그부재 및 상기 제2 지그부재의 타측단부에 각각 밀착되게 결합됨으로써 상기 수용부가 형성되며,
상기 복수의 지그부재는 상기 기판이 상기 수용부에 수용된 상태에서 상기 기판 상에 도액이 도포된 후 상기 기판의 접촉 측면으로부터 이격되어 분리될 수 있는
분리형 지그.In the separable jig,
Including a plurality of jig members coupled to form a receiving portion for accommodating a substrate on the table,
The plurality of jig members include a first jig member and a second jig member respectively contacting both side surfaces in the width direction of the substrate, and a third jig member and a fourth jig member respectively contacting both side surfaces in the longitudinal direction of the substrate,
Lengths of the third jig member and the fourth jig member are longer than those of the first jig member and the second jig member,
Both ends of the third jig member are in close contact with one end portions of the first jig member and the second jig member, respectively, and both ends of the fourth jig member are attached to the other ends of the first jig member and the second jig member. By being closely coupled to each other, the receiving portion is formed,
The plurality of jig members can be separated by being spaced apart from the contact side of the substrate after the coating solution is applied on the substrate in a state where the substrate is accommodated in the receiving portion
Detachable jig. 제 1항에 있어서,
상기 복수의 지그부재의 분리는 순차적으로 또는 동시에 이루어지는 분리형 지그.According to claim 1,
Separation-type jig wherein the plurality of jig members are separated sequentially or simultaneously. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
상기 복수의 지그부재는 적어도 2개 이상으로 구현되는 분리형 지그.According to claim 1 or 2,
The plurality of jig members is a separable jig implemented by at least two or more. 코팅 장치에 있어서,
복수의 기판을 각각 수용하는 수용부를 구비한 복수의 분리형 지그;
상기 복수의 분리형 지그가 각각 분리 가능하게 장착되는 테이블;
상기 테이블 상에서 상기 수용부 각각에 수용된 상기 복수의 기판 상에 코팅층을 형성하도록 도액을 도포하기 위한 노즐부를 구비한 노즐 장치;
상기 노즐 장치가 장착되며, 상기 노즐 장치를 상기 복수의 분리형 지그 상에서 왕복 이동시키기 위한 갠트리; 및
상기 복수의 분리형 지그를 분리하는 지그 분리 장치를 포함하되,
상기 복수의 분리형 지그는 각각 복수의 지그부재로 구성되고,
상기 복수의 지그부재는 각각,
상기 기판의 폭방향 양측면과 각각 접촉되는 제1 지그부재 및 제2 지그부재, 및 상기 기판의 길이방향 양측면과 각각 접촉되는 제3 지그부재 및 제4 지그부재를 포함하고,
상기 제3 지그부재 및 상기 제4 지그부재의 길이는 상기 제1 지그부재 및 상기 제2 지그부재의 길이보다 길게 형성되며,
상기 제3 지그부재의 양단부가 상기 제1 지그부재 및 상기 제2 지그부재의 일측단부에 각각 밀착되고, 상기 제4 지그부재의 양단부가 상기 제1 지그부재 및 상기 제2 지그부재의 타측단부에 각각 밀착되게 결합됨으로써 상기 수용부가 형성되며,
상기 지그 분리 장치는 상기 복수의 기판 상에 상기 도액의 도포가 완료되면, 상기 복수의 분리형 지그를 각각 구성하는 상기 복수의 지그부재를 상기 복수의 기판의 측면으로부터 이격시켜 분리하는 코팅 장치.In the coating device,
a plurality of separable jigs each having an accommodating portion accommodating a plurality of substrates;
a table on which the plurality of detachable jigs are detachably mounted;
a nozzle device having a nozzle unit for applying a coating liquid to form a coating layer on the plurality of substrates accommodated in each of the accommodating units on the table;
a gantry on which the nozzle device is mounted and reciprocating the nozzle device on the plurality of detachable jigs; and
Including a jig separation device for separating the plurality of separable jigs,
The plurality of separable jigs are each composed of a plurality of jig members,
Each of the plurality of jig members,
A first jig member and a second jig member respectively contacting both side surfaces in the width direction of the substrate, and a third jig member and a fourth jig member respectively contacting both side surfaces in the longitudinal direction of the substrate,
Lengths of the third jig member and the fourth jig member are longer than those of the first jig member and the second jig member,
Both ends of the third jig member are in close contact with one end portions of the first jig member and the second jig member, respectively, and both ends of the fourth jig member are attached to the other ends of the first jig member and the second jig member. By being closely coupled to each other, the receiving portion is formed,
The jig separation device separates the plurality of jig members each constituting the plurality of separation-type jigs from the side surfaces of the plurality of substrates when the application of the coating liquid on the plurality of substrates is completed. 제 4항에 있어서,
상기 노즐부는 상기 복수의 기판 상으로 상기 도액을 전면 도포 또는 간헐 도포하는 코팅 장치.According to claim 4,
The nozzle unit coating device for applying or intermittently applying the coating liquid on the plurality of substrates. 제 4항에 있어서,
상기 복수의 분리형 지그를 각각 구성하는 상기 복수의 지그부재의 분리는 순차적으로 또는 동시에 이루어지는 코팅 장치.According to claim 4,
Separation of the plurality of jig members constituting the plurality of separable jigs, respectively, is performed sequentially or simultaneously. 제 4항에 있어서,
상기 복수의 분리형 지그를 각각 구성하는 상기 복수의 지그부재는 적어도 2개 이상으로 구현되는 코팅 장치.According to claim 4,
The plurality of jig members each constituting the plurality of separable jigs are implemented as at least two or more. 제 4항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 코팅 장치는 상기 도액에 열을 인가하여 상기 도액의 점도 및 표면 장력 중 적어도 하나 이상의 특성을 조정하기 위한 히팅 장치를 추가로 구비하는 코팅 장치.According to any one of claims 4 to 7,
The coating device further comprises a heating device for adjusting at least one characteristic of viscosity and surface tension of the coating solution by applying heat to the coating solution. 코팅 방법에 있어서,
a) 복수개로 구획되어 제공되며, 결합 시 소정 형상을 가지는 기판을 수용하기 위한 수용부를 형성하도록 구현되는 복수의 지그부재를 구성하는 분리형 지그를 제작하는 지그 제작 공정(S100);
b) 상기 분리형 지그부재를 구성하는 상기 복수의 지그부재를 테이블 상에 결합하여 고정한 후, 상기 수용부 내에 상기 기판을 수용하는 지그 고정 공정(S200);
c) 노즐 장치의 노즐부를 상기 기판의 코팅 위치로 이동하는 노즐 장치 이송 공정(S300);
d) 상기 노즐 장치를 코팅 방향을 따라 상기 분리형 지그 상에서 이동하면서 상기 수용부에 수용된 상기 기판 상에 도액을 도포하여 코팅층을 형성하는 코팅 공정(S400);
e) 상기 기판 상에 상기 도액의 도포가 완료되면, 상기 복수의 지그부재를 상기 기판의 측면으로부터 이격시켜 분리하는 기판 분리 공정(S500); 및
f) 상기 분리된 복수의 지그부재 상에 잔류하는 코팅층을 세정하는 지그 세정 공정(S600)을 포함하고,
상기 복수의 지그부재는
상기 기판의 폭방향 양측면과 각각 접촉되는 제1 지그부재 및 제2 지그부재, 및 상기 기판의 길이방향 양측면과 각각 접촉되는 제3 지그부재 및 제4 지그부재를 포함하고,
상기 제3 지그부재 및 상기 제4 지그부재의 길이는 상기 제1 지그부재 및 상기 제2 지그부재의 길이보다 길게 형성되며,
상기 제3 지그부재의 양단부가 상기 제1 지그부재 및 상기 제2 지그부재의 일측단부에 각각 밀착되고, 상기 제4 지그부재의 양단부가 상기 제1 지그부재 및 상기 제2 지그부재의 타측단부에 각각 밀착되게 결합됨으로써 상기 수용부가 형성되는
코팅 방법.In the coating method,
a) a jig manufacturing process (S100) of manufacturing a separable jig constituting a plurality of jig members provided in a plurality of sections and implemented to form an accommodating portion for accommodating a substrate having a predetermined shape when coupled;
b) a jig fixing step (S200) of combining and fixing the plurality of jig members constituting the separable jig member on a table and accommodating the substrate in the accommodating part;
c) a nozzle device transferring step (S300) of moving the nozzle unit of the nozzle device to the coating position of the substrate;
d) a coating process (S400) of forming a coating layer by applying a coating solution on the substrate accommodated in the accommodating unit while moving the nozzle device on the detachable jig along the coating direction;
e) a substrate separation process (S500) of separating the plurality of jig members by separating them from the side surface of the substrate when the application of the coating liquid on the substrate is completed; and
f) a jig cleaning process (S600) of cleaning the coating layer remaining on the separated plurality of jig members,
The plurality of jig members
A first jig member and a second jig member respectively contacting both side surfaces in the width direction of the substrate, and a third jig member and a fourth jig member respectively contacting both side surfaces in the longitudinal direction of the substrate,
Lengths of the third jig member and the fourth jig member are longer than those of the first jig member and the second jig member,
Both ends of the third jig member are in close contact with one end portions of the first jig member and the second jig member, respectively, and both ends of the fourth jig member are attached to the other ends of the first jig member and the second jig member. By being closely coupled to each other, the receiving portion is formed
coating method. 제 9항에 있어서,
상기 코팅 방법은 상기 b) 공정 및 상기 c) 공정 사이에 b1) 상기 도액에 열을 인가하여 상기 도액의 점도 및 표면 장력 중 적어도 하나 이상의 특성을 조정하는 가열 공정(S250)을 추가로 포함하는 코팅 방법.According to claim 9,
The coating method further includes b1) a heating step (S250) of applying heat to the coating solution to adjust at least one characteristic of the viscosity and surface tension of the coating solution between the process b) and the process c). method. 제 9항에 있어서,
상기 코팅 방법은 g) 상기 f) 공정이 완료된 후 상기 b) 공정 내지 상기 f) 공정을 반복하여 수행하는 공정을 추가로 포함하는 코팅 방법.According to claim 9,
The coating method further comprises g) a step of repeatedly performing steps b) to f) after the step f) is completed. 제 9항 내지 제 11항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 e) 공정에서 상기 복수의 지그부재의 분리는 순차적으로 또는 동시에 이루어지는 코팅 방법.According to any one of claims 9 to 11,
The coating method in which the separation of the plurality of jig members in the step e) is performed sequentially or simultaneously. 코팅 방법에 있어서,
a) 복수의 기판을 각각 수용하는 수용부를 구비하는 복수의 분리형 지그-여기서 복수의 분리형 지그는 각각 분리 가능한 복수의 지그부재로 구성됨-를 테이블 상에 각각 분리 가능하게 장착하는 공정;
b) 노즐부를 구비한 노즐 장치를 이용하여 상기 테이블 상에서 상기 수용부 각각에 수용된 상기 복수의 기판 상에 코팅층을 형성하도록 도액을 도포하는 공정;
c) 지그 분리 장치를 이용하여 상기 복수의 분리형 지그 각각을 구성하는 상기 복수의 지그부재를 상기 복수의 기판의 측면으로부터 이격시켜 분리하는 공정; 및
d) 상기 분리된 복수의 지그부재 상에 잔류하는 코팅층을 세정하는 지그 세정 공정을 포함하고,
상기 복수의 지그부재는 각각,
상기 기판의 폭방향 양측면과 각각 접촉되는 제1 지그부재 및 제2 지그부재, 및 상기 기판의 길이방향 양측면과 각각 접촉되는 제3 지그부재 및 제4 지그부재를 포함하고,
상기 제3 지그부재 및 상기 제4 지그부재의 길이는 상기 제1 지그부재 및 상기 제2 지그부재의 길이보다 길게 형성되며, 상기 제3 지그부재의 양단부가 상기 제1 지그부재 및 상기 제2 지그부재의 일측단부에 각각 밀착되고,
상기 제4 지그부재의 양단부가 상기 제1 지그부재 및 상기 제2 지그부재의 타측단부에 각각 밀착되게 결합됨으로써 상기 수용부가 형성되는
코팅 방법.In the coating method,
a) a step of detachably mounting a plurality of detachable jigs each having an accommodating portion accommodating a plurality of substrates, wherein the detachable jigs are composed of a plurality of detachable jig members, respectively, on a table;
b) applying a coating liquid to form a coating layer on the plurality of substrates accommodated in each of the accommodating units on the table using a nozzle device having a nozzle unit;
c) separating the plurality of jig members constituting each of the plurality of detachable jigs by separating them from side surfaces of the plurality of substrates by using a jig separation device; and
d) a jig cleaning step of cleaning the coating layer remaining on the separated plurality of jig members,
Each of the plurality of jig members,
A first jig member and a second jig member respectively contacting both side surfaces in the width direction of the substrate, and a third jig member and a fourth jig member respectively contacting both side surfaces in the longitudinal direction of the substrate,
Lengths of the third jig member and the fourth jig member are longer than the lengths of the first jig member and the second jig member, and both ends of the third jig member are formed at both ends of the first jig member and the second jig member. Adhered to each end of one side of the member,
Both ends of the fourth jig member are closely coupled to the other ends of the first jig member and the second jig member, respectively, so that the receiving portion is formed.
coating method. 제 13항에 있어서,
상기 코팅 방법은 상기 a) 공정 및 상기 b) 공정 사이에 a1) 상기 도액에 열을 인가하여 상기 도액의 점도 및 표면 장력 중 적어도 하나 이상의 특성을 조정하는 가열 공정을 추가로 포함하는 코팅 방법.According to claim 13,
The coating method further comprises a1) heating step of applying heat to the coating solution to adjust at least one characteristic of the viscosity and surface tension of the coating solution between the steps a) and the step b). 제 13항에 있어서,
상기 코팅 방법은 e) 상기 d) 공정이 완료된 후 상기 a) 공정 내지 상기 d) 공정을 반복하여 수행하는 공정을 추가로 포함하는 코팅 방법.According to claim 13,
The coating method further comprises e) a step of repeatedly performing steps a) to d) after the step d) is completed. 제 13항 내지 제 15항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 c) 공정에서 상기 복수의 지그부재의 분리는 순차적으로 또는 동시에 이루어지는 코팅 방법.

According to any one of claims 13 to 15,
In step c), the separation of the plurality of jig members is performed sequentially or simultaneously.
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