KR102390928B1 - 제조 설비에 설치되는 배관을 지지하는 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 제조 설비의 아래, 위층을 통과하여 설치되는 배관을 지지하는 배관 지지장치에 관한 것으로, 상기 배관 지지장치는 상기 위층의 바닥에 형성된 배관 설치로와 배관 사이에 개재되는 슬리브와, 상기 배관이 통과하는 제 1 통공이 형성되고, 상기 배관과 일체로 결합된 상태에서 상기 슬리브의 개구된 상면을 덮는 상부 커버와, 상기 배관이 통과하는 제 2 통공이 형성되고, 상기 슬리브의 개구된 하면을 덮는 하부 커버를 포함하고, 상기 슬리브는 상기 배관 설치로 내에 삽입되는 관로부와, 상기 관로부의 상단에서 외측으로 확장되어 상기 상부 커버와 상기 바닥 사이에 배치되는 플랜지부를 포함한다.

Description

제조 설비에 설치되는 배관을 지지하는 장치{Device for supporting pipe installed in manufacturing facilities}

본 발명은 제조 설비에 설치되는 배관을 지지하는 배관 지지장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 상기 제조 설비의 아래, 위층을 통과하여 설치되는 배관을 지지하는 배관 지지장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 등의 디바이스가 제조되는 건물 또는 설비를 라인(Line)이라고 하며, 이러한 라인은 다층 구조의 팹(FAB: Fabrication)들로 이루어진다.

일례로, 200 mm 이하의 웨이퍼 제조 라인은 FAB(C/R: Clean Room))과 Sub FAB(Plenum)의 2층 구조로 되어 있다. 여기서, 팹(FAB)은 반도체공정이 진행되는 곳인 클린룸(C/R)으로서 대부분의 작업자가 작업을 수행하며 생산설비의 가동 및 유지보수가 이루어지는 영역이다. 식각공정, 화학기상증착 등 반도체 주요 공정에 필수적인 진공 챔버(Vacuum Chamber)는 FAB에 설치될 수 있다.

서브 팹(Sub FAB)은 생산설비에 가스 및 화학물질 등 공정에 필요한 화학물질 등을 제공하고 공정 진행 후 잔여 화학물질을 제거(배기)하는 부대설비 등이 위치해 있는 공간이다.

최근 생산효율을 증대시키기 위해 웨이퍼 크기가 300 mm로 커지면서 장비밀도도 함께 커짐에 따라 서브 팹이 CSF(1st Plenum)과 FSF(2nd Plenum)의 2개의 층으로 이루어진 구조도 채택되고 있다.

이러한 제조 설비(라인)에는 다층 구조의 FAB들을 통과하는 배관들이 설치된다. 예를 들어, 하층의 Sub FAB에 설치된 진공 펌프와 상층의 FAB(C/R)에 설치된 진공 챔버(Vacuum Chamber)를 연결하는 진공 배관이 설치될 수 있다.

한국 등록특허 10-1802286(이하, '종래기술'이라고 함.)은 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 진공배관을 지지하는 지지장치를 개시하고 있다.

도 8을 참조하면, 상기 지지장치는 원통형의 슬리브 부재(110)가 바닥(5)에 결합되고, 슬리브 부재(110)의 개구된 상면에 덮개판 부재(120)가 얹혀진다. 덮개판 부재(120)의 중심에는 통공이 형성되어, 진공 배관(10)이 상기 통공과, 바닥(5)에 형성된 개구부를 통과하도록 설치된다.

이와 같은 종래의 지지장치는 슬리브 부재(110)가 팹(FAB)의 바닥(5)으로부터 상측으로 돌출되어 있기 때문에 상기 팹 내에 장비를 설치하거나, 작업자의 동선에 장애가 되는 문제가 있다.

또한, 설비 변경으로 진공 배관(10)을 철거하고 슬리브 부재(110)를 해체하고자 하는 경우, 슬리브 부재(110)를 바닥(5)에 결합한 나사를 해체한 후 바닥(5)의 개구부를 별도의 부재로 막아야 하므로 번거로울 뿐만 아니라, 나중에 다시 진공 배관(10)을 설치하고자 하는 경우에 대비하여 슬리브 부재(110)를 별도로 보관하여야 하는 불편이 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 첫째, 바닥으로부터 돌출된 높이를 낮춘 배관 지지장치를 제공하는 것이다.

둘째, 배관을 해체한 경우에도 배관 지지장치를 전부 철거하지 않고, 바닥에 형성된 배관 설치로를 마감할 수 있는 배관 지지장치를 제공하는 것이다.

셋째, 바닥에 앙카를 시공하지 않고도 배관을 지지하는 슬리브를 설치할 수 있는 배관 지지장치를 제공하는 것이다.

넷째, 배관을 지지하는 슬리브가 바닥에 형성된 배관 설치로의 내주면에 밀착됨으로써, 상기 슬리브와 상기 배관 설치로 사이가 확실하게 기밀될 수 있는 배관 지지장치를 제공하는 것이다.

다섯째, 배관이 철거된 상태에서 배관 설치로 통해 아래층에서 발생한 화재가 위층까지 번지는 것을 차단할 수 있는 배관 지지장치를 제공하는 것이다.

여섯째, 바닥에 타공된 배관 설치로의 내경과 슬리브의 외경이 다소 차이가 있더라도 상기 슬리브가 헐겁지 않고 견고하게 상기 배관 설치로에 설치될 수 있는 배관 지지장치를 제공하는 것이다.

일곱째, 배관을 해체한 경우 배관 지지장치를 철거하지 않더라도, 상부 커버를 이용하여 바닥에 형성된 배관 설치로를 간편하게 마감할 수 있다.

본 발명은 제조 설비의 아래, 위층을 통과하여 설치되는 배관을 지지하는 배관 지지장치에 관한 것이다. 상기 배관 지지장치는, 상기 위층의 바닥에 형성된 배관 설치로와 배관 사이에 개재되는 슬리브와, 상기 배관이 통과하는 제 1 통공이 형성되고, 상기 배관과 일체로 결합된 상태에서 상기 슬리브의 개구된 상면을 덮는 상부 커버와, 상기 배관이 통과하는 제 2 통공이 형성되고, 상기 슬리브의 개구된 하면을 덮는 하부 커버를 포함한다.

상기 슬리브는, 상기 배관 설치로 내에 삽입되는 관로부와, 상기 관로부의 상단에서 외측으로 확장되어 상기 상부 커버와 상기 바닥 사이에 배치되는 플랜지부를 포함한다.

상기 슬리브는, 상기 관로부를 좌, 우로 양분한 것들 중에 어느 하나에 해당하는 제 1 관로부와, 상기 좌, 우로 양분한 것들 중에 다른 하나에 해당하는 제 2 관로부와, 상기 제 1 관로부와 상기 제 2 관로부를 서로에 대해 회전되도록 연결하는 힌지부와, 각각 상기 힌지부의 반대측에 해당하는 상기 제 1 관로부의 일단과 상기 제 2 관로부의 일단 사이의 간격을 조절하여 상기 관로부의 외경을 가변시키는 외경 조절부를 포함할 수 있다.

상기 플랜지부는, 상기 제 1 관로부로부터 연장된 제 1 플랜지부와, 상기 제 2 관로부로부터 연장되어 상기 힌지부를 중심으로 상기 제 1 플랜지부에 대해 회전되는 제 2 플랜지부를 포함할 수 있다.

상기 외경 조절부는, 상기 제 1 플랜지부에 고정된 조절볼트와, 상기 제 2 플랜지부에 구비되고, 상기 조절볼트가 통과하는 삽입구가 형성된 홀더와, 상기 홀더의 일측에서 상기 조절볼트와 체결되는 제 1 조절 너트와, 상기 홀더의 타측에서 상기 조절볼트와 체결되는 제 2 조절 너트를 포함할 수 있다.

상기 외경 조절부는 상기 플랜지부의 상면에 배치될 수 있다. 상기 상부 커버에는 상기 외경 조절부와 대응하는 위치에 도피구가 형성될 수 있다.

상기 슬리브는 상기 관로부의 하단에서 내측으로 연장되어 상기 배관 설치로 내에 위치되는 하부 결합판을 더 포함할 수 있다. 상기 외경 조절부는 상기 하부 결합판의 저면에 배치될 수 있다.

상기 플랜지부는, 상기 제 1 관로부로부터 연장된 제 1 플랜지부와, 상기 제 2 관로부로부터 연장되어 상기 힌지부를 중심으로 상기 제 1 플랜지부에 대해 선회되는 제 2 플랜지부를 포함할 수 있다. 상기 제 1 플랜지부와 상기 제 2 플랜지부는 각각 상기 상부 커버와 결합될 수 있다.

상기 슬리브는 상기 관로부의 하단에서 내측으로 연장되어 상기 배관 설치로 내에 위치되는 하부 결합판과, 상기 하부 결합판과 상기 하부 커버를 결합하는 적어도 하나의 체결부재를 더 포함할 수 있다.

상기 제 1 관로부의 일단과 상기 제 2 관로부의 일단 사이가 소정의 간격을 이룬 상태에서, 상기 제 1 관로부와 상기 제 2 관로부가 이루는 외경은 정원을 구성할 수 있다.

상기 배관 지지장치는, 상기 배관과 상기 관로부 사이에 개재되는 방화 단열재를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 배관 지지장치는, 첫째, 바닥으로부터 돌출된 높이가 낮아 작업자의 동선에 방해가 되지 않는 효과가 있다.

둘째, 배관을 해체한 후에도 배관 지지장치를 전부 철거하지 않더라도, 상부 커버를 이용하여 바닥에 형성된 배관 설치로를 마감할 수 있을 뿐만 아니라, 나중에 다시 배관을 설치하는 경우 장치를 그대로 이용할 수 있어 편리하다.

셋째, 배관을 해체한 경우 배관 지지장치를 철거하지 않더라도, 상부 커버를 이용하여 바닥에 형성된 배관 설치로를 간편하게 마감할 수 있다.

넷째, 배관을 지지하는 슬리브가 힌지부에 의해 연결된 제 1 슬리브 부재와 제 2 슬리브 부재로 이루어지고, 상기 제 1 슬리브 부재와 상기 제 2 슬리브 부재의 벌어진 각도가 외경 조절부에 의해 조절된다. 따라서, 상기 외경 조절부를 이용하여 상기 벌어진 각도(또는, 슬리브의 외경)를 작게 한 상태에서 상기 슬리브를 상기 배관 설치로에 쉽게 삽입한 다음 상기 외경 조절부를 이용하여 상기 벌어진 각도를 증가시켜, 상기 슬리브가 상기 배관 설치구에 밀착되어 견고하게 설치되도록 할 수 있다.

다섯째, 바닥에 앙카를 시공하지 않고도 배관을 지지하는 슬리브를 설치할 수 있어 시공이 간편하다.

여섯째, 배관이 철거된 이후에도 상부 커버를 이용하여 상기 배관 설치로를 차폐함으로써, 아래 층에서 화재가 발생하더라도 불길이 위층으로 번지는 것을 차단할 수 있는 효과가 있다.

일곱째, 외경 조절부를 이용하여 슬리브의 외경을 조절할 수 있어, 바닥에 타공된 배관 설치로의 내경과 슬리브의 외경이 다소 차이가 있더라도 상기 슬리브를 상기 배관 설치로에 밀착시켜 견고하게 설치할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 배관 지지장치의 단면을 보이는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 배관 지지장치의 분해 사시도이다.
도 3은 슬리브의 외경이 최소인 상태에서 슬리브와 외경 조절부의 조립체의 평면도이다.
도 4는 슬리브의 외경이 확장된 상태에서 슬리브와 외경 조절부의 조립체의 평면도이다.
도 5는 도 4에 도시된 조립체의 저면도이다.
도 6의 (a)는 도 3에서 III로 표시된 부분을 확대한 것이고, (b)는 도 4에서 IV로 표시된 부분을 확대한 것이다.
도 7은 슬리브와 상부 커버가 결합되는 구조의 다른 실시예를 도시한 것이다.
도 8은 종래의 지지장치를 도시한 단면도이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 배관 지지장치의 단면을 보이는 도면이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 배관 지지장치의 분해 사시도이다. 도 3은 슬리브의 외경이 최소인 상태에서 슬리브와 외경 조절부의 조립체의 평면도이다. 도 4는 슬리브의 외경이 확장된 상태에서 슬리브와 외경 조절부의 조립체의 평면도이다. 도 5는 도 4에 도시된 조립체의 저면도이다. 도 6의 (a)는 도 3에서 III로 표시된 부분을 확대한 것이고, (b)는 도 4에서 IV로 표시된 부분을 확대한 것이다. 도 7은 슬리브와 상부 커버가 결합되는 구조의 다른 실시예를 도시한 것이다. 이하, 도 1 내지 도 7을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 배관 지지장치를 설명하다.

본 발명의 일 실시예에 따른 배관 지지장치(1)는 제조 설비(line)의 아래, 위층을 통과하여 설치되는 배관(10)을 지지하는 것이다. 예를 들어, 반도체 라인의 경우, 다층 구조의 팹(FAB)들을 통과하는 배관을 지지하는 것일 수 있다. 상기 배관은 하층의 서브 팹(Sub FAB)에 설치된 진공 펌프와 상층의 크린 룸(C/R)을 연결하는 진공 배관일 수 있다.

배관 지지장치(1)는 슬리브(20), 상부 커버(30) 및 하부 커버(40)를 포함한다. 설비의 상층 바닥(5)을 관통하는 배관 설치로(5h)를 배관(10)이 관통하고, 슬리브(20)는 배관 설치로(5h)와 배관 사이에 개재된다. 슬리브(20)는 전체적으로는 관상의 형태로써, 배관 설치로(5h)내에 삽입되는 관로부(21)와, 관로부(21)의 상단에서 외측으로 확장되어 배관 설치로(5h)의 외측에 배치되는 플랜지부(22)를 포함할 수 있다.

상부 커버(30)는 슬리브(20)의 개구된 상면을 덮으며, 대략 중심부에 배관(10)이 통과하는 제 1 통공(31)을 갖는다. 배관(10)은 중공의 관부(11)와, 관부(11)의 상단에 결합되는 링형의 상부 플랜지(12)와, 관부(11)의 하단에 결합되는 하부 플랜지(13)를 포함할 수 있다.

상부 플랜지(12) 및/또는 하부 플랜지(13)는 관부(11)와 일체로 결합될 수 있다. 이때의 결합 방식으로는, 예를 들어, 용접, 융착 등일 수 있다.

다만, 이에 한하지 않고, 상부 플랜지(12) 및/또는 하부 플랜지(13)는 나사나 볼트 등의 체결부재를 이용하여 관부(11)와 분리 가능하게 결합되는 것도 가능하다.

상부 커버(30) 및 하부 커버(40) 중 적어도 하나는 관부(11)와 결합될 수 있다. 예를 들어, 관부(11)는 제 1 통공(31)의 둘레에 일체로 결합될 수 있다. 제 1 통공(31)에 관부(11)가 끼워진 상태에서 용접을 하여 관부(11)의 외주면과 통공(31)의 둘레가 일체로 결합될 수 있다.

하부 커버(40)와 관부(11)가 결합되는 경우, 관부(11)는 제 2 통공(41)의 둘레와 용접에 의해 결합될 수 있다.

상부 커버(30)에는 나사나 볼트 등의 체결부재(51)가 통과하는 제 1 체결공(32)이 형성될 수 있다. 제 1 체결공(32)은 제 1 통공(31)의 둘레에 다수개가 형성될 수 있다. 플랜지부(22)에는 다수개의 제 1 체결공(32)과 대응하는 위치에 각각 제 2 체결공(22h)이 형성될 수 있다. 제 1체결공(32)은 반경방향으로의 폭보다 원주방향으로의 길이가 긴 장공일 수 있다.

슬리브(20)는 힌지부(60)에 의해 서로 회전 연결된 제 1 슬리브 부재(20a)와 제 2 슬리브 부재(20b)를 포함할 수 있다. 슬리브(20)를 좌, 우로 양분할 시, 한쪽은 제 1 슬리브 부재(20a)에 해당하고, 다른 한쪽은 제 2 슬리브 부재(20b)에 해당할 수 있다.

힌지부(60)는 플랜지부(22)의 내경부(221)에 위치할 수 있다. 힌지부(60)는 관로부(21)의 상단에서부터 하단으로 연장되는 회전 관절 또는 경첩 구조일 수 있다.

관로부(21)는 제 1 슬리브 부재(20a)에 속하는 제 1 관로부(21a)와 제 2 슬리브 부재(20b)에 속하는 제 2 관로부(21b)를 포함할 수 있다. 배관 설치로(5h)의 내경에 대응하여, 힌지부(60)에 대한 제 1 슬리브 부재(20a)와 제 2 슬리브 부재(20b)의 벌어진 각도를 조절함으로써 관로부(21)가 배관 설치로(5h)에 견고하게 끼워지도록 할 수 있다.

한편, 제 1 체결공(32)이 장공의 형태로 이루어지기 때문에, 힌지부(60)를 기준으로 제 1 슬리브 부재(20a)와 제 2 슬리브 부재(20b)가 이루는 각도가 소정 범위 내에서 달라지더라도 체결부재(51)가 제 1 체결공(32)과 제 2 체결공(22h)을 차례로 통과할 수 있다.

제 2 체결공(22h)의 내주면에 나사산이 형성되어 체결부재(51)가 제 2 체결공(22h)과 나사 결합될 수 있다. 도 1 내지 도 2에 도시된 바와 같이, 체결부재(51)가 제 1 체결공(32)을 상측에서 하측으로 통과한 후 제 2 체결공(22h)에 체결될 수 있다. 체결부재(51)가 플랜지부(22)에 직접 결합되기 때문에, 바닥(5)에는 별도의 결합공을 형성할 필요가 없다.

다르게는, 도 7에 도시된 바와 같이, 체결부재(51')가 하측에서 상측으로 제 2 체결공(22h)과 제 1 체결공(32)을 차례로 통과하도록 구성될 수 있다. 이 경우, 플랜지부(22)의 저면(225)에는 체결부재(31)의 볼트 헤드(511)가 저면(225) 보다 더 하측방향으로 돌출되는 것을 방지하기 위해 볼트 헤드(511)를 수용하는 수용홈(225r)이 형성될 수 있다.

수용홈(225r)은 상하단이 개방된 중공의 형태로써, 체결공(22h)과 연결된 상단의 개구부는 하단의 개구부 보다 작은 직경을 갖는다. 상기 상단의 개구부는 스레드(thread)가 형성된 스탬(stem, 512)은 통과하나 볼트 헤드(511)는 통과하지 못하는 크기의 직경을 갖는다. 제 1 체결공(32)을 통과한 체결부재(31)의 상단 또는 스탬(512)은 너트(35)와 체결될 수 있다.

다르게는, 도 1의 구조에서 체결부재(51)가 하측으로 더 연장되어, 바닥(5)에 형성된 결합공(미도시)에 체결되는 것도 가능하다.

한편, 도 1내지 도 5를 참조하면, 슬리브(20)는 관로부(21)의 하단에서 내측으로 확장된 하부 결합판(23)을 더 포함할 수 있다. 하부 결합판(23)은 배관(10)이 통과하도록 대략 링형으로 형성되며, 제 1 슬리브 부재(20a)에 속하는 제 1 하부 결합판(23a)과 제 2 슬리브 부재(20b)에 속하는 제 2 하부 결합판(23b)이 힌지부(60)를 중심으로 상대 회전되도록 구성될 수 있다.

하부 커버(40)는 슬리브(20)의 개구된 하면을 덮으며, 대략 중심부에 배관(10)이 통과하는 제 2 통공(41)을 갖는다. 하부 커버(40)에는 나사나 볼트 등의 체결부재(52)가 통과하는 제 3 체결공(42)이 형성될 수 있다. 제 3 체결공(42)은 제 2 통공(41)의 둘레에 다수개가 형성될 수 있다. 제 3 체결공(42)은 반경방향으로의 폭보다 원주방향으로 길이가 긴 장공일 수 있다.

하부 결합판(23)에는 다수개의 제 3체결공(42)과 대응하는 위치에 각각 제 4 체결공(23h)이 형성될 수 있다. 체결부재(52)가 제 3 체결공(42)을 통과한 후 제 4 체결공(23h)에 체결될 수 있다.

한편, 슬리브(20)는 관로부(21)의 외경을 가변시키기 위한 적어도 하나의 외경 조절부(70, 80)를 더 포함할 수 있다. 외경 조절부(70, 80)는, 힌지부(60)의 반대측에 해당하는 제 1 관로부(21)의 일단과, 힌지부(60)의 반대측에 해당하는 제 2 관로부(21)의 일단 사이의 간격을 조절하는 것일 수 있다. 다르게는, 외경 조절부(70, 80)는 힌지부(60)를 기준으로 제 1 슬리브 부재(20a)와 제 2 슬리브 부재(20b)가 이루는 각도 또는 벌어진 정도를 조절하는 것일 수 있다.

제 1 외경 조절부(70)는 플랜지부(22)의 상면에 배치될 수 있다. 상부 커버(30)에는 제 1 외경 조절부(70)와 대응하는 위치에 도피구(33)가 형성될 수 있다. 상부 커버(30)가 설치된 상태에서 제 1 외경 조절부(70)는 도피구(33) 내에 위치될 수 있다.

플랜지부(22)는 제 1 관로부(21a)로부터 연장된 제 1 플랜지부(22a)와, 제 2 관로부(21b)로부터 연장되어 힌지부(60)를 중심으로 제 1 플랜지부(22a)에 대해 회전되는 제 2 플랜지부(22b)를 포함할 수 있다.

도 6을 참조하면, 제 1 외경 조절부(70)는 양쪽 플랜지부(22a, 22b) 중 어느 하나에 고정된 조절볼트(71)와, 다른 하나에 구비된 홀더(72)와, 홀더(72)의 양측에서 각각 조절볼트(71)에 체결된 제 1 조절 너트(73) 및 제 2 조절 너트(74)를 포함할 수 있다.

구체적으로, 조절볼트(71)는 제 1 플랜지부(22a)의 상면에 배치될 수 있다. 조절볼트(71)는 회전되지 않게 고정되어 있다. 홀더(72)는 제 2 플랜지부(22b)의 상면에 배치되며, 조절볼트(71)가 통과하는 삽입구(72h)가 형성될 수 있다.

양쪽 플랜지부(22a, 22b)가 이루는 벌어진 각도(a, 도 4 참조.)가 소정 범위 내에서 가변되더라도 조절볼트(71)와 홀더(72)가 간섭되지 않도록, 조절볼트(71)는 삽입구(72h)에 헐겁게 끼워져야 하며, 이를 위해 삽입구(72h)의 내경과 조절볼트(71)의 스탬(71a)의 외경 간에는 유격(d 도 6의 (b) 참조.)이 제공되는 것이 바람직하다.

조절볼트(71)는 회전이 구속된 상태이기 때문에 상대물인 조절너트(73, 74)의 회전시 진퇴, 즉, 진선 운동을 하게 된다. 이하, 조절볼트(71)를 홀더(72)를 향해 이동(즉, 도 6에서 (+) 방향)시키기 위한 조절너트(73, 74)의 회전을 정방향 회전이라고 하고, 그 반대를 역방향 회전이라고 정의한다.

슬리브(20)를 설치하는 과정에서 처음에 바닥(5)에 형성된 배관 설치로(5h)에 관로부(21)를 끼울 때에는, 도 3 및 도 6의 (a)에 도시된 바와 같이, 조절볼트(71)를 홀더(72) 쪽으로 전진시킨다. 이때, 슬리브(20)의 벌어진 각도(a)가 작고, 관로부(21)의 외경도 작기 때문에, 관로부(21)를 배관 설치로(5h) 내로 쉽게 끼울 수 있다.

이후, 도 4, 도 5 및 도 6의 (b)에 도시된 바와 같이, 제 1 조절너트(73) 및/또는 제 2 조절너트(74)를 역방향으로 회전시켜 조절볼트(71)를 홀더(72)로부터 멀어지는 방향(-방향)으로 후퇴시키면, 슬리브(20)의 벌어진 각도(a)가 점점 증가되며, 관로부(21)의 외경(2R, 도 4 참조)점점 커지게 된다.

관로부(21)의 외주가 반경 R(도 4 참조.)의 정원이 된 상태에서 관로부(21)의 외주면은 배관 설치로(5h)의 내주면과 밀착되고, 힌지부(60)는 양쪽 슬리브 부재(20a, 20b)가 최대로 벌어진 각도(a)가 반지름 R(도 4 참조.)의 정원의 형태를 이룰 때로 제한되도록 구성될 수 있다. 제 1 조절너트(73)가 역방향으로 회전되는 과정에서 홀더(72)의 일면과 접촉된 상태를 유지하기 때문에 벌어진 각도(a)가 줄어드는 것을 방지하는 역할을 하게 된다.

하부 결합판(23)의 저면에는 제 2 외경 조절부(80)가 구비될 수 있다. 하부 커버(40)에는 제 2 외경 조절부(80)와 대응하는 위치에 도피구(43)가 형성될 수 있다. 하부 커버(40)가 설치된 상태에서 제 2 외경 조절부(80)는 도피구(43) 내에 위치될 수 있다.

한편, 도시되지는 않았으나 배관(11)을 감싸는 히팅 재킷이 구비될 수 있다. 상기 히팅 재킷은 배관(11)을 가열하는 전기 열원일 수 있다. 상기 히팅 재킷에 의해 배관(11) 내 온도가 고온으로 유지되고, 유증기가 배관(11)의 내측면에 응축되는 것이 방지될 수 있다.

제 2 외경 조절부(80)는 양쪽 하부 결합판(23a, 23b) 중 어느 하나에 고정된 조절볼트(81)와, 다른 하나에 구비된 홀더(82)와, 홀더(82)의 양측에서 각각 조절볼트(81)에 체결된 한 쌍의 조절 너트(83, 84)를 포함할 수 있다.

조절볼트(81)와, 다른 하나에 구비된 홀더(82)와, 홀더(82)의 양측에서 각각 조절볼트(81)에 체결된 한 쌍의 조절 너트(83, 84)는, 각각 전술한 제 1 외경 조절부(70)의 조절볼트(71), 홀더(72), 제 1, 2 조절 너트(73, 74)와 실질적으로 동일한 구성이므로 전술한 바에 따르기로 하고 구체적인 설명은 생략한다.

한편, 도시되지는 않았으나, 배관 지지장치(1)는 배관(10)과 관로부(21) 사이에 개재되는 방화 단열재 또는 불연 단열재를 더 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 방화 단열재는 세라크 울(ceramicfiber insulation), 미네랄울(mineralwool insulation), 그라스울(glasswool), 실리카 화이버(silicaifber), 충전용 퍼라이트 등의 섬유재, 또는 우레탄 폼(foam)이나 실리콘 등의 난연 재료일 수 있다. 또한, 상기 방화 단열재는 관로부(21)와 배관 설치로(5h) 사이에 충진되는 가능하다.

한편, 도시되지는 않았으나 슬리브(20)와 바닥(5) 사이에는 방진부재가 개재될 수 있다. 진공 펌프 등의 작동시 유발된 진동이 배관(11)을 통해 전달되더라도 상기 방진부재가 슬리브(20)로부터 바닥(5)으로의 진동 전달을 차단 내지 저감하게 된다.

상기 방진부재는 진동 저감 내지는 완충을 위한 것으로써 고무 등의 탄성부재, 섬유구조 등으로 이루어질 수 있으며, 이에 한하지 않고 공지된 다양한 방식이 가능함은 물론이다.

상기 방진부재는 플랜지부(22)와 바닥(5) 사이 및/또는 관로부(21)의 외주면과 배관 설치로(5h)의 내주면 사이에 배치될 수 있다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.

Claims (10)

1. 제조 설비의 아래, 위층을 통과하여 설치되는 배관을 지지하는 배관 지지장치에 있어서,
   상기 배관 지지장치는,
   상기 위층의 바닥에 형성된 배관 설치로와 배관 사이에 개재되는 슬리브;
   상기 배관이 통과하는 제 1 통공이 형성되고, 상기 배관과 일체로 결합된 상태에서 상기 슬리브의 개구된 상면을 덮는 상부 커버; 및
   상기 배관이 통과하는 제 2 통공이 형성되고, 상기 슬리브의 개구된 하면을 덮는 하부 커버를 포함하고,
   상기 슬리브는,
   상기 배관 설치로 내에 삽입되는 관로부; 및
   상기 관로부의 상단에서 외측으로 확장되어 상기 상부 커버와 상기 바닥 사이에 배치되는 플랜지부를 포함하고,
   상기 관로부는,
   상기 관로부를 좌, 우로 양분한 것들 중에 어느 하나에 해당하는 제 1 관로부; 및
   상기 관로부를 좌, 우로 양분한 것들 중에 다른 하나에 해당하는 제 2 관로부를 포함하고,
   상기 슬리브는,
   상기 제 1 관로부와 상기 제 2 관로부를 서로에 대해 회전되도록 연결하는 힌지부; 및
   상기 관로부가 상기 배관 설치로에 견고하게 끼워지도록, 각각 상기 힌지부의 반대측에 해당하는 상기 제 1 관로부의 일단과 상기 제 2 관로부의 일단 사이의 간격을 조절하여 상기 관로부의 외경을 가변시키는 외경 조절부를 포함하고,
   상기 플랜지부는,
   상기 제 1 관로부로부터 연장된 제 1 플랜지부; 및
   상기 제 2 관로부로부터 연장되어 상기 힌지부를 중심으로 상기 제 1 플랜지부에 대해 회전되는 제 2 플랜지부를 포함하고,
   상기 외경 조절부는,
   상기 제 1 플랜지부에 고정된 조절볼트;
   상기 제 2 플랜지부에 구비되고, 상기 조절볼트가 통과하는 삽입구가 형성된 홀더;
   상기 홀더의 일측에서 상기 조절볼트와 체결되는 제 1 조절 너트; 및
   상기 홀더의 타측에서 상기 조절볼트와 체결되는 제 2 조절 너트를 포함하는 배관 지지장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 외경 조절부는,
   상기 플랜지부의 상면에 배치되는 배관 지지장치.
3. 제 2 항에 있어서,
   상기 상부 커버에는,
   상기 외경 조절부와 대응하는 위치에 도피구가 형성된 배관 지지장치.
4. 제 1 항에 있어서,
   상기 플랜지부는,
   상기 제 1 관로부로부터 연장된 제 1 플랜지부; 및
   상기 제 2 관로부로부터 연장되어 상기 힌지부를 중심으로 상기 제 1 플랜지부에 대해 선회되는 제 2 플랜지부를 포함하고,
   상기 제 1 플랜지부와 상기 제 2 플랜지부는 각각 상기 상부 커버와 결합되는 배관 지지장치.
5. 제 4 항에 있어서,
   상기 슬리브는,
   상기 관로부의 하단에서 내측으로 연장되어 상기 배관 설치로 내에 위치되는 하부 결합판; 및
   상기 하부 결합판과 상기 하부 커버를 결합하는 적어도 하나의 체결부재를 더 포함하는 배관 지지장치.
6. 제 1 항에 있어서,
   상기 제 1 관로부의 일단과 상기 제 2 관로부의 일단 사이가 소정의 간격을 이룬 상태에서, 상기 제 1 관로부와 상기 제 2 관로부가 이루는 외경은 정원을 구성하는 배관 지지장치.
7. 제 1 항에 있어서,
   상기 배관 지지장치는,
   상기 배관과 상기 관로부 사이에 개재되는 방화 단열재를 더 포함하는 배관 지지장치.
8. 제 1 항에 있어서,
   상기 배관이 통과하는 제 2 통공이 형성되고, 상기 슬리브의 개구된 하면을 덮는 하부 커버를 더 포함하는 배관 지지장치.
9. 제조 설비의 아래, 위층을 통과하여 설치되는 배관을 지지하는 배관 지지장치에 있어서,
   상기 배관 지지장치는,
   상기 위층의 바닥에 형성된 배관 설치로와 배관 사이에 개재되는 슬리브;
   상기 배관이 통과하는 제 1 통공이 형성되고, 상기 배관과 일체로 결합된 상태에서 상기 슬리브의 개구된 상면을 덮는 상부 커버; 및
   상기 배관이 통과하는 제 2 통공이 형성되고, 상기 슬리브의 개구된 하면을 덮는 하부 커버를 포함하고,
   상기 슬리브는,
   상기 배관 설치로 내에 삽입되는 관로부; 및
   상기 관로부의 상단에서 외측으로 확장되어 상기 상부 커버와 상기 바닥 사이에 배치되는 플랜지부를 포함하고,
   상기 관로부는,
   상기 관로부를 좌, 우로 양분한 것들 중에 어느 하나에 해당하는 제 1 관로부; 및
   상기 관로부를 좌, 우로 양분한 것들 중에 다른 하나에 해당하는 제 2 관로부를 포함하고,
   상기 슬리브는,
   상기 제 1 관로부와 상기 제 2 관로부를 서로에 대해 회전되도록 연결하는 힌지부; 및
   상기 관로부가 상기 배관 설치로에 견고하게 끼워지도록, 각각 상기 힌지부의 반대측에 해당하는 상기 제 1 관로부의 일단과 상기 제 2 관로부의 일단 사이의 간격을 조절하여 상기 관로부의 외경을 가변시키는 외경 조절부를 포함하고,
   상기 슬리브는,
   상기 관로부의 하단에서 내측으로 연장되어 상기 배관 설치로 내에 위치되는 하부 결합판을 더 포함하고,
   상기 외경 조절부는,
   상기 하부 결합판의 저면에 배치되는 배관 지지장치.
10. 삭제

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