KR102232282B1 - 편광 정렬 검사 장치 및 그 방법 - Google Patents

Abstract

편광 정렬 검사 장치 및 그 방법이 제공되며, 검사 장치는 편광 장치의 수광면에 표면광을 조사하며, 선형 편광 광원의 발광면을 통하고, 편광 장치는 공간 시그널을 출광면과 편광장치를 통하여 검사 객체외부로 조사된 표면광에 공급하고, 검사 객체를 통하여 전송된 표면광은 표면광의 편광 시그널을 필터링하는 편광기에 조사하고, 필터링된 광은 선형 편광에 따라서 검사를 위하여 검사 시스템의 카메라 렌즈에 의해서 수광되며, 검사 객체와 편광기 상에 즉각적인 부착과 편광 검사를 수행하려는 목적을 달성할 수 있다.

Description

편광 정렬 검사 장치 및 그 방법{Polarization Alignment Inspection Apparatus And Method Thereof}

본 발명은 편광 정렬 검사 장치 및 그 방법에 관한 것이며, 보다 상세히는 검사하려는 객체에 편광 검사를 수행하고, 선형 편광 광원을 사용하여 편광장치, 검사 객체, 편광기 순서로 표면광을 통과시키도록 하고, 표면광은 검사를 위하여 검사 시스템에 의해서 검사되고, 검사 객체가 편광기와 정렬되어 부착되도록 하는 검사 장치 및 방법에 관한 것이다.

기술의 발전과 혁신으로, 일상생활에서 많은 기구가 발전된 과학 및 기술과 함께 진보되며, 많은 변화가 있다. 예를 들어, 스크린 상에서 디스플레이된 이미지를 통하여 일상 생활 속에서 시청하는 TV 프로그램 또는 영화는 2D 이미지에서 3D 이미지로 진화되며, 입체 이미지를 보는데 있어 시청자의 경험을 축적시킨다. 3D 이미지의 입체적 시각 효과의 발전으로, 많은 회사들은 3D 이미지를 사용하여 여러 가지 가상 이미지를 개발하여 마치 스크린에 있는 것처럼 여러 가지 분위기를 경험하게 한다. 예를 들어, VR(virtual reality) 기술, AR(augmented reality) 기술, MR(mixed reality) 기술, CR(cinematic reality) 기술 등을 포함하는 가상 이미지 기술은 여러 가지 게임, 텔레비전 프로그램 또는 영화에 자주 적용되는 기술이 되었고, 3D 이미지를 보는 시각적 인식을 제공하고 있다.

일반적으로, 3D 이미지의 존재는 보는 사람의 양안시차효과에 의해서 형성된다. 양안시차효과는 2개의 눈의 위치 및 각도가 다르므로 2개의 눈은 약간 다른 이미지를 보고, 2개 눈에 의해서 보여진 다른 이미지는 뇌에서 마침내 합하여 3D 입체 이미지를 생성한다. 최근에 입체 이미지 상영의 기술은 입체 기술과 자동 입체 기술로 분류된다. 입체 기술은 특별히 디자인된 안경을 착용하여야 하고 자동 입체 기술은 안경을 착용할 필요가 없이 3D 이미지를 볼 수 있게 한다. 입체 3D 이미지 상영 기술은 칼라 필터 그래스를 사용하는 타입, 편광 그래스를 사용하는 편광 타입 및 셔터 그래스를 사용하는 활성 셔터 타입을 포함한다. 도 6 내지 도 8을 참조하면, 여러 가지 진동 방향(a)을 가진 광의 원리를 이용하고 오리지널 이미지(b)를 분해하는 수동 편광 그래스를 도시한다. 먼저, 이미지(b)는 수직 편광(b1)과 수평 편광(b2)으로 각각 형성된 2개의 이미지로 분리되고, 3D 그래스(c)의 우측 및 좌측 그래스(c1, c2)는 다른 편광 방향을 가진 편광 그래스에 의해서 실행되어, 좌측 및 우측 눈은 우측 및 좌측 그래스(c1, c2)를 통해서 2개의 이미지를 분리적으로 받아들이고, 2개의 이미지가 혼합되어 3D 이미지(d)를 형성한다.

자동 입체 3D 이미지 상영 기술은 특별히 제작된 안경없이 3D 이미지를 시청하게 한다. 렌즈형 디스플레이 기술과 같은 자동 입체 디스플레이 기술은 디스플레이 정보의 여러 광빔을 편광하고 좌측 및 우측 눈으로 안내하도록 렌즈를 사용한다. 3D 이미지의 상영은 위치 및 각도에서 제한적이며, 따라서 시청자의 시각 위치 및 각도는 제한적이다. 입체 3D 이미지 상영 기술은 특별히 디자인된 그래스를 사용하여만 하고, 그러나, 그래스를 통하여 상영된 3D 효과는 더 좋고 시각 위치 및 각도에 쉽게 제한되지 않아서, 입체 3D 이미지 상영 기술은 대부분 제조업자에 의해서 채택되고 있다. 그러나, 편광 그래스는 검사되고 정렬되어야만 하고, 좌측 및 우측 그래스의 적당한 편광 각도 및 다른 요소를 조정하여, 더 좋은 3D 이미지 디스플레이 효과를 가져다 준다; 그렇지 않으면, 사용 시에, 비정렬 편광 축 중의 직선 편광 축인 광 전송 축은 경사져서 혼선 효과가 발생하고, 편광 그래스의 밝기가 변경되거나 어두워지는 결함을 일으킨다.

도 9를 참조하면, 종래의 편광 정렬 방법을 도시하고 있다. 도 9에 도시한 바와같이, 단색광빔(e)은 편광기(f), 쿼터-파형판(g), 및 샘플(h)을 통해서 전송되도록 발광되고, 편광 검출기(i)에 의해서 수광된다. 편광 검출기(i)는 샘플(h)의 편광을 측정할 수 있고, 위상차 및 광전송축을 동시에 신속히 측정할 수 있다. 편광기(f)와 샘플(h)에 대한 종래의 측정 정밀도는 0.01° 까지 도달한다. 그러나, 종래의 측정 전에, 편광기(f)는 절단되어야 하고, 베이스 측정 고정물 상에 위치하여야 하며, 컴퓨터는 회전 각도와 수행 연산을 위하여 사용되어, 광전송비율과 같은 파라미터를 얻고, 편광 검출기(i)는 광 전송속도 및 다른 파라미터를 사용하여 측정 연산을 수행한다. 그러나, 상술한 종래의 측정 작업은 복잡하고, 편광기(f)와 샘플(h) 상에 단일 포인트 측정을 수행할 수 있을 뿐이고, 기계 장비에서 편광기(f)에 샘플(h)을 부착하는 작업을 즉시 수행하는 것이 어렵다. 결과적으로, 실질 적용에 있어서 종래 기술의 개선 여지가 많이 있다.

그러므로, 우선 검사 작업 시에 편광기의 파라미터를 얻기위한 복잡한 작동에 의해서 야기되는 종래의 문제점, 및 측정 작업 동안 편광기를 샘플에 직접 부착하는 것이 어렵다는 것이 당업계의 중요한 이슈인 종래의 문제점을 극복하여야 한다.

상기 종래의 문제점을 극복하기 위하여, 본 발명자들은 수집된 데이터와 많은 테스트 및 개량과 당업계에서의 경험에 따라 편광 정렬 검사 장치 및 그 방법을 개발하고, 선형 편광 광원을 사용하여 편광장치, 검사 객체, 편광기 순서를 통하여 표면광이 전송되도록 하고, 검사 시스템을 사용하여 검사를 위하여 표면광을 수광하고, 검사 객체는 편광기에 정렬되고 부착될 수 있다.

본 발명은 선형 편광 광원을 이용하여 선형 편광 광원의 발광면을 통하여 편광장치의 측면상에 형성된 수광면에 표면광을 조사하게 하고, 편광장치는 공간 시그널을 표면광에 공급할 수 있고, 표면광은 편광장치의 다른 측면상에 형성된 출광면을 통하여 검사 객체 외부로 조사되고, 검사 객체를 통한 표면광은 편광장치에 대향하는 검사 객체의 다른 측면상에서 편광기에 조사되고, 편광기는 검사 객체를 통하여 전송하는 선형 광원을 수광하고, 편광 시그널을 필터링하고, 검사 객체에 대향하는 편광기의 다른 측면상에서 검사 시스템의 카메라 렌즈에 필터링된 광을 조사하고, 검사하며, 검사 객체와 편광기에서 편광 검사를 수행하고자 하는 목적을 달성하고, 검사 객체와 편광기를 정렬하고 부착한다.

본 발명은 선형 편광 광원이 편광 특성을 가진 표면광이며, 편광 필름은 표면광이 편광 특성을 가지도록 발광면상에 위치하여, 단일 파장을 가진 광은 발광면과 편광 필름을 통하여 조사될 수 있다;

더욱이, 편광장치는 LCP로 이루어진 감극제(depolarizer) 일 수 있고, 선형 편광을 의사난수(pseudorandomly) 편광으로 전환하도록 패턴 리타더(patterned retarder)로서 기능하고, 편광장치는 편광 분배 시그널의 공간 시그널(spatial signal)을 선형 편광 광원에 의해서 조사된 표면광에 공급할 수 있고, 편광 분배 시그널은 공간 패턴 또는 파장에 따라서 변화하며; 더욱이, 편광기는 나노입자 규산 나트륨 그래스로 이루어진다.

본 발명은 검사 시스템이 충전가능장치를 가지며, 카메라 렌즈는 수직입사형 카메라 렌즈이다.

본 발명의 주요한 개념은 편광 정렬 검사 장치와 검사 방법을 제공하고, 선형 편광 광원의 발광면을 통하여 편광장치에 표면광을 조사하도록 선형 편광 광원을 사용할 수 있고, 편광장치를 사용하여 공간 시그널을 표면광에 공급하고, 표면광을 검사 객체에 조사하고, 표면광을 검사 객체를 통하여 편광기에 전송하고, 검사 시스템의 카메라 렌즈를 사용하여 표면광을 수광하고, 검사 객체의 편광 정보 이미지 및 편광기의 편광 정보 이미지를 취득하고, 검사 시스템을 사용하여 편광 정보 이미지들에 따라서 검사 객체와 편광기의 편광 방향과 각도를 연산하여, 검사 객체와 편광기를 위한 광정렬검사가 이루어질 수있고, 검사 객체와 편광기는 상호 즉시 부착될 수 있고, 이것에 의해 광전송 축의 기울기 및 누화현상의 발생을 감소시키고, 검사 객체와 편광기가 실질 적용시에 더 향상된 안정성을 위하여 적절한 편광 각도를 가지게 한다.

도 1은 본 발명에 따른 편광 정렬 검사 장치의 사시도
도 2는 본 발명에 따른 편광 정렬 검사 장치의 분해도
도 3은 본 발명에 따른 편광 정렬 검사 방법의 일예의 플로우챠트
도 4는 본 발명에 따라서, 편광 검사 전의 편광 정보 이미지도
도 5는 본 발명에 따라서, 편광 검사 후의 편광 정보 이미지도
도 6은 종래의 편광 3D 기술의 광 편광 방향의 제1분해도
도 7은 종래의 편광 3D 기술의 광 편광 방향의 제2분해도
도 8은 종래의 3D 편광 기술에서 편광 방향을 가진 광빔을 수광하는 작업의 개략도
도 9는 종래의 편광 정렬 방법의 측면도

본 발명의 하기 실시예는 첨부 도면을 참고로 하여 상세히 기술된다. 이들 도면은 본 발명의 실시예의 특정 예를 도시한다. 이 실시예는 철저하고 완전하게 개시되며 당업자에게 본 발명의 범위를 충분히 전달할 것이다. 본 실시예들은 예시적인인 실시이며, 본 발명의 범위를 제한하지 않으며, 또한 다른 실시예들도 특허청구범위의 범위 내에 포함된다. 이들 실시예는 철저하고 완전하게 개시되며 당업자에게 본 발명의 단계를 충분히 전달할 것이다. 도면에 대해서, 도면에서 구성요소의 관련 성질 및 비율은 명료성과 편의성을 위하여 사이즈가 과장되거나 축소될 수 있다. 동일한 참조번호는 동일 또는 동종의 부품에 대해 도면 및 발명의 상세한 설명란에서 사용된다.

용어 ‘제1’, ‘제2’, ‘제3’ 등은 여러 가지 구성요소에 사용되지만, 이들 구성요소는 이들 용어에 제한되지 않는다. 이들 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용할 뿐이다. 따라서, 여기에 기술된 제1 구성요소는 본 발명에서 설명을 변경함이 없이 제2구성요소로 명명될 수 있다. 여기에 사용되는 용어“또는” 는 하나 이상의 관련 리스트의 아이템의 일부 및 전부의 결합을 포함한다.

하나의 구성요소 또는 레이어가 다른 구성요소 또는 레이어 “상에”, “에 연결된”, “에 결합된”과 같이 언급될 때, 다른 구성요소 또는 레이어에 직접 “상에”, “에 연결된”, “에 결합된” 것이고, 또는 중간의 구성요소 또는 레이어가 존재할 수 있다. 대조적으로, 하나의 구성요소가 다른 구성요소 또는 레이어 “ 직접 상에”, “에 직접 연결된”, “에 직접 결합된”과 같이 언급될 때, 중간의 구성요소 또는 레이어가 존재하지 않는다.

첨가적으로, 반대의 명확한 기술이 없다면, 단어 “구성된다”와 “포함한다”와 같은 변형은 서술된 구성요소를 포함하는 것을 함축하지만 다른 구성요소를 제외한다는 의미는 아니다.

도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 편광 정렬 검사 장치의 사시도 및 분해도, 본 발명에 따른 편광 정렬 검사 방법의 일예의 플로우챠트, 본 발명에 따라서, 편광 검사 전과 후의 편광 정보 이미지도이다. 도 1 내지 도 5에 도시한 바와같이, 본 발명의 편광 정렬 검사 장치는 선형 편광 광원(1), 편광장치(2), 검사 객체(3), 편광기(4) 및 검사 시스템(5)을 포함할 수 있다.

선형 편광 광원(1)은 측면에 형성된 발광면(11)을 가지며, 발광면(11)을 통하여 외부쪽으로 표면광을 발광한다.

편광장치(2)는 양측상에 각각 형성된 수광면(21)과 출광면(22)을 가진다.

일 실시예에서, 검사 객체(3)는 양극성을 가지지 않으며, 편광 광이되는 자연광을 편광하기 위한 편광 필름일 수 있다. 일반적으로 편광 광은 이미지 디스플레이의 분야에 통상 적용된다.

일 실시예에서, 편광기(4)는 나노입자 규산 나트륨 그래스로 이루어진 광학 성분일 수 있고, 편광 광을 발생하도록 자연광을 편광하도록 할 수 있다.

일 실시예에서, 검사 시스템(5)은 충전가능장치일 수 있고, 측면에 위치한 카메라 렌즈(51)로 구성될 수 있으며, 바람직하기로는 카메라 렌즈(51)는 수직입사형 카메라 렌즈일 수 있다.

상기 구성의 일실시예로서, 편광장치(2)에서 선형 편광 광원(1)의 발광면(11) 외측에 위치하고, 편광장치(2)의 측면상에 형성된 수광면(21)은 발광면(11)과 마주본다. 검사 객체(3), 편광기(4) 및 검사 시스템(5)은 편광장치(2)의 다른 측면상에 형성된 출광면(22) 외부에서 순차적으로 위치한다. 검사 시스템(5)의 카메라 렌즈(51)는 편광기(4)에 정렬되고, 광은 선형 편광 광원(1)의 발광면(11)을 통하여 편광장치(2), 검사 객체(3) 및 편광기(4)로 조사될 수 있다. 카메라 렌즈(51)는 수광된 광으로부터 검사 객체(3)의 편광 정보 이미지(31) 및 편광기(4)의 편광 정보 이미지(41)를 얻고, 검사 객체(3)와 편광기(4)의 광전송축의 위치 및 각도에 변화를 분석하여, 광전송축의 경사와 누화현상(crosstalk effect)의 발생을 감소시킨다. 결과적으로, 본 발명의 편광 정렬 검사 장치는 완성될 수 있다.

본 실시예에서, 선형 편광 광원(1)은 LED 또는 유기발광다이오드를 사용하는 광원, 또는 다른 종류의 광원과 같은 편광 특성을 가진 표면 광원일 수 있다. 더욱이, 편광 필름(12)은 발광면(11) 상에 위치하여 표면광이 편광특성을 가지게 하고, 단일 파장을 가진 광이 발광면(11)과 편광 필름(12)을 통하여 외부로 조사될 수 있다.

본 실시예에서, 편광장치(2)는 LCP로 이루어진 감극제(depolarizer)일 수 있고, 선형 편광을 의사난수(pseudorandomly) 편광으로 전환하도록 패턴 리타더(patterned retarder)로서 기능한다. 더욱이, 편광장치(2)는 편광 분배 시그널의 공간 시그널(spatial signal)을 선형 편광 광원(1)에 의해서 조사된 광에 공급할 수 있고, 진행된 광의 편광은 임의적이다. 일반적으로, 일반 단색광원의 선형 편광은 감극제를 통하여 전송되며, 광의 편광은 공간 위치에 따라 변화하고, 분배 시그널이 발생될 수 있다. 더욱이, 광대역 광원의 선형 편광이 감극제를 통하여 전송될 때, 광의 편광은 공간 패턴 또는 파장에 따라 변화하고, 분배 시그널이 발생될 수 있다.

더욱이, 본 발명의 편광 정렬 검사 장치는 실질 적용시에 검사 객체(3)의 편광 검사를 위하여 사용될 수 있고, 다음의 검사 방법 단계(A) 내지 (E)를 따른다.

단계 (A)에서, 선형 편광 광원(1)은 발광면(11)을 통하여 편광장치(2)의 수광면(21) 외부로 광을 조사한다.

단계 (B)에서, 편광장치(2)는 측면상에서 수광면(21)에 의해서 광을 수광하고, 공간 시그널을 수신된 광에 공급하고, 공간 시그널을 포함하는 광을 타측에 형성된 출광면(22)을 통하여 외부방향으로 검사 객체(3)로 조사한다.

단계 (C)에서, 검사 객체(3)를 통하여 전송된 광은 편광기(4)로 조사되고, 편광기(4)가 수신된 광의 편광시그널을 필터링한 후에, 편광기(4)는 필터링된 광을 검사 시스템(5)으로 조사한다.

단계 (D)에서, 검사 시스템(5)의 카메라 렌즈(51)는 편광기(4)를 통하여 전송된 광을 수광하여 검사 객체(3)의 편광 정보 이미지(31) 및 편광기(4)의 편광 정보 이미지(41)를 입력받아 검사하게 된다.

단계 (E)에서, 편광 검사가 수행되는 검사 객체(3)와 편광기(4)는 상호 부착되고, 검사 객체(3)를 위한 편광 정렬 검사가 완료된다.

일 실시예에서, 단계 (A)의 선형 편광 광원(1)은 편광 특성을 가진 표면광원일 수 있고, LED, 유기발광다이오드, 또는 다른 종류의 광원을 사용하는 광원일 수 있다; 더욱이, 편광 필름(12)은 발광면(11) 상에 위치할 수 있고, 발광된 광이 편광 특성을 가지도록 하여, 단일 파장을 가진 광이 발광면(11)과 편광 필름(12)을 통하여 외부로 조사될 수 있다.

일 실시예에서, 단계 (B)의 편광장치(2)는 LCP로 이루어진 감극제(depolarizer) 일 수 있고, 선형 편광을 의사난수(pseudorandomly) 편광으로 전환하도록 패턴 리타더(patterned retarder)로서 기능한다. 편광장치(2)는 편광 분배 시그널의 공간 시그널(spatial signal)을 선형 편광 광원(1)에 의해서 조사된 표면광에 공급할 수 있고, 진행된 광의 편광은 임의적이다. 일반적으로, 단색광원의 선형 편광은 감극제를 통하여 전송되며, 광의 편광은 공간 위치에 따라 변화하고, 분배 시그널이 발생될 수 있다; 더욱이, 광대역 광원의 선형 편광이 감극제를 통하여 전송될 때, 광의 편광은 공간 패턴 또는 파장에 따라 변화하고, 분배 시그널이 발생될 수 있다.

일 실시예에서, 단계 (C)의 검사 객체(3)는 양극성을 가지지 않으며, 편광 광이 되는 자연광을 편광하기 위한 편광 필름일 수 있다. 편광 광은 이미지 디스플레이의 분야에 통상 적용된다. 일 실시예에서, 편광기(4)는 나노입자 규산 나트륨 그래스로 이루어진 광학 성분일 수 있고, 편광 광을 발생하도록 자연광을 편광하도록 할 수 있다.

일 실시예에서, 단계 (D)의 검사 시스템(5)은 충전가능장치일 수 있고, 검사 시스템(5)의 측면에 위치한 카메라 렌즈(51)는 광을 수광하여 검사 객체(3)의 편광 정보 이미지를 받을 수 있는 수직입사형 카메라 렌즈일 수 있고, 검사 시스템(5)은 검사 객체(3)의 편광 정보 이미지 및 편광된 광의 채도 변화에 따라서 검사 객체(3)와 편광기(4) 상에 편광 정렬 검사를 수행할 수 있다. 도 4(a) 및 4(b)에 도시한 바와같이, 검사 객체(3)와 편광기(4)의 편광 정보 이미지(31, 41) 상에 도시된 오프셋되고 경사진 패턴에 따라서, 검사 객체(3)와 편광기(4)의 광전송축의 위치 및 각도의 변화가 결정될 수 있고, 따라서 검사 객체(3)와 편광기(4)의 편광 정보 이미지(31, 41)는 변경에 따라 정렬되고 오버래핑될 수 있고, 도 5(a) 및 5(b)에 도시한 바와같이, 이것에 의해 광전송축의 기울림 발생을 감소시키고, 누화현상(crosstalk effect)을 감소시킨다. 다음으로, 검사 객체(3)는 편광기(4)에 부착될 수 있고, 최종 제품은 광학 렌즈, 인스트루먼트 패널, 전자 사전, MP3, MP4, AR, VR, 스마트폰, 태플렛 컴퓨터, 디지털 카메라, 컴퓨터 모니터, LCD 모니터, TV 스크린 등과 같은 전자 제품 또는 3C 제품의 디스플레이 패널에 적용될 수 있다.

상기 예는 본 발명의 바람직한 실시예일 뿐이며, 본 발명의 청구범위 범위는 실시예에 한정되지 않는다. 본 발명의 편광 정렬 검사 장치 및 그 방법은 선형 편광 광원(1)을 사용하여 선형 편광 광원(1)의 발광면(11)을 통하여 편광장치(2)의 수광면(21)에 표면광을 조사하고, 편광장치(2)를 사용하여 공간 시그널을 표면광에 공급하고, 다른 측면상에서 출광면(22)을 통하여 검사 객체(3)에 표면광을 조사하고, 검사 객체(3)을 통하여 전송한 표면광은 편광기(4)를 통하여 전송되어 선형 편광이 공간 분화를 하는 편광을 가지며, 선형 편광은 검사 시스템(5)의 카메라 렌즈(51)로 전송되고, 카메라 렌즈(51)는 검사 객체(3)의 편광 정보 이미지(31)와 편광기(4)의 편광 정보 이미지(41)를 취득할 수 있다. 검사 시스템(5)은 검사 객체(3)와 편광기(4)의 편광 방향과 각도를 연산하고, 검사 객체(3) 및 편광기(4)의 검사 및 부착, 광정렬을 수행하기 위한 목적을 달성하고, 이것에 의해, 검사 객체(3)와 편광기(4)에서 누화현상(crosstalk effect)과 관통 축 경사의 기울림 발생을 감소시킨다. 결과적으로, 적용 시에, 검사 객체(3)와 편광기(4)의 안정성은 증가될 수 있다. 이러한 기술적 개시의 도면과 설명에 근거한 여러 가지 균등한 변경, 수정, 변형은 청구범위에서 제시한 기술적 개시의 정신과 범위에 의해서 한정되는 것으로 여겨지는 것이다.

그러므로, 본 발명의 주요한 개념은 편광 정렬 검사 장치와 검사 방법을 제공하고, 선형 편광 광원의 발광면을 통하여 편광장치에 표면광을 조사하도록 선형 편광 광원을 사용할 수 있고, 편광장치를 사용하여 공간 시그널을 표면광에 공급하고, 표면광을 검사 객체에 조사하고, 표면광을 검사 객체를 통하여 편광기에 전송하고, 검사 시스템의 카메라 렌즈를 사용하여 표면광을 수광하고, 검사 객체의 편광 정보 이미지 및 편광기의 편광 정보 이미지를 취득하고, 검사 시스템을 사용하여 편광 정보 이미지들에 따라서 검사 객체와 편광기의 편광 방향과 각도를 연산하여, 검사 객체와 편광기를 위한 광정렬검사가 이루어질 수있고, 검사 객체와 편광기는 상호 즉시 부착될 수 있고, 이것에 의해 광전송 축의 기울기 및 누화현상의 발생을 감소시키고, 검사 객체와 편광기가 실질 적용시에 더 향상된 안정성을 위하여 적절한 편광 각도를 가지게 한다. 그러나, 상기한 예들은 본 발명의 바람직한 실시예이며, 그러므로, 본 발명의 청구범위의 범위는 상기 실시예에 한정되지 않는다. 이러한 기술적 개시의 도면과 설명에 근거한 여러 가지 균등한 변경, 수정, 변형은 청구범위에서 제시한 기술적 개시의 정신과 범위에 의해서 한정되는 것으로 여겨지는 것이다.

여기에 개시된 본 발명은 특정 실시예에 의해서 기술된다. 그러나, 많은 변형, 응용, 개량은 청구범위에서 제시한 기술적 개시의 정신과 범위를 벗어남이 없이 당업자에 의해서 이루어질 수 있다.

1 : 선형 편광 광원 2 : 편광장치
3 : 검사 객체 4 : 편광기
5 : 검사 시스템 11 : 발광면
12 : 편광 필름 21 : 수광면
22 : 출광면 31 : 편광 정보 이미지
41 : 편광 정보 이미지 51 : 카메라 렌즈

Claims (4)

1. 선형 편광 광원, 편광장치, 편광기 및 검사 시스템으로 구성되며,
   상기 선형 편광 광원은 상기 편광장치에 표면광을 외부로 조사하도록 형상된 발광면을 가지며, 상기 편광 장치는 LCP로 이루어진 감극제(depolarizer)이며, 선형 편광을 의사난수(pseudorandomly) 편광으로 전환하도록 패턴 리타더(patterned retarder)로서 기능하고,
   상기 편광장치는 상기 표면광을 수광하도록 일측면상에 형성된 수광면 및 공간 시그널을 표면광에 공급하고 상기 표면광을 검사 객체에 외부로 조사하도록 다른 측면상에 형성된 출광면을 가지며,
   상기 편광기는 상기 편광장치에 대향하는 상기 검사 객체의 다른 측면 상에 위치하고 상기 검사 객체를 통하여 전송하는 선형 편광을 수광하고 편광 시그널을 필터링하며,
   상기 검사 시스템은 검사 객체에 대향하는 편광기의 다른 측면상에 위치하며, 검사를 위하여 편광기에 의해서 필터링된 선형 광원을 수광하도록 형상된 카메라 렌즈로 구성되는 것을 특징으로 하는 편광 정렬 검사 장치.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 선형 편광 광원은 표면광이 편광 특성을 가지도록 발광면 상에 위치한 편광 필름으로 이루어지며 편광 특성을 가진 표면 광원이며, 상기 표면 광원은 발광면과 편광 필름을 통하여 단일 파장을 가진 표면광을 외부로 조사하고, 상기 선형 편광 광원은 LED 또는 유기 발광 다이오드를 사용하며;
   편광 장치는 편광 분배 시그널의 공간 시그널(spatial signal)을 선형 편광 광원에 의해서 조사된 표면광에 공급할 수 있고, 편광 분배 시그널은 공간 패턴 또는 파장에 따라서 변화하며;
   상기 편광기는 나노입자 규산 나트륨 그래스로 이루어지며, 검사 시스템은 충전가능장치이며, 카메라 렌즈는 수직입사형 카메라 렌즈인 것을 특징으로 하는 편광 정렬 검사 장치.
   
3. (A): 선형 편광 광원을 이용하여 상기 선형 편광 광원의 발광면을 통하여 편광장치에 광을 조사하는 단계;
   (B): LCP로 이루어진 감극제(depolarizer)이며, 선형 편광빔을 의사난수(pseudorandomly) 편광으로 전환하도록 패턴 리타더(patterned retarder)로서 기능하는 편광장치를 이용하여 상기 편광장치의 일측면상에서 수광면에 의해서 광을 수광하고, 공간 시그널을 광에 공급하고, 공간 시그널을 포함하는 광을 편광장치의 타측면상에서 출광면을 통하여 외부방향으로 검사 객체로 조사하는 단계;
   (C): 검사 객체를 통한 전송된 광은 편광기로 조사되고, 편광기는 상기 광의 편광시그널을 필터링한 후에, 필터링된 광을 검사 시스템으로 조사하는 단계;
   (D): 검사 시스템의 카메라 렌즈는 편광기를 통한 광을 수광하여 검사 객체의 편광 정보 이미지 및 편광기의 편광 정보 이미지를 획득하여 편광 검사를 하는 단계; 및
   (E): 편광 검사가 수행되는 검사 객체와 편광기는 상호 부착되고, 편광 정렬 검사가 완료하는 단계
   로 구성되는 것을 특징으로 하는 편광 정렬 검사 방법.
   
4. 제3항에 있어서,
   상기 단계 (A)의 선형 편광 광원은 편광 특성을 가진 표면광원이며, 표면광이 편광 특성을 가지도록 발광면 상에 위치하는 편광 필름으로 구성되며, 상기 표면광원은 단일 파장을 가진 광이 발광면과 편광 필름을 통하여 외부로 조사되며, 상기 선형 편광 광원은 LED 또는 유기발광다이오드를 사용하며,
   상기 단계 (A) 및 (B)에서 편광장치는 편광 분배 시그널의 공간 시그널(spatial signal)을 선형 편광 광원에 의해서 조사된 광에 공급하며, 상기 편광 분배 시그널은 공간 패턴과 파장에 따라서 변화하며, 상기 단계 (C)에서 편광기는 나노입자 규산 나트륨 그래스로 이루어지며;
   상기 단계 (C) 및 (D)에서 검사 시스템은 충전가능장치이며, 카메라 렌즈는 수직입사형 카메라 렌즈인 것을 특징으로 하는 편광 정렬 검사 방법.
   
   
   

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