KR102274966B1 - Gas introduction mechanism and heat treatment apparatus - Google Patents

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Abstract

매니폴드와 인젝터 접속 부분에서의 가스 누설을 방지하는 것이 가능한 가스 도입 기구를 제공하는 것에 관한 것이다.
일 실시 형태의 가스 도입 기구는, 세로로 긴 처리 용기와, 상기 처리 용기의 내주벽의 길이 방향을 따라, 적어도 상기 처리 용기의 하부에 있어서 상기 내주벽과 간격을 갖고 설치된 인젝터와, 상기 인젝터를 하방으로부터 지지하는 매니폴드와, 상기 인젝터의 하부에 있어서, 상기 인젝터에 대해, 하방으로부터 상방을 향하는 가압력을 가하는 가압력 발생 부재와, 상기 인젝터가 상방으로 이동하는 것을 규제하는 규제 부재를 갖는다.It relates to providing a gas introduction mechanism capable of preventing gas leakage at a manifold and an injector connecting portion.
A gas introduction mechanism according to an embodiment includes a vertically elongated processing container, an injector installed at least in a lower portion of the processing container along a longitudinal direction of an inner peripheral wall of the processing container at a distance from the inner peripheral wall, and the injector; a manifold supported from below; a pressing force generating member for applying a pressing force from below to upward with respect to the injector under the injector; and a regulating member for regulating upward movement of the injector.

Description

가스 도입 기구 및 열처리 장치 {GAS INTRODUCTION MECHANISM AND HEAT TREATMENT APPARATUS}GAS INTRODUCTION MECHANISM AND HEAT TREATMENT APPARATUS

본 발명은 가스 도입 기구 및 열처리 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a gas introduction mechanism and a heat treatment apparatus.

종래부터, 처리 용기의 하단을 지지하는 매니폴드에 직관 형상의 인젝터를 설치하고, 인젝터를 통해 처리 용기 내에 가스를 공급하는 기판 처리 장치가 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조).DESCRIPTION OF RELATED ART Conventionally, the substrate processing apparatus which installs the injector of a straight tube shape in the manifold which supports the lower end of a processing container, and supplies gas into a processing container through the injector is known (for example, refer patent document 1).

일본 특허 공개 제2015-185578호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2015-185578

그런데, 직관 형상의 인젝터를 갖는 기판 처리 장치에서는, 매니폴드에 대해, 용이하게 인젝터를 설치 가능하게 하기 위하여, 매니폴드와 인젝터의 접속 부분에, 미세한 간극이 마련되어 있는 경우가 있다. 이 경우, 인젝터를 통해 처리 용기 내에 가스를 도입할 때, 상기의 간극으로부터 처리 용기 내에 가스가 누설될 우려가 있다.However, in a substrate processing apparatus having an injector having a straight tube shape, a minute gap may be provided in a connection portion between the manifold and the injector in order to enable easy installation of the injector with respect to the manifold. In this case, when gas is introduced into the processing vessel through the injector, there is a risk that gas may leak into the processing vessel through the gap.

그래서, 본 발명의 일 양태에서는, 매니폴드와 인젝터의 접속 부분에서의 가스 누설을 방지하는 것이 가능한 가스 도입 기구를 제공하는 것을 목적으로 한다.Then, in one aspect of this invention, it aims at providing the gas introduction mechanism which can prevent gas leakage in the connection part of a manifold and an injector.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 양태에 관한 가스 도입 기구는, 세로로 긴 처리 용기와, 상기 처리 용기의 내주벽의 길이 방향을 따라, 적어도 상기 처리 용기의 하부에 있어서 상기 내주벽과 간격을 갖고 설치된 인젝터와, 상기 인젝터를 하방으로부터 지지하는 매니폴드와, 상기 인젝터의 하부에 있어서, 상기 인젝터에 대해, 하방으로부터 상방을 향하는 가압력을 가하는 가압력 발생 부재와, 상기 인젝터가 상방으로 이동하는 것을 규제하는 규제 부재를 갖는다.In order to achieve the above object, a gas introduction mechanism according to an aspect of the present invention includes a vertically elongated processing vessel, and at least a lower portion of the processing vessel along the longitudinal direction of the inner circumferential wall of the processing vessel; An injector installed at a distance, a manifold supporting the injector from below, a pressing force generating member for applying a pressing force from below to upward with respect to the injector under the injector, wherein the injector moves upward It has a lack of regulation that regulates it.

개시된 가스 도입 기구에 의하면, 매니폴드와 인젝터 접속 부분에서의 가스 누설을 방지할 수 있다.According to the disclosed gas introduction mechanism, it is possible to prevent gas leakage from the manifold and the injector connecting portion.

도 1은 제1 실시 형태에 관한 가스 도입 기구 및 열처리 장치의 일례의 개략도.
도 2는 제1 실시 형태에 관한 가스 도입 기구의 일례의 개략도(1).
도 3은 제1 실시 형태에 관한 가스 도입 기구의 일례의 개략도(2).
도 4는 제1 실시 형태에 관한 가스 도입 기구의 일례의 개략도(3).
도 5는 제2 실시 형태에 관한 가스 도입 기구의 일례의 개략도(1).
도 6은 제2 실시 형태에 관한 가스 도입 기구의 일례의 개략도(2).
도 7은 제2 실시 형태에 관한 가스 도입 기구의 일례의 개략도(3).
도 8은 제2 실시 형태에 관한 가스 도입 기구의 일례의 개략도(4).1 is a schematic view of an example of a gas introduction mechanism and a heat treatment apparatus according to a first embodiment;
2 is a schematic diagram (1) of an example of a gas introduction mechanism according to the first embodiment.
3 is a schematic diagram (2) of an example of a gas introduction mechanism according to the first embodiment.
4 is a schematic diagram (3) of an example of a gas introduction mechanism according to the first embodiment.
5 is a schematic diagram (1) of an example of a gas introduction mechanism according to the second embodiment.
6 is a schematic diagram (2) of an example of a gas introduction mechanism according to the second embodiment.
7 is a schematic diagram (3) of an example of a gas introduction mechanism according to the second embodiment.
Fig. 8 is a schematic diagram (4) of an example of a gas introduction mechanism according to the second embodiment.

이하, 본 발명을 실시하기 위한 형태에 대해 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 본 명세서 및 도면에 있어서, 실질적으로 동일한 구성에 대해서는, 동일한 부호를 부여함으로써 중복된 설명을 생략한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the form for implementing this invention is demonstrated with reference to drawings. In addition, in this specification and drawing, about the substantially same structure, the overlapping description is abbreviate|omitted by attaching|subjecting the same reference numeral.

〔제1 실시 형태〕[First Embodiment]

제1 실시 형태에 관한 가스 도입 기구 및 열처리 장치에 대해 설명한다. 도 1은, 제1 실시 형태에 관한 가스 도입 기구 및 열처리 장치의 일례의 개략도이다.A gas introduction mechanism and a heat treatment apparatus according to the first embodiment will be described. 1 is a schematic diagram of an example of a gas introduction mechanism and a heat treatment apparatus according to a first embodiment.

제1 실시 형태에 관한 가스 도입 기구는, 처리 대상, 처리 내용은 특별히 한정되지 않고 가스를 처리 용기 내에 공급하여 처리를 행하는 다양한 기판 처리 장치에 적용 가능하지만, 제1 실시 형태에서는, 기판에 열처리를 행하는 열처리 장치에 적용한 경우를 예로 들어 설명한다.The gas introduction mechanism according to the first embodiment is applicable to various substrate processing apparatuses for processing by supplying a gas into a processing container without particularly limited processing target and processing contents. In the first embodiment, heat treatment is applied to the substrate. A case where it is applied to a heat treatment apparatus to be performed is described as an example.

도 1에 도시된 바와 같이, 열처리 장치는, 반도체 웨이퍼(이하 단순히 「웨이퍼 W」라고 함)를 수용하는 세로로 긴 처리 용기(10)를 갖고 있다.As shown in FIG. 1 , the heat treatment apparatus has a vertically elongated processing vessel 10 for accommodating semiconductor wafers (hereinafter simply referred to as “wafer W”).

처리 용기(10)는, 내열성이 높은 석영에 의해 대략 원통체 형상으로 성형되고, 천장에 배기구(11)를 갖는다. 처리 용기(10)는, 연직 방향(상하 방향)으로 연장하는 종형의 형상으로 구성되어 있다. 처리 용기(10)의 직경은, 예를 들어 처리되는 웨이퍼 W의 직경이 300㎜인 경우에는, 350 내지 450㎜ 정도의 범위로 설정된다. 처리 용기(10)의 천장부의 배기구(11)에는, 가스 배기 포트(20)가 접속된다.The processing container 10 is molded into a substantially cylindrical shape by quartz with high heat resistance, and has an exhaust port 11 on the ceiling. The processing container 10 is configured in a vertical shape extending in the vertical direction (up-down direction). The diameter of the processing container 10 is set in the range of about 350 to 450 mm, for example, when the diameter of the wafer W to be processed is 300 mm. A gas exhaust port 20 is connected to the exhaust port 11 of the ceiling portion of the processing container 10 .

가스 배기 포트(20)는, 예를 들어 배기구(11)로부터 연장하여 직각으로 가로 방향으로 L자 형상으로 굴곡된 석영관에 의해 형성된다. 가스 배기 포트(20)에는, 처리 용기(10) 내의 분위기를 배기하는 진공 배기계(30)가 접속된다.The gas exhaust port 20 is formed, for example, by a quartz tube extending from the exhaust port 11 and bent in an L-shape in the transverse direction at right angles. The gas exhaust port 20 is connected to a vacuum exhaust system 30 that exhausts the atmosphere in the processing container 10 .

진공 배기계(30)는, 가스 배기 포트(20)에 연결되는 가스 배기관(31)을 갖고 있다. 가스 배기관(31)은, 예를 들어 스테인리스강 등의 금속에 의해 형성된다. 가스 배기관(31)의 중간에는, 개폐 밸브(32), 버터 플라이 밸브 등의 압력 조정 밸브(33) 및 진공 펌프(34)가 순차 개재 설치되어 있고, 처리 용기(10) 내의 압력을 조정하면서 진공으로 배기할 수 있도록 되어 있다. 또한, 가스 배기 포트(20)의 내경은, 가스 배기관(31)의 내경과 동일하게 설정되어 있다.The vacuum exhaust system 30 has a gas exhaust pipe 31 connected to the gas exhaust port 20 . The gas exhaust pipe 31 is formed of, for example, a metal such as stainless steel. In the middle of the gas exhaust pipe 31 , an on/off valve 32 , a pressure regulating valve 33 such as a butterfly valve 33 , and a vacuum pump 34 are sequentially interposed therebetween, and vacuum while adjusting the pressure in the processing container 10 . is designed to be exhausted. In addition, the inner diameter of the gas exhaust port 20 is set equal to the inner diameter of the gas exhaust pipe 31 .

가열 수단(40)은, 처리 용기(10)의 외주에, 처리 용기(10)를 둘러싸도록 하여 설치되어 있다. 가열 수단(40)은, 처리 용기(10) 내에 위치하는 웨이퍼 W를 가열할 수 있게 되어 있다. 가열 수단(40)의 외주에는 단열재(50)가 설치되어 있어, 열적 안정성을 확보하도록 되어 있다.The heating means 40 is provided on the outer periphery of the processing container 10 so as to surround the processing container 10 . The heating means 40 can heat the wafer W located in the processing container 10 . A heat insulating material 50 is provided on the outer periphery of the heating means 40 to ensure thermal stability.

덮개(60)는, 처리 용기(10)의 하단부의 개구를 개폐 가능하게 설치되어 있다. 덮개(60)를 이동시켜 개구를 개방함으로써, 웨이퍼 W를 반입출할 수 있게 되어 있다.The lid 60 is provided so that the opening of the lower end of the processing container 10 can be opened and closed. By moving the lid 60 and opening the opening, the wafer W can be loaded in and out.

승강 기구(70)는, 예를 들어 보트 엘리베이터이며, 선단에 회전축(72)이 설치된 아암(71)을 지지한다. 승강 기구(70)는, 덮개(60), 웨이퍼 보트(80) 등을 일체적으로 승강시킨다.The raising/lowering mechanism 70 is, for example, a boat elevator, and supports the arm 71 in which the rotating shaft 72 was provided at the front-end|tip. The lifting mechanism 70 integrally raises and lowers the lid 60 , the wafer boat 80 , and the like.

웨이퍼 보트(80)는, 상하 방향으로 복수매의 웨이퍼 W를 이격한 상태에서 보유 지지한다. 웨이퍼 보트(80)가 보유 지지하는 웨이퍼의 매수는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 50 내지 150매로 할 수 있다. 웨이퍼 보트(80)는, 석영에 의해 형성된 보온통(75)을 개재해서 테이블(74) 상에 적재되어 있다. 테이블(74)은, 처리 용기(10)의 하단 개구부를 개폐하는 덮개(60)를 관통하는 회전축(72)의 상단부에 지지된다. 회전축(72)의 관통부에는, 예를 들어 자성 유체 시일(73)이 개재 설치되어, 회전축(72)을 기밀하게 시일한 상태에서 회전 가능하게 지지하고 있다. 또한, 덮개(60)의 주변부와 처리 용기(10)의 하단부에는, 예를 들어 O-링 등의 시일 부재(61)가 개재 설치되어 있고, 처리 용기(10) 내의 시일성을 보유 지지하고 있다. 또한, 테이블(74)을, 덮개(60)측에 고정해서 설치하여, 웨이퍼 보트(80)를 회전시키지 않고 웨이퍼 W의 처리를 행하도록 해도 된다.The wafer boat 80 holds a plurality of wafers W in the vertical direction in a spaced apart state. Although the number of wafers held by the wafer boat 80 is not specifically limited, For example, it can be set as 50-150 sheets. The wafer boat 80 is mounted on the table 74 via a heat insulating tube 75 formed of quartz. The table 74 is supported by the upper end of the rotating shaft 72 penetrating the lid 60 that opens and closes the lower end opening of the processing container 10 . A magnetic fluid seal 73 is interposed in the penetrating portion of the rotation shaft 72 , and is rotatably supported in a state in which the rotation shaft 72 is hermetically sealed. In addition, a sealing member 61 such as an O-ring is interposed between the peripheral portion of the lid 60 and the lower end of the processing vessel 10 , and the sealing property within the processing vessel 10 is maintained. . In addition, the table 74 may be fixed and installed on the lid 60 side, and the wafer W may be processed without rotating the wafer boat 80 .

매니폴드(90)는, 처리 용기(10)의 하단부에 설치되고, 처리 용기(10)의 내주벽을 따라 연장하는 부분과, 반경 방향의 외측을 향하여 연장하는 플랜지상의 부분을 갖는다. 매니폴드(90)는, 처리 용기(10)와는 다른 부품으로 구성되지만, 처리 용기(10)의 측벽과 일체적으로 설치되어, 처리 용기(10)의 측벽의 일부를 구성하도록 설치된다. 매니폴드(90)는, 인젝터(100)를 지지한다.The manifold 90 is provided at the lower end of the processing vessel 10 and includes a portion extending along the inner peripheral wall of the processing vessel 10 and a flange-like portion extending radially outward. Although the manifold 90 is constituted by a different component from the processing container 10 , it is provided integrally with the sidewall of the processing container 10 to constitute a part of the sidewall of the processing container 10 . The manifold 90 supports the injector 100 .

인젝터(100)는, 처리 용기(10) 내에 가스를 공급하기 위한 가스 공급 수단이며, 석영에 의해 형성된다. 즉, 인젝터(100)는, 석영관으로 할 수 있다. 인젝터(100)는, 처리 용기(10)의 내주벽의 길이 방향을 따라, 적어도 처리 용기(10)의 하부에 있어서 내주벽과 간격을 갖고 마련되어 있다. 인젝터(100)에는, 그 길이 방향을 따라서 복수의 토출 구멍(102)이 소정의 간격을 갖고 형성되어 있으며, 각각의 토출 구멍(102)으로부터 수평 방향을 향하여 거의 균일하게 가스를 토출할 수 있도록 되어 있다.The injector 100 is a gas supply means for supplying gas into the processing container 10 , and is formed of quartz. That is, the injector 100 may be a quartz tube. The injector 100 is provided along the longitudinal direction of the inner peripheral wall of the processing container 10 at least in the lower part of the processing container 10 to have an interval from the inner peripheral wall. In the injector 100, a plurality of discharge holes 102 are formed at predetermined intervals along the longitudinal direction, and gas can be discharged substantially uniformly from each discharge hole 102 in the horizontal direction. have.

가스 공급계(110)는, 인젝터(100)에 가스를 공급한다. 가스 공급계(110)는, 인젝터(100)에 연통되는 가스 배관(111)을 갖고 있다. 가스 배관(111)은, 예를 들어 스테인리스강 등의 금속에 의해 형성된다. 가스 배관(111)의 중간에는, 매스 플로우 컨트롤러 등의 유량 제어기(113) 및 개폐 밸브(112)가 순차 개재 설치되어서, 처리 가스의 유량을 제어하면서 공급할 수 있게 되어 있다. 열처리에 필요한 다른 처리 가스도, 같은 가스 공급계(110) 및 매니폴드(90)를 통해 공급된다.The gas supply system 110 supplies gas to the injector 100 . The gas supply system 110 has a gas pipe 111 communicating with the injector 100 . The gas pipe 111 is formed of, for example, a metal such as stainless steel. A flow rate controller 113 such as a mass flow controller and an on/off valve 112 are sequentially interposed in the middle of the gas pipe 111 to supply the process gas while controlling the flow rate. Other processing gases required for the heat treatment are also supplied through the same gas supply system 110 and the manifold 90 .

베이스 플레이트(120)는, 처리 용기(10)의 하단부의 매니폴드(90)의 주변부를 지지하는 부재이며, 예를 들어 스테인리스강에 의해 형성된다. 베이스 플레이트(120)는, 처리 용기(10)의 하중을 지지한다. 베이스 플레이트(120)의 하방은, 도시하지 않은 웨이퍼 이송 탑재 기구를 갖는 웨이퍼 이송실로 되어 있고, 대략 대기압의 질소 가스 분위기로 되어 있다. 또한, 베이스 플레이트(120)의 상방은, 통상의 클린 룸의 청정한 공기의 분위기로 되어 있다.The base plate 120 is a member that supports the peripheral portion of the manifold 90 of the lower end of the processing vessel 10 , and is formed of, for example, stainless steel. The base plate 120 supports the load of the processing vessel 10 . Below the base plate 120 is a wafer transfer chamber having a wafer transfer and mounting mechanism (not shown), in a nitrogen gas atmosphere at substantially atmospheric pressure. Moreover, the upper side of the base plate 120 is an atmosphere of the clean air of a normal clean room.

규제 부재(130)는, 매니폴드(90)에 의해 지지된 인젝터(100)가 상방으로 이동하는 것을 규제하는 부재이다. 규제 부재(130)의 상세에 대해서는 후술한다.The regulating member 130 is a member regulating the upward movement of the injector 100 supported by the manifold 90 . Details of the regulating member 130 will be described later.

이어서, 제1 실시 형태에 관한 열처리 장치에 있어서의 가스 도입 기구에 대해 상세히 설명한다. 도 2 내지 도 4는, 제1 실시 형태에 관한 가스 도입 기구의 일례의 개략도이다. 도 2는 가스 도입 기구의 개략 사시도이며, 도 3은 도 2에 있어서의 규제 부재를 장착하기 전의 가스 도입 기구의 개략 사시도이며, 도 4는 도 3의 가스 도입 기구를 화살표 A의 방향으로부터 보았을 때의 개략 사시도이다.Next, a gas introduction mechanism in the heat treatment apparatus according to the first embodiment will be described in detail. 2 to 4 are schematic views of an example of the gas introduction mechanism according to the first embodiment. Fig. 2 is a schematic perspective view of the gas introduction mechanism, Fig. 3 is a schematic perspective view of the gas introduction mechanism before mounting the regulating member in Fig. 2, and Fig. 4 is a view of the gas introduction mechanism of Fig. 3 from the direction of arrow A is a schematic perspective view of

도 2 내지 도 4에 나타낸 바와 같이, 가스 도입 기구는, 매니폴드(90)와, 인젝터(100)와, 규제 부재(130)와, 용접 벨로우즈(140)를 갖는다.2 to 4 , the gas introduction mechanism includes a manifold 90 , an injector 100 , a regulating member 130 , and a welding bellows 140 .

매니폴드(90)는, 인젝터 지지부(91)와, 가스 도입부(98)를 갖는다. 인젝터 지지부(91)는, 처리 용기(10)의 내주벽을 따라 상하 방향으로 연장되는 부분이며, 인젝터(100)의 하단부를 밖에서 끼움 지지 가능한 오목부(92)를 갖는다. 오목부(92)는, 인젝터(100)의 하단부가 삽입되었을 때, 인젝터(100)를 연직되도록 서게 한 상태에서 지지할 수 있는 높이를 갖는다. 오목부(92)에 인젝터(100)의 하단부인 삽입부(103)가 삽입됨으로써, 인젝터(100)가 지지된다. 오목부(92)는, 소경부(93)와, 소경부(93)보다도 개구 직경이 큰 대경부(94)와, 소경부(93)과 대경부(94)를 접속하는 단차부(95)를 갖는다. 대경부(94)는, 소경부(93)의 상방으로 형성되어 있다. 가스 도입부(98)는, 인젝터 지지부(91)로부터 반경 방향의 외측으로 연장하고, 처리 용기(10)의 외측으로 노출되는 부분이며, 가스 도입로(99)를 갖는다.The manifold 90 has an injector support part 91 and a gas introduction part 98 . The injector support part 91 is a portion extending in the vertical direction along the inner peripheral wall of the processing container 10 , and has a concave part 92 capable of externally fitting the lower end of the injector 100 . The concave portion 92 has a height capable of supporting the injector 100 in a vertically standing state when the lower end of the injector 100 is inserted. The injector 100 is supported by inserting the insertion part 103 that is the lower end of the injector 100 into the recess 92 . The concave portion 92 includes a small diameter portion 93 , a large diameter portion 94 having an opening diameter larger than that of the small diameter portion 93 , and a step portion 95 connecting the small diameter portion 93 and the large diameter portion 94 . has The large-diameter portion 94 is formed above the small-diameter portion 93 . The gas introduction portion 98 extends radially outward from the injector support portion 91 , is a portion exposed to the outside of the processing vessel 10 , and has a gas introduction passage 99 .

인젝터(100)는, 직관부(101)와, 토출 구멍(102)와, 삽입부(103)와, 플랜지부(104)와, 개구부(105)를 갖는다. 직관부(101)는, 처리 용기(10)의 내주벽의 길이 방향을 따라서 설치되어 있다. 토출 구멍(102)은, 직관부(101)의 길이 방향을 따라서 소정의 간격을 갖고 복수 형성되어 있고, 각각의 토출 구멍(102)으로부터 수평 방향을 향하여 대략 균일하게 가스를 토출할 수 있게 되어 있다(도 1 참조). 삽입부(103)는, 인젝터(100)의 하단부에 형성되어 있고, 소경부(93)에 삽입되는 부분이다. 삽입부(103)의 외경은, 소경부(93)의 개구 직경과 동일하거나 또는 약간 작아지도록 형성되어 있다. 이에 의해, 삽입부(103)가 소경부(93)에 삽입 가능하게 되었다. 삽입부(103)의 길이는, 소경부(93)의 높이보다도 길고, 대경부(94)와 소경부(93)의 합계 높이보다도 작아지도록 형성되어 있다. 그로 인하여, 삽입부(103)의 외주면과 대경부(94)의 내주면 사이에는 간극이 형성되어 있다. 플랜지부(104)는, 직관부(101)와 삽입부(103) 사이에 있어서, 외주면으로부터 반경 방향의 외측으로 연장하여 형성된 부분이다. 플랜지부(104)의 하면과 단차부(95) 사이에는, 대경부(94)의 내주면, 단차부(95), 삽입부(103)의 외주면 및 플랜지부(104)의 하면에 의해 둘러싸인 공간 S가 형성되어 있다. 플랜지부(104)는, 공간 S에 배치되는 용접 벨로우즈(140)를 통해 단차부(95)과 걸림 결합 가능하게 되어 있다. 플랜지부(104)의 외경은, 소경부(93)의 개구 직경보다도 크고, 대경부(94)의 개구 직경보다도 약간 작아지도록 형성되어 있다. 이에 의해, 인젝터(100)를 오목부(92)에 삽입했을 때, 플랜지부(104)의 외주면과 대경부(94)의 내주면 사이에는 간극 D가 형성된다. 또한, 플랜지부(104)의 상면은, 용접 벨로우즈(140)의 탄성력에 의해 규제 부재(130)의 하면에 맞닿음 가능하게 되었다. 개구부(105)는, 삽입부(103)의 측면에 형성되어 있고, 가스 도입로(99)와 연통한다. 가스 공급계(110)로부터 공급되는 가스는, 가스 도입로(99), 개구부(105) 및 토출 구멍(102)을 통하여, 처리 용기(10) 내에 공급된다.The injector 100 has a straight pipe portion 101 , a discharge hole 102 , an insertion portion 103 , a flange portion 104 , and an opening 105 . The straight pipe part 101 is provided along the longitudinal direction of the inner peripheral wall of the processing container 10 . A plurality of discharge holes 102 are formed at predetermined intervals along the longitudinal direction of the straight pipe portion 101, and gas can be discharged substantially uniformly from each discharge hole 102 in the horizontal direction. (See Fig. 1). The insertion portion 103 is formed at the lower end of the injector 100 and is inserted into the small-diameter portion 93 . The outer diameter of the insertion portion 103 is formed to be equal to or slightly smaller than the opening diameter of the small-diameter portion 93 . As a result, the insertion portion 103 can be inserted into the small-diameter portion 93 . The length of the insertion portion 103 is longer than the height of the small-diameter portion 93 , and is formed to be smaller than the total height of the large-diameter portion 94 and the small-diameter portion 93 . Therefore, a gap is formed between the outer peripheral surface of the insertion portion 103 and the inner peripheral surface of the large-diameter portion 94 . The flange portion 104 is a portion formed between the straight pipe portion 101 and the insertion portion 103 to extend radially outward from the outer peripheral surface. Between the lower surface of the flange portion 104 and the stepped portion 95 , a space S surrounded by the inner peripheral surface of the large diameter portion 94 , the stepped portion 95 , the outer peripheral surface of the insertion portion 103 , and the lower surface of the flange portion 104 . is formed. The flange portion 104 is capable of engaging with the step portion 95 via the welding bellows 140 disposed in the space S. The outer diameter of the flange portion 104 is larger than the opening diameter of the small-diameter portion 93 and is formed so as to be slightly smaller than the opening diameter of the large-diameter portion 94 . Accordingly, when the injector 100 is inserted into the recess 92 , a gap D is formed between the outer peripheral surface of the flange portion 104 and the inner peripheral surface of the large-diameter portion 94 . Further, the upper surface of the flange portion 104 can be brought into contact with the lower surface of the regulating member 130 by the elastic force of the welding bellows 140 . The opening 105 is formed on the side surface of the insertion part 103 and communicates with the gas introduction path 99 . The gas supplied from the gas supply system 110 is supplied into the processing container 10 through the gas introduction path 99 , the opening 105 , and the discharge hole 102 .

규제 부재(130)는, 오목부(92)에 삽입된 인젝터(100)가 오목부(92)로부터 빠지는 것을 규제하는 부재이다. 규제 부재(130)는, 내경이 직관부(101)의 외경보다도 크고, 플랜지부(104)의 외경보다도 작은 삽입 관통 구멍(131)을 갖는다. 규제 부재(130)는, 인젝터(100)를 오목부(92)에 삽입한 후, 인젝터 지지부(91)의 상면에 고정 나사 등을 사용하여 장착된다. 이에 따라, 인젝터(100)가 오목부(92)부터 상방으로 빠지는 방향의 힘이 가해진 경우, 플랜지부(104)의 상면이 규제 부재(130)의 하면에 맞닿아, 인젝터(100)가 오목부(92)로부터 빠지는 것이 규제된다. 또한, 플랜지부(104)와 규제 부재(130)의 위치 정렬이나 어긋남 방지의 관점에서, 플랜지부(104)의 상면 및 규제 부재(130)의 하면에 요철 등의 걸림 결합부를 형성하는 것이 바람직하다.The regulating member 130 is a member for regulating that the injector 100 inserted into the concave portion 92 is removed from the concave portion 92 . The regulating member 130 has an insertion hole 131 whose inner diameter is larger than the outer diameter of the straight tube portion 101 and smaller than the outer diameter of the flange portion 104 . After inserting the injector 100 into the recess 92 , the regulating member 130 is mounted on the upper surface of the injector support 91 using a fixing screw or the like. Accordingly, when a force in a direction in which the injector 100 is pulled out from the concave portion 92 upward is applied, the upper surface of the flange portion 104 abuts against the lower surface of the regulating member 130 , and the injector 100 moves into the concave portion. The withdrawal from (92) is regulated. In addition, from the viewpoint of alignment or misalignment of the flange portion 104 and the regulating member 130 , it is preferable to form engaging portions such as irregularities on the upper surface of the flange portion 104 and the lower surface of the regulating member 130 . .

용접 벨로우즈(140)는, 오목부(92) 내에 설치되고, 인젝터(100)에 비해, 오목부(92)로부터 빠지는 방향의 가압력을 추가하여 인젝터(100)를 규제 부재(130)에 맞닿게 하는 가압력 발생 부재이다. 용접 벨로우즈(140)는, 공간 S에 설치되고, 일단부(하단)가 단차부(95)에 고정되고, 타단부(상단)가 플랜지부(104)의 하면에 고정되어 있다. 이에 의해, 공간 S는, 용접 벨로우즈(140)를 끼고 삽입부(103)측의 공간 S1과 오목부(92)의 측면측의 공간 S2로 분리된다. 이에 의해, 가스 도입로(99)와 개구부(105)의 연통 부분으로부터 오목부(92) 내의 공간 S1에 가스가 누설된 경우에도, 공간 S1이 용접 벨로우즈(140)에 의해 밀봉되어 있으므로, 공간 S1로부터 공간 S2에 가스가 누설되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 용접 벨로우즈(140)의 탄성력에 의해, 플랜지부(104)에 가압력이 가해지고, 플랜지부(104)의 상면이 규제 부재(130)의 하면에 맞닿고 있다. 이와 같이, 용접 벨로우즈(140)의 탄성 변형에 의해 생기는 힘에 의해, 플랜지부(104)는 규제 부재(130)의 하면에 상시 눌러지고 있으므로, 매니폴드(90)에 대한 인젝터(100)의 유극을 억제할 수 있다.The welding bellows 140 is installed in the concave portion 92 , compared to the injector 100 , and adds a pressing force in the direction of withdrawing from the concave portion 92 to bring the injector 100 into contact with the regulating member 130 . It is a pressing force generating member. The welding bellows 140 is installed in the space S, one end (lower end) is fixed to the step portion 95 , and the other end (upper end) is fixed to the lower surface of the flange portion 104 . Thereby, the space S is separated into the space S1 on the side of the insertion part 103 and the space S2 on the side surface of the recessed part 92 via the welding bellows 140. As shown in FIG. Accordingly, even when gas leaks into the space S1 in the recess 92 from the communication portion between the gas introduction passage 99 and the opening 105 , since the space S1 is sealed by the welding bellows 140 , the space S1 It is possible to prevent the gas from leaking into the space S2 from the In addition, a pressing force is applied to the flange portion 104 by the elastic force of the welding bellows 140 , and the upper surface of the flange portion 104 is in contact with the lower surface of the regulating member 130 . As described above, since the flange portion 104 is always pressed against the lower surface of the regulating member 130 by the force generated by the elastic deformation of the welding bellows 140 , the clearance of the injector 100 with respect to the manifold 90 . can be suppressed.

이상에서 설명한 바와 같이 제1 실시 형태에 관한 가스 도입 기구에서는, 오목부(92) 내의 공간 S에 있어서, 일단부가 단차부(95)에 고정되어, 타단부가 플랜지부(104)의 하면에 고정된 용접 벨로우즈(140)를 갖는다. 이에 의해, 매니폴드(90)의 가스 도입로(99)와 인젝터(100)의 개구부(105)의 연통 부분으로부터 공간 S1에 가스가 누설된 경우에도, 공간 S1이 용접 벨로우즈(140)에 의해 밀봉되어 있으므로, 공간 S1로부터 공간 S2에 가스가 누설되는 것을 방지할 수 있다. 즉, 매니폴드(90)와 인젝터(100)의 접속 부분에서의 가스 누설을 방지할 수 있다.As described above, in the gas introduction mechanism according to the first embodiment, in the space S in the recess 92 , one end is fixed to the stepped portion 95 , and the other end is fixed to the lower surface of the flange portion 104 . It has a welded bellows (140). Accordingly, even when gas leaks into the space S1 from the communication portion between the gas introduction path 99 of the manifold 90 and the opening 105 of the injector 100 , the space S1 is sealed by the welding bellows 140 . Therefore, it is possible to prevent gas from leaking from the space S1 to the space S2. That is, it is possible to prevent gas leakage from the connection portion between the manifold 90 and the injector 100 .

또한, 매니폴드(90)와 인젝터(100)의 접속 부분으로부터 처리 용기(10) 내로의 가스의 누설을 방지할 수 있으므로, 처리 용기(10) 내의 웨이퍼 W에는, 인젝터(100)의 토출 구멍(102)만으로부터 가스가 토출된다. 그로 인하여, 웨이퍼 W에 성막되는 막의 면내 균일성 및 면간 균일성이 향상된다. 이에 반하여, 매니폴드(90)와 인젝터(100)의 접속 부분으로부터 처리 용기(10) 내로의 가스의 누설이 있는 경우, 처리 용기(10) 내의 웨이퍼 W에는, 인젝터(100)의 토출 구멍(102)으로부터 뿐만 아니라, 처리 용기(10)의 하방으로부터도 가스가 토출된다. 그로 인하여, 처리 용기(10) 내의 하방에 위치하는 웨이퍼 W에서는, 중심부보다도 주변부의 막 두께가 두꺼워지는 등, 면내 균일성이 악화되는 경우가 있다. 또한, 처리 용기(10)의 상방에 위치하는 웨이퍼 W에 토출되는 가스의 양과, 하방에 위치하는 웨이퍼 W에 토출되는 가스의 양의 균형이 깨지기 때문에, 면간 균일성이 악화되는 경우가 있다.In addition, since it is possible to prevent gas leakage into the processing vessel 10 from the connection portion between the manifold 90 and the injector 100 , the wafer W in the processing vessel 10 has a discharge hole ( 102), gas is discharged from the bay. Accordingly, the in-plane uniformity and inter-plane uniformity of the film formed on the wafer W are improved. On the other hand, when gas leaks into the processing vessel 10 from the connection portion between the manifold 90 and the injector 100 , the wafer W in the processing vessel 10 has a discharge hole 102 of the injector 100 . ) as well as from the lower side of the processing vessel 10 . For this reason, in the wafer W located below the processing chamber 10, the film thickness of the peripheral part becomes thicker than the central part, and in-plane uniformity may deteriorate. In addition, since the balance between the amount of gas discharged to the wafer W positioned above the processing chamber 10 and the amount of gas discharged to the wafer W positioned below the processing chamber 10 is out of balance, the interplanar uniformity may deteriorate.

또한, 제1 실시 형태에 관한 가스 도입 기구에서는, 용접 벨로우즈(140)의 탄성력에 의해, 플랜지부(104)에 가압력이 가해지고, 플랜지부(104)의 상면이 규제 부재(130)의 하면에 맞닿아 있다. 이와 같이, 용접 벨로우즈(140)의 탄성 변형에 의해 생기는 힘에 의해, 플랜지부(104)는 규제 부재(130)의 하면에 상시 눌러지고 있으므로, 매니폴드(90)에 대한 인젝터(100)의 유극을 억제할 수 있다. 특히, 인젝터(100)에 대유량의 가스를 공급했을 경우에, 인젝터(100)가 부상하는 등, 상하 방향으로 이동되는 것을 방지할 수 있다.Further, in the gas introduction mechanism according to the first embodiment, a pressing force is applied to the flange portion 104 by the elastic force of the welding bellows 140 , and the upper surface of the flange portion 104 is attached to the lower surface of the regulating member 130 . are abutting As described above, since the flange portion 104 is always pressed against the lower surface of the regulating member 130 by the force generated by the elastic deformation of the welding bellows 140 , the clearance of the injector 100 with respect to the manifold 90 . can be suppressed. In particular, when a large flow rate of gas is supplied to the injector 100 , it is possible to prevent the injector 100 from moving in the vertical direction, such as floating.

〔제2 실시 형태〕 [Second Embodiment]

제2 실시 형태에 관한 가스 도입 기구 및 열처리 장치에 대해 설명한다. 도 5 내지 도 8은, 제2 실시 형태에 관한 가스 도입 기구의 일례의 개략도이다. 도 5는 가스 도입 기구를 분해했을 때의 개략 사시도이며, 도 6은 가스 도입 기구의 개략 상면도이며, 도 7은 도 6에 있어서의 일점 쇄선 A-A에 있어서 절단한 단면도이며, 도 8은 도 6에 있어서의 일점 쇄선 B-B에 있어서 절단한 단면도이다.A gas introduction mechanism and a heat treatment apparatus according to the second embodiment will be described. 5 to 8 are schematic views of an example of the gas introduction mechanism according to the second embodiment. 5 is a schematic perspective view when the gas introduction mechanism is disassembled, FIG. 6 is a schematic top view of the gas introduction mechanism, FIG. 7 is a cross-sectional view taken along the dash-dotted line AA in FIG. 6 , FIG. 8 is FIG. It is sectional drawing cut|disconnected in dash-dotted line BB in.

제2 실시 형태에 관한 가스 도입 기구 및 열처리 장치는, 매니폴드(90)와 일체로서 형성된 규제 부재인 규제부(96)를 갖고 있는 점에서, 제1 실시 형태와 상이하다. 그 밖의 구성에 대해서는, 제1 실시 형태에 관한 가스 도입 기구 및 열처리 장치와 마찬가지이므로, 대응하는 구성 요소에는 동일한 참조 부호를 부여하고 그 설명을 생략한다.The gas introduction mechanism and the heat treatment apparatus according to the second embodiment are different from the first embodiment in that they have a regulating unit 96 that is a regulating member formed integrally with the manifold 90 . Since the other structures are the same as those of the gas introduction mechanism and the heat treatment apparatus according to the first embodiment, the same reference numerals are assigned to the corresponding components, and descriptions thereof are omitted.

도 5 내지 도 8에 나타낸 바와 같이, 가스 도입 기구는, 매니폴드(90)와 일체로서 형성되고, 끼워 맞춤 구멍(97)을 갖는 규제부(96)와, 끼워 맞춤 구멍(97)에 끼워 맞추는 플랜지부(104)를 갖는 인젝터(100)를 갖는다.As shown in FIGS. 5 to 8 , the gas introduction mechanism is formed integrally with the manifold 90 and includes a regulating part 96 having a fitting hole 97 and a fitting hole 97 fitted therein. It has an injector 100 having a flange portion 104 .

규제부(96)는, 매니폴드(90)에 형성된 오목부(92)(대경부(94))의 상방으로 형성되어 있다. 규제부(96)는, 매니폴드(90)에 의해 지지된 인젝터(100)가 오목부(92)로부터 빠지는 것을 규제하는 부분이다. 규제부(96)에는, 상하 방향으로 관통하는 끼워 맞춤 구멍(97)이 형성되어 있다. 끼워 맞춤 구멍(97)은, 삽입부(103) 및 플랜지부(104)를 삽입 관통 가능하게 구성되어 있다. 끼워 맞춤 구멍(97)은, 예를 들어 도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 구멍의 형상이 이면 커트 형상으로 형성된 이면 커트 구멍이면 된다. 또한, 끼워 맞춤 구멍(97)은, 구멍의 형상이 D자 형상으로 형성된 D 커트 구멍이어도 된다.The regulating part 96 is formed above the recessed part 92 (large-diameter part 94) formed in the manifold 90. As shown in FIG. The regulating part 96 is a part that regulates the ejection of the injector 100 supported by the manifold 90 from the recessed part 92 . The regulating part 96 is provided with a fitting hole 97 penetrating in the vertical direction. The fitting hole 97 is configured such that the insertion portion 103 and the flange portion 104 can be inserted therethrough. The fitting hole 97 may be, for example, a back cut hole in which the shape of the hole is formed in a back cut shape, as shown in FIGS. 5 and 6 . In addition, the fitting hole 97 may be a D-cut hole in which the shape of the hole was formed in the D-shape.

플랜지부(104)는, 끼워 맞춤 구멍(97)에 끼우고, 용접 벨로우즈(140)의 탄성력이 가해짐으로써 규제부(96)에 맞닿도록 구성되어 있다. 예를 들어 끼워 맞춤 구멍(97)이 이면 커트 구멍인 경우, 플랜지부(104)는 이면 커트 구멍에 대응하여 외주 형상이 이면 커트 형상으로 가공된 이면 커트부로 할 수 있다. 그리고, 끼워 맞춤 구멍(97)에 인젝터(100)의 삽입부(103) 및 플랜지부(104)를 삽입하고, 90° 회전시킴으로써, 용접 벨로우즈(140)의 탄성력에 의해 규제부(96)의 하면에 플랜지부(104)의 상면이 맞닿는다. 또한, 예를 들어 끼워 맞춤 구멍(97)이 D 커트 구멍인 경우, 플랜지부(104)는 D 커트 구멍에 대응하여 외주 형상이 D자 형상으로 가공된 D 커트부로 할 수 있다. 그리고, 끼워 맞춤 구멍(97)에 인젝터(100)의 삽입부(103) 및 플랜지부(104)를 삽입하고, 90° 회전시킴으로써, 용접 벨로우즈(140)의 탄성력에 의해 규제부(96)의 하면에 플랜지부(104)의 상면이 맞닿는다. 또한, 플랜지부(104)와 규제부(96)의 위치 정렬이나 어긋남 방지의 관점에서, 플랜지부(104)의 상면 및 규제부(96)의 하면에 요철 등의 걸림 결합부를 형성하는 것이 바람직하다.The flange portion 104 is fitted into the fitting hole 97 and is configured to abut against the regulating portion 96 when the elastic force of the welding bellows 140 is applied. For example, when the fitting hole 97 is a back cut hole, the flange portion 104 can be a back cut part whose outer periphery is processed into a back cut shape corresponding to the back cut hole. Then, by inserting the insertion part 103 and the flange part 104 of the injector 100 into the fitting hole 97 and rotating it by 90 degrees, the lower surface of the regulating part 96 by the elastic force of the welding bellows 140 The upper surface of the flange portion 104 is in contact. Further, for example, when the fitting hole 97 is a D-cut hole, the flange portion 104 can be a D-cut portion in which the outer periphery is processed into a D-shape corresponding to the D-cut hole. Then, by inserting the insertion part 103 and the flange part 104 of the injector 100 into the fitting hole 97 and rotating it by 90 degrees, the lower surface of the regulating part 96 by the elastic force of the welding bellows 140 The upper surface of the flange portion 104 is in contact. In addition, it is preferable to form engaging portions such as irregularities on the upper surface of the flange portion 104 and the lower surface of the regulating portion 96 from the viewpoint of alignment or misalignment of the flange portion 104 and the regulating portion 96 . .

이상에서 설명한 바와 같이 제2 실시 형태에 관한 가스 도입 기구에서는, 제1 실시 형태와 마찬가지로, 오목부(92) 내의 공간 S에 있어서, 일단부가 단차부(95)에 고정되고, 타단부가 플랜지부(104)의 하면에 고정된 용접 벨로우즈(140)를 갖는다. 이에 의해, 매니폴드(90)의 가스 도입로(99)와 인젝터(100)의 개구부(105)의 연통 부분으로부터 공간 S1에 가스가 누설된 경우에도, 공간 S1이 용접 벨로우즈(140)에 의해 밀봉되어 있으므로, 공간 S1로부터 공간 S2로 가스가 누설되는 것을 방지할 수 있다. 즉, 매니폴드(90)와 인젝터(100)의 접속 부분에서의 가스 누설을 방지할 수 있다.As described above, in the gas introduction mechanism according to the second embodiment, in the space S in the recess 92 , one end is fixed to the stepped portion 95 , and the other end is the flange portion, similarly to the first embodiment. It has a welding bellows (140) fixed to the lower surface of (104). Accordingly, even when gas leaks into the space S1 from the communication portion between the gas introduction path 99 of the manifold 90 and the opening 105 of the injector 100 , the space S1 is sealed by the welding bellows 140 . Therefore, it is possible to prevent gas from leaking from the space S1 to the space S2. That is, it is possible to prevent gas leakage from the connection portion between the manifold 90 and the injector 100 .

또한, 매니폴드(90)와 인젝터(100)의 접속 부분으로부터 처리 용기(10) 내로의 가스의 누설을 방지할 수 있으므로, 처리 용기(10) 내의 웨이퍼 W에는, 인젝터(100)의 토출 구멍(102)만으로부터 가스가 토출된다. 그로 인하여, 웨이퍼 W에 성막되는 막의 면내 균일성 및 면간 균일성이 향상된다. 이에 반하여, 매니폴드(90)와 인젝터(100)의 접속 부분으로부터 처리 용기(10) 내로의 가스의 누설이 있는 경우, 처리 용기(10) 내의 웨이퍼 W에는, 인젝터(100)의 토출 구멍(102)으로부터 뿐만 아니라, 처리 용기(10)의 하방으로부터도 가스가 토출된다. 그로 인하여, 처리 용기(10) 내의 하방에 위치하는 웨이퍼 W에서는, 중심부보다도 주변부의 막 두께가 두꺼워지는 등, 면내 균일성이 악화되는 경우가 있다. 또한, 처리 용기(10)의 상방에 위치하는 웨이퍼 W에 토출되는 가스의 양과, 하방에 위치하는 웨이퍼 W에 토출되는 가스의 양의 균형이 깨지기 때문에, 면간 균일성이 악화되는 경우가 있다.In addition, since it is possible to prevent gas leakage into the processing vessel 10 from the connection portion between the manifold 90 and the injector 100 , the wafer W in the processing vessel 10 has a discharge hole ( 102), gas is discharged from the bay. Accordingly, the in-plane uniformity and inter-plane uniformity of the film formed on the wafer W are improved. On the other hand, when gas leaks into the processing vessel 10 from the connection portion between the manifold 90 and the injector 100 , the wafer W in the processing vessel 10 has a discharge hole 102 of the injector 100 . ) as well as from the lower side of the processing vessel 10 . For this reason, in the wafer W located below the processing chamber 10, the film thickness of the peripheral part becomes thicker than the central part, and in-plane uniformity may deteriorate. In addition, since the balance between the amount of gas discharged to the wafer W positioned above the processing chamber 10 and the amount of gas discharged to the wafer W positioned below the processing chamber 10 is out of balance, the interplanar uniformity may deteriorate.

또한, 제2 실시 형태에 관한 가스 도입 기구에서는, 용접 벨로우즈(140)의 탄성력에 의해, 플랜지부(104)에 가압력이 가해지고, 플랜지부(104)의 상면이 규제부(96)의 하면에 맞닿아 있다. 이와 같이, 용접 벨로우즈(140)의 탄성 변형에 의해 생기는 힘에 의해, 플랜지부(104)는 규제부(96)의 하면에 상시 눌러지고 있으므로, 매니폴드(90)에 대한 인젝터(100)의 유극을 억제할 수 있다. 특히, 인젝터(100)에 대유량의 가스를 공급했을 경우에, 인젝터(100)가 부상하는 등, 상하 방향으로 이동하는 것을 방지할 수 있다.Further, in the gas introduction mechanism according to the second embodiment, a pressing force is applied to the flange portion 104 by the elastic force of the welding bellows 140 , and the upper surface of the flange portion 104 is on the lower surface of the regulating portion 96 . are abutting As described above, since the flange portion 104 is always pressed against the lower surface of the regulating portion 96 by the force generated by the elastic deformation of the welding bellows 140 , the clearance of the injector 100 with respect to the manifold 90 . can be suppressed. In particular, when a large flow rate of gas is supplied to the injector 100 , it is possible to prevent the injector 100 from moving in the vertical direction, such as floating.

특히, 제2 실시 형태에서는, 규제부(96)의 끼워 맞춤 구멍(97)에 인젝터(100)의 삽입부(103) 및 플랜지부(104)를 삽입 관통시킨 후, 인젝터(100)를 90° 회전시킴으로써, 인젝터(100)를 매니폴드(90)에 설치할 수 있다. 즉, 원 터치로 인젝터(100)의 탈착이 가능하다. 그로 인하여, 인젝터(100)의 설치에 요하는 공정수를 삭감할 수 있다. 또한, 부재 점수를 삭감할 수 있으므로, 비용 저감을 도모할 수 있다.In particular, in the second embodiment, after inserting the insertion portion 103 and the flange portion 104 of the injector 100 into the fitting hole 97 of the regulating portion 96 , the injector 100 is rotated at 90° By rotating, the injector 100 can be installed in the manifold 90 . That is, it is possible to detach the injector 100 with one touch. Therefore, the number of steps required for installing the injector 100 can be reduced. Moreover, since the number of absences can be reduced, cost reduction can be aimed at.

이상, 본 발명을 실시하기 위한 형태에 대해 설명했지만, 상기 내용은, 발명의 내용을 한정하는 것이 아니라, 본 발명의 범위 내에서 다양한 변형 및 개량이 가능하다.As mentioned above, although the form for implementing this invention was demonstrated, the said content does not limit the content of invention, Various deformation|transformation and improvement are possible within the scope of the present invention.

상기의 각 실시 형태에서는, 가압력 발생 부재가 용접 벨로우즈(140)인 경우를 예로 들어 설명했지만, 이에 한정되지 않는다. 가압력 발생 부재는, 오목부(92) 내에 설치되고, 인젝터(100)에 오목부(92)로부터 빠지는 방향의 가압력을 추가하여 인젝터(100)를 규제 부재(130)(또는 규제부(96))에 맞닿게 하는 것이 가능하면 되며, 예를 들어 다른 탄성 부재여도 된다. 다른 탄성 부재를 사용한 경우에도, 오목부(92) 내에 설치되는 가압력 발생 부재의 탄성력에 의해, 인젝터(100)에 가압력이 가해지고, 인젝터(100)의 플랜지부(104)의 상면이 규제 부재(130)(또는 규제부(96))의 하면에 맞닿는다. 그로 인하여, 가스 도입로(99)와 개구부(105)의 연통 부분으로부터 공간 S에 가스가 누설된 경우에도, 플랜지부(104)의 상면과 규제 부재(130)(규제부(96))의 하면 사이에 간극이 없으므로, 공간 S로부터 외부에 가스가 누설되는 것을 방지할 수 있다.In each of the above embodiments, the case in which the pressing force generating member is the welding bellows 140 was described as an example, but it is not limited thereto. The pressing force generating member is provided in the concave portion 92, and by adding a pressing force in the direction of withdrawing from the concave portion 92 to the injector 100, the injector 100 is controlled by the regulating member 130 (or the regulating unit 96). It should just be possible to make it contact|abut, for example, another elastic member may be sufficient. Even when another elastic member is used, a pressing force is applied to the injector 100 by the elastic force of the pressing force generating member provided in the recess 92, and the upper surface of the flange portion 104 of the injector 100 is not aligned with the regulating member ( 130) (or in contact with the lower surface of the regulating part 96). Therefore, even when gas leaks into the space S from the communication portion between the gas introduction passage 99 and the opening 105 , the upper surface of the flange portion 104 and the lower surface of the regulating member 130 (regulating portion 96 ) Since there is no gap therebetween, it is possible to prevent gas from leaking from the space S to the outside.

10; 처리 용기
40: 가열 수단
90: 매니폴드
92: 오목부
93: 소경부
94: 대경부
95: 단차부
96: 규제부
97: 끼워 맞춤 구멍
100: 인젝터
103: 삽입부
104: 플랜지부
130: 규제 부재
140: 용접 벨로우즈10; processing vessel
40: heating means
90: manifold
92: recess
93: small part
94: Daegyeongbu
95: step part
96: Regulatory Department
97: fit hole
100: injector
103: insertion part
104: flange portion
130: lack of regulation
140: welding bellows

Claims (12)

세로로 긴 처리 용기와,
상기 처리 용기의 내주벽의 길이 방향을 따라, 적어도 상기 처리 용기의 하부에 있어서 상기 내주벽과 간격을 갖고 설치된 인젝터와,
상기 인젝터를 하방에서 지지하는 매니폴드와,
상기 인젝터의 하부에 있어서, 상기 인젝터에 대해, 하방으로부터 상방을 향하는 가압력을 가하는 가압력 발생 부재와,
상기 인젝터가 상방으로 이동하는 것을 규제하는 규제 부재를
갖고,
상기 인젝터는, 하단부에 형성된 삽입부와, 상기 삽입부의 상방에서 외주면으로부터 반경 방향의 외측으로 연장하여 형성되고, 상기 규제 부재에 맞닿음 가능한 플랜지부를 갖고,
상기 매니폴드는, 상기 삽입부를 밖에서 끼움 지지 가능한 오목부를 갖고,
상기 오목부는,
상기 삽입부가 삽입되는 소경부와,
상기 소경부보다도 상방에 설치되고, 상기 소경부보다도 개구 직경이 큰 대경부와,
상기 소경부와 상기 대경부를 접속하는 단차부를 갖는,
가스 도입 기구.a vertically long processing vessel;
an injector installed along the longitudinal direction of the inner peripheral wall of the processing container at least in a lower portion of the processing container at a distance from the inner peripheral wall;
a manifold supporting the injector from below;
a pressing force generating member under the injector for applying a pressing force from below to upward with respect to the injector;
a regulating member for regulating the upward movement of the injector;
Have,
The injector has an insertion portion formed at a lower end portion, a flange portion formed to extend radially outward from an outer circumferential surface above the insertion portion, and abutable to the regulating member,
The manifold has a concave portion that can be fitted outside the insertion portion,
The concave portion,
a small-diameter part into which the insertion part is inserted;
a large-diameter portion provided above the small-diameter portion and having an opening diameter larger than that of the small-diameter portion;
having a step portion connecting the small-diameter portion and the large-diameter portion;
gas introduction device. 제1항에 있어서, 상기 플랜지부의 외경은, 상기 소경부의 개구 직경보다도 크고, 상기 대경부의 개구 직경보다도 작은,
가스 도입 기구.The method according to claim 1, wherein an outer diameter of the flange portion is larger than an opening diameter of the small-diameter portion and smaller than an opening diameter of the large-diameter portion;
gas introduction device. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 가압력 발생 부재는, 일단부가 상기 단차부에 고정되어, 타단부가 상기 플랜지부의 하면에 고정된 탄성 부재인,
가스 도입 기구.The method according to claim 1 or 2, wherein the pressing force generating member is an elastic member having one end fixed to the step portion and the other end fixed to the lower surface of the flange portion,
gas introduction device. 제3항에 있어서, 상기 탄성 부재는, 용접 벨로우즈인,
가스 도입 기구.The method according to claim 3, wherein the elastic member is a welding bellows,
gas introduction device. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 규제 부재는, 상기 매니폴드의 상면에 고정되어 설치되어 있는,
가스 도입 기구.The regulating member according to claim 1 or 2, wherein the regulating member is fixedly installed on the upper surface of the manifold.
gas introduction device. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 규제 부재는, 상기 대경부의 상방에 상기 매니폴드와 일체로서 형성되고, 상기 삽입부 및 상기 플랜지부를 삽입 관통 가능한 끼워 맞춤 구멍을 갖는,
가스 도입 기구.The regulating member according to claim 1 or 2, wherein the regulating member is formed integrally with the manifold above the large-diameter portion and has a fitting hole through which the insertion portion and the flange portion can be inserted.
gas introduction device. 제6항에 있어서, 상기 끼워 맞춤 구멍은, 구멍의 형상이 이면 커트 형상으로 형성된 이면 커트 구멍이며,
상기 플랜지부는, 상기 끼워 맞춤 구멍에 대응하여 외주 형상이 이면 커트 형상으로 가공된 이면 커트부인,
가스 도입 기구.The method according to claim 6, wherein the fitting hole is a back cut hole in which the shape of the hole is a back cut shape,
The flange part is a back cut part whose outer periphery is processed into a back cut shape corresponding to the fitting hole,
gas introduction device. 제6항에 있어서, 상기 끼워 맞춤 구멍은, 구멍의 형상이 D 커트 형상으로 형성된 D 커트 구멍이며,
상기 플랜지부는, 상기 끼워 맞춤 구멍에 대응하여 외주 형상이 D 커트 형상으로 가공된 D 커트부인,
가스 도입 기구.The method according to claim 6, wherein the fitting hole is a D-cut hole in which the shape of the hole is formed in a D-cut shape,
The flange portion is a D-cut portion whose outer periphery is processed into a D-cut shape corresponding to the fitting hole,
gas introduction device. 제1항 또는 제2항에 기재된 가스 도입 기구와,
상기 처리 용기를 외측으로부터 가열하는 가열 수단
을 구비하는 열처리 장치.The gas introduction mechanism according to claim 1 or 2,
heating means for heating the processing vessel from the outside
A heat treatment device comprising a. 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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