JP2007305612A - サーバ装置、およびプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の半導体製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、半導体製造装置を識別する装置識別子と時刻を示す時刻情報を有する情報である測定情報を、複数格納し、異常検知した後に異常分析を行う場合に、装置識別子を含むチャートの出力指示を受け付け、当該出力指示が含む一以上の装置識別子を有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートを構成し、構成したチャートを出力するサーバ装置により、半導体製造装置等の装置毎の時系列の情報を取り出して表示させることができる。
【選択図】図3
Description
(実施の形態)
12 サーバ装置
13 クライアント装置
1101 レシピ格納部
1102 処理部
1103 測定部
1104 元情報蓄積部
1105 元情報送信部
1201 測定情報格納部
1202 元情報受信部
1203 測定情報取得部
1204 測定情報蓄積部
1205 指示受付部
1206 チャート構成部
1207 出力部
1208 出力指示蓄積部
1301 指示入力部
1302 指示送付部
1303 チャート受付部
1304 チャート表示部
Claims (13)
- 被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置と、当該複数の製造装置と接続されているサーバ装置を具備し、異常検知した後に異常分析を行う機能を有する群管理システムを構成するサーバ装置であって、
前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造装置を識別する装置識別子と時刻を示す時刻情報を有する情報である測定情報を、複数格納し得る測定情報格納部と、
一以上の装置識別子を含むチャートの出力指示を受け付ける指示受付部と、
前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートを構成するチャート構成部と、
前記チャート構成部が構成したチャートを出力する出力部を具備するサーバ装置。 - 被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置と、当該複数の製造装置と接続されているサーバ装置を具備し、異常検知した後に異常分析を行う機能を有する群管理システムを構成するサーバ装置であって、
前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、レシピを識別するレシピ識別子と時刻を示す時刻情報を有する情報である測定情報を、複数格納し得る測定情報格納部と、
一以上のレシピ識別子を含むチャートの出力指示を受け付ける指示受付部と、
前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートを構成するチャート構成部と、
前記チャート構成部が構成したチャートを出力する出力部を具備するサーバ装置。 - 前記複数の測定情報の元になる情報である元情報を前記複数の製造装置から受信する元情報受信部と、
前記元情報受信部が受信した複数の元情報に対して所定の演算を行い、複数の測定情報を取得する測定情報取得部と、
前記測定情報取得部が取得した複数の測定情報を前記測定情報格納部に蓄積する測定情報蓄積部をさらに具備する請求項1または請求項2記載のサーバ装置。 - 前記出力指示は、チャートを構成する点または/および線の属性情報も含み、
当該点または/および線の属性情報と前記装置識別子、または当該点または/および線の属性情報と前記レシピ識別子を有する出力指示を蓄積する出力指示蓄積部をさらに具備し、
前記指示受付部は、
前記出力指示蓄積部が蓄積した出力指示に対応したチャートの出力指示である蓄積出力指示をも受け付け、
前記チャート構成部は、
前記指示受付部が蓄積出力指示を受け付けた場合、前記蓄積出力指示に対応するチャートの出力指示を読み出し、当該出力指示に従って、チャートを構成し、
前記出力部は、
前記チャート構成部が構成したチャートを出力する請求項1から請求項3いずれか記載のサーバ装置。 - 前記チャート構成部は、
前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、前記読み出した複数の測定情報をプロットしたチャートであるSPCチャートを構成する請求項1、請求項3または請求項4いずれか記載のサーバ装置。 - 前記チャート構成部は、
前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、二種類の測定情報の相関を示すチャートである相関チャートを構成する請求項1、請求項3または請求項4いずれか記載のサーバ装置。 - 前記チャート構成部は、
前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三種類以上の測定情報の相関を示すチャートであるMDチャートを構成する請求項1、請求項3または請求項4いずれか記載のサーバ装置。 - 前記チャート構成部は、
前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、前記読み出した複数の測定情報をプロットしたチャートであるSPCチャートを構成する請求項2から請求項4いずれか記載のサーバ装置。 - 前記チャート構成部は、
前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、二種類の測定情報の相関を示すチャートである相関チャートを構成する請求項2から請求項4いずれか記載のサーバ装置。 - 前記チャート構成部は、
前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三種類以上の測定情報の相関を示すチャートであるMDチャートを構成する請求項2から請求項4いずれか記載のサーバ装置。 - コンピュータに、
被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造装置を識別する装置識別子と時刻を示す時刻情報を有する情報である測定情報を、複数格納しており、
異常検知した後に異常分析を行う場合に、一以上の装置識別子を含むチャートの出力指示を受け付ける指示受付ステップと、
前記指示受付ステップで出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートを構成するチャート構成ステップと、
前記チャート構成ステップで構成したチャートを出力する出力ステップを実行させるためのプログラム。 - コンピュータに、
被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、レシピを識別するレシピ識別子と時刻を示す時刻情報を有する情報である測定情報を、複数格納しており、
異常検知した後に異常分析を行う場合に、一以上のレシピ識別子を含むチャートの出力指示を受け付ける指示受付ステップと、
前記指示受付ステップで出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートを構成するチャート構成ステップと、
前記チャート構成ステップで構成したチャートを出力する出力ステップを実行させるためのプログラム。 - コンピュータに、
前記複数の測定情報の元になる情報である元情報を前記複数の製造装置から受信する元情報受信ステップと、
前記元情報受信ステップで受信した複数の元情報に対して所定の演算を行い、複数の測定情報を取得する測定情報取得ステップと、
前記測定情報取得ステップで取得した複数の測定情報を蓄積する測定情報蓄積ステップをさらに実行させるための請求項11または請求項12記載のプログラム。
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