KR102493257B1 - 기판을 처리하기 위한 방법 및 장치 - Google Patents

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KR102493257B1
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Abstract

다음 단계들을 포함하는 기판을 처리하거나 처리된 기판을 제조하는 방법:
a) 제1 압력의 제1 분위기에서 기판을 제1 처리하는 단계;
b) 이어서, 제2 압력의 제2 분위기에서 제1 처리된 기판을 제2 처리하는 단계로서, 제2 온도는 제1 온도와 다르고 제2 압력은 제1 압력보다 낮은 단계;
c) 단계 a)와 b) 사이에, 제1 처리된 기판을 제1 분위기에서 제2 분위기로 들여놓는 단계;
d) 들여놓는 단계 동안, 제1 처리된 기판을 제1 온도로부터 제2 온도로 가열 또는 냉각시키는 단계.
다음을 포함하는 대응하는 기판 처리 장치:
a) 제1 처리 스테이션;
b) 제2 처리 스테이션;
c) 제1 스테이션 출력과 제2 스테이션 입력 사이에 상호 연결된 로드 락 챔버;
d) 로드 락 챔버 내의 제1 처리된 기판과 열을 교환하도록 구성된 로드 락 챔버 내의 제어식 열교환 장치.

Description

기판을 처리하기 위한 방법 및 장치
본 발명은 기판을 처리하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이다.
본 발명은 다음의 기술로부터 안출된 것이다:
공작물 또는 기판의 표면을 진공 처리시 표면을 진공 처리 공정, 예를 들어, 박막 증착 공정, 진공 에칭 공정 등에 적용하기 전에 기판을 탈기시키는 것이 종종 필요하다. 가스 처리 분위기에서 후속 진공 처리 공정에 적용될 수 있는 처리 분위기의 압력보다 상당히 높은 압력에서 가스 제거가 수행된다. 가스 제거는 종종 주위 압력에서 수행된다. 또한, 기판은 종종 탈기 공정에 의해 후속 진공 처리 공정에 대하여 너무 높은 온도로 가열된다. 따라서, 탈기 공정과 진공 처리 공정의 시작 사이에 기판을 냉각시켜야 한다. 탈기 공정 후 기판을 냉각시키는 것은 탈기에서 진공 처리로 이동하는 동안 종종 수행된다. 따라서, 한편으로는 전체 처리 설비의 풋 프린트가 증가되고, 다른 한편으로는 이러한 냉각 단계 동안 각각의 표면을 손상시키지 않도록 조치가 취해져야 한다.
기판 이송 및 냉각 방법은 미국공개특허 제2017/0117169 A1호에 개시된다. 그러나, 특정 압력 조건을 제어하기 위한 로드-락 메커니즘(load-lock mechanism)에서, 진공 처리된 고온 웨이퍼에만 사용되는 냉각 부재가 제공된다.
보다 일반적인 관점에서, 가스 제거 기술과 후속하는 기판 표면의 진공 처리 기술로부터, 본 발명의 목적은 다음 경계 조건에서 기판을 처리하고, 표면 처리된 기판을 제조하고, 각각의 기판 처리 장치를 제조하는 대안적인 방법을 수립하는 것이다:
- 기판은 제1 압력의 제1 분위기에서 제1 처리되어, 제1 온도를 갖는 제1 처리된 기판을 생성하고;
- 이어서, 제1 처리된 기판은 제2 압력의 제2 분위기에서 제2 처리되어, 제2 처리는 제1 처리된 기판의 제2 온도에서 시작된다. 제2 처리는 처리된 기판을 생성한다. 제2 온도는 제1 온도와 다르고, 추가로 제2 압력은 제1 압력보다 낮다.
이 목적은 기판을 처리하거나 처리된 기판을 제조하는 방법에 의해 달성되며, 다음 단계들을 포함한다:
a) 제1 압력의 제1 분위기에서 기판을 제1 처리하여, 제1 온도를 갖는 제1 처리된 기판을 생성하는 단계;
b) 이어서, 제2 압력의 제2 분위기에서 제1 처리된 기판을 제2 처리하고, 제1 처리된 기판의 제2 온도에서 제2 처리를 시작하여 처리된 기판을 생성하는 단계. 제2 온도는 제1 온도와 다르고 제2 압력은 제1 압력보다 낮다;
c) 단계 a)와 b) 사이에, 제1 처리된 기판을 제1 분위기에서 제2 분위기로 들여놓는(locking-in) 단계;
d) 들여놓는 단계 동안, 제1 처리된 기판을 제1 온도로부터 제2 온도로 가열 또는 냉각시키는 단계.
따라서, 더 높은 처리 제1 압력에서 더 낮은 처리 제2 압력까지의 기판의 들여놓는 단계는 추가로 제1 처리 단계 이후 기판의 일반적인 온도를 제2 처리를 수행하기 위해 요구되는 기판 온도에 맞추기 위해 이용된다. 제1 및 제2 처리를 직접 연속적으로 수행하기 위해 제공되는 장비에 대한 추가 장비가 필요하지 않고 기판 표면 손상이 발생하지 않는 들여놓는 단계가 보증되는 조건을 이용하기 때문에 전체 장치의 풋 프린트(foot print)는 감소된다.
본 발명에 따른 방법의 일 변형에서, 제1 온도는 제2 온도보다 높다.
본 발명에 따른 방법의 일 변형에서, 제1 처리는 탈기이다.
일 변형에서, 가열된 질소에 의해 탈기가 촉진될 수 있거나, 또는 다른 가스가 열을 전달하고 탈기 물질들을 플러시하기 위해 사용될 수 있다.
본 발명에 따른 방법의 일 변형에서, 제1 압력은 예를 들어, 탈기 제1 처리에 사용되는 대기압이다.
제1 온도에서 제2 온도로의 기판 온도의 적응이 기판을 저압의 제2 처리에 들여놓는 단계 동안 수행된다는 사실에도 불구하고, 일부 경우에 그리고 본 발명에 따른 방법의 일 변형에 따르면, 기판 이송은 제1 처리와 들여놓는 단계 사이에 전용 이송 장치에 의해 수행된다.
그럼에도 불구하고, 이러한 운반은 기판 온도의 적응이 이러한 운반 동안에만 수행된 경우에 비해 상당히 짧을 수 있는데, 이러한 이송은 온도 적응 요구가 아니라 기계적 이송 요구에 따라 주로 고안되어야하기 때문이다.
일 변형에서, 방금 언급된 바와 같이 이송 또는 이의 적어도 일부는 대기압 또는 심지어 주위 분위기(ambient atmosphere)에서 수행된다.
본 발명에 따른 방법의 일 변형에서, 제2 압력은 대기압 미만(sub-atmospheric pressure)이다. 대기압 미만의 압력은 대기압보다 낮은 압력으로 간주된다. 대기압 미만의 동의어는 진공이다. 진공은 저진공에서 중진공, 고진공 및 초고진공까지 몇 가지 압력 범위로 분류된다. 이에 의해, 제2 압력은 기상에서의 대류 또는 전도에 의한 열 전달을 무시할 수 있는 진공 레벨일 수 있다.
본 발명에 따른 방법의 일 변형에서, 감압 속도에서 상기 들여놓는 단계 동안 압력이 감소되고, 열 교환 시간 범위가 들여놓는 단계 동안 제공되는 단계를 포함하며, 이러한 열 교환 시간 범위 동안, 압력 감소율은 적어도 제1 처리된 기판의 하나의 연장된 표면 측면을 따라, 상기 열 교환 시간 범위 이전 및 이후 적어도 하나에서 압력 감소율과 비교하여 감소된다.
제1 압력에서 제2 압력으로의 감압의 다른 변형에서, 열 교환이 충분히 빠르며 연장된 열 교환 시간 범위가 필요하지 않은 경우 감압 속도 중간(pressure reduction rate interim)을 줄일 필요가 없다.
본 발명에 따른 방법의 일 실시예에서, 기판과 가열 또는 냉각 표면의 적어도 부분적인 접촉은 들여놓는 단계 동안 설정된다. 기판의 뒷면이 단지 점별 접촉(pointwise contact)해야만 하는 경우에, 부분 접촉은 예를 들어, 핀 또는 웹(webs)과 같은 가열 또는 냉각 표면으로부터 돌출되는 높이까지 기판의 접촉으로 구성될 수 있다. 가열 또는 냉각 표면에서 리세스에 의해 부분 접촉이 실현될 수도있다.
본 발명에 따른 방법의 일 실시예에서, 적어도 부분적인 접촉은 기판과 가열 또는 냉각 표면의 표면 대 표면 접촉이며, 들여놓는 단계 동안 설정된다.
본 발명에 따른 방법의 일 실시예에서, 기판은 접촉을 설정하기 위해 가열 또는 냉각 표면을 향하여 그리고 가열 또는 냉각 표면 상으로 바이어스된다. 바이어스 수단은 특히 가열 또는 냉각 표면 상으로 기판을 클램핑 또는 가압하는 것을 의미한다.
기판이 웨이퍼, 디스크, 인쇄 회로 기판 또는 단단한 패널과 같이 단단한 경우, 언급된 표면 대 표면 접촉 및 각각의 편향이 필요하지 않을 수 있다. 이러한 단단한 기판과 냉각 또는 가열 표면 사이의 명확한 간격 설정 및 이 간격에서 들여놓는 단계 동안의 시간 간격 동안 가스상에서 열 대류 또는 열 전도가 무시될 수 없는 가스 압력을 유지하는 것은 들여놓는 단계 동안 제2 온도에 대한 제1 온도의 적응을 고정시킬 수 있다.
이러한 기판이 평면인 경우, 냉각 또는 가열 표면은 일반적으로 평면이다. 이러한 단단한 기판이 비평면, 예를 들어, 광학 렌즈와 같이 구부러지거나 굴곡진 경우, 냉각 또는 가열 표면의 형상은 예를 들어, 오목 또는 볼록한 형상에 맞게 조정된다.
단단한 기판과 냉각 또는 가열 표면 사이의 표면 대 표면 접촉을 설정하는 것이 추가적인 직접 열 전도에 의해 항상 열 교환을 개선시킬 것이라는 사실에도 불구하고, 각각의 기판 영역에서 이러한 기계적 접촉이 허용되는 경우에만 설정될 수 있다.
그럼에도 불구하고 기판이 크고 얇은 기판일 때 단단하지 않고 플로피(floppy)인 경우, 언급된 표면 대 표면 접촉은 피할 수 없지만 제어되지 않으며, 언급된 편향에 의해 개선되고 제어되어야 한다.
본 발명에 따른 방법의 일 변형에서, 가열 또는 냉각 표면 상으로의 편향은 기계적으로 및 정전기적으로 적어도 하나에 의해 수행된다. "기계적으로"의 일 변형은 홀드-다운(hold-down) 장치, 예를 들어, 다운 홀더 링 또는 클램핑 링에 의한 것이다. "기계적으로"는 가스 압력 차이에 의한 편향도 포함한다.
본 발명에 따른 방법의 일 변형에서, 언급된 편향은 기판 표면의 나머지가 노출되는 일반적인 압력(pb)과 비교하여 접촉 영역에서 더 낮은 압력(pa)을 적용함으로써, 가열 또는 냉각 표면에 대면하는 기판 표면과 기판 표면의 나머지 사이에 압력 차이(Δpab)를 설정하는 단계를 포함한다.
이에 의해, 기판은 냉각 또는 가열 표면에 양의 압력 차이 Δpab(= pb-pa)에 의해 압력 바이어스된다. 일 변형에서, 홀드-다운 장치가 추가로 사용될 수 있다.
일 변형에서, 압력 차이 Δpab는 300 Pa 이상, 또는 300 Pa ≤ Δpab ≤ 100000 Pa 범위, 또는 500 Pa ≤ Δpab ≤10000 Pa 범위로 선택된다.
일 변형에서, 언급된 바와 같은 일반적인 압력(pb)은 400 Pa 이상, 또는 400 Pa ≤ pb ≤ 100000 Pa의 범위, 또는 1000 Pa ≤ pb ≤ 20000 Pa의 범위로 선택된다.
본 발명에 따른 방법의 일 변형에서, 바람직한 양 또는 음의 압력 차이 Δpab는 음의 피드백 제어 루프에 의해 설정된다.
이것은 로드 락 챔버에서 기판과 가열 및/또는 냉각 표면 사이에 제1 압력을 설정하는 단계, 로드 락 챔버의 나머지 부피에서 제2 압력을 설정하는 단계를 포함하고, 네거티브 피드백(negative feedback)은 들여놓는 단계 동안 적어도 미리 결정된 시간 간격 동안 미리설정된 차이 값 또는 미리설정된 시간 경과 차이에서 제1 및 제2 압력의 차이를 제어한다. 이에 의해, 이러한 네거티브 피드백 제어 루프 또는 시스템은 각각의 값에 대한 제1 압력 및 제2 압력을 제어하거나 또는 각각의 시간 경과를 따르도록 하여 간접적으로 언급된 차이를 제어할 수 있다. 대안으로, 언급된 차이는 원하는 값으로 제어되거나 원하는 시간 경과에 따라 직접적으로 네거티드 피드백일 수 있다. 후자의 경우, 언급된 압력 중 하나, 가장 흔히 제2 압력은 원하는 값으로 또는 원하는 시간 경과에 따라 부가적으로 네거티브 피드백 제어된다.
양의 압력 차이 Δpab 대신에, 본 발명에 따른 방법의 다른 변형에서, 제1 처리된 기판의 대향 표면 측에서 지배적 압력(pb)과 비교하여 접촉 영역에서 더 높은 압력(pa)을 갖는 역압차(inverse pressure difference)는 네거티브 피드백 제어 루프에 의해 제어된다. 그러나, 이 변형예는 역압차력(negative pressure difference force)에 대항하여 기판을 유지하기 위한 유지 장치가 필요하다. 이러한 변형은 단단한 기판과 냉각 또는 가열 표면 사이의 간격과 조합하여 적절하고, 가스 상태에서 열 대류 또는 열 전도가 개선될 수 있는 가스 압력의 들여놓는 단계 동안의 시간 간격 동안 이 간격을 유지한다. 열교환 동안 이 간격으로, 예를 들어, 헬륨 또는 아르곤과 같이 더 높은 열 전도율을 갖는 가스를 도입하는 것이 또한 가능하다.
본 발명에 따른 방법은 상기 들여놓는 단계를 수행하는 것과 동일한 장소에서 내놓는(locking out) 단계를 통해 제2 처리 기판으로부터 제2 처리된 기판을 제거하는 추가 변형을 포함한다.
내놓는 단계 중 일 변형에서, 제2 처리된 기판의 추가 가열 또는 냉각이 수행된다. 일 변형에서, 추가 가열 또는 냉각은 들여놓는 단계 동안 수행되는 냉각 또는 가열과 동일한 수단에 의해 수행되는 냉각 또는 가열이다.
본 발명에 따른 방법의 일 변형에서, 냉각 또는 가열, 특히 냉각을 개시하는 것은 공정에서 잠금을 위한 압력을 낮추기 시작하는 것보다 늦게 미리결정된 시간 범위에서 수행된다.
진공에서 플로피 기판을 가열 또는 냉각하는 방법은 상기 가열 또는 냉각 표면을 향한 상기 기판을 가로질러 압력 강하를 발생시킴으로써 상기 기판을 가열 또는 냉각 표면 상으로 가압하는 단계를 포함한다.
본 발명에 따른 방법의 둘 이상의 변형은 일관성이 있는 한 조합될 수 있다.
본 발명의 목적은 또한 기판 처리 장치에 의해 달성되며, 상기 장치는 다음을 포함한다:
a) 적어도 하나의 기판에 대한 제1 처리 스테이션으로서, 상기 적어도 하나의 기판을 제1 분위기에서 제1 압력으로 처리하도록 구성되고 제1 처리된 기판에 대한 제1 스테이션 출력을 포함하는 제1 처리 스테이션;
b) 적어도 하나의 기판에 대한 제2 처리 스테이션으로서, 상기 적어도 하나의 제1 처리된 기판을 상기 제1 압력보다 낮은 제2 압력의 제2 분위기에서 처리하도록 구성되고 제1 처리된 기판에 대한 제2 스테이션 입력을 포함하는 제2 처리 스테이션;
c) 상기 제1 스테이션 출력과 상기 제2 스테이션 입력 사이에 상호 연결된 로드 락 챔버;
d) 상기 로드 락 챔버 내의 제1 처리된 기판과 열을 교환하도록 구성된 상기로드 락 챔버 내의 제어식 열교환 장치로서, 상기 제1 처리된 기판이 상기 제1 처리 스테이션으로부터 상기 제2 처리 스테이션으로 상기 로드 락 챔버를 통해 로드-락 될 수 있도록 제어되는, 제어식 열교환 장치.
제어식 열교환 장치는 예를 들어, 온도를 조절할 수 있는 하나 이상의 능동 가열 또는 냉각 요소에 의해 제어된다. 온도는 유동 온도 또는 가열 또는 냉각 유체의 공급 온도, 또는 조정 가능한 전기 요소에 의해 조정될 수 있다.
본 발명에 따른 장치의 일 실시예에서, 제어식 열교환 장치는 가열 또는 냉각 유닛을 포함한다. 일 실시예에서, 제어식 열교환 장치는 가열 냉각 유닛을 포함한다.
본 발명에 따른 장치의 일 실시예에서, 제1 처리 스테이션은 탈기 스테이션이다.
탈기 기판을 위한 탈기 스테이션의 예는 본 출원과 동일한 출원인의 미국공개특허 제2016/0336204 A1호에 기재되어 있다. 탈기(degassing)는 예를 들어, 하나 이상의 스퍼터 증착 공정에 의해 대기압 미만의 압력에서 처리되기 전에 예를 들어, 중합체 매트릭스 기판에 대한 중요한 처리 공정 단계이다. 본 발명에 따른 장치의 일 실시예에서, 제1 압력은 대기압이다.
본 발명에 따른 장치의 일 실시예에서, 제1 스테이션 출력과 로드 락 챔버 사이에 상호 연결된 이송 장치가 제공된다.
본 발명에 따른 장치의 일 실시예에서, 운반 장치는 대기압 및 대기 중 적어도 하나에서 기판을 운반하도록 설계된다.
본 발명에 따른 장치의 일 실시예에서 제2 처리 스테이션은 대기압 보다 낮은 처리 스테이션이다. 이러한 제2 처리 스테이션은 예를 들어 유럽특허 제EP 2 409 317 B1호에 개시된 바와 같이 중앙 진공 이송 챔버 주변에 위치된 하나 이상의 진공 공정 챔버를 구비한 진공 설비일 수 있다.
본 발명에 따른 장치의 일 실시예에서, 로드 락 챔버 내의 열 교환 장치는 예를 들어, 공작물 캐리어상의 가열 및/또는 냉각 표면을 포함한다.
본 발명에 따른 장치의 추가 실시예는 가열 및/또는 냉각 표면 상으로 기판을 편향하도록 구성된 편향 장치를 포함한다.
본 발명에 따른 장치의 일 실시예에서, 편향 장치는 장착된 기판을 갖는 가열 및/또는 냉각 표면을 따른 압력과 상기 가열 및/또는 냉각 표면으로부터 떨어진 로드 락 챔버 내의 일반적인 압력 사이의 압력 차이를 제어하도록 구성된 압력 제어 부재를 포함한다.
본 발명에 따른 장치의 일 실시예에서, 압력 제어 부재는 가열 및/또는 냉각 표면 내의 적어도 하나의 개구에 도관에 의해 연결된 제1 펌핑 라인 장치 및 상기 가열 및/또는 냉각 표면으로부터 떨어진 로드 락 챔버에 대한 적어도 하나의 추가 개구에 다른 도관에 의해 연결된 제2 펌핑 라인 장치를 포함한다.
본 발명에 따른 장치의 일 실시예에서 가열 및/또는 냉각 표면의 적어도 하나의 개구는 가열 및/또는 냉각 표면에 그루브 패턴으로 분기된다.
본 발명에 따른 장치의 일 실시예에서 제1 및 제2 펌핑 라인 장치는 공통 펌핑 흡입 포트로부터 분기된다.
본 발명에 따른 장치의 일 실시예에서, 제1 및 제2 펌핑 라인 장치 중 적어도 하나는 압력 제어 밸브 또는 유량 제어 밸브를 포함한다.
본 발명에 따른 장치의 일 실시예에서, 장착된 기판을 갖는 상기 가열 및/또는 냉각 표면을 따른 압력과 상기 가열 및/또는 냉각 표면으로부터 떨어진 로드 락 챔버에서의 일반적인 압력 사이의 압력 차이(Δpab)를 제어하기 위한 네거티브 피드백 제어 시스템이 제공되어 원하는 값을 갖거나 원하는 시간 경과를 따른다.
본 발명에 따른 장치의 일 실시예에서, 열 교환 장치는 기판 캐리어 표면 및 기판 캐리어 표면의 주변을 따라 림 또는 클램핑 링을 갖는 기판 캐리어를 포함한다. 언급된 주변을 따라 림 또는 클램핑 링은 장착된 기판의 가장자리에서 가스 흐름 저항을 증가시켜, 기판 반대측의 접촉 영역과 로드 락 챔버의 나머지 체적 사이에 적은 가스가 흐르도록 한다. 다시 말해서, 압력 균등화는 기판의 주변을 따라 이러한 림 또는 클램핑 링에 의해 제공되는 압력 스테이지 또는 유동 저항에 의해 느려진다. 클램핑 링의 동의어는 다운 홀더 링이다.
본 발명에 따른 장치의 일 실시예에서, 열교환 장치는 가열 유체 및/또는 냉각 유체에 대한 도관을 포함한다.
본 발명에 따른 장치의 일 실시예에서, 제2 스테이션 입력은 또한 제2 스테이션 출력이고, 로드 락 챔버는 양방향 기판 취급 작동을 위해 구성된다.
명백하게, 제2 스테이션은 별도의 출력 로드 락 챔버를 구비하여, 입력 로드 락 챔버 및 출력 로드 락 챔버는 각각 단방향으로 작동될 수 있다.
일 실시예에서, 본 발명의 장치는 로드 락 챔버 내에 다음을 포함한다:
- 가열 및/또는 냉각 표면;
- 기판에 대한 기판 캐리어로서, 상기 캐리어 상의 기판은 상기 가열 및/또는 냉각 표면과 내부 공간을 형성하는, 기판 캐리어;
- 상기 내부 공간에 작동 가능하게 연결된 제1 압력 센서;
- 상기 로드 락 챔버의 나머지에 작동 가능하게 연결된 제2 압력 센서;
- 상기 제1 및 제2 압력 센서에 의해 측정된 압력 차이가 미리설정된 압력 차이 값과 같거나 미리설정된 압력 차이 시간 경과를 따르도록 제어되는 제어기를 구비한 네거티브 피드백 제어 루프.
도면은 본 발명의 원리 및 특정 실시예를 개략적 다이어그램으로 도시하지만, 본 발명의 범위를 제한하지는 않는다.
도 1은 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 실시예를 간략하고 개략적으로 도시한다.
도 2는 본 발명에 따른 장치의 일 실시예에 적용된 제1 처리 스테이션을 간략하고 개략적으로 도시한다.
도 3은 본 발명의 장치의 실시예에 따른 제어식 열교환 장치 및 압력 제어 부재를 구비한 로드 락 챔버를 개략적으로 단순화한 도면이다.
도 4는 본 발명에 따른 장치의 일 실시예에서 제어 가능하게 설정된 로드 락 챔버 내의 제어 압력 경과를 Δpab> 0으로 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명에 따른 장치의 일 실시예에서 제어 가능하게 설정된 로드 락 챔버 내의 제어된 압력 경과를 Δpab< 0으로 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 장치의 일 실시예에 따른 차압 제어를 위한 네거티브 피드백 제어 시스템을 구비한 로드 락 챔버를 개략적으로 단순화한 도면이다.
도 7a 및 도 7b는 본 발명의 장치의 실시예에 따른 기판 캐리어 표면의 주변을 따른 림을 간략하게 개략적으로 도시한다.
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 장치의 방법 및 실시예의 변형예에 따라 기판을 기계적으로 편향하는데 사용되는 홀드-다운 장치를 간략하게 개략적으로 도시한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 개략도이다. 이 기판 처리 장치는 본 발명의 교시에 따라 기판을 처리하는 방법 또는 처리된 기판을 제조하는 방법에 적합하다. 도시된 바와 같은 기판 처리 장치는 제1 압력(p1)의 제1 분위기에서 적어도 하나의 기판(7)을 처리하여 제1 처리된 기판(7)의 온도(T1)를 생성하도록 구성된 제1 처리 스테이션(1)을 포함한다. 이어서, 기판(7)은 제2 압력(p2)의 제2 분위기에서 제2 기판 온도(T2)에서 시작하여 제2 처리 스테이션(2)에서 제2 처리를 거친다. 제2 압력(p2)은 제1 압력(p1)보다 낮다. 낮은 압력 p2는 제2 처리 스테이션(2)에 연결된 진공 펌프(6)에 의해 설정된다. 제1 처리 스테이션(1)의 기판 출력과 제2 처리 스테이션(2)의 기판 입력 사이에 로드 락 챔버(3)가 상호 연결된다. 로드 락 챔버(3)는 로드 락 밸브(4)를 포함한다. 로드 락 챔버(3)는 기판(7)과 열을 교환하도록 구성된 제어식 열교환 장치(5)를 더 포함하여 제1 온도(T1)로부터 적어도 제2 온도(T2)로 제1 처리된 기판(7)을 가열 또는 냉각시킨다. 도 1에서, 열교환은 냉각되고, 따라서 T1은 T2보다 높다. 장치는 선택적으로 제1 처리된 기판(7)을 운반 및 취급하기 위한 운반 장치(8)를 포함할 수 있다.
도 2는 본 발명의 제1 처리 스테이션(1)의 일 실시예로서 탈기 스테이션(9)을 개략적으로 도시한다. 탈기는 하나 이상의 스퍼터 증착 공정에 의한 것과 같은 제2 처리에서 대기압 미만의 증착 기술에 의해 처리되기 전에 예를 들어, 폴리머 매트릭스 기판에 대한 중요한 처리 공정 단계이다. 탈기 장치 스테이션(9)에서, 기판(7)은 예를 들어, 가열된 질소의 흐름에서 탈기된다(파형 화살표로 표시). 질소는 열을 기판으로 전달하고 증발된 탈기 생성물을 기판(7)으로부터 탈기 장치 스테이션(9)의 배기구(10)로 플러싱한다. 제공되는 경우, 탈기 장치 스테이션에서의 압력(p1)은 물론 이송 장치(8)의 적어도 일부를 따라 가능하면 주변 대기압(patm)에 있을 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 제어식 열교환 장치(5) 및 압력 제어 부재(11)를 구비한 로드 락 챔버(3)의 개략적이고 단순화된 도면을 도시한다. 로드 락 챔버(3)는 로드 락 밸브(4)를 포함한다. 열교환 장치(5)는 가열 또는 냉각 표면을 갖는 테이블 형상을 갖는다. 제어된 작동에 따라 냉각 및 가열에 동일한 표면이 사용될 수 있다. 기판(7)은 열 교환을 위해 가열 또는 냉각 표면에 놓인다. 압력 차이에 의해 가열 및/또는 냉각 표면 상으로 기판(7)을 바이어스하기 위해, 압력 제어 부재(11)는 로드 락 챔버(3)와 관련된다. 도시된 실시예에서, 압력 제어 부재(11)는 도관에 의해 가열 및/또는 냉각 표면의 개구(13)에 연결된 제1 펌핑 라인 장치를 포함한다. 이 도관에서, 개구부(13)로 이어지는 장착된 기판(7)과 열교환 장치(5)의 가열 및/또는 냉각 표면 사이의 접촉 영역에서 효과적인 압력(pa)이 필요하다면 측정될 수 있다(도 6에 도시). 개구(13)는 도면에 도시된 바와 같이 가열 및/또는 냉각 표면에서 그루브 패턴으로 분기될 수 있다. 압력 제어 부재(11)는 가열 및/또는 냉각 표면으로부터 떨어진 로드 락 챔버(3)에 다른 도관에 의해 연결된 제2 펌핑 라인 장치를 더 포함한다. 각각의 챔버 내에서 챔버 근처에 있는 다른 도관에서, 로드 락 챔버(3)의 일반적인 압력에 대응하는 압력(pb)은 필요하다면 (도 6에 도시된 바와 같이) 측정될 수 있다. 도시된 실시예에서, 제1 및 제2 펌핑 라인 장치는 도 3에 도시된 바와 같이 압력 제어 부재(11)의 공통 진공 펌프(12)의 흡입 포트로부터 분기된다.
압력은 기판(7)의 반대면의 면적을 따르고, 로드 락 챔버의 잔여 부피 내 압력(pb) 및 따라서, 압력 차이 Δpab(= pb-pa)는 펌핑 라인 배열에서 제어 밸브(CV 및 SV)에 의해 조정된다.
열 교환 장치(5)의 가열 및/또는 냉각 표면을 향하고 그 위에 기판(7)을 바이어스하기 위한 압력을 제공하기 위해, pa는 pb보다 낮게 제어된다. 차단 밸브(SV)는 또한 조절 가능한 제어 밸브(CV)일 수 있다. 하나의 단일 제어 밸브(CV 또는 SV)는 압력 차이 Δpab를 설정 및 제어하기에 충분할 수 있다.
도 4는 본 발명의 교시에 따른 로드 락 챔버(3)의 제어된 압력 경과의 변형을 도시한다. 기판(7)을 로드 락 챔버(3)에 들여놓고 제어된 열 교환 장치(5)의 가열 및/또는 냉각 표면 상에 놓은 후, 압력 제어 부재(11)의 진공 펌프(12)는 개방 밸브(CV 및 SV)로 시작된다. 도 4는 pa 및 pb가 어떻게 감소하도록 제어되는지에 대한 2개의 예시적인 압력 곡선을 도시하여, 기판 결과의 압력 차이 편향에 대한 양의 압력 차이 Δpab(= pb-pa) > 0를 도시한 도면이다. 도 4에 따른 압력 경과는 열 교환 장치(5)와 기판(7) 사이의 표면 대 표면 접촉 열 교환을 제공한다. 표면 대 표면 열 교환 접점은 최상의 열 전달을 제공한다. 이러한 압력 제어에 따르면, 기판은 제어 가능하게 감소된 감압 감소율로 열교환 시간 범위(t) 동안 열교환 장치(5)의 가열 및/또는 냉각 표면과 표면 접촉된다. 열 교환 장치(5)는 더 낮은 압력 수준에 도달했을 때 들여놓는 단계 시작부터 활성화될 수 있거나, (도 6에 도시된 바와 같이 열 교환 장치(5)에 대한 제어(18)에 의해) 시간 범위 Δt의 시작에서 활성화될 수 있다. 후자의 작용 과정은 제1 처리된 기판상의 습도 응축을 피하기 위하여 냉각의 경우 유리할 수 있다. 시간 간격 Δt 이후에 밸브(CV 및 SV)가 다시 완전히 개방되고, 로드 락 챔버(3)는 제2 처리 스테이션(2)의 압력(p2)과 거의 동일한 저압으로 펌핑되어, 기판(7)이 제2 처리 스테이션(2)으로 후속적으로 전달될 수있게 한다.
도 5: 기판(7)이 그 뒷면에 기계적 접촉을 허용하지 않으면, 일 변형에서, 도 4에 도시된 것과 반대되는 압력 경과가 도 5에 도시된 바와 같이 제어 가능하게 설정될 수 있다. 이 경우에, 기판(7)의 뒷면과 열 교환 장치(5)의 가열 및/또는 냉각 표면 사이의 간격이 유지되어야 하고, 가스 압력 pa는 언급된 공간에서 가스를 가로지르는 열 전도를 향상시키기 위해 가능한 비교적 높게 유지될 수 있다. 따라서, pa는 기판(7)의 뒷면과 열교환 장치(5)의 가열 및/또는 냉각 표면 사이의 공간에서의 배출 속도가 로드 락 챔버(3)의 나머지 부피의 배출 속도보다 낮게 유지되므로 pb보다 높게 유지되고, 도 4의 Δt와 유사하게, 적어도 가열 또는 냉각 시간 동안 감소된다. 또한, 이러한 pa 및 pb의 제어는 도 3에 도시된 바와 같이 제어 밸브(CV 및/또는 SV)에 의해 수행될 수 있다. 그러나, 이 경우 음의 압력 차이 Δpab로 인해(Δpab = pb-pa< 0), 이 변형은 음의 압력 차이의 힘에 대항하여 기판을 유지하기 위한 유지(hold-down) 장치가 필요하다. 이러한 실시예가 도 8b에 도시된다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 압력 제어 부재(도 3에 설명)와 압력 차이 제어를 위한 네거티브 피드백 제어 시스템을 구비한 로드 락 챔버를 개략적으로 단순화한 도면이다. 도 3에 도시된 장치 외에, pa 및 pb 에 대한 압력 센서(14 및 15), 네거티브 피드백 제어 루프의 조정 부재로서 밸브(CV1 및/또는 CV2) 중 적어도 하나에 대한 압력 측정 입력 및 출력을 갖는 제어기(16)를 포함하는 피드백 제어 시스템이 도 6에 설치된다. 유닛(17)에 의해 압력 레벨 및 압력 차이 pab에 대한 원하는 값 또는 압력 차이 pab의 원하는 시간 경과가 미리설정된다. 제어기(16)는 제어 편차, 즉 장치(17)에 미리 설정되어 있고 측정되는 순간적으로 존재하는 압력 차이인, 순간적으로 요구되는 압력차의 차이에 따라 밸브(CV1,CV2) 중 적어도 하나에 작용하여 순간적으로 측정된 차이를 미리설정된 순간적으로 원하는 차이와 동일하게 설정한다. 밸브 CV2는 수동으로 또는 개별 제어에 의해 작동될 수 있거나, 제어기(16)의 제2 출력과 작동적으로 연결될 수도 있다. 또한, 도 6은 열 교환 장치(5)에 대한 개략적이고 단순화된 제어(18)를 도시하며, 이를 통하여, 예를 들어, 활성 열 교환이 원하는 시점에서 시작될 수 있다.
도 7a 및 도 7b: 기판(7)의 주변을 따라 전체 로드 락 챔버 체적으로부터 기판(7) 아래의 체적 내로 또는 그 반대로 증가된 가스 유동 저항을 제공함으로써 충분히 높은 압력 차이 Δpab를 유지하는 것이 용이하다.
이는 기판 캐리어 표면의 주변부, 또는 각각 열교환 장치(5)의 가열 및/또는 냉각 표면을 따라 상응하게 구성된 림(19)에 의해 달성될 수 있다. 기판(7)의 주변부는 피팅 림(fitting rim)(19)에 있다. 도 7a 및 도 7b에 도시된 실시예는 모두 pb 미만의 pa가 되도록 설계된다. pa를 적용하기 위한 열교환 장치(5)의 개구(13)는 편의상 도 7a 및 도 7b에 도시되지 않는다. 도 7a에서, 기판(7)은 열 교환 장치(5)의 가열 또는 냉각 표면과 표면 대 표면 접촉한다. 도 7b에 가열 또는 냉각 표면으로부터 돌출된 높이 또는 돌출부(20), 예를 들어, 핀(20)과의 부분 접촉만이 존재하며, 기판의 뒷면이 단지 점별 접촉해야하는 경우를 도시한다.
도 8a 및 도 8b는 홀드-다운 장치(21), 예를 들어, 기판(7)의 주변을 따라 그립핑하는 다운 홀더 링 또는 클램핑 링(21)으로 기판(7)을 편향하는 변형 예 및 실시예를 도시한다.
도 8a에 따른 실시예는 예를 들어, 각각의 압력 차이를 설정하지 않고 홀드-다운 장치에 의해서만 기판을 편향하는데 적용될 수 있다. 도 8b는 도 7b와 유사하지만, 역압차(pa는 pb보다 크다) 및 가열 또는 냉각 표면으로부터 돌출된 돌출부(20), 예를 들어 핀(20)과의 부분 접촉을 위해 설계된다. 이 실시예에서, 홀드-다운 장치(hold-down device)는 음의 압력 차이의 힘에 대항하여 기판(7)을 유지하기 위해 필요하다. 기판(7) 아래의 공간으로부터 전체 로드 락 챔버 체적으로의 가스 흐름 누출을 감소시키기 위해, 홀드-다운 장치(21)의 하부 에지는 도 8b에 도시된 바와 같이 연장된다.
상술한 림 또는 다운 홀더 링은 압력 pa를 pb로부터 분리하는 데 도움이 된다. 다운 홀더 링은 pa > bp를 설정할 수 있다.
1 제1 처리 스테이션
2 제2 처리 스테이션
3 로드 락 챔버
4 로드 락 밸브
5 제어식 열교환 장치
6 제2 처리 스테이션의 진공 펌프
7 기판
8 이송 장치(이송 및 취급용)
9 탈기 장치 스테이션(제1 처리 스테이션 1)
10 탈기 스테이션의 벤트
11 로드 락 챔버 용 압력 제어 부재
12 압력 제어 부재의 진공 펌프
13 가열 및/또는 냉각 표면의 개구부
14 pa에 대한 압력 센서
15 pb에 대한 압력 센서
16 피드백 제어 시스템의 제어기
17 원하는 값을 설정하는 유닛
18 열교환 제어 장치 5
19 림
20 높이, 돌출부, 핀
21 홀드-다운 장치, 다운 홀더 링, 클램핑 링
p1 제1 처리 스테이션 압력
p2 제2 처리 스테이션 압력
T1 제1 처리 스테이션에서 기판의 온도
T2 제2 처리 스테이션에서 기판의 온도
patm. 대기압
pb 로드 락 챔버 내의 일반적인 압력
pa 접촉 부위 압력
Δpab 압력 차이(pb-pa)
Δt 열 교환 시간 범위
CV 제어 밸브(또한 CV1 및 CV2)
SV 차단 밸브

Claims (42)

  1. 다음 단계들을 포함하는 기판을 처리하거나 처리된 기판을 제조하는 방법:
    a) 제1 압력의 제1 분위기에서 기판을 제1 처리하여 제1 온도를 갖는 제1 처리된 기판을 생성하는 단계;
    b) 이어서, 제2 압력의 제2 분위기에서 제1 처리된 기판을 제2 처리하고, 제1 처리된 기판의 제2 온도에서 제2 처리를 시작하여 처리된 기판을 생성하는 단계로서, 제2 온도는 제1 온도와 다르고 제2 압력은 제1 압력보다 낮은 단계;
    c) 단계 a)와 b) 사이에, 제1 처리된 기판을 제1 분위기에서 제2 분위기로 들여놓는(locking-in) 단계;
    d) 상기 들여놓는 단계에서 압력을 낮추기 시작한 이후, 상기 들여놓는 단계 동안, 제1 처리된 기판을 제1 온도로부터 제2 온도로 가열 또는 냉각시키는 단계.
  2. 제1항에 있어서, 제1 온도는 제2 온도보다 높은, 기판을 처리하거나 처리된 기판을 제조하는 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 제1 처리는 탈기인, 기판을 처리하거나 처리된 기판을 제조하는 방법.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 제1 압력은 대기압인, 기판을 처리하거나 처리된 기판을 제조하는 방법.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1 처리와 상기 들여놓는 단계 사이에 상기 제1 처리된 기판의 이송을 수행하는 단계를 포함하는, 기판을 처리하거나 처리된 기판을 제조하는 방법.
  6. 제5항에 있어서, 대기압 및 대기(ambient atmosphere) 중 적어도 하나에서 상기 이송의 적어도 일부를 수행하는 단계를 포함하는, 기판을 처리하거나 처리된 기판을 제조하는 방법.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제2 압력은 대기압 미만인, 기판을 처리하거나 처리된 기판을 제조하는 방법.
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서, 감압 속도에서 상기 들여놓는 단계 동안 압력이 감소되고, 열 교환 시간 범위가 들여놓는 단계 동안 제공되는 단계를 포함하며, 이러한 열 교환 시간 범위 동안, 압력 감소율은 적어도 제1 처리된 기판의 하나의 연장된 표면 측면을 따라, 상기 열 교환 시간 범위 이전 및 이후 적어도 하나에서 압력 감소율과 비교하여 감소되는, 기판을 처리하거나 처리된 기판을 제조하는 방법.
  9. 제1항 또는 제2항에 있어서, 기판과 열 교환 장치의 가열 또는 냉각 표면의 적어도 부분적인 접촉은 들여놓는 단계 동안 설정되는, 기판을 처리하거나 처리된 기판을 제조하는 방법.
  10. 제9항에 있어서, 적어도 부분적인 접촉은 들여놓는 단계 동안의 기판과 가열 또는 냉각 표면의 표면 대 표면 접촉인, 기판을 처리하거나 처리된 기판을 제조하는 방법.
  11. 제9항에 있어서, 접촉은 상기 가열 또는 냉각 표면 상으로 상기 기판을 편향(biasing)함으로써 설정되는, 기판을 처리하거나 처리된 기판을 제조하는 방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 편향은 기계적으로 수행되거나 정전기적으로 수행되거나 기계적으로 및 정전기적으로 수행되는, 기판을 처리하거나 처리된 기판을 제조하는 방법.
  13. 제12항에 있어서, 편향은 홀드-다운(hold-down) 장치에 의해 기계적으로 수행되는, 기판을 처리하거나 처리된 기판을 제조하는 방법.
  14. 제11항에 있어서, 상기 편향은 기판의 표면의 나머지가 노출되는 일반적인 압력(pb)과 비교하여 접촉 영역에서 더 낮은 압력(pa)을 적용함으로써, 가열 또는 냉각 표면에 대면하는 기판 표면과 상기 기판 표면의 나머지 사이에 압력 차이(Δpab)를 설정하는 단계를 포함하는, 기판을 처리하거나 처리된 기판을 제조하는 방법.
  15. 제14항에 있어서, 압력 차이 Δpab는 300 Pa 이상, 또는 300 Pa ≤ Δpab ≤ 100000 Pa 범위, 또는 500 Pa ≤ Δpab ≤10000 Pa 범위로 선택되는, 기판을 처리하거나 처리된 기판을 제조하는 방법.
  16. 제14항에 있어서, 일반적인 압력(pb)은 400 Pa 이상, 또는 400 Pa ≤ pb ≤ 100000 Pa의 범위, 또는 1000 Pa ≤ pb ≤ 20000 Pa의 범위로 선택되는, 기판을 처리하거나 처리된 기판을 제조하는 방법.
  17. 제1항 또는 제2항에 있어서, 로드 락 챔버에서 기판과 가열 및/또는 냉각 표면 사이에 제1 압력을 설정하는 단계, 로드 락 챔버의 나머지 부피에서 제2 압력을 설정하는 단계를 포함하고, 네거티브 피드백(negative feedback)은 미리설정된 다른 값 또는 미리설정된 다른 시간 경과(pre-set difference time course)에서 상기 제1 압력 및 제2 압력의 차이를 제어하는, 기판을 처리하거나 처리된 기판을 제조하는 방법.
  18. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 들여놓는 단계를 수행하는 것과 동일한 장소에서 내놓는(locking out) 단계를 통해 상기 제2 처리로부터 상기 제2 처리된 기판을 제거하는 단계를 포함하는, 기판을 처리하거나 처리된 기판을 제조하는 방법.
  19. 제18항에 있어서, 상기 내놓는 단계 동안 상기 제2 처리된 기판의 추가 가열 또는 냉각을 수행하는 단계를 포함하는, 기판을 처리하거나 처리된 기판을 제조하는 방법.
  20. 제19항에 있어서, 추가 가열 또는 냉각은 상기 들여놓는 단계 동안 수행되는 상기 냉각 또는 가열과 동일한 수단에 의해 수행되는 냉각 또는 가열인, 기판을 처리하거나 처리된 기판을 제조하는 방법.
  21. 삭제
  22. 삭제
  23. a) 적어도 하나의 기판에 대한 제1 처리 스테이션으로서, 상기 적어도 하나의 기판을 제1 분위기에서 제1 압력으로 처리하도록 구성되고 제1 처리된 기판에 대한 제1 스테이션 출력을 포함하는 제1 처리 스테이션;
    b) 적어도 하나의 기판에 대한 제2 처리 스테이션으로서, 상기 적어도 하나의 제1 처리된 기판을 상기 제1 압력보다 낮은 제2 압력의 제2 분위기에서 처리하도록 구성되고 제1 처리된 기판에 대한 제2 스테이션 입력을 포함하는 제2 처리 스테이션;
    c) 상기 제1 스테이션 출력과 상기 제2 스테이션 입력 사이에 상호 연결된 로드 락 챔버;
    d) 상기 로드 락 챔버 내의 제1 처리된 기판과 열을 교환하도록 구성된 상기로드 락 챔버 내의, 가열 및/또는 냉각 표면을 포함하는 제어식 열교환 장치로서, 상기 제1 처리된 기판이 상기 제1 처리 스테이션으로부터 상기 제2 처리 스테이션으로 상기 로드 락 챔버를 통해 로드-락 될 수 있도록 제어되는, 제어식 열교환 장치;
    e) 상기 가열 및/또는 냉각 표면 상으로 기판을 편향하도록 구성된 편향 장치로서, 상기 편향 장치는 장착된 기판을 갖는 가열 및/또는 냉각 표면을 따른 압력과 상기 가열 및/또는 냉각 표면으로부터 떨어진 로드 락 챔버내의 일반적인 압력 사이의 압력 차이를 제어하도록 구성된 압력 제어 부재를 포함하는 편항 장치;를 포함하는 기판 처리 장치로서, 상기 압력 제어 부재는 가열 및/또는 냉각 표면을 따른 압력과 로드 락 챔버의 지배적인 압력을 낮추기 시작한 후 열교환 장치를 작동하도록 구성된, 기판 처리 장치.
  24. 제23항에 있어서, 제어식 열교환 장치는 가열 또는 냉각 유닛을 포함하는, 기판 처리 장치.
  25. 제23항에 있어서, 제어식 열교환 장치는 가열 및 냉각 유닛을 포함하는, 기판 처리 장치.
  26. 제23항 내지 제25항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 처리 스테이션은 탈기 스테이션인, 기판 처리 장치.
  27. 제23항 내지 제25항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 압력은 대기압인, 기판 처리 장치.
  28. 제23항 내지 제25항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 스테이션 출력과 상기 로드 락 챔버 사이에 연결된 이송 장치를 추가로 포함하는, 기판 처리 장치.
  29. 제28항에 있어서, 상기 이송 장치는 대기압 및 대기 중 적어도 하나에서 상기 기판을 이송하도록 설계되는, 기판 처리 장치.
  30. 제23항 내지 제25항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제2 처리 스테이션은 대기압 미만의 처리 스테이션인, 기판 처리 장치.
  31. 삭제
  32. 삭제
  33. 삭제
  34. 제23항에 있어서, 압력 제어 부재는 가열 및/또는 냉각 표면 내의 적어도 하나의 개구에 도관에 의해 연결된 제1 펌핑 라인 장치 및 상기 가열 및/또는 냉각 표면으로부터 떨어진 로드 락 챔버에 대한 적어도 하나의 추가 개구에 다른 도관에 의해 연결된 제2 펌핑 라인 장치를 포함하는, 기판 처리 장치.
  35. 제34항에 있어서, 가열 및/또는 냉각 표면의 적어도 하나의 개구는 가열 및/또는 냉각 표면에 그루브 패턴으로 분기되는, 기판 처리 장치.
  36. 제34항에 있어서, 제1 및 제2 펌핑 라인 장치는 공통 펌핑 흡입 포트로부터 분기되는, 기판 처리 장치.
  37. 제34항에 있어서, 제1 및 제2 펌핑 라인 장치 중 적어도 하나는 압력 제어 밸브 또는 유량 제어 밸브를 포함하는, 기판 처리 장치.
  38. 제23항 내지 제25항 중 어느 한 항에 있어서, 장착된 기판을 갖는 상기 가열 및/또는 냉각 표면을 따른 압력과 상기 가열 및/또는 냉각 표면으로부터 떨어진 로드 락 챔버에서의 일반적인 압력 사이의 압력 차이(Δpab)를 적어도 미리 결정된 시간 범위 동안 제어하기 위한 네거티브 피드백 제어 시스템이 제공되어 원하는 값을 갖거나 원하는 시간 경과를 따르는, 기판 처리 장치.
  39. 제23항 내지 제25항 중 어느 한 항에 있어서, 열 교환 장치는 기판 캐리어 표면 및 기판 캐리어 표면의 주변을 따라 림 또는 클램핑 링을 구비한 기판 캐리어를 포함하는, 기판 처리 장치.
  40. 제23항 내지 제25항 중 어느 한 항에 있어서, 열교환 장치는 가열 유체 및/또는 냉각 유체에 대한 도관을 포함하는, 기판 처리 장치.
  41. 제23항 내지 제25항 중 어느 한 항에 있어서, 제2 스테이션 입력은 또한 제2 스테이션 출력이고, 로드 락 챔버는 양방향 기판 취급 작동을 위해 구성되는, 기판 처리 장치.
  42. 제23항 내지 제25항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기판 처리 장치는 로드 락 챔버 내에 다음을 포함하는, 기판 처리 장치.
    - 가열 및/또는 냉각 표면;
    - 기판에 대한 기판 캐리어로서, 상기 캐리어 상의 기판은 상기 가열 및/또는 냉각 표면과 내부 공간을 형성하는, 기판 캐리어;
    - 상기 내부 공간에 작동 가능하게 연결된 제1 압력 센서;
    - 상기 로드 락 챔버의 나머지에 작동 가능하게 연결된 제2 압력 센서;
    - 상기 제1 및 제2 압력 센서에 의해 측정된 압력 차이가 미리설정된 압력 차이 값과 같거나 미리설정된 압력 차이 시간 경과를 따르도록 제어되는 제어기를 구비한 네거티브 피드백 제어 루프.
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