KR102340217B1 - industrial robot - Google Patents
industrial robot Download PDFInfo
- Publication number
- KR102340217B1 KR102340217B1 KR1020197036454A KR20197036454A KR102340217B1 KR 102340217 B1 KR102340217 B1 KR 102340217B1 KR 1020197036454 A KR1020197036454 A KR 1020197036454A KR 20197036454 A KR20197036454 A KR 20197036454A KR 102340217 B1 KR102340217 B1 KR 102340217B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- hand
- motor
- fixed
- arm
- support member
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
- B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
- B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
- B25J9/041—Cylindrical coordinate type
- B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
- B25J9/043—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm double selective compliance articulated robot arms [SCARA]
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
암에 대하여 직선적으로 왕복 이동하는 제1 핸드 및 제2 핸드를 갖는 산업용 로봇에 있어서, 제1 핸드 및 제2 핸드의 동작을 안정시키는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공한다. 이 산업용 로봇은, 제1 핸드가 고정되는 핸드 지지 부재(7)와, 제2 핸드가 고정되는 핸드 지지 부재(8)와, 암에 대하여 전후 방향으로 핸드 지지 부재(7)를 왕복 이동시키기 위한 제1 모터(37) 및 벨트(50)와, 암에 대하여 전후 방향으로 핸드 지지 부재(8)를 왕복 이동시키기 위한 제2 모터 및 벨트(54)를 구비하고 있다. 전후 방향에서 보았을 때에 핸드 지지 부재(7)에 고정되는 벨트(50)는 제1 모터(37)의 양측의 각각에 배치되고, 핸드 지지 부재(8)에 고정되는 벨트(54)는 제2 모터의 양측의 각각에 배치되어 있다. 또한 벨트(54)는 좌우 방향으로 벨트(50)와 인접하도록, 또한 벨트(50)와 동일한 높이로 배치되어 있다.An industrial robot having a first hand and a second hand that linearly reciprocate with respect to an arm, the industrial robot capable of stabilizing the operation of the first hand and the second hand is provided. This industrial robot has a hand support member 7 to which a first hand is fixed, a hand support member 8 to which a second hand is fixed, and an arm for reciprocating the hand support member 7 in the front-rear direction with respect to the arm. A first motor (37) and a belt (50), and a second motor and a belt (54) for reciprocating the hand support member (8) with respect to the arm are provided. The belt 50 fixed to the hand supporting member 7 when viewed from the front-rear direction is arranged on each of both sides of the first motor 37, and the belt 54 fixed to the hand supporting member 8 is the second motor placed on each side of the Moreover, the belt 54 is arrange|positioned so that it may adjoin the belt 50 in the left-right direction, and is also arrange|positioned at the same height as the belt 50. As shown in FIG.
Description
본 발명은, 소정의 반송 대상물을 반송하는 산업용 로봇에 관한 것이다.The present invention relates to an industrial robot that transports a predetermined transport target.
종래, 유리 기판을 반송하는 산업용 로봇이 알려져 있다(예를 들어 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 유리 기판이 탑재되는 제1 핸드 및 제2 핸드와, 제1 핸드가 고정되는 제1 핸드 지지 부재와, 제2 핸드가 고정되는 제2 핸드 지지 부재와, 제1 핸드 지지 부재 및 제2 핸드 지지 부재를 보유 지지하는 암과, 암을 보유 지지하는 암 지지 부재를 구비하고 있다. 암은, 전후 방향으로 가늘고 긴 대략 직육면체형으로 형성되어 있다. 제1 핸드 지지 부재 및 제2 핸드 지지 부재는 암에 대하여 전후 방향으로 직선적으로 왕복 이동 가능하게 되어 있다.DESCRIPTION OF RELATED ART Conventionally, the industrial robot which conveys a glass substrate is known (for example, refer patent document 1). The industrial robot described in Patent Document 1 includes a first hand and a second hand on which a glass substrate is mounted, a first hand support member to which the first hand is fixed, a second hand support member to which the second hand is fixed, and a second hand support member to which the second hand is fixed; An arm holding the first hand supporting member and the second hand supporting member, and an arm supporting member holding the arm are provided. The arm is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape elongated in the front-rear direction. The first hand supporting member and the second hand supporting member are linearly reciprocating with respect to the arm in the front-rear direction.
또한 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 암에 대하여 제1 핸드 지지 부재를 왕복 이동시키는 제1 구동 기구와, 암에 대하여 제2 핸드 지지 부재를 왕복 이동시키는 제2 구동 기구를 구비하고 있다. 제1 구동 기구는, 외주면에 수나사가 형성되는 제1 나사 부재와, 제1 핸드 지지 부재에 고정됨과 함께 제1 나사 부재에 걸림 결합하는 제1 너트 부재와, 제1 나사 부재를 회전시키는 제1 모터를 구비하고 있다. 제2 구동 기구는, 외주면에 수나사가 형성되는 제2 나사 부재와, 제2 핸드 지지 부재에 고정됨과 함께 제2 나사 부재에 걸림 결합하는 제2 너트 부재와, 제2 나사 부재를 회전시키는 제2 모터를 구비하고 있다. 제1 나사 부재는 암의 좌측면을 따라 배치되어 있다. 제2 나사 부재는 암의 우측면을 따라 배치되어 있다.Moreover, the industrial robot described in patent document 1 is provided with the 1st drive mechanism which reciprocates the 1st hand support member with respect to an arm, and the 2nd drive mechanism which reciprocates the 2nd hand support member with respect to the arm. The first driving mechanism includes a first screw member having an external thread formed on an outer circumferential surface, a first nut member fixed to the first hand support member and engaged with the first screw member, and a first screw member for rotating the first screw member. A motor is provided. The second driving mechanism includes a second screw member having an external thread formed on an outer circumferential surface, a second nut member fixed to the second hand support member and engaged with the second screw member, and a second screw member for rotating the second screw member. A motor is provided. The first screw member is disposed along the left side of the arm. The second screw member is disposed along the right side of the arm.
특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇에서는, 암의 좌측면을 따라 배치되는 제1 나사 부재와 제1 너트 부재를 이용하여 제1 핸드 지지 부재를 전후 방향으로 이동시키고 있기 때문에, 제1 핸드에 탑재되는 유리 기판의 무게 중심 위치의 영향 등으로, 이동 시의 제1 핸드 지지 부재에, 제1 나사 부재를 중심으로 하는 모멘트가 생길 우려가 있다. 또한 이 산업용 로봇에서는, 암의 우측면을 따라 배치되는 제2 나사 부재와 제2 너트 부재를 이용하여 제2 핸드 지지 부재를 전후 방향으로 이동시키고 있기 때문에, 제2 핸드에 탑재되는 유리 기판의 무게 중심 위치의 영향 등으로, 이동 시의 제2 핸드 지지 부재에, 제2 나사 부재를 중심으로 하는 모멘트가 생길 우려가 있다. 따라서 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇에서는, 제1 핸드 및 제2 핸드의 동작이 불안정해질 우려가 있다.In the industrial robot described in Patent Document 1, since the first hand support member is moved in the front-rear direction using the first screw member and the first nut member disposed along the left side of the arm, the glass mounted on the first hand Due to the influence of the position of the center of gravity of the substrate or the like, there is a possibility that a moment centered on the first screw member may occur in the first hand supporting member during movement. In addition, in this industrial robot, since the second hand support member is moved in the front-rear direction using the second screw member and the second nut member disposed along the right side of the arm, the center of gravity of the glass substrate mounted on the second hand Due to the influence of the position or the like, there is a possibility that a moment centered on the second screw member may occur in the second hand supporting member during movement. Therefore, in the industrial robot described in patent document 1, there exists a possibility that the operation|movement of a 1st hand and a 2nd hand may become unstable.
그래서 본 발명의 과제는, 암에 대하여 직선적으로 왕복 이동하는 제1 핸드 및 제2 핸드를 갖는 산업용 로봇에 있어서, 제1 핸드 및 제2 핸드의 동작을 안정시키는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공하는 데에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide an industrial robot capable of stabilizing the operation of the first hand and the second hand in an industrial robot having a first hand and a second hand reciprocating linearly with respect to an arm. have.
상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 산업용 로봇은, 반송 대상물이 탑재되는 제1 핸드 및 제2 핸드와, 제1 핸드가 고정되는 제1 핸드 지지 부재와, 제2 핸드가 고정되는 제2 핸드 지지 부재와, 제1 핸드 지지 부재와 제2 핸드 지지 부재가 수평 방향의 동일한 방향으로 직선적으로 왕복 이동 가능해지도록 제1 핸드 지지 부재 및 제2 핸드 지지 부재를 보유 지지하는 암과, 암에 대하여 제1 핸드 지지 부재를 왕복 이동시키는 제1 구동 기구와, 암에 대하여 제2 핸드 지지 부재를 왕복 이동시키는 제2 구동 기구를 구비하고, 제1 구동 기구 및 제2 구동 기구는 암의 내부에 배치되고, 암에 대한 제1 핸드 지지 부재 및 제2 핸드 지지 부재의 이동 방향을 전후 방향이라 하고, 상하 방향과 전후 방향에 직교하는 방향을 좌우 방향이라 하면, 제1 구동 기구는, 구동원으로서의 제1 모터와, 제1 모터의 동력으로 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전함과 함께 전후 방향에 있어서의 암의 일 단부측의 내부에 배치되는 2개의 제1 구동 풀리와, 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전함과 함께 전후 방향에 있어서의 암의 타 단부측의 내부에 배치되는 2개의 제1 종동 풀리와, 제1 핸드 지지 부재에 고정됨과 함께 제1 구동 풀리와 제1 종동 풀리에 가설되는 2개의 제1 벨트를 구비하고, 제2 구동 기구는, 구동원으로서의 제2 모터와, 제2 모터의 동력으로 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전함과 함께 전후 방향에 있어서의 암의 타 단부측의 내부에 배치되는 2개의 제2 구동 풀리와, 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전함과 함께 전후 방향에 있어서의 암의 일 단부측의 내부에 배치되는 2개의 제2 종동 풀리와, 제2 핸드 지지 부재에 고정됨과 함께 제2 구동 풀리와 제2 종동 풀리에 가설되는 2개의 제2 벨트를 구비하고, 제1 모터의 회전 중심과 제2 모터의 회전 중심은 동일한 높이로 배치되고, 전후 방향에서 보았을 때에 제1 벨트는 제1 모터의 양측의 각각에 배치되고, 제2 벨트는 제2 모터의 양측의 각각에 배치됨과 함께, 좌우 방향으로 제1 벨트와 인접하도록, 또한 제1 벨트와 동일한 높이로 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, the industrial robot of the present invention provides a first hand and a second hand on which an object to be transported is mounted, a first hand support member on which the first hand is fixed, and a second hand support on which the second hand is fixed. an arm for holding the first hand supporting member and the second hand supporting member so that the member, the first hand supporting member and the second hand supporting member can linearly reciprocate in the same horizontal direction; A first drive mechanism for reciprocating the hand support member and a second drive mechanism for reciprocating the second hand support member with respect to the arm, wherein the first drive mechanism and the second drive mechanism are disposed inside the arm; Assuming that the moving directions of the first and second hand supporting members with respect to the arm are referred to as the front-rear direction, and the direction orthogonal to the up-down direction and the front-rear direction is referred to as the left-right direction, the first drive mechanism includes a first motor as a drive source and , two first drive pulleys arranged inside one end side of the arm in the front-rear direction while rotating with the left-right direction as the axis direction of rotation by the power of the first motor; two first driven pulleys arranged inside the other end side of the arm in the front-rear direction while rotating as the Two first belts are provided, and the second drive mechanism includes a second motor as a drive source and a power of the second motor to rotate in a left-right direction as an axial direction of rotation, and the other end of the arm in the front-rear direction. two second driving pulleys disposed inside the side, and two second driven pulleys disposed inside one end side of the arm in the front-rear direction while rotating with the left-right direction as an axial direction of rotation; It is fixed to the second hand support member and includes two second belts installed on the second driving pulley and the second driven pulley, wherein the rotational center of the first motor and the rotational center of the second motor are arranged at the same height, When viewed from the front-rear direction, the first belt is attached to each of both sides of the first motor. It is characterized in that the second belt is disposed on each of both sides of the second motor, adjacent to the first belt in the left-right direction, and disposed at the same height as the first belt.
본 발명의 산업용 로봇에서는, 암에 대한 제1 핸드 지지 부재 및 제2 핸드 지지 부재의 이동 방향인 전후 방향에서 보았을 때에, 제1 핸드 지지 부재에 고정되는 제1 벨트는 제1 모터의 양측의 각각에 배치되고, 제2 핸드 지지 부재에 고정되는 제2 벨트는 제2 모터의 양측의 각각에 배치되어 있다. 즉, 본 발명에서는, 제1 모터의 좌우의 양측에 배치되는 2개의 제1 벨트가 제1 핸드 지지 부재에 고정되고, 제2 모터의 좌우의 양측에 배치되는 2개의 제2 벨트가 제2 핸드 지지 부재에 고정되어 있다. 그 때문에 본 발명에서는, 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇과 같이 이동 시의 제1 핸드 지지 부재 및 제2 핸드 지지 부재에 모멘트가 생기는 것을 방지하는 것이 가능해진다. 따라서 본 발명에서는, 제1 핸드 지지 부재 및 제2 핸드 지지 부재의 동작을 안정시키는 것이 가능해지며, 그 결과, 제1 핸드 및 제2 핸드의 동작을 안정시키는 것이 가능해진다.In the industrial robot of the present invention, when viewed from the front-rear direction that is the movement direction of the first hand support member and the second hand support member with respect to the arm, the first belt fixed to the first hand support member is each on both sides of the first motor. A second belt disposed on the second hand supporting member and fixed to the second hand supporting member is disposed on each of both sides of the second motor. That is, in the present invention, two first belts disposed on the left and right sides of the first motor are fixed to the first hand support member, and the two second belts disposed on the left and right sides of the second motor are the second hands. It is fixed to the support member. Therefore, in this invention, like the industrial robot of patent document 1, it becomes possible to prevent that a moment arises in the 1st hand support member and the 2nd hand support member at the time of movement. Accordingly, in the present invention, it is possible to stabilize the motions of the first hand supporting member and the second hand supporting member, and as a result, it becomes possible to stabilize the motions of the first hand and the second hand.
또한 본 발명에서는, 제1 모터의 회전 중심과 제2 모터의 회전 중심이 동일한 높이로 배치됨과 함께, 제2 벨트는 좌우 방향으로 제1 벨트와 인접하도록, 또한 제1 벨트와 동일한 높이로 배치되어 있기 때문에, 암의 내부에 배치되는 제1 구동 기구 및 제2 구동 기구의 높이를 낮게 하는 것이 가능해진다. 따라서 본 발명에서는, 제1 핸드 및 제2 핸드의 동작을 안정시키는 것이 가능하더라도 상하 방향에 있어서의 암의 두께를 얇게 하는 것이 가능해지며, 그 결과, 산업용 로봇의 높이를 낮게 하는 것이 가능해진다.In addition, in the present invention, the rotation center of the first motor and the rotation center of the second motor are arranged at the same height, and the second belt is adjacent to the first belt in the left-right direction and is arranged at the same height as the first belt, Therefore, it becomes possible to make the height of the 1st drive mechanism and 2nd drive mechanism arrange|positioned inside the arm low. Therefore, in the present invention, even if it is possible to stabilize the operation of the first hand and the second hand, it becomes possible to reduce the thickness of the arm in the vertical direction, and as a result, it becomes possible to lower the height of the industrial robot.
본 발명에 있어서, 전후 방향에서 보았을 때에 제1 모터의 회전 중심과 제2 모터의 회전 중심이 일치하고 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면 좌우 방향에 있어서의 암의 폭을 좁히는 것이 가능해진다.In the present invention, it is preferable that the rotational center of the first motor coincides with the rotational center of the second motor when viewed from the front-rear direction. When comprised in this way, it becomes possible to narrow the width|variety of the arm in the left-right direction.
본 발명에 있어서, 제1 핸드 지지 부재의 좌우 방향의 양 단부측에는, 제1 핸드가 고정되는 제1 핸드 고정부가 형성되고, 제2 핸드 지지 부재의 좌우 방향의 양 단부측에는, 제2 핸드가 고정되는 제2 핸드 고정부가 형성되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면 제1 핸드가 좌우의 양측에서 제1 핸드 지지 부재에 지지되기 때문에, 제1 핸드 지지 부재와 함께 전후 방향으로 이동하는 제1 핸드의 상태를 안정시키는 것이 가능해진다. 마찬가지로 제2 핸드가 좌우의 양측에서 제2 핸드 지지 부재에 지지되기 때문에, 제2 핸드 지지 부재와 함께 전후 방향으로 이동하는 제2 핸드의 상태를 안정시키는 것이 가능해진다.In the present invention, a first hand holding portion to which the first hand is fixed is formed on both ends of the first hand supporting member in the left and right direction, and a second hand is fixed at both ends of the second hand supporting member in the left and right direction. It is preferable that the second hand fixing portion to be formed is formed. With this configuration, since the first hand is supported by the first hand support member on both left and right sides, it becomes possible to stabilize the state of the first hand moving in the front-rear direction together with the first hand support member. Similarly, since the second hand is supported by the second hand support member on both the left and right sides, it becomes possible to stabilize the state of the second hand moving in the front-rear direction together with the second hand support member.
본 발명에 있어서, 제1 구동 기구는, 2개의 제1 구동 풀리가 고정되는 제1 회전축을 구비하고, 제2 구동 기구는, 2개의 제2 구동 풀리가 고정되는 제2 회전축을 구비하고, 2개의 제1 종동 풀리는 제2 회전축에 회전 가능하게 보유 지지되고, 2개의 제2 종동 풀리는 제1 회전축에 회전 가능하게 보유 지지되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 제1 종동 풀리가 회전 가능하게 보유 지지되는 축이나 제2 종동 풀리가 회전 가능하게 보유 지지되는 축이 별도 마련되어 있는 경우와 비교하여 산업용 로봇의 구성을 간소화하는 것이 가능해진다.In the present invention, the first drive mechanism includes a first rotation shaft to which two first drive pulleys are fixed, and the second drive mechanism includes a second rotation shaft to which two second drive pulleys are fixed, 2 It is preferable that two 1st driven pulleys are rotatably held by a 2nd rotation shaft, and two 2nd driven pulleys are rotatably held by a 1st rotation shaft. If comprised in this way, compared with the case where the shaft by which the 1st driven pulley is rotatably held, and the shaft by which the 2nd driven pulley is rotatably held are provided separately, it becomes possible to simplify the structure of an industrial robot.
본 발명에 있어서, 예를 들어 제1 모터 및 제2 모터는, 제1 모터의 출력축과 제2 모터의 출력축이 반대 방향으로 돌출되도록 암의 중심 부분의 내부에 배치되어 있다. 또한 본 발명에 있어서, 예를 들어 제1 구동 기구는, 제1 모터의 출력축에 연결되는 제3 회전축과, 제3 회전축의 선단부에 고정되는 제1 베벨 기어와, 제1 회전축에 고정됨과 함께 제1 베벨 기어에 맞물리는 제2 베벨 기어를 구비하고, 제2 구동 기구는, 제2 모터의 출력축에 연결되는 제4 회전축과, 제4 회전축의 선단부에 고정되는 제3 베벨 기어와, 제2 회전축에 고정됨과 함께 제3 베벨 기어에 맞물리는 제4 베벨 기어를 구비하고 있다.In the present invention, for example, the first motor and the second motor are disposed inside the central portion of the arm so that the output shaft of the first motor and the output shaft of the second motor protrude in opposite directions. Further, in the present invention, for example, the first drive mechanism includes a third rotation shaft connected to the output shaft of the first motor, a first bevel gear fixed to the tip of the third rotation shaft, and a first rotation shaft fixed to the first rotation shaft. A second bevel gear meshing with the first bevel gear is provided, and the second driving mechanism includes a fourth rotation shaft connected to the output shaft of the second motor, a third bevel gear fixed to the tip of the fourth rotation shaft, and a second rotation shaft It is provided with a 4th bevel gear which meshes with the 3rd bevel gear while being fixed to the.
이상과 같이 본 발명에서는, 암에 대하여 직선적으로 왕복 이동하는 제1 핸드 및 제2 핸드를 갖는 산업용 로봇에 있어서 제1 핸드 및 제2 핸드의 동작을 안정시키는 것이 가능해진다.As described above, in the present invention, in the industrial robot having the first hand and the second hand reciprocating linearly with respect to the arm, it is possible to stabilize the operation of the first hand and the second hand.
도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 산업용 로봇의 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시하는 산업용 로봇의 측면도이다.
도 3은 도 1에 도시하는 산업용 로봇의 배면도이다.
도 4의 (A)는 도 1에 도시하는 암의 내부 구조를 설명하기 위한 평면도이고, (B)는 (A)의 E-E 방향에서 암의 내부 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 5의 (A)는 도 4의 (A)의 F부의 확대도이고, (B)는 도 4의 (B)의 G부의 확대도이다.
도 6의 (A)는 도 4의 (A)의 H부의 확대도이고, (B)는 도 4의 (A)의 J부의 확대도이다.
도 7의 (A)는 도 4의 (A)의 K-K 방향에서 암의 내부 구조를 설명하기 위한 도면이고, (B)는 도 4의 (A)의 L-L 방향에서 암의 내부 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 도 4의 (B)의 N-N 방향에서 제1 핸드 지지 부재, 제2 핸드 지지 부재, 암, 제1 구동 기구 및 제2 구동 기구의 구성을 설명하기 위한 단면도이다.
도 9는 도 4의 (B)의 Q-Q 방향에서 제1 핸드 지지 부재, 제2 핸드 지지 부재, 암, 제1 구동 기구 및 제2 구동 기구의 구성을 설명하기 위한 단면도이다.1 is a plan view of an industrial robot according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a side view of the industrial robot shown in Fig. 1;
Fig. 3 is a rear view of the industrial robot shown in Fig. 1;
Fig. 4(A) is a plan view for explaining the internal structure of the arm shown in Fig. 1, and (B) is a diagram for explaining the internal structure of the arm in the EE direction of (A).
FIG. 5A is an enlarged view of part F of FIG. 4A, and (B) is an enlarged view of part G of FIG. 4B.
FIG. 6A is an enlarged view of part H of FIG. 4A , and (B) is an enlarged view of part J of FIG. 4A .
7 (A) is a view for explaining the internal structure of the arm in the KK direction of FIG. 4 (A), (B) is for explaining the internal structure of the arm in the LL direction of FIG. 4 (A) It is a drawing.
FIG. 8 is a cross-sectional view for explaining the configurations of the first hand support member, the second hand support member, the arm, the first drive mechanism, and the second drive mechanism in the NN direction in FIG. 4B .
9 is a cross-sectional view for explaining the configuration of the first hand supporting member, the second hand supporting member, the arm, the first driving mechanism, and the second driving mechanism in the QQ direction in FIG. 4B .
이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 실시 형태를 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described, referring drawings.
(산업용 로봇의 개략 구성)(Schematic configuration of industrial robots)
도 1은, 본 발명의 실시 형태에 따른 산업용 로봇(1)의 평면도이다. 도 2는, 도 1에 도시하는 산업용 로봇(1)의 측면도이다. 도 3은, 도 1에 도시하는 산업용 로봇(1)의 배면도이다.1 is a plan view of an industrial robot 1 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a side view of the industrial robot 1 shown in FIG. 1 . FIG. 3 is a rear view of the industrial robot 1 shown in FIG. 1 .
본 형태의 산업용 로봇(1)(이하, 「로봇(1)」이라 함)은, 반송 대상물인 액정 디스플레이용의 유리 기판(2)(이하, 「기판(2)」이라 함)을 진공 중에서 반송하는 로봇이다. 이 로봇(1)은 액정 디스플레이 장치의 제조 시스템에 편입되어 사용된다. 이 제조 시스템은, 중심에 배치되는 트랜스퍼 챔버(3)(이하, 「챔버(3)」라 함)와, 챔버(3)를 둘러싸도록 배치되는 복수의 프로세스 챔버(4)(이하, 「챔버(4)」라 함)를 구비하고 있다(도 1 참조).Industrial robot 1 (hereinafter, referred to as "robot 1") of this form conveys the
챔버(3, 4)의 내부는 진공으로 되어 있다. 즉, 챔버(3, 4)는 진공 챔버이다. 챔버(3)의 내부에는 로봇(1)의 일부가 배치되어 있다. 로봇(1)은, 챔버(4)로의 기판(2)의 반입과 챔버(4)로부터의 기판(2)의 반출을 행한다. 챔버(4)의 내부에는 각종 장치 등이 배치되어 있으며, 챔버(4)의 내부에서는 기판(2)에 대하여 각종 처리가 행해진다.The interior of the
로봇(1)은, 기판(2)이 탑재되는 제1 핸드로서의 핸드(5)와, 기판(2)이 탑재되는 제2 핸드로서의 핸드(6)와, 핸드(5)가 고정되는 제1 핸드 지지 부재로서의 핸드 지지 부재(7)와, 핸드(6)가 고정되는 제2 핸드 지지 부재로서의 핸드 지지 부재(8)와, 핸드 지지 부재(7, 8)를 보유 지지하는 암(9)과, 암(9)이 회동 가능하게 연결되는 본체부(10)를 구비하고 있다.The robot 1 includes a hand 5 serving as a first hand on which the
본체부(10)는, 암(9)의 중심부가 고정되는 원기둥형의 승강 부재(12)(도 2 참조)와, 승강 부재(12)를 승강시키는 승강 기구와, 승강 부재(12)를 회동시키는 회동 기구와, 이들의 구성이 수용되는 케이스체(13)를 구비하고 있다. 케이스체(13)는, 대략 바닥이 있는 원통형으로 형성되어 있다. 케이스체(13)의 상단부에는, 원판형으로 형성된 플랜지(14)가 고정되어 있다. 플랜지(14)에는, 승강 부재(12)의 상단부측 부분이 배치되는 관통 구멍이 형성되어 있다.The body portion 10 includes a cylindrical lifting member 12 (see FIG. 2 ) to which the central portion of the arm 9 is fixed, a lifting mechanism for raising and lowering the lifting
핸드(5, 6) 및 암(9)은 본체부(10)의 상측에 배치되어 있다. 상술한 바와 같이 로봇(1)의 일부는 챔버(3)의 내부에 배치되어 있다. 구체적으로는 로봇(1)의, 플랜지(14)의 하단부면보다도 상측의 부분이 챔버(3)의 내부에 배치되어 있다. 즉, 로봇(1)의, 플랜지(14)의 하단부면보다도 상측의 부분은 진공 영역 VR 중에 배치되어 있고, 핸드(5, 6) 및 암(9)은 진공 챔버 내(진공 중)에 배치되어 있다. 한편, 로봇(1)의, 플랜지(14)의 하단부면보다도 하측의 부분은 대기 영역 AR 중(대기 중)에 배치되어 있다.The hands 5 and 6 and the arm 9 are disposed above the body portion 10 . As described above, a part of the robot 1 is disposed inside the
암(9)은, 핸드 지지 부재(7)와 핸드 지지 부재(8)가 수평 방향의 동일한 방향으로 직선적으로 왕복 이동 가능해지도록 핸드 지지 부재(7, 8)를 보유 지지하고 있다. 로봇(1)은, 암(9)에 대하여 핸드 지지 부재(7)를 왕복 이동시키는 제1 구동 기구로서의 구동 기구(17)와, 암(9)에 대하여 핸드 지지 부재(8)를 왕복 이동시키는 제2 구동 기구로서의 구동 기구(18)를 구비하고 있다(도 4 참조).The arm 9 holds the
이하, 핸드(5, 6), 핸드 지지 부재(7, 8), 암(9) 및 구동 기구(17, 18)의 구체적인 구성을 설명한다. 또한 이하의 설명에서는, 암(9)에 대한 핸드 지지 부재(7, 8)의 이동 방향인 도 1 등의 X 방향을 「전후 방향」이라 하고, 상하 방향(연직 방향)과 전후 방향에 직교하는 도 1 등의 Y 방향을 「좌우 방향」이라 한다. 또한 전후 방향 중의 X1 방향측을 「전방」측이라 하고 그 반대측인 X2 방향측을 「후방」측이라 한다.Hereinafter, specific configurations of the hands 5 and 6, the
(핸드, 핸드 지지 부재, 암 및 구동 기구의 구성)(Configuration of hand, hand support member, arm and drive mechanism)
도 4의 (A)는, 도 1에 도시하는 암(9)의 내부 구조를 설명하기 위한 평면도이고, 도 4의 (B)는, 도 4의 (A)의 E-E 방향에서 암(9)의 내부 구조를 설명하기 위한 도면이다. 도 5의 (A)는, 도 4의 (A)의 F부의 확대도이고, 도 5의 (B)는, 도 4의 (B)의 G부의 확대도이다. 도 6의 (A)는, 도 4의 (A)의 H부의 확대도이고, 도 6의 (B)는, 도 4의 (A)의 J부의 확대도이다. 도 7의 (A)는, 도 4의 (A)의 K-K 방향에서 암(9)의 내부 구조를 설명하기 위한 도면이고, 도 7의 (B)는, 도 4의 (A)의 L-L 방향에서 암(9)의 내부 구조를 설명하기 위한 도면이다. 도 8은, 도 4의 (B)의 N-N 방향에서 핸드 지지 부재(7, 8), 암(9) 및 구동 기구(17, 18)의 구성을 설명하기 위한 단면도이다. 도 9는, 도 4의 (B)의 Q-Q 방향에서 핸드 지지 부재(7, 8), 암(9) 및 구동 기구(17, 18)의 구성을 설명하기 위한 단면도이다.Fig. 4(A) is a plan view for explaining the internal structure of the arm 9 shown in Fig. 1, and Fig. 4(B) is the arm 9 in the EE direction of Fig. 4(A). It is a drawing for explaining an internal structure. Fig. 5(A) is an enlarged view of part F of Fig. 4(A), and Fig. 5(B) is an enlarged view of part G of Fig. 4(B). Fig. 6(A) is an enlarged view of part H of Fig. 4(A), and Fig. 6(B) is an enlarged view of part J of Fig. 4(A). Fig. 7(A) is a view for explaining the internal structure of the arm 9 in the KK direction in Fig. 4(A), and Fig. 7(B) is the LL direction in Fig. 4(A). It is a diagram for explaining the internal structure of the arm 9 . Fig. 8 is a cross-sectional view for explaining the configuration of the
핸드(5)는, 기판(2)이 탑재되는 복수의 포크(20)와, 복수의 포크(20)의 기단부(후단부)가 고정되는 핸드 기부(21)를 구비하고 있다. 핸드(6)는 핸드(5)와 마찬가지로, 기판(2)이 탑재되는 복수의 포크(20)와, 복수의 포크(20)의 기단부(후단부)가 고정되는 핸드 기부(22)를 구비하고 있다. 본 형태의 핸드(5, 6)는 6개의 포크(20)를 구비하고 있다. 포크(20)는, 전후 방향으로 가늘고 긴 직선형으로 형성되어 있다. 핸드 기부(21, 22)는, 좌우 방향으로 가늘고 긴 대략 직사각형의 평판형으로 형성되어 있다. 핸드 기부(21)의 길이(좌우 방향의 길이)는 핸드 기부(22)의 길이(좌우 방향의 길이)보다도 길게 되어 있다.The hand 5 includes a plurality of
핸드(5)와 핸드(6)는, 전후 방향에서 보았을 때에 상하 방향으로 서로 겹쳐지도록 배치되어 있다. 본 형태에서는, 전후 방향에서 보았을 때에 핸드(5)가 상측에 배치되고 핸드(6)가 하측에 배치되어 있다. 즉, 전후 방향에서 보았을 때에 핸드 기부(21)가 상측에 배치되고 핸드 기부(22)가 하측에 배치되어 있다. 또한 도 3에 도시한 바와 같이 핸드(5)와 핸드(6)는, 전후 방향에서 보았을 때에 핸드 기부(21)의 중심과 핸드 기부(22)의 중심이 좌우 방향에 있어서 일치하도록 배치되어 있다. 즉, 핸드(5)와 핸드(6)는, 전후 방향에서 보았을 때에 핸드(5)의 중심과 핸드(6)의 중심이 좌우 방향에 있어서 일치하도록 배치되어 있다.The hand 5 and the hand 6 are arranged so as to overlap each other in the vertical direction when viewed from the front-rear direction. In this form, when seen from the front-back direction, the hand 5 is arrange|positioned at the upper side, and the hand 6 is arrange|positioned at the lower side. That is, when seen from the front-back direction, the hand base 21 is arrange|positioned at the upper side, and the hand base 22 is arrange|positioned at the lower side. Moreover, as shown in FIG. 3, the hand 5 and the hand 6 are arrange|positioned so that the center of the hand base 21 and the center of the hand base 22 may correspond in the left-right direction when seen from the front-back direction. That is, the hand 5 and the hand 6 are arrange|positioned so that the center of the hand 5 and the center of the hand 6 may correspond in the left-right direction when seen from the front-back direction.
암(9)은 핸드(6)의 하측에 배치되어 있다. 이 암(9)은, 전후 방향으로 가늘고 긴 대략 직육면체형으로 형성되어 있다. 또한 암(9)은 중공형으로 형성되어 있다. 암(9)의 좌우 방향의 폭은 핸드(5, 6)의 좌우 방향의 폭보다도 좁게 되어 있다. 암(9)은, 전후 방향에서 보았을 때에 핸드(5, 6)의 중심과 암(9)의 중심이 좌우 방향에 있어서 일치하도록 배치되어 있다. 암(9)은, 암(9)의 프레임인 암 프레임(23)과, 암(9)의 상하, 좌우 및 전후의 측면을 구성하는 커버 부재(24)와, 암(9)의 중심부에 배치되는 상자형의 모터 수용 부재(25)와, 모터 수용 부재(25)의 상면에 고정되는 상면 커버(26)를 구비하고 있다. 또한 도 4 내지 도 9에서는 커버 부재(24)의 도시를 생략하고 있다.The arm 9 is disposed below the hand 6 . The arm 9 is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape elongated in the front-rear direction. In addition, the arm 9 is formed in a hollow shape. The width in the left-right direction of the arm 9 is narrower than the width in the left-right direction of the hands 5 and 6 . The arm 9 is arranged so that the center of the hands 5 and 6 and the center of the arm 9 coincide in the left-right direction when viewed from the front-rear direction. The arm 9 includes an arm frame 23 that is a frame of the arm 9 , a cover member 24 constituting the upper, lower, left, and front and rear side surfaces of the arm 9 , and is disposed at the center of the arm 9 . It is provided with the box-shaped
암 프레임(23)은, 전후 방향에 있어서의 암(9)의 전역에서 암(9)의 프레임을 구성하고 있다. 이 암 프레임(23)은, 암 프레임(23)의 우측면을 구성하는 우측 판부(23a)와, 암 프레임(23)의 좌측면을 구성하는 좌측 판부(23b)와, 암 프레임(23)의 상측면을 구성하는 상측 판부(23c)와, 암 프레임(23)의 하측면을 구성하는 하측 판부(23d)를 구비하고 있다.The arm frame 23 constitutes a frame of the arm 9 over the entire area of the arm 9 in the front-rear direction. The arm frame 23 includes a
우측 판부(23a), 좌측 판부(23b), 상측 판부(23c) 및 하측 판부(23d)는 평판 형으로 형성되어 있다. 우측 판부(23a)는, 우측 판부(23a)의 두께 방향과 좌우 방향이 일치하도록 배치되고, 좌측 판부(23b)는, 좌측 판부(23b)의 두께 방향과 좌우 방향이 일치하도록 배치되어 있다. 상측 판부(23c)는, 상측 판부(23c)의 두께 방향과 상하 방향이 일치하도록 배치되고, 하측 판부(23d)는, 하측 판부(23d)의 두께 방향과 상하 방향이 일치하도록 배치되어 있다.The
우측 판부(23a)와 좌측 판부(23b)는 좌우 방향으로 간격을 둔 상태에서 배치되어 있다. 상측 판부(23c)는 우측 판부(23a)의 상단부 및 좌측 판부(23b)의 상단부에 나사에 의하여 고정되어 있다. 하측 판부(23d)는 우측 판부(23a)의 하단부 및 좌측 판부(23b)의 하단부에 나사에 의하여 고정되어 있다. 상측 판부(23c)의 우단부 및 하측 판부(23d)의 우단부는 우측 판부(23a)보다도 우측에 배치되고, 상측 판부(23c)의 좌단부 및 하측 판부(23d)의 좌단부는 좌측 판부(23b)보다도 좌측에 배치되어 있다.The
모터 수용 부재(25)는, 상면측이 개구되는, 대략 직육면체의 상자형으로 형성되어 있다. 또한 모터 수용 부재(25)는, 전후 방향으로 가늘고 긴 대략 직육면체의 상자형으로 형성되어 있다. 모터 수용 부재(25)에는, 구동 기구(17)를 구성하는 후술하는 모터(37)와, 구동 기구(18)를 구성하는 후술하는 모터(38)가 수용되어 있다. 모터 수용 부재(25)는 암 프레임(23)의 중심 부분에 고정되어 있다. 즉, 모터 수용 부재(25)는 암(9)의 중심 부분에 배치되어 있다. 모터 수용 부재(25)의 저면의 중심은 승강 부재(12)의 상단부에 고정되어 있다. 즉, 암(9)의 중심은 본체부(10)에 회동 가능하게 연결되어 있다. 또한 모터 수용 부재(25)의, 하단부 이외의 대부분의 부분은, 좌우 방향에 있어서 우측 판부(23a)와 좌측 판부(23b) 사이에 배치되어 있다(도 5의 (A), 도 9 참조).The
상면 커버(26)는 직사각형의 평판형으로 형성되어 있다. 상면 커버(26)는, 모터 수용 부재(25)의 상면측에 형성되는 개구부를 막도록 모터 수용 부재(25)의 상면에 고정되어 있다. 암(9)의 중심 부분의 내부에는, 모터 수용 부재(25)와 상면 커버(26)에 의하여 획정되는 내부 공간 S가 형성되어 있다. 모터 수용 부재(25)의 저면부의 중심에는, 상하 방향으로 관통하는 관통 구멍(25a)이 형성되어 있다. 상술한 바와 같이 승강 부재(12)는 원통형으로 형성되어 있다. 승강 부재(12)는, 관통 구멍(25a)을 둘러싸도록 모터 수용 부재(25)의 저면에 고정되어 있으며, 케이스체(13)의 내부와 내부 공간 S가 통하고 있다. 케이스체(13)의 내부 및 내부 공간 S는 대기압으로 되어 있다.The
도 8, 도 9에 도시한 바와 같이, 우측 판부(23a)의 우측면 및 좌측 판부(23b)의 좌측면에는, 핸드 지지 부재(7)를 전후 방향으로 안내하기 위한 가이드 레일(29)이 고정되어 있다. 또한 우측 판부(23a)의 우측면 및 좌측 판부(23b)의 좌측면에는, 핸드 지지 부재(8)를 전후 방향으로 안내하기 위한 가이드 레일(30)이 고정되어 있다. 가이드 레일(29, 30)은, 가이드 레일(29, 30)의 긴 변 방향과 전후 방향이 일치하도록 우측 판부(23a) 및 좌측 판부(23b)에 고정되어 있다.8 and 9, a
본 형태에서는, 전후 방향으로 분할된 복수의 가이드 레일(29)이 우측 판부(23a) 및 좌측 판부(23b)에 고정되어 있다(도 7 참조). 마찬가지로, 전후 방향으로 분할된 복수의 가이드 레일(30)이 우측 판부(23a) 및 좌측 판부(23b)에 고정되어 있다. 우측 판부(23a)의 우측면에 고정되는 가이드 레일(29)과, 좌측 판부(23b)의 좌측면에 고정되는 가이드 레일(29)은, 상하 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되어 있다. 마찬가지로, 우측 판부(23a)의 우측면에 고정되는 가이드 레일(30)과, 좌측 판부(23b)의 좌측면에 고정되는 가이드 레일(30)은, 상하 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되어 있다. 또한 가이드 레일(30)은 가이드 레일(29)의 상측에 배치되어 있다.In this form, the some
핸드 지지 부재(7)는, 가이드 레일(29)을 따라 전후 방향으로 슬라이드하는 2개의 슬라이드부(7a)와, 핸드(5)의 핸드 기부(21)가 고정되는 2개의 핸드 고정부(7b)로 구성되어 있다. 마찬가지로 핸드 지지 부재(8)는, 가이드 레일(30)을 따라 전후 방향으로 슬라이드하는 2개의 슬라이드부(8a)와, 핸드(6)의 핸드 기부(22)가 고정되는 2개의 핸드 고정부(8b)로 구성되어 있다.The
도 8, 도 9에 도시한 바와 같이 2개의 슬라이드부(7a)의 각각은 우측 판부(23a) 및 좌측 판부(23b)의 좌우 방향의 외측에 배치되어 있다. 2개의 슬라이드부(8a)의 각각은 우측 판부(23a) 및 좌측 판부(23b)의 좌우 방향의 외측에 배치되어 있다. 또한 2개의 슬라이드부(8a)는 2개의 슬라이드부(7a)의 상측에 배치되어 있다. 도 3에 도시한 바와 같이, 우측에 배치되는 슬라이드부(7a, 8a)의 우단부 부분은 커버 부재(24)의 우측면보다도 우측으로 돌출되고, 좌측에 배치되는 슬라이드부(7a, 8a)의 좌단부 부분은 커버 부재(24)의 좌측면보다도 좌측으로 돌출되어 있다.8, 9, each of the two
2개의 핸드 고정부(7b) 중 한쪽 핸드 고정부(7b)는, 우측에 배치되는 슬라이드부(7a)의 우단부측으로부터 우측으로 비스듬히 상측을 향하여 뻗도록 이 슬라이드부(7a)에 고정되어 있으며, 이 핸드 고정부(7b)의 상단부에는, 도 3에 도시한 바와 같이 핸드 기부(21)의 우단부 부분의 하면이 고정되어 있다. 다른 쪽 핸드 고정부(7b)는, 좌측에 배치되는 슬라이드부(7a)의 좌단부측으로부터 좌측으로 비스듬히 상측을 향하여 뻗도록 이 슬라이드부(7a)에 고정되어 있으며, 이 핸드 고정부(7b)의 상단부에는, 도 3에 도시한 바와 같이 핸드 기부(21)의 좌단부 부분의 하면이 고정되어 있다. 이와 같이, 핸드 지지 부재(7)의 좌우 방향의 양 단부측에는, 핸드(5)가 고정되는 제1 핸드 고정부로서의 핸드 고정부(7b)가 형성되어 있다.One
2개의 핸드 고정부(8b) 중 한쪽 핸드 고정부(8b)는, 우측에 배치되는 슬라이드부(8a)의 우단부측으로부터 우측으로 비스듬히 상측을 향하여 뻗도록 이 슬라이드부(8a)에 고정되어 있으며, 이 핸드 고정부(8b)의 상단부에는, 도 3에 도시한 바와 같이 핸드 기부(22)의, 좌우 방향의 중심보다도 우측 근방의 부분의 하면이 고정되어 있다. 다른 쪽 핸드 고정부(8b)는, 좌측에 배치되는 슬라이드부(8a)의 좌단부측으로부터 좌측으로 비스듬히 상측을 향하여 뻗도록 이 슬라이드부(8a)에 고정되어 있으며, 이 핸드 고정부(8b)의 상단부에는, 도 3에 도시한 바와 같이 핸드 기부(22)의, 좌우 방향의 중심보다도 좌측 근방의 부분의 하면이 고정되어 있다. 이와 같이, 핸드 지지 부재(8)의 좌우 방향의 양 단부측에는, 핸드(6)가 고정되는 제2 핸드 고정부로서의 핸드 고정부(8b)가 형성되어 있다.One
우측에 배치되는 슬라이드부(7a)에는, 우측에 배치되는 가이드 레일(29)에 걸림 결합하는 가이드 블록(31)이 고정되고, 좌측에 배치되는 슬라이드부(7a)에는, 좌측에 배치되는 가이드 레일(29)에 걸림 결합하는 가이드 블록(31)이 고정되어 있다. 마찬가지로, 우측에 배치되는 슬라이드부(8a)에는, 우측에 배치되는 가이드 레일(30)에 걸림 결합하는 가이드 블록(32)이 고정되고, 좌측에 배치되는 슬라이드부(8a)에는, 좌측에 배치되는 가이드 레일(30)에 걸림 결합하는 가이드 블록(32)이 고정되어 있다.A
구체적으로는 2개의 슬라이드부(7a)의 각각에 3개의 가이드 블록(31)이, 전후 방향으로 간격을 둔 상태에서 고정되어 있다(도 7의 (B) 참조). 또한 2개의 슬라이드부(8a)의 각각에 3개의 가이드 블록(32)이, 전후 방향으로 간격을 둔 상태에서 고정되어 있다(도 7의 (A) 참조). 본 형태에서는 가이드 레일(29)과 가이드 블록(31)에 의하여, 핸드 지지 부재(7)를 전후 방향으로 안내하는 가이드 기구(33)가 구성되어 있다. 또한 가이드 레일(30)과 가이드 블록(32)에 의하여, 핸드 지지 부재(8)를 전후 방향으로 안내하는 가이드 기구(34)가 구성되어 있다.Specifically, the three
구동 기구(17, 18)는 암(9)의 내부에 배치되어 있다. 구동 기구(17)는 구동원으로서의 모터(37)를 구비하고 있다. 구동 기구(18)는 구동원으로서의 모터(38)를 구비하고 있다. 모터(37, 38)는 내부 공간 S에 배치되어 있다. 즉, 모터(37, 38)는 암(9)의 중심 부분의 내부에 배치되어 있다. 모터(37, 38)는 소정의 브래킷에 의해 모터 수용 부재(25)에 고정되어 있다. 모터(37)와 모터(38)는 전후 방향으로 간격을 둔 상태에서 배치되어 있다. 구체적으로는 모터(37)가 후방측에 배치되고 모터(38)가 전방측에 배치되어 있다. 본 형태의 모터(37)는 제1 모터이고 모터(38)는 제2 모터이다.The
모터(37, 38)는, 모터(37, 38)의 출력축의 축 방향과 전후 방향이 일치하도록 배치되어 있다. 또한 모터(37, 38)는, 모터(37)의 출력축과 모터(38)의 출력축이 반대 방향으로 돌출되도록 내부 공간 S에 배치되어 있다. 즉, 모터(37, 38)는, 모터(37)의 출력축과 모터(38)의 출력축이 반대 방향으로 돌출되도록 암(9)의 중심 부분의 내부에 배치되어 있다. 구체적으로는, 모터(37)의 출력축이 후방측을 향하여 돌출되고 모터(38)의 출력축이 전방측을 향하여 돌출되도록 모터(37, 38)가 내부 공간 S에 배치되어 있다.The
모터(37)의 회전 중심과 모터(38)의 회전 중심은 동일한 높이로 배치되어 있다. 본 형태에서는, 전후 방향에서 보았을 때에 모터(37)의 회전 중심과 모터(38)의 회전 중심이 일치하고 있다. 또한 전후 방향에서 보았을 때에 모터(37, 38)의 회전 중심과 암(9)의 중심은 대략 일치하고 있다. 또한 모터(37, 38)에는 냉각용 에어 배관(도시 생략)이 감겨 있다.The rotation center of the
또한 구동 기구(17)는, 모터(37)의 출력축에 연결되는 제3 회전축으로서의 회전축(39)과, 회전축(39)의 선단부에 고정되는 제1 베벨 기어로서의 베벨 기어(40)와, 베벨 기어(40)에 맞물리는 제2 베벨 기어로서의 베벨 기어(41)와, 베벨 기어(41)가 고정되는 제1 회전축으로서의 회전축(42)을 구비하고 있다. 마찬가지로 구동 기구(18)는, 모터(38)의 출력축에 연결되는 제4 회전축으로서의 회전축(43)과, 회전축(43)의 선단부에 고정되는 제3 베벨 기어로서의 베벨 기어(44)와, 베벨 기어(44)에 맞물리는 제4 베벨 기어로서의 베벨 기어(45)와, 베벨 기어(45)가 고정되는 제2 회전축으로서의 회전축(46)을 구비하고 있다.In addition, the
또한, 구동 기구(17)는, 회전축(42)에 고정되는 2개의 구동 풀리(48)와, 회전축(46)에 회전 가능하게 보유 지지되는 2개의 종동 풀리(49)와, 구동 풀리(48)와 종동 풀리(49)에 가설되는 2개의 벨트(50)를 구비하고 있다. 마찬가지로 구동 기구(18)는, 회전축(46)에 고정되는 2개의 구동 풀리(52)와, 회전축(42)에 회전 가능하게 보유 지지되는 2개의 종동 풀리(53)와, 구동 풀리(52)와 종동 풀리(53)에 가설되는 2개의 벨트(54)를 구비하고 있다. 본 형태의 구동 풀리(48)는 제1 구동 풀리이고, 종동 풀리(49)는 제1 종동 풀리이고, 벨트(50)는 제1 벨트이고, 구동 풀리(52)는 제2 구동 풀리이고, 종동 풀리(53)는 제2 종동 풀리이고, 벨트(54)는 제2 벨트이다.In addition, the
회전축(39)은, 회전축(39)의 축 방향과 전후 방향이 일치하도록 배치되어 있으며, 모터(37)의 출력축 선단(후단부)에 커플링(55)에 의해 연결되어 있다(도 5 참조). 회전축(43)은, 회전축(43)의 축 방향과 전후 방향이 일치하도록 배치되어 있으며, 모터(38)의 출력축 선단(전단부)에 커플링(55)에 의해 연결되어 있다(도 5 참조). 베벨 기어(40, 41), 회전축(42), 구동 풀리(48) 및 종동 풀리(53)는 암(9)의 후단부측의 내부(전후 방향에 있어서의 암(9)의 일 단부측의 내부)에 배치되어 있다. 베벨 기어(44, 45), 회전축(46), 구동 풀리(52) 및 종동 풀리(49)는 암(9)의 전단부측의 내부(전후 방향에 있어서의 암(9)의 타 단부측의 내부)에 배치되어 있다.The rotating
또한 구동 기구(17)는, 회전축(39)을 회전 가능하게 보유 지지함과 함께 내부 공간 S로부터의 공기의 유출을 방지하는 자성 유체 시일(56)을 구비하고 있다. 마찬가지로 구동 기구(18)는, 회전축(43)을 회전 가능하게 보유 지지함과 함께 내부 공간 S로부터의 공기의 유출을 방지하는 자성 유체 시일(57)을 구비하고 있다. 도 5에 도시한 바와 같이 자성 유체 시일(56)은, 모터 수용 부재(25)의 후방면을 구성하는 후방 벽부(25b)에 고정되어 있다. 자성 유체 시일(57)은, 모터 수용 부재(25)의 전방면을 구성하는 전방 벽부(25c)에 고정되어 있다. 구체적으로는 자성 유체 시일(56)은, 후방 벽부(25b)를 전후 방향으로 관통하는 관통 구멍 중에 삽입 관통된 상태에서 후방 벽부(25b)에 고정되고, 자성 유체 시일(57)은, 전방 벽부(25c)를 전후 방향으로 관통하는 관통 구멍 중에 삽입 관통된 상태에서 전방 벽부(25c)에 고정되어 있다.Moreover, the
또한 회전축(39, 43)은, 암 프레임(23)에 고정되는 복수의 베어링(59)에 회전 가능하게 지지되어 있다. 또한 본 형태의 회전축(39)은, 길이가 짧은 2개의 단축과 길이가 긴 1개의 장축에 의하여 형성되어 있다. 2개의 단축 중의 한쪽 단축은 커플링(55)에 의해 모터(37)의 출력축에 연결됨과 함께, 자성 유체 시일(56)에 회전 가능하게 보유 지지되어 있다. 다른 쪽 단축에는 베벨 기어(40)가 고정되어 있다. 한쪽 단축과 장축의 전단부는, 자성 유체 시일(56)의 후방측에 배치되는 커플링(60)에 의하여 연결되고(도 5 참조), 다른 쪽 단축과 장축의 후단부는, 가장 후방측의 베어링(59)의 전방측에 배치되는 커플링(60)에 의하여 연결되어 있다(도 6의 (B) 참조).Moreover, the rotating
마찬가지로 본 형태의 회전축(43)은, 길이가 짧은 2개의 단축과 길이가 긴 1개의 장축에 의하여 형성되어 있다. 2개의 단축 중의 한쪽 단축은 커플링(55)에 의해 모터(38)의 출력축에 연결됨과 함께, 자성 유체 시일(57)에 회전 가능하게 보유 지지되어 있다. 다른 쪽 단축에는 베벨 기어(44)가 고정되어 있다. 한쪽 단축과 장축의 후단부는, 자성 유체 시일(57)의 전방측에 배치되는 커플링(60)에 의하여 연결되고(도 5 참조), 다른 쪽 단축과 장축의 전단부는, 가장 전방측의 베어링(59)의 후방측에 배치되는 커플링(60)에 의하여 연결되어 있다(도 6의 (A) 참조). 또한 회전축(39, 43)은 1개의 장축에 의하여 구성되어 있어도 된다.Similarly, the rotating
회전축(42)은 암(9)에 회전 가능하게 지지되어 있다. 이 회전축(42)은 베벨 기어(40)의 후방측에 배치되어 있다. 회전축(42)은, 회전축(42)의 축 방향과 좌우 방향이 일치하도록 배치되어 있으며, 모터(37)의 동력으로 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전한다. 즉, 회전축(42)에 고정되는 구동 풀리(48)는 모터(37)의 동력으로 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전한다. 또한 회전축(42)에 회전 가능하게 보유 지지되는 종동 풀리(53)도 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전한다. 베벨 기어(41)는 좌우 방향에 있어서의 회전축(42)의 중심측에 고정되어 있다. 회전축(42)의 좌우의 양 단부측은 우측 판부(23a) 및 좌측 판부(23b)보다도 좌우 방향의 외측으로 돌출되어 있다.The rotating
회전축(46)은 암(9)에 회전 가능하게 지지되어 있다. 이 회전축(46)은 베벨 기어(44)의 전방측에 배치되어 있다. 회전축(46)은, 회전축(46)의 축 방향과 좌우 방향이 일치하도록 배치되어 있으며, 모터(38)의 동력으로 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전한다. 즉, 회전축(46)에 고정되는 구동 풀리(52)는 모터(38)의 동력으로 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전한다. 또한 회전축(46)에 회전 가능하게 보유 지지되는 종동 풀리(49)도 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전한다. 베벨 기어(45)는 좌우 방향에 있어서의 회전축(46)의 중심측에 고정되어 있다. 회전축(46)의 좌우의 양단부측은 우측 판부(23a) 및 좌측 판부(23b)보다도 좌우방향의 외측으로 돌출되어 있다. 회전축(46)은 상하 좌우 방향에 있어서 회전축(42)과 동일한 위치에 배치되어 있다.The rotating
2개의 구동 풀리(48)의 각각은, 좌우 방향에 있어서의 회전축(42)의 양 단부의 각각에 고정되어 있다. 종동 풀리(53)는 베벨 기어(41)와 구동 풀리(48) 사이에서 회전축(42)에 회전 가능하게 보유 지지되어 있으며, 2개의 종동 풀리(53)는 2개의 구동 풀리(48)보다도 좌우 방향의 내측에 배치되어 있다. 또한 2개의 종동 풀리(53)는 우측 판부(23a) 및 좌측 판부(23b)보다도 좌우 방향의 외측에 배치되어 있다.Each of the two drive pulleys 48 is being fixed to each of the both ends of the
2개의 종동 풀리(49)의 각각은, 좌우 방향에 있어서의 회전축(46)의 양 단부의 각각에 회전 가능하게 보유 지지되어 있다. 종동 풀리(49)는 좌우 방향에 있어서 구동 풀리(48)와 동일한 위치에 배치되어 있다. 구동 풀리(52)는 베벨 기어(45)과 종동 풀리(49) 사이에서 회전축(46)에 고정되어 있으며, 2개의 구동 풀리(52)는 2개의 종동 풀리(49)보다도 좌우 방향의 내측에 배치되어 있다. 또한 2개의 구동 풀리(52)는 우측 판부(23a) 및 좌측 판부(23b)보다도 좌우 방향의 외측에 배치되어 있다. 구동 풀리(52)는 좌우 방향에 있어서 종동 풀리(53)와 동일한 위치에 배치되어 있다.Each of the two driven
벨트(50)는 핸드 지지 부재(7)에 고정되어 있다. 구체적으로는 소정의 설치 부재 및 볼트에 의하여 2개의 벨트(50)의 각각의 일부가 2개의 슬라이드부(7a)의 각각의 상단부에 고정되어 있다. 본 형태의 벨트(50)는 유단 벨트이며, 구동 풀리(48) 및 종동 풀리(49)에 가설된 벨트(50)의 양 단부의 각각이 설치 부재 및 볼트에 의하여 슬라이드부(7a)에 고정되어 있다(도 7의 (B) 참조). 또한 벨트(50)는 핸드 고정부(7b)보다도 좌우 방향의 내측에 배치되어 있다. 또한 벨트(50)는, 환상으로 형성된 무단 벨트여도 된다.The
벨트(54)는 핸드 지지 부재(8)에 고정되어 있다. 구체적으로는 소정의 설치 부재 및 볼트에 의하여 2개의 벨트(54)의 각각의 일부가 2개의 슬라이드부(8a)의 각각의 하단부에 고정되어 있다. 벨트(50)와 마찬가지로 본 형태의 벨트(54)는 유단 벨트이며, 구동 풀리(52) 및 종동 풀리(53)에 가설된 벨트(54)의 양 단부의 각각이 설치 부재 및 볼트에 의하여 슬라이드부(8a)에 고정되어 있다(도 7의 (A) 참조). 또한 벨트(54)는 핸드 고정부(8b)보다도 좌우 방향의 내측에 배치되어 있다. 또한 벨트(54)는, 환상으로 형성된 무단 벨트여도 된다.The
구동 풀리(48, 52) 및 종동 풀리(49, 53)가 상술한 바와 같이 배치되어 있기 때문에, 전후 방향에서 보았을 때에 2개의 벨트(50)의 각각은 모터(37, 38)의 좌우의 양측의 각각에 배치되고, 2개의 벨트(54)의 각각은 모터(37, 38)의 좌우의 양측의 각각에 배치되어 있다. 구체적으로는, 전후 방향에서 보았을 때에 2개의 벨트(50)의 각각은 모터(37, 38)의 회전 중심에 대하여 좌우 대칭으로 배치되고, 2개의 벨트(54)의 각각은 모터(37, 38)의 회전 중심에 대하여 좌우 대칭으로 배치되어 있다.Since the drive pulleys 48 and 52 and the driven
또한 벨트(54)는 벨트(50)와 좌우 방향으로 인접하도록, 또한 벨트(50)와 동일한 높이로 배치되어 있다. 즉, 암(9)의 내부의 좌우의 양 단부측에 있어서, 벨트(54)는 좌우 방향의 내측에서 벨트(50)와 인접하도록, 또한 벨트(50)와 동일한 높이로 배치되어 있다. 또한 암(9)의 내부의 좌우의 양 단부측에 있어서, 벨트(54)는 좌우 방향의 외측에서 우측 판부(23a) 및 좌측 판부(23b)와 인접하도록 배치되어 있다.Moreover, the
(본 형태의 주된 효과)(Main effect of this form)
이상 설명한 바와 같이 본 형태에서는, 모터(37)의 좌우의 양측에 배치되는 2개의 벨트(50)가 핸드 지지 부재(7)에 고정되고, 모터(38)의 좌우의 양측에 배치되는 2개의 벨트(54)가 핸드 지지 부재(8)에 고정되어 있다. 그 때문에 본 형태에서는, 상술한 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇과 같이 이동 시의 핸드 지지 부재(7, 8)에 모멘트가 생기는 것을 방지하는 것이 가능해진다. 따라서 본 형태에서는 핸드 지지 부재(7, 8)의 동작을 안정시키는 것이 가능해지며, 그 결과, 핸드(5, 6)의 동작을 안정시키는 것이 가능해진다.As described above, in this embodiment, two
또한 본 형태에서는, 핸드 지지 부재(7)의 좌우 방향의 양 단부측에 핸드(5)가 고정되는 핸드 고정부(7b)가 형성되어 있어서, 핸드(5)가 좌우의 양측에서 핸드 지지 부재(7)에 지지되어 있다. 마찬가지로 본 형태에서는, 핸드 지지 부재(8)의 좌우 방향의 양 단부측에 핸드(6)가 고정되는 핸드 고정부(8b)가 형성되어 있어서, 핸드(6)가 좌우의 양측에서 핸드 지지 부재(8)에 지지되어 있다. 그 때문에 본 형태에서는, 핸드 지지 부재(7)와 함께 전후 방향으로 이동하는 핸드(5)의 상태, 및 핸드 지지 부재(8)과 함께 전후 방향으로 이동하는 핸드(6)의 상태를 안정시키는 것이 가능해진다.Moreover, in this form, the
본 형태에서는, 모터(37)의 회전 중심과 모터(38)의 회전 중심이 동일한 높이로 배치됨과 함께, 벨트(54)는 좌우 방향으로 벨트(50)와 인접하도록, 또한 벨트(50)와 동일한 높이로 배치되어 있다. 그 때문에 본 형태에서는, 암(9)의 내부에 배치되는 구동 기구(17, 18)의 높이를 낮게 하는 것이 가능해진다. 따라서 본 형태에서는, 핸드(5, 6)의 동작을 안정시키는 것이 가능하더라도 암(9)의 두께(상하 방향의 두께)를 얇게 하는 것이 가능해지며, 그 결과, 로봇(1)의 높이를 낮게 하는 것이 가능해진다. 또한 본 형태에서는, 챔버(3) 내에 배치되는 암(9)의 두께를 얇게 하는 것이 가능해지기 때문에 챔버(3)의 높이를 낮게 하는 것이 가능해진다.In this form, while the rotation center of the
본 형태에서는, 전후 방향에서 보았을 때에 모터(37)의 회전 중심과 모터(38)의 회전 중심이 일치하고 있다. 그 때문에 본 형태에서는 암(9)의 폭(좌우 방향의 폭)을 좁히는 것이 가능해진다. 또한 본 형태에서는, 구동 풀리(48)가 고정되는 회전축(42)에 종동 풀리(53)가 회전 가능하게 보유 지지되고, 구동 풀리(52)가 고정되는 회전축(46)에 종동 풀리(49)가 회전 가능하게 보유 지지되어 있기 때문에, 종동 풀리(53)가 회전 가능하게 보유 지지되는 축이나 종동 풀리(49)가 회전 가능하게 보유 지지되는 축이 별도 마련되어 있는 경우와 비교하여 로봇(1)의 구성을 간소화하는 것이 가능해진다.In this form, when seen from the front-back direction, the rotation center of the
(다른 실시 형태)(Other embodiment)
상술한 형태는 본 발명의 적합한 형태의 일례이기는 하지만 이에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에 있어서 다양한 변형 실시가 가능하다.Although the above-mentioned form is an example of a suitable form of this invention, it is not limited to this, In the range which does not change the summary of this invention, various deformation|transformation implementation is possible.
상술한 형태에서는, 종동 풀리(49)는 회전축(46)에 회전 가능하게 보유 지지되어 있지만, 종동 풀리(49)를 회전 가능하게 보유 지지하는 축이 별도 마련되어 있어도 된다. 마찬가지로 상술한 형태에서는, 종동 풀리(53)는 회전축(42)에 회전 가능하게 보유 지지되어 있지만, 종동 풀리(53)를 회전 가능하게 보유 지지하는 축이 별도 마련되어 있어도 된다. 또한 상술한 형태에서는, 벨트(54)는 좌우 방향의 내측에서 벨트(50)와 인접하도록 배치되어 있지만, 예를 들어 우측에 배치되는 벨트(50)의 우측에 벨트(54)가 배치되어 있어도 되고, 좌측에 배치되는 벨트(50)의 좌측에 벨트(54)가 배치되어 있어도 된다.In the form mentioned above, although the driven
상술한 형태에 있어서, 전후 방향에서 보았을 때에 모터(37)의 회전 중심과 모터(38)의 회전 중심이 좌우 방향으로 어긋나 있어도 된다. 또한 상술한 형태에 있어서, 모터(37)는 암(9)의 후단부의 내부에 배치되어 있어도 되고, 모터(38)는 암(9)의 전단부의 내부에 배치되어 있어도 된다. 또한 상술한 형태에 있어서, 핸드 지지 부재(7)의 좌우 방향의 일방측에만, 핸드(5)가 고정되는 핸드 고정부(7b)가 형성되어 있어도 되고, 핸드 지지 부재(8)의 좌우 방향의 일방측에만, 핸드(6)가 고정되는 핸드 고정부(8b)가 형성되어 있어도 된다.In the aspect described above, when viewed from the front-rear direction, the rotational center of the
상술한 형태에 있어서, 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇과 같이, 암(9)은 암 지지 부재에 대하여 전후 방향으로 직선적으로 왕복 이동 가능해지도록 암 지지 부재에 보유 지지되어 있어도 된다. 또한 상술한 형태에 있어서, 암(9)의 내부의 전체가 대기압으로 되어 있어도 된다. 또한 암(9)의 내부의 전체가 진공으로 되어 있어도 된다. 즉, 모터(37, 38)는 진공 중에 배치되어 있어도 된다.In the above aspect, like the industrial robot described in Patent Document 1, the arm 9 may be held by the arm support member so as to be linearly reciprocated with respect to the arm support member in the front-rear direction. In addition, in the aspect mentioned above, the whole inside of the arm 9 may be atmospheric pressure. Moreover, the whole inside of the arm 9 may be made into a vacuum. That is, the
상술한 형태에 있어서, 로봇(1)은, 대기 중에서 기판(2)을 반송하는 로봇이어도 된다. 또한 상술한 형태에서는, 로봇(1)에 의하여 반송되는 반송 대상물은 액정 디스플레이용의 유리 기판(2)이지만, 로봇(1)에 의하여 반송되는 반송 대상물은, 예를 들어 유기 EL(유기 일렉트로루미네센스) 디스플레이용 유리 기판이어도 되고, 유리 기판(2) 이외의 반송 대상물이어도 된다.In the above aspect, the robot 1 may be a robot which conveys the board|
1: 로봇(산업용 로봇)
2; 기판(유리 기판, 반송 대상물)
5; 핸드(제1 핸드)
6: 핸드(제2 핸드)
7: 핸드 지지 부재(제1 핸드 지지 부재)
7b: 핸드 고정부(제1 핸드 고정부)
8: 핸드 지지 부재(제2 핸드 지지 부재)
8b: 핸드 고정부(제2 핸드 고정부)
9: 암
17: 구동 기구(제1 구동 기구)
18: 구동 기구(제2 구동 기구)
37: 모터(제1 모터)
38: 모터(제2 모터)
39: 회전축(제3 회전축)
40: 베벨 기어(제1 베벨 기어)
41: 베벨 기어(제2 베벨 기어)
42: 회전축(제1 회전축)
43: 회전축(제4 회전축)
44: 베벨 기어(제3 베벨 기어)
45: 베벨 기어(제4 베벨 기어)
46: 회전축(제2 회전축)
48: 구동 풀리(제1 구동 풀리)
49: 종동 풀리(제1 종동 풀리)
50: 벨트(제1 벨트)
52: 구동 풀리(제2 구동 풀리)
53: 종동 풀리(제2 종동 풀리)
54: 벨트(제2 벨트)
X: 전후 방향
Y: 좌우 방향1: Robot (industrial robot)
2; Substrates (glass substrates, transported objects)
5; hand (first hand)
6: Hand (2nd hand)
7: Hand support member (first hand support member)
7b: hand fixing part (first hand fixing part)
8: hand support member (second hand support member)
8b: hand fixing part (second hand fixing part)
9: Cancer
17: drive mechanism (first drive mechanism)
18: drive mechanism (second drive mechanism)
37: motor (first motor)
38: motor (second motor)
39: rotation shaft (third rotation shaft)
40: bevel gear (first bevel gear)
41: bevel gear (second bevel gear)
42: rotation shaft (first rotation shaft)
43: rotation shaft (fourth rotation shaft)
44: bevel gear (third bevel gear)
45: bevel gear (fourth bevel gear)
46: rotation shaft (second rotation shaft)
48: drive pulley (first drive pulley)
49: driven pulley (first driven pulley)
50: belt (first belt)
52: drive pulley (second drive pulley)
53: driven pulley (second driven pulley)
54: belt (second belt)
X: forward and backward
Y: left and right
Claims (10)
상기 제1 구동 기구 및 상기 제2 구동 기구는 상기 암의 내부에 배치되고,
상기 암에 대한 상기 제1 핸드 지지 부재 및 상기 제2 핸드 지지 부재의 이동 방향을 전후 방향이라 하고, 상하 방향과 전후 방향에 직교하는 방향을 좌우 방향이라 하면,
상기 제1 구동 기구는, 구동원으로서의 제1 모터와, 상기 제1 모터의 동력으로 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전함과 함께 전후 방향에 있어서의 상기 암의 일 단부측의 내부에 배치되는 2개의 제1 구동 풀리와, 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전함과 함께 전후 방향에 있어서의 상기 암의 타 단부측의 내부에 배치되는 2개의 제1 종동 풀리와, 상기 제1 핸드 지지 부재에 고정됨과 함께 상기 제1 구동 풀리와 상기 제1 종동 풀리에 가설되는 2개의 제1 벨트를 구비하고,
상기 제2 구동 기구는, 구동원으로서의 제2 모터와, 상기 제2 모터의 동력으로 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전함과 함께 전후 방향에 있어서의 상기 암의 타 단부측의 내부에 배치되는 2개의 제2 구동 풀리와, 좌우 방향을 회전의 축 방향으로 하여 회전함과 함께 전후 방향에 있어서의 상기 암의 일 단부측의 내부에 배치되는 2개의 제2 종동 풀리와, 상기 제2 핸드 지지 부재에 고정됨과 함께 상기 제2 구동 풀리와 상기 제2 종동 풀리에 가설되는 2개의 제2 벨트를 구비하고,
상기 제1 모터의 회전 중심과 상기 제2 모터의 회전 중심은 동일한 높이로 배치되고,
전후 방향에서 보았을 때에 상기 제1 벨트는 상기 제1 모터의 양측의 각각에 배치되고, 상기 제2 벨트는 상기 제2 모터의 양측의 각각에 배치됨과 함께, 좌우 방향으로 상기 제1 벨트와 인접하도록, 또한 상기 제1 벨트와 동일한 높이로 배치되고,
상기 제1 구동 기구는, 2개의 상기 제1 구동 풀리가 고정되는 제1 회전축을 구비하고,
상기 제2 구동 기구는, 2개의 상기 제2 구동 풀리가 고정되는 제2 회전축을 구비하고,
2개의 상기 제1 종동 풀리는 상기 제2 회전축에 회전 가능하게 보유 지지되고,
2개의 상기 제2 종동 풀리는 상기 제1 회전축에 회전 가능하게 보유 지지되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.first and second hands on which an object to be transported is mounted; a first hand support member on which the first hand is fixed; a second hand support member on which the second hand is fixed; An arm for holding the first and second hand support members and reciprocating the first hand support member with respect to the arm so that the second hand support member can linearly reciprocate in the same horizontal direction. a first drive mechanism for moving the second drive mechanism for reciprocating the second hand support member with respect to the arm;
the first drive mechanism and the second drive mechanism are disposed inside the arm;
If the moving directions of the first hand supporting member and the second hand supporting member with respect to the arm are referred to as a front-rear direction, and a direction orthogonal to the vertical direction and the front-rear direction is referred to as the left-right direction,
The first drive mechanism includes a first motor as a drive source, and a power of the first motor rotates in a left-right direction as an axial direction of rotation, and is disposed inside one end side of the arm in the front-rear direction. Two first drive pulleys, two first driven pulleys arranged inside the other end side of the arm in the front-rear direction while rotating with the left-right direction as the axis of rotation; and two first belts fixed to the member and installed on the first driving pulley and the first driven pulley,
The second drive mechanism includes a second motor as a drive source, and the power of the second motor rotates in a left-right direction as an axial direction of rotation, and is disposed inside the other end side of the arm in the front-rear direction. Two second drive pulleys, two second driven pulleys arranged inside one end side of the arm in the front-rear direction while rotating with the left-right direction as the axis of rotation; and two second belts fixed to the member and installed on the second driving pulley and the second driven pulley,
The rotation center of the first motor and the rotation center of the second motor are disposed at the same height,
When viewed from the front-rear direction, the first belt is disposed on each of both sides of the first motor, the second belt is disposed on each of both sides of the second motor, and is adjacent to the first belt in the left-right direction , also arranged at the same height as the first belt,
The first driving mechanism includes a first rotating shaft to which the two first driving pulleys are fixed,
The second drive mechanism includes a second rotation shaft to which the two second drive pulleys are fixed,
The two first driven pulleys are rotatably held on the second rotating shaft,
The two second driven pulleys are rotatably held on the first rotating shaft.
전후 방향에서 보았을 때에 상기 제1 모터의 회전 중심과 상기 제2 모터의 회전 중심이 일치하고 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.According to claim 1,
Industrial robot, characterized in that the rotational center of the first motor coincides with the rotational center of the second motor when viewed from the front-rear direction.
상기 제1 핸드 지지 부재의 좌우 방향의 양 단부측에는, 상기 제1 핸드가 고정되는 제1 핸드 고정부가 형성되고,
상기 제2 핸드 지지 부재의 좌우 방향의 양 단부측에는, 상기 제2 핸드가 고정되는 제2 핸드 고정부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.3. The method of claim 2,
A first hand fixing portion to which the first hand is fixed is formed on both ends of the first hand supporting member in the left and right directions,
An industrial robot, characterized in that at both ends of the second hand support member in the left and right direction, second hand fixing parts to which the second hand is fixed are formed.
상기 제1 핸드 지지 부재의 좌우 방향의 양 단부측에는, 상기 제1 핸드가 고정되는 제1 핸드 고정부가 형성되고,
상기 제2 핸드 지지 부재의 좌우 방향의 양 단부측에는, 상기 제2 핸드가 고정되는 제2 핸드 고정부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.According to claim 1,
A first hand fixing portion to which the first hand is fixed is formed on both ends of the first hand supporting member in the left and right directions,
An industrial robot, characterized in that at both ends of the second hand support member in the left and right direction, second hand fixing parts to which the second hand is fixed are formed.
상기 제1 모터 및 상기 제2 모터는, 상기 제1 모터의 출력축과 상기 제2 모터의 출력축이 반대 방향으로 돌출되도록 상기 암의 중심 부분의 내부에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.5. The method according to any one of claims 1 to 4,
The first motor and the second motor, the output shaft of the first motor and the output shaft of the second motor are disposed inside the center portion of the arm so as to protrude in opposite directions industrial robot.
상기 제1 구동 기구는, 상기 제1 모터의 출력축에 연결되는 제3 회전축과, 상기 제3 회전축의 선단부에 고정되는 제1 베벨 기어와, 상기 제1 회전축에 고정됨과 함께 상기 제1 베벨 기어에 맞물리는 제2 베벨 기어를 구비하고,
상기 제2 구동 기구는, 상기 제2 모터의 출력축에 연결되는 제4 회전축과, 상기 제4 회전축의 선단부에 고정되는 제3 베벨 기어와, 상기 제2 회전축에 고정됨과 함께 상기 제3 베벨 기어에 맞물리는 제4 베벨 기어를 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.10. The method of claim 9,
The first driving mechanism includes a third rotating shaft connected to the output shaft of the first motor, a first bevel gear fixed to the tip of the third rotating shaft, and the first bevel gear while being fixed to the first rotating shaft. having a meshing second bevel gear;
The second driving mechanism includes a fourth rotation shaft connected to the output shaft of the second motor, a third bevel gear fixed to the tip of the fourth rotation shaft, and a third bevel gear fixed to the second rotation shaft and connected to the third bevel gear. Industrial robot characterized in that it has a meshing 4th bevel gear.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017146863A JP6869136B2 (en) | 2017-07-28 | 2017-07-28 | Industrial robot |
JPJP-P-2017-146863 | 2017-07-28 | ||
PCT/JP2018/026254 WO2019021833A1 (en) | 2017-07-28 | 2018-07-12 | Industrial robot |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20200006101A KR20200006101A (en) | 2020-01-17 |
KR102340217B1 true KR102340217B1 (en) | 2021-12-17 |
Family
ID=65040592
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020197036454A KR102340217B1 (en) | 2017-07-28 | 2018-07-12 | industrial robot |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6869136B2 (en) |
KR (1) | KR102340217B1 (en) |
CN (1) | CN110944805B (en) |
WO (1) | WO2019021833A1 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7510288B2 (en) * | 2020-07-10 | 2024-07-03 | ニデックインスツルメンツ株式会社 | Industrial Robots |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2258645A1 (en) * | 1972-11-30 | 1974-06-20 | Orenstein & Koppel Ag | ELECTRIC MOTORS FOR THE SIMULTANEOUS DRIVE OF TWO AXES MOUNTED IN A RAILWAY TURNTABLE |
DE3217301C2 (en) * | 1982-05-05 | 1986-02-20 | Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt | Drive for electric rail locomotives |
JPH1126550A (en) * | 1997-07-04 | 1999-01-29 | Tokyo Electron Ltd | Substrate conveyer and apparatus for treating substrate, using the same |
JP4302575B2 (en) * | 2003-05-30 | 2009-07-29 | 東京エレクトロン株式会社 | Substrate transfer apparatus and vacuum processing apparatus |
JP4731267B2 (en) * | 2005-09-29 | 2011-07-20 | 日本電産サンキョー株式会社 | Robot hand and workpiece transfer robot using the same |
JP4694436B2 (en) * | 2006-07-28 | 2011-06-08 | 株式会社ダイヘン | Transfer robot |
CN101888959B (en) * | 2007-12-05 | 2013-07-03 | 平田机工株式会社 | Substrate conveying apparatus and method of controlling the apparatus |
KR100987362B1 (en) * | 2008-09-02 | 2010-10-13 | 주식회사 티이에스 | Apparatus for transferring substrate for use in transfer chamber |
KR101023050B1 (en) * | 2008-10-30 | 2011-03-24 | 주식회사 티이에스 | Apparatus for transferring large size substrate for use in transfer chamber at vacuum atmosphere |
JP6190692B2 (en) | 2013-10-22 | 2017-08-30 | 日本電産サンキョー株式会社 | Industrial robot |
JP6299454B2 (en) * | 2014-06-13 | 2018-03-28 | トヨタ自動車株式会社 | Transfer arm |
JP6616606B2 (en) * | 2015-07-13 | 2019-12-04 | 日本電産サンキョー株式会社 | Industrial robot |
-
2017
- 2017-07-28 JP JP2017146863A patent/JP6869136B2/en active Active
-
2018
- 2018-07-12 KR KR1020197036454A patent/KR102340217B1/en active IP Right Grant
- 2018-07-12 CN CN201880048183.0A patent/CN110944805B/en active Active
- 2018-07-12 WO PCT/JP2018/026254 patent/WO2019021833A1/en active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6869136B2 (en) | 2021-05-12 |
WO2019021833A1 (en) | 2019-01-31 |
KR20200006101A (en) | 2020-01-17 |
CN110944805B (en) | 2023-02-21 |
JP2019025586A (en) | 2019-02-21 |
CN110944805A (en) | 2020-03-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP4169858A1 (en) | Loading and unloading equipment, and loading and unloading system | |
WO2015071951A1 (en) | Article storage facility | |
JP6110636B2 (en) | Industrial robot | |
KR102539039B1 (en) | Industrial robot | |
CN108656123B (en) | Industrial robot | |
KR102260097B1 (en) | industrial robot | |
JP6313963B2 (en) | Industrial robot | |
EP2353797A1 (en) | Substrate transfer robot and system | |
CN110234582A (en) | Aerial transport carriage | |
KR102340217B1 (en) | industrial robot | |
JP2015131720A (en) | Low temperature storage system and transport mechanism for the same | |
KR20130024856A (en) | Robot arm structure and robot | |
KR102328513B1 (en) | industrial robot | |
KR101642573B1 (en) | Industrial robot | |
JP2011240456A (en) | Component supply device and assembly system | |
KR102539037B1 (en) | Industrial robot | |
KR20230048598A (en) | Industrial robot | |
TWI764849B (en) | cryogenic storage system | |
KR20230048603A (en) | Industrial robot and manufacturing system | |
KR20220094146A (en) | Industrial robot | |
KR20220094132A (en) | Industrial robot | |
JPH10167462A (en) | Transfer device for article | |
KR20150025186A (en) | Cableveyor and Apparatus for Transferring Substrate having the same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |