KR102238169B1 - Vehicle and overhead hoist transport - Google Patents

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이주호
이시영
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세메스 주식회사
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Abstract

The present invention provides a vehicle and an overhead hoist transport (OHT) including the same. The vehicle comprises an axle having driving wheels mounted thereon, a drive shaft rotated by a shaft drive unit and a belt electromotion unit that transmits a rotational force of the drive shaft to the axle. In the drive shaft, a first end is mounted in a cantilever manner and a second end is supported by a non-contact support unit, thereby preventing bending of the driving shaft due to tension of the belt of the belt electromotion unit.

Description

비히클 및 오버헤드 호이스트 트랜스포트 {VEHICLE AND OVERHEAD HOIST TRANSPORT}Vehicle and overhead hoist transport {VEHICLE AND OVERHEAD HOIST TRANSPORT}

본 발명의 실시예는, 주로 반도체 제조를 위하여 물품을 반송하는 데 사용되는 비히클(vehicle), 그리고 이러한 비히클을 포함하는 오버헤드 호이스트 트랜스포트(overhead hoist transport, OHT)에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a vehicle used to transport articles primarily for semiconductor manufacturing, and an overhead hoist transport (OTT) including such a vehicle.

반도체, 디스플레이(display) 등을 제조하려면, 다양한 공정을 수행하여야 하고, 요구되는 물품을 요구되는 위치로 반송하여야 한다. 그리고, 물품을 효율적으로 반송하기 위하여 오버헤드 호이스트 트랜스포트(이하, OHT라고도 칭하기로 한다.)를 많이 사용하고 있다.In order to manufacture a semiconductor, a display, etc., various processes must be performed, and a required product must be transported to a required location. In addition, overhead hoist transports (hereinafter, also referred to as OHT) are widely used in order to transport articles efficiently.

일반적으로, OHT는, 주행 레일을 따라 주행하는 비히클, 그리고 비히클에 연결된 그립 유닛을 포함한다. 그립 유닛에 의하여 물품을 그립한 후, 비히클을 주행시키면, 물품이 반송된다.In general, the OHT includes a vehicle running along a travel rail, and a grip unit connected to the vehicle. After gripping the article by the grip unit, when the vehicle is driven, the article is conveyed.

비히클에는 비히클을 주행시키기 위한 구동계가 적용된다. 구동계를 구조적으로 견고하게 구성하여야 비히클의 주행 속도를 정확히 제어할 수 있는 등 비히클을 안정적으로 주행시킬 수 있다.A drive system for driving the vehicle is applied to the vehicle. The vehicle can be stably driven, such as accurately controlling the driving speed of the vehicle, only when the drive system is structurally sturdy.

그러나, 구동계의 구조적 안정성을 향상시키다 보면, 비히클의 부피가 커질 수밖에 없는바, 이에 대한 개선책 마련이 시급히 요구되는 실정이다.However, when improving the structural stability of the drive system, the volume of the vehicle is inevitably increased, and thus, there is an urgent need to prepare an improvement plan for this.

대한민국 등록특허공보 제10-1833310호(2018.03.02.)Republic of Korea Patent Publication No. 10-1833310 (2018.03.02.) 대한민국 공개특허공보 제10-2019-0063951호(2019.06.10.)Korean Patent Application Publication No. 10-2019-0063951 (2019.06.10.) 대한민국 등록특허공보 제10-2017100호(2019.09.02.)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2017100 (2019.09.02.) 대한민국 등록특허공보 제10-2037955호(2019.11.26.)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2037955 (2019.11.26.)

본 발명의 실시예는, 주행에 관여하는 구동계의 구조적 안정성 향상 면에서 보다 유리한 비히클, 그리고 이를 포함하는 오버헤드 호이스트 트랜스포트를 제공하고자 한다.An embodiment of the present invention is to provide a vehicle that is more advantageous in terms of improving the structural stability of a drive system involved in driving, and an overhead hoist transport including the same.

본 발명의 실시예는, 콤팩트화 면에서 보다 유리한 비히클, 그리고 이를 포함하는 오버헤드 호이스트 트랜스포트를 제공하고자 한다.An embodiment of the present invention is to provide a vehicle that is more advantageous in terms of compactness, and an overhead hoist transport including the same.

해결하고자 하는 과제는 이에 제한되지 않고, 언급되지 않은 기타 과제는 통상의 기술자라면 이하의 기재로부터 명확히 이해할 수 있을 것이다.The problem to be solved is not limited thereto, and other problems not mentioned will be clearly understood by those of ordinary skill in the art from the following description.

본 발명의 실시예에 따르면, 주행륜이 장착된 차축의 축 방향 양쪽을 회전 가능하게 지지하며 상기 주행륜에 의하여 주행 레일을 따라 주행 가능한 차체와; 상기 차축과 나란하게 배치되고 상기 차체에 제1 단부가 캔틸레버 방식으로 장착된 구동축과; 상기 구동축을 회전시키는 축 구동 유닛과; 상기 구동축의 회전력을 상기 차축에 전달하는 벨트 전동 유닛과; 상기 구동축의 제2 단부 쪽을 비접촉 방식으로 지지하여 상기 벨트 전동 유닛의 벨트의 텐션으로 인한 상기 구동축의 휨을 방지하는 비접촉 지지 유닛을 포함하는, 비히클이 제공될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a vehicle body rotatably supporting both sides in an axial direction of an axle on which a driving wheel is mounted and capable of running along a travel rail by the driving wheel; A drive shaft disposed parallel to the axle and having a first end mounted on the vehicle body in a cantilever manner; A shaft drive unit that rotates the drive shaft; A belt transmission unit transmitting the rotational force of the drive shaft to the axle; A vehicle including a non-contact support unit for preventing bending of the drive shaft due to tension of the belt of the belt transmission unit by supporting the second end of the drive shaft in a non-contact manner may be provided.

상기 비접촉 지지 유닛은, 상기 벨트에 제공된 제1 자성체와; 상기 구동축을 기준으로 상기 차축의 맞은편에서 위치가 고정되고 상기 제1 자성체와 인력을 형성하는 제2 자성체를 포함할 수 있다.The non-contact support unit includes: a first magnetic material provided on the belt; It may include a second magnetic body that is fixed at a position opposite to the axle with respect to the drive shaft and forms an attractive force with the first magnetic body.

또는, 상기 비접촉 지지 유닛은, 상기 벨트 전동 유닛의 구동 풀리에 제공된 제1 자성체와; 상기 구동축을 기준으로 상기 차축의 맞은편에서 위치가 고정되고 상기 제1 자성체와 인력을 형성하는 제2 자성체를 포함할 수 있다.Alternatively, the non-contact support unit includes: a first magnetic body provided on a drive pulley of the belt transmission unit; It may include a second magnetic body that is fixed at a position opposite to the axle with respect to the drive shaft and forms an attractive force with the first magnetic body.

또는, 상기 비접촉 지지 유닛은, 상기 구동축에 제공된 제1 자성체와; 상기 구동축을 기준으로 상기 차축의 맞은편에서 위치가 고정되고 상기 제1 자성체와 인력을 형성하는 제2 자성체를 포함할 수 있다.Alternatively, the non-contact support unit includes: a first magnetic body provided on the drive shaft; It may include a second magnetic body that is fixed at a position opposite to the axle with respect to the drive shaft and forms an attractive force with the first magnetic body.

상기 제2 자성체에는 상기 벨트 전동 유닛의 구동 풀리를 수용하는 홈이 마련될 수 있다.A groove for accommodating the driving pulley of the belt transmission unit may be provided in the second magnetic body.

상기 제2 자성체의 홈은 상기 구동축을 중심으로 하는 형상의 원호 부분을 포함할 수 있다.The groove of the second magnetic body may include an arc portion having a shape centered on the driving shaft.

상기 제1 자성체는 금속을 포함하고, 상기 제2 자성체는 자석을 포함할 수 있다. 또는, 상기 제1 자성체는 자석을 포함하고, 상기 제2 자성체는 금속을 포함할 수 있다. 또는, 상기 제1 자성체와 상기 제2 자성체는 극성이 서로 다른 자석을 포함할 수 있다.The first magnetic body may include a metal, and the second magnetic body may include a magnet. Alternatively, the first magnetic body may include a magnet, and the second magnetic body may include a metal. Alternatively, the first magnetic body and the second magnetic body may include magnets having different polarities.

상기 구동축과 상기 축 구동 유닛은 상기 차축의 전방 또는 후방에 양쪽으로 배치되고, 상기 차체는, 상기 차축을 회전 가능하게 지지하는 메인 바디와; 상기 구동축이 장착된 서브 바디를 포함할 수 있다.The drive shaft and the shaft drive unit are both disposed in front or rear of the axle, and the vehicle body includes: a main body rotatably supporting the axle; It may include a sub-body on which the drive shaft is mounted.

상기 메인 바디와 상기 서브 바디는 각각 상기 차축이 배치되는 내부 공간과 상기 구동축이 배치되는 내부 공간을 가지되 상기 내부 공간들이 서로 연통하도록 구성되고, 상기 서브 바디는 상기 메인 바디의 전방 또는 후방에서 양쪽 중 어느 한쪽에 배치되며, 상기 축 구동 유닛은 상기 메인 바디의 전방 또는 후방에서 양쪽 중 다른 쪽에 배치되고, 상기 벨트 전동 유닛은 서로 연통하는 상기 내부 공간들에 수용될 수 있다.The main body and the sub-body each have an inner space in which the axle is disposed and an inner space in which the drive shaft is disposed, and the inner spaces are configured to communicate with each other, and the sub-body is configured to communicate with each other. The shaft drive unit is disposed on either side of the main body, and the shaft drive unit is disposed on the other side of the front or rear side of the main body, and the belt transmission unit may be accommodated in the inner spaces communicating with each other.

본 발명의 실시예에 따르면, 천창에 설치된 주행 레일과; 상기 주행 레일을 따라 주행하는 비히클과; 상기 비히클에 연결되며 물품을 그립하는 그립 유닛을 포함하고, 상기 비히클은, 주행륜이 장착된 차축의 축 방향의 양쪽을 회전 가능하게 지지하며 상기 주행륜에 의하여 상기 주행 레일을 따라 주행 가능한 차체와; 상기 차축과 나란하게 배치되고 상기 차체에 제1 단부가 캔틸레버 방식으로 장착된 구동축과; 상기 구동축을 회전시키는 축 구동 유닛과; 상기 구동축의 회전력을 상기 차축에 전달하는 벨트 전동 유닛과; 상기 구동축의 제2 단부 쪽을 비접촉 방식으로 지지하여 상기 벨트 전동 유닛의 벨트의 텐션으로 인한 상기 구동축의 휨을 방지하는 비접촉 지지 유닛을 포함하는, 오버헤드 호이스트 트랜스포트가 제공될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a running rail installed in the skylight; A vehicle traveling along the traveling rail; And a grip unit connected to the vehicle and configured to grip an article, wherein the vehicle rotatably supports both sides in an axial direction of an axle on which a driving wheel is mounted, and a vehicle body capable of running along the travel rail by the driving wheel; ; A drive shaft disposed parallel to the axle and having a first end mounted on the vehicle body in a cantilever manner; A shaft drive unit that rotates the drive shaft; A belt transmission unit transmitting the rotational force of the drive shaft to the axle; An overhead hoist transport including a non-contact support unit that supports the second end of the drive shaft in a non-contact manner to prevent bending of the drive shaft due to tension of the belt of the belt transmission unit may be provided.

과제의 해결 수단은 이하에서 설명하는 실시예, 도면 등을 통하여 보다 구체적이고 명확하게 될 것이다. 또한, 이하에서는 언급한 해결 수단 이외의 다양한 해결 수단이 추가로 제시될 수 있다.The means for solving the problem will be more specific and clear through examples, drawings, and the like described below. In addition, in the following, various solutions other than the aforementioned solutions may be additionally presented.

본 발명의 실시예에 의하면, 구동축이 캔틸레버 방식으로 장착되어 구동축의 양단 부분 중 제1 단부에 한하여 지지 구조가 요구되기 때문에, 비히클의 폭(좌우) 방향 크기가 확대되는 것을 방지할 수 있다. 그리고, 구동축의 제2 단부(자유단) 쪽이 비접촉 지지 유닛에 의하여 비접촉 방식으로 지지되기 때문에, 벨트 전동 유닛의 벨트의 텐션에 기인한 구동축의 휨을 적극적으로 억제할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, since the drive shaft is mounted in a cantilever manner and a support structure is required only at the first end of the drive shaft, it is possible to prevent an increase in the size of the vehicle in the width (left and right) direction. Further, since the second end (free end) side of the drive shaft is supported in a non-contact manner by the non-contact support unit, bending of the drive shaft due to the tension of the belt of the belt transmission unit can be actively suppressed.

또한, 비접촉 지지 유닛이 자력을 이용하도록 구성되기 때문에, 구동축의 제2 단부 쪽에 대한 비접촉 지지 구조를 단순화할 수 있다.Further, since the non-contact support unit is configured to use magnetic force, it is possible to simplify the non-contact support structure toward the second end side of the drive shaft.

발명의 효과는 이에 한정되지 않고, 언급되지 않은 기타 효과는 통상의 기술자라면 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 명확히 이해할 수 있을 것이다.The effects of the invention are not limited thereto, and other effects not mentioned will be clearly understood by those of ordinary skill in the art from the present specification and the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 비히클이 적용된 오버헤드 호이스트 트랜스포트를 나타내는 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 오버헤드 호이스트 트랜스포트를 나타내는 평면도이다.
도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 오버헤드 호이스트 트랜스포트의 비히클을 나타내는 평단면도이다.
도 4는 도 3의 A-A선 단면도이다.
도 5는 도 4의 일부분을 나타내는 확대도이다.1 is a side view showing an overhead hoist transport to which a vehicle according to an embodiment of the present invention is applied.
FIG. 2 is a plan view showing the overhead hoist transport shown in FIG. 1;
3 is a plan cross-sectional view showing a vehicle of the overhead hoist transport shown in FIGS. 1 and 2.
4 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 3.
5 is an enlarged view showing a part of FIG. 4.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다. 참고로, 본 발명의 실시예를 설명하기 위하여 참조하는 도면에서 구성 요소의 크기, 선의 두께 등은 이해의 편의상 다소 과장되게 표현되어 있을 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예를 설명하는 데 사용되는 용어는 주로 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의한 것이므로 사용자, 운용자의 의도, 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 용어에 대해서는 본 명세서의 전반에 걸친 내용을 토대로 하여 해석하는 것이 마땅하겠다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. For reference, in the drawings referenced to describe the embodiments of the present invention, the size of the component, the thickness of the line, etc. may be somewhat exaggerated for convenience of understanding. In addition, terms used to describe the embodiments of the present invention are mainly defined in consideration of functions in the present invention, and thus may vary according to the intentions and customs of users and operators. Therefore, the term should be interpreted based on the contents of the entire specification.

본 발명의 실시예는 주로 반도체, 디스플레이 등을 제조하기 위하여 물품을 반송하는 데 사용될 수 있다. 이때, 물품은 웨이퍼(wafer), 글라스(glass) 등의 기판을 포함할 수 있다. 예를 들어, 물품은 기판이 수납되는 컨테이너(container)일 수 있다. 나아가, 컨테이너는 수납된 기판을 외부로부터 보호하기 위한 밀폐형 컨테이너일 수 있다. 일례로, 밀폐형 컨테이너는 전면 개방 통합 포드(front opening unified pod, FOUP)일 수 있다.Embodiments of the present invention can be used to transport articles primarily for manufacturing semiconductors, displays, and the like. In this case, the article may include a substrate such as a wafer or glass. For example, the article may be a container in which a substrate is accommodated. Furthermore, the container may be a sealed container for protecting the received substrate from the outside. As an example, the sealed container may be a front opening unified pod (FOUP).

본 발명의 실시예에 따른 비히클이 적용된 오버헤드 호이스트 트랜스포트(OHT)의 구성 등이 도 1 내지 도 5에 도시되어 있다.The configuration of an overhead hoist transport (OHT) to which a vehicle is applied according to an embodiment of the present invention is shown in FIGS. 1 to 5.

도 1 및 도 2를 참조하면, OHT는, 반도체 제조 라인 등의 천창에 설치된 주행 레일(10), 주행 레일(10)을 따라 주행하는 적어도 하나 이상의 비히클(100A, 100B), 비히클(100A, 100B)의 하측에 연결된 그립 유닛(200)을 포함함으로써, 물품(20)을 그립 유닛(200)에 의하여 그립한 후 비히클(100A, 100B)을 주행시키면, 물품(20)을 반송할 수 있다. 즉, 물품(20)을 임의의 포트에서 목적하는 포트로 반송할 수 있는 것이다.1 and 2, the OHT is a traveling rail 10 installed in a skylight of a semiconductor manufacturing line, at least one or more vehicles 100A, 100B traveling along the traveling rail 10, and vehicles 100A, 100B. By including the grip unit 200 connected to the lower side of ), the article 20 can be transported by driving the vehicles 100A and 100B after gripping the article 20 by the grip unit 200. That is, the article 20 can be transported from an arbitrary port to a desired port.

주행 레일(10)은 좌우 한 쌍의 레일을 포함한다. 한 쌍의 레일은 상측의 주행면을 제공한다.The running rail 10 includes a pair of left and right rails. A pair of rails provides an upper running surface.

비히클(100A, 100B)은 복수로 구비된 경우 전후 방향을 따라 서로 이격되도록 일정한 간격을 두고 배열될 수 있다. 도 3을 참조하면, 비히클(100A, 100B)은 차체(110), 주행륜 어셈블리(120), 구동축(130), 축 구동 유닛(140), 벨트 전동 유닛(150) 및 비접촉 지지 유닛(160)을 포함한다.When a plurality of vehicles 100A and 100B are provided, they may be arranged at regular intervals so as to be spaced apart from each other along the front-rear direction. Referring to FIG. 3, vehicles 100A and 100B include a vehicle body 110, a driving wheel assembly 120, a drive shaft 130, a shaft drive unit 140, a belt transmission unit 150, and a non-contact support unit 160. Includes.

차체(110)는, 좌우 방향으로 연장된 메인 바디(112), 그리고 메인 바디(112)로부터 전방 또는 후방으로 연장된 서브 바디(114)를 포함한다. 메인 바디(112)와 서브 바디(114)는 서로 결합될 수도 있고 일체형일 수도 있다. 서브 바디(114)는 메인 바디(112)의 전방 또는 후방에서 좌우 양쪽 중 어느 한쪽에 배치되어, 차체(110)는 메인 바디(112)의 전방 또는 후방에서 좌우 양쪽 중 서브 바디(114)와 이웃한 다른 쪽에 빈 공간(S)을 제공한다.The vehicle body 110 includes a main body 112 extending in the left-right direction, and a sub-body 114 extending forward or rearward from the main body 112. The main body 112 and the sub body 114 may be combined with each other or may be integral. The sub-body 114 is disposed on either side of the left and right at the front or rear of the main body 112, and the vehicle body 110 is adjacent to the sub-body 114 of both left and right at the front or rear of the main body 112. Provide an empty space (S) on the other side.

메인 바디(112)는 좌우 방향으로 연장된 내부 공간을 가진다. 서브 바디(114)는 전후 방향으로 연장된 내부 공간을 가진다. 차체(110)는 메인 바디(112)의 내부 공간과 서브 바디(114)의 내부 공간이 서로 연통하도록 구성된다.The main body 112 has an inner space extending in the left-right direction. The sub-body 114 has an inner space extending in the front-rear direction. The vehicle body 110 is configured such that the inner space of the main body 112 and the inner space of the sub body 114 communicate with each other.

주행륜 어셈블리(120)는 차체(110)가 주행 레일(10)을 따라 주행 가능하도록 차체(110)에 이동성을 부여한다. 주행륜 어셈블리(120)는, 좌우 방향으로 연장된 차축(122), 그리고 차축(122)의 양단 부분에 각각 장착된 주행륜(124)을 포함한다. 주행륜(124)들은 주행 레일(10)을 구성하는 한 쌍의 레일의 상측에 마련된 주행면에 접촉된다.The driving wheel assembly 120 imparts mobility to the vehicle body 110 so that the vehicle body 110 can travel along the travel rail 10. The driving wheel assembly 120 includes an axle 122 extending in the left and right direction, and a driving wheel 124 mounted at both ends of the axle 122, respectively. The running wheels 124 are in contact with a running surface provided on the upper side of a pair of rails constituting the running rail 10.

차축(122)은, 메인 바디(112)의 내부 공간에 배치되고, 양단 부분이 각각 메인 바디(112)의 좌우를 관통하여 메인 바디(112)의 외부로 돌출된다. 메인 바디(112)의 좌우에는 차축(122)의 축 방향인 좌우 양쪽을 각각 회전 가능하게 지지하는 베어링(B) 등의 회전 지지 부재가 구비된다. 물론, 주행륜(124)들은 메인 바디(112)의 외부로 돌출된 차축(122)의 양단 부분에 각각 장착되어 차축(122)과 함께 회전된다.The axle 122 is disposed in the inner space of the main body 112, and both ends of the axle 122 pass through the left and right sides of the main body 112 and protrude to the outside of the main body 112. Rotation support members, such as a bearing B, are provided on the left and right sides of the main body 112 so as to rotatably support both left and right sides of the axle 122 in the axial direction. Of course, the driving wheels 124 are mounted on both ends of the axle 122 protruding to the outside of the main body 112 and rotate together with the axle 122.

구동축(130)은 좌우 방향으로 연장된다. 구동축(130)은, 서브 바디(114)의 내부 공간에 차축(122)과 나란한 방향으로 배치되고, 제1 단부가 서브 바디(114)를 관통하여 서브 바디(114)에 캔틸레버 방식으로 장착되며, 제2 단부가 서브 바디(114)의 내부 공간에 위치된다.The drive shaft 130 extends in the left and right directions. The driving shaft 130 is disposed in a direction parallel to the axle 122 in the inner space of the sub-body 114, and the first end passes through the sub-body 114 and is mounted on the sub-body 114 in a cantilever manner, The second end is located in the inner space of the sub body 114.

축 구동 유닛(140)은 구동축(130)을 회전시킨다. 축 구동 유닛(140)은 구동축(130)을 양쪽 방향으로 회전시키도록 구성될 수 있다. 축 구동 유닛(140)은, 회전 모터 및 회전 모터의 회전 속도를 감소시켜 구동축(130)에 전달하는 감속기를 포함할 수 있다. 축 구동 유닛(140)은 서브 바디(114)와 이웃한 빈 공간(S)에 배치된다. 이에, 구동축(130)과 축 구동 유닛(140)은 메인 바디(112)의 전방 또는 후방에 좌우 양쪽으로 배치된다.The shaft drive unit 140 rotates the drive shaft 130. The shaft drive unit 140 may be configured to rotate the drive shaft 130 in both directions. The shaft drive unit 140 may include a rotation motor and a reducer that reduces the rotation speed of the rotation motor and transmits it to the drive shaft 130. The shaft driving unit 140 is disposed in an empty space S adjacent to the sub body 114. Accordingly, the drive shaft 130 and the shaft drive unit 140 are disposed in both left and right sides at the front or rear of the main body 112.

벨트 전동 유닛(150)은 축 구동 유닛(140)에 의한 구동축(130)의 회전력을 차축(122)에 전달한다. 벨트 전동 유닛(150)은 메인 바디(112)와 서브 바디(114)의 서로 연통하는 내부 공간들에 배치된다.The belt transmission unit 150 transmits the rotational force of the drive shaft 130 by the shaft drive unit 140 to the axle 122. The belt transmission unit 150 is disposed in inner spaces of the main body 112 and the sub body 114 in communication with each other.

벨트 전동 유닛(150)은, 구동축(130)에 장착된 구동 풀리(152), 차축(122)에 장착된 종동 풀리(154), 그리고 구동 풀리(152)와 종동 풀리(154)에 걸리도록 감긴 벨트(156)를 포함한다. 벨트 전동 유닛(150)은 V 벨트(V-belt)를 사용하는 V 벨트 전동 유닛일 수도 있고 타이밍 벨트(timing belt)를 사용하는 타이밍 벨트 전동 유닛일 수도 있다.The belt transmission unit 150 is wound so as to be caught by the driving pulley 152 mounted on the driving shaft 130, the driven pulley 154 mounted on the axle 122, and the driving pulley 152 and the driven pulley 154. Includes a belt 156. The belt transmission unit 150 may be a V belt transmission unit using a V-belt or a timing belt transmission unit using a timing belt.

한편, 실시 조건 등에 따라서는, 벨트 전동 유닛(150) 대신 체인 전동 유닛이 적용될 수도 있다.Meanwhile, a chain transmission unit may be applied instead of the belt transmission unit 150 depending on implementation conditions and the like.

비히클(100A, 100B)은, 차축(122)이 메인 바디(112)의 내부 공간에 배치되고, 구동축(130)이 서브 바디(114)의 내부 공간에 배치되며, 축 구동 유닛(140)이 서브 바디(114)와 이웃한 빈 공간(S)에 배치되고, 벨트 전동 유닛(150)이 메인 바디(112)와 서브 바디(114)의 서로 연통하는 내부 공간들에 배치되기 때문에, 차축(122), 구동축(130) 및 벨트 전동 유닛(150)을 외부로부터 보호할 수 있고, 축 구동 유닛(140)의 유지 보수를 용이하게 수행할 수 있으며, 상부 공간을 유용하게 활용할 수 있고 전반적으로 콤팩트하게 구성할 수 있다. 또한, 구동축(130)이 캔틸레버 방식으로 장착되어 구동축(130)의 양단 부분 중 제1 단부에 한하여 지지 구조가 요구되기 때문에, 폭(좌우) 방향 크기가 확대되는 것을 방지할 수 있다.In the vehicles 100A and 100B, the axle 122 is disposed in the inner space of the main body 112, the drive shaft 130 is disposed in the inner space of the sub body 114, and the shaft driving unit 140 is a sub Since it is disposed in an empty space S adjacent to the body 114 and the belt transmission unit 150 is disposed in internal spaces communicating with each other between the main body 112 and the sub body 114, the axle 122 , The drive shaft 130 and the belt transmission unit 150 can be protected from the outside, and the maintenance of the shaft drive unit 140 can be easily performed, and the upper space can be usefully utilized and the overall configuration is compact. can do. In addition, since the drive shaft 130 is mounted in a cantilever manner and a support structure is required only at the first end of both ends of the drive shaft 130, it is possible to prevent an enlargement in the width (left and right) direction.

그런데, 구동축(130)이 캔틸레버 방식으로 장착된 것에 의하면, 구동축(130)이 벨트(156)의 텐션으로 인하여 차축(122) 쪽으로 휘어질 수 있고, 이 때문에 축 구동 유닛(140)의 감속기로부터 누유가 발생할 수도 있고 벨트 전동 유닛(150)에 의한 동력 전달이 다소 부정확하게 이루어질 수도 있다.However, when the drive shaft 130 is mounted in a cantilever method, the drive shaft 130 may be bent toward the axle 122 due to the tension of the belt 156, and thus, leakage from the reducer of the shaft drive unit 140 May occur, and power transmission by the belt transmission unit 150 may be made somewhat incorrectly.

비접촉 지지 유닛(160)은, 구동축(130)의 제2 단부(자유단) 쪽을 비접촉 방식으로 지지하여 벨트(156)의 텐션에 기인한 구동축(130)의 휨을 억제함으로써, 구동축(130)의 휨 현상에 따른 누유 발생 문제, 부정확한 동력 전달 문제 등을 방지할 수 있다.The non-contact support unit 160 supports the second end (free end) side of the drive shaft 130 in a non-contact manner to suppress the bending of the drive shaft 130 due to tension of the belt 156, It is possible to prevent the problem of oil leakage due to the bending phenomenon and the problem of inaccurate power transmission.

도 3 내지 도 5를 참조하면, 비접촉 지지 유닛(160)은 상호 간에 인력을 형성하는 제1 자성체와 제2 자성체(162)를 포함한다.Referring to FIGS. 3 to 5, the non-contact support unit 160 includes a first magnetic body and a second magnetic body 162 that form attractive forces with each other.

제1 자성체는 구동축(130), 구동 풀리(152) 및 벨트(156) 중 적어도 어느 하나 이상에 제공된다. 제2 자성체(162)는 구동축(130)을 기준으로 차축(122)의 맞은편에서 서브 바디(114)에 제공되어, 종동 풀리(154)와 제2 자성체(162)는 구동축(130)을 사이에 두고 서로 대향한다. 제1 자성체와 제2 자성체(162) 간에 작용하는 인력은 구동축(130)이 벨트(156)의 텐션으로 인하여 차축(122) 쪽인 종동 풀리(154) 쪽으로 휘어지는 것을 방지한다.The first magnetic body is provided on at least one or more of the drive shaft 130, the drive pulley 152, and the belt 156. The second magnetic body 162 is provided on the sub-body 114 on the opposite side of the axle 122 based on the drive shaft 130, and the driven pulley 154 and the second magnetic body 162 are disposed between the drive shaft 130. Put on and face each other. The attractive force acting between the first magnetic body and the second magnetic body 162 prevents the drive shaft 130 from bending toward the driven pulley 154 toward the axle 122 due to the tension of the belt 156.

제1 자성체는 금속을 포함한다. 일례로, 구동축(130), 구동 풀리(152) 및 벨트(156) 중 적어도 어느 하나 이상을 금속으로 형성하여 구동축(130), 구동 풀리(152) 및 벨트(156) 중 적어도 어느 하나 이상에 제1 자성체를 제공할 수 있다. 다른 예로, 구동축(130), 구동 풀리(152) 및 벨트(156) 중 적어도 어느 하나 이상에 금속 분말(또는, 입자)을 포함시키거나 금속으로 코팅하여 구동축(130), 구동 풀리(152) 및 벨트(156) 중 적어도 어느 하나 이상에 제1 자성체를 제공할 수도 있다.The first magnetic body contains a metal. For example, by forming at least one or more of the drive shaft 130, the drive pulley 152, and the belt 156 of metal, the drive shaft 130, the drive pulley 152, and at least one of the belt 156 1 Magnetic material can be provided. In another example, the drive shaft 130, the drive pulley 152, and the drive shaft 130, the drive pulley 152, and the drive shaft 130, the drive pulley 152, and A first magnetic material may be provided to at least one or more of the belts 156.

제2 자성체(162)는 자석을 포함한다. 자석은 영구 자석일 수 있다. 제2 자성체(162)는 서브 바디(114)의 내벽에 장착된다.The second magnetic body 162 includes a magnet. The magnet can be a permanent magnet. The second magnetic body 162 is mounted on the inner wall of the sub body 114.

한편, 비접촉 지지 유닛(160)은 제1 자성체가 자석을 포함하고 제2 자성체(162)가 금속을 포함하도록 구성될 수도 있다. 또는, 제1 자성체와 제2 자성체(162)가 서로 다른 극성의 자석을 포함하도록 구성될 수도 있다. 제1 자성체가 자석을 포함하는 경우, 구동축(130), 구동 풀리(152) 및 벨트(156) 중 적어도 어느 하나 이상은 자석 분말(또는, 입자)을 포함하거나 자석으로 코팅될 수 있다.Meanwhile, the non-contact support unit 160 may be configured such that the first magnetic body includes a magnet and the second magnetic body 162 includes a metal. Alternatively, the first magnetic body and the second magnetic body 162 may be configured to include magnets of different polarities. When the first magnetic body includes a magnet, at least one of the driving shaft 130, the driving pulley 152, and the belt 156 may contain magnetic powder (or particles) or may be coated with a magnet.

도 5에 도시된 바와 같이, 제2 자성체(162)에는 구동 풀리(152)를 수용하는 홈(163)이 마련된다. 제2 자성체(162)의 홈(163)에 의하면, 제1 자성체와 제2 자성체(162)에 의한 인력이 작용하는 범위를 확대시켜 구동축(130)의 휨 방지를 강력하게 구현할 수 있고, 종동 풀리(154) 쪽으로의 구동축(130)의 휨이 종동 풀리(154)에 대한 직선 방향이 아닌 상측이나 하측으로 치우친 형태로 발생하는 것을 방지할 수 있다.As shown in FIG. 5, a groove 163 accommodating the driving pulley 152 is provided in the second magnetic body 162. According to the groove 163 of the second magnetic body 162, the range in which the attractive force by the first magnetic body and the second magnetic body 162 acts can be expanded to strongly prevent the bending of the drive shaft 130, and the driven pulley It is possible to prevent the bending of the drive shaft 130 toward the 154 from occurring in a form skewed upward or downward rather than in a linear direction with respect to the driven pulley 154.

제2 자성체(162)의 홈(163)은 구동축(130)을 중심으로 하는 형상의 원호 부분(164)을 포함한다. 제2 자성체(162)의 홈(163)은 원호 부분(164)에서 구동축(130), 구동 풀리(152) 및 벨트(156)와의 간격이 일정하게 유지된다. 그러므로, 원호 부분(164)에 의하면, 제1 자성체와 제2 자성체(162)에 의한 인력은 그 힘이 일정하게 작용하는 부분을 가진다. 이는 구동축(130)의 휨 방지를 보다 안정적으로 구현할 수 있게 한다.The groove 163 of the second magnetic body 162 includes an arc portion 164 having a shape centered on the drive shaft 130. The groove 163 of the second magnetic body 162 maintains a constant distance between the drive shaft 130, the drive pulley 152 and the belt 156 in the arc portion 164. Therefore, according to the arc portion 164, the attraction by the first magnetic body and the second magnetic body 162 has a portion in which the force acts constant. This makes it possible to more stably implement the prevention of bending of the drive shaft 130.

도 1 및 도 3에서 도면 부호 170은 연결 부재로, 비히클(100A, 100B)은 하측이 그립 유닛(200)의 상측에 연결 부재(170)에 의하여 상하 방향의 축을 중심으로 회전 가능하게 연결된다.In FIGS. 1 and 3, reference numeral 170 denotes a connecting member, and the lower side of the vehicles 100A and 100B is rotatably connected about an axis in the vertical direction by a connecting member 170 on the upper side of the grip unit 200.

한편, 도시된 바는 없으나, 비히클(100A, 100B)은, 주행 레일(10)을 구성하는 한 쌍의 레일의 내측에 마련된 안내면에 접촉되는 안내륜을 더 포함할 수 있다.On the other hand, although not shown, the vehicle (100A, 100B) may further include a guide wheel in contact with the guide surface provided on the inner side of the pair of rails constituting the traveling rail (10).

또한, 비히클(100A, 100B)은 차체(110)의 상측에 좌우 방향으로 이동 가능하게 장착되고 액추에이터 등 별도의 구동 유닛에 의하여 이동되는 조향륜을 더 포함할 수 있다. 조향륜은 주행 레일(10)의 상측에서 직진 주행을 안내하는 직진 조향 레일과 분기 주행을 안내하는 분기 조향 레일에 선택적으로 접촉될 수 있다. 예를 들어, 비히클(100A, 100B)이 직진 주행을 하는 경우, 조향륜은 직진 조향 레일과 접촉하도록 이동될 수 있다. 그리고, 비히클(100A, 100B)이 분기 주행을 하는 경우, 조향륜은 분기 조향 레일과 접촉하도록 이동될 수 있다.In addition, the vehicles 100A and 100B may further include steering wheels mounted on the upper side of the vehicle body 110 so as to be movable in the left and right directions and moved by a separate driving unit such as an actuator. The steering wheel may selectively contact a straight steering rail for guiding straight travel from an upper side of the travel rail 10 and a branch steering rail for guiding branch driving. For example, when the vehicles 100A and 100B travel in a straight line, the steering wheel may be moved to contact the straight steering rail. In addition, when the vehicles 100A and 100B branch travel, the steering wheel may be moved to contact the branch steering rail.

도 1을 참조하면, 그립 유닛(200)은 하우징(210), 수평 이동기(220), 승강기(230) 및 그리퍼(gripper, 240)를 포함한다.Referring to FIG. 1, the grip unit 200 includes a housing 210, a horizontal mover 220, an elevator 230, and a gripper 240.

하우징(210)의 상측에는 비히클(100A, 100B)이 연결 부재(170)에 의하여 연결된다. 하우징(210)은 물품(20)(예를 들어, FOUP)의 수평 방향 이동 및 상하 방향 이동을 위하여 한쪽 측방과 하방이 개방된 형상으로 형성될 수 있다. 이때, 한쪽 측방은 좌측 또는 우측일 수 있다.Vehicles 100A and 100B are connected to the upper side of the housing 210 by a connection member 170. The housing 210 may be formed in a shape in which one side and the lower side are open for horizontal movement and vertical movement of the article 20 (eg, FOUP). At this time, one side may be left or right.

수평 이동기(220)는 하우징(210)의 내부 상면에 구비된다. 수평 이동기(220)는 하우징(210)의 개방된 측방을 통하여 수평 방향으로 이동될 수 있다. 승강기(230)는 수평 이동기(220)의 하측에 장착되어 수평 이동기(220)를 작동시키면 수평 방향으로 이동된다. 승강기(230)는 승강 벨트(232)를 와인딩이나 언와인딩에 의하여 승강시킬 수 있다. 그리퍼(240)는 승강 벨트(232)의 단부에 장착된다. 그리퍼(240)는 물품(20)을 그립하거나 언그립한다.The horizontal mover 220 is provided on the inner upper surface of the housing 210. The horizontal mover 220 may be moved in a horizontal direction through the open side of the housing 210. The elevator 230 is mounted below the horizontal mover 220 and moves in the horizontal direction when the horizontal mover 220 is operated. The elevator 230 may lift the elevator belt 232 by winding or unwinding. The gripper 240 is mounted on the end of the lifting belt 232. The gripper 240 grips or ungrips the article 20.

그리퍼(240)에 의하여 그립된 물품(20)은, 수평 이동기(220)에 의하여 수평 방향으로 이동될 수 있고, 승강기(230)에 의하여 상하 방향으로 이동될 수 있다.The article 20 gripped by the gripper 240 may be moved in the horizontal direction by the horizontal mover 220 and may be moved in the vertical direction by the elevator 230.

도 1에서 도면 부호 300은 그리퍼(240)에 의하여 그립된 물품(20)을 하측에서 지지하는 물품 받침으로, 물품 받침(300)은 비히클(100A, 100B)이 주행 시에 발생할 수 있는 진동 등으로 인하여 물품(20)이 낙하하는 것을 방지한다.In FIG. 1, reference numeral 300 denotes an article support that supports the article 20 gripped by the gripper 240 from the lower side, and the article support 300 is a vibration that may occur when the vehicles 100A and 100B travel. This prevents the article 20 from falling.

이상에서는 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 개시된 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되지 않으며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 이내에서 통상의 기술자에 의하여 다양하게 변형될 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에서 설명한 기술적 사상은, 각각 독립적으로 실시될 수도 있고, 둘 이상이 서로 조합되어 실시될 수도 있다.Although the present invention has been described above, the present invention is not limited by the disclosed embodiments and the accompanying drawings, and may be variously modified by a person skilled in the art within the scope not departing from the technical spirit of the present invention. In addition, the technical idea described in the embodiment of the present invention may be implemented independently, or two or more may be implemented in combination with each other.

10: 주행 레일
20: 물품
100A, 100B: 비히클
110: 차체
112: 메인 바디
114: 서브 바디
120: 주행륜 어셈블리
122: 차축
124: 주행륜
130: 구동축
140: 축 구동 유닛
150: 벨트 전동 유닛
152: 구동 풀리
154: 종동 풀리
156: 벨트
160: 비접촉 지지 유닛
162: 자석(제2 자성체)
163: 홈
164: 원호 부분
200: 그립 유닛10: running rail
20: article
100A, 100B: vehicle
110: body
112: main body
114: sub body
120: drive wheel assembly
122: axle
124: driving wheel
130: drive shaft
140: shaft drive unit
150: belt transmission unit
152: driving pulley
154: driven pulley
156: belt
160: non-contact support unit
162: magnet (second magnetic body)
163: home
164: arc part
200: grip unit

Claims (10)

주행륜이 장착된 차축의 축 방향 양쪽을 회전 가능하게 지지하며 상기 주행륜에 의하여 주행 레일을 따라 주행 가능한 차체와;
상기 차축과 나란하게 배치되고 상기 차체에 제1 단부가 캔틸레버 방식으로 장착된 구동축과;
상기 구동축을 회전시키는 축 구동 유닛과;
상기 구동축의 회전력을 상기 차축에 전달하는 벨트 전동 유닛과;
상기 구동축의 제2 단부 쪽을 비접촉 방식으로 지지하여 상기 벨트 전동 유닛의 벨트의 텐션으로 인한 상기 구동축의 휨을 방지하는 비접촉 지지 유닛을 포함하는,
비히클.A vehicle body rotatably supporting both sides of an axle on which the driving wheels are mounted and capable of running along the travel rail by the driving wheels;
A drive shaft disposed in parallel with the axle and having a first end mounted on the vehicle body in a cantilever manner;
A shaft drive unit that rotates the drive shaft;
A belt transmission unit transmitting the rotational force of the drive shaft to the axle;
Including a non-contact support unit for supporting the second end side of the drive shaft in a non-contact manner to prevent bending of the drive shaft due to tension of the belt of the belt transmission unit,
Vehicle. 청구항 1에 있어서,
상기 비접촉 지지 유닛은,
상기 벨트에 제공된 제1 자성체와;
상기 구동축을 기준으로 상기 차축의 맞은편에서 위치가 고정되고 상기 제1 자성체와 인력을 형성하는 제2 자성체를 포함하는 것을 특징으로 하는,
비히클.The method according to claim 1,
The non-contact support unit,
A first magnetic material provided on the belt;
It characterized in that it comprises a second magnetic body that is fixed at a position opposite the axle with respect to the drive shaft and forms an attractive force with the first magnetic body,
Vehicle. 청구항 1에 있어서,
상기 비접촉 지지 유닛은,
상기 벨트 전동 유닛의 구동 풀리에 제공된 제1 자성체와;
상기 구동축을 기준으로 상기 차축의 맞은편에서 위치가 고정되고 상기 제1 자성체와 인력을 형성하는 제2 자성체를 포함하는 것을 특징으로 하는,
비히클.The method according to claim 1,
The non-contact support unit,
A first magnetic body provided on a drive pulley of the belt transmission unit;
It characterized in that it comprises a second magnetic body that is fixed at a position opposite the axle with respect to the drive shaft and forms an attractive force with the first magnetic body,
Vehicle. 청구항 1에 있어서,
상기 비접촉 지지 유닛은,
상기 구동축에 제공된 제1 자성체와;
상기 구동축을 기준으로 상기 차축의 맞은편에서 위치가 고정되고 상기 제1 자성체와 인력을 형성하는 제2 자성체를 포함하는 것을 특징으로 하는,
비히클.The method according to claim 1,
The non-contact support unit,
A first magnetic material provided on the drive shaft;
It characterized in that it comprises a second magnetic body that is fixed at a position opposite the axle with respect to the drive shaft and forms an attractive force with the first magnetic body,
Vehicle. 청구항 2 내지 청구항 4 중 어느 하나에 있어서,
상기 제2 자성체에는 상기 벨트 전동 유닛의 구동 풀리를 수용하는 홈이 마련된 것을 특징으로 하는,
비히클.The method according to any one of claims 2 to 4,
In the second magnetic body, characterized in that the groove for accommodating the drive pulley of the belt transmission unit is provided,
Vehicle. 청구항 5에 있어서,
상기 제2 자성체의 홈은
상기 구동축을 중심으로 하는 형상의 원호 부분을 포함하는 것을 특징으로 하는,
비히클.The method of claim 5,
The groove of the second magnetic body is
It characterized in that it comprises a circular arc portion of the shape centered on the drive shaft,
Vehicle. 청구항 2 내지 청구항 4 중 어느 하나에 있어서,
상기 제1 자성체는 금속을 포함하고,
상기 제2 자성체는 자석을 포함하는 것을 특징으로 하는,
비히클.The method according to any one of claims 2 to 4,
The first magnetic body includes a metal,
The second magnetic body is characterized in that it comprises a magnet,
Vehicle. 청구항 1에 있어서,
상기 구동축과 상기 축 구동 유닛은 상기 차축의 전방 또는 후방에 양쪽으로 배치되고,
상기 차체는,
상기 차축을 회전 가능하게 지지하는 메인 바디와;
상기 구동축이 장착된 서브 바디를 포함하는 것을 특징으로 하는,
비히클.The method according to claim 1,
The drive shaft and the shaft drive unit are disposed on both sides of the front or rear of the axle,
The vehicle body,
A main body rotatably supporting the axle;
It characterized in that it comprises a sub-body to which the drive shaft is mounted,
Vehicle. 청구항 8에 있어서,
상기 메인 바디와 상기 서브 바디는 각각 상기 차축이 배치되는 내부 공간과 상기 구동축이 배치되는 내부 공간을 가지되 상기 내부 공간들이 서로 연통하도록 구성되고,
상기 서브 바디는 상기 메인 바디의 전방 또는 후방에서 양쪽 중 어느 한쪽에 배치되며,
상기 축 구동 유닛은 상기 메인 바디의 전방 또는 후방에서 양쪽 중 다른 쪽에 배치되고,
상기 벨트 전동 유닛은 서로 연통하는 상기 내부 공간들에 수용된 것을 특징으로 하는,
비히클.The method of claim 8,
The main body and the sub-body each have an inner space in which the axle is disposed and an inner space in which the drive shaft is disposed, and the inner spaces are configured to communicate with each other,
The sub-body is disposed on either side of the front or rear of the main body,
The shaft drive unit is disposed on the other of both at the front or rear of the main body,
The belt transmission unit is characterized in that accommodated in the inner spaces communicating with each other,
Vehicle. 천창에 설치된 주행 레일과; 상기 주행 레일을 따라 주행하는 비히클과; 상기 비히클에 연결되며 물품을 그립하는 그립 유닛을 포함하고,
상기 비히클은,
주행륜이 장착된 차축의 축 방향의 양쪽을 회전 가능하게 지지하며 상기 주행륜에 의하여 상기 주행 레일을 따라 주행 가능한 차체와;
상기 차축과 나란하게 배치되고 상기 차체에 제1 단부가 캔틸레버 방식으로 장착된 구동축과;
상기 구동축을 회전시키는 축 구동 유닛과;
상기 구동축의 회전력을 상기 차축에 전달하는 벨트 전동 유닛과;
상기 구동축의 제2 단부 쪽을 비접촉 방식으로 지지하여 상기 벨트 전동 유닛의 벨트의 텐션으로 인한 상기 구동축의 휨을 방지하는 비접촉 지지 유닛을 포함하는,
오버헤드 호이스트 트랜스포트.A running rail installed in the skylight; A vehicle traveling along the traveling rail; And a grip unit connected to the vehicle and gripping an article,
The vehicle,
A vehicle body rotatably supporting both sides of an axle on which a driving wheel is mounted and capable of running along the travel rail by the driving wheel;
A drive shaft disposed in parallel with the axle and having a first end mounted on the vehicle body in a cantilever manner;
A shaft drive unit that rotates the drive shaft;
A belt transmission unit transmitting the rotational force of the drive shaft to the axle;
Including a non-contact support unit for supporting the second end side of the drive shaft in a non-contact manner to prevent bending of the drive shaft due to tension of the belt of the belt transmission unit,
Overhead hoist transport.
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