JP2016016382A - Defoaming device, discharge device and defoaming method - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は、高粘度の非ニュートン性液体から気泡を除去する脱泡技術に関するものである。 The present invention relates to a defoaming technique for removing bubbles from a high viscosity non-Newtonian liquid.
近年、高粘度の液体から気泡を効果的に除去することのできる技術が求められている。例えばガラス基板や太陽電池基板等の基板表面に配線パターンを形成したり、集電体表面に活物質層を形成することを目的として、配線材料や活物質材料を含むペースト状の液体を基板等に塗布する技術がある。このとき、液体に気泡が含まれていると送液系における圧力損失やパターン欠陥を生じるおそれがあるため、液体から気泡を除去する技術が必要となる。 In recent years, a technique capable of effectively removing bubbles from a highly viscous liquid has been demanded. For example, for the purpose of forming a wiring pattern on the surface of a substrate such as a glass substrate or a solar cell substrate, or forming an active material layer on the surface of a current collector, a paste-like liquid containing a wiring material or an active material is used as a substrate. There are techniques to apply. At this time, if bubbles are included in the liquid, pressure loss and pattern defects may occur in the liquid feeding system, and thus a technique for removing the bubbles from the liquid is required.
このような技術の例として、例えば特許文献1に記載されたものがある。この技術では、回転する円盤の上面に液体が供給され、その回転軸と同軸の排気管から排気が行われる。これにより、円盤上の液体が遠心力で外周方向に運ばれ、液体成分は円盤の外周から容器に回収される一方、排気管からは気体成分のみが排出されて、容器内には脱泡された液体が得られる。この従来技術で想定される液体の粘度の例として、特許文献1には、1100mPa・s(1.1Pa・s)との記載がある。
An example of such a technique is described in
より高粘度の液体、例えばせん断速度10s-1において100Pa・s程度の粘度を有する液体を対象とする場合、このような遠心力のみによる気泡の分離は期待できない。特に、液体が非ニュートン性を有するものである場合、液体にせん断を与え続けなければ次第に粘度が増大するため、上記従来技術の脱泡方法では気泡を効果的に除去することは難かしい。このような高粘度の液体から気泡を除去することのできる技術は、未だ確立されるに至っていない。 When targeting a higher viscosity liquid, for example, a liquid having a viscosity of about 100 Pa · s at a shear rate of 10 s −1 , separation of bubbles by such centrifugal force alone cannot be expected. In particular, when the liquid has non-Newtonian properties, the viscosity gradually increases unless the liquid is continuously subjected to shearing. Therefore, it is difficult to effectively remove bubbles by the above-described conventional defoaming method. A technique capable of removing bubbles from such a highly viscous liquid has not yet been established.
この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、高粘度の非ニュートン性液体から気泡を効果的に除去することのできる技術を提供することを目的とする。 This invention is made | formed in view of the said subject, and it aims at providing the technique which can remove a bubble effectively from a highly viscous non-Newtonian liquid.
この発明にかかる脱泡装置は、非ニュートン性を有する高粘度の液体から気泡を除去する脱泡装置であって、上記目的を達成するため、前記液体を吐出するための吐出口が開口した第1対向面を有する第1対向部材と、前記吐出口の周縁を含む前記第1対向面と所定の微小ギャップを隔てて対向する第2対向面を有する第2対向部材と、前記第1対向部材に前記液体を供給して前記吐出口から吐出させ、前記第1対向面と前記第2対向面とのギャップ空間を前記液体により液密状態にする液体供給手段と、前記ギャップ空間から流出する前記液体を貯留する貯留部とを備えている。 A defoaming apparatus according to the present invention is a defoaming apparatus that removes bubbles from a high-viscosity liquid having non-Newtonian properties. In order to achieve the above object, the defoaming apparatus is provided with a discharge port for discharging the liquid. A first facing member having a first facing surface; a second facing member having a second facing surface facing the first facing surface including a peripheral edge of the discharge port with a predetermined minute gap; and the first facing member And supplying the liquid to the discharge port to make the gap space between the first facing surface and the second facing surface liquid-tight with the liquid, and the liquid flowing out from the gap space. And a storage part for storing the liquid.
また、この発明にかかる脱泡方法は、非ニュートン性を有する高粘度の液体から気泡を除去する脱泡方法であって、上記目的を達成するため、第1対向部材の第1対向面と第2対向部材の第2対向面とを所定の微小なギャップを隔てて互いに対向させて、前記第1対向面と前記第2対向面との間にギャップ空間を形成する工程と、前記第1対向面に開口する吐出口から前記液体を前記ギャップ空間に注入し、前記ギャップ空間を前記液体により液密状態としながら前記液体を前記ギャップ空間の周縁に向けて流通させ前記ギャップ空間外の自由空間に解放する工程と、前記ギャップ空間から流出した前記液体を貯留部に貯留する工程とを備えている。 The defoaming method according to the present invention is a defoaming method for removing bubbles from a high-viscosity liquid having non-Newtonian properties. In order to achieve the above object, the defoaming method and the first facing surface of the first facing member Forming a gap space between the first opposing surface and the second opposing surface by causing the second opposing surface of the two opposing members to oppose each other with a predetermined minute gap therebetween, and the first opposing The liquid is injected into the gap space from a discharge port that is open to the surface, and the liquid is circulated toward the periphery of the gap space while making the gap space in a liquid-tight state with the liquid, thereby entering the free space outside the gap space. A step of releasing, and a step of storing the liquid flowing out of the gap space in a storage unit.
このように構成された発明では、液体が微小ギャップを有するギャップ空間を流通する際に第1および第2対向面からのせん断力を受けるため、非ニュートン性を有する液体が粘度の低下した状態でギャップ空間を流通する。そのため、液中で気泡が移動しやすくなっている。また、液体がギャップ空間内で薄層化されるため、気泡が液体の表面に露出する確率が極めて高くなる。特に、ギャップの大きさよりも大きな径の気泡は確実に液体表面に露出する。こうして液体表面に露出した気泡は、液体がギャップ空間から外部の自由空間に解放される際に消滅する。したがって、ギャップ空間から流出する液体からは気泡が除去される。 In the invention configured as described above, since the liquid receives a shearing force from the first and second opposing surfaces when flowing through the gap space having the minute gap, the liquid having non-Newtonian properties is in a state where the viscosity is lowered. Circulate the gap space. Therefore, it is easy for bubbles to move in the liquid. Further, since the liquid is thinned in the gap space, the probability that the bubbles are exposed on the surface of the liquid becomes extremely high. In particular, bubbles having a diameter larger than the size of the gap are reliably exposed on the liquid surface. The bubbles thus exposed on the liquid surface disappear when the liquid is released from the gap space to the external free space. Accordingly, bubbles are removed from the liquid flowing out of the gap space.
このように、本発明によれば、非ニュートン性を有する高粘度液体であっても、せん断力を与えて粘度が低下した状態を維持しながら液体を薄層化した上で自由空間に解放することで、気泡を液体の表面に露出させて消滅させることができる。すなわち、本発明は、高粘度の非ニュートン性液体から効果的に気泡を除去することが可能である。 As described above, according to the present invention, even a highly viscous liquid having non-Newtonian properties is released into free space after thinning the liquid while maintaining a state in which the viscosity is lowered by applying a shearing force. Thus, the bubbles can be exposed to the surface of the liquid and disappear. That is, the present invention can effectively remove bubbles from a high-viscosity non-Newtonian liquid.
また、この発明にかかる吐出装置は、上記発明にかかる脱泡装置と同一構成を有する脱泡手段と、前記貯留部に貯留された前記液体を前記貯留部から送出する送出手段と、前記送出手段から前記液体の供給を受けて吐出する吐出ノズルとを備えている。このように構成された発明では、脱泡手段により効果的に気泡が除去された液体を、吐出ノズルから安定的に吐出することが可能である。 Further, the discharge device according to the present invention includes a defoaming unit having the same configuration as the defoaming device according to the above invention, a sending unit for sending the liquid stored in the storing unit from the storing unit, and the sending unit A discharge nozzle for receiving and supplying the liquid. In the invention configured as described above, the liquid from which the bubbles are effectively removed by the defoaming means can be stably discharged from the discharge nozzle.
本発明によれば、非ニュートン性を有する高粘度液体であっても、せん断力を与えながら液体を薄層化した後解放することで、液体中の気泡を効果的に除去することが可能である。 According to the present invention, even in the case of a highly viscous liquid having non-Newtonian properties, it is possible to effectively remove bubbles in the liquid by releasing after thinning the liquid while applying a shearing force. is there.
図1はこの発明にかかる脱泡装置を備えた塗布装置の第1実施形態を示す図である。この塗布装置1は、ロール・トゥ・ロール方式で搬送されるシート状の基材Sに対してペースト状塗布液を塗布する装置であり、例えばリチウムイオン二次電池のような電池用電極の製造に用いることのできるものである。
FIG. 1 is a view showing a first embodiment of a coating apparatus provided with a defoaming apparatus according to the present invention. The
この塗布装置1は、塗布すべき塗布液を内部に貯留するタンク10と、該タンク10から供給される塗布液を吐出するノズル50とを備えており、タンク10とノズル50との間に設けられた送液系20(後述)により、タンク10内の塗布液がノズル50に向けて送出され、ノズル50の先端に設けられた吐出口から吐出される。
The
ノズル50との対向位置には、塗布液が塗布される基材Sが搬送ユニット70により配置される。具体的には、ロール状に巻回された長尺シート状の基材Sが搬送ユニット70の供給ローラ71にセットされるとともに、基材Sの一端部が巻取ローラ72に巻回されている。巻取ローラ72が図の矢印Dr方向に回転することにより、基材Sが供給ローラ71から繰り出されて矢印Ds方向に搬送され、巻取ローラ72により巻き取られる。つまり、搬送ユニット70は、塗布対象物である基材Sを保持する手段としての機能およびこれを搬送する手段としての機能を有する。このように供給ローラ71および巻取ローラ72に掛け渡された基材Sの表面に対向するように、ノズル50が配置されている。そのため、ノズル50から吐出される塗布液が基材Sの表面に塗布される。基材Sが矢印Ds方向に搬送されることで、ノズル50を基材Sに対して相対的に走査移動させながら塗布液を基材Sに塗布することができる。
A substrate S on which the coating liquid is applied is disposed by the
ここで例えば、集電体として機能する金属などの導電体シートを基材Sとして用い、塗布液として活物質材料を含むペーストを用いることにより、集電体層の表面に活物質層を積層してなる電池用電極を製造することが可能である。 Here, for example, an active material layer is laminated on the surface of the current collector layer by using a conductive sheet such as a metal functioning as a current collector as the substrate S and using a paste containing an active material as a coating liquid. It is possible to manufacture a battery electrode.
矢印Ds方向に搬送される基材Sに対向配置されたノズル50の下面には、塗布液を吐出する吐出口が設けられている。吐出口から連続的に吐出される高粘度のペースト状塗布液は基材Sの表面に着液した後、基材Sの移動に伴って矢印Ds方向へ搬送される。これにより、基材S上にはその搬送方向Dsに沿って連続的に延びる塗布液の層が形成される。この塗布装置1は、基材Sの搬送方向Dsに沿って切れ目なく連続した塗布層を形成することも可能であり、また各吐出口からの塗布液の吐出を一時的に停止させることで搬送方向Dsにおいて断続した塗布層を形成することも可能である。
A discharge port for discharging the coating liquid is provided on the lower surface of the
塗布層の断面形状は各吐出口の開口形状に依存し、特に高粘度の塗布液を用いた場合、吐出口の開口形状をほぼそのまま維持した断面形状を有するパターンを形成することが可能である。これにより、幅に対する高さの比、つまりアスペクト比の高いパターンを形成することも可能となる。ノズル50が、複数の吐出口が搬送方向Dsに直交する基材Sの幅方向に等間隔に並べて設けられた構造を有するものである場合、基材Sの表面に、搬送方向Dsを長手方向とするライン状パターンが幅方向に複数配置されたラインアンドスペース構造の塗布層を形成することができる。
The cross-sectional shape of the coating layer depends on the opening shape of each discharge port, and in particular when a high-viscosity coating liquid is used, it is possible to form a pattern having a cross-sectional shape that maintains the opening shape of the discharge port almost as it is. . As a result, it is possible to form a pattern having a high ratio of height to width, that is, a high aspect ratio. In the case where the
基材Sが集電体として機能するものであり、塗布液により形成されるライン状パターンが活物質を含むものである場合、集電体表面に活物質による高アスペクト比のライン状パターンが形成された構造を有する電池用電極を製造することができる。このような構造の電極は活物質材料の使用量に対して表面積の大きな活物質層を有するため、高速充放電特性の良好な電池を構成することができる。 When the substrate S functions as a current collector and the line pattern formed by the coating liquid contains an active material, a line pattern having a high aspect ratio was formed on the current collector surface by the active material. A battery electrode having a structure can be produced. Since the electrode having such a structure has an active material layer having a large surface area with respect to the amount of active material used, a battery having good high-speed charge / discharge characteristics can be formed.
もちろん、各吐出口を幅広の開口形状としたりスリット状のものとすることで、基材Sの表面に比較的幅の広いパターンを形成することも可能である。この場合においても、塗布液を高粘度のものとすることで、高密度で厚い活物質層を有する電極を製造することができる。これにより、容量の大きな電池を構成することができる。 Of course, it is also possible to form a relatively wide pattern on the surface of the substrate S by making each discharge port into a wide opening shape or a slit shape. Also in this case, an electrode having a high-density and thick active material layer can be manufactured by making the coating solution have a high viscosity. Thereby, a battery with a large capacity can be configured.
このようなパターンを優れた寸法精度で形成するためには、高粘度の塗布液を小流量で、かつ安定的にノズル50から吐出させる必要がある。これを可能とするための塗布装置1における送液系20の構成について、さらに説明する。なお、この塗布装置1に適用される塗布液において想定される粘度は、せん断速度10s-1において100Pa・sないし300Pa・s程度である。
In order to form such a pattern with excellent dimensional accuracy, it is necessary to stably discharge a highly viscous coating liquid from the
この塗布装置1における送液系20は、一端部がタンク10の底部に接続された出力配管21と、その途中に配されたポンプ22および流量計23と、出力配管21の他端部に入力ポートが接続された三方弁24と、三方弁24の2つの出力ポートにそれぞれ一端部が接続された塗布配管25および循環配管26と、循環配管26の他端部に入力ポートの1つが接続された三方弁27と、三方弁27の出力ポートに接続された入力配管28と、入力配管28の途中に介挿されたポンプ29とを備えている。また、この塗布装置1は、送液系20を制御して所定量の塗布液をノズル50から吐出させる制御ユニット30を備えている。
The
ポンプ22は、送液系20に塗布液を流通させるためのものであり、高粘度の塗布液を安定した流量で送出することのできるものであることが望ましい。このようなポンプとしては例えばねじポンプを用いることができ、例えば一軸ねじポンプの一種であるモーノポンプを好適に適用することができる。ポンプ22の動作は制御ユニット30により制御されており、制御ユニット30は、流量計23により検出される出力配管21における塗布液の流量に基づきポンプ22を制御して、送液系20における塗布液の流量を調節する。
The
三方弁24は制御ユニット30により制御され、出力配管21と塗布配管25とが接続される塗布経路と、出力配管21と循環配管26とが接続される循環経路とを選択的に開成する。塗布配管25はノズル50に接続されており、制御ユニット30からの制御指令に応じて三方弁24が出力配管21と塗布配管25とを接続する塗布経路を開成した場合には、タンク10から圧送されてくる塗布液が塗布配管25を介してノズル50に供給され、塗布対象物たるシートSに塗布される。
The three-
一方、制御ユニット30からの制御指令に応じて三方弁24が出力配管21と循環配管26とを接続する循環経路を開成した場合には、タンク10から圧送される塗布液は、循環経路を介してタンク10に還流する。より詳しくは、制御ユニット30により制御される三方弁27により、循環配管26と入力配管28とを接続する流路が常時開成されており、出力配管21から三方弁24を経由して循環配管26に流れ込んだ塗布液は、三方弁27および入力配管28を経由してタンク10内に戻る。入力配管28に流入した塗布液は、ポンプ29によりタンク10へ圧送される。
On the other hand, when the three-
高粘度の塗布液がチキソトロピー性(チクソ性)を有する場合、塗布液の流動性を維持するためには塗布液に常時せん断力を与えておく必要がある。塗布液をノズル50へ供給する時以外には循環流路を経由して塗布液を循環させておくことで、塗布液にせん断力を与えて流動性の高い低粘度の状態を維持することができる。また、後述するように、タンク10および各配管内の塗布液に含まれる気泡を除去する脱泡作用も有する。
When the high-viscosity coating liquid has thixotropic properties (thixotropic properties), it is necessary to always apply a shearing force to the coating liquid in order to maintain the fluidity of the coating liquid. Except when supplying the coating liquid to the
三方弁27のもう1つの入力ポートは図示しない外部補給タンクと補給配管を介して接続されており、タンク10内の塗布液がシートSに塗布されて消費され残量が少なくなってくると、三方弁27により外部補給タンクと入力配管28とを接続する流路が開成される。これにより、補給用の塗布液が外部補給タンクからタンク10に供給され、タンク10内の塗布液量が回復する。制御ユニット30は、三方弁27を制御して、タンク10内の液量の変動が所定範囲内に収まるように必要に応じて外部補給タンクから塗布液の補給を行う。補給された塗布液は、循環経路を循環する塗布液と同様に、入力配管28からポンプ29によりタンク10内に流入する。
Another input port of the three-
図2はタンクの内部構造を示す図である。より詳しくは、図2(a)はタンク10の側面断面図である。また図2(b)は後述する脱泡機構12の外観を示す図である。図2(a)に示すように、タンク10は、内部が塗布液を貯留可能な貯留空間SPとなったタンク筐体11を有している。タンク筐体11の内部は略鉛直方向を軸とし底部が円錐状にすぼまった円筒形状をなしており、その内部断面積は、タンク上部においては鉛直方向に略一定であり、底部において次第に小さくなっている。その底面11bに、出力配管21が接続される。
FIG. 2 is a diagram showing the internal structure of the tank. More specifically, FIG. 2A is a side sectional view of the
一方、タンク筐体11の内部の貯留空間SPには、塗布液から気泡を除去するための脱泡機構12が設置されている。脱泡機構12は、それぞれが円盤状に形成され略水平姿勢で互いに近接対向する第1対向部材121と第2対向部材122とを備えている。上側に配置された第1対向部材121の下面が第2対向部材122と対向する第1対向面121fとなる一方、下側に配置された第2対向部材122の上面が第1対向部材121と対向する第2対向面122fとなっている。すなわち、第1対向部材121の下面である第1対向面121fと、第2対向部材122の上面である第2対向部材122fとが、微小かつ一定のギャップを隔てて互いに対向している。第1対向部材121と第2対向部材122とは略同一の直径を有している。また第1対向面121fおよび第2対向面122fはいずれも水平面となっている。
On the other hand, a
上側に配置された第1対向部材121の中央には上方に向かって延びる中心支軸123が接続されており、中心支軸123の上端はタンク筐体11の上面11a中央部に設けられた貫通孔を通って外部へ突出している。中心支軸123にはモータ124が連結されており、制御ユニット30からの駆動信号に応じてモータ124が作動することで、中心軸123が図2(a)の矢印方向に鉛直軸周りに回転する。これにより、第1対向部材121が略水平姿勢を保ったまま回転する。回転速度は例えば0ないし1000rpmの範囲で可変とされる。
A
一方、第2対向部材122は図示を省略する支持部材によりタンク筐体11に対し固定支持されている。第1対向部材121と第2対向部材122との間のギャップは0より大きく例えば1mm以下とすることができるが、第1対向部材121および第2対向部材122の少なくとも一方が上下方向に位置可変に支持されることで、ギャップ量を変更可能となっていることがより好ましい。ギャップ量の可変範囲としては、例えば0ないし1mmとすることができる。
On the other hand, the second opposing
また、中心支軸123は内部が中空となっており、その内部空間が塗布液の流通する配管として機能する。すなわち、中心支軸123の上端は入力配管28に接続されており、ポンプ29から入力配管28を介して圧送される塗布液が中心支軸123の内部空間を流通する。また中心支軸123の内部空間は、その下端において第1対向部材121の下面中央部に設けられた開口121aと連通している。そのため、塗布液は、開口121から第1対向部材121と第2対向部材121との間に形成されるギャップ空間GSに向けて吐出される。
The
第2対向部材122の周縁部を取り囲むように、フランジ状の案内部材125が設けられる。案内部材125はリング形状となっており、その内周部125aの開口径は第2対向部材122の直径よりも少し大きく、外周部125bの直径はタンク筐体11の内径より少し小さく形成されている。案内部材125の上面には外周部に近づくほど低くなるテーパーが設けられている。内周部125aの上面の高さ方向位置は、第2対向部材122の上面、すなわち第2対向面122fの高さ方向位置と略同一もしくはこれより少し下方に設定される。
A flange-shaped
第1対向部材121の開口121aから吐出された塗布液は、ポンプ29により順次圧送されてくる塗布液に押し出されてギャップ空間GSに沿って第1対向部材121および第2対向部材122の外周方向に向かって流動する。最終的には、第1対向部材121および第2対向部材122の周縁部から外部空間(貯留空間SP)に流出する。流出した塗布液は案内部材125の上面に沿ってその外周方向に流れてタンク筐体11の内壁面に案内され、タンク内壁面に沿って流下してタンク筐体11の下部に貯留される。塗布液が高粘度であれば、第2対向部材122と案内部材125との隙間から塗布液が下方へ落下することはない。
The coating liquid discharged from the
さらに、貯留空間SPの下部には、鉛直軸周りに回転する撹拌翼13が設置されている。タンク下部に貯留された塗布液中で撹拌翼13が回転することにより、非ニュートン性を有する塗布液が比較的低粘度の状態に維持されており、タンク10から出力配管21への塗布液の送出容易性が高められている。
Furthermore, a
図3は脱泡機構の動作原理を示す図である。より具体的には、図3(a)は脱泡機構12による脱泡作用を説明する図であり、図3(b)および図3(c)は脱泡機構の変形例を示す図である。図3(a)に示すように、第1対向部材121と第2対向部材122とが対向配置され、第1対向部材121が回転することで第2対向部材122に対し相対移動した状態で、第1対向部材121の開口121aから塗布液Pが吐出される。塗布液Pが連続的に吐出されることで、ギャップ空間GSは塗布液Pにより液密状態となる。この塗布液Pは気泡Bを含んでいる可能性がある。
FIG. 3 is a diagram showing the operating principle of the defoaming mechanism. More specifically, FIG. 3A is a diagram for explaining the defoaming action by the
塗布液Pは微小なギャップ空間GSを流通する際に第1対向部材121および第2対向部材122からせん断力を受ける。これにより、非ニュートン性液体である塗布液Pは静止状態よりも粘度が低い状態でギャップ空間GSを流通する。このとき、せん断力が作用することにより塗布液が比較的低粘度に維持されていること、および、塗布液が微小なギャップ空間GSに通送されて薄層化されることにより、気泡Bが塗布液の層の表面に露出する確率が大きくなる。特に、気泡Bの直径がギャップ量Gより大きいとき、ギャップ空間GS内で気泡Bは確実に液層の表面に現れる。言い換えれば、含まれ得る気泡の大きさに応じたギャップ量を設定することで、気泡Bを確実に液面に露出させることが可能である。
The coating liquid P receives a shearing force from the first opposing
塗布液Pがギャップ空間GSの周縁部、つまり第1対向部材121の周縁部と第2対向部材122の周縁部とが対向する領域から貯留空間SPに流れ出す際、液層の表面に露出した気泡Bが貯留空間SPに解放されて崩壊する。これにより塗布液Pから気泡Bが除去される。気泡が除去された塗布液Pが案内部材125およびタンク筐体11の内壁面に沿って流下することで、新たな気泡の混入が防止される。すなわち、塗布液Pが断続的に脱泡機構12から落下した場合には新たに気泡を含むことが考えられるが、塗布液Pがその表面張力の作用により案内部材125およびタンク筐体11内壁面に沿って間断なく連続的に流下することにより、気泡を含むことなくタンク底部に流れ込む。このようにして、脱泡機構12による脱泡作用が実現される。
When the coating liquid P flows into the storage space SP from the peripheral portion of the gap space GS, that is, the region where the peripheral portion of the first opposing
ギャップ空間GSに塗布液の流動を生じさせて脱泡を進行させるために、塗布液を強制的かつ連続的にギャップ空間GSに注入することが必要である。この目的のために、塗布液の流通経路において脱泡機構12の上流側に、塗布液を脱泡機構12に送り込むポンプ29が設けられる。このようにポンプ29を用いてギャップ空間GSに塗布液を圧送すると、気泡Bがギャップ空間GSから外部空間に解放される際に周囲圧力が低下することによって膨張する。これにより気泡の破壊が促進される。
In order to cause the flow of the coating liquid in the gap space GS and advance the defoaming, it is necessary to forcibly and continuously inject the coating liquid into the gap space GS. For this purpose, a
なお、第1対向部材121が回転しない場合でも、塗布液が狭いギャップ空間に継続的に注入されることである程度のせん断力を受けるため、上記のような脱泡作用が期待できる。したがって、例えば第1対向部材121を回転させずに、つまり第2対向部材122に対する相対移動を行わせない状態で、塗布液をギャップ空間GSに注入する態様も考えられる。
In addition, even when the
また、第1対向部材121と第2対向部材122とを相対移動させるという観点から、例えば図3(b)に示す変形例のように、第1対向部材121とは独立に第2対向部材1222を回転させるようにしてもよい。この場合、第1対向部材121を静止させて第2対向部材1222のみを回転させてもよく、また第1対向部材121とは逆方向に第2対向部材1222を回転させてもよい。また、第1対向部材121と第2対向部材1222とを同方向に異なる回転速度で回転させてもよい。第1対向部材121と第2対向部材1222とを逆方向に回転させる場合、両者の相対的な移動速度が速くなるので、より大きなせん断力を塗布液に与えることができる。また、同じせん断力を与えるための第1対向部材121および第2対向部材1222の回転速度を抑制することができる。
Further, from the viewpoint of relatively moving the first opposing
また、図3(c)に示すように、第2対向部材1223の直径を増大させタンク筐体11の内径よりも僅かに小さくすることで、塗布液が第2対向部材1223からタンク筐体11の内壁に直接受け渡されるようにしてもよい。これにより、第2対向部材1223自体が案内部材として作用するので、案内部材を省いた構成とすることが可能である。
Further, as shown in FIG. 3C, the coating liquid is transferred from the second opposing
この場合、第1対向部材1213についても第2対向部材1223と同様に直径を大きくすれば、両者の対向面積が増えるため塗布液により大きなせん断力を与えることができる。ただし、回転する第1対向部材1213とタンク筐体11の内壁面との間で塗布液が撹拌されて気泡を含むのを防止するため、第2対向部材1223より少し小さくすることが好ましい。
In this case, if the diameter of the first opposing
図4はこの発明にかかる脱泡装置を備えた塗布装置の第2実施形態の主要部を示す図である。第2実施形態では、脱泡機構の構造が第1実施形態のものとは異なっているが、それ以外の構成およびその動作は第1実施形態のものと同じである。そこで、ここでは第1実施形態と同一の構成については図示を省略しまたは同一符号を付して図示し、その詳しい説明を省略する。 FIG. 4 is a view showing a main part of a second embodiment of the coating apparatus provided with the defoaming apparatus according to the present invention. In the second embodiment, the structure of the defoaming mechanism is different from that of the first embodiment, but other configurations and operations thereof are the same as those of the first embodiment. Therefore, here, the same components as those in the first embodiment are not shown or shown with the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
第2実施形態の脱泡機構52には、第1実施形態の第1対向部材121と同様の機能を有する第1対向部材521と、第1実施形態の第2対向部材122と同様の機能を有する第2対向部材522とが設けられる。そして、第1対向部材521がモータ524により回転駆動されるとともに、第1対向部材521および第2対向部材522が一体的に昇降可能となっている。具体的には、昇降機構525が設けられており、該昇降機構525が制御ユニット30からの駆動信号に応じて第1対向部材521と第2対向部材522とを両者間のギャップ量を維持したまま昇降させる。
The
タンク10内では液面センサ526が設けられており、貯留空間SPにおける塗布液の液面位置に応じた検出信号が液面センサ526から制御ユニット30に送出される。制御ユニット30は、該検出信号に基づき昇降機構525を制御して、第2対向部材522が常時タンク10内に貯留された塗布液に接し、その上面が液面より少し上に位置するように、第1対向部材521および第2対向部材522を位置決めする。このような構成では、ギャップ空間GSの周縁部から流出する塗布液が直ちにタンク10内の塗布液に合流するため、案内部材を別途設ける必要がない。
A
図5は脱泡機構の他の実施態様を例示する図である。上記実施形態における第1対向部材121および第2対向部材122はいずれも略水平姿勢に支持された円盤状部材であり、第1対向面121fおよび第2対向面122fはいずれも平面である。しかしながら、ここに例示するように、第1および第2対向面は平面に限定されない。以下においても、第1実施形態と同一の構成については図示を省略しまたは同一符号を付して図示し、その詳しい説明を省略する。
FIG. 5 is a diagram illustrating another embodiment of the defoaming mechanism. The first opposing
図5(a)に例示する脱泡機構62では、上側に配置される第1対向部材621の下面(第1対向面)621fおよび下側に配置される第2対向部材622の上面(第2対向面)622fがいずれも曲面になっている。この場合も、ギャップ空間GSにおけるギャップ量が位置によらず一定となるように曲面形状が設定される。このような形状であっても、狭いギャップ空間GSに注入される塗布液がせん断力を受けながら薄層化されるため、塗布液から気泡を効果的に除去することができる。
In the defoaming mechanism 62 illustrated in FIG. 5A, the lower surface (first opposing surface) 621f of the first opposing
ギャップ量を維持しつつ第1対向部材621および第2対向部材622の少なくとも一方を回転させるためには、第1対向面621fおよび第2対向面622fが回転軸に対し回転対称な形状となっていればよい。より具体的には、第1対向面621fが回転体の表面をその回転軸に直交する平面で切り取ったときの表面形状に相当する形状を有し、元の回転体の回転軸が第1対向部材621の回転軸とされる。また、第2対向面622fは、第1対向面621fに対応する回転体に対し相似形の別の回転体を同様に切り取ったときの表面形状に相当する形状を有する。塗布液をスムーズに流通させるとの観点から、回転体は回転楕円体であることが望ましく、例えば球体とすることができる。この場合、第1対向面621fおよび第2対向面622fは球面となる。
In order to rotate at least one of the first opposing
第2対向部材622の上面のうち、第1対向面621fと対向する第2対向面622f以外の部分についてはその形状は任意であるが、塗布液がスムーズに流下する表面形状であることが望ましい。例えば図5(a)に示すように第2対向部材622の周縁部をタンク筐体11の内壁近くまで延ばすようにすれば、別途案内部材を設ける必要がなくなる。
Of the upper surface of the second facing
また、図5(b)に例示する脱泡機構72のように、脱泡機構62における第1対向部材621と同様の形状を有する第1対向部材721と対向する第2対向部材722を、第1対向部材721と対向しない表面が下方へ延びた形状となるようにしてもよい。この場合、ギャップ空間GSから流出した塗布液は第2対向部材722の側面に沿ってタンク底部へ流下する。このように、ギャップ空間GSから流出した塗布液が気泡を含まないよう静かに塗布液を流下させることができれば、タンク筐体11の壁面に沿って塗布液を流下させる必要は必ずしもない。
Further, like the
また、図5(c)に示す脱泡機構82では、第1対向部材821の下面(第1対向面)821fおよび第2対向部材822の上面(第2対向面)822fが円錐面となっている。このような形状であっても、上記実施形態と同様の脱泡効果が期待できる。上記した脱泡機構62と同様に、第2対向部材822をタンク筐体11の内壁面近くまで延ばすことにより、案内部材としての機能を兼備させることができる。また、以下に説明するように、脱泡機構72と同様に、第2対向部材の側面をタンク底部に向けて延びる形状としてもよい。
5C, the lower surface (first opposing surface) 821f of the first opposing
図6は脱泡機構のさらに他の実施態様を例示する図である。この脱泡機構92では、第1対向部材921の下面(第1対向面)921fと第2対向部材922の上面(第2対向面)922fとがいずれも円錐面となっている。第2対向部材922の表面は、第1対向面921fと対向する部位(第2対向面922f)よりも外側において下方へ屈曲して第2対向部材922の側面922sをなし、該側面922sはタンク筐体11内に貯留された塗布液Pの液面より下方まで延びている。このような構成によれば、ギャップ空間GSから流出した塗布液は第2対向部材922の側面922sに沿って塗布液Pの液面まで流下する。したがって、塗布液の落下に起因する新たな気泡の混入を防止することが可能である。このように第2対向部材の側面をタンク内の液面まで延長した構成は、図5(b)に示す態様にも適用可能である。
FIG. 6 is a view illustrating still another embodiment of the defoaming mechanism. In the
以上のように、上記実施形態では、微小ギャップを隔てて対向配置された第1対向部材と第2対向部材との間のギャップ空間に、気泡を含む可能性のある塗布液が注入される。塗布液が狭いギャップ空間を流通する際にせん断力を受けることで、非ニュートン性を有する塗布液であってもその粘度を低下させ流動性を向上させることができる。そして、塗布液を狭いギャップ空間で薄層化することにより塗布液中の気泡を液面に露出させ、その後で塗布液を外部空間に解放することで、液面に露出した気泡を破壊し消滅させることができる。このように、上記実施形態によれば、非ニュートン性を有する液体から気泡を効果的に除去することが可能である。 As described above, in the above-described embodiment, the coating liquid that may contain bubbles is injected into the gap space between the first opposing member and the second opposing member that are opposed to each other with a minute gap therebetween. By receiving a shearing force when the coating liquid flows through a narrow gap space, the viscosity of the coating liquid having non-Newtonian properties can be reduced and the fluidity can be improved. Then, by thinning the coating liquid in a narrow gap space, the bubbles in the coating liquid are exposed to the liquid surface, and then the coating liquid is released to the external space, thereby destroying and extinguishing the bubbles exposed on the liquid surface. Can be made. Thus, according to the above embodiment, it is possible to effectively remove bubbles from a liquid having non-Newtonian properties.
以上説明したように、上記実施形態では、塗布装置1が本発明の「吐出装置」として機能しており、このうちタンク10、その内部に設けられた脱泡機構12等およびポンプ29が一体として本発明の「脱泡手段」として機能している。また、ポンプ22を含む送液系20が本発明の「送出手段」として機能する一方、ノズル50が本発明の「吐出ノズル」として機能している。
As described above, in the above-described embodiment, the
またタンク10、ポンプ29および脱泡機構12等が一体として本発明の「脱泡装置」に相当しており、第1対向部材121,521,621,721,821,921がそれぞれ本発明の「第1対向部材」として、また第2対向部材122,522,622,722,822,922がそれぞれ本発明の「第2対向部材」として機能している。また、タンク筐体11が本発明の「貯留部」および「貯留容器」として機能している。また、モータ124,524が本発明の「回転駆動手段」として機能する一方、ポンプ29が本発明の「液体供給手段」として機能している。また、案内部材125が本発明の「案内部材」として機能している。
The
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば上記実施形態では第1対向部材121が鉛直軸周りに回転することで塗布液に与えるせん断力を大きくしているが、前記したように、第1対向部材121を回転させない態様でも塗布液にせん断力を与えることは可能である。また、せん断力を増大させるためには第1対向部材と第2対向部材との間に相対移動があれば足り、このように回転運動に限定されるものではない。例えば第1対向部材および第2対向部材の一方を水平方向に往復運動させることによっても、塗布液に付与されるせん断力を大きくすることが可能である。この場合、第1または第2対向部材の周縁部近傍で乱流に起因する新たな気泡の混入がないように配慮が必要である。
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications other than those described above can be made without departing from the spirit of the present invention. For example, in the above-described embodiment, the shearing force applied to the coating liquid is increased by rotating the
また上記実施形態における第1および第2対向部材は、いずれも平面視において円形でるが、これに限定されない。例えば任意の多角形形状であってもよい。この場合、特に部材の回転を伴う場合には、多角形の頂部近傍での乱流に起因する気泡の混入を防止することが必要である。 Moreover, although the 1st and 2nd opposing member in the said embodiment is all circular in planar view, it is not limited to this. For example, an arbitrary polygonal shape may be used. In this case, it is necessary to prevent air bubbles from being mixed due to turbulent flow near the top of the polygon, particularly when the member is rotated.
また上記第1実施形態では第1対向面121fおよび第2対向面122fを水平面としているが、これに限定されない。また回転軸は鉛直軸に限定されない。ただし、上記実施形態のようにこれらを水平面として第1対向部材121を鉛直軸周りに回転させるようにすれば、開口121aからギャップ空間GSに注入される塗布液が第1対向部材121の周方向に等方的に流れる。このため、塗布液の偏在や滞留を防止して、流動による粘度低下および薄層化による気泡除去の効果を高めることが可能である。同様に、他の実施形態および変形例においても、第1対向面および第2対向面を鉛直軸に対して回転対称な形状とすることが好ましい。
Moreover, in the said 1st Embodiment, although the
また、第1対向面と第2対向面とのギャップ量は任意であるが、液中の気泡を確実に液面に露出させて消滅させるために、含まれ得る気泡の直径よりも小さいことが望ましい。ギャップが大きすぎると脱泡機能が低下するので、例えばギャップ量を1mm以下とすることが有効である。塗布液の種類や脱泡の目的に応じてギャップ量を調整することができるようにすればより好ましい。 Further, the gap amount between the first facing surface and the second facing surface is arbitrary, but in order to ensure that the bubbles in the liquid are exposed to the liquid surface and disappear, it may be smaller than the diameter of the bubbles that can be included. desirable. If the gap is too large, the defoaming function is deteriorated. For example, it is effective to set the gap amount to 1 mm or less. It is more preferable that the gap amount can be adjusted according to the type of coating solution and the purpose of defoaming.
また、上記実施形態では、塗布液の循環経路を有する送液系の流路上に本発明にかかる脱泡装置が設けられているが、循環経路を有しない送液系に本発明にかかる脱泡装置が設けられてもよい。また、上記実施形態のように吐出ノズルを含む送液系に対しインライン配置される場合のほか、送液系とは独立してオフラインで設けられる脱泡装置に対しても、本発明を適用することが可能である。 In the above embodiment, the defoaming device according to the present invention is provided on the flow path of the liquid feeding system having the circulation path of the coating liquid. However, the defoaming according to the present invention is provided in the liquid feeding system having no circulation path. An apparatus may be provided. Further, in addition to the case where the liquid feed system including the discharge nozzle is arranged in-line as in the above embodiment, the present invention is also applied to a defoaming device that is provided off-line independently of the liquid feed system. It is possible.
また、この実施形態の塗布装置1は、活物質材料を含む塗布液を被吐出物として、該塗布液を集電体に塗布することで電池用電極を製造する装置であるが、本発明はこれとは異なる目的の塗布装置にも適用することが可能である。例えば、導電材料を含む塗布液を塗布することで光電変換層に集電電極を形成して太陽電池を製造する装置や、例えば各種の表示装置用のガラス基板等に任意の機能層を塗布により形成する装置にも本発明を適用可能である。
In addition, the
さらに、この実施形態は、ノズル50から吐出される塗布液を基材Sに塗布する塗布装置であるが、このように塗布対象物への塗布を目的として液体が吐出されるものに限らず、種々の目的で液体から気泡を除去する技術に対し本発明を適用することが可能である。また、チクソ性を有しないニュートン性液体に対しても、本発明のギャップ空間での薄層化から外部解放に至る脱泡プロセスは有効に機能する。
Furthermore, although this embodiment is a coating device which applies the coating liquid discharged from the
この発明は、高粘度の液体から効果的に気泡を除去することが可能なものであり、各種の液体、特に非ニュートン性液体から気泡を除去する用途に好適に適用することができる。 The present invention can effectively remove bubbles from a high-viscosity liquid, and can be suitably applied to applications for removing bubbles from various liquids, particularly non-Newtonian liquids.
1 塗布装置(吐出装置)
10 タンク(貯留部、貯留容器、脱泡装置、脱泡手段)
11 タンク筐体(貯留部、貯留容器)
12,52,62,72,82,92 脱泡機構(脱泡装置、脱泡手段)
20 送液系(送出手段)
22 ポンプ(送出手段)
29 ポンプ(液体供給手段、脱泡装置、脱泡手段)
50 ノズル(吐出ノズル)
121,521,621,721,821,921 第1対向部材
122,522,622,722,822,922 第2対向部材
124,524 モータ(回転駆動手段)
125 案内部材
1 Coating device (Discharging device)
10 tanks (storage part, storage container, defoaming device, defoaming means)
11 Tank housing (storage part, storage container)
12, 52, 62, 72, 82, 92 Defoaming mechanism (defoaming device, defoaming means)
20 Liquid delivery system (delivery means)
22 Pump (delivery means)
29 Pump (liquid supply means, defoaming device, defoaming means)
50 nozzles (discharge nozzle)
121,521,621,721,821,921 1st opposing member 122,522,622,722,822,922 2nd opposing member 124,524 Motor (rotation drive means)
125 Guide member
Claims (14)
前記液体を吐出するための吐出口が開口した第1対向面を有する第1対向部材と、
前記吐出口の周縁を含む前記第1対向面と所定の微小なギャップを隔てて対向する第2対向面を有する第2対向部材と、
前記第1対向部材に前記液体を供給して前記吐出口から吐出させ、前記第1対向面と前記第2対向面とのギャップ空間を前記液体により液密状態にする液体供給手段と、
前記ギャップ空間から流出する前記液体を貯留する貯留部と
を備える脱泡装置。 A defoaming device for removing bubbles from a highly viscous liquid having non-Newtonian properties,
A first opposing member having a first opposing surface in which an ejection port for ejecting the liquid is opened;
A second facing member having a second facing surface facing the first facing surface including a peripheral edge of the discharge port with a predetermined minute gap;
Liquid supply means for supplying the liquid to the first facing member and causing the liquid to be discharged from the discharge port so that a gap space between the first facing surface and the second facing surface is in a liquid-tight state with the liquid;
A defoaming device comprising: a reservoir that stores the liquid flowing out of the gap space.
前記貯留部に貯留された前記液体を前記貯留部から送出する送出手段と、
前記送出手段から前記液体の供給を受けて吐出する吐出ノズルと
を備える吐出装置。 Defoaming means having the same configuration as the defoaming device according to any one of claims 1 to 9,
A delivery means for delivering the liquid stored in the storage unit from the storage unit;
A discharge apparatus comprising: a discharge nozzle that receives and supplies the liquid from the delivery means.
第1対向部材の第1対向面と第2対向部材の第2対向面とを所定の微小なギャップを隔てて互いに対向させて、前記第1対向面と前記第2対向面との間にギャップ空間を形成する工程と、
前記第1対向面に開口する吐出口から前記液体を前記ギャップ空間に注入し、前記ギャップ空間を前記液体により液密状態としながら前記液体を前記ギャップ空間の周縁に向けて流通させ前記ギャップ空間外の自由空間に解放する工程と、
前記ギャップ空間から流出する前記液体を貯留部に案内して貯留する工程と
を備える脱泡方法。 A defoaming method for removing bubbles from a highly viscous liquid having non-Newtonian properties,
The first opposed surface of the first opposed member and the second opposed surface of the second opposed member are opposed to each other with a predetermined minute gap, and a gap is formed between the first opposed surface and the second opposed surface. Forming a space;
The liquid is injected into the gap space from the discharge port that opens in the first facing surface, and the liquid is circulated toward the periphery of the gap space while the gap space is liquid-tight with the liquid. The process of releasing to free space,
A defoaming method comprising: guiding the liquid flowing out from the gap space to a storage unit and storing the liquid.
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