KR102470181B1 - Fork lift for transferring a carriage - Google Patents

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Abstract

캐리지 반송용 포크 리프트는 베이스, 지지판 및 지지 기구를 포함할 수 있다. 상기 지지판은 상기 베이스의 상부면에 수평 방향을 따라 이동 가능하게 배치되어, 케미컬 용기를 수용한 캐리지의 하부면을 지지할 수 있다. 상기 지지 기구는 상기 지지판에 배치되어, 상기 캐리지의 양측면들을 지지할 수 있다. 따라서, 캐리지가 견고하게 지지되어, 캐리지 반송 중에 캐리지 내에 수용된 케미컬 용기도 견고하게 지지될 수 있다. 결과적으로, 케미컬 용기의 파손이 방지되어, 케미컬 용기로부터 케미컬이 누설되는 안전 사고를 예방할 수 있다.A forklift for transporting a carriage may include a base, a support plate, and a support mechanism. The support plate may be movably disposed on an upper surface of the base in a horizontal direction to support a lower surface of a carriage accommodating a chemical container. The support mechanism may be disposed on the support plate to support both sides of the carriage. Therefore, the carriage is firmly supported, and the chemical container accommodated in the carriage can also be firmly supported during transportation of the carriage. As a result, damage to the chemical container is prevented, and safety accidents in which chemicals leak from the chemical container can be prevented.

Description

캐리지 반송용 포크 리프트{FORK LIFT FOR TRANSFERRING A CARRIAGE}Fork lift for carriage transport {FORK LIFT FOR TRANSFERRING A CARRIAGE}

본 발명은 캐리지 반송용 포크 리프트에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명은 케미컬 용기를 수용하는 캐리지를 반송하는데 사용되는 포크 리프트에 관한 것이다.The present invention relates to a forklift for conveying a carriage. More specifically, the present invention relates to a forklift used to transport a carriage containing a chemical container.

일반적으로, 반도체 장치의 제조에 다양한 케미컬들이 사용될 수 있다. 이러한 케미컬들이 저장된 케미컬 용기는 캐리지에 수용된 상태로 반도체 제조 설비들로 반송될 수 있다.In general, various chemicals may be used in the manufacture of semiconductor devices. The chemical container in which these chemicals are stored may be transported to semiconductor manufacturing facilities in a state accommodated in the carriage.

관련 기술들에 따르면, 캐리지 반송 중에 케미컬 용기로부터 케미컬이 누설되어 심각한 안전 사고가 발생될 수 있다. 또한, 작업자가 케미컬 용기의 인식 코드를 수작업으로 입력해야만 하는 불편함도 있을 수 있다. According to related technologies, a chemical leaks from a chemical container during transportation of a carriage, which may cause a serious safety accident. In addition, there may be inconvenience in that the operator must manually input the identification code of the chemical container.

본 발명은 작업자의 불편함을 해소하면서 케미컬 누설도 방지할 수 있는 캐리지 반송용 포크 리프트를 제공한다.The present invention provides a forklift for conveying a carriage that can prevent chemical leakage while eliminating operator's inconvenience.

본 발명의 일 견지에 따른 캐리지 반송용 포크 리프트는 베이스, 지지판 및 지지 기구를 포함할 수 있다. 상기 지지판은 상기 베이스의 상부면에 수평 방향을 따라 이동 가능하게 배치되어, 케미컬 용기를 수용한 캐리지의 하부면을 지지할 수 있다. 상기 지지 기구는 상기 지지판에 배치되어, 상기 캐리지의 양측면들을 지지할 수 있다.A forklift for conveying a carriage according to one aspect of the present invention may include a base, a support plate, and a support mechanism. The support plate may be movably disposed on an upper surface of the base in a horizontal direction to support a lower surface of a carriage accommodating a chemical container. The support mechanism may be disposed on the support plate to support both sides of the carriage.

상기된 본 발명에 따르면, 지지판이 캐리지의 하부면을 지지하고, 지지 기구가 캐리지의 양측면을 지지할 수 있다. 따라서, 캐리지가 견고하게 지지되어, 캐리지 반송 중에 캐리지 내에 수용된 케미컬 용기도 견고하게 지지될 수 있다. 결과적으로, 케미컬 용기의 파손이 방지되어, 케미컬 용기로부터 케미컬이 누설되는 안전 사고를 예방할 수 있다.According to the present invention described above, the supporting plate can support the lower surface of the carriage, and the supporting mechanism can support both side surfaces of the carriage. Therefore, the carriage is firmly supported, and the chemical container accommodated in the carriage can also be firmly supported during transportation of the carriage. As a result, damage to the chemical container is prevented, and safety accidents in which chemicals leak from the chemical container can be prevented.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 캐리지 반송용 포크 리프트의 정면을 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 포크 리프트의 후면을 나타낸 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 포크 리프트의 저면을 나타낸 사시도이다.
도 4는 도 1에 도시된 포크 리프트를 나타낸 정면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 포크 리프트를 나타낸 우측면도이다.
도 6은 도 1에 도시된 포크 리프트를 나타낸 배면도이다.
도 7은 도 1에 도시된 포크 리프트를 나타낸 평면도이다.
도 8은 도 1에 도시된 포크 리프트를 나타낸 저면도이다.
도 9는 도 1에 도시된 포크 리프트의 이동 기구를 확대해서 나타낸 사시도이다.
도 10은 도 1에 도시된 포크 리프트의 지지 기구를 확대해서 나타낸 정면도이다.
도 11은 도 10에 도시된 지지 기구를 나타낸 평면도이다.1 is a perspective view showing the front of a forklift for conveying a carriage according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a perspective view showing the rear of the forklift shown in Figure 1;
Figure 3 is a perspective view showing the bottom of the forklift shown in Figure 1;
Figure 4 is a front view showing the forklift shown in Figure 1;
5 is a right side view showing the forklift shown in FIG. 1;
6 is a rear view showing the forklift shown in FIG. 1;
7 is a plan view illustrating the forklift shown in FIG. 1;
8 is a bottom view showing the forklift shown in FIG. 1;
9 is an enlarged perspective view of a moving mechanism of the forklift shown in FIG. 1;
10 is an enlarged front view of a support mechanism of the forklift shown in FIG. 1;
11 is a plan view showing the support mechanism shown in FIG. 10;

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 캐리지 반송용 포크 리프트의 정면을 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 포크 리프트의 후면을 나타낸 사시도이며, 도 3은 도 1에 도시된 포크 리프트의 저면을 나타낸 사시도이고, 도 4는 도 1에 도시된 포크 리프트를 나타낸 정면도이며, 도 5는 도 1에 도시된 포크 리프트를 나타낸 측면도이고, 도 6은 도 1에 도시된 포크 리프트를 나타낸 배면도이며, 도 7은 도 1에 도시된 포크 리프트를 나타낸 평면도이고, 도 8은 도 1에 도시된 포크 리프트를 나타낸 저면도이며, 도 9는 도 1에 도시된 포크 리프트의 이동 기구를 확대해서 나타낸 사시도이고, 도 10은 도 1에 도시된 포크 리프트의 지지 기구를 확대해서 나타낸 정면도이며, 도 11은 도 10에 도시된 지지 기구를 나타낸 평면도이다.1 is a perspective view showing the front of a forklift for transporting a carriage according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing the rear of the forklift shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a perspective view of the forklift shown in FIG. A perspective view showing a bottom surface, Figure 4 is a front view showing the forklift shown in Figure 1, Figure 5 is a side view showing the forklift shown in Figure 1, Figure 6 is a rear view showing the forklift shown in Figure 1 7 is a plan view showing the forklift shown in FIG. 1, FIG. 8 is a bottom view showing the forklift shown in FIG. 1, and FIG. 9 is an enlarged view of the moving mechanism of the forklift shown in FIG. A perspective view, FIG. 10 is an enlarged front view of the forklift support mechanism shown in FIG. 1 , and FIG. 11 is a plan view showing the support mechanism shown in FIG. 10 .

도 1 내지 도 11을 참조하면, 본 실시예에 따른 캐리지 반송용 포크 리프트는 베이스(110), 지지판(120), 수직 이동 기구, 수평 이동 기구(130), 지지 기구(140), 고정핀(150), 팬(160), 리크 센서(170) 및 ID 인식부(180)를 포함할 수 있다.1 to 11, the forklift for conveying a carriage according to this embodiment includes a base 110, a support plate 120, a vertical movement mechanism, a horizontal movement mechanism 130, a support mechanism 140, a fixing pin ( 150), a fan 160, a leak sensor 170, and an ID recognition unit 180.

반도체 장치 제조에 사용되는 다양한 종류의 케미컬들은 케미컬 용기들 각각에 수용될 수 있다. 케미컬 용기들 각각은 캐리지(C)들에 개별적으로 수납될 수 있다. 복수개의 캐리지(C)들은 보관함 내에 수용될 수 있다. 각 캐리지(C)는 수납된 케미컬의 성분을 나타내는 ID를 가질 수 있다. 예를 들어서, 케미컬은 포토레지스트를 포함할 수 있고, 이러한 경우 캐리지(C)의 ID는 수납된 케미컬이 포토레지스트라는 것을 표시할 수 있다. 캐리지(C)는 대략 직육면체 형상을 가질 수 있다.Various types of chemicals used in manufacturing semiconductor devices may be accommodated in each of the chemical containers. Each of the chemical containers may be individually accommodated in the carriages (C). A plurality of carriages (C) may be accommodated in the storage box. Each carriage C may have an ID indicating a component of the stored chemical. For example, the chemical may include photoresist, in which case the ID of the carriage C may indicate that the stored chemical is photoresist. The carriage C may have a substantially rectangular parallelepiped shape.

베이스(110)는 얇은 두께를 갖는 대략 직육면체 형상을 가질 수 있다. 베이스(110)는 캐리지(C)를 반송하는 로봇 암(190)에 연결될 수 있다. 따라서, 로봇 암(190)에 의해서 베이스(110)는 보관함으로부터 공정 설비로 또는 역으로 이송될 수 있다.The base 110 may have a substantially rectangular parallelepiped shape having a thin thickness. The base 110 may be connected to a robot arm 190 carrying the carriage C. Thus, the base 110 can be transported from storage to a process facility or vice versa by the robot arm 190 .

지지판(120)은 베이스(110)의 상부면에 배치될 수 있다. 지지판(120)은 베이스(110)의 상부면에서 수평 방향을 따라 이동될 수 있다. 또한, 지지판(120)은 베이스(110)의 상부면에서 수직 방향을 따라 이동될 수 있다. 지지판(120)은 캐리지(C)의 하부면을 밑에서 받쳐 지지할 수 있다.The support plate 120 may be disposed on the upper surface of the base 110 . The support plate 120 may move along the horizontal direction from the upper surface of the base 110 . In addition, the support plate 120 may move along the vertical direction from the upper surface of the base 110. The support plate 120 may support the lower surface of the carriage C from below.

고정핀(150)이 지지판(120)의 상부면에 설치될 수 있다. 고정핀(150)은 캐리지(C)의 하부면에 형성된 고정공에 삽입될 수 있다. 따라서, 고정핀(150)이 고정공에 삽입되는 것에 의해서, 지지판(120)의 상부면에 안치된 캐리지(C)는 견고히 고정될 수 있다. 고정핀(150)은 적어도 하나일 수 있다. 본 실시예에서, 고정핀(150)은 지지판(120)을 보다 견고히 지지하기 위해 2개로 이루어질 수 있다.A fixing pin 150 may be installed on the upper surface of the support plate 120 . The fixing pin 150 may be inserted into a fixing hole formed on the lower surface of the carriage (C). Therefore, by inserting the fixing pin 150 into the fixing hole, the carriage C seated on the upper surface of the support plate 120 can be firmly fixed. The number of fixing pins 150 may be at least one. In this embodiment, the fixing pin 150 may be made of two to more firmly support the support plate 120 .

다른 실시예로서, 고정핀(150)이 캐리지(C)의 하부면에 설치되고, 고정공이 지지판(120)의 상부면에 형성될 수도 있다.As another embodiment, the fixing pin 150 may be installed on the lower surface of the carriage C, and the fixing hole may be formed on the upper surface of the support plate 120.

수직 이동 기구는 지지판(120)을 수직 방향을 따라 이동시킬 수 있다. 수직 이동 기구는 모터(192), 벨트(194) 및 볼 스크류(196)를 포함할 수 있다. The vertical movement mechanism may move the support plate 120 in a vertical direction. The vertical movement mechanism may include a motor 192 , a belt 194 and a ball screw 196 .

모터(192)는 베이스(110)의 하부면에 장착될 수 있다. 볼 스크류(196)는 베이스(110)에 수직 방향을 따라 회전 가능하게 연결된 하단, 및 지지판(120)에 나사 결합된 상단을 가질 수 있다. 벨트(194)는 모터(192)의 회전력을 볼 스크류(196)로 전달할 수 있다. The motor 192 may be mounted on the lower surface of the base 110 . The ball screw 196 may have a lower end rotatably connected to the base 110 in a vertical direction and an upper end screwed to the support plate 120 . The belt 194 may transmit rotational force of the motor 192 to the ball screw 196 .

따라서, 모터(192)의 회전력은 벨트(194)를 통해서 볼 스크류(196)로 전달될 수 있다. 볼 스크류(196)의 회전 방향에 따라서 지지판(120)은 상승하거나 하강할 수 있다.Accordingly, rotational force of the motor 192 may be transmitted to the ball screw 196 through the belt 194 . Depending on the rotation direction of the ball screw 196, the support plate 120 may rise or fall.

수평 이동 기구(130)는 지지판(120)을 수평 방향을 따라 이동시킬 수 있다. 수평 이동 기구(130)는 모터(132), 벨트 컨베이어(134) 및 가이드(136)를 포함할 수 있다.The horizontal movement mechanism 130 may move the support plate 120 in a horizontal direction. The horizontal moving mechanism 130 may include a motor 132 , a belt conveyor 134 and a guide 136 .

벨트 컨베이어(134)는 베이스(110)의 상부면에 배치될 수 있다. 모터(132)는 벨트 컨베이어(134)로 회전력을 전달할 수 있다. 지지판(120)은 벨트 컨베이어(134)에 고정될 수 있다.The belt conveyor 134 may be disposed on the upper surface of the base 110 . The motor 132 may transmit rotational force to the belt conveyor 134 . The support plate 120 may be fixed to the belt conveyor 134.

따라서, 모터(132)의 회전 방향에 따라, 지지판(120)은 전진하거나 후진할 수 있다. 지지판(120)의 전진은 보관함으로 향함을 의미하고, 지지판(120)의 후진은 보관함으로부터 반대를 향함을 의미할 수 있다.Accordingly, depending on the direction of rotation of the motor 132, the support plate 120 may move forward or backward. Moving forward of the support plate 120 may mean going toward the storage box, and moving backward of the support plate 120 may mean going the opposite way from the storage box.

가이드(136)는 베이스(110)의 상부면에 배치되어, 벨트 컨베이어(134)에 의해 이동하는 지지판(120)의 수평 이동을 안내할 수 있다. 따라서, 지지판(120)은 가이드(136)에 수평 방향을 따라 이동 가능하게 연결될 수 있다.The guide 136 may be disposed on the upper surface of the base 110 to guide the horizontal movement of the support plate 120 moving by the belt conveyor 134 . Thus, the support plate 120 may be movably connected to the guide 136 along the horizontal direction.

지지 기구(140)는 캐리지(C)의 대향하는 두 측면, 즉 좌측면과 우측면을 지지할 수 있다. 지지 기구(140)는 모터(142), 피니언(144), 제 1 랙(146) 및 제 2 랙(148)을 포함할 수 있다.The support mechanism 140 may support two opposite sides of the carriage C, that is, a left side and a right side. The support mechanism 140 may include a motor 142 , a pinion 144 , a first rack 146 and a second rack 148 .

모터(142)는 지지판(120)의 측면에 수직하게 설치된 프레임(149)에 장착될 수 있다. 모터(142)는 수평축을 중심으로 한 회전력을 발생시킬 수 있다. 모터(142)는 지지판(120)의 중앙부에 배치될 수 있다.The motor 142 may be mounted on a frame 149 vertically installed on the side of the support plate 120 . The motor 142 may generate rotational force about a horizontal axis. The motor 142 may be disposed at the center of the support plate 120 .

피니언(144)은 모터(142)의 축에 연결되어, 모터(142)에 의해 수평축을 중심으로 회전될 수 있다.The pinion 144 is connected to the shaft of the motor 142 and can be rotated about a horizontal axis by the motor 142 .

제 1 랙(146)은 제 1 치합부(146a) 및 제 1 지지부(146b)를 포함할 수 있다. 제 1 치합부(146a)는 피니언(144)의 상부에 배치되어, 피니언(144)의 상부 부분과 치합될 수 있다. 제 1 치합부(146a)는 피니언(144)으로부터 좌측 방향으로 연장될 수 있다. 제 1 지지부(146b)는 제 1 치합부(146a)의 단부로부터 직교하는 방향을 따라 연장되어, 캐리지(C)의 좌측면 전방에 위치할 수 있다. 제 1 지지부(146b)가 캐리지(C)의 좌측면과 선택적으로 접촉할 수 있다.The first rack 146 may include a first engagement portion 146a and a first support portion 146b. The first meshing portion 146a may be disposed above the pinion 144 and mesh with the upper portion of the pinion 144 . The first meshing portion 146a may extend leftward from the pinion 144 . The first support part 146b extends from the end of the first engagement part 146a in a direction orthogonal to the left side of the carriage C, and may be located in front of the left side of the carriage C. The first support part 146b may selectively contact the left side of the carriage C.

제 2 랙(148)은 제 2 치합부(148a) 및 제 2 지지부(148b)를 포함할 수 있다. 제 2 치합부(148a)는 피니언(144)의 하부에 배치되어, 피니언(144)의 하부 부분과 치합될 수 있다. 제 2 치합부(148a)는 피니언(144)으로부터 우측 방향으로 연장될 수 있다. 제 2 지지부(148b)는 제 2 치합부(148a)의 단부로부터 직교하는 방향을 따라 연장되어, 캐리지(C)의 우측면 전방에 위치할 수 있다. 제 2 지지부(148b)가 캐리지(C)의 우측면과 선택적으로 접촉할 수 있다.The second rack 148 may include a second engagement portion 148a and a second support portion 148b. The second meshing portion 148a may be disposed below the pinion 144 and mesh with the lower portion of the pinion 144 . The second meshing portion 148a may extend rightward from the pinion 144 . The second support part 148b extends from the end of the second engagement part 148a along a direction orthogonal to it, and may be located in front of the right side of the carriage C. The second support part 148b may selectively contact the right side of the carriage C.

제 1 랙(146)은 피니언(144)의 상부와 치합되고 제 2 랙(148)은 피니언(144)의 하부에 치합되어 있으므로, 피니언(144)의 회전 방향에 따라 제 1 랙(146)과 제 2 랙(148)은 지지판(120)의 중심을 향해서 오므려지거나 또는 지지판(120)의 중심으로부터 벌어지도록 작동될 수 있다.Since the first rack 146 is engaged with the upper portion of the pinion 144 and the second rack 148 is engaged with the lower portion of the pinion 144, the first rack 146 and the first rack 146 are engaged according to the rotation direction of the pinion 144. The second rack 148 may be operated to be retracted towards the center of the support plate 120 or spread out from the center of the support plate 120 .

팬(160)은 베이스(110)의 하부에 배치될 수 있다. 팬(160)의 베이스(110)의 측면과 부분적으로 연결되어, 팬(160)과 베이스(110) 사이에 틈새가 형성될 수 있다. 캐리지(C)로부터 케미컬이 누설되면, 누설된 케미컬은 상기 틈새를 통해서 팬(160) 내부에 수용될 수 있다. 따라서, 누설된 케미컬이 확산이 억제되어, 작업자의 부상 등과 같은 안전 사고가 예방될 수 있다.The fan 160 may be disposed under the base 110 . A gap may be formed between the fan 160 and the base 110 by being partially connected to the side of the base 110 of the fan 160 . If the chemical leaks from the carriage C, the leaked chemical may be accommodated in the fan 160 through the gap. Accordingly, diffusion of the leaked chemical is suppressed, and safety accidents such as injury to workers can be prevented.

리크 센서(170)는 팬(160) 내부에 배치되어, 누설된 케미컬을 감지할 수 있다. 리크 센서(170)는 경보기에 연결될 수 있다. 리크 센서(170)에 의해서 케미컬의 누설이 감지되면, 경보기가 즉시 케미컬의 누설을 경보할 수 있다. 리크 센서(170)는 팬(160)의 저면에 두 줄로 배열될 수 있다.The leak sensor 170 may be disposed inside the fan 160 to detect leaked chemicals. The leak sensor 170 may be connected to an alarm. When chemical leakage is detected by the leak sensor 170, the alarm may immediately alert the chemical leakage. The leak sensor 170 may be arranged in two lines on the bottom surface of the fan 160 .

ID 인식부(180)는 캐리지(C)의 ID를 인식하여, 캐리지(C)가 수용한 케미컬의 종류를 인식할 수 있다. ID 인식부(180)는 베이스(110)에 장착된 브래킷(182)에 설치되어, 캐리지(C)의 상부에 위치한 ID를 인식할 수 있다. The ID recognizer 180 recognizes the ID of the carriage C and recognizes the type of chemical accepted by the carriage C. The ID recognition unit 180 is installed on the bracket 182 mounted on the base 110 and can recognize the ID located on the top of the carriage C.

이하, 포크 리프트가 보관함으로부터 캐리지(C)를 반출하는 동작을 상세히 설명한다.Hereinafter, an operation of the forklift to take the carriage C out of the storage box will be described in detail.

로봇 암(190)이 포크 리프트를 보관함의 정면에 배치시킬 수 있다. 모터(132)에 의해서 벨트 컨베이어(134)가 회전되면, 지지판(120)이 보관함 내부로 전진할 수 있다. 이때, 지지 기구(140)도 지지판(120)과 함께 보관함 내로 전진할 수 있다. 보관함 내부로 전진한 지지판(120)은 보관함 내에 배치된 캐리지(C)의 하부에 위치할 수 있다.The robot arm 190 may place the forklift in front of the storage box. When the belt conveyor 134 is rotated by the motor 132, the support plate 120 may move forward into the storage box. At this time, the support mechanism 140 may also advance into the storage box together with the support plate 120 . The support plate 120 advanced into the storage box may be located under the carriage C disposed in the storage box.

모터(192)에 의해 볼 스크류(196)가 회전하면, 지지판(120)이 상승할 수 있다. 고정핀(150)이 캐리지(C)의 하부에 형성된 고정공에 삽입될 수 있다. 따라서, 지지판(120)의 상부면에 안치된 캐리지(C)는 고정핀(150)에 의해 견고히 지지될 수 있다.When the ball screw 196 is rotated by the motor 192, the support plate 120 may rise. The fixing pin 150 may be inserted into the fixing hole formed in the lower part of the carriage (C). Therefore, the carriage C placed on the upper surface of the support plate 120 can be firmly supported by the fixing pin 150 .

또한, 모터(142)에 의해서 피니언(144)이 회전하게 되면, 제 1 랙(146)과 제 2 랙(148)이 피니언(144)의 중앙을 향해서 오므려지게 되어, 제 1 랙(146)과 제 2 랙(148), 즉 제 1 지지부(146b)와 제 2 지지부(148b)가 캐리지(C)의 측면들에 밀착될 수 있다. 이와 같이, 제 1 및 제 2 랙(146, 148)들에 의해서 캐리지(C)의 측면들이 견고히 지지될 수 있다.In addition, when the pinion 144 is rotated by the motor 142, the first rack 146 and the second rack 148 are closed toward the center of the pinion 144, and the first rack 146 And the second rack 148, that is, the first support portion 146b and the second support portion 148b may be in close contact with the side surfaces of the carriage C. In this way, the side surfaces of the carriage C can be firmly supported by the first and second racks 146 and 148 .

이러한 상태로, 모터(132)가 반대 방향으로 회전하게 되어, 지지판(120)은 베이스(110)의 상부면으로 후진할 수 있다. 따라서, 캐리지(C)의 하부면은 지지판(120)의 상부면에 고정핀(150)에 의해 견고히 지지되고, 캐리지(C)의 측면들은 제 1 및 제 2 랙(146, 148)들에 의해 견고히 지지된 상태로 보관함으로부터 반출될 수 있다.In this state, the motor 132 rotates in the opposite direction, so that the support plate 120 can move backward toward the upper surface of the base 110 . Therefore, the lower surface of the carriage (C) is firmly supported on the upper surface of the support plate 120 by the fixing pins 150, and the side surfaces of the carriage (C) are supported by the first and second racks 146 and 148. It can be taken out of storage in a solidly supported state.

캐리지(C)의 반출이 완료되면, ID 인식부(180)가 캐리지(C)에 입력된 ID를 인식할 수 있다. 따라서, 캐리지(C)에 수납된 케미컬의 종류를 작업자의 수작업에 의존하지 않고 자동적으로 인식할 수가 있다.When carrying out of the carriage C is completed, the ID recognizing unit 180 may recognize the ID input to the carriage C. Therefore, the type of chemical stored in the carriage C can be automatically recognized without depending on the operator's manual work.

이러한 반출 동작 중에 케미컬이 캐리지(C)로부터 누설되더라도, 누설된 케미컬은 자중에 의해서 팬(160)에 수용될 수 있다. 따라서, 누설된 케미컬이 더 이상 확산되지 않게 되어, 작업자의 안전 사고를 미연에 방지할 수 있다. Even if chemicals leak from the carriage C during such a carrying operation, the leaked chemicals may be accommodated in the fan 160 by its own weight. Therefore, the leaked chemical is no longer diffused, and thus safety accidents of workers can be prevented in advance.

또한, 리크 센서(170)가 누설된 케미컬을 감지하게 되어, 경보기가 케미컬의 누설을 즉시 경보할 수도 있다.Also, since the leak sensor 170 detects the leaked chemical, the alarm may immediately alert the leak of the chemical.

상기된 본 실시예에 따르면, 지지판이 캐리지의 하부면을 지지하고, 지지 기구가 캐리지의 양측면을 지지할 수 있다. 따라서, 캐리지가 견고하게 지지되어, 캐리지 반송 중에 캐리지 내에 수용된 케미컬 용기도 견고하게 지지될 수 있다. 결과적으로, 케미컬 용기의 파손이 방지되어, 케미컬 용기로부터 케미컬이 누설되는 안전 사고를 예방할 수 있다.According to the present embodiment described above, the supporting plate supports the lower surface of the carriage, and the supporting mechanism supports both side surfaces of the carriage. Therefore, the carriage is firmly supported, and the chemical container accommodated in the carriage can also be firmly supported during transportation of the carriage. As a result, damage to the chemical container is prevented, and safety accidents in which chemicals leak from the chemical container can be prevented.

또한, ID 인식부가 캐리지의 ID를 자동적으로 인식하게 되므로, 작업자의 불편함 해소는 물론 케미컬의 데이터 분실 사고도 방지할 수 있다.In addition, since the ID recognizer automatically recognizes the ID of the carriage, it is possible to prevent operator's inconvenience as well as chemical data loss accidents.

아울러, 케미컬 누설이 발생되더라도, 누설된 케미컬은 팬에 수집되게 되므로, 작업자의 안전을 보장할 수 있다. 특히, 리크 센서에 의해서 케미컬의 누설은 즉각적으로 경보될 수 있다.In addition, even if a chemical leak occurs, since the leaked chemical is collected in the fan, the safety of the operator can be guaranteed. In particular, chemical leakage can be immediately alerted by the leak sensor.

상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 챔버로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.As described above, although it has been described with reference to the preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art will variously modify the present invention within the scope not departing from the spirit and chambers of the present invention described in the claims below. And it will be understood that it can be changed.

110 ; 베이스 120 ; 지지판
130 ; 수평 이동 기구 132 ; 모터
134 ; 벨트 컨베이어 136 ; 가이드
140 ; 지지 기구 142 ; 모터
144 ; 피니언 146 ; 제 1 랙
146a ; 제 1 치합부 146b ; 제 1 지지부
148 ; 제 2 랙 148a ; 제 2 치합부
148b ; 제 2 지지부 150 ; 고정핀
160 ; 팬 170 ; 리크 센서
180 ; ID 인식부 182 ; 브래킷
190 ; 로봇 암 192 ; 모터
194 ; 벨트 196 ; 볼 스크류
110; base 120; support plate
130; Horizontal moving mechanism 132; motor
134; belt conveyor 136; guide
140; support mechanism 142; motor
144; pinion 146; 1st rack
146a; a first engagement portion 146b; first support
148; second rack 148a; 2nd engagement part
148b; The second support part 150; pushpin
160; fan 170; leak sensor
180; ID recognition unit 182; bracket
190; robot arm 192; motor
194; belt 196; ball screw

Claims (10)

베이스;
상기 베이스의 상부면에 수평 방향을 따라 이동 가능하게 배치되어, 케미컬 용기를 수용한 캐리지의 하부면을 지지하는 지지판;
상기 지지판에 배치되어, 상기 캐리지의 양측면들을 지지하는 지지 기구;
상기 지지판을 상기 베이스의 상부면에서 수직 방향을 따라 이동시키는 수직 이동 기구; 및
상기 지지판을 상기 베이스의 상부면에서 상기 수평 방향을 따라 이동시키는 수평 이동 기구를 포함하고,
상기 수직 이동 기구는
상기 베이스에 장착된 모터;
상기 베이스에 회전 가능하게 연결되고, 상기 지지판에 나사 결합된 볼 스크류; 및
상기 모터의 회전력을 상기 볼 스크류로 전달하는 벨트를 포함하는 캐리지 반송용 포크 리프트.Base;
a support plate disposed on an upper surface of the base to be movable in a horizontal direction and supporting a lower surface of a carriage accommodating chemical containers;
a support mechanism disposed on the support plate to support both sides of the carriage;
a vertical movement mechanism for moving the support plate along a vertical direction from an upper surface of the base; and
And a horizontal movement mechanism for moving the support plate along the horizontal direction on the upper surface of the base,
The vertical movement mechanism
a motor mounted on the base;
a ball screw rotatably connected to the base and screwed to the support plate; and
A forklift for transporting a carriage including a belt transmitting rotational force of the motor to the ball screw. 제 1 항에 있어서, 상기 지지판의 상부면에 배치되어, 상기 캐리지의 하부면에 형성된 적어도 하나의 고정공에 삽입되는 적어도 하나의 고정핀을 더 포함하는 캐리지 반송용 포크 리프트.The forklift according to claim 1, further comprising at least one fixing pin disposed on the upper surface of the support plate and inserted into at least one fixing hole formed on the lower surface of the carriage. 삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서, 상기 수평 이동 기구는
상기 베이스의 상부면에 설치되고, 상기 지지판이 고정된 무한궤도식 벨트 컨베이어; 및
상기 벨트 컨베이어를 회전시키는 모터를 포함하는 캐리지 반송용 포크 리프트.The method of claim 1, wherein the horizontal movement mechanism
a crawler belt conveyor installed on an upper surface of the base and fixed to the support plate; and
A forklift for conveying a carriage including a motor rotating the belt conveyor. 제 5 항에 있어서, 상기 이동 기구는
상기 베이스의 상부면에 배치되어 상기 지지판의 수평 이동을 안내하는 가이드를 더 포함하는 캐리지 반송용 포크 리프트.The method of claim 5, wherein the moving mechanism
The forklift for transporting the carriage further comprises a guide disposed on an upper surface of the base to guide horizontal movement of the support plate. 제 1 항에 있어서, 상기 지지 기구는
모터;
상기 모터에 의해 회전되는 피니언; 및
상기 피니언에 대칭적으로 치합되어, 상기 피니언의 회전에 의해서 상기 캐리지의 양측면들을 향해 수평 이동하는 한 쌍의 랙들을 포함하는 캐리지 반송용 포크 리프트.The method of claim 1, wherein the support mechanism
motor;
a pinion rotated by the motor; and
A forklift for transporting a carriage including a pair of racks symmetrically engaged with the pinion and horizontally moving toward opposite side surfaces of the carriage by rotation of the pinion. 제 1 항에 있어서, 상기 베이스의 하부에 배치되어, 상기 케미컬 용기로부터 누설된 케미컬을 수용하는 팬(pan)을 더 포함하는 캐리지 반송용 포크 리프트.The forklift of claim 1, further comprising a pan disposed below the base to receive the chemical leaked from the chemical container. 제 8 항에 있어서, 상기 팬의 내부에 배치되어, 상기 케미컬의 누설을 감지하는 리크 센서를 더 포함하는 캐리지 반송용 포크 리프트.The forklift of claim 8, further comprising a leak sensor disposed inside the fan to detect leakage of the chemical. 제 1 항에 있어서, 상기 베이스에 설치되어, 상기 캐리지의 ID를 인식하는 ID 인식부를 더 포함하는 캐리지 반송용 포크 리프트.


The forklift according to claim 1, further comprising an ID recognition unit installed on the base to recognize the ID of the carriage.
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