KR102239002B1 - 연결 유닛 및 이를 갖는 비히클 - Google Patents

연결 유닛 및 이를 갖는 비히클 Download PDF

Info

Publication number
KR102239002B1
KR102239002B1 KR1020190177742A KR20190177742A KR102239002B1 KR 102239002 B1 KR102239002 B1 KR 102239002B1 KR 1020190177742 A KR1020190177742 A KR 1020190177742A KR 20190177742 A KR20190177742 A KR 20190177742A KR 102239002 B1 KR102239002 B1 KR 102239002B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
unit
vibration
rotation shaft
traveling
flange
Prior art date
Application number
KR1020190177742A
Other languages
English (en)
Inventor
명노훈
정완희
이시영
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020190177742A priority Critical patent/KR102239002B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102239002B1 publication Critical patent/KR102239002B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Vibration Prevention Devices (AREA)

Abstract

본 발명에 따른 비히클에서 레일을 따라 주행하는 주행 유닛과 내부에 대상물을 파지하여 이송하는 이송 유닛을 연결하는 연결 유닛은, 상기 주행 유닛의 하부면에 고정되는 회전축과, 상기 회전축이 회전 가능하도록 상기 회전축을 감싸도록 지지하며, 하부에 플랜지를 갖는 지지부와, 상기 이송 유닛의 상부면에 고정되며, 상기 지지부를 고정하기 위해 상기 플랜지의 상부면을 지지하는 고정부 및 상기 고정부와 상기 플랜지 사이에 구비되며, 상기 주행 유닛에서 발생한 진동이 상기 이송 유닛으로 전달되는 것을 감소시키기 위한 진동 감쇠부를 포함할 수 있다.

Description

연결 유닛 및 이를 갖는 비히클{Connecting unit and vehicle having the same}
본 발명은 연결 유닛 및 이를 갖는 비히클에 관한 것으로, 보다 상세하게는 주행 유닛과 이송 유닛을 회전 가능하도록 연결하는 연결 유닛 및 이를 갖는 비히클에 관한 것이다.
일반적으로 천장 이송 장치는 다수의 비히클들이 레일을 따라 주행하면서 대상물을 이송한다. 또한, 상기 비히클들은 로드 포트로 상기 대상물을 이적재 한다.
상기 비히클은 상기 레일을 따라 주행하는 주행 유닛과 상기 주행 유닛에 연결되어 상기 대상물을 고정하여 이송하는 이송 유닛을 포함한다.
상기 주행 유닛과 상기 이송 유닛은 연결 유닛에 의해 회전 가능하도록 연결된다. 상기 연결 유닛은 완충 기능을 갖지 않으므로, 상기 주행 유닛이 상기 레일을 따라 주행하면서 발생하는 진동이 감쇠되지 않고 그대로 상기 이송 유닛으로 전달된다. 상기 진동에 의해 상기 이송 유닛에 고정된 상기 대상물이 낙하할 수 있으므로, 상기 비히클의 이송 안전성이 저하될 수 있다. 또한, 상기 진동에 의해 상기 이송 유닛에서 파티클이 발생할 수 있다.
본 발명은 주행 유닛에서 이송 유닛으로 전달되는 진동을 감쇠할 수 있는 연결 유닛을 제공한다.
본 발명은 상기 연결 유닛을 갖는 비히클을 제공한다.
본 발명에 따른 비히클에서 레일을 따라 주행하는 주행 유닛과 내부에 대상물을 파지하여 이송하는 이송 유닛을 연결하는 연결 유닛은, 상기 주행 유닛의 하부면에 고정되는 회전축과, 상기 회전축이 회전 가능하도록 상기 회전축을 감싸도록 지지하며, 하부에 플랜지를 갖는 지지부와, 상기 이송 유닛의 상부면에 고정되며, 상기 지지부를 고정하기 위해 상기 플랜지의 상부면을 지지하는 고정부 및 상기 고정부와 상기 플랜지 사이에 구비되며, 상기 주행 유닛에서 발생한 진동이 상기 이송 유닛으로 전달되는 것을 감소시키기 위한 진동 감쇠부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 진동 감쇠부는 고무 재질의 방진 패드일 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 진동 방지 패드는 서로 다른 강성을 갖는 패드들이 적층될 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 진동 감쇠부는, 상기 고정부와 상기 플랜지 사이에 구비되며, 전류의 크기에 따라 점성이 가변하는 자기 유변 유체를 수용하는 댐퍼와, 상기 주행 유닛에서 발생하는 진동을 감지하기 위한 센서 및 상기 센서에서 측정된 상기 진동의 세기에 따라 상기 댐퍼로 제공되는 전류의 크기를 조절하여 상기 댐퍼의 진동 감쇠력을 조절하는 컨트롤러를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 비히클은, 레일을 따라 주행하는 주행 유닛과, 상기 주행 유닛의 하부에 배치되며, 내부에 대상물을 파지하여 이송하는 이송 유닛 및 상기 주행 유닛이 상기 이송 유닛에 대해 회전 가능하도록 상기 주행 유닛과 상기 이송 유닛을 연결하는 연결 유닛을 포함하고, 상기 연결 유닛은, 상기 주행 유닛의 하부면에 고정되는 회전축과, 상기 회전축이 회전 가능하도록 상기 회전축을 감싸도록 지지하며, 하부에 플랜지를 갖는 지지부와, 상기 이송 유닛의 상부면에 고정되며, 상기 지지부를 고정하기 위해 상기 플랜지의 상부면을 지지하는 고정부 및 상기 고정부와 상기 플랜지 사이에 구비되며, 상기 주행 유닛에서 발생한 진동이 상기 이송 유닛으로 전달되는 것을 감소시키기 위한 진동 감쇠부를 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 상기 연결 유닛의 상기 진동 감쇠부가 상기 주행 유닛에서 발생한 진동을 감쇠시키므로, 상기 진동이 상기 이송 유닛으로 전달되는 것을 줄일 수 있다. 따라서, 상기 진동에 의해 상기 이송 유닛에 고정된 상기 대상물이 낙하하는 것을 방지하여 상기 비히클의 이송 안전성을 향상시킬 수 있다. 또한, 상기 진동에 의해 상기 이송 유닛에서 파티클이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클을 설명하기 위한 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 연결 유닛을 설명하기 위한 단면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 진동 감쇠부의 다른 예를 설명하기 위한 단면도이다.
도 4는 도 2에 도시된 진동 감쇠부의 또 다른 예를 설명하기 위한 단면도이다.
도 5는 도 4에 도시된 댐퍼를 설명하기 위한 단면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클을 설명하기 위한 측면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 연결 유닛을 설명하기 위한 단면도이고, 도 3은 도 2에 도시된 진동 감쇠부의 다른 예를 설명하기 위한 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 비히클(100)은 주행 유닛(110), 이송 유닛(120) 및 연결 유닛(130)을 포함할 수 있다.
상기 주행 유닛(110)은 천장을 따라 구비되는 주행 레일(10)을 따라 주행한다.
상기 주행 유닛(110)은 한 쌍이 구비되며, 상기 비히클(100)의 주행 방향을 따라 일렬로 배열될 수 있다. 상기 주행 유닛(110)은 몸체(111) 및 상기 주행 휠(112)을 포함할 수 있다. 상기 몸체(111)는 대략 육면체 형태를 갖는다. 상기 몸체(111)는 상기 이송 유닛(120)과 연결된다. 이때, 상기 몸체(111)는 상기 이송 유닛(120)에 대해 상기 연결 유닛(130)을 이용하여 회전할 수 있다.
도시되지는 않았지만, 상기 몸체(111)의 내부에는 상기 주행 휠(112)을 회전시키기 위한 액추에이터가 구비될 수 있다.
상기 주행 휠(112)은 상기 몸체(111)의 양측면에 각각 구비된다. 상기 주행 휠(112)이 상기 주행 레일(10)과 접촉한 상태에서 회전하므로 상기 몸체(111)가 상기 주행 레일(10)을 따라 이동할 수 있다.
상기 가이드 휠(113)은 상기 몸체(111)의 상면 전후에 상기 몸체(111)의 주행 방향과 수직하는 수평 방향을 따라 이동 가능하도록 구비된다. 예를 들면, 상기 가이드 휠(113)은 상기 몸체(111)의 좌우 방향으로 이동할 수 있다.
상기 가이드 휠(113)은 가이드 레일(20)과 접촉할 수 있다.
상기 가이드 레일(20)은 분기/합류 구간에서 상기 주행 레일(10)의 상방에 구비되며, 상기 비히클(100)의 주행 경로를 안내할 수 있다.
상기 가이드 휠(113)은 상기 비히클(100)의 주행 경로 조절을 위해 상기 분기/합류 구간에 구비된 상기 가이드 레일(20)과 선택적으로 접촉할 수 있다.
한편, 상기 가이드 휠(113)은 별도의 구동부에 의해 상기 수평 방향으로 이동할 수 있다. 상기 구동부는 상기 가이드 휠(113)을 직선 왕복 이동시킬 수 있으면 어느 것이나 무방하다. 일 예로는 솔레노이드, 리니어 모터 등을 들 수 있다.
상기 가이드 휠(113)이 상기 수평 방향으로 이동할 때 가이드 부재(미도시)에 의해 가이드될 수 있다. 상기 가이드 부재는 상기 몸체(111)에 상기 수평 방향을 따라 연장하도록 구비될 수 있다. 상기 가이드 휠(113)이 상기 가이드 부재를 따라 상기 수평 이동하므로, 상기 가이드 휠(113)이 안정적으로 이동할 수 있을 뿐만 아니라 상기 가이드 휠(113)의 상기 수평 이동시 발생하는 진동을 줄일 수 있다.
댐퍼(114)들은 상기 몸체(111)에서 상기 가이드 휠(113)이 상기 수평 방향으로 이동할 수 있는 이동 범위의 양단에 각각 구비된다. 상기 댐퍼(114)들의 재질로는 우레탄을 들 수 있다. 상기 댐퍼(114)들은 상기 가이드 휠(113)이 정지할 때 발생하는 충격을 감소시킨다. 상기 댐퍼(114)들은 상기 가이드 휠(113)과 직접 접촉하여 상기 충격을 감소시킨다.
한편 도시되지는 않았지만, 상기 가이드 휠(113)에서 상기 댐퍼(114)들과 각각 마주보는 위치에도 제2 댐퍼들이 구비될 수 있다. 상기 제2 댐퍼들의 재질로는 우레탄을 들 수 있다. 따라서, 상기 가이드 휠(113)의 상기 수평 방향 이동에 따라 상기 제2 댐퍼들은 상기 댐퍼(114)들과 접촉한다. 그러므로, 상기 제2 댐퍼들은 상기 가이드 휠(113)이 정지할 때 발생하는 충격을 추가로 감소시킨다.
상기 댐퍼(114)들 및 제2 댐퍼들에 의해 상기 가이드 휠(113)이 정지할 때 발생하는 충격이 감소되므로, 상기 충격으로 인한 진동이 없어지는데 소요되는 시간이 더욱 단축될 수 있다. 따라서, 상기 비히클(100)이 주행 레일(20)의 분기 영역으로 더욱 신속하게 진입할 수 있으며, 상기 비히클(100)이 고속으로 주행할 수 있다.
상기 이송 유닛(120)은 상기 주행 유닛(110)의 하부에 배치되며, 내부에 대상물(30)을 파지하여 이송한다.
상기 이송 유닛(120)은 하우징(121), 이동부(122), 승강부(123)) 및 파지부(125)를 포함한다.
상기 하우징(121)은 대상물(30)의 상하 이동 및 수평 이동을 위해 하방과 양측면 또는 일측 측면이 개방될 수 있다. 이때, 상기 양측면 또는 상기 일측 측면은 상기 비히클(100)의 주행 방향과 수직하는 방향일 수 있다.
상기 이동부(122)는 상기 하우징(121)의 내부 상면에 구비되며, 상기 하우징(121)의 개방된 측면을 통해 수평 이동할 수 있다.
상기 승강부(123)는 상기 이동부(122)의 하부면에 고정된다. 상기 승강부(123)는 벨트(124)를 권취하거나 권출하여 상기 벨트(124)를 승강시킬 수 있다.
상기 파지부(125)는 상기 벨트(124)의 단부에 고정되며, 상기 대상물(30)을 파지한다.
상기 승강부(123)가 상기 벨트(124)를 승강시킴에 따라 파지부(125)에 파지된 상기 대상물(30)이 상기 하우징(121)에 대해 승강할 수 있다.
또한, 상기 이동부(122)의 수평 이동에 따라 상기 카세트가(30)가 하우징(121)에 대해 수평 이동할 수 있다.
상기 연결 유닛(130)은 상기 주행 유닛(110)들과 상기 이송 유닛(120)을 회전 가능하도록 연결한다.
상기 연결 유닛(130)은 회전축(131), 지지부(132), 고정부(135) 및 진동 감쇠부(140)를 포함할 수 있다.
상기 회전축(131)은 상기 주행 유닛(110)에서 상기 몸체(111)의 하부면에 고정되며, 상하 방향으로 연장할 수 있다.
상기 지지부(132)는 상기 회전축(131)이 회전 가능하도록 상기 회전축(131)을 감싸도록 지지할 수 있다. 상기 지지부(132)와 상기 회전축 사이에는 베어링(134)이 구비될 수 있다. 상기 베어링(134)으로 인해 상기 회전축(131)과 상기 지지부(132)가 서로 고정된 상태로 서로 상대 회전할 수 있다.
또한, 상기 지지부(132)는 상기 고정부(135)와의 고정을 위해 하부에 플랜지(133)를 갖는다.
상기 고정부(135)는 상기 이송 유닛(120), 구체적으로 상기 하우징(121)의 상부면에 구비되며, 상기 플랜지(133)의 상부면을 지지하여 상기 지지부(132)를 고정한다. 따라서, 상기 지지부(132)가 상기 이송 유닛(120)에 고정될 수 있다.
상기 연결 유닛(130)에 의해 상기 주행 유닛(110)이 상기 이송 유닛(120)에 대해 회전할 수 있으므로, 상기 비히클(100)이 상기 주행 레일(10)의 곡선 구간을 원활하게 주행할 수 있다.
상기 진동 감쇠부(140)는 플랜지(133)와 상기 고정부(135) 사이에 구비된다. 상기 진동 감쇠부(140)는 고무 재질의 방진 패드일 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이 상기 진동 감쇠부(140)의 상기 방진 패드는 단층으로 이루어질 수 있다. 따라서 상기 방진 패드는 단일 강성을 갖는다.
도 3에 도시된 바와 같이 상기 진동 감쇠부(140)의 상기 방진 패드는 다층으로 이루어질 수 있다. 상기 다층의 방진 패드는 서로 다른 강성을 갖는 패드들이 적층될 수 있다.
상기 진동 감쇠부(140)는 상기 주행 유닛(110)에서 발생한 진동이 상기 이송 유닛(120)으로 전달되는 것을 감소시킬 수 있다. 특히, 상기 진동 감쇠부(140)는 상기 진동 중 수직 방향 진동을 감소시킬 수 있다. 따라서, 상기 진동에 의해 상기 이송 유닛(120)에 고정된 상기 대상물(30)이 낙하하는 것을 방지하여 상기 비히클(100)의 이송 안전성을 향상시킬 수 있다. 또한, 상기 진동에 의해 상기 이송 유닛(120)에서 파티클이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
도 4는 도 2에 도시된 진동 감쇠부의 또 다른 예를 설명하기 위한 단면도이고, 도 5는 도 4에 도시된 댐퍼를 설명하기 위한 단면도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 진동 감쇠부(140)는 댐퍼(141), 센서(148) 및 컨트롤러(149)를 포함할 수 있다.
상기 댐퍼(141)는 상기 고정부(135)와 상기 플랜지(133) 사이에 구비되며, 전류의 크기에 따라 점성이 가변하는 자기 유변 유체(143)를 수용할 수 있다.
구체적으로, 상기 댐퍼(141)는 내부에 자기 유변 유체(143)가 채워진 실린더(142), 상기 실린더(142)의 내부에 왕복 운동하도록 구비되는 피스톤(144), 상기 피스톤(144)과 연동하여 왕복 운동되도록 일단이 상기 피스톤(144)에 고정되고 타단이 상기 실린더(142)로부터 돌출된 피스톤 로드(147)로 이루어진다. 또한, 상기 피스톤(144)에는 상하를 관통하도록 구비된 다수의 오리피스(145)들이 구비되며, 코일(146)이 구비될 수 있다.
상기 실린더(142)의 하단부가 상기 플랜지(133)에 고정되고, 상기 피스톤 로드(147)의 상단부가 상기 고정부(135)에 고정될 수 있다.
상기 피스톤(144)이 상기 실린더(142)의 내부를 왕복 운동할 때, 상기 자기 유변 유체(143)가 상기 오리피스(145)들을 통과하게 된다. 상기 코일(146)에 전류를 인가하면 자기장이 발생하여 상기 오리피스(145)들을 통과하는 상기 자기 유변 유체(143) 내의 자기입자들이 자화되어 자화사슬을 만들게 된다. 상기 자기 유변 유체(143)의 점성을 변화시켜 상기 자기 유변 유체(143)의 유동을 방해하는 저항력이 발생하고, 상기 피스톤(144)의 운동을 저지하는 감쇠력을 제공할 수 있다.
상기 실린더(142)는 단일 튜브 구조를 갖는 것으로 설명되었지만, 이중 튜브 구조를 가질 수도 있다.
상기 센서(148)는 상기 주행 유닛(110), 구체적으로, 상기 몸체(111)에 구비되며, 상기 주행 유닛(110)에서 발생하는 진동을 감지할 수 있다.
구체적으로 상기 센서(148)는 상기 주행 유닛(110)이 변위, 변형량, 속도 또는 가속도 등을 측정하여 상기 컨트롤러(149)로 제공한다. 상기 센서(148)의 예로는 스트레인 게이지(stain gaze), 포토센시티브 다이오드(photosensitive diode), 갭 센서(gap sensor) 등을 들 수 있다.
상기 컨트롤러(149)는 상기 센서(148)에서 측정된 진동의 세기에 따라 상기 댐퍼(141), 즉 상기 코일(146)로 제공되는 전류의 크기를 조절하여 상기 댐퍼(141)의 진동 감쇠력을 조절할 수 있다.
상기 센서(148)에서 측정된 상기 진동의 세기가 클수록 상기 컨트롤러(149)는 상기 코일(146)로 제공되는 전류의 크기를 증가시킬 수 있다. 상기 전류의 크기가 클수록 상기 자기 유변 유체(143)의 점성이 증가하므로, 상기 댐퍼(141)의 진동 감쇠력을 증가시킬 수 있다.
상기 진동 감쇠부(140)는 상기 주행 유닛(110)에서 발생한 진동의 세기에 따라 상기 댐퍼(141)의 상기 진동 감쇠력을 조절하므로, 상기 주행 유닛(110)에서 상기 이송 유닛(120)으로 전달되는 진동을 일정한 세기로 감소시킬 수 있다. 특히, 상기 진동 감쇠부(140)는 상기 진동 중 수직 방향 진동을 감소시킬 수 있다. 따라서, 상기 진동에 의해 상기 이송 유닛(120)에 고정된 상기 대상물(30)이 낙하하는 것을 방지하여 상기 비히클(100)의 이송 안전성을 향상시킬 수 있다. 또한, 상기 진동에 의해 상기 이송 유닛(120)에서 파티클이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
상술한 바와 같이, 상기 비히클의 상기 연결 유닛은 상기 주행 유닛의 진동을 감소시킬 수 있으므로, 상기 비히클의 이송 안전성을 향상시킬 수 있고, 상기 이송 유닛에서 파티클이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 비히클 110 : 주행 유닛
111 : 몸체 112 : 주행 휠
113 : 가이드 휠 114 : 댐퍼
120 : 이송 유닛 121 : 하우징
122 : 이동부 123 : 승강부
124 : 벨트 125 : 파지부
130 : 연결 유닛 131 : 회전축
132 : 지지부 133 : 플랜지
134 : 베어링 135 : 고정부
140 : 진동 감쇠부 141 : 댐퍼
142 : 실린더 143 : 자기 유변 유체
144 : 피스톤 145 : 오리피스
146 : 코일 147 : 피스톤 로드
148 : 센서 149 : 컨트롤러
10 : 주행 레일 20 : 가이드 레일
30 : 대상물

Claims (5)

  1. 비히클에서 레일을 따라 주행하는 주행 유닛과 내부에 대상물을 파지하여 이송하는 이송 유닛을 연결하는 연결 유닛에 있어서,
    상기 주행 유닛의 하부면에 고정되는 회전축;
    상기 회전축이 회전 가능하도록 상기 회전축을 감싸도록 지지하며, 하부에 플랜지를 갖는 지지부;
    상기 이송 유닛의 상부면에 고정되며, 상기 지지부를 고정하기 위해 상기 플랜지의 상부면을 지지하는 고정부; 및
    상기 고정부와 상기 플랜지 사이에 구비되며, 상기 주행 유닛에서 발생한 진동이 상기 이송 유닛으로 전달되는 것을 감소시키기 위한 진동 감쇠부를 포함하는 것을 특징으로 하는 연결 유닛.
  2. 제1항에 있어서, 상기 진동 감쇠부는 고무 재질의 방진 패드인 것을 특징으로 하는 연결 유닛.
  3. 제2항에 있어서, 상기 진동 방지 패드는 서로 다른 강성을 갖는 패드들이 적층되는 것을 특징으로 하는 연결 유닛.
  4. 제1항에 있어서, 상기 진동 감쇠부는,
    상기 고정부와 상기 플랜지 사이에 구비되며, 전류의 크기에 따라 점성이 가변하는 자기 유변 유체를 수용하는 댐퍼;
    상기 주행 유닛에서 발생하는 진동을 감지하기 위한 센서; 및
    상기 센서에서 측정된 상기 진동의 세기에 따라 상기 댐퍼로 제공되는 전류의 크기를 조절하여 상기 댐퍼의 진동 감쇠력을 조절하는 컨트롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 연결 유닛.
  5. 레일을 따라 주행하는 주행 유닛;
    상기 주행 유닛의 하부에 배치되며, 내부에 대상물을 파지하여 이송하는 이송 유닛; 및
    상기 주행 유닛이 상기 이송 유닛에 대해 회전 가능하도록 상기 주행 유닛과 상기 이송 유닛을 연결하는 연결 유닛을 포함하고,
    상기 연결 유닛은,
    상기 주행 유닛의 하부면에 고정되는 회전축;
    상기 회전축이 회전 가능하도록 상기 회전축을 감싸도록 지지하며, 하부에 플랜지를 갖는 지지부;
    상기 이송 유닛의 상부면에 고정되며, 상기 지지부를 고정하기 위해 상기 플랜지의 상부면을 지지하는 고정부; 및
    상기 고정부와 상기 플랜지 사이에 구비되며, 상기 주행 유닛에서 발생한 진동이 상기 이송 유닛으로 전달되는 것을 감소시키기 위한 진동 감쇠부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클.
KR1020190177742A 2019-12-30 2019-12-30 연결 유닛 및 이를 갖는 비히클 KR102239002B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190177742A KR102239002B1 (ko) 2019-12-30 2019-12-30 연결 유닛 및 이를 갖는 비히클

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190177742A KR102239002B1 (ko) 2019-12-30 2019-12-30 연결 유닛 및 이를 갖는 비히클

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102239002B1 true KR102239002B1 (ko) 2021-04-12

Family

ID=75439618

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190177742A KR102239002B1 (ko) 2019-12-30 2019-12-30 연결 유닛 및 이를 갖는 비히클

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102239002B1 (ko)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004210056A (ja) * 2002-12-27 2004-07-29 Murata Mach Ltd 搬送台車
JP2004359436A (ja) * 2003-06-06 2004-12-24 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 搬送装置
KR20060048162A (ko) * 2004-06-28 2006-05-18 무라타 기카이 가부시키가이샤 천정주행차
KR101494652B1 (ko) * 2013-12-04 2015-02-24 한국생산기술연구원 완충유닛을 구비하여 낙상 및 전복을 방지하는 이동식 리프팅장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004210056A (ja) * 2002-12-27 2004-07-29 Murata Mach Ltd 搬送台車
JP2004359436A (ja) * 2003-06-06 2004-12-24 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 搬送装置
KR20060048162A (ko) * 2004-06-28 2006-05-18 무라타 기카이 가부시키가이샤 천정주행차
KR101494652B1 (ko) * 2013-12-04 2015-02-24 한국생산기술연구원 완충유닛을 구비하여 낙상 및 전복을 방지하는 이동식 리프팅장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10661399B2 (en) Single-drive rigid-flexible coupling precision motion platform and realization method and application thereof
KR102202077B1 (ko) Oht 장치의 비히클
KR100815001B1 (ko) 자석 유닛, 승강기 안내장치 및 계량장치
US8011478B2 (en) Elevator vibration damping system having damping control
KR101084351B1 (ko) 속도에 종속적인 강성도를 구비한 롤러 가이드
US20020179377A1 (en) Vibration damping apparatus for elevator system
KR100946018B1 (ko) 엘리베이터 장치
JP2011505308A (ja) 受動的磁石式エレベータかご安定器
KR102239002B1 (ko) 연결 유닛 및 이를 갖는 비히클
WO2023017312A1 (en) Stabilizing assemblies and methods of use thereof
CN110155852B (zh) 主动减振装置
US5950771A (en) Roller guide friction damper
EP1678068A1 (en) Elevator roller guide with variable stiffness damper
KR20210055292A (ko) 가이드 레일 및 이를 갖는 천장 이송 장치
JP4456924B2 (ja) エレベーター装置
KR20140060694A (ko) 엘리베이터의 횡진동 제어를 위한 능동마찰댐퍼
JP2007182276A (ja) エレベータ
JP2020007096A (ja) エレベータ装置
JPH05124783A (ja) エレベータ
JP4771727B2 (ja) 輪重変動抑制装置
CN107922156B (zh) 电梯装置
CN203582241U (zh) 电梯
JP2018030711A (ja) エレベータ装置
WO2020261544A1 (ja) エレベータの飛び上がり防止装置
FI119547B (fi) Ohjauslaite