KR102453254B1 - 순환 구동 유닛 및 이를 포함하는 기판 연마 장치 - Google Patents

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Abstract

순환 운동 유닛 및 이를 포함하는 기판 연마 장치를 개시한다. 일 실시 예에 따른 기판 연마 장치는, 구동롤러; 기판을 연마하도록 상기 구동롤러에 감겨 회전하는 연마벨트; 상기 구동롤러에 연결되는 롤러 연결부; 및 상기 롤러 연결부의 일측에 연결되고, 상기 연마벨트를 궤도운동(orbital motion)시키기 위한 순환 운동부를 포함할 수 있다.

Description

순환 구동 유닛 및 이를 포함하는 기판 연마 장치{CIRCULATING DRIVE UNIT AND SUBSTRATE POLISHING APPARTUS COMPRISING THE SAME}
아래의 실시예는 순환 구동 유닛 및 이를 포함하는 기판 연마 장치에 관한 것이다.
반도체소자의 제조에는, 연마와 버핑(buffing) 및 세정을 포함하는 CMP(chemical mechanical polishing) 작업이 필요하다. 반도체 소자는, 다층 구조의 형태로 되어 있으며, 기판층에는 확산영역을 갖춘 트랜지스터 소자가 형성된다. 기판층에서, 연결금속선이 패턴화되고 기능성 소자를 형성하는 트랜지스터 소자에 전기 연결된다. 공지된 바와 같이, 패턴화된 전도층은 이산화규소와 같은 절연재로 다른 전도층과 절연된다. 더 많은 금속층과 이에 연관된 절연층이 형성되므로, 절연재를 편평하게 할 필요성이 증가한다. 편평화가 되지 않으면, 표면형태에서의 많은 변동 때문에 추가적인 금속층의 제조가 실질적으로 더욱 어려워진다. 또한, 금속선패턴은 절연재로 형성되어, 금속 CMP 작업이 과잉금속물을 제거하게 된다.
CMP 장치는 기판의 일면 또는 양면을 연마와 버핑 및 세정하기 위한 구성요소로서, 벨트, 연마패드 또는 브러시를 구비하는 벨트를 구비한다. 슬러리는 CMP 작업을 촉진 및 강화시키기 위해 사용된다.
기존의 CMP 장치 중 2개의 드럼 상에 장착된 벨트형의 연마패드로 구성되는 벨트형 CMP 장치가 알려져 있다. 벨트형 CMP 장치는 기판이 캐리어에 장착되며, 캐리어는 일 방향으로 수평으로 이동하고, 벨트형 연마패드는 시계 방향 혹은 반시계 방향으로 회전함에 따라 기판에 소정의 힘이 가해진 상태로 밀착되어 연마가 수행된다. 벨트형 연마패드를 통해 기판을 연마하는 경우, 에어 베어링을 통해 연마패드를 기판 방향으로 가압함으로써, 기판의 효율적인 연마를 가능하게 한다.
벨트형 연마패드를 통해 기판을 연마하는 경우, 기판에 대한 연마패드의 접촉이 단방향, 즉, 연마패드의 회전방향으로만 수행되기 때문에, 기판의 피연마면에 선형의 텍스쳐가 발생하는 문제가 있다. 이 경우, 연마패드를 회전방향에 수직한 방향으로 움직임으로써 기판 및 연마패드의 접촉을 다방향으로 수행하여, 텍스쳐의 발생을 완화할 수 있다.
그런데, 연마패드의 선형 동작을 모터의 볼스크류로 구성된 선형 동력 장치를 통해 수행하는 경우에는, 선형 동력 장치의 구조적 한계로 인해, 선형 동작에 따른 가속 및 감속이 빠른 속도로 이루어지기 어렵고, 요구되는 선형 이동 속도를 충족하기 어려워 선형 텍스쳐를 감소시키는 효율이 저감될 수 있다.
따라서, 모터의 감속 없이도 연마패드의 고속 순환운동을 구현할 수 있는 장치가 요구되는 실정이다.
이와 관련하여, 공개특허공보 제10-2016-0113279호는 기판 이송 장치에 관한 발명을 개시한다.
일 실시 예에 따른 목적은, 기판에 대한 연마벨트의 접촉을 다방향으로 수행하기 위한 순환 운동 유닛 및 이를 포함하는 기판 연마 장치를 제공하기 위한 것이다.
일 실시 예에 따른 목적은, 하나의 구동원을 통해 연마벨트의 궤도 운동을 구현하기 위한 순환 운동 유닛 및 이를 포함하는 기판 연마 장치를 제공하기 위한 것이다.
일 실시 예에 따른 기판 연마 장치는, 구동롤러; 기판을 연마하도록 상기 구동롤러에 감겨 회전하는 연마벨트; 상기 구동롤러에 연결되는 롤러 연결부; 및 상기 롤러 연결부의 일측에 연결되고, 상기 연마벨트를 궤도운동(orbital motion)시키기 위한 순환 운동부를 포함할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 연마벨트의 궤도운동에 따른 궤적은, 상기 기판의 피연마면에 평행한 평면상에 위치할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 순환 운동부는, 원 궤도(circular orbit)을 형성하도록, 상기 연마벨트를 원 진동 시킬 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 순환 운동부는, 순환 모터; 상기 순환 모터의 회전축에 연결되는 회전판; 및 상기 회전축에 이격되도록 일측이 상기 회전판에 연결되고, 타측은 상기 롤러 연결부에 연결되는 연결 부재를 포함할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 연결 부재는, 상기 회전판 및 롤러 연결부 중 적어도 어느 하나에 회전 가능하게 연결될 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 기판 연마 장치는, 상기 롤러 연결부의 타측에 연결되는 보조 운동부를 더 포함할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 보조 운동부는, 아이들러; 상기 아이들러의 회전축에 연결되는 보조 회전판; 상기 아이들러의 회전축에 이격되도록 일측이 상기 보조 회전판에 연결되고, 타측은 상기 롤러 연결부에 연결되는 보조 연결 부재를 포함할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 보조 운동부는, 상기 연마벨트가 상기 기판면에 수직한 축을 중심으로 회전하는 것을 방지할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 순환 모터 회전축에 대한 상기 연결 부재의 이격 거리는, 상기 아이들러 회전축에 대한 상기 보조 연결 부재의 이격 거리와 동일할 수 있다.
일 실시 예에 따른 회전하면서 기판을 연마하는 연마유닛을 순환 운동 시키는 순환 운동 유닛은, 상기 연마유닛이 상기 기판을 연마하는 상태에서, 상기 연마유닛이 일정한 궤적을 형성하면서 상기 기판과 접촉하도록, 상기 연마 유닛을 궤도 운동시킬 수 있다.
일 실시 예에 따른 순환 운동 유닛 및 이를 포함하는 기판 연마 장치는, 기판에 대한 연마벨트의 접촉을 다방향으로 수행할 수 있다.
일 실시 예에 따른 순환 운동 유닛 및 이를 포함하는 기판 연마 장치는, 하나의 구동원을 통해 연마벨트의 궤도 운동을 구현할 수 있다.
일 실시예에 따른 순환 운동 유닛 및 이를 포함하는 기판 연마 장치의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 일 실시예를 예시하는 것이며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석 되어서는 아니 된다.
도 1은 일 실시 예에 따른 기판 연마 장치의 상면도이다.
도 2는 일 실시 예에 따른 기판 연마 장치의 측면도이다.
도 3은 일 실시 예에 따른 기판 연마 장치의 측면도이다.
도 4는 일 실시 예에 따른 순환 운동부(120)의 작동을 도시하기 위한 부분 확대도이다.
도 5는 일 실시 예에 따른 순환 운동부(120)의 작동을 도시하기 위한 모식도이다.
도 6은 일 실시 예에 따른 연마벨트(101)의 순환 운동을 도시하기 위한 작동도이다.
이하, 실시 예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 실시 예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 실시 예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
어느 하나의 실시 예에 포함된 구성요소와, 공통적인 기능을 포함하는 구성요소는, 다른 실시 예에서 동일한 명칭을 사용하여 설명하기로 한다. 반대되는 기재가 없는 이상, 어느 하나의 실시 예에 기재한 설명은 다른 실시 예에도 적용될 수 있으며, 중복되는 범위에서 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 일 실시 예에 따른 기판 연마 장치의 상면도이고, 도 2는 일 실시 예에 따른 기판 연마 장치의 측면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 일 실시 예에 따른 기판 연마 장치는, 기판(W)을 연마하는 과정에서 기판(W)과의 다방향 접촉이 가능하도록 일정한 궤적을 따라 순환 운동할 수 있다. 기판 연마 장치는 기판(W)에 접촉하면서 마찰을 통해 기판(W)의 피 연마면을 연마할 수 있다. 예를 들어, 기판(W)은 이동 가능한 기판(W) 스테이지(S) 상에 안착되고, 기판 연마 장치에 접촉하도록, 기판(W) 스테이지(S) 의해 이동할 수 있다.
기판(W)은 LCD(liquid crystal display), PDP(plasma display panel)와 같은 평판 디스플레이 장치(flat panel display device, FPD)용 글라스를 포함할 수 있다. 그러나, 기판(W)의 종류가 이에 한정되는 것은 아니며, 예를 들어, 반도체 장치(semiconductor device) 제조용 실리콘 웨이퍼(silicon wafer)일 수도 있다. 또한, 도면에서는 기판(W)이 사각형 형상을 가지는 것으로 도시하였으나, 이는 일 예시에 불과하며, 기판(W)의 형상이 이에 한정되는 것은 아니다.
일 실시 예에 따른 기판 연마 장치는, 구동롤러(102), 연마벨트(101), 롤러 연결부(110), 순환 운동부(120) 및 보조 운동부(130)를 포함할 수 있다.
구동롤러(102)는 회전축을 중심으로 회전할 수 있다. 구동롤러(102)는 한 쌍으로 구비되고, 서로 일정 간격 이격 배치될 수 있다. 이 경우, 한 쌍의 구동롤러(102)는 서로 평행한 회전축을 가지도록 배치되고, 서로 동일한 각속도로 회전할 수 있다. 이하에서는, 기판 연마 장치가 한 쌍의 구동롤러(102)를 가지는 벨트형 연마유닛을 포함하는 경우를 예시로 설명하나, 기판 연마 장치는 하나의 구동롤러(102)와 상기 구동롤러(102)에 감겨 회전하는 연마벨트(101)를 포함하는 롤러형 연마유닛을 포함할 수도 있다.
연마벨트(101)는 폐루프를 형성하도록 한 쌍의 구동롤러(102)에 감겨 회전할 수 있다. 연마벨트(101)는 구동롤러(102)의 회전에 따라 일 방향으로 회전 동작하면서, 기판(W)을 연마할 수 있다. 예를 들어, 기판(W)은 연마벨트(101)의 하측에 배치되고, 연마벨트(101)는 기판(W)에 대하여 일 방향으로 이동하면서 기판(W)을 연마할 수 있다. 이 경우, 기판(W)에 접촉하는 연마벨트(101)의 부위는, 구동롤러(102)의 회전축에 수직한 이동 방향을 가질 수 있다.
구동롤러(102)의 회전축에는 구동모터(103)가 연결될 수 있다. 구동모터(103)는 구동롤러(102)가 회전하기 위한 구동력을 제공할 수 있다. 구동모터(103)는 복수개가 구비되어 구동롤러(102)의 회전 축에 모두 연결될 수 있다. 반면, 하나의 구동롤러(102)의 회전축에 하나의 구동모터(103)만 연결되고, 다른 구동롤러(102)의 회전축에는 상기 구동모터(103)의 회전에 대응하여 자유회전 가능한 아이들러가 연결될 수도 있다. 다만, 이는 일 예시에 불과하며 구동모터(103)의 연결 방식 및 동력 제공 수단이 이에 한정되는 것은 아니다.
롤러 연결부(110)는 구동롤러(102)에 연결되어, 구동롤러(102)를 지지하는 역할을 수행할 수 있다. 롤러 연결부(110)는 예를 들어, 도 2와 같이, 구동롤러(102)의 각 회전 축에 모두 연결됨으로써, 구동롤러(102) 및 연마벨트(101)를 지지할 수 있다. 구동롤러(102)가 롤러 연결부(110)에 의하여 지지되기 때문에, 구동롤러(102) 및 연마벨트(101)는 롤러 연결부(110)의 위치 변화에 종속되어 위치가 조절될 수 있다.
순환 운동부(120)는, 연마벨트(101)를 궤도 운동(orbital motion)시킬 수 있다. 예를 들어, 순환 운동부(120)는 롤러 연결부(110)의 일측에 연결되고, 롤러 연결부(110)를 일정한 궤도를 따라 이동시킴으로써, 연마벨트(101)가 기판(W)에 대하여 다방향으로 접촉하도록 할 수 있다. 이 경우, 연마벨트(101)의 궤도운동에 따른 궤적은 기판(W)에 피연마면에 평행한 평면상에 배치될 수 있다. 즉, 순환 운동부(120)는 연마벨트(101)를 기판(W)면 상에서 궤적 운동 시킬 수 있다. 순환 운동부(120)는, 순환 모터(121), 회전판(122), 연결 부재(123)를 포함할 수 있다.
순환 모터(121)는 축을 중심으로 회전할 수 있다. 이 경우, 순환 모터(121)의 회전 축은 기판(W) 면에 대하여 수직할 수 있다. 순환 모터(121)는 위치가 고정된 고정판에 연결될 수 있다. 즉, 순환 모터(121)의 회전축의 위치는 고정될 수 있다.
회전판(122)은 순환 모터(121)에 연결되어 회전할 수 있다. 회전판(122)은 원판의 형상을 가질 수 있으며, 회전판(122)의 중심은 순환 모터(121)의 회전축에 연결될 수 있다.
연결 부재(123)는 일측이 회전판(122)에 연결되고 타측이 롤러 연결부(110)에 연결될 수 있다. 이 경우, 회전판(122)에 대한 연결 부재(123)의 연결 부위는, 회전판(122)의 중심, 즉, 순환 모터(121)의 회전축으로부터 일정 거리 이격된 위치일 수 있다. 따라서, 연결 부재(123)는, 순환 모터(121)의 회전에 따라, 순환 모터(121)의 회전 축을 중심으로 하는 공진 운동을 할 수 있다.
연결 부재(123)는 회전판(122) 및 롤러 연결부(110) 중 적어도 어느 하나에 회전 가능하게 연결될 수 있다. 다시 말하면, 롤러 연결부(110)는 연결 부재(123)에 의하여 회전판(122)에 대하여 회전 가능하게 연결될 수 있다. 예를 들어, 연결 부재(123)는 회전판(122)에 대하여 자유 회전 가능하도록 베어링 연결 될 수 있다. 이와 같은 구조에 의하면, 롤러 연결부(110)가 순환 모터(121)의 회전에 따라, 순환 모터(121)의 회전 축을 중심으로 공전하는 것은 가능케 하면서도, 롤러 연결부(110)가 자전(rotation)하는 것은 방지할 수 있다. 즉, 회전판(122)의 회전에 따라 구동롤러(102)의 회전축이 종속하여 회전하는 것을 방지할 수 있다.
보조 운동부(130)는, 롤러 연결부(110)의 타측에 연결됨으로써, 롤러 연결부(110)의 균형을 유지하고 순환 운동부(120)의 작동에 따른 연마벨트(101)의 순환 운동을 보조할 수 있다. 또한, 보조 운동부(130)는, 구동롤러(102)의 회전축이 항상 일정한 방향을 향하도록 유지시킬 수 있다. 다시 말하면, 보조 운동부(130)는 연마벨트(101)가 기판(W)면에 수직한 축을 중심으로 자전하는 것을 방지할 수 있다. 보조 운동부(130)는, 아이들러(131), 보조 회전판(132) 및 보조 연결 부재(133)를 포함할 수 있다.
아이들러(131)는 축을 중심으로 자유 회전할 수 있다. 아이들러(131)는 도 2와 같이, 순환 모터(121)가 연결된 고정판에 연결될 수 있다. 아이들러(131)의 회전축에는 보조 회전판(132)이 연결될 수 있다.
보조 연결 부재(133)는 일측이 보조 회전판(132)에 연결되고, 타측이 롤러 연결부(110)에 연결될 수 있다. 보조 회전판(132)에 대한 보조 연결 부재(133)의 연결 부위는, 롤러 연결부(110)의 중심, 즉, 아이들러(131)의 회전축으로부터 일정 거리 이격된 위치일 수 있다. 이 경우, 아이들러(131)의 회전축으로부터의 보조 연결 부재(133)의 이격 거리는, 순환 모터(121) 회전축에 대한 연결 부재(123)의 이격 거리일 수 있다.
이와 같은 구조에 의하면, 보조 연결 부재(133) 및 연결 부재(123)는 동일한 반지름을 가지는 원 운동을 수행할 수 있다. 따라서, 보조 연결 부재(133) 및 연결 부재(123)에 연결된 롤러 연결부(110)는 상기 반지름을 중심으로 하는 원 궤적을 따라 순환 운동할 수 있다.
보조 연결 부재(133)는 보조 회전판(132) 및 롤러 연결부(110) 중 적어도 어느 하나에 회전 가능하게 연결될 수 있다. 예를 들어, 보조 연결 부재(133)는 회전판(122)에 대하여 자유 회전 가능하도록 베어링 연결 될 수 있다. 즉, 보조 연결 부재(133)는 롤러 연결부(110)를 보조 회전판(132)에 대하여 회전 가능하도록 연결할 수 있다.
이 경우, 롤러 연결부(110)의 서로 다른 지점에는 순환 운동부(120) 및 보조 운동부(130)가 회전 가능하게 연결되기 때문에, 롤러 연결부(110)는 순환 운동부(120)의 회전에 따라 원형의 궤적을 그리는 궤도 운동을 수행하면서도, 일정한 방향을 향하는 상태를 유지할 수 있다. 따라서, 롤러 연결부(110)에 연결된 구동모터(103)의 회전축은 항상 일정한 방향을 향하기 때문에, 기판(W)에 대한 연마벨트(101)의 회전 방향은 일정하게 유지될 수 있다.
도 3은, 일 실시 예에 따른 기판 연마 장치의 측면도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 연마벨트(101)의 궤도 운동을 위한 각 구성은 다양한 방식으로 배치될 수 있다. 예를 들어, 도 2와 같이, 순환 구동부 및 보조 운동부(130)는 연마벨트(101)의 상측에 배치될 수 있으나, 도 3과 같이 연마벨트(101)의 하측에 배치되는 구성도 당연히 가능하다. 도 3과 같이, 연마벨트(101)의 하측에 순환 구동부 및 보조 운동부(130)가 배치되는 경우, 순환 구동부의 순환 모터(121) 및 보조 운동부(130)의 아이들러(131)는 서로 다른 고정판에 연결될 수 있다. 다만, 이는 일 예시에 불과하며, 기판 연마 장치의 구성상의 배치가 이에 한정되는 것은 아니다.
도 4는, 일 실시 예에 따른 순환 운동부(120)의 작동을 도시하기 위한 부분 확대도이고, 도 5는 일 실시 예에 따른 순환 운동부(120)의 작동을 도시하기 위한 모식도이고, 도 6은 일 실시 예에 따른 연마벨트(101)의 순환 운동을 도시하기 위한 작동도이다.
도 4 내지 도 6을 참조하면, 순환 운동부(120) 및 보조 운동부(130)의 작동을 통해, 지지판에 연결된 연마벨트(101)는 기판(W) 면에 대하여 궤도 운동을 수행하면서도, 기판(W)에 대한 일정한 회전 방향을 유지할 수 있다.
순환 모터(121)의 회전에 따라 회전판(122)이 회전하게 되면, 회전판(122)에 연결된 연결 부재(123)는 순환 모터(121)의 회전 축을 중심으로 하는 원 운동을 수행할 수 있다. 이 경우, 연결 부재(123)가 형성하는 원 궤적은, 순환 모터(121)의 회전축으로부터 연결 부재(123)가 이격된 거리를 반지름(d)으로 가질 수 있다. 연결 부재(123)가 원 운동을 수행함에 따라, 연결 부재(123)와 연결된 롤러 연결부(110)도 순환 모터(121)의 회전축에 대하여 원 궤도를 형성하는 원 운동을 할 수 있다. 따라서, 롤러 연결부(110)에 연결된 연마벨트(101) 역시, 기판(W)면에 평행한 원 궤도를 형성하면서, 기판(W)을 연마할 수 있다. 이 경우, 연마벨트(101)가 형성하는 원 궤도의 반지름은 연결부재가 형성하는 원 궤적의 반지름과 동일하다.
롤러 연결부(110)는 연결 부재(123)에 대하여 회전 가능하게 연결되기 때문에, 회전판(122)의 회전에 종속하여 회전하지 않을 수 있다. 롤러 연결부(110)의 타측에는 보조 운동부(130)가 연결되고, 보조 운동부(130) 및 순환 운동부(120) 사이의 상대적인 거리는 변화하지 않기 때문에, 롤러 연결부(110)가 연결 부재(123)를 중심으로 회전하는 것이 방지될 수 있다.
결과적으로, 롤러 연결부(110)에 연결된 연마벨트(101)는 기판(W)면에 대하여 원 궤도를 형성하는 공전 운동을 수행하면서도, 기판(W)에 대하여 일정한 방향으로 회전할 수 있다.
순환 모터(121)가 일정한 각속도로 회전하는 경우에, 롤러 연결부(110) 및 연마벨트(101)는 일정한 속력을 유지하는 등속 원운동을 수행할 수 있다. 다시 말하면, 순환 운동부(120)는 연마 벨트가 원 궤도를 형성하도록 원 진동시킬 수 있다.
정리하면, 일 실시 예에 따른 기판 연마 장치는 선형의 동력을 제공하는 장치, 예를 들어, 공압실린더나 선형 액추에이터를 통해, 연마벨트(101)를 순환 운동시키는 경우와 비교하여, 모터의 회전속력의 변화가 발생하지 않기 때문에, 효과적으로 연마 벨트를 순환 운동시킬 수 있다. 따라서, 순환 운동에 따른 가속 및 감속이 빠르게 이루어지고 일정한 속도의 순환 운동을 유지하기가 용이하므로, 기판(W)에 발생하는 선형 텍스쳐를 효과적으로 감소시킬 수 있다.
이상과 같이 비록 한정된 도면에 의해 실시 예들이 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 구조, 장치 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.
101: 연마벨트
102; 구동롤러
103: 구동모터
110: 롤러 연결부
120: 순환 운동부
130: 보조 운동부

Claims (10)

  1. 구동롤러;
    기판을 연마하도록 상기 구동롤러에 감겨 회전하는 연마벨트;
    상기 구동롤러에 연결되는 롤러 연결부; 및
    상기 롤러 연결부의 일측에 연결되고, 상기 연마벨트를 궤도운동(orbital motion)시키기 위한 순환 운동부를 포함하고,
    상기 순환 운동부는,
    순환 모터;
    상기 순환 모터의 회전축에 연결되는 회전판; 및
    상기 회전축에 이격되도록 일측이 상기 회전판에 연결되고, 타측은 상기 롤러 연결부에 연결되는 연결 부재를 포함하고,
    상기 롤러 연결부의 타측에 연결되는 보조 운동부를 더 포함하고,
    상기 보조 운동부는,
    아이들러;
    상기 아이들러의 회전축에 연결되는 보조 회전판;
    상기 아이들러의 회전축에 이격되도록 일측이 상기 보조 회전판에 연결되고, 타측은 상기 롤러 연결부에 연결되는 보조 연결 부재를 포함하는, 기판 연마 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 연마벨트의 궤도운동에 따른 궤적은, 상기 기판의 피연마면에 평행한 평면상에 위치하는, 기판 연마 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 순환 운동부는,
    원 궤도(circular orbit)을 형성하도록, 상기 연마벨트를 이동시키는, 기판 연마 장치.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 연결 부재는, 상기 회전판 및 롤러 연결부 중 적어도 어느 하나에 회전 가능하게 연결되는, 기판 연마 장치.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 제1항에 있어서,
    상기 보조 운동부는, 상기 연마벨트가 상기 기판면에 수직한 축을 중심으로 자전하는 것을 방지하는, 기판 연마 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 순환 모터의 회전축에 대한 상기 연결 부재의 이격 거리는, 상기 아이들러의 회전축에 대한 상기 보조 연결 부재의 이격 거리와 동일한, 기판 연마 장치.
  10. 삭제
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