KR102271999B1 - 기판 코터 장치 - Google Patents

기판 코터 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR102271999B1
KR102271999B1 KR1020140192294A KR20140192294A KR102271999B1 KR 102271999 B1 KR102271999 B1 KR 102271999B1 KR 1020140192294 A KR1020140192294 A KR 1020140192294A KR 20140192294 A KR20140192294 A KR 20140192294A KR 102271999 B1 KR102271999 B1 KR 102271999B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
unit
nozzle
width direction
stage
Prior art date
Application number
KR1020140192294A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20160080459A (ko
Inventor
박형신
Original Assignee
주식회사 케이씨텍
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 케이씨텍 filed Critical 주식회사 케이씨텍
Priority to KR1020140192294A priority Critical patent/KR102271999B1/ko
Publication of KR20160080459A publication Critical patent/KR20160080459A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102271999B1 publication Critical patent/KR102271999B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)

Abstract

기판 코터 장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 코터 장치는, 기판이 안착되는 스테이지; 및 기판의 길이방향을 따라 기판에 대해 상대 이동하며, 기판에 약액을 도포하는 노즐유닛을 포함하며, 노즐유닛은, 기판의 폭방향 길이에 대응하여 교체가능한 복수의 단위 노즐유닛을 포함한다.

Description

기판 코터 장치{SUBSTRATE COATER APPARATUS}
본 발명은, 기판 코터 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 기판의 도포 영역 크기에 대응하여 능동적으로 약액을 도포할 수 있는 기판 코터 장치에 관한 것이다.
일반적으로 평판 디스플레이 장치(flat panel display device, FPD)는 TFT-LCD(thin film transistor liquid crystal display), PDP(plasma display panel), OLED(organic light emitting diodes) 등을 말한다.
이러한 FPD는 기판에 포토(photo), 확산(diffusion), 증착(deposition), 식각(etching) 및 이온 주입(ion implant) 등의 공정을 반복 수행함으로써 제조된다.
최근에, FPD는 고집적화되고 있으며, 이러한 추세에 따라 기판에 미세하고 높은 해상도를 갖는 패턴을 형성할 수 있는 FPD 제조장치가 요구된다.
FPD 제조장치는 기판에 패턴을 형성하기 위한 리소그래피(lithography) 공정을 수행함에 있어, 글래스(GLASS)로 제작된 기판에 포토 레지스트 액 등의 약액을 도포하는 코팅공정이 수반된다.
기판의 크기가 작았던 종래에는 기판의 중앙부에 약액을 도포하면서 기판을 회전시키는 것에 의하여 기판에 약액을 도포하는 스핀 코팅 방법이 사용되었다.
그러나, 기판의 크기가 대형화됨에 따라 스핀 코팅 방식은 거의 사용되지 않으며, 기판의 폭에 대응되는 길이를 갖는 슬릿 형태의 슬릿 노즐과 기판을 상대 이동시키면서 슬릿 노즐로부터 약액을 기판에 도포하는 방식의 코팅방법이 사용되고 있다.
이하, 기판에 약액을 도포하는 장치를 기판 코터 장치라 한다.
도 1은 종래 기술에 따른 기판 코터 장치를 개략적으로 나타내는 구조도이다.
도 1을 참조하면, 종래 기술에 따른 기판 코터 장치(1)는 기판(G)을 스테이지(10)에 안착한 상태에서, 기판(G)에 포토 레지스트 등의 약액을 약액 공급부(30)로 공급받아 노즐유닛(20)을 스테이지(10)의 길이방향(X방향)을 따라 이동시키면서 기판(G)에 약액을 도포하도록 구성된다.
여기서, 스테이지(10)는 기판(G)을 안착시키기 위해 기판(G)의 크기보다 큰 직사각형 형상으로 형성되고, 기판(G)이 안착되는 상면에는 진공흡착을 위해 진공펌프(미도시)와 연통되는 복수의 진공홀(미도시)이 형성된다.
그러나, 종래 기술에 따른 기판 코터 장치(1)는, 기판(G)의 크기가 변화되는 경우에 기판(G)의 크기에 대응하여 노즐유닛(20)을 교체하여야 하므로, 기판(G)에 약액을 도포함에 있어 작업시간이 증가되어 도포작업의 효율성이 저하되는 문제점이 있다.
대한민국 공개특허 제10-2011-0045374호(2011.05.04. 공개)
따라서 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 기판의 크기에 대응하여 능동적으로 약액을 도포할 수 있어 작업효율성을 향상시킬 수 있는 기판 코터 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 기판이 안착되는 스테이지; 및 상기 기판의 길이방향을 따라 상기 기판에 대해 상대 이동하며, 상기 기판에 약액을 도포하는 노즐유닛을 포함하며, 상기 노즐유닛은, 상기 기판의 폭방향 길이에 대응하여 교체가능한 복수의 단위 노즐유닛을 포함하는 기판 코터 장치가 제공될 수 있다.
상기 스테이지를 사이에 두고 상기 스테이지의 폭방향 양측에 각각 마련되는 한 쌍의 갠트리(gantry)와, 상기 한 쌍의 갠트리의 상부를 상호 연결하는 브리지드바(bridged bar)를 구비하며, 상기 노즐유닛을 상기 기판의 길이방향을 따라 상대 이동시키는 노즐 이동유닛을 더 포함하며, 복수의 상기 단위 노즐유닛은, 상기 브리지드바가 회전함에 따라 상기 기판의 폭방향 길이에 대응하여 교체되도록, 상기 브리지드바에 상기 브리지드바의 길이방향을 중심축으로 원주방향을 따라 상호 이격되게 연결될 수 있다.
상기 노즐 이동유닛은, 상기 스테이지의 양측부를 따라 길게 배치되어 상기 한 쌍의 갠트리의 이동을 안내하는 한 쌍의 가이드레일; 및 상기 한 쌍의 가이드레일 및 상기 한 쌍의 갠트리의 하부에 마련되어 자기부상방식으로 상기 한 쌍의 갠트리를 상기 스테이지의 길이방향을 따라 왕복운동하게 하는 갠트리 구동부를 더 포함할 수 있다.
상기 브리지드바에 연결되되, 복수의 상기 단위 노즐유닛 중 상기 기판의 폭방향 길이에 대응되는 상기 단위 노즐유닛을 상기 기판에 대향되게 회전시키는 회전유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 기판의 폭방향 길이를 감지하는 감지센서; 및 상기 감지센서에 연결되되, 상기 기판의 폭방향 길이에 대응되는 상기 단위 노즐유닛이 상기 기판에 대향되게 상기 회전유닛을 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
상기 단위 노즐유닛은, 한 쌍의 제1 노즐몸체와 제2 노즐몸체가 상호 결합된 노즐몸체부; 상기 한 쌍의 제1 노즐몸체와 제2 노즐몸체의 결합면의 상부에 형성되되, 약액이 유입되는 유입구; 상기 한 쌍의 제1 노즐몸체와 제2 노즐몸체의 결합면의 중심부에 형성되되, 상기 유입구에서 유입된 약액을 임시 저장하는 챔버; 상기 한 쌍의 제1 노즐몸체와 제2 노즐몸체의 결합면의 하부에 형성되되, 상기 챔버와 연통되며 상기 기판에 약액을 토출하는 슬릿형상의 토출구; 및 상기 제1 노즐몸체와 상기 제2 노즐몸체 사이에 개재되되, 상기 유입구 및 상기 토출구와 연통되는 적어도 하나의 약액유로가 형성된 심 플레이트(shim plate)를 포함하며, 상기 토출구에서 약액이 상기 기판의 폭방향 길이에 대응되는 길이로 토출되도록, 상기 약액유로는 상기 유입구에서 상기 토출구방향으로 갈수록 상기 기판의 폭방향 길이에 대응되는 길이로 확장되게 형성될 수 있다.
상기 기판은, 상기 스테이지의 폭방향을 따라 인라인되게 배치된 복수의 단위 셀 기판을 포함하고, 상기 심 플레이트는, 상기 스테이지의 폭방향을 따라 인라인되게 배치된 복수의 상기 단위 셀 기판의 상기 스테이지의 폭방향 형상에 대응되게 형성되며, 상기 스테이지의 폭방향을 따라 인라인되게 배치된 복수의 상기 단위 셀 기판의 상기 스테이지의 폭방향 간격에 대응되는 간격을 갖는 복수의 약액유로를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들은, 기판의 크기, 특히 기판의 폭방향 길이에 대응하여 능동적으로 노즐유닛을 교체할 수 있으므로, 노즐유닛의 교체에 따른 작업시간을 단축하여 작업효율성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 기판 코터 장치를 개략적으로 나타내는 구조도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 코터 장치를 개략적으로 나타내는 구조도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 단위 노즐유닛을 나타내는 단면도이다.
도 4는 도 2의 A-A 단면도로써, 본 발명의 제1 실시예에 따른 심 플레이트의 형상에 따른 도포층을 나타내는 개념도이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 코터 장치를 개략적으로 나타내는 구조도이다.
도 6은 도 5의 B-B 단면도로써, 본 발명의 제2 실시예에 따른 심 플레이트의 형상에 따른 도포층을 나타내는 개념도이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
이하에서 설명될 기판이란, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등의 평면 디스플레이용 글래스(GLASS) 기판일 수 있다.
이하에서는, 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 코터 장치에 대해 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 코터 장치를 개략적으로 나타내는 구조도이고, 도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 단위 노즐유닛을 나타내는 단면도이고, 도 4는 도 2의 A-A 단면도로써, 본 발명의 제1 실시예에 따른 심 플레이트의 형상에 따른 도포층을 나타내는 개념도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 코터 장치는, 기판(G)이 안착되는 스테이지(100)와, 기판(G)의 길이방향(X방향)을 따라 기판(G)에 대해 상대 이동하며 기판(G)에 약액을 도포하는 노즐유닛(200)과, 노즐유닛(200)에 연결되어 노즐유닛(200)에 약액을 공급하는 약액 공급유닛(300)과, 노즐유닛(200)을 지지하되 노즐유닛(200)을 기판(G)의 길이방향(X방향)을 따라 상대 이동시키는 노즐 이동유닛(400)을 포함한다.
본 실시예에 따른 스테이지(100)는 안착된 기판(G)을 견고하게 위치 고정하는 역할을 한다.
도 2에서 도시한 바와 같이, 스테이지(100)는 기판(G)을 안착시키며, 기판(G)의 형상 및 크기에 대응되는 형상 및 크기를 갖는다. 본 실시예에서 사각형 기판(G)에 대응되게 스테이지(100)는 사각형 기판(G) 크기보다 큰 사각형 형상으로 형성된다.
그리고, 스테이지(100)에는 기판(G)을 스테이지(100)에 안착 및 안착 해제하기 위한 복수의 리프트 핀(미도시)이 설치된다. 기판(G)을 스테이지(100)에 안착하고자 하는 경우, 복수의 리프트 핀을 상승시킨 상태에서 기판(G)을 복수의 리프트 핀의 상부에 로딩하고 복수의 리프트 핀을 하강시켜 기판(G)을 스테이지(100)에 안착시킨다.
반대로, 기판(G)을 스테이지(100)로부터 안착해제하고자 하는 경우, 스테이지(100)에 안착된 기판(G)의 하면을 복수의 리프트 핀이 상승하면서 기판(G)을 스테이지(100)로부터 안착 해제한다.
또한, 스테이지(100)에는 기판(G)을 스테이지(100)의 상면에 진공흡착하기 위한 복수의 진공홀(미도시)이 형성된다. 복수의 진공홀은 기판(G)을 스테이지(100)의 상면에 진공흡착하기 위해 진공펌프(미도시)와 연결된다.
따라서, 기판(G)이 스테이지(100)의 상면에 안착되면, 진공펌프 및 복수의 진공홀에 의해 기판(G)은 스테이지(100)에 견고하게 흡착 고정된다.
그리고, 본 실시예에 따른 노즐 이동유닛(400)은 노즐유닛(200)을 스테이지(100), 특히 기판(G)의 길이방향(X방향)을 따라 상대 이동시키는 역할을 한다.
즉, 노즐 이동유닛(400)은 노즐유닛(200)이 기판(G)에 약액을 도포할 수 있도록 노즐유닛(200)을 기판(G)의 길이방향(X방향)을 따라 상대 이동시킨다.
도 2에서 도시한 바와 같이, 노즐 이동유닛(400)은, 스테이지(100)를 사이에 두고 스테이지(100)의 폭방향(Y방향) 양측에 각각 마련되는 한 쌍의 갠트리(gantry,410)와, 노즐유닛(200)이 기판(G)의 상부에 배치되게 지지하되 한 쌍의 갠트리(410)의 상부를 상호 연결하는 브리지드바(bridged bar,430)와, 스테이지(100)의 양측부를 따라 길게 배치되어 한 쌍의 갠트리(410)의 이동을 안내하는 한 쌍의 가이드레일(450)과, 한 쌍의 가이드레일(450) 및 한 쌍의 갠트리(410)에 마련되어 자기부상방식으로 한 쌍의 갠트리(410)를 스테이지(100)의 길이방향(X방향)을 따라 왕복운동하게 하는 갠트리 구동부(미도시)를 포함한다.
본 실시예에서 한 쌍의 갠트리(410)는 스테이지(100)의 양측부를 따라 배치되는 한 쌍의 가이드레일(450)을 따라 스테이지(100)의 길이방향(X방향)으로 왕복운동한다.
여기서, 한 쌍의 갠트리(410)는 이동 중 발생되는 진동을 방지하기 위해 자기부상 방식으로 스테이지(100)의 길이방향(X방향)을 따라 왕복운동한다.
이를 위해, 갠트리 구동부는 한 쌍의 갠트리(410)와 한 쌍의 가이드레일(450)의 대향되는 면에 각각 상호 교호되게 설치되는 N극 및 S극을 띠는 복수의 자성체를 포함한다.
그리고, 한 쌍의 갠트리(410)에 연동되어 노즐유닛(200)이 스테이지(100)의 길이방향(X방향)으로 왕복운동하도록, 노즐유닛(200)은 한 쌍의 갠트리(410)의 상부를 상호 연결하는 브리지드바(430)에 의해 지지된다.
한편, 본 실시예는 기판(G)의 크기, 특히 기판(G)의 폭방향(Y방향) 길이 및 기판(G)에 도포될 약액의 종류에 따라 노즐유닛(200)을 달리하여 기판(G)에 약액을 도포할 수 있도록, 노즐유닛(200)을 능동적으로 교체하여 노즐유닛(200)의 교체에 따른 작업시간을 단축하고자 한다.
따라서, 본 실시예에 따른 노즐유닛(200)은 기판(G)의 폭방향(Y방향) 길이 및 기판(G)에 도포될 약액의 종류에 대응하여 기판(G)에 약액을 도포할 수 있도록 교체가능한 복수의 단위 노즐유닛(205)을 포함한다.
그리고, 본 실시예에 따른 복수의 단위 노즐유닛(205)은 브리지드바(430)에 상호 이격되게 연결된다. 구체적으로, 도 2에서 도시한 바와 같이, 복수의 단위 노즐유닛(205)은 브리지드바(430)의 길이방향(Y방향)을 중심축으로 원주방향을 따라 90도 간격으로 상호 이격되게 연결된다.
상기한 복수의 단위 노즐유닛(205)을 포함하는 노즐유닛(200)의 구성 및 동작에 대한 자세한 설명은 후술하기로 한다.
또한, 한 쌍의 갠트리(410)가 스테이지(100)의 길이방향(X방향)을 따라 왕복운동하거나 정지하는 모든 경우에 있어, 노즐유닛(200)은 스테이지(100), 특히 기판(G)에 대해 평행하게 배치되어야 한다.
한편, 도시되지는 않았으나, 노즐 이동유닛(400)은 노즐유닛(200)을 높이방향으로 이동시키는 승강수단(미도시)을 더 포함할 수 있다.
상기한 바와 같이, 노즐유닛(200)은 노즐 이동유닛(400)에 의해 기판(G)의 길이방향(X방향)을 따라 이동하면서 기판(G)에 약액을 도포할 수 있다.
그리고, 본 실시예에 따른 약액 공급유닛(300)은, 노즐유닛(200)으로 기판(G)에 약액을 도포함에 있어서 노즐유닛(200)에 약액을 공급하는 역할을 한다.
도 2 및 도 3에서 도시한 바와 같이, 약액 공급유닛(300)은, 단위 노즐유닛(205)에 약액을 공급하는 약액 공급관(330)과, 약액 공급관(330)에 연결되어 약액 공급관(330)에 약액을 공급하는 펌프(310)를 포함한다.
그리고, 본 실시예에 따른 노즐유닛(200)은, 기판(G)에 대해 상대이동하며 기판(G)에 약액을 도포하는 역할을 한다.
전술한 바와 같이, 본 실시예는 기판(G)의 크기, 특히 기판(G)의 폭방향(Y방향) 길이 및 기판(G)에 도포될 약액의 종류에 따라 노즐유닛(200)을 달리하여 기판(G)에 약액을 도포하고자 한다. 즉, 본 실시예는 기판(G)의 폭방향(Y방향) 길이 및 기판(G)에 도포될 약액의 종류에 따라 노즐유닛(200)을 능동적으로 교체하여 노즐유닛(200)의 교체에 따른 작업시간을 단축하고자 한다.
따라서, 본 실시예에 따른 노즐유닛(200)은 기판(G)의 폭방향(Y방향) 길이 및 기판(G)에 도포될 약액의 종류에 대응하여 기판(G)에 약액을 도포할 수 있도록 교체가능한 복수의 단위 노즐유닛(205)을 포함한다.
도 2에서 도시한 바와 같이, 본 실시예에 따른 복수의 단위 노즐유닛(205)은 브리지드바(430)의 길이방향(Y방향)을 중심축으로 원주방향을 따라 90도 간격으로 상호 이격되게 배치된다.
그리고, 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 코터 장치는, 브리지드바(430)에 연결되되 복수의 단위 노즐유닛(205) 중 기판(G)의 폭방향(Y방향) 길이 및 기판(G)에 도포될 약액의 종류에 대응되는 단위 노즐유닛(205)이 기판(G)에 대향되게 회전시키는 회전유닛(500)을 더 포함한다.
본 실시예에서 회전유닛(500)은 브리지드바에 연결된 회전모터를 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 코터 장치는, 기판(G)의 폭방향(Y방향) 길이를 감지하는 감지센서(미도시)와, 감지센서에 연결되되 기판(G)의 폭방향(Y방향) 길이에 대응되는 단위 노즐유닛(205)이 기판(G)에 대향되게 회전유닛(500)을 제어하는 제어부(미도시)를 더 포함한다.
4개의 단위 노즐유닛(205) 중 하나의 단위 노즐유닛(205)을 기판(G)에 대향되게 회전시키는 동작을 설명하면, 감지센서는 스테이지(100)에 안착된 기판(G)의 크기를 감지하고 이에 대한 데이터를 제어부에 송신한다.
그리고, 제어부는 감지센서로부터 수신한 데이터를 기초로 하여 기판(G)의 크기에 대응되는 단위 노즐유닛(205)이 기판(G)에 대향되도록 회전유닛(500)을 제어하여 해당 단위 노즐유닛(205)이 기판(G)에 대향되게 회전시킨다.
상기와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 코터 장치는, 복수의 단위 노즐유닛(205)을 구비하고, 기판(G)의 크기에 대응되는 하나의 단위 노즐유닛(205)을 기판(G)에 대향되게 회전시킴으로써, 종래의 기판(G)의 크기에 따라 작업자가 노즐유닛을 교체하는데 소요되는 작업시간을 단축할 수 있다.
또한, 고점도를 갖는 약액을 기판(G)에 도포하고자 하는 경우, 노즐유닛(200)에 고점도의 약액을 공급하는 것이 원활하지 않으므로 단일의 노즐유닛(200)만으로 기판(G)에 균일한 두께의 도포층을 형성하기 어려운 문제점이 있었다.
특히. 기판(G)의 크기가 대형화됨에 따라 단일의 노즐유닛(200)을 스테이지(100)의 길이방향(X방향)을 따라 이동하면서 대형 기판(G)의 전면(全面)에 약액을 도포하는 경우에 더욱 큰 어려움이 있다.
따라서, 본 실시예에서는 고점도를 갖는 약액을 기판(G)에 도포함에 있어서, 약액을 점도를 고려하여 복수의 단위 노즐유닛(205)을 순차로 회전시켜 복수의 단위 노즐유닛(205)으로 하여금 순차로 기판(G)에 약액을 도포할 수 있다. 특히, 기판(G)의 대형화됨에 따라 고점도의 약액을 기판(G)에 도포하는 도포작업의 어려움을 극복할 수 있다. 또한, 복수의 단위 노즐유닛(205)을 한번 이동하여 기판(G)에 고점도 약액을 도포할 수 있어 도포작업에 소요되는 작업시간을 단축할 수 있다.
한편, 도 3에서 도시한 바와 같이, 단위 노즐유닛(205)은, 노즐몸체부(210)와, 기판(G)에 대향되는 노즐몸체부(210)의 일단부에 마련되어 약액을 기판(G)에 토출하는 토출구(250)와, 노즐몸체부(210)의 타단부에 마련되되 약액 공급관(330)에 연결되어 약액이 유입되는 유입구(230)와, 노즐몸체부(210)에 마련되되 토출구(250) 및 유입구(230)와 연통되는 챔버(270)를 포함한다.
노즐몸체부(210)는 기판(G)의 폭방향(Y방향)을 따라 길게 배치되며, 전술한 브리지드바(430)에 연결된다. 그리고, 노즐몸체부(210)는 한 쌍의 제1 노즐몸체(211)와 제2 노즐몸체(212)가 상호 결합되어 구성될 수 있다.
도시되지는 않았으나, 한 쌍의 제1 노즐몸체(211)와 제2 노즐몸체(212)는 나사 등의 결합수단(미도시)에 의해 상호 결합될 수 있다. 그리고, 한 쌍의 제1 노즐몸체(211)와 제2 노즐몸체(212)는 금속재질, 세라믹 재질 등으로 제조될 수 있다.
그리고, 유입구(230)는 노즐몸체부(210)의 타단부에 형성되며 약액 공급유닛(300)으로부터 약액을 공급받는다. 구체적으로, 한 쌍의 제1 노즐몸체(211)와 제2 노즐몸체(212)의 결합면의 상부에는 약액 공급관(330)에 연결되어 약액이 유입되는 유입구(230)가 형성된다. 약액은 펌프(310) 및 약액 공급관(330)을 순차로 경유하여 유입구(230)에 공급된다.
그리고, 토출구(250)는 노즐몸체부(210)의 일단부에 형성되며 기판(G)에 약액을 토출하는 슬릿형상으로 형성된다. 구체적으로, 한 쌍의 제1 노즐몸체(211)와 제2 노즐몸체(212)의 결합면의 하부에는 기판(G)에 약액을 토출하는 슬릿형상의 토출구(250)가 형성된다. 또한, 토출구(250)는 기판(G)의 폭방향(Y방향) 길이에 대응되는 길이를 갖는다.
그리고, 챔버(270)는 노즐몸체부(210)의 유입구(230)와 토출구(250) 사이에 배치되어 유입구(230) 및 토출구(250)와 상호 연통된다. 구체적으로, 한 쌍의 제1 노즐몸체(211)와 제2 노즐몸체(212)의 결합면의 중심부에 형성된다. 챔버(270)는 펌프(310)에 의해 가압된 약액을 균일하게 기판(G)에 분사하기 위해 유입구(230)에 유입된 약액을 임시 저장한다.
또한, 단위 노즐유닛(205)은, 제1 노즐몸체(211)와 제2 노즐몸체(212) 사이에 개재되는 심 플레이트(shim plate, 290)를 더 포함한다.
심 플레이트(290)에는 유입구(230) 및 토출구(250)와 연통되는 적어도 하나의 약액유로(291)가 형성된다. 약액은 약액유로(291)를 따라 토출구(250)방향으로 유동된 후 기판(G)에 도포된다.
따라서, 토출구(250)에서 약액이 기판(G)의 폭방향(Y방향) 길이에 대응되는 길이로 토출되도록, 도 4에서 도시한 바와 같이, 심 플레이트(290)에 형성된 약액유로(291)는 유입구(230)에서 토출구(250)방향으로 갈수록 기판(G)의 폭방향(Y방향) 길이에 대응되는 길이로 확장되게 형성된다.
이하에서는, 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 코터 장치에 대해 설명하기로 한다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 코터 장치를 개략적으로 나타내는 구조도이고, 도 6은 도 5의 B-B 단면도로써, 본 발명의 제2 실시예에 따른 심 플레이트의 형상에 따른 도포층을 나타내는 개념도이다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 코터 장치는, 복수의 기판(G)이 길이방향(X방향) 및 폭방향(Y방향)을 따라 인라인되게 배치되되 복수의 기판(G)이 안착되는 스테이지(100a)와, 기판(G)의 길이방향(X방향)을 따라 기판(G)에 대해 상대 이동하며 기판(G)에 약액을 도포하는 노즐유닛(200a)과, 노즐유닛(200a)에 연결되어 노즐유닛(200a)에 약액을 공급하는 약액 공급유닛(300a)과, 노즐유닛(200a)을 지지하되 노즐유닛(200a)을 기판(G)의 길이방향(X방향)을 따라 상대 이동시키는 노즐 이동유닛(400a)을 포함한다.
그리고, 노즐유닛(200a)은 기판(G)의 폭방향(Y방향) 길이 및 기판(G)에 도포될 약액의 종류에 대응하여 기판(G)에 약액을 도포할 수 있도록 교체가능한 복수의 단위 노즐유닛(205a)을 포함한다.
그리고, 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 코터 장치는, 노즐 이동유닛(400a)의 브리지드바(430a)에 연결되되 복수의 단위 노즐유닛(205a) 중 기판(G)의 폭방향(Y방향) 길이 및 기판(G)에 도포될 약액의 종류에 대응되는 단위 노즐유닛(205a)이 기판(G)에 대향되게 회전시키는 회전유닛(500a)을 더 포함한다.
또한, 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 코터 장치는, 기판(G)의 폭방향(Y방향) 길이를 감지하는 감지센서(미도시)와, 감지센서에 연결되되 기판(G)의 폭방향(Y방향) 길이에 대응되는 단위 노즐유닛(205a)이 기판(G)에 대향되게 회전유닛(500a)을 제어하는 제어부(미도시)를 더 포함한다.
전술한 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 코터 장치의 스테이지(100a), 노즐 이동유닛(400a), 약액 공급유닛(300a), 회전유닛(500a), 감지센서 및 제어부는, 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 코터 장치의 스테이지(100), 노즐 이동유닛(400), 약액 공급유닛(300), 회전유닛(500), 감지센서 및 제어부와 동일하므로 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
이하에서는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 코터 장치와의 차이점에 대하여 설명하기로 한다.
먼저, 본 발명의 제2 실시예에 따른 스테이지(100a)에는 기판(G)이 스테이지(100a)의 길이방향(X방향) 및 폭방향(Y방향)을 따라 인라인되게 복수 개 배치된다. 즉, 본 실시예에 따른 기판(G)은 스테이지(100a)의 길이방향(X방향) 및 폭방향(Y방향)을 따라 인라인되게 배치된 복수의 단위 셀 기판(G1)을 포함한다.
그리고, 본 발명의 제2 실시예에 따른 단위 노즐유닛(200a)은, 노즐몸체부(210a)와, 기판(G)에 대향되는 노즐몸체부(210a)의 일단부에 마련되어 약액을 단위 셀 기판(G1)에 토출하는 토출구(250a)와, 노즐몸체부(210a)의 타단부에 마련되되 약액 공급관(330a)에 연결되어 약액이 유입되는 유입구(230a)와, 노즐몸체부(210a)에 마련되되 토출구(250a) 및 유입구(230a)와 연통되는 챔버(270a)와, 노즐 몸체부(210a)에 마련되되 유입구(230a) 및 토출구(250a)와 연통되는 적어도 하나의 약액유로(291a)를 포함하는 심 플레이트(shim plate,290a)를 포함한다.
본 발명의 제2 실시예에 따른 단위 노즐유닛(205a)의 노즐몸체부(210a), 토출구(250a), 유입구(230a), 챔버(270a)는, 본 발명의 제1 실시예에 따른 노즐유닛(200)의 노즐몸체(210), 토출구(250), 유입구(230), 챔버(270)와 동일하므로 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 5에서 도시한 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 단위 노즐유닛(205a)을 이용하여 약액을 스테이지(100a)의 폭방향(Y방향)을 따라 인라인되게 배치된 두 개의 단위 셀 기판(G1)에 도포하고자 하는 경우, 심 플레이트(290a)에는 스테이지(100a)의 폭방향(Y방향)으로 두 개의 약액유로(291a)가 형성된다.
그리고, 두 개의 약액유로(291a) 각각은 유입구(230a)에서 토출구(250a)방향으로 갈수록 대응되는 단위 셀 기판(G1)의 폭방향(Y방향) 길이에 대응되는 길이로 확장되게 형성된다.
또한, 도 6에서 도시한 바와 같이, 스테이지(100a)의 폭방향(Y방향)을 따라 인라인되게 배치된 두 개의 단위 셀 기판(G1)의 폭(L1, L2)과 두 개의 단위 셀 기판(G1) 간의 간격(S)에 대응되도록, 두 개의 약액유로(291a)는 각각 두 개의 단위 셀 기판(G1)의 폭(L1, L2)에 대응되는 폭(L1, L2)을 가지며, 두 개의 약액유로(291a)는 두 개의 단위 셀 기판(G1)의 간격(S)에 대응되는 간격(S)으로 형성된다.
상기와 같이, 복수의 단위 셀 기판(G1)에 도포층을 형성하고자 하는 경우, 스테이지(100a)의 폭방향(Y방향)을 따라 인라인되게 배치된 복수의 단위 셀 기판(G1)의 폭과 간격에 대응되는 복수의 약액유로(291a)가 형성된 심 플레이트(290a)를 마련하여 복수의 단위 노즐유닛(205a)을 스테이지(100a)의 길이방향(X방향)을 따라 이동시키면서 스테이지(100a)의 폭방향(Y방향)을 따라 인라인되게 배치된 복수의 단위 셀 기판(G1)에 동시에 약액을 도포할 수 있다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정 예 또는 변형 예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100, 100a: 스테이지 200, 200a: 노즐유닛
205, 205a: 단위 노즐유닛 300, 300a: 약액 공급유닛
400, 400a: 노즐 이동유닛 500, 500a: 회전유닛

Claims (7)

  1. 기판이 안착되는 스테이지;
    상기 스테이지를 사이에 두고 상기 스테이지의 폭방향 양측에 각각 마련되는 한 쌍의 갠트리(gantry);
    상기 한 쌍의 갠트리의 상부를 상호 연결하는 브리지드바(bridged bar);
    상기 브리지드바의 길이 방향을 중심축으로 원주 방향을 따라 복수개가 상기 브리지드 바에 연결 설치되어, 상기 기판의 길이 방향을 따라 상기 기판에 대해 상대 이동하는 복수의 단위 노즐 유닛을 포함하는 노즐 유닛; 및
    상기 노즐 유닛을 상기 기판의 길이방향을 따라 상대 이동시키는 노즐 이동유닛;
    을 포함하여 구성되고, 상기 브리지드바의 회전에 따라 상기 복수의 단위 노즐 유닛 중에 어느 하나가 상기 기판에 약액을 도포하는 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    복수의 상기 단위 노즐유닛은, 상기 브리지드바가 회전함에 따라 상기 기판의 폭방향 길이에 대응하여 교체되는 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 노즐 이동유닛은,
    상기 스테이지의 양측부를 따라 길게 배치되어 상기 한 쌍의 갠트리의 이동을 안내하는 한 쌍의 가이드레일; 및
    상기 한 쌍의 가이드레일 및 상기 한 쌍의 갠트리의 하부에 마련되어 자기부상방식으로 상기 한 쌍의 갠트리를 상기 스테이지의 길이방향을 따라 왕복운동하게 하는 갠트리 구동부를 더 포함하는 기판 코터 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 브리지드바에 연결되되, 복수의 상기 단위 노즐유닛 중 상기 기판의 폭방향 길이에 대응되는 상기 단위 노즐유닛을 상기 기판에 대향되게 회전시키는 회전유닛을 더 포함하는 기판 코터 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 기판의 폭방향 길이를 감지하는 감지센서; 및
    상기 감지센서에 연결되되, 상기 기판의 폭방향 길이에 대응되는 상기 단위 노즐유닛이 상기 기판에 대향되게 상기 회전유닛을 제어하는 제어부를 더 포함하는 기판 코터 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 단위 노즐유닛은,
    한 쌍의 제1 노즐몸체와 제2 노즐몸체가 상호 결합된 노즐몸체부;
    상기 한 쌍의 제1 노즐몸체와 제2 노즐몸체의 결합면의 상부에 형성되되, 약액이 유입되는 유입구;
    상기 한 쌍의 제1 노즐몸체와 제2 노즐몸체의 결합면의 중심부에 형성되되, 상기 유입구에서 유입된 약액을 임시 저장하는 챔버;
    상기 한 쌍의 제1 노즐몸체와 제2 노즐몸체의 결합면의 하부에 형성되되, 상기 챔버와 연통되며 상기 기판에 약액을 토출하는 슬릿형상의 토출구; 및
    상기 제1 노즐몸체와 상기 제2 노즐몸체 사이에 개재되되, 상기 유입구 및 상기 토출구와 연통되는 적어도 하나의 약액유로가 형성된 심 플레이트(shim plate)를 포함하며,
    상기 토출구에서 약액이 상기 기판의 폭방향 길이에 대응되는 길이로 토출되도록, 상기 약액유로는 상기 유입구에서 상기 토출구방향으로 갈수록 상기 기판의 폭방향 길이에 대응되는 길이로 확장되게 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 기판은,
    상기 스테이지의 폭방향을 따라 인라인되게 배치된 복수의 단위 셀 기판을 포함하고,
    상기 심 플레이트는,
    상기 스테이지의 폭방향을 따라 인라인되게 배치된 복수의 상기 단위 셀 기판의 상기 스테이지의 폭방향 개수에 대응되는 형상을 가지며, 상기 스테이지의 폭방향을 따라 인라인되게 배치된 복수의 상기 단위 셀 기판의 상기 스테이지의 폭방향 간격에 대응되는 간격을 갖는 복수의 약액유로를 포함하는 기판 코터 장치.
KR1020140192294A 2014-12-29 2014-12-29 기판 코터 장치 KR102271999B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140192294A KR102271999B1 (ko) 2014-12-29 2014-12-29 기판 코터 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140192294A KR102271999B1 (ko) 2014-12-29 2014-12-29 기판 코터 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20160080459A KR20160080459A (ko) 2016-07-08
KR102271999B1 true KR102271999B1 (ko) 2021-07-02

Family

ID=56502849

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140192294A KR102271999B1 (ko) 2014-12-29 2014-12-29 기판 코터 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102271999B1 (ko)

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100937703B1 (ko) * 2003-03-06 2010-01-20 삼성전자주식회사 슬릿 코터 및 이를 이용한 포토레지스트 도포 장치
KR100989928B1 (ko) * 2008-07-09 2010-10-26 (주)티에스티아이테크 유체 토출 장치 및 그의 세정 방법
KR101158267B1 (ko) 2009-10-26 2012-06-19 주식회사 나래나노텍 기판 부상 유닛에 사용되는 부상 플레이트, 및 이를 구비한 기판 부상 유닛, 기판 이송 장치 및 코팅 장치
KR101350950B1 (ko) * 2011-10-31 2014-01-15 세메스 주식회사 노즐 유닛, 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
KR101949332B1 (ko) * 2012-04-20 2019-02-19 주식회사 탑 엔지니어링 수지도포장치의 노즐

Also Published As

Publication number Publication date
KR20160080459A (ko) 2016-07-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100711069B1 (ko) 기판 처리 장치
TWI741426B (zh) 塗布裝置及塗布方法
KR102190687B1 (ko) 슬릿코터 시스템
KR101344926B1 (ko) 지지유닛, 이를 포함하는 기판처리장치
JP6151053B2 (ja) 塗布装置、塗布方法およびディスプレイ用部材の製造方法
JP6945624B2 (ja) インプリントリソグラフィプロセスにおける基板の位置付け
KR102271999B1 (ko) 기판 코터 장치
KR20160080452A (ko) 기판 코터 장치 및 이를 이용한 기판 코팅방법
KR20060133375A (ko) 도포액 도포장치 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조방법
JP2012182308A (ja) 浮上式塗布装置
KR20090074450A (ko) 약액 공급 시스템 및 이를 적용한 기판 처리 장치
JP2009040533A (ja) 塗布装置及び塗布方法
KR20100059238A (ko) 기판 상의 포토레지스트막을 건조하기 위한 장치
KR100884600B1 (ko) 저점성 용액 도포장치
JP2019171271A (ja) 塗布装置、塗布方法およびディスプレイ用部材の製造方法
KR102310002B1 (ko) 약액 도포 장치
KR101282591B1 (ko) 기판 코팅 장치
WO2013121814A1 (ja) 塗布装置
KR100675643B1 (ko) 슬릿코터
KR102404086B1 (ko) 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
KR20150021220A (ko) 박막 증착 장치 및 박막 증착 방법
KR20140069677A (ko) 기판 프린팅 장치 및 기판 프린팅 방법
KR101052754B1 (ko) 기판 이송 장치
WO2023042741A1 (ja) 基板塗布装置および基板塗布方法
JP3879880B2 (ja) 基板処理装置

Legal Events

Date Code Title Description
N231 Notification of change of applicant
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E90F Notification of reason for final refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant