KR102390357B1

KR102390357B1 - 유리 기판 왜곡 측정 방법 및 유리 기판 왜곡 측정 장치

Info

Publication number: KR102390357B1
Application number: KR1020197001798A
Authority: KR
Inventors: 마사히로 오타; 하지메 이노우에; 타다시 타카하시; 요시노리 니시카와
Original assignee: 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤
Priority date: 2016-06-23
Filing date: 2017-06-16
Publication date: 2022-04-22
Also published as: WO2017221825A1; JPWO2017221825A1; JP6852735B2; KR20190022659A; CN109313014A

Abstract

유리 기판을 용이하게 재치(載置, 올려 놓음) 가능하며, 유리 기판의 왜곡된 정도를 간편하고 신속하게 측정하는 것이 가능한 유리 기판 왜곡 측정 방법 및 유리 기판 왜곡 측정 장치를 제공한다.
가대(架臺; 20) 상에서 유리 기판(G)의 임의의 위치의 왜곡을 측정하는 왜곡 측정 방법으로서, 상기 가대(20) 상의 재치 에리어(P)에서 유리 기판(G)을 경사 상태의 재치대(30)에 재치하고, 상기 경사 상태의 재치대(30)를 회동(回動)시켜 수평 상태로 하고, 해당 수평 상태의 상기 재치대(30)를 상기 가대(20) 상의 측정 에리어(M)까지 슬라이드 이동시키고, 상기 측정 에리어(M)에서 상기 재치대(30)가 가지는 개구부(31b)를 통해 상기 유리 기판(G)에 레이저 광을 조사하여 왜곡을 측정한다.

Description

유리 기판 왜곡 측정 방법 및 유리 기판 왜곡 측정 장치

[0001] 본 발명은, 유리 기판 왜곡 측정 방법 및 유리 기판 왜곡 측정 장치의 기술에 관한 것이다.

[0002] 일반적으로, 액정 표시 장치나 유기 EL 표시 장치 등의 플랫 패널 디스플레이에 이용되는 유리 기판에 있어서는, 미세한 소자 등이 형성되기 때문에, 미소한 결함일지라도 이를 방지할 필요가 있다.

이 때문에, 이러한 유리 기판에서는, 종래부터, 결함이 광(光)을 반사하는 것을 이용하여, 단면(端面)으로부터 광을 도입함으로써 결함의 유무를 검사하고 있다.

한편, 플랫 패널 디스플레이 자체의 외형 사이즈가 커지면, 화상의 색 편차가 문제가 된다.

이러한 화상의 색 편차는, 유리 기판의 왜곡에 의한 것이기 때문에, 유리 기판의 왜곡을 측정할 필요가 있다.

[0003] 유리 기판의 왜곡을 정량적으로 측정하는 방법으로서는, 예컨대 유리 기판의 복수 개소(個所)의 레터데이션(Retardation：복굴절에 의한 위상차)을 측정하고, 상기 레터데이션의 측정 결과의 경향으로부터 판단하는 방법이 알려져 있다(예컨대, 「특허 문헌 1」을 참조).

[0004] 1. 일본 특허 공표 제2010-510519호 공보

[0005] 상기 「특허 문헌 1」에 개시된 측정 방법에서는, 시트 형상의 유리 기판의 외형 사이즈가 커지면 유리 기판이 휘기 쉬워져서, 파손되기 쉬워지기 때문에, 측정 대상인 유리 기판을 왜곡 측정 장치에 재치(載置, 올려 놓음)하는 것이 용이하지 않다.

또한, 상기 「특허 문헌 1」에 개시된 왜곡 측정 장치에서는, 유리 기판의 외형 사이즈가 커짐에 따라 해당 유리 기판에 요하는 한 장당의 측정 시간이 길어져, 유리 기판의 생산 공정에 측정 결과를 피드백하기 위한 검사 장치로서 이용하기에는 적합하지 않다. 즉, 유리 기판의 왜곡이 허용 범위를 초과하는 경우, 측정 시간이 오래 걸리면, 그 사이에 유리 기판의 생산 공정에서는 불량품을 계속 제조하게 되어, 손실이 커진다.

이 때문에, 유리 기판을 용이하게 재치할 수 있고, 유리 기판의 왜곡된 정도를 간편하고 신속하게 측정할 수 있는 장치가 요망되고 있었다.

[0006] 본 발명은, 이상에서 나타낸 현상태(現狀)의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 유리 기판을 용이하게 재치할 수 있고, 유리 기판의 왜곡된 정도를 간편하고 신속하게 측정하는 것이 가능한 유리 기판 왜곡 측정 방법 및 유리 기판 왜곡 측정 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.

[0007] 본 발명의 해결하고자 하는 과제는 이상과 같으며, 다음으로는 상기 과제를 해결하기 위한 수단에 대해 설명한다.

[0008] 즉, 본 발명에 따른 유리 기판 왜곡 측정 방법은, 가대(架臺) 상에서 유리 기판의 임의의 위치의 왜곡을 측정하는 왜곡 측정 방법으로서, 상기 가대 상의 재치 에리어에 있어서 유리 기판을 경사 상태의 재치대(載置臺)에 재치하고, 상기 경사 상태의 재치대를 회동(回動)시켜 수평 상태로 하고, 해당 수평 상태의 상기 재치대를 상기 가대 상의 측정 에리어까지 슬라이드 이동시키고, 상기 측정 에리어에서 상기 재치대가 가지는 개구부를 통해 상기 유리 기판에 레이저 광을 조사(照射)하여 왜곡을 측정하는 것을 특징으로 한다.

[0009] 이와 같이, 본 발명의 유리 기판 왜곡 측정 방법에서는, 유리 기판을 경사 상태의 재치대에 재치한 후, 재치대를 회동시켜 수평 상태로 하고, 수평 상태인 유리 기판에 대해 레이저 광을 조사하여 왜곡을 측정한다. 이렇게 함으로써, 유리 기판을 용이하게 재치대에 재치할 수 있으므로, 유리 기판의 왜곡된 정도를 간편하고 신속하게 측정하는 것이 가능해진다. 나아가서는, 유리 기판의 왜곡된 정도를 간편하고 신속하게 측정하는 것이 가능해지기 때문에, 예컨대 유리 기판을 제조할 때에는, 측정 결과를 제조 공정에 빨리 피드백할 수 있게 되어, 유리 기판의 품질 및 수율 향상을 도모할 수 있다.

[0010] 또한, 본 발명에 따른 유리 기판 왜곡 측정 방법에 있어서, 상기 레이저 광은, 이동하면서 상기 유리 기판에 조사되는 것이 바람직하다.

[0011] 이러한 유리 기판 왜곡 측정 방법에 의하면, 상기 레이저 광을 이동시키면서, 유리 기판의 임의의 위치의 왜곡을 측정할 수 있다.

[0012] 또한, 본 발명에 따른 유리 기판 왜곡 측정 방법에 있어서, 상기 유리 기판을 상기 재치대에 재치할 때, 상기 유리 기판의 일단(一端)을 받이부로 지지하고, 상기 받이부는, 왜곡 측정 시에 상기 유리 기판으로부터 이격(離間)되는 방향으로 이동하는 것이 바람직하다.

[0013] 이러한 유리 기판 왜곡 측정 방법에 의하면, 상기 받이부가 왜곡 측정 시에 상기 유리 기판으로부터 이격되기 때문에, 상기 유리 기판의 단면(端面)에 불필요한 힘이 가해지지 않아, 정확하게 왜곡을 측정할 수 있다.

[0014] 또한, 본 발명에 따른 유리 기판 왜곡 측정 방법에 있어서, 상기 받이부는, 상기 재치대에 대향(對向)하는 면에 요철부(凹凸部)를 가지며, 상기 재치대는, 상기 받이부에 대향하는 면에 상기 요철부가 걸림결합하는 홈부를 가지며, 상기 받이부는, 상기 요철부의 볼록부를 상기 홈부에 걸림결합시킨 상태에서 상기 유리 기판의 외형 사이즈에 따라 이동 가능한 것이 바람직하다.

[0015] 이러한 유리 기판 왜곡 측정 방법에 의하면, 상기 받이부와 상기 재치대와의 사이에 틈새가 생긴 경우라 하더라도, 상기 요철부의 볼록부가 상기 홈부에 걸림결합되어 있기 때문에 유리 기판이 해당 틈새로 들어가는 것을 막을 수 있다.

또한, 유리 기판의 외형 사이즈가 변경된 경우라 하더라도 받이부를 이동시켜 대응할 수 있다. 나아가서는, 받이부를 적절히 이동시켜 유리 기판에 있어서의 왜곡의 측정 위치를 조정할 수 있다.

[0016] 또한, 본 발명에 따른 유리 기판 왜곡 측정 방법에 있어서, 상기 개구부에 상기 홈부가 연이어 설치(連設)되고, 상기 개구부의 최대 사이즈보다 상기 홈부의 폭 사이즈가 작은 것이 바람직하다.

[0017] 이러한 유리 기판 왜곡 측정 방법에 의하면, 개구부에서도 상기 요철부의 볼록부가 이동할 수 있게 되어, 상기 유리 기판의 외형 사이즈 변경 시에 넓게 대응할 수 있다.

[0018] 또한, 본 발명에 따른 유리 기판 왜곡 측정 장치는, 유리 기판의 임의의 위치의 왜곡을 측정하는 왜곡 측정 장치로서, 상기 유리 기판을 재치하는 재치 에리어와 상기 유리 기판의 왜곡을 측정하는 측정 에리어를 가지는 가대와, 상기 가대에 유지(保持)되는 동시에 상기 유리 기판이 재치되는 재치대와, 상기 측정 에리어에 설치되어, 수평 상태의 상기 유리 기판에 레이저 광을 조사하여 왜곡을 측정하는 왜곡 측정부를 구비하며, 상기 가대는, 상기 재치대를 상기 재치 에리어와 상기 측정 에리어와의 사이에서 수평 방향으로 슬라이드 이동시킬 수 있는 슬라이드 이동 기구를 가지며, 상기 슬라이드 기구는, 일단에 상기 재치대를 회동 가능하게 지지하는 회동축을 가지며, 상기 재치대는, 상기 재치 에리어에 있어서 상기 회동축에 의해 경사 상태 또는 수평 상태로 회동 가능하게 구성되며, 상기 재치대는, 상기 레이저 광을 통과시키는 개구부를 가지는 것을 특징으로 한다.

[0019] 이러한 구성으로 이루어진 유리 기판 왜곡 측정 장치는, 유리 기판을 경사 상태인 재치대에 재치한 후, 재치대를 회동시켜 수평 상태로 하고, 수평 상태인 유리 기판에 대해 레이저 광을 조사하여 왜곡을 측정한다. 이렇게 함으로써, 유리 기판을 용이하게 재치대에 재치할 수 있고, 유리 기판의 왜곡된 정도를 간편하고 신속하게 측정하는 것이 가능해진다.

나아가서는, 유리 기판의 왜곡된 정도를 간편하고 신속하게 측정하는 것이 가능해지기 때문에, 예컨대 유리 기판을 제조할 때에는, 측정 결과를 제조 공정에 빨리 피드백할 수 있게 되어, 유리 기판의 품질 및 수율 향상을 도모할 수 있다.

[0020] 또한, 본 발명에 따른 유리 기판 왜곡 측정 장치에 있어서, 상기 재치대는, 상기 유리 기판을 경사 상태인 재치대에 재치할 때, 상기 유리 기판의 일단을 지지하는 받이부를 가지며, 상기 받이부는, 상기 재치대의 재치면에 대해 평행 방향으로 이동 가능한 것이 바람직하다.

[0021] 이러한 유리 기판 왜곡 측정 장치에 의하면, 상기 받이부를 왜곡 측정 시에 상기 유리 기판으로부터 이격되는 방향으로 이동시킴으로써, 상기 유리 기판의 단면에 불필요한 힘이 가해지지 않아, 정확하게 왜곡을 측정할 수 있다.

[0022] 또한, 본 발명에 따른 유리 기판 왜곡 측정 장치에 있어서, 상기 받이부는, 상기 재치대에 대향하는 면에 요철부를 가지며, 상기 재치대는, 상기 받이부에 대향하는 면에 상기 요철부가 걸림결합하는 홈부를 가지며, 상기 받이부는, 상기 요철부의 볼록부를 상기 홈부에 걸림결합시킨 상태에서 상기 재치대의 재치면에 대해 평행 방향으로 이동 가능한 것이 바람직하다.

[0023] 이러한 유리 기판 왜곡 측정 장치에 의하면, 상기 받이부와 상기 재치대와의 사이에 틈새가 생긴 경우라 하더라도, 상기 요철부의 볼록부가 상기 홈부에 걸림결합되어 있기 때문에 상기 유리 기판이 해당 틈새로 들어가는 것을 막을 수 있다.

[0024] 또한, 본 발명에 따른 유리 기판 왜곡 측정 장치에 있어서, 상기 개구부에 상기 홈부가 연이어 설치되고, 상기 개구부의 최대 사이즈보다 상기 홈부의 폭 사이즈가 작은 것이 바람직하다.

[0025] 이러한 유리 기판 왜곡 측정 장치에 의하면, 상기 홈부에서 상기 요철부의 볼록부가 이동할 수 있게 되어, 상기 유리 기판의 외형 사이즈 변경 시에 넓게 대응할 수 있다.

[0026] 본 발명은, 이하에 기재한 바와 같은 효과를 나타낸다.

즉, 본 발명에 따른 유리 기판 왜곡 측정 방법 및 유리 기판 왜곡 측정 장치에 의하면, 유리 기판을 용이하게 재치할 수 있고, 유리 기판의 왜곡된 정도를 간편하고 신속하게 측정할 수 있다. 나아가서는, 유리 기판의 왜곡된 정도를 간편하고 신속하게 측정하는 것이 가능해지기 때문에, 예컨대 유리 기판을 제조할 때에는, 측정 결과를 제조 공정에 빨리 피드백할 수 있게 되어, 유리 기판의 품질 및 수율 향상을 도모할 수 있다.

[0027] 도 1은, 본 발명의 하나의 실시형태에 따른 유리 기판 왜곡 측정 장치(재치대가 경사졌을 때)의 전체적인 구성을 나타낸 측면도이다.
도 2는, 본 발명의 하나의 실시형태에 따른 유리 기판 왜곡 측정 장치(재치대가 수평일 때)의 전체적인 구성을 나타낸 측면도이다.
도 3은, 본 발명의 하나의 실시형태에 따른 유리 기판 왜곡 측정 장치(유리 기판을 재치한 재치대가 수평일 때)의 전체적인 구성을 나타낸 평면도이다.
도 4는, 본 발명의 하나의 실시형태에 따른 유리 기판 왜곡 측정 장치(재치대가 수평일 때)의 전체적인 구성을 나타낸 정면도이다.
도 5는, 제1 쇼크 업소버(shock absorber)를 나타낸 도면으로서, (a)는 재치대와 접촉하지 않은 상태의 제1 쇼크 업소버를 나타낸 사시도이고, (b)는, 경사진 재치대와 접촉한 상태의 제1 쇼크 업소버를 나타낸 사시도이다.
도 6은, 재치부가 가지는 받이부를 나타낸 사시도이다.
도 7은, 재치부의 받이부 근방을 나타낸 확대 사시도이다.
도 8은, 재치대 및 받이부의 일부를 확대하여 나타낸 확대 평면도이다.

[0028] 다음으로, 발명의 실시형태에 대해, 도 1 내지 도 8을 이용하여 설명한다.

또한, 이하의 설명에 관해서는 편의상, 도 1, 도 2, 및 도 4 중에 도시되는 상하 방향을 유리 기판 왜곡 측정 장치(1)의 상하 방향으로 규정하여 기술한다.

또한, 이하의 설명에 관해서는 편의상, 도 1, 도 2, 및 도 3 중에 도시되는 전후 방향을 유리 기판 왜곡 측정 장치(1)의 전후 방향으로 규정하여 기술한다.

또한, 이하의 설명에 관해서는 편의상, 도 3 중에 도시되는 전후 방향에 대해 직교하는 방향을, 유리 기판 왜곡 측정 장치(1)의 폭 방향으로 규정하여 기술한다.

[0029] [유리 기판 왜곡 측정 장치(1)]

먼저, 본 발명을 구현화하는 유리 기판 왜곡 측정 장치(1)(이하에서는, 간단히 「왜곡 측정 장치(1)」라고 기재함)의 전체적인 구성에 대해 설명한다.

[0030] 왜곡 측정 장치(1)는, 유리 기판(G)의 제조 공정에 있어서, 유리 기판(G)의 왜곡된 정도를 검사하는 장치이며, 유리 기판(G)의 임의의 위치, 또는 임의의 영역에서의 왜곡을 측정하기 위한 장치이다.

[0031] 여기서, 왜곡 측정 장치(1)에 의해 측정되는 유리 기판(G)은, 예컨대 디스플레이 등의 전자 디바이스 용도로서 제조되는, 소정의 두께를 가진 시트 형상의 유리 부재이다.

또한, 유리 기판(G)은, 예컨대 정사각형이나 직사각형으로 형성되어 있으며, 그 한 변(邊)의 사이즈는 2000mm∼3400mm이다.

또한, 유리 기판(G)의 형상이나 사이즈·두께 등은, 특별히 한정되는 것이 아니며, 유리 기판(G)의 용도에 따라 적절히 변경이 가능하다.

[0032] 왜곡 측정 장치(1)는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 주로 가대(20), 재치대(30), 왜곡 측정부(40), 및 장치 전체의 운전을 제어하는 제어 수단(50)(도 3을 참조) 등에 의해 구성된다.

[0033] 가대(20)는, 재치대(30)를 경사 상태 혹은 수평 상태로 유지하기 위한 대(臺)이며, 바닥면(床面) 상에 설치된다.

또한, 본 실시형태에 있어서의 「수평 상태」란, 완전한 수평 상태(경사 각도=0°)로 한정되는 것이 아니라, 대략 수평 상태인 것도 포함하며, 예컨대, 육안으로 보기에 수평을 나타내는 상태도 포함한다. 구체적으로는, 「수평 상태」란, 재치대(30)가 근소하게 경사져 있는 경우에 있어서, 수평 방향에 대한 경사 각도가 -10° 이상 0° 미만 또는 0° 초과 10° 이하의 범위인 상태도 포함한다.

가대(20)에는, 예컨대 도 3에 나타낸 바와 같이, 그 전측부(前側部)에 있어서 유리 기판(G)을 재치대(30)에 재치하기 위한 에리어가 되는 재치 에리어(P), 및 그 후측부(後側部)에 있어서 유리 기판(G)의 왜곡을 측정하기 위한 에리어가 되는 측정 에리어(M)가 설치되며, 이들 재치 에리어(P)와 측정 에리어(M)와의 사이에 있어서, 재치대(30)를 수평 방향(왜곡 측정 장치(1)의 전후 방향)으로 슬라이드 이동 가능하게 하는 슬라이드 기구(21)(도 1을 참조)가 구비되어 있다.

[0034] 슬라이드 기구(21·21)는, 재치대(30)의 폭 방향의 양단부에 각각 배치된다.

여기서, 도 1에 나타낸 바와 같이, 각 슬라이드 기구(21)의 일단부(전단부)에는, 재치대(30)의 중도부(中途部)를 회동 가능하게 축지지(軸支)하는 회동축(22)이 설치된다.

슬라이드 기구(21)에는, 수평 상태(수평 자세)의 재치대(30)를 전후 방향으로 이동시키는 수평 구동 수단(도시 생략), 및 회동축(22)을 중심으로 하여 재치대(30)를 회동시키는 회동 구동 수단(도시 생략) 등이 구비된다.

[0035] 회동 구동 수단은, 에어 실린더 등으로 이루어지는 액츄에이터에 의해 구성되며, 가대(20)의 일단에 배치된다.

그리고, 회동 구동 수단을 구동함으로써, 재치대(30)는 회동축(22)을 중심으로 하여 회동하여, 경사 상태(도립(倒立; 거꾸로 서있는) 상태), 또는 수평 상태(수평 자세)가 될 수 있다.

[0036] 가대(20)의 전단부에는, 제1 쇼크 업소버(23)가 설치되어 있다.

제1 쇼크 업소버(23)는, 도 5의 (a), (b)에 나타낸 바와 같이, 재치대(30)가 수평 상태로부터 회동하여 경사졌을 때, 재치대(30)의 배면(背面)에 제1 쇼크 업소버(23)의 선단부(23a)가 접촉하여 회동 시의 충격을 흡수하는 것이다.

[0037] 한편, 가대(20)의 상부에, 제2 쇼크 업소버(도시 생략)가 설치되어 있다.

제2 쇼크 업소버는, 재치대(30)가 경사 상태로부터 회동하여 수평 상태가 될 때, 재치대(30)의 배면에 제2 쇼크 업소버의 선단부가 접촉하여 회동 시의 충격을 흡수하는 것이다.

[0038] 또한, 이러한 제1 쇼크 업소버(23) 및 상기 제2 쇼크 업소버 대신에, 고무 등의 탄성 부재로 이루어진 충격 흡수 부재를 이용하는 것도 가능하다.

[0039] 재치대(30)는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 가대(20)의 재치 에리어(P)의 일단에 유지되는 동시에 유리 기판(G)이 재치되는 것이다.

재치대(30)는, 유리 기판(G)을 일단면측(수평 상태에서는 상면측)에 재치하고, 슬라이드 기구(21)의 수평 구동 수단에 의해 수평 방향의 임의의 위치로 이동시킬 수 있는 대(臺)이다.

또한, 재치대(30)는, 전후 방향 중도부가 가대(20)의 슬라이드 기구(21)가 가지는 회동축(22)에 회동 가능하게 지지된다. 재치대(30)는, 재치 에리어(P)에 있어서 회동축(22)에 의해 경사 상태 또는 수평 상태로 회동 가능하게 구성되어 있다.

[0040] 재치대(30)는, 가대(20)의 일단부(전단부)에 있어서, 슬라이드 기구(21)의 회동 구동 수단에 의해 임의의 경사 각도(예컨대 도 6에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에 있어서는, 70∼80도)로 경사지게 하는 것이 가능한 대(臺)이다.

여기서, 도 3에 나타낸 바와 같이, 재치대(30)는, 스테이지부(31), 받이부(32), 및 폭 방향 위치 결정부(33) 등에 의해 구성된다.

[0041] 스테이지부(31)는, 금속제(본 실시형태에 있어서는, 알루미늄제)의 평평한 판 형상 부재에 의해 구성되어, 왜곡 측정 시에 유리 기판(G)의 평탄도를 원하는 정밀도로 유지하기 위한 정반(定盤)으로서 기능하는 것이다.

스테이지부(31)는, 평판 형상의 재치면이 되는 평판부(31a)를 가지며, 해당 평판부(31a)에는, 복수의 원 형상의 개구부(31b·31b···)가 천공(穿孔)되어 있다.

[0042] 상기 복수의 개구부(31b·31b···)는, 왜곡 측정부(40)에 의한 왜곡 측정 시에 하방으로부터 조사되는 레이저 광이 통과하기 위한 개구 부분이며, 가로세로(縱橫)로 등간격으로 배열된 정사각(正方) 배열로 되어 있다.

[0043] 상기 복수의 개구부(31b·31b···) 중, 맨 앞 열(수평 상태인 재치대(30)에 있어서의 맨 앞 열)에 위치하는 개구부(31b·31b···)의 전측 및 후측에는, 전후 방향을 따라 맨 앞 열의 각 개구부(31b)의 전단부 및 후단부에 연통(連通)하는 소정 길이의 홈부(34)가 뚫어설치(穿設)되어 있다(도 7을 참조).

[0044] 홈부(34)는, 도 7에 나타낸 바와 같이, 후술하는 요철부(32c)의 볼록부(32d)에 대향하는 면으로서 형성되며, 단면(斷面) 형상이 직사각형이고, 요철부(32c)의 볼록부(32d)가 걸림결합되는 부분이다.

홈부(34)는, 개구부(31b)에 연이어 설치된다.

구체적으로는, 홈부(34)는, 맨 앞 열의 개구부(31b)의 전단부로부터 전방으로 소정 길이만큼 연장되는 전방 홈부(34a)와, 맨 앞 열의 개구부(31b)의 후단부로부터 후방으로 연장되어 해당 개구부(31b)의 후측 열의 개구부(31b)의 전단부에 연통하는 후방 홈부(34b)에 의해 구성된다.

[0045] 여기서, 홈부(34)의 폭 사이즈는, 개구부(31b)의 직경 사이즈보다 작아지도록 설정되어 있다.

또한, 홈부(34)의 깊이 사이즈는, 요철부(32c)의 볼록부(32d)의 돌출 사이즈와 동등하거나, 또는 약간 커지도록 설정되어 있다.

그리고, 홈부(34)는, 요철부(32c)의 볼록부(32d)와 걸림결합이 가능하도록 구성된다.

[0046] 받이부(32)는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 스테이지부(31)의 일단부(전단부) 근방에 있어서, 폭 방향에 걸쳐 배치되며, 재치대(30)를 경사지게 하여 유리 기판(G)을 재치할 때, 유리 기판(G)의 일단을 위치결정하는 동시에 지지하기 위한 것이다.

[0047] 받이부(32)는, 스테이지부(31)의 폭 방향에 걸쳐 배치되는 평판 형상의 베이스부(32a), 및 해당 베이스부(32a)의 일단측(후단측)에 부착되는 판 형상 부재(32b) 등에 의해 구성된다.

또한, 받이부(32)는, 스테이지부(31)의 전단부의 폭 방향 양측에 배치되는 구동 수단(35·35)을 구비하며, 해당 구동 수단(35·35)에 의해 재치대(30)의 재치면인 평판부(31a)에 대해 평행 방향으로 이동 가능하도록 지지되어 있다.

[0048] 판 형상 부재(32b)는, 유리 기판(G)을 재치할 때, 유리 기판(G)의 전단부가 접촉하는 부재이며, 합성 수지(예컨대, MC 나일론(등록상표))로 형성된다.

이로써, 재치대(30)에 유리 기판(G)을 재치할 때, 유리 기판(G)이 판 형상 부재(32b)에 접촉하더라도, 유리 기판(G)의 결함이나 파손을 방지할 수 있다.

[0049] 여기서, 도 7에 나타낸 바와 같이, 판 형상 부재(32b)에는, 스테이지부(31)에 대향되면서, 길이 방향에 걸쳐 직사각 형상이면서 요철 형상으로 연속하여 형성되는 요철부(32c)가 형성된다.

또한, 판 형상 부재(32b)는, 요철부(32c)의 복수의 볼록부(32d·32d···)가 스테이지부(31)에 형성된 복수의 홈부(34·34···)와 걸림결합한 상태에서, 볼트 등을 통해 베이스부(32a)에 탈부착 가능하게 고정 설치된다.

[0050] 그리고, 받이부(32)(보다 구체적으로는, 베이스부(32a))가 구동 수단(35)에 의해 구동되면, 판 형상 부재(32b)의 요철부(32c)의 복수의 볼록부(32d·32d···)는, 복수의 홈부(34·34···)와의 걸림결합 상태를 유지하면서 슬라이딩 가능하며, 스테이지부(31)의 상면의 앞부분(前部)에 있어서, 받이부(32)의 판 형상 부재(32b)를 전후 방향(도 7에 도시된 양방향 화살표 방향)의 임의의 위치로 이동시켜 배치할 수 있다.

이로써, 도 8에 나타낸 바와 같이, 유리 기판(G)의 외형 사이즈에 따라 받이부(32)의 판 형상 부재(32b)가 이동 가능하다.

[0051] 또한, 재치대(30)를 경사 상태로 하여, 유리 기판(G)을 재치하는 경우, 유리 기판(G)은 받이부(32)의 판 형상 부재(32b)에 의해 지지된다.

한편, 재치대(30)가 수평 상태가 되어 측정 에리어에서 왜곡을 측정하는 경우에는, 왜곡 측정에 영향을 주지 않도록 구동 수단(35)을 구동하여 받이부(32)를 유리 기판(G)으로부터 이격되는 방향(본 실시형태에서는, 전방)으로 소정 거리만큼 이동시킬 수 있다.

[0052] 폭 방향 위치 결정부(33)는, 재치대(30)에 유리 기판(G)을 재치할 때, 유리 기판(G)의 폭 방향 일단측을 위치결정하는 부재이다.

폭 방향 위치 결정부(33)는, 폭 방향으로 이동이 가능하며, 유리 기판(G)의 외형 사이즈에 맞추어 변경할 수 있다.

[0053] 왜곡 측정부(40)는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 가대(20)의 측정 에리어(M)에 배치되어, 수평 상태의 유리 기판(G)에 대해 하방으로부터 레이저 광을 조사하여 유리 기판(G)의 왜곡을 측정하는 것이다.

왜곡 측정부(40)는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 레이저 광 조사부(41), 지지체(42), 해당 지지체(42)의 폭 방향으로 이동 가능하게 지지되는 레이저 광 수광부(43), 및 상기 레이저 광 조사부(41)와 레이저 광 수광부(43)를 구동하는 구동 수단(도시 생략) 등에 의해 구성된다.

[0054] 도 3에 있어서, 왜곡 측정부(40)는, 도시되지 않은 구동 수단에 의해, 왜곡 측정 장치(1)의 전후 방향(Y방향)에 대한 직교 방향(X방향)으로, 레이저 광 조사부(41)를 이동 가능하도록 하고 있다.

이로써, 왜곡 측정부(40)는, 이동하면서 유리 기판(G)에 레이저 광을 조사하여 측정할 수 있다.

구체적으로는, 왜곡 측정부(40)는, 제어 수단(50)에 의해 왜곡 측정부(40)의 구동 수단을 제어함으로써, 개구부(31b)마다 순서대로 이동·정지하여, 각 개구부(31b)마다 왜곡을 측정하는 것이 가능하다.

[0055] 또한, 왜곡 측정부(40)는, 시판되는 왜곡 측정기를 이용할 수 있다.

구체적으로는, 왜곡 측정부(40)는, 유리 기판(G)의 왜곡된 정도를 평가하기 위해, 레터데이션의 크기 및 레터데이션의 방위각을 측정할 수 있다.

[0056] 그런데, 본 실시형태의 왜곡 측정부(40)에서는, 측정 헤드로서 1개의 레이저 광 조사부(41)(도 2를 참조)를 가지는 구성으로 하고 있지만, 복수의 레이저 광 조사부(41·41···)를 소정 간격으로 설치하는 구성으로 해도 된다.

복수의 레이저 광 조사부(41·41···)를 설치하는 구성으로 한 경우, 1개의 레이저 광 조사부(41)인 경우에 비해 측정 시간을 단축할 수 있다.

[0057] 제어 수단(50)은, 가대(20)의 슬라이드 기구(21)가 가지는 구동 수단(수평 구동 수단, 회동 구동 수단), 및 왜곡 측정부(40)가 가지는 구동 수단이나 왜곡 측정에 관한 측정 동작을 제어하는 것이다.

제어 수단(50)은, 예컨대, CPU 등의 처리 장치나 메모리 등의 기억 장치, 디스플레이 등의 표시 장치를 구비한 퍼스널 컴퓨터(PC)이다.

제어 수단(50)은, 유리 기판(G)의 왜곡 측정 결과를 디스플레이 등의 표시 장치에 출력 가능하도록 구성되어 있다.

또한, 제어 수단(50)은, 유리 기판(G)의 왜곡 측정 결과의 데이터를 기억 장치에 저장(保存) 가능하도록 구성되어 있다.

[0058] [왜곡 측정 방법]

다음으로, 상술한 왜곡 측정 장치(1)에 의한 유리 기판(G)의 왜곡 측정 방법에 대해 설명한다.

[0059] 본 실시형태에 있어서의 왜곡 측정 장치(1)에 의한 유리 기판(G)의 왜곡 측정 방법은, 가대(20) 상에서 유리 기판(G)의 임의의 위치의 왜곡을 측정하는 방법이다.

[0060] 먼저, 도 1에 나타낸 바와 같이, 재치대(30)에 유리 기판(G)을 재치할 때에는, 재치대(30)가 가대(20) 상의 재치 에리어(P)의 일단측(전단측)에 배치되며, 또한 경사진 상태(본 실시형태에서는, 바닥면에 대한 재치대(30)의 경사 각도는 70∼80도)로 한다.

이와 같이 재치대(30)를 경사지게 한 상태에서, 해당 재치대(30)에 유리 기판(G)이 재치된다.

구체적으로는, 피(被)측정물이 되는 유리 기판(G)은, 작업자가 흡인 유지구(예컨대, 진공 리프트)를 이용하여 흡인함으로써 유지되며, 거꾸로 선(倒立) 상태인 재치대(30)에 재치된다.

[0061] 재치대(30)의 경사 각도는, 적절히 설정하면 되는데, 70∼80° 정도가 바람직하다.

이 각도 범위로 함으로써, 작업자는, 유리 기판(G)을 용이하게 재치대(30)에 재치할 수 있다.

[0062] 다음으로, 도 2에 나타낸 바와 같이, 제어 수단(50)은, 슬라이드 기구(21)의 회동 구동 수단을 구동하여, 회동축(22)을 중심으로 하여 재치대(30)를 회동시켜, 경사 상태(경사 자세)로부터 수평 상태(수평 자세)로 한다.

이때, 재치대(30)의 배면은, 상부 쇼크 업소버에 의해 회동 시의 충격이 흡수된다.

이어서, 제어 수단(50)은, 슬라이드 기구(21)의 수평 구동 수단을 구동하여 수평 상태(수평 자세)인 재치대(30)를 가대(20)의 재치 에리어(P)로부터 측정 에리어(M)의 소정 위치까지 슬라이드 이동시킨다.

[0063] 그리고, 제어 수단(50)은, 측정 에리어(M)로 이동된 재치대(30) 상의 유리 기판(G)에 대해 왜곡 측정을 실행한다.

구체적으로는, 왜곡 측정 장치(1)의 제어 수단(50)은, 최초의 측정 개소로서 설정된 개구부(31b)(예컨대, 스테이지부(31)의 코너부에 위치하는 개구부(31b))부터, 왜곡 측정부(40)에 의해 왜곡 측정을 개시한다.

[0064] 제어 수단(50)은, 왜곡 측정부(40)가 가지는 구동 수단에 의해 레이저 광 조사부(41)를 X방향으로 미리 설정된 간격으로 이동시키거나, 또는, 슬라이드 기구(21)의 수평 구동 수단에 의해 재치대(30)를 Y방향으로 미리 설정된 간격으로 이동시켜, 각 개구부(31b)를 통해 유리 기판(G)에 레이저 광을 하방으로부터 조사하여 왜곡을 측정한다.

이렇게 하여, 제어 수단(50)은, 왜곡 측정부(40) 및 슬라이드 기구(21)를 제어하여 왜곡 측정부(40)의 레이저 광 조사부(41) 및 레이저 광 수광부(43)를 각 개구부(31b)에 맞추어 이동·정지시켜 위치 제어를 하는 동시에 각 개구부(31b)마다 왜곡을 측정한다.

[0065] 다음으로, 제어 수단(50)은, 왜곡 측정부(40)에 의한 왜곡 측정이 종료되면, 유리 기판(G)의 왜곡 측정의 결과로서 각 개구부(31b)에 대응하는 각 측정점에 있어서의 레터데이션의 크기 및 레터데이션의 방위각을 디스플레이 등의 표시 장치에 출력한다.

또한, 제어 수단(50)은, 유리 기판(G)의 왜곡 측정 결과의 데이터를 기억 장치에 저장한다.

제어 수단(50)은, 미리 설정된 왜곡을 평가하는 지표인 규격값(레터데이션의 크기 및 레터데이션의 방위각)과 측정 결과를 비교하여, 유리 기판(G)에 있어서의 왜곡에 관해 양호한지의 여부를 판정한다.

[0066] 이와 같이, 본 실시형태에 있어서의 왜곡 측정 장치(1)를 이용한 유리 기판(G)의 왜곡 측정 방법에 있어서는, 유리 기판(G)을 경사 상태의 재치대(30)에 재치한 후, 재치대(30)를 회동시켜 수평 상태로 하고, 수평 상태인 유리 기판(G)에 대해 레이저 광을 조사하여 왜곡을 측정한다.

이렇게 함으로써, 유리 기판(G)을 용이하게 재치대(30)에 재치할 수 있고, 유리 기판(G)의 왜곡된 정도를 간편하고 신속하게 측정할 수 있게 된다.

나아가서는, 유리 기판(G)의 왜곡된 정도를 간편하고 신속하게 측정하는 것이 가능해지기 때문에, 예컨대 유리 기판(G)을 제조할 때에는, 측정 결과를 제조 공정에 빨리 피드백할 수 있게 되어, 유리 기판(G)의 품질 및 수율 향상을 도모할 수 있다.

[0067] 또한, 본 실시형태에 있어서의 왜곡 측정 장치(1)를 이용한 유리 기판(G)의 왜곡 측정 방법에 있어서는, 상기 레이저 광은, 이동하면서 상기 유리 기판에 조사된다.

이로써, 유리 기판(G)의 임의의 위치의 왜곡을 측정할 수 있다.

[0068] 또한, 본 실시형태에 있어서의 왜곡 측정 장치(1)를 이용한 유리 기판(G)의 왜곡 측정 방법에 있어서는, 상기 유리 기판(G)을 재치대(30)에 재치할 때, 유리 기판(G)의 일단(전단)을 받이부(32)의 판 형상 부재(32b)로 지지하며, 판 형상 부재(32b)는, 유리 기판(G)의 외형 사이즈에 따라 이동이 가능하다.

이로써, 유리 기판(G)의 외형 사이즈가 변경된 경우라 하더라도 받이부(32)의 판 형상 부재(32b)를 이동시켜 대응할 수 있다.

나아가서는, 받이부(32)의 판 형상 부재(32b)를 적절히 이동시켜 유리 기판(G)에 있어서의 왜곡의 측정 위치를 조정할 수 있다.

[0069] 또한, 본 실시형태에 있어서의 왜곡 측정 장치(1)를 이용한 유리 기판(G)의 왜곡 측정 방법에 있어서는, 받이부(32)의 판 형상 부재(32b)는 재치대(30)에 대향하는 면에 요철부(32c)를 가지며, 재치대(30)의 스테이지부(31)는 받이부(32)에 대향하는 면에 요철부(32c)의 볼록부(32d)가 걸림결합하는 홈부(34)를 가지고 있다.

또한, 받이부(32)의 판 형상 부재(32b)는, 요철부(32c)의 볼록부(32d)를 홈부(34)에 걸림결합시킨 상태에서 유리 기판(G)의 외형 사이즈에 따라 이동할 수 있다.

이로써, 받이부(32)의 판 형상 부재(32b)와 재치대(30)와의 사이에 틈새가 생긴 경우라 하더라도, 요철부(32c)의 볼록부(32d)가 홈부(34)에 걸림결합하고 있기 때문에 유리 기판(G)이 해당 틈새로 들어가는 것을 막을 수 있다.

[0070] 또한, 본 실시형태에 있어서의 왜곡 측정 장치(1)를 이용한 유리 기판(G)의 왜곡 측정 방법에 있어서는, 개구부(31b)에 홈부(34)가 연이어 설치되고, 개구부(31b)의 최대 사이즈보다 홈부(34)의 폭 사이즈가 작아지도록 형성되어 있다.

이로써, 개구부(31b)에서도 요철부(32c)의 볼록부(32d)가 이동할 수 있게 되어, 유리 기판(G)의 외형 사이즈 변경 시에 넓게 대응할 수 있다.

[0071] 또한, 본 발명에 따른 본 실시형태에 있어서의 왜곡 측정 장치(1)를 이용한 유리 기판(G)의 왜곡 측정 방법에 있어서는, 받이부(32)의 판 형상 부재(32b)가 왜곡 측정부(40)에 의한 왜곡 측정 시에 유리 기판(G)의 단면으로부터 이격되는 방향으로 이동한다.

이와 같이, 받이부(32)의 판 형상 부재(32b)가 왜곡 측정부(40)에 의한 왜곡 측정 시에 유리 기판(G)으로부터 이격되기 때문에, 유리 기판(G)의 단면에 불필요한 힘이 가해지지 않아, 정확하게 왜곡을 측정할 수 있다.

(산업상의 이용 가능성)

[0072] 본 발명의 유리 기판 왜곡 측정 방법 및 유리 기판 왜곡 측정 장치는, 유리 기판의 임의의 위치의 왜곡을 측정하기 위해 이용할 수 있다.

[0073] 1 : 유리 기판 왜곡 측정 장치
20 : 가대
21 : 슬라이드 기구
22 : 회동축
30 : 재치대
31 : 스테이지부
31a : 평판부(재치면)
31b : 개구부
32 : 받이부
32b : 판 형상 부재
32c : 요철부
32d : 볼록부
34 : 홈부
40 : 왜곡 측정부
50 : 제어 수단
G : 유리 기판
M : 측정 에리어
P : 재치 에리어

Claims

가대(架臺) 상에서 유리 기판의 임의의 위치의 왜곡을 측정하는 왜곡 측정 방법으로서,
상기 가대 상의 재치 에리어에서 유리 기판을 경사 상태의 재치대(載置臺)에 재치하고,
상기 경사 상태의 재치대를 회동시켜 수평 상태로 하며,
해당 수평 상태의 상기 재치대를 상기 가대 상의 측정 에리어까지 슬라이드 이동시키고,
상기 측정 에리어에서 상기 재치대가 가지는 개구부를 통해 상기 유리 기판에 레이저 광을 조사(照射)하여 왜곡을 측정하며,
상기 유리 기판을 상기 재치대에 재치할 때, 상기 유리 기판의 일단(一端)을 받이부로 지지하고,
상기 받이부는, 왜곡 측정 시에 상기 유리 기판으로부터 이격(離間)되는 방향으로 이동하는
것을 특징으로 하는 유리 기판 왜곡 측정 방법.
제1항에 있어서,
상기 레이저 광은, 이동하면서 상기 유리 기판에 조사되는
것을 특징으로 하는 유리 기판 왜곡 측정 방법.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 받이부는, 상기 재치대에 대향(對向)하는 면에 요철부(凹凸部)를 가지며,
상기 재치대는, 상기 받이부에 대향하는 면에 상기 요철부가 걸림결합하는 홈부를 가지며,
상기 받이부는, 상기 요철부의 볼록부를 상기 홈부에 걸림결합시킨 상태에서 상기 유리 기판의 외형 사이즈에 따라 이동 가능한
것을 특징으로 하는 유리 기판 왜곡 측정 방법.
제3항에 있어서,
상기 개구부에 상기 홈부가 연이어 설치(連設)되고, 상기 개구부의 최대 사이즈보다 상기 홈부의 폭 사이즈가 작은
것을 특징으로 하는 유리 기판 왜곡 측정 방법.
유리 기판의 임의의 위치의 왜곡을 측정하는 왜곡 측정 장치로서,
상기 유리 기판을 재치하는 재치 에리어와 상기 유리 기판의 왜곡 측정을 행하는 측정 에리어를 가지는 가대와,
상기 가대에 유지되는 동시에 상기 유리 기판이 재치되는 재치대와,
상기 측정 에리어에 설치되어, 수평 상태의 상기 유리 기판에 레이저 광을 조사하여 왜곡을 측정하는 왜곡 측정부를 구비하고,
상기 가대는, 상기 재치대를 상기 재치 에리어와 상기 측정 에리어와의 사이에서 수평 방향으로 슬라이드 이동시킬 수 있는 슬라이드 기구를 가지며,
상기 슬라이드 기구는, 일단에 상기 재치대를 회동 가능하게 지지하는 회동축을 갖고,
상기 재치대는, 상기 재치 에리어에서 상기 회동축에 의해 경사 상태 또는 수평 상태로 회동 가능하게 구성되며,
상기 재치대는, 상기 레이저 광을 통과시키는 개구부를 갖고,
상기 유리 기판을 상기 재치대에 재치할 때, 상기 유리 기판의 일단을 받이부로 지지하며,
상기 받이부는, 왜곡 측정 시에 상기 유리 기판으로부터 이격되는 방향으로 이동하는
것을 특징으로 하는 유리 기판 왜곡 측정 장치.
유리 기판의 임의의 위치의 왜곡을 측정하는 왜곡 측정 장치로서,
상기 유리 기판을 재치하는 재치 에리어와 상기 유리 기판의 왜곡 측정을 행하는 측정 에리어를 가지는 가대와,
상기 가대에 유지되는 동시에 상기 유리 기판이 재치되는 재치대와,
상기 측정 에리어에 설치되어, 수평 상태의 상기 유리 기판에 레이저 광을 조사하여 왜곡을 측정하는 왜곡 측정부를 구비하고,
상기 가대는, 상기 재치대를 상기 재치 에리어와 상기 측정 에리어와의 사이에서 수평 방향으로 슬라이드 이동시킬 수 있는 슬라이드 기구를 가지며,
상기 슬라이드 기구는, 일단에 상기 재치대를 회동 가능하게 지지하는 회동축을 갖고,
상기 재치대는, 상기 재치 에리어에서 상기 회동축에 의해 경사 상태 또는 수평 상태로 회동 가능하게 구성되며,
상기 재치대는, 상기 레이저 광을 통과시키는 개구부를 갖고,
상기 재치대는, 상기 유리 기판을 경사 상태인 재치대에 재치할 때, 상기 유리 기판의 일단을 지지하는 받이부를 가지며,
상기 받이부는, 상기 재치대의 재치면에 대해 평행 방향으로 이동 가능한
것을 특징으로 하는 유리 기판 왜곡 측정 장치.
제6항에 있어서,
상기 받이부는, 상기 재치대에 대향하는 면에 요철부를 가지며,
상기 재치대는, 상기 받이부에 대향하는 면에 상기 요철부가 걸림결합하는 홈부를 가지며,
상기 받이부는, 상기 요철부의 볼록부를 상기 홈부에 걸림결합시킨 상태에서 상기 재치대의 재치면에 대해 평행 방향으로 이동 가능한
것을 특징으로 하는 유리 기판 왜곡 측정 장치.
제7항에 있어서,
상기 개구부에 상기 홈부가 연이어 설치되고, 상기 개구부의 최대 사이즈보다 상기 홈부의 폭 사이즈가 작은
것을 특징으로 하는 유리 기판 왜곡 측정 장치.
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