KR102496079B1 - X선 발생 장치 및 x선 촬영 장치 - Google Patents

X선 발생 장치 및 x선 촬영 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR102496079B1
KR102496079B1 KR1020227008129A KR20227008129A KR102496079B1 KR 102496079 B1 KR102496079 B1 KR 102496079B1 KR 1020227008129 A KR1020227008129 A KR 1020227008129A KR 20227008129 A KR20227008129 A KR 20227008129A KR 102496079 B1 KR102496079 B1 KR 102496079B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
insulating member
ray generator
insulating
ray
adhesive
Prior art date
Application number
KR1020227008129A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20220037526A (ko
Inventor
준야 가와세
Original Assignee
캐논 아네르바 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 캐논 아네르바 가부시키가이샤 filed Critical 캐논 아네르바 가부시키가이샤
Publication of KR20220037526A publication Critical patent/KR20220037526A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102496079B1 publication Critical patent/KR102496079B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05G—X-RAY TECHNIQUE
    • H05G1/00—X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
    • H05G1/02—Constructional details
    • H05G1/04—Mounting the X-ray tube within a closed housing
    • H05G1/06—X-ray tube and at least part of the power supply apparatus being mounted within the same housing
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G01N23/06—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption
    • G01N23/083—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption the radiation being X-rays
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/20—Sources of radiation

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
  • X-Ray Techniques (AREA)
  • Measurement Of Radiation (AREA)

Abstract

X선 발생 장치는, X선 발생부와, 상기 X선 발생부를 수납하는 수납 용기와, 상기 수납 용기의 내면과 상기 X선 발생부의 적어도 일부 사이에 배치된 절연 부품을 구비한다. 상기 절연 부품은, 제1 절연 부재와, 제2 절연 부재를 포함한다. 상기 제1 절연 부재는, 제1 면을 갖는 제1 부분과 제2 면을 갖는 제2 부분을 포함한다. 상기 제1 면과 상기 제2 면에 의해 단차가 형성된다. 상기 제2 부분은 상기 제1 부분보다도 두께가 얇다. 상기 제1 면과의 사이에 단차를 형성하는 제2 면을 갖고 상기 제1 부분보다도 두께가 얇은 제2 부분을 포함한다. 상기 제2 절연 부재의 접착면과 상기 제1 절연 부재의 상기 제2 면이 접착 재료에 의해 결합되어 있다. 상기 제2 면의 평면도는, 상기 제1 면의 평면도보다도 양호하다.

Description

X선 발생 장치 및 X선 촬영 장치
본 발명은, X선 발생 장치 및 X선 촬영 장치에 관한 것이다.
특허문헌 1에는, X선 발생관을 수납하는 절연성 용기와, 절연성 용기를 수용하는 접지된 수납 용기를 갖고, 절연성 용기와 수납 용기 사이에 절연성 액체가 배치된 X선 발생 장치가 기재되어 있다.
X선 발생부와 그것을 수납하는 수납 용기 사이에 배치되는 절연 부품은, 예를 들어 상자 형상, 통 형상 등과 같은 형상을 가질 수 있다. 이와 같은 절연 부품을 저렴하게 제조하는 방법으로서는, 복수의 부재를 접착 재료에 의해 결합하는 방법이 유리하다. 그러나, 그와 같은 방법으로 제조된 절연 부품이 내장된 X선 발생 장치에서는, 접착 재료를 관통하는 방전이 발생할 수 있다.
일본 특허 공개 제2016-100290호 공보
본 발명은, 접착 재료를 통한 방전의 발생을 억제하는 데 유리한 구조를 갖는 X선 발생 장치를 제공한다.
본 발명의 일 측면은, X선 발생 장치에 관한 것이며, 상기 X선 발생 장치는, X선 발생부와, 상기 X선 발생부를 수납하는 수납 용기와, 상기 수납 용기의 내면과 상기 X선 발생부의 적어도 일부 사이에 배치된 절연 부품을 구비하고, 상기 절연 부품은, 제1 절연 부재와, 제2 절연 부재를 포함하고, 상기 제1 절연 부재는, 제1 면을 갖는 제1 부분과 제2 면을 갖는 제2 부분을 포함하고, 상기 제1 면과 상기 제2 면에 의해 단차가 형성되고, 상기 제2 부분은 상기 제1 부분보다도 두께가 얇고, 상기 제2 절연 부재의 접착면과 상기 제1 절연 부재의 상기 제2 면이 접착 재료에 의해 결합되고, 상기 제2 면의 평면도는, 상기 제1 면의 평면도보다도 양호하다.
도 1은 일 실시 형태의 X선 발생 장치의 구성을 도시하는 모식도.
도 2는 절연 부품의 기본 구조를 모식적으로 도시하는 도면.
도 3은 제1 실시 형태의 절연 부품 구성을 도시하는 도면.
도 4는 제2 실시 형태의 절연 부품의 구성을 도시하는 도면.
도 5는 제3 실시 형태의 절연 부품의 구성을 도시하는 도면.
도 6은 제4 실시 형태의 절연 부품의 구성을 도시하는 도면.
도 7은 제5 실시 형태의 절연 부품의 구성을 도시하는 도면.
도 8은 제6 실시 형태의 절연 부품의 구성을 도시하는 도면.
도 9는 제7 실시 형태의 절연 부품의 구성을 도시하는 도면.
도 10은 일 실시 형태의 X선 촬상 장치의 구성을 도시하는 도면.
이하, 첨부 도면을 참조하여 실시 형태를 상세하게 설명한다. 또한, 이하의 실시 형태는 특허 청구 범위에 관한 발명을 한정하는 것은 아니다. 실시 형태에는 복수의 특징이 기재되어 있지만, 이들 복수의 특징 모두가 발명에 필수적인 것만은 아니고, 또한, 복수의 특징은 임의로 조합되어도 된다. 또한, 첨부 도면에 있어서는, 동일 혹은 마찬가지의 구성에 동일한 참조 번호를 붙이고, 중복된 설명은 생략한다.
도 1에는 일 실시 형태의 X선 발생 장치(100)의 구성이 모식적으로 도시되어 있다. X선 발생 장치(100)는, X선 발생부(10)와, X선 발생부(10)를 수용하는 수납 용기(20)와, 수납 용기(20)의 내면과 X선 발생부(10)의 적어도 일부 사이에 배치된 절연 부품(50)을 구비할 수 있다. X선 발생부(10)는, X선 발생관(12)과, 케이블(16)을 통해 X선 발생관(12)에 전압을 공급하는 전압 공급부(14)를 포함할 수 있다. X선 발생관(12)은, 전자를 방출하는 전자 방출부를 포함하는 음극(121)과, 해당 전자 방출부로부터 방사된 전자가 충돌함으로써 X선을 발생시키는 타깃을 포함하는 양극(122)을 가질 수 있다. 수납 용기(20)는, 접지되고, X선 발생관의 양극(122)은, 수납 용기(20)에 대하여 전기적으로 접속될 수 있다. 전압 공급부(14)는, X선 발생관(12)의 음극(121)에 대하여 케이블(16)을 통해 부전위를 공급할 수 있다. 케이블(16)은, 도전성 부재와, 당해 도전성 부재를 피복하는 절연재를 포함할 수 있지만, 해당 절연재를 갖지 않아도 된다. 수납 용기(20)와 절연 부품(50) 사이의 공간 및 절연 부품(50)과 X선 발생부(10) 사이의 공간에는, 절연성 액체(예를 들어, 절연유)가 충전될 수 있다. X선 발생부(10)의 음극(121)과 수납 용기(20)는, 전기적으로 절연되어 있다.
절연 부품(50)은, X선 발생부(10)를 둘러싸는 용기를 구성할 수 있다. 일례에 있어서, 절연 부품(50)은, 제1 개구를 갖는 제1 용기(30)와, 제2 개구를 갖는 제2 용기(40)를 포함할 수 있다. 제2 용기(40)는, 그 제2 개구 중에 제1 용기(30)의 일부분을 수용하고, 또한, 제1 용기(30)의 제1 개구를 덮도록 배치될 수 있다. 제1 용기(30)는, 복수의 절연 부재(31, 32, 33)를 접착 재료 AM으로 결합함으로써 구성될 수 있다. 제2 용기(40)는, 복수의 절연 부재(41, 42)를 접착 재료 AM으로 결합함으로써 구성될 수 있다.
절연 부재(31, 32, 33, 41, 42)는, 가열 가압 성형한 수지 함침 유리포 적층체(예를 들어, 적층판, 적층관)인 것이 바람직하다. 수지 함침 유리포 적층체는, 예를 들어 유리 부직포에 에폭시 수지 또는 페놀 수지 등의 수지를 함침시킨 부재(프리프레그)를 적층시키거나, 감거나 한 후에, 가열 가압 성형을 행함으로써 구성될 수 있다. 절연 부재(31, 32, 33, 41, 42)는, 예를 들어 유리 에폭시로 구성될 수 있다. 절연 부재(31, 32, 33, 41, 42)는, 25℃에 있어서의 체적 저항에 있어서 1×105Ωｍ 이상의 절연성을 갖는 것이 바람직하다. 절연 부재(31, 32, 33, 41, 42)로서 예시되는 절연 부재는, 판형 부재 또는 통형 부재일 수 있다. 판형 부재는, 유리 부직포의 연장 방향에 평행한 2개의 주면과, 유리 부직포의 적층 방향(유리 부직포의 연장 방향에 직교하는 방향)에 평행한 1 이상의 단부면(사각 형상의 판형 부재에 있어서는 4개의 단부면)을 가질 수 있다. 통형 부재는, 유리 부직포의 연장 방향을 따른 2개의 주면(외면 및 내면)과, 유리 부직포의 적층 방향(유리 부직포의 연장 방향에 직교하는 방향)에 평행한 2개의 단부면을 가질 수 있다. 이하에서 참조되는 도 2 내지 도 9에 있어서, 유리 부직포의 연장 방향은, 양방향 화살표로 나타내어져 있다.
도 2에는 절연 부품(50)의 기본 구조가 모식적으로 도시되어 있다. 절연 부품(50)은, 복수의 절연 부재로서, 제1 절연 부재(1210)와, 제2 절연 부재(1220)를 포함할 수 있다. 제1 절연 부재(1210)는, 제1 면(1211)을 갖는 제1 부분(1215)과, 제1 면(1211)과의 사이에 단차를 형성하는 제2 면(1212)을 갖고, 제1 부분(1215)보다도 두께가 얇은 제2 부분(1216)을 포함할 수 있다. 제1 면은, 예를 들어 시판하고 있는 유리 에폭시의 소재면이어도 된다. 제2 절연 부재(1220)의 접착면(도 2의 예에서는, 단부면(1221))과 제1 절연 부재(1210)의 제2 면(1212)은, 접착 재료 AM에 의해 결합되어 있다. 제2 면(1212)의 평면도는, 제1 면(1211)의 평면도보다도 양호하다. 제2 절연 부재(1220)의 접착면(단부면(1221))의 평면도는, 제1 절연 부재(1210)의 제1 면(1211)의 평면도보다도 양호한 것이 바람직하다. 여기에서, 면의 평면도는, 기하학적으로 올바른 평면으로부터의 당해 면의 괴리량의 크기를 의미하고, 평면도가 양호하다는 것은, 평면도를 나타내는 크기(괴리량의 크기)가 작다는 것을 의미한다.
이하, 도 3 내지 도 8을 참조하면서 절연 부품(50)의 보다 구체적인 구성예를 설명한다. 도 3에는 제1 실시 형태의 절연 부품(50)의 일부분의 구성이 도시되어 있다. 여기에서는, 대표적으로, 절연 부재(41)와 절연 부재(42)의 결합 구조를 예시하지만, 이 결합 구조의 예는, 다른 절연 부재의 결합 구조에도 적용 가능하다. 제1 실시 형태에서는, 절연 부재(41)와 절연 부재(42)를 서로 구별하기 위해, 편의적으로, 절연 부재(41)를 제1 절연 부재라 칭하고, 절연 부재(42)를 제2 절연 부재라 칭한다.
절연 부품(50)은, 제1 절연 부재(41)와, 제2 절연 부재(42)를 포함할 수 있다. 제1 절연 부재(41)는, 제1 면(411)을 갖는 제1 부분(415)과, 제1 면(411)과의 사이에 단차를 형성하는 제2 면(412)을 갖고 제1 부분(415)보다도 두께가 얇은 제2 부분(416)을 포함할 수 있다. 제2 절연 부재(42)의 접착면(도 3의 예에서는, 단부면(429))과 제1 절연 부재(41)의 제2 면(412)은, 접착 재료 AM에 의해 결합되어 있다. 제2 면(412)의 평면도는, 제1 면(411)의 평면도보다도 양호하다. 제2 절연 부재(42)의 접착면(단부면(429))의 평면도는, 제1 절연 부재(41)의 제1 면(411)의 평면도보다도 양호한 것이 바람직하다. 전형적으로는, 접착 재료 AM의 절연 성능은, 제1 절연 부재(41) 및 제2 절연 부재(42)의 절연 성능보다 낮다. 접착 재료 AM은, 적어도 경화 후의 상태가 절연성의 고체이면 되고, 예를 들어 에폭시 수지 또는 페놀 수지일 수 있다.
제1 절연 부재(41)의 제1 면(411)은, 제1 절연 부재(41)의 1개의 주면을 구성한다. 제1 절연 부재(41)는, 수지 함침 유리포 적층체로 구성될 수 있는 절연 부재이며, 휨 및/또는 불균일한 두께를 갖는다. 한편, 제1 절연 부재(41)의 제2 면(412)은, 제1 절연 부재(41)를 제작하기 위한 재료를 가공함으로써 형성된다. 그 때문에, 제2 면(412)의 평면도는, 제1 절연 부재(41)의 주면을 구성하는 제1 면(411)의 평면도보다 양호하다. 제2 면(412)은, 절결면이라 불려도 된다. 또한, 제2 절연 부재(42)의 접착면인 단부면(429)은, 제2 절연 부재(42)를 제작하기 위한 재료를 절단함으로써 형성된다. 그 때문에, 제2 절연 부재(42)의 단부면(429)의 평면도는, 제1 절연 부재(41)의 주면을 구성하는 제1 면(411)의 평면도보다 양호하다.
따라서, 제1 절연 부재(41)의 제2 면(412)과 제2 절연 부재(42)의 접착면(단부면(429))을 접착 재료 AM에 의해 결합한 구성은, 접착 재료 AM의 두께를 얇게 하는 데, 및 접착 재료 AM에 대한 기포의 혼입을 억제하는 데 유리하다. 이것은, 절연 부품(50)에 있어서의 접착 재료 AM을 통한 방전을 억제하는 효과를 발휘한다. 제1 면(411)과 제2 면(412) 사이에 단차를 갖는 구조는, 연면 거리를 길게 하는 데 유리하고, 이것은, 절연 성능을 향상시키는 데 기여할 수 있다. 한편, 제1 절연 부재(41)의 제1 면(411)과 제2 절연 부재(42)의 접착면을 접착 재료로 결합하는 비교예에서는, 제1 면(411)의 평면도의 나쁨을 보상하기 위해 접착 재료 AM의 두께를 두껍게 할 필요가 있고, 이것은 절연 성능의 저하를 초래할 수 있다. 또한, 이것은 기포의 혼입을 유발할 수 있다. 따라서, 이와 같은 비교예에서는, 접착 재료 AM을 통한 방전이 발생할 수 있다.
도 4에는 제2 실시 형태의 절연 부품(50)의 일부분의 구성이 도시되어 있다. 여기에서는, 대표적으로, 절연 부재(41)와 절연 부재(42)의 결합 구조를 예시하지만, 이 결합 구조의 예는, 다른 절연 부재의 결합 구조에도 적용 가능하다. 제2 실시 형태에서는, 절연 부재(41)와 절연 부재(42)를 서로 구별하기 위해, 편의적으로, 절연 부재(41)를 제1 절연 부재라 칭하고, 절연 부재(42)를 제2 절연 부재라 칭한다. 제2 실시 형태는, 제1 실시 형태의 변형예이며, 제2 실시 형태로서 언급하지 않는 사항은, 제1 실시 형태에 따른다. 제1 절연 부재(41)는, 제1 부분(415) 및 제2 부분(416) 외에, 제2 면(412)과의 사이에 단차를 형성하는 제3 면(413)을 갖고 제2 부분(416)보다도 두께가 두꺼운 제3 부분(417)을 갖는다. 제2 부분(416)은, 제1 절연 부재(41)의 오목부를 구성하도록 제1 부분(415)과 제3 부분(417) 사이에 배치되어 있다.
도 5에는 제3 실시 형태의 절연 부품(50)의 일부분의 구성이 도시되어 있다. 여기에서는, 절연 부재(33)가, 접착 재료 AM에 의해 결합된 4개의 절연 부재(33a, 33b, 33c, 33d)를 갖는 구성을 예시한다. 절연 부재(33a)는, 제1 실시 형태와 마찬가지로, 제1 면(33a1)을 갖는 제1 부분 및 제2 면(33a2)을 갖는 제2 부분을 포함하고, 절연 부재(33b)의 접착면(단부면)과 절연 부재(33a)의 제2 면(33a2)이 접착 재료 AM에 의해 결합되어 있다. 절연 부재(33b)는, 제1 실시 형태와 마찬가지로, 제1 면을 갖는 제1 부분 및 제2 면을 갖는 제2 부분을 포함하고, 절연 부재(33c)의 접착면(단부면)과 절연 부재(33b)의 제2 면이 접착 재료 AM에 의해 결합되어 있다. 절연 부재(33c)는, 제1 실시 형태와 마찬가지로, 제1 면을 갖는 제1 부분 및 제2 면을 갖는 제2 부분을 포함하고, 절연 부재(33d)의 접착면(단부면)과 절연 부재(33c)의 제2 면이 접착 재료 AM에 의해 결합되어 있다. 절연 부재(33d)는, 제1 실시 형태와 마찬가지로, 제1 면을 갖는 제1 부분 및 제2 면을 갖는 제2 부분을 포함하고, 절연 부재(33a)의 접착면(단부면)과 절연 부재(33d)의 제2 면이 접착 재료 AM에 의해 결합되어 있다.
도 6에는 제4 실시 형태의 절연 부품(50)의 일부분의 구성이 도시되어 있다. 여기에서는, 절연 부재(33)가, 접착 재료 AM에 의해 결합된 4개의 절연 부재(33a, 33b, 33c, 33d)를 갖는 구성을 예시한다. 절연 부재(33a)는, 제1 실시 형태와 마찬가지로, 제1 면(33a1)을 갖는 1개의 제1 부분 및 제2 면(33a2)을 갖는 2개의 제2 부분을 포함하고, 절연 부재(33b, 33d)의 접착면(단부면)과 절연 부재(33a)의 2개의 제2 면(33a2)이 접착 재료 AM에 의해 결합되어 있다. 절연 부재(33c)는, 제1 실시 형태와 마찬가지로, 제1 면을 갖는 1개의 제1 부분 및 제2 면을 갖는 2개의 제2 부분을 포함하고, 절연 부재(33b, 33d)의 접착면(단부면)과 절연 부재(33c)의 2개의 제2 면이 접착 재료 AM에 의해 결합되어 있다.
제3, 제4 실시 형태는, 절연 부재(42)의 구성에 적용할 수도 있다. 예를 들어, 도 3에 도시된 제1 실시 형태에 있어서의 절연 부재(42)를, 도 5 또는 도 6에 도시된 바와 같이 4개의 절연 부재(33a, 33b, 33c, 33d)를 접착 재료 AM으로 결합하여 구성되는 프레임형의 절연 부재로 치환할 수 있다. 이 경우, 제2 절연 부재(42)로서의 프레임형의 절연 부재의 단부면을 제1 절연 부재(41)의 제2 면(412)에 대하여 접착 재료 AM을 통해 강하게 압박할 수 있다. 이것은, 접착 재료 AM의 두께를 얇게 하는 데, 및 접착 재료 AM에 대한 기포의 혼입을 억제하는 데 유리하다. 이것은, 절연 부품(50)에 있어서의 접착 재료 AM을 통한 방전을 억제하는 효과를 발휘한다.
도 7에는 제5 실시 형태의 절연 부품(50)의 일부분의 구성이 도시되어 있다. 여기에서는, 절연 부재(33)가, 접착 재료 AM에 의해 결합된 4개의 절연 부재(33a, 33b, 33c, 33d)를 갖는 구성을 예시한다. 제5 실시 형태는, 절연 부재(42)의 구성에 적용할 수도 있다. 절연 부재(33a)는, 제2 실시 형태와 마찬가지로, 제1 면(33a1)을 갖는 1개의 제1 부분, 제2 면(33a2)을 갖는 2개의 제2 부분 및 제3 면(33a3)을 갖는 2개의 제3 부분을 포함하고, 절연 부재(33b, 33d)의 접착면(단부면)과 절연 부재(33a)의 2개의 제2 면(33a2)이 접착 재료 AM에 의해 결합되어 있다. 절연 부재(33c)는, 제2 실시 형태와 마찬가지로, 제1 면을 갖는 1개의 제1 부분, 제2 면을 갖는 2개의 제2 부분 및 제3 면을 갖는 2개의 제3 부분을 포함하고, 절연 부재(33b, 33d)의 접착면(단부면)과 절연 부재(33c)의 2개의 제2 면이 접착 재료 AM에 의해 결합되어 있다.
도 8에는 제6 실시 형태의 절연 부품(50)의 일부분의 구성이 도시되어 있다. 여기에서는, 대표적으로, 절연 부재(31)와 절연 부재(32)의 결합 구조를 예시하지만, 이 결합 구조의 예는, 다른 절연 부재의 결합 구조에도 적용 가능하다. 제6 실시 형태에서는, 절연 부재(31)와 절연 부재(32)를 서로 구별하기 위해, 편의적으로, 절연 부재(31)를 제1 절연 부재라 칭하고, 절연 부재(32)를 제2 절연 부재라 칭한다.
절연 부품(50)은, 제1 절연 부재(31)와, 제2 절연 부재(32)를 포함할 수 있다. 제1 절연 부재(31)는, 케이블(16)을 통과시키는 개구를 갖는 판형 부재일 수 있다. 제2 절연 부재(32)는, 원통 부재 등의 통형 부재일 수 있다. 제1 절연 부재(41)는, 제1 면(311)을 갖는 제1 부분과, 제1 면(311)과의 사이에 단차를 형성하는 제2 면(312)을 갖고 제1 부분보다도 두께가 얇은 제2 부분을 포함할 수 있다. 제2 절연 부재(42)의 접착면(도 8의 예에서는, 단부면(329))과 제1 절연 부재(31)의 제2 면(312)은, 접착 재료 AM에 의해 결합되어 있다. 제2 면(312)의 평면도는, 제1 면(311)의 평면도보다도 양호하다. 제2 절연 부재(32)의 접착면(단부면(329))의 평면도는, 제1 절연 부재(31)의 제1 면(311)의 평면도보다도 양호한 것이 바람직하다. 전형적으로는, 접착 재료 AM의 절연 성능은, 제1 절연 부재(31) 및 제2 절연 부재(32)의 절연 성능보다 낮다. 접착 재료 AM은, 예를 들어 에폭시 수지 또는 페놀 수지일 수 있다.
제1 절연 부재(31)의 제1 면(311)은, 제1 절연 부재(31)의 1개의 주면을 구성한다. 제1 절연 부재(31)는, 수지 함침 유리포 적층체로 구성될 수 있는 절연 부재이며, 휨 및/또는 불균일한 두께를 갖는다. 한편, 제1 절연 부재(31)의 제2 면(312)은, 제1 절연 부재(31)를 제작하기 위한 재료를 가공함으로써 형성된다. 그 때문에, 제2 면(312)의 평면도는, 제1 절연 부재(31)의 주면을 구성하는 제1 면(311)의 평면도보다 양호하다. 또한, 제2 절연 부재(32)의 접착면인 단부면(329)은, 제2 절연 부재(32)를 제작하기 위한 재료를 절단함으로써 형성된다. 그 때문에, 제2 절연 부재(32)의 단부면(329)의 평면도는, 제1 절연 부재(31)의 주면을 구성하는 제1 면(311)의 평면도보다 양호하다.
따라서, 제1 절연 부재(31)의 제2 면(312)과 제2 절연 부재(32)의 접착면(단부면(329))을 접착 재료 AM에 의해 결합한 구성은, 접착 재료 AM의 두께를 얇게 하는 데, 및 접착 재료 AM에 대한 기포의 혼입을 억제하는 데 유리하다. 이것은, 절연 부품(50)에 있어서의 접착 재료 AM을 통한 방전을 억제하는 효과를 발휘한다. 제1 면(311)과 제2 면(312) 사이에 단차를 갖는 구조는, 연면 거리를 길게 하는 데 유리하고, 이것은, 절연 성능을 향상시키는 데 기여할 수 있다.
도 9에는 제7 실시 형태의 절연 부품(50)의 일부분의 구성이 도시되어 있다. 여기에서는, 대표적으로, 절연 부재(31)와 절연 부재(32)의 결합 구조를 예시하지만, 이 결합 구조의 예는, 다른 절연 부재의 결합 구조에도 적용 가능하다. 제7 실시 형태에서는, 절연 부재(31)와 절연 부재(32)를 서로 구별하기 위해, 편의적으로, 절연 부재(31)를 제1 절연 부재라 칭하고, 절연 부재(32)를 제2 절연 부재라 칭한다. 제7 실시 형태는, 제6 실시 형태의 변형예이다.
제7 실시 형태에서는, 접착 부재 AM에 의해 제1 절연 부재(31)의 제2 면(312)과 결합되는 제2 절연 부재(32)의 접착면은, 제2 절연 부재(32)에 마련된 절결부(327)에 마련된 면(328)이다. 면(328)의 평면도는, 제1 절연 부재(31)의 제1 면(311)의 평면도보다도 양호한 것이 바람직하다. 또한, 면(328)의 평면도는, 제2 절연 부재(32)의 단부면(329)의 평면도보다도 양호한 것이 바람직하다. 제7 실시 형태의 당해 구성은, 제1 내지 제5 실시 형태에 적용되어도 된다. 즉, 접착면은, 제2 절연 부재의 단부면이 아니라, 절결부에 배치되어도 된다.
도 10에는 일 실시 형태의 X선 촬상 장치(200)의 구성이 도시되어 있다. X선 촬상 장치(200)는, X선 발생 장치(100)와, X선 발생 장치(100)로부터 방사되어 물체(191)를 투과한 X선(192)을 검출하는 X선 검출 장치(210)를 구비할 수 있다. X선 촬상 장치(200)는, 제어 장치(220) 및 표시 장치(230)를 더 구비해도 된다. X선 검출 장치(210)는, X선 검출기(212)와, 신호 처리부(214)를 포함할 수 있다. 제어 장치(220)는, X선 발생 장치(100) 및 X선 검출 장치(210)를 제어할 수 있다. X선 검출기(212)는, X선 발생 장치(100)로부터 방사되어 물체(191)를 투과한 X선(192)을 검출 혹은 촬상한다. 신호 처리부(214)는, X선 검출기(212)로부터 출력되는 신호를 처리하고, 처리된 신호를 제어 장치(220)에 공급할 수 있다. 제어 장치(220)는, 신호 처리부(214)로부터 공급되는 신호에 기초하여, 표시 장치(230)에 화상을 표시시킬 수 있다.
발명은 상기 실시 형태에 제한되는 것은 아니고, 발명의 정신 및 범위로부터 이탈하지 않고, 다양한 변경 및 변형이 가능하다. 따라서, 발명의 범위를 밝히기 위해 청구항을 첨부한다.

Claims (14)

  1. X선 발생부와,
    상기 X선 발생부를 수납하는 수납 용기와,
    상기 수납 용기의 내면과 상기 X선 발생부의 적어도 일부 사이에 배치된 절연 부품을 구비하고,
    상기 절연 부품은, 제1 절연 부재와, 제2 절연 부재를 포함하고, 상기 제1 절연 부재는, 제1 면을 갖는 제1 부분과 제2 면을 갖는 제2 부분을 포함하고, 상기 제1 면과 상기 제2 면에 의해 단차가 형성되고, 상기 제2 부분은 상기 제1 부분보다도 두께가 얇고,
    상기 제2 절연 부재의 접착면과 상기 제1 절연 부재의 상기 제2 면이 접착 재료에 의해 결합되고,
    기하학적으로 올바른 평면으로부터의 상기 제2 면의 괴리량의 크기는 기하학적으로 올바른 평면으로부터의 상기 제1 면의 괴리량의 크기보다 작은 것을 특징으로 하는 X선 발생 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    기하학적으로 올바른 평면으로부터의 상기 접착면의 괴리량의 크기는 기하학적으로 올바른 평면으로부터의 상기 제1 면의 괴리량의 크기보다 작은 것을 특징으로 하는 X선 발생 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 절연 부재는, 상기 제2 면과의 사이에 단차를 형성하는 제3 면을 갖고 상기 제2 부분보다도 두께가 두꺼운 제3 부분을 갖고, 상기 제2 부분은, 상기 제1 절연 부재의 오목부를 구성하도록 상기 제1 부분과 상기 제3 부분 사이에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 X선 발생 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1 절연 부재는, 판형 부재인 것을 특징으로 하는 X선 발생 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제2 절연 부재는, 판형 부재인 것을 특징으로 하는 X선 발생 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제2 절연 부재는, 통형 부재인 것을 특징으로 하는 X선 발생 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제1 절연 부재는, 수지를 함침시킨 유리포 적층체로 구성되고, 상기 제2 면은, 상기 유리포 적층체의 적층 방향에 직교하고 있는 것을 특징으로 하는 X선 발생 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제2 절연 부재는, 수지를 함침시킨 유리포 적층체로 구성되고, 상기 접착면은, 상기 제2 절연 부재를 구성하는 상기 유리포 적층체의 적층 방향과 평행한 것을 특징으로 하는 X선 발생 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 X선 발생부는, X선 발생관을 포함하고, 상기 X선 발생관은, 전자 방출부를 포함하는 음극 및 상기 전자 방출부로부터 방사된 전자가 충돌함으로써 X선을 발생시키는 타깃을 포함하는 양극을 갖는 것을 특징으로 하는 X선 발생 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 X선 발생부는, 상기 X선 발생관에 전압을 공급하는 전압 공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 X선 발생 장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 접착 재료는, 에폭시 수지인 것을 특징으로 하는 X선 발생 장치.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 제2 절연 부재의 상기 접착면은, 상기 제2 절연 부재의 단부면인 것을 특징으로 하는 X선 발생 장치.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 제2 절연 부재는, 절결부를 갖고, 상기 제2 절연 부재의 상기 접착면은, 상기 절결부에 마련된 면인 것을 특징으로 하는 X선 발생 장치.
  14. 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 기재된 X선 발생 장치와,
    상기 X선 발생 장치로부터 방사되어 물체를 투과한 X선을 검출하는 X선 검출 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 X선 촬상 장치.
KR1020227008129A 2019-09-03 2019-09-03 X선 발생 장치 및 x선 촬영 장치 KR102496079B1 (ko)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2019/034640 WO2021044525A1 (ja) 2019-09-03 2019-09-03 Ｘ線発生装置およびｘ線撮影装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20220037526A KR20220037526A (ko) 2022-03-24
KR102496079B1 true KR102496079B1 (ko) 2023-02-06

Family

ID=70858075

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020227008129A KR102496079B1 (ko) 2019-09-03 2019-09-03 X선 발생 장치 및 x선 촬영 장치

Country Status (7)

Country Link
US (1) US11140763B2 (ko)
EP (1) EP4006950A4 (ko)
JP (1) JP6704100B1 (ko)
KR (1) KR102496079B1 (ko)
CN (1) CN114303222B (ko)
TW (1) TWI746143B (ko)
WO (1) WO2021044525A1 (ko)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023188335A1 (ja) * 2022-03-31 2023-10-05 キヤノンアネルバ株式会社 Ｘ線発生装置およびｘ線撮像装置
WO2023188336A1 (ja) * 2022-03-31 2023-10-05 キヤノンアネルバ株式会社 電気部品、ｘ線発生装置およびｘ線撮像装置
JP7486694B1 (ja) 2023-01-25 2024-05-17 キヤノンアネルバ株式会社 Ｘ線発生装置およびｘ線撮像装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20150303022A1 (en) 2014-04-21 2015-10-22 Canon Kabushiki Kaisha Target and x-ray generating tube including the same, x-ray generating apparatus, x-ray imaging system
JP2016100290A (ja) 2014-11-26 2016-05-30 キヤノン株式会社 Ｘ線発生装置及びそれを用いたｘ線撮影システム
JP2018073625A (ja) 2016-10-28 2018-05-10 キヤノン株式会社 Ｘ線発生装置及び、ｘ線撮影システム

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3755953B2 (ja) * 1997-02-14 2006-03-15 株式会社日立メディコ 金属外囲器回転陽極ｘ線管の製造方法
DE19824008C2 (de) * 1998-05-29 2000-04-13 Juergen Ziehm Röntgenstrahler
US6835425B2 (en) * 2000-12-12 2004-12-28 Konica Corporation Layer-forming method using plasma state reactive gas
JP3978011B2 (ja) * 2001-10-31 2007-09-19 京セラ株式会社 ウエハ載置ステージ
US7145987B2 (en) * 2003-07-24 2006-12-05 Nikon Corporation X-ray-generating devices and exposure apparatus comprising same
JP2006202671A (ja) * 2005-01-24 2006-08-03 Ushio Inc 極端紫外光光源装置及び極端紫外光光源装置で発生するデブリの除去方法
KR101289502B1 (ko) * 2005-10-07 2013-07-24 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 Ｘ선관 및 비파괴 검사 장치
GB2517671A (en) 2013-03-15 2015-03-04 Nikon Metrology Nv X-ray source, high-voltage generator, electron beam gun, rotary target assembly, rotary target and rotary vacuum seal
JP6573380B2 (ja) * 2015-07-27 2019-09-11 キヤノン株式会社 Ｘ線発生装置及びｘ線撮影システム

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20150303022A1 (en) 2014-04-21 2015-10-22 Canon Kabushiki Kaisha Target and x-ray generating tube including the same, x-ray generating apparatus, x-ray imaging system
JP2016100290A (ja) 2014-11-26 2016-05-30 キヤノン株式会社 Ｘ線発生装置及びそれを用いたｘ線撮影システム
JP2018073625A (ja) 2016-10-28 2018-05-10 キヤノン株式会社 Ｘ線発生装置及び、ｘ線撮影システム

Also Published As

Publication number Publication date
CN114303222B (zh) 2022-07-08
JP6704100B1 (ja) 2020-06-03
WO2021044525A1 (ja) 2021-03-11
EP4006950A1 (en) 2022-06-01
EP4006950A4 (en) 2022-11-16
JPWO2021044525A1 (ja) 2021-09-30
CN114303222A (zh) 2022-04-08
US20210212188A1 (en) 2021-07-08
TWI746143B (zh) 2021-11-11
US11140763B2 (en) 2021-10-05
KR20220037526A (ko) 2022-03-24
TW202118353A (zh) 2021-05-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102496079B1 (ko) X선 발생 장치 및 x선 촬영 장치
US8357892B2 (en) Mass spectrometer
KR101823876B1 (ko) 스페이서를 이용한 적층형 엑스선관 장치
JP2007027085A (ja) 扁平型電池および該扁平型電池を用いた組電池
JP5771447B2 (ja) 電子増倍器
JP2016180707A (ja) 放射線撮像装置および放射線撮像システム
US20160126563A1 (en) Insulator and fuel cell device
WO2018163816A1 (ja) セパレータ、電池モジュール及び電池モジュールの製造方法
KR20120118021A (ko) 전류 검출기 및 그것에 사용하는 코어 부품
US20210335518A1 (en) Conductive foam tape and display panel
JP2007234366A (ja) 光電子増倍管および放射線検出装置
KR20180111755A (ko) 전계방출 소자
US10270105B2 (en) Insulator and fuel cell
US10969347B2 (en) X-ray generation apparatus and X-ray imaging apparatus
JP2018142459A (ja) 蓄電装置
CN104658841A (zh) X射线管
JP7430296B1 (ja) Ｘ線発生装置およびｘ線撮像装置
WO2014069073A1 (ja) 光検出ユニットおよびその製造方法
CN112803101B (zh) 用于高压电池的电池模块以及用于组装这种电池模块的方法
JP5624088B2 (ja) 有機ｅｌモジュール
JP2019057475A (ja) 蓄電モジュールの製造方法及び製造装置
JP2013257983A5 (ko)
CN113784490A (zh) 扫描x射线***
JP6551264B2 (ja) 質量分析装置
JP4711288B2 (ja) 検出素子および検出素子構造

Legal Events

Date Code Title Description
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant