KR102277310B1 - Photoresist coating device - Google Patents

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KR102277310B1
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axis
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신용욱
장재혁
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주식회사 톱텍
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Abstract

The present invention relates to a photoresist coating device that prevents loss of a PR coating solution by applying an inkjet head and enables PR coating of the shape and pattern of various products to be precisely performed at a designated location and comprises: a stage for placing a product in a movably installed state on an X-axis robot disposed on the upper part of a base and moving the seated product in the X-axis direction; a USC & plasma head installed on a path on which the stage moves and cleaning the surface of the product moving while seated on the stage; and at least one inkjet head disposed to cross the upper part of the X-axis robot, installed movably in the Y-axis, and coating the surface of the product by spraying a PR coating solution onto the surface of the moving product.

Description

포토레지스트 코팅장치{Photoresist coating device}Photoresist coating device

본 발명은 포토레지스트 코팅장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 잉크젯헤드를 적용하여 PR코팅액의 손실을 방지하고, 다양한 제품의 형상 및 패턴의 PR코팅이 지정된 위치에 정밀하게 이루어지도록 하는 포토레지스트 코팅장치에 관한 것이다.The present invention relates to a photoresist coating device, and more particularly, a photoresist coating device that prevents the loss of PR coating solution by applying an inkjet head, and allows the PR coating of various product shapes and patterns to be precisely performed at a designated location. is about

일반적으로, 반도체, 디스플레이 및 PCB(이하 '제품'이라 함)를 제조하는 첫번째 과정에서 노광공정이 이루어진다. 노광 공정은 제품 표면에 PR(Photo resist)이 코팅된 표면에 빛을 조사하여 반도체 회로의 라인을 그리는 작업을 말한다.In general, an exposure process is performed in the first process of manufacturing semiconductors, displays, and PCBs (hereinafter referred to as 'products'). The exposure process refers to the operation of drawing a line of a semiconductor circuit by irradiating light on the surface of the product coated with photo resist (PR).

노광공정을 위해 최초 제품 표면에 PR을 코팅하는 PR코팅공정이 이루어지게 된다. 이후, PR코팅이 완료된 제품의 상부로 회로가 형성된 마스크를 배치한 상태로 빛을 조사하면, 빛이 닿는 부위의 PR코팅은 빛과 반응하여 화학적 결합이 끊어져 사라지거나 또는 남아있게 됨으로써 제품 상에 PR코팅 형상대로 회로 패턴이 그려지게 된다.For the exposure process, the PR coating process of coating PR on the surface of the first product is made. After that, when light is irradiated with a mask having a circuit formed on the top of the PR-coated product, the PR coating on the part where the light hits reacts with the light and the chemical bond is broken and disappears or remains on the product. A circuit pattern is drawn according to the coating shape.

한편 PR코팅공정은, 반도체 웨이퍼의 경우 회전을 통해 웨이퍼 표면을 코팅하는 스핀코터방식과, 디스플레이의 경우 슬롯다이노즐을 통해 디스플레이 표면을 코팅하는 슬릿코터방식으로 나누어진다.On the other hand, the PR coating process is divided into a spin coater method that coats the wafer surface through rotation in the case of a semiconductor wafer, and a slit coater method that coats the display surface through a slot die nozzle in the case of a display.

그러나, 종래의 스핀코터방식은, 웨이퍼를 회전시켜 웨이퍼 상부의 PR코팅액을 날림으로써 웨이퍼 표면에 PR코팅층의 두께를 맞추기 때문에 PR코팅액의 손실(분사된 PR코팅액의 80%이상)이 클 수밖에 없다.However, in the conventional spin coater method, the loss of the PR coating solution (80% or more of the PR coating solution sprayed) is large because the thickness of the PR coating layer is adjusted to the wafer surface by rotating the wafer and blowing the PR coating solution on the wafer.

더욱이, 웨이퍼의 스핀 완료 이후 표면장력에 의해 웨이퍼의 외측 둘레 단부에 형성되는 돌출부(cut-off)를 가공하기 위한 EBR(Edge Bead Remover)공정이 반드시 필요하다.Furthermore, an Edge Bead Remover (EBR) process for processing a cut-off formed at the outer peripheral end of the wafer by surface tension after the spin of the wafer is completed is absolutely necessary.

또한, 슬릿코터방식은 길다란 슬릿다이노즐을 이용하여 디스플레이 표면에 PR코팅액을 도포하게 되지만, PR코팅액에 가해지는 슬릿다이 양 끝단의 압력 불균형으로 인해 디스플레이의 엣지부위를 따라 코팅액 돌출부(cut-off)가 형성될 수 밖에 없다. In addition, the slit coater method uses a long slit die nozzle to apply the PR coating solution to the surface of the display, but due to the pressure imbalance at both ends of the slit die applied to the PR coating solution, the coating solution protrudes along the edge of the display (cut-off) can only be formed.

그러나, 스핀코터방식에 비해 PR코팅액의 손실이 적지만, 역시 EBR(Edge Bead Remover)공정을 통해 코팅액 돌기부를 제거해야 하기 때문에 코팅액의 손실이 불가피하다.However, although the loss of the PR coating solution is small compared to the spin coater method, the loss of the coating solution is unavoidable because the protrusions of the coating solution must be removed through the EBR (Edge Bead Remover) process.

더하여, 슬릿코터방식은 디스플레이가 직사각형 구조가 아니면 코팅자체를 할 수 없는데, 이유는 슬릿코터를 통해 코팅액이 일직선상으로 동시에 분출되기 때문에 코너 또는 라운드의 코팅이 이루어질 수 없기 때문이다.In addition, in the slit coater method, the coating itself cannot be performed unless the display has a rectangular structure, since the coating liquid is simultaneously ejected in a straight line through the slit coater, so that corner or round coating cannot be made.

한편, PR코팅공정을 위해서는 제품의 세정, PR코팅 및 건조가 개별장비를 통해 구현됨에 따라 공정이 길어지며, 시설비가 증가되는 문제가 있다.On the other hand, for the PR coating process, there is a problem in that the washing, PR coating, and drying of the product are implemented through individual equipment, so the process is long and the facility cost is increased.

국내공개특허 제10-2005-0006503호Domestic Patent Publication No. 10-2005-0006503 국내등록특허 제10-1058845호Domestic Registered Patent No. 10-1058845

본 발명은 상기와 같은 문제점 및 기술적 편견을 해소하기 위해 안출된 것으로, 제품의 세정 및 PR코팅이 단일의 장치에서 이루어지도록 하고, 웨이퍼, 디스플레이 및 PCB 등과 같이 형상에 구애받지 않고 PR코팅이 이루어지며, PR코팅액의 손실을 방지하는 포토레지스트 코팅장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.The present invention has been devised to solve the above problems and technical biases, so that product cleaning and PR coating are performed in a single device, and PR coating is made regardless of shapes such as wafers, displays and PCBs. , It is an object of the present invention to provide a photoresist coating device that prevents the loss of the PR coating solution.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 포토레지스트 코팅장치는, 베이스 상부에 배치된 X축로봇에 이동 가능하게 설치된 상태로 제품이 안착되며, 안착된 제품을 X축방향으로 이동시키는 스테이지; 상기 스테이지가 이동하는 경로상에 설치되며, 스테이지에 안착된 상태로 이동하는 상기 제품 표면을 세정하는 USC & 플라즈마 헤드; 및 상기 X축로봇 상부로 교차되게 배치되어 Y축으로 이동 가능하게 설치되며, 이동하는 상기 제품 표면으로 PR코팅액을 분사하여 제품 표면을 코팅하는 적어도 하나의 잉크젯헤드;을 포함하여 구성된다.Photoresist coating apparatus of the present invention for achieving the above object, the product is seated in a movably installed state on the X-axis robot disposed on the base, a stage for moving the seated product in the X-axis direction; a USC & plasma head installed on a path on which the stage moves and cleaning the surface of the product moving while seated on the stage; and at least one inkjet head disposed to cross the upper part of the X-axis robot, installed to be movable in the Y-axis, and spraying a PR coating solution onto the moving product surface to coat the product surface.

이때, 상기 스테이지는, 판면을 관통하는 복수개의 관통홀이 형성되며, 제품이 안착되는 안착플레이트; 상기 안착플레이트와 이격되게 하부로 배치되며, 상기 안착플레이트를 지지하는 고정플레이트; 상기 안착플레이트와 고정플레이트 사이로 배치되며, 승강을 통해 상기 안착플레이트에 안착된 상기 제품을 안착플레이트로부터 이격시키는 승강플레이트; 및 상기 X축로봇에 이동 가능하게 설치되며, 상기 고정플레이트를 X축로봇 상에서 X-Y-θ 방향으로 이동시키는 UVW구동부;로 구성된 것이 바람직하다.At this time, the stage, a plurality of through-holes penetrating the plate surface is formed, the product is seated on the mounting plate; a fixing plate disposed at a lower portion to be spaced apart from the seating plate and supporting the seating plate; an elevating plate disposed between the mounting plate and the fixing plate, and spaced apart from the mounting plate for the product seated on the mounting plate through elevating; and a UVW driving unit that is movably installed on the X-axis robot and moves the fixed plate in the X-Y-θ direction on the X-axis robot.

또한, 상기 UVW구동부에는 상기 승강플레이트를 승강시키는 승강실린더가 구비되고, 상기 승강플레이트 상면에는, 상승시 상기 안착플레이트의 관통홀을 관통하여 상기 제품을 안착플레이트로부터 이격시키는 복수개의 승강봉이 구비되며, 상기 승강플레이트의 하면에는 복수개의 가이드부시가 구비되며, 상기 가이드부시는 승강플레이트의 승강을 가이드하도록 상기 고정플레이트의 가이드홀에 관통되게 설치된 것이 바람직하다.In addition, the UVW driving unit is provided with an elevating cylinder for elevating the elevating plate, and a plurality of elevating rods are provided on the upper surface of the elevating plate to pass through the through hole of the mounting plate to separate the product from the mounting plate, A plurality of guide bushes are provided on the lower surface of the elevating plate, and the guide bushes are preferably installed to penetrate through the guide holes of the fixed plate to guide the elevating and lowering of the elevating plate.

그리고, 상기 잉크젯헤드는 X축로봇과 교차하게 Y축방향으로 이동하는 이동수단에 배치되되, 상기 이동수단은, X축로봇과 교차하게 배치된 Y축로봇; 상기 Y축로봇을 상기 X축로봇의 상부로 이격되게 설치하는 Y축지지대; 및 상기 Y축로봇에 Y축방향으로 이동 가능하게 설치되며, 상기 잉크젯헤드가 고정된 상태로 Z축방향으로 승강하는 승강대가 구비된 Z축로봇;으로 구성된 것이 바람직하다.In addition, the inkjet head is disposed on a moving means for moving in the Y-axis direction to intersect the X-axis robot, wherein the moving means includes: a Y-axis robot disposed to intersect the X-axis robot; a Y-axis support for installing the Y-axis robot to an upper portion of the X-axis robot; and a Z-axis robot installed movably in the Y-axis direction on the Y-axis robot, and equipped with a lifting platform that moves up and down in the Z-axis direction while the inkjet head is fixed.

또한, 상기 Z축로봇의 승강대에는 데모 PR코팅 후 코팅상태를 검사하기 위한 제1비전이 더 구비된 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the first vision for inspecting the coating state after the demonstration PR coating is further provided on the elevator platform of the Z-axis robot.

더하여, 상기 잉크젯헤드에는 PR코팅액을 분사하는 복수개의 도트가 구비되며, 상기 복수개 도트의 분사제어를 통해 제품의 형상 및 패턴에 따라 특정된 영역을 PR코팅하는 것이 바람직하다.In addition, the inkjet head is provided with a plurality of dots for spraying the PR coating solution, and it is preferable to PR-coat a specific area according to the shape and pattern of the product through the injection control of the plurality of dots.

한편, 상기 잉크젯헤드로부터 분사되는 PR코팅액의 크기는 10피코리터(pL) 이하 인것이 바람직하다.On the other hand, it is preferable that the size of the PR coating liquid sprayed from the inkjet head is 10 picoliters (pL) or less.

그리고, 상기 USC & 플라즈마 헤드와 잉크젯헤드 사이에는 상기 스테이지에 안착된 제품의 얼라인을 위한 적어도 하나의 얼라인비전이 구비된 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that at least one alignment vision for aligning the product seated on the stage is provided between the USC & plasma head and the inkjet head.

마지막으로, 상기 베이스의 일측에는 승강대에 설치된 상기 잉크젯헤드의 얼라인을 위한 적어도 하나의 제2비전이 더 구비된 것이 바람직하다.Finally, it is preferable that at least one second vision for aligning the inkjet head installed on the elevator is further provided on one side of the base.

상기와 같은 구성을 가진 본 발명의 포토레지스트 코팅장치에 의하면, 잉크젯헤드를 적용하여 함으로써, 다양한 제품의 형상 및 패턴에 제약없이 필요한 위치에 정밀한 코팅이 이루어질 수 있으며, 정량의 PR코팅액이 분사되기 때문에 종래와 같이 EBR(Edge Bead Remover)공정이 필요없어 PR코팅액의 손실을 원천적으로 차단하는 탁월한 효과가 있다.According to the photoresist coating apparatus of the present invention having the above configuration, by applying an inkjet head, precise coating can be made at a required position without restrictions on the shape and pattern of various products, and a quantity of the PR coating liquid is sprayed. As it does not require an EBR (Edge Bead Remover) process as in the prior art, it has an excellent effect of fundamentally blocking the loss of PR coating solution.

또한, 단일의 코팅장치를 통해 제품의 세정 및 PR코팅이 이루어지지기 때문에 코팅공정이 단축되는 기술적 효과 또한 탁월하다.In addition, the technical effect of shortening the coating process is also excellent because product cleaning and PR coating are performed through a single coating device.

도 1은 본 발명에 따른 포토레지스트 코팅장치를 나타낸 정면사시도이고,
도 2는 도 1의 배면사시도이며,
도 3은 도 1의 평면도이고,
도 4는 본 발명에 따른 포토레지스트 코팅장치의 구성중 스테이지를 분해한 요부 분해사시도이며,
도 5 내지 도 7은 도 4의 결합된 상태로 구동상태를 보여주는 측면도이고,
도 8은 제품 표면에 낙하된 PR코팅액 상태를 보여주는 참고도이며,
도 9는 발명에 따른 포토레지스트 코팅장치의 구성중 잉크젯헤드를 통해 구현되는 PR코팅층을 보여주는 예시도이다.1 is a front perspective view showing a photoresist coating apparatus according to the present invention;
Figure 2 is a rear perspective view of Figure 1,
Figure 3 is a plan view of Figure 1,
4 is an exploded perspective view of the main part in which the stage is disassembled during the construction of the photoresist coating apparatus according to the present invention;
5 to 7 are side views showing the driving state in the coupled state of FIG. 4,
8 is a reference view showing the state of the PR coating solution dropped on the surface of the product,
9 is an exemplary view showing a PR coating layer implemented through an inkjet head in the configuration of the photoresist coating apparatus according to the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예들을 첨부된 도면을 참고하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시 예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 설명하는 실시 예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예들은 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 상세하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에 나타난 각 요소의 형상은 보다 분명한 설명을 강조하기 위하여 과장될 수 있다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. Embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described below. These embodiments are provided to explain the present invention in more detail to those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains. Accordingly, the shape of each element shown in the drawings may be exaggerated to emphasize a clearer description.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. Terms such as first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, terms such as “comprise” or “have” are intended to designate that a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification exists, but one or more other features It should be understood that this does not preclude the existence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

도 1은 본 발명에 따른 포토레지스트 코팅장치를 나타낸 정면사시도이고, 도 2는 도 1의 배면사시도이며, 도 3은 도 1의 평면도이고, 도 4는 본 발명에 따른 포토레지스트 코팅장치의 구성중 스테이지를 분해한 요부 분해사시도이며, 도 5 내지 도 7은 도 4의 결합된 상태로 구동상태를 보여주는 측면도이고, 도 8은 제품 표면에 낙하된 PR코팅액 상태를 보여주는 참고도이며, 도 9는 발명에 따른 포토레지스트 코팅장치의 구성중 잉크젯헤드를 통해 구현되는 PR코팅층을 보여주는 예시도이다.1 is a front perspective view showing a photoresist coating apparatus according to the present invention, FIG. 2 is a rear perspective view of FIG. 1 , FIG. 3 is a plan view of FIG. 1, and FIG. 4 is a configuration of a photoresist coating apparatus according to the present invention It is an exploded perspective view of the main part in which the stage is disassembled, and FIGS. 5 to 7 are side views showing the driving state in the coupled state of FIG. 4, and FIG. 8 is a reference view showing the state of the PR coating liquid dropped on the product surface, and FIG. 9 is the invention It is an exemplary view showing the PR coating layer implemented through the inkjet head among the configuration of the photoresist coating apparatus according to the present invention.

도 1 내지 도 9에 나타낸 바와 같이 본 발명의 포토레지스트 코팅장치(600)는, 베이스(100) 상부에 배치된 X축로봇(110)에 이동 가능하게 설치된 상태로 제품(P)이 안착되며, 안착된 제품(P)을 X축방향으로 이동시키는 스테이지(200); 상기 스테이지(200)가 이동하는 경로상에 설치되며, 스테이지(200)에 안착된 상태로 이동하는 상기 제품(P) 표면을 세정하는 USC & 플라즈마 헤드(300); 및 상기 X축로봇(110) 상부로 교차되게 배치되어 Y축으로 이동 가능하게 설치되며, 이동하는 상기 제품(P) 표면으로 PR코팅액(C)을 분사하여 제품(P) 표면을 코팅하는 적어도 하나의 잉크젯헤드(400);을 포함하여 구성된다.1 to 9, in the photoresist coating device 600 of the present invention, the product P is seated in a movably installed state on the X-axis robot 110 disposed on the base 100, Stage 200 for moving the seated product (P) in the X-axis direction; a USC & plasma head 300 installed on a path on which the stage 200 moves, and cleaning the surface of the product P moving in a state of being seated on the stage 200; and at least one that is disposed to cross the upper portion of the X-axis robot 110, is installed to be movable in the Y-axis, and sprays the PR coating solution (C) onto the surface of the moving product (P) to coat the surface of the product (P). of the inkjet head 400; is configured to include.

설명에 앞서, 본 발명의 가장 큰 특징은 잉크젯헤드(400)를 적용함으로써, PR코팅액의 손실을 막고, 제품(P)의 세정 및 코팅이 단일의 공정을 통해 이루어지도록 하는 것에 있다.Prior to the description, the biggest feature of the present invention is that by applying the inkjet head 400, the loss of the PR coating solution is prevented, and the cleaning and coating of the product P is made through a single process.

또한, 본 발명을 구성하는 후술하는 각 구조는 도시하지 않은 콘트롤러에 의해 제어됨은 물론이다.In addition, it goes without saying that each structure to be described later constituting the present invention is controlled by a controller (not shown).

포토레지스트 코팅장치(600)는 도 1과 같이, 베이스(100) 상부로 도면상 좌측에는 인덱스(미 도시)를 통해 공급되는 웨이퍼, 디스플레이 및 PCB(이하 '제품'이라 함)가 안착되는 스테이지(200)가 배치되어 있으며, 스테이지(200)의 X축방향으로는 USC & 플라즈마 헤드(300)가 배치되어 있고, USC & 플라즈마 헤드(300)의 도면상 우측에는 잉크젯헤드(400)가 배치되어 있다.The photoresist coating apparatus 600 is a stage (hereinafter referred to as 'product') on which the wafer, display and PCB (hereinafter referred to as 'product') supplied through an index (not shown) are seated on the left side of the drawing on the upper side of the base 100, as shown in FIG. 1 . 200) is disposed, the USC & plasma head 300 is disposed in the X-axis direction of the stage 200, and the inkjet head 400 is disposed on the right side of the drawing of the USC & plasma head 300 .

이하, 도 1 내지 도 9를 참조하여 각 구조를 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, each structure will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 9 .

베이스(100)는 후술하는 X축로봇(110), 스테이지(200), USC & 플라즈마 헤드(300), Y축로봇(411) 및 잉크젯헤드(400) 등이 설치될 수 있도록 함과 동시에 단일의 구역에서 구동이 이루어질 수 있도록 지지하는 역할을 한다.The base 100 allows the X-axis robot 110 , the stage 200 , the USC & plasma head 300 , the Y-axis robot 411 , and the inkjet head 400 to be installed, and at the same time, a single It serves to support the operation in the area.

베이스(100)는 대략적인 사각형상을 유지하고 있으며, 상면은 위 구조들이 안정적으로 지지될 수 있도록 평탄화되어 있다.The base 100 maintains a substantially rectangular shape, and the upper surface is flattened so that the above structures can be stably supported.

스테이지(200)는 인덱스(Robot system(미 도시))를 통해 공급되는 제품(P)이 안착되는 곳으로, 안착된 제품(P)을 X축방향으로 이동시키는 역할을 한다.The stage 200 is a place where the product P supplied through the index (Robot system (not shown)) is seated, and serves to move the seated product P in the X-axis direction.

스테이지(200)의 하부에는 상기 스테이지(200)가 X축방향으로 이동할 수 있도록 X축방향으로 소정의 길이를 갖는 X축로봇(110)이 베이스(100) 상부에 설치되어 있다.An X-axis robot 110 having a predetermined length in the X-axis direction is installed above the base 100 at a lower portion of the stage 200 so that the stage 200 can move in the X-axis direction.

즉, 스테이지(200)가 X축로봇(110)에 이동 가능하게 설치되어 있는 것이다.That is, the stage 200 is movably installed on the X-axis robot 110 .

이때, X축로봇(110)의 길이는 도 1 내지 도 3과 같이 후술하는 잉크젯헤드(400)를 통해 제품(P)의 표면에 PR코팅이 이루어질 수 있을 정도면 무방하다.In this case, the length of the X-axis robot 110 is sufficient as long as the PR coating can be made on the surface of the product P through the inkjet head 400 to be described later as shown in FIGS. 1 to 3 .

스테이지(200)는 도 4 내지 도 7과 같이 안착플레이트(210)와, 고정플레이트(220)와, 승강플레이트(230) 및 UVW구동부(240)를 포함한다.The stage 200 includes a seating plate 210 , a fixing plate 220 , a lifting plate 230 , and a UVW driving unit 240 as shown in FIGS. 4 to 7 .

안착플레이트(210)는 소정의 면적을 갖는 사각형상을 유지하고 있으며, 상부 판면은 공급되는 제품(P)이 안착될 수 있도록 평탄함을 유지하고 있다.The seating plate 210 maintains a rectangular shape having a predetermined area, and the upper plate surface maintains a flat surface so that the supplied product P can be seated.

또한, 안착플레이트(210)에는 판면을 관통하는 복수개의 관통홀(211)이 형성되어 있다. 이 관통홀(211)은 후술하는 승강플레이트(230)의 승강봉(231) 출몰을 위해 형성된 것이다.In addition, a plurality of through holes 211 penetrating the plate surface are formed in the seating plate 210 . This through-hole 211 is formed to protrude and retract the lifting rod 231 of the lifting plate 230 to be described later.

본 실시예에서는 안착플레이트(210)가 디스플레이 제품(P)이 안착될 수 있도록 사각형상을 유지한 것으로 도시하고 있으나, 공급되는 제품(P)이 반도체 웨이퍼라면 원형으로 구현될 수 있기 때문에 그 형상을 한정하지 않는다.In this embodiment, the seating plate 210 is shown as maintaining a rectangular shape so that the display product P can be seated, but if the supplied product P is a semiconductor wafer, it can be implemented in a circular shape. do not limit

고정플레이트(220)는 안착플레이트(210)의 하부로 배치되어 안착플레이트(210)를 도면상 상측방향으로 소정간격으로 이격시키는 것으로, 안착플레이트(210)를 지지한다.The fixing plate 220 is disposed under the seating plate 210 to space the seating plate 210 upward at predetermined intervals in the drawing, and supports the seating plate 210 .

고정플레이트(220)의 각 코너에는 안착플레이트(210)의 이격된 상태를 유지할 수 있도록 소정의 길이를 갖는 4개의 이격부재(222)가 구비되며, 안착플레이트(210)는 각 코너의 이격부재(222)와 고정된다.Each corner of the fixing plate 220 is provided with four spacer members 222 having a predetermined length to maintain the spaced state of the seating plate 210, and the seating plate 210 is a spacer member ( 222) and is fixed.

승강플레이트(230)는 안착플레이트(210)와 고정플레이트(220) 사이에서 승강하면서 상승을 통해 안착플레이트(210)의 판면에 안착된 제품(P)을 안착플레이트(210)의 판면으로부터 이격시키는 것으로, 이격된 안착플레이트(210)와 고정플레이트(220) 사이로 배치된다.Elevating plate 230 is to space the product (P) seated on the plate surface of the seating plate 210 through the lift while ascending between the seating plate 210 and the fixed plate 220 from the plate surface of the seating plate 210. , is disposed between the spaced seating plate 210 and the fixed plate 220 .

즉, 승강플레이트(230)는 안착된 제품(P)의 PR코팅 완료후 제품(P)의 후공정 반출을 위해 인텍스의 로봇암이 진입할 수 있도록 도 7과 같이 상승을 통해 제품(P)을 안착플레이트(210)로부터 이격시키는 것이다.That is, the lifting plate 230 raises the product (P) through the elevation as shown in FIG. 7 so that the robot arm of Intex can enter to take out the product (P) after the PR coating of the seated product (P) is completed. It is to be spaced apart from the seating plate (210).

이를 위해, 승강플레이트(230)의 상면에는 상승시 안착플레이트(210)의 관통홀(211)을 관통하면서 안착플레이트(210)에 안착된 제품(P)의 하면을 밀어올려 제품(P)을 안착플레이트(210)로부터 이격시키는 소정길이를 갖는 복수개의 승강봉(231)이 구비되어 있다.To this end, the upper surface of the lifting plate 230 pushes up the lower surface of the product P seated on the seating plate 210 while penetrating the through hole 211 of the seating plate 210 when ascending to seat the product P. A plurality of lifting rods 231 having a predetermined length spaced apart from the plate 210 are provided.

이때, 승강봉(231)은 안착플레이트(210)의 관통홀(211) 개수와 동일한 개수를 갖는다.At this time, the lifting rod 231 has the same number as the number of through holes 211 of the seating plate 210 .

더하여, 승강플레이트(230) 하면의 각 코너에는 원통형상으로 소정길이를 갖는 4개의 가이드부시(232)가 구비되며, 이 가이드부시(232)는 승강플레이트(230)의 승강이 안정적으로 이루어질 수 있게 가이드하도록 고정플레이트(220)의 각 코너에 형성된 가이드홀(221)에 관통되게 설치된다.In addition, each corner of the lower surface of the elevating plate 230 is provided with four guide bushes 232 having a predetermined length in a cylindrical shape, and the guide bushes 232 guide the elevating plate 230 so that the elevating plate 230 can be stably lifted. It is installed to penetrate through the guide holes 221 formed in each corner of the fixing plate 220 to do so.

또한, 승강플레이트(230)의 중심부는 승강플레이트(230)의 승강이 이루어질 수 있도록 후술하는 UVW구동부(240)에 구비된 승강실린더(241)의 로드(242)와 연결됨으로써, 승강실린더(241)의 로드(242) 이동에 의해 승강하게 된다.In addition, the central portion of the lifting plate 230 is connected to the rod 242 of the lifting cylinder 241 provided in the UVW driving unit 240 to be described later so that the lifting plate 230 can be lifted. The rod 242 moves up and down.

UVW구동부(240)는 고정플레이트(220)가 X축로봇(110) 상에서 X-Y-θ 방향으로 이동할 수 있도록 구동력을 부여하는 것으로, X축로봇(110)에 X축방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다.The UVW driving unit 240 applies a driving force so that the fixed plate 220 can move in the XY-θ direction on the X-axis robot 110, and is installed to be movable in the X-axis direction on the X-axis robot 110. .

즉, UVW구동부(240)는 후술하는 얼라인비전(500)으로부터 획득된 제품(P)의 각 코너부에 대한 위치정보값에 따라 콘트롤러(미 도시)에서 연산된 위치정보값과 일치하도록 콘트롤러의 제어를 통해 고정플레이트(220)를 X-Y-θ 방향으로 이동시키는 것이다. 이렇게 되면 고정플레이트(220)의 이동에 따라 안착플레이트(210)와 승강플레이트(230)도 함께 연동하기 때문에 이 과정에서 안착플레이트(210)에 안착된 제품(P)의 얼라인이 이루어지게 된다.That is, the UVW driving unit 240 is configured to match the position information value calculated by the controller (not shown) according to the position information value for each corner part of the product P obtained from the alignment vision 500 to be described later. It is to move the fixed plate 220 in the XY-θ direction through control. In this case, since the seating plate 210 and the elevating plate 230 are also interlocked with the movement of the fixing plate 220, the product P seated on the seating plate 210 is aligned in this process.

한편, UVW구동부(240)에는 UVW구동부(240)가 X축로봇(110)을 타고 X축방향으로 이동할 수 있도록 X축이동부재(250)가 구비되며, 이 X축이동부재(250)는 X축로봇(110)에 이동 가능하게 결합되어 있다.On the other hand, the UVW driving unit 240 is provided with an X-axis moving member 250 so that the UVW driving unit 240 can move in the X-axis direction on the X-axis robot 110, and the X-axis moving member 250 is It is movably coupled to the axis robot 110 .

USC & 플라즈마 헤드(300)는 스테이지(200)의 안착플레이트(210)에 안착된 상태로 X축로봇(110)을 타고 X축방향으로 이동하는 제품(P) 표면을 세정하는 것으로, 도 1 내지 도 3과 같이 스테이지(200)가 이동하는 경로상으로 X축로봇(110)의 상부로 이격되게 설치되어 있다.USC & plasma head 300 is to clean the surface of the product (P) moving in the X-axis direction riding the X-axis robot 110 in a state seated on the seating plate 210 of the stage 200, FIGS. 1 to As shown in FIG. 3 , the stage 200 is installed to be spaced apart from the upper portion of the X-axis robot 110 on the moving path.

USC & 플라즈마 헤드(300)는 유기물 세정에 탁월한 플라즈마와, 무기물과 파티클 세정에 강한 USC(Ultra sonic cleaner)를 결합하여 유,무기물 세정이 동시에 수행될 수 있도록 하는 것으로, 제품(P) 표면에 존재하는 파티클 및 큐티클을 제거하여 제품(P) 표면의 접촉각을 떨어트림으로써 분사된 PR코팅액(C)이 잘 퍼질 수 있도록 한다.The USC & plasma head 300 combines an excellent plasma for cleaning organic substances and a USC (Ultra sonic cleaner) strong for inorganic and particle cleaning so that organic and inorganic cleaning can be performed at the same time, and it is present on the surface of the product (P). By removing the particles and cuticles to lower the contact angle of the surface of the product (P), the sprayed PR coating solution (C) can be spread well.

USC & 플라즈마 헤드(300)는 PR코팅 공정에서 통상적으로 이용되는 것으로, 자세한 설명은 생략하기로 한다.The USC & plasma head 300 is commonly used in the PR coating process, and a detailed description thereof will be omitted.

위 USC & 플라즈마 헤드(300)가 X축로봇(110)의 상부로 이격되게 설치되 수 있도록, 상기 베이스(100)에는 X축로봇(110)과 교차하는 'ㄷ'자 형상의 지지대(310)가 구비되며, 이 지지대(310)의 이격된 부위에 USC & 플라즈마 헤드(300)가 고정된다.In order for the USC & plasma head 300 to be installed to be spaced apart from the upper portion of the X-axis robot 110 , the base 100 has a 'C'-shaped support 310 that intersects the X-axis robot 110 . is provided, and the USC & plasma head 300 is fixed to the spaced apart portion of the support 310 .

여기서 USC & 플라즈마 헤드(300)는 PR코팅의 택-타임에 맞게 복수개로 구비될 수 있기 때문에 그 개수를 한정하지 않는다.Here, the USC & plasma head 300 is not limited in number because it may be provided in plurality according to the tact-time of the PR coating.

잉크젯헤드(400)는 스테이지(200)의 안착플레이트(210)에 안착된 상태로 이동하는 제품(P) 표면으로 PR코팅액을 분사하여 제품(P) 표면을 코팅하는 것으로, X축로봇(110)의 상부로 교차되게 배치되어 Y축방향으로 이동 가능하게 적어도 하나가 설치되어 있다.The inkjet head 400 is to coat the surface of the product (P) by spraying the PR coating solution onto the surface of the product (P) moving in a state of being seated on the seating plate 210 of the stage 200, and the X-axis robot 110 At least one is disposed to cross the upper portion of the y-axis to be movable in the Y-axis direction.

잉크젯헤드(400)는 위와 같은 구동이 이루어질 수 있도록, X축로봇(110)과 교차하게 Y축방향으로 이동하는 이동수단(410)에 배치된다.The inkjet head 400 is disposed on the moving means 410 that crosses the X-axis robot 110 and moves in the Y-axis direction so that the above driving can be achieved.

이동수단(410)은 도 2와 같이 Y축로봇(411)과, Y축지지대(412) 및 Z축로봇(413)을 포함한다.The moving means 410 includes a Y-axis robot 411, a Y-axis support 412 and a Z-axis robot 413 as shown in FIG.

Y축로봇(411)은 X축로봇(110)과 교차한 상태로 X축로봇(110)의 상측방향에서 Y축방향을 향하여 소정의 길이로 배치되어 있다.The Y-axis robot 411 is disposed with a predetermined length from the upper direction of the X-axis robot 110 to the Y-axis direction in a state where it intersects with the X-axis robot 110 .

Y축지지대(412)는 X축로봇(110)의 상부로 Y축로봇(411)이 이격된상태로 지지될 수 있도록 하는 것으로, 'ㄷ'자 형상으로 베이스(100)에 고정되어 있으며 이격된 위치에 X축로봇(110)이 고정된다.The Y-axis support 412 is to allow the Y-axis robot 411 to be supported in a spaced state to the upper portion of the X-axis robot 110, and is fixed to the base 100 in a 'C' shape and is spaced apart. The X-axis robot 110 is fixed to the position.

Z축로봇(413)은 Y축로봇(411)을 따라 Y축방향으로 이동 가능하게 설치되며, Z축로봇(413)의 도면상 우측에는 Z축방향으로 승강하는 승강대(414)가 구비되어 있다.The Z-axis robot 413 is installed to be movable in the Y-axis direction along the Y-axis robot 411, and on the right side of the drawing of the Z-axis robot 413, a lifting platform 414 for lifting and lowering in the Z-axis direction is provided. .

승강대(414)에는 두 개의 잉크젯헤드(400)가 고정되어 있으며, 잉크젯헤드(400)는 승강대(414)의 승강에 따라 높이를 달리하면서 PR코팅액(C)을 분사하게 된다.Two inkjet heads 400 are fixed to the elevator 414 , and the inkjet head 400 sprays the PR coating liquid C while varying the height according to the elevation of the elevator 414 .

그리고, Y축로봇(411)과 Z축로봇(413) 사이에는 Y축로봇(411)에 이동 가능하게 설치된 상태로 Z축로봇(413)에 연결됨으로써, Z축로봇(413)이 Y축로봇(411)을 타고 이동할 수 있도록 하는 Y축이동부재가 구비된다.And, between the Y-axis robot 411 and the Z-axis robot 413 is connected to the Z-axis robot 413 in a movably installed state on the Y-axis robot 411, so that the Z-axis robot 413 is the Y-axis robot. A Y-axis moving member is provided so that it can be moved by riding (411).

한편, 승강대(414)에 고정된 잉크젯헤드(400)에는 PR코팅액(C)을 분사하는 복수개의 도트(1024개)가 구비되며, 복수개 도트의 분사제어를 통해 제품(P)의 형상 및 패턴에 따라 특정된 영역을 PR코팅하게 된다. On the other hand, the inkjet head 400 fixed to the lift 414 is provided with a plurality of dots (1024) for spraying the PR coating liquid (C), and the shape and pattern of the product (P) through the injection control of the plurality of dots. Accordingly, the specified area is PR-coated.

예를 들면, 제품(P) 표면의 코팅영역의 코너가 곡률인 경우 곡률의 형상에 맞도록 도트의 개방을 제어하여 곡률에만 PR코팅액이 분사될 수 있도록 하는 것이다. 이렇게 되면, 다양한 제품의 형상 및 패턴에 제약없이 필요한 위치에 정밀한 코팅이 이루어질 수 있다.For example, when the corner of the coating area of the surface of the product (P) has a curvature, the opening of the dots is controlled to match the shape of the curvature so that the PR coating solution can be sprayed only on the curvature. In this way, precise coating can be made at a required position without restrictions on the shapes and patterns of various products.

더하여, 도트의 분사제어는 콘트롤러(미 도시)에 기 설정된 코팅 종류를 따라 제어됨은 물론이다.In addition, the dot injection control is of course controlled according to the type of coating preset in the controller (not shown).

통상 잉크젯헤드(400)는 잉크의 미소한 액적을 인쇄 매체 상의 원하는 위치에 토출시킴으로써 소정 화상을 인쇄하는 장치이다. 그러나, 본 발명에서는 분사되는 잉크를 PR코팅액(C)으로 대체하여 PR코팅공정에 적용함으로써, 정교한 PR코팅과 함께 PR코팅액(C)의 손실을 방지한다.In general, the inkjet head 400 is a device that prints a predetermined image by discharging minute droplets of ink to a desired position on a print medium. However, in the present invention, by replacing the sprayed ink with the PR coating solution (C) and applying it to the PR coating process, the loss of the PR coating solution (C) is prevented along with the sophisticated PR coating.

이를 위해, 잉크젯헤드(400)로부터 분사되는 PR코팅액(C)의 크기는 10피코리터(pL) 이하 인것이 바람직 한데, 이는 도트의 배열이 촘촘하게 이루어지도록 함으로써 도트를 통한 PR코팅액(C)의 낙하가 정교하게 이루어질 수 있도록 하는 것이다.For this purpose, it is preferable that the size of the PR coating liquid (C) sprayed from the inkjet head 400 is 10 picoliters (pL) or less, which is a drop of the PR coating liquid (C) through the dots by making the dot arrangement dense. so that it can be done precisely.

정확하게는, 도트의 배열이 촘촘하면서 제품(P) 표면이 USC & 플라즈마 헤드(300)를 통해 세정되어 접촉각이 떨어진 상태임에 따라 분사된 PR코팅액(C)들이 표면에 접촉되는 순간 도 8과 같이 퍼짐과 동시에 서로 오버랩됨으로써 모든 표면의 코팅이 균일하게 이루어지도록 하는 것이다. Precisely, as the arrangement of dots is dense and the surface of the product (P) is cleaned through the USC & plasma head 300 and the contact angle is in a state where the contact angle is lowered, the moment when the PR coating solution (C) is in contact with the surface, as shown in FIG. It spreads and overlaps with each other at the same time so that the coating on all surfaces is made uniform.

또한, 잉크젯헤드(400)의 복수개 도트의 개방 조절이 콘트롤러에 의해 제어됨에 따라 콘트롤러에 기 저장된 패턴의 형상을 따라 PR잉크액(C)의 분사가 가능하다. In addition, as the opening control of the plurality of dots of the inkjet head 400 is controlled by the controller, it is possible to spray the PR ink liquid (C) according to the shape of the pattern pre-stored in the controller.

이렇게 되면, 도 9에 도시된 바와 같이 도트, 패턴 및 면 등과 같이 다양한 PR코팅액(C)의 분사가 가능하고, 이로 인해 원형, 사각, 패턴 등과 같이 타입에 국한되지 않고 다양한 형상의 PR코팅이 가능해 진다.In this way, as shown in FIG. 9, various PR coating liquids (C) such as dots, patterns and planes can be sprayed, and thus PR coatings of various shapes are possible without being limited to types such as circles, squares, patterns, etc. lose

또한, 대면적 디스플레이의 코팅을 위해 복수개의 잉크젯헤드(400)를 조합하여 PR코팅이 이루어질 수 있기 때문에 제품(P)의 크기에 국한되지 않는다.In addition, since PR coating can be made by combining a plurality of inkjet heads 400 for coating of a large area display, the size of the product P is not limited.

그리고, 잉크젯헤드(400)는 PR코팅액(C)의 낙하가 이루어지도록 하는 피에조방식이 적용되는 것이 바람직하며, 다양한 분사방식을 통해 PR코팅액(C)이 분사될 수 있음에 따라 분사방식을 한정하지는 않는다.In addition, the inkjet head 400 is preferably applied to the piezoelectric method so that the PR coating liquid (C) is made to fall, and the PR coating liquid (C) can be sprayed through various injection methods, so the injection method is not limited. does not

한편, USC & 플라즈마 헤드(300)와 잉크젯헤드(400) 사이에는 스테이지(200)에 안착된 제품(P)의 얼라인을 위한 2개의 얼라인비전(500)이 구비된다.Meanwhile, between the USC & plasma head 300 and the inkjet head 400 , two alignment visions 500 for aligning the product P seated on the stage 200 are provided.

얼라인비전(500)은 디스플레이에 안착된 상태로 USC & 플라즈마 세정이 완료된 제품(P)을 잉크젯헤드(400)로 이송되기 전 얼라인 상태를 확인하기 위한 것으로, 제품(P)의 각 코너부를 촬영하여 콘트롤러로 전송하고 콘트롤러에 기 설정된 위치정보값과 연산하여 제품(P)의 얼라인이 UVW구동부(240)를 통해 이루어지도록 한다.The alignment vision 500 is for checking the alignment state before transferring the USC & plasma cleaning product P to the inkjet head 400 while seated on the display. It is photographed and transmitted to the controller, and the product (P) is aligned through the UVW driver 240 by calculating with the position information value preset in the controller.

더하여, 도 2와 같이 Z축로봇(413)의 승강대(414)에는 본 PR코팅이 이루어지기 데모 PR코팅을 통해 제품(P) 표면으로 분사된 코팅상태를 검사하기 위한 제1비전(510)이 더 설치되는 것이 바람직하다.In addition, as shown in FIG. 2, the first vision 510 for inspecting the coating state sprayed to the surface of the product P through the demonstration PR coating is performed on the lift 414 of the Z-axis robot 413. It is preferable to install more.

이는, 설정된 패턴의 지정된 루트를 따라 잉크젯헤드(400)가 정확하게 이동했는지를 확인하는 것으로, 더욱 상세하게는 잉크젯헤드(400)의 도트들의 설정된 개방을 통해 코팅분사가 제대로 이루어졌는지, 또는 전체 코팅이 이루어진 상태에서 분사가 누락된 곳이 없는지 등을 확인하는 것이다.This is to check whether the inkjet head 400 has moved accurately along the designated route of the set pattern, and more specifically, whether the coating is properly sprayed through the set opening of the dots of the inkjet head 400, or the entire coating is It is to check whether there is no place where injection is omitted in the state where it is made.

또한, 도 2와 같이 베이스(100)의 일측에는 Z축로봇(413)의 승강대(414)에 설치된 2개의 잉크젯헤드(400)의 얼라인을 위한 2개의 제2비전(520)이 더 구비되는 것이 바람직하다.In addition, two second visions 520 for aligning the two inkjet heads 400 installed on the lift 414 of the Z-axis robot 413 are further provided on one side of the base 100 as shown in FIG. 2 . it is preferable

즉, 제2비전(520)을 통해 잉크젯헤드(400)의 복수개 도트의 위치를 촬영하여 얼라인비전(500)을 통해 얼라인된 제품의 코팅영역과 일치시키는 것이며, 더욱 상세하게는 PR코팅액이 분사되어야 하는 도트의 위치를 제어하는 것으로 잉크젯헤드(400)의 얼라인을 통해 제품 코팅영역에 대한 도트 위치가 X,Y축상으로 일치될 수 있도록 하는 것이다. 이때, 잉크젯헤드(400)의 얼라인은 별도의 구동수단(미 도시)을 통해 구현된다.That is, the position of the plurality of dots of the inkjet head 400 is photographed through the second vision 520 to match the coating area of the product aligned through the alignment vision 500, and more specifically, the PR coating solution It is to control the position of the dot to be jetted so that the dot position with respect to the product coating area can be matched along the X and Y axes through the alignment of the inkjet head 400 . In this case, the alignment of the inkjet head 400 is implemented through a separate driving means (not shown).

본 실시예에서는 잉크젯헤드(400)와 제2비전(520)이 각각 2개로 설치된 것으로 설명하고 있으나, 제2비전(520)은 잉크젯헤드(400)의 개수와 대응되게 설치되기 때문에 개수를 한정하지 않는다.In this embodiment, the inkjet head 400 and the second vision 520 have been described as being installed as two, respectively, but the number of the second vision 520 is not limited because the second vision 520 is installed to correspond to the number of the inkjet head 400 . does not

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 포토레지스트 코팅장치(600)를 이용하여 제품에 PR코팅이 이루어지는 과정을 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a process of PR coating on a product using the photoresist coating apparatus 600 according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

먼저, 도시하지 않은 인덱스의 로봇암(미 도시)으로 카세트에 적재된 제품(P)을 인출하여 도 5와 같이 스테이지(200)의 상부 즉 안착플레이트(210)의 상부에 위치시킨다.First, the product P loaded in the cassette is withdrawn with a robot arm (not shown) of an index (not shown) and placed on the upper part of the stage 200 , that is, the upper part of the seating plate 210 as shown in FIG. 5 .

제품(P)이 위치하면, 승강실린더(241) 로드(242)의 상승에 의해 승강플레이트(230)가 상승하게 되고, 이때 복수개의 승강봉(231)이 도 5와 같이 안착플레이트(210)의 관통홀(211)들을 관통하여 안착플레이트(210)의 상부로 노출된다.When the product (P) is positioned, the lifting plate 230 is raised by the lifting of the lifting cylinder 241 and the rod 242, and at this time, the plurality of lifting rods 231 are mounted on the seating plate 210 as shown in FIG. It penetrates through the through-holes 211 and is exposed to the upper portion of the seating plate 210 .

위 상태에서 제품(P)은 로봇암의 하강에 의해 노출된 승강봉(231)의 말단부에 안착되고, 이후 복수개의 승강봉(231)이 승강실린더(241)를 통한 승강플레이트(230)의 하강에 의해 하강하면서 도 6과 같이 제품(P)을 안착플레이트(210) 상면에 안착시킨다.In the above state, the product (P) is seated on the distal end of the lifting rod 231 exposed by the lowering of the robot arm, and then the plurality of lifting rods 231 are lowered of the lifting plate 230 through the lifting cylinder 241. As shown in FIG. 6 while descending, the product P is seated on the upper surface of the seating plate 210 .

이후, 승강플레이트(230)는 계속적인 하강을 통해 승강봉(231)을 안착플레이트(210)의 하부에 위치시킨다.Thereafter, the lifting plate 230 places the lifting rod 231 under the seating plate 210 through continuous descending.

안착플레이트(210)에 제품(P)이 안착되면, 도 3과 같이 X축로봇(110)이 구동하여 스테이지(200)를 도면상 상측방향으로 이송시킨다.When the product P is seated on the seating plate 210 , the X-axis robot 110 is driven to transport the stage 200 upward in the drawing as shown in FIG. 3 .

이때, 제품(P)은 USC & 플라즈마 헤드(300)를 지나가게 되고, 이 과정에서 제품(P) 상면은 USC와 플라즈마에 의해 세정을 하게 된다.At this time, the product (P) passes through the USC & plasma head 300, and in this process, the upper surface of the product (P) is cleaned by the USC and plasma.

이후, 제품(P)은 계속적으로 이동하면서 얼라인비전(500)이 설치된 구간에 도달하게 되고, 이 구간에서 얼라인비전(500)을 통해 PR코팅을 위한 얼라인이 이루어지게 된다. 제품(P)의 얼라인은 UVW구동부(240)에 의해 이루어진다.Thereafter, the product P reaches a section where the alignment vision 500 is installed while continuously moving, and alignment for PR coating is performed through the alignment vision 500 in this section. The alignment of the product P is made by the UVW driving unit 240 .

제품(P)의 얼라인이 이루어지면, PR코팅의 초입부에 진입하게 된다.When the alignment of the product (P) is made, it enters the beginning of the PR coating.

이때, 잉크젯헤드(400)가 단일로 구성되는 경우 제품(P)의 PR코팅을 위해 Z축로봇(413)이Y축로봇(411)을 타고 지그재그로 이동하면서 PR코팅액(C)의 분사가 이루어지게 되며, 이때 스테이지(200)는 Z출로봇의 지그재그에 맞춰 스텝별로 X축방향을 향하여 이동하게 된다.At this time, when the inkjet head 400 is configured as a single unit, for PR coating of the product P, the Z-axis robot 413 rides the Y-axis robot 411 and moves in a zigzag manner, and the PR coating liquid (C) is sprayed. At this time, the stage 200 moves in the X-axis direction step by step in accordance with the zigzag of the Z-out robot.

반면, 잉크젯헤드(400)가 제품(P)의 폭에 맞게 복수개로 구성된 경우 제품(P)의 PR코팅을 위해 스테이지(200)만 X축방향으로 이동하게 되며, 이때 잉크젯헤드(400)에서는 PR코팅액(C)만 분사하게 된다.On the other hand, when the inkjet head 400 is configured in plurality to fit the width of the product P, only the stage 200 is moved in the X-axis direction for PR coating of the product P. At this time, in the inkjet head 400, the PR Only the coating liquid (C) is sprayed.

위와 같은 다양한 방식을 통해 제품(P)의 PR코팅이 완료되면, 완료위치(도 3의 일점쇄선)의 스테이지(200)를 X축로봇(110)의 구동을 통해 도면상 하측방향인 초기 위치로 복귀시킨다.When the PR coating of the product P is completed through the above various methods, the stage 200 at the completion position (dotted-dotted line in FIG. 3) is moved to the initial position in the lower direction in the drawing through the driving of the X-axis robot 110. bring it back

이후, 도 7과 같이 승강실린더(241) 로드(242)를 통해 승강플레이트(230)가 도면상 상측방향으로 상승하게 되고, 이 과정에서 승강플레이트(230)의 상승과 동시에 복수개의 승강봉(231)이 안착플레이트(210)의 관통홀(211)들을 관통하여 PR코팅이 완료된 제품(P)의 하면을 밀어올리면서 제품(P)을 안착플레이트(210)로부터 인덱스의 로봇암이 진입할 수 있도록 소정간격 이격시킨다.Thereafter, as shown in FIG. 7 , the lifting plate 230 rises upward in the drawing through the lifting cylinder 241 rod 242 , and in this process, the lifting plate 230 is raised and the plurality of lifting rods 231 are simultaneously raised. ) penetrates the through holes 211 of the seating plate 210 and pushes up the lower surface of the PR-coated product P so that the robot arm of the index can enter the product P from the seating plate 210 . spaced apart by a predetermined distance.

제품(P)이 안착플레이트(210)로부터 이격되면, 제품(P)의 후 공정을 위해 로봇암이 제품(P)과 안착플레이트(210) 사이로 진입하여 제품(P)을 인출해 감으로써 제품(P)의 PR코팅 공정을 완료한다.When the product (P) is spaced apart from the seating plate 210, the robot arm enters between the product (P) and the seating plate 210 for post-processing of the product (P) and draws out the product (P). Complete the PR coating process of P).

지금까지 서술된 바와 같이 본 발명의 포토레지스트 코팅장치는, 잉크젯헤드를 적용하여 함으로써, 다양한 제품의 형상 및 패턴에 제약없이 필요한 위치에 정밀한 코팅이 이루어질 수 있으며, 정량의 PR코팅액이 분사되기 때문에 종래와 같이 EBR(Edge Bead Remover)공정이 필요없어 PR코팅액의 손실을 원천적으로 차단하는 탁월한 효과가 있다.As described so far, in the photoresist coating apparatus of the present invention, by applying an inkjet head, precise coating can be made at a required position without restrictions on the shape and pattern of various products, and since a quantity of PR coating liquid is sprayed, conventional There is no need for EBR (Edge Bead Remover) process, so it has an excellent effect of fundamentally blocking the loss of PR coating solution.

또한, 단일의 코팅장치를 통해 제품의 세정 및 PR코팅이 이루어지지기 때문에 코팅공정이 단축되는 기술적 효과 또한 탁월하다.In addition, the technical effect of shortening the coating process is also excellent because product cleaning and PR coating are performed through a single coating device.

이상, 본 발명의 포토레지스트 코팅장치를 바람직한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 설명하였으나, 이는 발명의 이해를 돕고자 하는 것일 뿐 발명의 기술적 범위를 이에 한정하고자 함이 아님은 물론이다.As described above, the photoresist coating apparatus of the present invention has been described with reference to preferred embodiments and the accompanying drawings, but this is of course not intended to limit the technical scope of the present invention only to help the understanding of the present invention.

즉, 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 않고도 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 다양한 변형이나 개조가 가능함은 물론이고, 그와 같은 변경이나 개조는 청구범위의 해석상 본 발명의 기술적 범위 내에 있음은 말할 나위가 없다.That is, without departing from the technical gist of the present invention, various modifications and alterations are possible by those skilled in the art to which the present invention pertains, and such changes or modifications are within the technical scope of the present invention in the interpretation of the claims. It goes without saying that it is within.

100 : 베이스 110 : X축로봇
200 : 스테이지 210 : 안착플레이트
211 : 관통홀 220 : 고정플레이트
221 : 가이드홀 222 : 이격부재
230 : 승강플레이트 231 : 승강봉
232 : 가이드부시 240 : UVW구동부
241 : 승강실린더 242 : 로드
250 : X축이동부재 300 : USC & 플라즈마 헤드
310 : 지지대 400 : 잉크젯헤드
410 : 이동수단 411 : Y축로봇
412 : Y축지지대 413 : Z축로봇
414 : 승강대 415 : Y축이동부재
500 : 얼라인비전 510 : 제1비전
520 : 제2비전 600 : 포토레지스트 코팅장치
P : 제품 C : PR코팅액100: Base 110: X-axis robot
200: stage 210: seating plate
211: through hole 220: fixed plate
221: guide hole 222: spacer member
230: lifting plate 231: lifting bar
232: guide bush 240: UVW driving part
241: elevating cylinder 242: rod
250: X-axis moving member 300: USC & plasma head
310: support 400: inkjet head
410: moving means 411: Y-axis robot
412: Y-axis support 413: Z-axis robot
414: lifting platform 415: Y-axis moving member
500: align vision 510: first vision
520: second vision 600: photoresist coating device
P : Product C : PR coating solution

Claims (9)

베이스(100) 상부에 배치된 X축로봇(110)에 이동 가능하게 설치된 상태로 제품(P)이 안착되며, 안착된 제품(P)을 X축방향으로 이동시키는 스테이지(200);
상기 스테이지(200)가 이동하는 경로상에 설치되며, 스테이지(200)에 안착된 상태로 이동하는 상기 제품(P) 표면을 세정하는 USC & 플라즈마 헤드(300); 및
상기 X축로봇(110) 상부로 교차되게 배치되어 Y축으로 이동 가능하게 설치되며, 이동하는 상기 제품(P) 표면으로 PR코팅액(C)을 분사하여 제품(P) 표면을 코팅하는 적어도 하나의 잉크젯헤드(400);을 포함하며,
상기 잉크젯헤드(400)에는 분사되는 PR코팅액의 크기가 10피코리터(pL) 이하가 되도록 복수개의 도트가 형성되며, 상기 PR코팅액은 상기 제품(P)의 형상 및 분사패턴에 맞게 상기 도트들의 개방을 제어하는 콘트롤러에 의해 제어되어 분사되는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 코팅장치.
a stage 200 on which the product P is seated in a movably installed state on the X-axis robot 110 disposed on the base 100 and moves the seated product P in the X-axis direction;
a USC & plasma head 300 installed on a path on which the stage 200 moves, and cleaning the surface of the product P moving in a state of being seated on the stage 200; and
The X-axis robot 110 is disposed to cross the upper portion, is installed movably in the Y-axis, and sprays the PR coating liquid (C) onto the surface of the moving product (P) to coat the surface of the product (P). It said including; ink-jet head 400
A plurality of dots are formed in the inkjet head 400 so that the size of the PR coating solution to be sprayed is 10 picoliters (pL) or less, and the PR coating solution opens the dots to match the shape and spray pattern of the product (P). Photoresist coating device, characterized in that the spray is controlled by the controller that controls the.
제1항에 있어서,
상기 스테이지(200)는,
판면을 관통하는 복수개의 관통홀(211)이 형성되며, 제품(P)이 안착되는 안착플레이트(210);
상기 안착플레이트(210)와 이격되게 하부로 배치되며, 상기 안착플레이트(210)를 지지하는 고정플레이트(220);
상기 안착플레이트(210)와 고정플레이트(220) 사이로 배치되며, 승강을 통해 상기 안착플레이트(210)에 안착된 상기 제품(P)을 안착플레이트(210)로부터 이격시키는 승강플레이트(230); 및
상기 X축로봇(110)에 이동 가능하게 설치되며, 상기 고정플레이트(220)를 X축로봇(110) 상에서 X-Y-θ 방향으로 이동시키는 UVW구동부(240);로 구성된 것을 특징으로 하는 포토레지스트 코팅장치.
According to claim 1,
The stage 200 is
A plurality of through-holes 211 penetrating the plate surface are formed, and the product (P) is seated on a seating plate 210;
a fixing plate 220 disposed at a lower portion to be spaced apart from the seating plate 210 and supporting the seating plate 210;
a lifting plate 230 disposed between the seating plate 210 and the fixing plate 220 and spaced apart from the seating plate 210 for the product P seated on the seating plate 210 through elevation; and
Photoresist coating, characterized in that it is movably installed on the X-axis robot 110, the UVW driving unit 240 for moving the fixed plate 220 in the XY-θ direction on the X-axis robot 110; Device.
 제2항에 있어서,
상기 UVW구동부(240)에는 상기 승강플레이트(230)를 승강시키는 승강실린더(241)가 구비되고,
상기 승강플레이트(230) 상면에는, 상승시 상기 안착플레이트(210)의 관통홀(211)을 관통하여 상기 제품(P)을 안착플레이트(210)로부터 이격시키는 복수개의 승강봉(231)이 구비되며,
상기 승강플레이트(230)의 하면에는 복수개의 가이드부시(232)가 구비되며, 상기 가이드부시(232)는 승강플레이트(230)의 승강을 가이드하도록 상기 고정플레이트(220)의 가이드홀(221)에 관통되게 설치된 것을 특징으로 하는 포토레지스트 코팅장치.
3. The method of claim 2,
The UVW driving unit 240 is provided with an elevating cylinder 241 for elevating the elevating plate 230,
A plurality of lifting rods 231 are provided on the upper surface of the lifting plate 230 to separate the product P from the seat plate 210 by penetrating the through hole 211 of the seat plate 210 when ascending. ,
A plurality of guide bushes 232 are provided on the lower surface of the elevating plate 230, and the guide bushes 232 are provided in the guide holes 221 of the fixed plate 220 to guide the elevating and lowering of the elevating plate 230. Photoresist coating device, characterized in that installed through it.
 제1항에 있어서,
상기 잉크젯헤드(400)는 X축로봇(110)과 교차하게 Y축방향으로 이동하는 이동수단(410)에 배치되되,
상기 이동수단(410)은,
X축로봇(110)과 교차하게 배치된 Y축로봇(411);
상기 Y축로봇(411)을 상기 X축로봇(110)의 상부로 이격되게 설치하는 Y축지지대(412); 및
상기 Y축로봇(411)에 Y축방향으로 이동 가능하게 설치되며, 상기 잉크젯헤드(400)가 고정된 상태로 Z축방향으로 승강하는 승강대(414)가 구비된 Z축로봇(413);으로 구성된 것을 특징으로 하는 포토레지스트 코팅장치.
According to claim 1,
The inkjet head 400 is disposed on a moving means 410 that crosses the X-axis robot 110 and moves in the Y-axis direction,
The moving means 410,
Y-axis robot 411 disposed to cross the X-axis robot 110;
a Y-axis support 412 for installing the Y-axis robot 411 to an upper portion of the X-axis robot 110 to be spaced apart; and
A Z-axis robot 413 that is installed movably in the Y-axis direction on the Y-axis robot 411, and is equipped with a lifting platform 414 that moves up and down in the Z-axis direction while the inkjet head 400 is fixed; Photoresist coating device, characterized in that configured.
 제4항에 있어서,
상기 Z축로봇(413)의 승강대(414)에는 데모 PR코팅 후 코팅상태를 검사하기 위한 제1비전(510)이 더 구비된 것을 특징으로 하는 포토레지스트 코팅장치.
5. The method of claim 4,
The photoresist coating apparatus, characterized in that the lift 414 of the Z-axis robot 413 is further equipped with a first vision 510 for inspecting the coating state after the demonstration PR coating.
 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 USC & 플라즈마 헤드(300)와 잉크젯헤드(400) 사이에는 상기 스테이지(200)에 안착된 제품(P)의 얼라인을 위한 적어도 하나의 얼라인비전(500)이 구비된 것을 특징으로 하는 포토레지스트 코팅장치.
According to claim 1,
Photo, characterized in that between the USC & plasma head 300 and the inkjet head 400, at least one alignment vision 500 for aligning the product P seated on the stage 200 is provided. resist coating device.
 제1항에 있어서,
상기 베이스(100)의 일측에는 승강대(414)에 설치된 상기 잉크젯헤드(400)의 얼라인을 위한 적어도 하나의 제2비전(520)이 더 구비된 것을 특징으로 하는 포토레지스트 코팅장치.



According to claim 1,
At one side of the base (100), at least one second vision (520) for aligning the inkjet head (400) installed on the lift (414) is further provided.
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