KR102429728B1

KR102429728B1 - 시험용 캐리어

Info

Publication number: KR102429728B1
Application number: KR1020220023015A
Authority: KR
Inventors: 토시유키 키요카와
Original assignee: 주식회사 아도반테스토
Priority date: 2021-10-22
Filing date: 2022-02-22
Publication date: 2022-08-04
Also published as: CN114994424B; JP2023063210A; US20230131189A1; TW202318015A; JP7109856B1; TWI802289B; CN114994424A; US11693026B2

Abstract

(과제) DUT로의 이물의 부착을 억제하는 것이 가능한 시험용 캐리어를 제공한다.
(해결수단) DUT(90)를 수용한 상태로 반송되는 시험용 캐리어(1)는 DUT(90)에 대향하도록 배치된 DUT 흡착홀딩용 관통공(64)과, 관통공(64)의 흡인에 수반하여 관통공(64)을 개폐하는 가동밸브(70)를 구비하고, 가동밸브(70)는 관통공(64)의 흡인시에 관통공(64)을 개방하고, 관통공(64)의 비흡인시에 관통공(64)을 폐색한다.

Description

시험용 캐리어{Carrier for testing}

본 발명은 반도체 집적회로소자 등의 피시험 전자부품(이하 간단히 "DUT"(Device Under Test)라고 칭함)의 시험을 수행할 때에 DUT를 수용한 상태에서 반송되는 시험용 캐리어에 관한 것이다.

파인피치의 단자를 갖는 DUT의 시험에서는 해당 DUT를 소켓에 대하여 고정밀도로 위치결정하기 위해서 복수의 카메라나 정밀한 이동기구를 구비한 비교적 고가의 핸들러를 필요로 한다. 이에 비하여 DUT를 홀딩하는 캐리어 본체와, DUT를 덮음과 함께 캐리어 본체에 고정되는 덮개부재와, 캐리어 본체에 형성된 DUT 위치결정용 관통공을 구비한 시험용 캐리어가 알려져 있다(예를 들어 특허문헌 1 참조). 이 시험용 캐리어를 이용함으로써 파인피치의 단자를 갖는 DUT의 시험을 기계적인 위치결정기구를 구비한 비교적 저렴한 핸들러에 의해 수행할 수 있다.

이 시험용 캐리어에 DUT를 수용할 때 상기 위치결정용 관통공을 통해 카메라를 이용하여 시험용 캐리어의 접촉자에 대하여 DUT를 고정밀도로 위치결정한 후에 캐리어 본체와 덮개부재를 고정한다. 이때의 시험용 캐리어에 대한 DUT의 위치 어긋남을 방지하기 위해서 DUT를 흡착홀딩하기 위한 관통공이 덮개부재에 형성되어 있다.

일본 특허공개 2019-197012호 공보

상기한 핸들러는 청정도가 비교적 낮은 통상의 작업공간에 설치되어 있기 때문에 상기한 DUT 흡착용 관통공을 통해 시험용 캐리어내에 미소한 먼지 등의 이물이 침입하고, 해당 이물이 DUT에 부착되는 경우가 있다. 한편, 상기한 시험용 캐리어는 DUT의 시험이 종료된 후, 해당 DUT를 시험용 캐리어로부터 꺼내기 위해서 클린룸내에서 분해된다. 따라서 이물이 부착된 DUT를 수용한 시험용 캐리어가 클린룸에서 분해되면 해당 이물을 다음 공정에 반입하는 경우가 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 DUT로의 이물의 부착을 억제하는 것이 가능한 시험용 캐리어를 제공하는 것이다.

[1] 본 발명에 따른 시험용 캐리어는 DUT를 수용한 상태로 반송되는 시험용 캐리어로서, 상기 시험용 캐리어는 상기 DUT에 대향하도록 배치된 DUT 흡착홀딩용 관통공과, 상기 관통공의 흡인에 수반하여 상기 관통공을 개폐하는 가동밸브를 구비하고, 상기 가동밸브는 상기 관통공의 흡인시에 상기 관통공을 개방하고, 상기 관통공의 비흡인시에 상기 관통공을 폐색하는 시험용 캐리어이다.

[2] 상기 발명에 있어서, 상기 가동밸브는 상기 관통공의 흡인에 수반하여 이동 또는 변형하여도 된다.

[3] 상기 발명에 있어서, 상기 시험용 캐리어는 상기 DUT를 홀딩하는 홀딩부재와, 상기 DUT를 덮음과 함께 상기 홀딩부재에 착탈 가능하게 고정된 덮개부재를 구비하고 있고, 상기 관통공은 상기 덮개부재의 덮개본체를 관통하도록 상기 덮개본체에 형성되어 있어도 된다.

[4] 상기 발명에 있어서, 상기 홀딩부재는 상기 DUT의 단자에 대응하도록 배치된 복수의 접촉자와, 상기 접촉자에 전기적으로 접속된 복수의 외부단자와, 상기 접촉자 및 상기 외부단자를 홀딩하는 홀딩본체를 구비하고 있어도 된다.

[5] 상기 발명에 있어서, 상기 덮개본체는 상기 DUT에 접촉하는 접촉면을 갖고, 상기 관통공의 제1개구는 상기 접촉면에 개구하고 있고, 상기 DUT는 상기 접촉면과 상기 접촉자의 사이에 협지되어도 된다.

[6] 상기 발명에 있어서, 상기 관통공의 제2개구는 상기 덮개본체에 있어서 상기 접촉면과는 반대측 면에 개구하고 있고, 상기 제2개구는 상기 관통공에 있어서 상기 제1개구와는 반대측의 개구여도 된다.

[7] 상기 발명에 있어서, 상기 관통공은 제1홀부과, 상기 제1홀부에 접속되어 있음과 함께 상기 가동밸브를 이동 또는 변형 가능하게 수용하고 있는 수용부와, 상기 수용부를 통해 상기 제1홀부에 접속되어 있는 제2홀부를 구비하고 있고, 상기 가동밸브는 상기 관통공의 흡인시에 상기 제1홀부와 상기 제2홀부를 연통시키고, 상기 관통공의 비흡인시에 상기 제1홀부와 상기 제2홀부의 사이를 폐색하여도 된다.

[8] 상기 발명에 있어서, 상기 가동밸브는 상기 제2홀부의 내경보다 큰 외경을 갖고 있고, 상기 관통공의 비흡인시에 상기 가동밸브가 상기 제2홀부에 있어서의 상기 수용부측의 제3개구를 덮어도 된다.

[9] 상기 발명에 있어서, 상기 제1홀부와 상기 제2홀부는 투과 평면시에 있어서 서로 중복되지 않도록 배치되어 있어도 된다.

[10] 상기 발명에 있어서, 상기 관통공은 복수의 상기 제2홀부를 구비하고 있고, 상기 복수의 제2홀부는 상기 수용부를 통해 상기 제1홀부에 접속되어 있어도 된다.

[11] 상기 발명에 있어서, 상기 제1홀부는 원형의 단면형상을 갖고, 상기 복수의 제2홀부는 상기 제1홀부의 내경보다 작은 내경을 갖는 원형의 단면형상을 각각 갖고, 상기 가동밸브는 상기 복수의 제2홀부를 포함하는 외경을 갖는 원형형상을 갖고, 상기 수용부는 상기 가동밸브의 외경보다 큰 내경을 갖는 원형의 단면형상을 갖고 있어도 된다.

[12] 상기 발명에 있어서, 상기 가동밸브는 상기 제1홀부의 내경보다 크고 또한 상기 제2홀부의 내경보다 큰 외경을 갖고, 상기 수용부는 상기 가동밸브의 외경보다 큰 내경을 갖고 있고, 상기 가동밸브는 상기 제1홀부와 상기 제2홀부의 사이를 이동 가능하게 상기 수용부내에 수용되어 있어도 된다.

[13] 상기 발명에 있어서, 상기 가동밸브는 제4개구와, 상기 제4개구가 형성된 밸브본체를 구비하고 있고, 상기 제1홀부는 상기 제4개구에 대향하도록 배치되고, 상기 제2홀부는 상기 밸브본체에 대향하도록 배치되어 있고, 상기 관통공의 흡인시에 상기 제4개구를 통해 상기 제1홀부와 상기 수용부가 연통하고, 상기 관통공의 비흡인시에 상기 밸브본체가 상기 제2홀부에 있어서의 상기 수용부측의 제3개구를 덮어도 된다.

[14] 상기 발명에 있어서, 상기 가동밸브는 금속재료 또는 수지재료로 구성되고, 상기 관통공의 흡인에 대하여 비변형인 강성을 갖는 밸브부재여도 된다.

[15] 상기 발명에 있어서, 상기 가동밸브는 탄성재료로 구성되고, 상기 관통공의 흡인에 의해 탄성변형 가능한 밸브부재이고, 상기 가동밸브는 고정부로 상기 덮개본체에 고정되어 있고, 상기 고정부는 상기 제1홀부와 대향하도록 배치되어 있어도 된다.

[16] 상기 발명에 있어서, 상기 수용부는 상기 제1홀부에 접속되어 있음과 함께 상기 가동밸브를 통해 상기 제2홀부에 대향하도록 배치된 홈을 갖고 있어도 된다.

[17] 상기 발명에 있어서, 상기 시험용 캐리어를 조립하는 캐리어 조립장치의 흡착홀딩부에 의해 상기 관통공이 흡인됨으로써 상기 DUT가 상기 흡착홀딩부에 의해 흡착홀딩되어도 된다.

본 발명에 따르면 시험용 캐리어가 DUT 흡착용 관통공의 흡인에 수반하여 해당 관통공을 개폐하는 가동밸브를 구비하고 있으므로 DUT로의 이물의 부착을 억제할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시형태에 있어서의 전자부품시험장치의 전체 구성을 나타내는 개략단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시형태에 있어서의 시험대상인 DUT를 나타내는 저면도이다.
도 3은 본 발명의 실시형태에 있어서의 시험용 캐리어를 상방에서 본 사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시형태에 있어서의 시험용 캐리어를 하방에서 본 사시도이다.
도 5는 본 발명의 실시형태에 있어서의 시험용 캐리어의 분해사시도이다.
도 6은 본 발명의 실시형태에 있어서의 시험용 캐리어를 나타내는 단면도로서, 도 3의 Ⅵ-Ⅵ선을 따른 단면도이다.
도 7은 본 발명의 실시형태에 있어서의 시험용 캐리어를 나타내는 분해단면도로서, 도 6에 대응하는 도면이다.
도 8은 본 발명의 실시형태에 있어서의 포고핀을 나타내는 단면도로서, 도 7의 Ⅷ부의 확대도이다.
도 9는 도 7의 Ⅸ부의 확대도이다.
도 10은 본 발명의 실시형태에 있어서의 흡착용 관통공과 가동밸브를 나타내는 도면으로서, 도 9의 Ⅹ-Ⅹ선을 따른 단면도이다.
도 11은 본 발명의 실시형태에 있어서의 시험용 캐리어의 홀딩부재의 변형예를 나타내는 분해단면도이다.
도 12는 본 발명의 실시형태에 있어서의 시험용 캐리어의 덮개부재의 변형예를 나타내는 단면도이다.
도 13은 도 12에 나타내는 덮개부재의 변형예에 있어서의 수용부의 상면을 나타내는 도면으로서, 도 12의 ⅩⅢ-ⅩⅢ선을 따른 단면도이다.
도 14는 본 발명의 실시형태에 있어서의 캐리어 조립장치의 구성을 나타내는 블록도이다.
도 15는 본 발명의 실시형태에 있어서의 시험용 캐리어의 조립방법을 나타내는 공정도이다.
도 16(a) 및 도 16(b)는 도 15의 단계 S20을 나타내는 도면으로서, 도 16(a)는 제2흡착홀딩부에 의해 덮개부재와 DUT를 흡착홀딩하기 전의 상태를 나타내는 도면이고, 도 16(b)는 제2흡착홀딩부에 의해 덮개부재와 DUT를 흡착홀딩한 상태를 나타내는 도면이다.
도 17(a) 내지 도 17(c)는 도 15의 단계 S40 내지 S60을 나타내는 도면으로서, 도 17(a)는 얼라이먼트전의 DUT를 촬상한 화상을 나타내는 도면이고, 도 17(b)는 얼라이먼트중의 DUT를 촬상한 화상을 나타내는 도면이고, 도 17(c)는 얼라이먼트후의 DUT를 촬상한 화상을 나타내는 도면이다.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 기초하여 설명한다.

도 1은 본 실시형태에 있어서의 전자부품시험장치(200)의 전체 구성을 나타내는 개략단면도이고, 도 2는 본 실시형태에 있어서의 시험대상인 DUT(90)를 나타내는 저면도이다.

본 실시형태에 있어서의 전자부품시험장치(200)는 DUT(90)의 전기적 특성을 시험하는 장치이다. 도 1에 나타내는 바와 같이 이 전자부품시험장치(200)는 DUT를 소켓(420)에 압압하는 핸들러(300)를 구비하고 있다. 이 핸들러(300)는 DUT를 소켓(420)에 대하여 기계적으로 위치결정하는 위치결정기구를 구비하고 있고, 소위 파인피치의 DUT를 위한 화상처리를 이용한 고정밀도의 위치결정기구는 구비하고 있지 않다. 한편, 본 실시형태에 있어서의 DUT(90)는 반도체 웨이퍼가 다이싱되어 형성된 다이이고, 파인피치의 패드(91)를 갖고 있다. 이 때문에 전자부품시험장치(200)에 의해 DUT(90)의 시험을 수행할 때에는 시험용 캐리어(1)가 이용된다.

본 실시형태에 있어서의 DUT(90)는 도 2에 나타내는 바와 같이 해당 DUT(90)의 외측가장자리를 따라 배열된 패드(91)와, 해당 DUT(90)의 중앙에 배열된 범프(92)를 갖고 있다. 패드(91)는 DUT(90)의 시험을 위한 단자이고, 비교적 넓은 피치로 배열되어 있다. 이에 대하여 범프(92)는 해당 DUT(90)의 기판에의 실장을 위한 단자이고, 패드(91)의 피치보다 좁은 피치로 배열되어 있다. 복수의 범프(92)는 직사각형으로 배열되어 있다. 또한 DUT(90)의 구성은 특별히 상기에 한정되지 않는다. 본 실시형태에 있어서의 패드(91)가 본 발명에 있어서의 "DUT의 단자"의 일례에 상당한다.

본 실시형태에서는 반도체 웨이퍼가 다이싱되어 DUT(90)가 형성되면 우선 캐리어 조립장치(100)(도 14 참조)를 이용하여 DUT(90)를 시험용 캐리어(1)에 수용한다. 그리고 시험용 캐리어(1)에 DUT(90)를 수용한 상태로 해당 시험용 캐리어(1)는 전자부품시험장치(200)의 핸들러(300)내에 반입되고, DUT 반송용 테스트트레이(도시 생략)에 탑재된다.

그리고 핸들러(300)는 이 테스트트레이를 전자부품시험장치(200)의 테스트헤드(400)의 소켓(420)상에 반송하고, Z축 구동장치(310)를 구동하여 푸셔(320)를 하강시키고, 이 푸셔(320)에 의해 시험용 캐리어(1)를 소켓(420)에 압압한다. 이에 의해 테스트트레이에 탑재된 상태로 시험용 캐리어(1)가 소켓(420)에 압압되고, 해당 시험용 캐리어(1)를 통해 DUT(90)와 소켓(420)이 전기적으로 접속된다. 이 상태에서 테스터(500)가 테스트헤드(400)를 통해 DUT(90)의 시험을 실행한다.

이 시험이 종료되면 테스트트레이로부터 시험용 캐리어(1)를 꺼낸 후, 해당 시험용 캐리어(1)를 클린룸에 반송한다. 그리고 시험용 캐리어(1)를 분해하고, 해당 시험용 캐리어(1)로부터 DUT(90)를 꺼낸다. 이 시험이 끝난 DUT(90)는 다음 공정에 반송되는 것에 대하여 해당 DUT(90)가 꺼내진 시험용 캐리어(1)는 다른 DUT(90)의 시험에 재이용된다.

테스트트레이로서는 패키징된 기존의 디바이스(DUT)에 이용되는 것을 유용할 수 있다. 이러한 테스트트레이는 특별히 도시하지 않지만, 틀형상의 프레임과 해당 프레임에 홀딩된 복수의 인서트를 구비하고 있다. 이 인서트에 시험용 캐리어(1)를 수용한다. 여기서 시험용 캐리어(1)의 외형은 기존의 디바이스의 외형에 맞춰져 있고, 이에 의해 시험용 캐리어(1)를 기존의 테스트트레이에 탑재하여 반송하는 것이 가능하다. 테스트트레이 및 인서트로서는 예를 들어 국제공개 제2003/075024호 및 국제공개 제2009/069189호 등에 기재된 공지의 것을 사용할 수 있다.

다음에 본 실시형태에 있어서의 시험용 캐리어(1)의 구성에 대하여 도 3 내지 도 9를 참조하면서 이하에 설명한다.

도 3 및 도 4는 본 실시형태에 있어서의 시험용 캐리어(1)를 나타내는 사시도이고, 도 5는 본 실시형태에 있어서의 시험용 캐리어(1)의 분해사시도이다. 도 6은 본 실시형태에 있어서의 시험용 캐리어(1)를 나타내는 단면도로서, 도 3의 Ⅵ-Ⅵ선을 따른 단면도이다. 도 7은 본 실시형태에 있어서의 시험용 캐리어(1)를 나타내는 분해단면도로서, 도 6에 대응하는 도면이다. 도 8은 본 실시형태에 있어서의 시험용 캐리어(1)의 포고핀(21)을 나타내는 단면도로서, 도 7의 Ⅷ부의 확대도이다. 도 9는 도 7의 Ⅸ부의 확대도이다. 도 10은 본 실시형태에 있어서의 흡착용 관통공(64)과 가동밸브(70)를 나타내는 도면으로서, 도 9의 Ⅹ-Ⅹ선을 따른 단면도이다.

본 실시형태에 있어서의 시험용 캐리어(1)는 도 3 내지 도 7에 나타내는 바와 같이 DUT(90)를 홀딩하는 홀딩부재(10)와, 그 DUT(90)를 덮음과 함께 홀딩부재(10)에 착탈 가능하게 고정되는 덮개부재(60)를 구비하고 있다. 이 시험용 캐리어(1)에서는 홀딩부재(10)와 덮개부재(60)의 사이에 DUT(90)를 끼움으로써 DUT(90)가 시험용 캐리어(1)의 내부에 수용된다. 또한 이 시험용 캐리어(1)는 덮개부재(60)의 관통공(64)과 가동밸브(70)를 제외하고 일본 특허공개 2019-197012호 공보에 기재되어 있는 캐리어의 구성과 기본적으로 동일한 구성을 갖고 있다.

홀딩부재(10)는 홀딩본체(15)와 해당 홀딩본체(15)에 장착된 통형상체(40)를 구비하고 있다. 홀딩본체(15)는 홀딩판(20)과 인터포저(30)를 구비하고 있다. 홀딩본체(15)는 포고핀(21)(후술함) 및 외부단자(32)(후술함)를 홀딩하고 있다.

홀딩판(20)은 복수의 포고핀(21)을 홀딩하고 있다. 이 포고핀(21)은 DUT(90)의 패드(91)에 대향하도록 피치(P₁)(도 5 참조)로 배열되어 있다. 각각의 포고핀(21)은 도 8에 나타내는 바와 같이 플런저(22)와 고정부(23)와 코일스프링(24)을 구비하고 있다. 본 실시형태에 있어서의 포고핀(21)이 본 발명에 있어서의 "접촉자"의 일례에 상당한다.

포고핀(21)은 홀딩판(20)의 홀딩홀(20a)에 각각 삽입되어 있다. 그리고 플런저(22)의 플랜지(22a)가 홀딩홀(20a)의 단차(20b)에 계지함으로써 플런저(22)의 상한위치가 제한되어 있다. 이 상한위치에 있어서 플런저(22)의 선단이 홀딩홀(20a)의 상측 개구(20c)로부터 돌출되어 있다. 고정부(23)는 홀딩홀(20a)의 반대측 개구(20d)에 위치하는 후단부(23a)와, 해당 후단부(23a)로부터 선단(상방)을 향하여 연재하는 축부(23b)를 구비하고 있다. 이 축부(23b)가 코일스프링(24)에 삽입되어 있고, 플런저(22)의 플랜지(22a)와 고정부(23)의 후단부(23a)의 사이에 코일스프링(24)이 개재하고 있다. DUT(90)가 시험용 캐리어(1)에 수용되면 플런저(22)가 DUT(90)의 패드(91)에 접촉하여 코일스프링(24)의 탄성력에 의해 플런저(22)가 패드(91)를 압압하고, DUT(90)는 포고핀(21)에 홀딩된다.

또한 도 6 및 도 7에 나타내는 바와 같이 이 홀딩판(20)에는 해당 홀딩판(20)을 관통하는 4개의 개구(25)가 형성되어 있다. 각각의 개구(25)는 DUT(90)의 하면에 직사각형상으로 배열된 복수의 범프(92) 중에서 모서리부에 위치하고 있는 범프(92)(이하, 간단히 "범프(92')"라고도 칭함)에 대향하도록 배치되어 있다(도 2 및, 도 17(a) 내지 도 17(c) 참조). 본 실시형태에서는 시험용 캐리어(1)의 조립시에 이 범프(92')를 시험용 캐리어(1)에 대한 DUT(90)의 위치결정을 위한 특징점으로서 이용한다.

인터포저(30)는 홀딩판(20)의 하면에 포개져 있고, 나사체결 등에 의해 홀딩판(20)에 고정되어 있다. 도 4 및 도 6 내지 도 8에 나타내는 바와 같이 이 인터포저(30)는 내부단자(31)와 외부단자(32)와 배선패턴(33)을 갖고 있다.

내부단자(31)는 인터포저(30)의 상면에 설치되어 있다. 이 내부단자(31)는 홀딩판(20)에 홀딩된 포고핀(21)에 대향하도록 피치(P₁)로 배열되어 있고, 해당 포고핀(21)의 고정부(23)가 이 내부단자(31)에 접촉하고 있다.

외부단자(32)는 인터포저(30)의 하면에 설치되어 있고, 시험용 캐리어(1)의 외부에 노출되어 있다. 이 외부단자(32)는 DUT(90)의 시험시에 전자부품시험장치(200)의 소켓(420)의 콘택트핀(도시 생략)이 전기적으로 접속되는 단자이고, 내부단자(31)의 피치(P₁)보다 넓은 피치(P₂)(도 4 참조)로 배열되어 있다(P₂＞P₁). 내부단자(31)와 외부단자(32)는 배선패턴(33)에 의해 접속되어 있다.

또한 도 4, 도 6 및 도 7에 나타내는 바와 같이 이 인터포저(30)에는 해당 인터포저(30)를 관통하는 4개의 개구(34)가 형성되어 있다. 각각의 개구(34)는 전술한 홀딩판(20)의 개구(25)와 실질적으로 일치하도록 배치되어 있다. 따라서 이 개구(25, 34)에 의해 홀딩부재(10)를 직선형상으로 관통하는 관통공(11)이 형성되어 있다. 이 관통공(11)은 DUT(90)의 위치결정에 이용되는 관통공이고, 해당 관통공(11)을 통해 DUT(90)의 일부(구체적으로는 범프(92'))를 외부로부터 보는 것이 가능하게 되어 있다. 이 관통공(11)은 후술하는 바와 같이 시험용 캐리어(1)의 조립시에 DUT(90)를 해당 시험용 캐리어(1)에 대하여 고정밀도로 위치결정하기 위해서 사용된다.

본 실시형태에서는 DUT(90)의 패드(91)에 접촉하는 접촉자로서 포고핀(21)을 이용하고 있지만, 접촉자로서 포고핀(21) 이외의 것을 이용하여도 된다. 예를 들어 도 11에 나타내는 바와 같이 캔틸레버형 프로브침(21B)을 접촉자로서 이용하여도 된다. 도 11은 본 실시형태에 있어서의 시험용 캐리어의 홀딩부재의 변형예를 나타내는 분해단면도이다.

이 프로브침 (21B)은 인터포저(30)상에 실장되어 있고, 해당 인터포저(30)의 내부단자(31)에 전기적으로 접속되어 있다. 혹은 특별히 도시하지 않지만, 시험용 캐리어(1)의 접촉자로서 이방도전성 고무시트를 이용한 것이나 절연막에 범프를 형성한 멤브레인 타입의 것을 이용하여도 된다.

또한 접촉자로서 포고핀(21)을 이용하는 경우에는 전술한 바와 같이 해당 포고핀(21)을 홀딩하기 위한 홀딩판(20)을 홀딩본체(15)가 구비하고 있다. 이에 비하여 도 11에 나타내는 바와 같이 접촉자로서 프로브침(21B)을 이용한 경우에는 홀딩본체(15)가 인터포저(30)만을 구비하고 있으면 된다. 이 변형예에서는 인터포저(30)가 본 발명에 있어서의 "홀딩본체"의 일례에 상당하고, 프로브침(21B)이 본 발명에 있어서의 "접촉자"의 일례에 상당한다.

도 3 내지 도 7로 돌아가서 통형상체(40)는 홀딩판(20)의 상면에 설치되어 있고, 나사체결 등에 의해 홀딩판(20)에 고정되어 있다. 이 통형상체(40)는 DUT(90)의 외형보다 큰 내공(41)을 갖는 각통형상을 갖고 있어 DUT(90)의 주위를 둘러싸는 것이 가능하게 되어 있다. 이 통형상체(40)의 측면에는 덮개부재(60)의 래치(80)(후술)에 대응하도록 오목부(42)가 형성되어 있다. 이 오목부(42)에 래치(80)가 계지함으로써 홀딩부재(10)에 덮개부재(60)가 착탈 가능하게 고정된다.

또한 이 통형상체(40)의 측면에는 이차원 바코드(50)가 붙여져 있다. 이 이차원 바코드(50)는 시험용 캐리어(1)의 ID(Identification)를 나타내고 있고, 해당 시험용 캐리어(1)의 개체를 식별하기 위해서 이용된다. 본 실시형태에서는 이 이차원 바코드(50)는 후술하는 바와 같이 캐리어 조립장치(100)에 의해 DUT(90)를 시험용 캐리어(1)에 대하여 위치결정할 때에 각각의 시험용 캐리어(1)에 고유의 오차를 가미하기 위해서 사용된다. 또한 시험용 캐리어(1)의 ID를 나타내는 수단은 시험용 캐리어(1)의 개체를 식별 가능한 식별자라면 이차원 바코드에 특별히 한정되지 않는다.

또한 이 이차원 바코드(50)의 용도는 특별히 상기에 한정되지 않는다. 예를 들어 이차원 바코드(50)가 데이터베이스상에 있어서 시험용 캐리어(1)의 전기적인 저항치와 관련지어져 있어도 된다. 혹은 이차원 바코드(50)가 데이터베이스상에 있어서 DUT(90) 자신이나 해당 DUT(90)의 시험결과와 관련지어져도 된다. 이에 의해 사용자가 DUT(90)의 시험에 사용한 시험용 캐리어(1)를 조회할 수 있고, DUT(90)의 양호한 트레이서빌리티(디바이스 트래킹)를 확보할 수 있다. 또한 불량의 DUT(90)가 특정의 시험용 캐리어(1)에서 빈발하고 있는 경우에는 해당 시험용 캐리어(1) 자체의 불량을 파악할 수도 있다.

덮개부재(60)는 덮개본체(61)와 가동밸브(70)와 1쌍의 래치(80)를 구비하고 있다. 덮개본체(61)는 판형상의 베이스부(62)와 해당 베이스부(62)로부터 하방을 향하여 볼록형상으로 돌출되는 볼록부(63)를 구비하고 있다. 가동밸브(70)는 덮개본체(61)에 형성된 DUT 흡착용 관통공(64)(후술함)내에 배치되어 있다. 래치(80)는 베이스부(62)의 양단으로부터 하방을 향하여 돌출되어 있다.

볼록부(63)는 홀딩판(20)에 홀딩된 DUT(90)의 상면에 접촉하는 접촉면(631)을 갖고 있고, 해당 DUT(90)를 압압한다. 또한 볼록부(63)에 의한 DUT(90)의 강압량은 홀딩부재(10)의 통형상체(40)가 덮개부재(60)의 베이스부(62)에 당접함으로써 제한되어 있고, 이 상태에 있어서 DUT(90)의 패드(91)에 대한 포고핀(21)의 압압력이 최적의 값이 되도록 설정되어 있다. 시험용 캐리어(1)에 수용된 DUT(90)는 볼록부(63)의 접촉면(631)과 포고핀(21)의 사이에 협지된다.

덮개본체(61)의 거의 중앙에는 관통공(64)이 형성되어 있고, 이 관통공(64)은 베이스부(62) 및 볼록부(63)를 관통하고 있다. 이 관통공(64)은 하나의 상측의 개구(64a)를 갖고 있고, 해당 상측의 개구(64a)는 베이스부(62)의 상면(621)에서 개구하고 있다. 이 상측의 개구(64a)는 베이스부(62)의 상면(621)의 중앙에 배치되어 있다. 또한 이 관통공(64)은 4개의 하측의 개구(64b)를 갖고 있고, 해당 4개의 하측의 개구(64b)는 볼록부(63)의 접촉면(631)에서 개구하고 있다. 이 4개의 하측의 개구(64b)는 볼록부(63)의 접촉면(631)의 중심을 둘러싸도록 등간격으로 원주형상으로 배치되어 있다. 이 관통공(64)은 후술하는 바와 같이 캐리어 조립장치(100)에 의한 DUT(90)의 흡착홀딩에 사용된다.

본 실시형태에 있어서의 관통공(64)이 본 발명에 있어서의 "DUT 흡착용 관통공"의 일례에 상당한다. 또한 본 실시형태에 있어서의 하측의 개구(64b)가 본 발명에 있어서의 "제1개구"의 일례에 상당하고, 본 실시형태에 있어서의 상측의 개구(64a)가 본 발명에 있어서의 "제2개구"의 일례에 상당한다.

이 DUT 흡착용 관통공(64)은 도 9 및 도 10에 나타내는 바와 같이 제1홀부(641)와 복수(본 예에서는 4개)의 제2홀부(642)와 수용부(643)를 구비하고 있다. 또한 관통공(64)이 구비하는 제1홀부(641)의 수는 특별히 상기에 한정되지 않고, 관통공(64)이 복수의 제1홀부(641)를 구비하고 있어도 된다. 마찬가지로 관통공(64)이 구비하는 제2홀부(642)의 수는 특별히 상기에 한정되지 않고, 관통공(64)이 하나의 제2홀부(642)를 구비하고 있어도 된다.

제1홀부(641)는 내경(D₁)의 원형의 단면형상을 갖고, 연직방향(도면중의 Z방향)을 따라 직선형상으로 연재하는 홀부이다. 이 제1홀부(641)는 관통공(64)의 상측부분을 구성하고 있고, 전술한 상측의 개구(64a)는 이 제1홀부(641)의 상단에 위치하고 있다.

각각의 제2홀부(642)도 내경(D₂)의 원형의 단면형상을 갖고, 연직방향(도면중의 Z방향)을 따라 직선형상으로 연재하는 홀부이다. 이 제2홀부(642)는 관통공(64)의 하측부분을 구성하고 있고, 전술한 하측의 개구(64b)는 이 제2홀부(642)의 하단에 위치하고 있다.

수용부(643)는 내경(D₃)의 원형의 단면형상을 갖는 공간이고, 관통공(64)의 중앙부분을 구성하고 있다. 이 수용부(643)는 제1홀부(641)와 제2홀부(642)의 사이에 개재하고 있다. 제1홀부(641)는 수용부(643)에 상측으로부터 접속되어 있다. 또한 4개의 모든 제2홀부(642)도 수용부(643)에 하측으로부터 접속되어 있다. 따라서 제1홀부(641)와 제2홀부(642)는 해당 수용부(643)를 통해 서로 접속되어 있다.

그리고 제1홀부(641)의 내경(D₁)은 수용부(643)의 내경(D₃)보다 작게 되어 있다(D₁＜D₃). 도 10에 나타내는 바와 같이 투과 평면시(덮개부재(60)의 법선방향(도면중의 Z방향)을 따라 해당 덮개부재(60)를 투시한 경우)에 있어서 제1홀부(641)와 수용부(643)는 동축상에 배치되어 있다.

또한 각각의 제2홀부(642)의 내경(D₂)은 제1홀부(641)의 내경(D₁)보다 작게 되어 있고(D₂＜D₁), 제1홀부(641)와 복수의 제2홀부(642)는 투과 평면시에 있어서 서로 중복되지 않도록 배치되어 있다. 특별히 한정되지 않지만, 본 실시형태에서는 도 10에 나타내는 바와 같이 제1홀부(641)를 둘러싸도록 4개의 제2홀부(642)가 등간격으로 원주형상으로 배치되어 있다. 또한 제1홀부(641)의 내경(D₁)과 제2홀부(642)의 내경(D₂)의 관계는 특별히 상기에 한정되지 않고, 제2홀부(642)의 내경(D₂)이 제1홀부(641)의 내경(D₁)과 동일하여도 되고(D₂=D₁), 제2홀부(642)의 내경(D₂)이 제1홀부(641)의 내경(D₁)보다 커도 된다(D₂＞D₁).

또한 수용부(643)의 내경(D₃)은 제2홀부(642)의 내경(D₂)보다 크게 되어 있다(D₃＞D₂). 본 실시형태에서는 수용부(643)의 내경(D₃)은 전술한 원주형상으로 배치된 4개의 제2홀부(642)의 외접원보다 크게 되어 있다. 이 때문에 수용부(643)는 도 10에 나타내는 바와 같이 투과 평면시에 있어서 수용부(643)가 모든 제2홀부(642)를 포함하도록 배치되어 있고, 모든 제2홀부(642)가 수용부(643)와 접속되어 있다.

가동밸브(70)는 도 9 및 도 10에 나타내는 바와 같이 외경(D₄)을 갖는 원환형상의 부재이고, 개구(72)와 해당 개구(72)가 중앙에 형성된 밸브본체(71)를 구비하고 있다. 이 가동밸브(70)는 예를 들어 금속재료 또는 수지재료로 구성되어 있고, 캐리어 조립장치(100)(후술함)에 의해 관통공(64)이 흡인된 경우여도 변형되는 일이 없는 강성을 갖고 있다. 본 실시형태에 있어서의 가동밸브(70)의 개구(72)가 본 발명에 있어서의 "제4개구"의 일례에 상당한다. 또한 관통공(64)의 흡인에 의해 가동밸브(70)가 수용부(643)내를 이동 가능하면 해당 가동밸브(70)를 탄성재료로 구성하여도 된다.

이 가동밸브(70)는 덮개본체(61)의 관통공(64)의 수용부(643)내에 수용되어 있다. 이 가동밸브(70)의 외경(D₄)은 수용부(643)의 내경(D₃)보다 작게 되어 있다(D₄＜D₃). 또한 이 가동밸브(70)의 두께(t)는 수용부(643)의 깊이(d)보다 작게 되어 있다(t＜d). 그리고 이 가동밸브(70)는 덮개본체(61)에 대하여 고정되어 있지 않다. 또한 이 가동밸브(70)의 외경(D₄)은 제1홀부(641)의 내경(D₁)보다 크게 되어 있음(D₄＞D₁)과 함께 제2홀부(642)의 내경(D₂)보다 크게 되어 있다(D₄＞D₂). 따라서 가동밸브(70)는 수용부(643)내에 있어서 상하방향(도면중의 Z축방향)을 따라 이동하는 것이 가능하게 되어 있고, 수용부(643)내에 있어서 제1홀부(641)와 제2홀부(642)의 사이를 이동하는 것이 가능하게 되어 있다.

이 가동밸브(70)의 개구(72)는 도 10에 나타내는 바와 같이 투과 평면시에 있어서 제1홀부(641)와 동축상에 배치되어 있다. 즉, 이 개구(72)는 제1홀부(641)와 대향하도록 배치되어 있다. 또한 이 개구(72)의 내경(D₅)은 제1홀부(641)의 내경(D₁)과 실질적으로 동일한 크기를 갖고 있다(D₅=D₁). 이 때문에 캐리어 조립장치(100)에 의한 관통공(64)의 흡인에 의해 가동밸브(70)가 수용부(643)의 상면(643b)에 접촉한 상태여도 이 개구(72)를 통해 제1홀부(641)와 수용부(643)가 연통하고 있고, 제1홀부(641)가 가동밸브(70)에 의해 폐색되는 일은 없다. 또한 개구(72)의 내경(D₅)은 특별히 상기에 한정되지 않고, 가동밸브(70)의 밸브본체(71)가 제2홀부(642)와 대향하고 있는 한 제1홀부(641)의 내경(D₁)보다 작아도 되고(D₅＜D₁), 제1홀부(641)의 내경(D₁)보다 커도 된다(D₅＞D₁).

또한 본 실시형태에서는 가동밸브(70)의 외경(D₄)은 전술한 원주형상으로 배치된 4개의 제2홀부(642)의 외접원보다 크게 되어 있다. 그리고 이 가동밸브(70)는 수용부(643)와 마찬가지로 도 10에 나타내는 바와 같이 투과 평면시에 있어서 모든 제2홀부(642)를 포함하도록 배치되어 있다. 이 때문에 캐리어 조립장치(100)에 의한 관통공(64)의 비흡인시에는 가동밸브(70)가 수용부(643)의 하면(643a)에 접촉하고, 모든 제2홀부(642)의 상측의 개구(642a)가 가동밸브(70)의 밸브본체(71)에 의해 덮인다. 본 실시형태에 있어서의 제2홀부(642)의 상측의 개구(642a)가 본 발명에 있어서의 "제3개구"의 일례에 상당한다.

또한 본 실시형태에서는 이러한 중앙이 확경된 관통공(64)을 형성하기 위해서 도 7 및 도 9에 나타내는 바와 같이 덮개본체(61)를 2개의 부재(65, 66)로 구성하고 있다. 또한 특별히 이에 한정되지 않고, 덮개본체(61)를 단일의 부재로 구성하여도 된다.

제1부재(65)는 베이스부(62)와 볼록부(63)가 일체적으로 형성된 블록형상의 부재이다. 이 제1부재(65)의 중앙에는 제2홀부(642) 및 수용부(643)가 형성되어 있음과 함께 수용부(643)보다 큰 오목부(65a)가 형성되어 있다. 이 오목부(65a)는 수용부(643)의 상방에 배치되어 있고, 해당 수용부(643)에 접속되어 있다.

한편 제2부재(66)는 그 중앙에 제1홀부(641)를 갖는 환상의 부재이다. 이 제2부재(66)를 제1부재(65)의 오목부(65a)에 삽입함으로써 관통공(64)을 갖는 덮개본체(61)가 형성되어 있다. 본 실시형태에서는 제2부재(66)의 외주면에 형성된 수나사부와, 제1부재(65)의 오목부(65a)의 내주면에 형성된 암나사부를 나합시킴으로써 제2부재(66)가 제1부재(65)에 고정되어 있다. 또한 접착제를 이용하여 제2부재(66)를 제1부재에 고정하여도 된다.

또한 가동밸브의 구성은 특별히 상기에 한정되지 않고, 도 12 및 도 13에 나타내는 구성으로 하여도 된다. 도 12는 본 실시형태에 있어서의 시험용 캐리어의 덮개부재의 변형예를 나타내는 단면도이고, 도 13은 도 12에 나타내는 덮개부재의 변형예에 있어서의 수용부의 상면을 나타내는 도면으로서, 도 12의 ⅩⅢ-ⅩⅢ선을 따른 단면도이다.

이 도 12 및 도 13에 나타내는 변형예에서는 가동밸브(70B)는 개구(72)를 갖지 않는 원판형상을 갖고 있다. 이 가동밸브(70)는 예를 들어 고무 등의 탄성재료로 구성되어 있고, 캐리어 조립장치(100)에 의해 관통공(64)이 흡인된 경우에 탄성변형하는 것이 가능하게 되어 있다. 이 가동밸브(70B)는 고정부(73)로 수용부(643)의 하면(저면)(643a)에 고정되어 있다. 이 고정부(73)는 가동밸브(70B)의 중앙에 위치하고 있고, 제1홀부(641)에 대향하고 있다. 고정부(73)의 구체예로서는 특별히 한정되지 않지만, 나사체결이나 접착을 예시할 수 있다.

이 변형예에서는 캐리어 조립장치(100)에 의한 관통공(64)의 비흡인시에는 가동밸브(70B)가 탄성변형하고 있지 않으므로 가동밸브(70B)가 수용부(643)의 하면(643a)에 접촉하고, 제2홀부(642)의 상측의 개구(642a)가 가동밸브(70B)에 의해 덮여 있다. 이에 비하여 캐리어 조립장치(100)에 의한 관통공(64)의 흡인시에는 가동밸브(70B)의 중앙부가 고정부(73)에 의해 고정되면서 해당 가동밸브(70B)의 주연부가 상방을 향하여 탄성변형하므로 제2홀부(642)의 상측의 개구(642a)가 개방되어 수용부(643)를 통해 제1홀부(641)와 제2홀부(642)가 연통한다. 이때 가동밸브(70B)는 제1홀부(641)에 대향하고 있는 고정부(73)로 수용부(643)의 하면(643a)에 고정되어 있으므로 해당 제1홀부(641)를 폐색하는 일은 없다.

또한 이 변형예에서는 수용부(643)의 상면(천장면)(643b)에 복수(본 예에서는 4개)의 직선형상의 홈(643c)이 형성되어 있다. 이 복수의 홈(643c)은 제1홀부(641)를 중심으로 방사상으로 퍼져 있고, 각각의 홈(643c)은 제1홀부(641)에 접속되어 있음과 함께 가동밸브(70B)를 통해 제2홀부(642)에 대향하도록 배치되어 있다. 이에 의해 수용부(643)의 상면(643b)으로의 탄성변형한 가동밸브(70B)의 접촉에 의한 관통공(64)의 폐색을 억제할 수 있다.

또한 DUT 흡착용 관통공의 구성도 특별히 상기에 한정되지 않는다. 예를 들어 가동밸브가 캐리어 조립장치의 흡인에 의해 탄성변형하는 타입인 경우에는 특별히 도시하지 않지만, 제1홀부와 제2홀부가 투과 평면시에 있어서 서로 중복되도록 배치되어 있어도 되고 혹은 DUT 흡착용 관통공으로부터 제1홀부를 생략하여도 된다. 또한 캐리어 조립장치의 흡착홀딩부의 선단부의 형상을 가동밸브를 포위 가능한 형상으로 함으로써 DUT 흡착용 관통공으로부터 제1홀부에 더하여 수용부를 생략하여도 된다.

도 3 내지 도 7로 돌아가서 래치(80)는 베이스부(62)의 양단에서 샤프트(81)에 의해 회전 가능하게 지지되어 있고, 하방을 향하여 각각 연재하고 있다. 각각의 래치(80)는 특별히 도시하지 않는 스프링에 의해 내측을 향하여 탄성지지되어 있다. 각각의 래치(80)의 선단에는 내측을 향하여 돌출되는 후크부(82)가 설치되어 있다. 이 후크부(82)가 홀딩부재(10)의 오목부(42)에 계지함으로써 덮개부재(60)가 홀딩부재(10)에 고정된다.

다음에 이상에 설명한 시험용 캐리어(1)를 조립하는 캐리어 조립장치(100)의 구성에 대하여 도 14를 참조하면서 설명한다. 도 14는 본 실시형태에 있어서의 캐리어 조립장치의 구성을 나타내는 블록도이다.

본 실시형태에 있어서의 캐리어 조립장치(100)는 도 14에 나타내는 바와 같이 제1흡착홀딩부(110)와 제2흡착홀딩부(120)와 감압부(130)와 구동부(140)와 카메라(150)와 화상처리부(160)와 리더(170)와 제어부(180)와 기억부(190)를 구비하고 있다.

제1흡착홀딩부(110)는 감압부(130)에 접속되어 있고, 홀딩부재(10)를 흡착홀딩하는 것이 가능하게 되어 있다. 제2흡착홀딩부(120)도 감압부(130)에 접속되어 있고, 덮개부재(60)를 흡착홀딩하는 것이 가능하게 되어 있다. 본 실시형태에서는 DUT(90)가 덮개부재(60)의 관통공(64)을 통해 제2흡착홀딩부(120)에 의해 덮개부재(60)와 함께 흡착홀딩된다. 특별히 한정되지 않지만, 제1 및 제2흡착홀딩부(110, 120)의 구체예로서는 예를 들어 흡착패드를 예시할 수 있다. 또한 감압부(130)로서는 예를 들어 진공펌프를 예시할 수 있다.

또한 본 실시형태에서는 포고핀(21)의 선단이 상방을 향한 상태에서 제1흡착홀딩부(110)가 홀딩부재(10)를 흡착홀딩하지만, 특별히 이에 한정되지 않고, 홀딩부재(10)를 반전시킨 상태(즉, 포고핀(21)의 선단이 하방을 향한 상태)에서 제1흡착홀딩부(110)가 해당 홀딩부재(10)를 흡착홀딩하여도 된다. 마찬가지로 본 실시형태에서는 패드(91) 및 범프(92)가 하방을 향한 상태에서 제2흡착홀딩부(120)가 덮개부재(60) 및 DUT(90)를 홀딩하는데, 특별히 이에 한정되지 않고, 덮개부재(60) 및 DUT(90)를 반전시킨 상태(즉, 패드(91) 및 범프(92)가 상방을 향한 상태)에서 제2흡착홀딩부(120)가 해당 덮개부재(60) 및 DUT(90)를 홀딩하여도 된다.

본 실시형태에서는 제2흡착홀딩부(120)에 구동부(140)가 접속되어 있다. 이 제2흡착홀딩부(120)는 구동부(140)가 갖는 액추에이터에 의해 XYZ방향으로 이동 가능함과 함께 Z축을 중심으로 한 θ방향의 회전이 가능하게 되어 있고, 제1흡착홀딩부(110)에 대하여 상대적으로 이동 및 회전하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한 제1흡착홀딩부(110)가 제2흡착홀딩부(120)에 대하여 이동 가능하여도 되고, 제1 및 제2흡착홀딩부(110, 120)의 양쪽이 이동 가능하여도 된다.

카메라(150)는 제1흡착홀딩부(110)에 의해 홀딩된 홀딩부재(10)의 관통공(11)을 통해 DUT(90)의 일부를 촬상한다. 구체적으로는 카메라(150)는 홀딩부재(10)의 관통공(11)과 DUT(90)가 갖는 범프(92) 중에서 모서리부에 위치하는 범프(92')를 포함하는 화상을 촬상한다(도 17(a) 내지 도 17(c) 참조). 카메라(150)에 의해 취득된 화상정보는 화상처리부(160)에 송신된다.

화상처리부(160)는 이 화상정보에 대하여 화상처리를 수행함으로써 관통공(11)의 중심(12)의 위치를 검출함과 함께 범프(92')의 위치를 검출함으로써 관통공(11)의 중심(12)에 대한 범프(92')의 상대위치를 취득한다(도 17(a) 내지 도 17(c) 참조). 또한 범프(92')의 상대위치의 기준은 관통공(11)에 관한 부위라면 해당 관통공(11)의 중심(12)에 특별히 한정되지 않는다.

또한 시험용 캐리어(1)에 대한 DUT(90)의 위치결정을 위해서 화상처리부(160)에 의해 취득되는 DUT(90)의 특징점은 DUT(90)에 있어서 특징적인 부분이라면 전술한 범프(92')에 특별히 한정되지 않는다. 특별히 도시하지 않지만 예를 들어 위치결정용 얼라이먼트 마크를 DUT(90)에 형성해 두고, 이 얼라이먼트 마크를 DUT(90)의 특징점으로서 이용하여도 된다.

리더(170)는 제1흡착홀딩부(110)에 의해 홀딩된 홀딩부재(10)의 이차원 바코드(50)를 판독하는 바코드리더이다. 이 리더(170)에 의해 판독된 ID정보는 제어부(180)에 송신된다. 제어부(180)는 이 시험용 캐리어(1)의 ID정보에 대응한 보정치를 기억부(190)로부터 읽어낸다.

기억부(190)에는 시험용 캐리어(1)의 ID에 각각 대응한 복수의 보정치를 갖는 보정치 테이블이 미리 기억되어 있다. 이 보정치는 홀딩부재(10)의 가공에 의해 발생한 포고핀(21)에 대한 관통공(11)의 상대위치의 오차에 대응한 보정치이고, 각각의 시험용 캐리어(1)에 고유의 값이다. 구체적으로는 이 보정치는 이하와 같이 구해진다. 즉, 우선 시험용 캐리어(1)를 실제로 계측함으로써 포고핀(21)의 중심에 대한 관통공(11)의 중심(12)의 실제의 상대위치(x₁, y₁)를 구한다. 이어서 포고핀(21)의 중심에 대한 관통공(11)의 중심(12)의 설계상의 상대위치(x₀, y₀)와 실제의 상대위치(x₁, y₁)의 차(Δx, Δy)(=x₀-x₁, y₀-y₁)를 구하고, 이 차(Δx, Δy)를 전술한 보정치로서 설정한다. 보정치 테이블은 각각의 시험용 캐리어(1)의 ID에 대하여 해당 시험용 캐리어(1)의 보정치가 개별적으로 대응지어짐으로써 구성되어 있다. 또한 포고핀(21)의 중심에 대한 관통공(11)의 중심(12)의 설계상의 상대위치(x₀, y₀)는 DUT(90)에 있어서의 패드(91)의 중심에 대한 범프(92')의 중심의 상대위치에 대응하고 있다(도 1 참조).

또한 제어부(180)는 화상처리부(160)에 의해 취득된 범프(92')의 상대위치와 전술한 보정치에 기초하여 홀딩부재(10)에 대하여 DUT(90)를 위치결정하도록 구동부(140)를 제어한다. 화상처리부(160), 제어부(180) 및 기억부(190)는 예를 들어 컴퓨터에 의해 실현할 수 있다.

이하에 이 캐리어 조립장치(100)를 이용하여 DUT(90)를 시험용 캐리어(1)에 수용하는 순서에 대하여 도 15 내지 도 17(c)를 참조하면서 설명한다.

도 15는 본 실시형태에 있어서의 시험용 캐리어(1)의 조립방법의 공정도이다. 또한 도 16(a) 및 도 16(b)는 도 15의 단계 S20을 나타내는 도면으로서, 도 16(a)는 제2흡착홀딩부(120)에 의해 덮개부재(60)와 DUT(90)를 홀딩하기 전의 상태를 나타내는 도면이고, 도 16(b)는 제2흡착홀딩부(120)에 의해 덮개부재(60)와 DUT(90)를 홀딩한 상태를 나타내는 도면이다. 또한 도 17(a) 내지 도 17(c)는 도 15의 단계 S40 내지 S60을 나타내는 도면으로서, 도 17(a)는 얼라이먼트전에 카메라(150)에 의해 관통공(11)을 통해 DUT(90)의 하면을 촬상한 화상을 나타내는 도면이고, 도 17(b)는 얼라이먼트중에 카메라(150)에 의해 관통공(11)을 통해 DUT(90)의 하면을 촬상한 화상을 나타내는 도면이고, 도 17(c)는 얼라이먼트후에 카메라(150)에 의해 관통공(11)을 통해 DUT(90)의 하면을 촬상한 화상을 나타내는 도면이다.

우선 도 15의 단계 S10에 있어서 제1흡착홀딩부(110)가 시험용 캐리어(1)의 홀딩부재(10)를 흡착홀딩한다. 이때 제1흡착홀딩부(110)는 포고핀(21)의 선단이 상방을 향한 상태로 홀딩부재(10)를 하측으로부터 흡착홀딩한다.

이어서 도 15의 단계 S20에 있어서 제2흡착홀딩부(120)가 덮개부재(60)와 DUT(90)를 흡착홀딩한다. 이때 제2흡착홀딩부(120)는 패드(91) 및 범프(92)가 하방을 향한 상태로 덮개부재(60) 및 DUT(90)를 상측으로부터 흡착홀딩한다.

여기서 캐리어 조립장치(100)에 의해 관통공(64)을 흡인하기 전에는 도 16(a)에 나타내는 바와 같이 가동밸브(70)는 그 자중에 의해 수용부(643)내에서 하강하여 해당 수용부(643)의 하면(643a)에 접촉하고 있고, 제2홀부(642)의 상측의 개구(642a)가 가동밸브(70)의 밸브본체(71)에 의해 덮여 있다. 이와 같이 본 실시형태에서는 캐리어 조립장치(100)에 의해 덮개부재(60) 및 DUT(90)를 흡착홀딩하고 있지 않을 때(즉, 제2흡착홀딩부(120)가 덮개부재(60)에 접촉하고 있지 않을 때)에 관통공(64)의 제1홀부(641)와 제2홀부(642)의 사이가 가동밸브(70)에 의해 폐색되어 있으므로 해당 관통공(64)을 통해 미소한 먼지 등의 이물이 시험용 캐리어(1)내에 침입하는 것을 억제할 수 있다.

그리고 이 단계 S20에 있어서 캐리어 조립장치(100)에 의해 관통공(64)을 흡인하면 도 16(b)에 나타내는 바와 같이 가동밸브(70)는 수용부(643)내에서 빨아올려져서 해당 수용부(643)의 상면(643b)에 접촉한다. 이때 해당 가동밸브(70)의 개구(72)를 통해 제1홀부(641)와 수용부(643)가 연통하고 있고, 제1홀부(641)가 가동밸브(70)에 의해 폐색되는 일은 없기 때문에 제2흡착홀딩부(120)는 덮개부재(60)와 DUT(90)를 흡착홀딩할 수 있다. 또한 이때 가동밸브(70)가 관통공(64)을 폐색하고 있지 않아도 제2흡착홀딩부(120)가 덮개부재(60)에 접촉하고 있으므로 관통공(64)을 통해 시험용 캐리어(1)내에 이물이 침입하는 일은 없다.

또한 제2흡착홀딩부(120)가 덮개부재(60)에 접촉하고 있지 않을 때에 관통공(64)내에 침입한 이물이 가동밸브(70)상에 부착되어 있어도 이 단계 S20에서의 캐리어 조립장치(100)에 의한 관통공(64)의 흡인에 의해 해당 이물은 시험용 캐리어(1)의 외부로 배출된다.

이어서 도 15의 단계 S30에 있어서 구동부(140)에 의해 제2흡착홀딩부(120)를 Z축방향을 따라 하강시켜 DUT(90)의 패드(91)와 홀딩부재(10)의 포고핀(21)을 근접시킨다. 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 이 상태에 있어서 패드(91)와 포고핀(21)의 사이의 간격은 0.05 mm 정도이다.

이어서 도 15의 단계 S40에 있어서 도 17(a)에 나타내는 바와 같이 카메라(150)에 의해 관통공(11)을 통해 DUT(90)의 일부를 촬상하고, 그 화상정보를 화상처리부(160)에 송신한다. 화상처리부(160)는 이 화상정보로부터 관통공(11)의 중심(12)에 대한 범프(92')의 중심의 상대위치를 취득한다. 화상처리부(160)는 이 범프(92')의 상대위치를 제어부(180)에 송신한다.

이어서 도 15의 단계 S50에 있어서 홀딩부재(10)에 부여된 이차원 바코드(50)를 리더(170)에 의해 판독하고, 제어부(180)가 그 ID정보에 대응한 보정치를 기억부(190)로부터 읽어낸다.

이어서 도 15의 단계 S60에 있어서 제어부(180)는 화상처리부(160)에 의해 취득된 범프(92')의 상대위치에 기초하여 구동부(140)를 제어한다. 본 실시형태에서는 제어부(180)는 범프(92')의 중심을 관통공(11)의 중심(12)에 일치시키도록 구동부(140)를 제어한다. 구동부(140)는 제어부(180)로부터의 지시에 따라 제2흡착홀딩부(120)를 XY평면상에서 이동시키고, 이에 의해 DUT(90)의 범프(92')의 중심이 관통공(11)의 중심(12)에 위치한다(도 17(b) 참조).

또한 이 단계 S60에 있어서 제어부(180)는 기억부(190)로부터 읽어낸 보정치에 기초하여 구동부(140)를 제어한다. 구동부(140)는 제어부(180)로부터의 지시에 따라 제2흡착홀딩부(120)를 XY평면상에서 더 이동시키고, 이에 의해 DUT(90)의 범프(92')의 중심이 관통공(11)의 중심(12)으로부터 보정량(Δx, Δy)분만큼 떨어진다(도 17(c) 참조). 이에 의해 각각의 시험용 캐리어(1)가 갖는 오차가 가미되므로 패드(91)가 포고핀(21)에 대하여 고정밀도로 위치결정된다.

또한 실제로는 이 단계 S60에 있어서 범프(92')의 상대위치에 기초한 구동부(140)의 제어와 보정치에 기초한 구동부(140)의 제어가 동시에 실행된다. 또한 단계 S60에 있어서 제어부(180)가 복수의 범프(92')의 위치에 기초하여 제2흡착홀딩부(120)를 θ방향으로 회전시키도록 구동부(140)를 제어하여도 된다.

이어서 도 15의 단계 S70에 있어서 구동부(140)에 의해 제2흡착홀딩부(120)를 Z축방향을 따라 더 하강시켜 홀딩부재(10)의 통형상체(40)를 덮개부재(60)의 베이스부(62)에 당접시킨다. 이에 의해 포고핀(21)에 의해 최적의 압압력으로 DUT(90)의 패드(91)가 압압됨과 함께 포고핀(21)과 덮개부재(60)에 의해 DUT(90)가 협지된다. 또한 구동부(140)에 의한 제2흡착홀딩부(120)의 하강에 수반하여 래치(80)의 후크부(82)가 통형상체(40)의 오목부(42)에 계지하여 덮개부재(60)가 홀딩부재(10)에 고정된다.

이어서 도 15의 단계 S80에 있어서 반송수단(도시 생략)에 의해 시험용 캐리어(1)를 홀딩한 상태에서 제1 및 제2흡착홀딩부(110, 120)의 흡착이 해제되어 시험용 캐리어(1)로의 DUT(90)의 수용작업이 완료된다.

제2흡착홀딩부(120)의 흡착이 해제되면 관통공(64)이 흡인되어 있지 않은 상태가 되므로 전술한 도 16(a)의 상태와 마찬가지로 가동밸브(70)는 그 자중에 의해 하강하고, 제2홀부(642)의 상측의 개구(642a)가 가동밸브(70)에 의해 덮인다. 이와 같이 본 실시형태에서는 캐리어 조립장치(100)에 의해 덮개부재(60) 및 DUT(90)를 흡착홀딩하고 있지 않을 때(즉, 제2흡착홀딩부(120)가 덮개부재(60)에 접촉하고 있지 않을 때)에 관통공(64)의 제1홀부(641)와 제2홀부(642)의 사이가 가동밸브(70)에 의해 폐색되어 있으므로 해당 관통공(64)을 통해 미소한 먼지 등의 이물이 시험용 캐리어(1)내에 침입하는 것을 억제할 수 있다.

이상과 같이 본 실시형태에서는 시험용 캐리어(1)가 DUT 흡착용 관통공(64)의 흡인에 수반하여 해당 관통공(64)을 개폐하는 가동밸브(70)를 구비하고 있다. 이 때문에 관통공(64)이 흡인되어 있는 상태에서는 가동밸브(70)에 의해 해당 관통공(64)이 폐색되어 있지 않으므로 DUT(90)를 흡착홀딩하는 것이 가능하게 되어 있다. 한편, 관통공(64)이 흡인되어 있지 않은 상태에서는 가동밸브(70)에 의해 해당 관통공(64)이 폐색되어 있기 때문에 관통공(64)을 통한 시험용 캐리어(1)내로의 이물의 침입을 억제할 수 있다. 이 때문에 클린룸내에 있어서 시험용 캐리어(1)로부터 꺼내지는 시험이 끝난 DUT(90)로의 이물의 부착을 억제할 수 있고, 다음 공정에의 이물의 반입을 억제할 수 있다.

또한 이상 설명한 실시형태는 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위해서 기재된 것으로서, 본 발명을 한정하기 위해서 기재된 것은 아니다. 따라서 상기한 실시형태에 개시된 각 요소는 본 발명의 기술적 범위에 속하는 모든 설계변경이나 균등물도 포함하는 취지이다.

예를 들어 시험용 캐리어(1)가 위치결정용 관통공(11)을 구비하고 있지 않아도 된다. 이 경우에 DUT(90)의 패드(91)를 촬상한 화상과 포고핀(21)을 촬상한 화상을 취득하고, 이들 화상에 기초하여 포고핀(21)에 대한 DUT(90)의 상대위치를 연산함으로써 DUT(90)를 시험용 캐리어(1)에 대하여 위치결정하여도 된다.

또한 예를 들어 전술한 실시형태에서는 DUT(90)의 구체예로서 다이를 예시하였으나, 특별히 이에 한정되지 않는다. 예를 들어 DUT(90)는 패키징된 디바이스여도 된다. 또한 전술한 실시형태에 있어서의 DUT(90)는 메모리계 디바이스이지만, 특별히 이에 한정되지 않는다. 예를 들어 DUT(90)가 SoC(System on a chip)나 논리계 디바이스여도 된다.

또한 전술한 실시형태에 있어서의 전자부품시험장치(200)는 테스트트레이에 DUT(90)를 홀딩한 상태에서 해당 DUT(90)를 소켓(420)에 압압하는 타입의 핸들러(300)을 구비하고 있지만, 핸들러(300)의 구성은 특별히 이에 한정되지 않는다. 예를 들어 핸들러(300)가 DUT를 흡착홀딩하는 암에 의해 해당 DUT를 소켓에 압압하는 타입의 핸들러여도 된다.

1: 시험용 캐리어 10: 홀딩부재
15: 홀딩본체 21: 포고핀
21B: 프로브침 32: 외부단자
60: 덮개부재 61: 덮개본체
62: 베이스부 621: 상면
63: 볼록부 631: 접촉면
64: 관통공(DUT 흡착용 관통공) 64a: 개구
64b: 개구 641: 제1홀부
642: 제2홀부 642a: 개구
643: 수용부 643a: 하면
643b: 상면 643c: 홈
70, 70B: 가동밸브 71: 밸브본체
72: 개구 73: 고정부
90: DUT 100: 캐리어 조립장치
120: 제2흡착홀딩부

Claims

DUT를 수용한 상태로 반송되는 시험용 캐리어로서,
상기 시험용 캐리어는
상기 DUT에 대향하도록 배치된 DUT 흡착홀딩용 관통공과,
상기 관통공의 흡인에 수반하여 상기 관통공을 개폐하는 가동밸브를 구비하고,
상기 가동밸브는 상기 관통공의 흡인에 의해 이동 또는 변형함으로써, 상기 관통공의 흡인시에 상기 관통공을 개방하고, 상기 관통공의 비흡인시에 상기 관통공을 폐색하는 시험용 캐리어.
삭제
청구항 1에 있어서,
상기 시험용 캐리어는
상기 DUT를 홀딩하는 홀딩부재와,
상기 DUT를 덮음과 함께 상기 홀딩부재에 착탈 가능하게 고정된 덮개부재를 구비하고 있고,
상기 관통공은 상기 덮개부재의 덮개본체를 관통하도록 상기 덮개본체에 형성되어 있는 시험용 캐리어.
청구항 3에 있어서,
상기 홀딩부재는
상기 DUT의 단자에 대응하도록 배치된 복수의 접촉자와,
상기 접촉자에 전기적으로 접속된 복수의 외부단자와,
상기 접촉자 및 상기 외부단자를 홀딩하는 홀딩본체를 구비한 시험용 캐리어.
청구항 4에 있어서,
상기 덮개본체는 상기 DUT에 접촉하는 접촉면을 갖고,
상기 관통공의 제1개구는 상기 접촉면에 개구하고 있고,
상기 DUT는 상기 접촉면과 상기 접촉자의 사이에 협지되는 시험용 캐리어.
청구항 5에 있어서,
상기 관통공의 제2개구는 상기 덮개본체에 있어서 상기 접촉면과는 반대측 면에 개구하고 있고,
상기 제2개구는 상기 관통공에 있어서 상기 제1개구와는 반대측의 개구인 시험용 캐리어.
청구항 1, 청구항 3 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서,
상기 관통공은
제1홀부와,
상기 제1홀부에 접속되어 있음과 함께 상기 가동밸브를 이동 또는 변형 가능하게 수용하고 있는 수용부와,
상기 수용부를 통해 상기 제1홀부에 접속되어 있는 제2홀부를 구비하고 있고,
상기 가동밸브는
상기 관통공의 흡인시에 상기 제1홀부와 상기 제2홀부를 연통시키고,
상기 관통공의 비흡인시에 상기 제1홀부와 상기 제2홀부의 사이를 폐색하는 시험용 캐리어.
청구항 7에 있어서,
상기 가동밸브는 상기 제2홀부의 내경보다 큰 외경을 갖고 있고,
상기 관통공의 비흡인시에 상기 가동밸브가 상기 제2홀부에 있어서의 상기 수용부측의 제3개구를 덮는 시험용 캐리어.
청구항 7에 있어서,
상기 제1홀부와 상기 제2홀부는 투과 평면시에 있어서 서로 중복되지 않도록 배치되어 있는 시험용 캐리어.
청구항 7에 있어서,
상기 관통공은 복수의 상기 제2홀부를 구비하고 있고,
상기 복수의 제2홀부는 상기 수용부를 통해 상기 제1홀부에 접속되어 있는 시험용 캐리어.
청구항 10에 있어서,
상기 제1홀부는 원형의 단면형상을 갖고,
상기 복수의 제2홀부는 상기 제1홀부의 내경보다 작은 내경을 갖는 원형의 단면형상을 각각 갖고,
상기 가동밸브는 상기 복수의 제2홀부를 포함하는 외경을 갖는 원형형상을 갖고,
상기 수용부는 상기 가동밸브의 외경보다 큰 내경을 갖는 원형의 단면형상을 갖고 있는 시험용 캐리어.
청구항 7에 있어서,
상기 가동밸브는 상기 제1홀부의 내경보다 크고 또한 상기 제2홀부의 내경보다 큰 외경을 갖고,
상기 수용부는 상기 가동밸브의 외경보다 큰 내경을 갖고 있고,
상기 가동밸브는 상기 제1홀부와 상기 제2홀부의 사이를 이동 가능하게 상기 수용부내에 수용되어 있는 시험용 캐리어.
청구항 7에 있어서,
상기 가동밸브는
제4개구와,
상기 제4개구가 형성된 밸브본체를 구비하고 있고,
상기 제1홀부는 상기 제4개구에 대향하도록 배치되고,
상기 제2홀부는 상기 밸브본체에 대향하도록 배치되어 있고,
상기 관통공의 흡인시에 상기 제4개구를 통해 상기 제1홀부와 상기 수용부가 연통하고,
상기 관통공의 비흡인시에 상기 밸브본체가 상기 제2홀부에 있어서의 상기 수용부측의 제3개구를 덮는 시험용 캐리어.
청구항 7에 있어서,
상기 가동밸브는 금속재료 또는 수지재료로 구성되고, 상기 관통공의 흡인에 대하여 비변형인 강성을 갖는 밸브부재인 시험용 캐리어.
청구항 7에 있어서,
상기 가동밸브는 탄성재료로 구성되고, 상기 관통공의 흡인에 의해 탄성변형 가능한 밸브부재이고,
상기 가동밸브는 고정부로 덮개본체에 고정되어 있고,
상기 고정부는 상기 제1홀부와 대향하도록 배치되어 있는 시험용 캐리어.
청구항 15에 있어서,
상기 수용부는 상기 제1홀부에 접속되어 있음과 함께 상기 가동밸브를 통해 상기 제2홀부에 대향하도록 배치된 홈을 갖고 있는 시험용 캐리어.