KR102330937B1 - Method for manufacturing martensitic precipitation hardening stainless steel for improving corrosion resistance and surface hardness and method for surface treatment of cable protector - Google Patents

Method for manufacturing martensitic precipitation hardening stainless steel for improving corrosion resistance and surface hardness and method for surface treatment of cable protector Download PDF

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Abstract

The present invention provides a method for manufacturing martensitic stainless steel and a method for treating a surface of a cable protection device using the same. The disclosed martensitic stainless steel manufacturing method according to the present invention comprises the steps of: performing a pretreatment process before charging a martensitic precipitation hardening type stainless steel base material into surface treatment process equipment; after loading the base material into a chamber of the process equipment, performing first sputtering treatment; performing surface treatment on the base material on which the first sputtering treatment has been performed; performing second sputtering treatment on the surface-treated base material; forming a supersaturated nitride layer on the surface of the base material by performing multi-nitriding treatment on the base material on which the second sputtering treatment has been performed; and performing a post-treatment process of cooling the multi-nitriding treated base material. The present invention improves corrosion resistance and hardness.

Description

내식성 및 표면경도를 개선한 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 제조방법 및 이를 이용한 케이블 보호장치 표면 처리방법{METHOD FOR MANUFACTURING MARTENSITIC PRECIPITATION HARDENING STAINLESS STEEL FOR IMPROVING CORROSION RESISTANCE AND SURFACE HARDNESS AND METHOD FOR SURFACE TREATMENT OF CABLE PROTECTOR}Method for manufacturing martensitic precipitation hardening stainless steel with improved corrosion resistance and surface hardness and method for surface treatment of cable protection device using the same

본 발명은 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 제조방법에 관한 것으로, 스테인리스강의 표면처리시 질화처리와 탄소(C)가 포함된 질화처리 공정을 교대로 진행하여 내식성 및 경화성을 향상시킨 마르텐사이트계 스테인리스강 제조방법 및 이를 이용한 케이블 보호장치 표면 처리방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing martensitic precipitation hardening stainless steel, wherein the martensitic stainless steel has improved corrosion resistance and hardenability by alternately performing nitriding and carbon (C) nitriding processes during surface treatment of stainless steel. It relates to a manufacturing method and a method for surface treatment of a cable protection device using the same.

금속재료 중 크롬 함량이 적어도 13 중량% 이상 함유되어있는 스테인리스강(stainless steel)은 표면에 형성된 20-50 Å의 얇은 크롬산화막(Cr2O3)이 존재하여 부식으로부터 표면을 보호하는 역할을 한다. 이러한 높은 내식성으로 인해 식품, 약품, 식기 등 다양한 분야에 사용되고 있으나, 낮은 경도 특성 때문에 그 수요가 높은 자동차, 기계, 전자 부품에는 사용에 제약이 따르고 있다.Stainless steel containing at least 13% by weight of chromium among metal materials has a thin chromium oxide film (Cr2O3) of 20-50 Å formed on the surface to protect the surface from corrosion. Due to such high corrosion resistance, it is used in various fields such as food, medicine, and tableware, but its use is limited in automobiles, machinery, and electronic parts, which are in high demand due to low hardness characteristics.

이에, 스테인리스강의 표면 처리 기술이 빠른 속도로 개발되고 있는 실정에 있다. 통상, 스테인리스강의 표면처리 방법으로는 침탄(carburizing)법, 질화(nitriding)법 등이 있다.Accordingly, there is a situation in which the surface treatment technology of stainless steel is being developed at a rapid rate. In general, as a surface treatment method of stainless steel, there are a carburizing method, a nitriding method, and the like.

먼저, 상기 침탄법은 가장 오래된 표면경화법의 하나로 탄소가 적은 모재를 목탄과 같은 탄소로 구성된 물질 및 탄소를 포함하는 가스와 접촉시킨 상태에서 850℃ 이상의 높은 온도로 가열하여 즉 오스테나이트 영역에서 모재의 내부로 탄소를 흡수케 하는 방법이다.First, the carburizing method is one of the oldest surface hardening methods by heating a base material with less carbon to a high temperature of 850° C. or higher in a state of contacting a material composed of carbon such as charcoal and a gas containing carbon, that is, in the austenite region. It is a method to absorb carbon into the interior of

상기 질화법은 다른 열처리 경화법에 비해 저온 즉 페라이트 영역에서 실시되므로 처리 후 변형이 적어 기계부품의 수명연장 수단으로 전 산업분야에 활용되고 있다. 질화라 함은 질소를 모재에 침투시켜 그 표면을 경화시키는 조작을 말하는 것이다.Since the nitriding method is carried out at a low temperature, that is, in a ferrite region, compared to other heat treatment and hardening methods, there is less deformation after treatment, so it is used in all industrial fields as a means of extending the life of mechanical parts. Nitriding refers to the operation of permeating nitrogen into the base material to harden the surface.

특히, 플라즈마를 이용한 질화는 플라즈마 방전에 의한 활성이온을 금속 표면에 침투시켜 경화처리 하는 것으로, 금속재료를 반응로 내에 설치한 상태에서 진공 상태의 반응로를 일정한 반응온도로 가열하는 한편, 반응로에 질화용 가스를 투입시키고, 금속재료에 일정한 펄스형 음전압을 인가하여 플라즈마를 발생시키는 공정에 의해 금속재료의 표면을 경화처리 한다.In particular, nitridation using plasma is a hardening treatment by infiltrating active ions by plasma discharge into the metal surface. The surface of the metal material is hardened by the process of injecting a nitriding gas into the metal material and generating a plasma by applying a constant pulsed negative voltage to the metal material.

이에, 탄소강의 내마모성을 증가시키기 위해 질화법에 의한 표면처리를 하는 경우 500-600 ℃ 온도범위에서 금속재료의 표면으로부터 내부로 질소를 확산 침투시켜 경도를 높이는 것이 일반적이다.Therefore, in the case of surface treatment by nitriding to increase the wear resistance of carbon steel, it is common to increase the hardness by diffusing nitrogen from the surface of the metal material to the inside in the temperature range of 500-600 ° C.

그러나, 상기 질화처리를 스테인리스강에 적용하면 표면에 높은 경화층을 형성함으로써 표면 경도는 향상시킬 수 있으나, 500 ℃ 이상에서 실시되는 질화공정의 특성상 질화크롬(CrN)이 석출된다. 그 석출물 주위에는 크롬함량이 13 중량% 이하로 감소하여 표면에 얇고 안정한 산화크롬(Cr2O3) 피막을 형성할 수 없다. 따라서 모재의 물성이 저하되어 내식 특성이 현저하게 떨어지는 문제가 있다.However, when the nitriding treatment is applied to stainless steel, the surface hardness can be improved by forming a high hardened layer on the surface, but chromium nitride (CrN) is precipitated due to the nature of the nitriding process carried out at 500° C. or higher. A thin and stable chromium oxide (Cr2O3) film cannot be formed on the surface because the chromium content is reduced to 13% by weight or less around the precipitate. Accordingly, there is a problem in that the physical properties of the base material are lowered and the corrosion resistance properties are remarkably deteriorated.

이러한 문제를 해결하기 위해 질화처리 단계를 450℃ 이하로 낮추는 질화처리 방법이 고안되었으나 내식성은 개선되었지만 내마모성 및 얇은 경화층 두께로 인한 하중지탱 능력이 현저히 떨어지는 문제가 발생하였다.To solve this problem, a nitriding treatment method of lowering the nitriding treatment step to 450°C or lower was devised, but the corrosion resistance was improved, but a problem occurred that the abrasion resistance and the load bearing capacity were significantly lowered due to the thin hardened layer thickness.

즉, 질화크롬(CrN) 석출을 방지하기 위해 질화처리 온도를 낮추면 스테인리스 강의 경도가 낮아지는 문제가 발생한다. 따라서, 스테인리스강에 대한 내식성과 경화성(내마모성)을 함께 강화시키는 기술이 요구된다.That is, if the nitriding temperature is lowered to prevent chromium nitride (CrN) precipitation, a problem occurs in that the hardness of stainless steel is lowered. Therefore, there is a need for a technology for strengthening both corrosion resistance and hardenability (wear resistance) of stainless steel.

JP 2005-531694 AJP 2005-531694 A

본 발명의 목적은 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강에 질소(N2)를 포함하는 질화처리와 질소(N2) 및 탄소(C)를 포함하는 질화처리를 서로 교대로 진행함으로써 스테인리스강의 내식성과 내마모성을 함께 개선한 내식성 및 경화능을 개선한 마르텐사이트계 스테인리스강 제조방법을 제공하는 것이다.An object of the present invention is stainless steel, corrosion resistance and wear resistance by proceeding the nitriding treatment including a nitriding with nitrogen (N 2) and carbon (C) having a nitrogen (N 2) to the martensitic precipitation hardening type stainless steel to each other alternately To provide a method for manufacturing martensitic stainless steel with improved corrosion resistance and hardenability.

본 발명의 목적은 케이블을 보호하기 위한 케이블 보호장치를 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 재질로 제작하고, 이를 질소(N2) 가스를 이용한 표면처리와 질소(N2) 및 탄소(C) 가스를 이용한 표면처리를 교대로 진행함으로써 케이블 보호장치의 내식성과 경화성을 향상시킨 케이블 보호장치 표면 처리방법을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to manufacture a cable protection device for protecting a cable from a martensitic precipitation hardening type stainless steel material, and surface treatment using nitrogen (N 2 ) gas and nitrogen (N 2 ) and carbon (C) gas. An object of the present invention is to provide a method for surface treatment of a cable protection device in which corrosion resistance and hardenability of the cable protection device are improved by alternately performing surface treatment.

전술한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 내식성 및 경화능을 개선한 마르텐사이트계 스테인리스강 제조방법은, 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 모재를 표면처리 공정 장비에 장입하기전 전처리 공정을 진행하는 단계; 상기 모재를 공정 장비의 챔버 내에 로딩시킨 후, 제1 스퍼터링 처리를 진행하는 단계; 상기 제1 스퍼터링 처리가 된 모재에 표면처리를 진행하는 단계; 상기 표면처리가된 모재에 대해 제2 스퍼터링 처리를 진행하는 단계; 상기 제2 스퍼터링 처리된 모재에 대해 멀티 질화처리를 진행하여 상기 모재 표면에 과포화 질화층을 형성하는 단계; 및 상기 멀티 질화처리된 모재를 냉각시키는 후처리 공정을 진행하는 단계를 포함한다.The martensitic stainless steel manufacturing method with improved corrosion resistance and hardenability of the present invention for solving the above-described problems includes the steps of performing a pretreatment process before charging a martensitic precipitation hardening stainless steel base material into a surface treatment equipment; After loading the base material into the chamber of the process equipment, performing a first sputtering treatment; performing a surface treatment on the base material subjected to the first sputtering treatment; performing a second sputtering treatment on the surface-treated base material; forming a supersaturated nitride layer on the surface of the base material by performing multi-nitriding treatment on the second sputtering-treated base material; and performing a post-treatment process for cooling the multi-nitriding-treated base material.

또한, 본 발명의 내식성 및 경화능을 개선한 마르텐사이트계 스테인리스강 제조방법은, 상기 멀티 질화처리 단계는, 상기 챔버 내의 공정 가스의 질소(N2) 함량이 10~30% 범위에서 선택된 조건에서 상기 모재에 복수회 제1 처리를 진행하는 단계와, 상기 챔버 내의 공정 가스의 질소(N2) 함량은 10~30%이고, 탄소(C) 함량은 1~5% 범위에서 선택된 조건에서 상기 모재에 복수회 제2 처리를 진행하는 단계를 포함하며, 상기 제1 처리 단계와 제2 처리 단계는 서로 교대로 진행하고, 상기 제1 처리 단계의 총 시간은 상기 제2 처리 단계의 총 시간보다 작은 것을 특징으로 한다.In addition, in the method for manufacturing martensitic stainless steel with improved corrosion resistance and hardenability of the present invention, the multi-nitriding treatment step is performed under a condition in which the nitrogen (N 2 ) content of the process gas in the chamber is selected in the range of 10 to 30%. The step of performing the first treatment a plurality of times on the base material, and the nitrogen (N 2 ) content of the process gas in the chamber is 10 to 30%, and the carbon (C) content is selected from the range of 1 to 5%. performing a second processing a plurality of times, wherein the first processing step and the second processing step alternate with each other, and the total time of the first processing step is less than the total time of the second processing step characterized in that

여기서, 상기 제1 처리 단계는 공정 가스의 질소(N2) 함량이 각각 15%, 20%, 25%의 제1 내지 제3 서브처리 단계를 포함하고, 상기 제2 처리 단계는 공정 가스의 탄소(C) 함량이 각각 1%, 2%, 3%의 제4 내지 제6 서브처리 단계를 포함하며, 상기 제1 내지 제3 서브처리 단계와 상기 제4 내지 제6 서브처리 단계는 각각 서로 교대로 상기 모재 상에 진행하는 것을 특징으로 한다.Here, the first treatment step includes first to third sub-treatment steps in which the nitrogen (N 2 ) content of the process gas is 15%, 20%, and 25%, respectively, and the second treatment step includes carbon in the process gas (C) including fourth to sixth sub-processing steps having a content of 1%, 2%, and 3%, respectively, wherein the first to third sub-processing steps and the fourth to sixth sub-processing steps are alternated with each other, respectively It is characterized in that it proceeds on the base material.

또한, 상기 제1 처리 단계의 총 시간은 3~6시간(H)이고, 상기 제2 처리 단계의 총 시간은 9~12시간(H)이고, 상기 멀티 질화처리 단계의 공정 온도는 300-400 ℃이고, 압력은 4 Torr이며, 상기 모재 상에 형성된 과포화 질화층의 두께는 16~20㎛이고, 상기 마르텐사이트계 스테인리스강은 중량% 기준으로, C: 0.02 내지 0.04%, Si: 0.1 내지 0.5%, Mn: 0.2 내지 0.8, P: 0.02 내지 0.03%, S: 0.001 내지 0.003, Ni: 3 내지 5%, Cr: 14.5 내지 16.3%, Mo: 0.07 내지 0.094%, Cu: 3 내지 3. 5% 및 잔부 Fe을 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the total time of the first treatment step is 3 to 6 hours (H), the total time of the second treatment step is 9 to 12 hours (H), and the process temperature of the multi-nitriding step is 300-400 ℃, the pressure is 4 Torr, the thickness of the supersaturated nitride layer formed on the base material is 16 ~ 20㎛, the martensitic stainless steel based on weight%, C: 0.02 to 0.04%, Si: 0.1 to 0.5 %, Mn: 0.2 to 0.8, P: 0.02 to 0.03%, S: 0.001 to 0.003, Ni: 3-5%, Cr: 14.5 to 16.3%, Mo: 0.07 to 0.094%, Cu: 3-5% and the balance Fe.

또한, 본 발명의 케이블 보호장치의 표면처리 방법은, 각종 케이블을 감싸서 보호할 수 있도록 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 재질로 제작된 케이블 보호장치의 표면처리 방법에 있어서, 상기 케이블 보호장치는, 케이블을 감싸는 상하부 덮개와, 상기 상하부 덮개 양측에 각각 배치되는 상하부 소켓부 및 상하부 플러그부와, 상기 상하부 소켓부의 내측에 각각 배치된 제1 및 제2 고정돌기와, 상기 제1 및 제2 고정돌기와 체결되고 상기 상하부 플러그부에 각각 배치된 제1 및 제2 고정홈과, 상기 상하부 소켓부 내측에 배치된 상하부 굴절고정부와, 상하부 굴절고정부와 체결되어 케이블 보호장치들의 굴적 각도를 조절하도록 상기 상하부 플러그부 외면에 복수의 홈 형태래 각각 배치된 상하부 굴절홈을 포함하고, 상기 케이블 보호장치에 대해 공정 장비 내에서 제1 스퍼터링 처리를 진행하는 단계; 상기 제1 스퍼터링 처리가 된 케이블 보호장치에 표면처리를 진행하는 단계; 상기 표면처리가된 케이블 보호장치에 대해 제2 스퍼터링 처리를 진행하는 단계; 상기 제2 스퍼터링 처리된 케이블 보호장치에 대해 멀티 질화처리를 진행하여 상기 케이블 보호장치의 각 구성들의 표면에 과포화 질화층을 형성하는 단계; 및 상기 멀티 질화처리된 케이블 보호장치를 냉각시키는 후처리 공정을 진행하는 단계를 포함하고, 상기 멀티 질화처리 단계는, 상기 챔버 내의 공정 가스의 질소(N2) 함량이 10~30% 범위에서 선택된 조건에서 상기 케이블 보호장치에 복수회 제1 처리를 진행하는 단계와, 상기 챔버 내의 공정 가스의 질소(N2) 함량은 10~30%이고, 탄소(C) 함량은 1~5% 범위에서 선택된 조건에서 상기 케이블 보호장치에 복수회 제2 처리를 진행하는 단계를 포함한다.In addition, the surface treatment method of the cable protection device of the present invention is a method for surface treatment of a cable protection device made of a martensitic precipitation hardening type stainless steel material so as to wrap and protect various cables, wherein the cable protection device comprises: The upper and lower covers surrounding the upper and lower covers, upper and lower socket parts and upper and lower plug parts respectively disposed on both sides of the upper and lower covers, first and second fixing protrusions respectively disposed inside the upper and lower socket parts, and the first and second fixing protrusions are fastened The upper and lower plugs are fastened with first and second fixing grooves respectively disposed in the upper and lower plug parts, upper and lower bending fixing parts disposed inside the upper and lower socket parts, and upper and lower bending fixing parts to adjust the bending angle of the cable protection devices. a step of performing a first sputtering treatment in process equipment for the cable protection device, including upper and lower bending grooves respectively arranged in the form of a plurality of grooves on the outer surface of the sub; performing a surface treatment on the first sputtering-treated cable protection device; performing a second sputtering treatment on the surface-treated cable protection device; forming a supersaturated nitride layer on the surface of each component of the cable protection device by performing multi-nitriding treatment on the second sputtering-treated cable protection device; and performing a post-treatment process of cooling the multi-nitrided cable protection device, wherein the multi-nitriding step includes a nitrogen (N 2 ) content of the process gas in the chamber selected in the range of 10 to 30%. The step of performing the first treatment a plurality of times to the cable protection device under the conditions, the nitrogen (N 2 ) content of the process gas in the chamber is 10 to 30%, and the carbon (C) content is selected from the range of 1 to 5% and performing a second process a plurality of times on the cable protection device under the condition.

본 발명의 마르텐사이트계 스테인리스강 제조방법은, 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강에 질소(N2)를 포함하는 질화처리와 질소(N2) 및 탄소(C)를 포함하는 질화처리를 서로 교대로 진행함으로써 스테인리스강의 내식성과 내마모성을 함께 개선한 효과가 있다.Martensitic stainless steel producing method of the present invention, a martensitic precipitation nitriding process comprising nitrogen (N 2) in the curable stainless steel with nitrogen (N 2), and the nitriding alternately containing carbon (C) This has the effect of improving both the corrosion resistance and abrasion resistance of stainless steel.

본 발명의 마르텐사이트계 스테인리스강 제조방법은, 마르텐사이트계 스테인리스강에 질소(N2) 및 탄소(C) 함량이 다른 질화처리를 복수회 진행함으써 스테인리스강 표면에 형성되는 과포화 질화층의 두께를 충분히 확보할 수 있도록 한 효과가 있다.In the martensitic stainless steel manufacturing method of the present invention, the thickness of the supersaturated nitrided layer formed on the stainless steel surface by performing nitriding treatment with different nitrogen (N 2 ) and carbon (C) contents on the martensitic stainless steel a plurality of times It has the effect of being able to secure enough.

본 발명의 케이블 보호장치 표면 처리방법은 케이블 보호장치를 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 재질로 제작하고, 이를 질소(N2) 가스를 이용한 표면처리와 질소(N2) 및 탄소(C) 가스를 이용한 표면처리를 교대로 진행하여 내식성과 경화성을 향상시킨 효과가 있다.The cable protection device surface treatment method of the present invention manufactures a cable protection device of a martensitic precipitation hardening type stainless steel material, and surface treatment using nitrogen (N 2 ) gas and nitrogen (N 2 ) and carbon (C) gas. It has the effect of improving corrosion resistance and hardenability by alternately proceeding the surface treatment used.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 모재의 표면처리 방법을 도시한 플로챠트이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따라 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 모재에 표면처리를 하기 위한 공정 장비를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명에 다른 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 모재의 물질 성분을 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명에 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 모재에 표면처리를 위해 진행하는 공정들의 온도 조건을 도시한 도면이다.
도 5는 종래 기술과 본 발명의 실시예에 따른 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 모재 구조를 도시한 도면이다.
도 6은 종래 기술과 본 발명의 실시예에 따른 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 모재의 표면경도 및 경화층(과포화 질화층) 두께를 비교한 도면이다.
도 7은 종래 기술과 본 발명의 실시예에 따른 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 모재 내부의 질소(N), 탄소(C) 농도분포를 글로방전방출분광법(Glow Discharge Optical Emission Spectroscopy)으로 측정한 그래프이다.
도 8은 종래 기술과 본 발명의 실시예에 따른 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 모재의 동전위분극을 측정한 결과들을 나타낸 그래프이다.
도 9는 종래 기술과 본 발명의 실시예에 따른 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 모재의 동전위분극을 측정한 후, 표면을 관찰한 사진이다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예들에 따라 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 모재를 표면처리한 경우의 파라미터 값들을 나타낸 도면이다.
도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따라 상기 도 1의 표면처리를 적용한 케이블 보호장치 및 케이블 보호장치 표면처리 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 12 및 도 13은 본 발명의 따른 케이블 보호장치의 분해 도면이다.
도 14 및 도 15는 본 발명에 따른 케이블 보호장치들의 연결 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 16 내지 도 18은 본 발명에 따른 연결된 케이블 보호장치들을 굴절하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.1 is a flowchart illustrating a method for surface treatment of a martensitic precipitation hardening type stainless steel base material according to an embodiment of the present invention.
2 is a view showing process equipment for surface treatment on a martensitic precipitation hardening stainless steel base material according to an embodiment of the present invention.
3 is a view showing the material components of the martensitic precipitation hardening type stainless steel base material according to the present invention.
4 is a view showing the temperature conditions of the processes performed for surface treatment on the martensitic precipitation hardening stainless steel base material according to the present invention.
5 is a view showing the structure of a martensitic precipitation hardening type stainless steel base material according to the prior art and an embodiment of the present invention.
6 is a view comparing the surface hardness and the hardened layer (supersaturated nitride layer) thickness of the martensitic precipitation hardening type stainless steel base material according to the prior art and the embodiment of the present invention.
7 is a graph obtained by measuring the nitrogen (N) and carbon (C) concentration distribution inside the martensitic precipitation hardening stainless steel base material according to the prior art and the embodiment of the present invention by glow discharge emission spectroscopy (Glow Discharge Optical Emission Spectroscopy) am.
8 is a graph showing the results of measuring the potentiometric polarization of the martensitic precipitation hardening stainless steel base material according to the prior art and the embodiment of the present invention.
9 is a photograph of observing the surface of the martensitic precipitation hardening type stainless steel base material according to the prior art and the embodiment of the present invention after measuring the potentiometric polarization.
10 is a view showing parameter values when a martensitic precipitation hardening stainless steel base material is surface-treated according to other embodiments of the present invention.
11 is a view for explaining a cable protection device to which the surface treatment of FIG. 1 is applied and a method for surface treatment of the cable protection device according to another embodiment of the present invention.
12 and 13 are exploded views of the cable protection device according to the present invention.
14 and 15 are views for explaining a method of connecting cable protection devices according to the present invention.
16 to 18 are views for explaining a method of bending the connected cable protection devices according to the present invention.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다. 이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다. 또한, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다. 또한, 도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.Since the present invention can apply various transformations and can have various embodiments, specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. Effects and features of the present invention, and a method of achieving them, will become apparent with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below and may be implemented in various forms. In the following embodiments, terms such as first, second, etc. are used for the purpose of distinguishing one component from another, not in a limiting sense. Also, the singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In addition, terms such as include or have means that the features or components described in the specification are present, and do not preclude the possibility that one or more other features or components will be added. In addition, in the drawings, the size of the components may be exaggerated or reduced for convenience of description. For example, since the size and thickness of each component shown in the drawings are arbitrarily indicated for convenience of description, the present invention is not necessarily limited to the illustrated bar.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, and when described with reference to the drawings, the same or corresponding components are given the same reference numerals, and the overlapping description thereof will be omitted. .

이하, 본 발명을 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 모재의 표면처리 방법을 도시한 플로챠트이다. 도 2는 본 발명의 실시예에 따라 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 모재에 표면처리를 하기 위한 공정 장비를 도시한 도면이다. 도 3은 본 발명에 다른 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 모재의 물질 성분을 도시한 도면이다. 도 4는 본 발명에 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 모재에 표면처리를 위해 진행하는 공정들의 온도 조건을 도시한 도면이다.1 is a flowchart illustrating a method for surface treatment of a martensitic precipitation hardening type stainless steel base material according to an embodiment of the present invention. 2 is a view showing process equipment for surface treatment on a martensitic precipitation hardening stainless steel base material according to an embodiment of the present invention. 3 is a view showing the material components of the martensitic precipitation hardening type stainless steel base material according to the present invention. 4 is a view showing the temperature conditions of the processes performed for surface treatment on the martensitic precipitation hardening stainless steel base material according to the present invention.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 모재의 표면처리 방법은 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 모재를 도 2에 도시한 공정 장비에 장입하기 전에 진행하는 전처리 단계(S101)와, 제1 스퍼터링(Pre-sputtering) 처리 단계(S102)와, 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 모재에 대한 표면처리 단계(S103)와, 상기 표면처리가된 모재에 대해 제2 스퍼터링 처리를 진행하는 단계(S104); 제2 스퍼터링 처리된 모재에 대해 멀티 질화처리를 진행하여 상기 모재 표면에 과포화 질화층(α'N)을 형성하는 단계(S105); 및 멀티 질화처리된 모재를 냉각시키는 후처리 공정을 진행하는 단계(S106)를 포함한다.1 to 4, the surface treatment method of the martensitic precipitation hardening stainless steel base material according to an embodiment of the present invention proceeds before charging the martensitic precipitation hardening stainless steel base material into the process equipment shown in FIG. a pre-treatment step (S101), a first sputtering treatment step (S102), a surface treatment step (S103) for a martensitic precipitation hardening type stainless steel base material, and a second step for the surface-treated base material 2 performing the sputtering process (S104); forming a supersaturated nitride layer (α'N) on the surface of the base material by performing multi-nitriding treatment on the second sputtering-treated base material (S105); and performing a post-treatment process of cooling the multi-nitrided base material (S106).

마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강의 대응규격은 SUS630, 17-4PH, 15-5PH, PH 13-8 Mo, Custom450, Custom 455, Stainless W, Almar 362, IN-736, Croloy16-6 PH, Corrax 등을 사용할 수 있다. 본 발명에서는 탄소(C), 실리콘(Si), 망간(Mn), 황(S), 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo), 구리(Cu), 철(Fe)을 포함하는 마르텐사이트계 스테인리스강을 모재로 사용하였다.Corresponding standards for martensitic precipitation hardening stainless steel are SUS630, 17-4PH, 15-5PH, PH 13-8 Mo, Custom450, Custom 455, Stainless W, Almar 362, IN-736, Croloy16-6 PH, Corrax, etc. can In the present invention, martensitic stainless steel containing carbon (C), silicon (Si), manganese (Mn), sulfur (S), chromium (Cr), molybdenum (Mo), copper (Cu), iron (Fe) was used as the parent material.

본 발명에서 사용되는 마르텐사이트계 스테인리스강은 중량% 기준으로, C: 0.02 내지 0.04%, Si: 0.1 내지 0.5%, Mn: 0.2 내지 0.8, P: 0.02 내지 0.03%, S: 0.001 내지 0.003, Ni: 3 내지 5%, Cr: 14.5 내지 16.3%, Mo: 0.07 내지 0.094%, Cu: 3 내지 3. 5% 및 잔부 Fe을 포함할 수 있다.The martensitic stainless steel used in the present invention is based on weight %, C: 0.02 to 0.04%, Si: 0.1 to 0.5%, Mn: 0.2 to 0.8, P: 0.02 to 0.03%, S: 0.001 to 0.003, Ni : 3 to 5%, Cr: 14.5 to 16.3%, Mo: 0.07 to 0.094%, Cu: 3 to 3.5%, and the balance may include Fe.

본 발명에 따른 실시예에서 스테인리스강 모재에 대한 전처리 단계(S101)는, 플라즈마 처리를 위해 공정 장비에 로딩(Loading)하기 전에 모재의 표면 상에 존재하는 불순물을 제거하는 세정 공정을 포함한다.The pretreatment step (S101) for the stainless steel base material in the embodiment according to the present invention includes a cleaning process of removing impurities present on the surface of the base material before loading into the process equipment for plasma treatment.

보다 구체적으로, 모재 표면의 불순물들을 제거하기 위한 공정으로써 통상의 세척과정을 포함한다. 먼저, 모재의 표면에 형성된 산화물을 제거하기 위해 50-90 ℃ 온도의 5-35% 질산(HNO3) 용액에서 1-60 분간 침지하고, 알코올로 세척 후 기름 등의 유기물을 제거하기 위하여 1-10% 가성소다(NaOH) 용액에서 1-60 분간 침지한 다음, 다시 알코올로 세척 후 모재의 표면을 사포로 연마하고, 표면 연마된 모재를 알루미나 슬러리(Alumina slurry)를 사용하여 경면처리(鏡面處理)하여, 보다 표면의 거칠기를 고르도록 한 후, 경면처리된 모재를 다시 알코올 및 아세톤 용액에 침지시켜 초음파 세척으로 모재를 전처리할 수 있다.More specifically, as a process for removing impurities on the surface of the base material, it includes a general washing process. First, in order to remove the oxide formed on the surface of the base material, it is immersed in a 5-35% nitric acid (HNO3) solution at a temperature of 50-90 ℃ for 1-60 minutes, washed with alcohol, and then 1-10 to remove organic matter such as oil After immersing in % caustic soda (NaOH) solution for 1-60 minutes, wash again with alcohol, and then polish the surface of the base material with sandpaper, and mirror the polished base material with an alumina slurry. Thus, after making the roughness of the surface more even, the mirror-finished base material can be immersed again in an alcohol and acetone solution to pre-treat the base material by ultrasonic cleaning.

다음으로, 상기 표면 연마와 세척 등의 공정을 마친 뒤 모재를 도 2에 도시한 공정 장비(200)에 투입한다. 본 발명에 따른 모재 표면처리를 위한 공정 장비(200)는, 모재(260)를 로딩하여 플라즈마 처리를 진행하는 챔버(201)와, 공정 장비(200)의 구성들에 전원을 공급하는 전원 공급부(202)와, 챔버(201) 내에 공정 가스를 공급하는 제1 내지 제4 가스 공급부(203a, 203b, 203c, 203d)와, 챔버(201) 내의 공정 온도를 측정 및 표시하는 온도 측정부(205)와, 제1 내지 제4 가스 공급부(203a, 203b, 203c, 203d)와 챔버(201) 사이에 연결된 가스 공급관(213)에 배치되어 챔버(201) 내의 가스 공급을 조절하는 제1 조절부(V1)와, 챔버(201)와 펌핑 시스템(210) 사이에 배치되어 챔버(201) 내의 압력을 조절하는 제2 조절부(V2)와, 제1 및 제2 스위치(SW1, SW2)를 포함한다.Next, after finishing the process such as surface polishing and washing, the base material is put into the process equipment 200 shown in FIG. 2 . The process equipment 200 for surface treatment of a base material according to the present invention includes a chamber 201 for loading a base material 260 to perform plasma treatment, and a power supply unit ( 202 , first to fourth gas supply units 203a , 203b , 203c and 203d supplying process gases into the chamber 201 , and a temperature measuring unit 205 for measuring and displaying the process temperature in the chamber 201 . and a first control unit V1 disposed in the gas supply pipe 213 connected between the first to fourth gas supply units 203a , 203b , 203c and 203d and the chamber 201 to control the gas supply in the chamber 201 . ), a second control unit V2 disposed between the chamber 201 and the pumping system 210 to adjust the pressure in the chamber 201, and first and second switches SW1 and SW2.

여기서, 제1 내지 제4 가스 공급부(203a, 203b, 203c, 203d)는 각각 아르곤(Ar), 수소(H2), 질소(N2) 및 메탄(CH4) 가스를 제공할 수 있다.Here, the first to fourth gas supply units 203a, 203b, 203c, and 203d may provide argon (Ar), hydrogen (H 2 ), nitrogen (N 2 ), and methane (CH 4 ) gases, respectively.

또한, 챔버(201) 내에는 로딩된 모재(260)를 안착하는 스테이지(220)와 스테이지(220)를 지지하면서 스테이지(220)를 상하로 조절하는 샤프트(221)와, 샤프트(221)와 챔버(201)의 결합 영역에 배치된 절연부(222), 챔버(201)의 내측면을 따라 배치된 히팅라인(250)을 포함한다.In addition, in the chamber 201, a stage 220 for seating the loaded base material 260, a shaft 221 for adjusting the stage 220 up and down while supporting the stage 220, the shaft 221, and the chamber It includes an insulating portion 222 disposed in the coupling region of 201 , and a heating line 250 disposed along the inner surface of the chamber 201 .

전처리가 완료된 모재(260)는 챔버(201) 내로 로딩된 후 스테이지(220)에 안착되어 이후 공정이 진행된다.After the pretreatment is completed, the base material 260 is loaded into the chamber 201 and then is seated on the stage 220 to proceed with the subsequent process.

본 발명에 따른 방법에 있어서, 모재(260)는 챔버(201) 내에서 제1 스퍼터링(Pre-sputtering) 처리 단계(S102)를 진행한다. 제1 스퍼터링(Pre-sputtering) 처리 단계는 전처리된 모재(260)의 표면을 프리스퍼터링하여 모재(260)의 표면에 있는 산화막 등의 불순물을 더욱 제거하기 위함이다.In the method according to the present invention, the base material 260 proceeds with a first sputtering (Pre-sputtering) processing step (S102) in the chamber 201. The first sputtering (Pre-sputtering) treatment step is to pre-sputter the surface of the pre-treated base material 260 to further remove impurities such as an oxide film on the surface of the base material 260 .

제1 스퍼터링 처리는 모재의 표면을 이온충격(ion bombardment) 효과에 의한 것으로 불활성 원소를 부딪쳐서 금속분자 및 불순물을 쫓아낸 후 표면에 막을 부착하여 표면을 깨끗이 한다. 제1 스퍼터링 처리에서 사용되는 불활성 가스는 CO2, CO, Ar, H2 가스를 단독 혹은 이들의 선택적으로 혼합한 가스일 수 있다.The first sputtering treatment is due to an ion bombardment effect on the surface of the base material, and after striking an inert element to drive out metal molecules and impurities, a film is attached to the surface to clean the surface. The inert gas used in the first sputtering process may be a gas of CO2, CO, Ar, or H2 alone or a mixture of these gases.

구체적으로, 챔버(201) 내 압력을 5 × 10-2 Torr 이하로 유지시키고, 히터라인(250)에 전원을 공급하여 챔버(201) 내의 온도를 시효처리(Aging) 온도인 200-800 ℃까지 승온시킨 후, 스퍼터링 가스(CO2, CO, Ar, H2 등을 단독 또는 혼합, 바람직하게는 Ar와 H2 혼합 가스)를 50-4,000 sccm의 양으로 주입한다. 0.1-5 Torr의 압력유지와 200-1,000 [V]의 전압인가에 의한 플라즈마 생성으로 20-60분 동안 처리하여 제1 스퍼터링 처리 공정을 수행할 수 있다. 여기서, 챔버(201) 내의 온도는 시효처리를 진행하는 경우에는 시효처리 온도와 일치시키는 것이 바람직하고, 시효처리를 하지 않는 경우에는 미리 설정된 온도로 진행될 수 있다.Specifically, the pressure in the chamber 201 is maintained at 5 × 10 -2 Torr or less, and power is supplied to the heater line 250 to increase the temperature in the chamber 201 to 200-800° C., which is the aging temperature. After raising the temperature, sputtering gas (CO2, CO, Ar, H2, etc. alone or mixed, preferably Ar and H2 mixed gas) is injected in an amount of 50-4,000 sccm. The first sputtering process can be performed by maintaining a pressure of 0.1-5 Torr and generating plasma by applying a voltage of 200-1,000 [V] for 20-60 minutes. Here, it is preferable that the temperature in the chamber 201 matches the aging treatment temperature when the aging treatment is performed, and may proceed to a preset temperature when the aging treatment is not performed.

본 발명에 따른 방법에 있어서, 모재 표면처리(S103)는 시효처리를 진행하는 단계이다. 본 시효처리는 모재 자체의 경도를 향상시키는 역할을 하는 것으로 선택적으로 진행할 수 있다. 즉, 본 발명에서는 모재 표면처리(S103)를 진행하거나 생략할 수 있다.In the method according to the present invention, the base material surface treatment (S103) is a step of performing an aging treatment. This aging treatment can be selectively performed as it serves to improve the hardness of the base material itself. That is, in the present invention, the base material surface treatment (S103) may be performed or omitted.

구체적으로, 모재 표면처리(S103)는 제1 스퍼터링 처리시 챔버(201) 내에 있던 가스를 배기 후, 200-800 ℃, 바람직하게는 300-500 ℃까지 승온시킨 후 50-4,000 sccm의 CO2, CO, Ar 및 H2 으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 불활성 가스를 주입하여, 1-10 Torr, 바람직하게는 2-6 Torr의 압력을 유지하며, 2-6 시간 동안 시효처리할 수 있다. 여기서, 상기 불활성가스로는 Ar 또는 H2 가스를 단독으로 사용하거나, 이들의 혼합가스를 사용하는 것이 바람직하다.Specifically, in the base material surface treatment (S103), after evacuating the gas in the chamber 201 during the first sputtering treatment, the temperature is raised to 200-800 °C, preferably 300-500 °C, and then 50-4,000 sccm of CO2, CO , Ar and H2 by injecting at least one inert gas selected from the group consisting of, maintaining a pressure of 1-10 Torr, preferably 2-6 Torr, can be aged for 2-6 hours. Here, it is preferable to use Ar or H2 gas alone or a mixed gas thereof as the inert gas.

본 발명에 따른 방법에 있어서, 제2 스퍼터링 처리(S104: Pre-sputtering)는 시효처리시 모재(260)의 표면에 생성될 수 있는 산화막 등의 불순물을 제거하고, 모재(260)의 표면에 미소결함을 형성시켜서 이후 실시되는 멀티 질화처리(S105)시 질소 성분이 미소결함을 통하여 확산이 용이하게 일어나도록 하는 역할을 한다. 질소(N2)의 확산이 모재(260)에서 일어나면 모재(260) 표면에는 내식성과 경화성 특성을 갖는 과포화 질화층(α'N)이 안정적으로 형성될 수 있다.In the method according to the present invention, the second sputtering treatment (S104: Pre-sputtering) removes impurities such as an oxide film that may be generated on the surface of the base material 260 during the aging treatment, and microscopically on the surface of the base material 260 . By forming defects, it serves to facilitate diffusion of nitrogen components through micro-defects in the subsequent multi-nitriding treatment (S105). When diffusion of nitrogen (N 2 ) occurs in the base material 260 , a supersaturated nitride layer (α′N) having corrosion resistance and curability properties may be stably formed on the surface of the base material 260 .

구체적으로, 모재 표면처리(S103)의 불활성 가스를 배기 후 스퍼터링용 가스(CO2, CO, Ar 및 H2 으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 가스, 바람직하게는 Ar 및 H2 혼합가스)를 50-4,000 sccm의 양으로 주입하되, 챔버(201)는 300-500 ℃, 바람직하게는 350-450 ℃의 온도유지 및 0.1-5 Torr의 압력유지와 200-1,000 V의 전압인가에 의한 플라즈마 생성으로 20-60분 동안 처리하여 제2 스퍼터링을 수행할 수 있다(S104). 여기서, 챔버(201) 내의 온도는 다음 단계인 연질화처리 온도와 일치시켰다.Specifically, after exhausting the inert gas of the base material surface treatment (S103), the sputtering gas (at least one gas selected from the group consisting of CO2, CO, Ar and H2, preferably a mixed gas of Ar and H2) is added to 50-4,000. The amount of sccm is injected, but the chamber 201 is maintained at a temperature of 300-500 ° C., preferably 350-450 ° C., a pressure of 0.1-5 Torr, and plasma generation by applying a voltage of 200-1,000 V. The second sputtering may be performed by processing for 60 minutes (S104). Here, the temperature in the chamber 201 was matched with the temperature of the soft nitriding treatment in the next step.

본 발명에 따른 방법에 있어서, 멀티 질화처리(S105)는 플라즈마를 이용하여 연질화처리하는 단계이다. 본 발명에서는 질화(Nitriding)와 침질탄화(Nitrocarburizing)를 혼합하여 멀티 질화처리를 하여 모재(260) 표면에 형성되는 과포화 질화층(α'N)의 내식성과 경화성을 함께 개선한 효과가 있다.In the method according to the present invention, the multi-nitriding treatment (S105) is a step of soft-nitriding treatment using plasma. In the present invention, there is an effect of improving both the corrosion resistance and the hardenability of the supersaturated nitride layer (α'N) formed on the surface of the base material 260 by multi-nitriding by mixing nitriding and nitrocarburizing.

특히, 본 발명의 멀티 질화처리(S105)는 챔버(201) 내의 공정 가스의 질소(N2)의 함량을 10~30% 범위에서 선택하여 모재(260)에 복수회 제1 처리를 진행하는 단계와, 챔버(201) 내의 공정 가스의 질소(N2) 함량은 10~30%이고, 탄소(C) 함량을 1~5% 범위에서 선택하여 모재(260)에 복수회 제2 처리를 진행하는 단계를 포함할 수 있다.In particular, the multi-nitriding treatment (S105) of the present invention is a step of selecting the nitrogen (N 2 ) content of the process gas in the chamber 201 in the range of 10 to 30% and performing the first treatment a plurality of times on the base material 260 And, the nitrogen (N 2 ) content of the process gas in the chamber 201 is 10 to 30%, and the carbon (C) content is selected in the range of 1 to 5% to perform the second treatment a plurality of times on the base material 260 may include steps.

즉, 본 발명의 멀티 질화처리(S105)는 질화(Nitriding) 처리와 침질탄화(Nitrocarburizing) 처리를 교대로 진행할 수 있다. 또한, 본 발명의 멀티 질화처리(S105)는 복수회의 질화(Nitriding) 처리와 복수회 침질탄화(Nitrocarburizing) 처리를 서로 교대로 모재(260)에 진행할 수 있다.That is, in the multi-nitriding process (S105) of the present invention, a nitriding process and a nitrocarburizing process may be alternately performed. In addition, in the multi-nitriding treatment ( S105 ) of the present invention, a plurality of times of nitriding treatment and a plurality of times of nitriding treatment may be alternately performed on the base material 260 .

제1 처리 단계는 질화(Nitriding) 처리 단계 일 수 있고, 제2 처리 단계는 침질탄화(Nitrocarburizing) 처리 단계 일 수 있다. 또한, 본 발명의 멀티 질화처리(S105)는 제1 처리 단계의 총 시간이 제2 처리 단계의 총 시간보다 작은 범위에서 진행될 수 있다.The first treatment step may be a nitriding treatment step, and the second treatment step may be a nitrocarburizing treatment step. In addition, in the multi-nitriding process ( S105 ) of the present invention, the total time of the first processing step may be performed in a range smaller than the total time of the second processing step.

구체적으로, 제2 스퍼터링 처리(S104)의 스퍼터링용 가스를 배기한 후, 챔버(201)에 55-95% H2, 1-20% CH4, 5-45% N2의 부피비율로 구성된 혼합기체를 50-4,000 sccm의 양으로 주입하고, 300-500 ℃에서 1-10 Torr의 압력 유지 및 200-1,000 [V] 전압인가에 의한 플라즈마 생성으로 멀티 질화처리(S105)를 진행할 수 있다.Specifically, after evacuating the sputtering gas of the second sputtering process (S104), a mixed gas composed of a volume ratio of 55-95% H2, 1-20% CH4, 5-45% N2 is added to the chamber 201 by 50 Multi-nitriding treatment (S105) can be performed by injecting in an amount of -4,000 sccm, maintaining a pressure of 1-10 Torr at 300-500 °C, and generating plasma by applying a voltage of 200-1,000 [V].

여기서, 상기 플라즈마 멀티 질화처리 온도는 300-500℃, 바람직하게는 350-450℃, 더욱 바람직하게는 380-420℃일 수 있다. 만약, 멀티 질화처리 온도가 300℃ 미만일 경우에는 충분한 경화층 두께를 확보하지 못하여 하중 지탱능력이 저하되는 문제가 있고, 멀티 질화처리 온도가 500℃ 초과할 경우에는 경화층의 내식성이 저하되는 문제가 있다.Here, the plasma multi-nitriding treatment temperature may be 300-500 ℃, preferably 350-450 ℃, more preferably 380-420 ℃. If the multi-nitriding treatment temperature is less than 300 ℃, there is a problem that a sufficient hardened layer thickness is not secured and the load bearing capacity is lowered. have.

또한, 상기 혼합기체는 바람직하게는 제1 처리 단계에서는 질소(N2)와 수소(H2)를 포함하고, 질소(N2) 함량은 10~30%를 가지며 제2 처리 단계에서는 질소(N2), 수소(H2) 및 탄소(CH2)를 포함하고, 질소(N2)의 함량은 10~30%, 탄소(C)의 함량은 1~5%를 가질 수 있다.In addition, the gas mixture preferably includes nitrogen (N 2 ) and hydrogen (H 2 ) in the first treatment step, the nitrogen (N 2 ) content is 10 to 30%, and nitrogen (N) in the second treatment step 2 ), including hydrogen (H 2 ) and carbon (CH 2 ), the content of nitrogen (N 2 ) may be 10 to 30%, and the content of carbon (C) may have 1 to 5%.

본 발명에 따른 방법에 있어서, 모재 후처리(S106)는 모재(260)에 대한 냉각 처리 단계이다.In the method according to the present invention, the base material post-treatment (S106) is a cooling treatment step for the base material 260.

구체적으로, 챔버(201)를 150-250 ℃, 바람직하게는 180-220 ℃까지 냉각한 다음, 경화층이 형성된 모재(260)를 반출할 수 있다. 만약 챔버(201)를 열기 전의 온도가 250 ℃를 초과할 경우에는 모재(260) 표면에 산화가 일어나는 문제가 있다.Specifically, after cooling the chamber 201 to 150-250 °C, preferably 180-220 °C, the base material 260 on which the hardened layer is formed may be discharged. If the temperature before opening the chamber 201 exceeds 250 °C, there is a problem that oxidation occurs on the surface of the base material 260 .

또한, 본 발명은 위에서 설명한 방법으로 모재를 처리하여 내식성과 경화성이 우수한 과포화 질화층이 형성된 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강을 제공한다.In addition, the present invention provides a martensitic precipitation hardening stainless steel having a supersaturated nitride layer excellent in corrosion resistance and hardenability by treating a base material by the method described above.

본 발명의 실시예에 따른 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강은 표면에 경화층으로서 과포화 질화층이 형성되고 과포화 질화층에는 내식성을 저하시키는 질화크롬(CrN)이 형성되지 않는 장점이 있다.The martensitic precipitation hardening stainless steel according to an embodiment of the present invention has an advantage in that a supersaturated nitride layer is formed on the surface as a hardened layer, and chromium nitride (CrN), which reduces corrosion resistance, is not formed in the supersaturated nitride layer.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 멀티 질화처리는 제1 처리 단계(질화(Nitriding) 처리 단계)와 제2 처리 단계(침질탄화(Nitrocarburizing) 처리 단계)를 교대로 수행하기 때문에 제2 처리 단계(침질탄화(Nitrocarburizing) 처리 단계)만을 진행할 때보다 과포화 질화층(α'N)의 두께를 증가시킬 수 있다.In addition, since the multi-nitriding treatment according to an embodiment of the present invention alternately performs the first treatment step (Nitriding treatment step) and the second treatment step (Nitrocarburizing treatment step), the second treatment step ( It is possible to increase the thickness of the supersaturated nitride layer (α'N) than when only the nitrocarburizing process step) is performed.

따라서, 본 발명에 따른 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 제조방법은 멀티 질화처리를 적용함으로써 모재 자체의 경도 향상시키고 모재 표면에 형성되는 과포화 질화층(α'N)의 두께를 증가시켜 하중 지탱능력을 확보할 수 있다.Therefore, the martensitic precipitation hardening stainless steel manufacturing method according to the present invention improves the hardness of the base material itself by applying multi-nitriding treatment and increases the thickness of the supersaturated nitride layer (α'N) formed on the surface of the base material to increase the load bearing capacity. can be obtained

또한, 본 발명에 따른 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 제조방법은 제1 처리 단계(질화(Nitriding) 처리 단계)와 제2 처리 단계(침질탄화(Nitrocarburizing) 처리 단계)를 교대로 진행하기 때문에 질화(Nitriding) 처리의 장점과 침질탄화(Nitrocarburizing) 처리의 장점(내식성 향상 및 경도 향상)을 모두 가질 수 있다.In addition, in the martensitic precipitation hardening stainless steel manufacturing method according to the present invention, since the first treatment step (nitriding treatment step) and the second treatment step (nitrocarburizing treatment step) are alternately performed, nitriding ( It can have both the advantages of nitriding treatment and the advantages of nitrocarburizing treatment (improvement of corrosion resistance and improvement of hardness).

이하, 본 발명의 실시예를 도 2에 도시한 공정 장비에 따라 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 제조방법을 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a method for manufacturing a martensitic precipitation hardening stainless steel according to an embodiment of the present invention according to the process equipment shown in FIG. 2 will be described.

도 2를 참조하면, 본 발명의 멀티 질화처리는 모재(260)의 외부에서 발생된 플라즈마에 질화용 및 침탄용 기체를 통과시켜 모재(260)을 연질화시키는 것으로, 챔버(201) 내부 중앙에 배치된 스테이지(220)에는 음극 전원이 공급된다. 따라서, 챔버(201) 내에 배치된 히터라인(250)에 의해 공정 온도가 맞추어지고 제1 내지 제4 가스 공급부(203a, 203b, 203c, 203d)에 의해 공정 혼합 가스가 공급 및 펌핑 시스템(210)에 의해 압력 조건이 셋팅되면 모재(260) 주면에 플라즈마를 생성하여 공정을 진행한다.Referring to FIG. 2 , the multi-nitriding process of the present invention is to soften the base material 260 by passing nitridation and carburizing gases through the plasma generated outside the base material 260 , and is disposed in the center of the chamber 201 . The stage 220 is supplied with negative power. Accordingly, the process temperature is adjusted by the heater line 250 disposed in the chamber 201 and the process mixture gas is supplied and pumped by the first to fourth gas supply units 203a, 203b, 203c, and 203d. When the pressure condition is set by , plasma is generated on the main surface of the base material 260 to proceed with the process.

모재 전처리 단계(S101): 모재(260)의 전처리 단계로서 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 모재(260)를 전처리하여 챔버(201)에 장입한다.Base material pretreatment step (S101): As a pretreatment step of the base material 260 , the martensitic precipitation hardening stainless steel base material 260 is pretreated and charged into the chamber 201 .

구체적으로, 모재(260) 표면의 불순물들을 제거하기 위한 공정으로써 통상의 세척과정을 포함한다. 먼저, 모재(260)의 표면에 형성된 산화물을 제거하기 위하여 70℃ 온도의 20% 질산(HNO3) 용액에서 5-10분간 침지하였다. 알코올로 세척 후 기름 등의 유기물을 제거하기 위하여 5% 가성소다(NaOH) 용액에서 5-10분간 침지하였다. 다시 알코올로 세척 후 모재(260)의 표면을 사포로 연마하고, 표면 연마된 모재(260)를 알루미나 슬러리(Alumina slurry)를 사용하여 경면처리(鏡面處理)하여, 보다 표면의 거칠기를 고르도록 하였다. 또한, 경면처리된 모재(260)를 다시 알코올 및 아세톤 용액에 침지시켜 초음파 세척으로 모재(260)의 전처리를 마무리한다.Specifically, as a process for removing impurities on the surface of the base material 260 , a general washing process is included. First, in order to remove the oxide formed on the surface of the base material 260, it was immersed in a 20% nitric acid (HNO3) solution at a temperature of 70° C. for 5-10 minutes. After washing with alcohol, it was immersed in 5% caustic soda (NaOH) solution for 5-10 minutes to remove organic substances such as oil. After washing with alcohol again, the surface of the base material 260 was polished with sandpaper, and the surface-polished base material 260 was mirror-treated using an alumina slurry, so that the roughness of the surface was more even. . In addition, the pretreatment of the base material 260 is finished by ultrasonic cleaning by immersing the mirror-finished base material 260 again in an alcohol and acetone solution.

제1 스퍼터링 처리(S102): 1차 프리 스퍼터링(pre-sputtering) 처리 단계이다.First sputtering process (S102): This is a first pre-sputtering process step.

제1 스퍼터링 처리(S102)에서는 고용화 전처리된 모재(260)를 챔버(201)에 장입하고, 진공펌프를 이용하여 챔버(201) 내 압력을 5 ×10-2 [Torr] 이하로 유지시키고, 히터라인(250)에 전원을 공급하여 챔버(201) 내의 온도를 시효처리(Aging) 온도인 400 ℃까지 승온시킨다. 이후, 스퍼터링용 가스(90% H2와 10% Ar 으로 구성된 혼합기체)를 100 sccm의 양으로 주입하여 0.7 [Torr]의 압력유지와 400 V의 전압인가에 의한 플라즈마 생성으로 40 분의 시간 동안 모재(260)의 표면을 스퍼터링 처리하였다.In the first sputtering process (S102), the solid solution pretreated base material 260 is charged into the chamber 201, and the pressure in the chamber 201 is maintained at 5 × 10-2 [Torr] or less using a vacuum pump, By supplying power to the heater line 250, the temperature in the chamber 201 is raised to an aging temperature of 400 °C. After that, the sputtering gas (mixed gas composed of 90% H2 and 10% Ar) is injected in an amount of 100 sccm to maintain a pressure of 0.7 [Torr] and generate plasma by applying a voltage of 400 V to the base material for 40 minutes. The surface of (260) was sputtered.

모재 표면처리(S103): 시효처리(Aging) 단계로 본 발명에서는 선택적으로 진행할 수 있다. 제1 스퍼터링 처리(S102)의 프리스퍼터링 가스를 배기 후, 400 ℃의 온도유지 및 200 sccm의 불활성 가스(Ar)를 주입하여, 4 Torr의 압력을 유지하며, 4 시간 동안 시효처리하였다.Base material surface treatment (S103): aging treatment (Aging) step in the present invention can be optionally proceeded. After evacuating the pre-sputtering gas of the first sputtering process (S102), maintaining a temperature of 400 ° C. and injecting an inert gas (Ar) of 200 sccm, maintaining a pressure of 4 Torr, and aging for 4 hours.

제2 스퍼터링 처리(S104): 제2 프리스퍼터링(pre-sputtering) 처리 단계이다.Second sputtering process (S104): A second pre-sputtering process step.

모재 표면처리(S103)의 불활성 가스를 배기 후 스퍼터링용 가스(90% H2와 10% Ar 으로 구성된 혼합기체)를 100 [sccm]의 양으로 주입하되, 챔버(201)는 400 ℃의 온도유지 및 0.7 Torr의 압력유지와 400 V의 전압인가에 의한 플라즈마 생성으로 40 분의 시간 동안 모재의(260) 표면을 프리스퍼터링 처리하였다.After exhausting the inert gas of the base material surface treatment (S103), the sputtering gas (mixed gas consisting of 90% H2 and 10% Ar) is injected in an amount of 100 [sccm], but the chamber 201 maintains a temperature of 400 ℃ and The surface of the base material 260 was pre-sputtered for 40 minutes by plasma generation by maintaining a pressure of 0.7 Torr and applying a voltage of 400 V.

멀티 질화처리(S105): 플라즈마에 의해 모재(260)에 적어도 한번 이상의 제1 처리 단계(질화(Nitriding) 처리 단계)와 적어도 한번 이상의 제2 처리 단계(침질탄화(Nitrocarburizing) 처리 단계)를 교대로 수행하거나 복수회 제1 처리 단계(질화(Nitriding) 처리 단계)를 진행한 후, 복수회 제2 처리 단계(침질탄화(Nitrocarburizing) 처리 단계)를 진행하는 방식으로 수행될 수 있다.Multi-nitriding treatment (S105): Alternately performing at least one first treatment step (nitriding treatment step) and at least one second treatment step (nitrocarburizing treatment step) on the base material 260 by plasma or after performing the first treatment step (nitriding treatment step) a plurality of times, the second treatment step (nitrocarburizing treatment step) may be performed a plurality of times.

제2 스퍼터링 처리 단계(S104)에서 프리스퍼터링용 가스를 배기 후, 챔버(201)에 제1 처리 단계 진행시에는 질소(N2)와 수소(H2)를 포함한 공정 가스를 주입한다. 공정 가스는 혼합가스로서 질소(N2) 함량은 10~30% 범위에서 정해지는 것이 바람직하다.After the gas for pre-sputtering is exhausted in the second sputtering process step S104 , a process gas including nitrogen (N 2 ) and hydrogen (H 2 ) is injected into the chamber 201 during the first process step. The process gas is a mixed gas, and the nitrogen (N 2 ) content is preferably set in the range of 10 to 30%.

제1 처리 단계가 완료되면 연속하여 제2 처리 단계를 위해 질소(N2), 수소(H2) 및 탄소(CH2)를 포함하는 공정 가스를 주입한다. 여기서, 질소(N2)의 함량은 10~30%, 탄소(C)의 함량은 1~5%를 갖도록 하는 것이 바람직하다.When the first treatment step is completed, a process gas including nitrogen (N 2 ), hydrogen (H 2 ), and carbon (CH 2 ) is continuously injected for the second treatment step. Here, the content of nitrogen (N 2 ) is preferably 10 to 30%, and the content of carbon (C) is 1 to 5%.

제1 및 제2 처리 단계는 각각 400 ℃에서 4 Torr의 압력을 유지하면서 진행된다. 제1 및 제2 처리 단계의 공정 시간은 400 V 전압인가에 의한 플라즈마 생성 시간을 15 시간 동안 처리하는 것이 바람직하다. 이때, 제2 처리 단계의 공정 시간이 제1 처리 단계의 시간보다 긴 것이 바람직하고, 제1 및 제2 처리 단계가 각각 복수회 진행될 경우, 제1 철 단계의 총 공정 시간은 제2 처리 단계의 총 공정 시간보다 짧게 진행한다.The first and second processing steps were performed while maintaining a pressure of 4 Torr at 400° C., respectively. For the process time of the first and second treatment steps, it is preferable to treat the plasma generation time by applying a voltage of 400 V for 15 hours. At this time, it is preferable that the process time of the second treatment step is longer than the time of the first treatment step, and when the first and second treatment steps are performed a plurality of times, the total processing time of the ferrous step is that of the second treatment step. Shorter than the total process time.

예를 들어, 제1 처리 단계의 공정 시간(제1 처리 단계를 복수회 진행할 경우 총 시간 포함)을 6시간 진행할 경우, 제2 처리 단계의 공정 시간(제2 처리 단계를 복수회 진행할 경우 총 시간 포함)은 9시간 진행하고, 제1 처리 단계의 공정 시간을 3시간 진행할 경우, 제2 처리 단계의 공정 시간은 12시간으로 진행하며, 제1 처리 단계의 공정 시간을 4시간 진행할 경우, 제2 처리 단계의 공정 시간은 11시간으로 진행할 수 있다.For example, when the process time of the first treatment step (including the total time when the first treatment step is performed multiple times) is performed for 6 hours, the process time of the second treatment step (the total time when the second treatment step is performed multiple times) included) is 9 hours, when the process time of the first treatment step is 3 hours, the process time of the second treatment step is 12 hours, and when the process time of the first treatment step is 4 hours, the second The processing time of the treatment step may proceed to 11 hours.

모재 후처리(S106) 단계: 모재(260)에 대한 냉각 처리 단계일 수 있다. 챔버(201)를 200℃까지 냉각한 다음, 경화층이 형성된 모재(260)를 공정 장비 외부로 반출한다.Base material post-treatment (S106) step: may be a cooling treatment step for the base material (260). After cooling the chamber 201 to 200° C., the base material 260 on which the hardened layer is formed is carried out to the outside of the process equipment.

도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 모재의 표면처리 공정시 온도 조건을 보면 다음과 같다.Referring to FIG. 4 , the temperature conditions during the surface treatment process of the martensitic precipitation hardening stainless steel base material according to the present invention are as follows.

모재 전처리 단계(S101)의 구간(A)에서는 공정 장비로 반입되기 전 상태이므로 상온에서 전처리를 진행할 수 있다. 그런 다음, 모재(260)가 공정 장비에 로딩되면 제1 스퍼터링 처리(S102) 진행 전까지 승온 기간(B)을 갖는다. 승온 기간(B)에는 공정 장비 내의 온도를 공정 온도 조건까지 상승시키는 것으로 본 발명이 실시예에서는 400 ℃를 유지한 상태에서 공정이 진행되기 때문에 공정 장비 내부를 400 ℃까지 승온한다.In the section (A) of the base material pretreatment step (S101), since it is a state before being brought into the process equipment, the pretreatment can be performed at room temperature. Then, when the base material 260 is loaded into the process equipment, it has a temperature increase period (B) until the first sputtering process (S102) proceeds. In the temperature increase period (B), the temperature in the process equipment is raised to the process temperature condition, and since the process proceeds while maintaining 400 ° C in the embodiment of the present invention, the temperature inside the process equipment is raised to 400 ° C.

그런 다음, 본 발명의 제1 스퍼터링 처리(S102), 모재 표면처리(S103), 제2 스퍼터링 처리 단계(S104) 및 멀티 질화처리(S105)까지 공정 장비 내의 온도를 400 ℃ 조건으로 설정한다. 여기서, 본 발명의 실시예에서는 모재 표면처리(S103) 공정을 생략할 수 있기 때문에 도 4에 도시된 바와 같이, 모재 표면처리(S103) 공정을 진행하지 않는 경우에는 제1 스퍼터링 처리(S102), 모재 표면처리(S103) 및 제2 스퍼터링 처리 단계(S104) 구간(C)과 멀티 질화처리(S105) 구간(D1 내지 D4) 동안 400 ℃를 유지하도록 한다.Then, the temperature in the process equipment until the first sputtering treatment (S102), the base material surface treatment (S103), the second sputtering treatment step (S104) and the multi-nitriding treatment (S105) of the present invention is set to 400 ℃ condition. Here, in the embodiment of the present invention, since the base material surface treatment (S103) process can be omitted, as shown in FIG. 4, when the base material surface treatment (S103) process is not performed, the first sputtering treatment (S102), The base material surface treatment (S103) and the second sputtering treatment step (S104) section (C) and the multi-nitriding treatment (S105) to maintain 400 ℃ during the sections (D1 to D4).

멀티 질화처리(S105)는 복수회 제1 처리 단계와 복수회 제2 처리 단계로 진행할 수 있는데, 도 4는 제1 처리 단계와 제2 처리 단계를 각각 2회 진행하고 이들 처리 단계들을 서로 교대로 진행한 예이다.The multi-nitriding process ( S105 ) may be performed a plurality of times in a first processing step and a plurality of times in a second processing step. This is an example in progress.

따라서, 제1 처리 단계와 대응되는 구간(D1, D3)과 제2 처리 단계와 대응되는 구간(D2, D4)은 모두 동일한 온도(400 ℃)를 유지한다.Accordingly, the sections D1 and D3 corresponding to the first treatment step and sections D2 and D4 corresponding to the second treatment step maintain the same temperature (400° C.).

그런 다음, 모재 후처리 단계(S106) 구간(E)에서는 공정 장비로부터 모재(260)를 반출(Unloading)하기 때문에 상온의 온도로 낮아진다.Then, since the base material 260 is unloaded from the process equipment in the section (E) of the base material post-treatment step (S106), the temperature is lowered to room temperature.

이와 같이, 명의 마르텐사이트계 스테인리스강 제조방법은, 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강에 질소(N2)를 포함하는 공정 가스를 이용한 질화처리와 질소(N2) 및 탄소(C)를 포함하는 공정 가스를 이용한 질화처리를 서로 교대로 진행함으로써 스테인리스강의 내식성과 내마모성을 함께 개선한 효과가 있다.As described above, the martensitic stainless steel manufacturing method of Myeong Myung is a nitriding treatment using a process gas containing nitrogen (N 2 ) in martensitic precipitation hardening stainless steel and a process including nitrogen (N 2 ) and carbon (C) There is an effect of improving both corrosion resistance and wear resistance of stainless steel by alternately performing nitriding treatment using gas.

본 발명의 마르텐사이트계 스테인리스강 제조방법은, 마르텐사이트계 스테인리스강에 질소(N2) 및 탄소(C) 함량이 다른 질화처리를 복수회 진행함으써 스테인리스강 표면에 형성되는 과포화 질화층의 두께를 충분히 확보할 수 있도록 한 효과가 있다.In the martensitic stainless steel manufacturing method of the present invention, the thickness of the supersaturated nitrided layer formed on the stainless steel surface by performing nitriding treatment with different nitrogen (N 2 ) and carbon (C) contents on the martensitic stainless steel a plurality of times It has the effect of being able to secure enough.

도 5는 종래 기술과 본 발명의 실시예에 따른 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 모재 구조를 도시한 도면이다. 도 6은 종래 기술과 본 발명의 실시예에 따른 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 모재의 표면경도 및 경화층(과포화 질화층) 두께를 비교한 도면이다. 도 7은 종래 기술과 본 발명의 실시예에 따른 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 모재 내부의 질소(N), 탄소(C) 농도분포를 글로방전방출분광법(Glow Discharge Optical Emission Spectroscopy)으로 측정한 그래프이다. 도 8은 종래 기술과 본 발명의 실시예에 따른 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 모재의 동전위분극을 측정한 결과들을 나타낸 그래프이다. 도 9는 종래 기술과 본 발명의 실시예에 따른 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 모재의 동전위분극을 측정한 후, 표면을 관찰한 사진이다.5 is a view showing the structure of a martensitic precipitation hardening type stainless steel base material according to the prior art and an embodiment of the present invention. 6 is a view comparing the surface hardness and the hardened layer (supersaturated nitride layer) thickness of the martensitic precipitation hardening type stainless steel base material according to the prior art and the embodiment of the present invention. 7 is a graph obtained by measuring the nitrogen (N) and carbon (C) concentration distribution inside the martensitic precipitation hardening stainless steel base material according to the prior art and the embodiment of the present invention by glow discharge emission spectroscopy (Glow Discharge Optical Emission Spectroscopy) am. 8 is a graph showing the results of measuring the potentiometric polarization of the martensitic precipitation hardening stainless steel base material according to the prior art and the embodiment of the present invention. 9 is a photograph of observing the surface of the martensitic precipitation hardening type stainless steel base material according to the prior art and the embodiment of the present invention after measuring the potentiometric polarization.

도 5를 참조하면, <비교예 1> 은 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 모재에 어떤 질화처리도 하지 않은 경우를 나타낸 것이고, <비교예 2>는 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 모재에 종래 기술에 따른 질화(Nitriding) 처리(제1 처리) 단계만 진행한 경우이며, <실시예>의 경우에는 본 발명의 멀티 질화처리 단계를 진행한 것이다.Referring to FIG. 5, <Comparative Example 1> shows a case in which any nitriding treatment was not performed on a martensitic precipitation hardening stainless steel base material, and <Comparative Example 2> is a martensitic precipitation hardening stainless steel base material in the prior art. In the case of <Example>, only the nitriding treatment (first treatment) step according to the above was performed, and in the case of <Example>, the multi-nitriding treatment step of the present invention was performed.

<비교예 1>의 모재 단면을 보면 질화처리를 진행하지 않았기 때문에 모재 표면에 과포화 질화층(α'N)이 형성되지 않은 것을 볼 수 있다. <비교예 2>는 질화(Nitriding) 처리로 인해 모재 표면에 과포화 질화층(α'N)이 16 ㎛ 정도의 두께로 형성된 것을 볼 수 있다. 하지만, <비교예 2>는 모재 표면에 질화크롬(CrN)이 석출되어 과포화 질화층(α'N)의 두께가 충분함에도 불구하고 내식성과 내경화성이 급격히 떨어진다.When looking at the cross section of the base material of <Comparative Example 1>, it can be seen that the supersaturated nitride layer (α'N) was not formed on the surface of the base material because nitriding was not performed. In <Comparative Example 2>, it can be seen that a supersaturated nitride layer (α'N) was formed to a thickness of about 16 μm on the surface of the base material due to the nitriding treatment. However, in <Comparative Example 2>, chromium nitride (CrN) is precipitated on the surface of the base material, and corrosion resistance and hardening resistance are sharply deteriorated despite the sufficient thickness of the supersaturated nitride layer (α'N).

<실시예>는 적어도 한번 이상의 제1 처리 단계(질화(Nitriding) 처리 단계)와 적어도 한번 이상의 제2 처리 단계(침질탄화(Nitrocarburizing) 처리 단계)를 포함한 멀티 질화처리(S105)를 진행한 것으로 모재 표면에 과포화 질화층(α'N)이 형성된 것을 볼 수 있다. 과포화 질화층(α'N)의 두께는 <비교예 2>와 같이 질화 처리만 진행한 경우의 두께를 유지하면서 모재 표면에 형성되는 질화크롬(CrN) 발생과 탄소(C) 성분의 주입으로 인한 경화 특성을 개선하였다.<Example> is a base material that has undergone multi-nitriding treatment (S105) including at least one first treatment step (nitriding treatment step) and at least one second treatment step (nitrocarburizing treatment step) It can be seen that a supersaturated nitride layer (α'N) is formed on the surface. The thickness of the supersaturated nitride layer (α'N) is maintained while maintaining the thickness when only nitriding is performed as in <Comparative Example 2>. Improved curing properties.

도 6을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 모재는 멀티 질화처리를 진행한 경우에 표면경도(Surface Hardness)와 과포화 질화층(α'N)가 다른 비교예들에 비해 우수한 것을 볼 수 있다.Referring to FIG. 6 , the martensitic precipitation hardening stainless steel base material according to the embodiment of the present invention has a different surface hardness and a supersaturated nitride layer (α′N) when multi-nitriding treatment is performed. can be seen to be superior to

도면에는 도시하였지만 설명하지 않은 <비교예2>은 본 발명의 멀티 질화처리 공정 중 침질탄화(Nitrocarburizing) 처리(제2 처리)만을 진행한 경우이고, <비교예4>는 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 모재 상에 니켈 도금(Ni Plating)을 진행한 경우이다.<Comparative Example 2>, which is shown in the drawings but not described, is a case in which only nitrocarburizing treatment (second treatment) is performed during the multi-nitriding process of the present invention, and <Comparative Example 4> is This is a case in which nickel plating (Ni plating) is performed on a martensitic precipitation hardening stainless steel base material.

도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 멀티 질화처리를 진행할 경우, <비교예2>와 <비교예3>보다 과포화 질화층(α'N)의 경도와 두께가 모두 증가된 것을 볼 수 있다.As shown in the figure, when the multi-nitriding treatment of the present invention is performed, it can be seen that both the hardness and the thickness of the supersaturated nitride layer (α'N) are increased compared to <Comparative Example 2> and <Comparative Example 3>.

따라서, 본 발명에 따른 방법으로 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 표면에 형성된 경화층은 표면경도가 우수할 뿐만 아니라, 경화층의 두께가 충분히 확보되어 하중 지탱능력이 우수한 효과가 있다.Therefore, the hardened layer formed on the surface of the martensitic precipitation hardening stainless steel by the method according to the present invention not only has excellent surface hardness, but also has a sufficient thickness of the hardened layer to have excellent load bearing capacity.

도 7을 참조하면, <비교예2>와 같이 탄소(C)가 포함되지 않은 처리보다 <실시예>는 과포화 질화층(α'N)에 포함된 탄소(C)량이 높고 질소의 확산 깊이는 낮은 것을 볼 수 있다. 또한, <실시예>는 <비교예3>와 같이 모재를 침질탄화(Nitrocarburizing) 처리한 경우보다 질소의 확상 깊이가 더 깊고 질화층(α'N)에 포함된 탄소(C)량은 더 적은 것을 볼 수 있다.Referring to FIG. 7, the amount of carbon (C) contained in the supersaturated nitride layer (α'N) is higher in <Example> than the treatment in which carbon (C) is not included as in <Comparative Example 2>, and the diffusion depth of nitrogen is low can be seen. In addition, in <Example>, as in <Comparative Example 3>, the depth of nitrogen expansion is deeper than that of the case where the base material was nitrified and carbonized (Nitrocarburizing). It can be seen that the amount of carbon (C) included in the nitride layer (α'N) is smaller.

본 발명의 실시예에서는 멀티 질화처리(S105) 공정에서 모재에 대해 제1 처리 단계(질화(Nitriding) 처리 단계)와 제2 처리 단계(침질탄화(Nitrocarburizing) 처리 단계)를 교대로 수행하여 제1 처리 단계(질화(Nitriding) 처리 단계)와 제2 처리 단계(침질탄화(Nitrocarburizing) 처리 단계)의 장점들을 획득할 수 있다.In an embodiment of the present invention, the first treatment step (nitriding treatment step) and the second treatment step (nitrocarburizing treatment step) are alternately performed on the base material in the multi-nitriding treatment (S105) process to perform the first Advantages of the treatment step (Nitriding treatment step) and the second treatment step (Nitrocarburizing treatment step) can be obtained.

도 8 및 도 9는 모재의 내식성을 평가하기 위하여, 3.5% NaCl 용액에 시편을 침지시켜 동전위분극 분석기(제조사: Princeton Applied Research, 모델명: VersaSTAT3)로 측정한 것이다. 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 <실시예(멀티 질화처리)>에서는 부식전위(Corrosion Potential)가 <비교예1>, <비교예2>, <비교예3> 및 <비교예4>에서의 부식전위보다 높은 것을 볼 수 있다.8 and 9 show that the specimen was immersed in a 3.5% NaCl solution in order to evaluate the corrosion resistance of the base material and measured with a potentiometric analyzer (manufacturer: Princeton Applied Research, model name: VersaSTAT3). As shown in the figure, in the <Example (multi-nitriding treatment)> according to the present invention, the corrosion potential is <Comparative Example 1>, <Comparative Example 2>, <Comparative Example 3> and <Comparative Example 4> It can be seen that the corrosion potential at > is higher than the corrosion potential.

또한, 본 발명의 <실시예>에서는 부식전위가 높은 상태에서 다른 <비교예1>, <비교예2>, <비교예3> 및 <비교예4>에 비해 부식전류밀도(Corrosion Current Density)는 낮은 것을 볼 수 있다.In addition, in the <Example> of the present invention, the corrosion current density (Corrosion Current Density) compared to other <Comparative Example 1>, <Comparative Example 2>, <Comparative Example 3> and <Comparative Example 4> in a high corrosion potential state can be seen to be low.

부식전위가 높고 부식전류밀도가 낮으면 부식되기가 어렵기 때문에 과포화 질화층(α'N)이 형성된 모재의 내식성은 모두 <비교예1>, <비교예2>, <비교예3> 및 <비교예4>보다 개선되었다.Because corrosion is difficult when the corrosion potential is high and the corrosion current density is low, the corrosion resistance of the base material on which the supersaturated nitride layer (α'N) is formed is all <Comparative Example 1>, <Comparative Example 2>, <Comparative Example 3> and < Comparative Example 4> was improved.

도 9에 도시된 바와 같이, 모재를 동전위분극 분석기로 동전위분극을 측정한 이후에, 실체현미경을 사용하여 모재의 부식 표면을 관찰한 사진을 보면 <실시예>에 의한 모재의 표면에 원형 형태 자국이 없어 응력 집중현상이 발생하지 않았음을 알 수 있다.As shown in FIG. 9 , after measuring the potential polarization of the base material with a potential polarization analyzer, looking at the photograph of observing the corrosion surface of the base material using a stereoscopic microscope, a circular shape on the surface of the base material according to the <Example> It can be seen that the stress concentration phenomenon did not occur because there were no shape marks.

반면, <비교예1>에서는 원형 형태의 자국은 공식(Pitting corrosion)이 심하게 발생한 것이고, <비교예2> 내지 <비교예4>에서도 공식이 국부적으로 부식이 일어난 것을 볼 수 있다.On the other hand, in <Comparative Example 1>, it can be seen that the pitting corrosion occurred severely in the circular trace, and the pitting corrosion occurred locally in <Comparative Example 2> to <Comparative Example 4>.

도 10은 본 발명의 다른 실시예들에 따라 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 모재를 표면처리한 경우의 파라미터 값들을 나타낸 도면이다.10 is a view showing parameter values when a martensitic precipitation hardening stainless steel base material is surface-treated according to other embodiments of the present invention.

도 10에 도시한 바와 같이, 본 발명의 실시예에서 적용하고 있는 멀티 질화처리 방식을 다양한 조건하에서 진행한 결과에서도 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강의 내식성과 경화성 파라미터들이 개선된 것을 볼 수 있다.As shown in FIG. 10 , it can be seen that the corrosion resistance and hardenability parameters of the martensitic precipitation hardening stainless steel are improved even when the multi-nitriding treatment method applied in the embodiment of the present invention is performed under various conditions.

<실시예1>는 멀티 질화처리 중 제1 처리 단계를 3회 연속을 진행하고, 이후 제2 처리 단계를 3회 연속으로 진행하였다. 공정 조건은 제1 처리 단계들에 대해 순차적으로 질소(N2) 함량을 15%, 20%, 25%로 증가시켰으며 제2 처리 단계들에 대해 질소(N2) 함량을 20%로 유지한 상태에서 메탄(CH4) 함량(탄소 함량)을 순차적으로 1%, 2%, 3%로 증가시켰으며 제1 처리 단계의 총 공정 시간은 6시간, 제2 처리 단계의 총 공정 시간은 9시간으로 진행하였다.In <Example 1>, the first treatment step was continuously performed three times during the multi-nitriding treatment, and then the second treatment step was performed three times consecutively. The process conditions sequentially increased the nitrogen (N 2 ) content to 15%, 20%, and 25% for the first treatment steps and maintained the nitrogen (N 2 ) content at 20% for the second treatment steps. In the state, the methane (CH 4 ) content (carbon content) was sequentially increased to 1%, 2%, and 3%, and the total processing time of the first treatment step was 6 hours, and the total processing time of the second treatment step was 9 hours. proceeded to

<실시예1>로 진행한 경우, 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강의 파라미터들 중 표면 경도(Surface Hardness, HV(0.05))는 1309.38, 과포화 질화층(α'N)의 두께(㎛)는 16.18, 부식전위(Corrosion Potential: (㎷)는 -197.568, 부식전류밀도(Corrosion Current Density: (㎂/㎠))는 0.933을 나타냈다.In the case of <Example 1>, the surface hardness (HV (0.05)) of the parameters of the martensitic precipitation hardening stainless steel was 1309.38, the thickness (㎛) of the supersaturated nitride layer (α'N) was 16.18, The corrosion potential (Corrosion Potential: (㎷) was -197.568, and the corrosion current density: (㎂/㎠)) was 0.933.

<실시예2>는 멀티 질화처리 중 제1 처리 단계를 3회, 제2 처리 단계를 3회 진행하되 이들을 서로 교대로 진행하였다. 공정 조건은 제1 처리 단계들에 대해 질소(N2) 함량을 25%로 하고, 제2 처리 단계들에 대해 질소(N2) 함량을 20%로 유지한 상태에서 메탄(CH4) 함량(탄소 함량)을 3%로 하였으며 제1 처리 단계들의 총 공정 시간은 3시간, 제2 처리 단계들의 총 공정 시간은 12시간으로 진행하였다.In <Example 2>, the first treatment step was performed three times and the second treatment step was performed three times during the multi-nitriding treatment, but these were performed alternately. The process conditions are the nitrogen for the first treatment step (N 2) of methane to nitrogen (N 2) content for the content to 25%, and the second process step in a holding state by 20% (CH 4) content ( carbon content) was 3%, the total processing time of the first treatment steps was 3 hours, and the total processing time of the second treatment steps was 12 hours.

<실시예2>로 진행한 경우, 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강의 파라미터들 중 표면 경도(Surface Hardness, HV(0.05))는 1277.46, 과포화 질화층(α'N)의 두께(㎛)는 14.12, 부식전위(Corrosion Potential: (㎷)는 53.458, 부식전류밀도(Corrosion Current Density: (㎂/㎠))는 0.203을 나타냈다.In the case of <Example 2>, the surface hardness (HV (0.05)) of the parameters of the martensitic precipitation hardening stainless steel was 1277.46, the thickness (㎛) of the supersaturated nitride layer (α'N) was 14.12, The corrosion potential (Corrosion Potential: (mV) was 53.458, and the Corrosion Current Density: (㎂/cm2)) was 0.203.

<실시예3>은 멀티 질화처리 중 제1 처리 단계를 3회, 제2 처리 단계를 3회 진행하되 이들을 서로 교대로 진행하였다. 공정 조건은 제1 처리 단계들에 대해 질소(N2) 함량을 25%로 하고, 제2 처리 단계들에 대해 질소(N2) 함량을 20%로 유지한 상태에서 메탄(CH4) 함량(탄소 함량)을 4%로 하였으며 제1 처리 단계들의 총 공정 시간은 3시간, 제2 처리 단계들의 총 공정 시간은 12시간으로 진행하였다.In <Example 3>, the first treatment step was performed three times and the second treatment step was performed three times during the multi-nitriding treatment, but these were performed alternately. The process conditions are the nitrogen for the first treatment step (N 2) of methane to nitrogen (N 2) content for the content to 25%, and the second process step in a holding state by 20% (CH 4) content ( carbon content) was 4%, the total processing time of the first treatment steps was 3 hours, and the total processing time of the second treatment steps was 12 hours.

<실시예3>으로 진행한 경우, 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강의 파라미터들 중 표면 경도(Surface Hardness, HV(0.05))는 1301.1614, 과포화 질화층(α'N)의 두께(㎛)는 15.73, 부식전위(Corrosion Potential: (㎷)는 -66.537, 부식전류밀도(Corrosion Current Density: (㎂/㎠))는 0.128을 나타냈다.When proceeding to <Example 3>, the surface hardness (HV (0.05)) of the parameters of the martensitic precipitation hardening stainless steel was 1301.1614, the thickness (㎛) of the supersaturated nitride layer (α'N) was 15.73, The corrosion potential (Corrosion Potential: (mV) was -66.537, and the corrosion current density: (㎂/cm2)) was 0.128.

<실시예4>는 멀티 질화처리 중 제1 처리 단계를 3회, 제2 처리 단계를 3회 진행하되 이들을 서로 교대로 진행하였다. 공정 조건은 제1 처리 단계들에 대해 질소(N2) 함량을 20%로 하고, 제2 처리 단계들에 대해 질소(N2) 함량을 20%로 유지한 상태에서 메탄(CH4) 함량(탄소 함량)을 3%로 하였으며 제1 처리 단계들의 총 공정 시간은 3시간, 제2 처리 단계들의 총 공정 시간은 12시간으로 진행하였다.In <Example 4>, the first treatment step was performed three times and the second treatment step was performed three times during the multi-nitriding treatment, but these were performed alternately. The process conditions are the nitrogen for the first treatment step (N 2) content of 20%, and the nitrogen for the second process step (N 2) content of the methane in a holding state by 20% (CH 4) content ( carbon content) was 3%, the total processing time of the first treatment steps was 3 hours, and the total processing time of the second treatment steps was 12 hours.

<실시예4>로 진행한 경우, 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강의 파라미터들 중 표면 경도(Surface Hardness, HV(0.05))는 1270.38, 과포화 질화층(α'N)의 두께(㎛)는 14.51, 부식전위(Corrosion Potential: (㎷)는 -8.25, 부식전류밀도(Corrosion Current Density: (㎂/㎠))는 0.128을 나타냈다.When proceeding to <Example 4>, the surface hardness (Surface Hardness, HV (0.05)) among the parameters of the martensitic precipitation hardening stainless steel was 1270.38, the thickness (㎛) of the supersaturated nitride layer (α'N) was 14.51, The corrosion potential (Corrosion Potential: (㎷)) was -8.25, and the corrosion current density (Corrosion Current Density: (㎂/㎠)) was 0.128.

<실시예5>는 멀티 질화처리 중 제1 처리 단계를 2회, 제2 처리 단계를 2회 진행하되 이들을 서로 교대로 진행하였다. 공정 조건은 제1 처리 단계들에 대해 질소(N2) 함량을 20%로 하고, 제2 처리 단계들에 대해 질소(N2) 함량을 20%로 유지한 상태에서 메탄(CH4) 함량(탄소 함량)을 3%로 하였으며 제1 처리 단계들의 총 공정 시간은 4시간, 제2 처리 단계들의 총 공정 시간은 11시간으로 진행하였다.In <Example 5>, the first treatment step was performed twice and the second treatment step was performed twice during the multi-nitriding treatment, but these were performed alternately. The process conditions are the nitrogen for the first treatment step (N 2) content of 20%, and the nitrogen for the second process step (N 2) content of the methane in a holding state by 20% (CH 4) content ( carbon content) was 3%, the total processing time of the first treatment steps was 4 hours, and the total processing time of the second treatment steps was 11 hours.

<실시예5>로 진행한 경우, 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강의 파라미터들 중 표면 경도(Surface Hardness, HV(0.05))는 1349.63, 과포화 질화층(α'N)의 두께(㎛)는 16.41, 부식전위(Corrosion Potential: (㎷)는 132.645, 부식전류밀도(Corrosion Current Density: (㎂/㎠))는 0.021을 나타냈다.In the case of <Example 5>, the surface hardness (HV (0.05)) of the parameters of the martensitic precipitation hardening stainless steel was 1349.63, the thickness (㎛) of the supersaturated nitride layer (α'N) was 16.41, The corrosion potential (Corrosion Potential: (mV) was 132.645, and the corrosion current density: (㎂/cm2)) was 0.021.

<실시예1>, <실시예2>, <실시예3>, <실시예4>, <실시예5>에서 진행한 멀티 질화처리 공정은 일실시예를 예시한 것으로서 스테인리스강이 사용되는 환경과 스테인레스강의 밀도, 두께 등의 재질 조건에 따라 다양하게 변경될 수 있다.The multi-nitriding process performed in <Example 1>, <Example 2>, <Example 3>, <Example 4>, and <Example 5> exemplifies one embodiment, and the environment in which stainless steel is used It can be variously changed according to material conditions such as density and thickness of stainless steel.

<실시예2>, <실시예4> 및 <실시예5>에서 부식전위가 상승한 것을 볼 수 있으나, 상대적으로 <실시예5>에서 부식전류밀도가 가장 낮기 때문에 <실시예5>에서 내식성과 경화성이 가장 개선된 것으로 평가할 수 있다.It can be seen that the corrosion potential is increased in <Example 2>, <Example 4> and <Example 5>, but since the corrosion current density is relatively low in <Example 5>, the corrosion resistance and performance in <Example 5> It can be evaluated that the curability is the most improved.

본 발명의 마르텐사이트계 스테인리스강 제조방법은, 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강에 질소(N2)를 포함하는 공정 가스를 이용한 질화처리와 질소(N2) 및 탄소(C)를 포함하는 공정 가스를 이용한 질화처리를 서로 교대로 진행함으로써 스테인리스강의 내식성과 내마모성을 함께 개선한 효과가 있다.The martensitic stainless steel manufacturing method of the present invention includes a nitridation treatment using a process gas containing nitrogen (N 2 ) in martensitic precipitation hardening stainless steel and a process gas containing nitrogen (N 2 ) and carbon (C) It has the effect of improving both the corrosion resistance and abrasion resistance of stainless steel by alternately carrying out the nitriding treatment using

본 발명의 마르텐사이트계 스테인리스강 제조방법은, 마르텐사이트계 스테인리스강에 질소(N2) 및 탄소(C) 함량이 다른 질화처리를 복수회 진행함으써 스테인리스강 표면에 형성되는 과포화 질화층의 두께를 충분히 확보할 수 있도록 한 효과가 있다.In the martensitic stainless steel manufacturing method of the present invention, the thickness of the supersaturated nitrided layer formed on the stainless steel surface by performing nitriding treatment with different nitrogen (N 2 ) and carbon (C) contents on the martensitic stainless steel a plurality of times It has the effect of being able to secure enough.

도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따라 상기 도 1의 표면처리를 적용한 케이블 보호장치 및 케이블 보호장치 표면처리 방법을 설명하기 위한 도면이다. 도 12 및 도 13은 본 발명의 따른 케이블 보호장치의 분해 도면이다.11 is a view for explaining a cable protection device to which the surface treatment of FIG. 1 is applied and a method for surface treatment of the cable protection device according to another embodiment of the present invention. 12 and 13 are exploded views of the cable protection device according to the present invention.

도 11 내지 도 13을 참조하면, 본 발명의 케이블 보호장치(1000, 2000)는 지하에 매설되거나 해저에 설치되는 케이블들을 보호하기 위해 사용되는 것으로 일정 길이 단위로 케이블을 감싸는 형태로 배치된다.11 to 13 , the cable protection devices 1000 and 2000 of the present invention are used to protect cables buried underground or installed on the seabed, and are arranged in a form of enclosing cables in units of a predetermined length.

케이블 보호장치(1000)는 반원구 형상의 상하부 덮개(1001a, 1001b), 상부 덮개(1001a)의 양측에 배치된 상부 소켓부(1200a)와 상부 플러그부(1400a), 하부 덮개(1001b)의 양측에 배치된 하부 소켓부(1200b)와 하부 플러그부(1400b)를 포함한다.The cable protection device 1000 has a semi-circular shape of upper and lower covers 1001a and 1001b, an upper socket part 1200a and an upper plug part 1400a disposed on both sides of the upper cover 1001a, both sides of the lower cover 1001b. It includes a lower socket portion 1200b and a lower plug portion 1400b disposed in the .

상부 소켓부(1200a)는 상부 덮개(1001a)의 직경보다 크게 형성된 반원구 형상을 갖고 상부 플러그부(1400a)는 상부 덮개(1001a)의 직경보다 크고 상부 소켓부(1200a)의 직경보다는 작게 형성된 반원구 형상일 수 있다.The upper socket part 1200a has a semicircular shape formed to be larger than the diameter of the upper cover 1001a, and the upper plug part 1400a is a semicircle formed larger than the diameter of the upper cover 1001a and smaller than the diameter of the upper socket part 1200a. It may have a spherical shape.

하부 소켓부(1200b)는 하부 덮개(1001b)의 직경보다 크게 형성된 반원구 형상을 갖고 하부 플러그부(1400b)는 하부 덮개(1001b)의 직경보다 크고 하부 소켓부(1200b)의 직경보다는 작게 형성된 반원구 형상일 수 있다.The lower socket part 1200b has a semicircular shape formed to be larger than the diameter of the lower cover 1001b, and the lower plug part 1400b is a semicircle formed to be larger than the diameter of the lower cover 1001b and smaller than the diameter of the lower socket part 1200b. It may have a spherical shape.

따라서, 케이블을 보호하기 위해 배치되는 케이블 보호장치(1000, 2000)가 연속하여 설치될 때, 상하부 소켓부(1200a, 1200b)는 앞단의 케에블 보호장치의 상하부 플러그부(1400a, 1400b)를 감싸면서 체결된다.Therefore, when the cable protection devices 1000 and 2000 arranged to protect the cables are successively installed, the upper and lower socket parts 1200a and 1200b connect the upper and lower plug parts 1400a and 1400b of the cable protection device at the front end. Wrapped and fastened

또한, 본 발명의 케이블 보호장치(1000, 2000)는 상하부 소켓부(1200a, 1200b) 내측에 각각 제1 고정돌기(1500)와 제2 고정돌기(1600)가 일체로 형성될 수 있다.In addition, in the cable protection apparatuses 1000 and 2000 of the present invention, the first fixing protrusion 1500 and the second fixing protrusion 1600 may be integrally formed inside the upper and lower socket portions 1200a and 1200b, respectively.

또한, 본 발명의 케이블 보호장치(1000, 2000)는 상하부 소켓부(1200a, 1200b) 내면을 따라 적어도 하나 이상의 고정수단을 포함하는 상부 굴절고정부(2500)와 하부 굴절고정부(2600)가 형성될 수 있다.In addition, the cable protection device (1000, 2000) of the present invention is formed along the inner surface of the upper and lower socket parts (1200a, 1200b), the upper refractive fixing part 2500 and the lower refractive fixing part 2600 including at least one fixing means. can be

또한, 본 발명의 케이블 보호장치(1000, 2000)는 상하부 플러그부(1400a, 1400b)에 상부 소켓부(1200a)의 제1 고정돌기(1500)와 하부 소켓부(1200b)의 제2 고정돌기(1600)와 각각 체결되는 제1 고정홈(1900a)과 제2 고정홈(1900b)이 형성될 수 있다.In addition, the cable protection device (1000, 2000) of the present invention has a first fixing protrusion 1500 of the upper socket part 1200a on the upper and lower plug parts 1400a and 1400b and a second fixing protrusion of the lower socket part 1200b ( A first fixing groove 1900a and a second fixing groove 1900b each fastened to the 1600 may be formed.

또한, 본 발명의 케이블 보호장치(1000, 2000)는 상하부 플러그부(1400a, 1400b)의 외면에 형성되고 상부 굴절고정부(2500)와 하부 굴절고정부(2600)에 각각 체결될 수 있도록 복수의 홈들로 형성되는 상부 굴절홈(1700a)과 하부 굴절홈(1700b)을 포함한다.In addition, the cable protection devices 1000 and 2000 of the present invention are formed on the outer surfaces of the upper and lower plug parts 1400a and 1400b and are respectively fastened to the upper and lower refractive fixing parts 2500 and 2600. It includes an upper refractive groove 1700a and a lower refractive groove 1700b formed of grooves.

도면에는 도시하였지만 설명하지 않은 1300a, 1300b는 각각 상부 플랜지와 하부 플랜지이고 1370은 체결홀이다.1300a and 1300b, which are shown but not described in the drawings, are an upper flange and a lower flange, respectively, and 1370 is a fastening hole.

본 발명의 케이블 보호장치(1000)는 케이블의 임의의 지점에서 굴곡이나 절곡되어 배치될 때, 케이블 보호장치들(1000, 2000)도 케이블을 감싸면서 굴절되어 배치될 수 있는 효과가 있다.When the cable protection device 1000 of the present invention is bent or bent at any point of the cable, the cable protection devices 1000 and 2000 can also be bent and disposed while wrapping the cable.

도 14 및 도 15는 본 발명에 따른 케이블 보호장치들의 연결 방법을 설명하기 위한 도면이다. 도 16 내지 도 18은 본 발명에 따른 연결된 케이블 보호장치들을 굴절하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.14 and 15 are views for explaining a method of connecting cable protection devices according to the present invention. 16 to 18 are views for explaining a method of bending the connected cable protection devices according to the present invention.

도 12 및 도 13과 함께 도 14 내지 도 18을 참고하면, 본 발명의 케이블 보호장치들(1000, 2000)이 케이블을 감싸면서 연결될 때, 케이블의 굴절 영역에서 케이블 보호장치들(1000, 2000)이 굴절된 형태로 조립될 수 있다.Referring to FIGS. 14 to 18 together with FIGS. 12 and 13 , when the cable protection devices 1000 and 2000 of the present invention are connected while wrapping the cable, the cable protection devices 1000 and 2000 in the bending region of the cable. It can be assembled into this bent shape.

보다 상세히 설명하면, 도 14에 도시한 바와 같이, 케이블 보호장치(1000)의 상부 소켓부(1200a)와 하부 소켓부(1200b)는 전단에 배치된 케이블 보호장치의 상부 플러그부(1400a, 1400b)를 감싸면서 체결된다.More specifically, as shown in FIG. 14 , the upper socket part 1200a and the lower socket part 1200b of the cable protection device 1000 are the upper plug parts 1400a and 1400b of the cable protection device disposed at the front end. It is fastened by enclosing

이때, 상하부 소켓부(1200a, 1200b)의 내측에 형성된 제1 고정돌기(1500)와 제2 고정돌기(1600)은 각각 상부 플러그부(1400a)와 하부 플러그부(1400b)에 형성된 제1 및 제2 고정홈(1900a, 1900b)에 체결된다.At this time, the first fixing protrusion 1500 and the second fixing protrusion 1600 formed inside the upper and lower socket parts 1200a and 1200b are the first and first fixing projections formed on the upper plug part 1400a and the lower plug part 1400b, respectively. 2 It is fastened to the fixing grooves (1900a, 1900b).

도 15에 도시한 바와 같이, 제1 고정돌기(1500)와 제2 고정돌기(1600)은 각각 제1 및 제2 고정홈(1900a, 1900b)에 각각 체결될 수 있는 돌기부(1500a, 1600a)와, 돌기부(1500a, 1600a)를 지지하면서 고정을 위한 탄성력을 전달하는 지지부(1500b, 1600b)와, 돌기부(1500a, 1600a)가 제1 및 제2 고정홈(1900a, 1900b)에 체결되거나 분리될 때 탄성력을 공급하는 탄성부(1500c, 1600c)를 포함한다.15, the first fixing protrusion 1500 and the second fixing protrusion 1600 have protrusions 1500a and 1600a that can be respectively fastened to the first and second fixing grooves 1900a and 1900b, respectively. , When the support parts 1500b and 1600b for transmitting elastic force for fixing while supporting the protrusions 1500a and 1600a, and the protrusions 1500a and 1600a are fastened to or separated from the first and second fixing grooves 1900a and 1900b and elastic parts 1500c and 1600c for supplying elastic force.

특히, 본 발명에서는 반원구 형상의 구조를 갖는 상하부 소켓부(1200a, 1200b)는 체결되면서 내부가 빈 구 형태가 되는데, 상하부 플러그부(1400a, 1400b) 역시 반원구 형상의 구조로 되어 있어 내부가 빈 구 형태가 된다.In particular, in the present invention, the upper and lower socket parts 1200a and 1200b having a semi-spherical structure are fastened to an empty spherical shape. It becomes an empty sphere.

상하부 소켓부(1200a, 1200b)의 직경이 상하부 플러그부(1400a, 1400b)의 직경보다 크기 때문에 상하부 소켓부(1200a, 1200b)가 상하부 플러그부(1400a, 1400b)를 깜싸는 구조로 조립된다. 이때, 본 발명의 상하부 소켓부(1200a, 1200b)에 각각 형성된 제1 고정돌기(1500)와 제2 고정돌기(1600)이 상하부 플러그부(1400a, 1400b)에 각각 형성된 제1 및 제2 고정홈(1900a, 1900b)에 체결되면 도 16의 (a)와 (b)에 도시한 바와 같이, 케이블 보호장치(1000, 2000)는 수평면을 따라 절곡될 수 있다.Since the diameter of the upper and lower socket parts 1200a and 1200b is larger than the diameter of the upper and lower plug parts 1400a and 1400b, the upper and lower socket parts 1200a and 1200b are assembled in a structure that surrounds the upper and lower plug parts 1400a and 1400b. At this time, first and second fixing grooves in which the first fixing protrusions 1500 and the second fixing projections 1600 respectively formed on the upper and lower socket portions 1200a and 1200b of the present invention are formed in the upper and lower plug portions 1400a and 1400b, respectively. When fastened to (1900a, 1900b), as shown in FIGS. 16 (a) and (b), the cable protection devices 1000 and 2000 may be bent along a horizontal plane.

따라서, 지상, 지하 또는 해저에 배치되는 케이블이 굴절될 때 케이블 보호장치들도 굴절된 형태로 배치될 수 있는 이점이 있다.Accordingly, there is an advantage that cable protection devices can also be arranged in a bent form when a cable disposed on the ground, underground, or on the seabed is bent.

도 16 내지 도 18을 참조하면, 도 16의 (b)에서와 같이, 케이블 보호장치들(1000, 2000)이 굴절되면 전술한 바와 같이, 상하부 소켓부(1200a, 1200b)에 각각 형성된 제1 고정돌기(1500) 및 제2 고정돌기(1600)와 상하부 플러그부(1400a, 1400b)에 각각 형성된 제1 및 제2 고정홈(1900a, 1900b)의 체결 구조에 의해 케이블 보호장치(1000, 2000)들은 용이하게 굴절될 수 있다.Referring to FIGS. 16 to 18 , as in FIG. 16 (b) , when the cable protection devices 1000 and 2000 are refracted, as described above, the first fixings formed in the upper and lower socket portions 1200a and 1200b, respectively. By the fastening structure of the projection 1500 and the second fixing projection 1600 and the first and second fixing grooves 1900a and 1900b respectively formed in the upper and lower plug parts 1400a and 1400b, the cable protection devices 1000 and 2000 are It can be easily refracted.

하지만, 해저나 강 영역에 케이블이 배치되거나 배치된 케이블에 외력이 가해져 체결된 케이블 보호장치(1000, 2000)들이 굴절 상태를 유지할 수 없게 될 때를 방지할 필요가 있다.However, it is necessary to prevent a case in which cables are arranged on the seabed or river area or when external force is applied to the arranged cables and thus the fastened cable protection devices 1000 and 2000 cannot maintain the bending state.

이를 위하여 본 발명의 케이블 보호장치들(1000, 2000)에는 케이블 보호장치들(1000, 2000)의 굴절 상태가 유지될 수 있도록 상하부 소켓부(1200a, 1200b) 내면에 적어도 하나 이상의 고정수단을 포함하는 상부 굴절고정부(2500) 및 하부 굴절고정부(2600)를 배치하고, 이와 대응되도록 케이블 보호장치(1000, 2000)의 상하부 플러그부(1400a, 1400b) 외면에 상부 굴절홈(1700a)과 하부 굴절홈(1700b)을 배치하였다.To this end, the cable protection devices 1000 and 2000 of the present invention include at least one fixing means on the inner surface of the upper and lower socket parts 1200a and 1200b so that the bending state of the cable protection devices 1000 and 2000 can be maintained. The upper and lower refraction fixing parts 2500 and 2600 are arranged, and the upper and lower refraction grooves 1700a and the lower refraction grooves 1700a and lower bends are disposed on the outer surfaces of the upper and lower plug parts 1400a and 1400b of the cable protection device 1000 and 2000 to correspond thereto. A groove 1700b was placed.

도 17 및 도 18에 도시한 바와 같이, 본 발명의 케이블 보호장치들(1000, 2000)은 상하부 소켓부(1200a, 1200b)가 상하부 플러그부(1400a, 1400b)를 감싸때 상하부 소켓부(1200a, 1200b)에 배치된 상부 굴절고정부(2500) 및 하부 굴절고정부(2600)가 상부 굴절홈(1700a)과 하부 굴절홈(1700b)에 체결될 수 있도록 하였다.17 and 18, the cable protection devices 1000 and 2000 of the present invention have the upper and lower socket parts 1200a and 1200b when the upper and lower socket parts 1200a and 1200b surround the upper and lower plug parts 1400a and 1400b. The upper refractive fixing part 2500 and the lower refractive fixing part 2600 disposed in 1200b) can be fastened to the upper refractive groove 1700a and the lower refractive groove 1700b.

즉, 케이블 보호장치들(1000, 2000)이 소정의 굴절 각도로 배치되면 상부 굴절고정부(2500) 및 하부 굴절고정부(2600)와 상부 굴절홈(1700a) 및 하부 굴절홈(1700b)에 의해 케이블 보호장치들(1000, 2000)의 굴절 각도는 고정된다.That is, when the cable protection devices 1000 and 2000 are arranged at a predetermined refraction angle, the upper refraction fixing unit 2500 and the lower refraction fixing unit 2600 and the upper refraction groove 1700a and the lower refraction groove 1700b are formed. The angle of refraction of the cable protectors 1000 and 2000 is fixed.

상부 굴절고정부(2500) 및 하부 굴절고정부(2600)는 각각 상부 굴절홈(1700a) 및 하부 굴절홈(1700b)에 삽입되어 체결되는 굴절고정돌기(2500a)와, 굴절고정돌기(2500a)를 지지하는 굴절지지부(2500b)와, 굴절고정돌기(2500a)에 체결을 위한 탄성력을 제공하는 굴절 탄성수단(2500c)을 포함한다.The upper refractive fixing part 2500 and the lower refractive fixing part 2600 are respectively inserted into the upper refractive grooves 1700a and the lower refractive grooves 1700b and fastened with a refractive fixing protrusion 2500a and a refractive fixing protrusion 2500a. It includes a refractive support part 2500b for supporting, and refractive elastic means 2500c for providing an elastic force for fastening to the refractive fixing protrusion 2500a.

상부 굴절고정부(2500) 및 하부 굴절고정부(2600)의 굴절고정돌기(2500a)는 상하부 플러그부(1400a, 1400b) 외면에 형성된 상부 굴절홈(1700a) 및 하부 굴절홈(1700b)에 삽입될 수 있도록 유선형 구조를 가질 수 있다.The refractive fixing protrusions 2500a of the upper refractive fixing part 2500 and the lower refractive fixing part 2600 are to be inserted into the upper and lower refractive grooves 1700a and the lower refractive grooves 1700b formed on the outer surfaces of the upper and lower plug parts 1400a and 1400b. It may have a streamlined structure so that

또한, 상부 굴절홈(1700a) 및 하부 굴절홈(1700b)은 소정의 간격으로 복수개가 형성되어 있어, 케이블 보호장치들(1000, 2000)의 굴절 각도를 다양하게 조절할 수 있다. 도 16 (b) 및 도 18에 도시한 바와 같이, 케이블 보호장치들(1000, 2000)이 굴절되는 각도에 따라 상부 굴절고정부(2500) 및 하부 굴절고정부(2600)의 굴절고정돌기(2500a)는 복수의 상부 굴절홈(1700a) 및 하부 굴절홈(1700b)들 중에 삽입 체결될 수 있다.In addition, since a plurality of the upper bending grooves 1700a and the lower bending grooves 1700b are formed at predetermined intervals, the angle of refraction of the cable protection devices 1000 and 2000 can be variously adjusted. 16 (b) and 18, according to the angle at which the cable protection devices 1000 and 2000 are refracted, the refractive fixing protrusions 2500a of the upper refractive fixing part 2500 and the lower refractive fixing part 2600 are shown. ) may be inserted and fastened among the plurality of upper refraction grooves 1700a and lower refraction grooves 1700b.

본 발명의 케이블 보호장치 표면처리 방법은 전술한 케이블 보호장치(1000)에 대해 도 1에서 설명한 멀티 질화처리 공정을 포함하는 표면처리를 진행한다.In the method for surface treatment of the cable protection device of the present invention, the surface treatment including the multi-nitriding process described in FIG. 1 is performed on the cable protection device 1000 described above.

보다 구체적으로, 본 발명의 케이블 보호장치(1000)는 상하부 덮개(1001a, 1001b), 상하부 플러그부(1400a, 1400b), 상하부 소켓부(1200a, 1200b) 내측에 형성된 제1 고정돌기(1500)와 제2 고정돌기(1600), 상부 굴절고정부(2500) 및 하부 굴절고정부(2600)를 도 1 내지 도 4에서 설명한 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강으로 제작한다. 또한, 전술한 제1 및 제2 고정돌기(1500, 1600)를 구성하는 돌기부, 지지부 및 탄성수단과, 상부 굴절고정부(2500) 및 하부 굴절고정부(2600)를 구성하는 굴절고정돌기(2500a)와, 굴절지지부(2500b)와, 굴절 탄성수단(2500c)를 도 1 내지 도 4에서 설명한 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강으로 제작한다.More specifically, the cable protection device 1000 of the present invention includes a first fixing protrusion 1500 formed inside the upper and lower covers 1001a and 1001b, the upper and lower plug parts 1400a and 1400b, and the upper and lower socket parts 1200a and 1200b. The second fixing protrusion 1600 , the upper refractive fixing part 2500 , and the lower refractive fixing part 2600 are made of the martensitic precipitation hardening type stainless steel described with reference to FIGS. 1 to 4 . In addition, the above-described first and second fixing projections (1500, 1600), the protrusion, the support and elastic means constituting the, and the refractive fixing projection (2500a) constituting the upper refractive fixing portion 2500 and the lower refractive fixing portion (2600) ), the refractive support part 2500b, and the refractive elastic means 2500c are made of the martensitic precipitation hardening type stainless steel described with reference to FIGS. 1 to 4 .

본 발명의 케이블 보호장치 표면처리 방법은 케이블 보호장치(1000)에 대해 도 1 내지 도 10에서 설명한 처리 공정을 동일하게 적용하여 진행할 수 있다. 따라서, 여기서는 케이블 보호장치 표면처리 방법에 대해 간략히 설명하나 보다 구체적인 부분은 도 1 내지 도 10에서 설명한 내용을 동일하게 적용한다.The method for surface treatment of the cable protection device of the present invention may be performed by applying the same treatment process described with reference to FIGS. 1 to 10 for the cable protection device 1000 . Therefore, here, the method for surface treatment of the cable protection device will be briefly described, but for more specific parts, the contents described with reference to FIGS. 1 to 10 are equally applied.

본 발명의 케이블 보호장치 표면처리 방법은, 케이블 보호장치를 공정 장비에 로딩하기 전 케이블 보호장치의 표면 불순물 제거를 위해 전처리 단계를 진행할 수 있다.In the method for surface treatment of a cable protection device of the present invention, a pretreatment step may be performed to remove surface impurities of the cable protection device before loading the cable protection device into the process equipment.

그런 다음, 케이블 보호장치에 대해 제1 스퍼터링 처리 단계, 케이블 보호장치의 표면처리 단계, 제2 스퍼터링 처리 단계, 멀티 질화처리 단계 및 케이블 보호장치에 대한 후처리 단계를 진행한다.Then, a first sputtering treatment step for the cable protection device, a surface treatment step of the cable protection device, a second sputtering treatment step, a multi-nitriding treatment step and a post-processing step for the cable protection device are performed.

전술한 바와 같이, 케이블 보호장치(1000)를 구성하는 상하부 덮개(1001a, 1001b), 상하부 플러그부(1400a, 1400b), 상하부 소켓부(1200a, 1200b) 내측에 형성된 제1 고정돌기(1500)와 제2 고정돌기(1600), 상부 굴절고정부(2500) 및 하부 굴절고정부(2600)의 표면에는 도 1 내지 도 10에서 설명한 바와 같이, 과포화 결정층이 형성된다. 따라서, 지하, 해저에 케이블 보호장치들(1000, 2000)이 배치되더라도 내식성 및 경화성이 강화되어 안전하게 케이블을 보호할 수 있다.As described above, the first fixing protrusions 1500 formed inside the upper and lower covers 1001a and 1001b, the upper and lower plug portions 1400a and 1400b, and the upper and lower socket portions 1200a and 1200b constituting the cable protection device 1000 as described above, and As described with reference to FIGS. 1 to 10 , a supersaturated crystal layer is formed on the surfaces of the second fixing protrusion 1600 , the upper refractive fixing part 2500 , and the lower refractive fixing part 2600 . Accordingly, even if the cable protection devices 1000 and 2000 are disposed underground or on the seabed, corrosion resistance and hardenability are strengthened to safely protect the cable.

이와 같이, 본 발명의 케이블 보호장치 표면 처리방법은 케이블 보호장치를 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 재질로 제작하고, 이를 질소(N2) 가스를 이용한 표면처리와 질소(N2) 및 탄소(C) 가스를 이용한 표면처리를 교대로 진행하여 내식성과 경화성을 향상시킨 효과가 있다.As such, in the method for surface treatment of the cable protection device of the present invention, the cable protection device is made of a martensitic precipitation hardening type stainless steel material, and the surface treatment is performed using nitrogen (N 2 ) gas and nitrogen (N 2 ) and carbon (C). ) It has the effect of improving corrosion resistance and hardenability by alternately performing surface treatment using gas.

이상 설명된 본 발명에 따른 실시예는 다양한 컴퓨터 구성요소를 통하여 실행될 수 있는 프로그램 명령어의 형태로 구현되어 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체에 기록될 수 있다. 상기 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체는 프로그램 명령어, 데이터 파일, 데이터 구조 등을 단독으로 또는 조합하여 포함할 수 있다. 상기 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체에 기록되는 프로그램 명령어는 본 발명을 위하여 특별히 설계되고 구성된 것이거나 컴퓨터 소프트웨어 분야의 당업자에게 공지되어 사용 가능한 것일 수 있다. 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체의 예에는, 하드 디스크, 플로피 디스크 및 자기 테이프와 같은 자기 매체, CD-ROM 및 DVD와 같은 광기록 매체, 플롭티컬 디스크(floptical disk)와 같은 자기-광 매체(magneto-optical medium), 및 ROM, RAM, 플래시 메모리 등과 같은, 프로그램 명령어를 저장하고 실행하도록 특별히 구성된 하드웨어 장치가 포함된다. 프로그램 명령어의 예에는, 컴파일러에 의하여 만들어지는 것과 같은 기계어 코드뿐만 아니라 인터프리터 등을 사용하여 컴퓨터에 의해서 실행될 수 있는 고급 언어 코드도 포함된다. 하드웨어 장치는 본 발명에 따른 처리를 수행하기 위하여 하나 이상의 소프트웨어 모듈로 변경될 수 있으며, 그 역도 마찬가지이다.The embodiments according to the present invention described above may be implemented in the form of program instructions that can be executed through various computer components and recorded in a computer-readable recording medium. The computer-readable recording medium may include program instructions, data files, data structures, etc. alone or in combination. The program instructions recorded on the computer-readable recording medium may be specially designed and configured for the present invention, or may be known and available to those skilled in the art of computer software. Examples of computer-readable recording media include hard disks, magnetic media such as floppy disks and magnetic tapes, optical recording media such as CD-ROMs and DVDs, and magneto-optical media such as floppy disks. medium), and hardware devices specially configured to store and execute program instructions, such as ROM, RAM, flash memory, and the like. Examples of program instructions include not only machine language codes such as those generated by a compiler, but also high-level language codes that can be executed by a computer using an interpreter or the like. A hardware device may be converted into one or more software modules to perform processing in accordance with the present invention, and vice versa.

본 발명에서 설명하는 특정 실행들은 일 실시 예들로서, 어떠한 방법으로도 본 발명의 범위를 한정하는 것은 아니다. 명세서의 간결함을 위하여, 종래 전자적인 구성들, 제어 시스템들, 소프트웨어, 상기 시스템들의 다른 기능적인 측면들의 기재는 생략될 수 있다. 또한, 도면에 도시된 구성 요소들 간의 선들의 연결 또는 연결 부재들은 기능적인 연결 및/또는 물리적 또는 회로적 연결들을 예시적으로 나타낸 것으로서, 실제 장치에서는 대체 가능하거나 추가의 다양한 기능적인 연결, 물리적인 연결, 또는 회로 연결들로서 나타내어질 수 있다. 또한, “필수적인”, “중요하게” 등과 같이 구체적인 언급이 없다면 본 발명의 적용을 위하여 반드시 필요한 구성 요소가 아닐 수 있다.The specific implementations described in the present invention are only examples, and do not limit the scope of the present invention in any way. For brevity of the specification, descriptions of conventional electronic components, control systems, software, and other functional aspects of the systems may be omitted. In addition, the connection or connection members of the lines between the components shown in the drawings exemplarily represent functional connections and/or physical or circuit connections, and in an actual device, various functional connections, physical connections that are replaceable or additional may be referred to as connections, or circuit connections. In addition, unless there is a specific reference such as “essential” or “importantly”, it may not be a necessary component for the application of the present invention.

또한 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술할 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.In addition, although the detailed description of the present invention has been described with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art or those having ordinary knowledge in the art will appreciate the spirit of the present invention described in the claims to be described later. And it will be understood that various modifications and variations of the present invention can be made without departing from the technical scope. Accordingly, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification, but should be defined by the claims.

200: 공정 장비
201: 챔버
202: 전원 공급부
210: 펌핑 시스템
260: 모재
1000, 2000: 케이블 보호장치
1001a: 상부 덮개
1001b: 하부 덮개
1200a: 상부 소켓부
1200b: 하부 소켓부
1400a: 상부 플러그부
1400b: 하부 플러그부
1500: 제1 고정돌기
1600: 제2 고정돌기
1700a: 상부 굴절홈
1700b: 하부 굴절홈
2500: 상부 굴절고정부
2600: 하부 굴절고정부200: process equipment
201: chamber
202: power supply
210: pumping system
260: base material
1000, 2000: cable protection
1001a: top cover
1001b: lower cover
1200a: upper socket part
1200b: lower socket part
1400a: upper plug part
1400b: lower plug part
1500: first fixing protrusion
1600: second fixing protrusion
1700a: upper articulation groove
1700b: lower articulation groove
2500: upper refractive fixed part
2600: lower refractive part

Claims (12)

마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 모재를 표면처리 공정 장비에 장입하기전 전처리 공정을 진행하는 단계;
상기 모재를 공정 장비의 챔버 내에 로딩시킨 후, 제1 스퍼터링 처리를 진행하는 단계;
상기 제1 스퍼터링 처리가 된 모재에 불활성 가스를 이용한 시효처리를 진행하는 단계;
상기 시효처리된 모재에 대해 제2 스퍼터링 처리를 진행하는 단계;
상기 제2 스퍼터링 처리된 모재에 대해 멀티 질화처리를 진행하여 상기 모재의 표면에 과포화 질화층을 형성하는 단계; 및
상기 멀티 질화처리된 모재를 냉각시키는 후처리 공정을 진행하는 단계를 포함하고,
상기 멀티 질화처리 단계는,
상기 챔버 내의 공정 가스의 질소(N2) 함량이 10~30% 범위에서 선택된 조건에서 상기 모재에 복수회 제1 처리를 진행하는 단계와,
상기 챔버 내의 공정 가스의 질소(N2) 함량은 10~30%이고, 탄소(C) 함량은 1~5% 범위에서 선택된 조건에서 상기 모재에 복수회 제2 처리를 진행하는 단계를 포함하며,
상기 제1 처리 단계와 제2 처리 단계는 서로 교대로 진행하고,
상기 제1 처리 단계의 총 시간은 상기 제2 처리 단계의 총 시간보다 작은 것을 특징으로 하는 내식성 및 경화능을 개선한 마르텐사이트계 스테인리스강 제조방법.performing a pretreatment process before charging the martensitic precipitation hardening stainless steel base material into the surface treatment process equipment;
After loading the base material into the chamber of the process equipment, performing a first sputtering treatment;
performing an aging treatment using an inert gas on the base material subjected to the first sputtering treatment;
performing a second sputtering treatment on the aged base material;
forming a supersaturated nitride layer on the surface of the base material by performing multi-nitriding treatment on the second sputtering-treated base material; and
Including the step of performing a post-treatment process of cooling the multi-nitriding-treated base material,
The multi-nitriding step is,
A step of performing a first treatment a plurality of times on the base material under a condition in which the nitrogen (N 2 ) content of the process gas in the chamber is selected in the range of 10 to 30%;
The nitrogen (N 2 ) content of the process gas in the chamber is 10 to 30%, and the carbon (C) content is selected from the range of 1 to 5%, and performing a second treatment on the base material a plurality of times,
The first processing step and the second processing step proceed alternately with each other,
A method for manufacturing martensitic stainless steel with improved corrosion resistance and hardenability, characterized in that the total time of the first treatment step is smaller than the total time of the second treatment step. 제1항에 있어서,
상기 제1 처리 단계는 공정 가스의 질소(N2) 함량이 각각 15%, 20%, 25%의 제1 내지 제3 서브처리 단계를 포함하고,
상기 제2 처리 단계는 공정 가스의 탄소(C) 함량이 각각 1%, 2%, 3%의 제4 내지 제6 서브처리 단계를 포함하며,
상기 제1 내지 제3 서브처리 단계와 상기 제4 내지 제6 서브처리 단계는 각각 서로 교대로 상기 모재 상에 진행하는 것을 특징으로 하는 내식성 및 경화능을 개선한 마르텐사이트계 스테인리스강 제조방법.According to claim 1,
The first treatment step includes first to third sub-treatment steps in which the nitrogen (N 2 ) content of the process gas is 15%, 20%, and 25%, respectively,
The second treatment step includes fourth to sixth sub-treatment steps in which the carbon (C) content of the process gas is 1%, 2%, and 3%, respectively,
The method for manufacturing martensitic stainless steel with improved corrosion resistance and hardenability, characterized in that the first to third sub-treatment steps and the fourth to sixth sub-treatment steps are alternately performed on the base material. 제1항에 있어서,
상기 제1 처리 단계의 총 시간은 3~6시간(H)이고, 상기 제2 처리 단계의 총 시간은 9~12시간(H)인 것을 특징으로 하는 내식성 및 경화능을 개선한 마르텐사이트계 스테인리스강 제조방법.According to claim 1,
Martensitic stainless steel with improved corrosion resistance and hardenability, characterized in that the total time of the first treatment step is 3 to 6 hours (H), and the total time of the second treatment step is 9 to 12 hours (H) Steel manufacturing method. 제1항에 있어서,
상기 멀티 질화처리 단계의 공정 온도는 300-400 ℃이고, 압력은 4 Torr인 것을 특징으로 하는 내식성 및 경화능을 개선한 마르텐사이트계 스테인리스강 제조방법.According to claim 1,
The process temperature of the multi-nitriding step is 300-400 ℃, and the martensitic stainless steel manufacturing method with improved corrosion resistance and hardenability, characterized in that the pressure is 4 Torr. 제1항에 있어서,
상기 모재 상에 형성된 과포화 질화층의 두께는 16~20㎛인 것을 특징으로 하는 내식성 및 경화능을 개선한 마르텐사이트계 스테인리스강 제조방법.According to claim 1,
A method for manufacturing martensitic stainless steel with improved corrosion resistance and hardenability, characterized in that the thickness of the supersaturated nitride layer formed on the base material is 16 to 20 μm. 제1항에 있어서,
상기 마르텐사이트계 스테인리스강은 중량% 기준으로, C: 0.02 내지 0.04%, Si: 0.1 내지 0.5%, Mn: 0.2 내지 0.8, P: 0.02 내지 0.03%, S: 0.001 내지 0.003, Ni: 3 내지 5%, Cr: 14.5 내지 16.3%, Mo: 0.07 내지 0.094%, Cu: 3 내지 3. 5% 및 잔부 Fe을 포함하는 것을 특징으로 하는 내식성 및 경화능을 개선한 마르텐사이트계 스테인리스강 제조방법.According to claim 1,
The martensitic stainless steel is based on weight %, C: 0.02 to 0.04%, Si: 0.1 to 0.5%, Mn: 0.2 to 0.8, P: 0.02 to 0.03%, S: 0.001 to 0.003, Ni: 3 to 5 %, Cr: 14.5 to 16.3%, Mo: 0.07 to 0.094%, Cu: 3 to 3.5%, and the remainder Fe martensitic stainless steel manufacturing method with improved corrosion resistance and hardenability, characterized in that it contains. 각종 케이블을 감싸서 보호할 수 있도록 마르텐사이트계 석출경화형 스테인리스강 재질로 제작된 케이블 보호장치의 표면처리 방법에 있어서,
상기 케이블 보호장치는, 케이블을 감싸는 상하부 덮개와, 상기 상하부 덮개 양측에 각각 배치되는 상하부 소켓부 및 상하부 플러그부와, 상기 상하부 소켓부의 내측에 각각 배치된 제1 및 제2 고정돌기와, 상기 제1 및 제2 고정돌기와 체결되고 상기 상하부 플러그부에 각각 배치된 제1 및 제2 고정홈과, 상기 상하부 소켓부 내측에 배치된 상하부 굴절고정부와, 상하부 굴절고정부와 체결되어 케이블 보호장치들의 굴적 각도를 조절하도록 상기 상하부 플러그부 외면에 복수의 홈 형태로 각각 배치된 상하부 굴절홈을 포함하고,
상기 케이블 보호장치에 대해 공정 장비 내에서 제1 스퍼터링 처리를 진행하는 단계;
상기 제1 스퍼터링 처리가 된 케이블 보호장치에 불활성 가스를 이용한 시효처리를 진행하는 단계;
상기 시효처리된 케이블 보호장치에 대해 제2 스퍼터링 처리를 진행하는 단계;
상기 제2 스퍼터링 처리된 케이블 보호장치에 대해 멀티 질화처리를 진행하여 상기 케이블 보호장치의 각 구성들의 표면에 과포화 질화층을 형성하는 단계; 및
상기 멀티 질화처리된 케이블 보호장치를 냉각시키는 후처리 공정을 진행하는 단계를 포함하고,
상기 멀티 질화처리 단계는,
챔버 내의 공정 가스의 질소(N2) 함량이 10~30% 범위에서 선택된 조건에서 상기 케이블 보호장치에 복수회 제1 처리를 진행하는 단계와,
챔버 내의 공정 가스의 질소(N2) 함량은 10~30%이고, 탄소(C) 함량은 1~5% 범위에서 선택된 조건에서 상기 케이블 보호장치에 복수회 제2 처리를 진행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 케이블 보호장치의 표면처리 방법.In the surface treatment method of a cable protection device made of a martensitic precipitation hardening stainless steel material so as to wrap and protect various cables,
The cable protection device includes an upper and lower cover surrounding the cable, upper and lower socket portions and upper and lower plug portions respectively disposed on both sides of the upper and lower cover, first and second fixing protrusions disposed inside the upper and lower socket portions, respectively, and the first and first and second fixing grooves fastened with a second fixing protrusion and disposed in the upper and lower plug parts, upper and lower bending fixing parts disposed inside the upper and lower socket parts, and upper and lower bending fixing parts fastened to the cable protection devices and upper and lower bending grooves respectively arranged in the form of a plurality of grooves on the outer surface of the upper and lower plugs to adjust the angle,
performing a first sputtering treatment in process equipment for the cable protection device;
performing an aging treatment using an inert gas on the cable protection device subjected to the first sputtering treatment;
performing a second sputtering treatment on the aged cable protection device;
performing multi-nitriding treatment on the second sputtering-treated cable protection device to form a supersaturated nitride layer on the surface of each component of the cable protection device; and
Comprising the step of performing a post-treatment process of cooling the multi-nitriding-treated cable protection device,
The multi-nitriding step is,
A step of performing a first treatment a plurality of times on the cable protection device under the condition that the nitrogen (N 2 ) content of the process gas in the chamber is selected in the range of 10 to 30%;
The nitrogen (N 2 ) content of the process gas in the chamber is 10 to 30%, and the carbon (C) content is selected from the range of 1 to 5%, comprising the step of performing a second treatment multiple times on the cable protection device A method for surface treatment of a cable protection device, characterized in that. 제7항에 있어서,
상기 상기 제1 처리 단계와 제2 처리 단계는 서로 교대로 진행하고,
상기 제1 처리 단계의 총 시간은 상기 제2 처리 단계의 총 시간보다 작은 것을 특징으로 하는 케이블 보호장치의 표면처리 방법.8. The method of claim 7,
The first processing step and the second processing step proceed alternately with each other,
The total time of the first treatment step is less than the total time of the second treatment step. 제8항에 있어서,
상기 제1 처리 단계는 공정 가스의 질소(N2) 함량이 각각 15%, 20%, 25%의 제1 내지 제3 서브처리 단계를 포함하고,
상기 제2 처리 단계는 공정 가스의 탄소(C) 함량이 각각 1%, 2%, 3%의 제4 내지 제6 서브처리 단계를 포함하며,
상기 제1 내지 제3 서브처리 단계와 상기 제4 내지 제6 서브처리 단계는 각각 서로 교대로 상기 케이블 보호장치에 진행하는 것을 특징으로 하는 케이블 보호장치의 표면처리 방법.9. The method of claim 8,
The first treatment step includes first to third sub-treatment steps in which the nitrogen (N 2 ) content of the process gas is 15%, 20%, and 25%, respectively,
The second treatment step includes fourth to sixth sub-treatment steps in which the carbon (C) content of the process gas is 1%, 2%, and 3%, respectively,
The first to third sub-processing steps and the fourth to sixth sub-processing steps are each alternately performed on the cable protection device. 제8항에 있어서,
상기 제1 처리 단계의 총 시간은 3~6시간(H)이고, 상기 제2 처리 단계의 총 시간은 9~12시간(H)인 것을 특징으로 하는 케이블 보호장치의 표면처리 방법.9. The method of claim 8,
The total time of the first treatment step is 3 to 6 hours (H), and the total time of the second treatment step is 9 to 12 hours (H). 제7항에 있어서,
상기 멀티 질화처리 단계의 공정 온도는 300-400 ℃이고, 압력은 4 Torr인 것을 특징으로 하는 케이블 보호장치의 표면처리 방법.8. The method of claim 7,
The process temperature of the multi-nitriding step is 300-400 ℃, the surface treatment method of the cable protection device, characterized in that the pressure is 4 Torr. 제7항에 있어서,
상기 케이블 보호장치 상에 형성된 과포화 질화층의 두께는 16~20㎛인 것을 특징으로 하는 케이블 보호장치의 표면처리 방법.8. The method of claim 7,
The surface treatment method of the cable protection device, characterized in that the thickness of the supersaturated nitride layer formed on the cable protection device is 16 ~ 20㎛.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115491632A (en) * 2022-09-29 2022-12-20 国家能源菏泽发电有限公司 Surface treatment technology for gas shock wave soot blower nozzle buffer leaf spring

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020015193A (en) * 2000-08-21 2002-02-27 황해웅 Method for improving the wear resistance and corrosion resistance of chrome plating layer
JP2005531694A (en) 2002-07-03 2005-10-20 サンドビック インテレクチュアル プロパティー ハンデルスボラーグ Surface modified stainless steel
KR20100009288U (en) * 2009-03-13 2010-09-27 이의근 protective cover for submarine cable
KR101614259B1 (en) * 2015-10-12 2016-04-20 동의대학교 산학협력단 Method for formation of hardened layer on martensitic precipitation-hardening stainless steel by the application of in-situ combination of aging treatment and plasma nitrocaburizing treatment

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020015193A (en) * 2000-08-21 2002-02-27 황해웅 Method for improving the wear resistance and corrosion resistance of chrome plating layer
JP2005531694A (en) 2002-07-03 2005-10-20 サンドビック インテレクチュアル プロパティー ハンデルスボラーグ Surface modified stainless steel
KR20100009288U (en) * 2009-03-13 2010-09-27 이의근 protective cover for submarine cable
KR101614259B1 (en) * 2015-10-12 2016-04-20 동의대학교 산학협력단 Method for formation of hardened layer on martensitic precipitation-hardening stainless steel by the application of in-situ combination of aging treatment and plasma nitrocaburizing treatment

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115491632A (en) * 2022-09-29 2022-12-20 国家能源菏泽发电有限公司 Surface treatment technology for gas shock wave soot blower nozzle buffer leaf spring

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