KR102550379B1 - Apparatus for removing bubbles - Google Patents

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장정기
임예훈
신현진
송영수
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주식회사 엘지화학
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D19/00—Degasification of liquids
    • B01D19/0031—Degasification of liquids by filtration

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)

Abstract

본 발명은 탈포 장치에 관한 것으로, 본 발명의 일 측면에 따르면, 진공펌프와 연결되는 진공홀 및 배출홀을 갖는 챔버; 표면을 따라 원료가 유동하며, 챔버의 내벽에 막이 형성되도록 원료를 챔버의 내벽 측으로 공급하기 위한 가장자리 및 진공홀 측으로 가스를 통과시키기 위한 통과홀을 갖는 분배부재; 및 분배부재의 상방에 배치되며, 분배부재의 상부면으로 원료를 공급하도록 마련된 원료 공급부을 포함하는 탈포 장치가 제공된다.The present invention relates to a defoaming device, and according to one aspect of the present invention, a chamber having a vacuum hole and a discharge hole connected to a vacuum pump; a distribution member having an edge for supplying the raw material to the inner wall of the chamber so that the raw material flows along the surface and a film is formed on the inner wall of the chamber and a passage hole for passing gas to the vacuum hole; and a raw material supply unit disposed above the distribution member and provided to supply the raw material to the upper surface of the distribution member.

Description

탈포 장치{Apparatus for removing bubbles}Defoaming device {Apparatus for removing bubbles}

본 발명은 탈포 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a defoaming device.

도 1은 종래 탈포 장치를 나타내는 개략도이다.1 is a schematic diagram showing a conventional defoaming device.

도 1을 참조하면, 탈포 장치(10)는 챔버(11), 분산부재(12), 원료 공급부(20), 및 진공홀(17)을 포함한다. 상기 진공홀(17)은 진공 펌프와 연결된다.Referring to FIG. 1 , the defoaming device 10 includes a chamber 11 , a dispersing member 12 , a raw material supply unit 20 , and a vacuum hole 17 . The vacuum hole 17 is connected to a vacuum pump.

분산부재(12)는 원료가 저장되며, 링 형상을 갖는 베이스부(13) 및 베이스부(13)의 내경 측에 배치되는 내벽(16) 및 베이스부(13)의 외경 측에 배치되는 외벽(14)을 포함한다. 이때, 상기 분산부재(12)의 베이스부(13)의 중앙영역에는 진공홀(17)과 연결되는 관통홀(16)이 형성된다.The distribution member 12 has a base portion 13 having a ring shape and an inner wall 16 disposed on the inner diameter side of the base portion 13 and an outer wall disposed on the outer diameter side of the base portion 13 ( 14). At this time, a through hole 16 connected to the vacuum hole 17 is formed in the central region of the base part 13 of the dispersion member 12 .

상기 원료 공급부(20)로부터 상기 분산부재(12)로 원료가 공급되면, 베이스부(13)에 원료가 수용되어, 원료의 레벨이 분산부재(12)의 소정 높이에 도달할 때까지 원료가 분산부재(12)에 체류하게 되고, 외벽(14)을 범람하여 원료가 챔버(11) 내측으로 도포된다.When the raw material is supplied from the raw material supply unit 20 to the distributing member 12, the raw material is accommodated in the base part 13 and the raw material is dispersed until the level of the raw material reaches a predetermined height of the distributing member 12. It stays in the member 12 and overflows the outer wall 14 so that the raw material is applied to the inside of the chamber 11 .

그러나 분산 부재 내에 원료가 정체됨에 따라, 파울링(fouling)이 발생하는 문제를 갖는다.However, as the raw material stagnates in the dispersing member, fouling occurs.

본 발명은 중력을 이용하여 막 형성 부재의 표면에 균일한 막을 형성할 수 있는 탈포 장치를 제공하는 것을 해결하고자 하는 과제로 한다.An object of the present invention is to provide a defoaming device capable of forming a uniform film on the surface of a film forming member using gravity.

상기한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 일 측면에 따르면, 챔버, 분배부재 및 원료 공급부를 포함하는 탈포 장치가 제공된다.In order to solve the above problems, according to an aspect of the present invention, a defoaming device including a chamber, a distribution member and a raw material supply unit is provided.

탈포 장치는 진공펌프와 연결되는 진공홀 및 배출홀을 갖는 챔버, 표면을 따라 원료가 유동하며, 챔버의 내벽에 막이 형성되도록 원료를 챔버의 내벽 측으로 공급하기 위한 가장자리 및 진공홀 측으로 가스를 통과시키기 위한 통과홀을 갖는 분배부재, 및 분배부재의 상방에 배치되며, 분배부재의 상부면으로 원료를 공급하도록 마련된 원료 공급부을 포함한다.The defoaming device is a chamber having a vacuum hole and a discharge hole connected to the vacuum pump, the raw material flows along the surface, and the gas is passed through the edge and the vacuum hole side for supplying the raw material to the inner wall side of the chamber so that a film is formed on the inner wall of the chamber. It includes a distribution member having a through hole for the distribution member, and a raw material supply unit disposed above the distribution member and provided to supply the raw material to the upper surface of the distribution member.

또한, 분배부재의 직경은 챔버의 내경보다 작을 수 있다. 또한, 챔버의 내경에 대한 분배부재의 직경의 비율은 98% 이상일 수 있다. 또한, 챔버의 내경에 대한 분배부재의 직경의 비율은 98% 내지 99%일 수 있다.Also, a diameter of the distribution member may be smaller than an inner diameter of the chamber. Also, the ratio of the diameter of the distribution member to the inner diameter of the chamber may be 98% or more. Also, the ratio of the diameter of the distribution member to the inner diameter of the chamber may be 98% to 99%.

또한, 분배부재의 가장자리 및 챔버의 내벽 사이의 간격에 따라 막의 두께가 결정될 수 있다. In addition, the thickness of the film may be determined according to the distance between the edge of the distribution member and the inner wall of the chamber.

또한, 분배부재의 가장자리는 반경방향을 따라 두께가 감소하도록 마련될 수 있다. In addition, the edge of the distribution member may be provided so that the thickness decreases along the radial direction.

또한, 분배부재의 가장자리는 원료가 유동할 수 있는 측면을 가질 수 있다. In addition, the edge of the distribution member may have a side surface through which the raw material can flow.

또한, 분배부재의 가장자리는 종단에서 상부면과 하부면이 만날 수 있다. In addition, the upper surface and the lower surface of the edge of the distribution member may meet at the longitudinal end.

또한, 원료 공급부는 분배 부재의 중심축 상에 위치될 수 있다.Also, the raw material supply unit may be located on the central axis of the distribution member.

또한, 통과홀은 분배부재를 관통하여 장착된 파이프와 연결될 수 있고, 분배부재에는, 중심축을 기준으로 방사형으로 배열된 복수 개의 파이프가 마련될 수 있다. In addition, the passage hole may be connected to a pipe mounted through the distribution member, and a plurality of pipes arranged radially with respect to a central axis may be provided in the distribution member.

이와는 다르게, 통과홀은 분배부재의 중앙영역에 마련되고, 원료 공급부는 통과홀을 중심으로 분배 부재 상에 방사형으로 복수로 구비될 수 있다.Alternatively, the passage hole may be provided in the central region of the distribution member, and a plurality of raw material supply units may be radially provided on the distribution member around the passage hole.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명의 적어도 일 실시예와 관련된 탈포 장치는 다음과 같은 효과를 갖는다.As described above, the defoaming device related to at least one embodiment of the present invention has the following effects.

중력을 이용하여 막 형성 부재의 표면에 균일한 막을 형성할 수 있다. 또한, 원료가 막 형성 부재의 표면을 유동할 때, 정체 영역이 없어, 파울링(fouling)을 방지할 수 있다.A uniform film can be formed on the surface of the film forming member using gravity. Further, when the raw material flows on the surface of the film-forming member, there is no stagnant area, and fouling can be prevented.

도 1은 종래 탈포 장치를 나타내는 개략도이다.
도 2 내지 및 도 4는 본 발명의 일 실시예와 관련된 탈포 장치를 나타내는 개략도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예와 관련된 탈포 장치에서 막이 형성되는 과정을 설명하기 위한 시뮬레이션 결과이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예와 관련된 탈포 장치에서 막이 형성되는 과정을 설명하기 위한 시뮬레이션 결과이다.
도 7은 분배부재의 가장자리 형상에 따른 도포 현상을 나타내는 시뮬레이션 결과이다.1 is a schematic diagram showing a conventional defoaming device.
2 to 4 are schematic diagrams showing a defoaming device related to an embodiment of the present invention.
5 is a simulation result for explaining a process of forming a film in a defoaming device related to an embodiment of the present invention.
6 is a simulation result for explaining a process of forming a film in a defoaming device related to another embodiment of the present invention.
7 is a simulation result showing a coating phenomenon according to the edge shape of the distribution member.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 탈포 장치를 첨부된 도면을 참고하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a defoaming device according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

또한, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응되는 구성요소는 동일 또는 유사한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복 설명은 생략하기로 하며, 설명의 편의를 위하여 도시된 각 구성 부재의 크기 및 형상은 과장되거나 축소될 수 있다.In addition, regardless of the reference numerals, the same or corresponding components are assigned the same or similar reference numerals, and duplicate descriptions thereof will be omitted. For convenience of description, the size and shape of each component shown is exaggerated or reduced. It can be.

도 2 내지 및 도 4는 본 발명의 일 실시예와 관련된 탈포 장치를 나타내는 개략도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예와 관련된 탈포 장치에서 막이 형성되는 과정을 설명하기 위한 시뮬레이션 결과이다.2 to 4 are schematic diagrams showing a defoaming device related to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a simulation result for explaining a process of forming a film in the defoaming device related to an embodiment of the present invention.

본 문서에 기재된 탈포 장치(100)는 원료로부터 기포를 제거하는 탈포 공정에 이용될 수 있고, 예를 들어, 중합된 용액으로부터 파이버(Fiber)를 제조하는 방사 공정 내의 탈포 공정에 사용될 수 있다. 파이버 제조 공정에서, 용액에 기포를 제거함으로써, 파이버가 끊어지는 공정 불안정을 해소할 수 있다.The defoaming device 100 described in this document may be used in a degassing process of removing air bubbles from a raw material, and may be used, for example, in a degassing process in a spinning process of manufacturing a fiber from a polymerized solution. In the fiber manufacturing process, by removing air bubbles from the solution, process instability in which fibers are cut can be eliminated.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 탈포 장치(100)는 진공펌프와 연결되는 진공홀(112) 및 배출홀(113)을 갖는 챔버(110)를 포함한다. 상기 탈포 장치(100)는 표면을 따라 원료(F)가 유동하며, 챔버(110)의 내벽(111)에 막이 형성되도록 원료(F)를 챔버(110)의 내벽(111) 측으로 공급하기 위한 가장자리 및 진공홀(112) 측으로 가스를 통과시키기 위한 통과홀(도시되지 않음)을 갖는 분배부재(120)를 포함한다. 또한, 상기 탈포 장치(100)는 분배부재(120)의 상방에 배치되며, 분배부재(120)의 상부면으로 원료를 공급하도록 마련된 원료 공급부(130)을 포함한다.Referring to FIGS. 2 to 4 , the defoaming device 100 includes a chamber 110 having a vacuum hole 112 connected to a vacuum pump and a discharge hole 113 . The defoaming device 100 has an edge for supplying the raw material F to the inner wall 111 of the chamber 110 so that the raw material F flows along the surface and a film is formed on the inner wall 111 of the chamber 110. and a distribution member 120 having a passage hole (not shown) for passing gas toward the vacuum hole 112. In addition, the defoaming device 100 is disposed above the distribution member 120 and includes a raw material supply unit 130 provided to supply raw material to the upper surface of the distribution member 120 .

상기 분배부재(120)는 원형의 플레이트 형상을 가질 수 있다. 이때, 분배부재(120)는 원료 공급부(130)와 마주하는 원형의 상부면 및 상부면의 반대방향의 원형의 하부면을 가질 수 있다. 또한, 분배부재(120)는 상부면과 하부면을 연결하며, 챔버의 내면(111)과 대향하는 측면을 가질 수 있다. The distribution member 120 may have a circular plate shape. At this time, the distribution member 120 may have a circular upper surface facing the raw material supply unit 130 and a circular lower surface opposite to the upper surface. In addition, the distribution member 120 connects the upper surface and the lower surface, and may have a side surface facing the inner surface 111 of the chamber.

상기 분배부재(120)는 금속 재질, 예를 들어 SUS 재질로 형성될 수 있고, 바람직하게, 젖음(wetting) 특성이 우수한 재질로 형성될 수 있다.The distribution member 120 may be formed of a metal material, for example, a SUS material, and preferably, may be formed of a material having excellent wetting characteristics.

또한, 분배부재(120)의 직경은 챔버(110)의 내경보다 작을 수 있다. 또한, 챔버(110)의 내경에 대한 분배부재(120)의 직경의 비율은 98% 이상일 수 있다. 또한, 챔버(110)의 내경에 대한 분배부재(120)의 직경의 비율은 98% 내지 99%일 수 있다. 이러한 차이로 인하여, 배부재의 가장자리 및 챔버의 내면 사이의 간격(d)이 발생하고, 분배부재(120)의 가장자리 및 챔버의 내면 사이의 간격(d)에 따라 막의 두께가 결정될 수 있다. Also, a diameter of the distribution member 120 may be smaller than an inner diameter of the chamber 110 . Also, the ratio of the diameter of the distribution member 120 to the inner diameter of the chamber 110 may be 98% or more. In addition, the ratio of the diameter of the distribution member 120 to the inner diameter of the chamber 110 may be 98% to 99%. Due to this difference, a gap (d) between the edge of the distribution member and the inner surface of the chamber occurs, and the thickness of the film may be determined according to the distance (d) between the edge of the distribution member 120 and the inner surface of the chamber.

분배부재(120)의 가장자리 및 챔버(110)의 내면 사이의 간격(d)을 통해, 원료가 분배부재(120)의 상부면으로부터 챔버(110)의 내면 측으로 유동될 수 있다. 또한, 원료 공급부(130)는 분배부재(120)의 중심축 상에 위치될 수 있다. 또한, 분배부재(120)는 중심이 챔버(110)의 중심축과 동축 상에 위치하도록 배치될 수 있다.The raw material may flow from the upper surface of the distribution member 120 to the inner surface of the chamber 110 through the gap d between the edge of the distribution member 120 and the inner surface of the chamber 110 . In addition, the raw material supply unit 130 may be located on the central axis of the distribution member 120 . In addition, the distribution member 120 may be disposed so that the center is coaxial with the central axis of the chamber 110 .

이때, 원료는 챔버(110)의 내면을 따라 따라 소정의 두께를 갖고 유동하며, 균일한 막('필름'이라고도 함)을 형성하게 된다. 이때, 진공 홀(112)과 연결된 진공 펌프(도시되지 않음)에 의하여 챔버(110) 내에는 음압이 형성되며, 상기 챔버의 내면에 형성된 막으로부터 기포가 제거된다. 즉, 원료를 얇은 막으로 형성하기 위하여, 별도의 장비 등을 이용하여 외력을 가하지 않고도, 분배부재(120)를 통해 원료를 챔버의 내면에 균일하게 도포함으로써, 원료가 챔버의 내면을 따라 중력 방향으로 유동하며, 균일한 두께의 필름이 형성될 수 있다.At this time, the raw material flows with a predetermined thickness along the inner surface of the chamber 110, and forms a uniform film (also referred to as 'film'). At this time, a negative pressure is formed in the chamber 110 by a vacuum pump (not shown) connected to the vacuum hole 112, and air bubbles are removed from the film formed on the inner surface of the chamber. That is, in order to form the raw material into a thin film, the raw material is uniformly applied to the inner surface of the chamber through the distribution member 120 without applying an external force using a separate equipment, so that the raw material moves in the direction of gravity along the inner surface of the chamber. flow, and a film of uniform thickness can be formed.

이때, 분배부재(120)의 가장자리는 반경방향을 따라(챔버의 내면이 가까워지는 방향을 따라) 두께가 감소하도록 마련될 수 있다. At this time, the edge of the distribution member 120 may be provided so that the thickness decreases along the radial direction (along the direction in which the inner surface of the chamber approaches).

또한, 분배부재의 가장자리(120')는 원료가 유동할 수 있는 측면을 가질 수 있고(도 7의 (a) 참조), 이와는 다르게, 분배부재의 가장자리(120")는 종단에서 상부면과 하부면이 만날 수 있다(도 7의 (b) 참조).In addition, the edge 120 'of the distribution member may have a side surface through which the raw material can flow (see (a) in FIG. 7), and, unlike this, the edge 120' of the distribution member has an upper surface and a lower surface at the longitudinal end. The faces may meet (see (b) of FIG. 7).

또한, 도 3을 참조하면, 분배 부재(120)의 측면은 경사면일 수 있다. 이러한 구조에서, 분배부재(120)의 상부면의 직경은 하부면의 직경보다 작게 형성될 수 있다.Also, referring to FIG. 3 , a side surface of the distribution member 120 may be an inclined surface. In this structure, the diameter of the upper surface of the distribution member 120 may be smaller than the diameter of the lower surface.

한편, 챔버(110) 내부는 분배부재(120)에 의해 상부 영역과 하부 영역으로 구획될 수 있다. 이때, 진공홀(112)과 하부 영역이 유체 이동하게 연결되기 위하여, 분배부재(120)에는 하나 이상의 통과홀이 형성될 수 있다. 또한, 통과홀은 분배부재(120)를 관통하여 장착된 파이프(140)와 연결될 수 있고, 분배부재(120)에는, 중심축을 기준으로 방사형으로 배열된 복수 개의 파이프(140)가 마련될 수 있다. 상기 파이프(140)는 분배부재(120)의 상부로 연장된 형상을 갖는다.Meanwhile, the inside of the chamber 110 may be partitioned into an upper region and a lower region by the distribution member 120 . At this time, one or more passage holes may be formed in the distribution member 120 so that the vacuum hole 112 and the lower area are fluidly connected. In addition, the passage hole may be connected to the pipe 140 mounted through the distribution member 120, and the distribution member 120 may be provided with a plurality of pipes 140 arranged radially with respect to the central axis. . The pipe 140 has a shape extending upward from the distribution member 120 .

따라서 원료 공급부(130)로부터 원료가 분배부재(120)의 상부면에 도포되면, 상기 원료는 파이프(140)에 의해 통과홀로 진입하지 못하고, 분배부재(120)의 가장자리로 유동하게 된다. 또한, 진공홀(112)은 상기 파이프(140)들을 통해 챔버의 하부 영역과 유체 이동 가능하게 연결된다.Therefore, when the raw material from the raw material supply unit 130 is applied to the upper surface of the distribution member 120, the raw material does not enter the passage hole by the pipe 140 and flows to the edge of the distribution member 120. In addition, the vacuum hole 112 is connected to the lower region of the chamber through the pipes 140 to enable fluid flow.

이때, 통과홀들의 전체 단면적은, 원료가 챔버의 내면으로 공급되는 영역, 즉, 분배부재의 가장자리와 챔버의 내면 사이의 공간의 단면적의 50% 이상이 되는 것이 바람직하다. 50%이하가 되면, 압력 강하가 크게 발생하여, 진공압력이 충분히 전달되지 않을 수 있다.At this time, it is preferable that the total cross-sectional area of the passage holes is 50% or more of the cross-sectional area of the area where the raw material is supplied to the inner surface of the chamber, that is, the space between the edge of the distribution member and the inner surface of the chamber. If it is less than 50%, a large pressure drop may occur, and the vacuum pressure may not be sufficiently transmitted.

도 6은 본 발명의 또 다른 실시예와 관련된 탈포 장치(200)에서 막이 형성되는 과정을 설명하기 위한 시뮬레이션 결과이다.6 is a simulation result for explaining a process of forming a film in the defoaming device 200 related to another embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 통과홀(221)은 분배부재(220)의 중앙영역에 마련되고, 원료 공급부(230)는 통과홀(221)을 중심으로 분배 부재 상에 방사형으로 복수로 구비될 수 있다. Referring to FIG. 6 , the through hole 221 is provided in the central region of the distribution member 220, and a plurality of raw material supply units 230 may be radially provided on the distribution member around the through hole 221. .

도 7은 분배부재의 가장자리 형상에 따른 도포 현상을 나타내는 시뮬레이션 결과이다.7 is a simulation result showing a coating phenomenon according to the edge shape of the distribution member.

또한, 분배부재의 가장자리(120')는 원료가 유동할 수 있는 측면을 가질 수 있고(도 7의 (a) 참조), 이와는 다르게, 분배부재의 가장자리(120")는 종단에서 상부면과 하부면이 만날 수 있다(도 7의 (b) 참조). In addition, the edge 120 'of the distribution member may have a side surface through which the raw material can flow (see (a) in FIG. 7), and, unlike this, the edge 120' of the distribution member has an upper surface and a lower surface at the longitudinal end. The faces may meet (see (b) of FIG. 7).

위에서 설명된 본 발명의 바람직한 실시예는 예시의 목적을 위해 개시된 것이고, 본 발명에 대한 통상의 지식을 가지는 당업자라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가가 가능할 것이며, 이러한 수정, 변경 및 부가는 하기의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.Preferred embodiments of the present invention described above have been disclosed for illustrative purposes, and those skilled in the art having ordinary knowledge of the present invention will be able to make various modifications, changes, and additions within the spirit and scope of the present invention, and such modifications and changes and additions should be viewed as falling within the scope of the following claims.

100: 탈포 장치
110: 챔버
120: 분배부재
130: 원료 공급부
140: 파이프
220: 분배부재
230: 원료공급부
221: 통과홀100: defoaming device
110: chamber
120: distribution member
130: raw material supply unit
140: pipe
220: distribution member
230: raw material supply unit
221: through hole

Claims (11)

진공펌프와 연결되는 진공홀 및 배출홀을 갖는 챔버;
표면을 따라 원료가 유동하며, 챔버의 내벽에 막이 형성되도록 원료를 챔버의 내벽 측으로 공급하기 위한 가장자리 및 진공홀 측으로 가스를 통과시키기 위한 통과홀을 갖는 분배부재; 및
분배부재의 상방에 배치되며, 분배부재의 상부면으로 원료를 공급하도록 마련된 원료 공급부을 포함하며,
원료 공급부는 분배 부재의 중심축 상에 위치되며,
분배 부재에는, 중심축을 기준으로 방사형으로 배열된 복수 개의 파이프가 마련된 탈포 장치.A chamber having a vacuum hole and a discharge hole connected to the vacuum pump;
a distribution member having an edge for supplying the raw material to the inner wall of the chamber so that the raw material flows along the surface and a film is formed on the inner wall of the chamber and a passage hole for passing gas to the vacuum hole; and
It is disposed above the distribution member and includes a raw material supply unit provided to supply raw materials to the upper surface of the distribution member,
The raw material supply unit is located on the central axis of the distribution member,
A defoaming device provided with a plurality of pipes arranged radially with respect to a central axis in the distribution member. 제 1 항에 있어서,
분배부재의 직경은 챔버의 내경보다 작은 탈포 장치.According to claim 1,
A defoaming device in which the diameter of the distribution member is smaller than the inner diameter of the chamber. 제 2 항에 있어서,
챔버의 내경에 대한 분배부재의 직경의 비율은 98% 이상인 탈포 장치.According to claim 2,
A defoaming device wherein the ratio of the diameter of the distribution member to the inner diameter of the chamber is 98% or more. 제 2 항에 있어서,
분배부재의 가장자리 및 챔버의 내벽 사이의 간격에 따라 막의 두께가 결정되는 탈포 장치.According to claim 2,
A defoaming device in which the thickness of the film is determined according to the distance between the edge of the distribution member and the inner wall of the chamber. 제 1 항에 있어서,
분배부재의 가장자리는 반경방향을 따라 두께가 감소하도록 마련된 탈포 장치.According to claim 1,
The edge of the distribution member is defoaming device provided to decrease in thickness along the radial direction. 제 5 항에 있어서,
분배부재의 가장자리는 원료가 유동할 수 있는 측면을 갖는 탈포 장치.According to claim 5,
The edge of the distribution member has a side surface through which the raw material can flow. 제 4 항에 있어서,
분배부재의 가장자리는 종단에서 상부면과 하부면이 만나는 탈포 장치.According to claim 4,
The edge of the distribution member is a degassing device where the upper and lower surfaces meet at the longitudinal end. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101776556B1 (en) * 2017-06-09 2017-09-11 김병용 Apparatus for degassing using double rotor

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016016382A (en) * 2014-07-10 2016-02-01 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス Defoaming device, discharge device and defoaming method
KR101776556B1 (en) * 2017-06-09 2017-09-11 김병용 Apparatus for degassing using double rotor

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