KR102385650B1 - 기판처리장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로서, 본 발명의 기판처리장치는, 기판을 이송하는 이송챔버; 상기 기판의 휨 정도를 측정하는 측정챔버; 및 상기 기판을 공정처리하는 공정챔버를 포함하고, 상기 공정챔버는, 상기 기판을 회전 가능하게 지지하며, 상면에 복수의 흡착영역을 구비하는 스핀척; 및 상기 측정챔버에서 측정된 기판의 휨 정도에 대한 계측결과를 기반으로 상기 흡착영역에 개별적으로 제공되는 진공압을 제어하는 진공압제어부를 포함한다.

Description

기판처리장치{APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE}
본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판의 휨 정도를 보정한 상태에서 기판을 공정처리할 수 있는 기판처리장치에 관한 것이다.
포토공정을 진행하는 기판처리장치는 포토레지스트(PR)액을 기판에 도포하는 코팅챔버와, 기판을 노광하는 노광챔버, 기판을 현상하는 현상챔버를 포함한다.
코팅챔버는 기판을 흡착 및 회전시키는 스핀척과, 기판 상에 포토레지스트(PR)액을 도포하는 노즐부를 포함한다. 기판 상에 도포되는 포토레지스트액의 균일한 도포를 위해, 기판이 회전된다.
그러나 기판은 여러 공정스텝들을 진행함에 따라 어느정도 휘어진 상태가 된다. 휘어진 기판인 경우, 회전하는 기판에 포토레지스트액을 도포하더라도, 포토레지스트액은 기판 상의 전면에 대해 균일한 두께로 도포되지 않는다.
한편 종래의 스핀척은 하나의 진공압을 이용하여 기판을 흡착하므로 휘어진 기판의 휨 정도를 보정하기가 용이하지 않다. 기판 상에 포토레지스트액이 균일한 두께로 도포되지 않은 경우, PR uniformity와 관련된 공정문제를 유발할 수 있다.
상기와 같은 문제를 해결하기 위해, 본 발명은 기판의 휨 정도를 보정한 상태에서 기판을 공정처리할 수 있는 기판처리장치를 제공함에 그 목적이 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판처리장치는, 기판을 이송하는 이송챔버; 상기 기판의 휨 정도를 계정하는 계측챔버; 및 상기 기판을 공정처리하는 공정챔버를 포함하고, 상기 공정챔버는, 상기 기판을 회전 가능하게 지지하며, 상면에 복수의 흡착영역을 구비하는 스핀척; 및 상기 측정챔버에서 측정된 기판의 휨 정도에 대한 계측결과를 기반으로 상기 복수의 흡착영역에 개별적으로 제공되는 진공압을 제어하는 진공압제어부를 포함한다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 기판처리장치는, 기판을 이송하는 이송챔버; 및 상기 기판을 공정처리하는 공정챔버를 포함하고, 상기 공정챔버는, 상기 기판을 회전 가능하게 지지하며, 상면에 복수의 흡착영역을 구비하는 스핀척; 및 외부에서 측정된 기판의 휨 정도에 대한 계측결과를 기반으로 상기 복수의 흡착영역에 개별적으로 제공되는 진공압을 제어하는 진공압제어부를 포함한다.
또한 실시예에 있어서, 복수의 흡착영역은, 상기 스핀척의 센터부분에 구비되는 센터 흡착영역; 및 상기 스핀척의 센터 흡착영역의 외측에 구비되는 복수의 에지 흡착영역을 포함하고, 상기 복수의 에지 흡착영역은 상기 센터 흡착영역을 중심으로 서로 대칭인 위치에 구비된다.
또한 실시예에 있어서, 상기 복수의 에지 흡착영역 중 상기 센터 흡착영역을 중심으로 서로 대칭인 위치에 구비되는 에지 흡착영역에는 서로 동일한 크기의 진공압이 제공된다.
또한 실시예에 있어서, 상기 복수의 에지 흡착영역 각각은 원형 형태이며, 서로 이격되어 구비된다.
또한 실시예에 있어서, 상기 스핀척은, 상기 센터 흡착영역 및 상기 복수의 에지 흡착영역을 구비하는 척헤드와, 상기 척헤드의 하부로 돌출 구비되어 모터의 모터구동축과 결합되며, 진공압을 전달하는 척고정관을 포함하고, 상기 척고정관의 내부에는 상기 센터흡착영역 및 상기 복수의 에지흡착영역 각각에 개별적으로 진공압을 제공하기 위한 복수의 진공압 제공관이 구비된다.
또한 실시예에 있어서, 상기 척고정관의 일측에는 상기 모터구동축의 회전위치를 판단하기 위한 자기센서가 구비되고, 상기 모터 내측에는 상기 자기센서에 대향되는 위치에 감지센서가 구비된다.
또한 실시예에 있어서, 상기 척고정관의 타측에는 감지센서의 무게와 동일한 무게를 갖는 보정부재가 구비된다.
본 발명에 따르면, 복수의 흡착영역에 개별적으로 제공되는 진공압을 제어함으로써, 기판의 휨 상태를 보정 가능하다. 따라서 본 발명의 기판처리장치는 기판의 휨 상태를 보정한 상태에서 기판을 공정처리할 수 있다.
도 1는 본 발명의 실시예에 따른 기판처리장치를 도시한 도면이다.
도 2는 공정처리부 내에 구비되는 챔버의 구성을 도시한 도면이다.
도 3은 도 2에 도시된 코팅챔버의 구성을 간략하게 도시한 도면이다.
도 4a 내지 도 4c는 도 3에 도시된 스핀척의 다양한 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 5a는 도 4a에 도시된 스핀척의 단면도이고, 도 5b는 도 4a에 도시된 스핀척을 아래에서 비스듬히 바라본 사시도이다.
도 6은 도 3에 도시된 모터와 모터구동축을 설명하기 위한 도면이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 기판처리장치를 설명한다.
도 1는 본 발명의 실시예에 따른 기판처리장치를 도시한 도면이고, 도 2는 공정처리부 내에 구비되는 챔버의 구성을 도시한 도면이다.
이하 포토 공정에 사용되는 기판처리장치를 예로 들어 설명하지만, 포토 공정 외에 다른 공정을 진행하는 기판처리장치에도 적용될 수 있다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 기판처리장치(10)는 공정처리부(100), 이송부(200), 인덱스부(300), 인터페이스부(400)를 포함한다.
공정처리부(100)는 복수의 공정챔버(110)을 포함한다. 복수의 공정챔버(110)는 적어도 하나 이상이 그룹화되어 공정을 진행한다. 예를 들어, 공정챔버(110)는 복수의 코팅챔버(111), 복수의 현상챔버(112), 복수의 베이크 챔버(113), 계측챔버(114) 등의 기판의 공정처리를 위한 챔버를 포함한다. 복수의 공정챔버(110)는 이송부(200)의 일측 및 타측에 배치될 수 있다.
코팅챔버(111)는 기판에 포토리지스트(PR)액을 도포하기 위한 공정챔버이고, 현상챔버(113)는 노광된 기판을 현상하기 위한 공정챔버이다. 그리고 베이크챔버(112)는 기판의 냉각처리 또는 기판의 열처리를 위한 공정챔버이다. 그리고 계측챔버(114)는 기판의 휨(warpage)를 측정하기 위한 공정챔버이다.
계측챔버(114)는 기판의 휨을 측정한다. 공정이 진행됨에 따라 기판(G) 상에 다수의 패턴들이 형성되고, 다수의 열처리가 진행된다. 기판 상에 형성된 패턴들에 의해 기판에 휨(warpage)이 발생한다. 기판(G)의 휨은 스핀척의 진공압 알람 또는 기판의 휨에 따른 공정조건 변화를 일으킨다. 측정챔버(114)는 기판의 휨이 어느정도 발생하였는지와 기판의 휨 방향을 측정한다. 기판의 휨에 대한 측정결과는 스핀척(400)의 개별적인 진공압 제어에 사용된다.
계측챔버(114)는 하나의 기판용기에 수용된 복수개의 기판(G) 중 적어도 하나의 기판에 대해 계측을 수행할 수 있다. 같은 공정의 복수개의 기판(G)은 캐리어, 풉(FOUP) 등과 같은 하나의 기판용기에 수용된 상태로 이송되기 때문에 어느 하나의 기판에 대한 계측을 수행하여 얻은 계측결과를 기반으로 같은 스텝의 공정을 진행하는 나머지 기판에 대해서도 동일하게 처리할 수 있다.
상기와는 다르게, 계측챔버(114)는 기판처리장치(10) 내부에 구비되지 않고, 별도의 계측설비로 존재할 수도 있다. 별도의 계측설비는 측정된 기판의 휨 정도에 대한 계측결과를 기판처리장치(10)에 제공한다. 기판처리장치(10)는, 외부에서 측정된 기판의 휨 정도에 대한 계측결과를 이용하여, 코팅챔버(111) 내의 스핀척(400) 상의 복수의 흡착영역(430, 440)에 대한 진공압을 개별적으로 제어한다. 그리고 기판처리장치(10)는 외부에서 제공되는 측정된 기판의 휨 정도 결과를 저장하고, 해당 기판의 공정진행 정도와 동일한 기판에 대해 저장된 결과를 이용하여 스핀척의 진공압을 제어할 수 있다.
코팅챔버(111)에 대한 구성은 후술한다.
이송부(200)는 공정처리부(100), 버퍼부(330), 인터페이스부(400) 간 기판의 이송을 수행한다. 이송부(200)는 기판을 이송하기 위한 이송로봇(210)을 포함한다. 이송로봇(210)은 공정챔버(110), 버퍼(330), 인터페이스부(400)에 기판을 로딩하거나 또는 언로딩한다.
인덱스부(300)는 로드포트부(310), 인덱스이송부(320), 버퍼부(330)를 포함한다.
로드포트부(310)에는 복수의 기판을 수용하는 FOUP과 같은 기판수용용기(C)가 안착 또는 탈착된다.
인덱스이송부(320)는 로드포트부(310)에 안착된 기판수용용기(C)와 버퍼부(330) 간 기판의 이송을 수행한다. 인덱스이송부(320)는 기판의 이송을 위한 인덱스이송로봇(321)을 포함한다. 인덱스이송로봇(321)은 기판수용용기(C), 버퍼부(330)에 기판을 로딩하거나 또는 언로딩한다.
버퍼부(330)는 인덱스이송부(320)와 이송부(200)간 기판이 교환되는 공간을 제공한다. 인터페이스부(400)는 노광장치(미도시)와 기판 이송을 위한 통로 기능을 수행한다.
이하 코팅챔버(111)의 구성에 대해 상세히 설명한다.
도 3은 도 2에 도시된 코팅챔버의 구성을 간략하게 도시한 도면이다.
코팅챔버(111)는 노즐부(500), 스핀척어셈블리(600), 하우징(700)을 포함한다.
하우징(700)은 외부의 이물질의 내부 유입을 방지하기 위해 코팅챔버(111)의 내부를 외부와 격리한다. 하우징(700)의 천정부근에는 내부기류를 생성하는 팬필터(710)가 구비될 수 있다.
노즐부(500)는 약액공급장치(미도시)로부터 포토레지스트액을 공급받고, 스핀척(600)에 안착된 기판(W) 상에 포토레지스트(PR)액을 도포한다.
스핀척어셈블리(600)는 스핀척(610), 모터구동축(640), 모터(650), 진공압제어부(660)을 포함한다.
스핀척(610)은 이송챔버(300)로부터 인입된 기판(W)을 지지하고, 기판(W)을 진공으로 흡착하며, 그리고 공정처리 시 기판(W)을 회전시킬 수 있다.
스핀척(610)은 기판을 안착하고 흡착하는 척헤드(620)와, 척헤드(620)의 하부로 돌출 구비되어 모터(650)의 모터구동축(640)과 결합되며, 진공압을 제공하는 척고정관(630)을 포함한다.
도 4a 내지 도 4c는 도 3에 도시된 스핀척의 다양한 예를 설명하기 위한 도면이다.
척헤드(620)의 상면에는 개별적으로 진공압이 제공되는 복수의 흡착영역(621a, 621b, 621c)이 구비된다.
도 4a의 스핀척을 예로 들어 설명하면, 척헤드(620)에 형성되는 복수의 흡착영역(621a, 621b, 621c)은, 중심부분의 센터흡착영역(621a), 에지부분의 에지흡착영역(621c), 센터흡착영역(621a)과 에지흡착영역(621c) 사이에 구비되는 미들흡착영역(621b)를 포함한다. 척헤드(620)에는 진공압이 제공되는 진공압홀(623)이 구비된다.
센터흡착영역(621a), 에지흡착영역(621c), 미들흡착영역(621b)에는 개별적으로 진공압이 제공된다. 각 영역에 제공되는 진공압은 기판의 휨 정도에 대한 계측결과에 기반하여 서로 동일하게 제공될 수도 있고, 서로 다르게 제공될 수도 있다.
예를 들어 기판이 U자형으로 휘었다는 계측결과가 나온 경우, 진공압제어부(660)는 센터흡착영역(621a)보다 에지흡착영역(621b)에 더 큰 진공압을 제공된다. 기판이 모자 모양으로 휘었다는 계측결과가 나온 경우, 진공압제어부(660)는 에지흡착영역(621b)보다 센터흡착영역(621a)에 더 큰 진공압을 제공한다. 각 흡착영역의 경계에는 개별적으로 제공되는 진공압이 서로 영향을 미치지 못하도록 진공압을 차단하는 차단격벽(622)이 구비된다.
다른 예로서 도 4b의 스핀척을 예로 들어 설명하면, 복수의 흡착영역(621a, 621b, 621c)은 중심부분의 센터흡착영역(621a), 센터흡착영역(621a)의 외측에 구비되는 복수의 에지흡착영역(621b, 621c)을 포함할 수 있다. 이때 복수의 에지흡착영역은 센터흡착영역(621a)을 기준으로 서로 대칭인 위치에 구비된다. 복수의 에지흡착영역들 중 센터흡착영역(621a)을 중심으로 서로 대칭인 위치에 구비되는 에지흡착영역에는 서로 동일한 크기의 진공압이 제공된다.
예를 들어, 센터흡착영역(621a)을 중심으로 서로 대칭인 위치에 구비되는 12시방향 및 6시방향의 제1 에지흡착영역(621b)에는 서로 동일한 크기의 제2 진공압이 제공된다. 그리고 센터흡착영역(621a)을 중심으로 서로 대칭인 위치에 구비되는 9시 방향 및 3시 방향의 제2 에지흡착영역(621c)에는 서로 동일하 크기의 제3 진공압이 제공된다. 이때 제2 진공압, 제3 진공압, 센터흡착영역(621a)에 제공되는 제1 진공압의 크기는 서로 동일할 수도 있고, 서로 다를 수도 있다.
도 4b의 스핀척의 경우, 도 4a의 스핀척에 비해, 기판의 휨 방향에 따라 진공압을 제공할 수 있다는 장점이 존재한다.
예를 들어, 12시 방향 및 6시 방향의 제1 에지흡착영역(621b)에는 기판이 닿아있고, 3시 방향 및 9시 방향의 제2 에지흡착영역(621c)에는 기판이 닿아있지 않은 경우, 진공압제어부(660)는 제1 에지흡착영역(621b)보다 제2 에지흡착영역(621c)에 더 큰 진공압을 제공할 수 있다.
상기와 같이, 기판이 닿아있는 제1 에지흡착영역(621c)과 기판이 닿아있지 않은 제2 에지흡착영역(621)에 제공되는 진공압을 서로 다르게 제어함으로써, 기판을 흡착하되, 불필요한 강한 진공압에 의해 발생될 수 있는 기판 파손 위험을 낮출 수 있다.
다른 예로서 도 4c의 스핀척을 예로 들어 설명하면, 다른 예로서 도 4b의 스핀척을 예로 들어 설명하면, 복수의 흡착영역(420)은 중심부분의 센터흡착영역(621a), 센터흡착영역(621a)의 외측에 구비되는 복수의 에지흡착영역(621b, 621c)을 포함할 수 있다. 이때 복수의 에지흡착영역은 센터흡착영역(621a)을 기준으로 서로 대칭인 위치에 서로 이격된 상태로 구비된다. 복수의 흡착영역 각각은 작은 원형으로 구비될 수 있다. 그리고 복수의 에지흡착영역들 중 센터흡착영역(621a)을 중심으로 서로 대칭인 위치에 구비되는 에지흡착영역에는 서로 동일한 크기의 진공압이 제공된다.
즉, 센터흡착영역(621a)을 중심으로 서로 대칭인 위치에 구비되는 12시방향 및 6시방향의 제1 에지흡착영역(621b)에는 서로 동일한 크기의 제2 진공압이 제공된다. 그리고 센터흡착영역(621a)을 중심으로 서로 대칭인 위치에 구비되는 9시 방향 및 3시 방향의 제2 에지흡착영역(621c)에는 서로 동일하 크기의 제3 진공압이 제공된다. 이때 제2 진공압, 제3 진공압, 센터흡착영역(621a)에 제공되는 제1 진공압의 크기는 서로 동일할 수도 있고, 서로 다를 수도 있다.
도 4c의 스핀척은, 도 4b의 스핀척과 마찬가지로 기판의 휨 방향에 따른 진공압 제어가 가능하다는 장점을 갖는다. 또한 도 4c의 스핀척은, 서로 이격된 작은 원형의 흡착영역들을 이용하여 더욱 강하게 기판을 흡착할 수 있다.
즉, 본 발명에 따른 스핀척은 개별적으로 제공되는 복수의 흡착영역을 이용하여 기판의 휨 상태를 보정할 수 있다. 따라서 기판처리장치는 기판의 휨 상태가 보정된 상태에서 공정처리가 가능하다.
도 5a는 도 4a에 도시된 스핀척의 단면도이고, 도 5b는 도 4a에 도시된 스핀척을 아래에서 비스듬히 바라본 사시도이다. 도면에는 도시되지 않았지만, 도 4b 및 도 4c에 도시된 스핀척도 도 5a 및 도 5b의 스핀척의 형태와 유사하게 구성될 수 있다.
도 5a 및 도 5b를 참조하면, 척고정관(630)은 관형태로 척헤드(620) 하부에 돌출 구비된다. 모터의 회전축인 모터구동축(640)이 척고정관(630)에 삽입 고정된다.
척고정관(630)의 내부에는 센터흡착영역(631a), 미들흡착영역(631b), 에지흡착영역(631c) 각각에 개별적으로 진공압을 제공하기 위한 복수의 진공압 제공관(631a, 631b, 631c)이 구비된다. 척헤드(620)의 각각의 흡착영역(621a, 621b, 621c)에는 복수의 진공압제공관(631a, 631b, 631c)을 통해 진공압이 개별적으로 제공된다. 도 5b와 같이 척고정관(630)은 복수의 관이 겹겹이 둘러쌓인 형태로 구비될 수 있다.
도 6은 도 3에 도시된 모터와 모터구동축을 설명하기 위한 도면이다.
도 6을 참조하면, 모터(650)는 스핀척(610)을 회전구동하기 위한 구동력을 제공한다.
모터구동축(640)은 모터(650)로부터의 구동력을 스핀척(610)에 제공하고, 모터구동축(640)의 내부에 형성된 복수의 진공압통로(641a, 641b, 641c)를 통해 스핀척(610) 상의 복수의 흡착영역에 개별적으로 진공압을 제공한다. 이를 위해 모터구동축(640)은 내부에 복수의 관이 동심원 형태로 겹겹이 구비되고, 복수의 관 각각에는 그에 대응되는 진공압통로(641a, 641b, 641c)가 형성될 수 있다.
모터구동축(640)의 일측에는 자기센서(642)가 구비되고, 모터구동축(640)의 타측에는 보정부재(643)이 구비될 수 있다. 또한, 모터(650)의 내측에는 자기센서(642)에 대향하는 위치에 자기센서(642)를 감지하는 감지센서(651)이 구비될 수 있다.
위치가 고정된 감지센서(651)는 회전하는 모터구동축(640)의 일측에 구비된 자기센서(642)를 감지함으로써, 모터구동축(640)의 원점위치를 판단할 수 있다. 기판(W)이 코팅챔버 내로 인입되기 전에, 모터구동축(640)의 회전위치를 사전 조정함으로써 복수의 흡착영역 위치를 미리 정해진 위치로 조정할 수 있다.
상기와는 다르게, 모터(650)의 내측둘레를 따라 복수의 자기센서(642)가 균일하게 구비될 수도 있다. 균일하게 구비되는 복수의 자기센서(642)는 모터구동축(640)의 일측에 구비되는 자기센서(642)를 감지하여 모터구동축(640)의 회전위치를 판단할 수도 있다.
보정부재(643)는 모터구동축(640)의 회전중심이 틀어지지 않도록 감지센서(651)의 무게를 보정하는 기능을 수행한다.
진공압제어부(660)는 계측챔버 또는 외부의 계측기에서 측정된 기판의 휨 정도에 대한 계측결과에 기반하여, 스핀척(610)의 각 흡착영역에 제공하는 진공압의 크기를 개별적으로 제어한다.
본 발명에 따르면, 복수의 흡착영역에 개별적으로 제공되는 진공압을 제어함으로써, 기판의 휨 상태를 보정 가능하다. 따라서 본 발명의 기판처리장치는 기판의 휨 상태가 보정된 상태에서 기판을 공정처리할 수 있다.
10: 기판처리장치 100: 공정처리부
111: 코팅챔버 112: 현상챔버
113: 베이크챔버 114: 계측챔버
200: 이송부 300: 인덱스부
400: 인터페이스부 500: 노즐부
600: 스핀척어셈블리 610: 스핀척
620: 척헤드 630: 척고정관
640: 모터구동축 650: 모터
660: 진공압제어부 700: 하우징

Claims (8)

  1. 기판을 이송하는 이송챔버;
    상기 기판의 휨 정도를 측정하는 측정챔버; 및
    상기 기판을 공정처리하는 공정챔버를 포함하고,
    상기 공정챔버는,
    상기 기판을 회전 가능하게 지지하며, 상면에 복수의 흡착영역을 구비하는 스핀척; 및
    상기 측정챔버에서 측정된 기판의 휨 정도에 대한 계측결과를 기반으로 상기 복수의 흡착영역에 개별적으로 제공되는 진공압을 제어하는 진공압제어부를 포함하고,
    상기 스핀척은,
    상기 복수의 흡착영역을 구비하는 척헤드와,
    상기 척헤드의 하부로 돌출 구비되어 모터의 모터구동축과 결합되며, 진공압을 전달하는 척고정관을 포함하고,
    상기 척고정관의 내부에는 상기 복수의 흡착영역 각각에 개별적으로 진공압을 제공하기 위한 복수의 진공압 제공관이 구비되고,
    상기 복수의 진공압 제공관은 겹겹이 둘러쌓인 동심원 형태로 구비되고, 상기 모터구동축에는 상기 복수의 진공압 제공관에 대응되는 형태로 복수의 진공압통로가 구비되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  2. 기판을 이송하는 이송챔버; 및
    상기 기판을 공정처리하는 공정챔버를 포함하고,
    상기 공정챔버는,
    상기 기판을 회전 가능하게 지지하며, 상면에 복수의 흡착영역을 구비하는 스핀척; 및
    외부에서 측정된 기판의 휨 정도에 대한 계측결과를 기반으로 상기 복수의 흡착영역에 개별적으로 제공되는 진공압을 제어하는 진공압제어부를 포함하고,
    상기 스핀척은,
    상기 복수의 흡착영역을 구비하는 척헤드와,
    상기 척헤드의 하부로 돌출 구비되어 모터의 모터구동축과 결합되며, 진공압을 전달하는 척고정관을 포함하고,
    상기 척고정관의 내부에는 상기 복수의 흡착영역 각각에 개별적으로 진공압을 제공하기 위한 복수의 진공압 제공관이 구비되고,
    상기 복수의 진공압 제공관은 겹겹이 둘러쌓인 동심원 형태로 구비되고, 상기 모터구동축에는 상기 복수의 진공압 제공관에 대응되는 형태로 복수의 진공압통로가 구비되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  3. 제1항 및 제2항 중 어느 한 항에 있어서,
    복수의 흡착영역은,
    상기 스핀척의 센터부분에 구비되는 센터 흡착영역; 및
    상기 스핀척의 센터 흡착영역의 외측에 구비되는 복수의 에지 흡착영역을 포함하고,
    상기 복수의 에지 흡착영역은 상기 센터 흡착영역을 중심으로 서로 대칭인 위치에 구비되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 복수의 에지 흡착영역 중 상기 센터 흡착영역을 중심으로 서로 대칭인 위치에 구비되는 에지 흡착영역에는 서로 동일한 크기의 진공압이 제공되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 복수의 에지 흡착영역 각각은 원형 형태이며, 서로 이격되어 구비되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  6. 삭제
  7. 제1항 및 제2항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 척고정관의 일측에는 상기 모터구동축의 회전위치를 판단하기 위한 자기센서가 구비되고, 상기 모터 내측에는 상기 자기센서에 대향되는 위치에 감지센서가 구비되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 척고정관의 타측에는 감지센서의 무게와 동일한 무게를 갖는 보정부재가 구비되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
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