KR102478833B1 - 서셉터 샤프트 가공 지그 - Google Patents

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Abstract

서셉터 샤프트 가공 지그가 개시된다. 본 발명의 서셉터 샤프트 고정 지그는, 서셉터 샤프트 바디 및 상기 서셉터 샤프트 바디에 결합된 복수의 서셉터 샤프트 암을 포함하는 서셉터 샤프트를 고정하도록 마련되는 서셉터 샤프트 가공 지그로서, 상부 프레임 유닛; 상기 상부 프레임 유닛의 아래에 위치하는 하부 프레임 유닛; 상기 상부 프레임 유닛과 상기 하부 프레임 유닛을 연결하도록 마련되는 연결 프레임 유닛; 상기 복수의 서셉터 샤프트 암을 고정시키며, 상기 상부 프레임 유닛에 배치되는 상부 클램프 유닛; 및 상기 서셉터 샤프트 바디를 고정시키며, 상기 하부 프레임 유닛에 배치되는 하부 클램프 유닛을 포함할 수 있다.

Description

서셉터 샤프트 가공 지그{JIG FOR PROCESSING SUSCEPTOR SHAFT}
본 발명은 지그에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 서셉터 샤프트를 가공하는 경우에 사용되는 서셉터 샤프트 가공 지그에 관한 것이다.
서셉터 샤프트는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 리프트와 함께 웨이퍼를 지지하여 승하강하며, 웨이퍼의 가공 공정에서 웨이퍼의 수평한 정도는 반도체 품질에 영향을 미치게 되므로, 서셉터 샤프트를 정밀하게 가공할 필요성이 있다.
서셉터 샤프트를 정밀하게 가공하기 위한 목적으로 서셉터 샤프트를 고정하는 지그가 요구되며, 특히 서셉터 샤프트의 서셉터 샤프트 바디와 서셉터 샤프트 암을 고정하는 지그의 개발이 요구된다.
공개특허 10-2005-0090789
본 발명은 전술한 문제 및 다른 문제를 해결하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 서셉터 샤프트의 복수의 서셉터 샤프트 암을 고정하는 서셉터 샤프트 가공 지그를 제공하는 것을 다른(another) 목적으로 한다.
본 발명은 서셉터 샤프트의 서셉터 샤프트 바디를 고정하는 서셉터 샤프트 가공 지그를 제공하는 것을 다른(another) 목적으로 한다.
본 발명은 특정 기하 공차를 만족하는 서셉터 샤프트를 제조할 수 있도록 서셉터 샤프트를 고정하는 서셉터 샤프트 가공 지그를 제공하는 것을 다른(another) 목적으로 한다.
상기 또는 다른 목적을 달성하기 위해 본 발명의 일 측면에 따르면, 서셉터 샤프트 바디 및 상기 서셉터 샤프트 바디에 결합된 복수의 서셉터 샤프트 암을 포함하는 서셉터 샤프트를 고정하도록 마련되는 서셉터 샤프트 가공 지그로서, 상부 프레임 유닛; 상기 상부 프레임 유닛의 아래에 위치하는 하부 프레임 유닛; 상기 상부 프레임 유닛과 상기 하부 프레임 유닛을 연결하도록 마련되는 연결 프레임 유닛; 상기 복수의 서셉터 샤프트 암을 고정시키며, 상기 상부 프레임 유닛에 배치되는 상부 클램프 유닛; 및 상기 서셉터 샤프트 바디를 고정시키며, 상기 하부 프레임 유닛에 배치되는 하부 클램프 유닛을 포함하는, 서셉터 샤프트 가공 지그가 제공될 수 있다.
본 발명의 다른(another) 측면에 따르면, 상부 프레임 유닛; 상기 상부 프레임 유닛과 마주하며 이격 배치되는 하부 프레임 유닛; 및 상기 상부 프레임 유닛과 상기 하부 프레임 유닛을 연결하도록 마련되는, 연결 프레임 유닛을 포함하고, 상기 상부 프레임 유닛, 상기 하부 프레임 유닛 및 상기 연결 프레임 유닛 중 적어도 하나는 강자성 소재를 포함하는, 서셉터 샤프트 가공 지그가 제공될 수 있다.
본 발명에 따른 서셉터 샤프트 가공 지그의 효과에 대해 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 실시 예들 중 적어도 하나에 의하면, 서셉터 샤프트의 서셉터 샤프트 암을 고정하는 서셉터 샤프트 가공 지그가 제공될 수 있다.
본 발명의 실시 예들 중 적어도 하나에 의하면, 서셉터 샤프트의 하부 서셉터 샤프트 바디를 고정하는 리프트 가공 지그가 제공될 수 있다.
본 발명의 적용 가능성의 추가적인 범위는 이하의 상세한 설명으로부터 명백해질 것이다. 그러나 본 발명의 사상 및 범위 내에서 다양한 변경 및 수정은 당업자에게 명확하게 이해될 수 있으므로, 상세한 설명 및 본 발명의 바람직한 실시 예와 같은 특정 실시 예는 단지 예시로 주어진 것으로 이해되어야 한다.
도 1a는 서셉터 샤프트가 웨이퍼 공정에 이용되는 모습을 나타낸 도면이다.
도 1b는 서셉터 샤프트를 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 서셉터 샤프트 가공 지그를 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 프레임 유닛을 나타낸 사시도이다.
도 4는 상부 프레임 유닛에 상부 클램프 유닛이 결합된 모습을 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 하부 프레임 바디를 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 하부 고정 모듈을 나타낸 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 하부 프레임 유닛을 나타낸 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 연결 프레임 유닛을 나타낸 도면이다.
도 9는 서셉터 샤프트가 서셉터 샤프트 가공 지그에 고정된 모습을 나타낸 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 명세서에 개시된 실시 예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 "모듈" 및 "부"는 명세서 작성의 용이함만이 고려되어 부여되거나 혼용되는 것으로서, 그 자체로 서로 구별되는 의미 또는 역할을 갖는 것은 아니다. 또한, 본 명세서에 개시된 실시 예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 명세서에 개시된 실시 예의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시 예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되지 않으며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타냈으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등이 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소들이 직접적으로 연결된 경우뿐만 아니라 막, 영역, 구성요소들 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소들이 개재되어 간접적으로 연결된 경우도 포함한다. 예컨대, 본 명세서에서 막, 영역, 구성 요소 등이 전기적으로 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소 등이 직접 전기적으로 연결된 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 간접적으로 전기적 연결된 경우도 포함한다.
도 1a를 참조하면, 챔버(50)에 서셉터(40)가 수용될 수 있다. 챔버(50)는, 상부 돔(51), 상부 라이너(52), 하부 라이너(55), 그리고 하부 돔(56)을 포함할 수 있다. 하부 돔(56)은 아래에서 위로 연장되어 형성될 수 있다.
하부 돔(56)은 내부에 공간을 형성할 수 있다. 하부 라이너(55)는, 하부 돔(56)의 상부에 결합될 수 있다. 하부 라이너(55)는 하부 돔(56)의 상부 둘레를 따라 하부 돔(56)에 결합될 수 있다.
상부 라이너(52)는, 하부 라이너(55)의 상부에 결합될 수 있다. 상부 라이너(52)는, 하부 라이너(55)의 상부 둘레를 따라 하부 라이너(55)에 결합될 수 있다.
상부 돔(51)은, 상부 라이너(52)의 상단에 결합될 수 있다. 상부 돔(51)은, 챔버(50) 내부에 형성된 공간을 밀폐하거나 덮을 수 있다. 상부 돔(51)은, 상부 라이너(52)의 상단 둘레를 따라 상부 라이너(52)에 결합될 수 있다.
프리 히팅 링(60, pre-heating ring)은, 챔버(50)의 내부에 위치할 수 있다. 예를 들어, 프리 히팅 링(60)은, 하부 라이너(55)에 안착될 수 있다. 프리 히팅 링(60)은 링(ring)의 형상을 형성할 수 있다.
서셉터(40)는, 챔버(50)의 내부에 수용될 수 있다. 예를 들어, 서셉터(40)는, 챔버(50)의 하부 라이너(55)에 안착될 수 있다. 서셉터(40)는, 프리 히팅 링(60)에 의해 감싸질 수 있다. 서셉터(40)는 프리 히팅 링(60)과 이격될 수 있다. 서셉터(40)는, 프리 히팅 링(60)으로부터 열(heat)을 제공받을 수 있다.
서셉터(40)의 내부에 웨이퍼가 배치될 수 있다. 서셉터(40)는 함몰부를 형성할 수 있다. 서셉터(40)의 함몰부에 웨이퍼가 배치될 수 있다. 서셉터(40)의 함몰부 바닥면에는 삽입홀이 형성될 수 있다. 서셉터(40)의 바닥면에는 고정홈이 함몰되어 형성될 수 있다.
웨이퍼 리프트(30)는 챔버(50)에 수용될 수 있다. 웨이퍼 리프트(30)는 서셉터(40)의 삽입홀에 삽입되어 서셉터(40)를 지지할 수 있다. 예를 들어, 웨이퍼 리프트(40)의 상단에 리프트 핀(lift pin)이 결합되고, 리프트 핀이 서셉터(40)의 삽입홀에 삽입되어 웨이퍼를 지지할 수 있다. 웨이퍼 리프트(30)는 서셉터(40)를 직접적으로 승하강 시킬 수 있다.
서셉터 샤프트(20)는 챔버(50)에 수용될 수 있다. 예를 들어, 서셉터 샤프트(20)는, 웨이퍼 리프트(30)에 인접할 수 있다. 예를 들어, 서셉터 샤프트(20)는, 웨이퍼 리프트(30)와 유사한 형상을 형성할 수 있다. 서셉터 샤프트(20)는, 서셉터(40)의 고정홈에 결합되어 서셉터(40)를 지지할 수 있다. 서셉터 샤프트(20)는, 웨이퍼 리프트(30)와 별개로 승하강 이동할 수 있다. 서셉터 샤프트(20)는, 웨이퍼 리프트(30)와 일체로 회전 운동을 할 수 있다.
서셉터 샤프트(20)는, 서셉터(40)의 챔버(50) 내 위치 세팅시에, 주로 승하강할 수 있다. 반도체 공정 중 EPI 공정(증착 공정)시 웨이퍼 상에 도포 물질이 균일하게 도포될 수 있도록 회전운동을 할 수 있다.
도 1b는 서셉터 샤프트(20)를 나타낸 도면이다.
도 1b를 참조하면, 서셉터 샤프트(20)는 서셉터 샤프트 암(21, 22, 23)을 포함할 수 있다. 서셉터 샤프트 암(21, 22, 23)은 복수개로 제공될 수 있다. 예를 들어, 서셉터 샤프트 암(21, 22, 23)은, 제1 서셉터 샤프트 암(21), 제2 서셉터 샤프트 암(22), 그리고 제3 서셉터 샤프트 암(23)을 포함할 수 있다. 서셉터 샤프트 암(21, 22, 23)은 서셉터(40, 도 1a 참조)를 지지할 수 있다.
서셉터 샤프트(20)는 서셉터 샤프트 바디(24, 25)을 포함할 수 있다. 서셉터 샤프트 바디(24, 25)은 하부 서셉터 샤프트 바디(24)와 상부 서셉터 샤프트 바디(25)를 포함할 수 있다. 하부 서셉터 샤프트 바디(24)와 상부 서셉터 샤프트 바디(25)는 일체로 형성될 수 있다. 하부 서셉터 샤프트 바디(24)와 상부 서셉터 샤프트 바디(25)의 연결 지점으로부터, 서셉터 샤프트 암(21, 22, 23)이 연장되어 형성될 수 있다.
본 명세서에서 방향이 표시될 수 있다. 예를 들어, 전방(F, forward), 후방(B, backward), 좌측(L, left), 우측(R, right), 상방(U, upward), 그리고 하방(D, downward)이 정의될 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 서셉터 샤프트 가공 지그(10)를 나타낸 사시도이다.
도 2를 참조하면, 서셉터 샤프트 가공 지그(10)는 상부 프레임 유닛(100)을 포함할 수 있다. 상부 프레임 유닛(100)은 서셉터 샤프트(20, 도 1b 참조)의 일부를 지지하거나 고정할 수 있다. 상부 프레임 유닛(100)은 서셉터 샤프트(20, 도 1b 참조)의 서셉터 샤프트 암(21, 22, 23, 도 1b 참조)을 지지하거나 고정하거나 수용할 수 있다.
서셉터 샤프트 가공 지그(10)는 하부 프레임 유닛(200)을 포함할 수 있다. 하부 프레임 유닛(200)은 상부 프레임 유닛(100)의 아래에 위치할 수 있다. 하부 프레임 유닛(200)은 상부 프레임 유닛(100)과 이격될 수 있다.
서셉터 샤프트 가공 지그(10)는 상부 클램프 유닛(400, 500, 600)을 포함할 수 있다. 상부 클램프 유닛(400, 500, 600)은, 상부 프레임 유닛(100)의 상면에 위치하거나 고정될 수 있다. 상부 클램프 유닛(400, 500, 600)은, 복수로 제공될 수 있다. 예를 들어, 상부 클램프 유닛(400, 500, 600)은, 제1 클램프 유닛(400), 제2 클램프 유닛(500), 그리고 제3 클램프 유닛(600)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상부 클램프 유닛(400, 500, 600)은, 제1 클램프 유닛(400), 제2 클램프 유닛(500), 그리고 제3 클램프 유닛(600) 중 적어도 하나를 의미할 수 있다. 상부 클램프 유닛(400, 500, 600)은, 서셉터 샤프트 암(21, 22, 23, 도 1b 참조)의 상단부를 고정시킬 수 있다.
웨이퍼 가공 지그(10)는 연결 프레임 유닛(300)을 포함할 수 있다. 연결 프레임 유닛(300)은, 상부 프레임 유닛(100)과 하부 프레임 유닛(200)을 연결시킬 수 있다. 예를 들어, 연결 프레임 유닛(300)은 상부 프레임 유닛(100)에 결합되거나 고정될 수 있다. 예를 들어, 연결 프레임 유닛(300)은 하부 프레임 유닛(200)에 결합되거나 고정될 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 프레임 유닛(100)을 나타낸 사시도이다.
도 3을 참조하면, 상부 프레임 유닛(100)은 상부 프레임 바디(110)를 포함할 수 있다. 상부 프레임 바디(110)는 상부 프레임 유닛(100)의 골격을 형성할 수 있다. 상부 프레임 바디(110)는, 예를 들어, 위를 향하는 상면(upper surface)과 아래를 향하는 하면(lower surface)을 각각 형성할 수 있다. 상부 프레임 바디(110)는 금속 재질을 포함하는 소재로 형성될 수 있다.
상부 프레임 유닛(100)은 경사면(120)을 포함할 수 있다. 경사면(120)은, 상부 프레임 바디(110)에 형성될 수 있다. 예를 들어, 경사면(120)은 상부 프레임 바디(110)의 상면에 형성될 수 있다. 경사면(120)은, 경사면(120)의 중심으로 갈수록 아래를 향하여 기울어진 형상을 형성할 수 있다.
상부 프레임 유닛(100)은 고정 홈(130)을 포함할 수 있다. 고정 홈(130)은, 경사면(120)에 형성될 수 있다. 예를 들어, 고정 홈(130)은 경사면(120)에서 함몰된 형상을 형성할 수 있다.
고정 홈(130)은 상부 프레임 바디(110)에 형성될 수 있다. 예를 들어, 고정 홈(130)은 상부 프레임 바디(110)의 상면에 형성될 수 있다. 예를 들어, 상부 프레임 바디(110)의 상면에 형성된 고정 홈(130)은, 경사면(120)에 형성된 고정 홈(130)에서 연장되어 형성될 수 있다. 고정 홈(130)은 경사면(120)의 중심에서 반지름 방향(radial direction)으로 연장되어 형성될 수 있다.
고정 홈(130)은 복수개로 제공될 수 있다. 예를 들어, 고정 홈(130)은, 제1 고정 홈(131), 제2 고정 홈(132), 그리고 제3 고정 홈(133)을 포함할 수 있다. 제1 고정 홈(131), 제2 고정 홈(132), 그리고 제3 고정 홈(133)은, 방위각 방향(azimuthal direction)으로 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1 고정 홈(131), 제2 고정 홈(132), 그리고 제3 고정 홈(133)은, 방위각 방향으로 서로 동일한 간격을 두고 배치될 수 있다. 방위각 방향은, 상하 방향을 축으로 원주 방향을 의미할 수 있다.
서셉터 샤프트 암(21, 22, 23, 도 1b 참조)은, 고정 홈(130)에 고정되거나 수용되거나 결합될 수 있다. 예를 들어 제1 서셉터 샤프트 암(21, 도 1b 참조)은 제1 고정 홈(131)에 고정되거나 수용되거나 결합될 수 있다. 예를 들어 제2 서셉터 샤프트 암(22, 도 1b 참조)은 제2 고정 홈(132)에 고정되거나 수용되거나 결합될 수 있다. 예를 들어 제3 서셉터 샤프트 암(23, 도 1b 참조)은 제3 고정 홈(133)에 고정되거나 수용되거나 결합될 수 있다.
상부 프레임 유닛(100)은 상부 홀(140)을 포함할 수 있다. 상부 홀(140)은 경사면(120)에 형성될 수 있다. 상부 홀(140)은 경사면(120)의 중심부에 형성될 수 있다. 상부 홀(140)은 경사면(120)을 상하 방향으로 관통하여 형성될 수 있다. 서셉터 샤프트 바디(24, 25, 도 1b 참조)는 상부 홀(140)에 위치할 수 있다. 예를 들어, 상부 홀(140)의 길이 방향은, 상하 방향일 수 있다. 상부 홀(140)의 길이 방향은, 상부 홀(140)이 관통되는 방향을 의미할 수 있다.
도 4는 상부 프레임 유닛(100)에 상부 클램프 유닛(400, 500, 600)이 결합된 모습을 나타낸 도면이다. 상부 클램프 유닛(400, 500, 600)은 상부 프레임 유닛(100)에 결합되거나 고정될 수 있다. 상부 클램프 유닛(400, 500, 600)는, 예를 들어, 상부 프레임 바디(110)의 상면에 위치할 수 있다.
상부 클램프 유닛(400, 500, 600)의 위치는, 고정 홈(130)의 위치에 대응될 수 있다. 예를 들어, 제1 클램프 유닛(400)은 제1 고정 홈(131)에 인접할 수 있다. 예를 들어, 제1 클램프 유닛(400)은 제1 고정 홈(131)의 연장된 방향에 위치할 수 있다. 예를 들어, 제2 클램프 유닛(500)은 제2 고정 홈(132)에 인접할 수 있다. 예를 들어, 제2 클램프 유닛(500)은 제2 고정 홈(132)의 연장된 방향에 위치할 수 있다. 예를 들어, 제3 클램프 유닛(600)은 제3 고정 홈(133)에 인접할 수 있다. 예를 들어, 제3 클램프 유닛(600)은 제3 고정 홈(133)의 연장된 방향에 위치할 수 있다.
제1 클램프 유닛(400)은, 제1-1 클램프 모듈(410)과 제1-2 클램프 모듈(420)을 포함할 수 있다. 제1-1 클램프 모듈(410)은, 제1-1 클램프 바디(411)와 제1-1 클램프 핀(412)을 포함할 수 있다. 제1-2 클램프 모듈(420)은, 제1-2 클램프 바디(421)와 제1-2 클램프 핀(422)을 포함할 수 있다.
제1 클램프 바디(411, 412)는, 제1-1 클램프 바디(411)와 제1-2 클램프 바디(421) 중 적어도 하나를 의미할 수 있다. 제1 클램프 바디(411, 412)는, 상부 프레임 바디(110)의 상면에 고정되거나 결합될 수 있다. 제1-1 클램프 바디(411)와 제1-2 클램프 바디(421)는, 제1 고정 홈(131)이 연장된 가상의 선(virtual line)을 사이에 두고 배치될 수 있다.
제1 클램프 핀(412, 422)는, 제1-1 클램프 핀(412)과 제1-2 클램프 핀(422) 중 적어도 하나를 의미할 수 있다. 제1 클램프 핀(412, 422)은, 제1 클램프 바디(411, 412)에 나사 결합될 수 있다.
예를 들어, 제1-1 클램프 핀(412)은 제1-1 클램프 바디(411)에 나사 결합되어 이동할 수 있다. 예를 들어, 제1-1 클램프 핀(412)은 제1-2 클램프 모듈(420)을 향하여 근접하거나 멀어질 수 있다. 예를 들어, 제1-2 클램프 핀(422)은 제1-2 클램프 바디(421)에 나사 결합되어 이동할 수 있다. 예를 들어, 제1-2 클램프 핀(422)은 제1-1 클램프 모듈(410)을 향하여 근접하거나 멀어질 수 있다. 예를 들어, 제1 서셉터 샤프트 암(21, 도 1b 참조)은, 제1-1 클램프 핀(412)과 제1-2 클램프 핀(422) 사이에 고정될 수 있다.
제2 클램프 유닛(500)은, 제2-1 클램프 모듈(510)과 제2-2 클램프 모듈(520)을 포함할 수 있다. 제2-1 클램프 모듈(510)은, 제2-1 클램프 바디(511)와 제2-1 클램프 핀(512)을 포함할 수 있다. 제2-2 클램프 모듈(520)은, 제2-2 클램프 바디(521)와 제2-2 클램프 핀(522)을 포함할 수 있다.
제2 클램프 바디(511, 512)는, 제2-1 클램프 바디(511)와 제2-2 클램프 바디(521) 중 적어도 하나를 의미할 수 있다. 제2 클램프 바디(511, 512)는, 상부 프레임 바디(110)의 상면에 고정되거나 결합될 수 있다. 제2-1 클램프 바디(511)와 제2-2 클램프 바디(521)는, 제2 고정 홈(132)이 연장된 가상의 선(virtual line)을 사이에 두고 배치될 수 있다.
제2 클램프 핀(512, 522)는, 제2-1 클램프 핀(512)과 제2-2 클램프 핀(522) 중 적어도 하나를 의미할 수 있다. 제2 클램프 핀(512, 522)은, 제2 클램프 바디(511, 512)에 나사 결합될 수 있다.
예를 들어, 제2-1 클램프 핀(512)은 제2-1 클램프 바디(511)에 나사 결합되어 이동할 수 있다. 예를 들어, 제2-1 클램프 핀(512)은 제2-2 클램프 모듈(520)을 향하여 근접하거나 멀어질 수 있다. 예를 들어, 제2-2 클램프 핀(522)은 제2-2 클램프 바디(521)에 나사 결합되어 이동할 수 있다. 예를 들어, 제2-2 클램프 핀(522)은 제2-1 클램프 모듈(510)을 향하여 근접하거나 멀어질 수 있다. 예를 들어, 제2 서셉터 샤프트 암(22, 도 1b 참조)은, 제2-1 클램프 핀(512)과 제2-2 클램프 핀(522) 사이에 고정될 수 있다.
제3 클램프 유닛(600)은, 제3-1 클램프 모듈(610)과 제3-2 클램프 모듈(620)을 포함할 수 있다. 제3-1 클램프 모듈(610)은, 제3-1 클램프 바디(611)와 제3-1 클램프 핀(612)을 포함할 수 있다. 제3-2 클램프 모듈(620)은, 제3-2 클램프 바디(621)와 제3-2 클램프 핀(622)을 포함할 수 있다.
제3 클램프 바디(611, 612)는, 제3-1 클램프 바디(611)와 제3-2 클램프 바디(621) 중 적어도 하나를 의미할 수 있다. 제3 클램프 바디(611, 612)는, 상부 프레임 바디(110)의 상면에 고정되거나 결합될 수 있다. 제3-1 클램프 바디(611)와 제3-2 클램프 바디(621)는, 제3 고정 홈(133)이 연장된 가상의 선(virtual line)을 사이에 두고 배치될 수 있다.
제3 클램프 핀(612, 622)는, 제3-1 클램프 핀(612)과 제3-2 클램프 핀(622) 중 적어도 하나를 의미할 수 있다. 제3 클램프 핀(612, 622)은, 제3 클램프 바디(611, 612)에 나사 결합될 수 있다.
예를 들어, 제3-1 클램프 핀(612)은 제3-1 클램프 바디(611)에 나사 결합되어 이동할 수 있다. 예를 들어, 제3-1 클램프 핀(612)은 제3-2 클램프 모듈(620)을 향하여 근접하거나 멀어질 수 있다. 예를 들어, 제3-2 클램프 핀(622)은 제3-2 클램프 바디(621)에 나사 결합되어 이동할 수 있다. 예를 들어, 제3-2 클램프 핀(622)은 제3-1 클램프 모듈(610)을 향하여 근접하거나 멀어질 수 있다. 예를 들어, 제3 서셉터 샤프트 암(23, 도 1b 참조)은, 제3-1 클램프 핀(612)과 제3-2 클램프 핀(622) 사이에 고정될 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 하부 프레임 바디(210)를 나타낸 도면이다.
도 5를 참조하면, 하부 프레임 유닛(200)은 하부 프레임 바디(210)를 포함할 수 있다. 하부 프레임 바디(210)는 하부 프레임 유닛(200)의 골격을 형성할 수 있다. 하부 프레임 바디(210)는 상면(upper surface)과 하면(lower surface)을 형성할 수 있다. 하부 프레임 바디(210)의 상면은, 상부 프레임 유닛(100)을 마주할 수 있다. 하부 프레임 바디(210)의 하면은, 하부 프레임 바디(210)의 상면의 맞은편에 위치할 수 있다.
하부 프레임 유닛(200)은 하부 홀(240)을 포함할 수 있다. 하부 홀(240)은 하부 프레임 바디(210)에 형성될 수 있다. 예를 들어, 하부 홀(240)은, 하부 프레임 바디(210)의 상면과 하면에 연결될 수 있다. 예를 들어, 하부 홀(240)의 길이 방향은, 상하 방향일 수 있다. 하부 홀(240)의 길이 방향은, 하부 홀(240)이 관통되는 방향을 의미할 수 있다. 하부 홀(240)은 상부 홀(140)의 아래에 위치할 수 있다. 하부 서셉터 샤프트 바디(24, 도 1b 참조)는 하부 홀(240)에 위치할 수 있다.
하부 홀(240)은, 서셉터 샤프트 바디(24, 25, 도 1b 참조)가 관통 결합되도록 하부 프레임 바디(210)에 형성될 수 있다. 하부 홀(240)은, 하부 고정 모듈(220)과 하부 클램프 모듈(230)의 사이에 위치할 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 하부 고정 모듈(220)을 나타낸 도면이다.
도 6을 참조하면, 하부 프레임 유닛(200, 도 2 참조)은 하부 고정 모듈(220)을 포함할 수 있다. 하부 고정 모듈(220)은 하부 프레임 바디(210, 도 5 참조)의 상면에 위치하거나 고정될 수 있다. 하부 고정 모듈(220)은, 하부 프레임 바디(210)와 상부 프레임 바디(110)의 사이에 위치할 수 있다.
하부 고정 모듈(220)은 하부 고정 모듈 전면(221)을 포함할 수 있다. 하부 고정 모듈 전면(221)은, 하부 고정 모듈(220)의 전면(front surface)을 형성할 수 있다. 하부 고정 모듈 전면(221)은, 전방을 향할 수 있다.
하부 고정 모듈 전면(221)은, 제1 하부 고정 모듈 전면(2211)과 제2 하부 고정 모듈 전면(2212)을 포함할 수 있다. 제1 하부 고정 모듈 전면(2211)과 제2 하부 고정 모듈 전면(2212)은, 서로 이격될 수 있다. 예를 들어, 제1 하부 고정 모듈 전면(2211)과 제2 하부 고정 모듈 전면(2212)은, 좌우 방향으로 이격될 수 있다.
하부 고정 모듈(220)은 하부 고정 모듈 함몰면(222)을 포함할 수 있다. 하부 고정 모듈 함몰면(222)은, 하부 고정 모듈 전면(221)에서 뒤로 함몰되어 형성될 수 있다. 하부 고정 모듈 함몰면(222)은, 제1 하부 고정 모듈 함몰면(2221)과 제2 하부 고정 모듈 함몰면(2222)을 포함할 수 있다.
제1 하부 고정 모듈 함몰면(2221)은, 제1 하부 고정 모듈 전면(2211)에 연결될 수 있다. 제1 하부 고정 모듈 함몰면(2221)은, 제1 하부 고정 모듈 전면(2211)과 제2 하부 고정 모듈 함몰면(2222)의 사이에 위치할 수 있다. 제1 하부 고정 모듈 함몰면(2221)은, 제2 하부 고정 모듈 함몰면(2222)에 연결될 수 있다.
제2 하부 고정 모듈 함몰면(2222)은, 제2 하부 고정 모듈 전면(2212)에 연결될 수 있다. 제2 하부 고정 모듈 함몰면(2222)은, 제2 하부 고정 모듈 전면(2212)과 제1 하부 고정 모듈 함몰면(2221)의 사이에 위치할 수 있다. 제2 하부 고정 모듈 함몰면(2222)은, 제1 하부 고정 모듈 함몰면(2221)에 연결될 수 있다.
제1 하부 고정 모듈 함몰면(2221)과 제2 하부 고정 모듈 함몰면(2222)의 사이에 하부 고정 홈(223)이 형성될 수 있다. 하부 서셉터 샤프트 바디(24, 도 1b 참조)는 하부 고정 홈(223)에 위치할 수 있다. 하부 서셉터 샤프트 바디(24, 도 1b 참조)은, 예를 들어, 하부 고정 모듈 함몰면(222)에 지지될 수 있다. 하부 고정 모듈(220)이 하부 프레임 바디(210, 도 5 참조)에 결합되거나 고정되면, 하부 고정 홈(223)은 하부 홀(240, 도 5 참조)에 연결되거나 연통될 수 있다.
하부 고정 홈(223)은 노치(notch) 형상으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 하부 고정 홈(223)의 폭은, 함몰된 방향으로 갈수록 좁아질 수 있다. 하부 고정 홈(223)은, 하부 클램프 모듈(230)과 마주하는 하부 고정 모듈(220)의 일 면에서 함몰되어 형성될 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 하부 프레임 유닛(200)을 나타낸 도면이다.
도 7을 참조하면, 하부 프레임 유닛(200)은 하부 클램프 모듈(230)을 포함할 수 있다. 하부 클램프 모듈(230)은 하부 프레임 바디(210)의 일면(a surface)에 위치할 수 있다. 예를 들어, 하부 클램프 모듈(230)은 하부 프레임 바디(210)의 상면에 위치할 수 있다. 하부 클램프 모듈(230)은, "제4 클램프 모듈"이라 칭할 수 있다. 하부 클램프 모듈(230)은, 하부 고정 모듈(220)의 앞에 위치할 수 있다. 하부 클램프 유닛(220, 230)은, 하부 고정 모듈(220)과 하부 클램프 모듈(230) 중 적어도 하나를 의미할 수 있다. 예를 들어, 하부 클램프 유닛(220, 230)은, 하부 고정 모듈(220)과 하부 클램프 모듈(230)을 포함할 수 있다.
하부 클램프 모듈(230)은 하부 클램프 바디(231)를 포함할 수 있다. 하부 클램프 바디(231)는 하부 클램프 바디(210)의 상면에 위치할 수 있다. 하부 클램프 바디(231)는 하부 클램프 바디(210)에 고정될 수 있다. 하부 클램프 바디(231)는, 하부 고정 모듈(220)의 앞에 위치하되 하부 고정 모듈(220)에 이격될 수 있다. 하부 클램프 바디(231)는, 하부 홀(240)의 앞에 위치할 수 있다.
하부 클램프 모듈(230)은 하부 클램프 핀(232)을 포함할 수 있다. 하부 클램프 핀(232)은 하부 클램프 바디(231)에 결합될 수 있다. 예를 들어, 하부 클램프 핀(232)은 하부 클램프 바디(231)에 나사 결합될 수 있다. 예를 들어, 하부 클램프 핀(232)은 하부 클램프 바디(231)에서 전후 방향으로 이동할 수 있다. 예를 들어, 하부 클램프 핀(232)은, 하부 고정 모듈(220)을 향하여 근접하거나 멀어질 수 있다. 하부 클램프 핀(232)과 하부 고정 모듈 함몰면(222, 도 6 참조)은, 하부 서셉터 샤프트 바디(24, 도 1b 참조)를 고정할 수 있다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 연결 프레임 유닛(300)을 나타낸 도면이다.
도 8을 참조하면, 연결 프레임 유닛(300)은, 주 연결 프레임(310)을 포함할 수 있다. 주 연결 프레임(310)은, 상부 프레임 유닛(100, 도 2 참조)의 후단부와 하부 프레임 유닛(200, 도 2 참조)의 후단부 중 적어도 하나에 연결될 수 있다. 예를 들어, 주 연결 프레임(310)의 상단부는, 상부 프레임 유닛(100, 도 2 참조)에 연결되거나 결합될 수 있다. 예를 들어, 주 연결 프레임(310)의 하단부는, 하부 프레임 유닛(200)에 연결되거나 결합될 수 있다. 주 연결 프레임(310)은, 상부 프레임 유닛(100, 도 2 참조)의 뒤에 위치할 수 있다. 주 연결 프레임(310)은, 하부 프레임 유닛(200, 도 2 참조)의 뒤에 위치할 수 있다. 주 연결 프레임(310)은, 강자성 소재를 포함하는 재료로 형성될 수 있다.
연결 프레임 유닛(300)은, 상부 연결 프레임(320)을 포함할 수 있다. 상부 연결 프레임(320)의 일측은, 상부 프레임 유닛(100, 도 2 참조)에 결합될 수 있다. 상부 연결 프레임(320)의 타측은, 주 연결 프레임(310)에 결합될 수 있다. 상부 연결 프레임(320)은, 복수로 제공될 수 있다. 예를 들어, 상부 연결 프레임(320)은, 제1 상부 연결 프레임(321)과 제2 상부 연결 프레임(322)을 포함할 수 있다.
연결 프레임 유닛(300)은, 하부 연결 프레임(330)을 포함할 수 있다. 하부 연결 프레임(330)의 일측은, 하부 프레임 유닛(200, 도 2 참조)에 결합될 수 있다. 하부 연결 프레임(330)의 타측은, 주 연결 프레임(310)에 결합될 수 있다. 하부 연결 프레임(330)은, 복수로 제공될 수 있다. 예를 들어, 하부 연결 프레임(330)은, 제1 하부 연결 프레임(331)과 제2 하부 연결 프레임(332)을 포함할 수 있다.
도 9는 서셉터 샤프트(20)가 서셉터 샤프트 가공 지그(10)에 고정된 모습을 나타낸 도면이다.
도 1 내지 도 9를 참조하면, 서셉터 샤프트(20)는 서셉터 샤프트 가공 지그(10)에 고정될 수 있다. 서셉터 샤프트(20)가 서셉터 샤프트 가공 지그(10)에 고정된 상태에서, 서셉터 샤프트 암(21, 22, 23)의 단부 또는/및 상부 서셉터 샤프트 바디(25)의 단부가 용이하게 가공될 수 있다.
복수의 상부 클램프 유닛(400, 500, 600)은, 상부 홀(140)의 외부에 위치하며, 상부 홀(140)을 중심으로 방위각 방향으로 배치될 수 있다. 고정 홈(130)은 상부 홀(140)에 연결되거나 연통될 수 있다. 고정 홈(130)은, 상부 홀(140)에서 연장되어 경사면(120)을 가로질러 상부 프레임 바디(110)에 이어질 수 있다. 방위각 방향은, 상하 방향을 축으로 원주 방향을 의미할 수 있다.
상부 프레임 유닛(100), 하부 프레임 유닛(200), 그리고 연결 프레임 유닛(300) 중 적어도 하나는, 강자성 소재를 포함하는 재료로 형성될 수 있다.
하부 고정 모듈(220)의 하부 고정 모듈 전면(221)은 하부 클램프 모듈(230)을 마주할 수 있다. 하부 클램프 모듈(230)은, 하부 홀(240)을 기준으로 하부 고정 모듈(220)의 맞은편에 위치할 수 있다.
서셉터 샤프트(20)는 본 발명의 일 실시예에 따른 서셉터 샤프트 가공 지그(10)를 이용하여 공작 기계에 의해 가공될 수 있다.
서셉터 샤프트(20)가 가공되기 전(前)에, 서셉터 샤프트 가공 지그(10)에 자력(magnetic force)을 가하여 서셉터 샤프트 가공 지그(10)를 공작 기계에 마운트(mount)시킬 수 있다. 공작 기계는, 예를 들어, MCT일 수 있다.
공작 기계에 샤프트 가공 지그(10)가 마운트된 이후, 서셉터 샤프트(20)는 서셉터 샤프트 가공 지그(10)에 고정될 수 있다. 이후, 공작 기계는 서셉터 샤프트(20)를 가공할 수 있다. 공작 기계는, 서셉터 샤프트(20)의 서셉터 샤프트 암(21, 22, 23)과 서셉터 샤프트 바디(24, 25)를 특정 기하 공차(직각도, 평면도)를 만족하도록 가공할 수 있다.
공작 기계에 의해 서셉터 샤프트(20)의 가공이 완료되면, 서셉터 샤프트 가공 지그(10)에 가해진 자력을 해제하여, 서셉터 샤프트 가공 지그(10)를 공작 기계에서 분리시킬 수 있다.
앞에서 설명된 본 발명의 어떤 실시예 또는 다른 실시예들은 서로 배타적이거나 구별되는 것은 아니다. 앞서 설명된 본 발명의 어떤 실시예들 또는 다른 실시예들은 각각의 구성 또는 기능이 병용되거나 조합될 수 있다.
본 발명은 본 발명의 정신 및 필수적 특징을 벗어나지 않는 범위에서 다른 특정한 형태로 구체화될 수 있음은 당업자에게 자명하다. 상기의 상세한 설명은 모든 면에서 제한적으로 해석되어서는 아니 되고 예시적인 것으로 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 첨부된 청구항의 합리적 해석에 의해 결정되어야 하고, 본 발명의 등가적 범위 내에서의 모든 변경은 본 발명의 범위에 포함된다.
10: 서셉터 샤프트 가공 지그 100: 상부 프레임 유닛
200: 하부 프레임 유닛 300: 연결 프레임 유닛
400: 제1 클램프 유닛 500: 제2 클램프 유닛
600: 제3 클램프 유닛

Claims (12)

  1. 서셉터 샤프트 바디 및 상기 서셉터 샤프트 바디에 결합된 복수의 서셉터 샤프트 암을 포함하는 서셉터 샤프트를 고정하도록 마련되는 서셉터 샤프트 가공 지그로서,
    상부 프레임 유닛;
    상기 상부 프레임 유닛의 아래에 위치하는 하부 프레임 유닛;
    상기 상부 프레임 유닛과 상기 하부 프레임 유닛을 연결하도록 마련되는 연결 프레임 유닛;
    상기 복수의 서셉터 샤프트 암을 고정시키며, 상기 상부 프레임 유닛에 배치되는 상부 클램프 유닛; 및
    상기 서셉터 샤프트 바디를 고정시키며, 상기 하부 프레임 유닛에 배치되는 하부 클램프 유닛을 포함하는,
    서셉터 샤프트 가공 지그.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 상부 프레임 유닛은,
    상기 상부 클램프 유닛이 배치되는 상면(上面)을 형성하는 상부 프레임 바디;
    상기 상부 프레임 바디에 상하 방향으로 관통되어 형성되는 상부 홀; 및
    상기 상부 프레임 바디의 상면에 함몰되어 형성되고, 상기 복수의 서셉터 샤프트 암이 안착되는, 고정 홈을 포함하는,
    서셉터 샤프트 가공 지그.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 상부 프레임 유닛은,
    상기 상부 프레임 바디의 상면에 형성되며, 상기 상부 홀을 향할수록 하향 경사지는 경사면을 더 포함하는,
    서셉터 샤프트 가공 지그.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 고정 홈은,
    상기 경사면에 복수 개로 형성되며 서로 이격되어 배치되는,
    서셉터 샤프트 가공 지그.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 상부 클램프 유닛은,
    상기 상부 홀의 외측에 위치하며, 상기 상부 홀의 둘레를 따라 이격되어 배치되는 복수의 상부 클램프 유닛을 포함하는,
    서셉터 샤프트 가공 지그.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 상부 클램프 유닛은,
    서로 마주하며 이격되어 배치되는 제1 클램프 모듈 및 제2 클램프 모듈을 포함하고,
    상기 제1 클램프 모듈 및 상기 제2 클램프 모듈 각각은,
    상부 클램프 바디; 및
    상기 상부 클램프 바디에 이동 가능하게 결합하여, 상기 제1 클램프 모듈과 상기 제2 클램프 모듈의 사이에 배치되는 상기 복수의 서셉터 샤프트 암을 가압하여 고정시키는, 상부 클램프 핀을 포함하는,
    서셉터 샤프트 가공 지그.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 하부 클램프 유닛은,
    서로 마주하며 이격 배치되는 하부 고정 모듈과 하부 클램프 모듈을 포함하고,
    상기 하부 클램프 모듈은,
    하부 클램프 바디; 및
    상기 하부 클램프 바디에 이동 가능하게 결합되어, 상기 하부 고정 모듈 및 상기 하부 클램프 모듈 사이에 배치되는 상기 서셉터 샤프트 바디를 가압하여 고정시키는, 하부 클램프 핀을 포함하는,
    서셉터 샤프트 가공 지그.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 하부 고정 모듈은,
    상기 서셉터 샤프트 바디가 결합될 수 있도록, 상기 하부 클램프 모듈과 마주하는 일 면에 함몰되어 형성되는, 하부 고정 홈을 포함하고,
    상기 하부 고정 홈은,
    함몰된 방향으로 갈수록 좁아지는 폭을 가지는,
    서셉터 샤프트 가공 지그.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 상부 프레임 유닛은,
    상기 상부 클램프 유닛이 배치되는 상면을 형성하는 상부 프레임 바디; 및
    상기 상부 프레임 바디에 상하 방향으로 관통되어 형성되는 상부 홀을 포함하고,
    상기 하부 프레임 유닛은,
    상기 하부 고정 모듈 및 상기 하부 클램프 모듈이 배치되는 하부 프레임 바디; 및
    상기 서셉터 샤프트 바디가 관통 결합되도록 상기 하부 프레임 바디에 형성되고, 상기 상부 홀에 대응되도록 상기 하부 고정 모듈 및 상기 하부 클램프 모듈 사이에 위치하는 하부 홀을 포함하는,
    서셉터 샤프트 가공 지그.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 상부 프레임 유닛, 상기 하부 프레임 유닛 및 상기 연결 프레임 유닛 중 적어도 하나는 강자성 소재로 형성되는,
    서셉터 샤프트 가공 지그.
  11. 상부 프레임 유닛;
    상기 상부 프레임 유닛과 마주하며 이격 배치되는 하부 프레임 유닛; 및
    상기 상부 프레임 유닛과 상기 하부 프레임 유닛을 연결하도록 마련되는, 연결 프레임 유닛을 포함하고,
    상기 상부 프레임 유닛, 상기 하부 프레임 유닛 및 상기 연결 프레임 유닛 중 적어도 하나는 강자성 소재를 포함하는,
    서셉터 샤프트 가공 지그.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 연결 프레임 유닛은,
    상기 상부 프레임 유닛의 후단부 및 상기 하부 프레임 유닛의 후단부 중 적어도 하나에 연결되는 주 연결 프레임을 포함하고,
    상기 주 연결 프레임은 강자성을 가지는 소재를 포함하는,
    서셉터 샤프트 가공 지그.
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