KR102270396B1 - Semiconductor chip pick-up device - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 패키지 조립 공정에서 웨이퍼 상의 개별 칩을 리드 프레임이나 PCB 등에 부착할 때, 개별 칩을 픽업하여 이송시켜주는 역할을 하는 픽업 장치에 관한 것이다.
본 발명은 픽업 장치의 보디측 슬라이더 블록과 슬라이더 간의 네 쌍의 면 접촉 슬라이드 방식을 적용함과 더불어 유격 보상이 가능한 분할형 홀더 블록 구조를 적용한 새로운 형태의 픽업 장치를 구현함으로써, 픽업 작동 시의 흔들림을 배제하여 반도체 칩의 정밀한 픽업이 가능하고, 가공 오차나 도금 두께의 편차에 따른 오차 등을 보상할 수 있으며, 조립성 향상과 더불어 장치의 규격화 및 표준화를 확보할 수 있는 반도체 칩 픽업 장치를 제공한다. The present invention relates to a pickup device that picks up and transports individual chips when attaching individual chips on a wafer to a lead frame or a PCB in a semiconductor package assembly process.
The present invention applies the four pairs of surface contact slide method between the slider block and the slider on the body side of the pickup device and implements a new type of pickup device to which a split type holder block structure capable of compensating for play is applied. Provides a semiconductor chip pickup device that enables precise pickup of semiconductor chips by eliminating do.

Description

반도체 칩 픽업 장치{Semiconductor chip pick-up device}Semiconductor chip pick-up device

본 발명은 반도체 칩 픽업 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 패키지 조립 공정에서 웨이퍼 상의 개별 칩을 리드 프레임이나 PCB 등에 부착할 때, 개별 칩을 픽업하여 이송시켜주는 역할을 하는 픽업 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor chip pickup device, and more particularly, to a pickup device that picks up and transports individual chips when attaching individual chips on a wafer to a lead frame or PCB in a semiconductor package assembly process. .

일반적으로 복수의 반도체 칩들은 웨이퍼 레벨로 제조되고, 이러한 웨이퍼 레벨의 반도체 칩들은 소잉 공정을 거쳐서 칩 단위로 분리된 후, 개별적으로 패키지 기판 상에 부착되어 패키지 형태를 이루게 된다. In general, a plurality of semiconductor chips are manufactured at a wafer level, and after the semiconductor chips of the wafer level are separated into chip units through a sawing process, they are individually attached to a package substrate to form a package.

예를 들면, 칩 부착 공정은 반도체 패키지 조립 공정 중에서 개별 칩을 웨이퍼에서 분리한 다음, 리드 프레임 또는 PCB 등과 같은 기판에 에폭시 접착제를 이용하여 붙이는 공정이다. For example, the chip attaching process is a process in which individual chips are separated from a wafer during a semiconductor package assembly process, and then attached to a substrate such as a lead frame or a PCB using an epoxy adhesive.

이와 같은 칩 부착 공정은 웨이퍼 상에 그룹으로 있던 칩들을 개별적으로 분리하여 제품화하는 첫 단계이며, 이러한 칩 부착 공정을 수행하기 위해서는 웨이퍼를 개별 칩 단위로 절단하여 분리시키는 공정이 선행되어야 한다.Such a chip attaching process is the first step of individually separating and commercializing chips in a group on a wafer, and in order to perform such a chip attaching process, a process of cutting and separating the wafer into individual chip units must be preceded.

예를 들면, 반도체 칩 패키지 공정은 복수 개의 칩이 형성된 웨이퍼를 개별 칩 단위로 절단하고, 절단된 개별 칩을 패키지 본체에 접착하는 칩 부착 공정을 위하여 절단된 개별 칩을 픽업한 후에 패키지 본체의 실장부에 이송하는 공정이 요구된다. For example, in the semiconductor chip package process, a wafer on which a plurality of chips is formed is cut in units of individual chips, and the cut individual chips are picked up for a chip attaching process of bonding the cut individual chips to the package body, and then the package body is mounted. The process of transferring to the department is required.

이때, 웨이퍼로부터 반도체 칩을 픽업하여 이송하는 반도체 칩 이송 장치 중 칩과 직접 접하여 픽업하는 역할은 픽업 장치가 담당한다. In this case, the pick-up device plays a role of picking up the semiconductor chip in direct contact with the chip among the semiconductor chip transport devices that pick up and transport the semiconductor chip from the wafer.

보통 픽업 장치는 소정의 진공홀을 가지면서 반도체 칩 이송 장치측에 설치되는 보디, 소정의 진공홀을 가지면서 보디측에 상하 슬라이드 가능하게 결합되는 홀더, 소정의 진공홀을 가지면서 홀더측에 결합되는 홀더 팁 등으로 구성된다. In general, a pickup device includes a body having a predetermined vacuum hole and installed on the semiconductor chip transfer device side, a holder having a predetermined vacuum hole and vertically slidably coupled to the body side, and a holder having a predetermined vacuum hole coupled to the holder side. It consists of a holder tip, etc.

따라서, 반도체 칩 이송 장치측에 픽업 장치를 설치한 후, 진공을 인가함과 더불어 홀더 팁을 반도체 칩에 밀착시킴으로써, 반도체 칩은 홀더 팁에 흡착되어 픽업되고, 계속해서 반도체 칩 이송 장치의 가동에 의해 반도체 칩이 이송된다. Therefore, after the pickup device is installed on the semiconductor chip transport device side, vacuum is applied and the holder tip is brought into close contact with the semiconductor chip so that the semiconductor chip is adsorbed and picked up by the holder tip, and continues to operate the semiconductor chip transport device. The semiconductor chip is transferred by

도 1 내지 도 3은 종래의 반도체 칩 픽업 장치를 나타내는 사시도와 단면도이다. 1 to 3 are a perspective view and a cross-sectional view showing a conventional semiconductor chip pickup apparatus.

도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이, 종래의 반도체 칩 픽업 장치는 중심부의 진공홀(100a)과 하단의 홀더 팁(170)을 가지면서 반도체 칩을 흡착하는 홀더(180)와, 내벽 둘레의 반원형 홈부(110a)를 가지면서 반도체 칩 이송 장치(미도시)에 설치되는 보디(120)와, 중심부의 진공홀(100b)과 후단부 외면 둘레의 반원형 홈부(110b)를 가지면서 보디(120)에 슬라이드 가능한 구조로 결합되는 슬라이더(130)와, 다수 개의 흡착홀(미도시)을 가지면서 슬라이더(130)에 형성되어 있는 글래스 안착홈(140)에 결합되는 글래스(150)와, 상기 보디(120)의 반원형 홈부(110a)와 슬라이더(130)의 반원형 홈부(110b) 사이에 개재되는 볼(160) 등을 포함한다. 1 to 3, the conventional semiconductor chip pickup device includes a holder 180 for adsorbing a semiconductor chip while having a vacuum hole 100a at the center and a holder tip 170 at the lower end, and the inner wall periphery. Body 120 having a semi-circular groove portion 110a and installed in a semiconductor chip transport device (not shown), a vacuum hole 100b in the center and a semi-circular groove portion 110b around the rear end outer surface of the body 120 A slider 130 coupled to the slider 130 in a slidable structure, a glass 150 coupled to a glass seating groove 140 formed in the slider 130 while having a plurality of suction holes (not shown), and the body ( The ball 160 and the like interposed between the semi-circular groove portion 110a of the 120 and the semi-circular groove portion 110b of the slider 130 are included.

따라서, 반도체 칩 이송 장치측에 픽업 장치를 설치한 후, 진공을 인가함과 더불어 홀더의 홀더 팁을 반도체 칩에 밀착시킴으로써, 반도체 칩은 홀더 팁에 흡착되어 픽업되고, 계속해서 반도체 칩 이송 장치의 가동에 의해 반도체 칩이 이송된다. Therefore, after the pickup device is installed on the semiconductor chip transport device side, by applying a vacuum and bringing the holder tip of the holder into close contact with the semiconductor chip, the semiconductor chip is adsorbed and picked up by the holder tip, and then the semiconductor chip transport device The semiconductor chip is transferred by operation.

그러나, 종래의 반도체 칩 픽업 장치는 다음과 같은 단점이 있다. However, the conventional semiconductor chip pickup apparatus has the following disadvantages.

첫째, 보디와 슬라이더가 네 곳의 볼에 의해 지지되면서 서로 간에 유격(G)을 조성하고 있는 구조를 채택하고 있기 때문에 반도체 칩을 픽업하기 위해 홀더 팁이 눌려지면서 홀더 전체가 상승할 때, 슬라이더를 포함하는 홀더 전체가 전후 및 좌우, 그리고 회전 방향으로 흔들리게 되고, 이로 인해 정확하게 반도체 칩을 픽업할 수 없어 픽업 불량이 많이 발생하게 되는 등 픽업의 정밀도가 떨어지는 단점이 있다. First, since the structure is adopted where the body and the slider are supported by four balls and create a gap (G) between each other, when the holder tip is pressed to pick up the semiconductor chip and the entire holder rises, the slider The entire holder including the holder is shaken forward and backward, left and right, and in the rotational direction, and thus the semiconductor chip cannot be accurately picked up, resulting in a lot of pickup failures, etc., and the pickup precision is poor.

둘째, 보디와 슬라이더는 알루미늄 소재로 제작한 후에 하드 블랙으로 후처리(도금)를 하게 되는데, 이때 도금 두께가 일정치 않을 뿐만 아니라 가공 오차까지 있는 경우에는 조립에 상당한 어려움을 겪는 일이 빈번하게 일어나는 등 조립성 측면에서 불리한 점이 있다. Second, the body and slider are post-processed (plating) with hard black after they are made of aluminum material. There are disadvantages in terms of assembly, etc.

셋째, 보디와 슬라이더의 조립 시 도금두께 불량, 가동 치수 오차 등에 의해 보디와 홀더 간의 유격이 균일하지 않는 경우 그 사이에 개재되는 볼을 조립하는데 어려움이 있고, 결국 유격이 큰 경우에는 상대적으로 큰 사이즈의 볼을 조립해야 하거나, 유격이 작은 경우에는 상대적으로 작은 사이즈의 볼을 조립해야 하는 등 조립성 저하는 물론 로트(Lot) 관리에도 많은 어려움이 있고, 픽업 장치의 규격화 및 표준화를 저해하는 단점이 있다. Third, when assembling the body and the slider, if the clearance between the body and the holder is not uniform due to poor plating thickness, movable dimension error, etc., it is difficult to assemble the ball interposed therebetween. There are many difficulties in lot management as well as lowering of assembly, such as having to assemble a ball of a small size or having to assemble a ball of a relatively small size when the play is small, and there are disadvantages that hinder the standardization and standardization of pickup devices. have.

한국 공개특허 제10-2003-0094650호Korean Patent Publication No. 10-2003-0094650 한국 공개특허 제10-2004-0082528호Korean Patent Publication No. 10-2004-0082528 한국 공개특허 제10-2008-0058885호Korean Patent Publication No. 10-2008-0058885 한국 등록특허 제10-1385443호Korean Patent Registration No. 10-1385443 한국 등록특허 제10-1385444호Korean Patent Registration No. 10-1385444

따라서, 본 발명은 이와 같은 점을 감안하여 안출한 것으로서, 픽업 장치의 보디측 슬라이더 블록과 슬라이더 간의 네 쌍의 면 접촉 슬라이드 방식을 적용함과 더불어 유격 보상이 가능한 분할형 홀더 블록 구조를 적용한 새로운 형태의 픽업 장치를 구현함으로써, 픽업 작동 시의 흔들림을 배제하여 반도체 칩의 정밀한 픽업이 가능하고, 가공 오차나 도금 두께의 편차에 따른 오차 등을 보상할 수 있으며, 조립성 향상과 더불어 장치의 규격화 및 표준화를 확보할 수 있는 반도체 칩 픽업 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.Therefore, the present invention has been devised in view of this point, and a new form in which a split type holder block structure capable of compensating for play is applied as well as applying four pairs of surface contact slide method between the slider block and the slider on the body side of the pickup device. By implementing the pickup device of , precise pickup of semiconductor chips is possible by excluding vibration during pickup operation, and errors due to processing errors or deviations in plating thickness can be compensated. An object of the present invention is to provide a semiconductor chip pickup device capable of ensuring standardization.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에서 제공하는 반도체 칩 픽업 장치는 다음과 같은 특징이 있다. In order to achieve the above object, the semiconductor chip pickup apparatus provided by the present invention has the following characteristics.

상기 반도체 칩 픽업 장치는 중심부의 홀더 수용홀을 가지는 보디와, 상기 보디의 상면부에 결합되는 슬라이더 블록과, 중심부의 진공홀과 측면부의 진공호스연결용 피팅을 가지면서 슬라이더 블록의 내측에 상하 이동 가능하게 결합되는 슬라이더와, 칩을 픽업하는 수단으로서 중심부의 진공홀을 가지면서 보디의 홀더 수용홀 내에 상하 이동가능한 구조로 설치되는 홀더 어셈블리를 포함하는 구조로 이루어지고, 특히 상기 슬라이더는 네 곳의 모서리 부위에 각각 위치되는 네 쌍의 면 접촉부에 의해 슬라이더 블록측과 슬라이드 접촉되면서 상하 이동 가능하게 결합되는 것이 특징이다. The semiconductor chip pickup device has a body having a holder accommodating hole in the center, a slider block coupled to the upper surface of the body, and a vacuum hole in the center and a fitting for connecting a vacuum hose on the side, and moves up and down inside the slider block It has a structure including a slider that is operably coupled, and a holder assembly that is installed in a vertically movable structure in the holder receiving hole of the body while having a vacuum hole in the center as a means for picking up chips, and in particular, the slider has four It is characterized in that it is movably coupled up and down while in sliding contact with the slider block side by means of four pairs of surface contact portions respectively positioned at the corners.

여기서, 상기 각 쌍의 면 접촉부 사이에는 슬라이더 블록측과의 접촉 회피를 위한 오목한 호(弧) 형상의 곡면부가 형성될 수 있다. Here, a concave arc-shaped curved surface portion for avoiding contact with the slider block side may be formed between the pair of surface contact portions.

이때의 한 쌍을 이루는 면 접촉부 사이에는 슬라이더 블록측과의 접촉 회피를 위한 면취부가 형성될 수 있다. At this time, a chamfered portion for avoiding contact with the slider block side may be formed between the paired surface contact portions.

또한, 상기 슬라이더 블록은 "ㄱ"자 형상의 제1슬라이더 블록 및 제2슬라이더 블록의 조합으로 구성될 수 있고, 상기 제1슬라이더 블록과 제2슬라이더 블록은 나사에 의한 체결구조로 결합되면서 상하 방향으로 관통되는 사각형의 공간부를 함께 조성할 수 있다. In addition, the slider block may be composed of a combination of a first slider block and a second slider block having an “L” shape, and the first slider block and the second slider block are coupled in a fastening structure by screws in the vertical direction. It is possible to create a rectangular space part through the

그리고, 상기 나사의 체결을 위해 제1슬라이더 블록과 제2슬라이더 블록에 형성되는 나사홀은 장공(長孔)으로 이루어져, 블록 간의 체결 시 블록 간의 체결 위치 조절을 통해 슬라이더측과의 유격을 조절할 수 있는 특징이 있다. In addition, the screw hole formed in the first slider block and the second slider block for fastening the screw is made of a long hole, and when the blocks are fastened, the clearance with the slider can be adjusted by adjusting the fastening position between the blocks. there is a characteristic

바람직한 실시예로서, 상기 슬라이더는 글래스의 수용을 위한 상면의 글래스 안착홈과 중심부의 관측홀을 가지면서 원통형의 삽입부를 이용하여 슬라이더에 형성되어 있는 진공홀의 상단부에 끼워지는 구조로 결합되는 글래스 지지체를 포함할 수 있다. As a preferred embodiment, the slider has a glass seating groove on the upper surface for accommodating the glass and an observation hole in the center, and using a cylindrical insert, a glass support that is coupled to the upper end of the vacuum hole formed in the slider. may include

바람직한 실시예로서, 상기 반도체 칩 픽업 장치는 홀더 블록의 일측에 연장 형성되는 브라켓에 나사 체결구조로 결합됨과 더불어 반도체 칩 이송 장치측에 설치되면서 보디, 슬라이더 블록 및 슬라이더 전체를 지지하는 서포트 블록을 더 포함할 수 있다. As a preferred embodiment, the semiconductor chip pickup device is coupled to a bracket extending from one side of the holder block by a screw fastening structure, and is installed on the semiconductor chip transport device side and further includes a support block for supporting the body, the slider block and the slider as a whole. may include

바람직한 실시예로서, 상기 슬라이더 블록, 슬라이더는 표면이 나노 코팅으로 처리되어 있는 알루미늄 등과 같은 금속 소재로 이루어질 수 있다. In a preferred embodiment, the slider block and the slider may be made of a metal material such as aluminum whose surface is treated with a nano coating.

본 발명에서 제공하는 반도체 칩 픽업 장치는 다음과 같은 효과가 있다.The semiconductor chip pickup apparatus provided by the present invention has the following effects.

첫째, 픽업 장치의 보디측 슬라이더 블록과 슬라이더 간의 네 쌍의 면 접촉 슬라이드 방식, 예를 들면 보디측 슬라이더 블록과 슬라이더가 네 곳 모서리 부위에서 네 쌍의 면 접촉으로 슬라이드되는 방식을 적용함으로써, 전후 방향, 좌우 방향 및 회전 방향으로의 흔들림 문제를 완전히 배제할 수 있고, 따라서 반도체 칩을 정확하게 픽업할 수 있는 등 픽업의 정밀도를 높여 공정 수행능력을 향상시킬 수 있는 효과가 있다. First, by applying a four-pair surface contact slide method between the slider block and the slider on the body side of the pickup device, for example, a method in which the body-side slider block and the slider slide in four pairs of surface contact at four corners, the front-rear direction , it is possible to completely eliminate the problem of shaking in the left and right direction and the rotation direction, and thus the semiconductor chip can be accurately picked up, etc. There is an effect of improving the process performance by increasing the precision of the pickup.

둘째, "ㄱ"자 형태로 이루어진 2개의 블록을 조합한 형태의 슬라이더 블록을 적용함으로써, 조립 시에 슬라이더측과의 유격을 조절할 수 있으며, 따라서 가공 오차는 물론 도금 두께 편차에 따른 오차 등을 보상할 수 있는 등 조립성 향상과 더불어 작동성과 관련한 조립 품질을 확보할 수 있는 효과가 있다. Second, by applying a slider block in the form of a combination of two blocks made of a “L” shape, the clearance with the slider can be adjusted during assembly, thus compensating for processing errors as well as errors due to plating thickness deviation It has the effect of securing assembly quality related to operability as well as improving assembling performance.

셋째, 착탈 가능한 구조의 글래스 지지체를 이용하여 슬라이더측에 글래스를 조립하는 구조를 적용함으로써, 글래스 세척 작업의 효율성을 높일 수 있는 효과가 있다. Third, by applying a structure for assembling glass to the slider side using a detachable glass support, there is an effect of increasing the efficiency of the glass cleaning operation.

넷째, 보디, 슬라이더, 슬라이드 블록 등의 부품 소재로서 알루미늄 소재 등을 적용함과 더불어 알루미늄 소재의 표면에 나노 코팅층을 처리함으로써, 마찰력 저감에 따른 내구성 향상과 작동성 향상을 도모할 수 있는 효과가 있다. Fourth, by applying an aluminum material as a component material such as a body, a slider, and a slide block, and processing a nano-coating layer on the surface of the aluminum material, there is an effect that can improve durability and improve operability due to frictional force reduction. .

도 1과 도 2는 종래의 반도체 칩 픽업 장치를 나타내는 사시도
도 3은 종래의 반도체 칩 픽업 장치를 나타내는 단면도
도 4 내지 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 칩 픽업 장치를 나타내는 사시도
도 8과 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 칩 픽업 장치를 나타내는 단면도
도 10과 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 칩 픽업 장치의 작동상태를 나타내는 사시도1 and 2 are perspective views showing a conventional semiconductor chip pickup device;
3 is a cross-sectional view showing a conventional semiconductor chip pickup device;
4 to 7 are perspective views illustrating a semiconductor chip pickup device according to an embodiment of the present invention;
8 and 9 are cross-sectional views illustrating a semiconductor chip pickup apparatus according to an embodiment of the present invention;
10 and 11 are perspective views illustrating an operating state of a semiconductor chip pickup apparatus according to an embodiment of the present invention;

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4 내지 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 칩 픽업 장치를 나타내는 사시도이고, 도 8과 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 칩 픽업 장치를 나타내는 단면도이다. 4 to 7 are perspective views illustrating a semiconductor chip pickup apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 8 and 9 are cross-sectional views illustrating a semiconductor chip pickup apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 4 내지 도 9에 도시한 바와 같이, 상기 반도체 칩 픽업 장치는 2개의 부품을 결합시킨 형태의 조립형 슬라이더 블록과 네 쌍의 면 접촉부위를 이용하여 슬라이더 블록측과 상하 슬라이드 가능한 슬라이더를 채택하여, 픽업 작업의 정밀도를 높일 수 있음은 물론 조립성과 조립 품질을 높일 수 있는 등 장치의 성능을 향상시킬 수 있는 구조로 이루어지게 된다. 4 to 9, the semiconductor chip pickup device adopts an assembled slider block in which two parts are combined and a slider that can slide up and down with the slider block side using four pairs of surface contact parts. , it is made of a structure that can improve the performance of the device, such as being able to increase the precision of the pickup operation, as well as increase the assembly and assembly quality.

이를 위하여, 상기 반도체 칩 픽업 장치는 중심부의 홀더 수용홀(28)을 가지는 보디(11)를 포함한다. To this end, the semiconductor chip pickup device includes a body 11 having a holder accommodating hole 28 in the center thereof.

상기 보디(11)는 상단의 플랜지 부분과 하단의 원통 부분의 일체형 구조로서, 중심부에는 수직의 축선을 따라 관통되는 홀더 수용홀(28)이 형성된다. The body 11 has an integral structure of an upper flange portion and a lower cylindrical portion, and a holder receiving hole 28 penetrating along a vertical axis is formed in the central portion.

이러한 보디(11)는 플랜지 부분을 이용하여 슬라이드 블록(12)의 하단부 두 곳과 나사 체결구조로 결합된다.The body 11 is coupled to two lower ends of the slide block 12 by using a flange portion and a screw fastening structure.

여기서, 상기 보디(11)의 홀더 수용홀(28)에는 후술하는 스프링(33)과 함께 홀더 어셈블리(30)의 상단 부분이 삽입 위치될 수 있게 된다. Here, the upper end of the holder assembly 30 together with a spring 33 to be described later can be inserted into the holder receiving hole 28 of the body 11 .

또한, 상기 반도체 칩 픽업 장치는 보디(11)의 상면부에 결합되는 슬라이더 블록(12)을 포함한다. In addition, the semiconductor chip pickup device includes a slider block 12 coupled to the upper surface of the body 11 .

상기 슬라이더 블록(12)은 슬라이더(13)를 수용한 상태에서 슬라이더(13)의 상하 움직임을 안내하는 역할, 즉 슬라이더(13)가 전후 및 좌우, 회전 등 흔들림없이 정확하게 위아래로 움직일 수 있도록 안내하는 역할을 하게 된다. The slider block 12 serves to guide the vertical movement of the slider 13 in a state where the slider 13 is accommodated, that is, to guide the slider 13 to move up and down accurately without shaking, such as forward, backward, left and right, rotation, etc. will play a role

이를 위하여, 상기 슬라이더 블록(12)은 "ㄱ"자 형상의 제1슬라이더 블록(12a)과 제2슬라이더 블록(12b)의 조합으로 이루어지게 되며, 이러한 제1슬라이더 블록(12a)과 제2슬라이더 블록(12b)은 나사(18)에 의한 체결구조로 결합되면서 상하 방향으로 관통되는 사각형의 공간부(19)를 함께 조성하게 된다. To this end, the slider block 12 is composed of a combination of the first slider block 12a and the second slider block 12b in the shape of an “L”, and the first slider block 12a and the second slider block 12a. The block 12b is combined with a fastening structure by a screw 18 to form a rectangular space 19 penetrating in the vertical direction.

예를 들면, "ㄱ"자 형상의 제1슬라이더 블록(12a)과 제2슬라이더 블록(12b)은 각각이 가지고 있는 한 쪽의 측단 부분과 다른 한 쪽의 내벽 가장자리 부분을 서로 엇갈리게 맞댄 상태에서, 즉 제1슬라이더 블록(12a)의 측단 부분과 제2슬라이더 블록(12b)의 내벽 가장자리 부분을 맞대는 동시에 제1슬라이더 블록(12a)의 내벽 가장자리 부분과 제2슬라이더 블록(12b)의 측단 부분을 맞댄 상태에서, 이때의 서로 간의 맞댄 부분에 각각 나사(20)가 체결되므로서, 제1슬라이더 블록(12a)과 제2슬라이더 블록(12b)은 사각형의 공간부(19)를 함께 조성하면서 결합되고, 이렇게 제1슬라이더 블록(12a)과 제2슬라이더 블록(12b)의 결합에 의해 만들어진 공간부(19)의 내부에 슬라이더(13)가 수용될 수 있게 된다. For example, the first slider block (12a) and the second slider block (12b) of the “L” shape have one side end part and the other side inner wall edge part of each other in a state in which they are alternately abutted with each other, That is, the side end portion of the first slider block (12a) and the inner wall edge portion of the second slider block (12b) are at the same time as the inner wall edge portion of the first slider block (12a) and the side end portion of the second slider block (12b). In the butt state, as the screws 20 are respectively fastened to the butt portions of each other at this time, the first slider block 12a and the second slider block 12b are combined while forming a rectangular space 19 together, and , the slider 13 can be accommodated in the space 19 made by the combination of the first slider block 12a and the second slider block 12b in this way.

특히, 상기 나사(18)의 체결을 위해 제1슬라이더 블록(12a)과 제2슬라이더 블록(12b)에 형성되는 나사홀(20)은 장공(長孔)으로 이루어지게 되고, 이에 따라 제1슬라이더 블록(12a)과 제2슬라이더 블록(12b) 간의 결합을 위한 나사(18)의 체결 시 블록 간의 체결 위치 조절을 통해 슬라이더(13)측과의 유격을 조절할 수 있게 된다.In particular, the screw hole 20 formed in the first slider block 12a and the second slider block 12b for fastening the screw 18 is made of a long hole, and thus the first slider When the screw 18 for coupling between the block 12a and the second slider block 12b is fastened, the clearance with the slider 13 can be adjusted by adjusting the fastening position between the blocks.

예를 들면, 상기 제1슬라이더 블록(12a)에 대해 제2슬라이더 블록(12b)을 결합할 때, 술라이더(13)를 가운데 두고 제2슬라이더 블록(12b)을 제1슬라이더 블록(12a)에 맞댄 다음, 슬라이더(13)측과의 유격(밀착 정도)을 확인해가면서 제2슬라이더 블록(12b)을 X축 방향으로 움직여 위치를 잡은 후에 나사(18)를 체결하게 되므로서, 블록 가공 오차가 있거나 도금 두께 편차가 있는 경우에도 슬라이더 블록(12)측과 슬라이더(13)측을 기 설정되어 있는 적정 유격에 맞게 조립할 수 있게 된다.For example, when combining the second slider block 12b with respect to the first slider block 12a, the second slider block 12b is placed on the first slider block 12a with the slider 13 in the center. After butt, the second slider block 12b is moved in the X-axis direction while checking the clearance (adhesion degree) with the slider 13 to position it, and then the screw 18 is fastened, so there is a block processing error or Even if there is a plating thickness deviation, the slider block 12 side and the slider 13 side can be assembled according to a predetermined appropriate clearance.

그리고, 상기 슬라이더 블록(12)의 일측, 예를 들면 제1슬라이더 블록(12a)의 일측에는 브라켓(25)이 연장 형성되며, 이렇게 형성되는 브라켓(25)은 반도체 칩 이송 장치(미도시)측에 설치되는 서포트 블록(26)의 수평 단부에 나사 체결구조로 결합될 수 있게 된다. In addition, a bracket 25 is formed extending from one side of the slider block 12, for example, one side of the first slider block 12a, and the bracket 25 thus formed is connected to the semiconductor chip transport device (not shown) side. It is possible to be coupled to the horizontal end of the support block 26 installed in the screw fastening structure.

이에 따라, 상기 슬라이더 블록(12)과 이때의 슬라이더 블록(12)에 결합되는 보디(11) 및 슬라이더(13) 전체는 서포트 블록(26)에 의해 지지될 수 있게 된다. Accordingly, the slider block 12 and the entire body 11 and slider 13 coupled to the slider block 12 at this time can be supported by the support block 26 .

이때, 상기 제1슬라이더 블록(12a)의 브라켓(25)은 서포트 블록(26)의 수평 단부에 형성되어 있는 단차부(27) 내에 안착되는 상태 및 제1슬라이더 블록(12a)의 외벽 가장자리 부분이 서포트 블록(26)의 수평 단부에 맞댄 상태에서 서포트 블록(26)측에 나사로 체결되므로서, 제1슬라이더 블록(12a) 및 제2슬라이더 블록(12b)을 포함하는 슬라이더 블록(12) 전체의 정확한 결합 위치가 자동으로 결정될 수 있는 등 슬라이더 블록(12)의 조립 작업을 용이하게 할 수 있게 된다.At this time, the bracket 25 of the first slider block 12a is seated in the stepped portion 27 formed at the horizontal end of the support block 26 and the outer wall edge of the first slider block 12a is Since it is screwed to the side of the support block 26 in a state against the horizontal end of the support block 26, the entire slider block 12 including the first slider block 12a and the second slider block 12b is accurate. It is possible to facilitate the assembly operation of the slider block 12, such as the engagement position can be automatically determined.

또한, 상기 반도체 칩 픽업 장치는 중심부의 진공홀(10b)을 가지면서 슬라이더 블록(12)의 내측에 상하 이동 가능하게 결합되는 슬라이더(13)를 포함한다. In addition, the semiconductor chip pickup device includes a slider 13 coupled to the inside of the slider block 12 to be movable up and down while having a vacuum hole 10b in the center thereof.

상기 슬라이더(13)는 Y축 방향으로의 유동 가능한 구조를 이용하여 반도체 칩(14)의 픽업 시 반도체 칩에 홀더 어셈블리(30)를 밀착시킬 때의 충격을 흡수하는 역할을 하게 된다. The slider 13 serves to absorb an impact when the holder assembly 30 is brought into close contact with the semiconductor chip when the semiconductor chip 14 is picked up by using a structure capable of flowing in the Y-axis direction.

이를 위하여, 상기 슬라이더(13)는 아래쪽의 슬라이드부(13a)와 윗쪽의 몸체부(13b)의 일체형 구조로서, 슬라이더 블록(12)측의 상단부에 얹혀져 지지되는 구조로 설치될 수 있게 된다. To this end, the slider 13 has an integrated structure of the lower slide portion 13a and the upper body portion 13b, and can be installed to be supported by being placed on the upper end of the slider block 12 side.

이때, 상기 슬라이드부(13a)와 몸체부(13b)에는 수직의 축선을 따라 연통되어 있는 구조의 진공홀(10b)이 형성되고, 이렇게 형성되는 진공홀(10b)은 홀더 어셈블리(30)측의 진공홀(10a)과 서로 통할 수 있게 된다. At this time, the slide portion 13a and the body portion 13b are formed with a vacuum hole 10b having a structure communicating along a vertical axis, and the vacuum hole 10b formed in this way is located on the holder assembly 30 side. It is possible to communicate with the vacuum hole 10a.

여기서, 상기 진공홀(10b)의 하단부 구간의 내주면에는 암나사부(35)가 형성되어 있으며, 이렇게 형성되는 암나사부(35)에는 홀더 어셈블리(30)의 홀더 연결체(30e)의 외주면에 형성되는 숫나사부(34)가 체결될 수 있게 된다. Here, a female screw part 35 is formed on the inner circumferential surface of the lower end section of the vacuum hole 10b, and the female screw part 35 formed in this way is formed on the outer circumferential surface of the holder connection body 30e of the holder assembly 30. The male thread part 34 can be fastened.

이러한 슬라이더(13)는 네 곳의 모서리 부위에 각각 위치되는 네 쌍의 면 접촉부(15a∼15d)에 의해 슬라이더 블록(12)측과 슬라이드 접촉되면서 상하 이동 가능하게 결합된다. The slider 13 is coupled to be movable up and down while in sliding contact with the slider block 12 by four pairs of surface contact portions 15a to 15d respectively positioned at four corners.

예를 들면, 상기 슬라이더(13)의 슬라이드부(13a)는 대략 사각기둥 형태로 이루어지게 되고, 이러한 슬라이드부(13a)의 네 곳의 모서리 부위에는 모따기 형상의 면취부(17)를 사이에 두고 수직으로 나란하게 배치되는 한 쌍의 면 접촉부(15a∼15d)가 각각 형성되며, 이때의 각 쌍의 면 접촉부(15a∼15d) 사이에는 오목한 호(弧) 형상의 곡면부(16)가 각각 형성된다. For example, the slide portion 13a of the slider 13 is formed in a substantially rectangular prism shape, and a chamfered portion 17 having a chamfer shape is interposed at the four corners of the slide portion 13a. A pair of surface contact portions 15a to 15d arranged vertically in parallel are respectively formed, and a concave arc-shaped curved surface portion 16 is formed between each pair of surface contact portions 15a to 15d at this time, respectively. do.

여기서, 상기 네 쌍의 면 접촉부(15a∼15d)는 하나의 원 궤적 상에 놓여지게 되며, 각 쌍의 면 접촉부(15a∼15d) 사이사이에 형성되는 네 곳의 면취부(17)와 네 곳의 곡면부(16)는 네 쌍의 면 접촉부(15a∼15d)가 이루는 원 궤적 상의 내측에 놓여지게 된다. Here, the four pairs of surface contact portions 15a to 15d are placed on one circular trajectory, and four chamfered portions 17 and four places are formed between each pair of surface contact portions 15a to 15d. The curved portion 16 of is placed on the inside on the circular trajectory formed by the four pairs of surface contact portions 15a to 15d.

이에 따라, 상기 슬라이더(13)의 슬라이드부(13a)가 슬라이더 블록(12)의 공간부(19) 내에 삽입되는 구조로 결합되면, 이때의 슬라이드부(13a)에 있는 네 쌍의 면 접촉부(15a∼15d)는 공간부(19)의 벽면, 즉 제1슬라이더 블록(12a)과 제2슬라이더 블록(12b)의 네 곳의 모서리 부위의 벽면에 접촉될 수 있게 되고, 결국 슬라이더(13)의 슬라이드부(13a)는 공간부(19)의 벽면에 밀착되는 네 쌍의 면 접촉부(15a∼15d)에 의한 안내를 받으면서 위아래로 슬라이드될 수 있게 된다. Accordingly, when the slide portion 13a of the slider 13 is coupled in a structure to be inserted into the space portion 19 of the slider block 12, the four pairs of surface contact portions 15a in the slide portion 13a at this time. -15d) can come into contact with the wall surface of the space portion 19, that is, the wall surface of the four corners of the first slider block 12a and the second slider block 12b, and eventually the slide of the slider 13 The portion 13a can be slid up and down while being guided by the four pairs of surface contact portions 15a to 15d that are in close contact with the wall surface of the space portion 19 .

이렇게 슬라이드부(13a)를 이용하여 슬라이더(13)가 네 곳의 모서리 부위에 각각 위치되는 네 쌍의 면 접촉부(15a∼15d)에 의해 슬라이더 블록(12)측과 슬라이드 접촉되면서(거의 선 접촉에 가까운 여덟 곳의 면 접촉을 통해 접촉되면서) 상하 이동 가능하게 되므로서, 좌우 방향 및 전후 방향은 물론 회전 방향으로의 흔들림이 방지될 수 있게 되고, 따라서 반도체 칩의 픽업 시 정확하고 정밀하게 반도체 칩을 픽업할 수 있게 된다.In this way, using the slide portion 13a, the slider 13 slides into contact with the slider block 12 side by means of four pairs of surface contact portions 15a to 15d respectively positioned at four corners (almost in line contact). Since it is possible to move up and down (with contact through contact with eight nearby places), shaking in the left and right and front and rear directions as well as in the rotational direction can be prevented, and thus the semiconductor chip can be accurately and precisely picked up when picking up the semiconductor chip. can be picked up.

그리고, 상기 슬라이더(13)의 한쪽 측면부, 즉 몸체부(13b)의 한쪽 측면부에는 진공호스연결용 피팅(29)이 설치되고, 이렇게 설치되는 진공호스연결용 피팅(29)에는 진공발생장치(미도시)측에서 연장되는 진공호스(미도시)가 연결될 수 있게 된다. A vacuum hose connection fitting 29 is installed on one side portion of the slider 13, that is, one side portion of the body portion 13b, and a vacuum generating device (not shown) is installed on the vacuum hose connection fitting 29 installed in this way. A vacuum hose (not shown) extending from the side) can be connected.

이에 따라, 외부의 진공발생장치(미도시)에서 제공되는 진공압이 진공호스→진공호스연결용 피팅(29)→슬라이더(13)의 진공홀(10b)→홀더 어셈블리(30)의 진공홀(10a)을 거쳐 반도체 칩의 상면으로 전해질 수 있게 된다. Accordingly, the vacuum pressure provided by the external vacuum generator (not shown) is a vacuum hose → a vacuum hose connection fitting 29 → a vacuum hole 10b of the slider 13 → a vacuum hole of the holder assembly 30 ( Through 10a), it can be transferred to the upper surface of the semiconductor chip.

또한, 상기 반도체 칩 픽업 장치는 글래스(14)의 지지를 위한 수단으로 글래서 지지체(24)를 포함한다. In addition, the semiconductor chip pickup device includes a glass support 24 as a means for supporting the glass 14 .

상기 글래스 지지체(24)는 비젼 관측을 위한 글래스(14)를 지지하는 역할을 하는 것으로서, 이러한 글래스 지지체(24)는 러버나 금속 소재 등으로 이루어지게 되고, 이때의 글래스 지지체(24)의 저면에는 원통형의 삽입부(22)가 수직 형성되는 동시에 상면에는 삽입부(22)와 동심원을 이루는 원형의 글래스 안착홈(21)이 형성된다. The glass support 24 serves to support the glass 14 for vision observation, and the glass support 24 is made of rubber or a metal material, and at this time, the bottom surface of the glass support 24 is The cylindrical insertion part 22 is vertically formed, and a circular glass seating groove 21 forming a concentric circle with the insertion part 22 is formed on the upper surface.

이와 같은 글래스 지지체(24)는 원통형의 삽입부(22)를 이용하여 슬라이더(13)에 형성되어 있는 원형의 진공홀(10b)의 상단부 내에 끼워지는 구조로 결합되고, 또 글래스 지지체(24)의 글래스 안착홈(21) 내에는 접착, 억지끼워맞춤 등의 방법으로 글래스(14)가 결합될 수 있게 된다. Such a glass support 24 is coupled to the upper end of a circular vacuum hole 10b formed in the slider 13 using a cylindrical insert 22 , and the glass support 24 is The glass 14 can be coupled to the inside of the glass receiving groove 21 by bonding, interference fitting, or the like.

이때의 글래스(14)는 반도체 칩에서 발생하는 빛 등을 확인하는 안착되는 용도로 사용될 수 있게 된다. At this time, the glass 14 can be used for a seated purpose to check the light generated from the semiconductor chip.

이렇게 글래스(14)가 결합되어 있는 글래스 지지체(24)가 원통형의 삽입부(22)를 이용하여 슬라이더(13)측에 끼워지는 구조로 설치되므로서, 글래스 파손 등과 같은 글래스 교체상황에서 글래스 지지체(24)를 윗쪽으로 쉽게 빼낼 수 있게 되고, 결국 글래스 교체 작업의 매우 간편하게 할 수 있게 된다. Since the glass support 24 to which the glass 14 is coupled is installed in a structure that is fitted to the slider 13 using the cylindrical insert 22, the glass support 24 is installed in a glass replacement situation such as glass breakage. 24) can be easily pulled out upwards, and in the end, the glass replacement operation can be made very easily.

또한, 상기 반도체 칩 픽업 장치는 실질적으로 반도체 칩을 흡착 방식으로 픽업하는 수단으로 홀더 어셈블리(30)를 포함한다.In addition, the semiconductor chip pickup apparatus includes a holder assembly 30 as a means for picking up semiconductor chips substantially in an adsorption manner.

상기 홀더 어셈블리(30)는 중심축선을 따라 형성되는 진공홀(10a)을 가지는 홀더 보디(30a)와, 상기 홀더 보디(30a)의 저면부 중심에 형성되어 있는 홀더 장착홈(30b)에 결합되는 홀더(30c) 및 홀더 팁(30d)으로 구성된다. The holder assembly 30 is coupled to a holder body 30a having a vacuum hole 10a formed along a central axis, and a holder mounting groove 30b formed in the center of the bottom surface of the holder body 30a. It consists of a holder 30c and a holder tip 30d.

여기서, 상기 홀더(30c) 및 홀더 팁(30d)은 홀더 보디(30a)의 홀더 장착홈(30b) 내에 삽입된 상태에서 홀더 보디(30a)의 측면쪽에서 체결되는 스크류(무드 볼트)에 의해 고정될 수 있게 된다. Here, the holder 30c and the holder tip 30d are to be fixed by screws (mood bolts) fastened from the side of the holder body 30a while being inserted into the holder mounting groove 30b of the holder body 30a. be able to

이렇게 상기 홀더 팁(30d)을 포함하는 홀더(30c) 전체가 스크류에 의해 착탈 가능한 구조로 홀더 보디(30a)측에 결합되므로서, 홀더 팁(30d)의 방향을 용이하게 조절하면서 홀더 보디(30a)측에 홀더 팁(30d) 및 홀더(30c)를 장착할 수 있는 이점이 있다. In this way, since the entire holder 30c including the holder tip 30d is coupled to the holder body 30a side in a structure detachable by a screw, the direction of the holder tip 30d is easily adjusted while the holder body 30a ) has the advantage of being able to mount the holder tip (30d) and the holder (30c) on the side.

이러한 홀더 어셈블리(30)는 홀더 보디(30a)의 상단부 중심에서 윗쪽으로 수직 형성되는 홀더 연결체(30e)를 이용하여 슬라이더(13)에 있는 진공홀(10b)의 하단부에 끼워져 결합되는 구조로 설치될 수 있게 된다.This holder assembly 30 is installed in a structure that is fitted and coupled to the lower end of the vacuum hole 10b of the slider 13 using a holder connecting body 30e formed vertically upward from the center of the upper end of the holder body 30a. can become

즉, 상기 홀더 연결체(30e)의 상단부 외주면에는 숫나사부(34)가 형성되고, 이렇게 형성되는 숫나사부(34)가 슬라이더(13)의 진공홀(10b)에 형성되어 있는 암나사부(35)에 체결되므로서, 슬라이더(13)와 홀더 어셈블리(30)는 일체식으로 결합될 수 있게 되며, 결국 반도체 칩 픽업 시 슬라이더(13)와 홀더 어셈블리(30)는 함께 위아래로 이동될 수 있게 된다. That is, a male screw portion 34 is formed on the outer peripheral surface of the upper end of the holder connecting body 30e, and the male screw portion 34 formed in this way is formed in the vacuum hole 10b of the slider 13. Female screw portion 35. By being fastened to the , the slider 13 and the holder assembly 30 can be integrally coupled, and consequently, the slider 13 and the holder assembly 30 can be moved up and down together when the semiconductor chip is picked up.

이에 따라, 반도체 칩 픽업 시 홀더 어셈블리(30)의 홀더 팁(30d)이 반도체 칩의 표면에 밀착됨과 더불어 홀더 어셈블리(30) 전체가 위로 밀리게 되고, 이와 동시에 진공홀(10a)을 통해 작용하는 진공압(흡착력)에 의해 반도체 칩이 홀더 팁(30d)의 끝에 흡착되면서 픽업될 수 있게 된다. Accordingly, when the semiconductor chip is picked up, the holder tip 30d of the holder assembly 30 is in close contact with the surface of the semiconductor chip and the entire holder assembly 30 is pushed upward, and at the same time, the The semiconductor chip can be picked up while being sucked at the tip of the holder tip 30d by vacuum pressure (adsorption force).

또한, 상기 반도체 칩 픽업 장치는 홀더 어셈블리(30)의 픽업 작동 시에 홀더 어셈블리(30)를 탄력적으로 지지하는 수단으로 스프링(33)을 포함한다.In addition, the semiconductor chip pickup device includes a spring 33 as a means for resiliently supporting the holder assembly 30 during the pickup operation of the holder assembly 30 .

상기 스프링(33)은 홀더 어셈블리(30)를 항상 아래쪽으로 밀어주는 역할을 하게 되고, 이러한 스프링(33)은 보디(11)의 홀더 수용홀(28) 내에 동심원 상으로 위치됨과 더불어 홀더 어셈블리(30)의 홀더 보디(30a)의 둘레에 위치되며, 이렇게 위치된 상태에서의 스프링(33)은 보디(11)의 홀더 수용홀(28)의 상단부에 형성되어 있는 상단턱(23)과 홀더 보디(30a)의 외주면 둘레에 형성되어 있는 하단턱(32) 사이에 상하단이 지지되는 구조로 설치된다. The spring 33 always serves to push the holder assembly 30 downward, and the spring 33 is located concentrically in the holder receiving hole 28 of the body 11 and the holder assembly 30 ) is located on the periphery of the holder body 30a, and the spring 33 in this positioned state includes the upper jaw 23 formed at the upper end of the holder receiving hole 28 of the body 11 and the holder body ( It is installed in a structure in which the upper and lower ends are supported between the lower jaws 32 formed around the outer peripheral surface of 30a).

이에 따라, 상기 스프링(33)이 발휘하는 팽창력에 의해 홀더 어셈블리(30)는 항상 아래쪽으로 내려와 있는 위치를 유지할 수 있게 되며, 반도체 칩의 픽업 시 홀더 어셈블리(30)는 스프링(33)을 압축하면서 상대적으로 위로 이동될 수 있게 된다. Accordingly, the holder assembly 30 can always maintain a downwardly downward position by the expansion force exerted by the spring 33 , and when the semiconductor chip is picked up, the holder assembly 30 compresses the spring 33 . It can be moved relatively upward.

바람직한 실시예로서, 상기 보디(11), 슬라이더 블록(12), 슬라이더(13), 서포트 블록(26), 홀더 어셈블리(30)는 금속 소재, 예를 들면 표면이 나노 코팅되어 있는 알루미늄 소재 등으로 제작할 수 있게 된다. In a preferred embodiment, the body 11, the slider block 12, the slider 13, the support block 26, and the holder assembly 30 are made of a metal material, for example, an aluminum material having a nano-coated surface. can be crafted.

이에 따라, 상기 보디(11), 슬라이더 블록(12), 슬라이더(13), 서포트 블록(26), 홀더 어셈블리(30)는 나노 코팅을 통해 마찰력이 저감될 수 있게 되고, 결국 마찰 부위(예를 들면 슬라이더와 슬라이더 블록 간의 슬라이드 마찰 부위 등)에 대한 내구성과 원활한 작동성을 확보할 수 있게 된다. Accordingly, the body 11, the slider block 12, the slider 13, the support block 26, and the holder assembly 30 are able to reduce the frictional force through the nano-coating, and eventually the friction part (eg, For example, it is possible to ensure durability and smooth operability against sliding friction between the slider and the slider block.

따라서, 이와 같이 구성되는 반도체 칩 픽업 장치의 작동 상태를 살펴보면 다음과 같다. Accordingly, the operating state of the semiconductor chip pickup device configured as described above is as follows.

도 10과 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 칩 픽업 장치의 작동상태를 나타내는 사시도이다. 10 and 11 are perspective views illustrating an operating state of a semiconductor chip pickup apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 10과 도 11에 도시한 바와 같이, 웨이퍼 상의 복수 개의 반도체 칩(미도시)은 소잉 단계에 의해서 테이프에 고정된 채로 칩 단위로 이격 배치된다.As shown in FIGS. 10 and 11 , a plurality of semiconductor chips (not shown) on a wafer are spaced apart in a chip unit while being fixed to a tape by a sawing step.

이 상태에서, 반도체 칩 이송 장치(미도시)의 작동을 통해 반도체 칩 이송 장치에 장착되어 있는 픽업 장치를 하강시켜서 홀더 어셈블리(30)의 홀더 팁(30d)을 반도체 칩에 밀착시킨 후, 진공호스연결용 피팅(29)을 통해 가해지는 진공 흡입력을 슬라이더(13)와 홀더 어셈블리(30)에 있는 진공홀(10a,10b)을 통해 반도체 칩에 인가하면, 이때의 반도체 칩은 홀더 팁(30d)의 하단에 흡착된다. In this state, the pickup device mounted on the semiconductor chip transport device is lowered through the operation of the semiconductor chip transport device (not shown) to bring the holder tip 30d of the holder assembly 30 into close contact with the semiconductor chip, and then the vacuum hose When the vacuum suction force applied through the connecting fitting 29 is applied to the semiconductor chip through the vacuum holes 10a and 10b in the slider 13 and the holder assembly 30, the semiconductor chip at this time is the holder tip 30d. is adsorbed at the bottom of

이렇게 홀더 어셈블리(30)의 홀더 팁(30d)으로 반도체 칩을 흡착하면서 눌려질 때, 슬라이더(13)를 포함하는 홀더 어셈블리(30) 전체는 스프링(33)을 압축하면서 슬라이더 블록(12)측과의 네 곳의 면 접촉부(15a∼15d)에 의한 안내를 받아 위로 움직이면서 충격 등을 보상받게 되고, 이와 더불어 네 곳의 면 접촉부(15a∼15d)에 의한 안내작용에 의해 홀더 팁(30d)과 홀더 어셈블리(30)를 포함하는 슬라이더(13) 전체가 전후 및 좌우, 회전 방향으로 유동되지 않게 되므로, 반도체 칩을 정위치에서 정밀하게 픽업할 수 있게 된다. When the semiconductor chip is pressed while adsorbing the semiconductor chip to the holder tip 30d of the holder assembly 30, the entire holder assembly 30 including the slider 13 compresses the spring 33 while being pressed against the slider block 12 side. It is guided by the four surface contact portions 15a to 15d of the , and is compensated for impact while moving upward. In addition, the holder tip 30d and the holder are guided by the guide action by the four surface contact portions 15a to 15d. Since the entire slider 13 including the assembly 30 does not flow in forward, backward, left, and right directions, it is possible to precisely pick up the semiconductor chip at the correct position.

이어서, 반도체 칩 이송 장치를 상승시킴으로써 반도체 칩은 웨이퍼측에서 분리되고, 계속해서 반도체 칩 이송 장치를 이동시킴으로써 반도체 칩을 후속 공정으로 이송시킬 수 있게 된다.Then, by raising the semiconductor chip transport device, the semiconductor chip is separated from the wafer side, and by continuously moving the semiconductor chip transport device, the semiconductor chip can be transported to a subsequent process.

물론, 반도체 칩을 후속 공정으로 이송시킨 후, 반도체 칩을 내려놓을 때에도 위와 같은 슬라이드 안내작동에 의해 반도체 칩을 정위치에 정확하게 내려놓을 수 있게 된다. Of course, even when the semiconductor chip is put down after transferring the semiconductor chip to a subsequent process, the semiconductor chip can be accurately placed in the correct position by the slide guide operation as described above.

이와 같이, 본 발명에서는 슬라이더 블록과 슬라이더 간의 슬라이드 접촉 시 네 쌍의 면 접촉 슬라이드 방식을 적용하고, 또 유격 보상이 가능한 분할형 슬라이더 블록 구조를 적용함으로써, 픽업 작동 시의 슬라이더를 포함하는 홀더 어셈블리 전체의 흔들림을 배제할 수 있는 등 반도체 칩을 정밀하게 픽업할 수 있고, 가공 오차나 도금 두께의 편차에 따른 오차 등을 보상할 수 있는 등 조립성 향상과 더불어 조립 품질을 확보할 수 있다. As described above, in the present invention, four pairs of surface contact slide methods are applied when the slider block and the slider are in contact with each other, and a divided slider block structure capable of compensating for play is applied, so that the entire holder assembly including the slider during pickup operation is applied. It is possible to precisely pick up semiconductor chips, such as to exclude the vibration of the metal, and to compensate for errors caused by machining errors or deviations in plating thickness, etc., and assembling quality is improved as well as assembly quality can be secured.

10a,10b : 진공홀
11 : 보디
12 : 슬라이더 블록
12a : 제1슬라이더 블록
12b : 제2슬라이더 블록
13 : 슬라이더
13a : 슬라이드부
13b : 몸체부
14 : 글래스
15a∼15d : 면 접촉부
16 : 곡면부
17 : 면취부(面取部)
18 : 나사
19 : 공간부
20 : 나사홀
21 : 글래스 안착홈
22 : 삽입부
23 : 상단턱
24 : 글래스 지지체
25 : 브라켓
26 : 서포트 블록
27 : 단차부
28 : 홀더 수용홀
29 : 진공호스연결용 피팅
30 : 홀더 어셈블리
30a : 홀더 보디
30b : 홀더 장착홈
30c : 홀더
30d : 홀더 팁
30e : 홀더 연결체
31 : 관측홀
32 : 하단턱
33 : 스프링
34 :숫나사부
35 : 암나사부10a, 10b: vacuum hole
11: body
12 : Slider Block
12a: first slider block
12b: second slider block
13 : Slider
13a: slide part
13b: body part
14 : Glass
15a∼15d: Surface contact part
16: curved part
17: chamfered part
18: screw
19: space part
20: screw hole
21: Glass seating groove
22: insertion part
23: upper jaw
24: glass support
25 : bracket
26: support block
27: step part
28: holder receiving hole
29: Fitting for vacuum hose connection
30: holder assembly
30a: holder body
30b: holder mounting groove
30c: holder
30d: holder tip
30e: holder connection body
31: observation hall
32: lower jaw
33: spring
34 male thread part
35: female thread part

Claims (8)

중심부의 홀더 수용홀(28)을 가지는 보디(11);
상기 보디(11)의 상면부에 결합되는 슬라이더 블록(12);
중심부의 진공홀(10b)과 측면부의 진공호스연결용 피팅(29)을 가지면서 슬라이더 블록(12)의 내측에 상하 이동 가능하게 결합되는 슬라이더(13);
칩을 픽업하는 수단으로서, 중심부의 진공홀(10a)을 가지면서 보디(11)의 홀더 수용홀(28) 내에 상하 이동가능한 구조로 설치되는 홀더 어셈블리(30);
를 포함하며,
상기 슬라이더(13)는 네 곳의 모서리 부위에 각각 위치되는 네 쌍의 면 접촉부(15a∼15d)에 의해 슬라이더 블록(12)측과 슬라이드 접촉되면서 상하 이동 가능하게 결합되고,
상기 슬라이더 블록(12)은 "ㄱ"자 형상의 제1슬라이더 블록(12a) 및 제2슬라이더 블록(12b)의 조합으로 구성되고, 상기 제1슬라이더 블록(12a)과 제2슬라이더 블록(12b)은 나사(18)에 의한 체결구조로 결합되면서 상하 방향으로 관통되는 사각형의 공간부(19)를 함께 조성하는 것을 특징으로 하는 반도체 칩 픽업 장치.
a body 11 having a holder accommodating hole 28 in the center;
a slider block 12 coupled to the upper surface of the body 11;
a slider 13 that is vertically movably coupled to the inside of the slider block 12 while having a vacuum hole 10b in the center and a fitting 29 for connecting a vacuum hose in the side portion;
A means for picking up chips, the holder assembly 30 having a central vacuum hole 10a and installed in the holder receiving hole 28 of the body 11 in a vertically movable structure;
includes,
The slider 13 is movably coupled to the slider block 12 by sliding contact with the slider block 12 by four pairs of surface contact portions 15a to 15d respectively positioned at the corners of four places to move up and down,
The slider block 12 is composed of a combination of a first slider block 12a and a second slider block 12b in an “L” shape, and the first slider block 12a and the second slider block 12b. A semiconductor chip pickup device, characterized in that while being coupled to a fastening structure by a silver screw (18), a rectangular space (19) penetrating in the vertical direction is formed together.
 청구항 1에 있어서,
상기 각 쌍의 면 접촉부(15a∼15d) 사이에는 슬라이더 블록(12)측과의 접촉 회피를 위한 오목한 호(弧) 형상의 곡면부(16)가 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 칩 픽업 장치.
The method according to claim 1,
A semiconductor chip pickup device characterized in that a concave arc-shaped curved surface portion (16) for avoiding contact with the slider block (12) side is formed between each pair of the surface contact portions (15a to 15d).
 청구항 1에 있어서,
상기 한 쌍을 이루는 면 접촉부(15a∼15d) 사이에는 슬라이더 블록(12)측과의 접촉 회피를 위한 면취부(17)가 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 칩 픽업 장치.
The method according to claim 1,
A semiconductor chip pickup device, characterized in that a chamfered portion (17) for avoiding contact with the slider block (12) is formed between the pair of surface contact portions (15a to 15d).
 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 나사(18)의 체결을 위해 제1슬라이더 블록(12a)과 제2슬라이더 블록(12b)에 형성되는 나사홀(20)은 장공(長孔)으로 이루어져, 블록 간의 체결 시 블록 간의 체결 위치 조절을 통해 슬라이더(13)측과의 유격을 조절할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 반도체 칩 픽업 장치.
The method according to claim 1,
The screw hole 20 formed in the first slider block 12a and the second slider block 12b for fastening the screw 18 is made of a long hole, so that when the blocks are fastened, the fastening position between the blocks is adjusted. A semiconductor chip pickup device, characterized in that it is possible to adjust the clearance with the slider (13) side through the.
 청구항 1에 있어서,
상기 슬라이더(13)는 글래스(14)의 수용을 위한 상면의 글래스 안착홈(21)과 중심부의 관측홀(31)을 가지면서 원통형의 삽입부(22)를 이용하여 슬라이더(13)에 형성되어 있는 진공홀(10b)의 상단부에 끼워지는 구조로 결합되는 글래스 지지체(24)를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 칩 픽업 장치.
The method according to claim 1,
The slider 13 is formed in the slider 13 using a cylindrical insertion part 22 while having a glass seating groove 21 on the upper surface for accommodating the glass 14 and an observation hole 31 in the center. A semiconductor chip pickup device comprising a glass support (24) coupled to the upper end of the vacuum hole (10b).
 청구항 1에 있어서,
상기 슬라이더 블록(12)의 일측에 연장 형성되는 브라켓(25)에 나사 체결구조로 결합됨과 더불어 반도체 칩 이송 장치측에 설치되면서 보디(11), 슬라이더 블록(12) 및 슬라이더(13) 전체를 지지하는 서포트 블록(26)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 칩 픽업 장치.
The method according to claim 1,
The body 11, the slider block 12, and the slider 13 as a whole are supported while being coupled to the bracket 25 extending from one side of the slider block 12 in a screw fastening structure and installed on the semiconductor chip transport device side. A semiconductor chip pickup device, characterized in that it further comprises a support block (26).
 청구항 1, 청구항 2, 청구항 3, 청구항 5, 청구항 6, 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서,
상기 슬라이더 블록(12)과 슬라이더(13)는 표면이 나노 코팅으로 처리되어 있는 금속 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 칩 픽업 장치.The method according to any one of claims 1, 2, 3, 5, 6, 7,
The slider block (12) and the slider (13) is a semiconductor chip pickup device, characterized in that the surface is made of a metal material treated with nano coating.
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