KR102321274B1 - Photopolymerization system having air diffusing module for preventing ultra violet rays transmission plate - Google Patents
Photopolymerization system having air diffusing module for preventing ultra violet rays transmission plate Download PDFInfo
- Publication number
- KR102321274B1 KR102321274B1 KR1020180110124A KR20180110124A KR102321274B1 KR 102321274 B1 KR102321274 B1 KR 102321274B1 KR 1020180110124 A KR1020180110124 A KR 1020180110124A KR 20180110124 A KR20180110124 A KR 20180110124A KR 102321274 B1 KR102321274 B1 KR 102321274B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- air
- frame
- photopolymerization reaction
- ultraviolet
- transmission plate
- Prior art date
Links
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 title claims description 34
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 43
- 239000000376 reactant Substances 0.000 claims abstract description 23
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims abstract description 23
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 claims abstract description 21
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 13
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 13
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 4
- 239000007921 spray Substances 0.000 abstract description 9
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 27
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 9
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 229920000247 superabsorbent polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 150000002978 peroxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
- B01J19/12—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electromagnetic waves
- B01J19/122—Incoherent waves
- B01J19/123—Ultraviolet light
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/0053—Details of the reactor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J4/00—Feed or outlet devices; Feed or outlet control devices
- B01J4/008—Feed or outlet control devices
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F2/00—Processes of polymerisation
- C08F2/002—Scale prevention in a polymerisation reactor or its auxiliary parts
- C08F2/007—Scale prevention in the auxiliary parts
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F2/00—Processes of polymerisation
- C08F2/01—Processes of polymerisation characterised by special features of the polymerisation apparatus used
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F2/00—Processes of polymerisation
- C08F2/46—Polymerisation initiated by wave energy or particle radiation
- C08F2/48—Polymerisation initiated by wave energy or particle radiation by ultraviolet or visible light
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J2219/00049—Controlling or regulating processes
- B01J2219/00164—Controlling or regulating processes controlling the flow
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J2219/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
- B01J2219/0869—Feeding or evacuating the reactor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J2219/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
- B01J2219/12—Processes employing electromagnetic waves
- B01J2219/1203—Incoherent waves
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Polymerisation Methods In General (AREA)
Abstract
본 발명의 실시예에 따른 광 중합 반응 시스템은 자외선 램프, 자외선 램프 하부에 배치되는 자외선 투과 플레이트, 및 자외선 램프를 제열하기 위한 공기가 공급 및 배출되는 환기부를 포함하고, 자외선 투과 플레이트 하부에 반응물이 공급되어 광 중합 반응이 일어나는 광 중합 반응 시스템에 있어서, 광 중합 반응에 의해 생성되는 부산물이 자외선 투과 플레이트를 오염시키는 것을 방지하기 위해 환기부를 통해 공급된 공기를 자외선 투과 플레이트와 반응물 사이에 분사하는 공기 분사 모듈을 포함할 수 있다. The photopolymerization reaction system according to an embodiment of the present invention includes an ultraviolet lamp, an ultraviolet light transmitting plate disposed under the ultraviolet light lamp, and a ventilation unit through which air for removing heat from the ultraviolet lamp is supplied and discharged, and the reactant is disposed under the ultraviolet light transmitting plate In the photopolymerization reaction system in which the photopolymerization reaction occurs by being supplied, the air supplied through the ventilation unit is sprayed between the ultraviolet light transmitting plate and the reactant to prevent the byproducts generated by the photopolymerization reaction from contaminating the ultraviolet light transmitting plate. It may include a spray module.
Description
본 발명은 광 중합 반응 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 자외선 투과 플레이트 오염 방지용 공기 분사 모듈을 구비하는 광 중합 반응 시스템에 관한 것이다. The present invention relates to a photopolymerization reaction system, and more particularly, to a photopolymerization reaction system having an air spray module for preventing contamination of an ultraviolet transmission plate.
고흡수성 수지(SAP, super absorbent polymer)는 흡수력과 보수력이 우수한 특수 고분자 소재로서, 유아 및 성인용 기저귀, 여성용품 등에 널리 사용되며, 이러한 고흡수성 수지를 제조하는 대표적인 방법으로는 라디칼계 광 중합 개시제와 과산화물의 존재 하에서 자외선을 조사하여 중합하는 광 중합 반응이 있다.Super absorbent polymer (SAP) is a special polymer material with excellent absorption and water holding capacity, and is widely used in baby and adult diapers and women's products. There is a photopolymerization reaction in which polymerization is performed by irradiating ultraviolet rays in the presence of a peroxide.
광 중합 반응은 단량체 조성물(이하 '반응물')을 응집시킨 이후 진행되는 단계로서, 상기 반응물이 중합 반응기로 공급되면 도 1에 도시된 바와 같이 중합 반응기(10) 전단 상부에 설치된 복수의 자외선 램프 키트(20)의 하부 영역에서 진행된다. 여기서, 자외선 램프 키트(20)는 내부에는 자외선 램프를 포함하고 하단에는 자외선 램프를 보호하기 위한 자외선 투과 플레이트 또는 자외선 투과 플레이트가 수용된 자외선 투과 플레이트 수용 프레임이 결합된 구조물을 의미할 수 있다. The photopolymerization reaction is a step that proceeds after agglomeration of the monomer composition (hereinafter 'reactant'). When the reactant is supplied to the polymerization reactor, a plurality of UV lamp kits installed on the front end of the
한편, 광 반응 과정에서는 수증기 및 소량의 단량체 증기류가 부산물로 생성된다. 생성된 부산물을 제거하기 위해 중합 반응기(10)의 측벽면 상부에는 가열 공기를 공급하는 공급 노즐(11) 및 배출 노즐(12)이 형성되어 있으며, 부산물은 중합 반응기 내부로 공급된 가열 공기와 함께 이동하여 외부로 배출된다. Meanwhile, in the photoreaction process, water vapor and a small amount of monomer vapor are generated as by-products. In order to remove the generated by-products, a
그러나 일부 부산물은 중합 반응기(10) 내 예기치 못한 기류 형성 등의 이유로 완벽하게 배출되지 못하고, 중합 반응기(10) 내부 온도 대비 상대적으로 낮은 온도가 형성된 중합 반응기(10) 외벽, 자외선 투과 플레이트 등의 표면과 접촉하여 접촉 표면에 스케일을 형성한다. However, some by-products are not completely discharged for reasons such as unexpected airflow in the
그러나 자외선 투과 플레이트의 경우 증발되는 부산물로 인한 오염이 불가피하며, 자외선 투과 플레이트의 오염으로 인해 반응물로 적절한 양의 자외선이 도달하지 못하여 중합 반응 진행에 적합한 환경이 형성되지 못하는 경우가 발생하게 된다. 이에 주기적으로 자외선 투과 플레이트를 세척해주어야 하는데, 자외선 투과 플레이트를 세척하거나 교체하기 위해서는 자외선 램프 키트(20)를 중합 반응기(10)로부터 분리하는 과정을 거쳐야 하는 번거로움이 있었다. 또한, 자외선 램프 키트(20)를 중합 반응기(10)에서 분리시킨 경우 계속적으로 광 반응 공정을 진행할 수 없어 먼저 공정을 중단하고 자외선 투과 플레이트를 교체한 후 다시 공정을 진행하여야 하는 바, 공정을 중단함에 따른 비용 손실도 발생한다. However, in the case of the UV-transmissive plate, contamination by evaporating by-products is inevitable, and an appropriate amount of UV light does not reach the reactant due to contamination of the UV-transmissive plate, so that an environment suitable for the polymerization reaction cannot be formed. Accordingly, it is necessary to periodically wash the UV-transmitting plate. In order to wash or replace the UV-transmitting plate, there is a cumbersome process of separating the
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 고안된 것으로서, 자외선 투과 플레이트로 증발되는 부산물을 차단하는 공기를 분사하는 자외선 투과 플레이트 오염 방지용 공기 분사 모듈을 구비하는 광 중합 반응 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다. An object of the present invention is to provide a photopolymerization reaction system having an air injection module for preventing contamination of the UV transmission plate that sprays air that blocks the by-products evaporated to the UV transmission plate as devised to solve the above problems.
본 발명의 실시예에 따른 자외선 투과 플레이트 오염 방지용 공기 분사 모듈을 구비하는 광 중합 반응 시스템은 자외선 램프, 자외선 램프 하부에 배치되는 자외선 투과 플레이트, 및 자외선 램프를 제열하기 위한 공기가 공급 및 배출되는 환기부를 포함하고, 자외선 투과 플레이트 하부로 반응물이 공급되어 광 중합 반응이 일어나는 광 중합 반응 시스템에 있어서, 광 중합 반응에 의해 생성되는 부산물이 자외선 투과 플레이트를 오염시키는 것을 방지하기 위해 환기부를 통해 공급된 공기의 일부를 자외선 투과 플레이트와 반응물 사이에 분사하는 공기 분사 모듈을 포함할 수 있다.A photopolymerization reaction system having an air injection module for preventing contamination of an ultraviolet penetrating plate according to an embodiment of the present invention is a ventilation in which air is supplied and discharged for removing the ultraviolet lamp, the ultraviolet penetrating plate disposed under the ultraviolet lamp, and the ultraviolet lamp In the photopolymerization reaction system, comprising a part, wherein a reactant is supplied to the lower portion of the UV-transmissive plate to cause a photopolymerization reaction, the air supplied through the ventilation unit to prevent by-products generated by the photopolymerization reaction from contaminating the UV-transmissive plate It may include an air spraying module for spraying a portion of the UV-transmissive plate and the reactant.
본 실시예에 있어서, 광 중합 반응 시스템은 자외선 투과 플레이트를 수용하는 프레임을 더 포함하며, 공기 분사 모듈은 프레임의 일측 상면 및 하면을 관통하는 통기구, 및 통기구를 통해 토출된 공기가 프레임의 일측에서 타측을 향하는 방향으로 분사될 수 있도록, 통기구의 하부에 배치되어 토출된 공기의 분사 방향을 가이드 하는 가이드 유닛을 포함할 수 있다.In this embodiment, the photopolymerization reaction system further includes a frame for accommodating the UV-transmissive plate, and the air injection module includes a ventilation hole passing through the upper and lower surfaces of one side of the frame, and air discharged through the ventilation hole from one side of the frame. It may include a guide unit disposed under the vent to guide the spraying direction of the discharged air so as to be sprayed in the direction toward the other side.
본 실시예에 있어서, 통기구는 프레임의 길이 방향을 따라 형성될 수 있다. In this embodiment, the ventilation hole may be formed along the longitudinal direction of the frame.
본 실시예에 있어서, 가이드 유닛은 프레임의 하면으로부터 이격된 위치에서 프레임의 일측에서 타측을 향하는 방향으로 연장된 가이드부를 포함할 수 있다. In this embodiment, the guide unit may include a guide portion extending in a direction from one side of the frame toward the other at a position spaced apart from the lower surface of the frame.
본 실시예에 있어서, 가이드 유닛은 통기구를 통해 토출된 공기가 가이드부의 연장 방향 외의 방향으로 가이드부로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있도록, 프레임의 하면과 가이드부를 연결하는 이탈 방지부를 포함할 수 있다. In this embodiment, the guide unit may include a separation preventing part connecting the lower surface of the frame and the guide part so as to prevent the air discharged through the vent from being separated from the guide part in a direction other than the extension direction of the guide part.
본 발명의 실시예에 따른 광 중합 반응 시스템은 자외선 램프를 제열하기 위해 유입된 공기의 일부가 공기 분사 모듈에 의해 자외선 투과 플레이트와 반응물 사이의 공간으로 분사되어 에어 커튼의 역할을 수행함으로써 자외선 투과 플레이트 하면을 향하여 증발되는 광 중합 반응에 따른 부산물을 차단하고, 부산물과의 접촉에 의해 자외선 투과 플레이트가 오염되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.In the photopolymerization reaction system according to an embodiment of the present invention, a part of the air introduced to remove heat from the UV lamp is sprayed into the space between the UV transmission plate and the reactant by the air injection module to perform the role of an air curtain, so that the UV transmission plate There is an effect of blocking by-products according to the photopolymerization reaction that evaporate toward the lower surface and preventing the UV-transmissive plate from being contaminated by contact with the by-products.
또한, 자외선 램프를 제열하기 위해 자외선 램프 키트 내로 공급된 공기를 분사하는 바 에너지를 절감할 수 있고, 자외선 투과 플레이트의 오염을 방지하기 위한 공기를 분사하는 별도의 구성을 필요로 하지 않는다는 점에서 시스템을 간소화 할 수 있는 효과가 있다.In addition, energy can be saved by spraying the air supplied into the UV lamp kit to remove heat from the UV lamp, and a separate configuration for spraying air to prevent contamination of the UV transmission plate is not required. has the effect of simplifying
또한, 자외선 투과 플레이트가 수용되는 프레임에 통기구를 형성하고, 그 하부에 가이드 유닛을 배치함으로써 공기 분사 기능이 구현될 수 있는 바, 기존 광 중합 반응 시스템에 적용이 용이한 효과가 있다.In addition, the air injection function can be implemented by forming a vent in the frame in which the ultraviolet light transmitting plate is accommodated, and arranging the guide unit at the lower portion thereof, so that it can be easily applied to the existing photopolymerization reaction system.
도 1은 자외선 램프 키트가 결합된 중합 반응기를 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 광 중합 반응 시스템을 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 광 중합 반응 시스템의 각 구성을 분리하여 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 광 중합 반응 시스템을 나타낸 도 2의 A-A'을 취한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 광 중합 반응 시스템에 형성되는 기류를 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 광 중합 반응 시스템에 형성되는 기류를 나타낸 도면이다.1 is a view showing a polymerization reactor combined with an ultraviolet lamp kit.
2 is a view showing a photopolymerization reaction system according to an embodiment of the present invention.
3 is a view showing each component of a photopolymerization reaction system according to an embodiment of the present invention in isolation.
4 is a cross-sectional view taken along line A-A' of FIG. 2 showing a photopolymerization reaction system according to an embodiment of the present invention.
5 is a view showing an airflow formed in the photopolymerization reaction system according to an embodiment of the present invention.
6 is a view showing an air flow formed in a photopolymerization reaction system according to an embodiment of the present invention.
본 발명은 광 중합 반응 시스템에 관한 것으로, 이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 보다 상세하게 설명하기로 한다. The present invention relates to a photopolymerization reaction system. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.
본 명세서에서, '자외선 램프 키트'는 후술할 하우징, 자외선 투과 플레이트, 상기 자외선 투과 플레이트가 수용되는 프레임, 그리고 상기 하우징과 상기 자외선 투과 플레이트 또는 자외선 투과 플레이트가 수용되는 프레임에 의해 형성된 공간 내부에 포함된 구성들을 포함하여 이루어진 구조체를 의미하는 것으로 해석될 수 있다. In the present specification, the 'ultraviolet lamp kit' includes a housing to be described later, a UV transmission plate, a frame in which the UV transmission plate is accommodated, and a space formed by the housing and a frame in which the UV transmission plate or the UV transmission plate is accommodated. It can be construed as meaning a structure made up of components.
본 명세서에서, '광 중합 반응 시스템'은 중합 반응기와, 상기 중합 반응기 전단 상부에 설치된 자외선 램프 키트, 그리고 상기 중합 반응기로 공급되는 반응물(또는 반응물이 공급된 기판) 등 광 중합 반응을 위한 모든 구성을 포함하는 것으로 해석될 수 있다. In the present specification, the 'photopolymerization reaction system' refers to all components for photopolymerization such as a polymerization reactor, an ultraviolet lamp kit installed on the front end of the polymerization reactor, and a reactant (or a substrate to which the reactant is supplied) supplied to the polymerization reactor. may be interpreted as including
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 광 중합 반응 시스템을 나타낸 도면이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 광 중합 반응 시스템의 각 구성을 분리하여 나타낸 도면이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 광 중합 반응 시스템을 나타낸 도 2의 A-A'을 취한 단면도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 광 중합 반응 시스템에 형성되는 기류를 나타낸 도면이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 광 중합 반응 시스템에 형성되는 기류를 나타낸 도면이다. 도 3 내지 도 6에는 기판이 생략된 광 중합 반응 시스템이 도시되어 있다. 2 is a view showing a photopolymerization reaction system according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a view showing each component of the photopolymerization reaction system according to an embodiment of the present invention separately, and FIG. 4 is a view showing the present invention 2 is a cross-sectional view taken along line A-A' of the photopolymerization system according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a view showing the airflow formed in the photopolymerization system according to an embodiment of the present invention, and is a view showing an airflow formed in the photopolymerization reaction system according to an embodiment of the present invention. 3 to 6 show a photopolymerization reaction system in which a substrate is omitted.
본 발명의 일 실시예에 따른 광 중합 반응 시스템(1000)은 중합 반응기의 전단 상부에 설치되며, 자외선 램프(130), 자외선 램프 하부(130)에 배치되는 자외선 투과 플레이트(P), 자외선 램프(130)를 제열하기 위한 공기가 공급 및 배출되는 환기부(110), 환기부(110)를 통해 공급된 공기를 자외선 투과 플레이트 (P)와 반응물 사이에 분사하는 공기 분사 모듈(200)을 포함할 수 있다. The
먼저, 도 2를 참조하면, 자외선 램프(130)는 자외선 램프(130)로부터 조사되는 빛의 방향을 자외선 투과 플레이트(P)가 배치된 하부로 반사시키기 위해 자외선 램프(130)의 외측에 구비된 반사갓(140)과 함께 하부가 개구된 하우징(120) 내부에 구비될 수 있다. 반사갓(140)은 빛을 반사시킬 수 있는 소재, 예를 들어 알루미늄 소재 등으로 구비될 수 있다.First, referring to FIG. 2 , the
자외선 램프(130) 하부에는 오염으로부터 자외선 램프(130)는 보호하면서 자외선 램프(130)로부터 조사되는 빛을 투과시킬 수 있는 자외선 투과 플레이트 (P)가 배치될 수 있다. 자외선 투과 플레이트(P)는 자외선 램프(130)로부터 조사되는 자외선을 높은 투과율로 투과시킬 수 있는 것이면 특별히 한정하지 않으며, 예를 들어 석영판이 사용될 수 있다. Under the
또한, 광 중합 반응 시스템(1000)은 자외선 투과 플레이트(P)를 수용하는 프레임(F)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 자외선 투과 플레이트(P)는 도 3에 도시된 바와 같이 고정 브라켓(B)에 의해 별도의 프레임(F)에 고정 배치될 수 있으며, 자외선 투과 플레이트(P)를 수용할 수 있는 것이라면 그 프레임(F)의 형상은 제한하지 않는다. 하우징(120)은 하부가 개구된 형상으로 하우징(120)의 하부에는 전술한 자외선 투과 플레이트 수용 프레임(F)이 결합될 수 있다. 하우징(120)과 자외선 투과 플레이트 수용 프레임(F)은 볼트, 접착제 등에 의해 결합될 수 있으며, 자외선 투과 플레이트 수용 프레임(F)과 하우징(120)이 일체로 형성될 수도 있다. In addition, the
한편, 본 발명의 실시예에 있어서 자외선 램프(130)는 수은, 메탈 할라이드계 물질 등의 방전을 이용하여 자외선을 방출하는 관 등을 사용할 수 있으며, 광 중합 반응 진행 중 자외선 램프(130)의 표면 온도는 약 400℃ 내지 950℃까지 상승할 수 있다. 이에 하우징(120)은 고온의 자외선 램프(130)를 제열하기 위한 구성으로, 외부로부터 공기가 공급되는 급기구(111)와 제열 후 공기가 배출되는 배기구(112)를 구비할 수 있다. On the other hand, in the embodiment of the present invention, the
또한, 광 중합 반응 시스템(1000)은 전술한 자외선 투과 플레이트(P) 하부에 반응물(미도시)이 공급되어 광 중합 반응이 일어날 수 있다. 예를 들어, 반응물은 기판(300) 상에 공급되어, 자외선 투과 플레이트(P) 또는 자외선 투과 플레이트(P) 가 수용된 프레임(F)의 하부로 제공 및 배치될 수 있다. 한편, 도면 2 내지 6에는 광 중합 반응 시스템(1000)의 일 구성인 중합 반응기가 별도로 도시되어 있지 않으나, 전술한 바와 같이 자외선 램프 키트(100)는 중합 반응기의 상단에 설치되고, 반응물은 중합 반응기의 하부로 제공되므로, 자외선 램프 키트(100)와 반응물 사이의 공간이 중합 반응기 영역에 해당하는 것으로 볼 수 있다.In addition, in the
한편, 광 중합 반응이 진행되는 과정에서 수증기, 단량체 증기류 등과 같은 부산물이 생성되는데, 이러한 부산물은 자외선 투과 플레이트(P)를 향하여 증발하며, 자외선 투과 플레이트(P) 표면에 스케일을 형성하여 자외선 투과 플레이트(P) 표면을 오염시킬 수 있다. On the other hand, in the process of the photopolymerization reaction, by-products such as water vapor, monomer vapors, etc. are generated. These by-products evaporate toward the UV-transmitting plate (P) and form scales on the surface of the UV-transmitting plate (P) to transmit UV rays. It may contaminate the surface of the plate (P).
종래의 광 중합 반응 시스템은 도 1에 도시된 바와 같이 중합 반응기(10) 내 형성된 공급 노즐(11)을 통해 중합 반응기(10) 내부로 공기를 공급하고, 공급된 공기와 함께 부산물을 배출 노즐(12)을 통해 외부로 배출시킴으로써 부산물에 의한 자외선 투과 플레이트의 오염에 대비할 수 있었다. 그러나 중합 반응기(1) 내부 불규칙한 기류의 발생으로 증발하는 부산물을 효율적으로 차단하는데 한계가 있었다. The conventional photopolymerization reaction system supplies air into the
이에 본 발명의 실시예에 따른 광 중합 반응 시스템(1000)은 부산물을 제거하기 위해 중합 반응기(1) 내부로 직접 공급되는 공기 외에 제거되지 못한 잔여 부산물에 의해 자외선 투과 플레이트(P)가 오염되는 것을 방지하기 위해 자외선 램프(130)의 제열에 사용되는 공기를 분사하는 공기 분사 모듈(200)을 포함할 수 있다. Accordingly, the
공기 분사 모듈(200)은 통기구(210) 및 가이드 유닛(220)을 포함하여 구성되며, 급기구(111)를 통해 공급된 공기를 자외선 투과 플레이트(P)와 반응물 사이에 분사할 수 있다. The air spray module 200 is configured to include a
통기구(210)는 자외선 투과 플레이트(P)가 수용되는 프레임(F)의 일측(a) 상면 및 하면을 관통하도록 형성될 수 있으며, 급기구(111)를 통해 하우징(120) 내로 유입된 공기 중의 일부를 프레임(F) 하부로 토출 시킬 수 있다. 또한, 통기구(210)는 프레임(F) 상에 복수로 형성될 수 있으며, 통기구(210)의 폭을 변경함으로써 자외선 투과 플레이트 (P)와 반응물 사이에 분사되는 공기의 양 및 속도 등을 조절할 수 있다. The
가이드 유닛(220)은 통기구(210)의 하부에 배치되어 토출된 공기의 분사 방향을 가이드 할 수 있다. 구체적으로, 가이드 유닛(220)은 통기구(210)가 형성된 프레임(F)의 일측(a) 하부에 배치될 수 있으며, 통기구(210)를 통해 토출된 공기가 프레임(F)의 일측(a)에서 타측(b)을 향하는 방향으로 분사될 수 있도록 토출된 공기의 분사 방향을 가이드 할 수 있다. The
여기에서, 통기구(210)가 형성된 프레임(F)의 일측(a)은 프레임(F)의 둘레를 이루는 어느 한 변에 인접한 부분을 의미할 수 있으며, 타측(b)은 프레임(F) 상에서 일측(a)과 서로 마주하는 부분을 의미할 수 있다. Here, one side (a) of the frame (F) on which the
통기구(210)는 도 3에 도시된 바와 같이 프레임(F)의 길이 방향을 따라 복수 개가 이격되게 형성될 수 있다. 이 경우, 타측(b)은 프레임(F) 상의 반대측 길이 방향을 의미할 수 있으며, 가이드 유닛(220)은 통기구(210)를 통해 토출된 공기를 프레임(F)의 폭 방향으로 분사할 수 있다. 통기구(210)를 프레임(F)의 길이 방향을 따라 형성함으로써 통기구(210)를 통해 토출되어 자외선 투과 플레이트(P)와 반응물 사이로 분사되는 공기는 중합 반응기 내부에 형성된 기류와 순방향의 흐름을 형성할 수 있다. 반대로, 통기구(210)가 프레임(F)의 폭 방향을 따라 형성되는 경우, 가이드 유닛(220)은 통기구(210)를 통해 토출된 공기를 프레임(F)의 길이 방향으로 분사하는 것도 가능하다. 즉, 가이드 유닛(220)은 상부의 통기구(210)로부터 토출되어 하부를 향하는 기류의 방향을 프레임(F)의 폭 또는 길이 방향으로 변경하여 분사할 수 있다. A plurality of
가이드 유닛(220)은 가이드부(221)와 이탈 방지부(222)를 포함할 수 있다. The
가이드부(221)는 프레임(F)의 하면으로부터 이격된 위치에서 프레임(F)의 일측(a)에서 타측(b)을 향하는 방향으로 연장 형성될 수 있다. 구체적으로, 가이드부(221)는 프레임(F)의 일측(a)에 형성된 통기구(210)의 하부에 배치되며, 통기구(210)가 형성된 프레임(F)과 평행하도록 배치되어, 공기를 프레임(F) 및 프레임(F)에 수용된 자외선 투과 플레이트(P)와 평행한 방향으로 분사시킬 수 있다. 또한, 가이드부(221)는 프레임(F)에 가까워지거나 프레임(F)과 멀어지는 방향으로 경사지도록 연장 형성될 수도 있다. 가이드부(221)가 연장 형성된 방향은 공기가 분사되는 방향으로, 통기구(210)의 형성 위치에 따라 프레임(F)의 폭 또는 길이 방향일 수 있다.The
가이드 유닛(220)은 통기구(210)를 통해 토출된 공기가 가이드부(221)의 연장 방향 외의 방향으로 가이드부(221)로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있도록, 프레임(F)의 하면과 가이드부(221)를 연결하는 이탈 방지부(222)를 포함할 수 있다. 이탈 방지부(222)는 프레임(F)과 가이드 유닛(220) 사이에 틈을 형성하지 않아 통기구(210)를 통해 토출된 공기가 원하지 않는 방향으로 분사되는 것을 방지할 수 있으며, 토출된 공기 모두 자외선 투과 플레이트(P)와 반응물 사이에 분사하여 자외선 투과 플레이트(P) 하면을 향하여 증발하는 부산물을 차단하는데 사용할 수 있다. The
한편, 자외선 투과 플레이트(P)와 반응물 사이에 분사된 공기는 본 발명의 실시예에 따른 광 중합 반응 시스템(1000)이 설치된 중합 반응기 내로 유입되어 증기류 등과 함께 배출 노즐을 통해 외부로 배출될 수 있다. On the other hand, the air injected between the ultraviolet transmitting plate (P) and the reactant is introduced into the polymerization reactor in which the
전술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 광 중합 반응 시스템 (100)은 자외선 램프(130)를 제열하기 위해 유입된 공기의 일부가 공기 분사 모듈(200)에 의해 자외선 투과 플레이트(P)와 반응물 사이의 공간으로 분사되어 에어 커튼의 역할을 수행함으로써 자외선 투과 플레이트(P) 하면을 향하여 증발되는 광 중합 반응에 따른 부산물을 차단하고, 부산물과의 접촉에 의해 자외선 투과 플레이트(P)가 오염되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다. As described above, in the
또한, 자외선 램프를 제열하기 위해 자외선 램프 키트 내로 공급된 공기를 분사하는 바 에너지를 절감할 수 있고, 자외선 투과 플레이트의 오염을 방지하기 위한 공기를 분사하는 별도의 구성, 예를 들어 에어 펌프, 노즐 등을 필요로 하지 않는다는 점에서 시스템을 간소화 할 수 있는 효과가 있다.In addition, energy can be saved by spraying the air supplied into the UV lamp kit to remove heat from the UV lamp, and a separate configuration for jetting air to prevent contamination of the UV transmission plate, for example, an air pump, a nozzle There is an effect that the system can be simplified in that it does not require such.
또한, 자외선 투과 플레이트가 수용되는 프레임에 통기구를 형성하고, 그 하부에 가이드 유닛을 배치함으로써 공기 분사 기능이 구현될 수 있는 바, 기존 광 중합 반응 시스템에 적용이 용이한 효과가 있다.In addition, the air injection function can be implemented by forming a vent in the frame in which the ultraviolet light transmitting plate is accommodated, and arranging the guide unit at the lower portion thereof, so that it can be easily applied to the existing photopolymerization reaction system.
비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시 예와 관련하여 설명되었지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위에는 본 발명의 요지에 속하는 한 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the above-mentioned preferred embodiments, various modifications and variations are possible without departing from the spirit and scope of the invention. Accordingly, it is intended that the appended claims cover such modifications and variations as long as they fall within the scope of the present invention.
1000: 광 중합 반응 시스템
100: 자외선 램프 키트 110: 환기부
120: 하우징 130: 자외선 램프
140: 반사갓 200: 공기 분사 모듈
210: 통기구 220: 가이드 유닛
221: 가이드부 222: 이탈 방지부
300: 기판 F: 프레임
P: 자외선 투과 플레이트 B: 고정 브라켓1000: light polymerization reaction system
100: ultraviolet lamp kit 110: ventilation
120: housing 130: ultraviolet lamp
140: reflector 200: air blowing module
210: ventilation hole 220: guide unit
221: guide part 222: escape prevention part
300: substrate F: frame
P: UV transmission plate B: Fixing bracket
Claims (5)
상기 광 중합 반응에 의해 생성되는 부산물이 상기 자외선 투과 플레이트를 오염시키는 것을 방지하기 위해 상기 환기부를 통해 공급된 공기의 일부를 상기 자외선 투과 플레이트와 상기 반응물 사이에 분사하는 공기 분사 모듈;을 포함하되,
상기 자외선 투과 플레이트를 수용하는 프레임;을 포함하고,
상기 공기 분사 모듈은,
상기 프레임의 일측 상면 및 하면을 관통하며, 상기 프레임의 길이 방향을 따라 복수 개가 이격되게 형성되는 통기구; 및
상기 통기구를 통해 토출된 공기가 상기 프레임의 일측에서 타측을 향하는 방향으로 분사될 수 있도록 상기 통기구의 하부에 배치되어, 상기 토출된 공기의 분사 방향을 가이드하는 가이드 유닛;을 포함하며,
상기 가이드 유닛은 상기 프레임의 하면으로부터 이격된 위치에서 상기 통기구가 형성된 프레임의 일측에서 타측을 향하는 방향으로 연장된 가이드부;를 포함하는, 광 중합 반응 시스템.
UV lamp; an ultraviolet transmitting plate disposed under the ultraviolet lamp; and a ventilation unit through which air for removing heat from the ultraviolet lamp is supplied and discharged, wherein a reactant is supplied to a lower portion of the ultraviolet transmitting plate to cause a photopolymerization reaction,
An air injection module that injects a portion of the air supplied through the ventilation unit between the UV transmission plate and the reactant in order to prevent byproducts generated by the photopolymerization reaction from contaminating the UV transmission plate;
Including; a frame for accommodating the UV-transmissive plate;
The air injection module,
Ventilation holes passing through the upper and lower surfaces of one side of the frame and formed to be spaced apart from each other in the longitudinal direction of the frame; and
and a guide unit disposed under the vent so that the air discharged through the vent can be sprayed in a direction from one side of the frame to the other side to guide the injection direction of the discharged air; and
The guide unit includes a guide portion extending in a direction from one side of the frame in which the ventilation hole is formed to the other side at a position spaced apart from the lower surface of the frame.
상기 가이드 유닛은,
상기 통기구를 통해 토출된 공기가 상기 가이드부의 연장 방향 외의 방향으로 상기 가이드부로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있도록, 상기 프레임의 하면과 상기 가이드부를 연결하는 이탈 방지부를 포함하는, 광 중합 반응 시스템. According to claim 1,
The guide unit is
and a separation preventing unit connecting the lower surface of the frame and the guide unit to prevent the air discharged through the vent from being separated from the guide unit in a direction other than the extension direction of the guide unit.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020180110124A KR102321274B1 (en) | 2018-09-14 | 2018-09-14 | Photopolymerization system having air diffusing module for preventing ultra violet rays transmission plate |
PCT/KR2019/011836 WO2020055168A1 (en) | 2018-09-14 | 2019-09-11 | Photopolymerization reaction system including air injection module for preventing contamination of ultraviolet-transmitting plate |
CN201980019943.XA CN111868100B (en) | 2018-09-14 | 2019-09-11 | Photopolymerization reaction system including air injection module for preventing contamination of UV light-transmitting plate |
US17/251,056 US20210246233A1 (en) | 2018-09-14 | 2019-09-11 | Photopolymerization Reaction System Including Air Injection Module for Preventing Contamination of Ultraviolet-Transmitting Plate |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020180110124A KR102321274B1 (en) | 2018-09-14 | 2018-09-14 | Photopolymerization system having air diffusing module for preventing ultra violet rays transmission plate |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20200031289A KR20200031289A (en) | 2020-03-24 |
KR102321274B1 true KR102321274B1 (en) | 2021-11-03 |
Family
ID=69778043
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020180110124A KR102321274B1 (en) | 2018-09-14 | 2018-09-14 | Photopolymerization system having air diffusing module for preventing ultra violet rays transmission plate |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20210246233A1 (en) |
KR (1) | KR102321274B1 (en) |
CN (1) | CN111868100B (en) |
WO (1) | WO2020055168A1 (en) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005347409A (en) * | 2004-06-01 | 2005-12-15 | Matsushita Electric Works Ltd | Light projector |
Family Cites Families (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4446236A (en) * | 1982-08-11 | 1984-05-01 | Clyde Robert A | Apparatus for a photochemical reaction |
US6433343B1 (en) * | 1992-03-02 | 2002-08-13 | Cerus Corporation | Device and method for photoactivation |
JP3194441B2 (en) * | 1992-04-28 | 2001-07-30 | キヤノン株式会社 | Resist curing method and resist processing apparatus |
AU772088B2 (en) * | 1993-11-10 | 2004-04-08 | Cerus Corporation | Device and method for photoactivation |
ATE242960T1 (en) * | 1993-11-10 | 2003-07-15 | Cerus Corp | DEVICE AND METHOD FOR PHOTOACTIVATION |
CA2268469C (en) * | 1998-04-10 | 2004-03-23 | University Of Central Florida | Apparatus and method for photocatalytic and thermocatalytic pollution control |
US6902622B2 (en) * | 2001-04-12 | 2005-06-07 | Mattson Technology, Inc. | Systems and methods for epitaxially depositing films on a semiconductor substrate |
KR100672242B1 (en) * | 2005-10-25 | 2007-02-02 | (주) 크렌즈 | Shoes sterilization capture device |
KR200406438Y1 (en) * | 2005-11-09 | 2006-01-20 | (주) 크렌즈 | Shoes sterilization capture device |
JP4878295B2 (en) * | 2007-01-26 | 2012-02-15 | 浜松ホトニクス株式会社 | Light source device |
KR20090109066A (en) * | 2008-04-14 | 2009-10-19 | 닛본 페인트 가부시끼가이샤 | Display device |
ITSA20080012A1 (en) * | 2008-05-29 | 2009-11-30 | Univ Degli Studi Salerno | CATALYTIC PHOTOREACTOR WITH HIGH LIGHT EFFICIENCY FOR INTENSIFIED PHOTOSSIDATION PROCESSES |
US20100113692A1 (en) * | 2008-11-04 | 2010-05-06 | Mcguire Jr James E | Apparatus for Continuous Production of Partially Polymerized Compositions |
US8967077B2 (en) * | 2009-09-29 | 2015-03-03 | Covalon Technologies, Inc. | System and method for coating medical devices |
KR101796593B1 (en) * | 2010-12-30 | 2017-11-10 | 주식회사 탑 엔지니어링 | Array test apparatus |
US20170161802A9 (en) * | 2013-03-18 | 2017-06-08 | Intellectual Property Management Pty Ltd | A wip management system |
CN103145885B (en) * | 2013-03-19 | 2014-12-10 | 中国海洋石油总公司 | Experimental instrument for photo-initiated solution polymerization |
CN103145884B (en) * | 2013-03-19 | 2014-09-24 | 中国海洋石油总公司 | Experimental instrument for photo-initiated solution polymerization |
JP2015074200A (en) * | 2013-10-10 | 2015-04-20 | 三菱レイヨン株式会社 | Light-transmissive design member and article |
KR20150050069A (en) * | 2013-10-31 | 2015-05-08 | 한화케미칼 주식회사 | Apparatus for preparing super absorbent polymer and method for preparing super absorbent polymer using the same |
CN104711163A (en) * | 2013-12-13 | 2015-06-17 | 中国科学院大连化学物理研究所 | Optical path variable plate-type microalgae culture reactor |
JP6372826B2 (en) * | 2014-08-25 | 2018-08-15 | Apsジャパン株式会社 | AIR CLEANING DEVICE, AIR CLEANING METHOD USING THE AIR CLEANING DEVICE, AND AIR CLEANING SYSTEM |
KR20160030711A (en) * | 2014-09-11 | 2016-03-21 | 주식회사 엘지화학 | Polymerization reactor for super adsorbent polymer and preparation method for super absorbent polymer |
CN105061641A (en) * | 2015-08-10 | 2015-11-18 | 复旦大学 | Intelligent-controll ultraviolet LED photochemical reaction system |
EP3344381B1 (en) * | 2015-08-31 | 2021-03-24 | Auckland UniServices Limited | Method for low temperature microencapsulation of phase change materials |
CN105111334B (en) * | 2015-09-01 | 2017-03-29 | 新疆大学 | Uv photopolymerization device |
FR3042728B1 (en) * | 2015-10-22 | 2017-12-08 | Les Laboratoires Osteal Medical | SEALED POLYMERIZATION ENCLOSURE |
CN107022313A (en) * | 2016-01-29 | 2017-08-08 | 日东电工株式会社 | Double-sided adhesive sheet and application thereof |
WO2018165051A1 (en) * | 2017-03-06 | 2018-09-13 | Butzloff Peter Robert | Apparatus, methods, and medicaments for treatment of insect pollinators |
KR20180111309A (en) * | 2017-03-31 | 2018-10-11 | 엘지전자 주식회사 | Home appliance, and Air conditioner |
-
2018
- 2018-09-14 KR KR1020180110124A patent/KR102321274B1/en active IP Right Grant
-
2019
- 2019-09-11 CN CN201980019943.XA patent/CN111868100B/en active Active
- 2019-09-11 WO PCT/KR2019/011836 patent/WO2020055168A1/en active Application Filing
- 2019-09-11 US US17/251,056 patent/US20210246233A1/en active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005347409A (en) * | 2004-06-01 | 2005-12-15 | Matsushita Electric Works Ltd | Light projector |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN111868100B (en) | 2022-09-16 |
CN111868100A (en) | 2020-10-30 |
KR20200031289A (en) | 2020-03-24 |
WO2020055168A1 (en) | 2020-03-19 |
US20210246233A1 (en) | 2021-08-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102171526B (en) | Ultraviolet curing apparatus for continuous material | |
KR101030421B1 (en) | Light irradiation device | |
US5430303A (en) | Exposure apparatus | |
US20080230721A1 (en) | Uv light irradiating apparatus with liquid filter | |
US4864145A (en) | Apparatus and method for curing photosensitive coatings | |
US7755070B2 (en) | Arrangement for the suppression of unwanted spectral components in a plasma-based EUV radiation source | |
KR100730675B1 (en) | Method and apparatus for recycling gases used in a lithography tool | |
US6759664B2 (en) | Ultraviolet curing system and bulb | |
KR20070122399A (en) | Increased tool utilization/reduction in mwbc for uv curing chamber | |
JP2010539700A5 (en) | ||
KR102321274B1 (en) | Photopolymerization system having air diffusing module for preventing ultra violet rays transmission plate | |
KR101553735B1 (en) | Light irradiation apparatus | |
TW201815692A (en) | Water treatment apparatus | |
KR102427442B1 (en) | Ultra violet rays transmission plate accomodating frame and photopolymeri-zation system including the same | |
KR20180032778A (en) | Water tap | |
JP4126892B2 (en) | Light irradiation device | |
JP6676749B2 (en) | Apparatus for applying liquid medium irradiated with UV radiation to a substrate | |
TWI557248B (en) | Evaporating apparatus having light emitting member with impurity removing function | |
JPS61158451A (en) | Ultraviolet-ray irradiating device | |
TWI706219B (en) | Apparatus for the application of a liquid medium exposed to uv-radiation on substrate | |
JP2000124121A (en) | Optical device, aligner, lens-barrel, connecting device, case and lens-barrel end shield | |
KR102330320B1 (en) | Apparatus for forming optical pattern | |
JP4645781B2 (en) | Substrate processing method and substrate processing apparatus | |
JP2005081277A (en) | Ultraviolet ray irradiation apparatus | |
TW201043274A (en) | Light irradiation device with air purification device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |