KR102564312B1 - Operation control apparatus of vacuum pump apparatus and operation control method thereof - Google Patents

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Abstract

종래보다도 소형이면서 또한 저비용인 진공 펌프를 제공한다
진공 펌프 장치(1)는, 메인 펌프(10)와 부스터 펌프(20)를 구비한다. 각 펌프는 흡기구(11a,21a)와 배기구(1lb,2lb)를 구비한다. 부스터 펌프(20)의 배기구(2lb)에 메인 펌프(10)의 흡기구(11a)가 연통된다. 스위치는, 메인 펌프(10)를 기동시키기 위한 기동 지시를 접수한다. 스위치가 기동 지시를 접수하여, 메인 펌프(10)가 기동될 때에, 부스터 펌프(20)를 기동할 것인지 아닌지를 기동 지시에 의거하여 판정하여, 부스터 펌프(20)를 기동한다.Provided is a vacuum pump that is smaller than before and at a lower cost.
A vacuum pump device (1) includes a main pump (10) and a booster pump (20). Each pump has intake ports 11a and 21a and exhaust ports 1lb and 2lb. The intake port 11a of the main pump 10 communicates with the exhaust port 2lb of the booster pump 20 . The switch receives a starting instruction for starting the main pump 10. When the switch receives the start-up instruction and the main pump 10 starts up, it determines whether or not to start the booster pump 20 based on the start-up instruction, and starts the booster pump 20 .

Description

진공 펌프 장치의 운전 제어장치, 및 운전 제어방법{OPERATION CONTROL APPARATUS OF VACUUM PUMP APPARATUS AND OPERATION CONTROL METHOD THEREOF}Operation control device and operation control method of vacuum pump device

본 발명은, 메인 펌프와 부스터 펌프를 구비한 진공 펌프 장치의 운전 제어장치, 및 운전 제어방법에 관한 것이다.The present invention relates to an operation control device and an operation control method of a vacuum pump device having a main pump and a booster pump.

근년, 대기압에서의 동작이 가능하며, 깨끗한 진공 환경이 용이하게 얻어지는 드라이 진공 펌프가, 반도체 제조 설비의 컴포넌트로서, 또한 액정의 제조 설비 등으로서 폭넓은 분야에서 사용되고 있다. 종래, 메인 펌프(MP)와 부스터 펌프(BP)를 내장한 드라이 진공 펌프의 운전에는, 펌프 제어부, 압력 센서, 메인 펌프 인버터, 부스터 펌프 인버터가 사용되고 있다. 그리고, 부스터 펌프의 기동에는, 압력 센서가 필요하게 되어 있다. 그 이유는 이하와 같다.In recent years, dry vacuum pumps capable of operating at atmospheric pressure and easily obtaining a clean vacuum environment have been used in a wide range of fields as components of semiconductor manufacturing equipment and liquid crystal manufacturing equipment. Conventionally, a pump control unit, a pressure sensor, a main pump inverter, and a booster pump inverter are used to operate a dry vacuum pump incorporating a main pump MP and a booster pump BP. In addition, a pressure sensor is required to start the booster pump. The reason is as follows.

메인 펌프와 부스터 펌프는, 각각, 흡기구와 배기구를 구비하며, 부스터 펌프의 배기구에 메인 펌프의 흡기구가 연통(連通)되어 있다. 부스터 펌프의 흡기구가 진공 펌프 장치의 흡기측이며, 메인 펌프의 배기구가 진공 펌프 장치의 배기측이다. 부스터 펌프의 배기구와 메인 펌프의 흡기구를 접속하는 배관에 압력 센서가 배치되어 있다. 압력 센서는, 이 배관 내의 압력을 검지한다. 부스터 펌프를 기동하는 타이밍은, 압력 센서로 측정한 압력값이 적절한지 아닌지를 펌프 제어부가 판단하여, 적절하면, 부스터 펌프 인버터에 기동 신호를 펌프 제어부가 출력한다.The main pump and the booster pump each have an intake port and an exhaust port, and the intake port of the main pump communicates with the exhaust port of the booster pump. The intake port of the booster pump is the intake side of the vacuum pump device, and the exhaust port of the main pump is the exhaust side of the vacuum pump device. A pressure sensor is disposed in a pipe connecting the exhaust port of the booster pump and the intake port of the main pump. A pressure sensor detects the pressure in this pipe. Regarding the timing for activating the booster pump, the pump control unit determines whether or not the pressure value measured by the pressure sensor is appropriate, and if appropriate, the pump control unit outputs a start signal to the booster pump inverter.

메인 펌프와 부스터 펌프를 동시에 기동하지 않는 이유는, 이하와 같다. 부스터 펌프는, 부스터 펌프와 메인 펌프의 사이의 배관의 압력이 소정의 압력 이하의 진공으로 되어 있지 않으면, 부스터 펌프의 부하가 커서, 부스터 펌프가 안정적으로 운전될 수 없기 때문이다. 그래서, 메인 펌프의 운전에 의해, 메인 펌프와 부스터 펌프의 사이의 배관을 진공화한 후에, 부스터 펌프를 기동하고 있다.The reason why the main pump and the booster pump are not started simultaneously is as follows. This is because the load of the booster pump is large and the booster pump cannot be stably operated unless the pressure of the pipe between the booster pump and the main pump is a vacuum below a predetermined pressure. Therefore, the booster pump is started after vacuuming the piping between the main pump and the booster pump by operating the main pump.

드라이 진공 펌프의 기동, 정지는 이하와 같이 종래 행해지고 있다. 사용자의 기동 스위치의 조작에 의해, 메인 펌프가 기동된다. 메인 펌프와 부스터 펌프의 사이의 배관의 압력이 소정의 압력 이하의 진공으로 되어 있는지를 펌프 제어부가 판단한다. 소정의 압력 이하의 진공으로 되어 있다고 판단했을 때에, 펌프 제어부가 부스터 펌프 인버터에 지령을 보내서, 부스터 펌프가 기동된다.Startup and stop of the dry vacuum pump have conventionally been performed as follows. The main pump is started by the user's operation of the starting switch. The pump controller determines whether the pressure in the pipe between the main pump and the booster pump is a vacuum below a predetermined pressure. When it is judged that the vacuum is below a predetermined pressure, the pump control unit sends a command to the booster pump inverter, and the booster pump is started.

사용자의 정지 스위치의 조작, 또는 메인 펌프 내에서의 알람 발생에 의해, 메인 펌프가 정지되면, 펌프 제어부가 부스터 펌프 인버터에 지령을 보내서, 부스터 펌프가 정지된다. 한편, 부스터 펌프 내에서의 알람 발생에 의해 부스터 펌프가 정지되었을 때는, 펌프 제어부는 메인 펌프를 정지할 것인지 아닌지를 판단하고, 메인 펌프를 정지할 필요가 없다고 판단했을 때는, 메인 펌프는 정지되지 않는다. 그 이유는, 이하와 같다. 부스터 펌프가 정지해도, 메인 펌프가 운전되고 있으면, 진공으로 해야 할 용기 내의 압력이 상승하는 속도는 억제할 수 있다. 또한, 부스터 펌프의 정지가, 부스터 펌프 고유의 이유에 의해 정지되었을 경우, 메인 펌프는 정상이라고 생각되기 때문이다. 따라서, 메인 펌프의 운전을 계속시킬지는, 진공 시스템의, 사용자 또는 설계자의 설계 사상에 의존한다.When the main pump is stopped due to a user's operation of a stop switch or an alarm in the main pump, the pump controller sends a command to the booster pump inverter to stop the booster pump. On the other hand, when the booster pump is stopped due to the occurrence of an alarm in the booster pump, the pump control unit determines whether or not to stop the main pump, and when it is determined that there is no need to stop the main pump, the main pump is not stopped. . The reason is as follows. Even if the booster pump is stopped, as long as the main pump is operating, the rate at which the pressure in the container to be evacuated increases can be suppressed. In addition, when the stop of the booster pump is stopped due to a reason specific to the booster pump, it is because the main pump is considered to be normal. Therefore, whether the operation of the main pump is continued depends on the design concept of the user or designer of the vacuum system.

일본국 특허 제4218756호Japanese Patent No. 4218756

종래의 메인 펌프와 부스터 펌프를 내장한 드라이 진공 펌프에는, 부스터 펌프의 기동을 적절하게 행하기 위해서, 압력 센서와, 압력 센서의 신호 처리 회로가 필요했다. 그 때문에, 압력 센서용의 설치 공간이 필요하여, 진공 펌프가 대형화되어 있었다. 또한 압력 센서와, 그 신호 처리 회로를 위한 비용에 기인하여, 진공 펌프는 고가였다.Conventional dry vacuum pumps incorporating a main pump and a booster pump require a pressure sensor and a signal processing circuit for the pressure sensor in order to properly start the booster pump. Therefore, an installation space for the pressure sensor is required, and the vacuum pump has been enlarged in size. Also due to the cost for the pressure sensor and its signal processing circuit, the vacuum pump was expensive.

본 발명의 일 형태는, 이러한 문제점을 해소하기 위해 이뤄진 것으로, 그 목적은, 종래보다도 소형이면서 또한 저비용인 진공 펌프를 제공하는 것이다.One aspect of the present invention has been made to solve these problems, and its object is to provide a vacuum pump that is smaller and cheaper than before.

상기 과제를 해결하기 위해서, 제 1 형태에서는, 메인 펌프와 부스터 펌프를 구비한 진공 펌프 장치를 위한 운전 제어장치에 있어서, 상기 메인 펌프와 부스터 펌프는 흡기구와 배기구를 구비하며, 상기 부스터 펌프의 배기구에 상기 메인 펌프의 흡기구가 연통되며, 상기 부스터 펌프의 흡기구가 상기 진공 펌프 장치의 흡기측이고, 메인 펌프의 배기구가 상기 진공 펌프 장치의 배기측이며, 상기 운전 제어장치는, 상기 메인 펌프를 기동시키기 위한 기동 지시를 접수하는 기동 지시 접수부와, 상기 기동 지시 접수부가 상기 기동 지시를 접수하며, 상기 메인 펌프가 기동될 때에, 상기 부스터 펌프를 기동할 것인지 아닌지를 상기 기동 지시에 의거하여 판정하여, 상기 부스터 펌프를 기동하는 부스터 펌프 기동부를 구비하는 것을 특징으로 하는 운전 제어장치라고 하는 구성을 채용하고 있다.In order to solve the above problem, in a first aspect, in the operation control device for a vacuum pump device having a main pump and a booster pump, the main pump and the booster pump have an intake port and an exhaust port, and an exhaust port of the booster pump The intake port of the main pump is communicated with, the intake port of the booster pump is the intake side of the vacuum pump device, the exhaust port of the main pump is the exhaust side of the vacuum pump device, and the operation control device starts the main pump. A start-up instruction accepting unit for receiving a start-up instruction to be performed, and the start-up instruction acceptor unit accepts the start-up instruction, and when the main pump is started, determining whether or not to start the booster pump based on the start-up instruction, A configuration called an operation control device characterized by including a booster pump starting unit for activating the booster pump is employed.

본 실시형태에서는, 압력 센서와, 압력 센서의 신호 처리 회로를 없애고, 압력 센서를 이용하지 않고, 메인 펌프와 부스터 펌프를 기동할 수 있다. 그 때문에, 기동 지시 접수부가 기동 지시를 접수하여, 메인 펌프가 기동될 때에, 부스터 펌프 기동부가, 부스터 펌프를 기동할 것인지 아닌지를 기동 지시에 의거하여 판정하여, 부스터 펌프를 기동한다. 압력 센서와, 압력 센서의 신호 처리 회로가 없기 때문에, 종래보다도 소형이면서 또한 저비용인 진공 펌프를 제공할 수 있다.In this embodiment, the pressure sensor and the signal processing circuit of the pressure sensor are eliminated, and the main pump and the booster pump can be started without using the pressure sensor. Therefore, when the start-up instruction receiving unit receives the start-up instruction and the main pump is started, the booster pump start-up unit determines whether or not to start the booster pump based on the start-up instruction, and starts the booster pump. Since there is no pressure sensor and a signal processing circuit for the pressure sensor, it is possible to provide a vacuum pump that is smaller and cheaper than before.

압력 센서가 없어도 운전 가능한 이유는, 이하와 같다. 종래, 메인 펌프와 부스터 펌프를 동시에 기동하지 않는 이유는, 부스터 펌프는, 부스터 펌프와 메인 펌프의 사이의 배관 내의 압력이 소정의 압력 이하의 진공으로 되어 있지 않으면, 부스터 펌프의 부하가 커서, 부스터 펌프가 안정적으로 운전될 수 없기 때문이다. 종래는, 메인 펌프의 운전에 의해, 메인 펌프와 부스터 펌프의 사이의 배관을 진공화한 후에, 부스터 펌프를 기동하고 있었다.The reason why it can be operated even without a pressure sensor is as follows. Conventionally, the reason why the main pump and the booster pump are not started at the same time is that the booster pump has a large load when the pressure in the pipe between the booster pump and the main pump is not a vacuum below a predetermined pressure, and the booster pump This is because the pump cannot operate stably. Conventionally, the booster pump is started after vacuuming the piping between the main pump and the booster pump by operating the main pump.

메인 펌프의 기동 후, 그 회전수가 소정의 값을 넘어, 소정의 시간을 경과하면, 메인 펌프와 부스터 펌프의 사이의 압력은, 부스터 펌프를 기동 가능한 레벨의 압력으로 되는 것이 추측된다. 왜냐하면, 메인 펌프의 흡기측(상위측)의 용적은 무한대는 아니기 때문이다. 진공 펌프 장치의 흡기측에는, 진공으로 해야 할 용기가 설치된다. 드라이 진공 펌프는, 이 용기 내의 기체를 배기하여, 용기 내를 진공으로 한다. 용기의 체적은 유한하기 때문에, 메인 펌프의 흡기측(상위측)의 용적은 무한대는 아니다. 이상의 것으로부터, 메인 펌프의 기동 후, 소정의 시간이 경과했다는 것만 알면, 부스터 펌프를 안전하게 기동할 수 있다. 또한, 메인 펌프의 정지 후, 단시간이 경과했을 뿐일 때는, 배관 내의 진공도가, 대부분 저하되어 있지 않기 때문에, 메인 펌프의 기동 후, 즉각, 부스터 펌프를 안전하게 기동할 수 있다.It is presumed that, after starting the main pump, when the rotational speed exceeds a predetermined value and a predetermined time elapses, the pressure between the main pump and the booster pump becomes a pressure level at which the booster pump can be activated. This is because the volume of the intake side (upper side) of the main pump is not infinite. A container to be evacuated is installed on the intake side of the vacuum pump device. The dry vacuum pump exhausts the gas inside the container to vacuum the inside of the container. Since the volume of the container is finite, the volume of the intake side (upper side) of the main pump is not infinite. From the above, the booster pump can be safely started if it is known that a predetermined time has elapsed after starting the main pump. Further, when only a short period of time has elapsed after the main pump has stopped, since the degree of vacuum in the piping has hardly decreased, the booster pump can be safely started immediately after starting the main pump.

부스터 펌프를 기동할 수 있기 위한 시간, 또는, 기동할 수 있기 위한 메인 펌프의 회전수는, 실험 등에 의해 결정할 수 있다. 그런데, 상정 외의 사태가 있을 경우, 즉, 용기의 용적이 펌프 설계 시의 상정보다도 훨씬 컸을 경우나, 용기가, 과오 등에 의해 밀폐되어 있지 않은 경우나, 파손 등에 의해 용기에 대하여, 외부로부터 기체의 유입이 있는 경우에는, 이하의 대처 방법이 있다. 이러한 경우, 메인 펌프가 소정 회전수로 되어, 예정의 시간이 경과해도, 메인 펌프와 부스터 펌프의 사이의 압력이, 부스터 펌프를 안정 가동시키는 것에 충분한 진공에 도달하지 못할 경우가 있다. 이 경우에는, 부스터 펌프용 모터에 흐르는 전류가 커지기 때문에, 부스터 펌프용 모터의 전류를 부스터 펌프의 인버터 장치로 검출하여, 부스터 펌프 과전류 알람을 생성한다. 부스터 펌프 과전류 알람이 검출되었을 때는, 부스터 펌프를 정지시킨다. 또한, 부스터 펌프용의 인버터 장치의 디지털 출력부로부터, 메인 펌프 인버터 장치의 디지털 입력부에, 부스터 펌프의 정지를 나타내는 신호를 전달함으로써 메인 펌프를 정지시켜, 펌프 시스템을 안전하게 정지시킨다.The time required to activate the booster pump or the number of revolutions of the main pump required to be activated can be determined by experiments or the like. However, when there is an unexpected situation, that is, when the volume of the container is much larger than expected at the time of pump design, when the container is not sealed due to error, etc., or when the container is damaged due to damage, etc. If there is an inflow, there are the following countermeasures. In such a case, even if the main pump reaches a predetermined rotational speed and a predetermined time elapses, the pressure between the main pump and the booster pump may not reach a vacuum sufficient to stably operate the booster pump. In this case, since the current flowing through the booster pump motor increases, the current of the booster pump motor is detected by the inverter device of the booster pump, and a booster pump overcurrent alarm is generated. When a booster pump overcurrent alarm is detected, the booster pump is stopped. In addition, the main pump is stopped by transmitting a signal indicating the stop of the booster pump from the digital output unit of the inverter device for the booster pump to the digital input unit of the main pump inverter device, thereby stopping the pump system safely.

제 2 형태에서는, 상기 부스터 펌프 기동부는, 상기 기동 지시 접수부가 상기 기동 지시를 접수했을 때에, 상기 부스터 펌프를 기동할 수 있다고 판정하여, 상기 부스터 펌프를 기동하는 것을 특징으로 하는 운전 제어장치라고 하는 구성을 채용하고 있다.In the second aspect, the booster pump starting unit determines that the booster pump can be started when the start-up instruction reception unit receives the start-up instruction, and starts the booster pump. configuration is employed.

제 3 형태에서는, 상기 부스터 펌프 기동부는, 상기 기동 지시 접수부가 상기 기동 지시를 접수한 후이면서, 또한, 소정 시간이 경과했을 때에, 상기 부스터 펌프를 기동할 수 있다고 판정하여, 상기 부스터 펌프를 기동하는 것을 특징으로 하는 운전 제어장치라고 하는 구성을 채용하고 있다.In the third mode, the booster pump start-up section determines that the booster pump can be started after a start-up instruction reception section has received the start-up instruction and when a predetermined time has elapsed, and starts the booster pump. A configuration called an operation control device characterized in that

제 4 형태에서는, 상기 부스터 펌프 기동부는, 상기 기동 지시 접수부가 상기 기동 지시를 접수한 후이면서, 또한, 상기 소정 시간에 걸쳐서 상기 메인 펌프의 회전수가 소정수 이상일 때에, 상기 부스터 펌프를 기동할 수 있다고 판정하여, 상기 부스터 펌프를 기동하는 것을 특징으로 하는 운전 제어장치라고 하는 구성을 채용하고 있다.In the fourth aspect, the booster pump starting unit is capable of starting the booster pump after the start-up instruction reception unit has received the start-up instruction and when the number of revolutions of the main pump over the predetermined time is equal to or greater than a predetermined number. It is determined that it is, and a configuration called an operation control device characterized in activating the booster pump is adopted.

제 5 형태에서는, 상기 부스터 펌프 기동부는, 상기 기동 지시 접수부가 상기 기동 지시를 접수한 후이면서, 또한, 상기 소정 시간에 걸쳐서 상기 메인 펌프의 회전수가 소정수 이상이면서, 또한, 상기 메인 펌프를 구동하는 모터의 전류값이 소정값 이하일 때에, 상기 부스터 펌프를 기동할 수 있다고 판정하여, 상기 부스터 펌프를 기동하는 것을 특징으로 하는 운전 제어장치라고 하는 구성을 채용하고 있다.In the fifth aspect, the booster pump activating unit drives the main pump after the starting instruction receiving unit has received the starting instruction, while the number of rotations of the main pump over the predetermined period of time is equal to or greater than a predetermined number. When the current value of the motor to be operated is less than or equal to a predetermined value, it is determined that the booster pump can be started and the booster pump is started.

본 실시형태에서, 메인 펌프를 구동하는 모터의 전류값이 소정값 이하일 때에, 부스터 펌프를 기동할 수 있다고 판정하는 이유는 이하와 같다. 압력 센서가 없기 때문에, 메인 펌프와 부스터 펌프의 사이의 압력을 실측할 수 없게 됨으로써, 부스터 펌프의 안정 가동에 필요한 압력에 도달되어 있는지 아닌지는, 실험 등의 결과에 의거하는 추측에 따른다. 이 추측의 정밀도를 향상시키는 1개의 방법이, 본 실시형태의 방법이다. 본 실시형태에서는, 메인 펌프가 소정의 회전수에 도달한 후, 메인 펌프의 전류를 감시하고, 메인 펌프의 전류가 소정의 값까지 저하된 후에, 소정의 시간 경과하면, 부스터 펌프를 기동한다.In this embodiment, the reason why it is determined that the booster pump can be started when the current value of the motor driving the main pump is equal to or less than a predetermined value is as follows. Since there is no pressure sensor, it is impossible to actually measure the pressure between the main pump and the booster pump, so whether or not the pressure necessary for stable operation of the booster pump is reached depends on guess based on the results of experiments and the like. One method of improving the accuracy of this estimation is the method of the present embodiment. In this embodiment, after the main pump reaches a predetermined number of revolutions, the current of the main pump is monitored, and the booster pump is started when a predetermined time elapses after the current of the main pump decreases to a predetermined value.

메인 펌프 모터에 흐르는 전류는, 메인 펌프에 도입되는 기체의 유량에 비례한다. 즉, 운전을 개시하고 머지않아, 용기 내 압력이 높을 경우에는, 메인 펌프 전류가 높다. 용기 내의 기체가 배기되어서, 메인 펌프보다 상위의 압력이 저하되면, 메인 펌프의 전류가 저하된다. 이 사실로부터, 회전수와 전류와 시간에 의거하여 추측하는 것이, 회전수와 시간에 의거하여 추측하는 것 보다도, 보다 고정밀도로 메인 펌프의 상위측의 압력을 추측할 수 있다. 이 때문에, 부스터 펌프의 회전 개시의 조건이 성립한 것을 확실하게 파악할 수 있어, 부스터 펌프 기동 시의 알람 발생의 가능성을 저감할 수 있다.The current flowing through the main pump motor is proportional to the flow rate of the gas introduced into the main pump. That is, when the pressure in the container is high soon after starting the operation, the main pump current is high. When the gas in the container is exhausted and the pressure above the main pump decreases, the current of the main pump decreases. From this fact, it is possible to estimate the pressure on the upper side of the main pump more accurately by estimating based on the number of rotations, current, and time than by estimating based on the number of rotations and time. For this reason, it is possible to reliably grasp that the conditions for starting the rotation of the booster pump have been met, and it is possible to reduce the possibility of an alarm occurring when the booster pump is started.

제 6 형태에서는, 상기 운전 제어장치는, 상기 메인 펌프를 정지시키기 위한 정지 지시를 접수하는 정지 지시 접수부와, 상기 정지 지시 접수부가 상기 정지 지시를 접수하여, 상기 메인 펌프가 정지할 때에, 상기 부스터 펌프를 정지할 것인지 아닌지를 상기 정지 지시에 의거하여 판정하여, 상기 부스터 펌프를 정지하는 부스터 펌프 정지부를 구비하는 것을 특징으로 하는 운전 제어장치라고 하는 구성을 채용하고 있다.In a sixth aspect, the operation control device comprises: a stop instruction accepting unit that receives a stop instruction for stopping the main pump; and when the stop instruction accepting unit receives the stop instruction and the main pump stops, the booster A configuration called an operation control device characterized by including a booster pump stopping unit for determining whether to stop the pump based on the stop instruction and stopping the booster pump is adopted.

제 7 형태에서는, 상기 운전 제어장치는, 상기 메인 펌프의 이상을 검지하는 메인 펌프 이상 검지부와, 상기 메인 펌프 이상 검지부가 상기 메인 펌프의 이상을 검지했을 때에, 상기 메인 펌프와 상기 부스터 펌프를 정지하는 이상 시 정지부를 구비하는 것을 특징으로 하는 운전 제어장치라고 하는 구성을 채용하고 있다.In the seventh aspect, the operation control device includes: a main pump abnormality detection unit that detects an abnormality of the main pump; and when the main pump abnormality detection unit detects an abnormality of the main pump, the main pump and the booster pump are stopped. A configuration called an operation control device characterized by having a stop unit in case of an abnormality is employed.

제 8 형태에서는, 상기 운전 제어장치는, 상기 부스터 펌프의 이상을 검지하는 부스터 펌프 이상 검지부와, 상기 부스터 펌프 이상 검지부가 상기 부스터 펌프의 이상을 검지했을 때에, 상기 부스터 펌프를 정지시키고, 상기 메인 펌프를 정지시키지 않는 부스터 펌프 이상 시 정지부를 구비하는 것을 특징으로 하는 운전 제어장치라고 하는 구성을 채용하고 있다.In an eighth aspect, the operation control device includes a booster pump abnormality detection unit that detects an abnormality of the booster pump, and when the booster pump abnormality detection unit detects an abnormality of the booster pump, stops the booster pump, and the main A configuration called an operation control device characterized by having a stopper in case of a booster pump failure that does not stop the pump is employed.

본 실시형태에서는, 부스터 펌프 정지 시에, 메인 펌프를 정지시키지 않는다. 그 이유는, 부스터 펌프 정지 시에, 반드시 메인 펌프를 정지시킬 필요는 없기 때문이다. 부스터 펌프가 정지해도, 메인 펌프가 운전되고 있으면, 용기 내의 압력이 상승하는 속도는 억제할 수 있다. 따라서, 부스터 펌프가, 부스터 펌프 고유의 이유에 의해 정지했을 경우에, 메인 펌프를 정지시킬지, 메인 펌프는 운전을 계속 시킬지는, 진공 시스템의 설계 사상에 따른다. 메인 펌프의 운전 계속을, 사용자 등이 희망할 경우에는, 부스터 펌프용의 디지털 출력부로부터, 메인 펌프용의 디지털 입력부에 부스터 펌프를 정지시키기 위한 신호를 송신하지 않아도 된다. 또한, 신호를 송신했다고 해도, 메인 펌프는, 부스터 펌프 정지의 신호를 수취해도, 메인 펌프를 정지시키지 않아도 된다.In this embodiment, the main pump is not stopped when the booster pump is stopped. The reason is that it is not necessary to stop the main pump when the booster pump is stopped. Even if the booster pump is stopped, as long as the main pump is operating, the rate at which the pressure in the vessel increases can be suppressed. Therefore, when the booster pump stops due to a reason inherent to the booster pump, whether the main pump is stopped or the main pump continues to operate depends on the design concept of the vacuum system. When the user or the like wishes to continue operation of the main pump, it is not necessary to transmit a signal for stopping the booster pump from the digital output unit for the booster pump to the digital input unit for the main pump. In addition, even if the signal is transmitted, the main pump does not have to stop the main pump even if the signal for stopping the booster pump is received.

제 9 형태에서는, 상기 운전 제어장치는, 상기 메인 펌프와 상기 부스터 펌프의 회전수 중 하나 이상을 제어하기 위한 신호가 외부로부터 입력되는 신호 입력부를 구비하는 것을 특징으로 하는 운전 제어장치라고 하는 구성을 채용하고 있다.In a ninth aspect, the operation control device comprises a configuration called an operation control device characterized in that it includes a signal input unit to which a signal for controlling at least one of the rotation speeds of the main pump and the booster pump is input from the outside. are hiring

제 10의 형태에서는, 메인 펌프와 부스터 펌프를 구비한 진공 펌프 장치를 위한 운전 제어방법에 있어서, 상기 메인 펌프와 부스터 펌프는 흡기구와 배기구를 구비하며, 상기 부스터 펌프의 배기구에 상기 메인 펌프의 흡기구가 연통되며, 상기 부스터 펌프의 흡기구가 상기 진공 펌프 장치의 흡기측이고, 메인 펌프의 배기구가 상기 진공 펌프 장치의 배기측이며, 상기 운전 제어방법은, 상기 메인 펌프를 기동시키기 위한 기동 지시를 접수하는 단계와, 상기 기동 지시를 접수하여, 상기 메인 펌프가 기동될 때에, 상기 부스터 펌프를 기동할 것인지 아닌지를 상기 기동 지시에 의거하여 판정하여, 상기 부스터 펌프를 기동하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 운전 제어방법으로 하는 구성을 채용하고 있다.In a tenth aspect, in the operation control method for a vacuum pump device having a main pump and a booster pump, the main pump and the booster pump have an intake port and an exhaust port, and the intake port of the main pump is provided at the exhaust port of the booster pump. communicates, the intake port of the booster pump is the intake side of the vacuum pump device, the exhaust port of the main pump is the exhaust side of the vacuum pump device, and the operation control method receives a start instruction for starting the main pump. And receiving the starting instruction, and determining whether or not to start the booster pump based on the starting instruction when the main pump is started, and starting the booster pump. It adopts a configuration as an operation control method that does.

도 1은, 본 발명의 일 실시형태와 관련되는 운전 제어장치를 가지는 진공 펌프 장치의 개략 구성을 나타내는 블록도이다.
도 2는, 비교예와 관련되는 운전 제어장치를 가지는 진공 펌프 장치의 개략 구성을 나타내는 블록도이다.
도 3은, 메인 펌프 인버터(41)의 구성을 나타내는 블록도이다.
도 4는, 인버터 제어 회로(66) 내부의 신호의 흐름을 나타내는 블록도이다.
도 5는, 메인 펌프(10)의 인버터 제어 회로(66)와, 부스터 펌프(20)의 인버터 제어 회로(66)의 사이의 신호의 교환을 나타내는 블록도이다.
도 6은, 메인 펌프(10)와 부스터 펌프(20)의 기동, 정지의 타이밍의 관계를 나타내는 도이다.
도 7은, 메인 펌프(10)와 부스터 펌프(20)의 기동, 정지의 타이밍의 관계를 나타내는 도이다.1 is a block diagram showing a schematic configuration of a vacuum pump device having an operation control device according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a block diagram showing a schematic configuration of a vacuum pump device having an operation control device according to a comparative example.
3 is a block diagram showing the configuration of the main pump inverter 41.
4 is a block diagram showing the flow of signals inside the inverter control circuit 66.
5 is a block diagram showing exchange of signals between the inverter control circuit 66 of the main pump 10 and the inverter control circuit 66 of the booster pump 20 .
FIG. 6 is a diagram showing the relationship between timings of starting and stopping the main pump 10 and the booster pump 20. As shown in FIG.
FIG. 7 is a diagram showing the relationship between timings of start and stop of the main pump 10 and the booster pump 20. As shown in FIG.

이하, 본 발명의 실시형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 이하의 각 실시형태에 있어서, 동일 또는 상당하는 부재에는 동일한 부호를 붙여서 중복된 설명을 생략한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described with reference to drawings. In each of the following embodiments, the same reference numerals are assigned to the same or equivalent members, and overlapping descriptions are omitted.

도 1은, 본 발명의 일 실시형태와 관련되는 운전 제어장치를 가지는 진공 펌프 장치의 개략 구성을 나타내는 블록도이다. 도면에 나타나 있는 바와 같이, 진공 펌프 장치(1)는, 2축 용적형의 드라이 진공 펌프인 메인 펌프(10)와 부스터 펌프(20)를 구비하고 있다. 메인 펌프(10)는 펌프부(102)와 모터부(펌프 구동용 전동기)(104)를 가진다. 펌프부(102)는, 흡기구(11a)와 배기구(1lb)를 구비하고 있다. 또한, 부스터 펌프(20)는 펌프부(202)와 모터부(펌프 구동용 전동기)(204)를 가진다. 펌프부(202)는, 흡기구(21a)와 배기구(2lb)를 구비하고 있다.1 is a block diagram showing a schematic configuration of a vacuum pump device having an operation control device according to an embodiment of the present invention. As shown in the drawing, the vacuum pump device 1 is provided with a main pump 10 and a booster pump 20 which are biaxial volumetric dry vacuum pumps. The main pump 10 has a pump part 102 and a motor part (an electric motor for driving the pump) 104. The pump unit 102 has an intake port 11a and an exhaust port 11b. In addition, the booster pump 20 has a pump part 202 and a motor part (an electric motor for driving the pump) 204. The pump unit 202 has an intake port 21a and an exhaust port 21b.

부스터 펌프(20)의 배기구(2lb)에 메인 펌프(10)의 흡기구(11a)를 연결관(31)으로 접속하여 연통시킨다. 부스터 펌프(20)의 흡기구(21a)를 용기(도시 생략)의 배기구(도시 생략)에 연결관(92)으로 접속하고 연통시켜서 진공 펌프 장치(1)를 구성하고 있다. 그리고 부스터 펌프(20)의 흡기구(11a)를 진공 펌프 장치(1)의 흡기측, 메인 펌프(10)의 배기구(1lb)를 진공 펌프 장치(1)의 배기측으로 하고 있다. 메인 펌프(10) 및 부스터 펌프(20)의 모터부(104,204)와 펌프부(102,202)를 운전함으로써, 용기 내의 기체는 화살표 A로 나타내는 바와 같이 부스터 펌프(20)의 흡기구(21a)로부터 흡인(吸引)된다. 흡인된 기체는, 부스터 펌프(20)의 배기구(2lb)로부터, 메인 펌프(10)의 흡기구(11a)에 흡입되어, 배기구(1lb)로부터 화살표 B로 나타내는 바와 같이 배출된다.The intake port (11a) of the main pump (10) is connected to the exhaust port (2lb) of the booster pump (20) through a connection pipe (31) and communicated therewith. The vacuum pump device 1 is constituted by connecting the intake port 21a of the booster pump 20 to an exhaust port (not shown) of a container (not shown) by means of a connection pipe 92 and communicating therewith. The intake port 11a of the booster pump 20 is the intake side of the vacuum pump device 1, and the exhaust port 11b of the main pump 10 is the exhaust side of the vacuum pump device 1. By operating the motor parts 104 and 204 and the pump parts 102 and 202 of the main pump 10 and the booster pump 20, the gas in the container is sucked in from the intake port 21a of the booster pump 20 as indicated by arrow A (吸引) becomes. The sucked gas is sucked into the intake port 11a of the main pump 10 from the exhaust port 2lb of the booster pump 20, and is discharged from the exhaust port 1lb as indicated by arrow B.

메인 펌프 인버터(41)는, 급전선(L1)을 통하여 모터부(104)(펌프 구동용 전동기)에 구동 전류를 공급한다. 부스터 펌프 인버터(42)는, 급전선(L2)을 통하여 모터부(204)(펌프 구동용 전동기)에 구동 전류를 공급한다. 메인 펌프 인버터(41)와 부스터 펌프 인버터(42)는, 신호선(50)을 개재하여, 기동 또는 정지를 위한 신호를 전달한다. 기동 또는 정지를 위한 신호의 상세한 것은 후술한다.The main pump inverter 41 supplies drive current to the motor section 104 (a motor for driving the pump) via the power supply line L1. The booster pump inverter 42 supplies drive current to the motor unit 204 (a motor for driving the pump) via the power supply line L2. The main pump inverter 41 and the booster pump inverter 42 transmit a signal for starting or stopping via a signal line 50 . Details of the signal for starting or stopping will be described later.

진공 펌프 장치(1)의 기동, 정지는, 개략, 이하와 같이 행해진다. 사용자의 기동 정지 스위치의 조작에 의해, 기동 정지 지시(60)가 메인 펌프 인버터(41)에 입력되어서, 펌프부(102)가 기동된다. 메인 펌프 인버터(41)는, 신호선(50)을 개재하여, 펌프부(202)를 기동하기 위한 신호를 전달한다. 이 신호에 의해 펌프부(202)가 기동된다.Startup and stop of the vacuum pump device 1 are performed as follows. By operation of the start-stop switch by the user, a start-stop instruction 60 is input to the main pump inverter 41, and the pump unit 102 is started. The main pump inverter 41 transmits a signal for activating the pump unit 202 via the signal line 50 . The pump unit 202 is activated by this signal.

정지에 관해서는, 이하와 같다. 메인 펌프(10)의 펌프부(102)에서 알람이 발생하여 펌프부(102)가 정지되면, 신호선(50)을 개재하여, 펌프부(202)를 정지하기 위한 신호를 메인 펌프 인버터(41)는 전달한다. 이 신호에 의해 펌프부(202)가 정지된다.Regarding stop, it is as follows. When an alarm occurs in the pump unit 102 of the main pump 10 and the pump unit 102 is stopped, a signal for stopping the pump unit 202 is sent to the main pump inverter 41 via the signal line 50. conveys The pump unit 202 is stopped by this signal.

부스터 펌프(20)의 펌프부(202)에서 알람 발생이 발생하여 부스터 펌프가 정지되면, 메인 펌프(10)는 정지되지 않는다. 이 때, 부스터 펌프(20)가 부스터 펌프 인버터(42)의 리트라이 기능에 의해 한번 더 기동된다.When an alarm is generated in the pump unit 202 of the booster pump 20 and the booster pump is stopped, the main pump 10 is not stopped. At this time, the booster pump 20 is activated once more by the retry function of the booster pump inverter 42.

사용자의 기동 정지 스위치의 조작에 의해, 메인 펌프(10)가 정지되면, 메인 펌프 인버터(41)는, 신호선(50)을 개재하여, 펌프부(202)를 정지하기 위한 신호를 전달한다. 이 신호에 의해 펌프부(202)가 정지된다. 또한, 부스터 펌프 인버터(42)는, 외부 아날로그 전압(62)에 의한 부스터 펌프 회전수 제어의 기능을 가지고 있다.When the main pump 10 is stopped by the user's operation of the start/stop switch, the main pump inverter 41 transmits a signal for stopping the pump unit 202 via the signal line 50 . The pump unit 202 is stopped by this signal. In addition, the booster pump inverter 42 has a function of controlling the speed of booster pump rotation by the external analog voltage 62 .

여기에서, 본 실시형태와의 비교를 위해, 부스터 펌프의 기동에, 압력 센서를 필요로 하는 진공 펌프 장치(52)를 도 2에 나타낸다. 도 2는, 비교예와 관련되는 운전 제어장치를 가지는 진공 펌프 장치(52)의 개략 구성을 나타내는 블록도이다. 부스터 펌프(20)의 펌프부(202)의 배기구(2lb)와, 메인 펌프(10)의 펌프부(102)의 흡기구(11a)를 접속하는 연결관(31)에 압력 센서(54)가 배치되어 있다. 압력 센서(54)는, 이 연결관(31) 내의 압력을 검지한다. 압력 센서(54)가 검지한 압력은 펌프 제어부(56)로 보내진다. 부스터 펌프(20)의 펌프부(202)를 기동하는 타이밍을 검출하기 위해서, 압력 센서(54)에서 측정한 압력값이 적절한 값인지의 아닌지를 펌프 제어부(56)가 판단한다. 압력값이 적절하면, 부스터 펌프 인버터(421)에 기동 신호(58)를 펌프 제어부(56)가 출력한다.Here, for comparison with the present embodiment, a vacuum pump device 52 that requires a pressure sensor to activate the booster pump is shown in FIG. 2 . Fig. 2 is a block diagram showing a schematic configuration of a vacuum pump device 52 having an operation control device according to a comparative example. A pressure sensor 54 is disposed in the connection pipe 31 connecting the exhaust port 2lb of the pump unit 202 of the booster pump 20 and the intake port 11a of the pump unit 102 of the main pump 10. has been The pressure sensor 54 detects the pressure in the connecting pipe 31 . The pressure detected by the pressure sensor 54 is sent to the pump control unit 56. In order to detect the timing of activating the pump unit 202 of the booster pump 20, the pump control unit 56 determines whether or not the pressure value measured by the pressure sensor 54 is an appropriate value. If the pressure value is appropriate, the pump control unit 56 outputs an activation signal 58 to the booster pump inverter 421 .

본 실시형태에 있어서의 메인 펌프 인버터(41)에 대하여 도 3에 의해 설명한다. 도 3은, 메인 펌프 인버터(41)의 구성을 나타내는 블록도이다. 부스터 펌프 인버터(42)는, 메인 펌프 인버터(41)와 거의 동일한 구성이다. 다른 점에 대해서는, 이하의 메인 펌프 인버터(41)의 설명 중에 있어서 언급한다. 부스터 펌프 인버터(42)에 관한 언급의 없는 메인 펌프 인버터(41)의 부분에 대해서는, 메인 펌프 인버터(41)와 부스터 펌프 인버터(42)는, 동일한 구성, 동작을 가진다.The main pump inverter 41 in this embodiment will be described with reference to FIG. 3 . 3 is a block diagram showing the configuration of the main pump inverter 41. The booster pump inverter 42 has substantially the same configuration as the main pump inverter 41 . Other points will be mentioned in the description of the main pump inverter 41 below. Regarding the part of the main pump inverter 41 which is not mentioned about the booster pump inverter 42, the main pump inverter 41 and the booster pump inverter 42 have the same structure and operation.

메인 펌프 인버터(41)는, 모터부(104)에 교류의 전류를 공급하여, 모터부(104)를 구동하는 인버터 주회로(64)와, 외부로부터 입력되는 여러가지 신호에 따라, 인버터 주회로(64)를 제어하여, 간접적으로 모터부(104)의 운전을 행하는 인버터 제어 회로(66)와, 메인 펌프 인버터(41)에 입력되는 전원(68)으로부터, 인버터 제어 회로(66)의 구동에 필요한 저전압의 직류 전원을 생성하는 제어 회로용 전원(70)을 가진다. 일반적으로는, 메인 펌프 인버터(41)에는, AC의 100V, 200V, 400V 등이 입력된다. 한편, 인버터 제어 회로(66)는, DC의 3.3V, 5V, 12V 등으로 구동된다. 인버터 제어 회로(66)는, 인버터 제어 회로(66)에의 입력 신호에 의거한 알람 검출이나, 표시, 목표 회전수 등의 기록이나 인버터의 운전 이력의 기록을 행한다. 메인 펌프(10)의 인버터 제어 회로(66)와 부스터 펌프(20)의 인버터 제어 회로(66)와, 스위치(86)는, 운전 제어장치를 구성한다.The main pump inverter 41 supplies an alternating current to the motor unit 104 to drive the motor unit 104, an inverter main circuit 64, and an inverter main circuit ( 64) to indirectly operate the motor unit 104, and from the power supply 68 input to the main pump inverter 41, necessary for driving the inverter control circuit 66. It has a power supply 70 for a control circuit that generates a low-voltage DC power supply. Generally, AC 100V, 200V, 400V or the like is input to the main pump inverter 41 . On the other hand, the inverter control circuit 66 is driven by 3.3V, 5V, 12V or the like of DC. The inverter control circuit 66 detects an alarm based on an input signal to the inverter control circuit 66, displays it, records the target rotational speed, etc., and records the driving history of the inverter. The inverter control circuit 66 of the main pump 10, the inverter control circuit 66 of the booster pump 20, and the switch 86 constitute an operation control device.

메인 펌프 인버터(41)는, 알람 검출부(72)와, 온도 검출부(74)와, 전류 검출부(76)와, 회전수 검출부(78)를 추가로 가진다. 알람 검출부(72)는, 모터부(104)가 소정의 전류, 온도, 회전수를 넘었을 경우, 또는 펌프부(102)가 기동하고 나서 일정시간 경과해도, 지정 회전수에 도달하지 않았을 경우, 알람 검출 신호(108)를, 디지털 신호 검출부(80)로 출력한다. 디지털 신호 검출부(80)에 있어서의 알람 검출 신호(108)의 처리에 대해서는, 후술한다.The main pump inverter 41 further has an alarm detection unit 72, a temperature detection unit 74, a current detection unit 76, and a rotation speed detection unit 78. The alarm detection unit 72, when the motor unit 104 exceeds the predetermined current, temperature, and rotational speed, or when the pump unit 102 does not reach the designated rotational speed even after a certain period of time elapses after starting, The alarm detection signal 108 is output to the digital signal detection unit 80. The processing of the alarm detection signal 108 in the digital signal detection unit 80 will be described later.

전류, 온도, 회전수의 검출은, 하기의 전류 검출부(76), 온도 검출부(74), 회전수 검출부(78)가 행한다. 각각의 검출 결과를, 도 4에 나타내는 바와 같이, 전류 검출부(76), 온도 검출부(74), 회전수 검출부(78)는, 알람 검출부(72)로 출력한다. 도 4는, 인버터 제어 회로(66) 내부의 신호의 흐름을 나타내는 블록도이다.Current, temperature, and rotational speed detection are performed by a current detection unit 76, a temperature detection unit 74, and an rotational speed detection unit 78 described below. As shown in FIG. 4 , the current detection unit 76 , the temperature detection unit 74 , and the rotation speed detection unit 78 output each detection result to the alarm detection unit 72 . 4 is a block diagram showing the flow of signals inside the inverter control circuit 66.

온도 검출부(74)는, 메인 펌프 인버터(41)의 외부에 설치된 온도 센서로부터의 온도 신호가 입력되며, 소정의 형식의 온도 정보로 변환한다. 변환한 정보를 알람 검출부(72)로 전달한다. 온도 검출부(74)는, 아날로그 회로 혹은 A/D 변환 기능을 가지는 CPU이다. 메인 펌프(10)의 각부 온도를 측정함으로써, 펌프의 부하를 추측할 수 있다. 온도 센서는, 예를 들면, 펌프부(102) 본체나 모터부(104)에 설치된다. 온도 센서는, 부스터 펌프(20)의 흡기구(21a)의 전단(前段), 메인 펌프(10)와 부스터 펌프(20)의 사이, 메인 펌프(10)의 배기구(1lb)의 후단(後段)의 배관(94)에 설치되는 경우도 있다.The temperature detection unit 74 receives a temperature signal from a temperature sensor installed outside the main pump inverter 41 and converts it into temperature information in a predetermined format. The converted information is delivered to the alarm detector 72. The temperature detection unit 74 is an analog circuit or a CPU having an A/D conversion function. By measuring the temperature of each part of the main pump 10, the load of the pump can be estimated. The temperature sensor is installed in the body of the pump unit 102 or the motor unit 104, for example. The temperature sensor is located at the front end of the intake port 21a of the booster pump 20, between the main pump 10 and the booster pump 20, and at the rear end of the exhaust port 1lb of the main pump 10. In some cases, it is attached to the pipe 94.

전류 검출부(76)는, 전류 센서로부터의 신호가 입력되며, 소정의 형식의 전류 정보로 변환한다. 변환한 정보를 알람 검출부(72)로 전달한다. 전류 검출부(76)는, 아날로그 회로 혹은 A/D 변환 기능을 가지는 CPU이다. 전류 센서는, 예를 들면, 메인 펌프 인버터(41)의 출력부나 입력부, 및 모터부(104)에 설치된다. 전류 센서는, 예를 들면, 홀 전류 검출기이다. 홀 전류 검출기는, 전류에 비례하여 발생하는 자속(磁束)을 자기 철심과 자기 센서(홀 소자)의 조합에 의해 비접촉으로 측정함으로써, 전류를 측정한다.The current detection unit 76 receives a signal from the current sensor and converts it into current information in a predetermined format. The converted information is delivered to the alarm detector 72. The current detection unit 76 is an analog circuit or a CPU having an A/D conversion function. The current sensor is provided in the output part or input part of the main pump inverter 41, and the motor part 104, for example. The current sensor is, for example, a Hall current detector. A Hall current detector measures current by non-contactly measuring magnetic flux generated in proportion to current by a combination of a magnetic iron core and a magnetic sensor (Hall element).

회전수 검출부(78)는, 전류 검출부(76)로부터 얻은 모터 전류로부터 모터의 회전수를 얻는다. 회전수 검출부(78)는, 모터 전류의 파형의 변형으로부터, 모터의 자극의 위치를 추정하고, 모터 자극의 위치를 연속적으로 추정함으로써, 모터의 회전수를 얻는다. 모터 전류를 이용하는 대신에, 모터에 자극 센서나 회전수 센서를 설치하여, 이들의 센서에 의해 얻어진 센서 신호를 회전수 검출부로 받아 들여서, 모터 회전수를 검출해도 된다. 이 경우, 전류로부터의 회전수 추측보다도, 용이하게 고 정밀도로 모터의 위상(位相)을 파악할 수 있으므로, 보다 안정적으로 모터를 제어할 수 있다.The rotation speed detection unit 78 obtains the rotation speed of the motor from the motor current obtained from the current detection unit 76 . The rotation speed detection unit 78 estimates the position of the magnetic pole of the motor from the deformation of the waveform of the motor current, and obtains the rotation speed of the motor by continuously estimating the position of the motor magnetic pole. Instead of using the motor current, a stimulus sensor or rotation speed sensor may be installed in the motor, and sensor signals obtained by these sensors may be received by the rotation speed detection unit to detect the motor rotation speed. In this case, since the phase of the motor can be grasped more easily and with high precision than estimation of the number of revolutions from current, the motor can be controlled more stably.

메인 펌프 인버터(41)는, 전압 주파수 제어부(100)와, 디지털 신호 검출부(80)와, 디지털 신호 출력부(82)와, 아날로그 신호 검출부(84)를 추가로 가진다. 전압 주파수 제어부(100)는, 인버터 주회로(64)를 제어함으로써, 모터부(104)에, 소정의 주파수와 전압을 가지는 전기 신호를 인가(印加)한다. 전압 주파수 제어부(100)는, 인버터 주회로(64)를 제어함으로써, 모터부(104)를 기동 또는 정지시킨다.The main pump inverter 41 further has a voltage frequency control unit 100, a digital signal detection unit 80, a digital signal output unit 82, and an analog signal detection unit 84. The voltage frequency controller 100 applies an electrical signal having a predetermined frequency and voltage to the motor unit 104 by controlling the inverter main circuit 64 . The voltage frequency controller 100 activates or stops the motor unit 104 by controlling the inverter main circuit 64 .

디지털 신호 검출부(80)는, 진공 펌프 장치(1)를 기동 및 정지하기 위한 스위치(86)로부터의 스위치 신호(88)(아날로그 신호 또는 디지털 신호), 상(하)위 장치로부터의 디지털 신호인 기동 또는 정지 신호, 상(하)위 장치로부터의 디지털 신호(TH 온도 신호, 알람 발생 신호 등)를 검출한다. 디지털 신호 검출부(80)는, 메인 펌프(10)가 기동될 때에, 부스터 펌프(20)를 기동할 것인지 아닌지를 기동 지시에 의거하여 판정하여, 부스터 펌프(20)를 기동하는 부스터 펌프 기동부 등의 기능을 가지지만, 이 점에 대해서는, 후술한다.The digital signal detector 80 is a switch signal 88 (analog signal or digital signal) from the switch 86 for starting and stopping the vacuum pump device 1, a digital signal from the upper (lower) upper device It detects start or stop signals and digital signals (TH temperature signal, alarm signal, etc.) from upper (lower) upper devices. The digital signal detection unit 80 determines whether or not the booster pump 20 is to be started when the main pump 10 is started, based on the start instruction, and the booster pump starter that starts the booster pump 20, etc. has a function, but this point will be described later.

메인 펌프(10)를 기동시키기 위한 기동 지시를 접수하는 기동 지시 접수부인 스위치(86)는, 스위치 신호(88)를 출력한다. 기동 지시는, 진공 펌프 장치(1)의 사용자가 스위치(86)를 조작함으로써 입력된다. 스위치(86)는, 사용자가 메인 펌프(10)의 기동 및 정지를 지시하기 위하여 사용된다. 즉, 스위치(86)는, 메인 펌프를 정지시키기 위한 정지 지시를 접수하는 정지 지시 접수부이다. 정지 지시는, 진공 펌프 장치(1)의 사용자가 스위치(86)를 조작함으로써 입력된다. 기동 지시인지, 정지 지시인지는, 예를 들면, 스위치 신호(88)의 전압이, 하이 레벨인지 로우 레벨인지에 의해 식별된다.A switch 86 serving as a start-up instruction acceptor that receives a start-up instruction for starting the main pump 10 outputs a switch signal 88 . The start-up instruction is input when the user of the vacuum pump device 1 operates the switch 86. The switch 86 is used to instruct the user to start or stop the main pump 10. That is, the switch 86 is a stop instruction accepting unit that receives a stop instruction for stopping the main pump. A stop instruction is input when the user of the vacuum pump device 1 operates the switch 86. Whether it is a starting instruction or a stopping instruction is identified by, for example, whether the voltage of the switch signal 88 is at a high level or a low level.

메인 펌프 인버터(41)의 디지털 신호 검출부(80)는, 스위치(86)로부터의 스위치 신호(88)가 하이 레벨인지 로우 레벨인지를 식별한다. 식별 결과에 의거하여, 기동 신호 또는 정지 신호를 신호(106)로서 전압 주파수 제어부(100)로 출력한다. 신호(106)가 기동 지시인지, 정지 지시인지는, 예를 들면, 신호(106)의 전압이, 하이 레벨인지 로우 레벨인지에 의해 식별된다. 신호(106)를 받은 전압 주파수 제어부(100)는, 인버터 주회로(64)를 제어하여, 메인 펌프(10)를 기동 또는 정지시킨다. 또한, 디지털 신호 검출부(80)는, 식별 결과를 디지털 신호 출력부(82)로 출력한다.The digital signal detector 80 of the main pump inverter 41 identifies whether the switch signal 88 from the switch 86 has a high level or a low level. Based on the identification result, a starting signal or a stopping signal is output as a signal 106 to the voltage frequency controller 100 . Whether the signal 106 is a start-up instruction or a stop instruction is identified by whether the voltage of the signal 106 is at a high level or a low level, for example. Upon receiving the signal 106, the voltage and frequency controller 100 controls the inverter main circuit 64 to start or stop the main pump 10. Also, the digital signal detection unit 80 outputs the identification result to the digital signal output unit 82 .

부스터 펌프 인버터(42)의 디지털 신호 검출부(80)는, 메인 펌프 인버터(41)의 디지털 신호 출력부(82)가 출력하는 디지털 신호인 기동 또는 정지 신호를 검출한다. 메인 펌프 인버터(41)의 디지털 신호 출력부(82)가 출력하는 디지털 신호인 기동 또는 정지 신호를 받은 부스터 펌프 인버터(42)의 디지털 신호 검출부(80)는, 기동 신호인지 정지 신호인지를 식별한다. 식별 결과에 의거하여, 기동 신호 또는 정지 신호를 부스터 펌프 인버터(42)의 전압 주파수 제어부(100)로 출력한다. 이들의 신호를 받은 전압 주파수 제어부(100)는, 인버터 주회로(64)를 제어하여, 부스터 펌프(20)를 기동 또는 정지시킨다.The digital signal detection unit 80 of the booster pump inverter 42 detects a start or stop signal that is a digital signal output from the digital signal output unit 82 of the main pump inverter 41 . The digital signal detection unit 80 of the booster pump inverter 42 receiving the start or stop signal, which is a digital signal output by the digital signal output unit 82 of the main pump inverter 41, identifies whether it is a start or stop signal. . Based on the identification result, a start signal or a stop signal is output to the voltage frequency controller 100 of the booster pump inverter 42 . Upon receiving these signals, the voltage and frequency controller 100 controls the inverter main circuit 64 to start or stop the booster pump 20 .

디지털 신호 검출부(80)는, 스위치(86)로부터의 신호를 받는 것도, 디지털 신호에 의한 기동 신호 또는 정지 신호를 접수하는 것도 가능하다. 스위치(86)를 따라서 기동 또는 정지할지(메인 펌프 인버터(41)의 경우), 디지털 신호에 의해 기동 또는 정지할지(부스터 펌프 인버터(42)의 경우)는, a) 미리, 인버터 장치에 설정해 두는 방법과, b) 어느 쪽의 지시에 따를지를 디지털 신호로 하여 외부로부터 입력하는 방법이 있다.The digital signal detection unit 80 can receive a signal from the switch 86 and can also receive a starting signal or a stop signal by a digital signal. Whether to start or stop by the switch 86 (in the case of the main pump inverter 41) or to start or stop by a digital signal (in the case of the booster pump inverter 42) is determined by a) previously set in the inverter device. method, and b) a method of inputting which direction to follow as a digital signal from the outside.

메인 펌프 인버터(41) 및 부스터 펌프 인버터(42)의 디지털 신호 검출부(80)는, TH 온도 신호, 알람 발생 신호 등을 검출한다. 또한, TH(thermal protector)란, 모터의 과열을 방지하기 위한 온도 센서이며, 모터 온도가 소정 온도에 도달하면, 온도 센서의 내부 접점이 오픈이 되는 온도 센서이다. 디지털 신호 검출부(80)는, TH 온도 신호로부터, 온도 센서의 내부 접점이 오픈이 된 것을 검지한다. 오픈이 된 것을 검지하는 방법은, 예를 들면, 오픈이되면, TH 온도 신호가, 로우 레벨로부터 하이 레벨로 변하도록 회로를 구성하는 방법이 있다.The digital signal detector 80 of the main pump inverter 41 and the booster pump inverter 42 detects a TH temperature signal, an alarm signal, and the like. In addition, a thermal protector (TH) is a temperature sensor for preventing overheating of the motor, and is a temperature sensor that opens an internal contact of the temperature sensor when the motor temperature reaches a predetermined temperature. The digital signal detection unit 80 detects that the internal contact of the temperature sensor has been opened from the TH temperature signal. As a method of detecting an open state, for example, there is a method of configuring a circuit so that the TH temperature signal changes from a low level to a high level when an open state occurs.

디지털 신호 출력부(82)는, 디지털 신호 검출부(80)로부터의 기동 정지 신호가 입력되며, 상(하)위 장치로 디지털 신호(기동(정지) 신호(96))를 출력한다. 즉, 도 5에 나타내는 바와 같이, 메인 펌프 인버터(41)의 디지털 신호 출력부(82)는, 부스터 펌프 인버터(42)의 디지털 신호 검출부(80)로 기동(정지) 신호(96)를 출력한다. 부스터 펌프 인버터(42)의 디지털 신호 출력부(82)는, 부스터 펌프 인버터(42)의 디지털 신호 출력부(82)로 알람 발생 신호를 출력한다. 도 5는, 메인 펌프(10)의 인버터 제어 회로(66)와, 부스터 펌프(20)의 인버터 제어 회로(66) 사이의 신호의 교환을 나타내는 블록도이다.The digital signal output unit 82 receives the start/stop signal from the digital signal detector 80 and outputs a digital signal (start (stop) signal 96) to upper (lower) devices. That is, as shown in FIG. 5 , the digital signal output unit 82 of the main pump inverter 41 outputs a start (stop) signal 96 to the digital signal detector 80 of the booster pump inverter 42. . The digital signal output unit 82 of the booster pump inverter 42 outputs an alarm generation signal to the digital signal output unit 82 of the booster pump inverter 42 . 5 is a block diagram showing exchange of signals between the inverter control circuit 66 of the main pump 10 and the inverter control circuit 66 of the booster pump 20 .

메인 펌프 인버터(41)의 디지털 신호 검출부(80)는, 기동 지시 접수부(스위치(86))가 기동 지시를 접수하여, 메인 펌프 인버터(41)의 펌프부(102)가 기동될 때에, 부스터 펌프 인버터(42)의 펌프부(202)를 기동할 것인지 아닌지를 기동 지시에 의거하여 판정하여, 펌프부(202)를 기동하는 부스터 펌프 기동부이다. 판정 방법은, 진공 펌프 장치(1)의 용도, 상태, 특성에 의해 여러가지 있다.The digital signal detection section 80 of the main pump inverter 41 is a booster pump when the start-up instruction receiving section (switch 86) receives the start-up instruction and the pump section 102 of the main pump inverter 41 is started. This is a booster pump startup unit that determines whether or not to activate the pump unit 202 of the inverter 42 based on an activation instruction and activates the pump unit 202 . There are various determination methods depending on the use, state, and characteristics of the vacuum pump device 1 .

예를 들면, 도 6에 나타내는 바와 같이, 메인 펌프 인버터(41)의 디지털 신호 검출부(80)는, 스위치(86)가 기동 지시를 접수한 후이면서, 또한, 소정 시간(90)(부스터 펌프 기동 지연 시간)이 경과했을 때에, 부스터 펌프(20)를 기동할 수 있다고 판정하여, 부스터 펌프(20)를 기동한다. 이 때는, 디지털 신호 검출부(80)는, 디지털 신호 출력부(82)로, 부스터 펌프(20)를 기동하기 위한 신호를 보낸다. 디지털 신호 출력부(82)는, 부스터 펌프(20)의 디지털 신호 검출부(80)로 기동 신호를 보낸다. 도 6은, 메인 펌프(10)와 부스터 펌프(20)의 기동, 정지의 타이밍의 관계를 나타내는 도이다.For example, as shown in FIG. 6 , the digital signal detection unit 80 of the main pump inverter 41, while after the switch 86 has received the start-up instruction, also for a predetermined time 90 (booster pump start-up) When the delay time) elapses, it is determined that the booster pump 20 can be started, and the booster pump 20 is started. At this time, the digital signal detection unit 80 sends a signal for activating the booster pump 20 to the digital signal output unit 82 . The digital signal output unit 82 sends an activation signal to the digital signal detection unit 80 of the booster pump 20 . FIG. 6 is a diagram showing the relationship between timings of starting and stopping the main pump 10 and the booster pump 20. As shown in FIG.

여기에서, 소정 시간(90)은, 0초일 경우가 있다. 즉, 메인 펌프 인버터(41)의 디지털 신호 검출부(80)는, 스위치(86)가 기동 지시를 접수했을 때에, 부스터 펌프(20)를 기동할 수 있다고 판정하여, 부스터 펌프(20)를 기동하는 경우가 있다. 부스터 펌프(20)가 정지한 후, 경과한 시간이 적을 때는, 연결관(31) 내의 진공도가 저하되어 있지 않기 때문에, 즉각 부스터 펌프(20)를 기동할 수 있다.Here, the predetermined time period 90 may be 0 seconds. That is, the digital signal detection unit 80 of the main pump inverter 41 determines that the booster pump 20 can be started when the switch 86 receives the start instruction, and starts the booster pump 20. There are cases. When the elapsed time after the booster pump 20 stops is short, since the degree of vacuum in the coupling pipe 31 has not decreased, the booster pump 20 can be started immediately.

메인 펌프 인버터(41)의 디지털 신호 검출부(80)는, 스위치(86)가 기동 지시를 접수한 후이면서, 또한, 소정 시간에 걸쳐서 메인 펌프(10)의 회전수가 소정수 이상일 때에, 부스터 펌프(20)를 기동할 수 있다고 판정하여, 부스터 펌프(20)를 기동하는 것으로 하여도 된다. 회전수는, 회전수 검출부(78)로부터 신호(110)로 하여, 디지털 신호 검출부(80)로 보내진다. 회전수를 고려함으로써, 연결관(31) 내의 진공도가 확실하게 저하되어 있다고 생각된다.The digital signal detection unit 80 of the main pump inverter 41 is after the switch 86 receives the start-up instruction and also when the number of rotations of the main pump 10 over a predetermined period of time is equal to or greater than a predetermined number, the booster pump ( 20 may be started, and the booster pump 20 may be started. The rotation speed is sent to the digital signal detection unit 80 as a signal 110 from the rotation speed detection unit 78 . It is considered that the degree of vacuum in the coupling pipe 31 is surely lowered by considering the number of revolutions.

메인 펌프 인버터(41)의 디지털 신호 검출부(80)는, 스위치(86)가 기동 지시를 접수한 후이면서, 또한, 소정 시간에 걸쳐서 메인 펌프(10)의 회전수가 소정수 이상이면서, 또한, 메인 펌프를 구동하는 모터의 전류값이 소정값 이하일 때에, 부스터 펌프(20)를 기동할 수 있다고 판정하여, 부스터 펌프(20)를 기동하는 것으로 하여도 된다. 전류값은, 전류 검출부(76)로부터 신호(112)로 하여, 디지털 신호 검출부(80)로 보내진다. 모터의 전류값과 회전수를 고려함으로써, 연결관(31) 내의 진공도가, 더 확실하게 저하되어 있다고 생각된다.The digital signal detection unit 80 of the main pump inverter 41 determines whether the number of rotations of the main pump 10 over a predetermined period of time is greater than or equal to a predetermined number even after the switch 86 has received the start-up instruction. When the current value of the motor that drives the pump is equal to or less than a predetermined value, it is determined that the booster pump 20 can be started, and the booster pump 20 may be started. The current value is sent to the digital signal detector 80 as a signal 112 from the current detector 76. It is thought that the degree of vacuum in the coupling pipe 31 is lowered more reliably by considering the current value and rotational speed of the motor.

메인 펌프 인버터(41)의 인버터 제어 회로(66)는, 메인 펌프(10)를 정지시키기 위한 정지 지시를 접수하는 정지 지시 접수부(스위치(86))와, 스위치(86)가 정지 지시를 접수하여, 메인 펌프(10)가 정지할 때에, 부스터 펌프(20)를 정지할 것인지 아닌지를 정지 지시에 의거하여 판정하여, 부스터 펌프(20)를 정지하는 부스터 펌프 정지부(디지털 신호 검출부(80))를 가진다. 이 경우, 도 6에, 시각(114)으로 하여 나타내는 바와 같이, 메인 펌프(10)의 정지와 동시에 부스터 펌프(20)도 정지한다.The inverter control circuit 66 of the main pump inverter 41 includes a stop instruction accepting unit (switch 86) that receives a stop instruction for stopping the main pump 10, and the switch 86 receives the stop instruction , When the main pump 10 is stopped, a booster pump stop unit (digital signal detection unit 80) that determines whether or not to stop the booster pump 20 based on the stop instruction and stops the booster pump 20 have In this case, as shown at time 114 in FIG. 6 , the booster pump 20 is also stopped simultaneously with the stop of the main pump 10 .

이 때, 디지털 신호 검출부(80)는, 메인 펌프(10)를 정지하기 위해서, 전압 주파수 제어부(100)로 정지 신호를 보내고, 부스터 펌프(20)를 정지하기 위해서, 디지털 신호 출력부(82)로 정지 신호를 보낸다.At this time, the digital signal detection unit 80 sends a stop signal to the voltage frequency control unit 100 to stop the main pump 10, and to stop the booster pump 20, the digital signal output unit 82 send a stop signal with

운전 제어장치는, 메인 펌프(10)의 이상을 검지하는 메인 펌프 이상 검지부(메인 펌프(10)의 알람 검출부(72))와, 알람 검출부(72)가 메인 펌프(10)의 이상을 검지했을 때에, 메인 펌프(10)와 부스터 펌프(20)를 정지하는 이상 시 정지부(메인 펌프(10) 및 부스터 펌프(20)의 디지털 신호 검출부(80))를 구비한다. 즉, 메인 펌프(10) 및 부스터 펌프(20)의 디지털 신호 검출부(80)는, 각각, 메인 펌프(10) 및 부스터 펌프(20)의 인버터 주회로(64)를, 전압 주파수 제어부(100)를 개재하여 정지시킨다.The operation control device includes a main pump abnormality detection unit (alarm detection unit 72 of the main pump 10) that detects an abnormality in the main pump 10, and when the alarm detection unit 72 detects an abnormality in the main pump 10 At this time, the main pump 10 and the booster pump 20 are stopped in the event of an abnormality (the digital signal detection unit 80 of the main pump 10 and the booster pump 20) is provided. That is, the digital signal detection unit 80 of the main pump 10 and the booster pump 20, respectively, the inverter main circuit 64 of the main pump 10 and the booster pump 20, the voltage frequency control unit 100 stop by intervening.

신호의 흐름으로서는, 메인 펌프(10)의 정지에 관해서는, 메인 펌프(10)의 알람 검출부(72)로부터 디지털 신호 검출부(80)로, 디지털 신호 검출부(80)로부터 전압 주파수 제어부(100)로 신호가 흘러, 메인 펌프(10)가 정지된다. 또한, 부스터 펌프(20)의 정지에 관해서는, 메인 펌프(10)의 알람 검출부(72)로부터 디지털 신호 검출부(80)로, 디지털 신호 검출부(80)로부터 디지털 신호 출력부(82)로, 디지털 신호 출력부(82)로부터 부스터 펌프(20)의 디지털 신호 검출부(80)로, 디지털 신호 검출부(80)로부터 전압 주파수 제어부(100)로 신호가 흘러, 부스터 펌프(20)가 정지된다.As for the flow of signals, regarding the stop of the main pump 10, from the alarm detection unit 72 of the main pump 10 to the digital signal detection unit 80, and from the digital signal detection unit 80 to the voltage frequency control unit 100. A signal flows and the main pump 10 is stopped. Regarding the stop of the booster pump 20, from the alarm detection unit 72 of the main pump 10 to the digital signal detection unit 80, from the digital signal detection unit 80 to the digital signal output unit 82, A signal flows from the signal output unit 82 to the digital signal detection unit 80 of the booster pump 20 and from the digital signal detection unit 80 to the voltage frequency control unit 100, and the booster pump 20 is stopped.

운전 제어장치는, 부스터 펌프(20)의 이상을 검지하는 부스터 펌프 이상 검지부(부스터 펌프(20)의 알람 검출부(72))와, 부스터 펌프 이상 검지부가 부스터 펌프(20)의 이상을 검지했을 때에, 부스터 펌프를 정지시키고, 메인 펌프를 정지시키지 않는 부스터 펌프 이상 시 정지부(부스터 펌프(20)의 디지털 신호 출력부(82))를 구비하는 것으로 하여도 된다.The operation control device includes a booster pump abnormality detection unit (alarm detection unit 72 of the booster pump 20) that detects an abnormality of the booster pump 20, and when the booster pump abnormality detection unit detects an abnormality of the booster pump 20 , a booster pump abnormality stopping unit (digital signal output unit 82 of the booster pump 20) that stops the booster pump and does not stop the main pump may be provided.

이 때는, 부스터 펌프(20)를 정지하기 위해서, 부스터 펌프(20)의 알람 검출부(72)로부터 디지털 신호 검출부(80)로, 디지털 신호 검출부(80)로부터 전압 주파수 제어부(100)로 신호가 흘러, 부스터 펌프(20)가 정지된다. 부스터 펌프(20)로부터 메인 펌프(10)로 정지 신호가 흐를 일은 없다. 메인 펌프를 정지할지, 정지시키지 않을지는, 이미 서술한 바와 같이, 진공 펌프 장치(1)의 설계 사상에 따른다.At this time, in order to stop the booster pump 20, a signal flows from the alarm detection unit 72 of the booster pump 20 to the digital signal detection unit 80 and from the digital signal detection unit 80 to the voltage frequency control unit 100. , the booster pump 20 is stopped. A stop signal does not flow from the booster pump 20 to the main pump 10. Whether or not the main pump is stopped depends on the design concept of the vacuum pump device 1 as described above.

운전 제어장치는, 메인 펌프(10)와 부스터 펌프(20)의 회전수 중 하나 이상을 제어하기 위한 신호가 외부로부터 입력되는 신호 입력부(아날로그 신호 검출부(84))를 구비한다. 이하, 이에 대하여 설명한다. 도 3에 나타내는 아날로그 신호 검출부(84)는, 외부로부터, 아날로그적으로 신호가 입력된다. 신호는, 예를 들면 4에서 20㎃와 같은 전류 신호여도 된다. 또한, 신호는, 0에서 5V, 1에서 10V와 같은 전압 신호여도 된다. 입력된 신호에 의해, 모터부(104) 또는 모터부(204)의 목표 회전수를 변경한다. 예를 들면 4에서 20㎃ 신호에 의해 변경되는 경우에는, 4㎃가 입력되면, 펌프 목표 회전수를 저하시킨다. 입력되는 전류에 비례하여, 목표 회전수를 상승시켜, 20㎃에서, 정격 회전수로 한다. 펌프 사용자는, 펌프 배기 성능을 요구하지 않는 상황에서는, 펌프의 회전수를 저감함으로써, 펌프의 소비 전력의 저감이 실현된다.The operation control device includes a signal input unit (analog signal detector 84) through which a signal for controlling one or more of the rotation speeds of the main pump 10 and the booster pump 20 is input from the outside. Hereinafter, this will be described. Analog signal detection section 84 shown in Fig. 3 receives a signal from the outside in an analog manner. The signal may be a current signal such as 4 to 20 mA, for example. Also, the signal may be a voltage signal such as 0 to 5V or 1 to 10V. The target rotational speed of the motor unit 104 or the motor unit 204 is changed according to the input signal. For example, in the case of changing from 4 to 20 mA signal, when 4 mA is input, the pump target rotational speed is lowered. In proportion to the input current, the target rotational speed is increased and set to the rated rotational speed at 20mA. In a situation where pump exhaust performance is not required by the pump user, reduction in power consumption of the pump is realized by reducing the rotational speed of the pump.

아날로그 신호 대신에 디지털 신호에 의해, 회전수를 변경해도 된다. 이 경우, 미리 인버터 장치에 설정된 목표 회전수 A, 목표 회전수 B 중 어느 쪽을 사용할지, 디지털 신호에 의해 결정한다. 디지털 신호를 복수 계통 입력함으로써, 회전수의 패턴을 늘릴 수도 있다. 예를 들면, 3계통으로 하면 2의 3승인 8패턴을 선택할 수 있다. 미리 인버터 장치에 설정된 목표 회전수 A에서 목표 회전수 H의 8개 중에서, 회전수를 선택하여 모터부(104) 또는 모터부(204)를 제어한다. 디지털 신호를 복수 계통 입력함으로써, 외부의 회전수 지령 회로가 아날로그 회로일 때보다도, 저렴하게 구성될 수 있다.The number of revolutions may be changed using a digital signal instead of an analog signal. In this case, whichever of the target rotation speed A and the target rotation speed B set in the inverter device in advance is used is determined by a digital signal. It is also possible to increase the number of revolutions by inputting a plurality of digital signals. For example, in the case of 3 systems, 8 patterns of 2 to 3 can be selected. The motor unit 104 or the motor unit 204 is controlled by selecting a rotation speed from among eight target rotation speeds A to target rotation speeds H set in advance in the inverter device. By inputting a plurality of digital signals, the external rotational speed command circuit can be configured at a lower cost than when an analog circuit is used.

본 실시형태에 의하면, 메인 펌프(10)와 부스터 펌프(20)를 구비한 진공 펌프 장치(1)를 위한 운전 제어방법을 실시할 수 있다. 본 방법에서는, 이미 서술한 바와 같이, 메인 펌프(10)와 부스터 펌프(20)는 흡기구와 배기구를 구비하며, 부스터 펌프의 배기구에 메인 펌프의 흡기구가 연통되며, 부스터 펌프 흡기구가 진공 펌프 장치의 흡기측이고, 메인 펌프의 배기구가 진공 펌프 장치의 배기측이다.According to this embodiment, the operation control method for the vacuum pump apparatus 1 provided with the main pump 10 and the booster pump 20 can be implemented. In this method, as described above, the main pump 10 and the booster pump 20 have an intake port and an exhaust port, the intake port of the main pump communicates with the exhaust port of the booster pump, and the booster pump intake port of the vacuum pump device. It is the intake side, and the exhaust port of the main pump is the exhaust side of the vacuum pump device.

운전 제어방법은, 도 7에 나타내는 바와 같이, 메인 펌프(10)를 기동시키기 위한 기동 지시를 접수한다(단계 1). 기동 지시를 접수하여, 메인 펌프(10)가 기동될 때에, 부스터 펌프(20)를 기동할 것인지 아닌지를 기동 지시에 의거하여 판정하여, 부스터 펌프(20)를 기동한다(단계 2). 부스터 펌프(20)를 기동한 후는, 외부로부터 아날로그 전압이 부스터 펌프(20)에 입력됨으로써 부스터 펌프(20)의 회전수를 제어한다(단계 3). 도 7은, 메인 펌프(10)와 부스터 펌프(20)의 기동, 정지의 타이밍의 관계를 나타내는 도이다.As shown in Fig. 7, the operation control method receives a starting instruction for starting the main pump 10 (step 1). When the start-up instruction is received and the main pump 10 is started, it is determined based on the start-up instruction whether to start the booster pump 20 or not, and the booster pump 20 is started (step 2). After activating the booster pump 20, the rotational speed of the booster pump 20 is controlled by inputting an analog voltage from the outside to the booster pump 20 (step 3). FIG. 7 is a diagram showing the relationship between timings of start and stop of the main pump 10 and the booster pump 20. As shown in FIG.

부스터 펌프(20)의 정지에 관해서는, 정지 지시 접수부가 정지 지시를 접수하여, 메인 펌프가 정지된다(단계 4). 부스터 펌프(20)를 정지할 것인지 아닌지를 정지 지시에 의거하여 디지털 신호 검출부(80)가 판정하여, 부스터 펌프(20)를 정지하겠다고 이미 서술한 바와 같이 판단했을 때에, 부스터 펌프(20)를 정지한다(단계 5). 메인 펌프 이상 검지부가 메인 펌프(10)의 이상을 검지했을 때에, 메인 펌프(10)와 부스터 펌프(20)를 정지할 수 있다(단계 6).Regarding the stop of the booster pump 20, the stop instruction receiving unit receives the stop instruction, and the main pump is stopped (step 4). When the digital signal detection unit 80 determines whether or not to stop the booster pump 20 based on the stop instruction, and determines as described above that the booster pump 20 will be stopped, the booster pump 20 is stopped (step 5). When the main pump abnormality detection unit detects an abnormality in the main pump 10, the main pump 10 and the booster pump 20 can be stopped (step 6).

이상, 본 발명의 실시형태의 예에 대하여 설명해 왔지만, 상기한 발명의 실시형태는, 본 발명의 이해를 쉽게하기 위한 것이며, 본 발명을 한정하는 것이 아니다. 본 발명은, 그 취지를 일탈하지 않고, 변경, 개량될 수 있는 것과 함께, 본 발명에는, 그 균등물이 포함되는 것은 물론이다. 또한, 상술한 과제의 적어도 일부를 해결할 수 있는 범위, 또는, 효과의 적어도 일부를 가지는 범위에 있어서, 특허청구의 범위 및 명세서에 기재된 각 구성요소의 임의의 조합, 또는, 생략이 가능하다.As mentioned above, although examples of embodiments of the present invention have been described, the embodiments of the present invention described above are for facilitating understanding of the present invention, and do not limit the present invention. While this invention can be changed and improved without departing from the meaning, it goes without saying that equivalents are included in this invention. In addition, in the range that can solve at least part of the above-mentioned problems, or within the range that has at least part of the effect, any combination or omission of each component described in the claims and specification is possible.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명은 이하의 형태를 가진다.As described above, the present invention has the following aspects.

[형태 1][Form 1]

메인 펌프와 부스터 펌프를 구비한 진공 펌프 장치를 위한 운전 제어장치에 있어서,In the operation control device for a vacuum pump device having a main pump and a booster pump,

상기 메인 펌프와 부스터 펌프는 흡기구와 배기구를 구비하며, 상기 부스터 펌프의 배기구에 상기 메인 펌프의 흡기구가 연통되며, 상기 부스터 펌프의 흡기구가 상기 진공 펌프 장치의 흡기측이고, 메인 펌프의 배기구가 상기 진공 펌프 장치의 배기측이며,The main pump and the booster pump have an intake port and an exhaust port, the intake port of the main pump communicates with the exhaust port of the booster pump, the intake port of the booster pump is the intake side of the vacuum pump device, and the exhaust port of the main pump It is the exhaust side of the vacuum pump device,

상기 운전 제어장치는,The driving control device,

상기 메인 펌프를 기동시키기 위한 기동 지시를 접수하는 기동 지시 접수부와,a start-up instruction accepting unit for receiving a start-up instruction for activating the main pump;

상기 기동 지시 접수부가 상기 기동 지시를 접수하며, 상기 메인 펌프가 기동될 때에, 상기 부스터 펌프를 기동할 것인지 아닌지를 상기 기동 지시에 의거하여 판정하여, 상기 부스터 펌프를 기동하는 부스터 펌프 기동부를 구비하는 것을 특징으로 하는 운전 제어장치.The start-up instruction receiving unit receives the start-up instruction, and when the main pump is started, determines whether or not to start the booster pump based on the start-up instruction, and starts the booster pump. Characterized in that the driving control device.

[형태 2][Form 2]

상기 부스터 펌프 기동부는, 상기 기동 지시 접수부가 상기 기동 지시를 접수했을 때에, 상기 부스터 펌프를 기동할 수 있다고 판정하여, 상기 부스터 펌프를 기동하는 것을 특징으로 하는 형태 1 기재의 운전 제어장치.The operation control device according to aspect 1, wherein the booster pump starting unit determines that the booster pump can be started when the start-up instruction reception unit receives the start-up instruction, and starts the booster pump.

[형태 3][Form 3]

상기 부스터 펌프 기동부는, 상기 기동 지시 접수부가 상기 기동 지시를 접수한 후이면서, 또한, 소정 시간이 경과했을 때에, 상기 부스터 펌프를 기동할 수 있다고 판정하여, 상기 부스터 펌프를 기동하는 것을 특징으로 하는 형태 1 기재의 운전 제어장치.The booster pump starting unit determines that the booster pump can be started when a predetermined time has elapsed after the start instruction reception unit has received the start instruction, and starts the booster pump. The operation control device described in Embodiment 1.

[형태 4][Form 4]

상기 부스터 펌프 기동부는, 상기 기동 지시 접수부가 상기 기동 지시를 접수한 후이면서, 또한, 상기 소정 시간에 걸쳐서 상기 메인 펌프의 회전수가 소정수 이상일 때에, 상기 부스터 펌프를 기동할 수 있다고 판정하여, 상기 부스터 펌프를 기동하는 것을 특징으로 하는 형태 3 기재의 운전 제어장치.The booster pump start-up unit determines that the booster pump can be started after the start-up instruction reception unit has received the start-up instruction and when the number of rotations of the main pump over the predetermined time is equal to or greater than a predetermined number, An operation control device according to aspect 3, characterized in that it activates a booster pump.

[형태 5][Form 5]

상기 부스터 펌프 기동부는, 상기 기동 지시 접수부가 상기 기동 지시를 접수한 후이면서, 또한, 상기 소정 시간에 걸쳐서 상기 메인 펌프의 회전수가 소정수 이상이면서, 또한, 상기 메인 펌프를 구동하는 모터의 전류값이 소정값 이하일 때에, 상기 부스터 펌프를 기동할 수 있다고 판정하여, 상기 부스터 펌프를 기동하는 것을 특징으로 하는 형태 4 기재의 운전 제어장치.The booster pump starting unit determines the current value of the motor that drives the main pump after the start-up instruction reception unit has received the start-up instruction, the number of revolutions of the main pump over the predetermined time is equal to or greater than a predetermined number, and The operation control device according to aspect 4, characterized in that when the value is equal to or less than the predetermined value, it is determined that the booster pump can be started, and the booster pump is started.

[형태 6][Form 6]

상기 운전 제어장치는,The driving control device,

상기 메인 펌프를 정지시키기 위한 정지 지시를 접수하는 정지 지시 접수부와,a stop instruction accepting unit for receiving a stop instruction for stopping the main pump;

상기 정지 지시 접수부가 상기 정지 지시를 접수하여, 상기 메인 펌프가 정지할 때에, 상기 부스터 펌프를 정지할 것인지 아닌지를 상기 정지 지시에 의거하여 판정하여, 상기 부스터 펌프를 정지하는 부스터 펌프 정지부를 구비하는 것을 특징으로 하는, 형태 1 내지 5 중 어느 한 항에 기재된 운전 제어장치.a booster pump stopping unit for receiving the stop instruction, determining whether or not to stop the booster pump based on the stop instruction, and stopping the booster pump when the main pump stops; The operation control device according to any one of aspects 1 to 5, characterized in that:

[형태 7][Form 7]

상기 운전 제어장치는,The driving control device,

상기 메인 펌프의 이상을 검지하는 메인 펌프 이상 검지부와,a main pump abnormality detection unit for detecting an abnormality of the main pump;

상기 메인 펌프 이상 검지부가 상기 메인 펌프의 이상을 검지했을 때에, 상기 메인 펌프와 상기 부스터 펌프를 정지하는 이상 시 정지부를 구비하는 것을 특징으로 하는, 형태 1 내지 6 중 어느 한 항에 기재된 운전 제어장치.The operation control device according to any one of aspects 1 to 6, comprising an abnormality stopping unit for stopping the main pump and the booster pump when the main pump abnormality detection unit detects an abnormality in the main pump. .

[형태 8][Form 8]

상기 운전 제어장치는,The driving control device,

상기 부스터 펌프의 이상을 검지하는 부스터 펌프 이상 검지부와,a booster pump abnormality detection unit for detecting an abnormality of the booster pump;

상기 부스터 펌프 이상 검지부가 상기 부스터 펌프의 이상을 검지했을 때에, 상기 부스터 펌프를 정지시키고, 상기 메인 펌프를 정지시키지 않는 부스터 펌프 이상 시 정지부를 구비하는 것을 특징으로 하는, 형태 1 내지 7 중 어느 한 항에 기재된 운전 제어장치.Any one of aspects 1 to 7 characterized by comprising a booster pump abnormality detection unit that stops the booster pump when the booster pump abnormality detection unit detects an abnormality of the booster pump and does not stop the main pump. The driving control device described in the preceding paragraph.

[형태 9][Form 9]

상기 운전 제어장치는, 상기 메인 펌프와 상기 부스터 펌프의 회전수 중 하나 이상을 제어하기 위한 신호가 외부로부터 입력되는 신호 입력부를 구비하는 것을 특징으로 하는, 형태 1 내지 8 중 어느 한 항에 기재된 운전 제어장치.The operation control device according to any one of aspects 1 to 8, characterized in that it includes a signal input unit to which a signal for controlling at least one of the rotation speeds of the main pump and the booster pump is input from the outside. control device.

[형태 10][Form 10]

메인 펌프와 부스터 펌프를 구비한 진공 펌프 장치를 위한 운전 제어방법에 있어서,In the operation control method for a vacuum pump device having a main pump and a booster pump,

상기 메인 펌프와 부스터 펌프는 흡기구와 배기구를 구비하며, 상기 부스터 펌프의 배기구에 상기 메인 펌프의 흡기구가 연통되며, 상기 부스터 펌프의 흡기구가 상기 진공 펌프 장치의 흡기측이고, 메인 펌프의 배기구가 상기 진공 펌프 장치의 배기측이며,The main pump and the booster pump have an intake port and an exhaust port, the intake port of the main pump communicates with the exhaust port of the booster pump, the intake port of the booster pump is the intake side of the vacuum pump device, and the exhaust port of the main pump It is the exhaust side of the vacuum pump device,

상기 운전 제어방법은,The driving control method,

상기 메인 펌프를 기동시키기 위한 기동 지시를 접수하는 단계와,Receiving a starting instruction for starting the main pump;

상기 기동 지시를 접수하여, 상기 메인 펌프가 기동될 때에, 상기 부스터 펌프를 기동할 것인지 아닌지를 상기 기동 지시에 의거하여 판정하여, 상기 부스터 펌프를 기동하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 운전 제어방법.Receiving the starting instruction, determining whether or not to start the booster pump when the main pump is started, based on the starting instruction, and starting the booster pump. .

1…진공 펌프 장치
41…메인 펌프 인버터
42…부스터 펌프 인버터
64…인버터 주회로
66…인버터 제어 회로
72…알람 검출부
74…온도 검출부
76…전류 검출부
78…회전수 검출부
80…디지털 신호 검출부
82…디지털 신호 출력부
84…아날로그 신호 검출부
86…스위치One… vacuum pump unit
41... main pump inverter
42... booster pump inverter
64... inverter main circuit
66... inverter control circuit
72... alarm detector
74... temperature detector
76... current detector
78... Rotation speed detector
80... digital signal detector
82... digital signal output
84... analog signal detector
86... switch

Claims (12)

메인 펌프와 부스터 펌프를 구비한 진공 펌프 장치에 있어서,
상기 메인 펌프와 부스터 펌프는 흡기구와 배기구를 구비하며, 상기 부스터 펌프의 배기구에 상기 메인 펌프의 흡기구가 연통되며, 상기 부스터 펌프의 흡기구가 상기 진공 펌프 장치의 흡기측이고, 메인 펌프의 배기구가 상기 진공 펌프 장치의 배기측이며,
상기 진공 펌프 장치는,
상기 메인 펌프를 기동시키기 위한 기동 지시 또는 상기 메인 펌프를 정지시키기 위한 정지 지시를 접수하여 스위치 신호를 출력하는 지시 접수부와,
출력된 상기 스위치 신호를 접수하여, 상기 메인 펌프를 기동 또는 정지시키는 것과 함께, 상기 부스터 펌프의 기동 또는 정지를 지시하기 위한 기동 또는 정지 신호를 출력하는 메인 펌프 인버터와,
상기 메인 펌프 인버터로부터 출력된 기동 또는 정지 신호를 검출하여 상기 부스터 펌프를 기동 또는 정지시키는 부스터 펌프 인버터를 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프 장치.In the vacuum pump device having a main pump and a booster pump,
The main pump and the booster pump have an intake port and an exhaust port, the intake port of the main pump communicates with the exhaust port of the booster pump, the intake port of the booster pump is the intake side of the vacuum pump device, and the exhaust port of the main pump It is the exhaust side of the vacuum pump device,
The vacuum pump device,
an instruction receiving unit receiving a start instruction for starting the main pump or a stop instruction for stopping the main pump and outputting a switch signal;
A main pump inverter that receives the output switch signal to start or stop the main pump and to output a start or stop signal for instructing start or stop of the booster pump;
and a booster pump inverter for starting or stopping the booster pump by detecting a start or stop signal output from the main pump inverter. 제 1 항에 있어서,
상기 메인 펌프 인버터는, 상기 메인 펌프가 기동한 후에, 상기 부스터 펌프의 기동을 지시하기 위한 기동 신호를 출력할 수 있도록 구성되며, 상기 부스터 펌프 인버터는, 상기 메인 펌프 인버터로부터 출력된 상기 기동 신호에 의거하여 상기 부스터 펌프를 기동할 것인지 아닌지를 판정하여, 상기 부스터 펌프를 기동하도록 구성된 진공 펌프 장치.According to claim 1,
The main pump inverter is configured to output a start signal for instructing start of the booster pump after the main pump starts, and the booster pump inverter responds to the start signal output from the main pump inverter. A vacuum pump device configured to start the booster pump by determining whether or not to start the booster pump based thereon. 메인 펌프와 부스터 펌프를 구비한 진공 펌프 장치에 있어서, 상기 진공 펌프 장치는,
상기 메인 펌프의 운전을 제어하는 메인 펌프 인버터와,
상기 부스터 펌프의 운전을 제어하는 부스터 펌프 인버터와, 상기 부스터 펌프의 운전 중의 이상을 검지하는 부스터 펌프 이상 검지부와, 상기 부스터 펌프 이상 검지부가 상기 부스터 펌프의 이상을 검지했을 때에, 상기 부스터 펌프를 정지시키고, 상기 메인 펌프를 정지시키지 않는 부스터 펌프 이상 시 정지부를 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프 장치.A vacuum pump device having a main pump and a booster pump, the vacuum pump device comprising:
A main pump inverter controlling the operation of the main pump;
A booster pump inverter that controls operation of the booster pump, a booster pump abnormality detection unit that detects an abnormality during operation of the booster pump, and when the booster pump abnormality detection unit detects an abnormality of the booster pump, the booster pump is stopped. and a stopper in case of an abnormality of the booster pump which does not stop the main pump. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 부스터 펌프 인버터는, 상기 지시 접수부가 상기 기동 지시를 접수했을 때에, 상기 부스터 펌프를 기동할 수 있다고 판정하여, 상기 부스터 펌프를 기동하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프 장치.According to claim 1 or 2,
The vacuum pump device according to claim 1 , wherein the booster pump inverter determines that the booster pump can be started when the instruction reception unit receives the start instruction, and starts the booster pump. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 부스터 펌프 인버터는, 상기 지시 접수부가 상기 기동 지시를 접수한 후이면서, 또한, 소정 시간이 경과했을 때에, 상기 부스터 펌프를 기동할 수 있다고 판정하여, 상기 부스터 펌프를 기동하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프 장치.According to claim 1 or 2,
The booster pump inverter determines that the booster pump can be started after a predetermined time has elapsed after the instruction reception unit has received the start-up instruction, and starts the booster pump. pump device. 제 5 항에 있어서,
상기 부스터 펌프 인버터는, 상기 지시 접수부가 상기 기동 지시를 접수한 후이면서, 또한, 상기 소정 시간에 걸쳐서 상기 메인 펌프의 회전수가 소정수 이상일 때에, 상기 부스터 펌프를 기동할 수 있다고 판정하여, 상기 부스터 펌프를 기동하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프 장치.According to claim 5,
The booster pump inverter determines that the booster pump can be started after the instruction reception unit has received the startup instruction and when the number of rotations of the main pump over the predetermined time is equal to or greater than a predetermined number, and A vacuum pump device for starting a pump. 제 6 항에 있어서,
상기 부스터 펌프 인버터는, 상기 지시 접수부가 상기 기동 지시를 접수한 후이면서, 또한, 상기 소정 시간에 걸쳐서 상기 메인 펌프의 회전수가 소정수 이상이면서, 또한, 상기 메인 펌프를 구동하는 모터의 전류값이 소정값 이하일 때에, 상기 부스터 펌프를 기동할 수 있다고 판정하여, 상기 부스터 펌프를 기동하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프 장치.According to claim 6,
In the booster pump inverter, after the instruction receiving unit has received the starting instruction, the number of rotations of the main pump over the predetermined time period is equal to or greater than a predetermined number, and the current value of the motor driving the main pump is The vacuum pump device according to claim 1 , wherein when the value is equal to or less than a predetermined value, it is determined that the booster pump can be started, and the booster pump is started. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 진공 펌프 장치는,
상기 지시 접수부가 상기 정지 지시를 접수하여, 상기 메인 펌프가 정지할 때에, 상기 부스터 펌프를 정지할 것인지 아닌지를 상기 정지 지시에 의거하여 판정하여, 상기 부스터 펌프를 정지하는 부스터 펌프 정지부를 구비하는 것을 특징으로 하는, 진공 펌프 장치.According to claim 1 or 2,
The vacuum pump device,
and a booster pump stopping unit for receiving the stop instruction, determining whether or not to stop the booster pump based on the stop instruction, when the main pump stops, and stopping the booster pump. Characterized by a vacuum pump device. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 진공 펌프 장치는,
상기 메인 펌프의 이상을 검지하는 메인 펌프 이상 검지부와,
상기 메인 펌프 이상 검지부가 상기 메인 펌프의 이상을 검지했을 때에, 상기 메인 펌프와 상기 부스터 펌프를 정지하는 이상 시 정지부를 구비하는 것을 특징으로 하는, 진공 펌프 장치.According to any one of claims 1 to 3,
The vacuum pump device,
a main pump abnormality detection unit for detecting an abnormality of the main pump;
and an abnormality stopping unit for stopping the main pump and the booster pump when the main pump abnormality detection unit detects an abnormality in the main pump. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 진공 펌프 장치는,
상기 부스터 펌프의 이상을 검지하는 부스터 펌프 이상 검지부와,
상기 부스터 펌프 이상 검지부가 상기 부스터 펌프의 이상을 검지했을 때에, 상기 부스터 펌프를 정지시키고, 상기 메인 펌프를 정지시키지 않는 부스터 펌프 이상 시 정지부를 구비하는 것을 특징으로 하는, 진공 펌프 장치.According to claim 1 or 2,
The vacuum pump device,
a booster pump abnormality detection unit for detecting an abnormality of the booster pump;
and a booster pump abnormality stop unit which stops the booster pump when the booster pump abnormality detection unit detects an abnormality in the booster pump and does not stop the main pump. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 진공 펌프 장치는, 상기 메인 펌프 및 상기 부스터 펌프의 회전수 중 하나 이상을 제어하기 위한 신호가 외부로부터 입력되는 신호 입력부를 구비하는 것을 특징으로 하는, 진공 펌프 장치.According to any one of claims 1 to 3,
The vacuum pump device is characterized by comprising a signal input unit to which a signal for controlling at least one of the rotation speed of the main pump and the booster pump is input from the outside. 메인 펌프와 부스터 펌프를 구비한 진공 펌프 장치를 위한 운전 제어방법에 있어서,
상기 메인 펌프와 부스터 펌프는 흡기구와 배기구를 구비하며, 상기 부스터 펌프의 배기구에 상기 메인 펌프의 흡기구가 연통되며, 상기 부스터 펌프의 흡기구가 상기 진공 펌프 장치의 흡기측이고, 메인 펌프의 배기구가 상기 진공 펌프 장치의 배기측이며,
상기 운전 제어방법은,
상기 메인 펌프를 기동시키기 위한 기동 지시를 접수하는 단계와,
상기 기동 지시를 접수하여, 상기 메인 펌프가 기동될 때에, 상기 부스터 펌프를 기동할 것인지 아닌지를 상기 기동 지시에 의거하여 판정하여, 상기 부스터 펌프를 기동하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 운전 제어방법.In the operation control method for a vacuum pump device having a main pump and a booster pump,
The main pump and the booster pump have an intake port and an exhaust port, the intake port of the main pump communicates with the exhaust port of the booster pump, the intake port of the booster pump is the intake side of the vacuum pump device, and the exhaust port of the main pump It is the exhaust side of the vacuum pump device,
The driving control method,
Receiving a starting instruction for starting the main pump;
Receiving the starting instruction, determining whether or not to start the booster pump when the main pump is started, based on the starting instruction, and starting the booster pump. .
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004324644A (en) * 2003-04-10 2004-11-18 Ebara Corp Dry vacuum pump and its starting method
JP2008175145A (en) * 2007-01-18 2008-07-31 Ebara Corp Vacuum pump unit
JP2014043800A (en) * 2012-08-27 2014-03-13 Ebara Corp Pump control device

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2383335A1 (en) * 1977-03-08 1978-10-06 Leybold Heraeus Sogev MECHANICAL PUMP WITH OIL SEAL
FR2621141B1 (en) * 1987-09-25 1989-12-01 Cit Alcatel METHOD FOR STARTING SERIES COUPLED VACUUM PUMPS, AND DEVICE FOR CARRYING OUT SAID METHOD
JP4218756B2 (en) 2003-10-17 2009-02-04 株式会社荏原製作所 Vacuum exhaust device
GB0424734D0 (en) * 2004-11-09 2004-12-08 Boc Group Plc Vacuum pumping system
GB0502149D0 (en) * 2005-02-02 2005-03-09 Boc Group Inc Method of operating a pumping system
CN101111680B (en) * 2005-04-08 2010-12-01 株式会社荏原制作所 Vacuum pump self-diagnosis method, vacuum pump self-diagnosis system, and vacuum pump central monitoring system
TWI467092B (en) * 2008-09-10 2015-01-01 Ulvac Inc Vacuum pumping device
GB2502134B (en) * 2012-05-18 2015-09-09 Edwards Ltd Method and apparatus for adjusting operating parameters of a vacuum pump arrangement
JP6050081B2 (en) * 2012-10-05 2016-12-21 株式会社荏原製作所 Dry vacuum pump device
KR102190221B1 (en) * 2014-03-24 2020-12-14 아뜰리에 부쉬 에스.아. Method for pumping in a system of vacuum pumps and system of vacuum pumps
CN104989621A (en) * 2015-07-15 2015-10-21 陆铭 Intelligent vacuum exhaust table
CN106014999B (en) * 2016-06-09 2017-08-04 中国石油大学(华东) A kind of water-ring vacuum pump assembly Effec-tive Function control method and control system

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004324644A (en) * 2003-04-10 2004-11-18 Ebara Corp Dry vacuum pump and its starting method
JP2008175145A (en) * 2007-01-18 2008-07-31 Ebara Corp Vacuum pump unit
JP2014043800A (en) * 2012-08-27 2014-03-13 Ebara Corp Pump control device

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