KR102347234B1 - Vacuum Agitator for Nanoparticle Manufacturing - Google Patents

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KR102347234B1
KR102347234B1 KR1020210129451A KR20210129451A KR102347234B1 KR 102347234 B1 KR102347234 B1 KR 102347234B1 KR 1020210129451 A KR1020210129451 A KR 1020210129451A KR 20210129451 A KR20210129451 A KR 20210129451A KR 102347234 B1 KR102347234 B1 KR 102347234B1
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fastening ring
vacuum
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이지상
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주식회사 에이유랩스
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    • B22F9/14—Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes using electric discharge
    • B01F2015/061—

Abstract

According to an aspect of the present invention, a vacuum agitator for manufacturing nanoparticles includes: a vacuum chamber in which a 3D inner space is formed; a chamber door coupled to the vacuum chamber to open or close the inner space; a vacuum pump connected to the vacuum chamber to maintain a vacuum state of the inner space; a magnet cathode which is provided in the inner space, and to which a metal to be ejected as nanoparticles through plasma is mounted; and an agitating device provided under the magnet cathode to circulate a deposition object in a form of powder charged therein in the vertical direction. Therefore, by means of the vacuum agitator for manufacturing the nanoparticles, it is possible to improve nanoparticle production efficiency.

Description

나노입자 제조용 진공 교반기{Vacuum Agitator for Nanoparticle Manufacturing}Vacuum Agitator for Nanoparticle Manufacturing

본 발명은 나노입자 제조용 진공 교반기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 나노입자 제조 효율을 향상시킬 수 있는 나노입자 제조용 진공 교반기에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum agitator for manufacturing nanoparticles, and more particularly, to a vacuum agitator for manufacturing nanoparticles capable of improving nanoparticle manufacturing efficiency.

나노입자는 그 물질의 벌크 상태와는 다른 독특한 특성을 나타내기도 하며, 그에 따른 여러 응용 가능성으로 인해 많은 관심을 받고 있다.Nanoparticles also exhibit unique properties different from the bulk state of the material, and are attracting a lot of attention due to their various application possibilities.

그 중, 금속 나노입자는 금속의 흥미로운 특성들로 인해 전자, 정보 저장, 촉매 등 여러 분야에 응용되고 있으며, 최근에는 광전자, 센싱, 이미징을 비롯하여 코스메틱, 의료 분야로까지 그 응용 분야를 넓혀가고 있다.Among them, metal nanoparticles are being applied in various fields such as electrons, information storage, and catalysts due to the interesting properties of metals. .

한편, 금(Au)은 인체에 무해한 성질을 갖고 있고, 티올(thiol)과의 결합을 통한 표면 개질이 쉽다는 장점으로 인해 금 나노입자는 생체의학 분야에 널리 응용되고 있다.On the other hand, gold nanoparticles are widely applied in biomedical fields due to the advantages that gold (Au) is harmless to the human body and that it is easy to modify the surface through bonding with thiol.

또한, 금 나노입자는 진단을 넘어서 치료 목적으로도 응용되고 있는데, 금 나노입자를 종양에 선택적으로 붙게 만들어 방사선에 노출된 종양을 치료하는 방법, 방사선 치료에서 세포 표면에 금 나노입자를 붙여 세포 파괴 효율을 높이는 연구, 금 나노입자를 약물 전달의 매개체로 응용하는 연구 등이 보고되었다.Gold nanoparticles are also being applied for therapeutic purposes beyond diagnosis. Gold nanoparticles are selectively attached to tumors to treat radiation-exposed tumors, and in radiation therapy, gold nanoparticles are attached to the cell surface to destroy cells. Studies to increase efficiency and the application of gold nanoparticles as a drug delivery medium have been reported.

이에 따라, 다양한 분야에서 활용되는 금 나노입자의 생산성을 향상시키고 금 나노입자의 순도 및 수율을 높일 수 있는 기술의 개발이 필요하다.Accordingly, there is a need to develop a technology capable of improving the productivity of gold nanoparticles used in various fields and increasing the purity and yield of gold nanoparticles.

대한민국 공개특허공보 제10-2007-0044879호(2007.05.02)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2007-0044879 (2007.05.02)

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 나노입자 제조 효율을 향상시킬 수 있는 나노입자 제조용 진공 교반기를 제공하는 것이다.The present invention has been devised to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a vacuum agitator for producing nanoparticles capable of improving the nanoparticle production efficiency.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시 예에 따른 나노입자 제조용 진공 교반기는 3차원의 내부공간이 형성되는 진공챔버와, 상기 진공챔버와 결합하여 상기 내부공간을 개방 또는 밀폐하는 챔버도어와, 상기 진공챔버에 연결되어 상기 내부공간의 진공상태가 유지되도록 하는 진공펌프와, 상기 내부공간에 구비되어 플라즈마를 통해 나노입자로 분출될 금속이 장착되는 마그넷 카소드(Magnet Cathode)와, 상기 마그넷 카소드의 하부에 구비되어 내부에 장입된 파우더 형태의 증착 대상물을 상하방향으로 순환시키는 교반장치를 구비할 수 있다.A vacuum agitator for manufacturing nanoparticles according to an embodiment of the present invention for achieving the above object includes a vacuum chamber in which a three-dimensional inner space is formed, and a chamber door that is coupled with the vacuum chamber to open or close the inner space and a vacuum pump connected to the vacuum chamber to maintain a vacuum state of the inner space, and a magnet cathode provided in the inner space to which a metal to be ejected into nanoparticles through plasma is mounted, and the It may be provided with a stirring device provided under the magnet cathode to circulate the deposition target in the form of powder charged therein in the vertical direction.

상기 교반장치는 상면이 하면보다 넓은 원형파이프형태로 구비되어 경사진 내벽을 통해 파우더 형태의 증착 대상물의 순환을 유도하는 외부본체와, 상기 외부본체의 외벽에 구비되어 나노입자로 분출된 금속에 파우더 형태의 증착 대상물이 증착된 후 나노입자로 분출된 금속의 온도를 낮추는 냉각수관과, 상기 외부본체의 내부에 원형파이프형태로 구비되어 파우더 형태의 증착 대상물이 장입되는 내부본체와, 상기 내부본체의 내부에 구비되고 일 방향으로 회전하여 상기 내부본체에 장입된 파우더 형태의 증착 대상물을 부상시키는 스크루와, 상기 내부본체의 일면에 형성되어 상기 스크루를 통해 부상한 후 자유낙하 하는 파우더 형태의 증착 대상물이 상기 내부본체에 유입되도록 하는 개구부를 구비하고, 상기 스크루는 상기 내부본체의 바닥면 중앙에 위치하여 일 방향으로 회전하는 회전축과, 상기 회전축의 외면에 일정한 간격으로 구비되어 상기 회전축을 통해 발생한 회전력으로 파우더 형태의 증착 대상물을 상기 내부본체에서 상 방향으로 토출하는 다수의 날개를 구비하고, 상기 날개는 40~80도로 기울어지도록 구비될 수 있다.The stirring device is provided in the form of a circular pipe with an upper surface wider than the lower surface to induce circulation of a powder-type deposition target through an inclined inner wall, and an outer body provided on the outer wall of the outer body to form a metal sprayed with nanoparticles. A cooling water pipe for lowering the temperature of the metal ejected as nanoparticles after the deposition object in the form of a deposition object is deposited; A screw provided inside and rotating in one direction to float the deposition object in the form of a powder charged into the inner body, and a powder-type deposition object formed on one surface of the inner body to float through the screw and then freely fall An opening to flow into the inner body is provided, and the screw is located at the center of the bottom surface of the inner body and rotates in one direction. A plurality of blades for discharging a powder-form deposition object in an upward direction from the inner body may be provided, and the blades may be inclined at 40 to 80 degrees.

상기 내부본체의 상단과 결합하고 상기 외부본체의 내벽과 맞대어지며 부상 후 자유낙하 하는 파우더 형태의 증착 대상물이 관통되어 나노입자로 분출된 금속에 파우더 형태의 증착 대상물이 증착된 후 나노입자로 분출된 금속의 온도를 낮추는 냉각장치를 더 구비하고, 상기 냉각장치는 원형파이프형태로 구비되어 상기 내부본체의 상단과 결합하는 결합부분과, 상기 결합부분의 상단에 구비되어 통과하는 파우더 형태의 증착 대상물이 증착된 나노입자로 분출된 금속의 온도를 낮추는 냉각부분과, 상기 냉각부분의 상면 테두리에 구비되어 상기 냉각부분과 상기 외부본체의 내벽 사이의 빈틈을 막는 연결부분을 구비할 수 있다.The deposition object in the form of a powder that is combined with the upper end of the inner body and faces the inner wall of the outer body and falls freely after levitation is penetrated and the object to be deposited in the form of a powder is deposited on the metal ejected as nanoparticles, and then ejected as nanoparticles A cooling device for lowering the temperature of the metal is further provided, wherein the cooling device is provided in the form of a circular pipe and includes a coupling part coupled to the upper end of the inner body, and a powder deposition object provided at the upper end of the coupling section and passing through. A cooling portion for lowering the temperature of the metal ejected by the deposited nanoparticles, and a connection portion provided on the upper edge of the cooling portion to close a gap between the cooling portion and the inner wall of the outer body may be provided.

상기 결합부분은 원형파이프형태의 본체와, 상기 본체의 하단에 형성되어 상기 내부본체의 상단과 결합하는 결합홈과, 상기 본체의 하단에서 연장되어 상기 결합홈에 상기 내부본체의 상단이 결합한 후 상기 내부본체의 외면에 위치하는 제1연장턱과, 상기 본체의 하단에서 연장되어 상기 결합홈에 상기 내부본체의 상단이 결합한 후 상기 내부본체의 내면에 위치하는 제2연장턱과, 상기 제1연장턱에서 하 방향으로 경사지게 연장되어 파우더 형태의 증착 대상물의 순환을 유도하는 제1경사면과, 상기 제2연장턱에서 하 방향으로 경사지게 연장되어 파우더 형태의 증착 대상물의 순환을 유도하는 제2경사면을 구비하고, 상기 냉각부분은 링 형태로 구비되어 상기 결합부분의 상단과 연결되는 제1체결링과, 링 형태로 구비되어 상기 외부본체의 내벽과 맞대어지며 상기 연결부분이 구비되는 제2체결링과, 령 형태로 구비되고 상기 제1체결링 및 상기 제2체결링 사이에 일정간격을 구비되어 냉각수가 내장되는 다수의 냉각수링과, 상기 제1체결링으로부터 방사형으로 구비되어 상기 다수의 냉각수링을 상기 제1체결링 및 상기 제2체결링에 고정하는 다수의 고정대와, 상기 제1체결링, 상기 제2체결링, 상기 다수의 냉각수링 및 상기 다수의 고정대에 사이에 형성되어 파우더 형태의 증착 대상물이 통과하는 통과홀을 구비할 수 있다.The coupling portion includes a body in the form of a circular pipe, a coupling groove formed at the lower end of the body and coupled to the upper end of the inner body, and extending from the lower end of the main body, after the upper end of the inner body is coupled to the coupling groove A first extended jaw located on the outer surface of the inner body, a second extended jaw extending from the lower end of the main body and positioned on the inner surface of the inner body after the upper end of the inner body is coupled to the coupling groove, and the first extension A first inclined surface extending downwardly from the jaw to induce circulation of a powder-type deposition object, and a second inclined surface extending downwardly from the second extended jaw to induce circulation of a powder-type deposition object; and a first fastening ring provided in the form of a ring, wherein the cooling part is provided in a ring shape and connected to the upper end of the coupling part; A plurality of coolant rings provided in the shape of a ring and provided with a predetermined interval between the first fastening ring and the second fastening ring to contain coolant, and radially provided from the first fastening ring to separate the plurality of coolant rings from the first fastening ring. A plurality of fixtures fixed to the first fastening ring and the second fastening ring, the first fastening ring, the second fastening ring, the plurality of coolant rings, and the plurality of fixtures are formed between the plurality of fixtures to form a powder deposition object It may be provided with a through hole through which this passes.

상기 고정대는 일 방항으로 길게 구비되어 양단이 상기 제1체결링 및 상기 제2체결링에 고정되는 베이스플레이트와, 상기 베이스플레이트의 상부와 결합하여 상기 다수의 냉각수링이 끼워지는 다수의 결합유닛과, 상기 다수의 결합유닛 사이에 구비되어 상기 다수의 결합유닛의 간격이 유지되도록 하는 다수의 간격유지유닛을 구비하고, 상기 베이스플레이트에는 상기 베이스플레이트의 길이방향으로 따라 길게 형성되어 상기 결합유닛이 삽입되는 삽입홈이 구비되고, 상기 결합유닛은 상기 냉각수링이 끼워지는 끼움홈이 형성된 끼움부분과, 상기 끼움부분의 하단에 구비되어 상기 삽입홈에 끼워지는 제1삽입부분을 구비하고, 상기 간격유지유닛은 상기 삽입홈에 끼워지는 제2삽입부분을 구비할 수 있다.The fixing base is provided long in one direction and both ends are fixed to the first and second fastening rings; a base plate; and a plurality of coupling units in which the plurality of coolant rings are fitted by being coupled to the upper part of the base plate; , provided between the plurality of coupling units and provided with a plurality of gap maintaining units to maintain the spacing of the plurality of coupling units, the base plate is formed to be elongated in the longitudinal direction of the base plate, and the coupling unit is inserted is provided with an insertion groove, the coupling unit includes a fitting portion having a fitting groove into which the coolant ring is fitted, and a first insertion portion provided at a lower end of the fitting portion to be fitted into the insertion groove, and maintaining the gap The unit may include a second insertion portion fitted into the insertion groove.

본 발명의 따른 나노입자 제조용 진공 교반기에 의하면, 나노입자 제조 효율을 향상시킬 수 있다.According to the vacuum stirrer for producing nanoparticles according to the present invention, it is possible to improve the nanoparticle production efficiency.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 나노입자 제조용 진공 교반기를 나타낸 사시도.
도 2는 도 1에 도시된 나노입자 제조용 진공 교반기의 교반장치를 나타낸 사시도.
도 3은 도 2에 도시된 교반장치를 나타낸 단면도.
도 4는 도 2에 도시된 교반장치에 구비된 냉각장치를 나타낸 단면도.
도 5는 도 4에 도시된 냉각장치를 나타낸 평면도.
도 6은 도 5에 도시된 고정대의 변형 예를 나타낸 사시도.1 is a perspective view showing a vacuum agitator for manufacturing nanoparticles according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a perspective view showing a stirring device of the vacuum agitator for producing nanoparticles shown in Figure 1;
Figure 3 is a cross-sectional view showing the stirring device shown in Figure 2;
4 is a cross-sectional view showing a cooling device provided in the stirring device shown in FIG.
5 is a plan view showing the cooling device shown in FIG.
Figure 6 is a perspective view showing a modified example of the fixture shown in Figure 5.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 나노입자 제조용 진공 교반기에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, a vacuum agitator for manufacturing nanoparticles according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 나노입자 제조용 진공 교반기를 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 나노입자 제조용 진공 교반기의 교반장치를 나타낸 사시도이고, 도 3은 도 2에 도시된 교반장치를 나타낸 단면도이다.1 is a perspective view showing a vacuum agitator for manufacturing nanoparticles according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing a stirring device of the vacuum agitator for manufacturing nanoparticles shown in FIG. 1, and FIG. 3 is shown in FIG. It is a cross-sectional view showing the stirring device.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 나노입자 제조용 진공 교반기(10)는 3차원의 내부공간(11a)이 형성되는 진공챔버(11)와, 진공챔버(11)와 결합하여 내부공간(11a)을 개방 또는 밀폐하는 챔버도어(12)와, 진공챔버(11)에 연결되어 내부공간(11a)의 진공상태가 유지되도록 하는 진공펌프(13)와, 내부공간(11a)에 구비되어 플라즈마를 통해 나노입자로 분출될 금속(20)이 장착되는 마그넷 카소드(Magnet Cathode)(14)와, 마그넷 카소드(14)의 하부에 구비되어 내부에 장입된 파우더 형태의 증착 대상물(30)이 상하방향으로 순환되도록 하는 교반장치(100)를 구비할 수 있다.1 to 3 , the vacuum agitator 10 for manufacturing nanoparticles according to an embodiment of the present invention includes a vacuum chamber 11 in which a three-dimensional internal space 11a is formed, a vacuum chamber 11 and A chamber door 12 coupled to open or close the inner space 11a, a vacuum pump 13 connected to the vacuum chamber 11 to maintain a vacuum state of the inner space 11a, and the inner space 11a ) and a magnet cathode 14 on which the metal 20 to be ejected as nanoparticles through plasma is mounted, and a powder deposition provided at the bottom of the magnet cathode 14 and charged therein It may be provided with a stirring device 100 for allowing the object 30 to circulate in the vertical direction.

나노입자로 분출될 금속(20)으로는 순도 99.9% 이상의 금이 사용될 수 있으며, 파우더 형태의 증착 대상물(30)로는 케톤기(ketone group)를 포함하는 화합물의 대표 예로써 나이아신아마이드(niacinamide)가 사용될 수 있으나, 이에 국한되지 않고 다양한 금속(20)과 파우더 형태의 증착 대상물(30)을 활용할 수 있다.As the metal 20 to be ejected as nanoparticles, gold with a purity of 99.9% or more may be used, and as a representative example of a compound containing a ketone group as the depositing object 30 in powder form, niacinamide is used. It may be used, but is not limited thereto, and various metals 20 and the deposition target 30 in the form of powder may be used.

한편, 교반장치(100)는 상면이 하면보다 넓은 원형파이프형태로 구비되어 경사진 내벽을 통해 파우더 형태의 증착 대상물(30)의 순환을 유도하는 외부본체(110)와, 외부본체(110)의 외벽에 구비되어 나노입자로 분출된 금속(20)에 파우더 형태의 증착 대상물(30)이 증착된 후 나노입자로 분출된 금속(20)의 온도를 낮추는 냉각수관(120)과, 외부본체(110)의 내부에 원형파이프형태로 구비되어 파우더 형태의 증착 대상물(30)이 장입되는 내부본체(130)와, 내부본체(130)의 내부에 구비되고 일 방향으로 회전하여 내부본체(130)에 장입된 파우더 형태의 증착 대상물(30)을 부상시키는 스크루(140)와, 내부본체(130)의 일면에 형성되어 스크루(140)를 통해 부상한 후 자유낙하 하는 파우더 형태의 증착 대상물(30)이 내부본체(130)에 유입되도록 하는 개구부(150)를 구비할 수 있다.On the other hand, the stirring device 100 is provided in the form of a circular pipe with an upper surface wider than the lower surface to induce circulation of the powder-type deposition object 30 through the inclined inner wall, and the outer body 110 and the outer body 110 . A cooling water pipe 120 provided on the outer wall to lower the temperature of the metal 20 ejected as nanoparticles after the deposition target 30 in powder form is deposited on the metal 20 ejected as nanoparticles, and the external body 110 ) provided in the form of a circular pipe inside the inner body 130 to which the deposition target 30 in powder form is charged, and the inner body 130 is provided inside the inner body 130 and rotates in one direction to be charged into the inner body 130 A screw 140 for floating the deposition target 30 in the powder form, and a powder deposition target 30 formed on one surface of the inner body 130 to float through the screw 140 and then freely fall inside. An opening 150 to be introduced into the body 130 may be provided.

스크루(140)는 내부본체(130)의 바닥면 중앙에 위치하여 일 방향으로 회전하는 회전축(141)과, 회전축(141)의 외면에 일정한 간격으로 구비되어 회전축(141)을 통해 발생한 회전력으로 파우더 형태의 증착 대상물(30)을 내부본체(130)에서 상 방향으로 토출하는 다수의 날개(142)를 구비할 수 있다.The screw 140 is located at the center of the bottom surface of the inner body 130 and is provided with a rotation shaft 141 rotating in one direction at regular intervals on the outer surface of the rotation shaft 141 and is powder with rotational force generated through the rotation shaft 141 . A plurality of blades 142 for discharging the deposition object 30 in the form of the inner body 130 in an upward direction may be provided.

여기서, 날개(142)는 40~80도로 기울어지도록 구비되어 파우더 형태의 증착 대상물(30)이 내부공간(11a)에서 상하방향으로 토출되어 흩뿌려지도록 함으로써 서로 엉겨붙거나 교반이 정체되는 것을 방지할 수 있다.Here, the wings 142 are provided to be inclined at 40 to 80 degrees so that the depositing object 30 in the form of a powder is discharged and dispersed in the vertical direction from the inner space 11a to prevent agglomeration or stagnant stirring. can

그리고 교반장치(100)는 진공상태에서 파우더 형태의 증착 대상물(30)에 물리적인 힘을 가해 파우더 형태의 증착 대상물(30)이 정체되거나 멈추지 않고 계속해서 상하로 순환하면서 자유낙하 함과 동시에 나노입자로 분출된 금속(20)의 입자와 부딪히도록 할 수 있다.And the stirring device 100 applies a physical force to the deposition object 30 in the form of powder in a vacuum state so that the object to be deposited in the form of powder 30 does not stagnate or stop, but continuously circulates up and down while freely falling and nanoparticles It can be made to collide with the particles of the ejected metal 20 .

또한, 나노입자로 분출된 금속(20)의 입자는 파우더 형태의 증착 대상물(30)과 약하게 결합하거나 결합하지 않고 입자 상태로 파우더 형태의 증착 대상물(30)과 함께 교반되고, 교반이 멈추고 진공이 파기될 때까지 계속해서 같은 과정이 반복될 수 있다.In addition, the particles of the metal 20 ejected as nanoparticles are agitated together with the deposition object 30 in the form of a powder in the form of particles without or weakly bonding with the object to be deposited in the form of a powder 30, the stirring is stopped, and the vacuum is The same process can be repeated over and over again until it is destroyed.

이를 통해, 수분, 유해물질, 이물질 등이 존재하지 않으면서 나노입자로 분출된 금속(20)의 순도와 동일한 나노입자를 얻어낼 수 있다.Through this, it is possible to obtain nanoparticles having the same purity as the metal 20 ejected as nanoparticles without the presence of moisture, harmful substances, foreign substances, and the like.

다음은 본 발명의 일 실시 예에 따른 나노입자 제조용 진공 교반기(10)의 나노입자 제조 효율을 향상시킬 수 있는 냉각장치(200)에 대해 설명하도록 한다. 이하의 설명에서는 상술한 실시 예와 서로 다른 부분만을 상세하게 설명하며 동일하거나 극히 유사한 부분에 대해서는 상세한 설명을 생략한다.Next, a cooling device 200 capable of improving the nanoparticle production efficiency of the vacuum agitator 10 for nanoparticle production according to an embodiment of the present invention will be described. In the following description, only parts different from those of the above-described embodiment will be described in detail, and detailed descriptions of the same or extremely similar parts will be omitted.

도 4는 도 2에 도시된 교반장치에 구비된 냉각장치를 나타낸 단면도이고, 도 5는 도 4에 도시된 냉각장치를 나타낸 평면도이다.4 is a cross-sectional view showing a cooling device provided in the stirring device shown in FIG. 2 , and FIG. 5 is a plan view showing the cooling device shown in FIG. 4 .

도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 나노입자 제조용 진공 교반기(10)는 내부본체(130)의 상단과 결합하고 외부본체(110)의 내벽과 맞대어지며 부상 후 자유낙하 하는 파우더 형태의 증착 대상물(30)이 관통되어 나노입자로 분출된 금속(20)에 파우더 형태의 증착 대상물(30)이 증착된 후 나노입자로 분출된 금속(20)의 온도를 낮추는 냉각장치(200)를 더 구비할 수 있다.1 to 5 , the vacuum agitator 10 for manufacturing nanoparticles according to an embodiment of the present invention is combined with the upper end of the inner body 130 and is buttted with the inner wall of the outer body 110 and free fall after levitation A cooling device ( 200) may be further provided.

냉각장치(200)는 원형파이프형태로 구비되어 내부본체(130)의 상단과 결합하는 결합부분(210)과, 결합부분(210)의 상단에 구비되어 통과하는 파우더 형태의 증착 대상물(30)이 증착된 나노입자로 분출된 금속(20)의 온도를 낮추는 냉각부분(220)과, 냉각부분(220)의 상면 테두리에 구비되어 냉각부분(220)과 외부본체(110)의 내벽 사이의 빈틈을 막는 연결부분(230)을 구비할 수 있다.The cooling device 200 is provided in the form of a circular pipe and includes a coupling part 210 coupled with the upper end of the inner body 130, and a powder deposition object 30 provided at the top of the coupling part 210 and passing through. The cooling part 220 for lowering the temperature of the metal 20 ejected with the deposited nanoparticles, and provided on the upper edge of the cooling part 220 to close the gap between the cooling part 220 and the inner wall of the outer body 110 A blocking connection part 230 may be provided.

여기서, 결합부분(210)은 냉각장치(200)를 교반장치(100)에 결합 및 고정하는 역할을 하고, 냉각부분(220)은 실질적으로 나노입자로 분출된 금속(20)에 파우더 형태의 증착 대상물(30)이 증착된 후 나노입자로 분출된 금속(20)의 온도를 낮추는 역할을 하며, 연결부분(230)은 교반장치(100)와 냉각장치(200) 간의 빈틈이 발생하는 것을 막아 부상 후 자유낙하 하는 파우더 형태의 증착 대상물(30)이 최대한 냉각장치(200)를 통과하도록 할 수 있다.Here, the coupling part 210 serves to couple and fix the cooling device 200 to the stirring device 100 , and the cooling part 220 is substantially deposited in the form of powder on the metal 20 ejected as nanoparticles. After the object 30 is deposited, it serves to lower the temperature of the metal 20 ejected as nanoparticles, and the connection part 230 prevents a gap between the stirring device 100 and the cooling device 200 from occurring and is injured. After that, it is possible to allow the deposition target 30 in the form of powder, which is freely falling, to pass through the cooling device 200 as much as possible.

이를 위해, 결합부분(210)은 원형파이프형태의 본체(211)와, 본체(211)의 하단에 형성되어 내부본체(130)의 상단과 결합하는 결합홈(212)과, 본체(211)의 하단에서 연장되어 결합홈(212)에 내부본체(130)의 상단이 결합한 후 내부본체(130)의 외면에 위치하는 제1연장턱(213)과, 본체(211)의 하단에서 연장되어 결합홈(212)에 내부본체(130)의 상단이 결합한 후 내부본체(130)의 내면에 위치하는 제2연장턱(214)과, 제1연장턱(213)에서 하 방향으로 경사지게 연장되어 파우더 형태의 증착 대상물(30)의 순환을 유도하는 제1경사면(215)과, 제2연장턱(214)에서 하 방향으로 경사지게 연장되어 파우더 형태의 증착 대상물(30)의 순환을 유도하는 제2경사면(216)을 구비할 수 있다.To this end, the coupling part 210 includes a body 211 in the form of a circular pipe, a coupling groove 212 formed at the lower end of the body 211 and coupled to the top of the inner body 130 , and the body 211 . After the upper end of the inner body 130 is coupled to the coupling groove 212 extending from the lower end, the first extended jaw 213 positioned on the outer surface of the inner body 130, and the coupling groove extending from the lower end of the body 211 After the upper end of the inner body 130 is coupled to the 212, the second extended jaw 214 positioned on the inner surface of the inner body 130, and the first extended jaw 213 inclined downwardly extending in the form of a powder The first inclined surface 215 for inducing circulation of the deposition object 30 and the second inclined surface 216 extending downward from the second extended sill 214 to induce circulation of the deposition object 30 in powder form ) can be provided.

본체(211), 제1연장턱(213) 및 제2연장턱(214)은 'ㄷ'자 형상으로 구비되어 내측공간에 결합홈(212)이 위치하고, 제1경사면(215)과 제2경사면(216)은 상 방향으로 갈수록 말단이 서로 벌어지는 형태로 구비되며, 제1경사면(215)은 파우더 형태의 증착 대상물(30)이 스크루(140)를 통해 부상할 시 자연스럽게 타고올라 상 방향으로 이동하도록 유도하고, 제2경사면(216)은 자유낙하 할 시 자연스럽게 타고 내려가 하 방향으로 이동하도록 유도할 수 있다.The main body 211, the first extended sill 213 and the second extended sill 214 are provided in a 'C' shape so that the coupling groove 212 is located in the inner space, and the first inclined surface 215 and the second inclined surface are provided. 216 is provided in a form in which the ends are spread apart in the upward direction, and the first inclined surface 215 naturally rises and moves upward when the deposition target 30 in the form of powder floats through the screw 140 . Induction, the second inclined surface 216 can be induced to naturally descend and move in the downward direction during free fall.

한편, 냉각부분(220)은 링 형태로 구비되어 결합부분(210)의 상단과 연결되는 제1체결링(221)과, 링 형태로 구비되어 외부본체(110)의 내벽과 맞대어지며 연결부분(230)이 구비되는 제2체결링(222)과, 령 형태로 구비되고 제1체결링(221) 및 제2체결링(222) 사이에 일정간격을 구비되어 냉각수가 내장되는 다수의 냉각수링(223)과, 제1체결링(221)으로부터 방사형으로 구비되어 다수의 냉각수링(223)을 제1체결링(221) 및 제2체결링(222)에 고정하는 다수의 고정대(224)와, 제1체결링(221), 제2체결링(222), 다수의 냉각수링(223) 및 다수의 고정대(224)에 사이에 형성되어 파우더 형태의 증착 대상물(30)이 통과하는 통과홀(225)을 구비할 수 있다.On the other hand, the cooling portion 220 is provided in the form of a ring and connected to the upper end of the coupling portion 210, the first fastening ring 221, and provided in the form of a ring to face the inner wall of the outer body 110 and connect the portion ( A plurality of cooling water rings ( 223) and a plurality of fixtures 224 provided radially from the first fastening ring 221 to fix the plurality of coolant rings 223 to the first fastening ring 221 and the second fastening ring 222; The first fastening ring 221 , the second fastening ring 222 , the plurality of coolant rings 223 , and the plurality of fixing tables 224 are formed between the through holes 225 through which the deposition object 30 in the form of powder passes. ) can be provided.

다수의 냉각수링(223)은 제1체결링(221)에서 제2체결링(222) 방향으로 갈수록 지름이 길게 구비되고, 고정대(224)는 제1체결링(221)에서 제2체결링(222) 방향으로 긴 형상의 파이프 형태로 구비되어 다수의 냉각수링(223)이 고정대(224)에 얹혀져 끼워지는 형태로 구비되며, 파우더 형태의 증착 대상물(30)은 통과홀(225)을 통해 냉각부분(220)의 상부에서 하부로 통과하면서 냉각수링(223)과 직간접적으로 접촉될 수 있다.The plurality of cooling water rings 223 are provided with a longer diameter in the direction from the first fastening ring 221 to the second fastening ring 222 , and the fixing base 224 is provided from the first fastening ring 221 to the second fastening ring ( 222) is provided in the form of a long pipe in the direction, and a plurality of cooling water rings 223 are mounted on the fixing table 224 to be fitted, and the deposition object 30 in the form of powder is cooled through a through hole 225. It may be in direct or indirect contact with the coolant ring 223 while passing from the upper portion to the lower portion of the portion 220 .

이에 따라, 나노입자로 분출된 금속(20)에 파우더 형태의 증착 대상물(30)이 증착된 후 나노입자로 분출된 금속(20)의 온도를 낮추는 효과를 더욱 높여 나노입자 제조 효율을 향상시킬 수 있다.Accordingly, after the deposition target 30 in powder form is deposited on the metal 20 ejected as nanoparticles, the effect of lowering the temperature of the metal 20 ejected as nanoparticles can be further increased to improve the nanoparticle manufacturing efficiency. have.

다음은 본 발명의 일 실시 예에 따른 나노입자 제조용 진공 교반기(10)에 구비되는 냉각장치(200)의 냉각부분(220)에 구비되는 고정대(224)의 변형 예에 대해 설명하도록 한다. 이하의 설명에서는 상술한 실시 예와 서로 다른 부분만을 상세하게 설명하며 동일하거나 극히 유사한 부분에 대해서는 상세한 설명을 생략한다.Next, a modified example of the holder 224 provided in the cooling part 220 of the cooling device 200 provided in the vacuum agitator 10 for manufacturing nanoparticles according to an embodiment of the present invention will be described. In the following description, only parts different from those of the above-described embodiment will be described in detail, and detailed descriptions of the same or extremely similar parts will be omitted.

도 6은 도 5에 도시된 고정대의 변형 예를 나타낸 사시도이다.6 is a perspective view illustrating a modified example of the fixture shown in FIG. 5 .

도 1 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 나노입자 제조용 진공 교반기(10)는 냉각장치(200)를 구비하고, 냉각장치(200)의 냉각부분(220)에 구비되는 고정대(224)는 일 방항으로 길게 구비되어 양단이 제1체결링(221) 및 제2체결링(222)에 고정되는 베이스플레이트(2241)와, 베이스플레이트(2241)의 상부와 결합하여 다수의 냉각수링(223)이 끼워지는 다수의 결합유닛(2242)과, 다수의 결합유닛(2242) 사이에 구비되어 다수의 결합유닛(2242)의 간격이 유지되도록 하는 다수의 간격유지유닛(2243)을 구비할 수 있다.1 to 6 , the vacuum agitator 10 for manufacturing nanoparticles according to an embodiment of the present invention includes a cooling device 200 , and a holder provided in the cooling part 220 of the cooling device 200 . (224) is provided long in one direction, both ends are fixed to the first fastening ring 221 and the second fastening ring 222, the base plate 2241, coupled with the upper portion of the base plate 2241, a plurality of coolant A plurality of coupling units 2242 in which the ring 223 is fitted, and a plurality of spacing maintaining units 2243 provided between the plurality of coupling units 2242 to maintain the spacing of the plurality of coupling units 2242 are provided. can do.

그리고 베이스플레이트(2241)에는 베이스플레이트(2241)의 길이방향으로 따라 길게 형성되어 결합유닛(2242)이 삽입되는 삽입홈(2241a)이 구비되고, 결합유닛(2242)은 냉각수링(223)이 끼워지는 끼움홈(2242a)이 형성된 끼움부분(2242b)과, 끼움부분(2242b)의 하단에 구비되어 삽입홈(2241a)에 끼워지는 제1삽입부분(2242c)을 구비할 수 있다.And the base plate 2241 is formed long in the longitudinal direction of the base plate 2241 and is provided with an insertion groove 2241a into which the coupling unit 2242 is inserted, and the coupling unit 2242 has a coolant ring 223 inserted thereinto. It may include a fitting portion 2242b in which the fitting groove 2242a is formed, and a first insertion portion 2242c provided at the lower end of the fitting portion 2242b to be fitted into the insertion groove 2241a.

베이스플레이트(2241)는 상측이 개방된 'U'자 형태로 구비되어 내측공간에 삽입홈(2241a)이 형성되고, 끼움홈(2242a)은 냉각수링(223)의 하측 절반이 끼워질 수 있도록 형성될 수 있다.The base plate 2241 is provided in a 'U' shape with an open upper side so that an insertion groove 2241a is formed in the inner space, and the fitting groove 2242a is formed so that the lower half of the coolant ring 223 can be fitted. can be

여기서, 결합유닛(2242)은 제1삽입부분(2242c)을 통해 베이스플레이트(2241)에 탈착되도록 구비되어 다수의 냉각수링(223)의 간격과 냉각수링(223)의 개수를 용이하게 변경할 수 있고, 간격유지유닛(2243)은 제1삽입부분(2242c)과 동일한 제2삽입부분(2243a)을 구비하여 결합유닛(2242)과 마찬가지로 베이스플레이트(2241)에 탈착되도록 구비되며 서로 이웃하는 한 쌍의 결합유닛(2242) 사이에 적어도 하나 이상이 구비되어 결합유닛(2242) 간의 간격이 유지되도록 할 수 있다.Here, the coupling unit 2242 is provided to be detachably attached to the base plate 2241 through the first inserting portion 2242c, so that the interval between the plurality of coolant rings 223 and the number of coolant rings 223 can be easily changed. , the gap maintaining unit 2243 is provided to be detachably attached to the base plate 2241 like the coupling unit 2242 by having a second inserting part 2243a identical to the first inserting part 2242c, and a pair of adjacent to each other At least one or more may be provided between the coupling units 2242 so that the interval between the coupling units 2242 is maintained.

이에 따라, 나노입자로 분출될 금속(20)이나 파우더 형태의 증착 대상물(30)의 종류 또는 얻고자 하는 나노입자의 크기 등을 고려하여 다수의 냉각수링(223)의 간격과 냉각수링(223)의 개수를 용이하게 변경할 수 있고, 다수의 냉각수링(223)의 간격이 흐트러지는 것을 방지할 수 있다.Accordingly, in consideration of the type of the metal 20 to be ejected as nanoparticles or the deposition object 30 in powder form, or the size of the nanoparticles to be obtained, the spacing between the plurality of cooling water rings 223 and the cooling water rings 223 The number of can be easily changed, and it is possible to prevent the spacing of the plurality of coolant rings 223 from being disturbed.

이상에서는 본 발명의 일 실시 예에 따른 나노입자 제조용 진공 교반기에 대해 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시 예에 제한되지 아니한다. 그리고 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시 예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.In the above, the vacuum agitator for manufacturing nanoparticles according to an embodiment of the present invention has been described, but the spirit of the present invention is not limited to the embodiments presented herein. And those skilled in the art who understand the spirit of the present invention will be able to easily suggest other embodiments by addition, change, deletion, addition, etc. of components within the scope of the same spirit, but this is also said to be within the scope of the present invention. will be.

10: 나노입자 제조용 진공 교반기
11: 진공챔버 11a: 내부공간
12: 챔버도어 13: 진공펌프
14: 마그넷 카소드 20: 금속
30: 파우더 형태의 증착 대상물 100: 교반장치
110: 외부본체 120: 냉각수관
130: 내부본체 140: 스크루
141: 회전축 142: 날개
150: 개구부 200: 냉각장치
210: 결합부분 211: 본체
212: 결합홈 213: 제1연장턱
214: 제2연장턱 215: 제1경사면
216: 제2경사면 220: 냉각부분
221: 제1체결링 222: 제2체결링
223: 냉각수링 224: 고정대
2241: 베이스플레이트 2241a: 삽입홈
2242: 결합유닛 2242a: 끼움홈
2242b: 끼움부분 2242c: 제1삽입부분
2243: 간격유지유닛 2243a: 제2삽입부분
225: 통과홀 230: 연결부분10: vacuum agitator for nanoparticle production
11: vacuum chamber 11a: inner space
12: chamber door 13: vacuum pump
14: magnet cathode 20: metal
30: depositing object in powder form 100: stirring device
110: outer body 120: cooling water pipe
130: inner body 140: screw
141: axis of rotation 142: wing
150: opening 200: cooling device
210: coupling portion 211: body
212: coupling groove 213: first extended jaw
214: second extended jaw 215: first inclined surface
216: second inclined surface 220: cooling part
221: first fastening ring 222: second fastening ring
223: coolant ring 224: fixture
2241: base plate 2241a: insertion groove
2242: coupling unit 2242a: fitting groove
2242b: fitting portion 2242c: first insertion portion
2243: gap maintaining unit 2243a: second insertion portion
225: through hole 230: connection part

Claims (5)

3차원의 내부공간이 형성되는 진공챔버와,
상기 진공챔버와 결합하여 상기 내부공간을 개방 또는 밀폐하는 챔버도어와,
상기 진공챔버에 연결되어 상기 내부공간의 진공상태가 유지되도록 하는 진공펌프와,
상기 내부공간에 구비되어 플라즈마를 통해 나노입자로 분출될 금속이 장착되는 마그넷 카소드(Magnet Cathode)와,
상기 마그넷 카소드의 하부에 구비되어 내부에 장입된 파우더 형태의 증착 대상물을 상하방향으로 순환시키는 교반장치를 구비하고,
상기 교반장치는 상면이 하면보다 넓은 원형파이프형태로 구비되어 경사진 내벽을 통해 파우더 형태의 증착 대상물의 순환을 유도하는 외부본체와, 상기 외부본체의 외벽에 구비되어 나노입자로 분출된 금속에 파우더 형태의 증착 대상물이 증착된 후 나노입자로 분출된 금속의 온도를 낮추는 냉각수관과, 상기 외부본체의 내부에 원형파이프형태로 구비되어 파우더 형태의 증착 대상물이 장입되는 내부본체와, 상기 내부본체의 내부에 구비되고 일 방향으로 회전하여 상기 내부본체에 장입된 파우더 형태의 증착 대상물을 부상시키는 스크루와, 상기 내부본체의 일면에 형성되어 상기 스크루를 통해 부상한 후 자유낙하 하는 파우더 형태의 증착 대상물이 상기 내부본체에 유입되도록 하는 개구부를 구비하고, 상기 스크루는 상기 내부본체의 바닥면 중앙에 위치하여 일 방향으로 회전하는 회전축과, 상기 회전축의 외면에 일정한 간격으로 구비되어 상기 회전축을 통해 발생한 회전력으로 파우더 형태의 증착 대상물을 상기 내부본체에서 상 방향으로 토출하는 다수의 날개를 구비하고, 상기 날개는 40~80도로 기울어지도록 구비되고,
상기 내부본체의 상단과 결합하고 상기 외부본체의 내벽과 맞대어지며 부상 후 자유낙하 하는 파우더 형태의 증착 대상물이 관통되어 나노입자로 분출된 금속에 파우더 형태의 증착 대상물이 증착된 후 나노입자로 분출된 금속의 온도를 낮추는 냉각장치를 더 구비하고, 상기 냉각장치는 원형파이프형태로 구비되어 상기 내부본체의 상단과 결합하는 결합부분과, 상기 결합부분의 상단에 구비되어 통과하는 파우더 형태의 증착 대상물이 증착된 나노입자로 분출된 금속의 온도를 낮추는 냉각부분과, 상기 냉각부분의 상면 테두리에 구비되어 상기 냉각부분과 상기 외부본체의 내벽 사이의 빈틈을 막는 연결부분을 구비하는 것을 특징으로 하는 나노입자 제조용 진공 교반기.
A vacuum chamber in which a three-dimensional inner space is formed, and
A chamber door coupled with the vacuum chamber to open or close the inner space;
a vacuum pump connected to the vacuum chamber to maintain a vacuum state of the inner space;
A magnet cathode provided in the inner space to which a metal to be ejected as nanoparticles through plasma is mounted;
A stirring device provided under the magnet cathode to circulate the deposition target in the form of powder charged therein in the vertical direction,
The stirring device is provided in the form of a circular pipe with an upper surface wider than the lower surface to induce circulation of a powder-type deposition target through an inclined inner wall, and an outer body provided on the outer wall of the outer body to form a metal sprayed with nanoparticles. A cooling water pipe for lowering the temperature of the metal ejected as nanoparticles after the deposition object in the form of a deposition object is deposited; A screw provided inside and rotating in one direction to float the deposition object in the form of a powder charged into the inner body, and a powder-type deposition object formed on one surface of the inner body to float through the screw and then freely fall An opening to flow into the inner body is provided, and the screw is located at the center of the bottom surface of the inner body and rotates in one direction. A plurality of blades for discharging a powder-form deposition object in an upward direction from the inner body are provided, and the blades are provided to be inclined at 40 to 80 degrees,
The depositing object in the form of a powder that is combined with the upper end of the inner body and faces the inner wall of the outer body and falls freely after levitation is penetrated through the metal ejected as nanoparticles. A cooling device for lowering the temperature of the metal is further provided, wherein the cooling device is provided in the form of a circular pipe and includes a coupling part coupled to the upper end of the inner body, and a powder deposition object provided at the upper end of the coupling section and passing through. Nanoparticles, characterized in that it comprises a cooling part for lowering the temperature of the metal ejected by the deposited nanoparticles, and a connection part provided on the upper edge of the cooling part to close a gap between the cooling part and the inner wall of the outer body Manufacturing vacuum agitator.
 삭제delete 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 결합부분은 원형파이프형태의 본체와, 상기 본체의 하단에 형성되어 상기 내부본체의 상단과 결합하는 결합홈과, 상기 본체의 하단에서 연장되어 상기 결합홈에 상기 내부본체의 상단이 결합한 후 상기 내부본체의 외면에 위치하는 제1연장턱과, 상기 본체의 하단에서 연장되어 상기 결합홈에 상기 내부본체의 상단이 결합한 후 상기 내부본체의 내면에 위치하는 제2연장턱과, 상기 제1연장턱에서 하 방향으로 경사지게 연장되어 파우더 형태의 증착 대상물의 순환을 유도하는 제1경사면과, 상기 제2연장턱에서 하 방향으로 경사지게 연장되어 파우더 형태의 증착 대상물의 순환을 유도하는 제2경사면을 구비하고,
상기 냉각부분은 링 형태로 구비되어 상기 결합부분의 상단과 연결되는 제1체결링과, 링 형태로 구비되어 상기 외부본체의 내벽과 맞대어지며 상기 연결부분이 구비되는 제2체결링과, 령 형태로 구비되고 상기 제1체결링 및 상기 제2체결링 사이에 일정간격을 구비되어 냉각수가 내장되는 다수의 냉각수링과, 상기 제1체결링으로부터 방사형으로 구비되어 상기 다수의 냉각수링을 상기 제1체결링 및 상기 제2체결링에 고정하는 다수의 고정대와, 상기 제1체결링, 상기 제2체결링, 상기 다수의 냉각수링 및 상기 다수의 고정대에 사이에 형성되어 파우더 형태의 증착 대상물이 통과하는 통과홀을 구비하는 것을 특징으로 하는 나노입자 제조용 진공 교반기.
The method of claim 1,
The coupling portion includes a circular pipe-shaped body, a coupling groove formed at the lower end of the body and coupled to the upper end of the inner body, and the upper end of the inner body extending from the lower end of the body and coupled to the coupling groove. A first extended jaw located on the outer surface of the inner body, a second extended jaw extending from the lower end of the main body and positioned on the inner surface of the inner body after the upper end of the inner body is coupled to the coupling groove, and the first extension A first inclined surface extending downwardly from the jaw to induce circulation of a powder-type deposition object, and a second inclined surface extending downwardly from the second extended jaw to induce circulation of a powder-type deposition object; do,
The cooling portion is provided in the form of a ring and connected to the upper end of the coupling portion, a first fastening ring, a second fastening ring provided in the form of a ring and facing the inner wall of the outer body and provided with the connecting portion, and a ring shape a plurality of cooling water rings provided with a predetermined interval between the first fastening ring and the second fastening ring to contain coolant, and a plurality of cooling water rings provided radially from the first fastening ring to connect the plurality of cooling water rings to the first A plurality of fixtures fixed to the fastening ring and the second fastening ring, and the first fastening ring, the second fastening ring, the plurality of coolant rings, and the plurality of fixtures are formed between the plurality of fixtures, so that an object to be deposited in powder form passes through Vacuum stirrer for producing nanoparticles, characterized in that it has a through hole.
 제 4항에 있어서,
상기 고정대는 일 방항으로 길게 구비되어 양단이 상기 제1체결링 및 상기 제2체결링에 고정되는 베이스플레이트와,
상기 베이스플레이트의 상부와 결합하여 상기 다수의 냉각수링이 끼워지는 다수의 결합유닛과,
상기 다수의 결합유닛 사이에 구비되어 상기 다수의 결합유닛의 간격이 유지되도록 하는 다수의 간격유지유닛을 구비하고,
상기 베이스플레이트에는 상기 베이스플레이트의 길이방향으로 따라 길게 형성되어 상기 결합유닛이 삽입되는 삽입홈이 구비되고,
상기 결합유닛은 상기 냉각수링이 끼워지는 끼움홈이 형성된 끼움부분과, 상기 끼움부분의 하단에 구비되어 상기 삽입홈에 끼워지는 제1삽입부분을 구비하고,
상기 간격유지유닛은 상기 삽입홈에 끼워지는 제2삽입부분을 구비하는 것을 특징으로 하는 나노입자 제조용 진공 교반기.5. The method of claim 4,
the base plate is provided long in one direction and both ends are fixed to the first fastening ring and the second fastening ring;
A plurality of coupling units coupled to the upper portion of the base plate to which the plurality of coolant rings are fitted;
A plurality of space maintaining units provided between the plurality of coupling units to maintain the distance between the plurality of coupling units,
The base plate is provided with an insertion groove which is formed long in the longitudinal direction of the base plate and into which the coupling unit is inserted,
The coupling unit includes a fitting portion having a fitting groove into which the coolant ring is fitted, and a first insertion portion provided at a lower end of the fitting portion and fitted into the insertion groove,
The gap maintaining unit is a vacuum agitator for manufacturing nanoparticles, characterized in that it has a second insertion portion fitted into the insertion groove.
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