KR102482167B1 - 서브 컴포넌트 모니터링 시스템 및 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 서브 컴포넌트 모니터링 시스템 및 방법에 관한 것으로서, 본 발명의 실시예에 따른 서브 컴포넌트 모니터링 시스템은, 각각의 반도체 생산장비로 제조물질을 공급하는 복수의 서브 컴포넌트를 관리하는 사용자 장치로부터 상기 서브 컴포넌트의 동작 설정을 위한 설정 요청이 있을 때 설정 동작을 허용하며, 허용에 의한 동작 설정 범위를 벗어날 때 사용자 장치로 알람을 통지하는 서브 컴포넌트 관리장치, 및 사용자 장치로부터 복수의 서브 컴포넌트에 대한 모니터링 요청이 있을 때 서브 컴포넌트 관리장치로부터 복수의 서브 컴포넌트의 동작 상태와 관련한 분석 데이터를 제공받아 사용자 장치로 제공하는 EAP 장치를 포함할 수 있다.
Description
본 발명은 서브 컴포넌트 모니터링 시스템 및 방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 반도체 주 생산설비의 연결 공급부 장비 가령 제조물질 공급장치의 상태 정보의 처리 정확도를 높여 모니터링하는 서브 컴포넌트 모니터링 시스템 및 방법에 관한 것이다.
반도체 소자의 제조는 고도의 정밀성을 요구하며, 반도체 소자의 제조를 위해 반도체 제조라인에서는 반도체 소자의 제조 공정에 따른 각각의 반도체 제조 설비들, 예를 들어, 박막증착설비, 식각설비 등을 배치하여 대부분의 제조공정을 수행하고 있다. 이러한 반도체 제조 설비들은 웨이퍼에 대한 소정의 공정이 실질적으로 진행되는 공정설비 즉 반도체 생산설비와, 공정설비에 연결되어 공정설비에 진행되는 소정 공정이 원활히 수행될 수 있도록 보조해 주는 공급설비 즉 부속 화학물 공급장치로 나뉘어 설치되는 것이 일반적이다. 이때, 공정설비 및 공급설비는 공간활용 측면이나 공정진행 중 발생될 수 있는 불측의 사고를 예방하기 위하여 상호 연결된 상태로 서로 분리·배치된다. 이에, 공정설비는 FAB(Fabrication facility) 라인 내에 구비되며, 공급설비는 지하 탱크 또는 서비스 에어리어(Service area) 내에 배치된다.
한편, 공정설비는 소정의 자료수집 기능을 갖는 호스트 컴퓨터와 온라인(On-Line)으로 연결되고, 공정설비와 관련된 여러 가지 데이터는 호스트 컴퓨터에 입력·저장된다. 이때, 공정설비는 호스트 컴퓨터와 데이터 교신을 담당하는 소정의 통신포트를 통하여, 예컨대 SECS(Semi Equipment Comunications Standard) 프로토콜(Protocol)에 의해 지속적인 데이터 교환을 수행할 수 있다. 한편, 공정설비 및 공급설비에 각각 투입되는 원부 자재에 대한 데이터를 관리할 경우, 작업자는 공정설비 및 공급설비에 원부자재를 투입하기 전에 원부자재에 대한 데이터를 수작업으로 기록대장에 기록하거나 키보드를 통해 호스트 컴퓨터에 저장하였다.
그런데, 기존의 시스템은 공급장치들 즉 공급설비들을 현재 가지고 있는 시스템에 맞추어 적용되어야 했기 때문에 통신 방식에 따라서 변화해야 하는 컨버터가 필요하여 데이터를 다시 모으기가 쉽지 않다. 각 공급장치들의 제조사들은 규격화된 방식을 사용하지 않고 있으며 그 공급장치들의 데이터를 보기 위하여 사용자는 독자적으로 시스템을 구성하거나 데이터를 보더라도 한 화면의 인터페이스에서 모니터링할 수 없기 때문에 모니터링하는 데에 어려움이 있다.
이에 따라 시스템을 통합하면서 발생되는 경제적인 부담을 줄이고 시스템이 설치되었을 때 사용자로 하여금 편리하게 데이터를 모니터링하고 관리할 수 있도록 하기 위한 방안이 절실히 요구되고 있다.
본 발명의 실시예는 반도체 주 생산설비의 연결 공급부 장비 가령 제조물질 공급장치의 상태 정보의 처리 정확도를 높여 모니터링하는 서브 컴포넌트 모니터링 시스템 및 방법을 제공함에 그 목적이 있다.
본 발명의 실시예에 따른 서브 컴포넌트 모니터링 시스템은, 각각의 반도체 생산장비로 제조물질을 공급하는 복수의 서브 컴포넌트(sub-component)를 관리하는 사용자 장치로부터 상기 서브 컴포넌트의 동작 설정을 위한 설정 요청이 있을 때 설정 동작을 허용하며, 상기 허용에 의한 동작 설정 범위를 벗어날 때 상기 사용자 장치로 알람을 통지하는 서브 컴포넌트 관리장치, 및 상기 사용자 장치로부터 상기 복수의 서브 컴포넌트에 대한 모니터링 요청이 있을 때 상기 서브 컴포넌트 관리장치로부터 상기 복수의 서브 컴포넌트의 동작 상태와 관련한 분석 데이터를 제공받아 상기 사용자 장치로 제공하는 EAP 장치를 포함한다.
상기 서브 컴포넌트 관리장치는, 사양이 다른 상기 복수의 서브 컴포넌트에 대한 상기 제조물질의 공급 상태와 관련한 상태 데이터를 수집하여 규격화 데이터로 자동 변환하는 복수의 데이터 수집장치로부터 전송되는 상기 규격화 데이터를 분석하여 얻은 상기 분석 데이터를 제공할 수 있다.
상기 서브 컴포넌트 관리장치는, 상기 EAP 장치에 상기 분석 데이터를 제공하기 위해 SECS-2 통신을 수행할 수 있다.
상기 서브 컴포넌트 관리장치는, 상기 EAP 장치에서 상기 분석 데이터를 가져갈 때 SECS-2 테이블(table)에 값을 기록하여 관리할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 서브 컴포넌트 모니터링 방법은 서브 컴포넌트 관리장치가, 각각의 반도체 생산장비로 제조물질을 공급하는 복수의 서브 컴포넌트를 관리하는 사용자 장치로부터 상기 서브 컴포넌트의 동작 설정을 위한 설정 요청이 있을 때 설정 동작을 허용하며, 상기 허용에 의한 동작 설정 범위를 벗어날 때 상기 사용자 장치로 알람을 통지하는 단계, 및 EAP 장치가 상기 사용자 장치로부터 상기 복수의 서브 컴포넌트에 대한 모니터링 요청이 있을 때 상기 서브 컴포넌트 관리장치로부터 상기 복수의 서브 컴포넌트의 동작 상태와 관련한 분석 데이터를 제공받아 상기 사용자 장치로 제공하는 단계를 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 기존에는 공급장치들의 정보를 열람하거나 모니터링하려면 각각의 공급장치들을 따로 봐야 했지만, 모니터링 데이터수집장치가 설치가 된다면 데이터수집장치가 연결된 공급장치들의 정보를 한눈에 보게 될 수 있으며, 그 정보를 가지고 관리 사용자는 본인이 원하는 대로 구성하도록 도움을 줄 수 있을 것이다.
또한, 본 발명의 실시예는 데이터를 볼 수 있도록 제공하는 사용자 인터페이스 화면에서 사용자는 보고싶은 데이터를 볼 수 있도록 화면을 구성하거나 동시에 여러 데이터를 특정 조건에 맞도록 설정하고 비교도 가능할 수 있으며, 데이터를 가공할 수 있도록 해주는 도구를 사용자 인터페이스 화면에서 제공하여 여러 모양의 그래프 표시 및 대조가 가능하도록 전환해 줄 수 있다.
나아가, 본 발명의 실시예는 수집되는 공급장치의 데이터들은 별도의 서버(예: 관리장치 등)를 통해 데이터가 저장이 되어 장기간 보존할 수 있고, 지나간 데이터의 결과도 서버에서 불러와 정보를 볼 수 있으며, 가령 EAP 서버에 SECS-2 프로토콜에 값을 전달하여 전사적으로 (공급)장비 센서값을 모니터링하고, 모니터링과 상세 설정 및 알람 기능을 분리함으로써 모니터링 및 알람 기능 처리의 정확성을 높여 줄 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 서브 컴포넌트 모니터링 시스템을 나타내는 도면,
도 2는 도 1의 서브 컴포넌트 모니터링 시스템의 S/W 논리 구성도,
도 3 내지 도 9는 사용자 인터페이스(UI) 화면의 시나리오를 보여주는 도면,
도 10은 도 1의 서브 컴포넌트 관리장치(서버)의 세부구조를 예시한 블록다이어그램, 그리고
도 11은 본 발명의 실시예에 따른 서브 컴포넌트 모니터링 방법의 흐름도이다.
도 2는 도 1의 서브 컴포넌트 모니터링 시스템의 S/W 논리 구성도,
도 3 내지 도 9는 사용자 인터페이스(UI) 화면의 시나리오를 보여주는 도면,
도 10은 도 1의 서브 컴포넌트 관리장치(서버)의 세부구조를 예시한 블록다이어그램, 그리고
도 11은 본 발명의 실시예에 따른 서브 컴포넌트 모니터링 방법의 흐름도이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 서브 컴포넌트 모니터링 시스템을 나타내는 도면이며, 도 2는 도 1의 서브 컴포넌트 모니터링 시스템의 S/W 논리 구성도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 서브 컴포넌트 모니터링 시스템(90)은 서브 컴포넌트(100), 데이터수집장치(110), 서브 컴포넌트 관리장치(혹은 서브 컴포넌트 서버)(120), EAP(Enterprise Application Platform) 장치(130) 및 사용자 장치(140)의 일부 또는 전부를 포함하며, 별도의 통신망을 더 포함할 수 있다.
여기서, "일부 또는 전부를 포함한다"는 것은 EAP 장치(130)와 같은 일부 구성요소가 생략되어 서브 컴포넌트 모니터링 시스템(90)이 구성되거나 서브 컴포넌트 관리장치(120)와 같은 일부 구성요소가 EAP 장치(130)와 같은 다른 구성요소와 통합되어 구성될 수 있는 것 등을 의미하는 것으로서, 발명의 충분한 이해를 돕기 위하여 전부 포함하는 것으로 설명한다.
서브 컴포넌트(100)는 반도체 생산에 필요한 공급장치 혹은 공급장비들을 의미한다. 다시 말해, 생산장비(99)는 생산라인에 설치되는 다양한 장비를 포함한다. 특히 반도체 공정의 경우에는 생산장비(99)가 클린룸 내에 설치될 수 있다. 본 발명의 실시예에 따른 생산장비(99)는 대표적으로 노광 장비를 포함할 수 있으며, ASML사(社)의 장비일 수 있다. 노광 장비의 경우 반도체 공정에서 가장 많은 비중을 차지하고 있고, 또 고가이므로 엄격히 관리될 필요가 있다. 노광 장비는 단순히 포토레지스트(이하, 포토)를 웨이퍼상에 도포하고 마스크(mask)를 적용한 다음 빛에 노출시키는 챔버만을 의미할 수 있겠지만, 위의 일련의 과정을 모두 수행하는 장비를 노광 장비라 지칭할 수 있다. 더 정확하게는 리소그래피 장비라 지칭될 수 있다. 다시 말해, 포토를 도포하고 마스크를 적용한 후 빛에 노출시키고, 식각하는 과정이 모두 이루어지는 것이다.
서브 컴포넌트(100) 즉 공급장치는 반도체 생산설비 즉 생산장비(99)에 연결되어 여러 부속 화학물질을 공급한다. 현재 하나의 회사가 모든 공급장치들을 공급하고 있는 것은 아니기 때문에 규격화된 정보 통신 연결 방식을 가지고 있지는 않다. 특히 반도체 생산에 필요한 조건을 형성하기 위하여 각각의 공급장치들의 상태들을 제어하며 실시간으로 모니터링할 수 있는 장치가 필요하며, 본 발명의 실시예에 따른 데이터수집장치(110)는 이러한 역할을 수행한다고 볼 수 있다. 물론 데이터수집장치(110)는 공급장치들이 규격화되어 있지 않기 때문에 데이터를 규격화하는 동작을 수행한다면, 공급장치들을 통합 관리하는 서브 컴포넌트 관리장치(120)는 복수의 데이터수집장치(110)로부터 규격화된 데이터를 제공받아 다시 말해 일종의 빅데이터를 형성하고, 해당 빅데이터를 분석하여 공급장치 즉 서브 컴포넌트를 관리하는 사용자 또는 관리자들에게 분석 결과를 제공한다고 볼 수 있다.
각각의 공급장치들의 위치는 반도체 생산장비(99)와 서로 붙어 있거나 거리가 떨어진 곳에 위치할 수 있다. 데이터수집장치(110)는 거리와 장소에 제한을 받지 않고 공급장치들의 데이터 출력포트에 연결한다.
데이터수집장치(110)는 소형의 크기로 제작되어 공간을 많이 차지하지는 않는다. 데이터수집장치(110)의 전원은 네트워크 케이블로 전원을 받는 PoE(Power Of Ethernet)를 사용하여 전원을 공급받는다. PoE는 케이블 하나에 데이터와 전원을 동시에 전송하는 기술이다. 그래서 별도의 파워 콘센트 전원의 매립을 필요로 하지 않는다. 데이터 수집장치(110)와 네트워크 케이블을 연결하면 거리에 상관없이 네트워크가 구축된 환경에서 수집된 데이터를 볼 수가 있다.
본 발명의 실시예에 따른 서브 컴포넌트 모니터링 시스템(90)은 반도체 생산에 필요한 여러 부속 화학물질의 공급장치들 즉 서브 컴포넌트들(100)을 하나의 시스템에 묶어 모니터링하는 것으로 반도체 생산장비(99)에 직접 연결되어 사용자에게 실시간으로 정보를 제공하는 역할을 한다. 현재 하나의 회사가 모든 공급장치들을 공급하고 있는 것이 아니어서 규격화된 정보 통신 연결방식을 가지고 있지 않다. 특히 반도체 생산에 필요한 조건을 형성하기 위하여 각각의 공급장치들의 상태들을 제어하며 실시간으로 모니터링할 수 있는 장치가 필요하다. 따라서, 본 발명의 실시예에 따른 모니터링 데이터수집장치(110)는 이런 서브 컴포넌트 장치들의 데이터 값을 한눈에 보게 해주며 동시에 데이터 분석을 통하여 공급에 문제가 없도록 도와주는 역할을 하게 되어 반도체 생산 향상을 높일 수 있다. 또한 부가적으로 분석시스템을 제공하여 실시간 또는 과거의 데이터 값들이 끼치는 영향에 대해서도 알 수 있도록 도움을 줄 수 있다.
데이터수집장치(110)는 공급장치에서 출력되는 정보 종류에 상관없이 출력포트에 연결되면 그에 맞도록 정보를 자동으로 전환하여 (장치에서) 인식하도록 하여 정보를 수집할 수 있도록 한다. 여기서, 인식은 장치의 식별정보나 규격화된 데이터 포맷을 의미할 수 있다. 공급장치들의 메인 시스템, 가령 CPU나 MPU 등의 제어장치가 가까이 있거나 멀리 떨어져 있더라도 데이터수집장치(110)가 있으면 유무선으로 정보를 전달할 수 있으며 그 정보를 사용자는 네트워크가 연결된 PC, 스마트폰 등에서 실시간으로 확인 가능하게 된다. 또한 수집된 데이터를 사용자가 원하는 방향으로 설정 가능하며 가공하여 다양한 그래프로 표현하고 데이터를 보관하여 다음 생산되는 공급되는 수치의 기준점을 자동으로 설정하게 하여 기준점을 벗어날 경우 알람(혹은 알림)을 제공하여 사용자가 실시간으로 서브 컴포넌트들(100)의 데이터 값을 수집하고 알람 범위를 설정하여 비정상 값이 발생하였을 때 정확한 원인 파악 및 향후 대책 수립이 가능하다.
반도체 장비의 서브 컴포넌트(100)는 RS232, RS485, Modbus 프로토콜로 통신한다. 데이터수집장치(110)의 하드웨어에서 통신 인터페이스를 설정하여 다양한 서브 컴포넌트(100)의 센서를 정확히 수집할 수 있도록 프로토콜을 선택한다. 하나의 하드웨어 프로토타입( Prototype)으로 다양한 장비의 데이터 수집이 가능하다. 데이터수집장치(110)의 프로토콜은 식별정보(ID), 장비 명, 센서 키(Key), 센서값으로 패킷(Packet)을 생성하여 TCP/IP 네트워크를 통해서 서브 컴포넌트 관리장치(120)에 데이터를 전송한다. 물론 TCP/IP 네트워크는 서로 다른 시스템을 가진 컴퓨터들을 서로 연결하고 데이터를 전송하는 데 사용하는 통신 프로토콜들의 집합으로 이루어지는 네트워크이다. 이는 별도의 통신망이 될 수 있다.
서브 컴포넌트 관리장치(120)는 복수의 데이터수집장치(110)에 연결되어 수집된 데이터를 통합 관리할 수 있다. 가령 빅데이터를 형성하여 분석 동작을 수행할 수 있다. 서브 컴포넌트 관리장치(120)는 본 발명의 실시예에 따른 '서브 컴포넌트 서버'라 명명될 수 있다. 서브 컴포넌트 관리장치(120)는 자체 웹서버와 DB로 구성되고 가령 EAP 서버로서 동작하는 EAP 장치(130)에 데이터를 전송할 수 있도록 SECS-2 통신을 동시에 지원한다. SECS 프로토콜에 의해 지속적인 데이터 교환을 수행할 수 있다. 실시간 데이터는 서브 컴포넌트 관리장치(120) 및 DB에 저장되고 SECS-2 테이블(Table)에 값을 등록(혹은 기록)하여 EAP 장치(130)가 관련 데이터를 가져갈 수 있도록 한다. 다시 말해 EAP 장치(130)는 서브 컴포넌트 관리장치(120)로부터 데이터 또는 분석 데이터를 가져갈 때 SECS-2 테이블에 기록을 남긴다고 볼 수 있다.
각 사용자 즉 서브 컴포넌트(100)를 관리하는 관리자의 사용자 장치(140)는 EAP 장치(130)를 통해서 관련 데이터(예: 동작 상태 데이터)를 모니터링하고 가령 서브 컴포넌트 웹서버인 서브 컴포넌트 관리장치(120)를 통해서 관리자가 센서값의 한계값 등에 대한 알람 설정범위를 설정함으로써 이를 근거로 알람 설정범위를 벗어나는 비정상 데이터 수신시 각 사용자에게 알람을 전달할 수 있다. 여기서 EAP 장치(130)는 오픈소스 자카르타 EE 호환 애플리케이션 서버를 의미할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 서브 컴포넌트 관리장치(120) 및 EAP 장치(130)는 도 2에서 볼 수 있는 바와 같이 마스터 서버(또는 마스터 장치)로서 동작할 수 있다. 서브 컴포넌트 관리장치(120)는 데이터수집장치(110)로부터 규격화된 상태 데이터를 수신하여 분석하고 분석 결과를 근거로 복수의 서브 컴포넌트(100)를 제어하며, 사용자 장치(140)의 요청시 EAP 장치(140)를 통해 복수의 서브 컴포넌트(100)에 대한 모니터링 화면을 제공할 수 있다.
사용자 장치(140)는 도 1 및 도 2의 서브 컴포넌트(100)나 데이터수집장치(110)에 관계되는 관계자들의 단말장치를 의미할 수 있지만, 서브 컴포넌트 관리장치(120)를 운영하는 서비스 업체의 관리자 장치를 의미할 수도 있다. 물론 관계자의 단말장치나 관리자 장치는 데스크탑컴퓨터, 랩탑컴퓨터, 태블릿PC, 스마트폰, 스마트TV 등 다양한 장치를 포함한다. 사용자 장치(140)를 통해 서브 컴포넌트 관리장치(120)에서 제공하는 서비스에 접속하여 반도체 생산에 필요한 여러 부속 화학물질의 서브 컴포넌트(100)들을 하나의 시스템에서 묶어 모니터링하는 것이 가능할 수 있게 되는 것이다. 더 정확하게는 사용자 장치(140)는 서브 컴포넌트 관리장치(120)를 통해서 관리자가 센서값의 한계값 등을 설정하도록 함으로써 비정상 데이터 수신시 각 사용자에게 알람을 전달할 수 있도록 한다.
다시 말해, 본 발명의 실시예에 따른 사용자 장치(140)는 서브 컴포넌트(100)의 동작 설정을 위해서는 서브 컴포넌트 관리장치(120)로 다이렉트로 접속함으로써 설정 동작을 수행하고, 또 그 설정 동작이 이루어진 제1 통신경로를 통해 설정 범위를 벗어날 때 알람을 수신할 수 있다. 반면, 사용자 장치(140)는 서브 컴포넌트(100)의 동작 상태의 모니터링과 관련해서는 제2 통신경로를 통해 EAP 장치(130)로 접속하여 모니터링 동작을 수행한다. 이를 통해 사용자 장치(140)는 간접적으로 서브 컴포넌트 관리장치(120)에 접속한다고 볼 수 있다. 이와 같이 모니터링과 상세설정 및 알람 기능을 분리 처리함으로써 모니터링 및 알람 기능 처리 정확성을 높일 수 있게 된다.
한편, 본 발명의 실시예에 따른 서브 컴포넌트 모니터링 시스템(90)은 통신망을 통해 데이터수집장치들(110), 서브 컴포넌트 관리장치(120), EAP 장치(130) 및 사용자 장치(140)가 각각 통신을 수행할 수 있다. 통신망은 유무선 통신망을 모두 포함한다. 가령 통신망으로서 유무선 인터넷망이 이용되거나 연동될 수 있다. 여기서 유선망은 케이블망이나 공중 전화망(PSTN)과 같은 인터넷망을 포함하는 것이고, 무선 통신망은 CDMA, WCDMA, GSM, EPC(Evolved Packet Core), LTE(Long Term Evolution), 와이브로(Wibro) 망 등을 포함하는 의미이다. 물론 본 발명의 실시예에 따른 통신망은 이에 한정되는 것이 아니며, 향후 구현될 차세대 이동 통신 시스템의 접속망으로서 가령 클라우드 컴퓨팅 환경하의 클라우드 컴퓨팅망, 5G망 등에 사용될 수 있다. 가령, 통신망이 유선 통신망인 경우 통신망 내의 액세스포인트는 전화국의 교환국 등에 접속할 수 있지만, 무선 통신망인 경우에는 통신사에서 운용하는 SGSN 또는 GGSN(Gateway GPRS Support Node)에 접속하여 데이터를 처리하거나, BTS(Base Transceiver Station), NodeB, e-NodeB 등의 다양한 중계기에 접속하여 데이터를 처리할 수 있다.
통신망은 액세스포인트를 포함할 수도 있다. 액세스포인트는 건물 내에 많이 설치되는 펨토(femto) 또는 피코(pico) 기지국과 같은 소형 기지국을 포함한다. 여기서, 펨토 또는 피코 기지국은 소형 기지국의 분류상 데이터수집장치(110)나 사용자 장치(140) 등을 최대 몇 대까지 접속할 수 있느냐에 따라 구분된다. 물론 액세스포인트는 데이터수집장치(110)나 사용자 장치(140)와 지그비 및 와이파이(Wi-Fi) 등의 근거리 통신을 수행하기 위한 근거리 통신 모듈을 포함한다. 액세스포인트는 무선통신을 위하여 TCP/IP 혹은 RTSP(Real-Time Streaming Protocol)를 이용할 수 있다. 여기서, 근거리 통신은 와이파이 이외에 블루투스, 지그비, 적외선(IrDA), UHF(Ultra High Frequency) 및 VHF(Very High Frequency)와 같은 RF(Radio Frequency) 및 초광대역 통신(UWB) 등의 다양한 규격으로 수행될 수 있다. 이에 따라 액세스포인트는 데이터 패킷의 위치를 추출하고, 추출된 위치에 대한 최상의 통신 경로를 지정하며, 지정된 통신 경로를 따라 데이터 패킷을 다음 장치, 예컨대 서브 컴포넌트 관리장치(또는 데이터 분석서비스장치)(120)로 전달할 수 있다. 액세스포인트는 일반적인 네트워크 환경에서 여러 회선을 공유할 수 있으며, 예컨대 라우터(router), 리피터(repeater) 및 중계기 등이 포함된다.
상기의 구성 결과 본 발명의 실시예는 데이터수집장치(110)를 통해 데이터 값을 한눈에 보게 해주며 동시에 데이터 분석을 통하여 공급에 문제가 없도록 할 수 있다. 이를 통해 반도체 생산 향상을 높일 수 있다. 나아가, 모니터링과 상세 설정 및 알람 기능을 분리함으로써 모니터링 및 알람 기능 처리 정확성을 높여 줄 수 있을 것이다.
도 3 내지 도 9는 사용자 인터페이스(UI) 화면의 시나리오를 보여주는 도면이다.
설명의 편의상 도 3 내지 도 9를 도 1 및 도 2와 함께 참조하면, 가령 도 1의 사용자 장치(140)는 서브 컴포넌트 관리장치(120)에 로그인 버튼(300)을 통해 로그인 접속하여 가입한 ID 및 패스워드(password)를 입력하면 초기 화면은 서브 컴포넌트 메인 화면으로 진입할 수 있다. 이는 도 3에서 잘 보여주고 있다. 도 3의 (b)에서 볼 수 있는 바와 같이, 메인 화면상에는 사용자 관리, Sub 등록, 장비 등록, 설정 등의 항목이 표시된다.
만약, 관리자가 Admin으로 로그인하는 경우에는 도 4에서 볼 수 있는 바와 같이 사용자의 '보기 모드' 및 '알람 설정권한' 등의 권한 선택이 가능하다. 관리자(모드)를 통해서 서브 컴포넌트 등록, 장비등록 및 사용자 암호 변경이 가능하다. 이는 도 4의 (a)에서 볼 때 사용자관리 항목(310)을 선택해 이루어질 수 있다.
또한, 사용자 장치(140)는 서브 컴포넌트 명을 입력할 수 있다. 또한 수집장비 IP를 입력한다. 서브 컴포넌트 포트명을 입력할 수도 있다. 각 서브 컴포넌트는 IP 및 포트명으로 고유한 값으로 구분된다. 도 5는 이의 과정을 보여주고 있다. 이를 위하여 메인 화면상에서 Sub등록 항목을 선택해 해당 동작을 수행할 수 있다. 도 5의 (b)에서 서브 컴포넌트의 특정 포트 항목을 선택할 때, 도 5의 (c)에서와 같은 화면이 표시될 수 있다.
도 6에서는 장비명을 입력하는 화면을 보여준다. 물론 이는 메인 화면상의 장비등록 항목(330)을 선택하여 이루어질 수 있다. 여기에서는 장비에 포함되는 서브 컴포넌트(100)들을 그룹화한다. 장비에 서브 컴포넌트(100) 추가시 관련 장비에 새로 등록된 서브 컴포넌트(100)를 업데이트한다. 도 6의 (c)에서 볼 때 추가 버튼을 선택하여 추가 동작이 이루어질 수 있다.
서브 컴포넌트(100) 및 장비 등록이 완료되면 메인 화면에서 각 서브 컴포넌트(100) 관련 파라미터(parameter)를 표출한다. 도 7의 파라미터 항목에서 왼쪽의 알람 설정 버튼(340) 클릭시 알람 설정 화면이 표출된다. 이는 도 8에서 보여주고 있다.
한편, 도 7에서와 같이 알람 클릭시 메인 화면은 도 8에서와 같이 선택한 파라미터 단독화면으로 전환하고 알람 설정 화면이 표출된다. 알람 창에서 최소/최대 허용치를 설정하고 선 색상 및 알람 상태에서 깜박임 여부를 설정한다.
도 9는 알람 발생시 팝업(pop up) 장비, 서브 컴포넌트 위치 및 발생시간, 알람 발생원인을 표출하는 것을 보여주고 있다.
도 10은 도 1의 서브 컴포넌트 관리장치의 세부 구조를 예시한 블록다이어그램이다.
도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 서브 컴포넌트 관리장치(120)는 통신 인터페이스부(1000), 제어부(1010), 서브 컴포넌트 관리부(1020) 및 저장부(1030)의 일부 또는 전부를 포함한다.
여기서, "일부 또는 전부를 포함한다"는 것은 저장부(1030)와 같은 일부 구성요소가 생략되어 서브 컴포넌트 관리장치(120)가 구성되거나, 서브 컴포넌트 관리부(1020)와 같은 일부 구성요소가 제어부(1010)와 같은 다른 구성요소에 통합되어 구성될 수 있는 것 등을 의미하는 것으로서, 발명의 충분한 이해를 돕기 위하여 전부 포함하는 것으로 설명한다.
통신 인터페이스부(1000)는 TCP/IP 통신망, 또는 내부망 등을 통해 데이터수집장치(110) 및 EAP 장치(130)와 각각 통신한다. 통신을 수행하는 과정에서 통신 인터페이스부(1000)는 변조/복조, 암호화/복호화나 인코딩/디코딩, 먹싱/디먹싱 등의 동작을 수행할 수 있다. 통신 인터페이스부(1000)는 데이터수집장치(110)로부터 다양한 사양(혹은 규격)을 갖는 서브 컴포넌트(100)들의 규격화(혹은 정형화, 획일화, 통일화)된 데이터를 수신할 수 있다. 통신 인터페이스부(1000)는 서로 다른 통신 규약에 따라 통신하는 제1 통신부 및 제2 통신부를 포함할 수 있다.
제어부(1010)는 도 10의 통신 인터페이스부(1000), 서브 컴포넌트 관리부(1020) 및 저장부(1030)의 전반적인 제어 동작을 담당한다. 제어부(1010)는 CPU나 MPU 등을 포함할 수 있으며, 제어부(1010)는 대표적으로 서브 컴포넌트(100)의 동작 설정에 따른 알람 기능과 서브 컴포넌트(100)의 모니터링을 위한 모니터링 동작을 분리하여 처리한다. 물론 이는 서브 컴포넌트 관리부(1020)의 요청하에 이루어지는 것이지만, 제어부(1010)는 이를 위하여 제1 통신경로를 통해서는 도 1의 사용자 장치(140)와 통신을 수행하고, 제2 통신경로를 통해서는 도 1의 EAP 장치(130)와 통신할 수 있다. 더 정확하게는 제어부(1010)는 서브 컴포넌트 관리부(1020)의 요청에 따라 데이터수집장치(110), EAP 장치(130) 및 사용자 장치(140)와 각각 통신하도록 통신 인터페이스부(1000)를 제어할 수 있다.
서브 컴포넌트 관리부(1020)는 본 발명의 실시예에 따라 다양한 동작을 수행한다. 데이터수집장치(110)로부터 제공되는 규격화 데이터를 통합하여 각 서브 컴포넌트(100)에 대한 동작 상태를 분석할 수 있고, 또 해당 동작 상태와 관련한 분석 데이터는 EAP 장치(130)를 통해 사용자 장치(140)에서 모니터링이 이루어질 수 있도록 한다. 이를 위하여 서브 컴포넌트 관리부(1020)는 제어부(1020)와 연계하여 동작한다.
또한, 서브 컴포넌트 관리부(1020)는 사용자 장치(140)로부터 자신이 관리하는 서브 컴포넌트(100)에 대한 동작 설정 및 알람 요청이 있는 경우 데이터 분석 결과 설정된 동작 범위를 벗어나는 비정상 동작이 감지될 때 해당 사용자 장치(140)로 알람을 제공한다. 가령 사용자 장치(140)는 해당 알람을 근거로 EAP 장치(130)에 접속하여 모니터링 동작을 수행할 수 있다.
이외에도 서브 컴포넌트 관리부(1020)는 동작 설정 및 모니터링을 위한 사용자 인터페이스(UI) 화면을 제공하거나, 인공지능(AI) 딥러닝 프로그램 등을 탑재하여 데이터 분석 정확도를 높일 수 있다. 가령 이를 통해 서브 컴포넌트 관리부(1020)는 서브 컴포넌트(100)들의 시간 변화에 따른 동작 데이터 즉 과거로부터 현재에 이르는 동작 데이터를 분석함으로써 실시간 또는 과거의 데이터 값들이 끼치는 영향에 대해서도 알 수 있다. 인공지능의 경우, 기존의 룰(rule) 기반의 프로그램과 비교할 때 과거의 데이터를 근거로 현재를 예측할 수 있다는 것이므로, 이에 따라 서브 컴포넌트(100)의 비정상 동작을 예측하는 동작까지 얼마든지 가능할 수 있다.
또한, 서브 컴포넌트 관리부(1020)는 UI 화면을 통해서는 하나의 화면을 통해 하나의 제조사 또는 운영사에서 관리하는 복수의 서브 컴포넌트(100)들에 대한 비교가 가능할 수 있고, 이때 그래프 표시 등의 비교가 가능함으로써 관리가 수월해 지도록 한다. 나아가 여러 데이터를 특정 조건에 맞도록 설정하여 비교도 얼마든지 가능할 수 있다. 가령, 특정 파라미터를 선택하는 경우 해당 파라미터를 기준으로 복수의 서브 컴포넌트(100)의 동작 상태를 하나의 화면에 그래프 등으로 표시해 줌으로써 그만큼 관리자의 관리가 쉽게 된다. 서브 컴포넌트 관리부(1020)는 GUI 등의 그래픽 처리를 수행하여 이러한 동작에 관여할 수 있다.
저장부(1030)는 제어부(1020)의 제어하에 처리되는 데이터를 임시 저장할 수 있다. 가령, 제어부(1020)는 데이터수집장치(110)에서 수집되는 데이터를 저장부(1030)에 임시 저장한 후 불러내어 별도의 DB에 체계적으로 분류하여 저장하는 등의 동작을 수행할 수 있다.
상기한 내용 이외에도 본 발명의 실시예에 따른 도 10의 통신 인터페이스부(1000), 제어부(1010), 서브 컴포넌트 관리부(1020) 및 저장부(1030)는 다양한 동작을 수행할 수 있으며, 기타 자세한 내용은 앞서 충분히 설명하였으므로 그 내용들로 대신하고자 한다.
본 발명의 실시예에 따른 도 10의 통신 인터페이스부(1000), 제어부(1010), 서브 컴포넌트 관리부(1020) 및 저장부(1030)는 서로 물리적으로 분리된 하드웨어 모듈로 구성되지만, 각 모듈은 내부에 상기의 동작을 수행하기 위한 소프트웨어를 저장하고 이를 실행할 수 있을 것이다. 다만, 해당 소프트웨어는 소프트웨어 모듈의 집합이고, 각 모듈은 하드웨어로 형성되는 것이 얼마든지 가능하므로 소프트웨어니 하드웨어니 하는 구성에 특별히 한정하지 않을 것이다. 예를 들어 저장부(1030)는 하드웨어인 스토리지(storage) 또는 메모리(memory)일 수 있다. 하지만, 소프트웨어적으로 정보를 저장(repository)하는 것도 얼마든지 가능하므로 위의 내용에 특별히 한정하지는 않을 것이다.
한편, 본 발명의 다른 실시예로서 제어부(1010)는 CPU 및 메모리를 포함할 수 있으며, 원칩화하여 형성될 수 있다. CPU는 제어회로, 연산부(ALU), 명령어해석부 및 레지스트리 등을 포함하며, 메모리는 램을 포함할 수 있다. 제어회로는 제어동작을, 그리고 연산부는 2진비트 정보의 연산동작을, 그리고 명령어해석부는 인터프리터나 컴파일러 등을 포함하여 고급언어를 기계어로, 또 기계어를 고급언어로 변환하는 동작을 수행할 수 있으며, 레지스트리는 소프트웨어적인 데이터 저장에 관여할 수 있다. 상기의 구성에 따라, 가령 서브 컴포넌트 관리장치(120)의 동작 초기에 서브 컴포넌트 관리부(1020)에 저장되어 있는 프로그램을 복사하여 메모리 즉 램(RAM)에 로딩한 후 이를 실행시킴으로써 데이터 연산 처리 속도를 빠르게 증가시킬 수 있다. 딥러닝 모델 같은 경우 램(RAM)이 아닌 GPU 메모리에 올라가 GPU를 이용하여 수행 속도를 가속화하여 실행될 수도 있다.
도 11은 도 1의 서브 컴포넌트 데이터 수집 시스템의 서브 컴포넌트 데이터 수집 방법을 나타내는 흐름도이다.
설명의 편의상 도 11을 도 1과 함께 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 도 1의 서브 컴포넌트 관리장치(120)는 각각의 반도체 생산장비로 제조물질을 공급하는 복수의 서브 컴포넌트(100)를 관리하는 사용자 장치(140)로부터 동작 설정을 위한 설정 요청이 있을 때 설정 동작을 허용하며, 허용에 의한 동작 설정 범위를 벗어날 때 사용자 장치로 알람을 통지한다(S1100).
서브 컴포넌트 관리장치(120)와 사용자 장치(140)는 제1 통신경로를 통해 다이렉트로 서브 컴포넌트(100)의 설정 동작과 알람 통지 동작을 수행할 수 있다. 여기서, 제1 통신경로는 제1 통신규약에 의한 통신을 의미할 수 있다. 제1 통신규약은 TCP/IP와 같은 웹(web)상에서 통신규약을 포함할 수 있다.
또한 EAP 장치(130)는 사용자 장치(140)로부터 복수의 서브 컴포넌트(100)에 대한 모니터링 요청이 있을 때 서브 컴포넌트 관리장치(120)로부터 복수의 서브 컴포넌트(100)의 동작 상태와 관련한 분석 데이터를 제공받아 사용자 장치(140)로 제공한다(S1010).
EAP 장치(130)와 서브 컴포넌트 관리장치(120)간에는 SECS 프로토콜에 의한 통신이 이루어지지만, 사용자 장치(140)는 모니터링 동작의 경우 EAP 장치(130)에 제2 통신경로를 통해 다이렉트로 접속하여 통신을 수행할 수 있다. 물론 여기서 제2 통신경로는 제1 통신경로와 서로 다른 통신 프로토콜을 사용할 수 있지만, 동일한 통신 프로토콜을 사용하면서 접속하는 장치(예: 서브 컴포넌트 관리장치와 EAP 장치)의 식별정보만 구분할 수 있으므로 본 발명의 실시예에서는 어느 하나의 형태의 특별히 한정하지는 않을 것이다.
결론적으로 서브 컴포넌트(100)를 관리하는 사용자 또는 관리자의 사용자 장치(140)는 서브 컴포넌트 관리장치(120)에 접속하여 서브 컴포넌트(100)의 동작 설정을 수행하고, 또 비정상 데이터의 감지시 즉 수행한 설정 동작을 벗어날 때 서브 컴포넌트 관리장치(120)로부터 알람을 통지받을 수 있다. 또한, 알람의 통지에 따라 모니터링이 필요한 경우 물론 그 이외에도 주기적인 접속에 의해 모니터링을 수행할 수 있지만, 이의 경우에는 EAP 장치(130)에 접속하여 모니터링 동작을 수행할 수 있다. 이를 통해 모니터링과 알람 기능 처리 동작의 정확도를 높일 수 있다.
상기한 내용 이외에도 도 1의 서브 컴포넌트(100), 데이터수집장치(110), 서브 컴포넌트 관리장치(120), EAP 장치(130) 및 사용자 장치(140)는 다양한 동작을 수행할 수 있으며, 기타 자세한 내용은 앞서 충분히 설명하였으므로 그 내용들로 대신하고자 한다.
한편, 본 발명의 실시예를 구성하는 모든 구성 요소들이 하나로 결합하거나 결합하여 동작하는 것으로 설명되었다고 해서, 본 발명이 반드시 이러한 실시 예에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 목적 범위 안에서라면, 그 모든 구성 요소들이 하나 이상으로 선택적으로 결합하여 동작할 수도 있다. 또한, 그 모든 구성요소들이 각각 하나의 독립적인 하드웨어로 구현될 수 있지만, 각 구성 요소들의 그 일부 또는 전부가 선택적으로 조합되어 하나 또는 복수 개의 하드웨어에서 조합된 일부 또는 전부의 기능을 수행하는 프로그램 모듈을 갖는 컴퓨터 프로그램으로서 구현될 수도 있다. 그 컴퓨터 프로그램을 구성하는 코드들 및 코드 세그먼트들은 본 발명의 기술 분야의 당업자에 의해 용이하게 추론될 수 있을 것이다. 이러한 컴퓨터 프로그램은 컴퓨터가 읽을 수 있는 비일시적 저장매체(non-transitory computer readable media)에 저장되어 컴퓨터에 의하여 읽혀지고 실행됨으로써, 본 발명의 실시 예를 구현할 수 있다.
여기서 비일시적 판독 가능 기록매체란, 레지스터, 캐시(cache), 메모리 등과 같이 짧은 순간 동안 데이터를 저장하는 매체가 아니라, 반영구적으로 데이터를 저장하며, 기기에 의해 판독(reading)이 가능한 매체를 의미한다. 구체적으로, 상술한 프로그램들은 CD, DVD, 하드 디스크, 블루레이 디스크, USB, 메모리 카드, ROM 등과 같은 비일시적 판독가능 기록매체에 저장되어 제공될 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어서는 안 될 것이다.
100: 서브 컴포넌트(혹은 공급장치) 110: 데이터수집장치
120: 서브 컴포넌트 관리장치(혹은 서버) 130: EAP 장치(혹은 서버)
140: 사용자 장치
120: 서브 컴포넌트 관리장치(혹은 서버) 130: EAP 장치(혹은 서버)
140: 사용자 장치
Claims (5)
- 각각의 반도체 생산장비로 제조물질을 공급하는 복수의 서브 컴포넌트(sub-component)를 관리하는 사용자 장치로부터 상기 서브 컴포넌트의 동작 설정을 위한 설정 요청이 있을 때 설정 동작을 허용하며, 상기 허용에 의한 동작 설정 범위를 벗어날 때 상기 사용자 장치로 알람을 통지하는 웹서버인 서브 컴포넌트 관리장치; 및
상기 사용자 장치로부터 상기 복수의 서브 컴포넌트에 대한 모니터링 요청이 있을 때 상기 서브 컴포넌트 관리장치로부터 상기 복수의 서브 컴포넌트의 동작 상태와 관련한 분석 데이터를 제공받아 상기 사용자 장치로 제공하는 애플리케이션 서버인 EAP 장치;를 포함하되,
상기 사용자 장치는 상기 서브 컴포넌트 관리장치에 동작 설정을 위해 다이렉트로 접속하여 설정 동작을 수행하고, 상기 설정 동작이 이루어진 제1 통신 경로를 통해 상기 설정 범위를 벗어날 때 알람을 수신하고,
상기 사용자 장치는, 상기 서브 컴포넌트의 동작 상태의 모니터링과 관련해서는 제2 통신 경로를 통해 상기 EAP 장치에 접속하여 모니터링 동작을 수행하며,
상기 서브 컴포넌트 관리장치와 상기 EAP 장치는 마스터 장치로서 동작하고,
상기 EAP 장치는, 상기 사용자 장치와 TCP/IP 통신을 수행하며,
상기 서브 컴포넌트 관리장치는,
상기 EAP 장치에 상기 분석 데이터를 제공하기 위해 SECS-2 통신을 수행하고,
상기 서브 컴포넌트 관리장치는,
상기 사용자 장치의 요청시 상기 EAP 장치를 통해 상기 복수의 서브 컴포넌트에 대한 모니터링 화면을 제공하며,
상기 서브 컴포넌트 관리장치는,
상기 사용자 장치로 제공하는 메인 화면에서 장비등록 항목(330)의 선택에 의해 장비에 포함되는 서브 컴포넌트들을 그룹화하여 장비에 서브 컴포넌트 추가시 관련 장비에 새로 등록된 서브 컴포넌트를 업데이트하며, 서브 컴포넌트 및 장비(equipment) 등록이 완료되면 상기 메인 화면에서 각 서브 컴포넌트 관련 파라미터(parameter)를 표출하고, 상기 표출한 파라미터 항목에서 알람 설정 버튼(340) 클릭시 알람 설정 화면을 표출하되, 상기 알람 설정 버튼 클릭시 상기 메인 화면은 선택한 파라미터의 단독화면으로 전환하여 알람 설정 화면을 표출하며, 상기 알람 설정 화면에서 알람 영역(Alarm Range)과 관련한 최소 및 최대 허용치를 설정하고 알람 컬러(Alarm Color)와 관련한 선 색상 및 알람 상태에서 깜박임 여부를 설정하도록 하며,
상기 서브 컴포넌트 관리장치는,
알람 발생시 상기 사용자 장치로 팝업(pop up) 장비, 서브 컴포넌트 위치 및 발생시간, 알람 발생원인을 표출하는 서브 컴포넌트 모니터링 시스템. - 제1항에 있어서,
상기 서브 컴포넌트 관리장치는, 사양이 다른 상기 복수의 서브 컴포넌트에 대한 상기 제조물질의 공급 상태와 관련한 상태 데이터를 수집하여 규격화 데이터로 자동 변환하는 복수의 데이터 수집장치로부터 전송되는 상기 규격화 데이터를 분석하여 얻은 상기 분석 데이터를 제공하는 서브 컴포넌트 모니터링 시스템. - 삭제
- 제1항에 있어서,
상기 서브 컴포넌트 관리장치는, 상기 EAP 장치에서 상기 분석 데이터를 가져갈 때 SECS-2 테이블(table)에 값을 기록하여 관리하는 서브 컴포넌트 모니터링 시스템. - 웹서버인 서브 컴포넌트 관리장치가, 각각의 반도체 생산장비로 제조물질을 공급하는 복수의 서브 컴포넌트를 관리하는 사용자 장치로부터 상기 서브 컴포넌트의 동작 설정을 위한 설정 요청이 있을 때 설정 동작을 허용하며, 상기 허용에 의한 동작 설정 범위를 벗어날 때 상기 사용자 장치로 알람을 통지하는 단계; 및
애플리케이션 서버인 EAP 장치가, 상기 사용자 장치로부터 상기 복수의 서브 컴포넌트에 대한 모니터링 요청이 있을 때 상기 서브 컴포넌트 관리장치로부터 상기 복수의 서브 컴포넌트의 동작 상태와 관련한 분석 데이터를 제공받아 상기 사용자 장치로 제공하는 단계;를 포함하되,
상기 사용자 장치는, 상기 서브 컴포넌트 관리장치에 동작 설정을 위해 다이렉트로 접속하여 설정 동작을 수행하고, 상기 설정 동작이 이루어진 제1 통신 경로를 통해 상기 설정 범위를 벗어날 때 알람을 수신하고,
상기 사용자 장치는, 상기 서브 컴포넌트의 동작 상태의 모니터링과 관련해서는 제2 통신 경로를 통해 상기 EAP 장치에 접속하여 모니터링 동작을 수행하며,
상기 서브 컴포넌트 관리장치와 상기 EAP 장치는 마스터 장치로서 동작하고,
상기 EAP 장치는, 상기 사용자 장치와 TCP/IP 통신을 수행하며,
상기 서브 컴포넌트 관리장치가, 상기 EAP 장치에 상기 분석 데이터를 제공하기 위해 SECS-2 통신을 수행하는 단계;
상기 서브 컴포넌트 관리장치가, 상기 사용자 장치의 요청시 상기 EAP 장치를 통해 상기 복수의 서브 컴포넌트에 대한 모니터링 화면을 제공하는 단계;
상기 서브 컴포넌트 관리장치가, 상기 사용자 장치로 제공하는 메인 화면에서 장비등록 항목(330)의 선택에 의해 장비에 포함되는 서브 컴포넌트들을 그룹화하여 장비에 서브 컴포넌트 추가시 관련 장비에 새로 등록된 서브 컴포넌트를 업데이트하며, 서브 컴포넌트 및 장비 등록이 완료되면 상기 메인 화면에서 각 서브 컴포넌트 관련 파라미터를 표출하고, 상기 표출한 파라미터 항목에서 알람 설정 버튼(340) 클릭시 알람 설정 화면을 표출하되, 상기 알람 설정 버튼 클릭시 상기 메인 화면은 선택한 파라미터의 단독화면으로 전환하여 알람 설정 화면을 표출하며, 상기 알람 설정 화면에서 알람 영역(Alarm Range)과 관련한 최소 및 최대 허용치를 설정하고 알람 컬러(Alarm Color)와 관련한 선 색상 및 알람 상태에서 깜박임 여부를 설정하도록 하는 단계; 및
상기 서브 컴포넌트 관리장치가, 알람발생시 상기 사용자 장치로 팝업 장비, 서브 컴포넌트 위치 및 발생시간, 알람 발생원인을 표출하는 단계;를
더 포함하는 서브 컴포넌트 모니터링 방법.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020220052383A KR102482167B1 (ko) | 2022-04-27 | 2022-04-27 | 서브 컴포넌트 모니터링 시스템 및 방법 |
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